KR20230050079A - Method for manufacturing spherical yttrium oxyfluoride-based thermal spraying material using flame spraying - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 43
- CHBIYWIUHAZZNR-UHFFFAOYSA-N [Y].FOF Chemical compound [Y].FOF CHBIYWIUHAZZNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 39
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 238000010285 flame spraying Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 31
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 title 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract description 52
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 37
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000000701 coagulant Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000008187 granular material Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229940105963 yttrium fluoride Drugs 0.000 claims abstract description 9
- RBORBHYCVONNJH-UHFFFAOYSA-K yttrium(iii) fluoride Chemical compound F[Y](F)F RBORBHYCVONNJH-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims abstract description 9
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 10
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 9
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims description 6
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N sulfuric acid group Chemical group S(O)(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 claims description 3
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 claims description 3
- DIZPMCHEQGEION-UHFFFAOYSA-H aluminium sulfate (anhydrous) Chemical compound [Al+3].[Al+3].[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O DIZPMCHEQGEION-UHFFFAOYSA-H 0.000 claims description 3
- 239000003637 basic solution Substances 0.000 claims description 3
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 claims description 3
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 claims description 3
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 claims description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000003921 particle size analysis Methods 0.000 description 8
- 238000001694 spray drying Methods 0.000 description 7
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 4
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 4
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/04—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01F—COMPOUNDS OF THE METALS BERYLLIUM, MAGNESIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARIUM, RADIUM, THORIUM, OR OF THE RARE-EARTH METALS
- C01F17/00—Compounds of rare earth metals
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- C01F17/253—Halides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01F—COMPOUNDS OF THE METALS BERYLLIUM, MAGNESIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARIUM, RADIUM, THORIUM, OR OF THE RARE-EARTH METALS
- C01F17/00—Compounds of rare earth metals
- C01F17/20—Compounds containing only rare earth metals as the metal element
- C01F17/253—Halides
- C01F17/259—Oxyhalides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/12—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Metallurgy (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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Abstract
Description
본 발명은 용사재료 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 화염분사를 이용하여 20㎛ 이하의 입도를 갖는 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료를 제조하는 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a method for producing a thermal spray material, and more particularly, to a method for producing an yttrium oxyfluoride-based thermal spray material having a particle size of 20 μm or less using flame spraying.
반도체나 OLED의 제조를 위한 에칭 공정에서 부식성이 매우 강한 할로겐계 가스가 사용된다. In an etching process for manufacturing semiconductors or OLEDs, halogen-based gases with very strong corrosiveness are used.
CF4, CHF3, C4F6, C2F6 등이 그 예인데, 이러한 불소계 에칭가스의 플라즈마는 챔버 내에서 벽면이나 내부에 놓인 컴포넌트들을 물리적으로 식각하거나 이들과 화학적 반응하여 파티클을 발생시킨다.CF 4 , CHF 3 , C 4 F 6 , C 2 F 6 , etc. are examples. The plasma of these fluorine-based etching gases physically etch the walls or components placed inside the chamber or chemically react with them to generate particles. let it
최근 내플라즈마 소재로 이트륨 옥시불화물(YOF)에 대한 기대가 높다. Recently, expectations are high for yttrium oxyfluoride (YOF) as a plasma-resistant material.
기존에 내플라즈마 소재로 사용되던 이트륨 산화물(Y2O3)은 불소계 플라즈마 환경에서 표면에 이트륨 불화물(YF3)의 파티클을 생성한다. Yttrium oxide (Y 2 O 3 ), previously used as a plasma-resistant material, generates particles of yttrium fluoride (YF 3 ) on the surface in a fluorine-based plasma environment.
불소를 포함하는 YOF 코팅은 불소계 플라즈마 환경에서 향상된 내플라즈마 특성을 발휘할 것으로 기대되고 있고, 그 적용성 평가가 활발하다.A YOF coating containing fluorine is expected to exhibit improved plasma resistance in a fluorine-based plasma environment, and its applicability is actively evaluated.
일본특허 제5396672호에 YOF에 대한 제조방법이 기재되어 있으나, 실제 이 방법에 의한 YOF의 제조가 쉽지 않아 고가로 일본으로부터 전량 수입되고 있고, 제조된 YOF 용사분말을 이용한 코팅 시 휘발되는 불소를 제어하기 어려워 코팅 이후 YOF 형태가 틀어지는 문제점이 있었다.Japanese Patent No. 5396672 describes a manufacturing method for YOF, but in reality, it is not easy to manufacture YOF by this method, so the entire amount is imported from Japan at a high price. There was a problem that the YOF shape was distorted after coating because it was difficult to do.
한편, 종래 스프레이 드라이어법을 이용한 제조방법도 소개된 바 있으나, 이 방법의 경우, 제조되는 용사재료의 입도가 커서 치밀한 코팅층을 형성할 수 없는 문제점이 있었다.On the other hand, a manufacturing method using a conventional spray dryer method has also been introduced, but in the case of this method, there is a problem in that a dense coating layer cannot be formed due to the large particle size of the thermal spray material produced.
본 발명은 상술한 문제점들을 해결하기 위해 창안된 것으로, 먼저 간단하고 용이하며 경제적으로 제조할 수 있는 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료의 제조방법 제공을 일 목적으로 한다.The present invention was invented to solve the above-mentioned problems, and the first object thereof is to provide a method for producing a spherical yttrium oxyfluoride-based thermal spray material using flame spraying, which can be produced simply, easily and economically.
아울러, 20㎛ 이하의 입도를 가짐으로써, 치밀한 밀도를 갖고 강도가 우수한 코팅층을 형성할 수 있는 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조방법 제공을 다른 목적으로 한다.In addition, another object is to provide a method for manufacturing a spherical yttrium oxyfluoride-based thermal spray material using flame spraying, which has a particle size of 20 μm or less and can form a coating layer having a dense density and excellent strength.
한편, 본 발명에서 해결하고자 하는 과제는 반드시 위에 언급된 사항에 국한되지 않으며, 미처 언급되지 않은 또 다른 과제들은 이하 기재되는 사항에 의해서도 이해될 수 있을 수 있을 것이다.On the other hand, the problem to be solved in the present invention is not necessarily limited to the above-mentioned problems, and other problems that have not been mentioned can be understood by the items described below.
본 발명의 실시 예에 따른 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조방법은 상술한 목적들을 달성하기 위하여, 이트륨 산화물과 이트륨 플루오르화물분말을 일정중량비로 혼합한 후, 분쇄하여 혼합분말을 준비하는 단계, 준비된 상기 혼합분말에 용매 및 응집제를 첨가한 후, 교반하여 슬러리화하는 단계, 상기 슬러리를 일정온도의 화염에 분사시켜 구형의 과립을 제조하는 단계 및 제조된 상기 구형의 과립을 일정온도에서 소성하여 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료를 제조하는 단계를 포함할 수 있다.In order to achieve the above-mentioned objects, the method for manufacturing a spherical yttrium oxyfluoride-based thermal spray material using flame spraying according to an embodiment of the present invention mixes yttrium oxide and yttrium fluoride powder at a certain weight ratio, and then pulverizes to prepare a mixed powder Step of adding a solvent and coagulant to the prepared mixed powder, then stirring to form a slurry, preparing spherical granules by spraying the slurry to a flame at a constant temperature, and preparing the spherical granules at a constant temperature It may include a step of producing an yttrium oxyfluoride-based thermal spray material by firing in the.
바람직하게 상기 이트륨 산화물과 이트륨 플루오르화물분말을 일정중량비로 혼합한 후, 분쇄하여 혼합분말을 준비하는 단계는, Y2O3분말 1~50중량%와 YF3분말 50~99중량%가 혼합될 수 있다.Preferably, in the step of preparing the mixed powder by mixing the yttrium oxide and yttrium fluoride powder at a constant weight ratio and grinding them, 1 to 50% by weight of Y 2 O 3 powder and 50 to 99% by weight of YF 3 powder can be mixed there is.
바람직하게 상기 응집제는 황산, 질산, 황산알루미늄, 염화알루미늄, 폴리염화알루미늄, 수산화나트륨, 시트르산, 말레산, 카르복시비닐 중합체의 산 또는 염기성 용액, 유기 화합물로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나일 수 있다.Preferably, the coagulant may be any one selected from the group consisting of sulfuric acid, nitric acid, aluminum sulfate, aluminum chloride, polyaluminum chloride, sodium hydroxide, citric acid, maleic acid, an acid or basic solution of carboxyvinyl polymer, and an organic compound.
바람직하게 상기 응집제는 상기 혼합분말의 전체중량 대비 0.75중량%가 첨가될 수 있으며, 상기 화염의 온도는 1,000~2,500℃일 수 있다.Preferably, the coagulant may be added in an amount of 0.75% by weight based on the total weight of the mixed powder, and the temperature of the flame may be 1,000 to 2,500 °C.
바람직하게 상기 제조된 상기 구형의 과립을 일정온도에서 소성하여 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료를 제조하는 단계는, 600~1,000℃의 산소 함유 분위기의 대기에서 소성될 수 있다.Preferably, the step of preparing the yttrium oxyfluoride-based thermal spray material by firing the prepared spherical granules at a constant temperature may be fired in an oxygen-containing atmosphere of 600 to 1,000 ° C.
바람직하게 상기 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료는 20㎛ 이하의 입도를 가질 수 있다.Preferably, the spherical yttrium oxyfluoride-based spray material may have a particle size of 20 μm or less.
본 발명의 실시 예에 따른 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조방법은 다음과 같은 우수한 효과가 있다.The method for manufacturing a spherical yttrium oxyfluoride-based spray material using flame spraying according to an embodiment of the present invention has the following excellent effects.
먼저, 간단하고 용이하며 경제적으로 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조할 수 있다.First, it is possible to simply, easily and economically prepare a spherical yttrium oxyfluoride-based thermal spray material.
아울러, 20㎛ 이하의 입도를 가짐으로써, 치밀한 밀도를 갖고 강도가 우수한 코팅층을 형성할 수 있는 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료를 제조할 수 있다.In addition, by having a particle size of 20 μm or less, it is possible to manufacture a spherical yttrium oxyfluoride-based thermal spray material capable of forming a coating layer having a dense density and excellent strength.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조방법의 전체 공정도다.
도 2는 YF3 초기 분말 형상의 주사전자현미경(SEM; Scanning Electron Microscope) 이미지다.
도 3은 Y2O3 초기 분말 형상의 주사전자현미경(SEM; Scanning Electron Microscope) 이미지다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따라 제조된 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 분말의 주사전자현미경(SEM; Scanning Electron Microscope) 이미지다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따라 제조된 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 분말의 입도분석(PSA; Particle Size Analysis)결과이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따라 제조된 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 분말의 X-선회절(XRD) 패턴을 보여주는 이미지다.
도 7은 종래 분무건조법(스프레이 드라이어법)으로 제조된 분말의 주사전자현미경(SEM; Scanning Electron Microscope) 이미지다.
도 8은 종래 분무건조법(스프레이 드라이어법)으로 제조된 분말의 입도분석 (PSA; Particle Size Analysis)결과이다.
도 9는 종래 분무건조법(스프레이 드라이어법)으로 제조된 분말의 X-선 회절(XRD) 패턴을 보여주는 이미지다.1 is an overall process diagram of a method for manufacturing a spherical yttrium oxyfluoride-based spray material using flame spraying according to an embodiment of the present invention.
2 is a scanning electron microscope (SEM) image of YF 3 initial powder form.
3 is a scanning electron microscope (SEM) image of Y 2 O 3 initial powder form.
4 is a scanning electron microscope (SEM) image of a spherical yttrium oxyfluoride-based spray material powder prepared according to an embodiment of the present invention.
5 is a particle size analysis (PSA) result of a spherical yttrium oxyfluoride-based thermal spray material powder prepared according to an embodiment of the present invention.
6 is an image showing an X-ray diffraction (XRD) pattern of a spherical yttrium oxyfluoride-based spray material powder prepared according to an embodiment of the present invention.
7 is a scanning electron microscope (SEM) image of a powder prepared by a conventional spray drying method (spray dryer method).
8 is a particle size analysis (PSA) result of powder prepared by a conventional spray drying method (spray dryer method).
9 is an image showing an X-ray diffraction (XRD) pattern of a powder prepared by a conventional spray drying method (spray dryer method).
본 발명에서 사용되는 용어는 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있는데 이 경우에는 단순한 용어의 명칭이 아닌 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용에 기재되거나 사용된 의미를 고려하여 그 의미가 파악되어야 할 것이다. The terms used in the present invention have been selected from general terms that are currently widely used as much as possible, but in certain cases, there are terms arbitrarily selected by the applicant. should be taken into account to understand its meaning.
이하, 첨부한 도면에 도시된 바람직한 실시 예들을 참조하여 본 발명의 기술적 구성을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the technical configuration of the present invention will be described in detail with reference to preferred embodiments shown in the accompanying drawings.
이와 관련하여 먼저, 도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조방법의 전체 공정도, 도 2는 YF3 초기 분말 형상의 주사전자현미경(SEM; Scanning Electron Microscope) 이미지, 도 3은 Y2O3 초기 분말 형상의 주사전자현미경(SEM; Scanning Electron Microscope) 이미지, 도 4는 본 발명의 실시 예에 따라 제조된 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 분말의 주사전자현미경(SEM; Scanning Electron Microscope) 이미지, 도 5는 본 발명의 실시 예에 따라 제조된 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 분말의 입도분석(PSA; Particle Size Analysis)결과, 도 6은 본 발명의 실시 예에 따라 제조된 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 분말의 X-선회절(XRD) 패턴을 보여주는 이미지, 도 7은 종래 분무건조법(스프레이 드라이어법)으로 제조된 분말의 주사전자현미경(SEM; Scanning Electron Microscope) 이미지, 도 8은 종래 분무건조법(스프레이 드라이어법)으로 제조된 분말의 입도분석 (PSA; Particle Size Analysis)결과이며, 도 9는 종래 분무건조법(스프레이 드라이어법)으로 제조된 분말의 X-선 회절(XRD) 패턴을 보여주는 이미지다.In this regard, first, FIG. 1 is an overall process diagram of a method for manufacturing a spherical yttrium oxyfluoride-based spray material using flame spraying according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a scanning electron microscope (SEM) of YF 3 initial powder shape. Electron Microscope) image, Figure 3 is a scanning electron microscope (SEM) image of Y 2 O 3 initial powder shape, Figure 4 is a spherical yttrium oxyfluoride-based thermal spray material powder prepared according to an embodiment of the present invention Scanning Electron Microscope (SEM) image, FIG. 5 is a result of particle size analysis (PSA) of the spherical yttrium oxyfluoride-based thermal spray material powder prepared according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is the result of the present invention. An image showing the X-ray diffraction (XRD) pattern of the spherical yttrium oxyfluoride-based thermal spray material powder prepared according to the embodiment of, Figure 7 is a scanning electron microscope (SEM) of the powder prepared by the conventional spray drying method (spray dryer method) ; Scanning Electron Microscope) image, FIG. 8 is a particle size analysis (PSA) result of powder prepared by a conventional spray drying method (spray dryer method), and FIG. 9 is a powder prepared by a conventional spray drying method (spray dryer method) This is an image showing the X-ray diffraction (XRD) pattern of
상기 도 1 내지 9를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조방법은 이트륨 산화물과 이트륨 플루오르화물분말을 일정중량비로 혼합한 후, 분쇄하여 혼합분말을 준비하는 단계(S100)를 포함한다.1 to 9, in the method for manufacturing a spherical yttrium oxyfluoride-based spray material using flame spraying according to an embodiment of the present invention, yttrium oxide and yttrium fluoride powder are mixed at a certain weight ratio, and then pulverized to obtain a mixed powder It includes a preparing step (S100).
이때, 본 발명의 실시 예에 따른 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조방법은 이트륨 산화물로 Y2O3분말을 이용하며, 이트륨 플루오르화물분말로 YF3분말을 이용한다.At this time, in the method of manufacturing a spherical yttrium oxyfluoride-based spray material using flame spraying according to an embodiment of the present invention, Y 2 O 3 powder is used as yttrium oxide, and YF 3 powder is used as yttrium fluoride powder.
다만, 상기 이트륨 분말 및 이트륨 플루오르화물분말은 반드시 이에 한정되는 것은 아니라 할 것이며, 본 발명과 동일한 목적 및 효과를 나타내는 것이라면 모두 포함될 수 있다.However, the yttrium powder and the yttrium fluoride powder are not necessarily limited thereto, and may all be included as long as they have the same purpose and effect as those of the present invention.
한편, 본 발명의 실시 예에 따른 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조방법은 Y2O3분말 1~50중량%와 YF3분말 50~99중량%가 혼합되는 것을 특징으로 하며 이때, 상기 분말들의 혼합 및 분쇄 방법은 다양한 방법을 이용할 수 있으므로 이에 대한 특별한 한정은 두지 아니한다.On the other hand, the method for producing a spherical yttrium oxyfluoride-based thermal spray material using flame spraying according to an embodiment of the present invention is characterized in that 1 to 50% by weight of Y 2 O 3 powder and 50 to 99% by weight of YF 3 powder are mixed, At this time, since various methods may be used for mixing and pulverizing the powders, there is no particular limitation thereon.
한편, 본 발명의 실시 예에 따른 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조방법은 준비된 상기 혼합분말에 용매 및 응집제를 첨가한 후, 교반하여 슬러리화하는 단계(S200)를 포함한다.On the other hand, the method for producing a spherical yttrium oxyfluoride-based thermal spray material using flame spraying according to an embodiment of the present invention includes adding a solvent and a coagulant to the prepared mixed powder and then stirring to form a slurry (S200).
이때, 상기 용매는 혼합분말을 슬러리화하는데 필요한 다양한 용매를 이용할 수 있으며, 응집제 또한 동일 목적 및 효과를 달성할 수 있는 다양한 응집제를 이용할 수 있다.At this time, as the solvent, various solvents necessary for slurrying the mixed powder may be used, and various coagulants capable of achieving the same purpose and effect may be used as the coagulant.
다만, 본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 응집제는 황산, 질산, 황산알루미늄, 염화알루미늄, 폴리염화알루미늄, 수산화나트륨, 시트르산, 말레산, 카르복시비닐 중합체의 산 또는 염기성 용액, 유기 화합물로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 이용한다.However, in an embodiment of the present invention, the flocculant is selected from the group consisting of sulfuric acid, nitric acid, aluminum sulfate, aluminum chloride, polyaluminum chloride, sodium hydroxide, citric acid, maleic acid, an acid or basic solution of carboxyvinyl polymer, and an organic compound. use any one of your choice.
이때, 상기 응집제는 혼합분말의 전체중량 대비 0.75중량%가 첨가되며, 상기 슬러리화하는 단계(S200)는 다양한 교반기를 이용하여 교반이 가능하나, 본 발명의 실시 예에 있어서는 안정된 슬러리 제조를 위해 2시간 동안 교반한다.At this time, the coagulant is added in an amount of 0.75% by weight relative to the total weight of the mixed powder, and the slurrying step (S200) can be stirred using various stirrers, but in the embodiment of the present invention, 2 Stir for an hour.
한편, 본 발명의 실시 예에 따른 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조방법은 상기 슬러리를 일정온도의 화염에 분사시켜 구형의 과립을 제조하는 단계(S300)를 포함한다. On the other hand, the method for producing a spherical yttrium oxyfluoride-based thermal spray material using flame spraying according to an embodiment of the present invention includes a step (S300) of preparing spherical granules by spraying the slurry to a flame at a constant temperature.
보다 구체적으로, 고온 화염으로 분말이 포함된 슬러리를 과립화 위해 원형분사형태 노즐를 설치하였고, 고온 화염의 발생을 위해 별도의 버너를 설치하였다.More specifically, a circular jet type nozzle was installed to granulate the powder-containing slurry with a high-temperature flame, and a separate burner was installed to generate a high-temperature flame.
이때, 본 발명의 실시 예에 따른 화염의 온도는 1,000~2,500℃이다.At this time, the temperature of the flame according to an embodiment of the present invention is 1,000 ~ 2,500 ℃.
한편, 본 발명의 실시 예에 있어서는 분무된 슬러리가 용융 구상화 하기 위해서 연소 조건과 슬러리 이송 조건을 제어한다.On the other hand, in the embodiment of the present invention, the combustion conditions and the slurry transfer conditions are controlled to melt and spheroidize the sprayed slurry.
이에 대해 보다 상세하게 설명하면, 슬러리 공급조건 5~10L/hr, 산소의 유량1MPa, LPG의 유량 0.1MPa으로 화염 온도를 상술한 범위로 고정하고, 챔버로 분무된 분말들은 분말 포집 장치에 포집되며, 포집된 과립분말은 체거름 공정을 통해서 원하고자 하는 크기의 과립분말을 얻을 수 있다.In more detail, the slurry supply conditions are 5 to 10 L / hr, the flow rate of oxygen is 1 MPa, and the flow rate of LPG is 0.1 MPa. , The collected granular powder can be obtained through a sieve process to obtain a granular powder of a desired size.
한편, 본 발명의 실시 예에 따른 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조방법은, 제조된 상기 구형의 과립을 일정온도에서 소성하여 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료를 제조하는 단계(S400)를 포함한다. On the other hand, in the method for producing a spherical yttrium oxyfluoride-based spray material using flame spraying according to an embodiment of the present invention, the prepared spherical granules are fired at a constant temperature to prepare a yttrium oxyfluoride-based spray material (S400) includes
이때, 소성조건은 알루미나 용기를 이용하여 600~1,000℃의 산소 함유 분위기의 대기에서 소성되며, 이를 통해 제조되는 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료는 20㎛ 이하의 입도를 갖는다.At this time, firing conditions are fired in an oxygen-containing atmosphere of 600 to 1,000 ° C using an alumina container, and the yttrium oxyfluoride-based thermal spray material manufactured through this has a particle size of 20 μm or less.
결과적으로, 본 발명의 실시 예를 통해 제조된 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료는 도 4에 도시된 바와 같이 구형화를 확인할 수 있었으며, 도 5의 입도 측정결과를 보면 중간값(50.00)이 10.46㎛의 입도를 보이고 있으며, 이는 도 8에 도시된 종래 분무건조법(스프레이 드라이어법)으로 제조된 분말의 중간값(50.00)인 23.66㎛에 절반에도 못미치는 값임을 확인할 수 있다.As a result, the spherical yttrium oxyfluoride-based thermal spray material prepared through the embodiment of the present invention was confirmed to be spherical as shown in FIG. It shows a particle size of ㎛, which is less than half of the median value (50.00) of 23.66㎛ of the powder prepared by the conventional spray drying method (spray dryer method) shown in FIG.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명은 바람직한 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시 예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다 할 것이다.As reviewed above, the present invention has been illustrated and described as a preferred embodiment, but is not limited to the above-described embodiments, and to those skilled in the art within the scope of not departing from the spirit of the present invention Various changes and modifications will be possible.
Claims (7)
준비된 상기 혼합분말에 용매 및 응집제를 첨가한 후, 교반하여 슬러리화하는 단계;
상기 슬러리를 일정온도의 화염에 분사시켜 구형의 과립을 제조하는 단계; 및
제조된 상기 구형의 과립을 일정온도에서 소성하여 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료를 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조방법.
preparing a mixed powder by mixing yttrium oxide and yttrium fluoride powder at a constant weight ratio and then pulverizing;
After adding a solvent and a coagulant to the prepared mixed powder, stirring to form a slurry;
preparing spherical granules by spraying the slurry into a flame at a constant temperature; and
A method for producing a spherical yttrium oxyfluoride-based spray material using flame spray, characterized in that it comprises the step of preparing the yttrium oxyfluoride-based spray material by firing the prepared spherical granules at a constant temperature.
상기 이트륨 산화물과 이트륨 플루오르화물분말을 일정중량비로 혼합한 후, 분쇄하여 혼합분말을 준비하는 단계는, Y2O3분말 1~50중량%와 YF3분말 50~99중량%가 혼합된 것을 특징으로 하는 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조방법.
According to claim 1,
In the step of preparing the mixed powder by mixing the yttrium oxide and yttrium fluoride powder at a certain weight ratio and grinding them, 1 to 50% by weight of Y 2 O 3 powder and 50 to 99% by weight of YF 3 powder are mixed. A method for producing a spherical yttrium oxyfluoride-based spray material using flame spraying.
상기 응집제는 황산, 질산, 황산알루미늄, 염화알루미늄, 폴리염화알루미늄, 수산화나트륨, 시트르산, 말레산, 카르복시비닐 중합체의 산 또는 염기성 용액, 유기 화합물로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조방법.
According to claim 2,
The coagulant is sulfuric acid, nitric acid, aluminum sulfate, aluminum chloride, polyaluminum chloride, sodium hydroxide, citric acid, maleic acid, acid or basic solution of carboxyvinyl polymer, flame spray, characterized in that any one selected from the group consisting of organic compounds Method for producing spherical yttrium oxyfluoride-based thermal spray material using
상기 응집제는 상기 혼합분말의 전체중량 대비 0.75중량%가 첨가되는 것을 특징으로 하는 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조방법.
According to claim 3,
The coagulant is a spherical yttrium oxyfluoride-based spray material manufacturing method using flame spray, characterized in that 0.75% by weight is added relative to the total weight of the mixed powder.
상기 화염의 온도는 1,000~2,500℃인 것을 특징으로 하는 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조방법.
According to claim 4,
The method of manufacturing a spherical yttrium oxyfluoride-based spray material using flame spray, characterized in that the temperature of the flame is 1,000 ~ 2,500 ℃.
상기 제조된 상기 구형의 과립을 일정온도에서 소성하여 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료를 제조하는 단계는, 600~1,000℃의 산소 함유 분위기의 대기에서 소성되는 것을 특징으로 하는 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조방법.
According to claim 5,
The step of preparing the yttrium oxyfluoride-based thermal spray material by firing the prepared spherical granules at a constant temperature is spherical yttrium oxy using flame spray, characterized in that the firing in the atmosphere of an oxygen-containing atmosphere of 600 ~ 1,000 ℃ Fluoride-based thermal spray material manufacturing method.
상기 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료는 20㎛ 이하의 입도를 갖는 것을 특징으로 하는 화염분사를 이용한 구형상의 이트륨 옥시플루오르화물계 용사재료 제조방법.
According to claim 6,
The spherical yttrium oxyfluoride-based spraying material has a particle size of 20 μm or less.
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| KR1020210133350A KR102561639B1 (en) | 2021-10-07 | 2021-10-07 | Method for manufacturing spherical yttrium oxyfluoride-based thermal spraying material using flame spraying |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004051409A (en) * | 2002-07-19 | 2004-02-19 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Process for manufacturing spherical, inorganic ultra-fine powder |
| KR20190017333A (en) * | 2017-08-11 | 2019-02-20 | (주)단단 | Manufacturing method of YOF based powder |
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