KR20230032220A - Portable Electrolytic polisher Using Neutral Salt Electrolyte - Google Patents

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KR20230032220A
KR20230032220A KR1020210114801A KR20210114801A KR20230032220A KR 20230032220 A KR20230032220 A KR 20230032220A KR 1020210114801 A KR1020210114801 A KR 1020210114801A KR 20210114801 A KR20210114801 A KR 20210114801A KR 20230032220 A KR20230032220 A KR 20230032220A
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Abstract

The present invention relates to a portable electrolytic polisher using neutral salt electrolyte, which can be moved easily even in a working environment for maintaining and repairing production facilities of semiconductors, food and medicine, etc., can prevent side effects such as respiratory diseases, skin irritation and burns of workers owing to the electrolyte, and can support maintenance and repairs conveniently to correspond to the characteristics of a facility on the site or the installation position thereof. The main body of the electrolytic polisher and a working box are configured to be separated from each other. The main body includes a control part, a rectification part and an output part. The working box is configured to include an electrolytic polishing liquid storage tank, a forward/reverse rotation pump, and a manipulation panel. The main body and the working box are connected to each other by a power line and a control line. The working box is configured to be connected to a torch through a (-) power line, a control line and an electrolytic polishing liquid transfer hose. According to the present invention, adverse effects on the body of a worker can be removed, an effect by the fume of acid electrolyte can be removed to prevent defects in an ultra-precision semiconductor device etc., the leakage of electrolyte to a flip-off cap is prevented, the structures of a power supply line and an electrolyte supply line can be improved to increase the convenience of a polishing operation, the electrolytic polisher can be moved conveniently, and unnecessary foreign materials generated in a working process can be removed easily.

Description

중성염 전해액을 이용한 포터블 전해연마기{Portable Electrolytic polisher Using Neutral Salt Electrolyte}Portable Electrolytic polisher Using Neutral Salt Electrolyte}

본 발명은 중성염 전해액을 이용한 포터블 전해연마기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체, 식품, 의약품 분야의 클린룸 장비나 설비를 유지·보수하는데 적합하고, 작업현장에서 쉽게 이동시킬 수 있으며, 특히 산성 전해액 사용에 따른 흄(Fume)의 영향으로 초정밀 반도체 장비에 치명적 결함이 유발되거나 작업자에게 호흡기 질환, 피부손상 등과 같은 건강측면의 부작용 발생을 방지할 수 있는 중성염 전해액을 이용한 포터블 전해연마기에 관한 것이다.The present invention relates to a portable electropolishing machine using a neutral salt electrolyte, and more particularly, it is suitable for maintaining and repairing clean room equipment or facilities in the fields of semiconductors, food, and pharmaceuticals, can be easily moved at work sites, and is particularly acidic. It relates to a portable electropolishing machine using a neutral salt electrolyte that can prevent fatal defects in ultra-precision semiconductor equipment due to the effect of fumes caused by the use of electrolyte or side effects in terms of health such as respiratory diseases and skin damage to workers. .

연마 공정은 기계적 연마(mechanical polishing), 화학적 연마(chemical polishing) 및 전해 연마(electrolytic polishing)로 구별될 수 있으며, 각각 연마 공정을 별도로 진행하거나 혼합 공정으로 진행할 수도 있다. 이때 전해연마는 전해용액에 용해되는 금속재질의 피가공물을 양극(Anode)으로 하고 전해용액에 불용성인 가공금속을 음극(Cathode)으로 하여 양극과 음극 사이에 전압을 인가함으로써, 전기분해 작용에 의한 선택적 용해를 통해 광택이 나는 평활한 피가공물의 표면을 얻기 위해 사용하는 공정이다. The polishing process may be classified into mechanical polishing, chemical polishing, and electrolytic polishing, and each polishing process may be performed separately or as a mixed process. At this time, electrolytic polishing is performed by applying a voltage between the anode and the cathode, using the workpiece made of metal material dissolved in the electrolytic solution as the anode and the processed metal insoluble in the electrolytic solution as the cathode. It is a process used to obtain a glossy, smooth surface of a workpiece through selective dissolution.

특히 연마공정을 지원하는 전해연마기는 조선 또는 해양설비와 같은 대형 구조물에서 노후화된 설비를 교체하거나 용접부위 주변에 나타나는 부식성 물질이나 변색영역을 제거하는데 널리 사용되고는 있지만, 그 장치 자체의 부피가 크고 무게도 상당하여 특정 공간에 고정·설치하는 경우가 많기 때문에 실제 현장에서는 작업환경에 맞게 이동이 가능하면서도 사용하기 편리한 전해연마기의 필요성과 관련된 현장의 요구가 증대되고 있다. In particular, electropolishing machines that support the polishing process are widely used to replace aging equipment in large structures such as shipbuilding or offshore facilities or to remove corrosive substances or discolored areas around welded areas, but the device itself is bulky and heavy. Since it is often fixed and installed in a specific space due to its considerable size, the field demand related to the need for an electropolishing machine that can be moved to suit the working environment and is convenient to use is increasing.

이러한 현장의 요구를 반영하여 최근 전해연마기 분야에서는 이동성과 편리성이 향상된 기술들이 지속적으로 개발되고 있다.Reflecting these field needs, technologies with improved mobility and convenience are continuously being developed in the field of electropolishing machines.

우선 특허 10-1246892(선행특허 1)에는 조선 또는 해양설비와 같은 대형 구조물에 적용되는 전해연마장치가 나타나 있는데, 위 선행특허 1의 전해연마장치는 전해액을 저장하는 탱크, 전원공급부 및 전해액의 공급과 회수용 펌프를 구비한 연마작동부가 이동손잡이와 케이블 걸이가 구비된 이동대차에 탑재되고, 연마작동부와 연마작업부가 전해액 공급관과 전극라인으로 연결되어 연마작업부를 통해 작업 대상물의 연마가 가능하도록 지원하는 기술구성이 개시되어 있고, 특허 10-1324315호(선행특허 2)에는 전극연결부가 작업대상물에 밀착되도록 하는 전극인가치구가 개시되어 있다. First of all, Patent 10-1246892 (Prior Patent 1) shows an electrolytic polishing device applied to large structures such as shipbuilding or marine facilities. The polishing operation unit equipped with a recovery pump is mounted on a moving cart equipped with a moving handle and a cable hanger, and the polishing operation unit and the polishing operation unit are connected by an electrolyte supply pipe and an electrode line to enable polishing of the workpiece through the polishing operation unit. A supporting technical configuration is disclosed, and Patent No. 10-1324315 (Prior Patent 2) discloses an electrode-applied fixture that allows an electrode connection part to adhere to a work object.

그러나 위 선행특허 1, 2의 전해연마기는 조선 또는 해양설비와 같은 대형구조물의 연마작업에 특화된 것으로, 이는 중성염 전해액을 이용하는 것을 전제로 하는 것이 아니어서 초정밀 반도체 장비에 치명적 결함이나 작업자의 호흡기 질환, 피부손상 등과 같은 부작용이 동반되는 구조이고, 전해액 저장탱크가 이동대차에 고정되어 교체가 용이하지 않으며, 이동대차에 탑재된 구성요소들(전원공급부의 트랜스, 저장탱크, 공급 및 회수용 펌프)로 인해 그 부피와 중량이 커질 수밖에 없는 구조이기 때문에 지면에서의 수평이동은 가능하나 지면으로부터 작업위치까지 공중으로 들어 올리는 수직이동에는 현실적인 한계가 있었다.However, the electropolishing machines of the prior patents 1 and 2 are specialized for polishing work of large structures such as shipbuilding or marine facilities, and this is not based on the use of neutral salt electrolyte, which can cause fatal defects in ultra-precision semiconductor equipment or respiratory diseases of workers. It is a structure accompanied by side effects such as skin damage, and the electrolyte storage tank is fixed to the mobile cart, so it is not easy to replace it, and the components mounted on the mobile cart (power supply transformer, storage tank, supply and recovery pump) Because of the structure inevitably increasing its volume and weight, horizontal movement on the ground is possible, but there is a realistic limit to vertical movement from the ground to the working position in the air.

그리고 특허 10-0363586(선행특허 3)에는 포터블 전해연마장치가 나타나 있는데, 위 선행특허 2는 작업자가 파지하는 파이프 형상의 연결부와 그 연결부 하단에 카본계의 브러시가 장착되고, 그 브러시의 외측면을 감싸도록 비전도성 섬유재를 구비하되, 파이프 형상의 연결부에는 전해액을 공급하는 파이프와 전원을 공급하기 위한 전선이 함께 내장되고, 그 연결부는 작업자의 손잡이로서의 기능도 수행할 수 있다는 기술사항이 개시되어 있다. In addition, Patent No. 10-0363586 (Prior Patent 3) shows a portable electrolytic polishing device. In Prior Patent 2, a pipe-shaped connection part held by a worker and a carbon-based brush are installed at the bottom of the connection part, and the outer surface of the brush A non-conductive fiber material is provided to cover the pipe, but a pipe for supplying electrolyte and an electric wire for supplying power are built into the pipe-shaped connection part, and the connection part can also function as a handle for a worker. has been

그러나 위 선행특허 2도 중성염 전해액을 이용하는 것을 전제로 하는 것이 아니어서 산성 전해액 사용에 따른 흄(Fume)의 영향(반도체의 결함이나 작업자의 호흡기 질환 등의 부작용)을 받을 수밖에 없고, 작업시 전기스파크나 통전성 분진이 발생되는 카본계 브러시가 사용되고 있다는 점에서 반도체 클린룸 설비의 유지·보수 작업에는 적합하지 않으며, 연결부(손잡이부)에 남아있는 전해액의 누설을 막지 못한다는 구조적인 문제를 안고 있었다.However, the prior patent 2 above is not based on the use of a neutral salt electrolyte, so it is inevitable to be affected by fumes (side effects such as defects in semiconductors or respiratory diseases of workers) due to the use of acid electrolyte, and electricity In that a carbon-based brush that generates sparks or conductive dust is used, it is not suitable for maintenance and repair work of semiconductor clean room facilities, and has a structural problem that it cannot prevent leakage of electrolyte remaining in the connection part (handle part) .

(선행특허문헌 1) 등록특허 제10-1246892호(Prior Patent Document 1) Registered Patent No. 10-1246892 (선행특허문헌 2) 등록특허 특허 10-1324315호(Prior Patent Document 2) Registered Patent No. 10-1324315 (선행특허문헌 3) 등록특허 제10-0363586호(Prior Patent Document 3) Registered Patent No. 10-0363586

본 발명은 위 배경기술이 안고 있는 문제점에 착안하여 이루어진 것으로, The present invention has been made in view of the problems of the above background art,

본 발명의 목적은 중성염 전해액을 이용하여 인체에 미치는 악영향을 제거할 수 있고, 클린룸 환경이 중시되는 반도체 제조장비의 유지·보수에 적합하며, 플립 오프 캡(Flip Off Cap)을 통해 불필요한 전해액 누설을 방지할 수 있는 중성염 전해액을 이용한 포터블 전해연마기를 제공하는데 있다. An object of the present invention is to use a neutral salt electrolyte to remove adverse effects on the human body, to be suitable for maintenance and repair of semiconductor manufacturing equipment in which a clean room environment is important, and to remove unnecessary electrolyte through a flip off cap. It is to provide a portable electropolishing machine using a neutral salt electrolyte capable of preventing leakage.

본 발명의 또 다른 목적은 전원 공급라인과 전해액 공급라인의 구조를 개선하여 작업의 자유도를 증진시키고, 쉽게 이동시킬 수 있으면서도 사용의 편리성이 증진된 중성염 전해액을 이용한 포터블 전해연마기를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to improve the structure of the power supply line and the electrolyte supply line to increase the degree of freedom of operation, and to provide a portable electropolishing machine using a neutral salt electrolyte solution that can be easily moved and improved in convenience of use. .

본 발명의 또 다른 목적은 전해연마 작업과정에서 발생할 수 있는 낙하용액 등 불필요한 부산물을 쉽게 처리할 수 있도록 지원하는 중성염 전해액을 이용한 포터블 전해연마기를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a portable electropolishing machine using a neutral salt electrolyte solution that can easily handle unnecessary by-products such as a falling solution that may occur in the electropolishing process.

본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 중성염 전해액을 이용한 포터블 전해연마기는 본체와 작업함을 서로 분리하여 구성하되, 본체에는 제어부, 정류부 및 출력부를 배치하고, 작업함에는 전해연마액 저장통과 정/역 회전펌프 및 조작패널을 배치하여 구성되며, 본체와 작업함은 전원선과 제어선으로 연결하고, 작업함에는 (-)전원선과 제어선 및 전해연마액 이송호스를 통해 토치와 연결되고, 그 토치와 연마패드는 전원선과 전해연마액 호스가 내장된 연결대를 통해 결합되며, 그 작업함의 (+)전원선은 작업대상물과의 연결을 지원하는 클램프가 부착된 것을 특징으로 한다. A portable electropolishing machine using a neutral salt electrolyte according to a preferred embodiment of the present invention is configured by separating the main body and the working box from each other, and the control unit, rectifying section and output unit are disposed in the main body, and the electropolishing liquid reservoir and the It is composed by arranging a reverse rotation pump and an operation panel, and the main body and the work box are connected with a power line and a control line, and the work box is connected to the torch through a (-) power line and a control line and an electrolytic polishing liquid transfer hose, and the torch and the polishing pad are coupled through a power line and an electrolytic polishing liquid hose built-in connection stand, and the (+) power line of the work box is characterized in that a clamp is attached to support connection with the work object.

또한, 본 발명은 SUS(Steel Use Stainless) 구조물의 전해연마를 위해 사용하는데 중성염 전해연마액을 이용하고, 그 전해연마액은 무기화합물인 피로인산칼륨 또는 제1인산칼륨을 0.5~8%, 헥사메타인산나트륨 또는 차아인산나트륨 5~15%, 제2인산나트륨 또는 제2인산칼륨 5~15%를 증류수와 혼합하여 PH 6~8로 설정한 것을 특징으로 한다. In addition, the present invention uses a neutral salt electropolishing solution for electropolishing of SUS (Steel Use Stainless) structures, and the electropolishing solution contains 0.5 to 8% of potassium pyrophosphate or potassium monophosphate, which is an inorganic compound, It is characterized in that 5 to 15% of sodium hexametaphosphate or sodium hypophosphite and 5 to 15% of dibasic sodium phosphate or dibasic potassium phosphate are mixed with distilled water and set to PH 6 to 8.

또한, 본 발명의 전해연마기에 사용되는 중성염 전해연마액의 PH조절제로는 수산화나트륨 또는 수산화칼륨 등의 가성소다 계열의 물질이 의도적으로 배제된 것을 특징으로 한다. In addition, it is characterized in that a caustic soda-based material such as sodium hydroxide or potassium hydroxide is intentionally excluded as a pH adjusting agent of the neutral salt electropolishing liquid used in the electropolishing machine of the present invention.

또한, 본 발명의 전해연마기는 토치와 연마패드를 이어주는 연결대의 결합구조를 체결너트로 고정하도록 구성하고, 그 결합구조의 내부에는 플립오프캡(Flip off Cap)을 장착함으로써, 연결대의 호스에 잔류하고 있는 전해연마액의 누출이 방지되도록 구성한 것을 특징으로 한다. In addition, the electropolishing machine of the present invention is configured to fix the coupling structure of the connecting rod connecting the torch and the polishing pad with a fastening nut, and by mounting a flip off cap inside the coupling structure, the remaining hose of the connecting rod remains. It is characterized in that it is configured to prevent leakage of the electrolytic polishing liquid.

또한, 본 발명의 전해연마기는 연결대를 자바라 형태의 튜브로 제작하여 작업위치에 따라 전극판이 상, 하, 좌, 우로 조절할 수 있도록 구성하는 것을 특징으로 한다. In addition, the electropolishing machine of the present invention is characterized in that the connecting rod is made of a bellows-shaped tube so that the electrode plate can be adjusted up, down, left, or right according to the working position.

그리고 본 발명의 포터블 전해연마기는 작업대상물의 외부에 웨빙끈과 결착수단(버클 또는 벨크로 타이)을 이용하여 걸어 놓을 수 있는 흡착패드가 구비되고, 그 흡착패드는 방수천으로 제작된 방수패드 위에 용액패드를 올려놓을 수 있는 구조로 제작하고, 상기 방수패드는 4면 끝단부에 작은 직경의 스텐봉을 삽입하여 재봉마감한 것을 특징으로 한다. In addition, the portable electropolishing machine of the present invention is provided with a suction pad that can be hung on the outside of the work object using a webbing string and a binding means (buckle or Velcro tie), and the suction pad is provided with a solution on the waterproof pad made of waterproof fabric. It is manufactured in a structure in which a pad can be placed, and the waterproof pad is characterized in that it is sewn and finished by inserting a stainless rod of small diameter at the end of the four sides.

또한, 본 발명의 포터블 전해연마기를 반도체, 식품, 의약품 분야 이외의 다른 분야에 적용하는 경우에는 연결대의 구성을 절연수축튜브의 일단이 고무 O링를 개입시켜 토치에 나사결합하고, 타단은 탄소섬유 붓패드에 나사결합되도록 구성하되, 상기 탄소섬유 붓패트의 외부에는 전해연마액의 비산을 방지하도록 투명 테프론튜브를 설치하고, 붓패드 연결대와 투명 테프론튜브 사이에는 2개의 고무 O링을 개입시켜 전해연마액의 공급경로가 붓패드 방향으로만 형성되도록 구성한 것을 특징으로 한다.In addition, when the portable electropolishing machine of the present invention is applied to fields other than semiconductor, food, and pharmaceutical fields, one end of the insulating shrinkage tube is screwed to the torch through a rubber O-ring, and the other end is a carbon fiber brush. It is configured to be screwed to the pad, but a transparent Teflon tube is installed outside the carbon fiber brush pad to prevent scattering of the electropolishing liquid, and electropolishing is performed by interposing two rubber O-rings between the brush pad connection and the transparent Teflon tube. It is characterized in that the liquid supply path is formed only in the direction of the brush pad.

본 발명에 의하면, 중성염 전해액을 이용하기 때문에 작업자의 인체에 미치는 악영향을 제거할 수 있고, 산성 전해액의 흄(Fume)에 의한 영향이 제거되어 초정밀 반도체 장비 등의 결함발생을 방지할 수 있으며, 플립오프캡(Flip Off Cap)을 이용하여 전해액의 누설을 막을 수 있기 때문에 주변설비의 오염을 방지할 수 있음은 물론 사용상의 불편이 해소되는 효과가 있다. According to the present invention, since the neutral salt electrolyte is used, adverse effects on the operator's body can be removed, and the effect of fumes of the acidic electrolyte can be removed to prevent defects such as ultra-precision semiconductor equipment, Since leakage of electrolyte can be prevented by using a flip-off cap, contamination of peripheral facilities can be prevented and inconvenience in use can be eliminated.

또한, 전원 공급라인과 전해액 공급라인의 구조가 개선되어 연마작업의 자유도를 높일 수 있고, 전해연마기의 이동이 간편할 뿐만 아니라 작업과정에서 발생하는 불필요한 이물질을 쉽게 제거할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.In addition, the structure of the power supply line and the electrolyte supply line can be improved to increase the degree of freedom of the polishing operation, and the effect of easily removing unnecessary foreign substances generated during the work process as well as easy movement of the electrolytic polisher can be expected. .

도 1의 (a), (b)는 종래의 전해연마장치를 설명하기 위한 예시도이다.
도 2도는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전해연마기의 구조를 설명하기 위한 구성도이다.
도 3은 본 발명의 연결대 구조의 일실시예를 설명하기 위한 예시도이다.
도 4는 본 발명의 연결대 구조의 다른 실시예를 보여주는 예시도이다.
도 5는 본 발명의 전해연마 공정에서 생성되는 낙하용액 등의 부산물 처리수단을 설명하기 위한 예시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예를 설명하기 위한 구성도이다.
1 (a) and (b) are exemplary diagrams for explaining a conventional electrolytic polishing apparatus.
2 is a configuration diagram for explaining the structure of an electropolishing machine according to a preferred embodiment of the present invention.
3 is an exemplary view for explaining an embodiment of a connecting rod structure of the present invention.
4 is an exemplary view showing another embodiment of the connecting rod structure of the present invention.
5 is an exemplary diagram for explaining a means for treating by-products such as a falling solution generated in the electropolishing process of the present invention.
6 is a configuration diagram for explaining another embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 중성염 전해액을 이용한 포터블 전해연마 장치에 대하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a portable electropolishing apparatus using a neutral salt electrolyte according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

참고로, 본 발명을 설명함에 있어 공지된 구성이나 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단될 경우에 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. 그리고 본 발명에서 사용되는 기술적 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니며, 본 발명에서 사용되는 기술적 용어는 본 발명에서 특별히 다른 의미로 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 의미로 해석하는 것이 당연하지만, 과도하게 포괄적인 의미나 과도하게 축소된 의미로 해석하지는 말아야 할 것이다.For reference, in the description of the present invention, if it is determined that a detailed description of a known configuration or function may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, a detailed description thereof will be omitted. And the technical terms used in the present invention are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention, and the technical terms used in the present invention are not specifically defined in the present invention in a different meaning, It is natural to interpret it in a meaning generally understood by those skilled in the art to which the present invention belongs, but it should not be interpreted in an excessively comprehensive or excessively reduced meaning.

도 1은 종래 전해연마기의 구조를 보여주고 있다. 도 1(a)는 앞서 언급한 선행특허 1의 전해연마기로 이동대차(400)의 지지프레임(410)에 전해액저장부(100), 연마작동부(200), 연마작업부(300) 및 제2전극라인(370)을 주요구성으로 하고, 이동손잡이(440), 케이블 걸이(450) 토치거치대(430)을 부가한 구성이 예시되어 있다. 여기에서 연마작동부(200)는 전원공급부(210), 공급펌프(231) 회수펌프(141)로 구성되어 있으며, 연마작업부(300)는 연마액의 공급라인(340)과 회수라인(380), 그리고 제1전극라인(330)이 함께 내장되고 외부에는 컨트롤박스(360)가 설치된 작업손잡이(350)와 토치(310) 및 섬유재 토치커버(320)로 구성되어 있다. 1 shows the structure of a conventional electropolishing machine. Figure 1 (a) is the electrolytic polisher of the prior patent 1 mentioned above, the electrolyte storage unit 100, the polishing operation unit 200, the polishing operation unit 300 and the A configuration in which a two-electrode line 370 is the main configuration and a moving handle 440, a cable hanger 450, and a torch holder 430 are added is exemplified. Here, the polishing operation unit 200 is composed of a power supply unit 210, a supply pump 231, and a recovery pump 141, and the polishing operation unit 300 includes a polishing liquid supply line 340 and a recovery line 380. ), and the first electrode line 330 is built together and consists of a work handle 350 with a control box 360 installed outside, a torch 310, and a textile torch cover 320.

한편, 도 1(b)에는 제2전극라인(370)에 집게(371)와 전극인가치구(500)를 연결한 구조를 보여주고 있는데, 여기에서의 전극인가치구(500)는 작업대상물에 밀착되도록 감싸는 밴드부를 통해 원통형의 작업대상물에 제2전극라인(370)을 원활하게 접속할 수 있도록 구성되어 있다. Meanwhile, FIG. 1(b) shows a structure in which the tongs 371 and the electrode applying tool 500 are connected to the second electrode line 370, where the electrode applying tool 500 adheres closely to the workpiece. It is configured so that the second electrode line 370 can be smoothly connected to the cylindrical workpiece through the band part that wraps as much as possible.

그러나 위와 같은 종래기술은 조선, 해양시설물 등의 대규모 구조물에 적용할 때 어느 정도의 이동성을 확보할 수 있고 작업의 편리성이 증진되는 효과를 기대할 수 있지만, 반도체 생산시설이나 식품, 의약품 등의 생산시설을 유지·보수하는데 적용하기에는 지나치게 부피가 크고 무거우며, 전해연마기로부터 작업현장까지 전해액의 공급 및 회수라인 2개, 전원선 2개, 제어선 1개 등 적어도 5개(회수라인을 생략하면 4개)의 라인을 연결할 수밖에 없다는 점에서 이동성과 작업편리성에 대한 현장의 요구수준에 부응하기에는 미흡함이 있었고, 특히 전해액의 공급 및 회수라인을 길게 이끌고 작업위치로 이동하기 때문에 그 라인들이 꼬이거나 폐쇄되는 등의 불편한 현상에 쉽게 노출될 수밖에 없었고, 통상적인 산성 전해액을 이용할 때 전해액의 기화에 따른 흄(Fume)의 발생으로 반도체 시설 내 민감한 센서나 제어회로기판 등에 영향을 미쳐 그 흄(Fume)으로 인한 치명적 결함이 유발될 가능성이 상존하고 있었으며, 작업자의 피부와 호흡기에 부작용을 일으킬 수 있어 보건위생을 중시하는 식품, 의약품 분야에서의 안전성을 담보하지 못하는 현실적인 한계가 있었다.However, when the above prior art is applied to large-scale structures such as shipbuilding and marine facilities, it is possible to secure some degree of mobility and to improve the convenience of work, but semiconductor production facilities or production of food and medicine It is too bulky and heavy to apply to the maintenance and repair of the facility, and at least 5 (if omitting the recovery line, 4 In that there is no choice but to connect two lines, it was insufficient to meet the level of mobility and work convenience at the site. When using a conventional acidic electrolyte, the generation of fumes due to vaporization of the electrolyte affects sensitive sensors or control circuit boards in semiconductor facilities, resulting in There was always a possibility of fatal defects, and it could cause side effects on the skin and respiratory system of workers, so there was a realistic limit that could not guarantee safety in the field of food and medicine that emphasizes health and hygiene.

본 발명은 위와 같은 현실적 한계를 극복하기 위해 착안한 것으로, 종래의 전해연마기 구조를 재설계하여 이동성과 작업의 편리성을 증진시키고, 인체에 무해한 중성염을 전해액으로 활용하여 초정밀 반도체 생산설비의 결함유발을 방지하면서 보건위생의 안전성을 확보하며, 다양한 작업환경이나 설비규모에 능동적으로 적용할 수 있어 현장의 요구수준을 충족시킬 수 있는 맞춤형 전해연마기를 제안하는 것이다. The present invention was conceived in order to overcome the above practical limitations, and redesigned the structure of the conventional electrolytic polisher to improve mobility and work convenience, and to utilize neutral salt harmless to the human body as an electrolyte for defects in ultra-precision semiconductor production equipment. It is to propose a customized electropolishing machine that can meet the level of demand in the field by ensuring the safety of health and sanitation while preventing induction, and actively applying it to various working environments and facility scales.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전해연마기의 기본구성을 보여주고 있다. 도 2의 전해연마기는 본체(10)와 작업함(2)을 분리하여 구성하고, 본체(10)와 작업함(20)의 연결라인을 전원선(70)과 제어선(60)으로 단순화하며, 전해연마액의 이송호스(80)가 작업함(20)과 연마패드(41) 사이에만 존재하도록 그 길이를 단축하여 작업의 편리성을 확보할 수 있도록 구성한 것이 특징이다. 이때 본체(10)에는 제어부(11), 정류부(12) 및 출력부(13)가 배치되고, 작업함(20)에는 교체가능한 1~2리터 용량의 전해연마액 저장통(21)과 전해연마액의 공급·회수를 지원하는 정/역 회전펌프(22) 및 출력전압 선택이나 정/역 회전펌프(22)의 정회전 또는 역회전을 선택할 수 있도록 지원하는 조작패널(23)을 구비하도록 구성한다. 그리고 토치(30)에는 전해연마액의 공급량을 조절할 수 있는 스위치(미도시)가 구비되어 있다. 2 shows the basic configuration of an electropolishing machine according to a preferred embodiment of the present invention. The electrolytic polishing machine of FIG. 2 is configured by separating the main body 10 and the working box 2, and the connection line between the main body 10 and the working box 20 is simplified to a power line 70 and a control line 60, , It is characterized in that the transfer hose 80 of the electropolishing liquid is configured to ensure the convenience of work by shortening the length so that it exists only between the work box 20 and the polishing pad 41. At this time, the control unit 11, the rectifying unit 12, and the output unit 13 are disposed in the main body 10, and in the work box 20, a replaceable electrolytic polishing liquid reservoir 21 with a capacity of 1 to 2 liters and an electrolytic polishing liquid It is configured to have a forward/reverse rotation pump 22 that supports the supply and recovery of and an operation panel 23 that supports selection of output voltage or forward or reverse rotation of the forward/reverse rotation pump 22. . In addition, the torch 30 is provided with a switch (not shown) capable of adjusting the supply amount of the electropolishing liquid.

도 2의 전해연마기를 이용하여 전해연마작업을 수행하기 위해서는 우선 예정된 작업현장 근처로 본체(10)와 작업함(20)을 이동시키고, 본체(10)는 지면에 두고 연결라인(60,70)을 인출하면서 작업자가 작업함(20)과 토치(30)를 가지고 수직이동 사다리차 등으로 작업현장에 도착하여 전해연마 작업을 수행하게 된다. 이때 본체(10)와 작업함(20)의 연결라인(60, 70)에는 종래기술과 달리 전해연마액 호스가 배제되고 단순히 제어선(60)과 전원선(70)으로만 이루어져 있기 때문에 전해연마액 호스(80)의 꼬임이나 막힘 현상 등에 의한 부작용을 방지할 수 있게 되어 별도의 보조 지원인력을 투입할 필요성이 없어지는 장점을 갖게 된다. In order to perform the electropolishing operation using the electropolishing machine of FIG. 2, the main body 10 and the working box 20 are first moved to the vicinity of the scheduled work site, the main body 10 is placed on the ground, and the connection lines 60 and 70 While withdrawing the work box 20 and the torch 30, the worker arrives at the work site with a vertically moving ladder truck, etc., and performs the electrolytic polishing operation. At this time, unlike the prior art, the connection lines 60 and 70 between the main body 10 and the work box 20 do not have electrolytic polishing liquid hoses and simply consist of only the control line 60 and the power line 70, so electropolishing It is possible to prevent side effects caused by twisting or clogging of the liquid hose 80, thereby eliminating the need for additional auxiliary support personnel.

그리고 전해연마액은 작업함(20)에 구비된 정/역 회전펌프(22)의 가동을 통해 (-)전극판(70)을 경유하여 연마패드(41)로 공급되는데, 그 공급경로에 있는 토치(30)의 스위치(미도시)를 통해 연마액의 공급량을 조절할 수 있고, 정/역 회전펌프(22)는 조작패널(23)에 구비된 스위치(미도시)의 조작을 통해 정회전(전해연마액 송급)과 역회전(전해연마액 회수)을 선택할 수 있게 된다.In addition, the electrolytic polishing liquid is supplied to the polishing pad 41 via the (-) electrode plate 70 through the operation of the forward/reverse rotation pump 22 provided in the work box 20, The supply amount of the polishing liquid can be adjusted through a switch (not shown) of the torch 30, and the forward/reverse rotation pump 22 rotates forward through operation of a switch (not shown) provided on the control panel 23 ( Supply of electropolishing solution) and reverse rotation (recovery of electropolishing solution) can be selected.

또한, 연마패드(41)는 열에 강한 면 재질이나 휄트(Felt)재질 또는 아라미드섬유 직물을 사용하여 연마용액이 노즐을 따라 자연스럽게 스며들 수 있도록 하고, 전해연마 원리상 장시간 사용시 점차 얇아지는 문제를 해결하기 위해 주기적으로 손쉽게 교체할 수 있도록 (-)전극판(70)과 연마패드(41)를 나사결합의 고정방식을 채택하여 구성하는 것이 바람직하다. In addition, the polishing pad 41 uses a cotton material, felt material, or aramid fiber fabric that is resistant to heat so that the polishing solution can naturally permeate along the nozzle, and the electropolishing principle solves the problem of gradually becoming thinner when used for a long time In order to do this, it is preferable to configure the (-) electrode plate 70 and the polishing pad 41 by adopting a fixing method of screw coupling so that they can be easily replaced periodically.

이러한 도 2의 전해연마기에 의하면, 작업자가 작업함(20)을 가까이 두고 대상물의 연마작업을 수행할 수 있기 때문에 전해연마액 이송호스(80)가 짧아지는 장점은 있지만, 인체에 유해성이 있는 산성 전해연마액을 이용하는 경우에는 근접작업의 특성상 안전사고의 위험성도 안고 있는 양면성이 있다. According to the electropolishing machine of FIG. 2, since the operator can perform the polishing work of the object with the work box 20 close to it, there is an advantage in that the electrolytic polishing liquid transfer hose 80 is shortened, but the acid that is harmful to the human body In the case of using electrolytic polishing liquid, there is a double-sidedness that also has the risk of safety accidents due to the nature of close-up work.

따라서 도 2의 전해연마기의 장점을 최대한 살리기 위해서는 인체에 무해한 중성염 전해연마액의 사용을 우선적으로 고려할 필요가 있다. 중성염 전해연마액은 시설물 벽이나 바닥 등에 노출되어도 변색 또는 부식을 유발하지 않고 교류와 직류전원에서도 사용이 가능한 장점이 있는데, 그 중성염의 조성농도는 작업소요시간과 작업효율 등을 고려하여 실험적으로 결정한다. 특히, SUS((Steel Use Stainless) 구조물에 적용할 경우의 바람직한 중성염 전해연마액 성분으로는 무기화합물인 피로인산칼륨 또는 제1인산칼륨을 0.5~8%, 헥사메타인산나트륨 또는 차아인산나트륨 5~15%, 제2인산나트륨 또는 제2인산칼륨 5~15%를 증류수와 혼합하여 PH 6~8 사이로 설정하여 사용한다. 다만, 이론상 PH조절제로 수산화나트륨 또는 수산화칼륨 등의 가성소다 계열의 물질을 사용하여 PH를 맞출 수는 있지만, 이는 본 발명의 주요 작업대상물인 SUS배관 표면에 얼룩 또는 데미지를 유발하기 때문에 이들 가성소다 계열의 물질을 사용하는 것은 본 발명에서 의식적으로 배제하는 것으로 하고 있다. Therefore, in order to maximize the advantages of the electropolishing machine of FIG. 2, it is necessary to consider the use of a neutral salt electropolishing liquid harmless to the human body first. Neutral salt electrolytic polishing liquid does not cause discoloration or corrosion even when exposed to walls or floors of facilities, and can be used in AC and DC power sources. Decide. In particular, when applied to SUS (Steel Use Stainless) structures, preferred neutral salt electrolytic polishing solution components include 0.5 to 8% of potassium pyrophosphate or potassium monophosphate, which is an inorganic compound, sodium hexametaphosphate or sodium hypophosphite 5 ~15% of sodium phosphate dibasic or 5% to 15% of potassium dibasic phosphate is mixed with distilled water and used by setting the pH between 6 and 8. However, in theory, caustic soda-type substances such as sodium hydroxide or potassium hydroxide as a PH regulator PH can be adjusted using , but since this causes stains or damage to the surface of the SUS pipe, which is the main workpiece of the present invention, the use of these caustic soda-based materials is consciously excluded in the present invention.

이처럼 중성염 전해연마액을 이용하면, 통상적인 산성 전해액을 이용할 때 산성 전해액의 기화에 따른 흄(Fume)의 발생으로 반도체 시설 내 민감한 센서나 제어회로기판 등에 영향을 미쳐 그 흄(Fume)에 의해 발생할 수 있는 치명적 결함이 방지되는 효과를 기대할 수 있고, 보건위생을 중시하는 식품, 의약 분야에서 작업자의 피부와 호흡기에 미치는 악영향을 해소할 수 있을 뿐만 아니라 식품, 의약품 자체의 안전성 제고에도 기여하게 될 것이다. 다만, 반도체의 클린룸과 같은 특수한 환경에서의 유지보수 작업에 적용할 경우에는 중성염 전해연마액을 사용하더라도 연마패드(41)나 전극물질(40)로 탄소섬유 등의 카본계 재질을 사용하는 것은 의도적으로 배제되어야 한다는 점에 유의해야 할 것이다. In this way, when neutral salt electropolishing solution is used, fume is generated due to vaporization of acidic electrolyte when using normal acidic electrolyte, which affects sensitive sensors or control circuit boards in semiconductor facilities. The effect of preventing fatal defects that may occur can be expected, and in the field of food and medicine that emphasizes health and hygiene, it can solve adverse effects on the skin and respiratory system of workers, as well as contribute to improving the safety of food and medicine itself. will be. However, when applied to maintenance work in a special environment such as a semiconductor clean room, even if a neutral salt electrolytic polishing solution is used, a carbon-based material such as carbon fiber is used as the polishing pad 41 or electrode material 40 It should be noted that it must be deliberately excluded.

그렇지만 본 발명의 전해연마기는 반도체나 식품, 의약품 등의 클린룸에 적용되는 것으로만 한정되는 것은 아니며, 별도의 안전대책이 마련된 다른 분야의 야외작업 등에는 필요에 따라 산성 전해연마액을 사용하는 것도 얼마든지 가능하다. 이때 반도체나 식품, 의약품 등의 클린룸 이외의 분야에서 사용하는 전해연마액은 연마작업의 특성, 작업 대상물의 규모나 설치위치 및 작업환경 등을 고려하여 상황에 맞게 산성 또는 중성염 전해연마액을 선택하여 사용할 수 있을 것이다.However, the electropolishing machine of the present invention is not limited to being applied to clean rooms such as semiconductors, food, and pharmaceuticals, and it is also possible to use acidic electropolishing liquid as necessary for outdoor work in other fields where separate safety measures are provided. Anything is possible. At this time, the electrolytic polishing liquid used in areas other than clean rooms such as semiconductors, food, and pharmaceuticals is acidic or neutral salt electrolytic polishing liquid according to the situation in consideration of the characteristics of the polishing work, the scale or installation location of the work object, and the working environment. You can choose to use it.

한편, 작업대상물에 체결되는 (+)전극 클램프(50)와 (-)전극판을 감싸는 구조의 연마패드(41)를 통해 이루어지는 전해연마 작업은 이미 잘 알려진 공지기술이 그대로 적용하기 때문에 여기에서는 그 작업과정에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다. On the other hand, the electrolytic polishing work performed through the (+) electrode clamp 50 fastened to the work object and the polishing pad 41 having a structure surrounding the (-) electrode plate is applied as is the well-known technology, so here it is. A detailed description of the working process will be omitted.

도 2의 구성에 따르면, 본체(10)를 작업현장 근처에 위치시키고 작업자가 사다리차 등을 이용하여 한층 가벼워진 작업함(20)만을 들고 작업현장까지 이동하는 것이 쉬워지고, 취급이 까다로웠던 전해연마액 이송호스(80)를 작업함(20)과 전극판(40) 사이에만 짧은 길이로 한정하여 배치함으로써, 전해연마액 이송호스(80)의 꼬임 등으로 인한 전해연마액의 막힘 현상이나 불의의 누출사고를 예방할 수 있고, 예상치 못한 전해연마액 누출로 인한 주변 전자부품의 손상이나 감전 등의 부작용을 방지할 수 있는 효과가 있다.According to the configuration of FIG. 2, it is easy for the body 10 to be located near the work site and the operator to move to the work site with only the lighter work box 20 using a ladder truck, etc., and the electropolishing that was difficult to handle. By disposing the liquid transfer hose 80 limited to a short length only between the work box 20 and the electrode plate 40, the electropolishing liquid transfer hose 80 is twisted, resulting in clogging of the electropolishing liquid or unexpected problems. A leakage accident can be prevented, and side effects such as damage to nearby electronic components or electric shock due to unexpected electrolytic polishing liquid leakage can be prevented.

또한, 도 2의 구성에 따르면, 전해연마액 저장통(21)을 작업함(20)에 고정시키지 않고 1~2리터 용량의 플라스틱 저장통(21)을 사용함으로써, 마개부분을 풀어 새로운 저장통으로 교체하는 것이 용이할 뿐만 아니라 작업함(20)의 무게를 줄이는 것도 가능하며, 그로 인해 작업자가 작업함(20)의 손잡이(24)를 잡고 작업현장까지 편리하게 이동시킬 수 있는 효과를 기대할 수 있을 것이다. In addition, according to the configuration of FIG. 2, by using a plastic reservoir 21 with a capacity of 1 to 2 liters without fixing the electrolytic polishing liquid reservoir 21 to the work box 20, the stopper is unscrewed and replaced with a new reservoir. It is not only easy to do, but also it is possible to reduce the weight of the work box 20, so that the operator can hold the handle 24 of the work box 20 and conveniently move it to the work site.

도 3은 본 발명의 다른 실시예를 보여주고 있다. 도 3은 연결대(90)의 구조를 개선한 것으로, 토치(30)와 전극판(40) 사이의 이송호스(80)에 잔류하고 있는 전해연마액의 불필요한 누설을 방지하기 위해 전극판(40)과 연결대(90) 사이에 플립오프캡(Flip-off Cap, 91)을 부가한 것이 특징이다. 그러한 연결대(90)의 일단은 고무O링을 개입시켜 토치(30)에 나사 결합되고 다른 일단은 볼트체결 방식의 전극판(40) 내부에 플립오프캡(91)을 장착하여 체결너트(92)로 고정하도록 구성되어 있다. 3 shows another embodiment of the present invention. 3 shows an improved structure of the connecting rod 90, and the electrode plate 40 is used to prevent unnecessary leakage of the electrolytic polishing liquid remaining in the transfer hose 80 between the torch 30 and the electrode plate 40. It is characterized by adding a flip-off cap (91) between the connecting rod (90). One end of the connecting rod 90 is screwed to the torch 30 through a rubber O-ring, and the other end is fastened by mounting a flip-off cap 91 inside the electrode plate 40 in a bolt-on type to secure a fastening nut 92 It is configured to be fixed with .

도 3의 연결대 구조에 의하면, 정/역 회전펌프(22)의 정회전시에는 펌프압력에 의해 플립오프캡(91)이 열리면서 연마액을 공급할 수 있으나, 작업을 마친 후 보관할 때는 조작패널(23)의 스위치 조작을 통해 의도적으로 정/역 회전펌프(22)를 역회전시켜 연결대의 이송호스(80)와 토치(30)에 잔류하고 있는 전해액을 저장통(21)으로 회수되게 함으로써, 창고보관이나 수리 또는 소모품 교체작업시 잔류 전해액의 불필요한 누출이 방지되어 주변시설의 오염을 방지하는 효과를 기대할 수 있을 것이다. According to the connecting rod structure of FIG. 3, when the normal/reverse rotation pump 22 rotates forward, the flip-off cap 91 is opened by the pump pressure to supply the polishing liquid. Through the operation of the switch, the forward/reverse rotation pump 22 is intentionally rotated in reverse to recover the electrolyte remaining in the transfer hose 80 and the torch 30 of the connecting rod to the storage container 21, thereby storing or repairing Alternatively, when replacing consumables, unnecessary leakage of residual electrolyte is prevented, and thus, an effect of preventing contamination of surrounding facilities can be expected.

도 4는 본 발명의 연결대(90) 구조에 대한 또 다른 실시예를 보여주고 있다. 도 4는 연결대(90)의 끝단부에 구비된 손잡이부(93)와 전극판(40)을 고무 O링(32)을 개입시켜 자바라식관(94)으로 연결한 것이 특징이다. 이와 같이 연결대(90)의 끝단부를 자바라식관(94)으로 연장하여 구성하면 전극판(40)이 상하좌우로 자유로이 움직일 수 있게 되어 좁은 공간에서의 작업자유도가 증진되는 효과를 기대할 수 있을 것이다. 4 shows another embodiment of the structure of the connector 90 of the present invention. 4 is characterized in that the handle part 93 provided at the end of the connecting rod 90 and the electrode plate 40 are connected by a bellows type pipe 94 through a rubber O-ring 32. In this way, if the end of the connecting rod 90 is configured by extending the bellows type pipe 94, the electrode plate 40 can move freely up, down, left and right, so that the effect of increasing worker freedom in a narrow space can be expected.

그리고 도 5는 전해연마 과정에서 작업대상물 밑으로 흘러내리는 전해연마액을 처리하기 위한 흡착패드가 부착된 구조를 보여주고 있다. 본 발명의 전해연마기는 면이나 섬유재질의 연마패드(41)에 전해연마액을 흡수시킨 상태에서 (+), (-)전극을 통해 전해작용을 유도하기 때문에 전해연마액이 작업대상물에서 흘러내리는 것을 피할 수는 없다. 그처럼 흘러내리는 전해연마액을 방치하면 작업현장 주변이나 바닥이 얼룩으로 오염되고 미관을 해칠 수도 있으므로, 도 5와 같은 구조의 간단한 흡착패드를 이용하여 작업현장의 주변을 관리하는 것이 바람직하다. 이때 흡착패드는 방수천으로 제작한 방수패드(97) 위에 용액패드(96)를 올려놓을 수 있는 구조로 제작하되, 방수패드(97)의 4면 끝단부에 작은 직경의 스텐봉을 삽입한 후 재봉마감하는 방식으로 제작하면, 방수패드(97)와 용액패드(96)가 접히지 않고 펼쳐진 상태가 유지되어 넓은 면적의 낙하용액을 커버할 수 있는 효과를 기대할 수 있을 것이다. 그리고 방수패드(97)는 4면 끝단에 연결된 웨빙끈(98)과 결착수단(벨크로 타이(95) 또는 버클 등)을 이용하여 작업대상물의 크기에 따라 웨빙끈(98)을 조절하면서 상면을 감싸는 구조로 결합하여 사용하면, 방수패트(97) 위에 놓인 용액패드(96)를 수시로 교체하는 것만으로 낙하용액을 쉽게 처리할 수 있는 장점을 갖게 될 것이다. And FIG. 5 shows a structure in which an adsorption pad for treating electropolishing liquid flowing down a workpiece during the electropolishing process is attached. The electropolishing machine of the present invention induces an electrolytic action through the (+) and (-) electrodes in a state where the polishing pad 41 made of cotton or fiber absorbs the electropolishing liquid, so that the electropolishing liquid does not flow down from the workpiece. can't avoid If the flowing electropolishing liquid is left unattended, the surroundings of the work site or the floor may be contaminated with stains and may impair the aesthetics. At this time, the suction pad is made of a structure in which the solution pad 96 can be placed on the waterproof pad 97 made of waterproof fabric, but after inserting a small diameter stainless steel rod into the four-sided end of the waterproof pad 97 When manufactured in a sewing-finished manner, the waterproof pad 97 and the solution pad 96 are maintained in an unfolded state without being folded, so that an effect of covering a large area of the falling solution can be expected. In addition, the waterproof pad 97 wraps the upper surface while adjusting the webbing strap 98 according to the size of the work object using the webbing strap 98 connected to the end of the four sides and a binding means (Velcro tie 95 or buckle, etc.) When used in combination with the structure, it will have the advantage of being able to easily handle the falling solution simply by replacing the solution pad 96 placed on the waterproof pad 97 from time to time.

한편, 도 6은 반도체나 식품, 의약품 분야 이외의 야외설비에서 전해연마 작업을 진행할 경우에 도 3의 전극판(40)과 연마패드(41)를 탄소섬유 소재의 붓패드로 대체하여 사용하는 것을 보여주고 있다. 이때 대체구조는 절연수축튜브의 일단이 고무 O링(32)를 개입시켜 토치(30)에 나사결합되고 타단은 탄소섬유 붓패드에 나사결합되며, 탄소섬유 붓패트의 전해연마액이 주변으로 비산되지 않도록 붓패트 연결대를 감싸는 구조로 투명테프론 튜브를 설치하고 붓패드 연결대와 투명테프론 튜브 사이에 2개의 고무 O링(32)을 개입시켜 전해연마액의 공급경로가 붓패드 방향으로 형성되도록 구성되어 있다. On the other hand, FIG. 6 shows that the electrode plate 40 and the polishing pad 41 of FIG. 3 are replaced with a brush pad made of carbon fiber when electrolytic polishing is performed in an outdoor facility other than the semiconductor, food, or pharmaceutical fields. are showing At this time, the alternative structure is that one end of the insulating shrink tube is screwed to the torch 30 through the rubber O-ring 32 and the other end is screwed to the carbon fiber brush pad, and the electrolytic polishing liquid of the carbon fiber brush pad is scattered around. A transparent Teflon tube is installed in a structure that surrounds the brush pad connecting rod so that the supply path of the electropolishing liquid is formed in the direction of the brush pad by interposing two rubber O-rings (32) between the brush pad connecting rod and the transparent Teflon tube. there is.

그러한 대체구조를 채택하면, 도 3과 같은 전극판(40)과 연마패드(41)의 구조를 사용할 때보다 작업속도가 빠르고 전극판(40)의 교체주기를 늘릴 수 있다는 점에서 작업효율이 증진되는 효과를 기대할 수 있을 것이다. If such an alternative structure is adopted, work efficiency is improved in that the work speed is faster than when the structure of the electrode plate 40 and the polishing pad 41 as shown in FIG. 3 is used and the replacement cycle of the electrode plate 40 can be increased. effect can be expected.

이상으로 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되는 것은 아니며, 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형실시가 가능할 것이다.Although preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and anyone skilled in the art can make various modifications without departing from the gist of the present invention. It will be possible.

10 : 본체 11 : 제어부
12 : 정류부 13 : 출력부
14, 24 : 손잡이 20 : 작업함
21 : 전해연마액 저장통 22 : 정/역 회전펌프
23 : 조작패널 30 : 토치
31 : 체결너트 32 : 고무 O링
40 ; (-)전극판 41 : 연마패드
50 : (+)전극클램프 60, 61 : 제어선
70, 71, 72 : 전원선 80 : 전해연마액 이송호스
90 : 연결대 91 : 플립오프캡(Flip-off Cap)
92 : 체결너트 93 : 연마손잡이
94 : 자바라식 연결대 95 : 벨크로 타이
96 : 용액패드 97 : 방수패드
98 : 웨빙끈 99 : 낙하용액
10: body 11: control unit
12: rectifier 13: output unit
14, 24: handle 20: work box
21: electrolytic polishing liquid reservoir 22: forward / reverse rotation pump
23: operation panel 30: torch
31: fastening nut 32: rubber O-ring
40; (-) electrode plate 41: polishing pad
50: (+) electrode clamp 60, 61: control line
70, 71, 72: power line 80: electropolishing liquid transfer hose
90: connecting rod 91: flip-off cap
92: fastening nut 93: polishing handle
94: Bellows type connector 95: Velcro tie
96: solution pad 97: waterproof pad
98: webbing strap 99: falling solution

Claims (7)

본체(10)와 작업함(20)을 구비된 중성염 전해액을 이용한 포터블 전해연마기에 있어서,
상기 본체(10)와 상기 작업함(20)은 서로 분리하여 구성하되,
상기 본체(10)는 제어부(11), 정류부(12) 및 출력부(13)를 포함하고,
상기 작업함(20)은 전해연마액 저장통(21), 정/역 회전펌프(22) 및 조작패널(23)을 포함하도록 구성되며,
상기 본체(10)와 작업함(20)은 전원선(70)과 제어선(60)으로 연결되고, 상기 작업함(20)에는 (-)전원선(71)과 제어선(61) 및 전해연마액 이송호스(80)를 통해 토치(30)와 연결되며,
상기 토치(30)와 연마패드(41)는 전원선(70)과 전해연마액 호스(80)가 내장된 연결대(90)를 경유하여 결합되고,
상기 작업함(20)의 (+)전원선(72)은 작업대상물에 연결할 수 있도록 지원하는 클램프(50)가 부착된 것이 특징인 중성염 전해액을 이용한 포터블 전해연마기
In the portable electropolishing machine using a neutral salt electrolyte having a main body 10 and a work box 20,
The main body 10 and the work box 20 are configured separately from each other,
The body 10 includes a control unit 11, a rectification unit 12 and an output unit 13,
The work box 20 is configured to include an electrolytic polishing liquid reservoir 21, a forward/reverse rotation pump 22 and an operation panel 23,
The main body 10 and the work box 20 are connected by a power line 70 and a control line 60, and a (-) power line 71 and a control line 61 and an electrolysis in the work box 20 It is connected to the torch 30 through the abrasive liquid transfer hose 80,
The torch 30 and the polishing pad 41 are coupled via a power supply line 70 and a connecting rod 90 in which an electrolytic polishing liquid hose 80 is embedded,
Portable electropolishing machine using neutral salt electrolyte, characterized in that the (+) power line 72 of the work box 20 is attached with a clamp 50 that supports connection to the work object
제1항에 있어서,
SUS(Steel Use Stainless) 구조물의 전해연마를 위해 사용하는 상기 중성염 전해연마액은 무기화합물인 피로인산칼륨 또는 제1인산칼륨을 0.5~8%, 헥사메타인산나트륨 또는 차아인산나트륨 5~15%, 제2인산나트륨 또는 제2인산칼륨 5~15%를 증류수와 혼합하여 PH 6~8로 설정한 것이 특징인 중성염 전해액을 이용한 포터블 전해연마기
According to claim 1,
The neutral salt electropolishing solution used for electropolishing of SUS (Steel Use Stainless) structures contains 0.5 to 8% of potassium pyrophosphate or potassium monophosphate, an inorganic compound, and 5 to 15% of sodium hexametaphosphate or sodium hypophosphite. Portable electropolishing machine using neutral salt electrolyte, which is characterized by mixing 5-15% of dibasic sodium phosphate or dibasic potassium phosphate with distilled water and setting it to PH 6-8
제2항에 있어서,
상기 중성염 전해연마액의 PH조절제에는 수산화나트륨 또는 수산화칼륨 등의 가성소다 계열의 물질을 포함하지 않는 것이 특징인 중성염 전해액을 이용한 포터블 전해연마기
According to claim 2,
A portable electropolishing machine using a neutral salt electrolyte, characterized in that the pH regulator of the neutral salt electropolishing liquid does not contain caustic soda-based substances such as sodium hydroxide or potassium hydroxide.
제1항에 있어서,
상기 연결대(90)와 상기 전극판(40)은 체결너트(92)를 통해 고정한 결합부를 포함하되,
상기 결합부의 내부에는 플립오프캡(91)을 장착하여 연결대(90)의 이송호스(80)와 토치(30)에 잔류하고 있는 전해연마액의 누출이 방지되도록 구성한 것이 특징인 중성염 전해액을 이용한 포터블 전해연마기
According to claim 1,
The connection base 90 and the electrode plate 40 include a coupling portion fixed through a fastening nut 92,
A flip-off cap 91 is installed inside the coupling part to prevent leakage of the electrolytic polishing liquid remaining in the transfer hose 80 and the torch 30 of the connecting table 90. Portable Electropolishing Machine
제1항에 있어서,
상기 연결대(90)는 자바라 형태의 튜브로 제작하여 작업위치에 따라 전극판(40)이 상, 하, 좌, 우로 조절할 수 있도록 구성한 것이 특징인 중성염 전해액을 이용한 포터블 전해연마기
According to claim 1,
The connecting table 90 is made of a bellows-shaped tube, so that the electrode plate 40 can be adjusted upward, downward, left, or right according to the working position. A portable electrolytic polisher using neutral salt electrolyte.
제1항에 있어서,
상기 작업대상물의 외부에는 흡착패드가 더 부착되도록 구성하되, 상기 흡착패드는 버클 또는 벨크로 타이(95)로 이루어진 결착수단과 상기 작업대상물의 크기에 따라 조절할 수 있는 웨빙끈(98)을 구비하고, 상기 부착은 상기 작업대상물의 상부를 감싸면서 걸려 있는 형태이며,
상기 흡착패드는 방수천으로 제작된 방수패드(97) 위에 용액패드(96)를 올려놓을 수 있는 구조로 제작하고, 상기 방수패드(97)는 4면 끝단부에 작은 직경의 스텐봉을 삽입하여 재봉마감으로 제작된 것이 특징인 중성염 전해액을 이용한 포터블 전해연마기
According to claim 1,
A suction pad is further attached to the outside of the workpiece, and the suction pad includes a binding means made of a buckle or a Velcro tie 95 and a webbing strap 98 that can be adjusted according to the size of the workpiece, The attachment is in the form of hanging while wrapping the upper part of the work object,
The suction pad is made of a structure in which the solution pad 96 can be placed on the waterproof pad 97 made of waterproof fabric, and the waterproof pad 97 has a small diameter stainless steel rod inserted at the end of the four sides to Portable electrolytic polishing machine using neutral salt electrolyte, which is characterized by being manufactured with a sewing finish
반도체, 식품, 의약품 분야 이외의 일반적인 분야에 적용하는 제1항의 중성염 전해액을 이용한 포터블 전해연마기에 있어서,
상기 연결대(90)는 절연수축튜브의 일단이 고무 O링(32)를 개입시켜 토치(30)에 나사결합을 이루고 타단은 탄소섬유 붓패드에 나사결합을 이루도록 제작하되, 상기 탄소섬유 붓패트의 외부에는 전해연마액의 비산을 방지하도록 투명테프론 튜브가 설치되고,
상기 붓패드 연결대와 상기 투명테프론 튜브 사이에는 2개의 고무 O링(32)을 개입시켜 전해연마액의 공급경로가 붓패드 방향으로 형성되도록 구성한 것이 특징인 중성염 전해액을 이용한 포터블 전해연마기
In the portable electropolishing machine using the neutral salt electrolyte of claim 1 applied to general fields other than semiconductor, food, and pharmaceutical fields,
The connector 90 is manufactured so that one end of the insulating shrink tube is screwed to the torch 30 through the rubber O-ring 32 and the other end is screwed to the carbon fiber brush pad, A transparent Teflon tube is installed outside to prevent scattering of the electrolytic polishing liquid,
A portable electropolishing machine using a neutral salt electrolyte characterized in that a supply path of the electropolishing liquid is formed in the direction of the brush pad by interposing two rubber O-rings 32 between the brush pad connecting rod and the transparent Teflon tube.
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