KR20230000465U - Alignment apparatus - Google Patents

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KR20230000465U
KR20230000465U KR2020220002104U KR20220002104U KR20230000465U KR 20230000465 U KR20230000465 U KR 20230000465U KR 2020220002104 U KR2020220002104 U KR 2020220002104U KR 20220002104 U KR20220002104 U KR 20220002104U KR 20230000465 U KR20230000465 U KR 20230000465U
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annular
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KR2020220002104U
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훙룽 첸
차이찬 리
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케이-제트 레이저 테크 인코포레이티드
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Abstract

정렬 기기는 제1 기판과 제2 기판의 정렬에 적합하다. 이 정렬 기기는 제1 플랫폼, 지지 프레임, 제1 로딩 부재, 제2 플랫폼 및 제2 로딩 부재를 포함한다. 제1 플랫폼은 이동 및 회전에 적합하다. 지지 프레임은 제1 플랫폼 상에 배치되고, 대향되는 제1 단부와 제2 단부를 구비하며, 제1 단부가 제1 플랫폼에 연결된다. 제1 로딩 부재는 상기 제2 단부에 연결되고, 제1 플랫폼과 대향되며, 제1 로딩 부재는 제1 기판을 로딩하기 적합하다. 제2 플랫폼은 제1 플랫폼 상에 배치되고 제1 플랫폼에 대해 이동 및 회전하기 적합하다. 제2 로딩 부재는 제2 플랫폼 상에 배치되고, 제1 로딩 부재와 대향되며, 제2 로딩 부재는 제2 기판을 로딩하기 적합하다. 제1 플랫폼이 이동할 경우, 지지 프레임, 제1 로딩 부재, 제2 플랫폼 및 제2 로딩 부재가 함께 이동한다.The alignment device is suitable for aligning the first substrate and the second substrate. The alignment device includes a first platform, a support frame, a first loading member, a second platform and a second loading member. The first platform is adapted for movement and rotation. The supporting frame is disposed on the first platform and has opposed first and second ends, the first end being connected to the first platform. A first loading member is connected to the second end and is opposed to the first platform, the first loading member being suitable for loading the first substrate. The second platform is disposed on the first platform and is adapted to move and rotate relative to the first platform. A second loading member is disposed on the second platform and is opposite to the first loading member, and the second loading member is suitable for loading a second substrate. When the first platform moves, the supporting frame, the first loading member, the second platform and the second loading member move together.

Description

정렬 기기{ALIGNMENT APPARATUS}Alignment device {ALIGNMENT APPARATUS}

본 고안은 제조 공정 장비에 관한 것이고, 특히 정렬 기기에 관한 것이다.[0002] The present invention relates to manufacturing process equipment, and in particular to alignment equipment.

최근 반도체 산업의 발달로 인해 많은 반도체 관련 장비들이 파생되고 있다. 반도체 제조 공정에서 후속 가공의 제조 공정을 용이하게 하기위해 두개의 기판을 정렬해야 하는 경우가 많다.Due to the recent development of the semiconductor industry, many semiconductor-related equipment are being derived. In a semiconductor manufacturing process, it is often necessary to align two substrates in order to facilitate a subsequent manufacturing process.

종래의 정렬 기기는 2개의 플랫폼을 포함하고, 각각의 플랫폼은 하나의 기판을 로딩한다. 정렬 과정에서, 2개의 플랫폼은 로딩된 기판을 각각 이동 및 회전시켜 2개의 기판을 정렬한다. 정렬이 완료된 후, 2개의 플랫폼은 각각에 로딩된 기판을 동기화 이동하여 후속적인 제조 공정을 수행한다. 그러나 이동 과정에서 2개의 플랫폼의 정밀도에 오차가 발생하기 쉬운 관계로, 2개의 기판의 이동할 경우 정확하게 정렬되지 않는 경우가 종종 있다.A conventional alignment machine includes two platforms, each platform loading one substrate. During the alignment process, the two platforms move and rotate the loaded substrates respectively to align the two substrates. After the alignment is complete, the two platforms move the substrates loaded on each in synchronization to perform subsequent manufacturing processes. However, since an error easily occurs in the accuracy of the two platforms during the movement process, the two substrates are often not accurately aligned when moving.

본 고안은 정렬된 2개의 기판의 이동시 지속적으로 정확한 정렬을 보장하는 정렬 기기를 제공한다.The present invention provides an alignment device that continuously guarantees accurate alignment during movement of two aligned substrates.

본 고안에서 제공되는 일 실시예는 제1 기판과 제2 기판의 정렬에 적합한 정렬 기기를 제공하고, 이 정렬 기기는 제1 플랫폼, 지지 프레임, 제1 로딩 부재, 제2 플랫폼 및 제2 로딩 부재를 포함한다. 제1 플랫폼은 이동 및 회전에 적합하다. 지지 프레임은 제1 플랫폼 상에 배치되고, 대향되는 제1 단부와 제2 단부를 구비하며, 제1 단부가 제1 플랫폼에 연결된다. 제1 로딩 부재는 제2 단부에 연결되고, 제1 플랫폼과 대향되며, 제1 로딩 부재는 제1 기판을 로딩하기 적합하다. 제2 플랫폼은 제1 플랫폼 상에 배치되고 이동 및 회전에 적합하다. 제2 로딩 부재는 제2 플랫폼 상에 배치되고, 제1 로딩 부재와 대향되며, 제2 로딩 부재는 제2 기판을 로딩하기 적합하다. 제1 플랫폼이 이동할 경우, 지지 프레임, 제1 로딩 부재, 제2 플랫폼 및 제2 로딩 부재가 함께 이동한다.An embodiment provided by the present invention provides an alignment device suitable for aligning a first substrate and a second substrate, the alignment device including a first platform, a support frame, a first loading member, a second platform and a second loading member. includes The first platform is adapted for movement and rotation. The supporting frame is disposed on the first platform and has opposed first and second ends, the first end being connected to the first platform. A first loading member is connected to the second end and is opposed to the first platform, and the first loading member is suitable for loading the first substrate. The second platform is disposed on the first platform and is adapted for movement and rotation. A second loading member is disposed on the second platform and is opposite to the first loading member, and the second loading member is suitable for loading a second substrate. When the first platform moves, the supporting frame, the first loading member, the second platform and the second loading member move together.

본 고안의 실시예에서, 상기 제1 플랫폼은 제1 수평 이동 메커니즘 및 제1 회전 메커니즘을 포함한다. 제1 회전 메커니즘은 제1 수평 이동 메커니즘 상에 배치되며, 제1 회전 메커니즘은 고정부 및 회전부를 포함하고, 회전부는 고정부를 둘러싼다. 지지 프레임의 제1 단부는 회전부에 연결된다. 제2 플랫폼은 제2 수평 이동 메커니즘 및 제2 회전 메커니즘을 포함하고, 제2 수평 이동 메커니즘은 고정부 상에 배치되며, 제2 회전 메커니즘은 제2 수평 이동 메커니즘 상에 배치되고, 제2 로딩 부재는 제2 회전 메커니즘 상에 배치된다.In an embodiment of the present invention, the first platform includes a first horizontal movement mechanism and a first rotation mechanism. The first rotation mechanism is disposed on the first horizontal movement mechanism, the first rotation mechanism includes a fixed portion and a rotating portion, and the rotating portion surrounds the fixed portion. A first end of the support frame is connected to the rotating part. The second platform includes a second horizontal movement mechanism and a second rotation mechanism, the second horizontal movement mechanism is disposed on the fixing part, the second rotation mechanism is disposed on the second horizontal movement mechanism, and the second loading member is disposed on the second platform. is disposed on the second rotation mechanism.

본 고안의 실시예에서, 상기 제1 수평 이동 메커니즘 및 제2 수평 이동 메커니즘은 서로 수직되는 제1 방향 및 제2 방향을 따라 이동하기 적합하다.In an embodiment of the present invention, the first horizontal movement mechanism and the second horizontal movement mechanism are adapted to move along a first direction and a second direction perpendicular to each other.

본 고안의 실시예에서, 상기 제2 플랫폼은, 제2 수평 이동 메커니즘과 제2 회전 메커니즘 사이에 배치된 수직 이동 메커니즘을 더 포함한다.In an embodiment of the present invention, the second platform further includes a vertical movement mechanism disposed between the second horizontal movement mechanism and the second rotation mechanism.

본 고안의 실시예에서, 상기 제1 로딩 부재는 환형 고정 소자 및 환형 클램핑 소자를 포함한다. 환형 고정 소자는 지지 프레임의 제2 단부에 연결되고, 환형 클램핑 소자는 환형 고정 소자에 고정되어 제1 기판을 클램핑하기 적합하다.In an embodiment of the present invention, the first loading member includes an annular fixing element and an annular clamping element. An annular fixing element is connected to the second end of the supporting frame, and an annular clamping element is fixed to the annular fixing element, suitable for clamping the first substrate.

본 고안의 실시예에서, 상기 환형 고정 소자는 제1 환형부와 제2 환형부를 구비한다. 제1 환형부는 제2 환형부를 둘러싸며, 제1 환형부는 지지 프레임의 제2 단부에 고정되고, 제2 환형부는 제1 로딩면을 구비하며, 제1 로딩면은 제1 환형부에 대하여 함몰되고, 환형 클램핑 소자는 제1 로딩면에 고정된다.In an embodiment of the present invention, the annular fixing element has a first annular portion and a second annular portion. The first annular portion surrounds the second annular portion, the first annular portion is fixed to the second end of the supporting frame, the second annular portion has a first loading surface, and the first loading surface is recessed with respect to the first annular portion; , an annular clamping element is fixed to the first loading surface.

본 고안의 실시예에서, 상기 환형 클램핑 소자는 복수 개의 잠금 나사, 복수 개의 걸림 나사, 클램핑 링 및 당접 부재를 포함한다. 클램핑 링은 제3 환형부와 제4 환형부를 구비하고, 제3 환형부는 제4 환형부를 둘러싼다. 제3 환형부는 복수 개의 제1 스크류 홀, 복수 개의 제2 스크류 홀 및 함몰 구조를 구비하고, 제1 로딩면은 제1 스크류 홀에 대응되는 복수 개의 잠금 홈을 구비하며, 잠금 나사는 제1 스크류 홀을 관통하여 잠금 홈에 체결되고, 걸림 나사는 제2 스크류 홀을 관통하여 제1 로딩면에 당접된다. 제4 환형부는 제1 기판을 로딩하기 위한 제2 로딩면을 구비하고, 제2 로딩면은 제3 환형부에 대하여 함몰된다. 제4 환형부는 함몰 구조에 대응되는 노치를 구비한다. 당접 부재는 함몰 구조에 배치되고 노치에 인입되어, 제3 환형부의 내측 벽과 함께 제1 기판을 클램핑한다. In an embodiment of the present invention, the annular clamping element includes a plurality of locking screws, a plurality of locking screws, a clamping ring and an abutment member. The clamping ring has a third annular portion and a fourth annular portion, and the third annular portion surrounds the fourth annular portion. The third annular portion has a plurality of first screw holes, a plurality of second screw holes, and a recessed structure, the first loading surface has a plurality of locking grooves corresponding to the first screw holes, and the locking screw has a first screw hole. It is fastened to the locking groove through the hole, and the locking screw penetrates the second screw hole and comes into contact with the first loading surface. The fourth annular portion has a second loading surface for loading the first substrate, and the second loading surface is depressed with respect to the third annular portion. The fourth annular portion has a notch corresponding to the recessed structure. The abutment member is disposed in the recessed structure and enters the notch to clamp the first substrate together with the inner wall of the third annular portion.

본 고안의 실시예에서, 상기 환형 클램핑 소자는 고정 부재 및 복수 개의 탄성 부재를 더 포함하고, 함몰 구조의 저부에는 고정 홀 및 복수 개의 포지셔닝 홈이 설치되며, 당접 부재는 제1 플레이트부와 제2 플레이트부를 포함하고, 제1 플레이트부는 함몰 구조내에 설치되며, 제2 플레이트부는 제1 플레이트부에 연결되고 노치에 인입된다. 탄성 부재는 포지셔닝 홈 내에 설치되고 소정 방향을 따라 제2 플레이트부를 가압하고, 제1 플레이트부는 관통 홀을 구비하며, 고정 부재는 관통 홀을 관통하여 고정 홀에 고정된다.In an embodiment of the present invention, the annular clamping element further includes a fixing member and a plurality of elastic members, a fixing hole and a plurality of positioning grooves are installed at the bottom of the recessed structure, and the contact member is the first plate portion and the second A plate portion is included, the first plate portion is installed in the recessed structure, and the second plate portion is connected to the first plate portion and is inserted into the notch. The elastic member is installed in the positioning groove and presses the second plate portion along a predetermined direction, the first plate portion has a through hole, and the fixing member passes through the through hole and is fixed to the fixing hole.

본 고안의 실시예에서, 상기 제3 환형부의 내측 벽에는 복수 개의 돌기 구조가 설치되고, 이러한 돌기 구조와 당접 부재는 함께 제1 기판을 클램핑한다.In an embodiment of the present invention, a plurality of protruding structures are installed on the inner wall of the third annular portion, and these protruding structures and the contact member together clamp the first substrate.

본 고안의 실시예에서, 상기 정렬 기기는 지지 프레임 상부에 배치된 촬영 장치를 더 포함한다.In an embodiment of the present invention, the alignment device further includes a photographing device disposed above the support frame.

본 고안의 실시예에서, 상기 정렬 기기는 촬영 장치에 연결되어 촬영 장치를 제1 로딩 부재에 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동하도록 구동하는 구동 부재를 더 포함한다.In an embodiment of the present invention, the aligning device further includes a driving member connected to the photographing device and driving the photographing device to move toward or away from the first loading member.

본 고안의 실시예의 정렬 기기는 제2 플랫폼이 제1 플랫폼에 배치되기에, 제1 플랫폼이 이동할 경우 제2 플랫폼도 함께 이동하게 된다. 이로써 제1 기판과 제2 기판이 이동하는 과정에서 지속적으로 정확한 정렬을 보장할 수 있다.In the alignment device according to an embodiment of the present invention, since the second platform is disposed on the first platform, when the first platform moves, the second platform also moves. Accordingly, accurate alignment can be continuously ensured while the first substrate and the second substrate are moved.

본 고안의 상기 및 기타 목적, 특징 및 이점을 보다 명확하고 이해하기 쉽도록 하기 위하여, 아래에서 구체적인 실시예를 제시하고, 첨부된 도면과 함께 상세하게 설명하면 다음과 같다.In order to make the above and other objects, features and advantages of the present invention more clear and easy to understand, specific embodiments are presented below and described in detail with the accompanying drawings.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 정렬 기기의 사시도이다.
도 2는 도 1의 정렬 기기의 부분 분해도이다.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 정렬 기기의 제1 로딩 부재의 사시도이다.
도 4는 도 3의 제1 로딩 부재의 환형 고정 소자의 사시도이다.
도 5는 도 3의 제1 로딩 부재의 환형 클램핑 소자의 사시도이다.
도 6은 도 5의 환형 클램핑 소자의 함몰 구조의 확대도이다.
도 7은 도 5의 환형 클램핑 소자의 함몰 구조와 당접 부재의 단면도이다.
도 8은 본 고안의 다른 실시예의 정렬 기기의 사시도이다1 is a perspective view of an alignment device according to an embodiment of the present invention.
2 is a partially exploded view of the alignment device of FIG. 1;
3 is a perspective view of a first loading member of an alignment device according to an embodiment of the present invention.
Fig. 4 is a perspective view of an annular fixing element of the first loading member of Fig. 3;
Fig. 5 is a perspective view of an annular clamping element of the first loading member of Fig. 3;
Fig. 6 is an enlarged view of the recessed structure of the annular clamping element of Fig. 5;
Fig. 7 is a cross-sectional view of a recessed structure and an abutting member of the annular clamping element of Fig. 5;
8 is a perspective view of an alignment device according to another embodiment of the present invention;

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 정렬 기기의 사시도이다. 도 1을 참조하면, 본 실시예의 정렬 기기(100)는 제1 플랫폼(110), 지지 프레임(120), 제1 로딩 부재(130), 제2 플랫폼(140) 및 제2 로딩 부재(150)를 포함한다. 제1 플랫폼(110)은 이동 및 회전에 적합하다. 지지 프레임(120)은 제1 플랫폼(110) 상에 배치되고, 대향되는 제1 단부(121)와 제2 단부(122)를 구비하며, 제1 단부(121)는 제1 플랫폼(110)에 연결된다. 제1 로딩 부재(130)는 제2 단부(122)에 연결되고, 제1 플랫폼(110)과 대향되며, 제1 로딩 부재(130)는 제1 기판(S1)을 로딩하기 적합하다. 제2 플랫폼(140)은 제1 플랫폼(110) 상에 배치되고 이동 및 회전에 적합하다. 제2 로딩 부재(150)는 상기 제2 플랫폼(140) 상에 배치되고, 제1 로딩 부재(130)와 대향되며, 제2 로딩 부재(150)는 제2 기판(S2)을 로딩하기 적합하다. 제1 플랫폼(110)이 이동할 경우, 지지 프레임(120), 제1 로딩 부재(130), 제2 플랫폼(140)과 제2 로딩 부재(150)가 함께 이동한다. 상기 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)은 임의의 종류의 기판일 수 있고, 본 고안은 기판의 종류를 제한하지 않는다.1 is a perspective view of an alignment device according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1 , the alignment device 100 of this embodiment includes a first platform 110, a support frame 120, a first loading member 130, a second platform 140 and a second loading member 150. includes The first platform 110 is suitable for movement and rotation. The support frame 120 is disposed on a first platform 110 and has a first end 121 and a second end 122 opposed to each other, the first end 121 being attached to the first platform 110. Connected. The first loading member 130 is connected to the second end 122 and is opposed to the first platform 110, and the first loading member 130 is suitable for loading the first substrate S1. The second platform 140 is disposed on the first platform 110 and is suitable for movement and rotation. The second loading member 150 is disposed on the second platform 140 and is opposed to the first loading member 130, and the second loading member 150 is suitable for loading the second substrate S2. . When the first platform 110 moves, the support frame 120, the first loading member 130, the second platform 140, and the second loading member 150 move together. The first substrate S1 and the second substrate S2 may be any type of substrate, and the present invention does not limit the type of substrate.

도 2는 도 1의 정렬 기기의 부분 분해도이다. 도 2를 참조하면, 제1 플랫폼(110)은 예를 들어 제1 수평 이동 메커니즘(111) 및 제1 회전 메커니즘(112)을 포함한다. 제1 회전 메커니즘(112)은 제1 수평 이동 메커니즘(111) 상에 배치되며, 제1 회전 메커니즘(112)은 고정부(113) 및 회전부(114)를 포함하고, 회전부(114)는 고정부(113)를 둘러싼다. 지지 프레임(120)의 제1 단부(121)는 회전부(114)에 연결된다. 회전부(114)의 회전축(미도시)은 수직방향 Z에 평행된다. 이밖에, 제1 수평 이동 메커니즘(111)은 예를 들어 서로 수직되는 제1 방향 X 및 제2 방향 Y를 따라 이동하기 적합하다. 구체적으로, 제1 수평 이동 메커니즘(111)은 예를 들어 이동부(115 및 116)를 포함하고, 이동부(115)는 제1 방향 X를 따라 이동하기 적합하며, 이동부(116)는 이동부(115) 상에 배치되고 제2 방향 Y를 따라 이동하기 적합하다.2 is a partially exploded view of the alignment device of FIG. 1; Referring to FIG. 2 , the first platform 110 includes, for example, a first horizontal movement mechanism 111 and a first rotation mechanism 112 . The first rotation mechanism 112 is disposed on the first horizontal movement mechanism 111, the first rotation mechanism 112 includes a fixed part 113 and a rotating part 114, the rotating part 114 is a fixed part (113) surrounds. The first end 121 of the support frame 120 is connected to the rotating part 114 . The axis of rotation (not shown) of the rotating part 114 is parallel to the vertical direction Z. In addition, the first horizontal movement mechanism 111 is adapted to move along, for example, a first direction X and a second direction Y, which are perpendicular to each other. Specifically, the first horizontal movement mechanism 111 includes, for example, moving parts 115 and 116, the moving part 115 is suitable for moving along the first direction X, and the moving part 116 is moving It is disposed on the part 115 and is suitable for movement along the second direction Y.

본 실시예에서, 제2 플랫폼(140)은 예를 들어 제2 수평 이동 메커니즘(141) 및 제2 회전 메커니즘(142)을 포함하고, 제2 수평 이동 메커니즘(141)은 고정부(113) 상에 배치되며, 제2 회전 메커니즘(142)은 제2 수평 이동 메커니즘(141) 상에 배치된다. 제2 로딩 부재(150)는 제2 회전 메커니즘(142) 상에 배치된다. 구체적으로, 제2 회전 메커니즘(142)의 회전 축(미도시)은 수직방향 Z에 평행된다. 제2 수평 이동 메커니즘(141)은 예를 들어 이동부(144 및 145)를 포함하고, 이동부(144)는 제1 방향 X를 따라 이동하기 적합하며, 이동부(145)는 이동부(144)상에 배치되고 제2 방향 Y를 따라 이동하기 적합하다. 이밖에, 제2 플랫폼(140)은 제2 수평 이동 메커니즘(141)과 제2 회전 메커니즘(142) 사이에 배치된 수직 이동 메커니즘(143)을 더 포함할 수 있다. 수직 이동 메커니즘(143)은 수직 방향 Z를 따라 이동하기 적합하다. 또한, 제2 플랫폼(140)은 진공 흡착 메커니즘(미도시)을 포함할 수 있고, 제2 로딩 부재(150) 상에는 흡착 홀(151)이 설치될 수 있으며, 진공 흡착 메커니즘은 흡착 홀(151)을 통해 진공 흡입 방식으로 제2 기판(S2)을 고정한다. 설명해야 할 것은, 상이한 설계 요구에 따라 제2 로딩 부재(150)는 제2 기판(S2)을 직접 로딩하거나, 또는 제2 로딩 부재(150) 상에 기판 고정 시트(미도시)를 설치한 후 제2 기판(S2)을 기판 고정 시트에 설치할 수 있다.In this embodiment, the second platform 140 includes, for example, a second horizontal movement mechanism 141 and a second rotation mechanism 142, and the second horizontal movement mechanism 141 is mounted on the fixing part 113. , and the second rotation mechanism 142 is disposed on the second horizontal movement mechanism 141 . The second loading member 150 is disposed on the second rotation mechanism 142 . Specifically, the axis of rotation (not shown) of the second rotation mechanism 142 is parallel to the vertical direction Z. The second horizontal movement mechanism 141 includes, for example, moving parts 144 and 145, the moving part 144 being adapted to move along the first direction X, the moving part 145 being the moving part 144 ) and is suitable for movement along the second direction Y. In addition, the second platform 140 may further include a vertical movement mechanism 143 disposed between the second horizontal movement mechanism 141 and the second rotation mechanism 142 . The vertical movement mechanism 143 is adapted to move along the vertical direction Z. In addition, the second platform 140 may include a vacuum adsorption mechanism (not shown), and an adsorption hole 151 may be installed on the second loading member 150, and the vacuum adsorption mechanism may include an adsorption hole 151 The second substrate (S2) is fixed by a vacuum suction method through the. It should be explained that, according to different design requirements, the second loading member 150 directly loads the second substrate S2, or after installing a substrate fixing sheet (not shown) on the second loading member 150. The second substrate S2 may be installed on the substrate fixing sheet.

본 실시예의 정렬 기기(100)는 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)의 정렬 시, 제1 플랫폼(110)에 의해 지지 프레임(120)을 이동 및 회전시켜, 지지 프레임(120)에 고정된 제1 로딩 부재(130) 및 제1 로딩 부재(130)에 설치된 제1 기판(S1)을 이동 및 회전시키고, 제2 플랫폼(140)에 의해 제2 기판(S2)을 이동 및 회전하도록 구동함으로써, 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)이 정확하게 정렬되도록 할 수 있다. 이밖에, 수직 이동 메커니즘(143)은 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2) 사이의 간격을 조절할 수 있다. 정렬이 완료된 후, 제1 플랫폼(110)이 지지 프레임(120), 제1 로딩 부재(130), 제2 플랫폼(140) 및 제2 로딩 부재(150)를 이동시킬 수 있기에, 제1 로딩 부재(130)에 설치된 제1 기판(S1)과 제2 로딩 부재(150)에 설치된 제2 기판(S2)은 동기화 이동이 가능하여, 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)이 이동 및 후속적인 가공 과정에서 지속적으로 정확하게 정렬되도록 보장할 수 있다. The alignment device 100 of this embodiment moves and rotates the support frame 120 by the first platform 110 when the first substrate S1 and the second substrate S2 are aligned, so that the support frame 120 The first loading member 130 fixed to and the first substrate S1 installed on the first loading member 130 are moved and rotated, and the second substrate S2 is moved and rotated by the second platform 140. By driving to do so, it is possible to accurately align the first substrate S1 and the second substrate S2. In addition, the vertical movement mechanism 143 may adjust the distance between the first substrate S1 and the second substrate S2. After the alignment is complete, since the first platform 110 can move the support frame 120, the first loading member 130, the second platform 140 and the second loading member 150, the first loading member The first substrate S1 installed on the 130 and the second substrate S2 installed on the second loading member 150 can move in synchronization, so that the first substrate S1 and the second substrate S2 move and Consistently accurate alignment can be guaranteed during subsequent machining.

도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 정렬 기기의 제1 로딩 부재의 사시도이고, 도 4는 도 3의 제1 로딩 부재의 환형 고정 소자의 사시도이다. 먼저 도 3을 참조하면, 본 실시예의 제1 로딩 부재(130)는 예를 들어 환형 고정 소자(131) 및 환형 클램핑 소자(132)를 포함한다. 환형 고정 소자(131)는 지지 프레임(120)의 제2 단부(122)에 연결되고(도 1에 도시), 환형 클램핑 소자(132)는 환형 고정 소자(131)에 고정되어 제1 기판(S1)을 클램핑하기 적합하다.3 is a perspective view of a first loading member of an alignment device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a perspective view of an annular fixing element of the first loading member of FIG. 3 . Referring first to FIG. 3 , the first loading member 130 of this embodiment includes, for example, an annular fixing element 131 and an annular clamping element 132 . The annular fixing element 131 is connected to the second end 122 of the support frame 120 (shown in FIG. 1 ), and the annular clamping element 132 is fixed to the annular fixing element 131 to the first substrate S1 ) is suitable for clamping.

도 3과 도 4를 참조하면, 환형 고정 소자(131)는 제1 환형부(131a)와 제2 환형부(131b)를 구비한다. 제1 환형부(131a)는 제2 환형부(131b)를 둘러싸며, 제1 환형부(131a)는 지지 프레임(120)의 제2 단부(122)에 고정된다(도 1에 도시). 제2 환형부(131b)는 제1 로딩면(131c)을 구비하며, 제1 로딩면(131c)은 제1 환형부(131a)에 대하여 함몰되고, 환형 클램핑 소자(132)는 제1 로딩면(131c)에 고정된다.3 and 4, the annular fixing element 131 includes a first annular portion 131a and a second annular portion 131b. The first annular portion 131a surrounds the second annular portion 131b, and the first annular portion 131a is fixed to the second end 122 of the support frame 120 (shown in FIG. 1). The second annular portion 131b has a first loading surface 131c, the first loading surface 131c is depressed with respect to the first annular portion 131a, and the annular clamping element 132 is the first loading surface. (131c).

도 5는 도 3의 제1 로딩 부재의 환형 클램핑 소자의 사시도이다. 도 4 및 도 5를 참조하면, 본 실시예에서, 환형 클램핑 소자(132)는 복수 개의 잠금 나사(133), 복수 개의 걸림 나사(134), 클램핑 링(135) 및 당접 부재(136)를 포함한다. 클램핑 링(135)은 제3 환형부(135a)와 제4 환형부(135b)를 구비하고, 제3 환형부(135a)는 제4 환형부(135b)를 둘러싼다(도 5에 도시). 제3 환형부(135a)는 복수 개의 제1 스크류 홀(135c), 복수 개의 제2 스크류 홀(135d) 및 함몰 구조(135e)를 구비한다. 제1 로딩면(131c)은 제1 스크류 홀(135c)에 대응되는 복수 개의 잠금 홈(131d)(도 4에 도시)을 구비하고, 잠금 나사(133)는 제1 스크류 홀(135c)을 관통하여 잠금 홈(131d)에 체결되어, 클램핑 링(135)을 제1 로딩면(131c)에 고정한다. 걸림 나사(134)는 제2 스크류 홀(135d)을 관통하여 제1 로딩면(131c)에 당접된다. 본 실시예에서, 각각의 제1 스크류 홀(135c)의 양 옆에는 예를 들어 각각 2개의 제2 스크류 홀(135d)이 설치된다. 제4 환형부(135b)는 제1 기판(S1)을 로딩하기 위한 제2 로딩면(135g)을 구비하고, 제2 로딩면(135g)은 상기 제3 환형부(135a)에 대하여 함몰된다. 걸림 나사(134)에 의해 제2 로딩면(135g)의 수평을 조정함으로써, 제2 로딩면(135g)에 로딩된 제1 기판(S1)(도 3에 도시)이 수평을 유지할 수 있도록 하고, 나아가 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)(도면 참조) 사이가 일정한 간격을 유지할 수 있도록 한다. 이밖에, 제4 환형부(135b)는 함몰 구조(135e)에 대응되는 노치(135h)를 구비한다. 당접 부재(136)는 함몰 구조(135e)에 배치되고 노치(135h)에 인입되어, 제3 환형부(135a)의 내측 벽(135f)과 함께 제1 기판(S1)을 클램핑한다.Fig. 5 is a perspective view of an annular clamping element of the first loading member of Fig. 3; 4 and 5 , in this embodiment, the annular clamping element 132 includes a plurality of locking screws 133, a plurality of locking screws 134, a clamping ring 135 and an abutment member 136. do. The clamping ring 135 has a third annular portion 135a and a fourth annular portion 135b, and the third annular portion 135a surrounds the fourth annular portion 135b (shown in FIG. 5). The third annular portion 135a includes a plurality of first screw holes 135c, a plurality of second screw holes 135d, and a recessed structure 135e. The first loading surface 131c has a plurality of locking grooves 131d (shown in FIG. 4) corresponding to the first screw holes 135c, and the locking screws 133 pass through the first screw holes 135c. is fastened to the locking groove 131d to fix the clamping ring 135 to the first loading surface 131c. The locking screw 134 passes through the second screw hole 135d and comes into contact with the first loading surface 131c. In this embodiment, two second screw holes 135d are installed on both sides of each first screw hole 135c, for example. The fourth annular portion 135b includes a second loading surface 135g for loading the first substrate S1 , and the second loading surface 135g is depressed with respect to the third annular portion 135a. By adjusting the level of the second loading surface 135g by the locking screw 134, the first substrate S1 (shown in FIG. 3) loaded on the second loading surface 135g can be maintained horizontally, Furthermore, a constant distance is maintained between the first substrate S1 and the second substrate S2 (refer to the drawing). In addition, the fourth annular portion 135b includes a notch 135h corresponding to the recessed structure 135e. The abutment member 136 is disposed in the recessed structure 135e and is inserted into the notch 135h to clamp the first substrate S1 together with the inner wall 135f of the third annular portion 135a.

도 6은 도 5의 환형 클램핑 소자의 함몰 구조의 확대도이고, 도 7은 도 5의 환형 클램핑 소자의 함몰 구조와 당접 부재의 단면도이다. 도 6 및 도 7을 참조하면, 환형 클램핑 소자(132)는 고정 부재(137) 및 복수 개의 탄성 부재(138)를 더 포함하고(도 5 및 도 6에 도시), 함몰 구조(135e)의 저부(135i)에는 고정 홀(135j) 및 복수 개의 포지셔닝 홈(135k)이 설치된다. 당접 부재(136)는 제1 플레이트부(136a)와 제2 플레이트부(136b)를 포함하고, 제1 플레이트부(136a)는 함몰 구조(135e) 내에 설치되며, 제2 플레이트부(136b)는 제1 플레이트부(136a)에 연결되고 노치(135h)에 인입된다. 제1 플레이트부(136a)와 제2 플레이트부(136b)는 예를 들어 L형으로 연결된다. 탄성 부재(138)는 포지셔닝 홈(135k) 내에 연결되고 소정 방향(D1)을 따라 제2 플레이트부(136b)를 가압한다. 이 소정 방향(D1)은 클램핑 링(135) 중심을 향하는 방향이다. 탄성 부재(138)는 압축 스프링일 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 6 is an enlarged view of the depressed structure of the annular clamping element of FIG. 5, and FIG. 7 is a cross-sectional view of the depressed structure of the annular clamping element of FIG. 5 and the contact member. 6 and 7 , the annular clamping element 132 further includes a fixing member 137 and a plurality of elastic members 138 (shown in FIGS. 5 and 6 ), and the bottom of the recessed structure 135e (135i) is provided with a fixing hole (135j) and a plurality of positioning grooves (135k). The contact member 136 includes a first plate portion 136a and a second plate portion 136b, the first plate portion 136a is installed in the recessed structure 135e, and the second plate portion 136b It is connected to the first plate portion 136a and inserted into the notch 135h. The first plate portion 136a and the second plate portion 136b are connected in an L shape, for example. The elastic member 138 is connected to the positioning groove 135k and presses the second plate portion 136b along a predetermined direction D1. This predetermined direction D1 is a direction toward the center of the clamping ring 135 . The elastic member 138 may be a compression spring, but is not limited thereto.

제1 기판(S1)을 제2 로딩면(135g)에 안착시키고자 할 경우, 먼저 당접 부재(136)를 소정 방향(D1)과 반대되는 방향을 향해 푸시한 후, 제1 기판(S1)을 제2 로딩면(135g) 상에 안착시킨다. 이어서, 당접 부재(136)를 해제한 후, 탄성 부재(138)의 탄성 복원력에 의해 소정 방향(D1)을 따라 제2 플레이트부(136b)를 가압하여, 제2 플레이트부(136b)를 제1 기판(S1)에 당접시킨다. 이로써 당접 부재(136)와 제3 환형부(135a)의 내측 벽(135f)이 함께 제1 기판(S1)을 클램핑한다. 이밖에, 제1 플레이트부(136a)는 관통 홀(136c)을 구비하고, 제2 플레이트부(136b)가 제1 기판(S1)에 당접된 후, 고정 부재(137)가 관통 홀(136c)을 관통하여 고정 홀(135j)에 고정되고(도 5에 도시), 당접 부재(136)가 함몰 구조(135e) 내에 고정되어, 제1 기판(S1)은 환형 클램핑 소자(132)에 견고하게 클램핑된다. 본 실시예에서, 고정 부재(137)는 예를 들어 나사이고, 고정 홀(135j)은 예를 들어 스크류 홀이다. 이밖에, 관통 홀(136c)의 홀 직경은 당접 부재(136)의 고정 위치가 미세하게 조절될 수 있도록 고정 홀(135j)보다 약간 더 크게 형성될 수 있다.When the first substrate S1 is to be placed on the second loading surface 135g, the contact member 136 is first pushed in a direction opposite to the predetermined direction D1, and then the first substrate S1 is placed. It is seated on the second loading surface 135g. Subsequently, after releasing the abutment member 136, the second plate portion 136b is pressed along the predetermined direction D1 by the elastic restoring force of the elastic member 138, and the second plate portion 136b is first It is brought into contact with the substrate S1. As a result, the first substrate S1 is clamped together by the abutment member 136 and the inner wall 135f of the third annular portion 135a. In addition, the first plate portion 136a has a through hole 136c, and after the second plate portion 136b is in contact with the first substrate S1, the fixing member 137 is formed through the through hole 136c. is fixed to the fixing hole 135j (shown in FIG. 5), and the abutting member 136 is fixed in the recessed structure 135e, so that the first substrate S1 is firmly clamped to the annular clamping element 132. do. In this embodiment, the fixing member 137 is, for example, a screw, and the fixing hole 135j is, for example, a screw hole. In addition, the hole diameter of the through hole 136c may be slightly larger than that of the fixing hole 135j so that the fixing position of the contact member 136 can be finely adjusted.

클램핑 효과의 향상을 위해, 제3 환형부(135a)의 내측 벽(135f)에는 복수 개의 돌기 구조(135l)가 설치될 수 있고, 이러한 돌기 구조(135l)와 당접 부재(136)는 함께 제1 기판(S1)을 클램핑한다(도 3에도시).In order to improve the clamping effect, a plurality of protruding structures 135l may be installed on the inner wall 135f of the third annular portion 135a, and these protruding structures 135l and the contact member 136 together form the first The substrate S1 is clamped (shown in FIG. 3).

도 8은 본 고안의 다른 실시예의 정렬 기기의 사시도이다. 도 8을 참조하면, 상기 정렬 기기(100)는 지지 프레임(120) 상부에 배치된 촬영 장치(160)를 더 포함한다. 예를 들면, 제1 기판(S1)은 예를 들어 투명 기판이고, 클램핑되는 방식으로 고정되며, 이로써 촬영 장치(160)에 의해 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)의 영상을 포착하여 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)의 정렬을 보조하기 용이하다. 상기 투명 기판은 예를 들어 투명 웨이퍼이지만 본 고안은 이에 제한되지 않는다. 8 is a perspective view of an alignment device according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 8 , the alignment device 100 further includes a photographing device 160 disposed above the support frame 120 . For example, the first substrate S1 is, for example, a transparent substrate and is fixed in a clamped manner, whereby images of the first substrate S1 and the second substrate S2 are captured by the imaging device 160. Thus, it is easy to assist in aligning the first substrate S1 and the second substrate S2. The transparent substrate is, for example, a transparent wafer, but the present invention is not limited thereto.

본 실시예에서, 정렬 기기(100)는 촬영 장치(160)에 연결되어 촬영 장치(160)를 제1 로딩 부재(130)에 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동하도록 구동하는 구동 부재(170)를 더 포함할 수 있고, 즉 도 8에 도시된 Z축 방향을 따라 이동하여 촬영 장치(160)가 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)의 영상을 명확하게 포착할 수 있도록 한다.In this embodiment, the aligning device 100 further includes a driving member 170 that is connected to the photographing device 160 and drives the photographing device 160 to move toward or away from the first loading member 130. That is, by moving along the Z-axis direction shown in FIG. 8, the photographing device 160 can clearly capture images of the first substrate S1 and the second substrate S2.

요약하면, 본 고안의 실시예의 정렬 기기는 제2 플랫폼이 제1 플랫폼에 배치되기에, 제1 플랫폼이 이동할 경우 제2 플랫폼도 함께 이동하게 된다. 이로써 제1 기판과 제2 기판이 이동하는 과정에서 지속적으로 정확한 정렬을 보장할 수 있다. 이밖에, 일 실시예에서, 제1 로딩 부재의 환형 클램핑 소자는 걸림 나사에 의해 제2 로딩면의 수평을 조정함으로써, 제1 기판의 수평을 조정하여, 제1 기판과 제2 기판 사이가 일정한 간격을 유지할 수 있도록 한다. In summary, since the second platform is disposed on the first platform in the alignment device according to the embodiment of the present invention, when the first platform moves, the second platform also moves. Accordingly, accurate alignment can be continuously ensured while the first substrate and the second substrate are moved. In addition, in one embodiment, the annular clamping element of the first loading member adjusts the level of the first board by adjusting the level of the second loading surface by the locking screw, so that the first board and the second board are constant. to keep the distance.

비록 본 고안은 실시예와 함께 개시되었지만 본 고안을 한정하려는 것이 아니면 본 고안이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 고안의 정신 및 범위를 벗어나지 않고 다양한 변경을 가할 수 있다. 따라서 본 고안의 보호 범위는 첨부된 출원 범위에 따라 결정되어야 한다.Although the present invention is disclosed together with the examples, those skilled in the art may make various changes without departing from the spirit and scope of the present invention unless the present invention is intended to be limited. Therefore, the protection scope of the present invention should be determined according to the scope of the attached application.

100: 정렬 기기
110: 제1 플랫폼
111: 제1 수평 이동 메커니즘
112: 제1 회전 메커니즘
113: 고정부
114: 회전부
115: 이동부
116: 이동부
120: 지지 프레임
121: 제1 단부
122: 제2 단부
130: 제1 로딩 부재
131: 환형 고정부
131a: 제1 환형부
131b: 제2 환형부
131c: 제1 로딩면
131d: 잠금 홈
132: 환형 클램핑 소자
133: 잠금 나사
134: 걸림 나사
135: 클램핑 링
135a: 제3 환형부
135b: 제4 환형부
135c: 제1 스크류 홀
135d: 제2 스크류 홀
135e: 함몰 구조
135f: 내측 벽
135g: 제2 로딩면
135h: 노치
135i: 저부
135j: 고정 홀
135k: 포지셔닝 홈
135l: 돌기 구조
136: 당접 부재
136a: 제1 플레이트부
136b: 제2 플레이트부
136c: 관통 홀
137: 고정 부재
138: 탄성 부재
140: 제2 플랫폼
141: 제2 수평 이동 메커니즘
142: 제2 회전 메커니즘
143: 수직 이동 메커니즘
144: 이동부
145: 이동부
150: 제2 로딩 부재
151: 흡착 홀
160: 촬영 장치
170: 구동 부재
S1: 제1 기판
S2: 제2 기판100: alignment device
110: first platform
111: first horizontal movement mechanism
112: first rotation mechanism
113: fixing part
114: rotating part
115: moving unit
116: moving unit
120: support frame
121: first end
122 second end
130: first loading member
131: annular fixing part
131a: first annular portion
131b: second annular portion
131c: first loading surface
131d: lock home
132: annular clamping element
133: lock screw
134: locking screw
135: clamping ring
135a: third annular portion
135b: fourth annular portion
135c: first screw hole
135d: second screw hole
135e: recessed structure
135f: inner wall
135 g: second loading surface
135h: notch
135i: bottom
135j: fixed hole
135k: positioning home
135l: projection structure
136: contact member
136a: first plate portion
136b: second plate part
136c: through hole
137: fixed member
138: elastic member
140: second platform
141: second horizontal movement mechanism
142: second rotation mechanism
143: vertical movement mechanism
144: moving unit
145: moving unit
150: second loading member
151: suction hole
160: shooting device
170: driving member
S1: first substrate
S2: second substrate

Claims (11)

제1 기판과 제2 기판의 정렬에 적합한 정렬 기기에 있어서,
상기 정렬 기기는,
이동 및 회전에 적합한 제1 플랫폼;
상기 제1 플랫폼 상에 배치되고, 대향되는 제1 단부와 제2 단부를 구비하며, 상기 제1 단부가 상기 제1 플랫폼에 연결되는 지지 프레임;
상기 제2 단부에 연결되고, 상기 제1 플랫폼과 대향되며, 상기 제1 기판을 로딩하기 적합한 제1 로딩 부재;
상기 제1 플랫폼 상에 배치되고 이동 및 회전에 적합한 제2 플랫폼; 및
상기 제2 플랫폼 상에 배치되고, 상기 제1 로딩 부재와 대향되며, 상기 제2 기판을 로딩하기 적합한 제2 로딩 부재를 포함하고,
상기 제1 플랫폼이 이동할 경우, 상기 지지 프레임, 상기 제1 로딩 부재, 상기 제2 플랫폼 및 상기 제2 로딩 부재가 함께 이동하는 정렬 기기.An alignment device suitable for aligning a first substrate and a second substrate, comprising:
The alignment device,
a first platform suitable for movement and rotation;
a support frame disposed on the first platform and having opposed first and second ends, the first end being connected to the first platform;
a first loading member coupled to the second end, opposite the first platform, and suitable for loading the first substrate;
a second platform disposed on the first platform and adapted for movement and rotation; and
a second loading member disposed on the second platform, opposite the first loading member, and suitable for loading the second substrate;
When the first platform moves, the support frame, the first loading member, the second platform, and the second loading member move together. 제1항에 있어서,
상기 제1 플랫폼은 제1 수평 이동 메커니즘 및 제1 회전 메커니즘을 포함하고, 상기 제1 회전 메커니즘은 상기 제1 수평 이동 메커니즘 상에 배치되며, 상기 제1 회전 메커니즘은 고정부 및 회전부를 포함하고, 상기 회전부는 상기 고정부를 둘러싸며, 상기 지지 프레임의 상기 제1 단부는 상기 회전부에 연결되고;
상기 제2 플랫폼은 제2 수평 이동 메커니즘 및 제2 회전 메커니즘을 포함하고, 상기 제2 수평 이동 메커니즘은 상기 고정부 상에 배치되며, 상기 제2 회전 메커니즘은 상기 제2 수평 이동 메커니즘 상에 배치되고, 상기 제2 로딩 부재는 상기 제2 회전 메커니즘 상에 배치되는 정렬 기기.According to claim 1,
the first platform includes a first horizontal movement mechanism and a first rotation mechanism, the first rotation mechanism is disposed on the first horizontal movement mechanism, and the first rotation mechanism includes a fixed portion and a rotating portion; the rotating portion surrounds the fixing portion, and the first end of the support frame is connected to the rotating portion;
the second platform includes a second horizontal movement mechanism and a second rotation mechanism, the second horizontal movement mechanism is disposed on the fixing part, and the second rotation mechanism is disposed on the second horizontal movement mechanism; , wherein the second loading member is disposed on the second rotation mechanism. 제2항에 있어서,
각각의 상기 제1 수평 이동 메커니즘 및 상기 제2 수평 이동 메커니즘은 서로 수직되는 제1 방향 및 제2 방향을 따라 이동하기 적합한 정렬 기기.According to claim 2,
wherein each of the first horizontal movement mechanism and the second horizontal movement mechanism is adapted to move along a first direction and a second direction perpendicular to each other. 제2항에 있어서,
상기 제2 플랫폼은,
상기 제2 수평 이동 메커니즘과 상기 제2 회전 메커니즘 사이에 배치된 수직 이동 메커니즘을 더 포함하는 정렬 기기.According to claim 2,
The second platform,
and a vertical movement mechanism disposed between the second horizontal movement mechanism and the second rotation mechanism. 제1항에 있어서,
상기 제1 로딩 부재는,
상기 지지 프레임의 상기 제2 단부에 연결된 환형 고정 소자; 및
상기 환형 고정 소자에 고정되어 상기 제1 기판을 클램핑하기 적합한 환형 클램핑 소자를 포함하는 정렬 기기.According to claim 1,
The first loading member,
an annular fixing element connected to the second end of the support frame; and
and an annular clamping element fixed to the annular clamping element and suitable for clamping the first substrate. 제5항에 있어서,
상기 환형 고정 소자는 제1 환형부와 제2 환형부를 구비하고, 상기 제1 환형부는 상기 제2 환형부를 둘러싸며, 상기 제1 환형부는 상기 지지 프레임의 상기 제2 단부에 고정되고, 상기 제2 환형부는 제1 로딩면을 구비하며, 상기 제1 로딩면은 상기 제1 환형부에 대하여 함몰되고, 상기 환형 클램핑 소자는 상기 제1 로딩면에 고정되는 정렬 기기.According to claim 5,
The annular fixing element has a first annular portion and a second annular portion, the first annular portion surrounds the second annular portion, the first annular portion is fixed to the second end of the support frame, and the second annular portion is fixed to the second end portion of the support frame. The alignment device according to claim 1 , wherein the annular portion has a first loading surface, the first loading surface is recessed with respect to the first annular portion, and the annular clamping element is secured to the first loading surface. 제6항에 있어서,
상기 환형 클램핑 소자는,
복수 개의 잠금 나사 및 복수 개의 걸림 나사;
제3 환형부와 제4 환형부를 구비하고, 상기 제3 환형부는 상기 제4 환형부를 둘러싸며, 상기 제3 환형부는 복수 개의 제1 스크류 홀, 복수 개의 제2 스크류 홀 및 함몰 구조를 구비하고, 상기 제1 로딩면은 상기 복수 개의 제1 스크류 홀에 대응되는 복수 개의 잠금 홈을 구비하며, 상기 복수 개의 잠금 나사는 상기 복수 개의 제1 스크류 홀을 관통하여 상기 복수 개의 잠금 홈에 체결되고,상기 복수 개의 걸림 나사는 상기 복수 개의 제2 스크류 홀을 관통하여 상기 제1 로딩면에 당접되며, 상기 제4 환형부는 상기 제1 기판을 로딩하기 위한 제2 로딩면을 구비하고, 상기 제2 로딩면은 상기 제3 환형부에 대하여 함몰되며, 상기 제4 환형부는 상기 함몰 구조에 대응되는 노치를 구비하는 클램핑 링; 및
상기 함몰 구조에 배치되고 상기 노치에 인입되어, 상기 제3 환형부의 내측 벽과 함께 상기 제1 기판을 클램핑하는 당접 부재를 포함하는 정렬 기기.According to claim 6,
The annular clamping element,
a plurality of locking screws and a plurality of set screws;
a third annular portion and a fourth annular portion, wherein the third annular portion surrounds the fourth annular portion, and the third annular portion includes a plurality of first screw holes, a plurality of second screw holes, and a recessed structure; The first loading surface includes a plurality of locking grooves corresponding to the plurality of first screw holes, and the plurality of locking screws pass through the plurality of first screw holes and are fastened to the plurality of locking grooves. A plurality of locking screws pass through the plurality of second screw holes and come into contact with the first loading surface, the fourth annular portion has a second loading surface for loading the first substrate, and the second loading surface is recessed with respect to the third annular portion, and the fourth annular portion is a clamping ring having a notch corresponding to the recessed structure; and
and an abutment member disposed in the recessed structure and inserted into the notch to clamp the first substrate together with an inner wall of the third annular portion. 제7항에 있어서,
상기 환형 클램핑 소자는 고정 부재 및 복수 개의 탄성 부재를 더 포함하고, 상기 함몰 구조의 저부에는 고정 홀 및 복수 개의 포지셔닝 홈이 설치되며, 상기 당접 부재는 제1 플레이트부와 제2 플레이트부를 포함하고, 상기 제1 플레이트부는 상기 함몰 구조내에 설치되며, 상기 제2 플레이트부는 상기 제1 플레이트부에 연결되고 상기 노치에 인입되며, 상기 복수 개의 탄성 부재는 상기 복수 개의 포지셔닝 홈내에 설치되고 소정 방향을 따라 상기 제2 플레이트부를 가압하고, 상기 제1 플레이트부는 관통 홀을 구비하며, 상기 고정 부재는 상기 관통 홀을 관통하여 상기 고정 홀에 고정되는 정렬 기기.According to claim 7,
The annular clamping element further includes a fixing member and a plurality of elastic members, a fixing hole and a plurality of positioning grooves are provided at the bottom of the recessed structure, and the contact member includes a first plate portion and a second plate portion; The first plate part is installed in the recessed structure, the second plate part is connected to the first plate part and inserted into the notch, and the plurality of elastic members are installed in the plurality of positioning grooves and the plurality of elastic members are installed in the plurality of positioning grooves along a predetermined direction. The alignment device presses the second plate portion, the first plate portion has a through hole, and the fixing member passes through the through hole and is fixed to the fixing hole. 제7항에 있어서,
상기 제3 환형부의 상기 내측 벽에는 복수 개의 돌기 구조가 설치되고, 상기 복수 개의 돌기 구조와 상기 당접 부재는 함께 상기 제1 기판을 클램핑하는 정렬 기기.According to claim 7,
A plurality of protrusion structures are installed on the inner wall of the third annular portion, and the plurality of protrusion structures and the abutting member clamp the first substrate together. 제1항에 있어서,
상기 지지 프레임 상부에 배치된 촬영 장치를 더 포함하는 정렬 기기.According to claim 1,
Alignment device further comprising a photographing device disposed above the support frame. 제10항에 있어서,
상기 촬영 장치에 연결되어 상기 촬영 장치를 상기 제1 로딩 부재에 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동하도록 구동하는 구동 부재를 더 포함하는 정렬 기기.According to claim 10,
and a driving member connected to the photographing device and driving the photographing device to move toward or away from the first loading member.
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