KR20230081676A - 피검사체 홀딩 장치 및 이를 구비한 엑스레이 검사 장치 - Google Patents

피검사체 홀딩 장치 및 이를 구비한 엑스레이 검사 장치 Download PDF

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Abstract

그립 장치의 아암에 장착되고 적층된 복수의 피검사체를 파지하는 피검사체 홀딩 장치가 개시된다. 개시된 피검사체 홀딩 장치는, 복수의 피검사체의 최상측에 배치된 피검사체의 상면을 지지하는 제1 피검사체 홀딩 장치와, 제1 피검사체 홀딩 장치에 대칭으로 배치되고, 복수의 피검사체의 최하측에 배치된 피검사체의 하면을 지지하는 제2 피검사체 홀딩 장치를 포함하며, 제1 피검사 홀딩 장치 및 제2 피검사체 홀딩 장치는 각각 중앙부가 서로 마주하는 방향으로 가압되면 복수의 피검사체의 전체 면적에 대하여 균일하게 지지하도록 제1 피검사 홀딩 장치와 제2 피검사체 홀딩 장치의 서로 마주하는 면에 각각 단차가 형성될 수 있다.

Description

피검사체 홀딩 장치 및 이를 구비한 엑스레이 검사 장치{INSPECTION OBJECT HOLDING DEVICE AND X-RAY INSPECTION APPARATUS INCLUDING THE SAME}
본 발명은 엑스레이 검사 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 엑스레이 검사 시 두께가 얇고 긴 길이를 가지는 피검사체를 홀딩하는 그립 장치용 피검사체 홀딩 장치를 포함하는 엑스레이 검사에 관한 것이다.
산업분야에서 이차 전지를 생산하는 경우 이차 전지의 불량 여부 검사를 위해 엑스레이 검사 장치가 주로 이용되고 있다.
엑스레이 검사 장치는 이차 전지를 파지하기 위해 그립 장치를 포함한다. 그립 장치는 상하로 배치된 한 쌍의 아암과 각 아암에 결합된 피검사체 홀딩 장치를 통해 이차 전지를 파지한다.
본 개시는 엑스레이 검사 중에 복수의 피검사체가 직선 이동 또는 회전되는 경우 복수의 피검사체의 자세가 파지된 상태를 유지할 수 있는 그립 장치용 피검사체 홀딩 장치 및 이를 구비한 엑스레이 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 개시의 일 예에 따른 그립 장치용 홀딩 장치는, 그립 장치의 아암에 장착되고 적층된 복수의 피검사체를 파지하는 본 개시의 일 예에 따른 그립 장치용 피검사체 홀딩 장치가 개시된다. 개시된 피검사체 홀딩 장치는, 상기 복수의 피검사체의 최상측에 배치된 피검사체의 상면을 지지하는 제1 피검사체 홀딩 장치; 및 상기 제1 피검사체 홀딩 장치에 대칭으로 배치되고, 상기 복수의 피검사체의 최하측에 배치된 피검사체의 하면을 지지하는 제2 피검사체 홀딩 장치;를 포함할 수 있다. 상기 제1 피검사 홀딩 장치 및 상기 제2 피검사체 홀딩 장치는 각각 중앙부가 서로 마주하는 방향으로 가압되면 상기 복수의 피검사체의 전체 면적에 대하여 균일하게 지지하도록 상기 제1 피검사 홀딩 장치와 상기 제2 피검사체 홀딩 장치의 서로 마주하는 면에 각각 단차가 형성될 수 있다.
상기 단차는, 상기 제1 피검사 홀딩 장치의 양측으로부터 중앙으로 갈수록 점차 높은 높이를 가지며, 상기 제2 피검사 홀딩 장치의 양측으로부터 중앙으로 갈수록 점차 높은 높이를 가질 수 있다.
상기 제1 피검사체 홀딩 장치 및 상기 제2 피검사체 홀딩 장치는 각각, 좌우 대칭으로 이루어진 제1 부분; 및 상기 제1 부분의 양측에 결합되는 한 쌍의 제2 부분;을 포함하고, 상기 제1 부분은 탄성을 가지는 재질로 이루어질 수 있다.
상기 제2 부분은 탄성을 가지는 재질로 이루어질 수 있다.
상기 제2 부분은 엑스레이가 투과하는 재질로 이루어질 수 있다.
상기 제2 부분의 하면에는 선단에서 상기 제1 부분측으로 제1 접촉면 및 제2 접촉면이 마련되고, 상기 제1 부분의 하면에는 상기 제1 부분에 연결된 부분으로부터 상기 제1 부분의 중앙측으로 제3 접촉면 및 복수의 제4 접촉면이 마련되고, 상기 제3 접촉면은 상기 제2 접촉면보다 높은 위치에 배치되고, 상기 복수의 제4 접촉면은 상기 제3 접촉면보다 높은 위치에 배치될 수 있다.
상기 제1 부분의 하면에는 간격을 두고 배치되는 복수의 탄성 부재가 결합될 수 있다.
상기 제1 접촉면은 상기 제1 부분 측으로 상향 경사질 수 있다.
상기 제2 부분은 상기 제1 접촉면과 상기 제2 접촉면 사이에 제1 홈이 형성되고, 상기 제1 부분은 상기 제3 접촉면과 제4 접촉면 사이에 제2 홈이 형성될 수 있다. 상기 제1 부분은 하면 중앙에 제3 홈이 형성될 수 있다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위해, 본 개시의 일 예에 따른 엑스레이 검사 장치는, 엑스레이 튜브; 상기 엑스레이 튜브에 대응하도록 배치된 디텍터; 복수의 피검사체를 상기 엑스레이 튜브와 상기 디텍터 사이의 엑스레이 검사 위치로 배치하는 그립 장치; 복수의 피검사체를 정렬하여 상기 그립 장치로 수평 방향으로 공급하는 로딩 장치; 및 검사가 완료된 복수의 피검사체를 상기 그립 장치로부터 수평 방향으로 인출하는 언로딩 장치;를 포함할 수 있다.
상기 그립 장치는 상기 복수의 피검사체를 파지하는 홀딩 장치;를 포함할 수 있다. 상기 홀딩 장치는, 상기 복수의 피검사체의 최상측에 배치된 피검사체의 상면을 지지하는 제1 피검사체 홀딩 장치; 및 상기 제1 피검사체 홀딩 장치에 대칭으로 배치되고, 상기 복수의 피검사체의 최하측에 배치된 피검사체의 하면을 지지하는 제2 피검사체 홀딩 장치;를 포함할 수 있다. 상기 제1 피검사 홀딩 장치 및 상기 제2 피검사체 홀딩 장치는 각각 중앙부가 서로 마주하는 방향으로 가압되면 상기 복수의 피검사체의 전체 면적에 대하여 균일하게 지지하도록 상기 제1 피검사 홀딩 장치와 상기 제2 피검사체 홀딩 장치의 서로 마주하는 면에 각각 단차가 형성될 수 있다.
상기 엑스레이 검사 장치는, 상기 그립 장치에 복수의 피검사체를 이송하는 피검사체 로딩 장치; 및 상기 그립 장치로부터 엑스레이 검사가 완료된 복수의 피검사체를 인출하는 피검사체 언로딩 장치;를 더 포함할 수 있다.
상기 엑스레이 검사 장치는, 상기 엑스레이 튜브, 상기 디텍터, 상기 그립 장치를 감싸는 하우징; 상기 피검사체 로딩 장치에 인접한 상기 하우징의 일측 개구를 개폐하는 제1 게이트 장치; 및 상기 피검사 언로딩 장치에 인접한 상기 하우징의 타측 개구를 개폐하는 제2 게이트 장치;를 더 포함할 수 있다.
도 1은 본 개시의 일 예에 따른 엑스레이 검사 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 개시의 일 예에 따른 엑스레이 검사 장치를 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 개시의 일 예에 따른 엑스레이 검사 장치의 내부를 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 개시의 일 예에 따른 그립 장치용 피검사체 홀딩 장치를 피검사체에 대한 엑스레이 검사에 적용한 예를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 개시의 일 예에 따른 그립 장치용 피검사체 홀딩 장치가 그립 장치에 장착된 예를 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 개시의 일 예에 따른 그립 장치용 피검사체 홀딩 장치가 그립 장치의 아암에 연결된 예를 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 개시의 일 예에 따른 그립 장치용 피검사체 홀딩 장치를 나타낸 측면도이다.
도 8은 도 7에 표시된 A부분을 나타낸 확대도이다.
도 9는 본 개시의 일 예에 따른 그립 장치용 피검사체 홀딩 장치의 휨 상태를 나타낸 도면이다.
도 10은 본 개시의 일 예에 따른 그립 장치용 피검사체 홀딩 장치에 의해 피검사체가 홀딩된 상태를 나타낸 도면이다.
도 11은 도 10에 표시된 B부분을 나타낸 확대도이다.
도 12는 도 10에 표시된 C부분을 나타낸 확대도이다.
이하에서 설명되는 실시 예는 본 개시의 이해를 돕기 위하여 예시적으로 나타낸 것이며, 본 개시는 여기서 설명되는 실시 예들과 다르게, 다양하게 변형되어 실시될 수 있음이 이해되어야 할 것이다. 다만, 이하에서 본 개시를 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성요소에 대한 구체적인 설명이 본 개시의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명 및 구체적인 도시를 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 개시의 이해를 돕기 위하여 실제 축척 대로 도시된 것이 아니라 일부 구성요소의 치수가 과장되게 도시될 수 있다.
본 명세서 및 청구범위에서 사용되는 용어는 본 개시의 기능을 고려하여 일반적인 용어들을 선택하였다. 하지만, 이러한 용어들은 당 분야에 종사하는 기술자의 의도나 법률적 또는 기술적 해석 및 새로운 기술의 출현 등에 따라 달라질 수 있다. 또한, 일부 용어는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있다. 이러한 용어에 대해서는 본 명세서에서 정의된 의미로 해석될 수 있으며, 구체적인 용어 정의가 없으면 본 명세서의 전반적인 내용 및 당해 기술 분야의 통상적인 기술 상식을 토대로 해석될 수도 있다.
본 개시의 설명에 있어서 각 단계의 순서는 선행 단계가 논리적 및 시간적으로 반드시 후행 단계에 앞서서 수행되어야 하는 경우가 아니라면 각 단계의 순서는 비제한적으로 이해되어야 한다. 즉, 위와 같은 예외적인 경우를 제외하고는 후행 단계로 설명된 과정이 선행 단계로 설명된 과정보다 앞서서 수행되더라도 개시의 본질에는 영향이 없으며 권리범위 역시 단계의 순서에 관계없이 정의되어야 한다.
본 명세서에서, "가진다," "가질 수 있다," "포함한다," 또는 "포함할 수 있다" 등의 표현은 해당 특징(예: 수치, 기능, 동작, 또는 부품 등의 구성요소)의 존재를 가리키며, 추가적인 특징의 존재를 배제하지 않는다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 개시의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
또한, 본 개시에서 사용한 '상면', '하면', '측면', '좌측', '우측', '상부', '하부', '상단', '하단' 등의 용어는 도면을 기준으로 정의한 것이며, 이 용어에 의해 각 구성요소의 형상 및 위치가 제한되는 것은 아니다.
그리고, 본 명세서에서는 본 개시의 각 실시 예의 설명에 필요한 구성요소를 설명한 것이므로, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서, 일부 구성요소는 변경 또는 생략될 수도 있으며, 다른 구성요소가 추가될 수도 있다. 또한, 서로 다른 독립적인 장치에 분산되어 배치될 수도 있다.
나아가, 이하 첨부 도면들 및 첨부 도면들에 기재된 내용들을 참조하여 본 개시의 실시 예를 상세하게 설명하지만, 본 개시가 실시 예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
본 개시에서는 피검사체를 두께가 얇고 비교적 긴 길이를 가지는 롱 셀(ling cell) 타입 이차 전지를 예로 들어 설명한다. 하지만, 엑스레이를 통한 비파괴 검사 대상인 피검사체는 이차 전지에 제한되지 않는다.
도 1은 본 개시의 일 예에 따른 엑스레이 검사 장치를 나타낸 사시도이다. 도 2는 본 개시의 일 예에 따른 엑스레이 검사 장치를 나타낸 평면도이다. 도 3은 본 개시의 일 예에 따른 엑스레이 검사 장치의 내부를 나타낸 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 개시의 일 예에 따른 엑스레이 검사 장치(1)는 한 쌍의 피검사체 로딩 장치(2)와, 한 쌍의 피검사체 언로딩 장치(3)와, 제1 게이트 장치(4a)와, 제2 게이트 장치(4b)와, 엑스레이 튜브(5)와, 디텍터(6)와, 제1 및 제2 그립 장치(10, 10a)를 포함할 수 있다.
엑스레이 검사 장치(1)는 제1 게이트 장치(4a)와, 제2 게이트 장치(4b)와, 엑스레이 튜브(5)와, 디텍터(6)와, 제1 및 제2 그립 장치(10, 10a)를 감싸는 하우징(1a)을 포함할 수 있다.
한 쌍의 피검사체 로딩 장치(2)는 하우징(1a)의 일측에 배치될 수 있다. 한 쌍의 피검사체 로딩 장치(2)는 수직 방향으로 적재된 복수의 피검사체를 정렬하여 제1 및 제2 그립 장치(10, 10a)에 수평 방향으로 이송할 수 있다.
한 쌍의 피검사체 언로딩 장치(3)는 하우징(1a)의 타측에 배치될 수 있다. 한 쌍의 피검사체 언로딩 장치(3)는 엑스레이 검사가 완료된 피검사체를 제1 및 제2 그립 장치(10, 10a)로부터 수평 방향으로 인출할 수 있다.
제1 게이트 장치(4a)는 한 쌍의 피검사체 로딩 장치(2)에 인접한 하우징(1a)의 일측 개구를 개폐할 수 있다. 제2 게이트 장치(4b)는 한 쌍의 피검사체 언로딩 장치(3)에 인접한 하우징(1a)의 타측 개구를 개폐할 수 있다.
제1 게이트 장치(4a)는 한 쌍의 피검사체 로딩 장치(2)에 의해 복수의 피검사체를 하우징(1a) 내부로 반입하기 위해 하우징(1a) 일측 개구를 개방할 수 있다.
제1 및 제2 게이트 장치(4a, 4b)는 하우징(1a) 내부에서 엑스레이 검사가 진행되는 동안 생성되는 엑스레이가 하우징(1a) 외부로 누출되지 않도록 하우징(1a)의 일측 개구 및 타측 개구를 폐쇄될 수 있다.
제2 게이트 장치(4b)는 엑스레이 검사가 완료된 복수의 피검사체를 한 쌍의 피검사체 언로딩 장치(3)에 의해 하우징(1a)의 외부로 반출하기 위해 하우징(1a) 타측 개구를 개방할 수 있다.
엑스레이 튜브(5)와 디텍터(6)는 서로 대응하도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 디텍터(5)는 엑스레이 튜브(6)의 상측에 배치될 수 있다. 엑스레이 튜브(5)와 디텍터(6)는 각각 구동 장치에 의해 X, Y, Z축으로 이동될 수 있다.
제1 및 제2 그립 장치(10, 10a)는 서로 마주하도록 배치될 수 있다. 제1 및 제2 그립 장치(10, 10a)는 한 쌍의 피검사체 로딩 장치(2)에 의해 제공된 피검사체를 파지한 상태로 엑스레이 검사 위치로 이송할 수 있다. 제1 및 제2 그립 장치(10, 10a)는 각각 피검사체를 파지하기 위한 피검사체 홀딩 장치가 장착될 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 개시의 일 예에 따른 그립 장치용 피검사체 홀딩 장치를 설명한다.
도 1은 본 개시의 일 예에 따른 그립 장치용 피검사체 홀딩 장치를 피검사체에 대한 엑스레이 검사에 적용한 예를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 개시의 일 예에 따른 그립 장치용 피검사체 홀딩 장치(100, 200; 100a, 200a)는 엑스레이 검사 시 적층된 복수의 피검사체(7)(예: 롱 셀 타입 이차전지)를 안정적으로 파지할 수 있다. 예를 들면, 피검사체 홀딩 장치(100, 200; 100a, 200a)는 피검사체(7)의 전체 면적에 대하여 균일한 힘으로 밀착된 상태로 파지할 수 있다.
피검사체 홀딩 장치(100, 200; 100a, 200a)는 제1 그립 장치(10)의 아암(30)에 장착되는 한 쌍의 피검사체 홀딩 장치(100, 200)와 및 제2 그립 장치(10a)의 아암(30a)에 장착되는 한 쌍의 피검사체 홀딩 장치(100a, 200a)를 포함할 수 있다.
피검사체 홀딩 장치(100, 200; 100a, 200a)에 각각 파지된 상태의 복수의 피검사체(7)는 단일 엑스레이 튜브(1) 및 단일 디텍터(3)에 의해 엑스레이 검사가 이루어질 수 있다. 이 경우, 엑스레이 튜브(1)로부터 피검사체(7)의 검사 부분을 향해 엑스레이(4)를 조사하여 동시에 복수의 피검사체(7)를 스캐닝하여 검사 데이터(예: 2차원 또는 3차원 영상 데이터)를 획득할 수 있다.
제1 그립 장치(10)와 제2 그립 장치(10a)는 서로 대칭으로 배치될 수 있으며, 실질적으로 동일한 구조를 가질 수 있다. 따라서, 이하에서는 제1 그립 장치(10)의 구조에 대해서만 설명한다.
도 2는 본 개시의 일 예에 따른 그립 장치용 피검사체 홀딩 장치가 그립 장치에 장착된 예를 나타낸 사시도이다.
도 2를 참조하면, 제1 그립 장치(10)는 베이스(101)와, 베이스(101)에 배치된 한 쌍의 제1 가이드 레일(103)을 따라 Y축 방향으로 이동 가능하게 연결된 제1 가동 부재(105)와, 제1 가동 부재(105)의 수직 플레이트(110)에 배치된 한 쌍의 제2 가이드 레일(111)을 따라 Z축 방향으로 이동 가능하게 연결된 제2 가동 부재(113)와, 제2 가동 부재(113)에 대하여 Y축에 평행한 연결축(115)을 중심으로 회전 가능하게 연결된 제3 가동 부재(130)와, 제3 가동 부재(130)에 배치된 한 쌍의 제3 가이드 레일(131)을 따라 X축 방향으로 이동 가능하게 연결된 제4 가동 부재(150)와, 제4 가동 부재(150)에 배치된 한 쌍의 제4 가이드 레일(151)을 따라 이동 가능하게 연결된 아암(30)을 포함할 수 있다.
제3 가동 부재(130)는 연결축(115)에 의해 제2 가동 부재(113)에 대하여 Y축을 중심으로 회전할 수 있다. 따라서, 제3 가동 부재(130)에서부터 순차적으로 아암(30)까지 연결된 구성들이 연결축(115)을 중심으로 동시에 함께 회전할 수 있다.
아암(30)은 대칭으로 배치된 제1 아암(31) 및 제2 아암(33)을 포함할 수 있다. 제1 아암(31) 및 제2 아암(33)은 한 쌍의 피검사체 홀딩 장치(100, 200)를 Z축을 중심으로 회전시킬 수 있다.
제1 아암(31)의 저면에는 피검사체 홀딩 장치(100)의 상면과 밀착되는 제1 회전부(32)를 포함할 수 있다. 제1 회전부(32)는 저면에 피검사체 홀딩 장치(100)의 상면 중심이 분리 가능하게 장착될 수 있다. 제2 아암(33)의 저면에는 피검사체 홀딩 장치(200)의 상면과 밀착되는 제2 회전부(34)를 포함할 수 있다. 제2 회전부(34)는 상면에 피검사체 홀딩 장치(200)의 상면 중심이 분리 가능하게 장착될 수 있다.
한 쌍의 피검사체 홀딩 장치(100, 200)는 각각 제1 및 제2 아암(31, 33)에 의해 장착된 상태에서 제1 및 제2 회전부(32, 34)가 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전함에 따라 제1 및 제2 회전부(32, 34)와 함께 회전될 수 있다.
상기와 같이 구성된 제1 그립 장치(10)는 한 쌍의 피검사체 홀딩 장치(100, 200)를 X축, Y축, Z축 방향을 따라 직선 이동시킬 수 있고, Y축 및 Z축을 중심으로 소정 각도로 회전 시킬 수 있다. 이와 같이, 제1 그립 장치(10)는 5축 구동이 가능하므로 한 쌍의 피검사체 홀딩 장치(100, 200)를 통해 제1 및 제2 아암(31, 33)에 의해 파지된 복수의 피검사체(7)의 형상, 크기 등의 다양한 조건을 고려하여 엑스레이 튜브(1)와 디텍터(3) 사이에서 복수의 피검사체(7)를 다양한 검사 지점으로 이동시킬 수 있고 다양한 검사 자세를 유지시킬 수 있다.
본 개시의 일 예에 따른 피검사체 홀딩 장치(100, 200; 100a, 200a)가 적용되는 그립 장치는 본 개시에서 예로든 제1 및 제2 그립 장치(10, 10a)의 구조에 한정되지 않는다.
또한, 본 개시의 일 예에 따른 피검사체 홀딩 장치(100, 200; 100a, 200a)는 도 1에 도시된 바와 같이 반드시 2쌍을 포함할 필요는 없다. 예를 들면, 단일 그립 장치만을 이용하여 엑스레이 검사를 진행하는 경우, 피검사체 홀딩 장치는 한 쌍의 피검사체 홀딩 장치(100, 200)만을 포함할 수 있다.
도 3은 본 개시의 일 예에 따른 그립 장치용 피검사체 홀딩 장치가 그립 장치의 아암에 연결된 예를 나타낸 사시도이다. 이하, 한 쌍의 피검사체 홀딩 장치(100, 200)는 설명의 편의 상 제1 피검사체 홀딩 장치(100)와 제2 피검사체 홀딩 장치(200)로 구분하여 칭한다.
도 3을 참조하면, 제1 및 제2 피검사체 홀딩 장치(100, 200)는 각각 제1 및 제2 아암(31, 33)에 장착된 상태에서 대칭으로 배치될 수 있다. 제1 및 제2 피검사체 홀딩 장치(100, 200)는 별도의 이송 장치에 의해 제1 아암(31)과 제2 아암(33) 사이로 이송될 수 있다. 이 서로 마주하는 방향으로 이동하는 경우 복수의 피검사체(7)를 파지할 수 있다. 이 경우, 제1 피검사체 홀딩 장치(100)는 적층된 복수의 피검사체(7)의 최상측에 배치된 피검사체의 상면을 지지하고, 제2 피검사체 홀딩 장치(200)는 적층된 복수의 피검사체(7)의 최하측에 배치된 피검사체의 저면을 지지할 수 있다.
반대로, 제1 및 제2 피검사체 홀딩 장치(100, 200)는 제1 아암(31)과 제2 아암(33)이 서로 멀어지는 방향으로 이동하는 경우 복수의 검사체(7)를 릴리즈 할 수 있다.
제1 및 제2 피검사체 홀딩 장치(100, 200)는 각각 제1 부분(110, 210)과 제1 부분(110, 210)의 양측에 각각 결합된 한 쌍의 제2 부분(130, 230)을 포함할 수 있다. 제1 피검사체 홀딩 장치(100)의 제1 부분(110)과 제2 피검사체 홀딩 장치(200)의 제1 부분(210)은 서로 마주하는 면에 각각 간격을 두고 복수의 탄성 부재(150)가 결합될 수 있다.
제1 및 제2 피검사체 홀딩 장치(100, 200)는 실질적으로 동일한 구조를 가질 수 있다. 따라서, 이하에서는 도면을 참조하여 제1 피검사체 홀딩 장치(100)의 구조에 대해서만 설명한다.
도 4는 본 개시의 일 예에 따른 그립 장치용 피검사체 홀딩 장치를 나타낸 측면도이다. 도 5는 도 4에 표시된 A부분을 나타낸 확대도이다. 도 6은 본 개시의 일 예에 따른 그립 장치용 피검사체 홀딩 장치의 휨 상태를 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 제1 피검사체 홀딩 장치(100)의 제1 부분(110)은 탄성을 가지는 금속 또는 합성수지로 이루어질 수 있다.
예를 들면, 도 6에 도시된 바와 같이 제1 피검사체 홀딩 장치(100)의 한 쌍의 제2 부분(130)의 하단(1301)에 각각 지지대(9)를 배치한 상태에서 제1 부분(110)의 중앙부를 가압하면 한 쌍의 제2 부분(130)의 하단(1301)을 지지점으로 하여 제1 부분(110)의 중앙부가 하측으로 휘어질 수 있다. 제1 피검사체 홀딩 장치(100)의 제1 부분(110)에 대한 가압력을 제거하면 제1 부분(110)은 탄성에 의해 원형으로 복원될 수 있다.
제1 피검사체 홀딩 장치(100)의 제2 부분(130)은 제1 부분(110)과 달리 탄성이 없는 금속 또는 합성수지로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제2 부분(130)은 제1 부분(110)과 같이 탄성을 가지는 금속 또는 합성수지로 이루어질 수 있다.
이와 같이, 제1 및 제2 부분(110, 130)이 탄성을 가짐에 따라, 제1 피검사체 홀딩 장치(100)는 제1 아암(31)에 의해 하측으로 가압되는 경우, 복수의 피검사체(7)를 파손시키지 않도록 완충 작용이 이루어질 수 있다.
도 5를 참조하면, 제1 피검사체 홀딩 장치(100)은 하면이 계단식으로 단차가 형성될 수 있다. 예를 들면, 제2 부분(130)의 하단(1301)을 지나는 가상의 수평선(도 5에 도시된 일점쇄선)을 기준으로 제2 부분(130)의 제1 접촉면(1305)과, 제1 부분(110)의 제2 접촉면(1101)과, 제1 부분(110)의 제3 접촉면(1102)은 서로 다른 높이를 가질 수 있다.
이 경우, 제2 부분(130)의 제1 접촉면(1303)은 제2 부분(130)의 하단(1301)으로부터 제1 부분(110)측으로 소정 각도로 완만하게 상향 경사질 수 있다. 제2 부분(130)의 제2 접촉면(1305)은 가상의 수평선으로부터 제1 높이(H1)를 가질 수 있다.
제1 부분(110)의 제3 접촉면(1101)은 가상의 수평선으로부터 제1 높이(H1)보다 큰 제2 높이(H2)를 가질 수 있다. 제1 부분(110)의 제4 접촉면(1102)은 가상의 수평선으로부터 제2 높이(H2)보다 큰 제3 높이(H3)를 가질 수 있다.
한편, 도 4에 도시된 제1 부분(110)의 제5 접촉면(1103), 제6 접촉면(1104), 및 제7 접촉면(1105)은 제4 접촉면(1102)과 마찬가지로 모두 가상의 수평선으로부터 제3 높이(H3)를 가질 수 있다.
이와 같이 제1 피검사체 홀딩 장치(100)은 도 6에 도시된 바와 같이 중앙부가 하측으로 가압되는 경우, 제1 부분(110)의 중앙부와 이에 인접한 부분은 휨이 거의 발생하지 않지만, 제1 부분(110)과 제2 부분(130)이 연결된 부분에서 상대적으로 더 크게 휘어질 수 있다. 이러한 점을 감안하여, 제1 피검사체 홀딩 장치(100)는 제2 접촉면(1305)에서부터 제4 접촉면(1102)으로 갈수록 가상의 수평선으로부터 점차적으로 더 높은 높이를 갖도록 단차를 구성할 수 있다.
도 7은 본 개시의 일 예에 따른 그립 장치용 피검사체 홀딩 장치에 의해 피검사체가 홀딩된 상태를 나타낸 도면이다. 도 8은 도 7에 표시된 B부분을 나타낸 확대도이다. 도 9는 도 7에 표시된 C부분을 나타낸 확대도이다.
도 7을 참조하면, 제1 피검사체 홀딩 장치(100)와 제2 피검사체 홀딩 장치(200) 사이에 적층된 복수의 피검사체(7)가 배치된 상태에서 제1 아암(31)과 제2 아암(33)이 서로 마주하는 방향으로 이동하면 제1 피검사체 홀딩 장치(100)의 중앙부와 제2 피검사체 홀딩 장치(200)의 중앙부가 서로 마주하는 방향으로 가압될 수 있다.
제2 부분(130) 제1 접촉면(1303)과 제2 접촉면(1305) 사이에 제1 홈(1307)이 형성될 수 있고, 제1 부분(110)은 제3 접촉면(1101)과 제4 접촉면(1102) 사이에 제2 홈(1107)이 형성될 수 있다. 또한, 제1 부분(110)의 중앙부에는 제3 홈(1109)이 형성될 수 있다.
따라서, 제1 부분(110) 및 제2 부분(130)은 제1 부분(110)의 중앙부가 제1 아암(31)에 의해 하측으로 가압될 때 제1 내지 제3 홈(1307, 1107, 1109)에 의해 비교적 쉽게 휘어질 수 있다.
이 경우, 도 8 및 9에 도시된 바와 같이, 제1 접촉면(1303)과, 제2 접촉면(1305)과, 제3 접촉면(1101)과, 제4 내지 제7 접촉면(1102, 1103, 1104, 1105)은 모두 적층된 복수의 피검사체(7)의 최상측에 배치된 피검사체의 상면을 가압 상태로 지지할 수 있다. 또한, 제1 및 제2 부분(110, 130)에 마련된 복수의 탄성 부재(150) 역시 적층된 복수의 피검사체(7)의 최상측에 배치된 피검사체의 상면에 밀착된 상태로 지지할 수 있다.
따라서, 제1 피검사체 홀딩 장치(100)는 적층된 복수의 피검사체(7)의 최상측에 배치된 피검사체의 상면을 전체적으로 균일한 압력으로 지지할 수 있다.
제2 피검사체 홀딩 장치(200)는 적층된 복수의 피검사체(7)의 최하측에 배치된 피검사체의 저면을 전체적으로 균일한 압력으로 지지할 수 있다.
이와 같이, 복수의 피검사체(7)는 제1 및 제2 피검사체 홀딩 장치(100, 200)에 의해 안정적으로 밀착 상태로 파지될 수 있다. 따라서, 엑스레이 검사 중에 제1 및 제2 아암(31, 33)이 직선 방향 또는 회전하는 경우, 복수의 피검사체(7)는 슬립되어 자세가 흐트러지지 않고 제1 및 제2 피검사체 홀딩 장치(100, 200)에 파지된 자세를 그대로 유지할 수 있으므로 정확한 영상 데이터를 획득이 가능하다.
복수의 피검사체(7)의 엑스레이 촬영 부분에 인접한 제2 부분(130)은 엑스레이가 투과되는 재질로 형성될 수 있다. 또한, 경우에 따라 제1 부분(110) 역시 엑스레이가 투과되는 재질로 형성될 수 있다.
이상에서는 본 개시의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 개시는 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 개시의 요지를 벗어남이 없이 본 개시에 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 개시의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해돼서는 안될 것이다.
7: 피검사체
10, 10a: 그립 장치
31, 33: 아암
100, 100a, 200, 200a: 피검사체 홀딩 장치
110: 제1 부분
1303: 제1 접촉면
1305: 제2 접촉면
1101: 제3 접촉면
1102: 제4 접촉면
1103: 제5 접촉면
1104: 제6 접촉면
1107: 제7 접촉면
130: 제2 부분
150: 탄성 부재

Claims (15)

  1. 그립 장치의 아암에 장착되고 적층된 복수의 피검사체를 파지하는 피검사체 홀딩 장치에 있어서,
    상기 복수의 피검사체의 최상측에 배치된 피검사체의 상면을 지지하는 제1 피검사체 홀딩 장치; 및
    상기 제1 피검사체 홀딩 장치에 대칭으로 배치되고, 상기 복수의 피검사체의 최하측에 배치된 피검사체의 하면을 지지하는 제2 피검사체 홀딩 장치;를 포함하며,
    상기 제1 피검사 홀딩 장치 및 상기 제2 피검사체 홀딩 장치는 각각 중앙부가 서로 마주하는 방향으로 가압되면 상기 복수의 피검사체의 전체 면적에 대하여 균일하게 지지하도록 상기 제1 피검사 홀딩 장치와 상기 제2 피검사체 홀딩 장치의 서로 마주하는 면에 각각 단차가 형성된, 피검사체 홀딩 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 단차는,
    상기 제1 피검사 홀딩 장치의 양측으로부터 중앙으로 갈수록 점차 높은 높이를 가지며,
    상기 제2 피검사 홀딩 장치의 양측으로부터 중앙으로 갈수록 점차 높은 높이를 가지는, 피검사체 홀딩 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 피검사체 홀딩 장치 및 상기 제2 피검사체 홀딩 장치는 각각,
    좌우 대칭으로 이루어진 제1 부분; 및
    상기 제1 부분의 양측에 결합되는 한 쌍의 제2 부분;을 포함하고,
    상기 제1 부분은 탄성을 가지는 재질로 이루어진, 피검사체 홀딩 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제2 부분은 탄성을 가지는 재질로 이루어진, 피검사체 홀딩 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제2 부분은 엑스레이가 투과하는 재질로 이루어진, 피검사체 홀딩 장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 제2 부분의 하면에는 선단에서 상기 제1 부분측으로 제1 접촉면 및 제2 접촉면이 마련되고,
    상기 제1 부분의 하면에는 상기 제1 부분에 연결된 부분으로부터 상기 제1 부분의 중앙측으로 제3 접촉면 및 복수의 제4 접촉면이 마련되고,
    상기 제3 접촉면은 상기 제2 접촉면보다 높은 위치에 배치되고, 상기 복수의 제4 접촉면은 상기 제3 접촉면보다 높은 위치에 배치되는, 피검사체 홀딩 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 부분의 하면에는 간격을 두고 배치되는 복수의 탄성 부재가 결합된, 피검사체 홀딩 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 제1 접촉면은 상기 제1 부분 측으로 상향 경사진, 피검사체 홀딩 장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 제2 부분은 상기 제1 접촉면과 상기 제2 접촉면 사이에 제1 홈이 형성되고,
    상기 제1 부분은 상기 제3 접촉면과 제4 접촉면 사이에 제2 홈이 형성된, 피검사체 홀딩 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 부분은 하면 중앙에 제3 홈이 형성된, 피검사체 홀딩 장치.
  11. 엑스레이 튜브;
    상기 엑스레이 튜브에 대응하도록 배치된 디텍터;
    복수의 피검사체를 상기 엑스레이 튜브와 상기 디텍터 사이의 엑스레이 검사 위치로 배치하는 그립 장치;
    복수의 피검사체를 정렬하여 상기 그립 장치로 수평 방향으로 공급하는 로딩 장치; 및
    검사가 완료된 복수의 피검사체를 상기 그립 장치로부터 수평 방향으로 인출하는 언로딩 장치;를 포함하는, 엑스레이 검사 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 그립 장치는 상기 복수의 피검사체를 파지하는 홀딩 장치를 포함하고,
    상기 홀딩 장치는,
    상기 복수의 피검사체의 최상측에 배치된 피검사체의 상면을 지지하는 제1 피검사체 홀딩 장치; 및
    상기 제1 피검사체 홀딩 장치에 대칭으로 배치되고, 상기 복수의 피검사체의 최하측에 배치된 피검사체의 하면을 지지하는 제2 피검사체 홀딩 장치;를 포함하며,
    상기 제1 피검사 홀딩 장치 및 상기 제2 피검사체 홀딩 장치는 각각 중앙부가 서로 마주하는 방향으로 가압되면 상기 복수의 피검사체의 전체 면적에 대하여 균일하게 지지하도록 상기 제1 피검사 홀딩 장치와 상기 제2 피검사체 홀딩 장치의 서로 마주하는 면에 각각 단차가 형성된, 엑스레이 검사 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 단차는,
    상기 제1 피검사 홀딩 장치의 양측으로부터 중앙으로 갈수록 점차 높은 높이를 가지며,
    상기 제2 피검사 홀딩 장치의 양측으로부터 중앙으로 갈수록 점차 높은 높이를 가지는, 엑스레이 검사 장치.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 그립 장치에 복수의 피검사체를 이송하는 피검사체 로딩 장치; 및
    상기 그립 장치로부터 엑스레이 검사가 완료된 복수의 피검사체를 인출하는 피검사체 언로딩 장치;를 더 포함하는, 엑스레이 검사 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 엑스레이 튜브, 상기 디텍터, 상기 그립 장치를 감싸는 하우징;
    상기 피검사체 로딩 장치에 인접한 상기 하우징의 일측 개구를 개폐하는 제1 게이트 장치; 및
    상기 피검사 언로딩 장치에 인접한 상기 하우징의 타측 개구를 개폐하는 제2 게이트 장치;를 더 포함하는, 엑스레이 검사 장치.
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