KR102275971B1 - Inspection method of nozzles of inkjet head - Google Patents

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Abstract

본 발명은 잉크젯 헤드의 노즐을 제팅시켜 검사 기판상에 토출된 액적을 메인 액적과 위성 액적으로 구분하고, 검사 기판상에 이미 존재하는 이물질 액적 또는 미스트 액적을 위치 데이터를 기반으로 상기 토출된 액적과 구별하고 상기 위성 액적의 수 또는 크기를 기반으로 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하여 정확하고 신뢰성 있는 검사를 수행할 수 있다. The present invention divides the droplets discharged on the inspection substrate into main droplets and satellite droplets by jetting the nozzles of the inkjet head, and the foreign substances or mist droplets already existing on the inspection substrate are separated from the ejected droplets based on the position data. Accurate and reliable inspection can be performed by discriminating and inspecting the nozzle of the inkjet head based on the number or size of the satellite droplets.

Description

잉크젯 헤드의 노즐 검사 방법{INSPECTION METHOD OF NOZZLES OF INKJET HEAD}Inkjet head nozzle inspection method {INSPECTION METHOD OF NOZZLES OF INKJET HEAD}

본 문서는 잉크젯 헤드를 구비한 잉크젯 프린팅 장치에 관한 것으로서, 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법에 관련된다.This document relates to an inkjet printing apparatus having an inkjet head, and to a method for inspecting a nozzle of an inkjet head.

최근 유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode, OLED)를 이용한 표시장치가 주목 받고 있다. 유기 발광 표시 장치는 자체 발광 특성을 가지며, 액정 표시 장치(Liquid crystal display device)와 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 두께와 무게를 줄일 수 있다. 유기 발광 표시 장치는 낮은 소비 전력, 높은 휘도 및 빠른 반응 속도 등의 고품위 특성을 나타낸다. 이러한 OLED 표시장치는 최근 잉크젯 프린팅 방식을 이용하여 유기물 및 무기물의 박막을 형성하고 있다.Recently, a display device using an organic light emitting diode (OLED) is attracting attention. The organic light emitting diode display has a self-luminous property, and unlike a liquid crystal display device, it does not require a separate light source, so that the thickness and weight can be reduced. The organic light emitting diode display exhibits high quality characteristics such as low power consumption, high luminance, and fast response speed. Such OLED display devices have recently formed thin films of organic and inorganic materials using inkjet printing.

일반적으로, 잉크젯 프린트 장치는 기판 상에 액을 도포하는 헤드 및 헤드를 검사하고 관리하는 메인터넌스부를 구비한다. 헤드는 액체를 토출하는 다수의 노즐을 구비하며, 디스플레이 기판의 특정 위치에 액체 내지 액적을 도포한다. In general, an inkjet printing apparatus includes a head for applying a liquid on a substrate and a maintenance unit for inspecting and managing the head. The head has a plurality of nozzles for discharging the liquid, and applies the liquid or droplet to a specific position of the display substrate.

특히 잉크 액적은 그 주위에 위성 잉크 액적(Satellite ink droplet)이 존재하는 경우가 많은데 노후화되거나 비정상적인 노즐일수록 위성 잉크 액적의 수가 많고 크기도 크다. 또한, 노즐에서 액적을 토출하는 과정에서 미스트(Mist)가 발생하고 기류에 날려 기판에 떨어지는 경우도 종종 있다. 이러한 위성 잉크 액적와 미스트는 OLED 패널을 제작하는데 수율을 저하시킨다. 헤드의 노즐이 노후화가 되거나, 이물질이 낄 경우나 고장 등의 하자(Defect)가 있는 경우에 위성 잉크 액적의 수가 늘어나고 크기가 커지게 된다.In particular, the ink droplets often have satellite ink droplets around them. The older or abnormal the nozzle, the greater the number and size of the satellite ink droplets. In addition, in the process of discharging the droplets from the nozzle, mist is often generated and is blown by the airflow to fall on the substrate. These satellite ink droplets and mists reduce the yield in manufacturing OLED panels. The number of satellite ink droplets increases and their size increases when the nozzle of the head becomes obsolete or there is a defect such as a foreign substance or a malfunction.

따라서 본격적으로 디스플레이 기판 상에 잉크 액적을 도포하는 작업을 하기 전에 통상 노즐 검사를 하게 된다. 노즐 검사는 검사 기판을 마련하고 검사 기판상에 잉크 액적을 토출시키고 이를 분석하는데, 검사 기판에는 이미 이물질이 존재하여 이물질과 토출시킨 잉크 액적과 구별이 되지 않아 검사 결과에 신뢰성이 저하된다. Therefore, before the operation of applying ink droplets on the display substrate in earnest, a nozzle inspection is usually performed. In the nozzle inspection, an inspection substrate is prepared, ink droplets are discharged on the inspection substrate, and the inspection substrate is analyzed. However, since foreign substances are already present on the inspection substrate, it is indistinguishable from the foreign substances and the ejected ink droplets, thereby reducing the reliability of the inspection result.

도 1은 검사 기판 상에 노즐을 통해 토출 시킨 잉크 액적을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 검사 기판(100)상에 3개의 노즐(N1, N2, N3)을 통해 잉크 액적을 토출시킨 경우, 이상적인 노즐에서는 메인 잉크 액적만 검사 기판상에 존재하여야 하나 노즐의 하자 등의 원인으로 위성 잉크 액적이 함께 존재하였다. 그러나, 미스트(Mist)가 기류를 타고 검사 기판상에 존재할 뿐만 아니라, 초기에 검사 기판에도 이물질이 존재하고 있다. 이러한 외부 환경 요인으로 인해 미스트 내지 이물질로 인해 위성 잉크 액적의 분석에 장애가 발생하여 노즐 검사 결과의 신뢰성을 저하하게 된다.1 is a view for explaining ink droplets discharged through a nozzle on an inspection substrate. As shown, when ink droplets are ejected through three nozzles N1, N2, and N3 on the inspection substrate 100, in an ideal nozzle, only the main ink droplet should exist on the inspection substrate. As a cause, satellite ink droplets were also present. However, not only the mist is present on the inspection substrate riding the airflow, but also foreign substances are present on the inspection substrate in the initial stage. Due to these external environmental factors, the analysis of the satellite ink droplet is disturbed due to the mist or foreign substances, thereby reducing the reliability of the nozzle inspection result.

따라서, 이러한 신뢰성 저하 문제를 해결하여야 하는 기술적 과제가 대두되고 있다.Therefore, a technical problem to solve the reliability degradation problem is emerging.

한국특허공보(공개공보번호: 10-2008-0088969, "초점조절방법 및 노즐검사방법")는 기준노즐에 대한 초점조절을 수행한 후, 나머지 노즐에 대해서는 스테이지 이동을 통한 물리적인 초점조절을 수행함으로써, 초점조절에 소요되는 시간을 줄일 수 있고, 에러발생의 확률을 낮추는 기술에 대해 개시가 되어 있으나, 이물질과 잉크 액적을 구별하여 정확한 검사를 하는 방법에 대해서는 개시되어 있지 않다.Korean Patent Publication (Public Publication No.: 10-2008-0088969, "Focus Control Method and Nozzle Inspection Method") performs focus adjustment on the reference nozzle, and then performs physical focus adjustment on the remaining nozzles by moving the stage. By doing so, it is possible to reduce the time required for focusing and a technique for reducing the probability of an error has been disclosed, but a method for accurately inspecting by distinguishing foreign substances from ink droplets is not disclosed.

본 발명은 잉크젯 헤드의 노즐 검사 방법에 관한 것으로서, 헤드의 노즐에서 토출된 메인 잉크 액적과 위성 잉크 액적을 이물질 또는 미스트와 구별하여 정확하고 신뢰성 있는 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 것을 목적으로 한다.The present invention relates to a nozzle inspection method of an inkjet head, and an object of the present invention is to accurately and reliably inspect the nozzle of an inkjet head by distinguishing main ink droplets and satellite ink droplets discharged from the nozzles of the head from foreign matter or mist.

이러한 목적을 달성하기 위한 일 양상에 따른, 잉크젯 헤드의 노즐 검사 방법은,According to an aspect for achieving this object, a nozzle inspection method of an inkjet head,

검사 기판을 마련하는 단계(S100),Preparing an inspection board (S100),

검사 기판상에 존재하는 제1의 액적의 위치를 확인하고 위치 데이터를 기록하는 단계(S200),Confirming the position of the first droplet existing on the inspection substrate and recording the position data (S200),

검사 기판을 노즐 하부에 배치하는 단계(S300),Placing the inspection substrate under the nozzle (S300),

검사 기판상의 특정 지점에 제2의 액적이 토출되도록 제팅하는 단계(S400),Jetting the second droplet to be discharged to a specific point on the inspection substrate (S400);

검사 기판상에 토출된 상기 제2의 액적을 메인 액적과 위성 액적으로 구분하고, 상기 제1의 액적의 위치 데이터를 기반으로 제1의 액적과 위성 액적을 구별하는 단계(S500), 및 Separating the second droplet discharged onto the inspection substrate into a main droplet and a satellite droplet, and distinguishing the first droplet from the satellite droplet based on the position data of the first droplet (S500), and

메인 액적이 검사 기판의 특정 지점에 존재하는지 여부 및 검사 기판에 존재하는 위성 액적의 수 또는 크기를 확인하여 특정 노즐의 이상 여부를 검사하는 단계(S600)를 포함하여 검사의 신뢰성을 향상시킨다.The reliability of the inspection is improved by checking whether the main droplet exists at a specific point on the inspection substrate and the number or size of satellite droplets present on the inspection substrate, including the step ( S600 ) of inspecting whether a specific nozzle is abnormal.

본 발명의 실시 예에 따르면, 헤드의 노즐에서 토출된 메인 잉크 액적과 위성 잉크 액적을 이물질 또는 미스트와 구별하여 정확하고 신뢰성 있는 검사를 수행할 수 있고, 또한 체계적인 품질 관리로 노즐의 하자 정도 및 교체 시기를 정확히 판단할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, accurate and reliable inspection can be performed by distinguishing the main ink droplet and the satellite ink droplet discharged from the nozzle of the head from foreign matter or mist, and also the degree of defect and replacement of the nozzle through systematic quality control The timing can be accurately determined.

도 1은 검사 기판 상에 노즐을 통해 토출 시킨 잉크 액적을 설명하는 도면이다.
도 2는 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 3은 도 2의 이후에 진행되는 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 4는 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 5는 잉크젯 헤드의 노즐에서 토출된 액적의 상태를 나타내는 도면이다.1 is a view for explaining ink droplets discharged through a nozzle on an inspection substrate.
2 is a view for explaining a method of inspecting a nozzle of an inkjet head.
FIG. 3 is a view for explaining a method of inspecting a nozzle of an inkjet head performed after FIG. 2 .
4 is a view for explaining a method of inspecting a nozzle of an inkjet head according to another exemplary embodiment.
5 is a diagram illustrating a state of a droplet discharged from a nozzle of an inkjet head.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 기술되는 바람직한 실시예를 통하여 본 발명을 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 기술하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명 실시예들의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 본 발명 명세서 전반에 걸쳐 사용되는 용어들은 본 발명 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서, 사용자 또는 운용자의 의도, 관례 등에 따라 충분히 변형될 수 있는 사항이므로, 이 용어들의 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.Hereinafter, the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily understand and reproduce the present invention through preferred embodiments described with reference to the accompanying drawings. In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related well-known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the embodiments of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. Terms used throughout the present specification are terms defined in consideration of functions in the embodiment of the present invention, and since they can be sufficiently modified according to the intention, custom, etc. of a user or operator, definitions of these terms are defined throughout this specification It should be made based on the contents of

또한 전술한, 그리고 추가적인 발명의 양상들은 후술하는 실시예들을 통해 명백해질 것이다. 본 명세서에서 선택적으로 기재된 양상이나 선택적으로 기재된 실시예의 구성들은 비록 도면에서 단일의 통합된 구성으로 도시되었다 하더라도 달리 기재가 없는 한 당업자에게 기술적으로 모순인 것이 명백하지 않다면 상호간에 자유롭게 조합될 수 있는 것으로 이해된다.Also, the above and further aspects of the invention will become apparent through the following embodiments. It is believed that the aspects or configurations of the optionally described embodiments herein can be freely combined with each other, even if shown as a single integrated configuration in the drawings, unless it is clear to a person skilled in the art that there is a technical contradiction in the art unless otherwise stated. It is understood.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다. 예를 들어, 본 명세서에서의 액적의 의미는 잉크 액적 뿐만 아니라 OCR(Optically Clear Resin) 액적을 포함한다.Therefore, the configuration shown in the embodiments and drawings described in the present specification is only the most preferred embodiment of the present invention and does not represent all of the technical spirit of the present invention, so at the time of the present application, various It should be understood that there may be equivalents and variations. For example, the meaning of droplet in this specification includes not only ink droplet but also OCR (Optically Clear Resin) droplet.

도 2는 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법은, 검사 기판(10)을 마련한다(도 2의 (a)). 검사 기판(10)은 DPC(Drop Placement Check) 필름일 수도 있고, ETFE 필름일 수도 있다. 검사 기판은 깨끗하게 세척을 하는 것이 바람직하다.2 is a view for explaining a method of inspecting a nozzle of an inkjet head. As shown, in the method of inspecting the nozzle of the inkjet head, the inspection substrate 10 is prepared (FIG. 2(a)). The inspection substrate 10 may be a Drop Placement Check (DPC) film or an ETFE film. It is desirable to clean the inspection substrate.

그 다음, 검사 기판상에 존재하는 제1의 액적(1)의 위치를 확인하고 위치 데이터를 기록한다(도 2의 (b)). 제1의 액적은 검사 기판에 존재하는 이물질, 미스트(Mist)를 포함하고 검사에 방해가 되는 액적일 수 있다. 검사 기판 상의 제1의 액적은 카메라(30)를 이용하여 그 위치를 파악 내지 확인 할 수 있다. 확인된 제1의 액적에 대하여 기판상의 x-y 좌표에서 위치 데이터 정보를 도출하여 기록할 수 있다. 기록은 데이터 베이스(40)에 이루어 질 수 있다. 카메라(30)는 PC(미도시)와 연결되어 있을 수 있다. Then, the position of the first droplet 1 existing on the inspection substrate is confirmed and the position data is recorded (FIG. 2(b)). The first droplet may be a droplet that includes a foreign substance, mist, and interferes with the inspection. The position of the first droplet on the inspection board may be identified or confirmed using the camera 30 . With respect to the identified first droplet, position data information may be derived from the x-y coordinates on the substrate and recorded. Recording may be made in the database 40 . The camera 30 may be connected to a PC (not shown).

그 다음, 검사 기판(10)을 노즐(20) 하부에 배치한다(도 2의 (c)). 노즐은 헤드(100)의 하부에 구비되어 있으며 복수 개로 이루어져 있다. 복수 개의 노즐은 각각 넘버링(Numbering)이 되어 있어 특정 노즐이 확인될 수 있다.Next, the inspection substrate 10 is disposed under the nozzle 20 (FIG. 2(c)). The nozzle is provided under the head 100 and consists of a plurality of nozzles. Each of the plurality of nozzles is numbered, so that a specific nozzle can be identified.

그 다음, 검사 기판상의 특정 지점에 제2의 액적이 토출되도록 제팅한다(도 2의 (d)). 제2의 액적(2)은 현재의 제팅에 따라 노즐(N1, N2...N10)에서 토출된 액적이다. 검사 기판은 제2의 액적(2) 뿐만 아니라 제1의 액적(1)도 검사 기판(10)상에서 함께 존재한다. 제2의 액적(2)은 메인 액적(2-1)과 추가적으로 위성 액적(2-2)을 더 포함할 수 있다. 제팅(Jetting)은 노즐에 압력을 가하여 액적이 토출되도록 하는 동작이다.Then, the second droplet is jetted to a specific point on the inspection substrate (FIG. 2(d)). The second droplet 2 is a droplet ejected from the nozzles N1, N2...N10 according to the current jetting. In the inspection substrate, not only the second droplet 2 but also the first droplet 1 are present on the inspection substrate 10 together. The second droplet 2 may further include a main droplet 2-1 and additionally a satellite droplet 2-2. Jetting is an operation in which droplets are discharged by applying pressure to the nozzle.

도 3은 도 2 이후에 진행되는 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 검사 기판상에 토출된 상기 제2의 액적을 메인 액적과 위성 액적으로 구분하고, 상기 제1의 액적의 위치 데이터를 기반으로 제1의 액적(1)과 위성 액적(2-2)을 구별한다(도 2의 (e)). 일 실시예에 따라, PC의 모니터상에서 제1의 액적(1)은 제2의 액적(2)과는 다른 이미지 처리를 할 수 있다. 예를 들어 제1의 액적(1)을 PC의 디스플레이에서 다른 색깔, 음영 처리를 하거나 나타나지 않도록 마스크 처리 할 수 있다. FIG. 3 is a view for explaining a method of inspecting a nozzle of an inkjet head performed after FIG. 2 . As shown, the second droplet discharged on the inspection substrate is divided into a main droplet and a satellite droplet, and the first droplet 1 and the satellite droplet 2 - based on the position data of the first droplet 2) is distinguished (FIG. 2(e)). According to an embodiment, the first droplet 1 may perform image processing different from that of the second droplet 2 on the monitor of the PC. For example, the first droplet 1 may be masked so that it does not appear in a different color or shade on the display of the PC.

그 다음, 메인 액적이 검사 기판의 특정 지점에 존재하는지 여부 및 검사 기판에 존재하는 위성 액적의 수 또는 크기를 파악하여 특정 노즐의 이상 여부를 검사한다(도 2의 (f)). 도시된 바와 같이, 노즐(N1, N8, N10)에서 위성 액적이 발생하였으며, 특히 N10에서는 2개가 발생하였다. 또한, N8의 위성 액적은 그 면적(60u㎡)이 상대적으로 크다는 것을 알 수 있다. 따라서 노즐(N8, N10)은 교체 가능성이 높은 것을 알 수 있다.Next, whether the main droplet exists at a specific point on the inspection substrate and the number or size of satellite droplets present on the inspection substrate are checked to check whether a specific nozzle is abnormal (FIG. 2(f)). As shown, satellite droplets were generated at the nozzles N1, N8, and N10, and in particular, two were generated at N10. In addition, it can be seen that the area (60 μm2) of the satellite droplet of N8 is relatively large. Accordingly, it can be seen that the nozzles N8 and N10 are highly likely to be replaced.

또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법에 있어서,In a method of inspecting a nozzle of an inkjet head according to another embodiment,

상기 특정 노즐의 이상 여부를 검사한 데이터를 시간에 따라 반복 생성하고, 데이터 베이스에 시계열적으로 저장할 수 있다(도 2의 (g)).The data for checking whether the specific nozzle is abnormal may be repeatedly generated according to time and stored in a time series in a database (FIG. 2(g)).

또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법에 있어서,In a method of inspecting a nozzle of an inkjet head according to another embodiment,

데이터 베이스에 시계열적으로 저장된 데이터를 기반으로, 특정 노즐의 이상 여부를 트래킹(Tracking)할 수 있다. Based on the time-series data stored in the database, it is possible to track whether a specific nozzle is abnormal.

도 4는 또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법은, 4 is a view for explaining a method of inspecting a nozzle of an inkjet head according to another exemplary embodiment. As shown, the method of inspecting the nozzle of the inkjet head,

검사 기판을 마련하는 단계(S100),Preparing an inspection board (S100),

검사 기판상에 존재하는 제1의 액적의 위치를 확인하고 위치 데이터를 기록하는 단계(S200),Confirming the position of the first droplet existing on the inspection substrate and recording the position data (S200),

검사 기판을 노즐 하부에 배치하는 단계(S300),Placing the inspection substrate under the nozzle (S300),

검사 기판상의 특정 지점에 제2의 액적이 토출되도록 제팅하는 단계(S400),Jetting the second droplet to be discharged to a specific point on the inspection substrate (S400);

검사 기판상에 토출된 상기 제2의 액적을 메인 액적과 위성 액적으로 구분하고, 상기 제1의 액적의 위치 데이터를 기반으로 제1의 액적과 위성 액적을 구별하는 단계(S500) 및 Separating the second droplet discharged on the inspection substrate into a main droplet and a satellite droplet, and distinguishing the first droplet from the satellite droplet based on the position data of the first droplet (S500);

메인 액적이 검사 기판의 특정 지점에 존재하는지 여부 및 검사 기판에 존재하는 위성 액적의 수 또는 크기를 확인하여 특정 노즐의 이상 여부를 검사하는 단계(S600)를 포함할 수 있다. The method may include checking whether the main droplet exists at a specific point on the inspection substrate and the number or size of satellite droplets present on the inspection substrate to inspect whether a specific nozzle is abnormal ( S600 ).

또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법에 있어서, 상기 특정 노즐의 이상 여부를 검사한 데이터를 시간에 따라 반복 생성하고, 데이터 베이스에 시계열적으로 저장하는 단계(S700)를 더 포함할 수 있다.In the method of inspecting a nozzle of an inkjet head according to another embodiment, the step (S700) of repeatedly generating data obtained by inspecting whether the specific nozzle is abnormal according to time and time-sequentially storing the data in a database is further performed (S700) may include

또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법에 있어서, 데이터 베이스에 시계열적으로 저장된 데이터를 기반으로, 특정 노즐의 이상 여부를 트래킹(Tracking)하는 단계(S800)를 더 포함하는 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법.In a method of inspecting a nozzle of an inkjet head according to still another embodiment, the inkjet further comprising the step of tracking (S800) whether a specific nozzle is abnormal, based on data stored in a time series in a database How to inspect the nozzle of the head.

도 5는 잉크젯 헤드의 노즐에서 토출된 액적의 상태를 나타내는 도면이다. 도시된 바와 같이, 10개의 노즐(N1, N2...N10)의 각각에서 5개의 액적을 검사 기판(10)의 열에 따라 일정한 간격(예, 634um)으로 토출시킨다. 노즐과 검사 기판 간의 거리는 일정하게 유지 되어야 한다. 액적은 메인 액적(2-1)과 위성 액적(2-2)으로 구분된다. 기판상에서 원래 존재하였던 이물질 액적 또는 미스트 액적은 PC의 모니터상에서 마스킹(Masking) 처리되어 나타나지 않는다. 작업자는 검출 대상 액적의 크기의 범위(예, 6.6 ~ 70u㎡) 를 결정하여 그 범위 내의 액적을 검사 대상으로 삼을 수 있다. 5 is a diagram illustrating a state of a droplet discharged from a nozzle of an inkjet head. As shown, five droplets from each of the ten nozzles (N1, N2...N10) are discharged at regular intervals (eg, 634um) according to the row of the inspection substrate 10 . The distance between the nozzle and the inspection board should be kept constant. The droplet is divided into a main droplet 2-1 and a satellite droplet 2-2. The foreign material droplet or mist droplet originally existing on the substrate is masked and does not appear on the monitor of the PC. The operator can determine the size range (eg, 6.6 ~ 70um2) of the droplet to be detected and use the droplet within the range as the test target.

노즐(N1)에서 토출된 액적은 위성 액적이 하나가 발생하였다. 작업자는 노즐(N1)의 성능을 규정할 수 있다(예, '양호'). 노즐(N2, N3, N5)에서 토출된 액적은 위성 액적이 발생하지 않았다. 작업자는 N2, N3, N5 노즐의 성능을 '정상'으로 규정할 수 있다. 반면에, N7 노즐은 메인 액적의 크기가 정상 메인 액적 보다 작다. 따라서 N7 노즐의 성능에 대해 작업자는 별도로 규정할 수 있다.As for the droplets discharged from the nozzle N1, one satellite droplet was generated. The operator can define the performance of the nozzle N1 (eg 'good'). The droplets ejected from the nozzles N2, N3, and N5 did not generate satellite droplets. The operator can define the performance of the N2, N3, and N5 nozzles as 'normal'. On the other hand, in the N7 nozzle, the size of the main droplet is smaller than that of the normal main droplet. Therefore, the operator can separately specify the performance of the N7 nozzle.

N8 노즐에서 토출된 위성 액적은 비록 한 개가 발생하였으나 그 위성 액적의 크기는 N1, N10 노즐(예, 면적 50u㎡)의 그것 보다 더 크다. 따라서 작업자는 N8 노즐을 규정할 수 있다(예, '불량'). 마찬가지로 N10 노즐에서 토출된 위성 액적은 2개로서 작업자는 N10 노즐을 '불량'으로 규정하여 교체 대상으로 삼을 수 있다. Although one satellite droplet ejected from the N8 nozzle was generated, the size of the satellite droplet is larger than that of the N1 and N10 nozzles (eg, area 50um2). So the operator can define an N8 nozzle (eg 'bad'). Similarly, as there are two satellite droplets ejected from the N10 nozzle, the operator can define the N10 nozzle as 'bad' and replace it.

또한, N4 노즐은 위성 액적을 토출하지 않으나 메인 액적의 토출이 원활하지 않다. 그리고 N6, N9 노즐은 액적이 토출되지 않는다. 따라서, 작업자는 N4, N6, N9 노즐에 대해 '불량'으로 규정하고 교체 대상으로 삼을 수 있다.In addition, the N4 nozzle does not discharge the satellite droplets, but the discharge of the main droplets is not smooth. And the N6 and N9 nozzles do not discharge droplets. Therefore, the operator can define the nozzles N4, N6, and N9 as 'bad' and subject them to replacement.

작업자는 주기적으로 이러한 액적의 상태를 검사할 수 있으며 결과치를 데이터 베이스(40)에 기록하고 변화를 트래킹하여 특정 노즐의 교체 시기를 예측할 수 있다. 특정 노즐의 시계열에 따른 위성 액적의 수가 트래킹 될 수 있다. The operator can periodically inspect the state of these droplets, and by recording the results in the database 40 and tracking the changes, it is possible to predict when to replace a specific nozzle. The number of satellite droplets according to the time series of a particular nozzle can be tracked.

또 다른 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법에 있어서, 상기 제1의 액적의 위치 데이터를 기반으로 제1의 액적과 위성 잉크 액적을 구별하는 단계(S500)는, PC의 모니터상에서 제1의 액적(1)을 제2의 액적(2)과는 다른 이미지 처리를 하는 단계(S500-1)를 더 포함할 수 있다.In the method of inspecting a nozzle of an inkjet head according to another embodiment, the step of distinguishing the first droplet from the satellite ink drop based on the position data of the first droplet ( S500 ) includes: The method may further include a step ( S500 - 1 ) of performing image processing different from that of the second droplet ( 2 ) of the first droplet ( 1 ).

1 : 제1의 액적
2 : 제2의 액적
2-1 : 메인 액적
2-2 : 위성 액적
10 : 검사 기판
20 : 노즐
30 : 카메라
40 : 데이터 베이스 1: first droplet
2: second droplet
2-1: main droplet
2-2: satellite droplet
10: inspection board
20: nozzle
30 : camera
40: database

Claims (4)

잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법에 있어서,
검사 기판을 마련하는 단계(S100);
검사 기판상에 존재하는 제1의 액적의 위치를 확인하고 위치 데이터를 데이터 베이스에 기록하는 단계(S200);
검사 기판을 노즐 하부에 배치하는 단계(S300);
검사 기판상의 특정 지점에 제2의 액적이 토출되도록 제팅하는 단계(S400);
검사 기판상에 토출된 상기 제2의 액적을 메인 액적과 위성 액적으로 구분하고, 상기 제1의 액적의 위치 데이터를 기반으로 제1의 액적과 위성 액적을 구별하는 단계(S500); 및
메인 액적이 검사 기판의 특정 지점에 존재하는지 여부 및 검사 기판에 존재하는 위성 액적의 수 및 크기를 확인하여 특정 노즐의 이상 여부를 검사하는 단계(S600);를 포함하고,
상기 제1의 액적의 위치 데이터를 기반으로 제1의 액적과 위성 잉크 액적을 구별하는 단계(S500);는
PC의 모니터상에서 제1의 액적을 제2의 액적과는 다른 이미지 처리를 하는 단계(S500-1);를 더 포함하는 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법.A method for inspecting a nozzle of an inkjet head, the method comprising:
Preparing an inspection substrate (S100);
confirming the position of the first droplet existing on the inspection substrate and recording the position data in the database (S200);
disposing the inspection substrate under the nozzle (S300);
Jetting the second droplet to be discharged to a specific point on the inspection substrate (S400);
classifying the second droplet discharged on the inspection substrate into a main droplet and a satellite droplet, and distinguishing the first droplet from the satellite droplet based on the position data of the first droplet (S500); and
Checking whether the main droplet exists at a specific point of the inspection substrate and the number and size of satellite droplets present on the inspection substrate (S600) of inspecting whether a specific nozzle is abnormal;
Distinguishing the first droplet from the satellite ink drop based on the position data of the first droplet (S500);
The method of inspecting a nozzle of an inkjet head further comprising; performing image processing different from that of the second droplet on the first droplet on the monitor of the PC (S500-1). 제 1 항에 있어서,
상기 특정 노즐의 이상 여부를 검사한 데이터를 시간에 따라 반복 생성하고, 데이터 베이스에 시계열적으로 저장하는 단계(S700);를 더 포함하는 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법.The method of claim 1,
The method of inspecting a nozzle of an inkjet head further comprising the step of repeatedly generating the data for checking whether the specific nozzle is abnormal according to time, and storing the data in a time series in a database (S700). 제 2 항에 있어서,
데이터 베이스에 시계열적으로 저장된 데이터를 기반으로, 특정 노즐의 이상 여부를 트래킹(Tracking)하는 단계(S800);를 더 포함하는 잉크젯 헤드의 노즐을 검사하는 방법.3. The method of claim 2,
The method of inspecting the nozzle of the inkjet head further comprising a; based on the data stored time-series in the database, tracking (tracking) whether a specific nozzle is abnormal (S800). 삭제delete
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