KR20230063859A - Parameter adjustment support device and parameter adjustment support method - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 화상 센서의 검사 처리에서 사용되는 파라미터의 조정을 지원하기 위한 기술에 관한 것이다.The present invention relates to a technique for supporting adjustment of parameters used in an inspection process of an image sensor.
공장의 제조 라인 등에서는, 제조물의 검사를 자동화 내지 생력화하기 위해, 화상 센서라고 불리는 시스템이 다용되어 있다(특허문헌 1 참조). 화상 센서에서는, 복수 항목의 검사 처리를 조합하여 일련의 검사 플로가 구성된다. 화상 센서에서 올바른 검사 결과를 얻기 위해서는, 각 검사 처리에서 사용되는 파라미터를 적절하게 설정할 필요가 있지만, 종래는, 개개의 검사 처리의 파라미터를 개별로 설정할 수밖에 방법이 없어, 그 파라미터의 조정(맞춤)의 작업이 간단하지는 않았다.BACKGROUND OF THE INVENTION [0002] A system called an image sensor is frequently used in a production line of a factory or the like to automate or save labor for product inspection (see Patent Document 1). In the image sensor, a series of inspection flows are configured by combining inspection processing of a plurality of items. In order to obtain correct inspection results with the image sensor, it is necessary to appropriately set the parameters used in each inspection process, but conventionally, there is no other way but to individually set the parameters of each inspection process, and adjustment (alignment) of the parameters was not an easy task.
본 발명은 상기 실정을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적으로 하는 점은, 복수의 검사 처리를 갖는 화상 센서에 관해, 유저에 의한 파라미터의 조정 작업을 간이화하기 위한 기술을 제공하는 데 있다.The present invention has been made in view of the above situation, and its object is to provide a technique for simplifying the adjustment work of parameters by a user regarding an image sensor having a plurality of inspection processes.
본 개시는, 화상에 대하여 복수의 검사 처리를 실행 가능한 화상 센서에 관해, 각 검사 처리에서 사용되는 파라미터의 조정을 지원하기 위한 파라미터 조정 지원 장치이며, 상기 검사 처리는, 화상으로부터 소정의 계측 파라미터의 값을 계산하고, 상기 계측 파라미터의 값을 역치와 비교하여 OK 또는 NG의 판정 결과를 출력하는 것이며, 상기 파라미터는, 상기 계측 파라미터의 값을 계산할 때의 조건을 규정하는 설정 파라미터와, 상기 역치를 포함하는 것이며, 상기 복수의 검사 처리 중에서 조정 대상으로 하는 N 항목(N은 2 이상의 정수)의 검사 처리를 설정하는 조정 대상 설정부와, 상기 N 항목의 검사 처리의 모두에 있어서 OK 판정이 얻어져야 할 OK 화상과, 상기 N 항목의 검사 처리 중 적어도 어느 것의 검사 처리에 있어서 NG 판정이 얻어져야 할 NG 화상을 취득하는 화상 취득부와, 상기 N 항목의 검사 처리의 각각에 대해서, OK 화상으로부터 상기 설정 파라미터의 현재의 조건에 따라서 계산된 상기 계측 파라미터의 값인 OK 화상 계측값과, 당해 검사 처리의 NG 화상으로부터 상기 설정 파라미터의 현재의 조건에 따라서 계산된 상기 계측 파라미터의 값인 NG 화상 계측값과, 현재의 상기 역치를 묘화한 그래프를 생성하는 그래프 생성부와, 상기 그래프를 표시 장치에 출력하는 출력부를 구비하는 것을 특징으로 하는 파라미터 조정 지원 장치를 포함한다.The present disclosure relates to an image sensor capable of performing a plurality of inspection processes on an image, and a parameter adjustment support device for supporting adjustment of parameters used in each inspection process, wherein the inspection process determines a predetermined measurement parameter from an image. A value is calculated, and a value of the measurement parameter is compared with a threshold value to output an OK or NG determination result, wherein the parameter includes a setting parameter defining conditions for calculating the value of the measurement parameter and the threshold value It is necessary to obtain an OK determination in all of the adjustment target setting unit for setting the inspection processing of N items (N is an integer of 2 or more) to be adjusted among the plurality of inspection processes, and the inspection processing of the N items. An image acquisition unit that acquires an OK image to be performed and an NG image for which an NG judgment is to be obtained in at least one of the N-item inspection processes, and for each of the N-item inspection processes, from the OK image an OK image measurement value that is the value of the measurement parameter calculated according to the current condition of the setting parameter, and an NG image measurement value that is the value of the measurement parameter calculated from the NG image of the inspection process according to the current condition of the setting parameter; A parameter adjustment support device characterized in that it includes a graph generating unit for generating a graph in which the current threshold value is drawn, and an output unit for outputting the graph to a display device.
상기 OK 화상 계측값과 상기 NG 화상 계측값과 상기 역치가, 적어도 색 또는 도형 중 어느 한쪽이 다른 양태로 상기 그래프에 묘화되어도 된다.The OK image measurement value, the NG image measurement value, and the threshold value may be drawn on the graph in a manner in which at least one of color or graphic is different.
상기 그래프 생성부는, 상기 조정 대상의 검사 처리에 있어서의 상기 OK 화상 계측값과 상기 NG 화상 계측값과 상기 역치의 관계에 기초하여, 당해 검사 처리의 상기 파라미터의 조정이 필요한지 여부를 판단하고, 그 판단 결과를 상기 그래프에 묘화해도 된다.The graph generating unit determines whether adjustment of the parameter of the inspection process is necessary based on a relationship between the OK image measurement value, the NG image measurement value, and the threshold value in the inspection process for the adjustment target, and The judgment result may be drawn on the graph.
상기 그래프 생성부는, 또한 상기 역치와 상기 설정 파라미터의 어느 조정이 필요한지를 판단하고, 그 판단 결과를 상기 그래프에 묘화해도 된다.The graph generating unit may further determine which adjustment of the threshold value and the setting parameter is required, and may plot the result of the determination on the graph.
상기 그래프 생성부는, 상기 파라미터의 조정이 불필요, 상기 역치의 조정이 필요, 상기 설정 파라미터의 조정이 필요 중 적어도 3개의 상태를 판단하는 것이며, 상기 3개의 상태가 서로 다른 색으로 상기 그래프에 묘화되어도 된다.The graph generating unit determines at least three states among the parameter adjustment unnecessary, the threshold adjustment necessary, and the setting parameter adjustment necessary, even if the three states are drawn in the graph in different colors. do.
상기 출력부는, 상기 파라미터의 조정 작업을 행하기 위한 조정 윈도우를 상기 표시 장치에 출력해도 된다.The output unit may output an adjustment window for performing an adjustment operation of the parameters to the display device.
상기 조정 윈도우에는, 각 OK 화상의 OK 화상 계측값과 각 NG 화상의 NG 화상 계측값과 상기 역치가 묘화된 산포도가 표시되어도 된다.In the adjustment window, a scatter diagram in which the OK image measurement values of each OK image, the NG image measurement values of each NG image, and the threshold values are plotted may be displayed.
상기 조정 윈도우는, 상기 산포도에 묘화하는 OK 화상 계측값과 NG 화상 계측값을, 상기 역치에 의해 규정되는 OK 범위로부터 벗어나는 OK 화상의 OK 화상 계측값과, 상기 OK 범위에 포함되는 NG 화상의 NG 화상 계측값만으로 전환 가능해도 된다.The adjustment window sets the OK image measurement value and the NG image measurement value drawn on the scatter plot to the OK image measurement value of an OK image outside the OK range defined by the threshold value and the NG image of an NG image included in the OK range. It may be possible to switch only with the image measurement value.
본 개시는, 화상에 대하여 복수의 검사 처리를 실행 가능한 화상 센서에 관해, 각 검사 처리에서 사용되는 파라미터의 조정을 지원하기 위한 파라미터 조정 지원 방법이며, 상기 검사 처리는, 화상으로부터 소정의 계측 파라미터의 값을 계산하고, 상기 계측 파라미터의 값을 역치와 비교하여 OK 또는 NG의 판정 결과를 출력하는 것이며, 상기 파라미터는, 상기 계측 파라미터의 값을 계산할 때의 조건을 규정하는 설정 파라미터와, 상기 역치를 포함하는 것이며, 상기 복수의 검사 처리 중에서 조정 대상으로 하는 N 항목(N은 2 이상의 정수)의 검사 처리를 설정하는 스텝과, 상기 N 항목의 검사 처리의 모두에 있어서 OK 판정이 얻어져야 할 OK 화상과, 상기 N 항목의 검사 처리 중 적어도 어느 것의 검사 처리에 있어서 NG 판정이 얻어져야 할 NG 화상을 취득하는 스텝과, 상기 N 항목의 검사 처리의 각각에 대해서, OK 화상으로부터 상기 설정 파라미터의 현재의 조건에 따라서 계산된 상기 계측 파라미터의 값인 OK 화상 계측값과, 당해 검사 처리의 NG 화상으로부터 상기 설정 파라미터의 현재의 조건에 따라서 계산된 상기 계측 파라미터의 값인 NG 화상 계측값과, 현재의 상기 역치를 묘화한 그래프를 생성하는 스텝과, 상기 그래프를 표시 장치에 출력하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 파라미터 조정 지원 방법을 포함한다.The present disclosure is a parameter adjustment support method for supporting adjustment of parameters used in each inspection process with respect to an image sensor capable of executing a plurality of inspection processes on an image, wherein the inspection process determines a predetermined measurement parameter from an image. A value is calculated, and a value of the measurement parameter is compared with a threshold value to output an OK or NG determination result, wherein the parameter includes a setting parameter defining conditions for calculating the value of the measurement parameter and the threshold value The step of setting the inspection process of N items (N is an integer of 2 or more) to be adjusted among the plurality of inspection processes, and the OK image for which OK determination is to be obtained in all of the inspection processes of the N items. and a step of acquiring an NG image for which an NG judgment is to be obtained in at least any one of the N items of inspection processing, and for each of the N items of inspection processing, a current value of the setting parameter from the OK image. An OK image measurement value that is the value of the measurement parameter calculated according to conditions, an NG image measurement value that is the value of the measurement parameter calculated according to the current condition of the setting parameter from the NG image of the inspection process, and the current threshold A method for supporting parameter adjustment comprising a step of generating a drawn graph and a step of outputting the graph to a display device.
본 개시는, 상기 파라미터 조정 지원 방법의 각 스텝을 프로세서에 실행시키기 위한 프로그램을 포함한다.The present disclosure includes a program for causing a processor to execute each step of the method for supporting parameter adjustment.
본 발명은 상기 수단의 적어도 일부를 갖는 파라미터 조정 지원 장치로서 파악해도 되고, 동 장치를 구비하는 화상 센서로서 파악해도 된다. 또한, 본 발명은 상기 처리 중 적어도 일부를 포함하는 파라미터 조정 지원 방법 또는 화상 센서의 제어 방법, 또는, 이러한 방법을 실현하기 위한 프로그램이나 그 프로그램을 비일시적으로 기록한 기록 매체로서 파악할 수도 있다. 또한, 상기 수단 및 처리의 각각은 가능한 한 서로 조합하여 본 발명을 구성할 수 있다.The present invention may be regarded as a parameter adjustment support device having at least a part of the above means, or as an image sensor having the same device. In addition, the present invention can also be understood as a parameter adjustment support method or image sensor control method including at least a part of the above processing, or a program for realizing such a method, or a recording medium on which the program is recorded non-temporarily. Further, each of the above means and processing can be combined with each other as much as possible to constitute the present invention.
본 발명에 따르면, 복수의 검사 처리를 갖는 화상 센서에 관해, 유저에 의한 파라미터의 조정 작업을 간이화하는 것이 가능하다.According to the present invention, it is possible to simplify the adjustment operation of the parameters by the user regarding the image sensor having a plurality of inspection processes.
도 1은 화상 센서의 외관을 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 2는 검사 기능과 파라미터 조정 지원 기능의 구성예를 도시하는 기능 블록도이다.
도 3은 검사의 처리 플로 및 파라미터의 설정을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 파라미터 조정 작업의 흐름을 나타내는 흐름도이다.
도 5는 파라미터 조정 지원 도구의 메인 화면의 예이다.
도 6은 화상 분류 윈도우의 라벨 설정 탭의 예이다.
도 7은 화상 분류 윈도우의 라벨 부여 탭의 예이다.
도 8은 레이더 차트 표시의 예이다.
도 9는 조정 윈도우에 의해 역치의 조정을 행하는 예이다.
도 10은 조정 윈도우에 의해 설정 파라미터의 조정을 행하는 예이다.
도 11은 면적 무게 중심의 설정 파라미터의 조정을 행하는 예이다.
도 12는 조정 윈도우에 의해 설정 파라미터의 조정을 행하는 예이다.
도 13은 파라미터 조정 완료 후의 레이더 차트의 예이다.1 is a diagram schematically showing the appearance of an image sensor.
Fig. 2 is a functional block diagram showing a configuration example of an inspection function and a parameter adjustment support function.
Fig. 3 is a diagram for explaining the process flow of inspection and parameter setting.
4 is a flowchart showing the flow of a parameter adjustment operation.
5 is an example of the main screen of the parameter adjustment support tool.
6 is an example of the label setting tab of the image classification window.
7 is an example of a labeling tab of an image classification window.
8 is an example of a radar chart display.
Fig. 9 is an example of adjusting the threshold by an adjustment window.
Fig. 10 is an example of adjusting setting parameters using an adjustment window.
Fig. 11 is an example of adjusting the setting parameters of the area center of gravity.
Fig. 12 is an example of adjusting setting parameters using an adjustment window.
13 is an example of a radar chart after completion of parameter adjustment.
도 1을 참조하여, 본 발명의 실시 형태에 관한 화상 센서를 설명한다. 도 1은, 화상 센서의 외관을 모식적으로 도시하는 도면이다.Referring to Fig. 1, an image sensor according to an embodiment of the present invention will be described. 1 is a diagram schematically showing the appearance of an image sensor.
화상 센서(1)는, 예를 들어 공장의 제조 라인 PL 등에 설치되고, 화상을 이용한 다양한 처리에 이용되는 장치이다. 화상 센서(1)는 화상 처리 시스템, 시각센서(vision sensor), 시각 시스템(vision system) 등이라고도 불린다.The
화상 센서(1)는 하드웨어 자원으로서, 촬상 장치(10), 화상 처리 장치(11), 표시 장치(12) 및 입력 장치(13)를 구비한다. 촬상 장치(10), 표시 장치(12) 및 입력 장치(13)는 화상 처리 장치(11)의 입출력 I/F에 접속되어 있다. 또한, 도 1에서는, 촬상 장치(10)와 화상 처리 장치(11)가 별체 구조의 화상 센서(1)를 나타냈지만, 촬상 장치와 화상 처리 장치가 일체로 된 처리 일체형의 화상 센서여도 된다.The
촬상 장치(10)는 조명부, 렌즈부, 촬상부 등을 구비하는 디바이스이며, 산업용 카메라라고도 불린다. 조명부는 피사체(검사 대상물 ○)를 조명하는 디바이스이며, 예를 들어 LED 광원 등으로 구성된다. 렌즈부는, 피사체의 광학상을 촬상부에 결상하는 광학 장치이며, 예를 들어, 핀트 조정, 조리개, 줌 등의 기능을 갖는 광학계가 사용된다. 촬상부는, 광전 변환에 의해 화상 데이터를 생성하여 출력하는 디바이스이며, 예를 들어, CCD나 CMOS 센서 등의 촬상 소자에 의해 구성된다.The
화상 처리 장치(11)는, 주된 기능으로서, 촬상 장치(10)로부터의 화상 데이터의 도입, 화상 데이터에 대한 화상 처리, 화상 처리의 결과에 기초하는 검사 처리, 입출력 I/F를 통한 외부 장치와의 데이터 송수신, 외부 장치에 출력하는 데이터의 생성, 외부 장치로부터 수신한 데이터에 대한 처리, 촬상 장치(10)나 입출력 I/F의 제어 등을 갖는다. 화상 처리 장치(11)는, 예를 들어, 프로세서(CPU, GPU 등), 메모리(RAM, ROM 등), 스토리지(하드 디스크, 솔리드 스테이트 드라이브 등의 불휘발성의 기억 장치), 입출력 I/F 등을 구비하는 화상 처리용 컴퓨터로 구성할 수 있다. 후술하는 화상 처리 장치(11)의 기능 및 처리는, 스토리지에 저장된 프로그램을 메모리에 로드하고, 프로세서에 의해 실행함으로써 실현 가능하다. 단, 화상 처리 장치(11)의 기능 일부 또는 전부를, ASIC(Application Specific Integrated Circuit)나 FPGA(Field Programmable Gate Array) 등으로 실현해도 되고, 다른 컴퓨터나 클라우드 서버 등으로 실행해도 된다.The
도 2는, 화상 처리 장치(11)에 있어서의 검사 기능과 파라미터 조정 지원 기능의 구성예를 도시하는 기능 블록도이다.FIG. 2 is a functional block diagram showing a configuration example of an inspection function and a parameter adjustment support function in the
화상 처리 장치(11)는 화상 입력부(20), 화상 기억부(21), 검사 실행부(22), 파라미터 기억부(23), 검사 처리 설정부(24), 파라미터 조정 지원부(25)를 구비한다. 화상 입력부(20)는 촬상 장치(10)로부터 화상 데이터를 도입한다. 도입된 화상 데이터는 화상 기억부(21)에 저장된다. 검사 실행부(22)는 화상 데이터에 대해 복수 항목의 검사를 실시하고, 각 항목에 대하여 OK/NG의 판정 결과를 출력한다. 검사의 판정 결과는 화상 데이터에 연결하여 보존해도 된다. 파라미터 기억부(23)에는, 각각의 검사 처리에서 사용되는 파라미터의 설정값이 등록되어 있다. 검사 실행부(22)는 검사 처리를 실행할 때에 파라미터 기억부(23)로부터 파라미터의 설정값을 참조한다. 검사 처리 설정부(24)는 검사 실행부(22)에서 실시하는 검사의 처리 플로나, 개별의 검사 처리에서 사용되는 파라미터의 설정을 행하기 위한 유저 인터페이스(UI)를 제공한다. 파라미터 조정 지원부(25)는 유저가 파라미터를 적절한 값으로 조정하는(맞추는) 작업을 지원하기 위한 툴을 제공한다. 파라미터 조정 지원부(25)는 화상 취득부(250), 조정 대상 설정부(251), 그래프 생성부(252), UI 출력부(253)를 갖는다. 이들 기능의 상세는 후술한다.The
(검사 처리의 설정)(Inspection processing settings)
도 3을 참조하여, 검사 처리 설정부(24)의 UI를 이용하여 검사의 처리 플로나 파라미터를 설정하는 수순의 예를 설명한다.Referring to Fig. 3, an example of a procedure for setting the processing flow and parameters of the inspection using the UI of the inspection
화상 처리 장치(11)에는, 특정한 처리를 실행하는 모듈(이후 「처리 유닛」이라고 칭함)이 복수 종류 준비되어 있다. 처리 유닛에는, 크게 나누어, 검사 처리에 관한 것과, 검사 처리 이외의 처리에 관한 것이 있다. 검사 처리의 처리 유닛으로서는, 예를 들어, 소정의 형상의 영역이 화상 내에 존재하는지 검사하는 『형상 서치』, 소정의 색의 영역의 면적이나 위치를 검사하는 『면적 무게 중심』, 피사체의 에지 위치를 검사하는 『에지 위치』 등, 다양한 처리 유닛이 준비되어 있다. 또한, 검사 처리 이외의 처리 유닛으로서는, 예를 들어, 촬상 장치(10)로부터 촬영 화상을 도입하는 『카메라 화상 입력』, 소정의 색 범위를 화상으로부터 추출하는 『색 추출 필터』 등이 준비되어 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 유저는, 검사 처리 설정부(24)의 UI를 이용하여 처리 유닛을 적절히 조합함으로써, 실시하고자 하는 검사를 설정한다. 복수의 처리 유닛을 조합하여 작성된 일련의 처리를 「처리 플로」라고 칭한다.In the
검사 처리의 처리 유닛은, 화상으로부터 추출되는 특징에 기초하여 소정의 계측 파라미터의 값을 계산하고, 그 계측 파라미터의 값을 역치와 비교하여 『OK』 또는 『NG』의 판정 결과를 출력한다고 하는 공통의 설계를 갖고 있다. 예를 들어, 상술한 『형상 서치』의 경우라면, 계측 파라미터로서, 등록 모델과 화상으로부터 검출된 모델의 사이 유사도(상관값), 모델이 검출된 위치(XY 좌표), 검출된 모델의 기울기(등록 모델에 대한 상대 각도) 등이 계산된다. 그리고, 유사도, 위치, 기울기의 각각에 대해서, 역치(OK 범위를 규정하는 역치 상한값과 역치 하한값)가 설정되어 있고, 유사도, 위치, 기울기의 모든 값이 OK 범위에 포함되어 있으면 『OK』, 1개라도 OK 범위로부터 벗어나 있으면 『NG』라고 하는 판정 결과가 출력된다. 또한, 『면적 무게 중심』의 경우라면, 계측 파라미터로서, 영역의 면적, 영역의 무게 중심 위치(XY 좌표) 등이 계산된다. 그리고, 면적, 무게 중심 위치 각각에 대하여 역치가 설정되어 있고, 면적과 무게 중심 위치가 모두 OK 범위에 포함되어 있으면 『OK』, 어느 것이 OK 범위로부터 벗어나 있으면 『NG』라고 하는 판정 결과가 출력된다. 여기서 예시한 『형상 서치』나 『면적 무게 중심』은, 복수 종류의 계측 파라미터에 대하여 OK/NG 판정을 행하는 사양, 즉, 1개의 처리 유닛에서 복수 항목의 검사 처리를 행하는 사양으로 되어 있지만, 1종류의 계측 파라미터(1항목의 검사 처리)밖에 갖지 않는 처리 유닛도 존재한다.The processing unit of the inspection processing calculates the value of a predetermined measurement parameter based on the feature extracted from the image, compares the value of the measurement parameter with a threshold value, and outputs a determination result of "OK" or "NG". has the design of For example, in the case of the above-mentioned "shape search", as measurement parameters, the degree of similarity between the registered model and the model detected from the image (correlation value), the position where the model was detected (XY coordinates), the inclination of the detected model ( angle relative to the registration model), etc. are calculated. Then, for each of the similarity, position, and gradient, if threshold values (threshold upper limit and lower threshold value defining the OK range) are set, and all values of the similarity, position, and gradient are included in the OK range, “OK”, 1 If even a dog is out of the OK range, a judgment result of "NG" is output. In addition, in the case of "Area Center of Gravity", the area of the region, the position of the center of gravity of the region (XY coordinates), etc. are calculated as measurement parameters. Then, a threshold value is set for each of the area and the center of gravity position, and if both the area and the center of gravity position are included in the OK range, a judgment result of “OK” is output, and if either is out of the OK range, “NG” is output. . The "shape search" and "area center of gravity" exemplified here are specifications for making OK/NG decisions for multiple types of measurement parameters, that is, specifications for performing inspection processing on multiple items in one processing unit. There is also a processing unit that has only one type of measurement parameter (one item of inspection process).
각 처리 유닛에서 계측 파라미터로서 사용되는 지표는 미리 정의되어 있고, 이를 유저가 변경할 수는 없다. 단, 계측 파라미터의 값을 계산할 때의 다양한 조건(이후 「설정 파라미터」라고 칭함)과, 판정에 사용하는 역치에 대해서는, 유저가 설정 가능하다. 예를 들어, 『형상 서치』에 있어서의 설정 파라미터로서는, 서치 대상으로 되는 모델, 모델의 위치, 유사도의 산출에서 주목하는 모델 상의 특징점 등을 들 수 있다. 또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 『면적 무게 중심』에 있어서의 설정 파라미터로서는, 면적이나 무게 중심을 산출하는 영역으로서 추출하는 색의 조건(색상, 채도, 명도 각각의 범위) 등을 들 수 있다. 이들의 설정 파라미터의 설정대로, 화상으로부터 계산되는 계측 파라미터의 값은 크게 바뀐다. 또한, 역치가 적절하게 설정되어 있는지가, OK/NG의 판정 정밀도나 판정 결과의 신뢰성에 영향을 준다.Indicators used as measurement parameters in each processing unit are predefined and cannot be changed by the user. However, the user can set about various conditions at the time of calculating the value of a measurement parameter (hereinafter referred to as "setting parameter") and a threshold value used for determination. For example, as setting parameters in "shape search", a model to be searched, the position of the model, and a feature point on the model to be paid attention to in calculating the degree of similarity, and the like can be cited. In addition, as shown in Fig. 3, as the setting parameter in the "Area Center of Gravity", the color condition (each range of hue, saturation, and brightness) to be extracted as a region for calculating the area or center of gravity, etc. can be cited. there is. Depending on the setting of these setting parameters, the value of the measurement parameter calculated from the image changes greatly. In addition, whether the threshold value is appropriately set affects the OK/NG determination accuracy and the reliability of the determination result.
따라서, 유저는, 처리 유닛을 조합하여 처리 플로를 작성한 후, 원하는 검사 성능(판정 결과)이 얻어지도록, 각 처리 유닛의 설정 파라미터 및 역치를 적절하게 설정할 필요가 있다. 그러나, 설정 파라미터나 역치를 적절한 값으로 조정하는(맞추는) 작업에는 고도의 스킬이나 노하우가 요구된다. 게다가, 처리 플로에 포함되는 처리 유닛의 수가 많은 경우나, 각각의 처리 유닛이 다수의 설정 파라미터나 역치를 갖고 있는 경우에는, 그들 모두 적절한 판정 결과가 얻어지도록 설정 파라미터나 역치를 밸런스 좋게 조정하는 것은, 용이하지 않다.Therefore, after the user creates a processing flow by combining processing units, it is necessary to appropriately set the setting parameters and threshold values of each processing unit so that desired inspection performance (determination result) is obtained. However, a high degree of skill and know-how is required for the operation of adjusting (setting) the setting parameters and thresholds to appropriate values. In addition, when the number of processing units included in the processing flow is large, or when each processing unit has a large number of setting parameters or thresholds, adjusting the setting parameters and thresholds in a well-balanced manner so as to obtain appropriate judgment results for all of them is difficult. , not easy.
그래서, 본 실시 형태의 화상 센서(1)에서는, 파라미터 조정 지원부(25)에 의해, 설정 파라미터나 역치의 조정 작업을 지원하기 위한 파라미터 조정 지원 도구를 제공한다(이 파라미터 조정 지원 도구가 본 발명에 관한 파라미터 조정 지원 장치의 일례이다).Therefore, in the
(파라미터 조정 지원 도구)(Parameter adjustment support tool)
도 4 내지 도 12를 참조하여, 본 실시 형태의 파라미터 조정 지원 도구에 대하여 상세하게 설명한다. 도 4는, 파라미터 조정 지원 도구를 이용한 파라미터 조정 작업의 흐름을 나타내는 흐름도이다. 도 5는, 파라미터 조정 지원 도구의 메인 화면의 예이다.Referring to Figs. 4 to 12, the parameter adjustment support tool of the present embodiment will be described in detail. Fig. 4 is a flowchart showing the flow of a parameter adjustment operation using the parameter adjustment support tool. 5 is an example of the main screen of the parameter adjustment support tool.
파라미터 조정 지원 도구(이하 단순히 「툴」이라고도 칭함)를 기동하면, UI 출력부(253)에 의해 도 5의 메인 화면이 표시된다(스텝 S40). 메인 화면에는, 처리 플로를 구성하는 복수의 처리 유닛의 리스트(50)가 표시되어 있다.When the parameter adjustment support tool (hereinafter also simply referred to as "tool") is activated, the main screen in Fig. 5 is displayed on the UI output unit 253 (step S40). On the main screen, a
유저는 먼저, 메인 화면의 「재계측 대상 화상」란(51)에 있어서, 조정 작업에 이용하는 화상(샘플 화상)이 저장되어 있는 장소를 지정한다(스텝 S41). 「본체 로깅 화상」을 지정한 경우는, 화상 기억부(21)(예를 들어 화상 센서(1)의 RAM 디스크나 내부 스토리지 등)에 저장되어 있는 화상군이 이용되고, 「지정 폴더 화상」을 지정한 경우는, 외부 스토리지에 보존되어 있는 화상군을 이용할 수 있다. 저장 장소가 지정되면, 화상 취득부(250)에 의해 샘플 화상이 도입된다. 1매의 샘플 화상만으로도 조정 작업을 행하는 것은 가능하지만, 다른 검사 대상물을 촬영하여 얻어진 복수의 샘플 화상을 조정 작업에 사용하면 된다. 또한, 복수의 샘플 화상이, 양품의 화상과 불량품의 화상의 양쪽을 포함하고 있으면 되고, 또한, 불량품의 화상 중에는 복수 종류의 불량(즉, NG 판정이 나오는 검사 처리 항목이 서로 다른 것)이 포함되어 있으면 된다. 베리에이션이 있는 복수의 화상을 사용하여 복수의 검사 처리 항목에 대한 파라미터 조정을 동시 진행적으로 행함으로써, 적절한 파라미터의 맞춤 작업을 효율적으로 실시할 수 있다.The user first designates the location where the image (sample image) used for the adjustment work is stored in the
다음에, 유저가 메인 화면에 있어서 「화상 분류」 버튼(52)을 누르면, 조정 대상 설정부(251)에 의해 도 6에 도시하는 화상 분류 윈도우가 표시된다. 유저는, 화상 분류 윈도우의 「라벨 설정」탭(60)에서, 조정 대상으로 하는 검사 처리를 지정하고, 그들에 라벨을 설정하는 작업을 행한다(스텝 S42). 구체적으로는, 「설정수」란(61)에 조정 대상으로 하는 검사 처리의 항목수를 입력한다. 항목수 N은 예를 들어 3 내지 20의 범위에서 설정 가능하다. 항목수 N을 입력하면, N개의 라벨이 생성되므로, 유저가, 각 라벨에, 「라벨명」, 「대상 유닛」, 「계측 파라미터」를 설정한다. 「라벨명」은 임의로 설정할 수 있다. 「대상 유닛」에는, 조정 대상으로 하는 검사 처리를 실시하는 처리 유닛의 이름을 지정하고, 「계측 파라미터」에는, 조정 대상으로 하는 검사 처리에서 사용되는 계측 파라미터의 이름을 지정한다. 도 6은, 「원형도」, 「인자 면적」, 「인자 유무」, 「인자 품질」, 「인자 높이」의 5개의 라벨이 설정된 예를 나타내고 있다.Next, when the user presses the "Image Classification"
라벨 설정이 종료되면, 유저는, 「라벨 부여」탭(62)에서, 화상에 라벨을 부여하는 작업을 행한다(스텝 S43). 화상 분류 윈도우의 「라벨 부여」탭(62)을 선택하면, 도 7에 도시하는 UI로 전환된다. 「라벨 부여」탭(62)의 UI는, 라벨 표시(71), 프리뷰 버튼(72), 파일 리스트(73), 라벨 부여란(74)을 포함한다. 라벨 표시(71)에는, 「판정 라벨」과 「결함종 라벨」의 일람이 표시된다. 판정 라벨은, 화상의 판정 결과를 나타내는 라벨이며, 「OK 」, 「NG」, 「분류 보류」의 3종류의 라벨이 미리 준비되어 있다. 결함종 라벨은, 「라벨 설정」탭(60)에서 유저가 정의한 라벨이다. 파일 리스트(73)에는, 스텝 S41에서 지정된 화상의 파일명이 일람 표시된다. 스텝 S41에 있어서 복수의 화상이 지정된 경우에는, 파일 리스트(73)에 복수의 화상의 파일명이 표시된다. 프리뷰 버튼(72)을 누르면, 파일 리스트(73)로 선택되어 있는 화상의 프리뷰를 표시할 수 있다. 유저는, 프리뷰 화상을 확인하면서, 먼저, 판정 라벨을 부여한다. 조정 대상으로 하는 모든 검사 처리에 있어서 OK 판정되어야 할 화상에는 「OK」 라벨, 어느 것의 검사 처리에서 NG 판정되어야 할 화상에는 「NG」 라벨, OK도 NG도 판단이 서지 않는 화상에는 「분류 보류」 라벨을 부여한다. 라벨 부여란(74)에는, 각 라벨에 대응하는 셀이 준비되어 있고, 그 셀을 누를 때마다 라벨의 부여와 해제를 전환할 수 있다. 「NG」 라벨을 부여한 화상에 대해서는, 계속해서, 결함종 라벨의 부여도 행한다. 즉, 어느 검사 처리에서 NG 판정되어야 한다고 하는 정보를 화상에 관련짓는 것이다. 또한, 1개의 화상에 대해 복수의 결함종 라벨을 부여하는 것도 가능하다. 라벨 표시(71) 및 라벨 부여란(74)에서는, 각 라벨이 서로 다른 색으로 표시되면 된다. 이에 의해, 각 화상에 부여되어 있는 라벨을 시인하기 쉬워지고, 라벨 부여 작업이 하기 쉬워짐과 함께, 잘못된 라벨을 부여하는 등의 조작 미스를 방지할 수 있다. 상기의 작업을 행함으로써, 복수매의 OK 화상과 복수매의 NG 화상을 준비할 수 있다.When the label setting is finished, the user performs an operation of assigning a label to the image in the "Labeling" tab 62 (step S43). When the "labeling"
라벨 부여(즉, 화상의 분류 작업)가 완료되고, OK 버튼을 누르면, 메인 화면으로 되돌아간다. 또한, 「라벨 설정」탭(60)이나 「라벨 부여」탭(62)에서 설정한 내용을 보존하고자 하는 경우에는, 「데이터 보존」탭(63)에서 파일에 보존하는 것이 가능하다.When labeling (i.e., classification of images) is completed and the OK button is pressed, the screen returns to the main screen. In addition, when it is desired to save the content set in the "label setting"
다음에, 유저가 메인 화면의 「일괄 재계측 실행」 버튼(53)을 누르면, 검사 실행부(22)가 분류된 화상(라벨을 부여한 화상)의 각각에 대해, 처리 플로에 따라서 복수의 검사 처리를 실시하고, 각 검사 처리에 있어서의 계측 파라미터의 계산 및 역치 판정을 행한다(스텝 S44). 이때, 파라미터 기억부(23)에 저장되어 있는 설정 파라미터의 현재의 조건값과 현재의 역치가 사용된다.Next, when the user presses the "execute batch remeasurement"
스텝 S44의 재계측 처리가 완료된 후, 메인 화면의 「데이터 상세」탭(54)으로 전환하면, 그래프 생성부(252)에 의해 재계측 처리의 결과를 나타내는 그래프가 생성되고(스텝 S45), UI 출력부(253)에 의해 메인 화면에 그래프가 표시된다(스텝 S46). 그래프에는, 예를 들어, 조정 대상의 검사 처리(즉 결함종 라벨을 설정한 검사 처리)의 각각에 대해서, 「OK 화상으로부터 설정 파라미터의 현재의 조건에 따라서 계산된 계측 파라미터의 값」, 「NG 화상으로부터 설정 파라미터의 현재의 조건에 따라서 계산된 계측 파라미터의 값」, 「현재의 역치」가 묘화되어 있으면 된다. 그래프의 구체적인 형식은 불문하지만, 복수 항목의 검사 처리의 결과가 한눈에 확인할 수 있는 양태이면 된다. 예를 들어, 레이더 차트, 막대 그래프, 꺽은 선 그래프 등을 사용할 수 있다.After the re-measurement process in step S44 is completed, when switching to the "data details"
도 8에 레이더 차트 표시의 일례를 나타낸다. 레이더 차트의 각각의 축은, 결함종 라벨을 설정한 검사 처리에 대응하고 있다. 예를 들어 도 6과 같이 「원형도」, 「인자 면적」, 「인자 유무」, 「인자 품질」, 「인자 높이」의 5개의 결함종 라벨을 설정한 경우라면, 도 8에 도시한 바와 같이 레이더 차트는 오각형이 된다.8 shows an example of a radar chart display. Each axis of the radar chart corresponds to an inspection process in which a defective type label is set. For example, as shown in FIG. 6, in the case of setting five defective labels of "Circularity", "Printing Area", "Presence of Printing", "Printing Quality", and "Printing Height", as shown in FIG. The radar chart becomes a pentagon.
레이더 차트의 각 축에는, 「OK 최댓값」, 「OK 평균값」, 「OK 최솟값」, 「NG 최댓값」, 「NG 평균값」, 「NG 최솟값」, 「역치 상한값」, 「역치 하한값」의 8개의 점이 묘화된다. OK 최댓값, OK 평균값, OK 최솟값은, 각각, 복수의 OK 화상으로부터 각각 계산된 계측 파라미터 값의 최댓값, 평균값, 최솟값을 나타낸다. 또한, NG 최댓값, NG 평균값, NG 최솟값은, 각각, 복수의 NG 화상으로부터 각각 계산된 계측 파라미터의 값의 최댓값, 평균값, 최솟값을 나타낸다. 이렇게 「OK 최댓값」, 「OK 평균값」, 「OK 최솟값」, 「NG 최댓값」, 「NG 평균값」, 「NG 최솟값」, 「역치 상한값」, 「역치 하한값」의 8개의 점을 검사 처리마다(축마다)에 관련지어서 묘화한 그래프를 유저에게 제시함으로써, 각 검사 처리에 있어서의 계측 파라미터의 경향이나 역치와의 관계의 이해를 용이화할 수 있다. 여기서, OK 화상으로부터 계산된 계측 파라미터의 값(OK 최댓값, OK 평균값, OK 최솟값)과 NG 화상으로부터 계산된 계측 파라미터의 값(NG 최댓값, NG 평균값, NG 최솟값)과 역치(역치 상한값, 역치 하한값)가 적어도 색 또는 도형 중 어느 한쪽이 다른 양태로 묘화되면 된다. 또한, 최댓값과 평균값과 최솟값을, 적어도 색 또는 도형 중 어느 한쪽이 다른 양태로 묘화해도 된다. 이러한 표시 양태를 채용함으로써, OK, NG, 역치를 시각적으로 구별하기 쉬워진다.On each axis of the radar chart, there are eight points: "Max OK", "Mean OK", "Minimum OK", "Max NG", "Mean NG", "Minimum NG", "Upper Threshold", and "Lower Threshold". portrayed The maximum OK value, the average OK value, and the minimum OK value indicate the maximum value, average value, and minimum value of measurement parameter values respectively calculated from a plurality of OK images. Further, the NG maximum value, the NG average value, and the NG minimum value represent the maximum value, average value, and minimum value of measurement parameters calculated from a plurality of NG images, respectively. In this way, eight points of "OK maximum value", "OK average value", "OK minimum value", "NG maximum value", "NG average value", "NG minimum value", "Threshold upper limit value", and "Threshold lower limit value" are set for each inspection process (axis By presenting to the user a graph drawn in association with each), it is possible to facilitate understanding of the trend of measurement parameters in each inspection process and the relationship with threshold values. Here, the measurement parameter values calculated from the OK image (OK maximum value, OK average value, OK minimum value) and the measurement parameter values calculated from the NG image (NG maximum value, NG average value, NG minimum value) and threshold values (threshold upper limit, threshold lower limit) It is only necessary that at least one of the color or figure is drawn in a different manner. Further, the maximum value, the average value, and the minimum value may be drawn in a manner in which at least one of the colors or graphics is different. By adopting such a display mode, OK, NG, and threshold values can be visually distinguished easily.
레이더 차트의 각 축의 스케일은, 상기 8개의 값 중의 최솟값과 최댓값을 사용하여 규격화하면 된다. 즉, 8개의 값 중의 최솟값과 최댓값이, 레이더 차트의 각 축의 양단(차트의 중심과 최외측 단부) 내지 그 근방에 오도록, 스케일이 조정되면 된다. 이에 의해, 8개의 점의 플롯 위치가 가급적으로 확대되므로, 시인성(보기 쉬움)이 향상된다.The scale of each axis of the radar chart may be standardized using the minimum and maximum values among the above eight values. That is, the scale may be adjusted so that the minimum and maximum values of the eight values come to or near both ends of each axis of the radar chart (the center and the outermost end of the chart). As a result, since the plot positions of the eight points are enlarged as much as possible, the visibility (easiness of viewing) is improved.
레이더 차트의 각 축에는, 결함종 라벨의 「라벨명」과 「설정 조정의 상태」가 표시된다. 설정 조정의 상태는, 「설정 완료」와 「역치 조정이 필요」와 「설정 조정이 필요」의 3패턴이 있다. 그래프 생성부(252)는 OK 화상으로부터 계산된 계측 파라미터의 값(이하 단순히 「OK 화상 계측값」이라고도 칭함)과 NG 화상으로부터 계산된 계측 파라미터의 값(이하 단순히 「NG 화상 계측값」이라고도 칭함)과 역치의 관계에 기초하여, 설정 조정의 상태를 판단한다. 도 8의 예에서는, 설정 조정의 상태를 색 아이콘으로 나타내고 있다(예를 들어, 녹색: 설정 완료, 황색: 역치 조정이 필요, 적색: 설정 조정이 필요).On each axis of the radar chart, the "label name" of the defective type label and the "status of setting adjustment" are displayed. There are three patterns of the setting adjustment state: "setting completed", "threshold adjustment required", and "setting adjustment required". The
여기서, 「설정 완료」는, OK 화상 계측값과 NG 화상 계측값이 분리되어 있고, 또한, 역치가 OK 화상 계측값과 NG 화상 계측값 사이에 설정되어 있다고 하는 상태이다. 이 상태가 얻어져 있으면, 당해 검사 처리에 있어서 적절한 OK/NG 판정이 실시된다고 기대할 수 있으므로, 당해 계측 파라미터에 관한 설정 파라미터 및 역치의 설정은 완료(조정 불필요)라고 판단해도 된다. 도 8의 예에서는, 「원형도」, 「인자 품질」, 「인자 유무」의 3개가 「설정 완료」 상태에 있다.Here, "set completed" is a state in which the OK image measurement value and the NG image measurement value are separated, and the threshold value is set between the OK image measurement value and the NG image measurement value. If this state is obtained, it can be expected that an appropriate OK/NG determination is performed in the inspection process, so it may be determined that the setting of the setting parameters and threshold values related to the measurement parameter is completed (no adjustment required). In the example of Fig. 8, three of "Circularity", "Printing Quality", and "Presence/absence of Printing" are in the "Setting Completed" state.
「역치 조정이 필요」는, OK 화상 계측값과 NG 화상 계측값이 분리되어 있지만, 역치가 OK 화상 계측값과 NG 화상 계측값 사이에 설정되어 있지 않다고 하는 상태이다. 도 8의 예에서는, 「인자 높이」가 「역치 조정이 필요」 상태에 있다. 이 경우에는, 역치가 OK 화상 계측값과 NG 화상 계측값 사이에 오도록 역치를 조정함으로써, 「설정 완료」 상태로 된다."Threshold adjustment is required" is a state in which the OK image measurement value and the NG image measurement value are separated, but the threshold value is not set between the OK image measurement value and the NG image measurement value. In the example of Fig. 8, the "printing height" is in the "threshold adjustment required" state. In this case, the threshold value is adjusted so that the threshold value is between the measured value of the OK image and the measured value of the NG image, so that the state of "setup is completed".
「설정 조정이 필요」는, OK 화상 계측값과 NG 화상 계측값이 분리되어 있지 않다고 하는 상태이다. 이 경우에는, 역치의 조정만으로는 해결되지 않으므로, 설정 파라미터의 조정이 필요해진다. 도 8의 예에서는, 「인자 면적」이 「설정 조정이 필요」 상태에 있다."Need to adjust settings" is a state in which OK image measurement values and NG image measurement values are not separated. In this case, since adjustment of the threshold alone cannot solve the problem, adjustment of setting parameters is required. In the example of Fig. 8, the "printing area" is in the "setting adjustment required" state.
이렇게 설정 조정의 상태를 그래프와 함께 표시함으로써, 유저는, 조정 대상으로서 선택한 복수의 검사 처리에 관해, 파라미터의 설정이 적절한 것(조정 불필요한 것)과 파라미터의 조정이 필요한 것의 분간, 또한 파라미터의 조정이 필요한 것에 관해서는, 역치를 조정하면 충분한지 설정 파라미터를 조정하지 않으면 안되는 것인지의 판단을 즉시 또한 틀림없이 할 수 있다. 또한, 그래프에는, 「설정 조정의 상태」의 판정 결과(색 아이콘)뿐만 아니라, OK 화상 계측값, NG 화상 계측값 및 역치 사이의 수치적인 관계가 함께 표시되어 있다. 따라서, 「설정 조정의 상태」의 판정 근거(에비던스)를 용이하게 확인할 수 있고, 유저의 납득성을 높일 수 있다. 또한, 유저는, OK 화상 계측값, NG 화상 계측값 및 역치 사이의 수치적인 관계로부터, 역치나 설정 파라미터를 어떻게 또는 어느 정도 조정하면 되는 것인지를 파악할 수 있으므로, 이후의 파라미터 조정 작업을 효율적으로 행하는 것이 가능해진다. 1매의 화상뿐만 아니라 복수의 OK 화상과 복수의 NG 화상을 사용하여 「OK 최댓값」, 「OK 평균값」, 「OK 최솟값」, 「NG 최댓값」, 「NG 평균값」, 「NG 최솟값」을 그래프에 나타낼 수 있으므로, 유저는 복수의 화상에 대한 파라미터의 조정 상황을 전체적으로 파악할 수 있어, 파라미터 조정 작업을 효율적으로 행하는 것이 가능해진다.By displaying the setting adjustment state together with a graph, the user can distinguish between those with appropriate parameter settings (no adjustment required) and those requiring parameter adjustment, and further parameter adjustments, for the plurality of inspection processes selected as adjustment targets. Regarding this necessity, it is possible to immediately and reliably determine whether adjustment of the threshold is sufficient or whether the setting parameters must be adjusted. Further, in the graph, not only the determination result (color icon) of "status of setting adjustment" is displayed, but also the numerical relationship between the measured value of the OK image, the measured value of the NG image, and the threshold value. Therefore, it is possible to easily check the basis for determination (evidence) of the "status of setting adjustment", and the user's persuasiveness can be improved. In addition, since the user can grasp how or to what extent the threshold value or setting parameter should be adjusted from the numerical relationship between the measured value of the OK image, the measured value of the NG image, and the threshold value, the subsequent parameter adjustment work can be efficiently performed. it becomes possible Using not only one image, but also multiple OK images and multiple NG images, “OK maximum value”, “OK average value”, “OK minimum value”, “NG maximum value”, “NG average value”, and “NG minimum value” are plotted on a graph. Since it can be displayed, the user can grasp the adjustment status of parameters for a plurality of images as a whole, and it becomes possible to efficiently perform parameter adjustment work.
「역치 조정이 필요」 또는 「설정 조정이 필요」라고 판정된 검사 처리(라벨)가 남아있는 경우(스텝 S47의 "아니오"), 유저는, 당해 검사 처리의 역치 조정 작업이나 설정 파라미터의 조정 작업을 행한다(스텝 S48).If the inspection process (label) determined as "needs threshold adjustment" or "needs setting adjustment" remains (NO in step S47), the user proceeds with the task of adjusting the threshold of the test processing or the adjustment of the setting parameters. is performed (step S48).
도 9를 참조하여, 「역치 조정이 필요」의 경우의 조작을 설명한다. 도 8의 레이더 차트에 표시되어 있는 라벨명(예를 들어 「인자 높이」)을 선택(누름)하면, UI 출력부(253)에 의해, 당해 라벨에 관한 파라미터를 조정하기 위한 조정 윈도우가 표시된다(도 9).Referring to Fig. 9, an operation in the case of "threshold adjustment required" will be described. When a label name displayed on the radar chart in Fig. 8 (for example, "printing height") is selected (presses), the
산포도(90)와 히스토그램(91)은 선택한 라벨에 관한, OK 화상 계측값과 NG 화상 계측값의 분포 상세를 나타내고 있다. 산포도(90)의 횡축은 개개의 화상(화상 No.)에 대응하고, 종축은 계측값(화상으로부터 계산된 계측 파라미터의 값)에 대응한다. 히스토그램(91)의 횡축은 도수(화상의 수)이며, 종축은 산포도(90)의 종축과 공통이다. 여기서, 산포도(90)에서는, OK 화상의 군과 NG 화상의 군이 나뉘어지도록 횡축에 있어서의 화상의 배열을 정하면 된다(도 9의 예에서는, 최초에 OK 화상을 배열하고, 후반에 NG 화상을 배열하고 있고, 또한, OK 화상군과 NG 화상군의 경계를 나타내는 라인을 묘화하고 있음). 또한, 종축의 스케일은, 계측값의 최솟값과 최댓값이 알맞게 분리되도록 조정하면 된다. 또한, 산포도(90) 및 히스토그램(91)에 있어서, OK 화상과 NG 화상 사이에 묘화 색을 달리하면 좋다. 이러한 연구에 의해, OK 화상 계측값의 분포나 경향, NG 화상 계측값의 분포나 경향을 파악하기 쉬워진다.A
산포도(90)의 하측 텍스트 박스(92B, 92U)에는, 역치(하한)와 역치(상한)의 현재의 설정값이 표시되어 있다. 또한, 산포도(90)와 히스토그램(91)에는, 역치(하한)와 역치(상한)를 나타내는 라인(93B, 93U)이 묘화된다.In the
도 9를 보면 알 수 있는 바와 같이, OK 화상 계측값과 NG 화상 계측값은 잘 분리되어 있음에도 불구하고, OK 화상 계측값과 NG 화상 계측값의 양쪽 모두가, 역치(하한)와 역치(상한)로 규정되는 OK 범위의 사이에 들어가버려 있다. 이러한 경우, 유저는, 텍스트 박스(92B, 92U)의 값을 변경할지, 라인(93B, 93U)을 드래그하여 이동함으로써, 역치를 조정할 수 있다. 도 9의 예에서는, 역치(상한)를 OK 화상 계측값과 NG 화상 계측값 사이에 들어오도록 수정함으로써, 적절한 판정 결과가 얻어지게 된다. 또한, 역치의 조정을 자동으로 행하는 것도 가능하다. 「자동 조정」 버튼(94)을 누르면, OK 화상 계측값과 NG 화상 계측값에 기초하여 적절한 역치가 자동 계산된다. 역치의 결정 알고리즘은 임의이다. 예를 들어, OK 화상 계측값의 대푯값(평균값, 중간값, 최솟값, 최댓값 등)과 NG 화상 계측값의 대푯값(평균값, 중간값, 최솟값, 최댓값 등)의 딱 중간이 되도록 역치를 결정해도 된다. 혹은, 판별 분석법 등의 역치 결정 알고리즘을 이용해도 된다.As can be seen from Fig. 9, although the OK image measurement values and NG image measurement values are well separated, both the OK image measurement value and the NG image measurement value have a threshold value (lower limit) and a threshold value (upper limit). It falls within the OK range defined by . In such a case, the user can adjust the threshold value by changing the values of the
또한, 도 9에서는, 십수매의 화상의 예를 나타내고 있지만, 실제의 운용에서는, 수백이나 수천이라는 오더의 화상을 사용하여 파라미터 조정을 행하는 것도 상정된다. 화상의 수가 방대해지면, 산포도(90)나 히스토그램(91)의 시인성의 저하를 초래하고, 오판정이 발생한 화상을 간과해 버리거나, 역치의 적절한 배치를 잘못 보거나 할 우려가 있다. 이러한 경우에는, 「오판정 화상에서 설정 조정」 버튼(95)이 유용하다. 이 버튼(95)을 누르면, 화상의 모집단 중에서, 오판정이 발생한 화상(즉, 계측값이 OK 범위로부터 벗어나 있는 OK 화상과, 계측값이 OK 범위에 들어가 있는 NG 화상)만이 추출되고, 추출된 오판정 화상의 정보만이 산포도(90) 및 히스토그램(91)에 표시된다. 이러한 표시로 전환함으로써, 복수의 화상에 대한 계측값을 보면서, 개개의 화상에 대한 계측값의 상황을 확인할 수 있어, 문제 개소가 명확해지므로, 효율적 또한 적절한 파라미터 조정이 가능해진다.In addition, although FIG. 9 shows an example of dozens of images, it is also assumed that parameter adjustment is performed using images on the order of hundreds or thousands in actual operation. If the number of images becomes large, the visibility of the
유저는, 산포도(90) 상의 플롯점을 선택하거나, 재계측 화상란(96)에 있어서 화상 No.를 입력함으로써, 화상을 1개 선택할 수 있다. 화상의 선택이 행해지면, 그 선택 화상의 계측값이 산포도(90)에 표시된다. 또한, 선택 화상에 대하여 각 처리 유닛의 검사 처리(재계측)가 실행되고, 그 OK/NG 판정 결과가 처리 유닛 리스트(97)에 표시됨과 함께, 조정 대상으로 되어 있는 처리 유닛의 판정 결과와 계측값이 상세 표시란(98)에 표시된다. 이러한 기능을 이용함으로써, 개개의 화상에 대한 계측값이나 판정 결과의 확인이 용이하게 될 수 있다.The user can select one image by selecting a plot point on the
도 10을 참조하여, 「설정 조정이 필요」인 경우의 조작을 설명한다. 도 10은, 도 8의 레이더 차트에 있어서 「인자 면적」 라벨을 선택한 경우에 표시되는 조정 윈도우의 예이다.Referring to Fig. 10, the operation in the case of "requires setting adjustment" will be described. Fig. 10 is an example of an adjustment window displayed when the "printing area" label is selected in the radar chart of Fig. 8 .
산포도(90) 및 히스토그램(91)을 보면, OK 화상 계측값과 NG 화상 계측값이 분리되어 있지 않고, 역치의 조정만으로는 해결하지 않는 것을 알 수 있다. 이러한 경우, 비슷한 계측값이 얻어져 버린 OK 화상과 NG 화상의 군에 주목하거나, OK 화상 중에서 다른 것과 크게 다른 계측값이 얻어져 있는 화상에 주목하여, 설정 파라미터의 조정을 행하면 된다. 도 10의 예에서 말하면, No.12의 OK 화상이, No.15의 NG 화상과 동일한 계측값이고, 또한, 다른 OK 화상에 비해 명백하게 계측값이 작다. 따라서, No.12의 OK 화상에 대응하는 파라미터 조정을 행하는 것이 지름길이라고 판단할 수 있다.Looking at the
그래서, 유저는, 산포도(90) 상에서 No.12의 OK 화상을 선택하거나, 재계측 화상란(96)에 「12」를 입력하고, No.12의 화상을 선택한다. 현재의 조건에서는, 해당하는 처리 유닛 「면적 무게 중심」의 판정 결과에 「NG」가 표시되고, 「면적: 0.0000」이라고 하는 계측값이 표시된다. 산포도(90)를 보면 다른 OK 화상에서는 면적의 계측값이 대략 10000 정도인 것으로부터, 면적을 계산하기 위한 설정 파라미터에 문제가 있다고 추측할 수 있다.Therefore, the user selects the OK image of No. 12 on the
설정 파라미터의 수정을 행하기 위해서는, 처리 유닛 리스트(97) 내의 처리 유닛을 선택(누름)하면 된다. 예를 들어, 「면적 무게 중심」을 선택하면, 도 11에 도시한 바와 같이, 면적 무게 중심의 설정 파라미터를 설정하기 위한 설정 윈도우가 표시된다. 설정 윈도우 우측의 프리뷰에 아무것도 표시되어 있지 않기 때문에, 현재의 색 지정 설정(색상, 채도, 명도)에서는, 영역의 추출에 실패하고 있는 것을 알 수 있다. 그래서, 유저는, 프리뷰를 확인하면서, 검사하고자 하는 영역이 딱 추출되도록 색상, 채도, 명도의 범위를 조정한다. 도 11의 하단은, 명도의 상한값을 255로 변경한 것으로, 영역을 추출할 수 있게 된 것을 나타내고 있다. 설정 파라미터의 조정이 완료되면, 「OK 버튼」을 눌러, 설정 윈도우를 닫는다.In order to modify setting parameters, it is sufficient to select (press) a processing unit in the
도 12에 도시한 바와 같이, 다시 조정 윈도우로 되돌아가, 「일괄 재계측 실행」 버튼(99)을 누르면, 조정 후의 설정 파라미터를 사용하여 계측 파라미터가 재계산된다. 도 12의 예에서는, 화상 No.12의 계측값이 9631이 되고, 다른 OK 화상과 동등한 값이 얻어지게 된 것을 알 수 있다. 이 상태라면, OK 화상 계측값과 NG 화상 계측값을 분리하는 역치의 설정이 가능하다. 따라서, 계속해서, 역치의 조 정도 행하고, 조정 작업을 완료한다.As shown in Fig. 12, when returning to the adjustment window again and pressing the "Execute batch remeasurement"
이상 설명한 수순에서, 「역치 조정이 필요」의 라벨과 「설정 조정이 필요」의 라벨의 모두에 대하여 파라미터의 조정을 행한 후에, 메인 화면의 「일괄 재계측 실행」 버튼(53)을 누르고, 레이더 차트의 갱신을 행한다. 도 13과 같이, 모든 라벨의 상태가 「설정 완료」로 되어 있으면, 파라미터의 조정 작업은 완료이다(도 4의 스텝 S47의 "예").In the procedure described above, after adjusting the parameters for both the label of "Need to adjust threshold" and the label of "Need to adjust settings", press the "Execute batch remeasurement"
상기 실시 형태는, 본 발명의 구성예를 예시적으로 설명하는 것에 지나치지 않는다. 본 발명은 상기의 구체적인 형태에는 한정되지 않고, 그 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다. 예를 들어, 상기 실시 형태에서는, 레이더 차트를 예시했지만, 막대 그래프나 꺽은 선 그래프 등을 사용해도 된다. 또한 레이더 차트 등에 OK 화상 계측값이나 NG 화상 계측값의 대푯값(최댓값, 평균값, 최솟값)을 플롯하는 것이 아니라, 개별의 계측값을 모두 플롯해도 된다. 또한, 상기 실시 형태에서 예시한 UI나 파라미터는 어디까지나 일례이며, 적절히 변형해도 상관없다. 또한, 상기 실시 형태에서는, 조정 대상으로 하는 검사 처리를 유저 자신이 선택하는 방법을 채용했지만, 파라미터 조정 지원 도구가 조정 대상으로 하는 검사 처리를 자동으로 선택(설정)하거나, 조정 대상으로 해야 할 검사 처리를 유저에 리커맨드하거나 해도 된다. 예를 들어, 처리 플로에 포함되는 복수의 검사 처리 중, NG 판정의 화상수가 많은 것으로부터의 순으로 N 항목의 검사 처리를 조사 대상(또는 리커맨드 대상)으로서 선택해도 된다. 혹은, 조정 대상으로 하는 검사 처리가 미리 정해져 있어도 된다.The above embodiments are merely illustrative of configuration examples of the present invention. The present invention is not limited to the above specific forms, and various modifications are possible within the scope of the technical idea. For example, although a radar chart was exemplified in the above embodiment, a bar graph, a broken line graph, or the like may be used. Further, instead of plotting the representative values (maximum value, average value, minimum value) of OK image measurement values and NG image measurement values on a radar chart or the like, all individual measurement values may be plotted. In addition, the UI and parameters exemplified in the above embodiment are merely examples, and may be modified appropriately. Further, in the above embodiment, the user selects the inspection process to be adjusted, but the parameter adjustment support tool automatically selects (sets) the inspection process to be adjusted or the inspection to be adjusted. The processing may be requested by the user. For example, among a plurality of inspection processes included in the processing flow, N inspection processes may be selected as an inspection target (or a recommendation target) in order from the largest number of NG determination images. Alternatively, the inspection process to be adjusted may be determined in advance.
Claims (10)
상기 검사 처리는, 화상으로부터 소정의 계측 파라미터의 값을 계산하고, 상기 계측 파라미터의 값을 역치와 비교하여 OK 또는 NG의 판정 결과를 출력하는 것이며,
상기 파라미터는, 상기 계측 파라미터의 값을 계산할 때의 조건을 규정하는 설정 파라미터와, 상기 역치를 포함하는 것이며,
상기 복수의 검사 처리 중에서 조정 대상으로 하는 N 항목(N은 2 이상의 정수)의 검사 처리를 설정하는 조정 대상 설정부와,
상기 N 항목의 검사 처리의 모두에 있어서 OK 판정이 얻어져야 할 OK 화상과, 상기 N 항목의 검사 처리 중 적어도 어느 것의 검사 처리에 있어서 NG 판정이 얻어져야 할 NG 화상을 취득하는 화상 취득부와,
상기 N 항목의 검사 처리의 각각에 대해서, OK 화상으로부터 상기 설정 파라미터의 현재의 조건에 따라서 계산된 상기 계측 파라미터의 값인 OK 화상 계측값과, 당해 검사 처리의 NG 화상으로부터 상기 설정 파라미터의 현재의 조건에 따라서 계산된 상기 계측 파라미터의 값인 NG 화상 계측값과, 현재의 상기 역치를 묘화한 그래프를 생성하는 그래프 생성부와,
상기 그래프를 표시 장치에 출력하는 출력부
를 구비하는 것을 특징으로 하는 파라미터 조정 지원 장치.A parameter adjustment support device for supporting adjustment of parameters used in each inspection process for an image sensor capable of executing a plurality of inspection processes on an image,
The inspection process calculates a value of a predetermined measurement parameter from an image, compares the value of the measurement parameter with a threshold value, and outputs an OK or NG determination result;
The parameter includes a setting parameter that defines conditions for calculating the value of the measurement parameter and the threshold value,
an adjustment target setting unit configured to set inspection processes of N items (N is an integer of 2 or greater) to be adjusted among the plurality of inspection processes;
an image acquiring unit that acquires an OK image for which an OK determination is to be obtained in all of the N items of inspection processing and an NG image for which an NG judgment is to be obtained in at least one of the N items of inspection processing;
For each of the N inspection processes, an OK image measurement value, which is a value of the measurement parameter calculated from an OK image according to the current condition of the setting parameter, and a current condition of the setting parameter from the NG image of the inspection process a graph generating unit for generating a graph in which an NG image measurement value, which is the value of the measurement parameter calculated according to, and the current threshold value are drawn;
Output unit for outputting the graph to a display device
A parameter adjustment support device characterized in that it comprises a.
상기 OK 화상 계측값과 상기 NG 화상 계측값과 상기 역치가, 적어도 색 또는 도형 중 어느 한쪽이 다른 양태로 상기 그래프에 묘화되는 것을 특징으로 하는 파라미터 조정 지원 장치.According to claim 1,
The parameter adjustment support device characterized in that the OK image measurement value, the NG image measurement value, and the threshold value are drawn on the graph in a manner in which at least one of a color or a figure is different.
상기 그래프 생성부는, 상기 조정 대상의 검사 처리에 있어서의 상기 OK 화상 계측값과 상기 NG 화상 계측값과 상기 역치의 관계에 기초하여, 당해 검사 처리의 상기 파라미터의 조정이 필요한지 여부를 판단하고, 그 판단 결과를 상기 그래프에 묘화하는 것을 특징으로 하는 파라미터 조정 지원 장치.According to claim 1,
The graph generating unit determines whether adjustment of the parameter of the inspection process is necessary based on a relationship between the OK image measurement value, the NG image measurement value, and the threshold value in the inspection process for the adjustment target, and A parameter adjustment support device characterized in that the determination result is drawn on the graph.
상기 그래프 생성부는, 또한 상기 역치와 상기 설정 파라미터의 어느 조정이 필요한지를 판단하고, 그 판단 결과를 상기 그래프에 묘화하는 것을 특징으로 하는 파라미터 조정 지원 장치.According to claim 3,
Parameter adjustment support device according to claim 1 , wherein the graph generating unit determines which adjustment of the threshold value and the setting parameter is required, and draws a result of the determination on the graph.
상기 그래프 생성부는, 상기 파라미터의 조정이 불필요, 상기 역치의 조정이 필요, 상기 설정 파라미터의 조정이 필요 중 적어도 3개의 상태를 판단하는 것이며,
상기 3개의 상태가 서로 다른 색으로 상기 그래프에 묘화되는 것을 특징으로 하는 파라미터 조정 지원 장치.According to claim 4,
The graph generating unit determines at least three states of the parameters need not be adjusted, the threshold needs to be adjusted, and the setting parameter needs to be adjusted.
The parameter adjustment support device, characterized in that the three states are drawn on the graph in different colors.
상기 출력부는, 상기 파라미터의 조정 작업을 행하기 위한 조정 윈도우를 상기 표시 장치에 출력하는 것을 특징으로 하는 파라미터 조정 지원 장치.According to any one of claims 1 to 5,
The parameter adjustment support device according to claim 1, wherein the output unit outputs an adjustment window for performing the parameter adjustment operation to the display device.
상기 조정 윈도우에는, 각 OK 화상의 OK 화상 계측값과 각 NG 화상의 NG 화상 계측값과 상기 역치가 묘화된 산포도가 표시되는 것을 특징으로 하는 파라미터 조정 지원 장치.According to claim 6,
2. The parameter adjustment support device according to claim 1, wherein the adjustment window displays a scatter diagram in which OK image measurement values of each OK image, NG image measurement values of each NG image, and the threshold are plotted.
상기 조정 윈도우는, 상기 산포도에 묘화하는 OK 화상 계측값과 NG 화상 계측값을, 상기 역치에 의해 규정되는 OK 범위로부터 벗어나는 OK 화상의 OK 화상 계측값과, 상기 OK 범위에 포함되는 NG 화상의 NG 화상 계측값만으로 전환 가능한 것을 특징으로 하는 파라미터 조정 지원 장치.According to claim 7,
The adjustment window sets the OK image measurement value and the NG image measurement value drawn on the scatter plot to the OK image measurement value of an OK image outside the OK range defined by the threshold value and the NG image of an NG image included in the OK range. A parameter adjustment support device characterized in that switching is possible only with image measurement values.
상기 검사 처리는, 화상으로부터 소정의 계측 파라미터의 값을 계산하고, 상기 계측 파라미터의 값을 역치와 비교하여 OK 또는 NG의 판정 결과를 출력하는 것이며,
상기 파라미터는, 상기 계측 파라미터의 값을 계산할 때의 조건을 규정하는 설정 파라미터와, 상기 역치를 포함하는 것이며,
상기 복수의 검사 처리 중에서 조정 대상으로 하는 N 항목(N은 2 이상의 정수)의 검사 처리를 설정하는 스텝과,
상기 N 항목의 검사 처리의 모두에 있어서 OK 판정이 얻어져야 할 OK 화상과, 상기 N 항목의 검사 처리 중 적어도 어느 것의 검사 처리에 있어서 NG 판정이 얻어져야 할 NG 화상을 취득하는 스텝과,
상기 N 항목의 검사 처리의 각각에 대해서, OK 화상으로부터 상기 설정 파라미터의 현재의 조건에 따라서 계산된 상기 계측 파라미터의 값인 OK 화상 계측값과, 당해 검사 처리의 NG 화상으로부터 상기 설정 파라미터의 현재의 조건에 따라서 계산된 상기 계측 파라미터의 값인 NG 화상 계측값과, 현재의 상기 역치를 묘화한 그래프를 생성하는 스텝과,
상기 그래프를 표시 장치에 출력하는 스텝
을 포함하는 것을 특징으로 하는 파라미터 조정 지원 방법.A parameter adjustment support method for supporting adjustment of parameters used in each inspection process for an image sensor capable of executing a plurality of inspection processes on an image,
The inspection process calculates a value of a predetermined measurement parameter from an image, compares the value of the measurement parameter with a threshold value, and outputs an OK or NG determination result;
The parameter includes a setting parameter that defines conditions for calculating the value of the measurement parameter and the threshold value,
A step of setting inspection processing of N items (N is an integer of 2 or more) to be adjusted among the plurality of inspection processing;
acquiring an OK image for which an OK determination is to be obtained in all of the N items of inspection processing and an NG image for which an NG judgment is to be obtained in at least one of the N items of inspection processing;
For each of the N inspection processes, an OK image measurement value, which is a value of the measurement parameter calculated from an OK image according to the current condition of the setting parameter, and a current condition of the setting parameter from the NG image of the inspection process a step of generating a graph in which an NG image measurement value, which is the value of the measurement parameter calculated according to , and the current threshold value are drawn;
Step of outputting the graph to a display device
Parameter adjustment support method comprising a.
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