KR20230002058U - Apparatus for mixing a chemical - Google Patents

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Abstract

케미컬 혼합 장치가 개시된다. 본 고안의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 장치는, 제1 케미컬 공급원과 제2 케미컬 공급원을 포함하는 케미컬 공급원으로부터 공급되는 적어도 2종의 케미컬을 혼합하는 케미컬 혼합 장치로서, 케미컬 공급원은 제1 케미컬 공급원과 제2 케미컬 공급원을 포함하고, 케미컬 혼합 장치는, 제1 케미컬 공급원과 제2 케미컬 공급원에 각각 연결되는 케이스; 및 케이스와의 사이에 미리 설정된 공간이 형성되도록 케이스에 삽입되는 유출관을 포함하며, 케미컬이 케이스와 유출관 사이의 공간에서 회전하면서 혼합되어 유출관을 통해 유출된다.A chemical mixing device is disclosed. A chemical mixing device according to an embodiment of the present invention is a chemical mixing device that mixes at least two types of chemicals supplied from a chemical source including a first chemical source and a second chemical source, wherein the chemical source is the first chemical source. and a second chemical supply source, and the chemical mixing device includes a case connected to the first chemical supply source and the second chemical supply source, respectively; and an outflow pipe inserted into the case to form a preset space between the case and the outflow pipe, and the chemicals are mixed while rotating in the space between the case and the outflow pipe and flow out through the outflow pipe.

Description

케미컬 혼합 장치{APPARATUS FOR MIXING A CHEMICAL}Chemical mixing device {APPARATUS FOR MIXING A CHEMICAL}

본 고안은, 케미컬 혼합 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 케미컬을 신속하게 잘 혼합할 수 있는 케미컬 혼합 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical mixing device, and more specifically, to a chemical mixing device that can quickly and well mix chemicals.

일반적으로 반도체 공장이나 화학약품 공장에서는 다양한 종류의 케미컬(chemical)이 사용되고 있다. 예를 들어, 반도체 공장에서 반도체 제조시 웨이퍼의 확산, 사진, 식각 및 박막 공정 등을 통해 반도체 칩을 제조하게 되는데, 각 공정의 침전, 현상, 식각에서 상기 케미컬이 사용된다.In general, various types of chemicals are used in semiconductor factories or chemical factories. For example, when manufacturing semiconductors in a semiconductor factory, semiconductor chips are manufactured through wafer diffusion, photography, etching, and thin film processes, and the above chemicals are used in precipitation, development, and etching of each process.

여기서, 통상, 2가지 이상의 케미컬이 혼합되어 사용되는데 반도제 제조공정은 소자의 고집적화에 따라 공정이 복잡하며, 각각의 반도체 제조 공정에서의 반도체의 품질은 케미컬의 혼합 정도에 따라 많은 영향을 받는다.Here, two or more chemicals are usually mixed and used. The semiconductor manufacturing process is complex due to the high integration of devices, and the quality of the semiconductor in each semiconductor manufacturing process is greatly affected by the degree of mixing of chemicals.

종래에는 복수의 케미컬이 탱크에 저장된 후 혼합되는데 이 경우 탱크 저장을 위한 탱크로의 이송 시간 및 탱크로부터의 배출 시간 등에 의해 공정 시간이 증가하는 문제가 있다. Conventionally, a plurality of chemicals are stored in a tank and then mixed, but in this case, there is a problem that the process time increases due to transfer time to the tank for tank storage and discharge time from the tank.

그리고, 종래에는 케미컬을 1차적으로 한 번만 혼합 후 바로 공정에 사용하는데 이 경우 혼합 정도가 떨어져 혼합 비율에 편차가 생기고 반도체 공정에서의 공정 정밀도가 낮아지는 문제점이 있다.In addition, conventionally, chemicals are first mixed only once and then used immediately in the process. In this case, there is a problem in that the degree of mixing is lowered, causing deviations in the mixing ratio and lowering process precision in the semiconductor process.

따라서, 본 고안이 이루고자 하는 기술적 과제는, 복수의 케미컬을 신속하게 혼합할 뿐만 아니라 혼합 정도를 향상시킬 수 있는 케미컬 혼합 장치를 제공하는 것이다.Therefore, the technical problem to be achieved by the present invention is to provide a chemical mixing device that can not only quickly mix a plurality of chemicals but also improve the degree of mixing.

본 고안의 일 측면에 따르면, 제1 케미컬 공급원과 제2 케미컬 공급원을 포함하는 케미컬 공급원으로부터 공급되는 적어도 2종의 케미컬을 혼합하는 케미컬 혼합 장치로서, 상기 케미컬 공급원은 제1 케미컬 공급원과 제2 케미컬 공급원을 포함하고, 상기 케미컬 혼합 장치는, 제1 케미컬 공급원과 제2 케미컬 공급원에 각각 연결되는 케이스; 및 상기 케이스와의 사이에 미리 설정된 공간이 형성되도록 상기 케이스에 삽입되는 유출관을 포함하며, 상기 케미컬이 상기 케이스와 상기 유출관 사이의 공간에서 회전하면서 혼합되어 상기 유출관을 통해 유출되는 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합 장치가 제공될 수 있다.According to one aspect of the present invention, a chemical mixing device for mixing at least two types of chemicals supplied from a chemical source including a first chemical source and a second chemical source, wherein the chemical source is a first chemical source and a second chemical source. It includes a supply source, and the chemical mixing device includes a case connected to a first chemical supply source and a second chemical supply source, respectively; and an outflow pipe inserted into the case to form a preset space between the case and the outflow pipe, wherein the chemicals are mixed while rotating in the space between the case and the outflow pipe and flow out through the outflow pipe. A chemical mixing device may be provided.

일 실시예에서, 상기 제1 케미컬 공급원과 상기 케이스를 연결하는 제1 배관; 및 상기 제2 케미컬 공급원과 상기 케이스를 연결하는 제2 배관을 포함하며, 상기 제1 배관과 상기 제2 배관은 상기 케이스 상측의 반대 위치에서 상기 케이스에 각각 결합될 수 있다.In one embodiment, a first pipe connecting the first chemical source and the case; and a second pipe connecting the second chemical supply source and the case, wherein the first pipe and the second pipe may be respectively coupled to the case at opposite positions on the upper side of the case.

일 실시예에서, 상기 제1 배관과 상기 제2 배관은, 상기 제1 배관의 중심축과 상기 제2 배관의 중심축이 일치하지 않도록 형성될 수 있다.In one embodiment, the first pipe and the second pipe may be formed so that the central axis of the first pipe and the central axis of the second pipe do not coincide.

일 실시예에서, 상기 제1 배관과 상기 제2 배관은 서로 평행하게 배치될 수 있다.In one embodiment, the first pipe and the second pipe may be arranged parallel to each other.

일 실시예에서, 상기 케이스의 상측으로 유입되어 상기 공간에서 회전하면서 1차로 혼합된 상기 케미컬이 상기 유출관을 통해 배출될 수 있도록, 상기 유출관의 바닥부는 상기 케이스의 바닥부로부터 미리 설정된 간격으로 이격될 수 있다.In one embodiment, the bottom of the outflow pipe is spaced at a preset interval from the bottom of the case so that the chemicals that flow into the upper side of the case and are primarily mixed while rotating in the space are discharged through the outflow pipe. may be separated.

일 실시예에서, 상기 케미컬이 상기 유출관의 바닥부로부터 상측으로 이동하여 배출될 수 있다.In one embodiment, the chemical may be discharged by moving upward from the bottom of the outlet pipe.

일 실시예에서, 상기 유출관의 내부에는 1차로 혼합된 상기 케미컬을 2차로 혼합시킬 수 있도록 와류 형성부가 구비될 수 있다.In one embodiment, a vortex forming portion may be provided inside the outflow pipe to allow the primary mixed chemicals to be mixed secondarily.

일 실시예에서, 상기 와류 형성부는 상기 유출관 내측으로부터 돌출된 적어도 하나의 돌출부로 마련될 수 있다.In one embodiment, the vortex forming portion may be provided with at least one protrusion protruding from the inside of the outflow pipe.

따라서, 본 고안의 실시예에 의하면, 복수의 케미컬을 탱크에 저장하지 않고 혼합하므로 신속하게 혼합할 수 있을 뿐만 아니라, 1차 혼합 후 2차 혼합을 통해 혼합 정도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Therefore, according to the embodiment of the present invention, a plurality of chemicals are mixed without being stored in a tank, so not only can they be mixed quickly, but also the degree of mixing can be improved through secondary mixing after the first mixing.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 장치가 결합된 케미컬 혼합 시스템의 개략적인 전체 사시도이다.
도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 장치의 개략적인 전체 사시도이다.
도 3 및 도 4는 도 2에서 케미컬의 흐름을 도시한 도면이다.
도 5는 도 2에서 A-A'을 따라 바라본 단면도이다.
도 6은 도 2에서 B-B'을 따라 바라본 단면도이다.Figure 1 is a schematic overall perspective view of a chemical mixing system combined with a chemical mixing device according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a schematic overall perspective view of a chemical mixing device according to an embodiment of the present invention.
Figures 3 and 4 are diagrams showing the flow of chemicals in Figure 2.
Figure 5 is a cross-sectional view taken along A-A' in Figure 2.
Figure 6 is a cross-sectional view taken along line B-B' in Figure 2.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예에 따라 상세히 설명하기로 한다. 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 고안자는 그 자신의 고안을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 고안의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 고안의 가장 바람직한 일 실시예에 불과하고 본 고안의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. Terms or words used in this specification and claims should not be construed as limited to their common or dictionary meanings, and the designer may appropriately define the concept of terms in order to explain his/her own design in the best way. It must be interpreted with meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention, based on the principle that it is. Accordingly, the embodiments described in this specification and the configuration shown in the drawings are only one of the most preferred embodiments of the present invention and do not represent the entire technical idea of the present invention, so at the time of filing the present application, there are various options that can replace them. It should be understood that equivalents and variations may exist.

도면에서 각 구성요소 또는 그 구성요소를 이루는 특정 부분의 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 따라서, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다. 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 고안의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그러한 설명은 생략하도록 한다.In the drawings, the size of each component or specific part constituting the component is exaggerated, omitted, or schematically shown for convenience and clarity of explanation. Therefore, the size of each component does not entirely reflect the actual size. If it is judged that specific descriptions of related public notice functions or configurations may unnecessarily obscure the gist of the present invention, such descriptions shall be omitted.

본 명세서에서 사용되는 '결합' 또는 '연결'이라는 용어는, 하나의 부재와 다른 부재가 직접 결합되거나, 직접 연결되는 경우뿐만 아니라 하나의 부재가 이음부재를 통해 다른 부재에 간접적으로 결합되거나, 간접적으로 연결되는 경우도 포함한다.The term 'coupling' or 'connection' used in this specification refers not only to the case where one member and another member are directly coupled or directly connected, but also when one member is indirectly coupled to another member through a joint member, or indirectly connected to another member. Also includes cases where it is connected to .

본 명세서에서 케미컬은 다양한 화학물질을 포함하며, 화학물질의 희석 등을 위해 과수(H2O2)나 탈이온수(deionized water)와 같은 물이 혼합될 수 있는데, 이 범위에서 물도 혼합을 위해 공급되는 케미컬에 포함된다.In this specification, chemicals include various chemicals, and water such as fruit water (H2O2) or deionized water can be mixed for dilution of chemicals. Within this range, water is also added to the chemicals supplied for mixing. Included.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 장치가 결합된 케미컬 혼합 시스템의 개략적인 전체 사시도이다. Figure 1 is a schematic overall perspective view of a chemical mixing system combined with a chemical mixing device according to an embodiment of the present invention.

케미컬 혼합 시스템(10)은 케미컬 공급원(200)으로부터 공급되는 케미컬을 혼합 후 공급탱크(400)에 저장하는 시스템이다. 케미컬 혼합 시스템(10)은 케미컬 공급원(200)과, 유량 제어부(300)와, 본 고안의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 장치(100)와 공급탱크(400)를 포함하여 구성될 수 있다. 다만, 케미컬 혼합 장치(100)에 의해 혼합된 후 공급탱크(400)를 거치지 않고 바로 공정 라인으로 공급될 수도 있다.The chemical mixing system 10 is a system that mixes chemicals supplied from the chemical supply source 200 and then stores them in the supply tank 400. The chemical mixing system 10 may include a chemical supply source 200, a flow rate control unit 300, a chemical mixing device 100 and a supply tank 400 according to an embodiment of the present invention. However, after mixing by the chemical mixing device 100, it may be directly supplied to the process line without going through the supply tank 400.

케미컬 공급원(200)은 복수로 마련되어 적어도 2종의 케미컬을 각각 공급한다. 즉, 복수의 케미컬이 각각 공급되어 혼합된다. 예를 들어, 불산을 희석시키기 위해 불산과 물을 공급할 수 있고, 암모니아를 희석시키기 위해 암모니아와 물을 공급할 수 있다. 다만, 케미컬 공급원(200)으로부터 공급되는 케미컬이 이에 한정되는 것은 아니다.A plurality of chemical supply sources 200 are provided, each supplying at least two types of chemicals. That is, a plurality of chemicals are supplied and mixed. For example, hydrofluoric acid and water can be supplied to dilute hydrofluoric acid, and ammonia and water can be supplied to dilute ammonia. However, the chemicals supplied from the chemical supply source 200 are not limited to this.

케미컬 공급원(200)은 제1 케미컬 공급원(210)과 제2 케미컬 공급원(220)을 포함하여 구성될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 케미컬 공급원(200)은 3개 이상일 수 있다.The chemical source 200 may include a first chemical source 210 and a second chemical source 220. However, it is not limited to this, and there may be three or more chemical supply sources 200.

유량 제어부(300)는 케미컬 공급원(200)으로부터 공급되는 케미컬의 유량을 제어하도록 케미컬 공급원(200)에 결합될 수 있다. 케미컬의 혼합에서는 케미컬의 유량이 중요하므로 유량 제어부(300)에 의해 케미컬 공급원(200)으로부터 공급되는 케미컬의 유량이 정밀하게 제어되며 정확한 유량이 공급된다.The flow rate control unit 300 may be coupled to the chemical supply source 200 to control the flow rate of chemicals supplied from the chemical supply source 200. Since the flow rate of chemicals is important in mixing chemicals, the flow rate of chemicals supplied from the chemical supply source 200 is precisely controlled by the flow rate control unit 300 and the accurate flow rate is supplied.

공급탱크(400)는 복수의 케미컬이 혼합된 후 저장되도록 구성된다. 즉, 케미컬 혼합 장치(100)에 의해 혼합된 복수의 케미컬이 공급탱크(400)로 이동하여 저장된다.The supply tank 400 is configured to store a plurality of chemicals after mixing them. That is, a plurality of chemicals mixed by the chemical mixing device 100 are moved to the supply tank 400 and stored.

본 고안의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 장치(100)는 케미컬 공급원(200)으로부터 각각 공급되는 적어도 2종의 케미컬, 즉, 복수의 케미컬을 혼합한다. 이하, 본 고안의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 장치(100)에 대해 구체적으로 설명한다.The chemical mixing device 100 according to an embodiment of the present invention mixes at least two types of chemicals, that is, a plurality of chemicals, each supplied from the chemical supply source 200. Hereinafter, the chemical mixing device 100 according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 장치의 개략적인 전체 사시도이며, 도 3 및 도 4는 도 2에서 케미컬의 흐름을 도시한 도면이고, 도 5는 도 2에서 A-A'을 따라 바라본 단면도이며, 도 6은 도 2에서 B-B'을 따라 바라본 단면도이다.Figure 2 is a schematic overall perspective view of a chemical mixing device according to an embodiment of the present invention, Figures 3 and 4 are diagrams showing the flow of chemicals in Figure 2, and Figure 5 is A-A' in Figure 2. It is a cross-sectional view viewed along, and FIG. 6 is a cross-sectional view viewed along B-B' in FIG. 2.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 고안의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 장치(100)는, 케이스(110)와, 유출관(120)을 포함한다.1 to 5, the chemical mixing device 100 according to an embodiment of the present invention includes a case 110 and an outflow pipe 120.

케이스(110)는 제1 케미컬 공급원(210)과 제2 케미컬 공급원(220)에 각각 연결된다. 제1 케미컬 공급원(210)은 제1 배관(130)을 통해 케이스(110)에 연결되고, 제2 케미컬 공급원(220)은 제2 배관(140)을 통해 케이스(110)에 연결되도록 구성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해 케미컬 공급원(200)으로부터 공급되는 케미컬이 2종인 경우에 대해 설명한다. 다만, 케미컬의 종류는 이보다 많을 수 있다.Case 110 is connected to the first chemical supply source 210 and the second chemical supply source 220, respectively. The first chemical source 210 may be connected to the case 110 through the first pipe 130, and the second chemical source 220 may be configured to be connected to the case 110 through the second pipe 140. there is. Hereinafter, for convenience of explanation, a case where two types of chemicals are supplied from the chemical supply source 200 will be described. However, there may be more types of chemicals than this.

도 2 내지 도 6을 참조하면, 유출관(120)은 케이스(110)와의 사이에 미리 설정된 공간(150)이 형성되도록 케이스(110)에 삽입된다. 그리고, 제1 배관(130)과 제2 배관(140)을 통해 케이스(110)로 각각 유입되는 2종의 케미컬이 케이스(110)와 유출관(120) 사이의 공간(150)에서 회전(도 3의 화살표 참조)하면서 혼합되어 유출관(120)을 통해 유출(도 4의 화살표 참조)될 수 있다.2 to 6, the outflow pipe 120 is inserted into the case 110 so that a preset space 150 is formed between the outflow pipe 120 and the case 110. In addition, two types of chemicals flowing into the case 110 through the first pipe 130 and the second pipe 140 rotate in the space 150 between the case 110 and the outlet pipe 120 (degrees It can be mixed (see arrow in 3) and discharged through the outflow pipe 120 (see arrow in FIG. 4).

도 3 내지 도 5를 함께 참조하면, 제1 배관(130)과 제2 배관(140)은 케이스(110) 상측의 반대 위치에서 케이스(110)에 각각 결합될 수 있다. 그리고, 제1 배관(130)과 제2 배관(140)은 제1 배관(130)의 중심축과 제2 배관(140)의 중심축이 일치하지 않도록 형성될 수 있다. 즉, 도 5를 참조하면, 제1 배관(130)의 중심축과 제2 배관(140)의 중심축이 엇갈리도록 배치되고, 도 5를 기준으로 제1 배관(130)의 중심축은 상측에 위치하고, 제2 배관(140)의 중심축은 하측에 위치하도록 마련될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 배관(130)의 중심축과 제2 배관(140)의 중심축이 교차하도록 케이스(110)에 각각 결합될 수도 있다. 또한, 제1 배관(130)과 제2 배관(140)은 서로 평행하게 배치될 수 있다.Referring to FIGS. 3 to 5 together, the first pipe 130 and the second pipe 140 may be respectively coupled to the case 110 at opposite positions on the upper side of the case 110. Additionally, the first pipe 130 and the second pipe 140 may be formed so that the central axis of the first pipe 130 and the central axis of the second pipe 140 do not coincide. That is, referring to FIG. 5, the central axis of the first pipe 130 and the central axis of the second pipe 140 are arranged to be crossed, and based on FIG. 5, the central axis of the first pipe 130 is located on the upper side. , the central axis of the second pipe 140 may be positioned at the lower side. However, it is not limited to this, and each may be coupled to the case 110 so that the central axis of the first pipe 130 and the central axis of the second pipe 140 intersect. Additionally, the first pipe 130 and the second pipe 140 may be arranged parallel to each other.

전술한 바와 같이 제1 배관(130)과 제2 배관(140)이 배치된 상태에서 제1 케미컬 공급원(210)과 제2 케미컬 공급원(220)으로부터 각각 공급되는 2종의 케미컬이 케이스(110) 내부로 유입되면, 도 3에서와 같이 케이스(110)와 유출관(120) 사이의 공간(150)에서 회전하면서 하측으로 이동한다. 이에 의해 2종의 케미컬이 1차적으로 혼합된다.As described above, with the first pipe 130 and the second pipe 140 disposed, two types of chemicals supplied from the first chemical supply source 210 and the second chemical supply source 220 are supplied to the case 110. When it flows inside, it rotates and moves downward in the space 150 between the case 110 and the outflow pipe 120, as shown in FIG. 3. As a result, the two types of chemicals are primarily mixed.

그리고, 도 4 및 도 6을 함께 참조하면, 유출관(120)의 바닥부는 케이스(110)의 바닥부로부터 미리 설정된 간격으로 이격되어 있다. 케이스(110) 상측의 측면을 통해 유입되어 케이스(110)와 유출관(120) 사이의 공간(150)에서 회전하면서 1차로 혼합된 케미컬이 도 4의 화살표에서와 같이 유출관(120)의 바닥부로부터 상측으로 이동하면서 유출관(120)을 통해 배출될 수 있다.And, referring to FIGS. 4 and 6 together, the bottom of the outflow pipe 120 is spaced apart from the bottom of the case 110 at a preset interval. The chemicals that flow in through the upper side of the case 110 and rotate in the space 150 between the case 110 and the outflow pipe 120 are initially mixed, as shown by the arrow in FIG. 4, at the bottom of the outflow pipe 120. It can be discharged through the outflow pipe 120 while moving upward from the unit.

여기서, 유출관(120)은 내부에 와류 형성부(121)가 구비될 수 있다. 와류 형성부(121)는 유출관(120)의 내부에 형성되며, 1차로 혼합된 케미컬을 2차로 다시 한 번 더 혼합시킨다. 와류 형성부(121)는 다양하게 마련될 수 있으며, 유출관(120) 내측으로부터 돌출된 적어도 하나의 돌출부(122)로 마련될 수 있다.Here, the outflow pipe 120 may be provided with a vortex forming portion 121 therein. The vortex forming portion 121 is formed inside the outflow pipe 120, and the chemicals mixed first are mixed again secondarily. The vortex forming portion 121 may be provided in various ways and may be provided with at least one protrusion 122 protruding from the inside of the outflow pipe 120.

즉, 유출관(120)의 바닥부로부터 유출관(120)을 통해 이동하는 2종의 케미컬이 유출관(120) 내부의 돌출부(122)에 부딪혀 와류가 형성되며, 이와 같이 형성된 와류에 의해 2종의 케미컬이 더 잘 혼합된다.That is, two types of chemicals moving from the bottom of the outflow pipe 120 through the outflow pipe 120 hit the protrusion 122 inside the outflow pipe 120 to form a vortex, and the vortex formed in this way causes 2 The chemicals of the species mix better.

이하, 본 고안의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 장치(100)의 작용 및 효과에 대해 설명한다.Hereinafter, the operation and effects of the chemical mixing device 100 according to an embodiment of the present invention will be described.

제1 케미컬 공급원(210)과 제2 케미컬 공급원(220)으로부터 각각 공급되는 2종의 케미컬이 제1 배관(130)과 제2 배관(140)을 통해 케이스(110) 내부로 유입된다. 이때, 도 3 내지 도 5에서와 같이 제1 배관(130)과 제2 배관(140)은 케이스(110) 상측의 반대 방향에서 제1 배관(130)의 중심축과 제2 배관(140)의 중심축이 일치하지 않도록 형성될 수 있고, 또한, 서로 평행하게 배치될 수 있으며, 이에 의해, 제1 배관(130)과 제2 배관(140)을 통해 케이스(110)로 유입되는 2종의 케미컬은 케이스(110)와 유출관(120) 사이에 형성된 공간(150)에서 회전하면서 아래로 내려간다. 여기서, 2종의 케미컬이 상기 공간(150)에서 회전하면서 1차로 혼합된다.Two types of chemicals supplied from the first chemical supply source 210 and the second chemical supply source 220 flow into the case 110 through the first pipe 130 and the second pipe 140. At this time, as shown in FIGS. 3 to 5, the first pipe 130 and the second pipe 140 are connected to the central axis of the first pipe 130 and the second pipe 140 in opposite directions from the upper side of the case 110. The central axes may be formed not to coincide, and may be arranged parallel to each other, thereby allowing two types of chemicals to flow into the case 110 through the first pipe 130 and the second pipe 140. It rotates and goes down in the space 150 formed between the case 110 and the outflow pipe 120. Here, the two types of chemicals are first mixed while rotating in the space 150.

그리고, 1차로 혼합된 케미컬은 케이스(110) 내부에 삽입된 유출관(120)의 바닥부를 통해 유출관(120) 내부로 유입되어 유출관(120)의 상측을 통해 배출된다. 유출관(120) 내부에는 돌출부(122)로 형성되는 와류 형성부(121)가 마련될 수 있으며, 유출관(120)을 통해 배출되는 2종의 케미컬이 돌출부(122)에 부딪히면서 2차로 혼합된다.Then, the primarily mixed chemicals flow into the outflow pipe 120 through the bottom of the outflow pipe 120 inserted into the case 110 and are discharged through the upper side of the outflow pipe 120. A vortex forming portion 121 formed by the protrusion 122 may be provided inside the outflow pipe 120, and the two types of chemicals discharged through the outflow pipe 120 hit the protrusion 122 and are mixed secondarily. .

즉, 복수의 케미컬이 탱크에 저장되지 않고 계속 이동하면서 혼합되므로 신속하게 혼합 가능한 효과가 있다. 또한, 케미컬이 케이스(110)와 유출관(120) 사이에 형성된 공간(150)에서 회전하면서 1차로 혼합되고, 유출관(120)을 통해 유출되면서 와류 형성부(121)에 의해 2차 혼합되므로, 케미컬의 혼합 정도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In other words, multiple chemicals are not stored in a tank but are continuously mixed while moving, resulting in the effect of rapid mixing. In addition, the chemicals are primarily mixed while rotating in the space 150 formed between the case 110 and the outflow pipe 120, and are secondarily mixed by the vortex forming unit 121 as they flow out through the outflow pipe 120. , has the effect of improving the mixing degree of chemicals.

이상에서 본 고안은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 고안은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 고안의 기술사상과 아래에 기재될 실용신안청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.Although the present invention has been described above with limited examples and drawings, the present invention is not limited thereto, and the technical idea of the present invention and the description below will be explained by those skilled in the art in the technical field to which the present invention belongs. Of course, various modifications and variations are possible within the scope of equality of the utility model claims.

10 : 케미컬 혼합 시스템 100 : 케미컬 혼합 장치
110 : 케이스 120 : 유출관
121 : 와류 형성부 122 : 돌출부
130 : 제1 배관 140 : 제2 배관
200 : 케미컬 공급원 210 : 제1 케미컬 공급원
220 : 제2 케미컬 공급원 300 : 유량 제어부
400 : 공급탱크10: Chemical mixing system 100: Chemical mixing device
110: Case 120: Outflow pipe
121: vortex forming part 122: protrusion
130: first pipe 140: second pipe
200: Chemical source 210: First chemical source
220: Second chemical source 300: Flow control unit
400: Supply tank

Claims (8)

제1 케미컬 공급원과 제2 케미컬 공급원을 포함하는 케미컬 공급원으로부터 공급되는 적어도 2종의 케미컬을 혼합하는 케미컬 혼합 장치로서,
상기 케미컬 혼합 장치는,
제1 케미컬 공급원과 제2 케미컬 공급원에 각각 연결되는 케이스; 및
상기 케이스와의 사이에 미리 설정된 공간이 형성되도록 상기 케이스에 삽입되는 유출관을 포함하며,
상기 케미컬이 상기 케이스와 상기 유출관 사이의 공간에서 회전하면서 혼합되어 상기 유출관을 통해 유출되는 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합 장치.A chemical mixing device for mixing at least two types of chemicals supplied from a chemical source including a first chemical source and a second chemical source,
The chemical mixing device,
A case connected to a first chemical supply source and a second chemical supply source, respectively; and
It includes an outflow pipe inserted into the case so that a predetermined space is formed between the case and the case,
A chemical mixing device, wherein the chemicals are mixed while rotating in the space between the case and the outflow pipe and flow out through the outflow pipe. 제1항에 있어서,
상기 제1 케미컬 공급원과 상기 케이스를 연결하는 제1 배관; 및
상기 제2 케미컬 공급원과 상기 케이스를 연결하는 제2 배관을 포함하며,
상기 제1 배관과 상기 제2 배관은 상기 케이스 상측의 반대 위치에서 상기 케이스에 각각 결합되는 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합 장치.According to paragraph 1,
a first pipe connecting the first chemical supply source and the case; and
It includes a second pipe connecting the second chemical supply source and the case,
A chemical mixing device, wherein the first pipe and the second pipe are respectively coupled to the case at opposite positions on the upper side of the case. 제2항에 있어서,
상기 제1 배관과 상기 제2 배관은, 상기 제1 배관의 중심축과 상기 제2 배관의 중심축이 일치하지 않도록 형성되는 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합 장치.According to paragraph 2,
The first pipe and the second pipe are formed so that the central axis of the first pipe and the central axis of the second pipe do not coincide. 제3항에 있어서,
상기 제1 배관과 상기 제2 배관은 서로 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합 장치.According to paragraph 3,
A chemical mixing device, wherein the first pipe and the second pipe are arranged parallel to each other. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 케이스의 상측으로 유입되어 상기 공간에서 회전하면서 1차로 혼합된 상기 케미컬이 상기 유출관을 통해 배출될 수 있도록, 상기 유출관의 바닥부는 상기 케이스의 바닥부로부터 미리 설정된 간격으로 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합 장치.According to any one of claims 1 to 4,
The bottom of the outflow pipe is spaced apart from the bottom of the case at a preset interval so that the chemicals that flow into the upper side of the case and are primarily mixed while rotating in the space can be discharged through the outflow pipe. A chemical mixing device. 제5항에 있어서,
상기 케미컬이 상기 유출관의 바닥부로부터 상측으로 이동하여 배출되는 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합 장치.According to clause 5,
A chemical mixing device, wherein the chemical moves upward from the bottom of the outlet pipe and is discharged. 제6항에 있어서,
상기 유출관의 내부에는 1차로 혼합된 상기 케미컬을 2차로 혼합시킬 수 있도록 와류 형성부가 구비된 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합 장치.According to clause 6,
A chemical mixing device, characterized in that the inside of the outflow pipe is provided with a vortex forming portion to allow the primary mixed chemicals to be mixed secondarily. 제7항에 있어서,
상기 와류 형성부는 상기 유출관 내측으로부터 돌출된 적어도 하나의 돌출부로 마련된 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합 장치.In clause 7,
A chemical mixing device, wherein the vortex forming portion is provided with at least one protrusion protruding from the inside of the outflow pipe.
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