KR20230054253A - 간섭형 하이브리드 컬러 필터 및 이를 구비한 마이크로 오엘이디 디스플레이 장치 - Google Patents

간섭형 하이브리드 컬러 필터 및 이를 구비한 마이크로 오엘이디 디스플레이 장치 Download PDF

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KR20230054253A
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김국주
조현수
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Abstract

OLED(organic light emitting device) 기판 상에 적층되는 간섭형 하이브리드 컬러 필터가 개시된다. 상기 간섭형 하이브리드 컬러 필터는, 상기 OLED 기판 상에 적층되고, 상기 OLED 기판에서 발생한 백색광을 넓은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 갖는 복수의 컬러 광으로 변환하는 유기물 기반의 컬러 필터층; 및 상기 유기물 기반의 컬러 필터층 상에 적층되고, 상기 유기물 기반의 컬러 필터층을 투과한 상기 넓은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 갖는 복수의 컬러 광을 특정 파장 영역에서 간섭에 의해 발생하는 공진 현상을 이용하여 좁은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 갖는 복수의 컬러 광으로 변환하는 무기물 기반의 컬러 필터층을 포함한다.

Description

간섭형 하이브리드 컬러 필터 및 이를 구비한 마이크로 오엘이디 디스플레이 장치{INTERFERENCE TYPE HYBRID COLOR FILTER AND MICRO OLED DISPLAY DEVICE HAVING THE SAME}
본 발명은 오엘이디 마이크로 디스플레이 장치의 컬러 필터 기술에 관한 것이다.
최근 VR(Virtual Reality) 및 AR(Augmented Reality) 기기에 적용되는 디스플레이 패널로서, 스스로 빛을 내는 자발광형(Emissive) 마이크로 OLED 디스플레이 패널에 대한 관심이 높아지고 있다.
일반적인 OLED 디스플레이 패널 대비 픽셀 크기가 10배 정도 작은 마이크로 OLED 디스플레이 패널의 경우, 기존의 FMM(Fine Metal Mask) 기술로는 적(R)/녹(G)/청(B) 발광층을 정교하게 형성하기가 어려워, 컬러 필터가 적용된다.
마이크로 OLED 디스플레이 패널에 적용되는 컬러 필터는 광에 민감한 유기물 소재로 이루어지는데, 이러한 유기물 소재에 분산된 형태로 존재하는 입자는 RGB별로 넓은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 갖기 때문에, 색 재현율(Color Gamut)이 낮은 단점이 있지만, 빛샘 현상을 차단할 수 있는 장점이 있다.
낮은 색재현율을 개선하기 위한 대안으로, 무기물 소재의 컬러 필터를 고려해볼 수 있는데, 무기물 소재의 컬러 필터는 RGB별로 좁은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 갖기 때문에, 색재현율(Color Gamut)이 높지만 빛샘 현상이 발생하는 단점이 있다. 따라서, 높은 색 재현율을 제공하는 동시에 빛샘 현상을 차단할 수 있는 컬러 필터에 대한 연구가 필요하다.
상술한 문제를 해결하기 위한 본 발명의 목적은 높은 색 재현율을 제공하는 동시에 빛샘 현상을 개선하기 위해 유기물 기반의 컬러 필터와 무기물 기반의 컬러 필터가 결합된 간섭형 하이브리드 컬러 필터 및 이를 구비한 마이크로 OLED 디스플레이 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 전술한 목적 및 그 이외의 목적과 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부된 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일면에 따른 간섭형 하이브리드 컬러 필터는, OLED(organic light emitting device) 기판 상에 적층되는 간섭형 하이브리드 컬러 필터로서, 상기 간섭형 하이브리드 컬러 필터는, 상기 OLED 기판 상에 적층되고, 상기 OLED 기판에서 발생한 백색광을 넓은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 갖는 복수의 컬러 광으로 변환하는 유기물 기반의 컬러 필터층; 및 상기 유기물 기반의 컬러 필터층 상에 적층되고, 상기 유기물 기반의 컬러 필터층을 투과한 상기 넓은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 갖는 복수의 컬러 광을 특정 파장 영역에서 간섭에 의해 발생하는 공진 현상을 이용하여 좁은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 갖는 복수의 컬러 광으로 변환하는 무기물 기반의 컬러 필터층을 포함한다.
실시 예에서, 상기 유기물 기반의 컬러 필터층은, 유기물 기반의 적색 컬러 필터; 유기물 기반의 녹색 컬러 필터; 및 유기물 기반의 청색 컬러 필터를 포함하고, 상기 무기물 기반의 컬러 필터층은, 상기 유기물 기반의 적색 컬러 필터 상에 적층되는 무기물 기반의 적색 컬러 필터; 상기 유기물 기반의 녹색 컬러 필터 상에 적층되는 무기물 기반의 녹색 컬러 필터; 및 상기 유기물 기반의 청색 컬러 필터 상에 적층되는 무기물 기반의 녹색 컬러 필터를 포함한다.
실시 예에서, 상기 무기물 기반의 컬러 필터층은, 상기 특정 파장 영역에서 상기 공진 현상을 유도하기 위한 페브리-페로 캐비티 (Fabry-Perot cavity) 구조를 갖는다.
실시 예에서, 상기 유기물 기반의 컬러 필터층과 상기 무기물 기반의 컬러 필터층 사이에 개재되는 평탄화 층을 더 포함한다.
실시 예에서, 상기 무기물 기반의 컬러 필터층은, 상기 유기물 기반의 컬러 필터층을 보호하기 위한 봉지재로 역할을 한다.
실시 예에서, 상기 무기물 기반의 컬러 필터층은, 상기 유기물 기반의 컬러 필터층 상에 적층되는 하부 메탈층; 상기 하부 메탈층 상에 적층되고, 상기 공진 현상이 발생하는 캐비티(cavity)층으로 역할을 하는 절연층; 및 상기 절연층 상에 적층되는 상부 메탈층을 포함한다.
실시 예에서, 상기 절연층은, 적색 파장 영역에서 상기 공진 현상을 발생시키기 위한 제1 두께, 녹색 파장 영역에서 상기 공진 현상을 발생시키기 위한 제2 두께 및 청색 파장 영역에서 상기 공진 현상을 발생시키기 위한 제3 두께를 갖는다.
실시 예에서, 상기 상부 메탈층은, 무기물 기반의 적색 컬러 필터를 정의하기 위해 상기 제1 두께를 갖는 상기 절연층 상에 적층되는 적색 상부 메탈층; 무기물 기반의 녹색 컬러 필터를 정의하기 위해 상기 제2 두께를 갖는 상기 절연층 상에 적층되는 녹색 상부 메탈층; 및 무기물 기반의 청색 컬러 필터를 정의하기 위해 상기 제3 두께를 갖는 상기 절연층 상에 적층되는 청색 상부 메탈층을 포함한다.
실시 예에서, 상기 무기물 기반의 컬러 필터층은, 상기 유기물 기반의 컬러 필터층 상에 적층되는 하부 메탈층; 상기 하부 메탈층 상에 적층되는 하부 절연층;
상기 하부 절연층 상에 적층되는 식각 저지층; 상기 식각 저지층 상에 적층되는 상부 절연층; 및 상기 상부 절연층 상에 적층되는 상부 메탈층을 포함한다.
실시 예에서, 상기 하부 절연층, 상기 식각 저지층 및 상기 상부 절연층은 상기 공진 현상을 발생시키는 캐비티층으로 역할을 한다.
실시 예에서, 상기 상부 절연층은, 제2 컬러 파장 영역에서 상기 공진 현상을 발생시키기 위한 제2 두께 및 제3 컬러 파장 영역에서 상기 공진 현상을 발생시키기 위한 제3 두께를 갖는다.
실시 예에서, 상기 상부 메탈층은, 상기 식각 저지층 상에 적층되고, 제1 컬러 광을 구현하는 무기물 기반의 제1 컬러 필터를 정의하는 제1 컬러 상부 메탈층; 상기 제2 두께를 갖는 상기 상부 절연층 상에 적층되고, 제2 컬러 광을 구현하는 무기물 기반의 제2 컬러 필터를 정의하는 제2 컬러 상부 메탈층; 및 상기 제3 두께를 갖는 상기 상부 절연층 상에 적층되고, 제3 컬러 광을 구현하기 위한 무기물 기반의 제3 컬러 필터를 정의하는 제3 컬러 상부 메탈층을 포함한다.
실시 예에서, 상기 제1 컬러 필터에서 발생하는 공진 현상은 상기 하부 절연층의 두께와 상기 식각 저지층의 두께에 의해 결정되고, 상기 제2 컬러 필터에서 발생하는 공진 현상은 상기 하부 절연층의 두께, 상기 식각 저지층의 두께 및 상기 상부 절연층의 상기 제2 두께에 의해 결정되고, 상기 제3 컬러 필터에서 발생하는 공진 현상은 상기 하부 절연층의 두께, 상기 식각 저지층의 두께 및 상기 상부 절연층의 상기 제3 두께에 의해 결정된다.
본 발명의 다른 일면에 따른 마이크로 OLED 디스플레이 장치는, OLED 기판;
상기 OLED 기판 상에 적층되고, 상기 OLED 기판에서 발생한 광을 넓은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 갖는 복수의 컬러 광으로 변환하는 유기물 기반의 컬러 필터층; 및 상기 유기물 기반의 컬러 필터층 상에 적층되고, 상기 유기물 기반의 컬러 필터층을 투과한 상기 넓은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 갖는 복수의 컬러 광을 특정 파장 영역에서 간섭에 의해 발생하는 공진 현상을 이용하여 좁은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 갖는 복수의 컬러 광으로 조절하는 무기물 기반의 컬러 필터층을 포함한다.
실시 예에서, 상기 무기물 기반의 컬러 필터층은, 상기 유기물 기반의 컬러 필터층 상에 적층되는 하부 메탈층; 상기 하부 메탈층 상에 적층되고, 상기 공진 현상이 발생하는 캐비티(cavity)층; 및 상기 캐비티층 상에 적층되는 상부 메탈층을 포함한다.
실시 예에서, 상기 무기물 기반의 컬러 필터층은, 상기 유기물 기반의 컬러 필터층 상에 적층되는 하부 메탈층; 상기 하부 메탈층 상에 적층되는 하부 절연층; 상기 하부 절연층 상에 적층되는 식각 저지층; 상기 식각 저지층 상에 적층되는 상부 절연층; 및 상기 상부 절연층 상에 적층되는 상부 메탈층을 포함한다.
실시 예에서, 상기 유기물은, 염료(dye) 또는 안료(pigment)가 포함된 광경화성 또는 열경화성 폴리머일 수 있다.
실시 예에서, 상기 무기물은 금속 질화물, 금속 산화물, 금속 산화 질화물, 금속 탄화물 및 이들의 조합 중 어느 하나를 포함한다.
실시 예에서, 상기 OLED 기판은 청색(blue)-OLED 기판, 백색(white)-OLED 기판 및 청록(cyan)-OLED 기판 중 어느 하나일 수 있다.
본 발명에 따르면, 유기물 기반의 컬러 필터와 무기물 기반의 컬러 필터가 결합함으로써, 빛샘 현상을 차단하는 장점(유기물 기반의 컬러 필터의 장점)과 좁은 대역폭의 투과도 스펙트럼에 의한 높은 색재현율을 갖는 장점(무기물 기반의 컬러 필터의 장점)을 모두 갖는 간섭형 하이브리드 컬러 필터를 제공할 수 있다.
또한 이러한 간섭형 하이브리드 컬러 필터를 구비한 마이크로 OLED 디스플레이 패널을 VR 및 AR 기기에 적용함으로써, 그 VR 및 AR 기기는 실감나는 가상 현실과 증강 현실을 사용자에게 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 마이크로 오엘이디 디스플레이 장치의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마이크로 OLED 디스플레이 장치를 보여주는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 무기물 기반의 컬러 필터층을 보여주는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 무기물 기반의 컬러 필터층을 보여주는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 간섭형 하이브리드 컬러 필터의 RGB 파장대별 투과도 스펙트럼을 나타낸 그래프이다.
도 6은 유기물 기반의 컬러 필터, 무기물 기반의 컬러 필터 및 본 발명에 따른 유기물-무기물 기반의 하이브리드 컬러 필터의 투과도 스펙트럼을 함께 나타낸 그래프이다.
본 명세서에 개시되어 있는 특정한 구조적 또는 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다. 또한 본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함으로 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 마이크로 OLED 디스플레이 장치를 보여주는 단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 마이크로 OLED 디스플레이 장치(또는 마이크로 OLED 디스플레이 패널)는 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 기판(100)과 그 OLED 기판(100) 상에 적층된 간섭형(또는 광간섭형) 하이브리드 컬러 필터(200: 210, 220 및 230)를 포함할 수 있다.
OLED 기판(100)은 제1 전극과 제2 전극 및 이들 사이에 구비된 유기 발광층(organic light emitting layer)을 포함할 수 있다. 상기 제1 전극은 애노드(anode)이고 상기 제2 전극은 캐소드(cathode)이거나, 그 반대일 수 있다.
또한, OLED 기판(100)은 전자수송층(Electron Transport Layer) 및 정공수송층(Hole Transport Layer)을 더 포함할 수 있고, 필요에 따라, 정공주입층(Hole Injection Layer) 및 전자주입층(Electron Injection Layer)을 더 포함할 수도 있다.
또한, OLED 기판(100)은, 예컨대, 청색광을 발광하는 청색(blue) OLED 기판, 백색광을 발광하는 백색(White) OLED 기판, 청록광을 발광하는 청록(cyan) OLED 기판 중 어느 하나 일 수 있다. 그러나 OLED 기판(100)의 발광 칼라는 이에 한정되지 않고 달라질 수 있다. 이하에서는 OLED 기판(100)이 백색(White) OLED 기판인 경우를 가정하여 설명하지만, 이는 예시적인 것에 불과하다.
또한, OLED 기판(100)은 위에서 볼 때 모든 위치에서 동일한 구조(균일한 구조)를 갖도록 오픈 마스크(open mask) 공정으로 형성될 수 있지만, 경우에 따라서는, 그렇지 않을 수도 있다.
도 1에는 도시하지 않았으나, TFT(Thin Film Transistor) 어레이 기판(미도시) 상에 OLED 기판(100)이 구비될 수 있다. TFT 어레이 기판의 복수의 TFT는 OLED 기판(100)의 픽셀영역(서브 픽셀영역)들을 구동하기 위한 소자일 수 있다. 본 명세서에서는 TFT 어레이 기판은 OLED 기판(100)에 포함된 것으로 설명될 수 있다.
본 발명의 초점은 OLED 기판(100) 또는 TFT 어레이 기판이 아니라 그 위에 적층되는 간섭형 하이브리드 컬러 필터(200: 210, 220 및 230)에 있는 것이므로, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 여지를 피하기 위해, OLED 기판(100), TFT 어레이 기판 및/또는 TFT 어레이 기판을 포함하는 OLED 기판(100)에 대한 보다 상세한 설명은 공지 기술로 대신한다.
간섭형 하이브리드 컬러 필터(200)는 좁은 대역폭의 투과도 스펙트럼에 의한 높은 색재현율을 갖는 장점(무기물 기반의 컬러 필터의 장점)과 빛샘 현상을 차단하는 장점(유기물 기반의 컬러 필터의 장점)을 모두 갖도록 유기물 기반의 컬러 필터와 무기물 기반의 컬러 필터가 적층된 하이브리드 구조를 갖는다. 이를 위해, 간섭형 하이브리드 컬러 필터(200)는 유기물 기반의 컬러 필터층(210), 무기물 기반의 컬러 필터층(230) 및 이들(210 및 230) 사이에 개재된 평탄화 층(220)을 포함할 수 있다.
유기물 기반의 컬러 필터층(210)은 OLED 기판(100) 위에 적층되며, OLED 기판(100)의 표면에 정의된 복수의 서브 픽셀 영역에 각각 대응하는 제1, 제2 및 제3 칼라 필터(212, 214 및 216)를 포함할 수 있다. 컬러 필터층(210)의 유기물로서 포토레지스트(photoresist: PR) 물질과 같은 레진(resin), 염료(dye) 또는 안료(pigment)가 포함된 광경화성 또는 열경화성 유기물(폴리머) 등이 사용될 수 있다.
제1, 제2 및 제3 유기물 컬러 필터(212, 214 및 216)는 흡수형 또는 반사형 컬러 필터일 수 있다. 구체적으로 제1 유기물 칼라필터(212)는 흡수형 또는 반사형의 유기물 Red-컬러 필터(Organic Color Filter: R-OCF)일 수 있고, 제2 유기물 컬러 필터(214)는 흡수형 또는 반사형의 유기물 Green-칼라필터(G-OCF)일 수 있으며, 제3 유기물 컬러 필터(216)는 흡수형 또는 반사형의 유기물 Blue-컬러 필터(B-OCF)일 수 있다.
R-OCF(212)는 적색 파장 영역의 광을 선택적으로 투과시키고 나머지 파장 영역의 광을 흡수하는 역할을 할 수 있고, G-OCF(214)는 녹색 파장 영역의 광을 선택적으로 투과시키고 나머지 파장 영역의 광을 흡수하는 역할을 할 수 있으며, 상기 B-OCF(30c)는 청색 파장 영역의 광을 선택적으로 투과시키고 나머지 파장 영역의 광을 흡수하는 역할을 할 수 있다. 여기서. RGB 서브 픽셀의 배열 순서나 배열 방식은 예시적인 것이고, 다양한 변경이 가능하다.
도면에 도시하지는 않았으나, 유기물 기반의 컬러 필터층(210)에서 제1 컬러 필터(212), 제2 컬러 필터(214) 및 제3 컬러 필터(216)사이에는 격벽이 구비될 수 있다. 이러한 격벽은 일종의 블랙 매트릭스(black matrix)일 수 있다. 복수의 격벽들을 형성한 후, 이들에 의해 정의된 영역에 제1 내지 제3 컬러 필터(212, 214 및 216)를 형성할 수 있다. 격벽은 픽셀 간 색 섞임을 방지하는 역할을 할 수 있다.
유기물 기반의 컬러 필터층(210) 상에 적층되는 평탄화 층(220) (Planarization Layer)은 OLED 기판(100)의 화소 정의막(미도시)에 의한 단차(미도시)를 평탄화 하는 역할을 할 수 있고, 후술하는 무기물 기반의 컬러 필터층(230)에서 발생하는 스트레스를 완화하는 역할을 할 수 있다. 평탄화 층(220)의 재료로 광학적으로 클리어한(투명한) 재료가 사용될 수 있다.
평탄화 층(220) 상에 적층되는 무기물 기반의 컬러 필터층(230)은 3가지 주요 색상들(RGB)의 특정 파장 영역에서 광학적 간섭(보강 간섭)에 의해 공진을 발생시키는 공진 구조를 갖는 투과형 또는 반사형 컬러 필터일 수 있다.
공진 구조는, 예를 들면, 페브리-페로(Fabry-Perot: FP) 캐비티(cavity) 구조일 수 있다. 이러한 FP 캐비티 구조를 갖는 무기물 기반의 컬러 필터층(230)은 3-캐비티(a three-cavity) FP 컬러 필터일 수 있다.
또한 무기물 기반의 컬러 필터층(230)은 OLED 기판(100), 유기물 기반의 컬러 필터층(210) 및 평탄화 층(220)을 보호하기 위한 봉지재로 역할을 할 수도 있다.
무기물 기반의 컬러 필터층(230)은 유기물 기반의 컬러 필터층(210)의 제1, 제2 및 제3 유기물 컬러 필터(212, 214 및 216)에 대응하는 제1, 제2 및 제3 무기물 컬러 필터(232, 234 및 236)를 포함할 수 있다.
제1 무기물 칼라필터(232)는 투과형 또는 반사형의 무기물 Red-컬러 필터(Inorganic Color Filter: R-ICF)일 수 있고, 제2 무기물 컬러 필터(234)는 투과형 또는 반사형의 무기물 Green-칼라필터(G-ICF)일 수 있으며, 제3 무기물 컬러 필터(236)는 투과형 또는 반사형의 무기물 Blue-컬러 필터(B-ICF)일 수 있다.
R-ICF(232)는 R-OCF(212)을 투과한 넓은 대역폭을 갖는 적색 파장 영역의 광을 좁은 대역폭을 갖는 적색 파장 영역의 광으로 변환(조절)하는 역할을 하며, G-ICF(234)는 G-OCF(234)을 투과한 넓은 대역폭을 갖는 녹색 파장 영역의 광을 좁은 대역폭을 갖는 녹색 파장 영역의 광으로 변환(조절)하는 역할을 하며, B-ICF(236)은 B-OCF(216)을 투과한 넓은 대역폭을 갖는 청색 파장 영역의 광을 좁은 대역폭을 갖는 청색 파장 영역의 광으로 변환(조절)하는 역할을 한다.
이처럼 유기물 기반의 컬러 필터층(210)과 무기물 기반의 컬러 필터층(230)이 결합된 하이브리드 구조를 통해 RGB의 full-color를 구현할 수 있으며, 동시에 빛샘 현상을 차단하는 유기물 기반의 컬러 필터층(210)의 장점과 좁은 대역폭의 투과도 스펙트럼에 의한 높은 색재현율을 갖는 무기물 기반의 컬러 필터층(230)의 장점을 모두 제공하는 컬러 필터를 구현할 수 있다.
한편, 특정 파장 영역에서 공진 현상을 일으키는 컬러 필터층(230)의 무기물은, 금속 질화물, 금속 산화물, 금속 산화 질화물, 금속 탄화물 및 이들의 조합 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 예컨대, 무기물은 실리콘 질화물, 알루미늄 질화물, 지르코늄 질화물, 티타늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈륨 질화물, 실리콘 산화물, 알루미늄 산화물, 티타늄 산화물, 주석 산화물, 세륨 산화물, 실리콘 산화질화물, 은(Ag), 이산화규소(SiO2), 실리콘 나이트라이드(SiNx), 이산화티타늄(TiO2), 티타늄나이트라이드(TiN), 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 산화알루미늄(Al2O3), 인듐주석산화물(ITO) 및 이들의 혼합물 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 또한 무기물은 절연층 또는 반도체층일 수 있다.
도 2는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마이크로 OLED 디스플레이 장치를 보여주는 단면도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마이크로 OLED 디스플레이 장치의 간섭형 하이브리드 컬러 필터(200')에서는 OLED 기판(100)위에 무기물 기반의 컬러 필터층(230')이 먼저 적층된 후 무기물 기반의 컬러 필터층(230') 위에 유기물 기반의 컬러 필터층(210')이 적층되는 점에서 도 1에 도시된 간섭형 하이브리드 컬러 필터(200)와 차이가 있다. 이처럼 유기물 기반의 컬러 필터층과 무기물 기반의 컬러 필터층의 적층 순서는 공정 및 칼라 필터의 효율을 고려하여 적절히 선택될 수 있다.
무기물 기반의 컬러 필터층(230') 위에 유기물 기반의 컬러 필터층(210')이 적층되는 경우, 유기물 기반의 컬러 필터층(210')이 OLED 기판(100)과 무기물 기반의 컬러 필터층(230')을 보호하는 봉지재로 역할을 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 무기물 기반의 컬러 필터층을 보여주는 단면도이다.
도 3에서는 도 1에 도시된 마이크로 OLED 디스플레이 장치의 무기물 기반의 컬러 필터층(230)의 단면 구조가 도시되며, 이러한 단면 구조는 도 2에 도시된 마이크로 OLED 디스플레이 장치에서 유기물 기반의 컬러 필터층(210')의 하부에 적층된 무기물 기반의 컬러 필터층(230')에도 동일하게 적용될 수 있다. 그리고, 도 3에서는 무기물 기반의 컬러 필터층(230)의 단면 구조는 실선으로 도시하고, 그 아래에 배치되는 평탄화 층(220), 유기물 기반의 컬러 필터층(210) 및 OLED 기판(210)은 점선으로 도시하였다.
무기물 기반의 컬러 필터층(230)는 다층 구조의 무기물로 이루어진 간섭형 컬러 필터로서, 그 역할에 따라 반사형 또는 투과형일 수 있으며, 이에 따라 적절한 무기물 소재가 선택될 수 있다.
무기물 기반의 컬러 필터층(230)은 공진 특성(예, FP 공진 특성)을 이용하여 유기물 기반의 컬러 필터층(210)을 투과한 넓은 대역폭을 갖는 RGB 파장 영역의 광을 좁은 대역폭을 갖는 RGB 파장 영역의 광으로 조절한다.
이러한 공진 특성을 갖도록 무기물 기반의 컬러 필터층(230)은 기본적으로 메탈층-절연층-메탈층으로 이루어진 공진 구조(resonant structure)(예, FP 캐비티 구조)를 갖는다. 공진 특성은 각 RGB에 해당하는 절연층의 두께 등에 의해 결정된다.
공진 구조를 형성하기 위해, 무기물 기반의 컬러 필터층(230)은 도 3에 도시된 바와 같이, 하부 메탈층(231), 상부 메탈층(235) 및 이들 사이에 배치되는 절연층 또는 절연막(233)을 포함할 수 있다.
하부 메탈층(231)은 공지의 증착 공정, PR 공정, 식각 공정 등을 이용하여 평탄화 층(220) 상에 적층되며, 평탄화 층(220)의 상부면 전체에 걸쳐 형성될 수 있다. 특별히 한정하는 것은 아니지만, 하부 메탈층(231)의 재질은 은(Ag)일 수 있다.
절연층(233)은 공지의 증착 공정, PR 공정, 식각 공정 등을 이용하여 하부 메탈층(231) 상에 적층되며, 하부 메탈층(231)이 상부면 전체에 걸쳐 형성될 수 있다. 이때, 절연층(233)은 서로 다른 3개의 두께들(TR, TG 및 TB)을 갖도록 형성되며, 상기 3개의 두께들(TR, TG 및 TB)에 의해 무기물 기반의 컬러 필터층(230)을 구성하기 위한 R-ICF(232), G-ICF(234) 및 B-ICF(236)가 정의된다.
절연층(233)의 재질은 특별히 한정하는 것은 아니지만, 이산화규소(SiO2)일 수 있다. 절연층(233)은 공진 구조(FP 캐비티 구조)에서 캐비티 층의 역할을 할 수 있다.
상부 메탈층(235)은 공지의 증착 공정 및 PR 공정을 이용하여 절연층(233) 상에 형성된다. 상부 메탈층(235)의 재질은 하부 메탈층(231)의 재질과 동일하게 은(Ag)일 수 있다.
상부 메탈층(235)은 절연층(233)의 서로 다른 3개의 두께들(TR, TG 및 TB)에 의해 구분되는 R-ICF(232), G-ICF(234) 및 B-ICF(236)를 정의하기 위해, 3개의 상부 메탈층들(235R, 235G 및 235B)을 포함할 수 있다.
R(적색)-상부 메탈층(235R)은 R-ICF(232)를 구성하기 위해 제1 두께(TR)를 갖는 절연층(233) 상에 형성되며, G(녹색)-상부 메탈층(235G)는 G-ICF(234)를 구성하기 위해 제2 두께(TG)를 갖는 절연층(233) 상에 형성된다. 그리고, B(청색)-상부 메탈층(235B)은 B-ICF(236)를 구성하기 위해 제3 두께(TB)를 갖는 절연층(233) 상에 형성된다.
특별히 한정하는 것은 아니지만, 도 3에서는 R-ICF(232)를 구성하기 위한 제1 두께(TR)가 가장 작고, B-ICF(236)를 구성하기 위한 제3 두께(TB)가 가장 큰 경우를 도시한 것이다.
또한, 도 3에서는 도시하지 않았으나, 절연층(233)의 서로 다른 3개의 두께들(TR, TG 및 TB)에 의해 발생하는 R-ICF(232), G-ICF(234) 및 B-ICF(236)의 단차를 평탄화 하기 위해, 공지의 증착 공정을 이용하여 광학적으로 클리어(투명)한 평탄화 층(미도시) 및/또는 봉지재(미도시)가 3개의 상부 메탈층들(235R, 235G 및 235B) 상에 형성될 수 있다.
이처럼 무기물 기반의 컬러 필터층(230)은 메탈-절연막-메탈로 이루어진 공진 구조(예, FP 캐비티 구조)를 통해 특정 파장 대역에서 광학적 공진 현상을 유도함으로써, 유기물 기반의 컬러 필터층(210)을 투과한 넓은 대역폭을 갖는 RGB 파장 영역의 광을 좁은 대역폭을 갖는 RGB 파장 영역의 광으로 조절함으로써, 유기물 기반의 컬러 필터층(210)의 단점인 넓은 대역폭 특성에 따른 낮은 색재현율을 개선할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 무기물 기반의 컬러 필터층을 보여주는 단면도이다.
도 4를 참조하면, 전술한 바와 같이, 무기물 기반의 컬러 필터층은 메탈층-절연층-메탈층으로 이루어진 공진 구조에 의해 RGB별로 광학적 공진 특성을 가지며, 이러한 광학적 공진 특성은 R-ICF(232), G-ICF(234) 및 B-ICF(236)를 정의하는 절연층의 두께에 의해 결정된다. 절연층의 정밀한 두께 조절은 매우 중요하다.
본 발명의 다른 실시 예에서는, 절연층의 두께를 정밀하게 조절하기 위해, 도 4에 도시된 바와 같이, 절연층에 식각 저지층(237)이 삽입되며, 이에 따라, 절연층은 식각 저지층(237)을 사이에 두고, 하부 절연층(236')과 상부 절연층(238)을 포함할 수 있다.
하부 절연층(236')은 공지의 증착 공정, PR 공정 등을 이용하여 하부 메탈층(231) 상에 형성되며, 식각 저지층(237)은 공지의 증착 공정, PR 공정 등을 이용하여 하부 절연층(236') 상에 형성되며, 상부 절연층(238)은 공지의 증착 공정, PR 공정, 식각 공정 등을 이용하여 식각 저지층(237) 상에 형성된다. 이때, 상부 절연층(238)은 공지의 식각 공정 등을 이용하여 R-ICF(232), G-ICF(234) 및 B-ICF(236) 별로 서로 다른 두께를 갖도록 형성된다.
R-ICF(232)를 구성하기 위한 상부 절연층(238)은 존재하지 않는다. 이 경우, R-ICF(232)에서 광학적 공진 현상을 유도하기 위한 캐비티층의 두께는 하부 절연층(236')의 두께와 식각 저지층(237)의 두께에 의해 결정된다.
G-ICF(234)을 구성하기 위한 상부 절연층(238)은 제2 두께(TG)를 갖도록 형성되며, 이 경우, G-ICF(234)에서 광학적 공진 현상을 유도하기 위한 캐비티 층의 두께는 상부 절연층(238)의 제2 두께(TG), 식각 저지층(237)의 두께 및 하부 절연층(236')의 두께에 의해 결정된다.
B-ICF(236)을 구성하기 위한 상부 절연층(238)은 제3 두께(TB)를 갖도록 형성되며, 이 경우, B-ICF(236)에서 광학적 공진 현상을 유도하기 위한 캐비티 층의 두께는 상부 절연층(238)의 제3 두께(TB), 식각 저지층(237)의 두께 및 하부 절연층(236')의 두께에 의해 결정된다.
공진 현상을 유도하기 위한 캐비티층의 최소 두께는 하부 절연층(236')의 두께와 식각 저지층(237)의 두께에 의해 결정된다.
R-ICF(232)를 구성하기 위한 R-상부 메탈층(235R)은 공지의 증착 공정, PR 공정 등을 이용하여 식각 저지층(237) 상에 형성되고, G-ICF(234)를 구성하기 위한 G-상부 메탈층(235G)은 제2 두께(TG)를 갖는 상부 절연층(238) 상에 형성된다. 그리고, B-ICF(236)를 구성하기 위한 B-상부 메탈층(235G)은 제3 두께(TB)를 갖는 상부 절연층(238) 상에 형성된다.
광학적 공진 현상을 유도하기 위한 각층의 두께는 설계자가 원하는 목표 투과도에 따라 결정될 수 있다. 예를 들면, 목표 투과도가 RGB 파장별로 40% 이상의 투과도인 경우, 하부 메탈층(231)과 상부 메탈층(235: 235R, 235G 및 235B)의 두께는 대략 10 ~ 40nm 일 수 있으며, 하부 절연층(236'), 식각 저지층(237) 및 상부 절연층(238)을 포함하는 절연층(캐비티층)의 두께는 대략 75nm ~ 320nm 일 수 있다. 반대로 목표 투과도가 RGB 파장별로 40% 미만의 투과도인 경우, 하부 메탈층(231)과 상부 메탈층(235: 235R, 235G 및 235B)의 두께는 대략 40 ~ 70nm 일 수 있으며, 절연층(캐비티층)의 두께는 40% 이상의 투과도에서 설정된 절연층(캐비티층)의 두께와 동일하다.
하부 메탈층(231)과 상부 메탈층(235: 235R, 235G 및 235B)의 재질로 은(Ag)이 사용될 수 있으며, 절연층(236' 및 238)의 재질로 이산화규소(SiO2)가 사용될 수 있다. 그리고, 식각 저지층(237)의 재질로, 산화알루미늄(Al2O3)이 사용될 수 있다.
도 4에서는 하나의 식각 저지층(237)을 도시하고 있으나, 절연층의 두께를 정밀하게 설계하기 위해, 식각 저지층(237)은 복수의 층들로 이루어질 수 있다. 이 경우, 상부 절연층(238) 역시 식각 저지층(237)들 사이에는 개재되는 다층 구조로 이루어질 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 간섭형 하이브리드 컬러 필터의 RGB 파장대별 투과도 스펙트럼을 나타낸 그래프이다.
도 5에 도시된 RGB 파장대별 투과도 스펙트럼은 하부 메탈층(231)과 상부 메탈층(235)의 두께가 각각 40nm이고, 하부 메탈층(231)과 R-상부 메탈층(235R) 사이의 절연층의 두께가 162nm이고, 하부 메탈층(231)과 G-상부 메탈층(235G) 사이의 절연층의 두께가 310nm이고, 하부 메탈층(231)과 B-상부 메탈층(235B) 사이의 절연층의 두께가 255nm이 경우에서 측정한 결과이다. 이때, 각 절연층의 두께는 식각 저지층(237)의 두께를 포함하는 두께이다.
또한 도 5에서 G1은 유기물 기반의 B-OCF(216)의 청색 파장 영역에 대한 투과도 스펙트럼을 나타내는 그래프이고, G1'은 무기물 기반의 B-ICF(236)의 청색 파장 영역에 대한 투과도 스펙트럼을 나타내는 그래프이고, G2는 G-ICF(214)의 녹색 파장 영역에 대한 투과도 스펙트럼을 나타내는 그래프이고, G2'는 G-ICF(234)의 녹색 파장 영역에 대한 투과도 스펙트럼을 나타내는 그래프이다. 그리고, G3는 R-OCF(212)의 적색 파장 영역에 대한 투과도 스펙트럼을 나타내는 그래프이고 G3'는 R-OCF(212)의 적색 파장 영역에 대한 투과도 스펙트럼을 나타내는 그래프이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 유기물 기반 컬러 필터에서 나타나는 투과도 스펙트럼의 넓은 대역폭에 비해 무기물 기반 컬러 필터의 투과도 스펙트럼은 현저히 좁게 나타남을 알 수 있다. 따라서, 이들을 결합한 하이브리드 컬러 필터를 적용하면, 무기물 기반 컬러필터의 단점인 빛샘 현상과 유기물 기반 컬러 필터의 단점인 넓은 대역폭의 투과도 스펙트럼에 의한 낮은 색재현율을 동시에 개선할 수 있음을 알 수 있다.
도 6은 유기물 기반의 컬러 필터, 무기물 기반의 컬러 필터 및 본 발명에 따른 유기물-무기물 기반의 하이브리드 컬러 필터의 투과도 스펙트럼을 함께 나타낸 그래프이다.
도 6에서, G1은 유기물 컬러 필터의 청색 파장 영역에 대한 투과도 스펙트럼을 나타내는 그래프이고, G1'은 무기물 컬러 필터의 청색 파장 영역에 대한 투과도 스펙트럼을 나타내는 그래프이다. 그리고, G1''은 본 발명에 따른 유기물 기반 컬러 필터와 무기물 기반 컬러 필터가 결합된 하이브리드 컬러 필터의 청색 파장 영역에 대한 투과도 스펙트럼을 나타내는 그래프이다.
G2는 유기물 컬러 필터의 녹색 파장 영역에 대한 투과도 스펙트럼을 나타내는 그래프이고, G2'은 무기물 컬러 필터의 녹색 파장 영역에 대한 투과도 스펙트럼을 나타내는 그래프이다. 그리고, G2''은 본 발명에 따라 유기물 컬러 필터와 무기물 컬러 필터가 결합된 하이브리드 컬러 필터의 녹색 파장 영역에 대한 투과도 스펙트럼을 나타내는 그래프이다.
G3은 유기물 컬러 필터의 적색 파장 영역에 대한 투과도 스펙트럼을 나타내는 그래프이고, G3'은 무기물 컬러 필터의 적색 파장 영역에 대한 투과도 스펙트럼을 나타내는 그래프이다. 그리고, G3''은 본 발명에 따라 유기물 컬러 필터와 무기물 컬러 필터가 결합된 하이브리드 컬러 필터의 적색 파장 영역에 대한 투과도 스펙트럼을 나타내는 그래프이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 유기물-무기물 기반 간섭형 하이브리드 칼라필터는 유기물 기반 컬러 필터가 단독으로 사용된 경우와 비교할 때, 좁은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 보여주고, 무기물 기반 컬러 필터가 단독으로 사용된 경우와 비교할 때, 무기물 기반 컬러 필터의 투과도 스펙트럼과 유사하게 좁은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 보여줌으로써, 높은 색재현율 및 빛샘 개선 효과를 제공할 수 있다.
본 발명의 보호범위가 이상에서 명시적으로 설명한 실시예의 기재와 표현에 제한되는 것은 아니며, 다양 형태로 변경될 수 있다. 또한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 자명한 변경이나 치환으로 말미암아 본 발명이 보호범위가 제한될 수도 없음을 다시 한번 첨언한다.

Claims (19)

  1. OLED(organic light emitting device) 기판 상에 적층되는 간섭형 하이브리드 컬러 필터로서,
    상기 간섭형 하이브리드 컬러 필터는,
    상기 OLED 기판 상에 적층되고, 상기 OLED 기판에서 발생한 백색광을 넓은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 갖는 복수의 컬러 광으로 변환하는 유기물 기반의 컬러 필터층; 및
    상기 유기물 기반의 컬러 필터층 상에 적층되고, 상기 유기물 기반의 컬러 필터층을 투과한 상기 넓은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 갖는 복수의 컬러 광을 특정 파장 영역에서 간섭에 의해 발생하는 공진 현상을 이용하여 좁은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 갖는 복수의 컬러 광으로 변환하는 무기물 기반의 컬러 필터층
    을 포함하는 간섭형 하이브리드 컬러 필터.
  2. 제1항에서,
    상기 유기물 기반의 컬러 필터층은,
    유기물 기반의 적색 컬러 필터;
    유기물 기반의 녹색 컬러 필터; 및
    유기물 기반의 청색 컬러 필터를 포함하고,
    상기 무기물 기반의 컬러 필터층은,
    상기 유기물 기반의 적색 컬러 필터 상에 적층되는 무기물 기반의 적색 컬러 필터;
    상기 유기물 기반의 녹색 컬러 필터 상에 적층되는 무기물 기반의 녹색 컬러 필터; 및
    상기 유기물 기반의 청색 컬러 필터 상에 적층되는 무기물 기반의 녹색 컬러 필터
    를 포함하는 간섭형 하이브리드 컬러 필터.
  3. 제1항에서,
    상기 무기물 기반의 컬러 필터층은,
    상기 특정 파장 영역에서 상기 공진 현상을 유도하기 위한 페브리-페로 캐비티 (Fabry-Perot cavity) 구조를 갖는 간섭형 하이브리드 컬러 필터.
  4. 제1항에서,
    상기 유기물 기반의 컬러 필터층과 상기 무기물 기반의 컬러 필터층 사이에 개재되는 평탄화 층을 더 포함하는 간섭형 하이브리드 컬러 필터.
  5. 제1항에서,
    상기 무기물 기반의 컬러 필터층은,
    상기 유기물 기반의 컬러 필터층을 보호하기 위한 봉지재로 역할을 하는 간섭형 하이브리드 컬러 필터.
  6. 제1항에서,
    상기 무기물 기반의 컬러 필터층은,
    상기 유기물 기반의 컬러 필터층 상에 적층되는 하부 메탈층;
    상기 하부 메탈층 상에 적층되고, 상기 공진 현상이 발생하는 캐비티(cavity)층으로 역할을 하는 절연층; 및
    상기 절연층 상에 적층되는 상부 메탈층
    을 포함하는 간섭형 하이브리드 컬러 필터.
  7. 제6항에서,
    상기 절연층은,
    적색 파장 영역에서 상기 공진 현상을 발생시키기 위한 제1 두께, 녹색 파장 영역에서 상기 공진 현상을 발생시키기 위한 제2 두께 및 청색 파장 영역에서 상기 공진 현상을 발생시키기 위한 제3 두께를 갖는 것인 간섭형 하이브리드 컬러 필터.
  8. 제7항에서,
    상기 상부 메탈층은,
    무기물 기반의 적색 컬러 필터를 정의하기 위해 상기 제1 두께를 갖는 상기 절연층 상에 적층되는 적색 상부 메탈층;
    무기물 기반의 녹색 컬러 필터를 정의하기 위해 상기 제2 두께를 갖는 상기 절연층 상에 적층되는 녹색 상부 메탈층; 및
    무기물 기반의 청색 컬러 필터를 정의하기 위해 상기 제3 두께를 갖는 상기 절연층 상에 적층되는 청색 상부 메탈층
    을 포함하는 간섭형 하이브리드 컬러 필터.
  9. 제1항에서,
    상기 무기물 기반의 컬러 필터층은,
    상기 유기물 기반의 컬러 필터층 상에 적층되는 하부 메탈층;
    상기 하부 메탈층 상에 적층되는 하부 절연층;
    상기 하부 절연층 상에 적층되는 식각 저지층;
    상기 식각 저지층 상에 적층되는 상부 절연층; 및
    상기 상부 절연층 상에 적층되는 상부 메탈층
    을 포함하는 간섭형 하이브리드 컬러 필터.
  10. 제9항에서,
    상기 하부 절연층, 상기 식각 저지층 및 상기 상부 절연층은 상기 공진 현상을 발생시키는 캐비티층으로 역할을 하는 간섭형 하이브리드 컬러 필터.
  11. 제9항에서,
    상기 상부 절연층은,
    제2 컬러 파장 영역에서 상기 공진 현상을 발생시키기 위한 제2 두께 및 제3 컬러 파장 영역에서 상기 공진 현상을 발생시키기 위한 제3 두께를 갖는 것인 간섭형 하이브리드 컬러 필터.
  12. 제11항에서,
    상기 상부 메탈층은,
    상기 식각 저지층 상에 적층되고, 제1 컬러 광을 구현하는 무기물 기반의 제1 컬러 필터를 정의하는 제1 컬러 상부 메탈층;
    상기 제2 두께를 갖는 상기 상부 절연층 상에 적층되고, 제2 컬러 광을 구현하는 무기물 기반의 제2 컬러 필터를 정의하는 제2 컬러 상부 메탈층; 및
    상기 제3 두께를 갖는 상기 상부 절연층 상에 적층되고, 제3 컬러 광을 구현하기 위한 무기물 기반의 제3 컬러 필터를 정의하는 제3 컬러 상부 메탈층을 포함하는 간섭형 하이브리드 컬러 필터.
  13. 제12항에서,
    상기 제1 컬러 필터에서 발생하는 공진 현상은 상기 하부 절연층의 두께와 상기 식각 저지층의 두께에 의해 결정되고,
    상기 제2 컬러 필터에서 발생하는 공진 현상은 상기 하부 절연층의 두께, 상기 식각 저지층의 두께 및 상기 상부 절연층의 상기 제2 두께에 의해 결정되고,
    상기 제3 컬러 필터에서 발생하는 공진 현상은 상기 하부 절연층의 두께, 상기 식각 저지층의 두께 및 상기 상부 절연층의 상기 제3 두께에 의해 결정되는 간섭형 하이브리드 컬러 필터.
  14. OLED 기판;
    상기 OLED 기판 상에 적층되고, 상기 OLED 기판에서 발생한 광을 넓은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 갖는 복수의 컬러 광으로 변환하는 유기물 기반의 컬러 필터층; 및
    상기 유기물 기반의 컬러 필터층 상에 적층되고, 상기 유기물 기반의 컬러 필터층을 투과한 상기 넓은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 갖는 복수의 컬러 광을 특정 파장 영역에서 간섭에 의해 발생하는 공진 현상을 이용하여 좁은 대역폭의 투과도 스펙트럼을 갖는 복수의 컬러 광으로 조절하는 무기물 기반의 컬러 필터층
    을 포함하는 마이크로 OLED 디스플레이 장치.
  15. 제14항에서,
    상기 무기물 기반의 컬러 필터층은,
    상기 유기물 기반의 컬러 필터층 상에 적층되는 하부 메탈층;
    상기 하부 메탈층 상에 적층되고, 상기 공진 현상이 발생하는 캐비티(cavity)층; 및
    상기 캐비티층 상에 적층되는 상부 메탈층
    을 포함하는 마이크로 OLED 디스플레이 장치.
  16. 제14항에서,
    상기 무기물 기반의 컬러 필터층은,
    상기 유기물 기반의 컬러 필터층 상에 적층되는 하부 메탈층;
    상기 하부 메탈층 상에 적층되는 하부 절연층;
    상기 하부 절연층 상에 적층되는 식각 저지층;
    상기 식각 저지층 상에 적층되는 상부 절연층; 및
    상기 상부 절연층 상에 적층되는 상부 메탈층
    을 포함하는 마이크로 OLED 디스플레이 장치.
  17. 제14항에서,
    상기 유기물은, 염료(dye) 또는 안료(pigment)가 포함된 광경화성 또는 열경화성 폴리머인 것인 마이크로 OLED 디스플레이 장치.
  18. 제14항에서,
    상기 무기물은 금속 질화물, 금속 산화물, 금속 산화 질화물, 금속 탄화물 및 이들의 조합 중 어느 하나를 포함하는 마이크로 OLED 디스플레이 장치.
  19. 제14항에서,
    상기 OLED 기판은 청색(blue)-OLED 기판, 백색(white)-OLED 기판 및 청록(cyan)-OLED 기판 중 어느 하나인 마이크로 OLED 디스플레이 장치.
KR1020220081147A 2021-10-15 2022-07-01 간섭형 하이브리드 컬러 필터 및 이를 구비한 마이크로 오엘이디 디스플레이 장치 KR20230054253A (ko)

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