KR20230066908A - Superconducting thin film exfoliating device for high temperature superconducting coil - Google Patents

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KR20230066908A
KR20230066908A KR1020210152419A KR20210152419A KR20230066908A KR 20230066908 A KR20230066908 A KR 20230066908A KR 1020210152419 A KR1020210152419 A KR 1020210152419A KR 20210152419 A KR20210152419 A KR 20210152419A KR 20230066908 A KR20230066908 A KR 20230066908A
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하홍수
김관태
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한국전기연구원
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Abstract

본 발명은 고온초전도 코일에 권취된 고온초전도 선재에서 초전도 박막을 분리하기 위한 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치는 금속의 확산접합에 의해 고정된 고온초전도선재 코일이 장착되며, 장착된 고온초전도선재 코일에 열을 가하면서 고온초전도선재를 일방향으로 연속 공급하기 위한 열처리보빈과, 상기 열처리보빈에 의해 가열되면서 공급되는 고온초전도선재에 소정 압력을 가하면서 접하여 기판과 이에 결합된 완충층을 분리하는 분리수단과, 상기 분리 수단으로부터 분리된 기판과 완충층을 수거하는 제1보빈 및 상기 열처리보빈으로부터 상기 기판 및 완충층과 분리된 초전도 박막을 회수하는 제2보빈을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면 코일링된 고온초전도선재에서 확산접합된 부분을 가열하여 계면간 결합력을 약화시키고, 분리롤러를 이용하여 약화된 계면에 압력을 가하면서 분리시킴에 따라 초전도 박막층이 기판으로부터 안정적으로 분리될 수 있다. The present invention relates to a superconducting thin film separator for a high temperature superconducting coil for separating a superconducting thin film from a high temperature superconducting wire wound around a high temperature superconducting coil.
A superconducting thin film separator for a high-temperature superconducting coil according to the present invention is equipped with a high-temperature superconducting wire coil fixed by metal diffusion bonding, and continuously supplies the high-temperature superconducting wire in one direction while applying heat to the mounted high-temperature superconducting wire coil. A heat treatment bobbin and a separating means for separating a substrate and a buffer layer coupled thereto by applying a predetermined pressure to the high-temperature superconducting wire supplied while being heated by the heat treatment bobbin, and a first for collecting the substrate and the buffer layer separated from the separating means It is characterized by comprising a bobbin and a second bobbin for recovering the superconducting thin film separated from the substrate and the buffer layer from the heat treatment bobbin.
According to the present invention, the diffusion-bonded portion of the coiled high-temperature superconducting wire is heated to weaken the bonding force between the interfaces, and the weakened interface is separated while applying pressure using a separation roller, thereby stably separating the superconducting thin film layer from the substrate. It can be.

Description

고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치{ Superconducting thin film exfoliating device for high temperature superconducting coil }Superconducting thin film exfoliating device for high temperature superconducting coil }

본 발명은 고온초전도 코일에서 초전도 박막을 분리하기 위한 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치에 관한 것이다. The present invention relates to a superconducting thin film separator for a high temperature superconducting coil for separating a superconducting thin film from a high temperature superconducting coil.

일반적으로 기능성 박막은 기판(주로 단결정)의 집합조직을 따라 에피텍셜하게 증착되는 경우가 대부분이다. 하지만, 기판에서 멀어질수록 자유도가 증가하여 박막의 에피텍셜 성장이 저하된다. In general, in most cases, functional thin films are epitaxially deposited along the texture of a substrate (mainly single crystal). However, as the degree of freedom increases as the distance from the substrate increases, the epitaxial growth of the thin film deteriorates.

또한, 고성능의 기능성 박막을 두껍게 증착하는 것은 기술적으로 많은 어려움이 있으며, 다층 증착의 경우도 상용화된 사례가 없어 주로 단일막 증착으로 기능성 박막이 제조되고 있다. In addition, it is technically difficult to deposit a high-performance functional thin film thickly, and in the case of multi-layer deposition, there is no commercialized case, so functional thin films are mainly manufactured by single-layer deposition.

한편, 상기와 같이 단일막 증착으로 제조되는 고온초전도 선재의 경우에도 에피텍셜한 박막의 증착을 위해 고가의 단결정 기판을 사용해야 하며, 두께의 한계 및 다층 박막 증착에 어려움이 있으나 고온 초전도 특성을 향상시키기 위해서는 두꺼운 층상 구조나 다층구조의 개발이 요구된다. On the other hand, even in the case of the high-temperature superconducting wire produced by single-film deposition as described above, an expensive single-crystal substrate must be used to deposit an epitaxial thin film, and there are limitations in thickness and difficulties in depositing multi-layer thin films. To achieve this, it is required to develop a thick layered structure or a multilayered structure.

최근 상기와 같은 문제점을 해결하고자 단면적대비 특성 향상을 위해 금속기판의 두께를 얇게 가공하는 기술 개발이 시도되고 있으나, 이는 기판의 생산가격을 더욱 상승시키는 문제점을 가진다. Recently, in order to solve the above problems, in order to improve the characteristics compared to the cross-sectional area, an attempt has been made to develop a technology for thinning the thickness of the metal substrate, but this has a problem of further increasing the production cost of the substrate.

따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 초전도 박막층을 직접 분리하는 기술에 대한 연구 개발이 이루어지고 있다. Therefore, in order to solve the above problems, research and development on a technology for directly separating the superconducting thin film layer is being conducted.

일 예로 대한민국 공개특허 10-2021-0061902“초전도 층의 박리 방법 및 그의 박리장치”에는 초전도 선재의 기판 및 상기 기판 상의 완충층으로부터 초전도 층을 분리하는 기술이 게시된다. For example, Korean Patent Laid-open Publication No. 10-2021-0061902 “Method for exfoliating superconducting layer and device for exfoliating the same” discloses a technique for separating a superconducting layer from a substrate of a superconducting wire and a buffer layer on the substrate.

상세히, 도 1 에는 종래 기술에 따른 초전도 층의 박리 장치를 보인 도면이 도시된다. In detail, FIG. 1 is a diagram showing a device for peeling a superconducting layer according to the prior art.

상기 도면을 참조하면, 종래 기술에 따른 초전도 층의 박리 장치는 릴리징 릴(10), 제 1 코일링 릴(20), 제 2 코일링 릴(30), 제 1 지지 롤러(40), 제 2 지지 롤러(50), 밴드 롤러(60), 및 이미지 센서들(70)을 포함하도록 구성된다. Referring to the drawing, the conventional superconducting layer peeling device includes a releasing reel 10, a first coiling reel 20, a second coiling reel 30, a first support roller 40, and a second coiling reel 10. It is configured to include a support roller 50 , a band roller 60 , and image sensors 70 .

그리고, 상기 릴리징 릴(10)에 권취되어 공급되는 초전도 선재(80)는 상기 밴드 롤러(60)에 의해 분리된 이후 제 1 코일링 릴(20) 및 제 2 코일링 릴(30)로 분리되어 수거 된다. In addition, the superconducting wire 80 wound and supplied to the releasing reel 10 is separated by the band roller 60 and then separated into a first coiling reel 20 and a second coiling reel 30, are collected

여기서, 상기 밴드 롤러(60)는 기판(82) 및 완충층(84)으로부터 초전도층(86) 및 라미네이션층(88)을 분리시키는 구성으로, 밴드 롤러(60)에 접하는 라미네이션층(88)을 밴드 롤러(60)을 따라 밴딩시키면서 초전도층(86)이 함께 밴딩되고, 완충층(84)은 기판(82)에 접합되어 초전도층(86)으로부터 분리된다. Here, the band roller 60 is configured to separate the superconducting layer 86 and the lamination layer 88 from the substrate 82 and the buffer layer 84, and the lamination layer 88 in contact with the band roller 60 is banded. While bending along the roller 60, the superconducting layer 86 is bent together, and the buffer layer 84 is bonded to the substrate 82 and separated from the superconducting layer 86.

또한, 상기와 같이 분리된 초전도층(86) 및 라미네이션층(88)은 상기 제2코일링 릴(30)에 권취되고, 상기 기판(82) 및 완충층(84)는 제1코일링 릴(20)에 권취되어 수거된다. 그리고, 상기 초전도층(86)에 잔존하는 파편의 검출을 위한 제1이미지센서(72)와 완충층(84)에 잔존하는 파편의 검출을 위한 제2이미지센서(74)를 구비함으로써 박리된 면의 확인 및 불량 검출이 이루어질 수 있다. In addition, the superconducting layer 86 and the lamination layer 88 separated as described above are wound around the second coiling reel 30, and the substrate 82 and the buffer layer 84 are wound on the first coiling reel 20. ) and collected. And, by providing a first image sensor 72 for detecting fragments remaining in the superconducting layer 86 and a second image sensor 74 for detecting fragments remaining in the buffer layer 84, Verification and defect detection can be made.

하지만, 상기와 같은 초전도 선재의 분리장치는 다음과 같은 문제점을 가진다. However, the above superconducting wire separator has the following problems.

우선, 상기 릴리징 릴(10)의 경우 코일링 된 초전도 선재가 구비되어 공급되는 구조로 보통 코일 권선 후에는 초전도 선재의 고정을 위해 에폭시나, 테프론, 실리콘, 파라핀 등을 이용한 함침이 이루어진다.First, in the case of the releasing reel 10, a coiled superconducting wire is provided and supplied, and after coil winding, impregnation using epoxy, Teflon, silicone, paraffin, etc. is performed to fix the superconducting wire.

따라서, 종래 기술과 같이 밴딩에 의한 분리를 진행하고자 할 경우에는 상기와 같은 함침 물질들을 제거하거나, 이에 대한 분리 방법이 요구된다. Therefore, in the case of proceeding with separation by banding as in the prior art, a method for removing or separating the impregnating materials is required.

게다가, 초전도 선재가 보빈에 권선되고, 코일링 상태를 유지하게 되면서 소정 곡률로 휘어지게 되는데, 이를 일방향으로 공급하고, 공급 과정에서 또 다시 다른 방향으로 밴딩하여 분리하게 될 경우 초전도 박막의 손상이 발생될 수 있다. In addition, the superconducting wire is wound on a bobbin and is bent at a predetermined curvature while maintaining a coiled state. If it is supplied in one direction and then separated by bending in another direction during the supply process, the superconducting thin film is damaged. It can be.

한편, 본 발명 발명자의 경우, 초전도 선재의 코일 권선 후 고정 안정성을 확보하기 위하여 확산접합을 이용하는 기술을 개발한 바 있다. Meanwhile, in the case of the inventors of the present invention, a technology using diffusion bonding has been developed to secure fixing stability after coil winding of a superconducting wire.

상세히, 대한민국 공개특허 10-2012-0066542“확산접합을 이용한 고온초전도코일의 제조방법 및 이에 의해 제조되는 고온초전도코일”에서는 고온초전도선재의 상부 및 하부에 은(Ag) 코팅막을 형성하여 보빈에 권선하고, 권선된 보빈에 열처리를 가하여 은(Ag) 코팅막이 확산접합을 통해 계면이 없는 확산접합층으로 형성되도록 한다. In detail, in Korean Patent Publication No. 10-2012-0066542 “Method for manufacturing high-temperature superconducting coil using diffusion bonding and high-temperature superconducting coil manufactured thereby”, a silver (Ag) coating film is formed on the upper and lower parts of the high-temperature superconducting wire and wound on a bobbin And, heat treatment is applied to the wound bobbin so that the silver (Ag) coating film is formed into a diffusion bonding layer without an interface through diffusion bonding.

도 2 는 종래 기술에 따른 보빈에 권취된 고온초전도선재 코일의 일 실시 예를 보인 도면으로, 초전도선재(92)와 확산접합층(94)이 반복되면서 안정적인 고정구조를 형성한 고온초전도선재 코일을 확인할 수 있다. 2 is a view showing an embodiment of a high-temperature superconducting wire coil wound around a bobbin according to the prior art. The high-temperature superconducting wire coil in which a stable fixed structure is formed by repeating the superconducting wire 92 and the diffusion bonding layer 94 You can check.

그리고, 상기와 같이 형성된 고온초전도선재 코일은 기판, 완충층, 초전도층, 보호층, 안정화층 및 확산접합층이 반복된 구조를 가지게 되며, 이와 같은 구조에서 초전도 박막을 손상 없이 분리하는 기술의 개발이 필요한 시점이다. In addition, the high-temperature superconducting wire coil formed as described above has a structure in which a substrate, a buffer layer, a superconducting layer, a protective layer, a stabilization layer, and a diffusion bonding layer are repeated. It is a necessary moment.

KRKR 10-2021-0061902 10-2021-0061902 AA KRKR 10-2021-0066542 10-2021-0066542 AA

본 발명의 목적은 확산접합을 통해 안정적으로 고정된 고온초전도선재 코일에서 초전도 박막을 안정적으로 분리하기 위한 고온초전도선재 코일용 초전도 박막 분리장치를 제공하는 것이다. An object of the present invention is to provide a superconducting thin film separator for a high temperature superconducting wire coil for stably separating a superconducting thin film from a high temperature superconducting wire coil stably fixed through diffusion bonding.

본 발명의 다른 목적은 2개 이상의 초전도 선재가 접합되어 다층구조를 형성한 고온초전도다층선재 코일에서 초전도 다층구조를 분리하기 위한 고온초전도선재 코일용 초전도 박막 분리장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a superconducting thin film separator for high-temperature superconducting wire coils for separating a superconducting multi-layer structure from a high-temperature superconducting multi-layer coil in which two or more superconducting wires are bonded to form a multi-layer structure.

본 발명에 따른 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치는 금속의 확산접합에 의해 고정된 고온초전도선재 코일이 장착되며, 장착된 고온초전도선재 코일에 열을 가하면서 고온초전도선재를 일방향으로 연속 공급하기 위한 열처리보빈과, 상기 열처리보빈에 의해 가열되면서 공급되는 고온초전도선재에 소정 압력을 가하면서 접하여 기판과 이에 결합된 완충층을 분리하는 분리수단과, 상기 분리 수단으로부터 분리된 기판과 완충층을 수거하는 제1보빈 및 상기 열처리보빈으로부터 상기 기판 및 완충층과 분리된 초전도 박막을 회수하는 제2보빈을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. A superconducting thin film separator for a high-temperature superconducting coil according to the present invention is equipped with a high-temperature superconducting wire coil fixed by metal diffusion bonding, and continuously supplies the high-temperature superconducting wire in one direction while applying heat to the mounted high-temperature superconducting wire coil. A heat treatment bobbin and a separating means for separating a substrate and a buffer layer coupled thereto by applying a predetermined pressure to the high-temperature superconducting wire supplied while being heated by the heat treatment bobbin, and a first for collecting the substrate and the buffer layer separated from the separating means It is characterized by comprising a bobbin and a second bobbin for recovering the superconducting thin film separated from the substrate and the buffer layer from the heat treatment bobbin.

상기 분리수단은 상기 고온초전도선재와 접하는 분리롤러와, 상기 분리롤러가 고온초전도선재와 접촉 시 가압력을 제공하기 위한 가압장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The separation means may include a separation roller contacting the high-temperature superconducting wire, and a pressing device for providing a pressing force when the separation roller contacts the high-temperature superconducting wire.

상기 분리수단에는 박리된 기판의 길이를 감지하기 위한 엔코더가 더 구비되는 것을 특징으로 한다. The separator may further include an encoder for detecting the length of the separated substrate.

상기 분리수단에는 상기 고온초전도선재에 가압력을 제공하면서 접하는 분리롤러가 포함되며, 상기 분리롤러의 직경은 5mm 내지 100mm 범위로 형성되는 것을 특징으로 한다.The separating means includes a separating roller contacting the high-temperature superconducting wire while providing a pressing force, and the diameter of the separating roller is formed in a range of 5 mm to 100 mm.

상기 열처리보빈과 분리수단 및 제1,2 보빈은 베이스플레이트에 회전 가능하도록 설치되며, 상기 베이스플레이트 일측에는 적어도 제2보빈의 장력을 조절하기 위한 장력조절수단이 더 구비되는 것을 특징으로 한다.The heat treatment bobbin, the separation means, and the first and second bobbins are rotatably installed on a base plate, and a tension adjusting means for adjusting the tension of at least the second bobbin is further provided on one side of the base plate.

다른 측면에서 본 발명에 따른 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치는 금속의 확산접합에 의해 고정된 고온초전도선재 코일이 장착되며, 장착된 고온초전도선재 코일에 열을 가하면서 고온초전도선재를 일방향으로 연속 공급하기 위한 열처리보빈과, 상기 열처리보빈에 의해 가열되면서 공급되는 고온초전도선재에 소정 압력을 가하면서 접하여 기판과 이에 결합된 완충층을 분리하는 제1분리수단과, 상기 제1분리수단으로부터 분리된 기판과 완충층을 수거하는 제1보빈과, 상기 제1분리수단에 의해 기판 및 완충층이 분리된 고온초전도선재에 소정 압력을 가하면서 접하여 초전도층과 보호층을 안정화층으로부터 분리하는 제2분리수단과, 상기 제2분리수단으로부터 분리된 초전도층과 보호층을 회수하는 제2보빈 및 상기 열처리보빈으로부터 상기 기판 및 완충층 그리고, 초전도층 및 보호층이 분리된 초전도선재를 회수하는 제3보빈을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. In another aspect, the apparatus for separating a superconducting thin film for a high-temperature superconducting coil according to the present invention is equipped with a high-temperature superconducting wire coil fixed by metal diffusion bonding, and heats the mounted high-temperature superconducting wire coil while continuously moving the high-temperature superconducting wire in one direction. A heat treatment bobbin for supplying a heat treatment bobbin, a first separation means for separating a substrate and a buffer layer coupled thereto by contacting the high-temperature superconducting wire supplied while being heated by the heat treatment bobbin while applying a predetermined pressure, and a substrate separated from the first separation means and a first bobbin for collecting the buffer layer, and a second separation means for separating the superconducting layer and the protective layer from the stabilization layer by contacting the high-temperature superconducting wire from which the substrate and the buffer layer are separated by the first separation means while applying a predetermined pressure; A second bobbin for recovering the superconducting layer and the protective layer separated from the second separation means, and a third bobbin for recovering the superconducting wire from which the substrate, the buffer layer, and the superconducting layer and the protective layer are separated from the heat treatment bobbin characterized by being

또 다른 측면에서 본 발명은 금속의 확산접합에 의해 고정된 고온초전도 다층선재 코일이 장착되며, 장착된 고온초전도 다층선재 코일에 열을 가하면서 고온초전도 다층선재를 일방향으로 연속 공급하기 위한 열처리보빈과, 상기 열처리보빈에 의해 가열되면서 공급되는 고온초전도 다층선재에 소정 압력을 가하면서 접하여 기판과 이에 결합된 완충층을 분리하는 제1분리수단과, 상기 제1분리수단으로부터 분리된 기판과 완충층을 수거하는 제1보빈과, 상기 열처리보빈으로부터 상기 기판 및 완충층과 분리된 초전도 다층 박막을 회수하는 제2보빈을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. In another aspect, the present invention provides a heat treatment bobbin for continuously supplying the high-temperature superconducting multi-layer wire rod in one direction while a high-temperature superconducting multi-layer wire coil fixed by metal diffusion bonding is mounted, and heat is applied to the mounted high-temperature superconducting multi-layer wire coil and , a first separation means for separating the substrate and the buffer layer coupled thereto by applying a predetermined pressure to the high-temperature superconducting multilayer wire supplied while being heated by the heat treatment bobbin, and collecting the substrate and the buffer layer separated from the first separation means It is characterized in that it comprises a first bobbin and a second bobbin for recovering the superconducting multilayer thin film separated from the substrate and the buffer layer from the heat treatment bobbin.

본 발명에 따르면 코일링된 고온초전도선재에서 확산접합된 부분을 가열하여 계면간 결합력을 약화시키고, 분리롤러를 이용하여 약화된 계면에 압력을 가하면서 분리시킴에 따라 초전도 박막층이 기판으로부터 안정적으로 분리될 수 있다. According to the present invention, the diffusion-bonded portion of the coiled high-temperature superconducting wire is heated to weaken the bonding force between the interfaces, and the weakened interface is separated while applying pressure using a separation roller, thereby stably separating the superconducting thin film layer from the substrate. It can be.

그리고, 상기와 같은 분리 구조에 의해 길이가 긴 초전도 박막을 연속해서 안정적으로 분리할 수 있으며, 이와 같이 분리되는 초전도 박막은 다시 다층 구조로 연계 시킬 수 있으므로 보다 높은 특성을 가지는 고온초전도 선재를 제조할 수 있는 이점을 가진다. In addition, the long superconducting thin film can be continuously and stably separated by the separation structure as described above, and since the separated superconducting thin film can be linked into a multilayer structure again, a high-temperature superconducting wire having higher characteristics can be manufactured. has the advantage of

또한, 상기와 같은 이점을 바탕으로 대전류 통전도체의 제조가 가능함에 따라 고온초전도 선재를 활용한 대형가속기, 핵융합장치, 고자장 NMR 및 MRI 등의 응용기기의 고효율 및 대형화가 이루어질 수 있다. In addition, as high-current conducting conductors can be manufactured based on the above advantages, high-efficiency and large-size applications such as large-scale accelerators, nuclear fusion devices, and high-field NMR and MRI using high-temperature superconducting wires can be achieved.

도 1 은 종래 기술에 따른 초전도 층의 박리 장치를 보인 도면.
도 2 는 종래 기술에 따른 보빈에 권취된 고온초전도선재 코일의 일 실시 예를 보인 도면.
도 3 은 본 발명의 일실시 예에 따른 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치의 구성을 개략적으로 보인 도면.
도 4 는 본 발명에 따른 고온초전도 코일용 박막 분리장치의 일 실시 예를 보인 사진.
도 5 내지 도 6 은 본 발명의 일 실시 예에 따른 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치에 의해 초전도 박막을 분리하는 과정을 보이기 위한 도면.
도 7 내지 8 은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치에 의해 초전도 박막을 분리하는 과정을 보이기 위한 도면.
도 9 는 종래 기술에 따른 보빈에 권취된 고온초전도 다층선재 코일의 일실시 예를 보인 도면.
도 10 은 도 5 에 따른 박막 분리장치를 이용하여 고온초전도 다층선재 코일에서 초전도 박막을 분리하는 과정을 보인 도면.
도 11 은 도 7 에 따른 박막 분리장치를 이용하여 고온초전도 다층선재 코일에서 초전도 박막을 분리하는 과정을 보인 도면.1 is a view showing an apparatus for peeling a superconducting layer according to the prior art;
2 is a view showing an embodiment of a high-temperature superconducting wire coil wound around a bobbin according to the prior art;
3 is a view schematically showing the configuration of a superconducting thin film separator for a high-temperature superconducting coil according to an embodiment of the present invention.
4 is a photograph showing an embodiment of a thin film separator for a high-temperature superconducting coil according to the present invention.
5 and 6 are views illustrating a process of separating a superconducting thin film by a superconducting thin film separator for a high-temperature superconducting coil according to an embodiment of the present invention.
7 to 8 are views for showing a process of separating a superconducting thin film by a superconducting thin film separator for a high-temperature superconducting coil according to another embodiment of the present invention.
9 is a view showing an embodiment of a high-temperature superconducting multi-layer wire coil wound around a bobbin according to the prior art;
10 is a view showing a process of separating a superconducting thin film from a high-temperature superconducting multilayer wire coil using the thin film separator of FIG. 5;
11 is a view showing a process of separating a superconducting thin film from a high-temperature superconducting multilayer wire coil using the thin film separator of FIG. 7;

이하, 본 발명의 일부 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세히 설명한다.각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호로 기재된다. 또한, 실시 예의 설명에 있어 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 설명을 간략히 하거나 생략하였으며, 어떤 구성요소가 다른 구성요소의 상측에 “구비”, “적층”, “연결”된다고 기재된 경우, 그 구성요소는 그 다른 구성요소의 상면에 직접적으로 구비, 적층 또는 연결될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 또 다른 구성 요소가 “구비”, “적층”, “연결”될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. Hereinafter, some embodiments of the present invention will be described in detail through exemplary drawings. In adding reference numerals to components in each drawing, the same components are indicated by the same numerals as much as possible, even if they are displayed on different drawings. are listed In addition, in the description of the embodiment, if it is determined that a detailed description of a related known configuration or function interferes with understanding of the embodiment of the present invention, the description is simplified or omitted, and a certain component is placed on top of another component. When it is described as “provided,” “laminated,” or “connected,” the component may be directly provided, stacked, or connected to the upper surface of the other component, but another component may be “provided,” It should be understood that it may be “stacked” or “connected”.

도 3 에는 본 발명의 일실시 예에 따른 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치의 구성을 개략적으로 보인 도면이 도시되고, 도 4 에는 본 발명에 따른 고온초전도 코일용 박막 분리장치의 일 실시 예를 보인 사진이 도시된다.3 is a diagram schematically showing the configuration of a superconducting thin film separator for a high-temperature superconducting coil according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 shows an embodiment of a thin film separator for a high-temperature superconducting coil according to the present invention. A photo is shown.

이들 도면을 참조하면, 본 발명에 따른 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치는, 평판 형상의 베이스 플레이트(100)에 확산접합에 의해 고정된 고온초전도 코일이 장착되는 열처리보빈(200)과, 상기 열처리보빈(200)으로부터 공급되는 고온초전도선재에서 기판과 초전도 박막을 분리하기 위한 제1분리수단(300) 및 분리된 기판과 초전도 박막을 각각 회수하기 위한 제1보빈400)과 제2보빈(600)이 설치된 형태로 구성된다. Referring to these drawings, an apparatus for separating a superconducting thin film for a high-temperature superconducting coil according to the present invention includes a heat treatment bobbin 200 in which a high-temperature superconducting coil fixed to a plate-shaped base plate 100 by diffusion bonding is mounted, and the heat treatment A first separation unit 300 for separating the substrate and the superconducting thin film from the high-temperature superconducting wire supplied from the bobbin 200, and a first bobbin 400) and a second bobbin 600 for recovering the separated substrate and the superconducting thin film, respectively. It consists of this installed form.

상기 열처리보빈(200)은 확산접합에 의해 고정된 고온초전도 코일에서 고온초전도선재를 일정하게 공급하기 위하여 열처리를 수행하면서 고온초전도선재를 공급한다. The heat treatment bobbin 200 supplies the high temperature superconducting wire while performing heat treatment in order to constantly supply the high temperature superconducting wire from the high temperature superconducting coil fixed by diffusion bonding.

여기서, 상기 열처리는 초전도 특성을 고려하여 1atm 이하의 산소(O2) 분위기에서 500℃ 내지 600℃로 2 내지 4시간 동안 이루어진다. Here, the heat treatment is performed at 500° C. to 600° C. for 2 to 4 hours in an oxygen (O 2 ) atmosphere of 1 atm or less in consideration of superconductive properties.

상기와 같은 임계조건은 상기 고온초전도 코일의 제조시 형성되는 확산접합층과 기판의 결합구조를 약화시키면서 초전도 특성을 잃지 않는 범위에서 결정된다. The critical condition as described above is determined within a range in which superconducting properties are not lost while weakening the coupling structure between the diffusion bonding layer and the substrate formed during the manufacture of the high-temperature superconducting coil.

상세히, 확산접합층을 형성하고 있는 은(Ag)이 소성변형을 일으키지 않고, 원자의 확산을 이용하여 계면간 확산접합이 이루어지기 위해서는 1atm 이하의 산소(O2) 분위기 하에서 300℃ 내지 500℃의 온도조건으로 2 내지 24시간 동안 열처리가 이루어진다. In detail, silver (Ag) forming the diffusion bonding layer does not undergo plastic deformation and diffusion bonding between interfaces using atom diffusion is performed at a temperature of 300° C. to 500° C. in an oxygen (O 2 ) atmosphere of 1 atm or less. Heat treatment is performed for 2 to 24 hours under temperature conditions.

반면, 본 발명은 계면간 확산접합이 아닌 확산접합층과 기판 간의 결합구조를 약화시키기 위한 목적을 가짐에 따라 은(Ag)이 소셩변형을 일으키지 않고, 초전도 특성을 저하시키지 않는 온도범위에서 상대적으로 짧은 시간동안 열처리를 수행하는데 특징을 가진다. On the other hand, since the present invention has the purpose of weakening the bonding structure between the diffusion bonding layer and the substrate, rather than diffusion bonding between interfaces, silver (Ag) does not cause deformation and is relatively stable in a temperature range that does not degrade superconducting properties. It is characterized by performing heat treatment for a short time.

한편, 상기 제1분리수단(300)은 상기와 같이 열처리된 고온초전도 선재와 접하여 기판과 상기 기판에 에피텍셜하게 증착된 완충층을 분리하기 위한 구성으로, 제1분리롤러(320)와 제1가압장치(340) 및 제1엔코더(360)를 포함하여 구성된다. On the other hand, the first separation means 300 is configured to separate the substrate and the buffer layer epitaxially deposited on the substrate in contact with the high-temperature superconducting wire heat-treated as described above, and the first separation roller 320 and the first pressure It consists of a device 340 and a first encoder 360 .

상기 제1분리롤러(320)는 상기 열처리보빈(200)으로부터 공급되는 고온초전도선재의 이송방향에 순방향으로 회전하면서 상기 제1가압장치(340)에 의해 소정 압력으로 접촉된다. The first separation roller 320 is contacted with a predetermined pressure by the first pressing device 340 while rotating in the forward direction of the transport direction of the high-temperature superconducting wire supplied from the heat treatment bobbin 200 .

따라서, 상기 열처리보빈(200)에 의해 고온초전도선재의 전체 층간 계면 접착력이 약화된 상태에서 상기 제1분리롤러(320)가 가압 접촉되어 회전하게 되면, 가장 외곽에 위치한 기판과 상기 기판에 강한 결합력으로 증착된 완충층이 함께 분리될 수 있다. Therefore, when the first separation roller 320 presses and contacts and rotates in a state in which the interfacial adhesion between the entire layers of the high-temperature superconducting wire is weakened by the heat treatment bobbin 200, the strong bonding force between the outermost substrate and the substrate The deposited buffer layer can be separated together.

상기 가압장치(340)는 압축 및 텐션 로드셀을 포함하도록 구성되어 상기 제1분리롤러(320)에 가해지는 압력을 미세 조절할 수 있다. The pressure device 340 is configured to include a compression and tension load cell, so that the pressure applied to the first separation roller 320 can be finely adjusted.

상기 제1엔코더(360)는 상기 제1분리롤러(320)와 제1보빈(400) 사이에 구비되어 상기 제1분리롤러(320)로부터 분리되어 제1보빈(400)으로 이송되는 기판의 길이를 측정한다.The first encoder 360 is provided between the first separation roller 320 and the first bobbin 400, and the length of the substrate separated from the first separation roller 320 and transferred to the first bobbin 400. to measure

한편, 상기 제2보빈(600)은 상기 열처리보빈(200)의 일측에서 상기 기판 및 완충층이 분리된 초전도 박막을 회수한다.Meanwhile, the second bobbin 600 collects the superconducting thin film from which the substrate and the buffer layer are separated from one side of the heat treatment bobbin 200 .

이때, 상기 제2보빈(600)은 베이스 플레이트(100) 일측에 구비되는 장력조절수단(800)과 연결되어 회수되는 초전도 박막의 텐션을 조절하면서 안정적인 회수가 이루어질 수 있다. At this time, the second bobbin 600 is connected to the tension adjusting means 800 provided on one side of the base plate 100, and stable recovery can be achieved while adjusting the tension of the superconducting thin film to be recovered.

이를 위해 상기 장력조절수단(800)은 파우더 클러치가 적용될 수 있다. To this end, the tension adjusting means 800 may be applied with a powder clutch.

이하에서는 상기와 같은 구성을 가지는 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치를 이용하여 초전도 층이 단층으로 형성된 고온초전도선재 코일에서 박막을 분리하는 과정에 대하여 설명한다.Hereinafter, a process of separating a thin film from a high-temperature superconducting wire coil in which a superconducting layer is formed as a single layer will be described using the superconducting thin film separator for a high-temperature superconducting coil having the above configuration.

도 5 내지 도 6 에는 본 발명의 일 실시 예에 따른 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치에 의해 초전도 박막을 분리하는 과정을 보이기 위한 도면이 도시된다. 5 and 6 are diagrams illustrating a process of separating a superconducting thin film by a superconducting thin film separator for a high-temperature superconducting coil according to an embodiment of the present invention.

이들 도면을 참조하면, 고온초전도 코일에 권선되어 있는 고온초전도 선재는 도 5 에 도시된 바와 같이 가장 외측부터 기판-완충층-초전도층-보호층-안정화층-확산접합층-기판의 순서가 반복된 형태를 가진다. Referring to these figures, the high-temperature superconducting wire wound around the high-temperature superconducting coil is composed of a substrate-buffer layer-superconducting layer-protection layer-stabilization layer-diffusion bonding layer-substrate sequence repeated from the outermost side as shown in FIG. have a form

즉, 전술한 바와 같이 기판과 안정화층에 각각 은(Ag) 코팅층을 형성하고, 접합면에서 은(Ag) 원자의 확산이 일어나면서 서로 접합된 은(Ag) 코팅층이 고상으로 상호 접합하여 계면이 사라진 확산접합층으로 형성되어 고정된 결합관계를 형성한다. That is, as described above, silver (Ag) coating layers are formed on the substrate and the stabilization layer, respectively, and the silver (Ag) coating layers bonded to each other are bonded to each other in a solid state while diffusion of silver (Ag) atoms occurs at the bonding surface to form an interface. It is formed by the disappearing diffusion bonding layer to form a fixed bonding relationship.

따라서, 본 발명에서는 열처리보빈(200)에 고온초전도선재 코일을 장착하여 1atm 이하의 산소(O2) 분위기에서 500℃ 내지 600℃로 2 내지 4시간 동안 열처리하며 고온초전도선재를 공급한다. Therefore, in the present invention, the high-temperature superconducting wire coil is mounted on the heat treatment bobbin 200, heat-treated at 500° C. to 600° C. for 2 to 4 hours in an oxygen (O 2 ) atmosphere of 1 atm or less, and the high-temperature superconducting wire is supplied.

상기와 같이 열처리된 고온초전도선재는 기판-완충층-초전도층-보호층-안정화층-확산접합층-기판 사이의 각 계면간 결합관계까 약화되며, 상기 제1분리롤러(320)를 기판에 소정 압력으로 가압하면서 접촉시킬 경우 상대적으로 강한 결합관계를 형성하고 있는 기판과 완충층이 분리된다. The high-temperature superconducting wire heat-treated as described above weakens the bonding relationship between each interface between the substrate-buffer layer-superconducting layer-protection layer-stabilization layer-diffusion bonding layer-substrate, and the first separation roller 320 is placed on the substrate in a predetermined manner. When the contact is made while pressing with pressure, the substrate and the buffer layer forming a relatively strong bonding relationship are separated.

그리고, 상기와 같이 분리된 기판과 완충층은 제1엔코더(360)에 의해 길이가 측정되면서 제1보빈(400)으로 이송되어 회수되며, 기판 및 완충층이 분리되어 남겨진 초전도 박막은 초전도층-보호층-안정화층 및 확산접합층으로 구성된 층상구조를 가지며 제2보빈(600)에서 회수된다.In addition, the substrate and the buffer layer separated as described above are transferred to the first bobbin 400 and recovered while the length is measured by the first encoder 360, and the superconducting thin film left after the substrate and the buffer layer are separated is the superconducting layer-protection layer. - It has a layered structure composed of a stabilization layer and a diffusion bonding layer and is recovered from the second bobbin (600).

한편, 상기와 같이 초전도층-보호층-안정화층 및 확산접합층으로 구성된 층상구조의 초전도 박막은 본 발명의 다른 실시예에서 설명되는 제2분리수단(500)에 의해 초전도층 및 보호층만 분리될 수 있다. Meanwhile, in the superconducting thin film having a layered structure composed of a superconducting layer-protective layer-stabilization layer and diffusion bonding layer as described above, only the superconducting layer and the protective layer are separated by the second separation means 500 described in another embodiment of the present invention. It can be.

도 7 내지 8 에는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치에 의해 초전도 박막을 분리하는 과정을 보이기 위한 도면이 도시된다. 7 and 8 are diagrams showing a process of separating a superconducting thin film by a superconducting thin film separator for a high-temperature superconducting coil according to another embodiment of the present invention.

이들 도면에 도시된 실시 예는 전술한 실시 예에 제2분리수단(500) 및 제3보빈(800)이 추가된 형태로, 제1분리수단(300)에 의해 기판과 완충층이 분리된 고온초전도선재에서 초전도층과 보호층을 분리하고, 안정화층과 확산접합층이 개별 회수될 수 있도록 한다. The embodiment shown in these figures is a high-temperature superconductor in which the substrate and the buffer layer are separated by the first separation means 300 in the form of adding the second separation means 500 and the third bobbin 800 to the above-described embodiment. The superconducting layer and the protective layer are separated from the wire rod, and the stabilization layer and the diffusion bonding layer are individually recovered.

상세히, 상기 제2분리수단(500)은 제1분리수단(300)과 마찬가지로 제2분리롤러(520)와 제2가압장치(540) 및 제2엔코더(560)를 포함하도록 구성되어 기판 및 완충층이 분리된 고온초전도선재에 소정 압력을 가하며 회전 접촉된다. In detail, the second separating means 500 is configured to include a second separating roller 520, a second pressing device 540, and a second encoder 560 like the first separating means 300, and thus a substrate and a buffer layer. The separated high-temperature superconducting wire is brought into rotational contact while applying a predetermined pressure.

따라서, 상기 제2분리롤러(520)에 접한 초전도층은 제2가압장치(540)를 통해 가해진 압력에 의해 보호층과 함께 분리되어 제2엔코더(560)에 의해 길이가 측정되며 제2보빈(600)으로 안내되어 회수된다. Therefore, the superconducting layer in contact with the second separation roller 520 is separated along with the protective layer by the pressure applied through the second pressing device 540, the length is measured by the second encoder 560, and the second bobbin ( 600) to be retrieved.

그리고, 상기와 같이 초전도층과 보호층이 분리됨에 따라 상기 열처리보빈(200)을 통해 이송되는 초전도선재에는 안정화층과 확산접합층이 기판과 분리되어 제3보빈(800)에서 회수된다. In addition, as the superconducting layer and the protective layer are separated as described above, the stabilization layer and the diffusion bonding layer of the superconducting wire transferred through the heat treatment bobbin 200 are separated from the substrate and recovered in the third bobbin 800.

한편, 본 발명에 따른 박막 분리장치는 고온초전도 다층선재 코일에서도 초전도 박막을 분리할 수 있다. Meanwhile, the thin film separator according to the present invention can separate a superconducting thin film even from a high-temperature superconducting multilayer wire coil.

도 9 는 종래 기술에 따른 보빈에 권취된 고온초전도 다층선재 코일의 일실시 예를 보인 도면으로, 초전도층과 초전도층 사이가 접합보호층에 의해 연결되어 초전도 층이 다층으로 적층된 구조를 가진다.9 is a view showing an embodiment of a high-temperature superconducting multi-layer wire coil wound around a bobbin according to the prior art, and has a structure in which superconducting layers are connected in multiple layers by bonding protective layers.

따라서, 고온초전도 다층선재 코일은 도 9에 도시된 바와 같이 기판-완충층-초전도층-접합보호층-초전도층-보호층-안정화층-확산접합층-기판이 반복되는 구조로 코일링된다.Therefore, the high-temperature superconducting multilayer wire coil is coiled in a structure in which the substrate-buffer layer-superconducting layer-junction protection layer-superconductivity layer-protection layer-stabilization layer-diffusion bonding layer-substrate are repeated, as shown in FIG.

한편, 도 10 에는 도 5 에 따른 박막 분리장치를 이용하여 고온초전도 다층선재 코일에서 초전도 박막을 분리하는 과정을 보인 도면이 도시되고, 도 11 에는 도 7 에 따른 박막 분리장치를 이용하여 고온초전도 다층선재 코일에서 초전도 박막을 분리하는 과정을 보인 도면이 도시된다. Meanwhile, FIG. 10 shows a process of separating a superconducting thin film from a high temperature superconducting multilayer wire coil using the thin film separator of FIG. 5 , and FIG. 11 shows a high temperature superconducting multilayer using the thin film separator of FIG. 7 . A drawing showing a process of separating the superconducting thin film from the wire coil is shown.

우선, 도 10을 참조하면, 고온초전도 다층선재 코일의 경우에도 전술한 도 5 의 실시 예와 마찬가지로 열처리보빈(200)에 고온초전도 다층선재 코일을 장착하여 열처리를 수행하면서 고온초전도 다층선재가 공급된다. First, referring to FIG. 10, in the case of a high temperature superconducting multilayer wire coil, as in the embodiment of FIG. 5, the high temperature superconducting multilayer wire coil is mounted on the heat treatment bobbin 200 and heat treatment is performed while the high temperature superconducting multilayer wire is supplied. .

상기와 같이 공급되는 고온초전도 다층선재에는 제1분리롤러(320)가 순방향으로 회전하면서 접하게 되며, 제1가압장치(340)에 의해 소정 압력이 가해지면서 기판과 완충층이 분리된다. The first separation roller 320 rotates in the forward direction to come into contact with the high-temperature superconducting multilayer wire supplied as described above, and a predetermined pressure is applied by the first pressing device 340 to separate the substrate and the buffer layer.

상기와 같이 분리된 기판과 완충층은 제1엔코더(360)에 의해 제1보빈(400)으로 안내되면서 길이가 측정되고, 기판과 완충층이 분리된 고온초전도 다층선재는 초전도층-접합보호층-초전도층-보호층-안정화층-확산접합층의 층상구조를 가지는 형태로 제2보빈(600)으로 안내되어 회수된다. The substrate and the buffer layer separated as described above are guided to the first bobbin 400 by the first encoder 360 and the length is measured. It is guided to the second bobbin 600 and recovered in the form of a layered structure of layer-protection layer-stabilization layer-diffusion bonding layer.

한편, 도 11 을 참조하면, 도 10에서와 같이 기판과 완충층이 분리된 고온초전도 다층선재에 제2분리롤러(520)기 순방향으로 회전 접촉하면서 제2가압장치(540)에 의해 소정의 압력이 가해진다. Meanwhile, referring to FIG. 11, as shown in FIG. 10, a predetermined pressure is applied by the second pressing device 540 while the second separator roller 520 rotates in forward direction to the high-temperature superconducting multi-layer wire rod from which the substrate and the buffer layer are separated. is inflicted

여기서, 가해지는 압력은 도 7의 실시 예에서 가해지는 압력보다 더 높은 압력을 가함으로써 상대적으로 결합력이 약화된 접합보호층이 분리되지 않고 보호층과 안정화층이 분리될 수 있다. Here, the applied pressure is higher than the pressure applied in the embodiment of FIG. 7, so that the protective layer and the stabilization layer can be separated without separating the bonding protective layer having a relatively weakened bonding force.

따라서, 상기 제2보빈(600)에는 초전도층-접합보호층-초전도층-보호층의 층상구조를 가지는 초전도 다층박막이 제2엔코더(560)에 의해 길이 측정되며 회수될 수 있다. Therefore, in the second bobbin 600, the superconducting multilayer thin film having a layered structure of superconducting layer-junction protective layer-superconducting layer-protective layer can be measured and recovered by the second encoder 560.

그리고, 상기와 같이 초전도 다층박막이 분리된 고온초전도 선재는 안정화층과 확산접합층이 제3보빈(800)에서 회수된다. In addition, the high-temperature superconducting wire from which the superconducting multilayer thin film is separated as described above is recovered from the third bobbin 800 with a stabilization layer and a diffusion bonding layer.

100.......... 베이스 플레이트 200.......... 열처리보빈
300.......... 제1분리수단 320.......... 제1분리롤러
340.......... 제1가압장치 360.......... 제1엔코더
400.......... 제1보빈 500.......... 제2분리수단
520.......... 제2분리롤러 540.......... 제2가압장치
560.......... 제2엔코더 600.......... 제3보빈
800.......... 제3보빈100......... base plate 200....... heat treatment bobbin
300....... First separation means 320.......... First separation roller
340......... 1st pressurizing device 360......... 1st encoder
400....... First bobbin 500....... Second separation means
520.......... 2nd separation roller 540........ 2nd pressurizing device
560......... 2nd encoder 600....... 3rd bobbin
800......... 3rd bobbin

Claims (7)

금속의 확산접합에 의해 고정된 고온초전도선재 코일이 장착되며, 장착된 고온초전도선재 코일에 열을 가하면서 고온초전도선재를 일방향으로 연속 공급하기 위한 열처리보빈;
상기 열처리보빈에 의해 가열되면서 공급되는 고온초전도선재에 소정 압력을 가하면서 접하여 기판과 이에 결합된 완충층을 분리하는 분리수단;
상기 분리 수단으로부터 분리된 기판과 완충층을 수거하는 제1보빈; 및
상기 열처리보빈으로부터 상기 기판 및 완충층과 분리된 초전도 박막을 회수하는 제2보빈;을 포함하여 구성되는 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치.
a heat treatment bobbin in which a high-temperature superconducting wire coil fixed by metal diffusion bonding is mounted and continuously supplying the high-temperature superconducting wire in one direction while applying heat to the mounted high-temperature superconducting wire coil;
Separation means for separating the substrate and the buffer layer coupled thereto by applying a predetermined pressure to the high-temperature superconducting wire supplied while being heated by the heat treatment bobbin;
a first bobbin that collects the separated substrate and buffer layer from the separation means; and
A superconducting thin film separator for a high-temperature superconducting coil comprising: a second bobbin for recovering the superconducting thin film separated from the substrate and the buffer layer from the heat treatment bobbin.
 제 1 항에 있어서, 상기 분리수단은,
상기 고온초전도선재와 접하는 분리롤러와,
상기 분리롤러가 고온초전도선재와 접촉 시 가압력을 제공하기 위한 가압장치;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치.
The method of claim 1, wherein the separation means,
a separation roller in contact with the high-temperature superconducting wire;
A superconducting thin film separator for a high-temperature superconducting coil, characterized in that it comprises a pressing device for providing a pressing force when the separation roller contacts the high-temperature superconducting wire.
 제 2 항에 있어서,
상기 분리수단에는 박리된 기판의 길이를 감지하기 위한 엔코더가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치.
According to claim 2,
Superconducting thin film separator for high-temperature superconducting coil, characterized in that the separator further includes an encoder for detecting the length of the peeled substrate.
 제 1 항에 있어서,
상기 분리수단에는 상기 고온초전도선재에 가압력을 제공하면서 접하는 분리롤러가 포함되며,
상기 분리롤러의 직경은 5mm 내지 100mm 범위로 형성되는 것을 특징으로 하는 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치.
According to claim 1,
The separation means includes a separation roller contacting the high-temperature superconducting wire while providing a pressing force;
Superconducting thin film separator for high-temperature superconducting coil, characterized in that the diameter of the separation roller is formed in the range of 5 mm to 100 mm.
 제 1 항에 있어서,
상기 열처리보빈과 분리수단 및 제1,2 보빈은 베이스플레이트에 회전 가능하도록 설치되며, 상기 베이스플레이트 일측에는 적어도 제2보빈의 장력을 조절하기 위한 장력조절수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치.
According to claim 1,
The heat treatment bobbin, the separating means, and the first and second bobbins are rotatably installed on the base plate, and a tension adjusting means for adjusting the tension of at least the second bobbin is further provided on one side of the base plate. Superconducting thin film separator for coils.
 금속의 확산접합에 의해 고정된 고온초전도선재 코일이 장착되며, 장착된 고온초전도선재 코일에 열을 가하면서 고온초전도선재를 일방향으로 연속 공급하기 위한 열처리보빈;
상기 열처리보빈에 의해 가열되면서 공급되는 고온초전도선재에 소정 압력을 가하면서 접하여 기판과 이에 결합된 완충층을 분리하는 제1분리수단;
상기 제1분리수단으로부터 분리된 기판과 완충층을 수거하는 제1보빈;
상기 제1분리수단에 의해 기판 및 완충층이 분리된 고온초전도선재에 소정 압력을 가하면서 접하여 초전도층과 보호층을 안정화층으로부터 분리하는 제2분리수단;
상기 제2분리수단으로부터 분리된 초전도층과 보호층을 회수하는 제2보빈; 및
상기 열처리보빈으로부터 상기 기판 및 완충층 그리고, 초전도층 및 보호층이 분리된 초전도선재를 회수하는 제3보빈;을 포함하여 구성되는 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치.
a heat treatment bobbin in which a high-temperature superconducting wire coil fixed by metal diffusion bonding is mounted and continuously supplying the high-temperature superconducting wire in one direction while applying heat to the mounted high-temperature superconducting wire coil;
a first separating means for separating the substrate and the buffer layer coupled thereto by applying a predetermined pressure to the high-temperature superconducting wire supplied while being heated by the heat treatment bobbin;
a first bobbin for collecting the substrate and the buffer layer separated from the first separation means;
a second separation means for separating the superconducting layer and the passivation layer from the stabilization layer by applying a predetermined pressure to the high-temperature superconducting wire from which the substrate and the buffer layer are separated by the first separation means;
a second bobbin for recovering the superconducting layer and the passivation layer separated from the second separation unit; and
A superconducting thin film separator for high-temperature superconducting coils comprising: a third bobbin for recovering the superconducting wire from which the substrate, the buffer layer, and the superconducting layer and the protective layer are separated from the heat treatment bobbin.
 금속의 확산접합에 의해 고정된 고온초전도 다층선재 코일이 장착되며, 장착된 고온초전도 다층선재 코일에 열을 가하면서 고온초전도 다층선재를 일방향으로 연속 공급하기 위한 열처리보빈;
상기 열처리보빈에 의해 가열되면서 공급되는 고온초전도 다층선재에 소정 압력을 가하면서 접하여 기판과 이에 결합된 완충층을 분리하는 제1분리수단;
상기 제1분리수단으로부터 분리된 기판과 완충층을 수거하는 제1보빈;
상기 열처리보빈으로부터 상기 기판 및 완충층과 분리된 초전도 다층 박막을 회수하는 제2보빈;을 포함하여 구성되는 고온초전도 코일용 초전도 박막 분리장치.a heat treatment bobbin in which a high-temperature superconducting multi-layer wire coil fixed by metal diffusion bonding is mounted and continuously supplying the high-temperature superconducting multi-layer wire in one direction while applying heat to the mounted high-temperature superconducting multi-layer wire coil;
a first separation means for separating the substrate and the buffer layer coupled thereto by applying a predetermined pressure to the high-temperature superconducting multilayer wire supplied while being heated by the heat treatment bobbin;
a first bobbin for collecting the substrate and the buffer layer separated from the first separation unit;
A superconducting thin film separator for a high-temperature superconducting coil comprising a second bobbin for recovering the superconducting multilayer thin film separated from the substrate and the buffer layer from the heat treatment bobbin.
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