KR20230100191A - 오버헤드 호이스트 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

OHT 장치는 반송물의 이송 및 이적재 작업을 수행 가능하고, 전원 공급을 위한 배터리가 내장된 이송 차량, 이송 차량의 이동 경로를 제공하고, 배터리를 충전하기 위한 충전 영역을 포함하는 주행 레일, 충전 영역에 인접하도록 배치되고, 배터리의 충전을 위한 전력을 전송 가능한 송전 유닛 및 이송 차량에 장착되고, 송전 유닛으로부터 전력을 수신 가능한 수전 유닛을 포함할 수 있다.

Description

오버헤드 호이스트 이송 장치{OVERHEAD HOIST TRANSPORT}
본 발명은 기판 오버헤드 호이스트 이송 장치(overhead hoist transport; 이하 'OHT 장치'라 한다)에 관한 것이다. 보다 상세하게는 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반송물의 이송을 위한 OHT 장치에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 웨이퍼, 유리기판, 인쇄회로기판, 반도체 장치들, 디스플레 이 장치들과 같은 반송물들은 RGV(rail guided vehicle), OHT 장치 등과 같은 무인 운반 시스템을 통해 이송될 수 있다. 특히, 상기 OHT 장치는 반송물의 이송을 위하여 클린룸의 천장에 설치된 주행 레일을 따라 이동 가능 하게 구성되는 이송 차량을 포함할 수 있으며, 상기 이송 차량으로의 전원 공급은 상기 주행 레일을 따라 설치 되는 전원 공급 케이블로부터 무선 전력 전송 방식으로 제공될 수 있다.
예를 들면, 상기 주행 레일의 하부에는 상기 전원 공급 케이블의 장착을 위한 케이블 서포트 부재가 상기 주행 레일을 따라 연장하도록 구비될 수 있으며, 상기 케이블 서포트 부재의 상부면에는 상기 전원 공급 케이블이 삽입되도록 형성된 케이블 장착 홈이 구비될 수 있다. 상기 전원 공급 케이블은 작업자에 의한 수작업으로 상기 케이블 서포트 부재에 장착될 수 있다.
그러나, 상기 전원 공급 케이블을 상기 주행 레일 전체 구간에 대하여 설치해야 하므로 상기 OHT 장치의 설치 비용 및 유지 보수 비용이 증가될 수 있으며, 상기 전원 공급 케이블을 수작업을 통해 설치 또는 보수하는 동안 안전 사고가 발생될 위험이 있다.
본 발명의 과제는 전원 공급 케이블을 사용하지 않고 이송 차량에 전원을 공급할 수 있는 OHT 장치를 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 이송 장치는 반송물의 이송 및 이적재 작업을 수행 가능하고, 전원 공급을 위한 배터리가 내장된 이송 차량, 상기 이송 차량의 이동 경로를 제공하고, 상기 배터리를 충전하기 위한 충전 영역을 포함하는 주행 레일, 상기 충전 영역에 인접하도록 배치되고, 상기 배터리의 충전을 위한 전력을 전송 가능한 송전 유닛 및 상기 이송 차량에 장착되고, 상기 송전 유닛으로부터 상기 전력을 수신 가능한 수전 유닛을 포함한다.
실시예들에 있어서, 상기 전력은 전자기 유도 방식으로 상기 송전 유닛으로부터 전송되어 상기 수전 유닛으로 수신될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 전력은 자기 공명 방식으로 상기 송전 유닛으로부터 전송되어 상기 수전 유닛으로 수신될 수 있다.
실시예들에 있어서, 오직 상기 송전 유닛 및 상기 수전 유닛만 상기 배터리를 충전시킬 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 이송 차량, 상기 배터리 및 상기 수전 유닛은 각각 복수이고, 상기 이송 차량 및 상기 배터리는 서로 대응하며, 상기 배터리 및 상기 수전 유닛은 서로 대응하고, 상기 이송 차량 및 상기 수전 유닛은 서로 대응할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치는 주행 레일에 전원 공급 케이블을 설치할 필요가 없으므로 상기 전원 공급 케이블을 설치하는데 소요되던 비용이 감소할 수 있다. 또한, 상기 전원 공급 케이블에 의한 전원 공급 방식에서 문제되던 이송 차량들 상호 간의 정체(stagnation)가 해소될 수 있다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 차량을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치의 구성의 일 예를 나타내는 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 차량을 나타내는 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치(1000)는 이송 차량(100), 주행 레일(200), 송전 유닛(300) 및 수전 유닛(400)을 포함하고, 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 다양한 형태의 반송물(10)을 운반하기 위해 사용될 수 있다.
이송 차량(100)은 반송물(10)의 이송 및 이적재 작업을 수행할 수 있다.
주행 레일(200)은 클린룸의 천장에 설치되어 이송 차량(100)의 이동 경로를 제공하고, 이송 차량(100)에 내장된 배터리(101)를 충전하기 위한 충전하기 위한 충전 영역(210)을 포함할 수 있다.
송전 유닛(300)은 충전 영역(210)에 인접하도록 배치되고, 배터리(101)의 충전을 위한 전력을 전송할 수 있다. 또한, 수전 유닛(400)은 이송 차량(100)에 장착되고, 송전 유닛(300)으로부터 상기 전력을 수신할 수 있다.
상술한 바와 같이, 배터리(101)는 이송 차량(100)에 내장되고, 수전 유닛(400)은 이송 차량(100)에 장착될 수 있다. 이에 따라, 이송 차량(100), 배터리(101) 및 수전 유닛(400)이 각각 복수인 경우, 이송 차량(100) 및 배터리(101)는 서로 대응하고, 상기 배터리(101) 및 수전 유닛(400)은 서로 대응하며, 이송 차량(100) 및 수전 유닛(400)은 서로 대응할 수 있다.
이송 차량(100)은 주행 레일(200) 상에서 이동 가능하도록 구성된 주행 모듈(110) 및 주행 모듈(110)의 아래에 회전축을 통해 현수 방식으로 연결된 승강 모듈(120)을 포함할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 승강 모듈(120)은 반송물(10)의 픽업 및 플레이스 동작들을 위한 핸드 유닛 및 상기 핸드 유닛의 승강을 위한 호이스트 유닛을 포함할 수 있다.
상술한 바와 같이, 송전 유닛(300)은 충전 영역(210)에 인접하도록 배치되고, 배터리(101)의 충전을 위한 상기 전력을 전송할 수 있다. 이송 차량(100)에 장착되는 수전 유닛(400)은 송전 유닛(300)으로부터 상기 전력을 수신할 수 있다. 이와 같이, 이송 차량(100)의 배터리(101)는 무선 전력 전송 방식으로 충전될 수 있다.
일 예로, 상기 전력은 전자기 유도 방식으로 송전 유닛(300)으로부터 전송되어 수전 유닛(400)으로 수신될 수 있다.
다른 예로, 상기 전력은 자기 공명 방식으로 송전 유닛(300)으로부터 전송되어 수전 유닛(400)으로 수신될 수 있다.
주행 레일(200)은 종래의 주행 레일에 설치된 바 있던 전원 공급 케이블이 설치되지 않을 수 있다.
일 예로, 이송 차량(100)의 배터리(101)가 충전되는 방식은 주행 레일(200)에 의해 이루어지는 것이 아닐 수 있다. 다시 말하면, 오직 송전 유닛(300) 및 수전 유닛(400)만 이송 차량(100)의 배터리(101)를 충전시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치(1000)는 주행 레일(200)에 상기 전원 공급 케이블을 설치할 필요가 없으므로 상기 전원 공급 케이블을 설치하는데 소요되던 비용이 감소할 수 있다. 또한, 상기 전원 공급 케이블에 의한 전원 공급 방식에서 문제되던 이송 차량들 상호 간의 정체(stagnation)가 해소될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
1000 : OHT 장치 10 : 반송물
100 : 이송 차량 101 : 배터리
110 : 주행 모듈 120 : 승강 모듈
200 : 주행 레일 210 : 충전 영역
300 : 송전 유닛 400 : 수전 유닛

Claims (5)

  1. 반송물의 이송 및 이적재 작업을 수행 가능하고, 전원 공급을 위한 배터리가 내장된 이송 차량;
    상기 이송 차량의 이동 경로를 제공하고, 상기 배터리를 충전하기 위한 충전 영역을 포함하는 주행 레일;
    상기 충전 영역에 인접하도록 배치되고, 상기 배터리의 충전을 위한 전력을 전송 가능한 송전 유닛; 및
    상기 이송 차량에 장착되고, 상기 송전 유닛으로부터 상기 전력을 수신 가능한 수전 유닛을 포함하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 전력은 전자기 유도 방식으로 상기 송전 유닛으로부터 전송되어 상기 수전 유닛으로 수신되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 전력은 자기 공명 방식으로 상기 송전 유닛으로부터 전송되어 상기 수전 유닛으로 수신되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    오직 상기 송전 유닛 및 상기 수전 유닛만 상기 배터리를 충전시키는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 이송 차량, 상기 배터리 및 상기 수전 유닛은 각각 복수이고,
    상기 이송 차량 및 상기 배터리는 서로 대응하며,
    상기 배터리 및 상기 수전 유닛은 서로 대응하고,
    상기 이송 차량 및 상기 수전 유닛은 서로 대응하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.
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