KR20230063205A - XRF device using mutiful joint robot - Google Patents

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Abstract

The purpose of the present invention is to provide an XRF device using multiple joints, which can measure the thickness of a material more accurately by preventing the occurrence of an X-ray shaded area due to the three-dimensional shape of the material. According to the present invention, an XRF device using multiple joints is provided, the XRF device comprising an X-ray unit (10), for irradiating with X-rays and detecting a material (M) to be measured; a vacuum adsorption unit (20) for vacuum adsorption of the material (M) to be measured; and a multi-joint moving unit (30) for rotating the vacuum adsorption unit (20) in multiple axes on a base frame (not shown) to three-dimensionally move the measurement area of the material (M).

Description

다관절을 이용한 XRF 검사장치{XRF device using mutiful joint robot}XRF inspection device using multi-joint {XRF device using mutiful joint robot}

본 발명은 다관절을 이용한 XRF(X-ray flourescence spectroscopy) 검사장치에 관것으로서, 보다 상세하게는 3차원 형상을 가진 소재 내부 성분 두께를 소재의 형상이나 크기에 영향을 받지 않고 정밀하게 측정할 수 있는 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an XRF (X-ray flourescence spectroscopy) inspection device using a multi-joint, and more particularly, can accurately measure the thickness of internal components of a material having a three-dimensional shape without being affected by the shape or size of the material. It relates to an XRF inspection device using a multi-joint.

일반적으로 솔리드 대상물(solid objects)을 식별하는 방법에는 각 대상물의 물리적 속성 또는 특징을 결정하고, 공통 속성을 공유하는 대상물을 그룹화하는 작업을 포함한다. 이러한 성질을 결정하는 방법으로서 방사 또는 방출되는 광파의 양 및/또는 파장에 의한 식별, 와전류 분리, 헤비-미디어(heavy-media) 식물 분리 및 X- 선 형광 검출을 포함한다.In general, methods for identifying solid objects include determining the physical properties or characteristics of each object and grouping objects that share common properties. Methods for determining these properties include identification by the amount and/or wavelength of radiation or emitted light waves, eddy current separation, heavy-media plant separation, and X-ray fluorescence detection.

그 중에서 X- 선 형광 분광학은 오랫동안 학문적 환경과 산업 분야에서 물질 내의 원소를 확인함으로써 물질을 분류하는 기술로 이용되어 왔으며, 그중에서 형광 X선은 조사된 원소로부터 등방성으로 방출되며 검출된 방사선은 검출기에 의해 지정된 입체각 및 검출기에 도달하는 방사선량에 의하여 소재의 두께나 성질을 측정하는데 이용되고 있다.Among them, X-ray fluorescence spectroscopy has long been used as a technology to classify substances by identifying elements within them in academic environments and industrial fields. It is used to measure the thickness or properties of a material by the solid angle specified by and the amount of radiation reaching the detector.

이와 관련하여 특허공개공보 제10-2019-0028446호에 의하면, 도 1에 도시된 바와 같이, 복수의 대상물을 동시에 조사하기 위한 공간 강도 분포를 갖는 적어도 하나의 X선 또는 감마선(Gamma-Ray) 여기빔(excitation beam)을 방출하도록 된 이미터 어셈블리, 복수의 대상물에 의해 방출된 2차 방사선을 측정하고, 복수의 대상물에 대하여 검출된 X선 데이터의 공간 강도분포를 나타내는 신호를 발생시키는 X선 검출기, 및 복수의 솔리드 대상물 각각의 적어도 하나의 표면에 상기 마킹 조성물의 존재를 확인하기 위해 상기 검출된 응답 X-선 신호를 수신하고 처리하기 위해 상기 검출기와 통신하는 신호 처리기를 포함하는 XRF 분석기를 개시하고 있다.In this regard, according to Patent Publication No. 10-2019-0028446, as shown in FIG. 1, at least one X-ray or gamma-ray excitation having a spatial intensity distribution for simultaneously irradiating a plurality of objects. An emitter assembly configured to emit an excitation beam, an X-ray detector for measuring secondary radiation emitted by a plurality of objects, and generating a signal representing the spatial intensity distribution of X-ray data detected for the plurality of objects and a signal processor in communication with the detector to receive and process the detected response X-ray signal to confirm the presence of the marking composition on at least one surface of each of a plurality of solid objects. are doing

여기서, 이미터 어셈블리는 서로 이격된 복수의 이미터를 포함하며, 각각의 이미터는 서로에 대해 상이한 강도를 갖는 여기 빔을 생성하도록 적응되도록 하고 있으며, 상기 이미터 어셈블리는 이미터 그리고 상기 이미터에 결합된 공간 강도 빔 변조기를 포함하며, 상기 대상물 각각에 충돌하는 강도가 상이하고 식별가능하도록 상기 여기 빔의 강도를 공간적으로 변조하도록 되어 있다.Here, the emitter assembly comprises a plurality of emitters spaced apart from each other, each emitter being adapted to produce excitation beams having different intensities relative to each other, the emitter assembly comprising the emitter and the emitter and a combined spatial intensity beam modulator, adapted to spatially modulate the intensity of the excitation beam such that the intensity impinging on each of the objects is different and identifiable.

그러나 이러한 기술에 의하면, 지상에 평행한 작업대 상에 소재가 놓인 상태에서 소재에 대하여 X선 이미터가 소재에 대하여 입사시킨 상태에서 X선 검출기가 X선을 검출하고 있기 때문에, 측정하고자 하는 소재의 입체적 형상에 있어서 3차원적 형상에 따른 음영지대가 발생되어 3차원 형상을 가진 소재의 음영지대를 포함한 각 영역을 정확히 측정할 수 없는 문제점이 있다.However, according to this technology, since the X-ray detector detects X-rays while the X-ray emitter is incident on the workpiece in a state where the workpiece is placed on a work table parallel to the ground, In the three-dimensional shape, there is a problem in that each area including the shaded area of the material having a three-dimensional shape cannot be accurately measured because a shadow area is generated according to the three-dimensional shape.

따라서 이러한 문제점을 해결할 수 있는 기술의 개발이 요구되고 있다.Therefore, the development of a technology capable of solving these problems is required.

따라서 본 발명의 목적은 피측정 대상인 소재의 3차원 형상으로 인한 X선 음영영역이 발생되지 않도록 하여 보다 정확한 소재의 두께 등을 측정할 수 있는 다관절을 이용한 XRF 검사장치를 제공하는 것이다.Therefore, an object of the present invention is to provide an XRF inspection device using a multi-joint capable of more accurately measuring the thickness of a material by preventing the occurrence of an X-ray shadow region due to the three-dimensional shape of the material to be measured.

또한, 본 발명의 다른 목적은 미세한 높이의 측면을 가진 3차원 형상으로 이루어진 측정 소재에 있어서 미세한 높이의 측면에 대하여 X선 장치와 간섭하지 않도록 하면서 조사된 X선량의 유효 검출량을 최대화하여 상기 부분에 대하여 정밀하게 측정할 수 있도록 할 수 있는 다관절을 이용한 XRF 검사장치를 제공하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to maximize the effective detection amount of the irradiated X-ray amount while not interfering with the X-ray device with respect to the side of the fine height in the measurement material made of a three-dimensional shape with the side of the fine height. It is to provide an XRF inspection device using a multi-joint capable of precisely measuring the

본 발명에 의하면, 측정대상인 소재(M)에 대하여 X선을 조사하고 검출하기 위한 X선부(10); 측정대상인 소재(M)를 진공흡착하기 위한 진공흡착부(20); 및 진공흡착부(20)를 베이스 프레임(미도시) 상에서 다축으로 회전시켜 소재(M)의 측정영역을 3차원적으로 X선부(10)로 이동시키기 위한 다관절 이동부(30)를 포함하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치가 제공된다.According to the present invention, the X-ray unit 10 for irradiating and detecting X-rays with respect to the material (M) to be measured; A vacuum adsorption unit 20 for vacuum adsorption of the material (M) to be measured; And a multi-joint moving unit 30 for moving the measurement area of the material M to the X-ray unit 10 in three dimensions by rotating the vacuum adsorption unit 20 multi-axially on a base frame (not shown). An XRF inspection device using a multi-joint is provided.

여기서, X선부(10)는 X선 조사 어셈블리(미도시)가 내재되기 위한 X선 본체(12), X 본체(12)의 단부로부터 그 중심축에 대하여 좁아지는 방향으로 경사지게 연장된 경사연장부(14), 경사연장부(14)로부터 수직하게 돌출연장된 X선 조사부(16) 및 경사연장부(14)의 단부에 구비된 X선 검출부(18)로 이루어지는 것이 바람직하다.Here, the X-ray unit 10 includes an X-ray body 12 for incorporating an X-ray irradiation assembly (not shown), and an inclined extension portion extending obliquely in a direction narrowing with respect to the central axis from an end of the X-ray body 12. (14), it is preferable to consist of an X-ray irradiation unit 16 protruding vertically from the inclined extension portion 14 and an X-ray detection unit 18 provided at an end of the inclined extension portion 14.

또한, X선부(10)의 X선 본체(12)는 원통형 또는 육면체의 하우징을 구비하며, 경사연장부(14)는 X선 본체(12)의 하단부로부터 그 중심축에 대하여 좁아지는 경사각으로 연장된 하우징을 구비하는 것이 바람직하다.In addition, the X-ray main body 12 of the X-ray unit 10 has a cylindrical or hexahedral housing, and the inclined extension part 14 extends from the lower end of the X-ray main body 12 at an inclined angle narrowing with respect to its central axis. It is preferable to have a housing that is

또한, 경사연장부(14)는 X선 본체(12)가 원통형으로 이루어질 경우 역뿔형상의 경사각을 가진 형상의 하우징으로 이루어지며, X선 본체(12)가 육면체로 이루어질 경우 하부로 내려갈 수록 좁아지는 단면을 가진 형상의 하우징으로 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, the inclined extension portion 14 is made of a housing having an inclination angle of an inverted cone shape when the X-ray body 12 is made of a cylindrical shape, and when the X-ray body 12 is made of a hexahedron, it becomes narrower as it goes down. It is preferably made of a housing of a shape having a cross section.

또한, X선 조사부(16)는 상기와 같이 경사진 외측면을 가진 경사연장부(14)의 단부에서 경사연장부(14)의 단부면보다 작은 직경을 가지고 연장되어 X선 본체(12)로부터 발생된 X선이 상기 연장된 영역으로 유도되어 X선이 조사되는 것이 바람직하다.In addition, the X-ray irradiator 16 extends from the end of the inclined extension part 14 having the inclined outer surface as described above to have a smaller diameter than the end surface of the inclined extension part 14, and is generated from the X-ray body 12. Preferably, the X-rays are guided to the extended area and irradiated with X-rays.

또한, X선 조사부(16)는 경사연장부(14)의 단부로부터 가변적으로 돌출 연장되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the X-ray irradiation part 16 variably protrudes from the end of the inclined extension part 14 .

또한, 진공흡착부(20)는 측정대상인 소재(M)를 안착시키기 위한 안착지그(22)와 안착지그(22)를 관통하여 소재(M)에 대하여 진공압이 전달되도록 하기 위하여 소재(M)와 접하는 영역에 대응하여 관통된 진공흡입공(24)으로 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, the vacuum adsorption unit 20 penetrates the seating jig 22 for seating the material (M) to be measured and the material (M) so that vacuum pressure is transmitted to the material (M) through the seating jig (22). It is preferable to consist of a vacuum suction hole 24 penetrating corresponding to the area in contact with the.

또한, 진공흡착부(20)의 안착지그(22)는 소재(M)의 3차원 만곡 형상에 대응하는 표면을 가지는 것이 바람직하다.In addition, the seating jig 22 of the vacuum adsorption unit 20 preferably has a surface corresponding to the three-dimensional curved shape of the material M.

또한, 진공흡착부(20)의 진공흡입공(24)는 진공펌프(미도시)를 통하여 공급되는 진공유로(미도시)를 더 구비하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the vacuum suction hole 24 of the vacuum adsorption unit 20 further includes a vacuum flow path (not shown) supplied through a vacuum pump (not shown).

또한, 다관절 이동부(30)는 적어도 두개의 암(33a, 34a)을 포함하며, 상기 암(33a, 34a)을 매개하여 순차적으로 서로 직교하는 회전축들을 구동하기 위한 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)가 검사장치의 본체를 이루는 베이스 프레임(미도시) 상에서 구비되어 진공흡착부(20)를 3차원적으로 이동시키는 것이 바람직하다.In addition, the multi-joint moving unit 30 includes at least two arms 33a and 34a, and the rotational units 32 and 33 for sequentially driving rotation axes orthogonal to each other via the arms 33a and 34a. 34, 35, 36, 37) is preferably provided on a base frame (not shown) constituting the main body of the inspection device to move the vacuum adsorption unit 20 three-dimensionally.

또한, 다관절 이동부(30)의 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)는 서로 직교하는 회전축들이 순차적으로 연결되도록 구성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the pivoting parts 32, 33, 34, 35, 36, and 37 of the multi-joint moving part 30 are configured such that rotational axes orthogonal to each other are sequentially connected.

또한, 다관절 이동부(30)의 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)는 순차적으로 직교하는 6축으로 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the pivoting parts 32, 33, 34, 35, 36, 37 of the multi-joint moving part 30 consist of 6 axes that are sequentially orthogonal to each other.

또한, 다관절 이동부(30)는 검사장치의 본체를 이루는 베이스 프레임(미도시) 상에서 제1 회전축으로 회전운동시키기 위한 제1 회동부(32), 제1 회동부(32) 상에서 제1 회전축에 수직한 제2 회전축으로 제1 암(33a)을 회전운동시키기 위한 제2 회동부(33), 제1 암(33a)의 단부에 결합되어 제2 암(34a)을 제2 회전축에 수직한 제3 회전축으로 회전운동시키기 위한 제3 회동부(34), 제2 암(34a)의 단부에 결합되어 제3 회전축에 수직한 제4 회전축으로 회전운동시키기 위한 제4 회동부(35), 제4 회동부(35)의 단부에서 제4 회전축에 수직한 제5 회전축으로 회전운동시키기 위한 제5 회동부(36), 및 제5 회동부(36)의 단부에서 제5 회전축에 수직한 제6 회전축으로 진공흡착부(20)를 회전운동시키기 위한 제6 회동부(37)로 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, the multi-joint moving unit 30 includes a first rotational unit 32 for rotational movement with a first rotational shaft on a base frame (not shown) constituting the main body of the inspection device, and a first rotational shaft on the first rotational unit 32. The second rotational part 33 for rotating the first arm 33a with a second rotational axis perpendicular to the second rotational axis 33 coupled to the end of the first arm 33a, the second arm 34a perpendicular to the second rotational axis A third rotational unit 34 for rotational movement with a third rotational axis, a fourth rotational unit 35 coupled to the end of the second arm 34a and rotational movement with a fourth rotational axis perpendicular to the third rotational axis, 4. The fifth rotational part 36 for rotating the fifth rotational axis perpendicular to the fourth rotational axis at the end of the rotational unit 35, and the sixth perpendicular to the fifth rotational axis at the end of the fifth rotational unit 36. It is preferable to consist of a sixth rotational part 37 for rotating the vacuum adsorption part 20 with a rotating shaft.

따라서 본 발명에 의하면 피측정 대상인 소재의 3차원 형상으로 인한 X선 음영영역이 발생되지 않도록 하여 보다 정확한 소재의 두께 등을 측정할 수 있을 뿐만 아니라, 미세한 높이의 측면을 가진 3차원 형상으로 이루어진 측정 소재에 있어서 미세한 높이의 측면에 대하여 X선 장치와 간섭하지 않도록 하면서 조사된 X선량의 유효 검출량을 최대화하여 상기 부분에 대하여 정밀하게 측정할 수 있다.Therefore, according to the present invention, it is possible to measure the thickness of the material more accurately by preventing the occurrence of X-ray shaded areas due to the three-dimensional shape of the material to be measured, as well as to measure the three-dimensional shape with a fine height side. With respect to the side of the fine height of the material, it is possible to accurately measure the portion by maximizing the effective detection amount of the irradiated X-ray amount while not interfering with the X-ray device.

도 1은 특허공개공보 제10-2019-0028446호에 따른 XRF 분석기의 블록도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치의 개략적인 사시도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 있어서, 미세한 높이의 측면을 가진 3차원 형상으로 이루어진 측정 소재의 위치에 따른 동작 상태를 나타낸 개략적인 사시도들이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 있어서, 미세한 높이의 측면을 가진 3차원 형상으로 이루어진 측정 소재의 측면에 대하여 X선 장치와 간섭하지 않도록 하면서 검출되는 유효 X선량의 검출 상태를 모식도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 있어서, 진공흡착부와 측정 소재 사이의 밀착상태를 나타낸 단면도이다.1 is a block diagram of an XRF analyzer according to Patent Publication No. 10-2019-0028446.
2 is a schematic perspective view of an XRF inspection device using a multi-joint according to a preferred embodiment of the present invention.
3 is a schematic perspective view showing an operating state according to the position of a measurement material made of a three-dimensional shape with a fine height side in the XRF inspection apparatus using a multi-joint according to a preferred embodiment of the present invention.
Figure 4 is an XRF inspection device using a multi-joint according to a preferred embodiment of the present invention, effective X detected while not interfering with the X-ray device with respect to the side of a measurement material made of a three-dimensional shape with a fine height side It is a schematic diagram of the detection state of the dose.
5 is a cross-sectional view showing a state of close contact between a vacuum adsorption unit and a measurement material in an XRF inspection apparatus using a multi-joint according to a preferred embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 대하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, an XRF inspection apparatus using a multi-joint according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치의 개략적인 사시도이며, 도 3은 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 있어서, 미세한 높이의 측면을 가진 3차원 형상으로 이루어진 측정 소재의 위치에 따른 동작 상태를 나타낸 개략적인 사시도들이며, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 있어서, 미세한 높이의 측면을 가진 3차원 형상으로 이루어진 측정 소재의 측면에 대하여 X선 장치와 간섭하지 않도록 하면서 검출되는 유효 X선량의 검출 상태를 모식도이며, 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 있어서, 진공흡착부와 측정 소재 사이의 밀착상태를 나타낸 단면도이다.2 is a schematic perspective view of an XRF inspection apparatus using a multi-joint according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a schematic perspective view of an XRF inspection apparatus using a multi-joint according to a preferred embodiment of the present invention. These are schematic perspective views showing an operating state according to the position of a measurement material made of a three-dimensional shape with a side surface of, and FIG. 4 is an XRF inspection device using a multi-joint according to a preferred embodiment of the present invention, It is a schematic diagram of the detection state of the effective X-ray amount detected while not interfering with the X-ray device with respect to the side of the measurement material made of a three-dimensional shape with , it is a cross-sectional view showing a state of close contact between the vacuum adsorption unit and the measuring material.

도 2와 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 의하면, 측정대상인 소재(M)에 대하여 X선을 조사하고 검출하기 위한 X선부(10), 측정대상인 소재(M)를 진공흡착하기 위한 진공흡착부(20), 및 진공흡착부(20)를 베이스 프레임(미도시) 상에서 다축으로 회전시켜 소재(M)의 측정영역을 3차원적으로 X선부(10)로 이동시키기 위한 다관절 이동부(30)를 포함한다.As shown in FIGS. 2 and 3, according to the XRF inspection apparatus using a multi-joint according to a preferred embodiment of the present invention, an X-ray unit 10 for irradiating and detecting X-rays to a material M to be measured , The vacuum adsorption unit 20 for vacuum adsorption of the material M to be measured, and the vacuum adsorption unit 20 are multi-axially rotated on a base frame (not shown) to measure the measurement area of the material M in three dimensions. It includes a multi-joint moving unit 30 for moving to the X-ray unit 10.

X선부(10)는 X선 조사 어셈블리(미도시)가 내재되기 위한 X선 본체(12), X 본체(12)의 단부로부터 그 중심축에 대하여 좁아지는 방향으로 경사지게 연장된 경사연장부(14), 경사연장부(14)로부터 수직하게 돌출연장된 X선 조사부(16) 및 경사연장부(14)의 단부에 구비된 X선 검출부(18)로 이루어진다.The X-ray unit 10 includes an X-ray body 12 for incorporating an X-ray irradiation assembly (not shown), and an inclined extension portion 14 extending obliquely in a direction narrowing with respect to the central axis from an end of the X-ray body 12. ), an X-ray irradiation unit 16 protruding and extending vertically from the inclined extension unit 14, and an X-ray detection unit 18 provided at an end of the inclined extension unit 14.

X선부(10)의 X선 본체(12)는 원통형 또는 육면체의 하우징을 구비하는 것이 바람직하며, 경사연장부(14)는 X선 본체(12)의 하단부로부터 그 중심축에 대하여 좁아지는 경사각으로 연장된 하우징을 구비한다.The X-ray main body 12 of the X-ray unit 10 preferably has a cylindrical or hexahedral housing, and the inclined extension part 14 has an inclination angle narrowing with respect to the central axis from the lower end of the X-ray main body 12. It has an extended housing.

이 때, 경사연장부(14)는 X선 본체(12)가 원통형으로 이루어질 경우 역뿔형상의 경사각을 가진 형상의 하우징으로 이루어지며, X선 본체(12)가 육면체로 이루어질 경우 하부로 내려갈 수록 좁아지는 단면을 가진 형상의 하우징으로 이루어진다. 한편, X선 조사부(16)는 상기와 같이 경사진 외측면을 가진 경사연장부(14)의 단부에서 경사연장부(14)의 단부면보다 작은 직경을 가지고 연장되어 X선 본체(12)로부터 발생된 X선이 상기 연장된 영역으로 유도되어 X선이 조사된다.At this time, the inclined extension portion 14 is made of a housing having an inclination angle of an inverted cone shape when the X-ray body 12 is made of a cylindrical shape, and when the X-ray body 12 is made of a hexahedron, it is narrower as it goes down. The support consists of a housing shaped with a cross-section. On the other hand, the X-ray irradiator 16 extends from the end of the inclined extension part 14 having the inclined outer surface as described above to have a smaller diameter than the end surface of the inclined extension part 14, and is generated from the X-ray body 12. X-rays are guided to the extended area and X-rays are irradiated.

한편, 본 발명의 다른 실시예에 의하면, X선 조사부(16)는 경사연장부(14)의 단부로부터 가변적으로 돌출 연장되도록 할 수도 있다. Meanwhile, according to another embodiment of the present invention, the X-ray irradiation unit 16 may variably protrude and extend from the end of the inclined extension unit 14 .

이와 같이, 본 발명에 의하면, 조사되는 X선은 X선 본체(12)의 단면폭보다 좁은 영역에서 경사연장부(14)의 단부에 결합 구성됨으로써, 소재(M)가 다관절 이동부(30)의 이동시 소재(M)와 저촉되는 영역을 최소화할 수 있으며, 그에 따라 소재(M)의 미세한 높이를 가진 측면 영역에 대하여 X선 본체(12)와 경사연장부(14)에 대하여 간섭이 발생되지 않을 뿐만 아니라 음영영역을 발생시키지 않으면서 소재(M)를 정밀하게 측정할 수 있다.Thus, according to the present invention, the irradiated X-rays are configured to be coupled to the end of the inclined extension portion 14 in an area narrower than the cross-sectional width of the X-ray body 12, so that the material M is the multi-joint moving unit 30 When moving, it is possible to minimize the area that collides with the material (M), and accordingly, no interference occurs with respect to the X-ray body 12 and the inclined extension part 14 with respect to the side area having a fine height of the material (M). In addition, the material M can be accurately measured without generating a shaded area.

진공흡착부(20)는 측정대상인 소재(M)를 안착시키기 위한 안착지그(22)와 안착지그(22)를 관통하여 소재(M)에 대하여 진공압이 전달되도록 하기 위하여 소재(M)와 접하는 영역에 대응하여 관통된 진공흡입공(24)으로 이루어진다.The vacuum adsorption unit 20 is in contact with the material M so that the vacuum pressure is transmitted to the material M through the seating jig 22 for seating the material M to be measured and passing through the seating jig 22. It consists of a vacuum suction hole 24 penetrating corresponding to the area.

진공흡착부(20)의 안착지그(22)는 소재(M)의 3차원 만곡 형상에 대응하는 표면을 가지는 것이 바람직하다. 진공흡착부(20)의 진공흡입공(24)는 진공펌프(미도시)를 통하여 공급되는 진공유로(미도시)를 더 구비한다.The seating jig 22 of the vacuum adsorption unit 20 preferably has a surface corresponding to the three-dimensional curved shape of the material M. The vacuum suction hole 24 of the vacuum adsorption unit 20 further includes a vacuum flow path (not shown) supplied through a vacuum pump (not shown).

다관절 이동부(30)는 적어도 두개의 암(33a, 34a)을 포함하며, 상기 암(33a, 34a)을 매개하여 순차적으로 서로 직교하는 회전축들을 구동하기 위한 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)가 검사장치의 본체를 이루는 베이스 프레임(미도시) 상에서 구비되어 진공흡착부(20)를 3차원적으로 이동시킨다.The multi-joint moving unit 30 includes at least two arms 33a and 34a, and the pivoting units 32, 33, 34 for sequentially driving rotation axes orthogonal to each other via the arms 33a and 34a, 35, 36, 37) are provided on a base frame (not shown) constituting the main body of the inspection device to move the vacuum adsorption unit 20 three-dimensionally.

다관절 이동부(30)의 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)는 서로 직교하는 회전축들이 순차적으로 연결되도록 구성된다.Rotating parts 32, 33, 34, 35, 36, 37 of the multi-joint moving unit 30 are configured such that rotational axes orthogonal to each other are sequentially connected.

다관절 이동부(30)의 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)는 적어도 3축 이상의 회전축을 구비하며, 바람직하게는 순차적으로 직교하는 6축으로 이루어진다.The rotational parts 32, 33, 34, 35, 36, 37 of the multi-joint moving unit 30 have at least three or more rotational axes, and preferably consist of six axes orthogonal to each other sequentially.

보다 바람직하게는 다관절 이동부(30)는 검사장치의 본체를 이루는 베이스 프레임(미도시) 상에서 제1 회전축으로 회전운동시키기 위한 제1 회동부(32), 제1 회동부(32) 상에서 제1 회전축에 수직한 제2 회전축으로 제1 암(33a)을 회전운동시키기 위한 제2 회동부(33), 제1 암(33a)의 단부에 결합되어 제2 암(34a)을 제2 회전축에 수직한 제3 회전축으로 회전운동시키기 위한 제3 회동부(34), 제2 암(34a)의 단부에 결합되어 제3 회전축에 수직한 제4 회전축으로 회전운동시키기 위한 제4 회동부(35), 제4 회동부(35)의 단부에서 제4 회전축에 수직한 제5 회전축으로 회전운동시키기 위한 제5 회동부(36), 및 제5 회동부(36)의 단부에서 제5 회전축에 수직한 제6 회전축으로 진공흡착부(20)를 회전운동시키기 위한 제6 회동부(37)로 이루어진다.More preferably, the multi-joint moving unit 30 has a first rotational unit 32 for rotational movement with a first rotation axis on a base frame (not shown) constituting the body of the inspection device, and a first rotational unit 32 on the first rotational unit 32. The second rotational part 33 for rotating the first arm 33a with a second rotational axis perpendicular to the first rotational axis is coupled to the end of the first arm 33a to move the second arm 34a to the second rotational axis. A fourth rotational unit 35 coupled to the end of the third rotational axis 34 and the second arm 34a for rotational movement in a vertical third rotational axis and rotational movement in a fourth rotational axis perpendicular to the third rotational axis , the fifth rotational portion 36 for rotational movement from the end of the fourth rotational portion 35 to the fifth rotational axis perpendicular to the fourth rotational axis, and at the end of the fifth rotational portion 36 perpendicular to the fifth rotational axis. It consists of a sixth rotational part 37 for rotating the vacuum adsorption part 20 with a sixth rotational shaft.

따라서 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 의하면, 측정대상이 되는 소재는 진공흡착부(20)를 통하여 3차원 공간상으로 탈부착이 될 수 있을 뿐만 아니라, 측정대상이 되는 소재(M)의 측면(m´)이 전체 표면의 형상 영역에 비하여 매우 낮은 높이를 가진 경우에도 다관절 이동부(30)에 의하여 X선부(10)의 경사연장부(14)의 경사면에 평행하게 진공흡착부(20)의 안착지그(22)를 이동시킴과 동시에 해당 측면(m´)에 대하여 유효 X선량이 최대가 되도록 X선 조사부(16)가 근접되어 조사되도록 할 수 있다. 이와 같이 음영지대로 되거나 입반사각에 따른 산란으로 인하여 유효 X선량의 감소가 될 수 있는 측면(m´)에 대하여 전술한 바와 같이 조사과 검출과정이 이루어지도록 함으로써 음영을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 유효 X선량의 손실을 방지함으로써 정확하게 소재의 두께 등을 측정할 수 있다.Therefore, as shown in FIG. 3, according to the XRF inspection apparatus using a multi-joint according to a preferred embodiment of the present invention, the material to be measured can be attached and detached in a three-dimensional space through the vacuum adsorption unit 20. In addition, even when the side surface (m') of the material (M) to be measured has a very low height compared to the shape area of the entire surface, the inclination extension of the X-ray unit 10 by the multi-joint moving unit 30 While moving the seating jig 22 of the vacuum suction part 20 in parallel with the inclined surface of the part 14, the X-ray irradiation part 16 is approached so that the effective X-ray amount is maximized with respect to the side surface m'. can be investigated. In this way, by making the irradiation and detection processes performed as described above for the side (m') where the effective amount of X-rays can be reduced due to the shadow area or scattering according to the incident reflection angle, not only shadow can be prevented, but also effective By preventing the loss of X-ray dose, it is possible to accurately measure the thickness of the material.

10: X선부
12: X선 본체
14: 경사연장부
16: X선 조사부
18: X선 검출부
20: 진공흡착부
22: 안착지그
24: 진공흡입공
30: 다관절 이동부
32: 제1 회동부
33: 제2 회동부
33a: 제1 암
34: 제3 회동부
34a: 제2 암
35: 제4 회동부
36: 제5 회동부
37: 제6 회동부10: X-ray part
12: X-ray body
14: inclined extension
16: X-ray irradiation unit
18: X-ray detector
20: vacuum adsorption unit
22: Seating jig
24: vacuum suction hole
30: multi-joint moving unit
32: first rotational part
33: second rotational part
33a first arm
34: third rotational part
34a: second arm
35: 4th rotating part
36: 5th rotating part
37: 6th rotating part

Claims (17)

측정대상인 소재(M)에 대하여 X선을 조사하고 검출하기 위한 X선부(10);
측정대상인 소재(M)를 진공흡착하기 위한 진공흡착부(20); 및
진공흡착부(20)를 베이스 프레임(미도시) 상에서 다축으로 회전시켜 소재(M)의 측정영역을 3차원적으로 X선부(10)로 이동시키기 위한 다관절 이동부(30)를 포함하는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.An X-ray unit 10 for irradiating and detecting X-rays on the material (M) to be measured;
A vacuum adsorption unit 20 for vacuum adsorption of the material (M) to be measured; and
To include a multi-joint moving unit 30 for moving the measurement area of the material M to the X-ray unit 10 in three dimensions by rotating the vacuum adsorption unit 20 multi-axially on a base frame (not shown) XRF inspection device using multi-joints. 제1항에 있어서, X선부(10)는 X선 조사 어셈블리(미도시)가 내재되기 위한 X선 본체(12), X 본체(12)의 단부로부터 그 중심축에 대하여 좁아지는 방향으로 경사지게 연장된 경사연장부(14), 경사연장부(14)로부터 수직하게 돌출연장된 X선 조사부(16) 및 경사연장부(14)의 단부에 구비된 X선 검출부(18)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.The method of claim 1, wherein the X-ray unit 10 extends obliquely in a direction narrowing with respect to the central axis of the X-ray body 12 for incorporating the X-ray irradiation assembly (not shown) and an end of the X body 12. characterized in that it consists of an inclined extension part 14, an X-ray irradiation part 16 protruding vertically from the inclined extension part 14, and an X-ray detector 18 provided at the end of the inclined extension part 14 XRF inspection device using multi-joints. 제2항에 있어서, X선부(10)의 X선 본체(12)는 원통형 또는 육면체의 하우징을 구비하며, 경사연장부(14)는 X선 본체(12)의 하단부로부터 그 중심축에 대하여 좁아지는 경사각으로 연장된 하우징을 구비하는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.The method of claim 2, wherein the X-ray body 12 of the X-ray unit 10 has a cylindrical or hexahedral housing, and the inclined extension portion 14 is narrow from the lower end of the X-ray body 12 with respect to its central axis. An XRF inspection device using a multi-joint, characterized in that it has a housing extended at an inclination angle. 제3항에 있어서, 경사연장부(14)는 X선 본체(12)가 원통형으로 이루어질 경우 역뿔형상의 경사각을 가진 형상의 하우징으로 이루어지며, X선 본체(12)가 육면체로 이루어질 경우 하부로 내려갈 수록 좁아지는 단면을 가진 형상의 하우징으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.According to claim 3, the inclined extension portion 14 is made of a housing having an inclination angle of an inverted cone shape when the X-ray body 12 is made of a cylindrical shape, and when the X-ray body 12 is made of a hexahedron, it is made of a lower part. XRF inspection device using a multi-joint, characterized in that consisting of a housing of a shape having a cross section that narrows as it goes down. 제4항에 있어서, X선 조사부(16)는 상기와 같이 경사진 외측면을 가진 경사연장부(14)의 단부에서 경사연장부(14)의 단부면보다 작은 직경을 가지고 연장되어 X선 본체(12)로부터 발생된 X선이 상기 연장된 영역으로 유도되어 X선이 조사되는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.5. The X-ray body ( 12) XRF inspection device using a multi-joint, characterized in that the X-rays generated from are guided to the extended area and X-rays are irradiated. 제5항에 있어서, X선 조사부(16)는 경사연장부(14)의 단부로부터 가변적으로 돌출 연장되는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.[6] The XRF inspection device using a multi-joint according to claim 5, wherein the X-ray irradiation unit 16 protrudes and extends variably from the end of the inclined extension unit 14. 제1항 내지 제6항 중의 어느 한 항에 있어서, 진공흡착부(20)는 측정대상인 소재(M)를 안착시키기 위한 안착지그(22)와 안착지그(22)를 관통하여 소재(M)에 대하여 진공압이 전달되도록 하기 위하여 소재(M)와 접하는 영역에 대응하여 관통된 진공흡입공(24)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.The method of any one of claims 1 to 6, wherein the vacuum adsorption unit 20 penetrates the seating jig 22 for seating the material (M) to be measured and the seating jig 22 to the material (M). XRF inspection device using a multi-joint, characterized in that consisting of a vacuum suction hole 24 penetrated in correspondence with the area in contact with the material (M) in order to transmit the vacuum pressure to the. 제7항에 있어서, 진공흡착부(20)의 안착지그(22)는 소재(M)의 3차원 만곡 형상에 대응하는 표면을 가지는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.The XRF inspection device using multi-joints according to claim 7, wherein the seating jig 22 of the vacuum adsorption unit 20 has a surface corresponding to the three-dimensional curved shape of the material M. 제7항에 있어서, 진공흡착부(20)의 진공흡입공(24)는 진공펌프(미도시)를 통하여 공급되는 진공유로(미도시)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.The XRF test using multi-joints according to claim 7, wherein the vacuum suction hole 24 of the vacuum adsorption unit 20 further includes a vacuum passage (not shown) supplied through a vacuum pump (not shown). Device. 제7항에 있어서, 다관절 이동부(30)는 적어도 두개의 암(33a, 34a)을 포함하며, 상기 암(33a, 34a)을 매개하여 순차적으로 서로 직교하는 회전축들을 구동하기 위한 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)가 검사장치의 본체를 이루는 베이스 프레임(미도시) 상에서 구비되어 진공흡착부(20)를 3차원적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.The method of claim 7, wherein the multi-joint moving unit 30 includes at least two arms 33a and 34a, and a pivoting unit for sequentially driving rotational axes orthogonal to each other via the arms 33a and 34a ( 32, 33, 34, 35, 36, 37) are provided on a base frame (not shown) constituting the main body of the inspection device to move the vacuum adsorption unit 20 in three dimensions. inspection device. 제7항에 있어서, 다관절 이동부(30)의 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)는 서로 직교하는 회전축들이 순차적으로 연결되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.The XRF using multi-joint according to claim 7, characterized in that the rotating parts (32, 33, 34, 35, 36, 37) of the multi-joint moving unit (30) are configured such that rotation axes orthogonal to each other are sequentially connected. inspection device. 제7항에 있어서, 다관절 이동부(30)의 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)는 순차적으로 직교하는 6축으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.[Claim 8] The XRF inspection device using multi-joints according to claim 7, characterized in that the pivoting units (32, 33, 34, 35, 36, 37) of the multi-joint moving unit (30) consist of 6 axes sequentially orthogonal to each other. 제12항에 있어서, 다관절 이동부(30)는 검사장치의 본체를 이루는 베이스 프레임(미도시) 상에서 제1 회전축으로 회전운동시키기 위한 제1 회동부(32), 제1 회동부(32) 상에서 제1 회전축에 수직한 제2 회전축으로 제1 암(33a)을 회전운동시키기 위한 제2 회동부(33), 제1 암(33a)의 단부에 결합되어 제2 암(34a)을 제2 회전축에 수직한 제3 회전축으로 회전운동시키기 위한 제3 회동부(34), 제2 암(34a)의 단부에 결합되어 제3 회전축에 수직한 제4 회전축으로 회전운동시키기 위한 제4 회동부(35), 제4 회동부(35)의 단부에서 제4 회전축에 수직한 제5 회전축으로 회전운동시키기 위한 제5 회동부(36), 및 제5 회동부(36)의 단부에서 제5 회전축에 수직한 제6 회전축으로 진공흡착부(20)를 회전운동시키기 위한 제6 회동부(37)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.13. The method of claim 12, wherein the multi-joint moving unit 30 comprises a first rotating unit 32 for rotational movement with a first rotating shaft on a base frame (not shown) constituting the main body of the inspection device, and the first rotating unit 32 The second rotational part 33 for rotating the first arm 33a with a second rotational axis perpendicular to the first rotational axis is coupled to the end of the first arm 33a to move the second arm 34a to the second rotational axis. A third rotational unit 34 for rotation with a third rotational axis perpendicular to the rotational axis, and a fourth rotational unit for rotational movement with a fourth rotational axis perpendicular to the third rotational axis coupled to the end of the second arm 34a ( 35), the fifth rotational portion 36 for rotational movement from the end of the fourth rotational portion 35 to the fifth rotational axis perpendicular to the fourth rotational axis, and from the end of the fifth rotational portion 36 to the fifth rotational axis XRF inspection apparatus using a multi-joint, characterized in that consisting of a sixth rotational part (37) for rotating the vacuum adsorption part (20) with a vertical sixth rotational axis. 측정대상인 소재(M)에 대하여 X선을 조사하고 검출하기 위한 X선부(10);
측정대상인 소재(M)를 진공흡착하기 위한 진공흡착부(20); 및
진공흡착부(20)를 베이스 프레임(미도시) 상에서 다축으로 회전시켜 소재(M)의 측정영역을 3차원적으로 X선부(10)로 이동시키기 위한 다관절 이동부(30)를 포함하며,
상기 다관절 이동부(30)는 적어도 두개의 암(33a, 34a)을 포함하며, 상기 암(33a, 34a)을 매개하여 순차적으로 서로 직교하는 회전축들을 구동하기 위한 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)가 검사장치의 본체를 이루는 베이스 프레임(미도시) 상에서 구비되어 진공흡착부(20)를 3차원적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.An X-ray unit 10 for irradiating and detecting X-rays on the material (M) to be measured;
A vacuum adsorption unit 20 for vacuum adsorption of the material (M) to be measured; and
It includes a multi-joint moving unit 30 for moving the measurement area of the material M to the X-ray unit 10 in three dimensions by rotating the vacuum adsorption unit 20 multi-axially on a base frame (not shown),
The multi-joint moving part 30 includes at least two arms 33a and 34a, and the pivoting parts 32, 33 and 34 for sequentially driving rotational axes orthogonal to each other via the arms 33a and 34a , 35, 36, 37) is provided on a base frame (not shown) constituting the main body of the inspection device to move the vacuum adsorption unit 20 three-dimensionally. 제14항에 있어서, 다관절 이동부(30)의 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)는 서로 직교하는 회전축들이 순차적으로 연결되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.The XRF using multi-joint according to claim 14, characterized in that the rotating parts (32, 33, 34, 35, 36, 37) of the multi-joint moving unit (30) are configured such that rotation axes orthogonal to each other are sequentially connected. inspection device. 제14항에 있어서, 다관절 이동부(30)의 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)는 순차적으로 직교하는 6축으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.[Claim 15] The XRF inspection device using multi-joints according to claim 14, characterized in that the rotation units (32, 33, 34, 35, 36, 37) of the multi-joint moving unit (30) consist of 6 axes sequentially orthogonal to each other. 제16항에 있어서, 다관절 이동부(30)는 검사장치의 본체를 이루는 베이스 프레임(미도시) 상에서 제1 회전축으로 회전운동시키기 위한 제1 회동부(32), 제1 회동부(32) 상에서 제1 회전축에 수직한 제2 회전축으로 제1 암(33a)을 회전운동시키기 위한 제2 회동부(33), 제1 암(33a)의 단부에 결합되어 제2 암(34a)을 제2 회전축에 수직한 제3 회전축으로 회전운동시키기 위한 제3 회동부(34), 제2 암(34a)의 단부에 결합되어 제3 회전축에 수직한 제4 회전축으로 회전운동시키기 위한 제4 회동부(35), 제4 회동부(35)의 단부에서 제4 회전축에 수직한 제5 회전축으로 회전운동시키기 위한 제5 회동부(36), 및 제5 회동부(36)의 단부에서 제5 회전축에 수직한 제6 회전축으로 진공흡착부(20)를 회전운동시키기 위한 제6 회동부(37)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.The method of claim 16, wherein the multi-joint moving unit 30 comprises a first rotational unit 32 for rotational movement with a first rotation axis on a base frame (not shown) constituting the body of the inspection device, and the first rotational unit 32 The second rotational part 33 for rotating the first arm 33a with a second rotational axis perpendicular to the first rotational axis is coupled to the end of the first arm 33a to move the second arm 34a to the second rotational axis. A third rotational unit 34 for rotation with a third rotational axis perpendicular to the rotational axis, and a fourth rotational unit for rotational movement with a fourth rotational axis perpendicular to the third rotational axis coupled to the end of the second arm 34a ( 35), the fifth rotational portion 36 for rotational movement from the end of the fourth rotational portion 35 to the fifth rotational axis perpendicular to the fourth rotational axis, and from the end of the fifth rotational portion 36 to the fifth rotational axis XRF inspection apparatus using a multi-joint, characterized in that consisting of a sixth rotational part (37) for rotating the vacuum adsorption part (20) with a vertical sixth rotational axis.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10197518A (en) * 1997-01-13 1998-07-31 Mitsui Chem Inc Method and device to measure free lime content in powdery material
KR20080080698A (en) * 2007-03-02 2008-09-05 주식회사 포스코 Sample treating syatem and method
KR20210048145A (en) * 2019-10-23 2021-05-03 (주)자비스 An X-Ray Apparatus for Investigating a Wafer and a Method for a Wafer Using the Same
KR102288818B1 (en) * 2020-08-25 2021-08-12 주식회사 쎄크 X-ray inspection apparatus and x-ray inspection system

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10197518A (en) * 1997-01-13 1998-07-31 Mitsui Chem Inc Method and device to measure free lime content in powdery material
KR20080080698A (en) * 2007-03-02 2008-09-05 주식회사 포스코 Sample treating syatem and method
KR20210048145A (en) * 2019-10-23 2021-05-03 (주)자비스 An X-Ray Apparatus for Investigating a Wafer and a Method for a Wafer Using the Same
KR102288818B1 (en) * 2020-08-25 2021-08-12 주식회사 쎄크 X-ray inspection apparatus and x-ray inspection system

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