KR20230102634A - Gate door apparatus of vacuum chamber - Google Patents

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KR20230102634A KR1020210192913A KR20210192913A KR20230102634A KR 20230102634 A KR20230102634 A KR 20230102634A KR 1020210192913 A KR1020210192913 A KR 1020210192913A KR 20210192913 A KR20210192913 A KR 20210192913A KR 20230102634 A KR20230102634 A KR 20230102634A
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Abstract

본 발명은 진공챔버 게이트 도어장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 하나의 가이딩 홀을 통해 수직 왕복운동과 수평 왕복운동을 모두 수행할 수 있고, 진공챔버의 개구부를 개폐하는 게이트 도어를 4군데에서 고정함에 따라 안정적이고 정밀하게 진공챔버를 개폐할 수 있으며, 가이딩 홀의 끝단부에 수평 왕복운동을 유도하는 돌출부를 형성하여 게이트 도어가 진공챔버 등 구조물에 접촉하지 않으면서 수직 및 수평 왕복운동을 수행할 수 있고, 상부 양측에 실린더를 통해 게이트 도어를 구동함에 따라 안정적인 개폐동작을 수행할 수 있는 진공챔버 게이트 도어장치에 대한 것이다.The present invention relates to a vacuum chamber gate door device, and more particularly, can perform both vertical reciprocating motion and horizontal reciprocating motion through one guiding hole, and a gate door for opening and closing the opening of a vacuum chamber is provided in four places. As it is fixed, it is possible to open and close the vacuum chamber stably and precisely, and by forming a protrusion at the end of the guiding hole to induce horizontal reciprocating motion, the gate door performs vertical and horizontal reciprocating motion without contacting the structure such as the vacuum chamber. It relates to a vacuum chamber gate door device capable of performing a stable opening and closing operation as the gate door is driven through cylinders on both sides of the upper portion.

Description

진공챔버 게이트 도어장치{Gate door apparatus of vacuum chamber}Vacuum chamber gate door device {Gate door apparatus of vacuum chamber}

본 발명은 웨이퍼를 포함하는 기판을 처리하는 진공챔버의 개폐를 위한 게이트 도어장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체의 제조는 실리콘 웨이퍼를 진공 분위기가 형성된 챔버 내에서 노광, 식각, 증착, 세정 등 다양한 공정을 통해 제조되는데 본 발명은 진공챔버로 웨이퍼를 입출입하기 위해 형성된 개구부를 개폐하기 위한 게이트 도어장치에 대한 것이다. The present invention relates to a gate door device for opening and closing a vacuum chamber for processing a substrate including a wafer, and more particularly, semiconductor manufacturing involves exposure, etching, deposition, cleaning, etc. of a silicon wafer in a chamber in which a vacuum atmosphere is formed. It is manufactured through various processes. The present invention relates to a gate door device for opening and closing an opening formed to enter and exit a wafer into and out of a vacuum chamber.

최근 스마트 폰을 포함하는 모바일 기기가 대량 보급됨에 따라 반도체가 포함된 전자부품의 수요가 증가하고 있다. 반도체가 포함되는 전자부품은 실리콘 웨이퍼를 기반으로 제작된다. 반도체 제조공정은 노광, 식각, 증착 및 세정공정을 반복하여 제조된다.Recently, as mobile devices including smart phones are mass-provided, demand for electronic components including semiconductors is increasing. Electronic components including semiconductors are manufactured based on silicon wafers. The semiconductor manufacturing process is manufactured by repeating exposure, etching, deposition and cleaning processes.

일반적으로 이러한 반도체의 제조공정은 진공분위기가 형성된 챔버 내에서 이루어지게 되는데 노광, 식각, 증착 등 해당 공정을 수행하는 장비로 캐리어 등의 운반수단을 통해 웨이퍼가 운반되고 웨이퍼가 공정을 수행할 장비 내로 이송되어 안착된 후 공정의 수행 전에 일정한 정도의 진공을 형성한다. 이를 위해서는 웨이퍼가 입출입하기 위해 진공챔버의 일측면에 개구부가 형성되고 웨이퍼의 입출입 시 개구부를 열거나 닫는 구성이 필요한데 고진공이 형성되므로 정밀한 밀폐가 이루어져야 하므로 기구적인 내구도 뿐만 아니라 수직 및 수평 왕복운동이 필요하다.In general, the manufacturing process of these semiconductors is performed in a chamber in which a vacuum atmosphere is formed. The wafer is transported through a carrier such as a carrier with equipment that performs the corresponding process such as exposure, etching, and deposition, and the wafer is moved into the equipment to perform the process. After being transported and seated, a certain degree of vacuum is formed before the process is performed. To this end, an opening is formed on one side of the vacuum chamber for wafer entry and exit, and a configuration is required to open or close the opening when the wafer moves in and out. Since a high vacuum is formed, precise sealing must be achieved, requiring vertical and horizontal reciprocating motion as well as mechanical durability. do.

종래에는 등록특허 10-0338164호에 개시된 것과 같이 가이드 홈(12)에 피벗(11)이 수직으로 왕복하고 경사진 긴 구멍(17)에 로울러(16)를 결합시켜 밸브 데스크(3)가 밸브 시트(2)를 눌러 밀폐하는 구조이나 수직 왕복운동을 유도하는 가이드 홈(12)과 수평 왕복운동을 유도하는 경사진 긴 구멍(17)이 나뉘어 있어 진공챔버의 개폐 동작이 효율적이지 못하고 특히 밸브 데스크(3)에 조립된 오링이 말리는 현상이 일어나 오링의 교체 주기가 빨라지고 진공챔버의 밀폐가 정밀하게 이루어지지 않는 문제가 있다.Conventionally, as disclosed in Registered Patent No. 10-0338164, the pivot 11 vertically reciprocates in the guide groove 12 and the roller 16 is coupled to the inclined long hole 17 so that the valve desk 3 is a valve seat (2) Press to seal the structure, but the guide groove 12 for inducing vertical reciprocating motion and the inclined long hole 17 for inducing horizontal reciprocating motion are divided, so the opening and closing operation of the vacuum chamber is not efficient, especially the valve desk ( There is a problem in that the O-ring assembled in 3) is rolled up, so that the replacement cycle of the O-ring is accelerated and the vacuum chamber is not precisely sealed.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 하나의 가이딩 홀을 통해 수직 왕복운동과 수평 왕복운동을 모두 수행할 수 있고, 진공챔버의 개구부를 개폐하는 게이트 도어를 4군데에서 고정함에 따라 안정적이고 정밀하게 진공챔버를 개폐할 수 있으며, 가이딩 홀의 끝단부에 수평 왕복운동을 유도하는 돌출부를 형성하여 게이트 도어가 진공챔버 등 구조물에 접촉하지 않으면서 수직 및 수평 왕복운동을 수행할 수 있고, 상부 양측에 실린더를 통해 게이트 도어를 구동함에 따라 안정적인 개폐동작을 수행할 수 있는 진공챔버 게이트 도어장치를 제공함에 있다.An object of the present invention is to solve the above problems, both vertical reciprocating motion and horizontal reciprocating motion can be performed through one guiding hole, and the gate door for opening and closing the opening of the vacuum chamber is fixed in four places. It is possible to open and close the vacuum chamber stably and precisely according to the guide hole, and by forming a protrusion that induces horizontal reciprocation at the end of the guiding hole, the gate door can perform vertical and horizontal reciprocation without contacting the structure such as the vacuum chamber. It is to provide a vacuum chamber gate door device capable of performing a stable opening and closing operation by driving the gate door through cylinders on both sides of the upper side.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위해 본 발명의 진공챔버 게이트 도어장치는 진공챔버의 개구부에 설치되어 챔버를 개폐하는 진공챔버 게이트 도어장치에 있어서, 상기 진공챔버로의 기판 입출입을 위한 개구부가 마련된 진공챔버의 측면에 부착되는 게이트 도어 베이스와, 상기 게이트 도어 베이스의 상부에 개구부를 중심으로 양측면에 고정 설치되어 상기 진공챔버의 개구부를 개폐하는 게이트 도어의 수직 왕복운동을 유도하는 하는 한 쌍의 엘엠 가이드와, 상기 게이트 도어 베이스의 양 측면에 설치되어 게이트 도어의 수직 왕복운동과 개구부로의 수평 왕복운동을 유도하는 한 쌍의 가이드 홈 블록과, 상기 엘엠 가이드에 결합되어 게이트 도어와 함께 수직 왕복운동을 수행하는 한 쌍의 제1연결편과, 일측은 상기 게이트 도어의 측면에 결합되고, 타측은 상기 가이드 홈 블록과 결합되며 상기 게이트 도어의 수평 왕복운동이 수행되도록 슬라이딩 부싱을 통해 상기 제1연결편과 결합되는 한 쌍의 제2연결편과, 상기 게이트 도어의 수직 왕복운동이 이루어지도록 상기 제1연결편에 결합되는 한 쌍의 실린더부를 포함한다.In order to achieve the object of the present invention as described above, the present invention provides a vacuum chamber gate door device installed in an opening of a vacuum chamber to open and close the chamber. A gate door base attached to a side surface of a vacuum chamber having an opening for opening and closing the opening of the vacuum chamber; A pair of LM guides, a pair of guide groove blocks installed on both sides of the gate door base to induce vertical reciprocating motion of the gate door and horizontal reciprocating motion toward the opening, and coupled to the LM guide, the gate door and A pair of first connecting pieces performing vertical reciprocating motion together, one side coupled to the side surface of the gate door and the other side coupled to the guide groove block, through a sliding bushing so that the horizontal reciprocating movement of the gate door is performed It includes a pair of second connection pieces coupled to the first connection piece, and a pair of cylinder parts coupled to the first connection piece so that the vertical reciprocating motion of the gate door is achieved.

또한, 상기 게이트 도어 베이스의 중앙에는 진공챔버의 개폐를 위해 상기 게이트 도어의 수직 왕복운동을 위해 가로길이가 게이트 도어의 폭과 동일하고 세로길이가 수직 왕복운동 길이와 동일한 게이트 도어홀이 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, a gate door hole having a horizontal length equal to the width of the gate door and a vertical length equal to the vertical reciprocating movement length is formed in the center of the gate door base for vertical reciprocating motion of the gate door to open and close the vacuum chamber. to be characterized

또한, 상기 엘엠 가이드는 상기 게이트 도어홀의 양 측면에 세로방향으로 설치되는 것을 특징으로 한다.also, The LM guide is characterized in that it is vertically installed on both sides of the gate door hole.

또한, 상기 가이드 홈 블록 각각에는 상기 게이트 도어의 수직 및 수평 왕복운동을 가이드하기 위한 2개의 가이딩 홀이 가이드 홈 블록의 상부와 하부에 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, each of the guide groove blocks is characterized in that two guiding holes for guiding vertical and horizontal reciprocating motions of the gate door are formed on the upper and lower parts of the guide groove block.

또한, 상기 가이딩 홀의 하부에는 상기 게이트 도어의 수평 왕복운동을 가이드하기 위해 비스듬하게 형성된 수평 가이딩 돌출부가 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, a horizontal guiding protrusion formed obliquely to guide the horizontal reciprocating motion of the gate door is formed below the guiding hole.

또한, 상기 실린더부는 상기 제1연결편의 상부에 결합되는 것을 특징으로 한다.In addition, the cylinder portion is characterized in that coupled to the upper portion of the first connection piece.

이상과 같은 구성의 본 발명은 하나의 가이딩 홀을 통해 수직 왕복운동과 수평 왕복운동을 모두 수행할 수 있어 개폐동작을 안정적으로 수행할 수 있고,The present invention configured as described above can perform both vertical reciprocating motion and horizontal reciprocating motion through one guiding hole, so that opening and closing operations can be stably performed,

또한, 진공챔버의 개구부를 개폐하는 게이트 도어를 4군데에서 고정하여 개구부의 개폐를 수행함에 따라 정밀하게 진공챔버를 개폐할 수 있으며,In addition, it is possible to precisely open and close the vacuum chamber by fixing the gate door for opening and closing the opening of the vacuum chamber at four locations, thereby opening and closing the opening.

또한, 가이딩 홀의 끝단부에 수평 왕복운동을 유도하는 돌출부를 형성하여 게이트 도어가 진공챔버의 외부 구성과 간섭없이 수직 및 수평 왕복운동을 수행할 수 있고, In addition, by forming a protrusion for inducing horizontal reciprocation at the end of the guiding hole, the gate door can perform vertical and horizontal reciprocation without interfering with the external configuration of the vacuum chamber,

또한, 상부 양측에 실린더를 통해 게이트 도어를 구동함에 따라 안정적인 개폐동작을 수행할 수 있다.In addition, stable opening and closing operations can be performed by driving the gate door through cylinders on both sides of the upper portion.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 진공챔버 게이트 도어장치의 분해도이고,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 진공챔버 게이트 도어장치의 사시도이고,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 진공챔버 게이트 도어장치의 가이드 홈 블록의 평면도이고,
도 4a, 4b는 본 발명의 진공챔버 게이트 도어장치의 개폐 시의 절단면도이다.1 is an exploded view of a vacuum chamber gate door device according to an embodiment of the present invention;
2 is a perspective view of a vacuum chamber gate door device according to an embodiment of the present invention;
3 is a plan view of a guide groove block of a vacuum chamber gate door device according to an embodiment of the present invention;
4A and 4B are cross-sectional views of the vacuum chamber gate door device of the present invention when opening and closing.

이하에서 도면을 참조하여 본 발명에 따른 진공챔버 게이트 도어장치에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, a vacuum chamber gate door device according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 진공챔버 게이트 도어장치의 분해도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 진공챔버 게이트 도어장치의 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 진공챔버 게이트 도어장치의 가이드 홈 블록의 평면도이고, 도 4a, 4b는 본 발명의 진공챔버 게이트 도어장치의 개폐 시의 절단면도이다.1 is an exploded view of a vacuum chamber gate door device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a vacuum chamber gate door device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4a and 4b are cut-away views of the vacuum chamber gate door device according to the present invention when opening and closing.

반도체의 제조공정은 고진공 환경이 조성된 챔버 내에서 이루어지게 되는데 노광, 식각, 증착 등 해당 공정을 수행하기 위해 웨이퍼의 입출입이 필요하고 진공챔버에는 웨이퍼의 입출입을 위한 개구부와 이를 개폐하기 위한 게이트 도어가 마련된다. 앞서 설명한 것과 같이 진공챔버 개구부의 밀폐를 위해 게이트 도어장치가 마련되는데 진공챔버 내에 고진공 환경을 조성하기 위해 완벽한 밀폐가 필요하며 이를 위해서는 게이트 도어장치가 수직 왕복 및 수평 왕복이 필요한데 종래에는 이를 정밀하게 수행하지 못하거나 기구 구성이 복잡한 문제가 있었다.The semiconductor manufacturing process is performed in a chamber with a high vacuum environment. In order to perform the corresponding processes such as exposure, etching, and deposition, wafers need to be moved in and out. In the vacuum chamber, an opening for wafer entry and exit and a gate door to open and close the wafer is provided As described above, a gate door device is provided to seal the opening of the vacuum chamber. In order to create a high vacuum environment in the vacuum chamber, perfect sealing is required. For this purpose, the gate door device requires vertical reciprocation and horizontal reciprocation. There was a problem of not being able to do it or the organization configuration was complicated.

본 발명의 진공챔버 게이트 도어장치는 이러한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로 진공챔버로 웨이퍼의 입출입을 위해 마련된 개구부(10)가 있는 측면에 부착되는 게이트 도어 베이스(100)와 게이트 도어 베이스(100)의 중앙부에 형성되는 게이트 도어홀(110)의 세로쪽 양측면에 진공챔버의 개구부(10)를 개폐하는 게이트 도어(20)의 수직 왕복운동을 유도하기 위해 일정한 길이로 형성된 한 쌍의 엘엠 가이드(200)와 게이트 도어 베이스(100)의 양측면에 설치되어 게이트 도어(20)의 수직 왕복운동과 수평 왕복운동을 유도하는 한 쌍의 가이드 홈 블록(300)과 게이트 도어(20)의 수직 왕복운동을 유도하기 위해 설치된 엘엠 가이드(200)에 결합되어 게이트 도어(20)와 함께 수직 왕복운동을 수행하는 한 쌍의 제1연결편(400)과 일측은 게이트 도어(20)에 결합되고 타측은 가이드 홈 블록(300)에 결합되며 중앙부위에서 슬라이딩 부싱(510)을 통해 제1연결편(400)과 결합되어 수직 및 수평 왕복운동을 유도하는 제2연결편(500)과 제1연결편(400)의 상부에 결합되어 게이트 도어(20)의 수직 왕복운동을 위한 구동력을 제공하는 한 쌍의 실린더부(600)을 포함하여 이루어진다.The vacuum chamber gate door device of the present invention is to solve these conventional problems, and includes a gate door base 100 and a gate door base 100 attached to a side surface having an opening 10 provided for entering and exiting a wafer into a vacuum chamber. A pair of LM guides (200) formed at both sides of the vertical side of the gate door hole (110) formed in the center of the vacuum chamber to induce vertical reciprocating motion of the gate door (20) that opens and closes the opening (10) of the vacuum chamber. ) and a pair of guide groove blocks 300 installed on both sides of the gate door base 100 to induce vertical reciprocating motion and horizontal reciprocating motion of the gate door 20 and induce vertical reciprocating motion of the gate door 20 A pair of first connecting pieces 400 coupled to the LM guide 200 installed to perform vertical reciprocating motion together with the gate door 20 and one side coupled to the gate door 20 and the other side coupled to the guide groove block ( 300) and is coupled to the first connection piece 400 through the sliding bushing 510 at the center to induce vertical and horizontal reciprocating motions, and is coupled to the upper portion of the first connection piece 400 to form a gate It includes a pair of cylinder parts 600 that provide driving force for vertical reciprocating motion of the door 20 .

본 발명의 게이트 도어 베이스(100)는 진공챔버의 개구부(10)가 마련된 측면에 고정 설치되는 구성으로 본 발명의 진공챔버 게이트 도어 장치가 상부에 설치되는 베이스가 되는 구성이다. 게이트 도어 베이스(100)의 중앙부에는 개구부(10)로 웨이퍼를 입출입하기 위한 게이트 도어홀(110)이 형성된다. 게이트 도어홀(110)은 개폐를 위해 게이트 도어(20)가 수직 왕복운동을 하여야 하므로 가로 길이는 게이트 도어(20)의 가로 길이 즉, 폭과 동일하거나 약간 크게 형성되고 세로 길이는 게이트 도어(20)가 개폐를 위해 수직 왕복운동하는 길이와 동일하거나 약간 크게 형성된다. 게이트 도어 베이스(100)의 상부에는 엘엠 가이드(200), 가이드 홈 블록(300) 등 본 발명의 각 구성이 설치 고정되므로 이들 구성들을 고정하기 위한 나사홀 등 결합 구성이 마련된다.The gate door base 100 of the present invention is configured to be fixedly installed on the side where the opening 10 of the vacuum chamber is provided, and is a base on which the vacuum chamber gate door device of the present invention is installed. A gate door hole 110 is formed at the center of the gate door base 100 to allow wafers to enter and exit the opening 10 . Since the gate door hole 110 must perform vertical reciprocating motion for opening and closing, the horizontal length is the same as or slightly larger than the horizontal length of the gate door 20, that is, the width, and the vertical length is the gate door 20 ) is formed equal to or slightly larger than the vertical reciprocating length for opening and closing. Since each component of the present invention, such as the LM guide 200 and the guide groove block 300, is installed and fixed to the top of the gate door base 100, coupling components such as screw holes for fixing these components are provided.

본 발명의 엘엠 가이드(200)는 게이트 도어의 수직 왕복운동을 유도하는 구성으로 게이트 도어홀(110)의 세로 쪽 양측면에 설치된다. 엘엠 가이드(200)는 직선 운동을 가이드하는 구성으로 고정밀도로 고속 직선운동이 가능한 구성으로 정밀한 직선 구동이 필요한 CNC 선반을 포함하여 다양한 설비에 사용된다. 본 발명의 게이트 도어장치는 진공챔버의 개구부를 밀폐하는 구성으로 고진공 분위기를 형성하기 위해서는 정밀한 위치로 게이트 도어(20)를 이동시켜 밀폐시키는 것이 중요하고 개폐에 많은 시간이 소요되는 것은 생산성이 저하되므로 고정밀도로 고속 이동이 필요하다. 이를 위해 엘엠 가이드(200)를 사용하는 것이 바람직하지만 본 발명의 게이트 도어장치가 적용되는 설비의 정밀도를 충족하는 정도이면 수직 왕복운동을 가이드하는 구성이면 어떤 구성이든 무관하다.The LM guide 200 of the present invention induces vertical reciprocating motion of the gate door and is installed on both sides of the vertical side of the gate door hole 110. The LM guide 200 has a configuration for guiding linear motion and is used in various facilities including CNC lathes that require precise linear motion with a configuration capable of high-precision and high-speed linear motion. The gate door device of the present invention is configured to seal the opening of a vacuum chamber, and in order to form a high vacuum atmosphere, it is important to move the gate door 20 to a precise position and seal it, and taking a lot of time to open and close the door lowers productivity. High-precision, high-speed movement is required. For this purpose, it is preferable to use the LM guide 200, but any configuration may be used as long as it meets the precision of the equipment to which the gate door device of the present invention is applied, as long as it guides the vertical reciprocating motion.

본 발명의 가이드 홈 블록(300)은 게이트 도어 베이스(100)의 양 측면에 설치되는 구성으로 게이트 도어(20)의 수직 왕복운동 뿐만 아니라 수평 왕복운동을 유도하는 구성이다. 가이드 홈 블록(300)은 게이트 도어 베이스(100) 좌, 우측에 하나씩 쌍으로 설치되고 가이드 홈 블록(300)에는 가이딩 홀(310)이 각 블록의 상 하부에 두 개가 마련된다. 이렇게 한 쌍의 가이드 홈 블록(300)에 4개의 가이딩 홀(310)이 형성되어 게이트 도어(20)를 제2연결편(500)을 통해 4개의 포인트에서 고정하므로 게이트 도어(20)가 유격없이 가이딩 홀(310)을 따라 정확하게 이동할 수 있는 장점이 있다. 가이딩 홀(310)의 하부에는 수평 왕복운동을 유도하기 위해 게이트 도어(20)를 진공챔버의 개구부(10) 쪽으로 이동시키기 위해 수평 가이딩 돌출부(315)가 형성된다. 게이트 도어(20)가 가이딩 홀(310)을 따라 아래로 내려오는 직선운동을 하다가 개구부(10)가 있는 위치에 도달하면 개구부(10)로 밀착되도록 수평 이동이 필요한데 자연스러운 이동을 위해 비스듬하게 수평 이동거리만큼 이동하도록 형성하는 것이 바람직하다. 본 발명의 게이트 도어장치는 실린더부(600)가 상부에 마련되어 게이트 도어(20)를 하부로 내려보내면서 개구부(10) 위치에서 수평 이동이 일어나도록 함에 따라 게이트 도어(20)의 자체 무게에 의해 수평 가이딩 돌출부(315)를 따라 부드럽게 이동하므로 별다른 구성을 부가하지 않고도 수평 이동이 일어나도록 할 수 있는 장점이 있다.The guide groove block 300 of the present invention is a configuration installed on both sides of the gate door base 100 and induces horizontal reciprocation as well as vertical reciprocation of the gate door 20 . The guide groove blocks 300 are installed in pairs on the left and right sides of the gate door base 100, and two guiding holes 310 are provided at the top and bottom of each block in the guide groove block 300. In this way, four guiding holes 310 are formed in the pair of guide groove blocks 300, and the gate door 20 is fixed at four points through the second connection piece 500, so that the gate door 20 can be moved without any play. It has the advantage of being able to accurately move along the guiding hole 310 . A horizontal guiding protrusion 315 is formed below the guiding hole 310 to move the gate door 20 toward the opening 10 of the vacuum chamber in order to induce a horizontal reciprocating motion. When the gate door 20 moves in a straight line downward along the guiding hole 310 and reaches the position where the opening 10 is located, horizontal movement is required so that the gate door 20 is in close contact with the opening 10. It is preferable to form it to move by the moving distance. In the gate door device of the present invention, the cylinder part 600 is provided at the top to send the gate door 20 down and horizontally move at the opening 10 position, so that the gate door 20 can be moved by its own weight. Since it moves smoothly along the horizontal guiding protrusion 315, there is an advantage in that horizontal movement can occur without adding a special configuration.

본 발명의 제1연결편(400)과 제2연결편(500)은 각각 엘엠 가이드(200)와 결합되어 수직 왕복운동을 가이드하고, 게이트 도어(20)와 결합되어 수직, 수평 왕복운동을 가이딩하는 구성이다. 제1연결편(400)은 엘엘 가이드(200)와 결합되고 상부에 실린더부(600)와 결합되어 수직 왕복운동을 하는 구성이고, 제2연결편(500)은 일측은 게이트 도어(20)와 결합되고, 타측은 가이드 홈 블록(300)에 결합되는 구성이다. 제1연결편(400)과 제2연결편(500)은 슬라이딩 부싱(510)을 통해 결합되는데 이렇게 2개의 구성을 결합하여 게이트 도어(20)의 수직 및 수평 왕복운동을 가이드하는 것은 게이트 도어(20)가 수직 뿐만 아니라 수평 왕복운동이 필요하고 정밀한 구동을 위해 수직 왕복운동은 제1연결편(400)이 가이딩하고, 제2연결편(500)과 제1연결편(400)을 슬라이딩 부싱(510)을 통해 결합함으로써 수직 이동 후 수평 이동으로 자연스럽게 연결할 수 있는 장점이 있다.The first connecting piece 400 and the second connecting piece 500 of the present invention are combined with the LM guide 200 to guide vertical reciprocating motion, and combined with the gate door 20 to guide vertical and horizontal reciprocating motion. is a composition The first connection piece 400 is coupled to the LL guide 200 and is coupled to the cylinder portion 600 at the top to perform vertical reciprocating motion, and one side of the second connection piece 500 is coupled to the gate door 20 , The other side is configured to be coupled to the guide groove block 300. The first connection piece 400 and the second connection piece 500 are coupled through a sliding bushing 510. Combining the two components in this way to guide the vertical and horizontal reciprocating movements of the gate door 20 is the gate door 20 requires horizontal as well as vertical reciprocating motion, and for precise driving, the vertical reciprocating motion is guided by the first connecting piece 400, and the second connecting piece 500 and the first connecting piece 400 through the sliding bushing 510 By combining, there is an advantage of being able to connect naturally with horizontal movement after vertical movement.

게이트 도어(20)가 개구부(10)에 밀착되는 부분에는 신축성이 있는 오링(25)을 마련하여 수평 이동 후 개구부(10)를 정밀하게 밀폐할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 도 4a는 개구부(10)가 개방된 상태로서 게이트 도어(20)가 개구부(10)의 상부에 위치한 상태의 절단면도를 도시한 것이고, 도 4b는 개구부(10)가 폐쇄된 상태로서 게이트 도어(20)가 개구부(10)와 밀착된 상태로서 수평 이동거리(D) 만큼 이동한 것을 도시한 것이다.It is preferable to provide an elastic O-ring 25 at a portion where the gate door 20 comes into close contact with the opening 10 so as to precisely seal the opening 10 after horizontal movement. 4A is a cut-away view of a state in which the gate door 20 is positioned above the opening 10 in a state in which the opening 10 is open, and FIG. 4B is a state in which the opening 10 is closed and the gate door 20) shows that it is moved by the horizontal movement distance (D) in a state of being in close contact with the opening (10).

게이트 도어 베이스 : 100 엘엠 가이드 : 200
가이드 홈 블록 : 300 제1연결편 : 400
제2연결편 : 500 실린더부 : 600Gate Door Base: 100 LM Guide: 200
Guide home block: 300 1st connecting flight: 400
2nd connecting piece: 500 Cylinder part: 600

Claims (6)

진공챔버의 개구부에 설치되어 챔버를 개폐하는 진공챔버 게이트 도어장치에 있어서,
상기 진공챔버로의 기판 입출입을 위한 개구부가 마련된 진공챔버의 측면에 부착되는 게이트 도어 베이스와,
상기 게이트 도어 베이스의 상부에 개구부를 중심으로 양측면에 고정 설치되어 상기 진공챔버의 개구부를 개폐하는 게이트 도어의 수직 왕복운동을 유도하는 하는 한 쌍의 엘엠 가이드와,
상기 게이트 도어 베이스의 양 측면에 설치되어 게이트 도어의 수직 왕복운동과 개구부로의 수평 왕복운동을 유도하는 한 쌍의 가이드 홈 블록과,
상기 엘엠 가이드에 결합되어 게이트 도어와 함께 수직 왕복운동을 수행하는 한 쌍의 제1연결편과,
일측은 상기 게이트 도어의 측면에 결합되고, 타측은 상기 가이드 홈 블록과 결합되며 상기 게이트 도어의 수평 왕복운동이 수행되도록 슬라이딩 부싱을 통해 상기 제1연결편과 결합되는 한 쌍의 제2연결편과,
상기 게이트 도어의 수직 왕복운동이 이루어지도록 상기 제1연결편에 결합되는 한 쌍의 실린더부를 포함하는 진공챔버 게이트 도어장치.
In the vacuum chamber gate door device installed in the opening of the vacuum chamber to open and close the chamber,
A gate door base attached to a side surface of the vacuum chamber having an opening for entering and exiting the substrate from the vacuum chamber;
A pair of LM guides fixed to both sides of the gate door base around the opening and inducing vertical reciprocating motion of the gate door that opens and closes the opening of the vacuum chamber;
A pair of guide groove blocks installed on both sides of the gate door base to induce vertical reciprocating motion of the gate door and horizontal reciprocating motion toward the opening;
A pair of first connecting pieces coupled to the LM guide and performing vertical reciprocating motion together with the gate door;
A pair of second connection pieces having one side coupled to a side surface of the gate door and the other side coupled to the guide groove block and coupled to the first connection piece through a sliding bushing to perform horizontal reciprocating motion of the gate door;
A vacuum chamber gate door device including a pair of cylinder parts coupled to the first connecting piece so that the vertical reciprocating motion of the gate door is performed.
 청구항 1에 있어서,
상기 게이트 도어 베이스의 중앙에는 진공챔버의 개폐를 위해 상기 게이트 도어의 수직 왕복운동을 위해 가로길이가 게이트 도어의 폭과 동일하고 세로길이가 수직 왕복운동 길이와 동일한 게이트 도어홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 진공챔버 게이트 도어장치.
The method of claim 1,
In the center of the gate door base, a gate door hole having a horizontal length equal to the width of the gate door and a vertical length equal to the vertical reciprocating movement length is formed for vertical reciprocation of the gate door to open and close the vacuum chamber. A vacuum chamber gate door device that does.
 청구항 2에 있어서,
상기 엘엠 가이드는 상기 게이트 도어홀의 양 측면에 세로방향으로 설치되는 것을 특징으로 하는 진공챔버 게이트 도어장치.
The method of claim 2,
The vacuum chamber gate door device, characterized in that the LM guide is vertically installed on both sides of the gate door hole.
 청구항 1에 있어서,
상기 가이드 홈 블록 각각에는 상기 게이트 도어의 수직 및 수평 왕복운동을 가이드하기 위한 2개의 가이딩 홀이 가이드 홈 블록의 상부와 하부에 형성되는 것을 특징으로 하는 진공챔버 게이트 도어장치.
The method of claim 1,
In each of the guide groove blocks, two guiding holes for guiding vertical and horizontal reciprocating motions of the gate door are formed at upper and lower portions of the guide groove block.
 청구항 4에 있어서,
상기 가이딩 홀의 하부에는 상기 게이트 도어의 수평 왕복운동을 가이드하기 위해 비스듬하게 형성된 수평 가이딩 돌출부가 형성되는 것을 특징으로 하는 진공챔버 게이트 도어장치.
The method of claim 4,
A vacuum chamber gate door device, characterized in that a horizontal guiding protrusion formed obliquely to guide the horizontal reciprocating motion of the gate door at the lower part of the guiding hole.
 청구항 1에 있어서,
상기 실린더부는 상기 제1연결편의 상부에 결합되는 것을 특징으로 하는 진공챔버 게이트 도어장치.The method of claim 1,
The vacuum chamber gate door device, characterized in that the cylinder portion is coupled to the upper portion of the first connecting piece.
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