KR20230017543A - Apparatus for analyzing droplet and method for analyzing droplet - Google Patents

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KR20230017543A
KR20230017543A KR1020210099164A KR20210099164A KR20230017543A KR 20230017543 A KR20230017543 A KR 20230017543A KR 1020210099164 A KR1020210099164 A KR 1020210099164A KR 20210099164 A KR20210099164 A KR 20210099164A KR 20230017543 A KR20230017543 A KR 20230017543A
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진원용
장석원
강한림
박솔민
이호상
이재덕
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세메스 주식회사
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Abstract

The present invention is to provide a chemical analysis apparatus and a chemical analysis method which can analyze a chemical solution discharged from an inkjet head in a relatively short time and can analyze various discharge information at a time. A chemical analysis apparatus includes a first module acquiring first information about a first point in a first space where a chemical solution discharged from an inkjet head passes, a second module for acquiring second information about a second point in a second space under the first space where the chemical solution passes, and an analyzer for analyzing discharge information about the chemical solution based on the first information and the second information from the first module and the second module.

Description

약액 분석 장치 및 약액 분석 방법{APPARATUS FOR ANALYZING DROPLET AND METHOD FOR ANALYZING DROPLET}Chemical liquid analysis device and chemical liquid analysis method

본 발명은 약액 분석 장치 및 약액 분석 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 잉트젯 헤드로부터 토출되는 약액에 대한 토출 정보를 분석하기 위한 약액 분석 장치 및 약액 분석 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a drug solution analysis device and a method for analyzing a drug solution. More specifically, the present invention relates to a liquid chemical analysis device and a liquid chemical analysis method for analyzing discharge information on liquid liquid discharged from an inkjet head.

OLED, QLED 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 기판에 약액을 토출하는 약액 토출 공정을 수행할 수 있다.In the manufacture of display devices such as OLEDs and QLEDs, a chemical solution discharging process may be performed to discharge a chemical solution onto a substrate.

약액 토출 공정은 주로 잉크젯 헤드 등을 구비하는 약액 토출 장치를 사용함에 의해 이루어질 수 있는데, 기판에 토출되는 약액의 토출량, 크기, 토출 지점 등이 중요한 공정 조건으로 관리될 수 있다.The chemical liquid ejection process can be mainly performed by using a chemical liquid ejection device having an inkjet head, etc., and the amount, size, and discharge point of the chemical liquid discharged to the substrate can be managed as important process conditions.

이에, 기판에 토출되는 약액의 토출량, 크기, 토출 지점 등을 관리할 수 있게 약액 토출 장치의 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액을 분석하는 분석 공정을 수행할 수 있다.Accordingly, an analysis process of analyzing the chemical liquid discharged from the inkjet head of the chemical liquid ejection apparatus may be performed to manage the amount, size, and discharge point of the chemical liquid discharged onto the substrate.

대한민국 특허등록 10-2238130Korean patent registration 10-2238130 대한민국 특허등록 10-1657485Korean patent registration 10-1657485

본 발명의 일 과제는 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액을 상대적으로 빠른 시간에 분석할 수 있고, 한 번에 상대적으로 보다 다양한 토출 정보를 분석할 수 있음과 아울러 기판 또는 필름 등과 같은 부재를 사용하지 않고도 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액을 분석할 수 있는 약액 분석 장치를 제공하는데 있다.One object of the present invention is to be able to analyze chemical liquid discharged from an inkjet head in a relatively quick time, to analyze relatively more diverse discharge information at one time, and to use inkjet without using a member such as a substrate or film. It is an object of the present invention to provide a liquid chemical analysis device capable of analyzing liquid liquid discharged from a head.

본 발명의 다른 과제는 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액을 상대적으로 빠른 시간에 분석할 수 있고, 한 번에 상대적으로 보다 다양한 인자를 분석할 수 있음과 아울러 기판 또는 필름 등과 같은 부재를 사용하지 않고도 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액을 분석할 수 있는 약액 분석 방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to be able to analyze the chemical solution discharged from the inkjet head in a relatively quick time, to analyze a relatively diverse number of factors at one time, and to be able to analyze the inkjet head without using a member such as a substrate or film. It is an object of the present invention to provide a method for analyzing a chemical solution capable of analyzing a chemical solution discharged from a liquid.

본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치는 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액이 지나가는 제1 공간에서의 제1 지점에 대한 제1 정보를 획득하는 제1 모듈과, 상기 제1 공간 아래에 상기 약액이 지나가는 제2 공간에서의 제2 지점에 대한 제2 정보를 획득하는 제2 모듈, 및 상기 제1 모듈 및 상기 제2 모듈로부터의 상기 제1 정보 및 상기 제2 정보에 근거하여 상기 약액에 대한 토출 정보를 분석하는 분석부를 포함할 수 있다.An apparatus for analyzing a chemical liquid according to exemplary embodiments for achieving one object of the present invention includes a first module for obtaining first information about a first point in a first space through which a liquid liquid discharged from an inkjet head passes; a second module acquiring second information about a second point in a second space where the liquid medicine passes under the first space, and the first information and the second information from the first module and the second module; An analysis unit may be included to analyze discharge information of the liquid medicine based on the above.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 정보는 상기 제1 지점에서의 (X1, Y1, Z1)로 표시될 수 있는 제1 좌표, 및 상기 제1 지점을 지날 때의 제1 시간일 수 있고, 상기 제2 정보는 상기 제2 지점에서의 (X2, Y2, Z2)로 표시될 수 있는 제2 좌표, 및 상기 제2 지점을 지날 때의 제2 시간일 수 있고, 상기 분석부는 상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표의 차이 그리고 제1 시간 및 제2 시간의 차이에 근거하여 상기 약액에 대한 토출 정보를 분석할 수 있다.In example embodiments, the first information may be a first coordinate that may be expressed as (X1, Y1, Z1) at the first point, and a first time when passing the first point, , The second information may be a second coordinate that may be expressed as (X2, Y2, Z2) at the second point, and a second time when passing the second point, and the analysis unit may be Based on the difference between the coordinates and the second coordinate and the difference between the first time and the second time, the discharge information of the liquid medicine may be analyzed.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 공간 및 상기 제2 공간은 상기 잉크젯 헤드의 다수개의 노즐들로부터 약액이 동시에 토출될 경우에도 상기 약액 각각에 대한 제1 정보 및 제2 정보를 한 번에 획득할 수 있는 크기를 갖도록 이루어질 수 있다.In example embodiments, the first space and the second space store the first information and the second information for each of the chemical liquids at once even when the liquid liquid is simultaneously discharged from a plurality of nozzles of the inkjet head. It can be made to have an attainable size.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 모듈은 상기 제1 공간에 제1 형상을 갖는 가상 화면을 투영하는 제1 투영부, 및 상기 제1 형상을 갖는 가상 화면을 지나는 상기 약액을 감지하는 제1 감지부로 이루어지고, 상기 제2 모듈은 상기 제2 공간에 제2 형상을 갖는 가상 화면을 투영하는 제2 투영부, 및 상기 제2 형상을 갖는 가상 화면을 지나는 상기 약액을 감지하는 제2 감지부로 이루어질 수 있다.In exemplary embodiments, the first module may include a first projection unit for projecting a virtual screen having a first shape into the first space, and a first projection unit for detecting the liquid medicine passing through the virtual screen having the first shape. The second module includes a second projection unit for projecting a virtual screen having a second shape into the second space, and a second detection unit for detecting the chemical solution passing through the virtual screen having the second shape. wealth can be made.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 감지부 및 상기 제2 감지부 각각은 가상 터치 센서로 이루어질 수 있다.In example embodiments, each of the first sensing unit and the second sensing unit may include a virtual touch sensor.

본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 방법은 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액이 지나가는 제1 공간에서의 제1 지점에 대한 제1 정보를 획득하고, 상기 제1 공간 아래에 상기 약액이 지나가는 제2 공간에서의 제2 지점에 대한 제2 정보를 획득하고, 그리고 상기 제1 정보 및 상기 제2 정보에 근거하여 상기 약액에 대한 토출 정보를 분석할 수 있다.A chemical solution analysis method according to exemplary embodiments for achieving another object of the present disclosure includes obtaining first information about a first point in a first space through which a chemical solution discharged from an inkjet head passes, and below the first space. Second information about a second point in a second space through which the chemical liquid passes may be obtained, and discharge information of the chemical liquid may be analyzed based on the first information and the second information.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 정보는 상기 제1 지점에서의 (X1, Y1, Z1)로 표시될 수 있는 제1 좌표, 및 상기 제1 지점을 지날 때의 제1 시간일 수 있고, 상기 제2 정보는 상기 제2 지점에서의 (X2, Y2, Z2)로 표시될 수 있는 제2 좌표, 및 상기 제2 지점을 지날 때의 제2 시간일 수 있고, 상기 약액에 대한 토출 정보에 대한 분석은 상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표의 차이 그리고 제1 시간 및 제2 시간의 차이에 근거할 수 있다.In example embodiments, the first information may be a first coordinate that may be expressed as (X1, Y1, Z1) at the first point, and a first time when passing the first point, , The second information may be a second coordinate that may be expressed as (X2, Y2, Z2) at the second point, and a second time when passing the second point, and the discharge information for the liquid medicine Analysis of may be based on the difference between the first coordinate and the second coordinate and the difference between the first time and the second time.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 공간 및 상기 제2 공간은 상기 잉크젯 헤드의 다수개의 노즐들로부터 약액이 동시에 토출될 경우에도 상기 약액 각각에 대한 제1 정보 및 제2 정보를 한 번에 획득할 수 있는 크기를 갖도록 이루어질 수 있다.In example embodiments, the first space and the second space store the first information and the second information for each of the chemical liquids at once even when the liquid liquid is simultaneously discharged from a plurality of nozzles of the inkjet head. It can be made to have an attainable size.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 정보는 상기 제1 공간에 투영되는 제1 형상을 갖는 가상 화면을 지나는 상기 약액을 감지함에 의해 획득할 수 있고, 상기 제2 정보는 상기 제2 공간에 투영되는 제2 형상을 갖는 가상 화면을 지나는 상기 약액을 감지함에 의해 획득할 수 있다.In example embodiments, the first information may be obtained by sensing the liquid medicine passing through a virtual screen having a first shape projected in the first space, and the second information may be obtained in the second space. It can be obtained by sensing the liquid medicine passing through a virtual screen having a projected second shape.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 형상을 갖는 가상 화면 및 상기 제2 형상을 갖는 가상 화면을 지나는 약액에 대한 감지는 가상 터치 센서에 의해 이루어질 수 있다.In example embodiments, detection of liquid medicine passing through the virtual screen having the first shape and the virtual screen having the second shape may be performed by a virtual touch sensor.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치 및 약액 분석 방법은 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액에 대한 토출 정보를 약액이 지나가는 공간으로부터 획득할 수 있다.The chemical solution analysis apparatus and the chemical solution analysis method according to exemplary embodiments of the present invention may obtain information about the liquid discharged from an inkjet head from a space where the liquid liquid passes.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치 및 약액 분석 방법은 약액이 지나가는 공간을 확장시킬 경우 한 번에 많은 약액들을 분석할 수 있고, 그 결과 상대적으로 빠른 시간에 분석을 수행할 수 있기 때문에 약액 분석에 따른 효율성의 향상을 기대할 수 있을 것이다.Accordingly, the chemical solution analysis device and the method according to exemplary embodiments of the present invention can analyze many drug solutions at once when the space through which the drug solution passes is expanded, and as a result, the analysis can be performed in a relatively short time. Therefore, it can be expected to improve the efficiency according to the chemical solution analysis.

또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치 및 약액 분석 방법은 공간을 활용하는 구성을 가질 수 있기 때문에 기판 또는 필름 등과 같은 부재를 사용하지 않고도 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액을 분석할 수 있으므로 분석을 위한 부재를 소비하지 않아도 되는 이점 및 언급한 부재를 처리하지 않아도 되는 이점 등을 기대할 수 있을 것이다.In addition, the chemical solution analysis apparatus and the chemical solution analysis method according to exemplary embodiments of the present invention may have a configuration that utilizes space, so that a chemical solution discharged from an inkjet head may be analyzed without using a member such as a substrate or a film. Therefore, the advantage of not having to consume the member for analysis and the advantage of not having to process the member mentioned above can be expected.

아울러 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치 및 약액 분석 방법은 한 번에 상대적으로 보다 다양한 토출 정보를 분석할 수 있기 때문에 언급한 바와 같이 약액 분석에 따른 효율성의 향상을 기대할 수 있을 것이다.In addition, since the chemical solution analysis device and the chemical solution analysis method according to exemplary embodiments of the present invention can analyze relatively more diverse discharge information at one time, as mentioned above, the efficiency of the chemical solution analysis can be expected to be improved. .

다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the tasks and effects of the present invention are not limited to those mentioned above, and may be expanded in various ways without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2 내지 도 4는 도 1의 약액 분석 장치를 사용하여 약액 분석을 수행하는 약액 분석 방법에 대하여 설명하기 위한 도면들이다.1 is a diagram schematically illustrating an apparatus for analyzing a liquid medicine according to exemplary embodiments of the present invention.
2 to 4 are diagrams for explaining a chemical solution analysis method in which the chemical solution analysis is performed using the chemical solution analyzer of FIG. 1 .

본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예들에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.For the embodiments of the present invention disclosed in the text, specific structural or functional descriptions are only exemplified for the purpose of explaining the embodiments of the present invention, and the embodiments of the present invention may be implemented in various forms and the text It should not be construed as being limited to the embodiments described above.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Since the present invention can have various changes and various forms, specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, and should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms may be used for the purpose of distinguishing one component from another. For example, a first element may be termed a second element, and similarly, the second element may also be termed a first element, without departing from the scope of the present invention.

어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.It is understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, but other elements may exist in the middle. It should be. On the other hand, when a component is referred to as “directly connected” or “directly connected” to another component, it should be understood that no other component exists in the middle. Other expressions describing the relationship between components, such as "between" and "directly between" or "adjacent to" and "directly adjacent to", etc., should be interpreted similarly.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, terms such as "comprise" or "having" are intended to indicate that the described feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof exists, but that one or more other features or numbers are present. However, it should be understood that it does not preclude the presence or addition of steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and unless explicitly defined in this application, they are not interpreted in an ideal or excessively formal meaning. .

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals are used for the same components in the drawings, and redundant descriptions of the same components are omitted.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.1 is a diagram schematically illustrating an apparatus for analyzing a liquid medicine according to exemplary embodiments of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치(100)는 OLED, QLED 등과 같은 디스플레이 소자로 제조하기 위한 기판에 약액을 토출하는 약액 토출 장치에서의 잉크젯 헤드(11)로부터 토출되는 약액에 대한 토출 정보, 예를 들면 약액의 토출량, 토출 속도, 토출 타점, 사선 토출 여부, 미토출 여부 등을 분석하기 위한 것이다.Referring to FIG. 1 , a liquid chemical analysis apparatus 100 according to exemplary embodiments of the present invention is an inkjet head 11 in a chemical liquid ejection device that discharges a chemical liquid onto a substrate for manufacturing a display device such as OLED or QLED. This is for analyzing discharge information about the chemical liquid discharged from the chemical liquid, for example, the amount of liquid discharged, the discharge speed, the discharge point, whether the liquid is discharged in a diagonal line, whether or not it is not discharged, and the like.

특히, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치(100)는 잉크젯 헤드(11)로부터 토출되는 약액에 대한 토출 정보를 약액이 지나가는 공간으로부터 획득할 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 제1 모듈(13), 제2 모듈(15), 분석부 등을 포함하도록 이루어질 수 있다.In particular, the liquid chemical analysis device 100 according to exemplary embodiments of the present invention can be provided with a structure capable of acquiring ejection information on the liquid liquid discharged from the inkjet head 11 from a space in which the liquid liquid passes. In other words, it may be made to include a first module 13, a second module 15, an analysis unit, and the like.

먼저, 제1 모듈(13)은 잉크젯 헤드(11)로부터 토출되는 약액이 지나갈 수 있는 경로에서 약액에 대한 토출 정보를 획득하도록 구비될 수 있는 것으로써, 주로 잉크젯 헤드(11)의 아래의 공간인 제1 공간에서의 제1 지점을 약액이 지나갈 때 제1 지점에 대한 제1 정보를 획득함에 의해 약액에 대한 토출 정보를 획득하도록 구비될 수 있다.First, the first module 13 may be provided to acquire ejection information about the chemical liquid in a path through which the liquid liquid discharged from the inkjet head 11 passes, and is mainly a space below the inkjet head 11. When the chemical liquid passes the first point in the first space, first information about the first point may be obtained so as to obtain discharge information about the chemical liquid.

즉, 제1 모듈(13)은 잉크젯 헤드(11)로부터 토출되는 약액에 대한 토출 정보의 획득을 위하여 잉크젯 헤드(11)로부터 토출되는 약액이 지나가는 잉크젯 헤드(11)의 아래 제1 공간에서의 제1 지점에 대한 제1 정보를 획득하도록 구비될 수 있다.That is, the first module 13 is configured to obtain ejection information on the chemical liquid ejected from the inkjet head 11 in the first space below the inkjet head 11 through which the liquid chemical discharged from the inkjet head 11 passes. It may be provided to acquire first information about one point.

구체적으로, 제1 모듈(13)은 제1 공간에 제1 형상을 갖는 가상 화면(25)을 투영하도록 구비되는 제1 투영부(17), 및 제1 형상을 갖는 가상 화면(25)을 지나는 약액을 감지하는 제1 감지부(19)로 이루어질 수 있는데, 제1 투영부(17)는 터치스크린 기능을 갖는 가상 화면을 투영하도록 구비될 수 있고, 제1 감지부(19)는 터치스크린 기능을 갖는 가상 화면을 지나는 약액을 감지할 수 있게 가상 터치 센서로 이루어질 수 있다.Specifically, the first module 13 includes a first projection unit 17 provided to project a virtual screen 25 having a first shape in a first space, and passing through the virtual screen 25 having a first shape. It may consist of a first sensing unit 19 that senses the liquid medicine. The first projection unit 17 may be provided to project a virtual screen having a touch screen function, and the first sensing unit 19 may have a touch screen function. It can be made of a virtual touch sensor to detect the chemical liquid passing through the virtual screen having .

그리고 제2 모듈(15)은 제1 공간을 통과한 약액이 지나갈 수 있는 경로에서 약액에 대한 토출 정보를 획득하도록 구비될 수 있는 것으로써, 주로 제1 공간의 아래의 공간인 제2 공간에서의 제2 지점을 약액이 지나갈 때 제2 지점에 대한 제2 정보를 획득함에 의해 약액에 대한 토출 정보를 획득하도록 구비될 수 있다.And the second module 15 may be provided to obtain discharge information about the chemical solution in a path through which the chemical solution passing through the first space can pass, mainly in the second space, which is a space below the first space. When the chemical liquid passes the second point, second information on the second point may be obtained so as to obtain discharge information on the chemical solution.

즉, 제2 모듈(15)은 잉크젯 헤드(11)로부터 토출됨과 아울러 제1 공간을 통과한 약액에 대한 토출 정보의 획득을 위하여 제1 공간의 아래 제2 공간에서의 제2 지점에 대한 제2 정보를 획득하도록 구비될 수 있다.That is, the second module 15 is configured to obtain ejection information on the chemical liquid discharged from the inkjet head 11 and passed through the first space, and the second module 15 is configured to provide a second point at a second point in the second space below the first space. It may be equipped to obtain information.

구체적으로, 제2 모듈(15)은 제2 공간에 제2 형상을 갖는 가상 화면(27)을 투영하도록 구비되는 제2 투영부(21), 및 제2 형상을 갖는 가상 화면(27)을 지나는 약액을 감지하는 제2 감지부(23)로 이루어질 수 있는데, 제2 투영부(21)는 터치스크린 기능을 갖는 가상 화면을 투영하도록 구비될 수 있고, 제2 감지부(23)는 터치스크린 기능을 갖는 가상 화면을 지나는 약액을 감지할 수 있게 가상 터치 센서로 이루어질 수 있다.Specifically, the second module 15 includes a second projection unit 21 provided to project a virtual screen 27 having a second shape in a second space, and passing through the virtual screen 27 having a second shape. It may consist of a second detector 23 that senses the chemical solution. The second projection unit 21 may be provided to project a virtual screen having a touch screen function, and the second detector 23 may have a touch screen function. It can be made of a virtual touch sensor to detect the chemical liquid passing through the virtual screen having .

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치(100)는 제1 모듈(13) 및 제2 모듈(15)을 구비함으로써 잉크젯 헤드(11)로부터 토출되는 약액이 제1 공간을 지날 때 제1 공간에서의 제1 지점에 대한 제1 정보를 획득함과 아울러 제1 공간을 통과한 약액이 제2 공간을 지날 때 제2 공간에서의 제2 지점에 대한 제2 정보를 획득할 수 있다.As described above, the liquid chemical analysis device 100 according to exemplary embodiments of the present invention includes the first module 13 and the second module 15 so that the liquid liquid discharged from the inkjet head 11 fills the first space. First information about a first point in the first space is obtained when the liquid passes through the first space, and second information about a second point in the second space is obtained when the liquid that has passed through the first space passes through the second space. can

제1 공간에서의 제1 형상을 갖는 가상 화면(25)과 제2 공간에서의 제2 형상을 갖는 가상 화면(27)이 약액이 갖는 Z방향의 직경보다 작은 간격을 갖도록 투영될 경우 제1 지점과 제2 지점이 정확하게 구분되지 않기 때문에 제1 지점에 대한 제1 정보 및 제2 지점에 대한 제2 정보 또한 정확하게 구분되지 못할 수 있고, 그 결과 원하는 제1 정보 및 제2 정보 각각을 획득하지 못할 수도 있다.When the virtual screen 25 having the first shape in the first space and the virtual screen 27 having the second shape in the second space are projected to have a distance smaller than the Z-direction diameter of the liquid medicine, the first point Since the and second points are not accurately distinguished, the first information for the first point and the second information for the second point may also not be accurately distinguished, and as a result, desired first information and second information may not be obtained. may be

따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치(100)는 제1 모듈(13) 및 제2 모듈(15)을 제1 공간에서의 제1 형상을 갖는 가상 화면(25)과 제2 공간에서의 제2 형상을 갖는 가상 화면(27)이 약액이 갖는 Z방향의 직경보다 큰 간격을 갖도록 투영될 수 있게 배치 구비시킬 수 있다.Therefore, the chemical liquid analysis device 100 according to exemplary embodiments of the present invention includes the first module 13 and the second module 15 on a virtual screen 25 having a first shape in a first space and a second module 13. The virtual screen 27 having a second shape in space may be arranged so as to be projected at a distance greater than the diameter of the liquid medicine in the Z direction.

제1 모듈(13)에 의해 획득할 수 있는 제1 정보는 약액이 통과하는 제1 공간의 제1 지점에서의 (X1, Y1, Z1)로 표시될 수 있는 제1 좌표와, 제1 지점을 지날 때의 제1 시간일 수 있고, 제2 모듈(15)에 의해 획득할 수 있는 제2 정보는 약액이 통과하는 제2 공간의 제2 지점에서의 (X2, Y2, Z2)로 표시될 수 있는 제2 좌표와, 제2 지점을 지날 때의 제2 시간일 수 있다.The first information obtainable by the first module 13 includes a first coordinate that can be expressed as (X1, Y1, Z1) at a first point in a first space through which the liquid medicine passes, and the first point It may be the first time when passing, and the second information obtainable by the second module 15 may be indicated by (X2, Y2, Z2) at the second point of the second space through which the liquid medicine passes. second coordinates and a second time when passing through the second point.

이에, 제1 모듈(13)에 의해 투영되는 제1 형상을 갖는 가상 화면(25)은 제1 공간에 좌표계로 디스플레이될 수 있고, 마찬가지로 제2 모듈(15)에 의해 투영되는 제2 형상을 갖는 가상 화면(27) 또한 제2 공간에 좌표계로 디스플레이될 수 있다.Thus, the virtual screen 25 having a first shape projected by the first module 13 may be displayed in a coordinate system in the first space, and similarly has a second shape projected by the second module 15. The virtual screen 27 may also be displayed in a coordinate system in the second space.

그리고 약액이 제1 지점을 지날 때의 제1 시간 및 제2 지점을 지날 때의 제2 시간 각각은 제1 감지부(19) 및 제2 감지부(23) 각각에 타임 기능을 갖도록 구비함에 의해 획득할 수 있을 것이다.In addition, the first time when the chemical liquid passes the first point and the second time when the second point is passed are provided with a time function in each of the first detection unit 19 and the second detection unit 23, respectively. will be able to obtain

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치(100)는 다수개의 노즐들이 일정 간격을 갖도록 배치되는 잉크젯 헤드(11)로부터 토출되는 약액을 대상으로 할 수 있다.The liquid chemical analysis apparatus 100 according to exemplary embodiments of the present invention may target liquid discharged from an inkjet head 11 in which a plurality of nozzles are disposed at regular intervals.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치(100)는 잉크젯 헤드(11)의 다수개의 노즐들, 예를 들면 1,024개의 노즐들로부터 약액이 동시에 토출될 경우에도 약액 각각에 대한 제1 정보 및 제2 정보를 한 번에 획득하도록 구비될 수 있다.Accordingly, the liquid chemical analysis apparatus 100 according to exemplary embodiments of the present invention provides a system for each chemical liquid even when liquid liquid is simultaneously discharged from a plurality of nozzles of the inkjet head 11, for example, 1,024 nozzles. It may be provided to obtain the first information and the second information at once.

따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치(100)에서의 제1 공간 및 제2 공간은 잉크젯 헤드(11)의 다수개의 노즐들로부터 약액이 동시에 토출될 경우에도 약액 각각에 대한 제1 정보 및 제2 정보를 한 번에 획득할 수 있는 크기를 갖도록 이루어질 수 있다.Therefore, the first space and the second space in the liquid chemical analysis device 100 according to exemplary embodiments of the present invention are provided for each chemical liquid even when the liquid liquid is simultaneously discharged from a plurality of nozzles of the inkjet head 11. It may be made to have a size capable of obtaining first information and second information at once.

더욱이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치(100)는 제1 공간 및 제2 공간을 소망하는 크기를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 제1 모듈(13) 및 제2 모듈(15)에서의 제1 투영부(17) 및 제2 투영부(21) 각각에 대한 조정을 통하여 제1 공간 및 제2 공간을 소망하는 크기를 갖도록 할 수 있을 것이다.Furthermore, the chemical solution analysis device 100 according to exemplary embodiments of the present invention may have the first space and the second space have desired sizes, and the first module 13 and the second module ( 15), the first and second spaces may have desired sizes through adjustment of the first projection unit 17 and the second projection unit 21, respectively.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치(100)는 제1 형상을 갖는 가상 화면(25) 및 제2 형상을 갖는 가상 화면(27) 각각을 소망하는 크기를 갖도록 제1 투영부(17) 및 제2 투영부(21) 각각을 조정할 수 있게 구비될 수 있다.In the chemical solution analysis device 100 according to exemplary embodiments of the present invention, a first projection unit ( 17) and the second projection unit 21 may be provided so as to be adjustable.

분석부는 제1 모듈(13) 및 상기 제2 모듈(15)로부터의 제1 정보 및 제2 정보에 근거하여 약액에 대한 토출 정보를 분석하도록 구비될 수 있는 것으로써, 제1 모듈(13)로부터 제1 정보를 수신받음과 아울러 제2 모듈(15)로부터 제2 정보를 수신받아 제1 정보 및 제2 정보를 비교함에 의해 약액에 대한 토출 정보를 분석하도록 구비될 수 있다.The analysis unit may be provided to analyze the discharge information of the liquid medicine based on the first information and the second information from the first module 13 and the second module 15, and from the first module 13 In addition to receiving the first information, the second information may be received from the second module 15 to analyze the discharge information for the liquid medicine by comparing the first information and the second information.

즉, 분석부는 제1 모듈(13)로부터 획득할 수 있는 제1 좌표와 제1 시간 그리고 제2 모모듈로부터 획득할 수 있는 제2 좌표와 제2 시간의 차이에 근거하여 잉크젯 헤드(11)로부터 토출되는 약액에 대한 토출 정보를 분석하도록 구비될 수 있는 것이다.That is, the analysis unit can obtain from the inkjet head 11 based on the difference between the first coordinates obtained from the first module 13 and the first time, and the second coordinates obtained from the second module and the second time. It may be provided to analyze discharge information about the discharged liquid medicine.

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치(100)는 공간을 활용하는 구성을 가질 수 있기 때문에 기판 또는 필름 등과 같은 부재를 사용하지 않고도 잉크젯 헤드(11)로부터 토출되는 약액을 분석할 수 있고, 더불어 약액이 지나가는 공간을 확장시킬 경우 한 번에 많은 약액들을 분석할 수 있다.As described above, since the liquid chemical analysis device 100 according to exemplary embodiments of the present invention may have a space-utilizing configuration, the chemical liquid discharged from the inkjet head 11 may be analyzed without using a member such as a substrate or a film. In addition, if the space through which the liquid passes is expanded, many liquids can be analyzed at once.

그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치(100)를 포함하는 기판 처리 장치는 약액 분석 결과를 통하여 잉크젯 헤드(11)를 제어하도록 구비될 수도 있다.In addition, the substrate processing apparatus including the liquid chemical analysis apparatus 100 according to exemplary embodiments of the present invention may be provided to control the inkjet head 11 through the chemical liquid analysis result.

이하, 본 발명의 예시적일 실시예들에 따른 약액 분석 방법에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a chemical solution analysis method according to exemplary embodiments of the present invention will be described.

도 2 내지 도 4는 도 1의 약액 분석 장치를 사용하여 약액 분석을 수행하는 약액 분석 방법에 대하여 설명하기 위한 도면들이다.2 to 4 are diagrams for explaining a chemical solution analysis method in which the chemical solution analysis is performed using the chemical solution analyzer of FIG. 1 .

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 방법은 잉크젯 헤드(11)로부터 토출되는 약액이 지나가는 제1 공간에서의 제1 지점에 대한 제1 정보를 획득할 수 있는데, 도 2 및 도 4에서와 같이 약액이 지나가는 제1 형상을 갖는 가상 화면(25)인 좌표계가 디스플레이되는 제1 공간에서의 제1 지점을 지나가는 약액을 감지함에 의해 제1 공간에서의 제1 지점에 대한 제1 정보를 획득할 수 있을 것이다.Referring to FIGS. 2 to 4 , a chemical solution analysis method according to exemplary embodiments of the present invention may obtain first information about a first point in a first space through which a chemical solution discharged from an inkjet head 11 passes. As shown in FIGS. 2 and 4 , the chemical liquid passing through a first point in the first space in which a coordinate system, which is a virtual screen 25 having a first shape through which the liquid medicine passes, is displayed is displayed, thereby detecting the chemical liquid passing through the first point in the first space. First information about one point may be obtained.

제1 공간에 디스플레이되는 제1 형상을 갖는 가상 화면(25)에서의 제1 지점을 지나는 약액에 대한 감지는 주로 가상 터치 센서에 의해 이루어질 수 있다.The detection of the liquid medicine passing through the first point on the virtual screen 25 having the first shape displayed in the first space may be mainly performed by the virtual touch sensor.

언급한 제1 공간에서의 제1 지점에 대한 제1 정보는 (X1, Y1, Z1)로 표시될 수 있는 제1 좌표일 수 있고, 더불어 잉크젯 헤드(11)로부터 토출되는 약액이 제1 지점을 지날 때의 제1 시간일 수 있다.The first information about the first point in the aforementioned first space may be a first coordinate that can be expressed as (X1, Y1, Z1), and the chemical liquid discharged from the inkjet head 11 moves along the first point. It may be the first time when passing by.

계속해서, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 방법은 제1 공간의 제1 지점을 통과한 약액이 지나가는 제2 공간에서의 제2 지점에 대한 제2 정보를 획득할 수 있는데, 도 3 및 도 4에서와 같이 약액이 지나가는 제2 형상을 갖는 가상 화면(27)인 좌표계가 디스플레이되는 제2 공간에서의 제2 지점을 자나가는 약액을 감지함에 의해 제2 공간에서의 제2 지점에 대한 제2 정보를 획득할 수 있을 것이다.Continuing, the method for analyzing a chemical solution according to exemplary embodiments of the present invention may acquire second information about a second point in a second space where a drug solution passes through a first point in the first space. 3 and 4, by detecting the chemical passing through the second point in the second space where the coordinate system, which is the virtual screen 27 having the second shape through which the chemical passes, is displayed, the second point in the second space is displayed. It will be possible to obtain the second information about.

제2 공간에 디스플레이되는 제2 형상을 갖는 가상 화면(27)에서의 제2 지점을 지나는 약액에 대한 감지의 경우에도 주로 가상 터치 센서에 의해 이루어질 수 있다.Even in the case of detection of the chemical liquid passing through the second point on the virtual screen 27 having the second shape displayed in the second space, it can be mainly performed by the virtual touch sensor.

언급한 제2 공간에서의 제2 지점에 대한 제2 정보는 (X2, Y2, Z2)로 표시될 수 있는 제2 좌표일 수 있고, 더불어 잉크젯 헤드(11)로부터 토출되는 약액이 제2 지점을 지날 때의 제2 시간일 수 있다.The second information about the second point in the aforementioned second space may be a second coordinate that can be expressed as (X2, Y2, Z2), and the chemical liquid discharged from the inkjet head 11 moves along the second point. It may be the second time when passing.

그리고 제1 정보 및 상기 제2 정보에 근거하여 약액에 대한 토출 정보를 분석할 수 있다.Further, based on the first information and the second information, the discharge information of the liquid medicine may be analyzed.

일예로, 제1 정보로서의 (X1, Y1) 또는/및 제2 정보로서의 (X2, Y2)에서의 좌표 크기를 통하여 약액의 크기, 약액이 토출되는 토출 위치, 약액의 토출 여부 등을 분석할 수 있을 것이고, 제1 정보로서의 (X1, Y1) 및 제2 정보로서의 (X2, Y2)의 차이에 근거해서는 약액의 사선 토출 등을 분석할 수 있을 것이고, 제1 정보로서의 Z1 좌표와 제2 정보로서의 제2 좌표 사이의 거리 그리고 제1 시간과 제2 시간의 차이에 근거해서는 약액의 토출 속도 등을 분석할 수 있을 것이다.For example, the size of the chemical solution, the discharge location where the chemical solution is discharged, whether or not the chemical solution is discharged, etc. Based on the difference between (X1, Y1) as the first information and (X2, Y2) as the second information, it will be possible to analyze the oblique discharge of the chemical liquid, and the Z1 coordinate as the first information and the Z1 coordinate as the second information. Based on the distance between the second coordinates and the difference between the first time and the second time, the liquid discharge rate or the like can be analyzed.

아울러, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 방법에서는 제1 공간 및 제2 공간의 크기 조정을 통하여 잉크젯 헤드(11)의 다수개의 노즐들로부터 약액이 동시에 토출되어도 동시에 토출되는 약액 각각에 대한 제1 정보 및 제2 정보를 한 번에 획득할 수 있기 때문에 한 번에 상대적으로 보다 다양한 토출 정보를 분석할 수 있을 것이다.In addition, in the chemical solution analysis method according to exemplary embodiments of the present invention, even if the chemical solution is simultaneously ejected from a plurality of nozzles of the inkjet head 11 through the size adjustment of the first space and the second space, each of the simultaneously ejected chemical solutions Since the first information and the second information can be obtained at once, relatively more diverse discharge information can be analyzed at one time.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 분석 장치 및 약액 분석 방법은 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액에 대하여 분석할 수 있기 때문에 언급한 잉크젯 헤드를 사용하여 제조할 수 있는 OLED, QLED 등의 제조에 적극적으로 이용할 수 있을 것이다.Since the chemical solution analyzing device and the chemical solution analysis method according to exemplary embodiments of the present invention can analyze the chemical solution discharged from the inkjet head, they are active in manufacturing OLED, QLED, etc., which can be manufactured using the aforementioned inkjet head. will be available as

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, although it has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will variously modify and change the present invention within the scope not departing from the spirit of the present invention described in the claims below. You will understand that it can be done.

11 : 잉크젯 헤드 13 : 제1 모듈
15 : 제2 모듈 17 : 제1 투영부
19 : 제1 감지부 21 : 제2 투영부
23 : 제2 감지부 25, 27 : 가상 화면
29 : 분석부 100 : 약액 분석 장치 11: inkjet head 13: first module
15: second module 17: first projection unit
19: first sensing unit 21: second projection unit
23: second sensor 25, 27: virtual screen
29: analysis unit 100: chemical solution analysis device

Claims (10)

잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액이 지나가는 제1 공간에서의 제1 지점에 대한 제1 정보를 획득하는 제1 모듈;
상기 제1 공간 아래에 상기 약액이 지나가는 제2 공간에서의 제2 지점에 대한 제2 정보를 획득하는 제2 모듈; 및
상기 제1 모듈 및 상기 제2 모듈로부터의 상기 제1 정보 및 상기 제2 정보에 근거하여 상기 약액에 대한 토출 정보를 분석하는 분석부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 분석 장치.a first module that obtains first information about a first point in a first space through which liquid chemicals discharged from the inkjet head pass;
a second module acquiring second information about a second point in a second space where the liquid medicine passes under the first space; and
and an analyzer configured to analyze discharge information of the chemical liquid based on the first information and the second information from the first module and the second module. 제1 항에 있어서,
상기 제1 정보는 상기 제1 지점에서의 (X1, Y1, Z1)로 표시될 수 있는 제1 좌표, 및 상기 제1 지점을 지날 때의 제1 시간일 수 있고, 상기 제2 정보는 상기 제2 지점에서의 (X2, Y2, Z2)로 표시될 수 있는 제2 좌표, 및 상기 제2 지점을 지날 때의 제2 시간일 수 있고, 상기 분석부는 상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표의 차이 그리고 제1 시간 및 제2 시간의 차이에 근거하여 상기 약액에 대한 토출 정보를 분석하는 것을 특징으로 하는 약액 분석 장치.According to claim 1,
The first information may be a first coordinate that may be expressed as (X1, Y1, Z1) at the first point, and a first time when passing the first point, and the second information may be the second information. It may be a second coordinate that can be expressed as (X2, Y2, Z2) at two points, and a second time when passing the second point, and the analysis unit is a difference between the first coordinate and the second coordinate and analyzing the discharge information of the chemical liquid based on the difference between the first time and the second time. 제1 항에 있어서,
상기 제1 공간 및 상기 제2 공간은 상기 잉크젯 헤드의 다수개의 노즐들로부터 약액이 동시에 토출될 경우에도 상기 약액 각각에 대한 제1 정보 및 제2 정보를 한 번에 획득할 수 있는 크기를 갖도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 분석 장치.According to claim 1,
The first space and the second space are formed to have a size capable of obtaining first information and second information for each of the chemical liquids at once even when the liquid chemicals are simultaneously discharged from a plurality of nozzles of the inkjet head. A chemical solution analysis device, characterized in that. 제1 항에 있어서,
상기 제1 모듈은 상기 제1 공간에 제1 형상을 갖는 가상 화면을 투영하는 제1 투영부, 및 상기 제1 형상을 갖는 가상 화면을 지나는 상기 약액을 감지하는 제1 감지부로 이루어지고, 상기 제2 모듈은 상기 제2 공간에 제2 형상을 갖는 가상 화면을 투영하는 제2 투영부, 및 상기 제2 형상을 갖는 가상 화면을 지나는 상기 약액을 감지하는 제2 감지부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 분석 장치.According to claim 1,
The first module includes a first projection unit for projecting a virtual screen having a first shape into the first space, and a first detection unit for detecting the chemical liquid passing through the virtual screen having the first shape, and The second module comprises a second projection unit for projecting a virtual screen having a second shape into the second space, and a second detector for detecting the liquid passing through the virtual screen having the second shape. Device. 제4 항에 있어서,
상기 제1 감지부 및 상기 제2 감지부 각각은 가상 터치 센서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 분석 장치.According to claim 4,
Each of the first sensing unit and the second sensing unit comprises a virtual touch sensor. 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액이 지나가는 제1 공간에서의 제1 지점에 대한 제1 정보를 획득하고,
상기 제1 공간 아래에 상기 약액이 지나가는 제2 공간에서의 제2 지점에 대한 제2 정보를 획득하고, 그리고
상기 제1 정보 및 상기 제2 정보에 근거하여 상기 약액에 대한 토출 정보를 분석하는 것을 특징으로 하는 약액 분석 방법.obtaining first information about a first point in a first space through which liquid chemicals discharged from the inkjet head pass;
obtaining second information about a second point in a second space where the liquid medicine passes under the first space; and
and analyzing discharge information for the chemical liquid based on the first information and the second information. 제6 항에 있어서,
상기 제1 정보는 상기 제1 지점에서의 (X1, Y1, Z1)로 표시될 수 있는 제1 좌표, 및 상기 제1 지점을 지날 때의 제1 시간일 수 있고, 상기 제2 정보는 상기 제2 지점에서의 (X2, Y2, Z2)로 표시될 수 있는 제2 좌표, 및 상기 제2 지점을 지날 때의 제2 시간일 수 있고, 상기 약액에 대한 토출 정보에 대한 분석은 상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표의 차이 그리고 제1 시간 및 제2 시간의 차이에 근거하는 것을 특징으로 하는 약액 분석 방법.According to claim 6,
The first information may be a first coordinate that may be expressed as (X1, Y1, Z1) at the first point, and a first time when passing the first point, and the second information may be the second information. It may be a second coordinate that can be expressed as (X2, Y2, Z2) at two points, and a second time when passing the second point, and the analysis of the discharge information for the liquid medicine is the first coordinate and the difference between the second coordinates and the difference between the first time and the second time. 제6 항에 있어서,
상기 제1 공간 및 상기 제2 공간은 상기 잉크젯 헤드의 다수개의 노즐들로부터 약액이 동시에 토출될 경우에도 상기 약액 각각에 대한 제1 정보 및 제2 정보를 한 번에 획득할 수 있는 크기를 갖도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 분석 방법.According to claim 6,
The first space and the second space are formed to have a size capable of acquiring first and second information for each of the chemical liquids at once even when the liquid liquid is simultaneously ejected from a plurality of nozzles of the inkjet head. A chemical solution analysis method, characterized in that. 제6 항에 있어서,
상기 제1 정보는 상기 제1 공간에 투영되는 제1 형상을 갖는 가상 화면을 지나는 상기 약액을 감지함에 의해 획득할 수 있고, 상기 제2 정보는 상기 제2 공간에 투영되는 제2 형상을 갖는 가상 화면을 지나는 상기 약액을 감지함에 의해 획득할 수 있는 것을 특징으로 하는 약액 분석 방법.According to claim 6,
The first information may be obtained by sensing the liquid medicine passing through a virtual screen having a first shape projected on the first space, and the second information may be obtained by detecting a virtual screen having a second shape projected on the second space. A method of analyzing a chemical solution, characterized in that it can be obtained by detecting the chemical solution passing through the screen. 제9 항에 있어서,
상기 제1 형상을 갖는 가상 화면 및 상기 제2 형상을 갖는 가상 화면을 지나는 약액에 대한 감지는 가상 터치 센서에 의해 획득할 수 있는 것을 특징으로 하는 약액 분석 방법.According to claim 9,
The method of analyzing the chemical solution, characterized in that the detection of the chemical liquid passing through the virtual screen having the first shape and the virtual screen having the second shape can be obtained by a virtual touch sensor.
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KR101657485B1 (en) 2009-02-04 2016-09-19 세이렌가부시끼가이샤 Method for inspecting jetting state of inkjet head and apparatus for inspecting jetting state of inkjet head
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