KR20230103406A - Photosensitive resin composition, display device and forming method of pattern - Google Patents

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김진선
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류영준
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Abstract

저온 경화 공정에서 패턴 형성 시 순테이퍼를 형성하고 높은 경도를 갖는 경화막을 구현할 수 있는 감광성 수지 조성물이 제공된다. 본 발명의 일 실시예는 알칼리 가용성 수지 100 중량부, 개시제 2 내지 40 중량부, 다관능성 화합물 2 내지 100 중량부, 가소제 1 초과 30 이하 중량부 및 에폭시계 첨가제 0 초과 15 이하 중량부를 포함하는 감광성 수지 조성물을 제공한다.A photosensitive resin composition capable of realizing a cured film having a forward taper and high hardness during pattern formation in a low-temperature curing process is provided. One embodiment of the present invention is an alkali-soluble resin 100 parts by weight, an initiator 2 to 40 parts by weight, a multifunctional compound 2 to 100 parts by weight, a plasticizer greater than 1 to 30 parts by weight and an epoxy-based additive including 0 to 15 parts by weight photosensitive A resin composition is provided.

Description

감광성 수지 조성물, 표시장치 및 패턴 형성 방법{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, DISPLAY DEVICE AND FORMING METHOD OF PATTERN}Photosensitive resin composition, display device and pattern formation method

본 발명은 감광성 수지 조성물, 표시장치 및 패턴 형성 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 저온 경화 공정에서 패턴 형성 시, 순테이퍼를 형성하고 경도가 높은 경화막을 구현할 수 있는 감광성 수지 조성물, 표시장치 및 패턴 형성 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive resin composition, a display device, and a pattern forming method, and more particularly, a photosensitive resin composition capable of forming a forward taper and realizing a cured film having high hardness when forming a pattern in a low temperature curing process, a display device, and pattern formation It's about how.

디스플레이 산업은 LCD(liquid crystal display)와 OLED(organic light-emitting diode)로 크게 구분되며, 최근 OLED를 기반으로 한 플렉시블 디스플레이(flexible display)에 대한 관심이 높다. The display industry is largely divided into liquid crystal displays (LCDs) and organic light-emitting diodes (OLEDs), and interest in flexible displays based on OLEDs is high.

한국에 이어 중국, 대만 일본 등의 업체들도 경쟁적으로 플렉시블 디스플레이 사업에 대한 확장을 시도하고 있다. 리지드(rigid)한 디스플레이에 유연성을 부여하면서 말수 있고(rollable), 접을 수 있는(foldable) 디자인이 가능해지면서 다양한 용도로 디스플레이를 적용시킬 수 있게 되었다. Following Korea, companies in China, Taiwan and Japan are also competitively trying to expand their flexible display business. As flexibility is given to a rigid display and a rollable and foldable design becomes possible, the display can be applied for various purposes.

특히 OLED(organic light-emitting diode) 디스플레이의 경우 저온에서의 경화공정이 불가피 하기 때문에 디스플레이에 적용되는 감광성 수지 조성물 등의 재료 또한, 저온에서 특성이 요구되고 있다. 하지만 일반적으로 감광성 수지 조성물은 150 내지 300℃ 조건의 후경화 공정을 거쳐야 안정한 경화막을 얻을 수 있는 것으로 알려져 있다. 이로 인해 100 내지 130℃ 내외의 낮은 내열 성능을 갖는 플렉시블 소재를 기반으로 하는 디바이스에 150℃ 이상의 경화 단계를 적용하기는 어려운 문제점이 있었다.In particular, in the case of organic light-emitting diode (OLED) displays, since a curing process at low temperatures is inevitable, materials such as photosensitive resin compositions applied to displays also require properties at low temperatures. However, it is generally known that a stable cured film can be obtained only when the photosensitive resin composition undergoes a post-curing process under conditions of 150 to 300 °C. Due to this, it is difficult to apply a curing step of 150 ° C. or higher to a device based on a flexible material having low heat resistance performance around 100 to 130 ° C.

본 발명의 목적은, 저온 경화 공정에서 패턴 형성 시, 순테이퍼를 형성하고 높은 경도를 갖는 감광성 수지 조성물을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition that forms a forward taper and has high hardness during pattern formation in a low-temperature curing process.

본 발명의 다른 목적은, 패턴막의 평탄화 성능이 우수하고 기판과의 접착성이 우수한 감광성 수지 조성물을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition having excellent planarization performance of a patterned film and excellent adhesion to a substrate.

본 발명의 또 다른 목적은, 상기 감광성 수지 조성물로 제조된 경화막을 포함하는 표시장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a display device including a cured film made of the photosensitive resin composition.

본 발명의 또 다른 목적은, 상기 표시장치에 적용할 수 있는 패턴 형성 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a pattern forming method applicable to the display device.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 청구범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects and advantages of the present invention not mentioned above can be understood by the following description and will be more clearly understood by the examples of the present invention. It will also be readily apparent that the objects and advantages of the present invention may be realized by means of the instrumentalities and combinations indicated in the claims.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예는, 알칼리 가용성 수지 100 중량부, 개시제 2 내지 40 중량부, 다관능성 화합물 2 내지 100 중량부, 가소제 1 초과 30 이하 중량부 및 에폭시계 첨가제 0 초과 15 이하 중량부를 포함하는 감광성 수지 조성물을 제공한다. 구체적으로, 상기 알칼리 가용성 수지 100 중량부를 기준으로, 상기 가소제의 함량은 1 초과 11 미만 중량부이고, 상기 에폭시계 첨가제의 함량은 0 초과 7 미만 중량부일 수 있다.One embodiment of the present invention for achieving the above object, 100 parts by weight of an alkali-soluble resin, 2 to 40 parts by weight of an initiator, 2 to 100 parts by weight of a multifunctional compound, more than 1 part by weight of a plasticizer and less than 30 parts by weight and more than 0 epoxy-based additives It provides a photosensitive resin composition containing 15 parts by weight or less. Specifically, based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin, the content of the plasticizer may be greater than 1 and less than 11 parts by weight, and the content of the epoxy-based additive may be greater than 0 and less than 7 parts by weight.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예는 상기 감광성 수지 조성물로 제조된 경화막을 포함하는 표시장치를 제공할 수 있다.Another embodiment of the present invention for achieving the above object may provide a display device including a cured film made of the photosensitive resin composition.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예는 (S1) 기판 상에 제1항에 따른 감광성 수지 조성물을 도포하여 도포막을 형성하는 단계, (S2) 상기 도포막을 위치선택적으로 노광한 후, 현상액으로 비노광된 도포막을 제거하는 단계 및 (S3) 상기 노광된 도포막을 경화하는 단계를 포함하고, 상기 (S3) 단계는, 80 내지 150℃에서 수행되는 단계인 패턴 형성 방법을 제공할 수 있다.Another embodiment of the present invention for achieving the above object is (S1) forming a coating film by applying the photosensitive resin composition according to claim 1 on a substrate, (S2) positionally selectively exposing the coating film to light, It is possible to provide a pattern formation method comprising removing the unexposed coating film with a developer and (S3) curing the exposed coating film, wherein the (S3) step is a step performed at 80 to 150 ° C. .

상기 과제의 해결 수단은, 본 발명의 특징을 모두 열거한 것은 아니다. 본 발명의 다양한 특징과 그에 따른 장점과 효과는 아래의 구체적인 실시예를 참조하여 보다 상세하게 이해될 수 있을 것이다.The solution to the above problems does not enumerate all the features of the present invention. Various features of the present invention and the advantages and effects thereof will be understood in more detail with reference to the following specific examples.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 저온 경화 공정에서 패턴 형성 시 순테이퍼를 형성하고 패턴막의 평탄화 성능이 우수하고 기판과의 접착성이 우수한 감광성 수지 조성물을 제공할 수 있다. 이러한 감광성 수지 조성물을 이용하여 플렉시블 디스플레이의 기판 상에 높은 경도의 패턴막을 형성함으로써, 우수한 패턴 특성을 구현할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, it is possible to provide a photosensitive resin composition that forms a forward taper during pattern formation in a low-temperature curing process, has excellent planarization performance of a pattern film, and has excellent adhesion to a substrate. By using such a photosensitive resin composition to form a pattern film of high hardness on a substrate of a flexible display, excellent pattern characteristics can be implemented.

상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 설명하면서 함께 기술한다.In addition to the above effects, specific effects of the present invention will be described together while explaining specific details for carrying out the present invention.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 각 구성을 보다 상세히 설명하나, 이는 하나의 예시에 불과할 뿐, 본 발명의 권리범위가 다음 내용에 의해 제한되지 아니한다.Hereinafter, each configuration of the present invention will be described in more detail so that those skilled in the art can easily practice it, but this is only one example, and the scope of the present invention is Not limited.

본 발명의 일 실시예는 알칼리 가용성 수지 100 중량부, 개시제 2 내지 40 중량부, 다관능성 화합물 2 내지 100 중량부, 가소제 1 초과 30 이하 중량부 및 에폭시계 첨가제 0 초과 15 이하 중량부를 포함하는 감광성 수지 조성물을 제공한다.One embodiment of the present invention is an alkali-soluble resin 100 parts by weight, an initiator 2 to 40 parts by weight, a multifunctional compound 2 to 100 parts by weight, a plasticizer greater than 1 to 30 parts by weight and an epoxy-based additive including 0 to 15 parts by weight photosensitive A resin composition is provided.

이하에서는, 본 발명의 구성을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in more detail.

1. 감광성 수지 조성물1. Photosensitive resin composition

본 발명에 따른 감광성 수지 조성물은 패턴을 형성할 때 현상 공정에서 이용되는 현상액에 대해 가용성을 부여할 수 있고 바인더 기능을 수행하는 알칼리 가용성 수지를 포함한다. The photosensitive resin composition according to the present invention includes an alkali-soluble resin capable of imparting solubility to a developing solution used in a developing process when forming a pattern and performing a binder function.

본 발명의 일 실시예에 따른 알칼리 가용성 수지는, 불포화 카르복실산, 불포화 카르복실산 무수물 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 단량체로 하는 공중합체일 수 있다. Alkali-soluble resin according to an embodiment of the present invention may be a copolymer having any one selected from the group consisting of unsaturated carboxylic acids, unsaturated carboxylic acid anhydrides, and mixtures thereof as a monomer.

상기 불포화 카르복실산은 예를 들어, 메타크릴산, 아크릴산, 이타콘산, 크로톤산, 말레산, 푸마르산 및 비닐아세트산 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나일 수 있다.The unsaturated carboxylic acid may be, for example, any one selected from the group consisting of methacrylic acid, acrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, and vinylacetic acid.

상기 불포화 카르복실산 무수물은 예를 들어, 상기 불포화 카르복실산에서 선택된 1종 또는 2종의 두 분자가 반응하여 생성된 것일 수 있다. The unsaturated carboxylic acid anhydride may be produced by reacting two molecules of one or two kinds selected from the unsaturated carboxylic acid, for example.

구체적으로, 상기 알칼리 가용성 수지를 합성하기 위한 공중합 반응에 참여하는 전체 공중합 단량체 100 중량부를 기준으로, 불포화 카르복실산, 불포화 카르복실산 무수물 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 단량체가 10 내지 60 중량부로 포함되어 공중합된 것일 수 있고, 구체적으로 20 내지 50 중량부, 더욱 구체적으로 30 내지 40 중량부로 포함되어 공중합된 것일 수 있다. 상기 불포화 카르복실산, 불포화 카르복실산 무수물 또는 이들의 혼합물의 함량이 상기 수치 범위 미만일 경우에는 알칼리 수용액에 용해되기 어려운 문제가 발생할 수 있으며, 상기 수치 범위를 초과할 경우에는 알칼리 수용액에 대한 용해성이 지나치게 커지는 문제가 발생할 수 있다.Specifically, based on 100 parts by weight of all copolymerization monomers participating in the copolymerization reaction for synthesizing the alkali-soluble resin, any one monomer selected from the group consisting of unsaturated carboxylic acids, unsaturated carboxylic acid anhydrides, and mixtures thereof is 10 to 60 parts by weight and may be copolymerized, specifically 20 to 50 parts by weight, more specifically 30 to 40 parts by weight and copolymerized. When the content of the unsaturated carboxylic acid, the unsaturated carboxylic acid anhydride, or a mixture thereof is less than the above numerical range, a problem in which it is difficult to dissolve in aqueous alkali solution may occur, and when it exceeds the above numerical range, solubility in aqueous alkali solution Excessive growth can cause problems.

본 발명의 다른 실시예에 따른 알칼리 가용성 수지는 올레핀계 불포화 화합물을 단량체로 포함하는 공중합체일 수 있다.Alkali-soluble resin according to another embodiment of the present invention may be a copolymer containing an olefin-based unsaturated compound as a monomer.

상기 올레핀계 불포화 화합물은 예를 들어, 메틸메타크릴레이트, 에틸메타크릴레이트, n-부틸 메타크릴레이트, sec-부틸 메타크릴레이트, tert-부틸 메타크릴레이트, 메틸아크릴레이트, 이소프로필 아크릴레이트, 시클로헥실 메타크릴레이트, 2-메틸시클로 헥실메타크릴레이트, 디시클로펜테닐아크릴레이트, 디시클로펜타닐아크릴레이트, 디시클로펜테닐메타크릴레이트, 디시클로펜타닐메타크릴레이트, 1-아다만틸 아크릴레이트, 1-아다만틸 메타크릴레이트, 디시클로펜타닐옥시에틸메타크릴레이트, 이소보로닐메타크릴레이트, 시클로헥실아크릴레이트, 2-메틸시클로헥실아크릴레이트, 디시클로펜타닐옥시에틸아크릴레이트, 이소보로닐아크릴레이트, 페닐메타크릴레이트, 페닐아크릴레이트, 벤질메타크릴레이트, 벤질아크릴레이트, 2-하이드록시에틸메타크릴레이트, 스티렌, σ-메틸 스티렌, m-메틸 스티렌, p-메틸 스티렌, 비닐톨루엔, p-메톡시 스티렌, 1,3-부타디엔, 이소프렌, 2,3-디메틸 1,3-부타디엔, 아크릴산 글리시딜, 메타크릴산 글리시딜, α-에틸아크릴산 글리시딜, α-n-프로필아크릴산 글리시딜, α-n-부틸아크릴산 글리시딜, 아크릴산-β-메틸글리시딜, 메타크릴산-β-메틸글리시딜, 아크릴산-β-에틸글리시딜, 메타크릴산-β-에틸글리시딜, 아크릴산-3,4-에폭시부틸, 메타크릴산-3,4-에폭시부틸, 아크릴산-6,7-에폭시헵틸, 메타크릴산-6,7-에폭시헵틸, α-에틸아크릴산-6,7-에폭시헵틸, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르, 메타크릴산 3,4-에폭시 사이클로헥실 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나일 수 있다.The olefinically unsaturated compound is, for example, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, tert-butyl methacrylate, methyl acrylate, isopropyl acrylate, Cyclohexyl methacrylate, 2-methylcyclohexyl methacrylate, dicyclopentenyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, dicyclopentenyl methacrylate, dicyclopentanyl methacrylate, 1-adamantyl acrylate , 1-adamantyl methacrylate, dicyclopentanyloxyethyl methacrylate, isoboronyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, 2-methylcyclohexyl acrylate, dicyclopentanyloxyethyl acrylate, isoboronyl methacrylate Ronyl acrylate, phenyl methacrylate, phenyl acrylate, benzyl methacrylate, benzyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, styrene, σ-methyl styrene, m-methyl styrene, p-methyl styrene, vinyl Toluene, p-methoxy styrene, 1,3-butadiene, isoprene, 2,3-dimethyl 1,3-butadiene, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, α-ethyl glycidyl acrylate, α-n -Glycidyl propylacrylate, α-n-butylglycidyl acrylate, β-methylglycidyl acrylate, β-methylglycidyl methacrylate, β-ethylglycidyl acrylate, methacrylic acid- β-Ethylglycidyl, 3,4-epoxybutyl acrylate, 3,4-epoxybutyl methacrylate, 6,7-epoxyheptyl acrylate, 6,7-epoxyheptyl methacrylate, α-ethyl 6,7-epoxyheptyl acrylate, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p-vinylbenzyl glycidyl ether, 3,4-epoxy cyclohexyl methacrylate, and combinations thereof It may be any one selected from the group consisting of.

상기 알칼리 가용성 수지의 공중합 반응에 참여하는 전체 공중합 단량체 100 중량부를 기준으로 상기 올레핀계 불포화 화합물의 함량은 60 내지 95 중량부일 수 있고, 구체적으로 60 내지 80 중량부, 더욱 구체적으로 60 내지 70 중량부일 수 있다. 상기 올레핀계 불포화 화합물의 함량이 상기 수치 범위 미만일 경우에는 해상도나 내열성이 저하된다는 문제가 발생할 수 있으며, 상기 수치 범위를 초과할 경우에는 상기 알칼리 가용성 수지가 현상액인 알칼리 수용액에서 용해가 어려워지는 문제가 발생할 수 있다.The content of the olefinically unsaturated compound may be 60 to 95 parts by weight, specifically 60 to 80 parts by weight, more specifically 60 to 70 parts by weight based on 100 parts by weight of the total copolymerization monomers participating in the copolymerization reaction of the alkali-soluble resin can When the content of the olefinically unsaturated compound is less than the above numerical range, a problem of deterioration in resolution or heat resistance may occur, and when it exceeds the above numerical range, the alkali-soluble resin is difficult to dissolve in an alkaline aqueous solution as a developer. can happen

본 발명의 일 실시예에 따른 알칼리 가용성 수지의 폴리스티렌 환산 중량평균분자량은 2,000 내지 20,000 g/mol일 수 있고, 구체적으로 2,000 내지 10,000g/mol일 수 있고, 더욱 구체적으로 3,000 내지 7,000g/mol일 수 있다. 상기 알칼리 가용성 수지의 중량평균분자량이 상기 수치 범위 미만일 경우 패턴 현상성, 잔막율 및 내열성 성능이 낮아지는 문제가 생길 수 있고, 상기 수치 범위를 초과할 경우 패턴 현상이 안되는 문제가 생길 수 있다. The polystyrene equivalent weight average molecular weight of the alkali-soluble resin according to an embodiment of the present invention may be 2,000 to 20,000 g/mol, specifically 2,000 to 10,000 g/mol, and more specifically 3,000 to 7,000 g/mol can When the weight average molecular weight of the alkali-soluble resin is less than the above numerical range, pattern developability, remaining film rate and heat resistance performance may be deteriorated, and when the above numerical range is exceeded, a pattern development problem may occur.

본 명세서에서 '아크릴계 화합물'은 불포화 카르복실산 또는 불포화 에스터를 모두 포괄하는 의미로 정의된다. 예를 들어, 상기 불포화 카르복실산은 아크릴산, 메타크릴산 등일 수 있고, 상기 불포화 에스터는 메틸 메타크릴레이트, 벤질메타크릴레이트 등일 수 있다. In the present specification, 'acrylic compound' is defined as encompassing all unsaturated carboxylic acids or unsaturated esters. For example, the unsaturated carboxylic acid may be acrylic acid or methacrylic acid, and the unsaturated ester may be methyl methacrylate or benzyl methacrylate.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 알칼리 가용성 수지는, 아크릴계 화합물을 단량체로 포함하는 공중합체일 수 있다. 상기 아크릴계 화합물을 단량체로 포함하는 동종중합체(homopolymer)의 유리전이온도는 150℃ 이하, 구체적으로 110℃ 이하, 더욱 구체적으로 20 내지 110℃일 수 있다. 상기 아크릴계 화합물을 단량체로 포함하는 동종중합체의 유리전이온도가 상기 수치 범위 내를 만족해야 저온 경화 시, 리플로우(reflow) 특성이 유리할 수 있다. 또한, 상기 아크릴계 화합물을 단량체로 포함하는 동종중합체(homopolymer)의 중량평균분자량은 3,000 내지 7,000g/mol일 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the alkali-soluble resin may be a copolymer containing an acrylic compound as a monomer. The glass transition temperature of the homopolymer containing the acrylic compound as a monomer may be 150 °C or less, specifically 110 °C or less, and more specifically 20 to 110 °C. When the glass transition temperature of the homopolymer containing the acrylic compound as a monomer satisfies the above numerical range, reflow characteristics may be advantageous during low-temperature curing. In addition, the homopolymer containing the acrylic compound as a monomer may have a weight average molecular weight of 3,000 to 7,000 g/mol.

상기 150℃ 이하의 유리전이온도를 갖는 단량체는 예를 들어, 메틸메타크릴레이트, 글리시딜 메타크릴레이트, 스티렌, 메타크릴산 에틸, 이소보닐아세테이트, 에폭시 사이클로헥실 메틸 메타크릴레이트, N-부틸 메타크릴레이트, 이소부틸메타크릴레이트, 비닐아세테이트, N-부틸 아크릴레이트, 2-에틸 헥실 아크릴레이트, 아크릴산, 사이클로헥실 메타아크릴레이트, 로릴아크릴레이트, 에틸렌 글리콜 디메틸 아크릴레이트, 에틸렌 글라이콜 메틸 에테르 아크릴레이트, 페녹시에틸아크릴레이트, 페녹시 폴리에틸렌 글루코 아크릴레이트, 2-하이드록시에틸아크릴레이트, 2-하이드록시프로필아크릴레이트, 2-하이드록시-3-페녹시프로필아크릴산, 2-(아크릴로일옥시)에틸 히드로겐 숙시네이트, 네오펜틸글리콜 디아크릴레이트, 3-메틸-1,5-펜탄디올 디아크릴레이트, 1,6-헥산디올 디아크릴레이트, 1,9-노난디올 디아크릴레이트 등일 수 있다. The monomer having a glass transition temperature of 150 ° C or less is, for example, methyl methacrylate, glycidyl methacrylate, styrene, ethyl methacrylate, isobornyl acetate, epoxy cyclohexyl methyl methacrylate, N-butyl Methacrylate, isobutyl methacrylate, vinyl acetate, N-butyl acrylate, 2-ethyl hexyl acrylate, acrylic acid, cyclohexyl methacrylate, lauryl acrylate, ethylene glycol dimethyl acrylate, ethylene glycol methyl ether Acrylate, phenoxyethyl acrylate, phenoxy polyethylene glucoacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylic acid, 2-(acryloyloxy C) ethyl hydrogen succinate, neopentyl glycol diacrylate, 3-methyl-1,5-pentanediol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 1,9-nonanediol diacrylate, etc. there is.

본 발명에 따른 개시제는 라디칼 광개시제, 이온 광개시제 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나일 수 있다.The initiator according to the present invention may be any one selected from the group consisting of radical photoinitiators, ionic photoinitiators, and combinations thereof.

본 발명에 따른 개시제의 함량은 상기 알칼리 가용성 수지 100 중량부를 기준으로 2 내지 40 중량부일 수 있고, 구체적으로 2 내지 20 중량부, 더욱 구체적으로 3 내지 10 중량부일 수 있다. 상기 개시제의 함량이 상기 수치 범위 미만일 경우 낮은 감도로 인해 잔막율이 나빠지게 되는 문제점이 있고, 상기 수치 범위를 초과할 경우 현상성이 떨어지고 해상도가 저하되는 문제점이 생길 수 있다.The content of the initiator according to the present invention may be 2 to 40 parts by weight, specifically 2 to 20 parts by weight, more specifically 3 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. When the content of the initiator is less than the above numerical range, there is a problem in that the remaining film rate is deteriorated due to low sensitivity, and when the content of the initiator exceeds the above numerical range, a problem in that developability and resolution is deteriorated may occur.

상기 라디칼 광개시제는 알칼리 가용성 수지의 비닐기와 다관능성 화합물을 광경화시킬 수 있다. The radical photoinitiator may photocur the vinyl group of the alkali-soluble resin and the multifunctional compound.

상기 라디칼 광개시제는 예를 들어, 4-페녹시디클로로아세토페논, 4-t-부틸-디클로로아세토페논, 디에톡시아세토페논, p-디메틸아니노아세토페논, 1-(4-이소프로필페닐)-2-하이드록시-2-메틸프로판-1-온, 1-하이드록시시클로헥실페닐케톤, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄-1-온, 2-(디메틸아미노)-2-[(4-메틸페닐)메틸]-1-[4-(4-모르폴리닐)페닐]-1-부타논 등의 아세토페논계 화합물, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤질디메틸케탈 등의 벤조인계 화합물, 벤조페논, 벤조일안식향산, 벤조일안식향산메틸, 4-페닐벤조페논, 하이드록시벤조페논, 아크릴화 벤조페논, 4-벤조일-4'-메틸디페닐설파이드, 3,3',4,4'-테트라(t-부틸포옥시카르보닐)벤조페논 등의 벤조페논계 화합물, 티옥산톤, 2-클로로티옥산톤, 2-메틸디옥산톤, 이소프로필티옥산톤, 2,4-디이소프로필티옥산톤, 2,4-디에틸티옥산톤 등의 티옥산톤계 화합물, 2,4,6-트리클로로-s-트리아진, 2-페닐-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(p-메톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(p-톨릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-피페노닐-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-스티릴-s-트리아진, 2-(나프토-1-일)- 4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-메톡시-나프토-1-일)- 4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2,4-트리클로로메틸-(피페로닐)-6-트리아진, 2,4-트리클로로메틸(4'-메톡시스티릴)-6-트리아진 등의 트리아진계 화합물, 2-(O-벤조일옥심)-1-[4-(페닐티오)페닐]-1,2-옥탄디온, 1-(O-아케틸옥심) -1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카바졸-3-일]-에탄온, O-에톡시카르보닐-α-옥시아미노-1-페닐프로판-1-온, 1,2-옥탄디온, 2-디메틸아미노-2-(4-메틸벤질)-1-(4-모르폴린-4-일-페닐)-부탄-1-온, 1-(4-페닐술파닐페닐)-부탄-1,2-디온-2-옥심-O-벤조에이트, 1-(4-페닐술파닐페닐)-옥탄-1,2-디온-2-옥심-O-벤조에이트, 1-(4-페닐술파닐페닐)-옥탄-1-온옥심-O-아세테이트, 1-(4-페닐술파닐페닐)-부탄-1-온옥심-O-아세테이트, 2-(O-벤조일옥심)-1-[4-(페닐티오)p-메틸페닐]-1,2-옥탄디온, 2-(O-벤조일옥심)-1-[4-(페닐티오)페닐]-1,2-페닐디온, 2-(O-아세틸옥심)-1-[4-(페닐티오)페닐]-1,2-옥탄디온, 2-(O-아세틸옥심)-1-[4-(페닐티오)페닐]-1,2-페닐디온, 2-(O-아세틸옥심)-1-[4-(페닐티오)페닐]-1,2-메틸디온, O-(아세틸)-N-(1-페닐-2-옥소-2-(4'-메톡시-나프틸)에틸리덴)하이드록실아민, 등의 옥심에스테르계 화합물, 비스(2,4,6-트리메틸벤조일)페닐포스핀옥사이드, 2,4,6-트리메틸벤조일-디페닐-포스핀옥사이드 등의 포스핀계 화합물, 2,2'-비스(o-클로로페닐)-4,5,4',5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(o-메톡시페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(o-메톡시페닐)-4,4',5,5'-테트라(p-메틸페닐)비이미다졸 등의 이미다졸계 화합물, 9,10-페난트렌퀴논, 캠퍼퀴논, 에틸안트라퀴논 등의 퀴논계 화합물, 보레이트계 화합물, 카바졸계 화합물, 티타노센계 화합물 등일 수 있다.The radical photoinitiator is, for example, 4-phenoxydichloroacetophenone, 4-t-butyl-dichloroacetophenone, diethoxyacetophenone, p-dimethylaninoacetophenone, 1-(4-isopropylphenyl)-2 -Hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one, 2 -Benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butan-1-one, 2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl)methyl]-1-[4-(4 -morpholinyl)phenyl]-1-butanone and other acetophenone-based compounds, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzyldimethyl ketal and other benzoin-based compounds, benzophenone, Benzoylbenzoic acid, methyl benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, hydroxybenzophenone, acrylated benzophenone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenylsulfide, 3,3',4,4'-tetra(t-butylpho Benzophenone compounds such as oxycarbonyl) benzophenone, thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-methyldioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, 2, Thioxanthone compounds such as 4-diethylthioxanthone, 2,4,6-trichloro-s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2- (p-methoxyphenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(p-tolyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2- Pipenonyl-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2,4-bis(trichloromethyl)-6-styryl-s-triazine, 2-(naphtho-1-yl) - 4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxy-naphtho-1-yl) - 4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2 Triazine compounds such as 4-trichloromethyl-(piperonyl)-6-triazine, 2,4-trichloromethyl(4'-methoxystyryl)-6-triazine, 2-(O- Benzoyloxime)-1-[4-(phenylthio)phenyl]-1,2-octanedione, 1-(O-acetyloxime)-1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H -Carbazol-3-yl]-ethanone, O-ethoxycarbonyl-α-oxyamino-1-phenylpropan-1-one, 1,2-octanedione, 2-dimethylamino-2-(4- Methylbenzyl)-1-(4-morpholin-4-yl-phenyl)-butan-1-one, 1-(4-phenylsulfanylphenyl)-butane-1,2-dione-2-oxime-O- Benzoate, 1-(4-phenylsulfanylphenyl)-octane-1,2-dione-2-oxime-O-benzoate, 1-(4-phenylsulfanylphenyl)-octan-1-one oxime-O -Acetate, 1-(4-phenylsulfanylphenyl)-butan-1-one oxime-O-acetate, 2-(O-benzoyloxime)-1-[4-(phenylthio)p-methylphenyl]-1, 2-Octanedione, 2-(O-benzoyloxime)-1-[4-(phenylthio)phenyl]-1,2-phenyldione, 2-(O-acetyloxime)-1-[4-(phenylthio) )Phenyl]-1,2-octanedione, 2-(O-acetyloxime)-1-[4-(phenylthio)phenyl]-1,2-phenyldione, 2-(O-acetyloxime)-1- [4-(phenylthio)phenyl]-1,2-methyldione, O-(acetyl)-N-(1-phenyl-2-oxo-2-(4'-methoxy-naphthyl)ethylidene)hydride oxime ester compounds such as oxylamine, phosphine compounds such as bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)phenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, 2,2 '-bis(o-chlorophenyl)-4,5,4',5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis(o-methoxyphenyl)-4,4' Imidazoles such as 5,5'-tetraphenylbiimidazole and 2,2'-bis(o-methoxyphenyl)-4,4',5,5'-tetra(p-methylphenyl)biimidazole compounds, quinone-based compounds such as 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, and ethylanthraquinone, borate-based compounds, carbazole-based compounds, and titanocene-based compounds.

상기 이온 광개시제는 후술할 에폭시계 첨가제를 광경화시킬 수 있고, 양이온 광개시제와 음이온 광개시제로 구분될 수 있다.The ionic photoinitiator may photocur an epoxy-based additive to be described later, and may be classified into a cationic photoinitiator and an anionic photoinitiator.

상기 양이온 광개시제는 예를 들어, 술포늄염계, 요오드늄염계, 포스포늄염계, 디아조늄염계, 피리디늄염계, 벤조티아졸륨염계, 설폭소늄염계, 페로센계 화합물, 니트로벤질술포네이트류, 알킬 또는 알릴-N-술포닐옥시이미드류, 할로겐화 알킬술폰산에스테르류, 옥심술포네이트류 등일 수 있으나 이들로 한정되는 것은 아니다. 또 다른 상기 양이온 광개시제의 예로, 테트라부틸암모늄테트라플루오로보레이트, 테트라부틸암모늄헥사플루오로포스페이트, 테트라부틸암모늄하이드로겐설페이트, 테트라에틸암모늄테트라플루오로보레이트, 테트라에틸암모늄, p-톨루엔술포네이트, N,N-디메틸-N-벤질아닐리늄육불화안티몬, N,N-디메틸-N-벤질아닐리늄사불화붕소, N,N-디메틸-N-벤질피리디늄육불화안티몬, N,N-디메틸-N-벤질트리플루오로메탄술폰산, N,N-디메틸-N-(4-메톡시벤질)피리디늄육불화안티몬, N,N-디메틸-N-(4-메톡시벤질)톨루이디늄육불화안티몬, 에틸트리페닐포스포늄육불화안티몬, 테트라부틸포스포늄육불화안티몬, 트리페닐술포늄사불화붕소, 트리페닐술포늄육불화안티몬, 트리페닐술포늄육불화비소, 트리(4-메톡시페닐)술포늄육불화비소, 디페닐(4-페닐티오페닐)술포늄육불화비소, 디페닐요오드늄육불화비소, 디-4-클로로페닐요오드늄육불화비소, 디-4-브롬페닐요오드늄육불화비소, 페닐(4-메톡시페닐)요오드늄육불화비소, 디페닐요오드늄육불화인, 디-4-클로로페닐요오드늄육불화인, 디-4-브롬페닐요오드늄육불화인, 페닐(4-메톡시페닐)요오드늄육불화인, 4-메틸페닐(4-(2-메틸프로필페닐))요오드늄육불화인, 디-4-테트라페닐요오드늄육불화인, 디페닐요오드늄육불화인, 디-4-테트라페닐요오드늄육불화안티몬, 디페닐요오드늄육불화안티몬, 4-메틸페닐(4-(2-메틸프로필페닐))요오드늄사불화비소 등이 있으나 이들로 한정되는 것은 아니다.The cationic photoinitiators are, for example, sulfonium salts, iodonium salts, phosphonium salts, diazonium salts, pyridinium salts, benzothiazolium salts, sulfoxonium salts, ferrocene compounds, nitrobenzylsulfonates, alkyl or It may be allyl-N-sulfonyloxyimides, halogenated alkyl sulfonic acid esters, oxime sulfonates, etc., but is not limited thereto. Other examples of the cationic photoinitiator include tetrabutylammonium tetrafluoroborate, tetrabutylammonium hexafluorophosphate, tetrabutylammonium hydrogen sulfate, tetraethylammonium tetrafluoroborate, tetraethylammonium, p-toluenesulfonate, N ,N-dimethyl-N-benzylanilinium antimony hexafluoride, N,N-dimethyl-N-benzylanilinium boron tetrafluoride, N,N-dimethyl-N-benzylpyridinium antimony hexafluoride, N,N-dimethyl- N-benzyltrifluoromethanesulfonic acid, N,N-dimethyl-N-(4-methoxybenzyl)pyridinium hexafluoride antimony, N,N-dimethyl-N-(4-methoxybenzyl)toluidinium hexafluoride Antimony, ethyltriphenylphosphonium antimony hexafluoride, tetrabutylphosphonium antimony hexafluoride, triphenylsulfonium boron tetrafluoride, triphenylsulfonium antimony hexafluoride, triphenylsulfonium arsenic hexafluoride, tri(4-methoxyphenyl)sulfonium hexafluoride Arsenic fluoride, diphenyl (4-phenylthiophenyl) sulfonium arsenic hexafluoride, diphenyl iodonium arsenic hexafluoride, di-4-chlorophenyl iodonium arsenic hexafluoride, di-4-bromophenyl iodonium arsenic hexafluoride, phenyl (4- Methoxyphenyl) iodonium arsenic hexafluoride, diphenyl iodonium hexafluoride, di-4-chlorophenyl iodonium hexafluoride, di-4-bromphenyl iodonium hexafluoride, phenyl (4-methoxyphenyl) iodonium hexafluoride , 4-methylphenyl (4- (2-methylpropylphenyl)) iodonium hexafluoride, di-4-tetraphenyl iodonium hexafluoride, diphenyl iodonium hexafluoride, di-4-tetraphenyl iodonium hexafluoride antimony, di phenyl iodonium antimony hexafluoride, 4-methylphenyl (4- (2-methylpropylphenyl)) iodonium arsenic tetrafluoride, etc., but is not limited thereto.

상기 음이온 광개시제로 예를 들어, 벤조인카바메이트, 디메틸벤질옥시카바모일아민, o-아실옥심, o-니트로벤조인카바메이트, 포름아닐리드 유도체, α-암모늄아세토페논 등을 사용할 수 있다.Examples of the anionic photoinitiator include benzoin carbamate, dimethylbenzyloxycarbamoylamine, o-acyloxime, o-nitrobenzoincarbamate, formanilide derivatives, and α-ammonium acetophenone.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 라디칼 광개시제와 상기 이온 광개시제의 중량비(라디칼 광개시제: 이온 광개시제)는, 1:0.2 내지 1:0.9일 수 있고, 구체적으로 1: 0.5 내지 1:0.9일 수 있고, 더욱 구체적으로 1:0.7 내지 1:0.9일 수 있다. 상기 라디칼 광개시제와 상기 이온 광개시제의 중량비(라디칼 광개시제: 이온 광개시제)가 상기 수치 범위 내를 만족할수록 높은 경도를 갖는 경화막이 구현될 수 있고, 잔사가 생기지 않을 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the weight ratio (radical photoinitiator: ionic photoinitiator) of the radical photoinitiator and the ionic photoinitiator may be 1:0.2 to 1:0.9, specifically 1:0.5 to 1:0.9. And, more specifically, it may be 1:0.7 to 1:0.9. As the weight ratio (radical photoinitiator: ionic photoinitiator) of the radical photoinitiator and the ionic photoinitiator satisfies the above numerical range, a cured film having high hardness may be realized and residue may not be generated.

본 발명에 따른 감광성 수지 조성물은 감광성 수지 조성물로 제조된 경화막의 감도나 가공성을 제어하기 위해 다관능성 화합물을 포함할 수 있다. The photosensitive resin composition according to the present invention may contain a multifunctional compound to control sensitivity or workability of a cured film made of the photosensitive resin composition.

본 발명에 따른 다관능성 화합물의 함량은 상기 알칼리 가용성 수지 100 중량부를 기준으로 2 내지 100 중량부일 수 있고, 구체적으로 10 내지 30 중량부, 더욱 구체적으로 10 내지 20 중량부일 수 있다. 상기 다관능성 화합물의 함량이 상기 수치 범위 미만일 경우 낮은 감도로 인해 잔막율이 낮아지는 문제가 생길 수 있고, 상기 수치 범위를 초과할 경우 현상성이 떨어지고 해상도가 저하되는 문제가 생길 수 있다.The content of the multifunctional compound according to the present invention may be 2 to 100 parts by weight, specifically 10 to 30 parts by weight, more specifically 10 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. When the content of the multifunctional compound is less than the above numerical range, a problem of low remaining film rate may occur due to low sensitivity, and when the content of the multifunctional compound exceeds the above numerical range, a problem of deterioration in developability and resolution may occur.

본 발명에 따른 다관능성 화합물은 다관능성 올리고머, 다관능성 모노머 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나일 수 있다. The multifunctional compound according to the present invention may be any one selected from the group consisting of a multifunctional oligomer, a multifunctional monomer, and a mixture thereof.

상기 다관능성 올리고머는 예를 들어, 2 내지 20개의 관능기를 가지며, 알리파틱 우레탄 아크릴레이트 올리고머, 아로마틱 우레탄 아크릴레이트 올리고머, 에폭시 아크릴레이트 올리고머, 에폭시 메타크릴레이트 올리고머, 폴리에스터 아크릴레이트 올리고머, 실리콘 아크릴레이트 올리고머, 멜라민 아크릴레이트 올리고머, 및 덴드리틱 아크릴레이트 올리고머로 이루어진 군에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물일 수 있다.The multifunctional oligomer has, for example, 2 to 20 functional groups, and includes aliphatic urethane acrylate oligomers, aromatic urethane acrylate oligomers, epoxy acrylate oligomers, epoxy methacrylate oligomers, polyester acrylate oligomers, and silicone acrylates. It may be one or a mixture of two or more selected from the group consisting of an oligomer, a melamine acrylate oligomer, and a dendritic acrylate oligomer.

상기 다관능성 모노머는 예를 들어, 1,4-부탄디올디아크릴레이트, 1,3-부틸렌글리콜디아크릴레이트, 에틸렌글리콜디아크릴레이트, 트리메틸올프로판디아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사디아크릴레이트 , 디펜타에리스리톨트리디아크릴레이트, 디펜타에리스리톨디아크릴레이트, 솔비톨트리아크릴레이트, 비스페놀 A 디아크릴레이트 유도체 및 디펜타아리스리톨폴리아크릴레이트로 이루어진 군에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물일 수 있다.The multifunctional monomer is, for example, 1,4-butanediol diacrylate, 1,3-butylene glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, trimethylolpropane diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentachloride Erythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, triethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, dipentaerythritol hexadiacrylate, dipentaerythritol tridiacrylate, dipentaerythritol diacrylate, sorbitol triacryl It may be one or a mixture of two or more selected from the group consisting of late, bisphenol A diacrylate derivatives, and dipentaerythritol polyacrylate.

본 발명에 따른 감광성 수지 조성물은 저온 경화 조건에서 패턴 형성 시순테이퍼를 형성하기 위해 가소제를 포함한다.The photosensitive resin composition according to the present invention includes a plasticizer in order to form a sequential taper during pattern formation under low-temperature curing conditions.

본 발명에 따른 가소제는 프탈레이트계 화합물, 아디페이트계 화합물, 포스페이트계 화합물 및 모노이소부티레이트계 화합물로 이루어진 군에서 선택된 1종 또는 2종 이상일 수 있다. The plasticizer according to the present invention may be one or two or more selected from the group consisting of a phthalate-based compound, an adipate-based compound, a phosphate-based compound, and a monoisobutyrate-based compound.

예를 들어 상기 프탈레이트계 화합물은 디옥틸프탈레이트, 디이소노닐프탈레이트 등일 수 있고, 상기 아디페이트계 화합물은 디옥틸아디페이트일 수 있고, 상기 포스페이트계 화합물은 트리크레실포스페이트일 수 있고, 상기 모노이소부티레이트계 화합물은 2,2,4-트리메틸-1,3-펜탄디올 모노이소부티레이트일 수 있다.For example, the phthalate-based compound may be dioctyl phthalate, diisononyl phthalate, etc., the adipate-based compound may be dioctyl adipate, the phosphate-based compound may be tricresyl phosphate, and the monoiso The butyrate-based compound may be 2,2,4-trimethyl-1,3-pentanediol monoisobutyrate.

본 발명에 따른 가소제의 함량은 상기 알칼리 가용성 수지 100 중량부를 기준으로 1 초과 30 이하 중량부일 수 있고, 구체적으로 1 초과 11 미만 중량부일 수 있고, 보다 구체적으로 2 내지 10 중량부, 더욱 구체적으로 5 내지 10 중량부일 수 있다. 상기 가소제의 함량이 상기 수치 범위 미만일 경우 패턴 형성 시, 언더-컷(under-cut)이 발생할 가능성이 있고 상기 수치 범위를 초과할 경우 경화막의 경도가 지나치게 낮아질 수 있다.The content of the plasticizer according to the present invention may be greater than 1 and less than 30 parts by weight, specifically greater than 1 and less than 11 parts by weight, more specifically 2 to 10 parts by weight, more specifically 5 parts by weight based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. to 10 parts by weight. When the content of the plasticizer is less than the above numerical range, under-cut may occur during pattern formation, and when the content of the plasticizer exceeds the above numerical range, the hardness of the cured film may be excessively low.

본 발명에 따른 감광성 수지 조성물은 상기 가소제의 첨가로 경화막의 경도가 낮아지는 것을 보완하기 위해 에폭시계 첨가제를 포함한다.The photosensitive resin composition according to the present invention includes an epoxy-based additive to compensate for the decrease in hardness of the cured film due to the addition of the plasticizer.

본 발명에 따른 에폭시계 첨가제의 함량은 상기 알칼리 가용성 수지 100 중량부를 기준으로 0 초과 15 이하 중량부일 수 있고, 구체적으로 0 초과 7 미만 중량부, 보다 구체적으로 1 내지 6 중량부, 더욱 구체적으로 3 내지 5 중량부일 수 있다. 상기 에폭시계 첨가제의 함량이 상기 수치 범위 미만일 경우 경도가 충분히 높아지지 못할 수 있고 상기 수치 범위를 초과할 경우 잔사가 남는 문제가 생길 수 있다.The content of the epoxy-based additive according to the present invention may be greater than 0 and less than 15 parts by weight based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin, specifically greater than 0 and less than 7 parts by weight, more specifically 1 to 6 parts by weight, more specifically 3 parts by weight to 5 parts by weight. When the content of the epoxy-based additive is less than the above numerical range, the hardness may not be sufficiently high, and when it exceeds the above numerical range, a problem of remaining residue may occur.

상기 에폭시계 첨가제는 지방족고리화합물(alicyclic compound)일 수 있다. 상기 에폭시계 첨가제는 에폭시기를 포함하는 지방족 고리 구조를 2이상 포함하는 지방족고리화합물일 수 있다. 구체적으로, 상기 에폭시계 첨가제는 사슬 말단에 2이상의 에폭시기를 포함하는 지방족 고리 구조를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 에폭시계 첨가제는, 일 말단에 하나의 에폭시기를 포함하는 지방족 고리 구조; 및 다른 말단에 하나의 에폭시기를 포함하는 지방족 고리 구조를 포함할 수 있다.The epoxy-based additive may be an alicyclic compound. The epoxy-based additive may be an aliphatic cyclic compound including two or more aliphatic cyclic structures including an epoxy group. Specifically, the epoxy-based additive may include an aliphatic ring structure including two or more epoxy groups at a chain terminal. For example, the epoxy-based additive may include an aliphatic ring structure including one epoxy group at one end; and an aliphatic ring structure including one epoxy group at the other terminal.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 에폭시계 첨가제는 상기 지방족 고리 구조들의 연결기로서 1 이상의 에스터기를 갖는 탄소수 2 내지 70의 유기기를 더 포함할 수 있다. 상기 '1이상의 에스터기를 갖는 탄소수 2 내지 70의 유기기'는 예를 들어, 1이상의 에스터기를 갖는 탄소수 2 내지 70의 사슬 또는 가지형 알킬기일 수 있다. 다만 본 발명의 기술사상이 알킬기에 제한되는 것은 아니고, 다양한 유기기가 적용될 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the epoxy-based additive may further include an organic group having 2 to 70 carbon atoms having one or more ester groups as a linking group of the aliphatic ring structures. The 'organic group having 2 to 70 carbon atoms having one or more ester groups' may be, for example, a chain or branched alkyl group having 2 to 70 carbon atoms having one or more ester groups. However, the technical spirit of the present invention is not limited to an alkyl group, and various organic groups may be applied.

본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 에폭시계 첨가제는 하기 화학식 1 또는 2로 표시되는 화합물일 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the epoxy-based additive may be a compound represented by Formula 1 or 2 below.

[화학식 1][Formula 1]

Figure pat00001
Figure pat00001

상기 화학식 1에서 n은 1 내지 10의 정수일 수 있고, 구체적으로 1 내지 5의 정수, 더욱 구체적으로 1 내지 2의 정수일 수 있다.In Formula 1, n may be an integer of 1 to 10, specifically an integer of 1 to 5, more specifically an integer of 1 to 2.

[화학식 2][Formula 2]

Figure pat00002
Figure pat00002

상기 화학식 2에서 n은 1 내지 10의 정수일 수 있고, 구체적으로 1 내지 5의 정수, 더욱 구체적으로 1 내지 2의 정수일 수 있다.In Formula 2, n may be an integer of 1 to 10, specifically an integer of 1 to 5, more specifically an integer of 1 to 2.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 가소제와 상기 에폭시계 첨가제의 중량비(가소제: 에폭시계 첨가제)는, 10:1 내지 10:25일 수 있고, 구체적으로 10:1 내지 10:6일 수 있고, 보다 구체적으로 10:5 내지 10:6일 수 있다. 상기 가소제와 상기 에폭시계 첨가제의 중량비가 상기 수치 범위 내일 때, 순테이퍼, 고경도 및 고평탄화 특성이 구현될 수 있고 잔사가 발생하지 않을 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the weight ratio of the plasticizer and the epoxy-based additive (plasticizer: epoxy-based additive) may be 10: 1 to 10:25, specifically 10: 1 to 10: 6 And, more specifically, it may be 10:5 to 10:6. When the weight ratio of the plasticizer and the epoxy-based additive is within the above numerical range, forward taper, high hardness, and high flatness characteristics may be implemented and residue may not be generated.

본 발명에 따른 감광성 수지 조성물은 착색 및 차광성을 부여하기 위해 블랙안료를 더 포함할 수 있다. 구체적으로 상기 블랙안료는 예를 들어, 카본블랙, 알루미나, 이산화티탄, 티탄산바륨, 티탄산마그네슘, 티탄산칼슘, 티탄산스트론튬, 산화아연, 규사, 클레이, 운모, 규회석, 규조토, 산화크롬, 산화세륨, 벤가라, 삼산화안티몬, 산화마그네슘, 산화지르코늄, 황산바륨, 탄산바륨, 탄산칼슘, 실리카 미분체 탄화규소, 질화규소, 탄화붕소, 탄화텅스텐, 탄화티탄 등의 분말 내지 입자일 수 있다. 상기 분말 내지 입자는 필요에 따라 분산매에 분산되어 사용될 수 있다. 또한 상기 블랙안료의 함량은 용도에 따라 적절히 조절될 수 있다. The photosensitive resin composition according to the present invention may further include a black pigment to impart coloring and light blocking properties. Specifically, the black pigment may be, for example, carbon black, alumina, titanium dioxide, barium titanate, magnesium titanate, calcium titanate, strontium titanate, zinc oxide, silica sand, clay, mica, wollastonite, diatomaceous earth, chromium oxide, cerium oxide, ben It may be powder or particles of antimony trioxide, magnesium oxide, zirconium oxide, barium sulfate, barium carbonate, calcium carbonate, silica powder, silicon carbide, silicon nitride, boron carbide, tungsten carbide, titanium carbide, or the like. The powder or particles may be used after being dispersed in a dispersion medium as needed. In addition, the content of the black pigment may be appropriately adjusted according to the use.

본 발명에 따른 감광성 수지 조성물은 필요에 따라 첨가제를 더 포함할 수 있다. 상기 첨가제는 예를 들어, 가교제, 분산제, 실란커플링제 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나일 수 있다. 상기 첨가제의 함량은 각각의 목적과 용도에 부합되게 적절히 조절될 수 있다.The photosensitive resin composition according to the present invention may further include additives if necessary. The additive may be, for example, any one selected from the group consisting of a crosslinking agent, a dispersing agent, a silane coupling agent, and combinations thereof. The content of the additives may be appropriately adjusted to meet each purpose and use.

상기 가교제는 예를 들어, 멜라민계 가교제일 수 있고, 구체적으로 상기 멜라민계 가교제는 메톡시메틸멜라민(methoxy methyl melamine), 헥사메톡시메틸멜라민(hexa methoxy methyl melamine), 알콕시알킬메탄올멜라민(alkoxy alkyl methanol melamine), 카르복시메틸멜라민(carboxy methyl melamine), 히드록시메틸아미노기를 가지는 멜라민계 화합물 등일 수 있다.The crosslinking agent may be, for example, a melamine-based crosslinking agent, and specifically, the melamine-based crosslinking agent may include methoxy methyl melamine, hexamethoxy methyl melamine, alkoxy alkylmethanol melamine, methanol melamine), carboxymethyl melamine, and a melamine-based compound having a hydroxymethylamino group.

상기 분산제는 예를 들어, 감광성 수지 조성물의 도포성이나 현상성을 개선하기 위해 첨가되는 계면활성제일 수 있다. 상기 계면활성제는 예를 들어, 실리콘계 화합물 또는 불소계 화합물일 수 있다. 상기 실리콘계 화합물은 예를 들어 폴리디메틸실록산일 수 있고, 상기 불소계 화합물은 예를 들어, BM-1000, BM-1100(BM Chemie社), 프로라이드 FC-135/FC-170C/FC-430(스미토모 쓰리엠㈜), SH-28PA/-190/SZ-6032(도레 시리콘㈜) 등일 수 있다.The dispersant may be, for example, a surfactant added to improve coatability or developability of the photosensitive resin composition. The surfactant may be, for example, a silicon-based compound or a fluorine-based compound. The silicon-based compound may be, for example, polydimethylsiloxane, and the fluorine-based compound may be, for example, BM-1000, BM-1100 (BM Chemie Co.), Proride FC-135 / FC-170C / FC-430 (Sumitomo 3M Co., Ltd.), SH-28PA/-190/SZ-6032 (Tore Silicon Co., Ltd.), and the like.

상기 실란커플링제는 예를 들어, 감광성 수지 조성물과 하부 기판과의 접착력 향상을 위해 필요할 수 있다. 상기 실란커플링제는 예를 들어, (3-글리시드옥시프로필)트리메톡시실레인, (3-글리시드옥시프로필)트리에톡시실레인, (3-글리시드옥시프로필)메틸디메톡시실레인, (3-글리시드옥시프로필)메틸디에톡시실레인, (3-글리시드옥시프로필)디메틸에톡시실레인, 3,4-에폭시부틸트리메톡시실레인, 3,4-에폭시부틸트리에톡시실레인, 2-(3,4-에폭시시크로헥실)에틸트리메톡시실레인, 2-(3,4-에폭시시크로헥실)에틸트리에톡시실레인, 아미노프로필트리메톡시실레인, 아미노프로필트리에톡시실레인, 3-트리에톡시실리-N-(1,3 디메틸-부틸리덴)프로필아민, N-2(아미노에틸)3-아미노프로필트리메톡시실레인, N-2(아미노에틸)3-아미노프로필트리에톡시실레인, N-2(아미노에틸)3-아미노프로필메틸디메톡시실레인, N-페닐-3-아미노프로필트리메톡시실레인 및 (3-이소시아네이트프로필)트리에톡시실레인으로 이루어진 군에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물일 수 있다. The silane coupling agent may be needed to improve adhesion between the photosensitive resin composition and a lower substrate, for example. The silane coupling agent, for example, (3-glycidoxypropyl)trimethoxysilane, (3-glycidoxypropyl)triethoxysilane, (3-glycidoxypropyl)methyldimethoxysilane , (3-glycidoxypropyl)methyldiethoxysilane, (3-glycidoxypropyl)dimethylethoxysilane, 3,4-epoxybutyltrimethoxysilane, 3,4-epoxybutyltriethoxy Silane, 2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilane, 2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltriethoxysilane, aminopropyltrimethoxysilane, amino Propyltriethoxysilane, 3-triethoxysilyl-N-(1,3 dimethyl-butylidene)propylamine, N-2(aminoethyl)3-aminopropyltrimethoxysilane, N-2( aminoethyl)3-aminopropyltriethoxysilane, N-2(aminoethyl)3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane and (3-isocyanatepropyl) It may be one or a mixture of two or more selected from the group consisting of triethoxysilane.

본 발명에 따른 감광성 수지 조성물은 저온 경화 공정에서 잔류 용매를 최소화하고 내화학성을 확보하기 위해 용매를 더 포함할 수 있다. 구체적으로 상기 용매의 끓는점은 150℃ 미만일 수 있고, 더욱 구체적으로 60 내지 150 ℃ 미만일 수 있다.The photosensitive resin composition according to the present invention may further include a solvent to minimize residual solvent in a low-temperature curing process and to secure chemical resistance. Specifically, the boiling point of the solvent may be less than 150 ℃, more specifically, from 60 to less than 150 ℃.

상기 용매는 예를 들어, 에스테르계 용매, 에테르계 용매, 알코올류 용매 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나일 수 있다.The solvent may be, for example, any one selected from the group consisting of ester-based solvents, ether-based solvents, alcohol solvents, and mixtures thereof.

상기 에스테르계 용매는 예를 들어, 메틸-2-하이드록시이소부티레이트(methyl-2-hydroxyisobutyrate), 에틸렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트(ethylene glycol monomethyl ether acetate), 2-메톡시-1-메틸에틸에스테르(2-methoxy-1-methylethyl ester), 프로필렌 아세테이트(propylene acetate), 에틸프로피오네이트(ethyl propionate) 및 에틸피루베이트(ethyl pyruvate)로 이루어진 군에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물일 수 있다.The ester-based solvent is, for example, methyl-2-hydroxyisobutyrate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, 2-methoxy-1-methylethyl ester ( 2-methoxy-1-methylethyl ester), propylene acetate, ethyl propionate, and ethyl pyruvate. It may be one or a mixture of two or more selected from the group consisting of.

상기 에테르계 용매는 예를 들어, 1-메톡시-2-프로판올(1-methoxy-2-propanol), 디부틸에테르(dibutyl ether), 에틸렌글리콜(ethylene glycol) 모노메틸에테르(monomethyl ether), 에틸렌글리콜디메틸에테르(ethylene glycol dimethyl ether), 프로필렌글리콜 디메틸에테르(propylene glycol dimethyl ether) 및 테트라하이드로퓨란(tetrahydrofuran)로 이루어진 군에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물일 수 있다.The ether-based solvent is, for example, 1-methoxy-2-propanol, dibutyl ether, ethylene glycol, monomethyl ether, ethylene It may be one or a mixture of two or more selected from the group consisting of ethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol dimethyl ether, and tetrahydrofuran.

상기 알코올류 용매는 예를 들어, 메탄올, 에탄올 및 이소프로필알코올로 이루어진 군에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물일 수 있다.The alcohol solvent may be, for example, one or a mixture of two or more selected from the group consisting of methanol, ethanol, and isopropyl alcohol.

본 발명에 따른 용매는 상기 감광성 수지 조성물의 전체 고형분의 함량이 10 내지 50 중량%가 되도록 첨가될 수 있다. 상기 용매의 함량이 상기 수치 범위 내를 만족해야 상기 감광성 수지 조성물로 얇은 박막을 효과적으로 형성할 수 있다.The solvent according to the present invention may be added so that the total solid content of the photosensitive resin composition is 10 to 50% by weight. A thin film can be effectively formed from the photosensitive resin composition only when the content of the solvent is within the above numerical range.

2. 표시장치2. Display device

본 발명의 다른 실시예는 상기 감광성 수지 조성물로 제조된 경화막을 포함하는 표시장치를 제공한다. 상기 감광성 수지 조성물을 이용하면, 150℃ 이하의 저온에서 경화가 가능하고 순테이퍼의 블랙매트릭스 패턴을 형성할 수 있다. 즉, 상기 경화막은 블랙안료를 포함하는 순테이퍼 형상의 블랙매트릭스일 수 있다.Another embodiment of the present invention provides a display device including a cured film made of the photosensitive resin composition. When the photosensitive resin composition is used, curing is possible at a low temperature of 150° C. or less, and a forward tapered black matrix pattern can be formed. That is, the cured film may be a forward tapered black matrix containing a black pigment.

본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치는 상기 감광성 수지 조성물을 이용하여 패턴이 형성된 장치일 수 있고, 구체적으로 유연성이 있는 플렉시블 디스플레이(flexible display) 장치일 수 있다.A display device according to an embodiment of the present invention may be a device on which a pattern is formed using the photosensitive resin composition, and may be a flexible display device having flexibility.

본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치는 기판 상에 패터닝된 상기 감광성 수지 조성물로 제조된 경화막을 포함할 수 있다. 상기 기판은 예를 들어, 플렉시블 디스플레이 장치에 통상적으로 사용되는 기판으로, 유리 기판 또는 플라스틱 재질로 이루어진 기판일 수 있다. A display device according to another embodiment of the present invention may include a cured film made of the photosensitive resin composition patterned on a substrate. The substrate is, for example, a substrate commonly used in a flexible display device, and may be a glass substrate or a substrate made of a plastic material.

3. 패턴 형성 방법3. Pattern formation method

본 발명의 또 다른 실시예는 (S1) 기판 상에 상기 감광성 수지 조성물을 도포하여 도포막을 형성하는 단계, (S2) 상기 도포막을 위치선택적으로 노광한 후, 현상액으로 비노광된 도포막을 제거하는 단계 및 (S3) 상기 노광된 도포막을 경화하는 단계를 포함하는 패턴 형성 방법을 제공한다.Another embodiment of the present invention is (S1) forming a coating film by applying the photosensitive resin composition on a substrate, (S2) positionally exposing the coating film to light, and then removing the unexposed coating film with a developer. and (S3) curing the exposed coating film.

상기 (S3) 단계는, 80 내지 150℃에서 수행되는 단계일 수 있고, 구체적으로 80 내지 100℃에서 수행되는 단계일 수 있다. The step (S3) may be a step performed at 80 to 150 ° C, and specifically may be a step performed at 80 to 100 ° C.

일반적으로 감광성 수지 조성물은 150 내지 300℃ 조건의 후경화 공정을 거쳐야 안정한 경화막을 얻을 수 있는 것으로 알려져 있다. 하지만 100 내지 130℃ 내외의 낮은 내열 성능을 갖는 플렉시블 소재를 기반으로 하는 디바이스에 150℃ 이상의 경화 단계를 적용하기는 어려운 문제점이 있었다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 감광성 수지 조성물을 이용함으로써, 저온에서도 패턴 형성 시, 순테이퍼를 형성하고 고경도, 기판과의 우수한 접착력, 고평탄 특성을 갖는 패턴 방법을 구현할 수 있다.In general, it is known that a stable cured film can be obtained only when the photosensitive resin composition undergoes a post-curing process under conditions of 150 to 300°C. However, there is a problem in that it is difficult to apply a curing step of 150 ° C or higher to a device based on a flexible material having low heat resistance performance around 100 to 130 ° C. According to one embodiment of the present invention, by using the photosensitive resin composition, it is possible to implement a patterning method having a forward taper, high hardness, excellent adhesion to a substrate, and high smoothness when forming a pattern even at a low temperature.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명하나, 이는 하나의 예시에 불과할 뿐, 본 발명의 권리범위가 다음 내용에 의해 제한되지 아니한다. Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily practice it, but this is only one example, and the scope of the present invention is Not limited.

[합성예 1: 알칼리 가용성 수지의 합성][Synthesis Example 1: Synthesis of alkali-soluble resin]

냉각기와 교반기가 구비된 플라스크에 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트 400 중량부, 메타크릴산(동종중합체의 유리전이온도 228℃) 70 중량부와 스티렌 10 중량부, N-페닐말레이미드 10 중량부 및 벤질메타크릴레이트 10 중량부를 첨가하여 이들이 혼합된 혼합 용액을 제조하였다. 상기 교반기로 상기 혼합물을 상기 플라스크에서 90 rpm으로 충분히 교반한 뒤, 중합개시제로 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 15 중량부를 첨가하여 중합 혼합용액을 제조하였다. 상기 중합 혼합용액을 60℃까지 천천히 승온한 후, 60℃로 16시간 동안 유지하였다. 이후, 유지된 중합 혼합용액을 상온으로 냉각하고, 중합금지제인 하이드로벤조페논 0.05 중량부를 첨가하여 중합체 용액의 전체 중량을 기준으로 고형분의 함량이 30 중량%인, 중합체 용액을 수득하였다. In a flask equipped with a cooler and a stirrer, 400 parts by weight of propylene glycol methyl ether acetate, 70 parts by weight of methacrylic acid (a homopolymer with a glass transition temperature of 228 ° C), 10 parts by weight of styrene, 10 parts by weight of N-phenylmaleimide and benzyl meth 10 parts by weight of acrylate was added to prepare a mixed solution in which they were mixed. After sufficiently stirring the mixture in the flask at 90 rpm with the stirrer, 15 parts by weight of 2,2'-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) as a polymerization initiator was added to prepare a polymerization mixture solution. After slowly raising the temperature of the polymerization mixture solution to 60 ° C, it was maintained at 60 ° C for 16 hours. Thereafter, the maintained polymerization mixture solution was cooled to room temperature, and 0.05 parts by weight of hydrobenzophenone as a polymerization inhibitor was added to obtain a polymer solution having a solid content of 30% by weight based on the total weight of the polymer solution.

겔 투과 크로마토그래피(Gel Permeation Chromatography; GPC)법으로 측정한 결과, 수득된 알칼리 가용성 수지의 표준 폴리스티렌 환산 중량평균분자량은 10,000g/mol이다.As a result of gel permeation chromatography (GPC) measurement, the weight average molecular weight of the obtained alkali-soluble resin in terms of standard polystyrene was 10,000 g/mol.

[합성예 2: 알칼리 가용성 수지의 합성][Synthesis Example 2: Synthesis of alkali-soluble resin]

합성예 1과 동일한 방법으로 알칼리 가용성 수지를 합성하되, 상기 합성예 1에 따른 혼합 용액 대신, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트 400 중량부, 아크릴산 70 중량부와 스티렌 4 중량부, N-페닐말레이미드 4 중량부 및 벤질메타크릴레이트 22 중량부가 혼합된 혼합 용액을 사용하였다.An alkali-soluble resin was synthesized in the same manner as in Synthesis Example 1, but instead of the mixed solution according to Synthesis Example 1, 400 parts by weight of propylene glycol methyl ether acetate, 70 parts by weight of acrylic acid and 4 parts by weight of styrene, 4 parts by weight of N-phenylmaleimide A mixed solution in which 22 parts by weight of part and benzyl methacrylate were mixed was used.

<제조예: 감광성 수지 조성물의 제조><Production Example: Preparation of photosensitive resin composition>

하기 실시예 및 비교예에 따른 감광성 수지 조성물을 제조하였고, 그 배합비를 하기 표 1 및 2에서 정리하였다. 각 구성의 함량은 알칼리 가용성 수지 100 중량부를 기준으로 설정되었다.Photosensitive resin compositions according to Examples and Comparative Examples were prepared, and the mixing ratios were summarized in Tables 1 and 2 below. The content of each component was set based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin.

<실시예 1 ><Example 1>

상기 합성예 2에서 합성한 알칼리 가용성 수지 100 중량부, 라디칼 광개시제(2-(O-벤조일옥심)-1-[4-(페닐티오)페닐]-1,2-옥탄디온) 10 중량부, 이온 광개시제(디-4-브롬페닐요오드늄육불화인) 5 중량부, 10개의 관능기를 함유하는 폴리우레탄아크릴레이트올리고머 10 중량부, 다관능성 모노머(디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트) 20 중량부, 실란 커플링제((3-글리시드옥시프로필)메틸디에톡시실레인) 5 중량부, 블랙안료(카본블랙) 80 중량부, 가소제(모노이소부티레이트; KH Neochem Co., Ltd. 사의 KYOWANOL M) 10 중량부 및 에폭시계 첨가제(3,4-에폭시사이클로헥실메틸 3,4-에폭시사이클로헥산-카르복실레이트) 5 중량부를 혼합하였다. 상기 혼합물에 감광성 수지 조성물의 전체 중량을 기준으로 고형분의 농도가 20 중량%가 되도록 용매(프로필렌 글리콜 메틸에테르 아세테이트)를 용해시킨 결과물을, 0.2 ㎛의 밀리포어 필터로 여과하여 최종적으로 감광성 수지 조성물을 제조하였다.100 parts by weight of the alkali-soluble resin synthesized in Synthesis Example 2, 10 parts by weight of a radical photoinitiator (2-(O-benzoyloxime)-1-[4-(phenylthio)phenyl]-1,2-octanedione), ion Photoinitiator (di-4-bromophenyliodonium hexafluoride) 5 parts by weight, polyurethane acrylate oligomer containing 10 functional groups 10 parts by weight, multifunctional monomer (dipentaerythritol hexaacrylate) 20 parts by weight, silane coupling agent ((3-glycidoxypropyl)methyldiethoxysilane) 5 parts by weight, black pigment (carbon black) 80 parts by weight, plasticizer (monoisobutyrate; KYOWANOL M from KH Neochem Co., Ltd.) 10 parts by weight, and 5 parts by weight of an epoxy additive (3,4-epoxycyclohexylmethyl 3,4-epoxycyclohexane-carboxylate) was mixed. The solution obtained by dissolving the solvent (propylene glycol methyl ether acetate) in the mixture so that the concentration of the solid content is 20% by weight based on the total weight of the photosensitive resin composition is filtered through a 0.2 μm Millipore filter to finally obtain the photosensitive resin composition manufactured.

<실시예 2: 실시예 1과 달리 합성예 1에 따른 알칼리 가용성 수지 사용><Example 2: Unlike Example 1, using an alkali-soluble resin according to Synthesis Example 1>

실시예 1과 동일한 방법으로 감광성 수지 조성물을 제조하되, 상기 합성예 2에 따른 알칼리 가용성 수지 대신, 상기 합성예 1에 따른 알칼리 가용성 수지를 사용하였다.A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, but the alkali-soluble resin according to Synthesis Example 1 was used instead of the alkali-soluble resin according to Synthesis Example 2.

<실시예 3 내지 5: 이온 광개시제의 함량만을 달리한 경우><Examples 3 to 5: When only the content of the ionic photoinitiator is changed>

실시예 1과 동일한 방법으로 감광성 수지 조성물을 제조하되, 상기 이온 광개시제(디-4-브롬페닐요오드늄육불화인)의 함량인 5 중량부를, 7 중량부(실시예 3), 9 중량부(실시예 4) 및 2 중량부(실시예 5)로 각각 변경하였다. A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, but 5 parts by weight, 7 parts by weight (Example 3), and 9 parts by weight of the ion photoinitiator (di-4-bromophenyliodonium hexafluoride) Example 4) and 2 parts by weight (Example 5), respectively.

<실시예 6 내지 8: 가소제의 함량만을 달리한 경우><Examples 6 to 8: When only the content of plasticizer is changed>

실시예 1과 동일한 방법으로 감광성 수지 조성물을 제조하되, 상기 가소제(모노이소부티레이트)의 함량인 10 중량부를, 2 중량부(실시예 6), 5 중량부(실시예 7) 및 10 중량부(실시예 8)로 각각 변경하였다.A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, but the content of the plasticizer (monoisobutyrate) was 10 parts by weight, 2 parts by weight (Example 6), 5 parts by weight (Example 7) and 10 parts by weight ( Example 8) were respectively changed.

<실시예 9 내지 11: 에폭시계 첨가제의 함량을 달리한 경우><Examples 9 to 11: When the content of the epoxy-based additive is changed>

실시예 1과 동일한 방법으로 감광성 수지 조성물을 제조하되, 상기 에폭시 계 첨가제(3,4-에폭시사이클로헥실메틸 3,4-에폭시사이클로헥산-카르복실레이트)의 함량인 5 중량부를, 1 중량부(실시예 9), 2 중량부(실시예 10) 및 6 중량부(실시예 11)로 각각 변경하였다.A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, but 5 parts by weight, which is the content of the epoxy-based additive (3,4-epoxycyclohexylmethyl 3,4-epoxycyclohexane-carboxylate), 1 part by weight ( Example 9), 2 parts by weight (Example 10) and 6 parts by weight (Example 11), respectively.

<실시예 12: 가소제:에폭시계 첨가제의 중량비가 10:5인 경우><Example 12: When the weight ratio of plasticizer:epoxy-based additive is 10:5>

실시예 1과 동일한 방법으로 감광성 수지 조성물을 제조하되, 상기 가소제(모노이소부티레이트)의 함량인 10 중량부를, 30 중량부로 변경하였고, 상기 에폭시계 첨가제(3,4-에폭시사이클로헥실메틸 3,4-에폭시사이클로헥산-카르복실레이트)의 함량인 5 중량부를, 15 중량부로 변경하였다.A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, but the content of the plasticizer (monoisobutyrate) was changed from 10 parts by weight to 30 parts by weight, and the epoxy additive (3,4-epoxycyclohexylmethyl 3,4 -Epoxycyclohexane-carboxylate) content of 5 parts by weight was changed to 15 parts by weight.

<실시예 13: 가소제:에폭시계 첨가제의 중량비가 10:14인 경우 ><Example 13: When the weight ratio of plasticizer:epoxy-based additive is 10:14>

실시예 1과 동일한 방법으로 감광성 수지 조성물을 제조하되, 상기 가소제(모노이소부티레이트)의 함량인 10 중량부를, 8.4 중량부로 변경하였고, 상기 에폭시계 첨가제(3,4-에폭시사이클로헥실메틸 3,4-에폭시사이클로헥산-카르복실레이트)의 함량인 5 중량부를, 12 중량부로 변경하였다.A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, but the content of the plasticizer (monoisobutyrate), 10 parts by weight, was changed to 8.4 parts by weight, and the epoxy additive (3,4-epoxycyclohexylmethyl 3,4 -Epoxycyclohexane-carboxylate) content of 5 parts by weight was changed to 12 parts by weight.

<실시예 14: 가소제:에폭시계 첨가제의 중량비가 10:5.7인 경우 > <Example 14: When the weight ratio of plasticizer:epoxy-based additive is 10:5.7 >

실시예 1과 동일한 방법으로 감광성 수지 조성물을 제조하되, 상기 가소제(모노이소부티레이트)의 함량인 10 중량부를, 21 중량부로 변경하였고, 상기 에폭시계 첨가제(3,4-에폭시사이클로헥실메틸 3,4-에폭시사이클로헥산-카르복실레이트)의 함량인 5 중량부를, 12 중량부로 변경하였다.A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, but the content of the plasticizer (monoisobutyrate) was changed from 10 parts by weight to 21 parts by weight, and the epoxy additive (3,4-epoxycyclohexylmethyl 3,4 -Epoxycyclohexane-carboxylate) content of 5 parts by weight was changed to 12 parts by weight.

<실시예 15 내지 17: 실시예 12와 달리 에폭시계 첨가제의 함량을 달리한 경우><Examples 15 to 17: Unlike Example 12, when the content of the epoxy-based additive is changed>

실시예 12와 동일한 방법으로 감광성 수지 조성물을 제조하되, 상기 에폭시계 첨가제(3,4-에폭시사이클로헥실메틸 3,4-에폭시사이클로헥산-카르복실레이트)의 함량인 15 중량부를 3 중량부(실시예 15), 6 중량부(실시예 16) 및 12 중량부(실시예 17)로 각각 변경하였다.A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 12, but 15 parts by weight of the epoxy additive (3,4-epoxycyclohexylmethyl 3,4-epoxycyclohexane-carboxylate) was 3 parts by weight Example 15), 6 parts by weight (Example 16) and 12 parts by weight (Example 17), respectively.

<실시예 18 내지 20: 실시예 1과 달리 이온광개시제의 함량이 다른 경우 ><Examples 18 to 20: Unlike Example 1, the content of the ion photoinitiator is different>

실시예 1과 동일한 방법으로 감광성 수지 조성물을 제조하되, 상기 이온 광개시제(디-4-브롬페닐요오드늄육불화인)의 함량인 5 중량부를, 0 중량부(실시예 18), 1 중량부(실시예 19) 및 10 중량부(실시예 20)로 각각 변경하였다.A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, but 5 parts by weight of the ion photoinitiator (di-4-bromophenyliodonium hexafluoride), 0 parts by weight (Example 18), and 1 part by weight (Example 18). Example 19) and 10 parts by weight (Example 20), respectively.

<실시예 21 및 22: 실시예 1과 달리 에폭시계 첨가제의 함량을 달리한 경우><Examples 21 and 22: Unlike Example 1, when the content of the epoxy-based additive is changed>

실시에 1과 동일한 방법으로 감광성 수지 조성물을 제조하되, 상기 에폭시계 첨가제의 함량인 5 중량부를, 0.9 중량부(실시예 21) 및 7 중량부(실시예 22)로 각각 변경하였다.A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, but the content of the epoxy-based additive, 5 parts by weight, was changed to 0.9 parts by weight (Example 21) and 7 parts by weight (Example 22), respectively.

<비교예 1: 에폭시계 첨가제와 가소제를 모두 사용하지 않는 경우><Comparative Example 1: In the case of not using both an epoxy-based additive and a plasticizer>

실시예 1과 동일한 방법으로 감광성 수지 조성물을 제조하되, 에폭시계 첨가제 및 가소제를 모두 제거하였다.A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, but all epoxy-based additives and plasticizers were removed.

<비교예 2: 비교예 1과 달리, 에폭시계 첨가제를 첨가한 경우 ><Comparative Example 2: Unlike Comparative Example 1, when an epoxy-based additive is added>

비교예 1과 동일한 방법으로 감광성 수지 조성물을 제조하되, 에폭시계 첨가제(3,4-에폭시사이클로헥실메틸 3,4-에폭시사이클로헥산-카르복실레이트) 5 중량부를 추가적으로 첨가하였다.A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Comparative Example 1, but 5 parts by weight of an epoxy-based additive (3,4-epoxycyclohexylmethyl 3,4-epoxycyclohexane-carboxylate) was additionally added.

<비교예 3: 비교예 2와 달리 가소제를 첨가한 경우><Comparative Example 3: Unlike Comparative Example 2, when a plasticizer is added>

비교예 2와 동일한 방법으로 감광성 수지 조성물을 제조하되, 가소제(모노이소부티레이트) 1 중량부를 추가적으로 첨가하였다.A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Comparative Example 2, but 1 part by weight of a plasticizer (monoisobutyrate) was additionally added.

<비교예 4: 비교예 1과 달리, 이온 광개시제가 제거된 경우><Comparative Example 4: Unlike Comparative Example 1, when the ionic photoinitiator is removed>

비교예 1과 동일한 방법으로 감광성 수지 조성물을 제조하되, 이온 광개시제를 사용하지 않았다.A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Comparative Example 1, but an ion photoinitiator was not used.

<비교예 5: 실시예 1과 달리 에폭시계 첨가제가 과량으로 첨가된 경우><Comparative Example 5: Unlike Example 1, when an excessive amount of epoxy-based additive is added>

실시예 1과 동일한 방법으로 감광성 수지 조성물을 제조하되, 상기 에폭시계 첨가제의 함량인 5 중량부를 26 중량부로 변경하였다.A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, but 5 parts by weight of the epoxy-based additive was changed to 26 parts by weight.

<비교예 6: 실시예 1과 달리 가소제의 함량을 달리한 경우><Comparative Example 6: Unlike Example 1, when the content of the plasticizer is changed>

실시예 1과 동일한 방법으로 감광성 수지 조성물을 제조하되, 상기 가소제(모노이소부티레이트)의 함량인 10 중량부를 31 중량부로 변경하였다.A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, but 10 parts by weight of the plasticizer (monoisobutyrate) was changed to 31 parts by weight.

<비교예 7: 실시예 1과 달리 가소제 및 에폭시계 첨가제의 함량을 달리한 경우 ><Comparative Example 7: Unlike Example 1, when the contents of the plasticizer and the epoxy-based additive are changed>

실시예 1과 동일한 방법으로 감광성 수지 조성물을 제조하되, 상기 가소제(모노이소부티레이트)의 함량인 10 중량부를 13.2 중량부로, 상기 에폭시계 첨가제의 함량인 5 중량부를 16 중량부로 변경하였다.A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, but 10 parts by weight of the plasticizer (monoisobutyrate) was changed to 13.2 parts by weight, and 5 parts by weight of the epoxy additive was changed to 16 parts by weight.

<비교예 8: 실시예 1과 달리 에폭시계 첨가제를 사용하지 않는 경우><Comparative Example 8: Unlike Example 1, when no epoxy additive is used>

실시예 1과 동일한 방법으로 감광성 수지 조성물을 제조하되, 상기 에폭시계 첨가제를 제거하였다.A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, but the epoxy-based additive was removed.

단위: 중량부Unit: parts by weight 바인더1)
(합성예)
Binder 1)
(synthesis example)
RI2) RI 2) II3) II 3) 10MM4) 10MM 4) MM5) MM 5) 안료6) pigment 6)
커플링제7)

Coupling agent 7)
가소제(P)8)
Plasticizer (P) 8)
에폭시계 첨가제(E)9)
Epoxy additives (E) 9)
P:E(w/w)P:E (w/w)
실시예 1Example 1 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 1010 55 10:510:5 실시예 2Example 2 100(1)100(1) 1010 55 1010 2020 8080 55 1010 55 10:510:5 실시예 3Example 3 100(2)100(2) 1010 77 1010 2020 8080 55 1010 55 10:510:5 실시예 4Example 4 100(2)100(2) 1010 99 1010 2020 8080 55 1010 55 10:510:5 실시예 5Example 5 100(2)100(2) 1010 22 1010 2020 8080 55 1010 55 10:510:5 실시예 6Example 6 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 22 55 10:2510:25 실시예 7Example 7 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 55 55 10:1010:10 실시예 8Example 8 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 1010 55 10:510:5 실시예 9Example 9 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 1010 1One 10:110:1 실시예 10Example 10 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 1010 22 10:210:2 실시예 11Example 11 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 1010 66 10:610:6 실시예12Example 12 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 3030 1515 10:510:5 실시예13Example 13 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 8.48.4 1212 10:1410:14 실시예14Example 14 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 2121 1212 10:5.710:5.7 실시예15Example 15 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 3030 33 10:110:1 실시예16Example 16 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 3030 66 10:210:2 실시예17Example 17 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 3030 1212 10:410:4 1) 바인더: 알칼리 가용성 수지(합성예 1 또는 2)
2) RI: 라디칼 광개시제(2-(O-벤조일옥심)-1-[4-(페닐티오)페닐]-1,2-옥탄디온)
3) II: 이온 광개시제(디-4-브롬페닐요오드늄육불화인)
4)10MM: 10개의 관능기를 함유하는 폴리우레탄아크릴레이트올리고머
5) MM: 다관능성 모노머(디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트)
6) 안료: 카본블랙
7) 커플링제: (3-글리시드옥시프로필)메틸디에톡시실레인
8) 가소제: 모노이소부티레이트
9) 에폭시계 첨가제: 3,4-에폭시사이클로헥실메틸 3,4-에폭시사이클로헥산-카르복실레이트
상기 1)~9)는 하기 표 2에서 동일하다.
1) Binder: Alkali-soluble resin (Synthesis Example 1 or 2)
2) RI: radical photoinitiator (2-(O-benzoyloxime)-1-[4-(phenylthio)phenyl]-1,2-octanedione)
3) II: ionic photoinitiator (di-4-bromophenyliodonium hexafluoride)
4) 10MM: polyurethane acrylate oligomer containing 10 functional groups
5) MM: multifunctional monomer (dipentaerythritol hexaacrylate)
6) Pigment: carbon black
7) Coupling agent: (3-glycidoxypropyl)methyldiethoxysilane
8) Plasticizer: monoisobutyrate
9) Epoxy additive: 3,4-epoxycyclohexylmethyl 3,4-epoxycyclohexane-carboxylate
The above 1) to 9) are the same in Table 2 below.

단위: 중량부Unit: parts by weight 바인더
(합성예)
bookbinder
(synthesis example)
RIRI IIII 10MM10MM MMMM 안료pigment
커플링제

coupling agent
가소제(P)
Plasticizer (P)
에폭시계 첨가제(E)
Epoxy additive (E)
P:E
(w/w)
P:E
(w/w)
실시예 18Example 18 100(2)100(2) 1010 00 1010 2020 8080 55 1010 55 10:510:5 실시예 19Example 19 100(2)100(2) 1010 1One 1010 2020 8080 55 1010 55 10:510:5 실시예 20Example 20 100(2)100(2) 1010 1010 1010 2020 8080 55 1010 55 10:510:5 실시예 21Example 21 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 1010 0.90.9 10:0.910:0.9 실시예 22Example 22 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 1010 77 10:710:7

단위: 중량부Unit: parts by weight 바인더
(합성예)
bookbinder
(synthesis example)
RIRI IIII 10MM10MM MMMM 안료pigment
커플링제

coupling agent
가소제(P)
Plasticizer (P)
에폭시계 첨가제(E)
Epoxy additive (E)
P:E
(w/w)
P:E
(w/w)
비교예 1Comparative Example 1 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 00 00 0:00:0 비교예 2Comparative Example 2 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 00 55 0:10:1 비교예 3Comparative Example 3 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 1One 55 10:5010:50 비교예 4Comparative Example 4 100(2)100(2) 1010 00 1010 2020 8080 55 00 00 0:00:0 비교예 5Comparative Example 5 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 1010 2626 10:2610:26 비교예 6Comparative Example 6 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 3131 55 1:0.11:0.1 비교예 7Comparative Example 7 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 13.213.2 1616 10:1210:12 비교예 8Comparative Example 8 100(2)100(2) 1010 55 1010 2020 8080 55 1010 00 1:01:0

[실험예: 감광성 수지 조성물로 제조된 경화막 평가][Experimental Example: Evaluation of Cured Film Made of Photosensitive Resin Composition]

Bare 글래스(glass) 기판 상에 슬릿 코터를 사용하여 상기 제조예에 따른 감광성 수지 조성물을 도포한 뒤, 85℃로 2분 동안 핫 플레이트 상에서 프리베이크하여 2.0㎛ 두께의 막을 형성하였다. 상기 얻어진 막에 소정 패턴 마스크(pattern mask)를 사용하여 365nm에서의 강도가 100mW/cm2인 자외선을 광대역 노광기를 이용하여 100mJ 조사하였다. 이후, 테트라메틸암모늄하이드록시드 수용액(2.38wt%)으로 23℃에서 60초 동안 현상한 후, 초순수로 60초 동안 세정하였다. 최종 경화를 위하여 오븐 속에서 85℃로 60분 동안 가열하여 패턴막을 얻었다. SEM(Scanning Electron Microscope)을 이용하여 10㎛ 라인 및 스페이스(Line & Space)를 분석하였다After applying the photosensitive resin composition according to Preparation Example on a bare glass substrate using a slit coater, prebaking was performed on a hot plate at 85° C. for 2 minutes to form a film having a thickness of 2.0 μm. The obtained film was irradiated with 100 mJ of ultraviolet light having an intensity of 100 mW/cm 2 at 365 nm using a broadband exposure device using a predetermined pattern mask. Then, after developing for 60 seconds at 23 ℃ with tetramethylammonium hydroxide aqueous solution (2.38wt%), washed for 60 seconds with ultrapure water. For final curing, a patterned film was obtained by heating in an oven at 85° C. for 60 minutes. 10 μm lines and spaces were analyzed using a scanning electron microscope (SEM).

1) 순테이퍼1) Forward taper

하부 임계 치수(Critical Dimension; CD) 크기의 언더-컷(under-cut)이 없으면 O, 양측 합산 언더-컷(under-cut)의 길이가 0.1~0.9㎛ 이면 △, 1.0㎛ 이상이면 X로 표시하였다. 언더-컷(under-cut)이 0인 경우 테이퍼 각도(Taper angle)가 80°초과 90°이하면 'O'; 80°이하면 '◎'로 표기하였다.Mark O if there is no under-cut of the lower critical dimension (CD) size, △ if the length of the combined under-cut on both sides is 0.1 to 0.9㎛, and X if it is 1.0㎛ or more did If the under-cut is 0, 'O' if the taper angle exceeds 80° and is less than 90°; If it is 80° or less, it is marked with '◎'.

2) 경도2) Hardness

측정조건(F=200 uN, 로딩/언로딩 시간=5초, 크립 시간=2초, 3회) 하에 상기 라인(Line)을 나노인덴터(Nano Indenter; HM200)를 이용하여 측정하였다. 소성 경도가 350 N/mm2 이상이면 O 특히 370 N/mm2 이상이면 ◎, 320 내지 350 미만 N/mm2 이면 △, 319 N/mm2 이하이면 X로 표시하였다.Under the measurement conditions (F = 200 uN, loading / unloading time = 5 seconds, creep time = 2 seconds, 3 times), the line was measured using a nano indenter (HM200). When the firing hardness was 350 N/mm 2 or more, O was indicated as ◎, especially when it was 370 N/mm 2 or more, 320 to less than 350 N/mm 2 was indicated as △, and 319 N/mm 2 or less was indicated as X.

3) 평탄화3) flattening

별도로 라인 및 스페이스(Line & Space)가 20㎛로 각각 1:1인 하부 패턴막이 형성된 기판(glass) 상에 상기 제조예에 따른 감광성 수지 조성물을 스핀코팅하여 상기 경화 조건 하에, 평탄부를 제조하였다. 이후 하기 식 1에 따라 DOP(degree of planarization)를 계산하였다. 계산 값이 85% 이상이면 O 특히 88% 이상이면 ◎, 76~84% 이면 △, 75% 이하이면 X로 표시하였다.Separately, the photosensitive resin composition according to the Preparation Example was spin-coated on a substrate (glass) on which a lower pattern film having a 1:1 line and space of 20 μm was formed, and a flat part was prepared under the curing conditions. Then, the degree of planarization (DOP) was calculated according to Equation 1 below. If the calculated value was 85% or more, O was indicated as ◎, especially if it was 88% or more, △ if it was 76~84%, and X if it was 75% or less.

[식 1][Equation 1]

DOP(%)={①-(②-③)}/① X 100DOP(%)={①-(②-③)}/① X 100

(상기 식 1에서 ①=하부 패턴막의 두께이고, ②=하부 패턴막이 있는 평탄부의 최대 두께이고 ③=하부 패턴막이 없는 평탄부의 최대 두께이다.)(In Equation 1, ① = the thickness of the lower pattern film, ② = the maximum thickness of the flat part with the lower pattern film, and ③ = the maximum thickness of the flat part without the lower pattern film.)

4) 잔사4) residue

상기 라인 및 스페이스(Line & Space)에 라인(Line) 사이 스페이스(Space)부에 잔사가 0.4㎛(면적의 5%) 이하면 'O'이고, 특히 0이면 '◎', 0.5~1㎛ 미만 잔사가 있으면 '△', 1㎛ 이상 잔사가 있으면 'X'로 표시하였다.If the residue in the space part between the lines in the Line & Space is less than 0.4㎛ (5% of the area), it is 'O', and in particular, if it is 0, it is '◎', less than 0.5 to 1㎛ Residues were marked with 'Δ', and residues of 1 µm or more were marked with 'X'.

순테이퍼forward taper 경도Hardness 평탄화flattening 잔사residue 실시예 1Example 1 OO 실시예 2Example 2 OO OO OO 실시예 3Example 3 OO 실시예 4Example 4 OO 실시예 5Example 5 OO OO 실시예 6Example 6 OO OO OO 실시예 7Example 7 OO OO OO 실시예 8Example 8 OO 실시예 9Example 9 OO OO 실시예 10Example 10 OO OO 실시예 11Example 11 OO 실시예 12Example 12 OO OO OO OO 실시예 13Example 13 OO OO OO OO 실시예 14Example 14 OO OO OO OO 실시예 15Example 15 OO OO OO OO 실시예 16Example 16 OO OO OO OO 실시예 17Example 17 OO OO OO OO

순테이퍼forward taper 경도Hardness 평탄화flattening 잔사residue 실시예 18Example 18 OO OO OO 실시예 19Example 19 OO OO OO 실시예 20Example 20 OO OO OO 실시예 21Example 21 OO OO OO 실시예 22Example 22 OO

순테이퍼forward taper 경도Hardness 평탄화flattening 잔사residue 비교예 1Comparative Example 1 XX XX XX OO 비교예 2Comparative Example 2 XX OO XX OO 비교예 3Comparative Example 3 OO OO 비교예 4Comparative Example 4 XX XX XX OO 비교예 5Comparative Example 5 XX XX XX OO 비교예 6Comparative Example 6 OO XX OO OO 비교예 7Comparative Example 7 XX OO XX XX 비교예 8Comparative Example 8 XX OO

상기 표 4에서 실시예 1 및 2를 참고하면 알칼리 가용성 수지를 합성하기 위한 단량체로 메타크릴산 대신 아크릴산을 사용함으로써, 순테이퍼 및 평탄화 성능이 더욱 개선되는 것을 확인할 수 있다. Referring to Examples 1 and 2 in Table 4, it can be seen that the forward taper and planarization performance are further improved by using acrylic acid instead of methacrylic acid as a monomer for synthesizing the alkali-soluble resin.

상기 표 4에서 실시예 1과 실시예 3 내지 5를 참고하면 라디칼 광개시제와 상기 이온 광개시제의 중량비(라디칼 광개시제: 이온 광개시제)가 1:0.7 내지 1:0.9일 때 높은 경도를 갖는 최적의 경화막이 구현될 수 있고 잔사가 생기지 않음을 확인할 수 있다.Referring to Examples 1 and 3 to 5 in Table 4, when the weight ratio (radical photoinitiator: ion photoinitiator) of the radical photoinitiator and the ion photoinitiator is 1:0.7 to 1:0.9, an optimal cured film having high hardness is realized. It can be, and it can be confirmed that no residue is formed.

상기 표 4에서 실시예 6 내지 11을 참고하면, 가소제와 에폭시계 첨가제의 중량비(가소제: 에폭시계 첨가제)는, 10:1 내지 10:6일 때 순테이퍼 및 평탄화 성능이 동시에 개선될 수 있고, 높은 경도를 갖는 경화막이 구현될 수 있다.Referring to Examples 6 to 11 in Table 4, when the weight ratio of the plasticizer and the epoxy-based additive (plasticizer: epoxy-based additive) is 10: 1 to 10: 6, the forward taper and planarization performance can be simultaneously improved, A cured film having high hardness can be implemented.

상기 표 4 및 6을 참고하면, 가소제와 에폭시계 첨가제를 모두 사용하지 않는 비교예 1과 4는 경화막의 경도가 낮을 뿐만 아니라, 순테이퍼 및 평탄화 성능이 떨어지는 문제점이 있었다. 또한, 가소제와 에폭시계 첨가제 중에서 에폭시계 첨가제만을 사용하는 비교예 2는 경도가 낮은 경화막을 구현할 수 있지만 순테이퍼 및 평탄화 성능이 개선되지 못하는 문제점을 갖고 있고, 가소제만을 사용하는 비교예 8은 에폭시계 첨가제를 사용하지 않음으로써 경화막의 경도가 매우 낮아지는 문제점이 있었다. 반면에, 에폭시계 첨가제와 가소제를 모두 사용하는 실시예 1 내지 22에 따르면, 가소제와 에폭시계 첨가제를 적정 함량 사용함으로써, 높은 경도를 갖는 경화막과 높은 순테이퍼 및 평탄화 성능을 모두 구현할 수 있다.Referring to Tables 4 and 6, Comparative Examples 1 and 4 in which neither a plasticizer nor an epoxy-based additive were used had problems in that the hardness of the cured film was low and the forward taper and flattening performance were poor. In addition, Comparative Example 2 using only epoxy-based additives among plasticizers and epoxy-based additives can implement a cured film with low hardness, but has a problem in that forward taper and flattening performance are not improved. Comparative Example 8 using only plasticizers is epoxy-based There was a problem that the hardness of the cured film was very low by not using the additive. On the other hand, according to Examples 1 to 22 using both the epoxy-based additive and the plasticizer, both a cured film having high hardness and high forward taper and planarization performance can be implemented by using an appropriate amount of the plasticizer and the epoxy-based additive.

비교예 3, 5 및 6과 실시예들을 비교하면 가소제의 함량이 알칼리 가용성 수지 100 중량부를 기준으로 1 초과 30 이하 중량부일 때 순테이퍼 및 평탄화 성능이 개선됨을 확인할 수 있었고, 구체적으로 1 초과 11 미만 중량부일 때 더욱 개선됨을 확인할 수 있었다. 또한, 비교예 7, 8과 실시예들을 비교하면 알칼리 가용성 수지 100 중량부를 기준으로 에폭시계 첨가제의 함량이 0 초과 15 이하 중량부일 때, 높은 경도의 경화막과 순테이퍼 및 평탄화 성능이 개선됨을 확인할 수 있었고 구체적으로 0 초과 7 미만 중량부일 때 더욱 개선됨을 확인할 수 있다.Comparing Comparative Examples 3, 5 and 6 with Examples, it was confirmed that the net taper and flattening performance were improved when the content of the plasticizer was greater than 1 and less than 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin, specifically greater than 1 and less than 11 It was confirmed that the weight part was further improved. In addition, comparing Comparative Examples 7 and 8 with Examples, it can be confirmed that when the content of the epoxy-based additive is greater than 0 and 15 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin, the high hardness cured film and the forward taper and planarization performance are improved. It can be confirmed that it is further improved when it is specifically greater than 0 and less than 7 parts by weight.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리 범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리 범위에 속하는 것이다. Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concept of the present invention defined in the following claims are also present. It falls within the scope of the right of invention.

Claims (19)

알칼리 가용성 수지 100 중량부;
개시제 2 내지 40 중량부;
다관능성 화합물 2 내지 100 중량부;
가소제 1 초과 30 이하 중량부; 및
에폭시계 첨가제 0 초과 15 이하 중량부; 를 포함하는
감광성 수지 조성물.
Alkali-soluble resin 100 parts by weight;
2 to 40 parts by weight of an initiator;
2 to 100 parts by weight of a multifunctional compound;
More than 1 and up to 30 parts by weight of a plasticizer; and
more than 0 to 15 parts by weight of an epoxy-based additive; containing
A photosensitive resin composition.
제1항에 있어서,
상기 알칼리 가용성 수지 100 중량부를 기준으로,
상기 가소제의 함량은 1 초과 11 미만 중량부이고,
상기 에폭시계 첨가제의 함량은 0 초과 7 미만 중량부인,
감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
Based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin,
The content of the plasticizer is more than 1 and less than 11 parts by weight,
The content of the epoxy-based additive is greater than 0 and less than 7 parts by weight,
A photosensitive resin composition.
제1항에 있어서,
상기 알칼리 가용성 수지의 중량평균분자량은,
2,000 내지 20,000 g/mol인
감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin is,
2,000 to 20,000 g/mol
A photosensitive resin composition.
제1항에 있어서,
상기 알칼리 가용성 수지는,
아크릴계 화합물을 단량체로 포함하는 공중합체인,
감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The alkali-soluble resin,
A copolymer containing an acrylic compound as a monomer,
A photosensitive resin composition.
제4항에 있어서,
상기 아크릴계 화합물을 단량체로 포함하는 동종중합체(homopolymer)의 유리전이온도는, 150℃ 이하인,
감광성 수지 조성물.
According to claim 4,
The glass transition temperature of the homopolymer containing the acrylic compound as a monomer is 150 ° C or less,
A photosensitive resin composition.
제1항에 있어서,
상기 개시제는,
라디칼 광개시제, 이온 광개시제 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나인,
감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The initiator,
Any one selected from the group consisting of radical photoinitiators, ionic photoinitiators, and combinations thereof,
A photosensitive resin composition.
제6항에 있어서,
상기 라디칼 광개시제와 상기 이온 광개시제의 중량비(라디칼 광개시제: 이온 광개시제)는,
1:0.2 내지 1:0.9인,
감광성 수지 조성물.
According to claim 6,
The weight ratio of the radical photoinitiator and the ionic photoinitiator (radical photoinitiator: ionic photoinitiator) is,
1:0.2 to 1:0.9;
A photosensitive resin composition.
제1항에 있어서,
상기 다관능성 화합물은,
다관능성 올리고머, 다관능성 모노머 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나인,
감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The multifunctional compound,
Any one selected from the group consisting of multifunctional oligomers, multifunctional monomers, and mixtures thereof,
A photosensitive resin composition.
제1항에 있어서,
상기 가소제는,
프탈레이트계 화합물, 아디페이트계 화합물, 포스페이트계 화합물 및 모노이소부티레이트계 화합물로 이루어진 군에서 선택된 1종 또는 2종 이상인,
감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The plasticizer,
One or two or more selected from the group consisting of phthalate-based compounds, adipate-based compounds, phosphate-based compounds and monoisobutyrate-based compounds,
A photosensitive resin composition.
제1항에 있어서,
상기 가소제와 상기 에폭시계 첨가제의 중량비(가소제: 에폭시계 첨가제)는, 10:1 내지 10: 25인,
감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The weight ratio of the plasticizer and the epoxy-based additive (plasticizer: epoxy-based additive) is 10: 1 to 10: 25,
A photosensitive resin composition.
제1항에 있어서,
상기 에폭시계 첨가제는,
지방족고리화합물(alicyclic compound)인,
감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The epoxy-based additive,
An alicyclic compound,
A photosensitive resin composition.
제11항에 있어서,
상기 에폭시계 첨가제는,
에폭시기를 포함하는 지방족 고리 구조를 2 이상 포함하는 지방족고리화합물인,
감광성 수지 조성물.
According to claim 11,
The epoxy-based additive,
An aliphatic ring compound containing two or more aliphatic ring structures containing an epoxy group,
A photosensitive resin composition.
제12항에 있어서,
상기 에폭시계 첨가제는,
상기 지방족 고리 구조들의 연결기로서 1 이상의 에스터기를 갖는 탄소수 2 내지 70의 유기기를 더 포함하는,
감광성 수지 조성물.
According to claim 12,
The epoxy-based additive,
Further comprising an organic group having 2 to 70 carbon atoms having at least one ester group as a linking group of the aliphatic ring structures,
A photosensitive resin composition.
제11항에 있어서,
상기 에폭시계 첨가제는,
하기 화학식 1 또는 2로 표시되는 화합물인,
감광성 수지 조성물.
[화학식 1]
Figure pat00003

(상기 화학식 1에서 n은 1 내지 10의 정수이다.)
[화학식 2]
Figure pat00004

(상기 화학식 2에서 n은 1 내지 10의 정수이다.)
According to claim 11,
The epoxy-based additive,
A compound represented by Formula 1 or 2 below,
A photosensitive resin composition.
[Formula 1]
Figure pat00003

(In Formula 1, n is an integer from 1 to 10.)
[Formula 2]
Figure pat00004

(In Formula 2, n is an integer from 1 to 10.)
제1항에 있어서,
블랙안료; 를 더 포함하는
감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
black pigment; further comprising
A photosensitive resin composition.
제1항에 있어서,
첨가제; 를 더 포함하고,
상기 첨가제는,
가교제, 분산제, 실란커플링제 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나인
감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
additive; Including more,
The additive is
Any one selected from the group consisting of a crosslinking agent, a dispersing agent, a silane coupling agent, and combinations thereof
A photosensitive resin composition.
제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 따른 감광성 수지 조성물로 제조된 경화막을 포함하는 표시장치.A display device comprising a cured film made of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 16. 제17항에 있어서, 상기 경화막은 블랙안료를 포함하는 순테이퍼 형상의 블랙매트릭스인 표시장치.18. The display device of claim 17, wherein the cured film is a forward tapered black matrix containing a black pigment. (S1) 기판 상에 제1항에 따른 감광성 수지 조성물을 도포하여 도포막을 형성하는 단계;
(S2) 상기 도포막을 위치선택적으로 노광한 후, 현상액으로 비노광된 도포막을 제거하는 단계; 및
(S3) 상기 노광된 도포막을 경화하는 단계; 를 포함하고,
상기 (S3) 단계는, 80 내지 150℃에서 수행되는 단계인,
패턴 형성 방법.
(S1) forming a coating film by applying the photosensitive resin composition according to claim 1 on a substrate;
(S2) positionally selectively exposing the coated film and then removing the unexposed coated film with a developing solution; and
(S3) curing the exposed coating film; including,
The step (S3) is a step performed at 80 to 150 ° C,
How to form a pattern.
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