KR20220156092A - Linear groove formation method and grain-oriented electrical steel sheet manufacturing method - Google Patents

Linear groove formation method and grain-oriented electrical steel sheet manufacturing method Download PDF

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KR20220156092A
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류이치 스에히로
다케시 오무라
시게히로 다카조
요시히사 이치하라
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제이에프이 스틸 가부시키가이샤
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Abstract

금속 스트립 표면에 원하는 홈폭으로 선상 홈을 형성하고, 나아가서는 매우 자기 특성이 우수한 방향성 전기 강판을 제공하는 것. 금속 스트립의 적어도 편면에 레지스트 피막을 형성하고, 이어서, 상기 레지스트 피막에, 상기 금속 스트립의 압연 방향을 횡단하는 방향으로 주사하면서 레이저를 조사하여, 상기 레이저가 조사된 부분의 상기 레지스트 피막을 제거하고, 이어서, 상기 금속 스트립의 상기 레지스트 피막이 제거된 부분에 에칭 처리를 실시하여 선상 홈을 형성하는, 홈 형성 방법으로서, 상기 레지스트 피막은, 무기 화합물을 고형분 환산으로 20 질량% 이상 함유하고, 상기 금속 스트립 표면에 있어서, 상기 레이저는 단축 직경에 대한 장축 직경의 비가 5.0 이상인 타원상의 빔 형상을 갖고, 또한 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경이 10 ㎛ 이상 100 ㎛ 이하인, 선상 홈 형성 방법.To provide a grain-oriented electrical steel sheet in which linear grooves are formed on a surface of a metal strip with a desired groove width and furthermore excellent in magnetic properties. Forming a resist film on at least one surface of the metal strip, then irradiating the resist film with a laser while scanning in a direction transverse to the rolling direction of the metal strip to remove the resist film from the portion irradiated with the laser, Then, an etching process is performed on a portion of the metal strip from which the resist film is removed to form linear grooves, wherein the resist film contains an inorganic compound at 20% by mass or more in terms of solid content, and the metal On the strip surface, the laser has an elliptical beam shape in which the ratio of the major axis diameter to the minor axis diameter is 5.0 or more, and the beam diameter in the scanning orthogonal direction is 10 μm or more and 100 μm or less.

Description

선상 홈 형성 방법 및 방향성 전기 강판의 제조 방법Linear groove formation method and grain-oriented electrical steel sheet manufacturing method

본 개시는, 금속 스트립 표면에 대한 선상 홈 형성 방법, 및 그 선상 홈 형성 방법을 이용하는 방향성 전기 강판의 제조 방법에 관한 것이다.The present disclosure relates to a method of forming linear grooves on a surface of a metal strip, and a method of manufacturing a grain-oriented electrical steel sheet using the method of forming linear grooves.

자기 특성이 우수한 방향성 전기 강판은, 주로 변압기의 철심용 재료로서 사용되고 있다. 변압기의 에너지 사용 효율을 향상시키기 위해, 방향성 전기 강판의 저철손화가 요구되고 있다. 방향성 전기 강판을 저철손화하는 기술의 하나로서, 강판의 표면 가공에 의한 방법이 알려져 있다.Grain-oriented electrical steel sheets with excellent magnetic properties are mainly used as materials for iron cores of transformers. In order to improve the energy use efficiency of the transformer, low core loss of grain-oriented electrical steel sheet is required. As one of the techniques for reducing core loss of grain-oriented electrical steel sheets, a method by surface processing of steel sheets is known.

강판의 표면 가공에 의한 철손 저감 기술은, 강판의 표면에 대해 물리적인 수법으로 변형을 도입하고, 자구의 폭을 세분화하여 철손을 저감한다는 것이며, 그 하나로, 에칭에 의해 강판의 표면에 홈을 형성하는 방법이 있다. 구체적으로는, 포스테라이트 피막이 형성되기 전의 강판 표면에, 그라비어 롤 등을 사용하여 레지스트 피막 형성용 피복제를 패턴상으로 도포한 후, 상기 레지스트 피막 형성용 피복제가 도포되어 있지 않은 부분을, 전해 에칭 등의 방법을 이용하여 선택적으로 에칭함으로써 강판 표면에 홈을 형성한다는 방법이 알려져 있다. 그 방법에 의하면, 홈을 형성함으로써 강판 표면의 자구를 세분화하고, 방향성 전기 강판의 철손을 저감할 수 있다.Iron loss reduction technology by surface processing of steel sheet is to reduce iron loss by introducing strain to the surface of the steel sheet by a physical method and subdividing the width of the magnetic domain. One of them is to form grooves on the surface of the steel sheet by etching. There is a way to do it. Specifically, a coating material for forming a resist film is applied in a pattern on the surface of a steel sheet before a forsterite film is formed using a gravure roll or the like, and then the portion where the coating material for forming a resist film is not coated is electrolytically A method of forming grooves on the surface of a steel sheet by selectively etching using a method such as etching is known. According to this method, the iron loss of the grain-oriented electrical steel sheet can be reduced by subdividing the magnetic domains on the surface of the steel sheet by forming the grooves.

그런데, 이와 같은 선상 홈이 표면에 형성된 방향성 전기 강판의 자기 특성은, 선상 홈의 형상에 크게 영향을 받는 것이 알려져 있다. 선상 홈의 판두께 방향에 있어서의 깊이 (홈 깊이) 가 깊을수록 선상 홈의 벽면에 자극이 많이 생성되어 자구 세분화의 효과가 증대되기 때문에, 홈 깊이는 깊게 하는 것이 바람직하다. 한편, 에칭에 의해 선상 홈을 형성할 때에, 전해량, 즉 선상 홈 형성에 의한 지철의 감소량이 많아지면, 자속 밀도의 저하 및 이력손의 증대를 초래하기 때문에 전해량은 적은 것이 바람직하다. 따라서, 전해량을 줄이기 위해서 홈폭을 좁게 하는 것이 바람직하다. 또한, 에칭 후의 선상 홈의 홈 형상이 불균일하면, 방향성 전기 강판의 자기 특성에 편차가 생기기 때문에, 균일한 레지스트 피막 패턴을 형성하여, 균일한 선상 홈을 강판 표면에 형성하는 것이 바람직하다.By the way, it is known that the magnetic properties of a grain-oriented electrical steel sheet having linear grooves formed on the surface thereof are largely influenced by the shape of the linear grooves. The deeper the depth (groove depth) of the linear grooves in the sheet thickness direction, the more magnetic poles are generated on the wall surface of the linear grooves, increasing the effect of magnetic domain refining. Therefore, the groove depth is preferably deep. On the other hand, when forming linear grooves by etching, if the amount of electrolysis, that is, the amount of reduction of base iron by forming linear grooves increases, the magnetic flux density decreases and the hysteretic loss increases. Therefore, the amount of electrolysis is preferably small. Therefore, it is desirable to narrow the groove width in order to reduce the amount of electrolysis. In addition, if the groove shape of the linear grooves after etching is not uniform, the magnetic properties of the grain-oriented electrical steel sheet may vary. Therefore, it is preferable to form a uniform resist coating pattern to form uniform linear grooves on the surface of the steel sheet.

균일한 레지스트 피막 패턴을 형성하여 균일한 선상 홈을 형성하고, 강판의 자기 특성의 편차를 억제하는 기술로서 특허문헌 1 에는, 레이저를 사용하여 레지스트 피막 패턴을 형성하는 것이 서술되어 있다. 즉, 특허문헌 1 에 기재된 기술에 있어서는, 강판 표면 전체에 균일하게 레지스트 피막을 형성한 후에, 레지스트 피막이 불필요한 부분에 레이저를 조사함으로써 레지스트 피막을 순시에 가스화시켜, 조사된 부분의 레지스트 피막을 선택적으로 제거하는 것이다. 특허문헌 1 에 기재된 방법에 의하면, 균일한 형상의 선상 홈을 형성할 수 있다고 기대된다. 또한, 특허문헌 1 에는, 조사하는 레이저의 빔 직경을 소직경으로 하고, 레이저의 형상을 진원에 근접시킴으로써, 폭이 좁은 선상 홈을 형성할 수 있는 것이 기재되어 있다.Patent Literature 1 describes forming a resist film pattern using a laser as a technique for forming a uniform resist film pattern to form uniform linear grooves and suppressing variation in magnetic properties of a steel sheet. That is, in the technique described in Patent Literature 1, after uniformly forming a resist film over the entire surface of the steel sheet, the laser is irradiated to areas where the resist film is not required to instantaneously gasify the resist film, and selectively remove the resist film in the irradiated portion. is to remove According to the method described in Patent Literature 1, it is expected that linear grooves of a uniform shape can be formed. Further, Patent Literature 1 describes that narrow linear grooves can be formed by setting the beam diameter of the irradiated laser beam to a small diameter and approximating the shape of the laser to a perfect circle.

국제 공개 2017/017908호 명세서Specification International Publication No. 2017/017908

그러나, 종래의 기술에 따라서는, 소직경의 빔을 조사해도 에칭 후의 홈폭이 빔 직경보다 커져, 원하는 홈폭이 얻어지지 않는 경우가 있다는 문제가 있었다.However, depending on the prior art, there has been a problem that the groove width after etching becomes larger than the beam diameter even when a small-diameter beam is irradiated, and a desired groove width cannot be obtained.

본 개시는, 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 금속 스트립 표면에 원하는 홈폭으로 선상 홈을 형성하고, 나아가서는 매우 자기 특성이 우수한 방향성 전기 강판을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present disclosure has been made in view of such circumstances, and an object of the present disclosure is to provide a grain oriented electrical steel sheet in which linear grooves are formed with a desired groove width on the surface of a metal strip, and further excellent in magnetic properties.

본 발명자들은, 상기한 과제를 달성하기 위해 예의 검토를 거듭한 결과, 이하의 지견을 얻었다.The present inventors obtained the following knowledge as a result of repeating earnest examination in order to achieve the above-mentioned subject.

(1) 에칭 후의 홈폭이, 금속 스트립 표면에 있어서의 레이저의 주사 방향과 직교하는 방향 (이하, 주사 직교 방향이라고도 칭한다) 의 빔 직경보다 커지는 영역에 있어서는, 레지스트 피막이 제거된 부분의 레이저의 주사 직교 방향에 있어서의 폭 (이하, 레지스트 피막 제거폭이라고도 칭한다) 은, 레이저의 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경 (이후, 조사폭이라고도 칭한다) 이상으로 되지는 않는 한편, 레이저의 열에 의해 레지스트 피막이 변질된 부분 (열 영향부) 이 존재하고, 그 열 영향부가 에칭 시에 제거되어 선상 홈의 홈폭이 증대되는 원인이 되고 있다.(1) In a region where the width of the groove after etching is larger than the beam diameter in a direction perpendicular to the scanning direction of the laser on the surface of the metal strip (hereinafter also referred to as the orthogonal scanning direction), the laser scanning orthogonality of the portion where the resist film has been removed The width in the direction (hereinafter also referred to as the resist film removal width) is not equal to or greater than the beam diameter (hereinafter referred to as the irradiation width) in the direction perpendicular to the scanning direction of the laser, while the resist film is degenerated by the heat of the laser. A portion (heat-affected zone) exists, and the heat-affected zone is removed during etching, causing the groove width of the linear groove to increase.

(2) 레이저의 주사 방향의 빔 직경과 직교 방향의 빔 직경이 동일, 즉 진원에 가까운 빔 형상의 레이저를 레지스트 피막에 조사하는 경우, 레이저 조사 후의 열 영향부의 레이저 주사 직교 방향에 있어서의 폭 (이후, 열 영향폭이라고도 칭한다) 은, 단시간에 집중적으로 에너지가 투입되었을 경우에 커지고, 시간적으로 분산되어 에너지가 투입되었을 경우에 작아진다. 따라서, 열 영향폭을 저감하기 위해서는 레이저의 출력을 저감하는 것이 유효해지지만, 단순히 레이저의 출력을 저감하면, 레지스트 피막의 제거가 불충분해질 우려가 있다. 그 때문에, 레이저의 출력을 저감하는 경우, 충분한 에너지를 레지스트 피막에 투입하기 위해서, 레이저의 주사 속도를 떨어뜨릴 필요가 있지만, 레이저의 주사 속도를 떨어뜨리면 생산성이 저하된다. 그래서 레이저의 출력 저감을 대체하는 수법으로서, 금속 스트립 표면에 있어서의 빔 형상을 진원에 가까운 형상으로부터 타원상으로 변경하는 수법이 유효하다. 빔 형상을 타원상으로 함으로써, 동일한 레이저 출력이어도 에너지의 투입이 시간적으로 분산되어 열 영향폭이 작아지고, 나아가서는 선상 홈의 홈폭이 증대되는 것을 방지할 수 있다. 이 효과를 얻기 위해서는 레이저의 빔 형상의 단축 직경에 대한 장축 직경의 비를 5.0 이상으로 할 필요가 있다.(2) When the resist film is irradiated with a laser having the same beam diameter in the laser scanning direction and the beam diameter in the orthogonal direction, that is, a beam shape close to a perfect circle, the width of the heat-affected zone after laser irradiation in the direction orthogonal to the laser scanning ( Hereafter, also referred to as a heat effect width) increases when energy is applied intensively in a short time, and decreases when energy is applied in a dispersed manner over time. Therefore, in order to reduce the heat-affected width, it is effective to reduce the laser output, but simply reducing the laser output may result in insufficient removal of the resist film. Therefore, when reducing the output of the laser, it is necessary to drop the scanning speed of the laser in order to supply sufficient energy to the resist film, but dropping the scanning speed of the laser lowers productivity. Therefore, as a method of replacing the laser output reduction, a method of changing the beam shape on the surface of the metal strip from a shape close to a perfect circle to an ellipse is effective. By making the beam shape elliptical, even with the same laser output, it is possible to prevent energy input from being dispersed over time, reducing the heat-affected width, and further increasing the groove width of the linear grooves. In order to obtain this effect, it is necessary to set the ratio of the major axis diameter to the minor axis diameter of the laser beam shape to 5.0 or more.

(3) 빔 형상을 타원으로 함으로써 조사 에너지가 공간적으로 분산되어, 레지스트 피막의 제거성이 열화된다. 그래서, 레지스트 피막 제거에 필요한 에너지를 저감하고, 빔 형상이 타원상인 레이저를 조사했을 경우에도 확실하게 레지스트 피막을 제거하기 위해서, 무기 화합물을 함유한 레지스트 피막을 사용하는 것이 유효하다. 레이저에 의한 레지스트 피막의 제거는, 레지스트 피막 중에 포함되는 유기 화합물을 가스화시킴으로써 달성되고, 레이저의 에너지는 유기 화합물의 가스화에 사용된다. 레지스트 피막이 무기 화합물을 함유하고 있는 경우, 레이저 조사에 의해 레지스트 피막 중의 유기 화합물을 가스화시키면 레지스트 피막 중의 무기 화합물은 먼지가 되어 비산하여 제거되기 때문에, 레지스트 피막 중의 무기 화합물분에 상당하는 유기 화합물의 가스화에 필요한 에너지를 저감할 수 있다. 타원상의 레이저에 의해 확실하게 레지스트 피막을 제거하기 위해서는, 레지스트 피막 중의 무기 화합물의 함유량을 고형물 환산으로 20 질량% 이상으로 할 필요가 있다.(3) By making the beam shape elliptical, irradiation energy is spatially dispersed, and the resist film removability deteriorates. Therefore, it is effective to use a resist film containing an inorganic compound in order to reduce the energy required for removing the resist film and to reliably remove the resist film even when a laser having an elliptical beam shape is irradiated. Removal of the resist film by the laser is achieved by gasifying the organic compound contained in the resist film, and the energy of the laser is used to gasify the organic compound. When the resist film contains an inorganic compound, when the organic compound in the resist film is gasified by laser irradiation, the inorganic compound in the resist film becomes dust and is scattered and removed. Gasification of the organic compound equivalent to the inorganic compound in the resist film energy required can be reduced. In order to reliably remove the resist film with an elliptical laser, it is necessary to set the content of the inorganic compound in the resist film to 20% by mass or more in terms of solid matter.

본 개시는, 상기 지견에 기초하여 이루어진 것이다. 즉, 본 개시의 요지 구성은 이하와 같다.This indication is made based on the said knowledge. That is, the gist of the present disclosure is as follows.

[1] 금속 스트립의 적어도 편면에 레지스트 피막을 형성하고,[1] Forming a resist film on at least one surface of the metal strip,

이어서, 상기 레지스트 피막에, 상기 금속 스트립의 압연 방향을 횡단하는 방향으로 주사하면서 레이저를 조사하여, 상기 레이저가 조사된 부분의 상기 레지스트 피막을 제거하고,Next, the resist film is irradiated with a laser while scanning in a direction transverse to the rolling direction of the metal strip to remove the resist film at a portion irradiated with the laser,

이어서, 상기 금속 스트립의 상기 레지스트 피막이 제거된 부분에 에칭 처리를 실시하여 선상 홈을 형성하는, 선상 홈 형성 방법으로서,Subsequently, an etching process is performed on a portion of the metal strip from which the resist film is removed to form a linear groove, a linear groove forming method,

상기 레지스트 피막은, 무기 화합물을 고형분 환산으로 20 질량% 이상 함유하고,The resist film contains 20% by mass or more of an inorganic compound in terms of solid content,

상기 금속 스트립 표면에 있어서, 상기 레이저는 단축 직경에 대한 장축 직경의 비가 5.0 이상인 타원상의 빔 형상을 갖고, 또한 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경이 10 ㎛ 이상 100 ㎛ 이하인, 선상 홈 형성 방법.On the surface of the metal strip, the laser has an elliptical beam shape in which the ratio of the major axis diameter to the minor axis diameter is 5.0 or more, and the beam diameter in the scanning orthogonal direction is 10 μm or more and 100 μm or less.

[2] 상기 레이저의 조사 에너지를 30 J/m 이하로 하는, 상기 [1] 에 기재된 선상 홈 형성 방법.[2] The linear groove formation method according to [1] above, wherein the irradiation energy of the laser is 30 J/m or less.

[3] 강 슬래브에 열간 압연을 실시하여 열연 강판으로 하고,[3] Hot rolling is performed on a steel slab to obtain a hot rolled steel sheet,

이어서, 상기 열연 강판에, 혹은, 상기 열연 강판에 열연판 어닐링을 실시하여 얻은 열연 어닐링판에, 1 회 또는 중간 어닐링을 사이에 두는 2 회 이상의 냉간 압연을 실시하여 냉연 강판으로 하고,Next, the hot-rolled steel sheet or the hot-rolled annealed sheet obtained by subjecting the hot-rolled steel sheet to hot-rolled sheet annealing is subjected to cold rolling once or twice or more with intermediate annealing interposed therebetween to obtain a cold-rolled steel sheet,

이어서, 상기 냉연 강판에 1 차 재결정 어닐링을 실시하여 1 차 재결정판으로 하고,Subsequently, primary recrystallization annealing is performed on the cold-rolled steel sheet to obtain a primary recrystallized sheet,

이어서, 상기 1 차 재결정판에 2 차 재결정 어닐링을 실시하여 2 차 재결정판으로 하는, 방향성 전기 강판의 제조 방법으로서,Subsequently, as a method for producing a grain-oriented electrical steel sheet, by subjecting the primary recrystallized sheet to secondary recrystallization annealing to obtain a secondary recrystallized sheet,

상기 열간 압연 후의 어느 강판의 적어도 편면에, 상기 [1] 또는 [2] 에 기재된 선상 홈 형성 방법에 의해, 선상 홈을 형성하는, 방향성 전기 강판의 제조 방법.A method for producing a grain-oriented electrical steel sheet, wherein linear grooves are formed on at least one side of a steel sheet after hot rolling by the linear groove forming method described in [1] or [2] above.

본 개시에 의하면, 금속 스트립 표면에 원하는 홈폭으로 선상 홈을 형성하고, 나아가서는 매우 자기 특성이 우수한 방향성 전기 강판을 제공할 수 있다.According to the present disclosure, it is possible to provide a grain oriented electrical steel sheet in which linear grooves are formed on the surface of a metal strip with a desired groove width and further excellent in magnetic properties.

도 1 은 레이저 조사의 개요를 나타내는 도면이다.
도 2 는 선상 홈의 홈폭과, 철손 W17/50 의 관계를 나타내는 도면이다.
도 3 은 레이저의 장단축비와, 에칭 후의 홈폭의 관계를 나타내는 도면이다.
도 4 는 레지스트 피막 제거폭의 측정 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5 는 레지스트 피막의 무기 화합물 함유율과, 레이저의 주사 직교 방향에 있어서의 직경에 대한 레지스트 피막 제거폭의 비율의 관계를 나타내는 도면이다.
1 is a diagram showing an outline of laser irradiation.
Fig. 2 is a diagram showing the relationship between the groove width of the linear groove and the iron loss W 17/50 .
Fig. 3 is a diagram showing the relationship between the long and short axis ratio of the laser beam and the groove width after etching.
4 is a diagram for explaining a method for measuring a resist film removal width.
Fig. 5 is a diagram showing the relationship between the inorganic compound content of the resist film and the ratio of the resist film removal width to the diameter in the direction orthogonal to laser scanning.

먼저, 본 개시를 개발하는 계기가 된 실험에 대해 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서,「%」는, 특별히 명기하지 않는 한「질량%」를 의미한다. 또 본 명세서 중에 있어서,「∼」를 사용하여 나타내는 수치 범위는,「∼」의 전후에 기재되는 수치를 하한치 및 상한치로 포함하는 범위를 의미한다.First, an experiment that led to the development of the present disclosure will be described. In addition, in the following description, "%" means "mass %" unless otherwise specified. In addition, in this specification, the numerical range expressed using "-" means the range which includes the numerical value described before and after "-" as a lower limit and an upper limit.

<실험 1><Experiment 1>

도 1 에 나타내는 바와 같이, 표면에 레지스트 피막 (고형분 조성 : 수계 알키드 수지 36 %, 멜라민 수지 1 %, Ti 함유 산화물 20 %, 알루미늄 함유 산화물 40 %, 기타 (안료, 레벨링제) 3 %) 을 형성한 판두께 0.23 ㎜ 의 냉연 강판 (C : 0.05 %, Mn : 0.10 %, P : 0.004 %, S : 0.001 %, Al : 0.008 %, N : 45 ppm, Ti + Nb + V + Zr + Ta < 0.001 %) 을 화살표 방향으로 통판하면서, 레이저 조사 장치를 압연 방향 (도면 중의 강판 진행 방향) 과 직교하는 방향으로 주사하여 레이저 조사를 실시하고, 레이저 조사부 (40) 의 레지스트를 제거하였다. 또한, 상기 냉연 강판은, 강 슬래브에 열간 압연을 실시하여 열연 강판으로 하고, 이어서, 열연 강판에, 냉간 압연을 실시하여 냉연 강판으로 한 것이다. 그 레이저 조사를, 압연 방향으로 5 ㎜ 의 간격을 두고 반복하였다. 또한, 레이저로는, 파이버 레이저를 사용하고, 레이저 조사 장치의 파이버를 변경함으로써, 강판 표면에 있어서, 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경 (도면 중의 Bt) 을 5 ∼ 300 ㎛ 로 변화시켰다. 레이저로는, 싱글 모드 파이버 레이저를, 갈바노 스캐너 방식에 의해 조사하였다. 레이저 조사 에너지 : 25 J/m, 주사폭 200 ㎜, 및 강판의 압연 방향에 있어서의 주사 간격 5 ㎜ 로 하여 실시했다. 모든 조건에서 레이저 조사부의 레지스트 피막이 완전하게 제거되었다.As shown in Fig. 1, a resist film (solid content composition: aqueous alkyd resin 36%, melamine resin 1%, Ti-containing oxide 20%, aluminum-containing oxide 40%, other (pigment, leveling agent) 3%) is formed on the surface Cold-rolled steel sheet with a thickness of 0.23 mm (C: 0.05%, Mn: 0.10%, P: 0.004%, S: 0.001%, Al: 0.008%, N: 45 ppm, Ti + Nb + V + Zr + Ta < 0.001 %) in the direction of the arrow, laser irradiation was performed by scanning the laser irradiation device in a direction orthogonal to the rolling direction (steel plate traveling direction in the drawing), and the resist of the laser irradiation portion 40 was removed. In addition, the cold-rolled steel sheet is obtained by subjecting a steel slab to hot rolling to obtain a hot-rolled steel sheet, and then cold-rolling the hot-rolled steel sheet to obtain a cold-rolled steel sheet. The laser irradiation was repeated at intervals of 5 mm in the rolling direction. In addition, a fiber laser was used as the laser, and the beam diameter (Bt in the drawing) in the scanning orthogonal direction was changed to 5 to 300 μm on the surface of the steel sheet by changing the fiber of the laser irradiation device. As the laser, a single mode fiber laser was irradiated by a galvano scanner method. Laser irradiation energy: 25 J/m, a scanning width of 200 mm, and a scanning interval of 5 mm in the rolling direction of the steel sheet were implemented. In all conditions, the resist film of the laser irradiation area was completely removed.

또한, 레이저의 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경은 이하와 같이 결정하였다. 시판되고 있는 CCD 카메라형 고정식 빔 프로파일러를 사용하여 레이저의 주사 직교 방향에 있어서의 빔의 강도 프로파일을 강판 표면에 있어서 측정하고, 그 빔 프로파일에 있어서 빔 강도가 빔 강도의 최대치의 0.135 배가 되는 2 점간의 프로파일폭을, 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경으로 하였다.In addition, the beam diameter in the scanning orthogonal direction of the laser was determined as follows. Using a commercially available CCD camera-type fixed beam profiler, the intensity profile of the beam in the direction orthogonal to the scanning direction of the laser is measured on the surface of the steel plate, and the beam intensity in the beam profile is 0.135 times the maximum beam intensity. The profile width between points was made into the beam diameter in the scanning orthogonal direction.

다음으로, 이 레지스트 피막을 제거한 냉연 강판에 전해 에칭 처리를 실시하였다. 이어서, 전해 에칭 처리 후의 냉연 강판에 1 차 재결정 어닐링을 실시하여 1 차 재결정판으로 한 후, 1 차 재결정판의 양면에 어닐링 분리제를 도포하였다. 어닐링 분리제 도포 후의 1 차 재결정판에 포스테라이트 피막 형성을 겸한 2 차 재결정 어닐링을 실시하여 2 차 재결정판으로 하였다. 이어서, 그 2 차 재결정판에, 평탄화 어닐링을 실시한 후, 장력 피막 형성을 실시하여, 방향성 전기 강판 (제품판) 을 제조하였다. 그 방향성 전기 강판을 사용하여, 선상 홈의 홈폭과 철손의 관계를 조사하였다.Next, an electrolytic etching treatment was performed on the cold-rolled steel sheet from which this resist film was removed. Subsequently, primary recrystallization annealing was performed on the cold-rolled steel sheet after the electrolytic etching treatment to obtain a primary recrystallized sheet, and an annealing separator was applied to both sides of the primary recrystallized sheet. The primary recrystallized plate after application of the annealing separator was subjected to secondary recrystallization annealing concurrently with the formation of a forsterite film to obtain a secondary recrystallized plate. Next, after flattening annealing was given to the secondary recrystallized plate, tension film formation was performed to manufacture a grain-oriented electrical steel sheet (product sheet). Using the grain-oriented electrical steel sheet, the relationship between the groove width of the linear groove and the iron loss was investigated.

또한, 철손에 대해, 여기서는 자속 밀도 1.7 T, 여자 주파수 50 Hz 에 있어서의 철손 W17/50 을, JIS C 2556 에 준거하여 단판 자기 시험기에 의해 평가하였다. 또한 철손의 측정에는, 홈 가공 전 (전해 에칭 처리 전) 에 자기 측정을 실시하고, 자속 밀도 B8 이 1.90 T 인 방향성 전기 강판을 선택하여 사용하였다. 또한, 방향성 전기 강판에 전해 에칭 처리를 실시하여 형성한 선상 홈의 판두께 방향의 깊이 (홈 깊이) 는, 전해 에칭의 처리 시간을 조절하여 모든 방향성 전기 강판에 대해 동일하게 되도록 조정하였다. 방향성 전기 강판의 선상 홈의 홈폭에 대해서는, 홈부를 공초점 레이저 현미경을 사용하여 3 차원 측정하고, 압연 방향으로 높이 프로파일을 측정했을 때의, 홈 최하부의 높이를「높이 0 %」, 압연면 높이의 평균치를「높이 100 %」로 했을 때, 홈 최하부를 사이에 두고「높이 95 %」가 되는 위치의 압연 방향 거리를 홈폭으로 하고, 상기 홈폭을 판폭 방향으로 간격 1 ㎜ 로 10 점 측정하고, 평균함으로써 측정하였다.Regarding the iron loss, here, the iron loss W 17/50 at a magnetic flux density of 1.7 T and an excitation frequency of 50 Hz was evaluated by a single plate magnetic tester in accordance with JIS C 2556. For the measurement of iron loss, magnetism was measured before groove processing (before electrolytic etching), and a grain-oriented electrical steel sheet having a magnetic flux density B 8 of 1.90 T was selected and used. Further, the depth (groove depth) of the linear grooves formed by electrolytically etching the grain-oriented electrical steel sheet in the sheet thickness direction was adjusted to be the same for all grain-oriented electrical steel sheets by adjusting the electrolytic etching processing time. Regarding the groove width of the linear grooves of the grain-oriented electrical steel sheet, the height of the lowest part of the groove when three-dimensionally measured using a confocal laser microscope and the height profile in the rolling direction was defined as "height 0%" and the height of the rolling surface. When the average value of is taken as "height 100%", the distance in the rolling direction at the position of "height 95%" with the lowermost part of the groove in between is taken as the groove width, and the groove width is measured at 10 points at intervals of 1 mm in the sheet width direction, Measured by averaging.

도 2 에 결과를 나타낸다. 홈폭이 10 ∼ 100 ㎛ 일 때에 철손이 양호한 것을 알 수 있다. 홈폭이 굵어짐으로써 철손이 증대하는 이유는, 전해량의 증대에 수반하여 히스테리시스손이 증대하기 때문이라고 생각된다. 한편, 홈폭이 지나치게 좁아지면 철손이 열화되는 이유는, 자극의 커플링이 일어나, 자구 세분화의 효과가 감소했기 때문이라고 생각된다. 선상 홈의 홈폭은 레이저의 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경 (도 1 중의 Bt) 과 거의 일치하는 점에서, 레이저의 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경을 10 ∼ 100 ㎛ 로 하는 것이 저철손화에 중요한 것을 알 수 있다.2 shows the results. It can be seen that iron loss is good when the groove width is 10 to 100 μm. It is considered that the reason why the iron loss increases as the groove width increases is that the hysteresis loss increases with the increase in the amount of electrolysis. On the other hand, it is considered that the reason why the iron loss is deteriorated when the groove width is too narrow is that magnetic domain coupling occurs and the effect of magnetic domain refining is reduced. Since the groove width of the linear groove almost coincides with the beam diameter (Bt in Fig. 1) in the direction orthogonal to the scanning of the laser, setting the beam diameter in the direction perpendicular to the scanning of the laser to be 10 to 100 µm reduces iron loss know what's important.

<실험 2><Experiment 2>

다음으로 레이저의 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경의 장단축비와 에칭 후의 선상 홈의 홈폭의 관계를 조사하였다. 본 실험에 있어서는 레이저의 빔 직경이 100 ㎛ 인 발진기를 사용하고, 원기둥 렌즈를 사용하여 강판 상에 있어서의 빔 형상이 타원상되도록 변환하였다. 그리고, 빔 형상의 장축 방향이 레이저의 주사 방향에 평행하게 되고, 또한 단축 방향이 레이저의 주사 방향과 수직이 되도록 하여, 강판에 대해 레이저를 조사하였다. 이 때, 강판 표면에 있어서의 빔 형상의 단축 직경에 대한 장축 직경의 비를 장단축비로 하고, 장단축비를 1 에서 200 의 사이에서 변화시켰다. 각 장단축비의 레이저를 조사하여 레지스트 피막을 제거한 냉연 강판의 에칭 후의 선상 홈의 홈폭을 조사하였다. 선상 홈을 형성하는 강판으로는, 실험 1 과 동일한 강판을 사용하였다. 또한, 상기 냉연 강판은, 강 슬래브에 열간 압연을 실시하여 열연 강판으로 하고, 이어서, 열연 강판에, 냉간 압연을 실시하여 냉연 강판으로 한 것이다. 에칭 처리 후의 냉연 강판에 1 차 재결정 어닐링을 실시하여 1 차 재결정판으로 한 후, 1 차 재결정판의 양면에 어닐링 분리제를 도포하였다. 어닐링 분리제 도포 후의 1 차 재결정판에 포스테라이트 피막 형성을 겸한 2 차 재결정 어닐링을 실시하여 2 차 재결정판으로 하였다. 이어서, 그 2 차 재결정판에, 평탄화 어닐링을 실시한 후, 장력 피막 형성을 실시하여, 방향성 전기 강판 (제품판) 을 제조하였다. 또, 레이저 조사에 있어서의 레이저 조사 에너지, 주사폭, 및 강판의 압연 방향에 있어서의 주사 간격은 실험 1 과 동일한 동일한 조건으로 실시했다.Next, the relationship between the long-short axis ratio of the beam diameter in the direction orthogonal to the scanning of the laser and the groove width of the linear groove after etching was investigated. In this experiment, an oscillator with a laser beam diameter of 100 μm was used, and a cylindrical lens was used to convert the beam shape on the steel plate to an elliptical shape. Then, the steel sheet was irradiated with the laser so that the major axis direction of the beam shape was parallel to the laser scanning direction and the minor axis direction was perpendicular to the laser scanning direction. At this time, the ratio of the major axis diameter to the minor axis diameter of the beam shape on the surface of the steel plate was set as the major minor axis ratio, and the major minor axis ratio was varied between 1 and 200. The groove width of the linear groove after etching of the cold-rolled steel sheet from which the resist film was removed by irradiating the laser at each of the long and short axis ratios was investigated. As the steel plate for forming the linear grooves, the same steel plate as in Experiment 1 was used. In addition, the cold-rolled steel sheet is obtained by subjecting a steel slab to hot rolling to obtain a hot-rolled steel sheet, and then cold-rolling the hot-rolled steel sheet to obtain a cold-rolled steel sheet. The cold-rolled steel sheet after the etching treatment was subjected to primary recrystallization annealing to obtain a primary recrystallized sheet, and then an annealing separator was applied to both surfaces of the primary recrystallized sheet. The primary recrystallized plate after application of the annealing separator was subjected to secondary recrystallization annealing concurrently with the formation of a forsterite film to obtain a secondary recrystallized plate. Next, after flattening annealing was given to the secondary recrystallized plate, tension film formation was performed to manufacture a grain-oriented electrical steel sheet (product sheet). In addition, laser irradiation energy in laser irradiation, scanning width, and scanning interval in the rolling direction of the steel sheet were carried out under the same conditions as in Experiment 1.

도 3 에 결과를 나타낸다. 빔의 장단축비가 5.0 미만에서는 에칭 후의 선상 홈의 홈폭이 증대하는 경향이 보였다. 이는, 빔의 장단축비가 작은, 즉 진원에 가까운 빔 형상의 레이저를 조사하면, 레이저 출력이 동등한 경우, 좁은 영역에 단시간의 사이에 큰 에너지가 투입되고, 에너지의 일부가 열이 되어 주사 직교 방향으로 열전도에 의해 전해져, 레이저를 조사하지 않은 영역의 레지스트 피막을 변질시켜 열 영향부를 발생시키기 때문이라고 생각된다. 레지스트 피막의 열 영향부는, 변질되지 않은 부분에 비해 에칭에 있어서의 레지스트 피막의 밀착성이 열등하다. 그 때문에, 에칭 시에 그 열 영향부가 그 강판으로부터 제거되기 때문에, 레이저의 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경에 비해 에칭 후의 홈폭이 커진 것으로 생각된다. 도 2 에 나타낸 바와 같이, 선상 홈의 홈폭이 100 ㎛ 를 초과하여 커지면 철손이 열화되기 때문에, 열 영향부에 의한 홈폭의 증대는 바람직하지 않다.3 shows the results. When the ratio of the long to short axis of the beam was less than 5.0, the groove width of the linear grooves after etching tended to increase. This is because when irradiating a laser with a small beam length and short axis ratio, that is, a beam shape close to a perfect circle, when the laser output is equal, a large amount of energy is injected into a narrow area in a short time, and part of the energy becomes heat in the scanning orthogonal direction It is thought that this is because it is transmitted by heat conduction and changes the resist film in the area not irradiated with laser to generate a heat-affected zone. The heat-affected zone of the resist film is inferior in adhesion to the resist film in etching compared to the unaltered portion. Therefore, since the heat-affected zone is removed from the steel sheet during etching, it is considered that the groove width after etching is larger than the beam diameter in the direction orthogonal to the laser scanning. As shown in Fig. 2, since iron loss deteriorates when the groove width of linear grooves exceeds 100 mu m, it is not desirable to increase the groove width by the heat-affected zone.

<실험 3><Experiment 3>

타원상의 빔을 사용함으로써, 선상 홈의 홈폭의 증대는 방지할 수 있지만, 빔의 에너지 밀도가 분산되기 때문에, 레지스트 피막의 제거가 충분히 행해지지 않게 되는 것이 우려된다. 그래서, 레지스트 피막의 제거에 필요한 레이저의 조사 에너지를 저감하는 것을 목적으로 하여, 레지스트 피막 제거에 미치는 레지스트 피막 중의 무기 화합물 함유량의 영향을 조사하였다. 알키드계 수지 (변성 알키드 수지 ; 유기 화합물) 와, 실리카 (무기 화합물) 를 혼합하고, 무기 화합물을 고형물 환산으로 0 ∼ 95 질량% 함유하는 레지스트 피막을 제작하였다. 이와 같이 하여 제작한 레지스트 피막을 냉연 강판의 양면에 형성하고, 그 레지스트 피막에 실험 1 과 동일하게 하여 레이저 조사를 실시하여, 레이저 조사부의 레지스트 피막을 제거하였다. 강판 표면에 있어서의 빔 형상이 타원이 되도록 하고, 단축 직경은 100 ㎛ 로 하고, 장단축비를 50 으로 하여, 빔의 장축을 주사 방향과 평행하게, 단축을 주사 방향과 수직이 되도록 하여 레이저 조사를 실시하였다. 레이저를 조사한 후, 레지스트 피막 제거폭을 측정하였다. 여기서, 레지스트 피막 제거폭은 도 4 에 나타내는 바와 같이 레이저 조사 후의 레지스트 제거부를 마이크로스코프로 관찰했을 때의 레이저 주사 방향에서의 1 ㎜ 길이 (관찰 길이) 에 있어서의 레지스트 제거부의 압연 직교 방향 (TD) 에 있어서의 폭 d 의 평균치로 하였다. 그리고, 각 레이저의 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경 (즉 본 실험에 있어서는 빔의 단축 직경 100 ㎛) 에 대한 레지스트 제거폭의 비율 (이하, 레지스트 제거 비율이라고도 칭한다) 을 백분율로 구하였다. 강판으로는, 실험 1 과 동일한 강판을 사용하였다. 또한, 상기 냉연 강판은, 강 슬래브에 열간 압연을 실시하여 열연 강판으로 하고, 이어서, 열연 강판에, 냉간 압연을 실시하여 냉연 강판으로 한 것이다. 또, 레이저 조사에 있어서의 레이저 조사 에너지, 주사폭, 및 강판의 압연 방향에 있어서의 주사 간격은 실험 1 과 동일한 조건으로 실시했다.Although an increase in the groove width of the linear groove can be prevented by using an elliptical beam, there is a concern that the resist film may not be sufficiently removed because the energy density of the beam is dispersed. Then, with the aim of reducing the irradiation energy of the laser required for the removal of the resist film, the effect of the inorganic compound content in the resist film on the removal of the resist film was investigated. An alkyd-based resin (modified alkyd resin; organic compound) and silica (inorganic compound) were mixed to prepare a resist film containing 0 to 95% by mass of the inorganic compound in terms of solid matter. The resist film thus prepared was formed on both sides of the cold-rolled steel sheet, and laser irradiation was applied to the resist film in the same manner as in Experiment 1 to remove the resist film from the laser irradiated portion. The beam shape on the surface of the steel sheet is elliptical, the minor axis diameter is 100 μm, the long axis ratio is 50, the long axis of the beam is parallel to the scanning direction, and the short axis is perpendicular to the scanning direction. Laser irradiation was carried out. After laser irradiation, the resist film removal width was measured. Here, the resist film removal width is, as shown in FIG. 4, the direction perpendicular to the rolling direction (TD ) was taken as the average value of the width d in . Then, the ratio of the resist removal width (hereinafter also referred to as the resist removal ratio) to the beam diameter in the scanning orthogonal direction of each laser (namely, the short axis diameter of the beam in this experiment was 100 μm) was determined as a percentage. As the steel plate, the same steel plate as in Experiment 1 was used. In addition, the cold-rolled steel sheet is obtained by subjecting a steel slab to hot rolling to obtain a hot-rolled steel sheet, and then cold-rolling the hot-rolled steel sheet to obtain a cold-rolled steel sheet. In addition, the laser irradiation energy in laser irradiation, the scanning width, and the scanning interval in the rolling direction of the steel plate were implemented under the same conditions as in Experiment 1.

도 5 에 결과를 나타낸다. 무기 화합물의 함유율이 20 질량% 를 밑돌면 레지스트 피막 제거 비율이 크게 저하되었다. 상기 서술한 바와 같이, 레이저가 레지스트 피막에 조사되면 레지스트 피막의 유기 화합물이 순시에 가스화함으로써 레지스트 피막이 제거되지만, 레지스트 피막 중에 존재하고 있는 무기 화합물은 주위의 유기 화합물이 가스화할 때에 먼지로서 비산함으로써 제거된다. 그 때문에, 레지스트 피막 중의 무기 화합물과 동 체적분의 유기 화합물을 가스화시키는 데에 필요한 에너지가 불필요해진다. 그 때문에, 무기 화합물을 20 질량% 이상 함유하는 레지스트 피막을 사용한 경우에는, 레이저의 조사 에너지가 작아도, 레지스트 피막을 균일하게 제거할 수 있다. 레지스트 제거 비율이 저하되면, 레이저 조사부에 지철이 노출된 영역 (레지스트 제거부) 과 레지스트 피막이 일부 잔존한 영역이 혼재하게 되어, 에칭 시에 지철의 에칭 속도가 불균일해지기 쉽고, 홈폭이 불균일해져 자기 특성에 편차가 생기는 원인이 된다. 따라서, 레지스트 피막에 무기 화합물을 고형물 환산으로 20 질량% 이상 함유하는 것이 중요함을 알 수 있다.5 shows the results. When the content of the inorganic compound was less than 20% by mass, the resist film removal rate was greatly reduced. As described above, when a resist film is irradiated with a laser, the resist film is removed by instantly gasifying the organic compound in the resist film, but the inorganic compound present in the resist film is removed by scattering as dust when the surrounding organic compounds are gasified do. Therefore, the energy required to gasify the inorganic compound in the resist film and the organic compound in the same volume becomes unnecessary. Therefore, when a resist film containing 20% by mass or more of an inorganic compound is used, the resist film can be uniformly removed even when the irradiation energy of the laser is small. If the resist removal rate is lowered, the region where the base iron is exposed (resist removal section) and the region where the resist film partially remains in the laser irradiation section are mixed, so that the etching rate of the base iron tends to become non-uniform during etching, and the groove width becomes non-uniform, resulting in magnetic It causes variation in characteristics. Therefore, it can be seen that it is important to contain 20% by mass or more of the inorganic compound in terms of solid matter in the resist film.

이상의 결과를 토대로 하여, 이하에서는 본 개시의 실시형태에 대해 설명한다. 또한, 이하의 설명은 본 개시의 바람직한 일 실시형태를 나타내는 것이며, 본 개시는, 이하의 설명에 의해 전혀 한정되지 않는다.Based on the above result, below, embodiment of this indication is described. In addition, the following description shows one preferred embodiment of this disclosure, and this disclosure is not limited at all by the following description.

본 실시형태에 관련된 선상 홈 형성 방법은,The linear groove forming method according to the present embodiment,

금속 스트립의 적어도 편면에 레지스트 피막을 형성하고,Forming a resist film on at least one surface of the metal strip;

이어서, 상기 레지스트 피막에, 상기 금속 스트립의 압연 방향을 횡단하는 방향으로 주사하면서 레이저를 조사하여, 상기 레이저가 조사된 부분의 상기 레지스트 피막을 제거하고,Next, the resist film is irradiated with a laser while scanning in a direction transverse to the rolling direction of the metal strip to remove the resist film at a portion irradiated with the laser,

이어서, 상기 금속 스트립의 상기 레지스트 피막이 제거된 부분에 에칭 처리를 실시하여 선상 홈을 형성하는, 홈 형성 방법으로서,Subsequently, as a groove forming method, forming a linear groove by performing an etching treatment on a portion of the metal strip from which the resist film is removed,

상기 레지스트 피막은, 무기 화합물을 고형분 환산으로 20 질량% 이상 함유하고,The resist film contains 20% by mass or more of an inorganic compound in terms of solid content,

상기 금속 스트립 표면에 있어서, 상기 레이저는 단축 직경에 대한 장축 직경의 비가 5.0 이상인 타원상의 빔 형상을 갖고, 또한 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경이 10 ㎛ 이상 100 ㎛ 이하인, 선상 홈 형성 방법이다.On the surface of the metal strip, the laser has an elliptical beam shape in which the ratio of the major axis diameter to the minor axis diameter is 5.0 or more, and the beam diameter in the scanning orthogonal direction is 10 μm or more and 100 μm or less.

본 실시형태의 선상 홈 형성 방법에 있어서는, 금속 스트립에 대해, 다음의 (1) ∼ (3) 의 공정의 처리가 순차 실시된다.In the linear groove forming method of the present embodiment, the processing of the following steps (1) to (3) is sequentially performed on the metal strip.

(1) 레지스트 피막 형성 공정,(1) resist film formation step;

(2) 레이저 조사 공정(2) Laser irradiation process

(3) 에칭 처리 공정(3) Etching process

[금속 스트립][metal strip]

본 실시형태에 관련된 선상 홈 형성 방법에 의하면, 다양한 종류의 금속 스트립에, 에칭을 이용하여 강판의 표면에 선상 홈을 형성할 때에, 홈폭이 좁은 선상 홈을 균일한 형상으로 형성할 수 있다. 그 때문에, 선상 홈을 형성하는 대상이 되는 금속 스트립의 종류는 한정되지 않는다. 본 실시형태에 관련된 선상 홈 형성 방법은 특히 방향성 전기 강판의 저철손화에 유용한 점에서, 본 선상 홈 형성 방법을 방향성 전기 강판의 제조에 적용하는 것이 바람직하다.According to the linear groove forming method according to the present embodiment, when forming linear grooves on the surface of a steel sheet using etching in various types of metal strips, linear grooves having a narrow groove width can be formed in a uniform shape. For this reason, the type of metal strip used as a target for forming the linear grooves is not limited. Since the linear groove forming method according to the present embodiment is particularly useful for reducing core loss of a grain oriented electrical steel sheet, it is preferable to apply the present linear groove forming method to production of a grain oriented electrical steel sheet.

또한, 후술하는 에칭 처리 공정에 있어서, 에칭 처리를 실시할 때에, 금속 스트립의 표면에 레지스트 피막 이외의 피막이 형성되어 있으면 에칭이 저해될 우려가 있다. 따라서, 금속 스트립의 표면에는, 포스테라이트 피막, 절연 피막, 및 장력 피막 등의 에칭액 또는 전해액에 대해 불용성이나 난용성의 피막이 형성되지 않고, 후술하는 레지스트 피막 형성용 피복제가 금속 스트립의 표면에 직접 도포되는 것이 바람직하다.Further, in the etching treatment step described later, when performing the etching treatment, if a film other than a resist film is formed on the surface of the metal strip, there is a possibility that etching may be inhibited. Therefore, a film insoluble or sparingly soluble in an etchant or electrolyte, such as a forsterite film, an insulation film, and a tension film, is not formed on the surface of the metal strip, and the coating material for forming a resist film described later is applied directly to the surface of the metal strip. It is preferable to apply

[레지스트 피막 형성 공정][Resist film formation process]

먼저, 금속 스트립의 적어도 편면에 레지스트 피막 형성용 피복제를 도포하고, 금속 스트립의 적어도 편면에 레지스트 피막을 형성한다. 상기 레지스트 피막은, 후술하는 에칭 처리 공정에 있어서, 피복한 지점의 금속 스트립의 에칭을 방지하기 위한 에칭 레지스트 피막으로서 기능하는 것이다.First, a coating material for forming a resist film is applied to at least one surface of the metal strip, and a resist film is formed on at least one surface of the metal strip. The resist film functions as an etching resist film for preventing etching of the metal strip at the covered portion in an etching treatment step described later.

(레지스트 피막)(resist film)

레지스트 피막은, 무기 화합물을 고형분 환산으로 20 질량% 이상 함유한다. 레지스트 피막의 무기 화합물의 함유량이 고형분 환산으로 20 질량% 미만이면, 후술하는 레이저 조사 공정에 있어서 장축 직경비가 큰 타원상의 빔 형상을 갖는 레이저를 조사했을 때에, 레지스트 피막이 충분히 제거되지 않아, 원하는 홈폭의 선상 홈을 형성할 수 없다. 레지스트 피막에 함유되는 무기 화합물은, 고형분 환산으로 40 질량% 이상으로 하는 것이 바람직하다. 한편, 무기 화합물의 함유량이 지나치게 커지면, 수지 성분의 함유량이 저하되는 것에 의해 내에칭성이 저하되어, 균일한 홈 형성이 곤란해지기 때문에, 레지스트 피막 중의 무기 화합물의 함유량은, 고형분 환산으로 90 질량% 이하인 것이 바람직하다.A resist film contains 20 mass % or more of an inorganic compound in conversion of solid content. If the content of the inorganic compound in the resist film is less than 20 mass% in terms of solid content, the resist film is not sufficiently removed when irradiated with a laser having an elliptical beam shape with a large major axis diameter ratio in the laser irradiation step described later, and the desired groove width Linear grooves cannot be formed. The inorganic compound contained in the resist film is preferably 40% by mass or more in terms of solid content. On the other hand, if the content of the inorganic compound is too large, the content of the resin component decreases, resulting in a decrease in etching resistance and making it difficult to form uniform grooves. It is preferable that it is % or less.

(무기 화합물)(inorganic compounds)

무기 화합물로는 공지된 것이면 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어 실리카, 산화마그네슘, Ti 함유 산화물, 실리카, Zr 함유 산화물, 유리 섬유 등을 단체 혹은 복수를 혼합하여 사용할 수 있다.The inorganic compound is not particularly limited as long as it is known. For example, silica, magnesium oxide, Ti-containing oxide, silica, Zr-containing oxide, glass fiber, etc. can be used alone or in combination.

레지스트 피막의 무기 화합물 이외의 고형분은, 수지 성분으로서 유기 화합물을 포함한다. 레지스트 피막의 수지 성분은, 열경화성 수지로 하는 것이 바람직하다. 열경화성 수지로는, 예를 들어, 알키드계 수지, 에폭시계 수지, 폴리에틸렌계 수지, 및 멜라민계 수지로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 개를 사용할 수 있다. 알키드계 수지로는, 다염기산과, 다가 알코올과, 유지 또는 유지 가공품을 탈수 축합 반응시켜, 임의로 추가로 일염기산을 반응시켜 얻어지는 알키드 수지에, 중합성 비닐 단량체를 반응시켜 얻어진 수지를 사용할 수 있다. 에폭시계 수지로는, 비스페놀형 에폭시 수지, 노볼락형 에폭시 수지, 및 다가 알코올의 글리시딜에테르류 등을 사용할 수 있다. 멜라민계 수지로는, 예를 들어, 메틸화 멜라민 및 부틸화 멜라민 등을 사용할 수 있다.Solid content other than the inorganic compound of the resist film contains an organic compound as a resin component. The resin component of the resist film is preferably a thermosetting resin. As the thermosetting resin, for example, at least one selected from the group consisting of alkyd-based resins, epoxy-based resins, polyethylene-based resins, and melamine-based resins can be used. As the alkyd-based resin, a resin obtained by reacting a polymerizable vinyl monomer with an alkyd resin obtained by subjecting a polybasic acid, a polyhydric alcohol, and a fat or oil or a processed oil to a dehydration condensation reaction and optionally further reacting with a monobasic acid can be used. . As the epoxy-based resin, bisphenol-type epoxy resins, novolac-type epoxy resins, glycidyl ethers of polyhydric alcohols, and the like can be used. As the melamine-based resin, methylated melamine, butylated melamine, and the like can be used, for example.

레지스트 피막 형성용 피복제는, 상기 서술한 유기 화합물, 무기 화합물 등의 고형분 외, 적절히 용제를 함유할 수 있다. 용제로는, 에틸렌글리콜모노n-부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노n-부틸에테르 등 공지된 용제를 사용할 수 있다. 레지스트 피막 형성용 피복제 중의 용제의 함유량은 특별히 한정되지 않지만, 레지스트 피막 형성용 피복제의 잉크 처짐을 억제하는 관점에서, 레지스트 피막 형성용 피복제의 점도는 높은 편이 바람직하다.The coating material for forming a resist film may contain a solvent as appropriate in addition to the above-mentioned solid components such as organic compounds and inorganic compounds. As the solvent, known solvents such as ethylene glycol monon-butyl ether and diethylene glycol monon-butyl ether can be used. The content of the solvent in the coating material for forming a resist film is not particularly limited, but from the viewpoint of suppressing sagging of the ink of the coating material for forming a resist film, the coating material for forming a resist film preferably has a higher viscosity.

금속 스트립의 적어도 편면에 레지스트 피막 형성용 피복제를 도포하는 방법은, 특별히 한정되지 않고, 임의의 방법으로 실시할 수 있지만, 각종 롤의 표면에 레지스트 피막 형성용 피복제를 도포하고, 그 롤을 금속 스트립 표면에 접촉시킴으로써, 롤 표면의 레지스트 피막 형성용 피복제를 금속 스트립 표면에 전사하는 방법에 의해 실시하는 것이 바람직하다. 그 중에서도, 그라비어 롤을 사용한 그라비어 인쇄법에 의해 레지스트 피막 형성용 피복제를 금속 스트립 표면에 도포하는 것이 바람직하고, 오프셋 롤을 사용한 그라비어 오프셋 인쇄법을 사용하여 레지스트 피막 형성용 피복제를 금속 스트립 표면에 도포하는 것이 바람직하다. 또한, 본 명세서에 있어서「그라비어 인쇄법」이란, 그라비어 롤을 사용한 인쇄법 전반을 가리키고, 그라비어 오프셋 인쇄법도 포함하는 것으로 한다. 또, 그라비어 인쇄법을 사용하는 경우에는, 레지스트 피막의 막두께를 일정하게 하기 위해, 그라비어 롤 상방에 닥터 블레이드를 설치하여, 그라비어 롤 표면에 있어서의 레지스트 피막 형성용 피복제의 양을 균일화하는 것이 바람직하다.The method of applying the coating material for forming a resist film on at least one side of the metal strip is not particularly limited and can be carried out by any method. However, the coating material for forming a resist film is applied to the surface of various rolls, It is preferable to carry out by the method of transferring the coating material for forming the resist film on the surface of a roll to the surface of a metal strip by making it contact with the surface of a metal strip. Among them, it is preferable to apply a coating material for forming a resist film to the surface of a metal strip by a gravure printing method using a gravure roll, and a coating material for forming a resist film is preferably applied to the surface of a metal strip by a gravure offset printing method using an offset roll. It is preferable to apply to In addition, in this specification, "gravure printing method" refers to the general printing method using a gravure roll, and shall also include the gravure offset printing method. In addition, in the case of using the gravure printing method, in order to make the film thickness of the resist film constant, a doctor blade is provided above the gravure roll to uniformize the amount of the coating material for forming the resist film on the surface of the gravure roll. desirable.

금속 스트립에 레지스트 피막 형성용 피복제를 도포할 때에는, 레지스트 피막 형성용 피복제의 점도를 높게 유지하기 위해서, 레지스트 피막 형성용 피복제의 온도를 40 ℃ 이하로 하는 것이 바람직하다. 한편, 레지스트 피막 형성용 피복제를 도포할 때의 레지스트 피막 형성용 피복제의 온도의 하한은 특별히 한정되지 않지만, 생산 기술 상의 관점에서 20 ℃ 이상으로 하는 것이 바람직하다.When the coating material for forming a resist film is applied to the metal strip, the temperature of the coating material for forming a resist film is preferably set to 40 DEG C or less in order to keep the viscosity of the coating material for forming a resist film high. On the other hand, the lower limit of the temperature of the coating material for forming a resist film when applying the coating material for forming a resist film is not particularly limited, but is preferably 20°C or higher from the viewpoint of production technology.

레지스트 피막의 겉보기 중량 (도포량) 은, 편면 당 1.0 g/㎡ 이상으로 하는 것이 바람직하고, 또 10.0 g/㎡ 이하로 하는 것이 바람직하다. 레지스트 피막의 겉보기 중량을 1.0 g/㎡ 이상으로 함으로써, 양호한 내레지스트성이 얻어지기 때문에, 후술하는 에칭 처리시에 바람직하게 에칭을 실시할 수 있다. 또, 레지스트 피막의 겉보기 중량을 10.0 g/㎡ 이하로 함으로써, 레이저의 조사 에너지가 30 J/m 이하인 경우여도, 바람직하게 레지스트 피막을 제거할 수 있다. 또한, 레지스트 피막의 겉보기 중량은, 레지스트 피막 건조 후 또한 레이저 조사 전의 값으로 하고, 레지스트 피막 도포 전의 금속 스트립과, 레지스트 피막 건조 후의 금속 스트립의 중량차, 및 레지스트 피막 도포 면적으로부터 도출된다.The weight per unit area (application amount) of the resist film is preferably 1.0 g/m 2 or more per side, and preferably 10.0 g/m 2 or less. When the resist coating has a weight per unit area of 1.0 g/m 2 or more, good resist resistance can be obtained, so that etching can be suitably performed in the etching process described later. In addition, by setting the weight per unit area of the resist film to 10.0 g/m 2 or less, the resist film can be preferably removed even when the irradiation energy of the laser is 30 J/m or less. The weight per unit area of the resist film is the value after drying the resist film and before laser irradiation, and is derived from the weight difference between the metal strip before applying the resist film and the metal strip after drying the resist film, and the area covered by the resist film.

레지스트 피막 형성용 피복제를 금속 스트립의 적어도 편면에 도포하여 레지스트 피막을 형성한 후, 후술하는 에칭 처리 전까지 레지스트 피막을 건조시킨다. 바람직하게는, 레지스트 피막은, 후술하는 레이저 조사 전까지 건조시킨다. 레지스트 피막 형성용 피복제의 건조 방법은 특별히 한정되지 않고, 예를 들어, 열풍 건조, 및 진공 건조 등을 이용할 수 있다. 열풍 건조의 경우, 건조 온도는, 180 ∼ 300 ℃ 로 하는 것이 바람직하다. 진공 건조의 경우에는 압력을 10 Pa 이하로 하는 것이 바람직하고, 건조 시간은 5 초 이상으로 하는 것이 바람직하다.After a coating material for forming a resist film is applied to at least one surface of the metal strip to form a resist film, the resist film is dried before an etching process described later. Preferably, the resist film is dried before laser irradiation described later. The drying method of the coating material for forming a resist film is not particularly limited, and hot air drying, vacuum drying, and the like can be used, for example. In the case of hot air drying, the drying temperature is preferably 180 to 300°C. In the case of vacuum drying, the pressure is preferably 10 Pa or less, and the drying time is preferably 5 seconds or more.

[레이저 조사 공정][Laser irradiation process]

다음으로, 레지스트 피막이 형성된 금속 스트립의 압연 방향을 횡단하는 방향으로, 레이저를 주사하면서 조사한다. 이 레이저 조사에 의해, 레이저가 조사된 부분의 레지스트 피막이 국소적으로 가열되어 가스화하여 제거된다. 그 결과, 금속 스트립의 표면이 노출된 레지스트 제거부가 형성된다. 그 레지스트 제거부에 있어서 노출된 부분은, 후술하는 에칭 처리 공정에 있어서 선택적으로 에칭되어 선상 홈이 된다.Next, irradiation is performed while scanning a laser beam in a direction transverse to the rolling direction of the metal strip on which the resist film is formed. By this laser irradiation, the resist film at the portion irradiated with the laser is locally heated, gasified, and removed. As a result, a resist removal portion in which the surface of the metal strip is exposed is formed. The exposed portions of the resist removal portion are selectively etched into linear grooves in an etching treatment step described later.

(레이저)(laser)

금속 스트립 표면에 있어서의 레이저의 빔 형상이 진원에 가까우면, 레이저의 출력을 저감하지 않는 한, 레이저 조사부 주변에 열 영향부가 형성된다. 열 영향부는 에칭 시에 제거되어 버려, 홈폭의 증대로 이어지기 때문에, 폭이 좁은 선상 홈을 형성하고, 특히 방향성 전기 강판에 있어서 철손의 저감 효과를 높인다는 관점에서는 바람직하지 않다. 그래서, 레이저의 금속 스트립 표면 (강판 표면) 에 있어서의 빔 형상을 타원상으로 하고, 바람직하게는 장축이 주사 방향과 평행이 되도록, 또한 단축이 주사 방향과 직교하도록 주사하면서 레이저 조사함으로써, 레이저에 의한 에너지 투입이 시간적으로 분산됨으로써, 열 영향부의 형성이 억제된다. 열 영향부의 형성을 억제하기 위해서, 빔 형상의 단축 직경에 대한 장축 직경의 비인 장단축비를 5.0 이상으로 한다. 에칭 처리 후의 선상 홈의 홈폭의 증대를 억제하여 원하는 홈폭을 갖는 선상 홈을 형성하고, 특히 방향성 전기 강판에 있어서 철손 저감 효과를 높인다는 관점에서는, 빔의 장단축비는 20 이상인 것이 바람직하고, 50 이상인 것이 보다 바람직하고, 100 이상인 것이 더욱 바람직하다. 또한, 빔의 장단축비의 상한은 특별히 한정되지 않지만, 100000 이하로 하는 것이 바람직하다. 빔의 장단축비를 100000 이하로 함으로써, 금속 스트립의 폭 단부로부터 빔이 돌출되는 것을 방지하고, 돌출된 빔으로부터 설비를 보호하기 위한 비용을 보다 저감할 수 있다. 또, 빔 형상의 장축 방향과 레이저의 주사 방향은 평행한 것이 바람직하지만, 장축 방향이 주사 방향과 평행이 아니어도 본 개시의 효과를 향수하는 것은 가능하다. 레이저의 주사 방향에 대해 빔 형상의 장축 방향이 이루는 각도는 30°이내인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 10°이내이다. 금속 스트립 표면에 있어서 레이저의 빔 형상을 타원상으로 하는 방법으로는, 출사광이 타원형이 되는 반도체 레이저를 사용하는 방법 외에, 원형의 레이저 빔을 원기둥 렌즈로 타원상으로 변환하는 방법, 혹은 회전 구동하는 폴리곤 미러에 레이저를 반사시켜 타원상으로 하는 방법이 있다. 금속 스트립 표면에 대한 레이저의 조사 각도를 조정함으로써, 금속 스트립 표면에 있어서의 빔 형상을 타원상으로 할 수도 있다.When the laser beam shape on the surface of the metal strip is close to a perfect circle, a heat affected zone is formed around the laser irradiation portion unless the laser output is reduced. Since the heat-affected zone is removed during etching, which leads to an increase in the width of the groove, forming narrow linear grooves is not preferable from the viewpoint of enhancing the iron loss reduction effect particularly in grain-oriented electrical steel sheets. Therefore, the beam shape on the surface of the metal strip (surface of the steel sheet) of the laser is made elliptical, and the laser is irradiated while scanning so that the long axis is preferably parallel to the scanning direction and the short axis is orthogonal to the scanning direction. The formation of a heat-affected zone is suppressed by dispersing the energy input by the time. In order to suppress the formation of a heat-affected zone, the ratio of the major axis to the minor axis of the beam shape is set to 5.0 or more. From the viewpoint of forming linear grooves having a desired groove width by suppressing an increase in the groove width of the linear grooves after the etching process and enhancing the iron loss reduction effect particularly in grain-oriented electrical steel sheets, the long-short axis ratio of the beam is preferably 20 or more, and 50 It is more preferable that it is more than 100, and it is still more preferable that it is 100 or more. In addition, although the upper limit of the long-short axis ratio of a beam is not specifically limited, It is preferable to set it as 100000 or less. By setting the long-short axis ratio of the beam to 100000 or less, it is possible to prevent the beam from protruding from the width end of the metal strip and further reduce the cost for protecting equipment from the protruding beam. In addition, it is preferable that the long axis direction of the beam shape and the scanning direction of the laser are parallel, but it is possible to enjoy the effect of the present disclosure even if the long axis direction is not parallel to the scanning direction. The angle formed by the long axis direction of the beam shape with respect to the scanning direction of the laser is preferably within 30°, and more preferably within 10°. As a method of making the laser beam shape elliptical on the surface of the metal strip, besides the method of using a semiconductor laser in which the emitted light becomes elliptical, a method of converting a circular laser beam into an ellipse with a cylindrical lens, or a rotational drive There is a method of making an ellipse by reflecting a laser on a polygon mirror to make it elliptical. By adjusting the irradiation angle of the laser to the surface of the metal strip, the beam shape on the surface of the metal strip can be made elliptical.

빔 형상의 단축 직경에 대한 장축 직경은, 이하와 같이 측정한다. 먼저, 시판되고 있는 CCD 카메라형 고정식 빔 프로파일러를 사용하여, 금속 스트립 표면에 있어서, 레이저의 장축 방향에 있어서의 빔의 강도 프로파일을 측정하고, 그 빔 프로파일에 있어서 빔 강도가 빔 강도의 최대치의 0.135 배가 되는 2 점간의 프로파일폭을, 장축 방향에 있어서의 빔 직경 (장축 직경) 으로 한다. 다음에, 레이저의 단축 방향의 빔 직경 (단축 직경) 도 동일하게 하여 측정하고, 얻어진 장축 직경을 단축 직경으로 나누어 장단축비로 한다.The major axis diameter relative to the minor axis diameter of the beam shape is measured as follows. First, using a commercially available CCD camera-type fixed beam profiler, the beam intensity profile in the long axis direction of the laser is measured on the surface of the metal strip, and the beam intensity in the beam profile is equal to or greater than the maximum value of the beam intensity. The profile width between two points, which is 0.135 times larger, is taken as the beam diameter in the major axis direction (long axis diameter). Next, the beam diameter in the direction of the minor axis of the laser (minor axis diameter) is also measured in the same way, and the obtained major axis diameter is divided by the minor axis diameter to obtain a major axis ratio.

레이저의 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경은, 특히 방향성 전기 강판에 있어서 우수한 철손 특성을 얻는 관점에서, 10 ㎛ 이상 100 ㎛ 이하로 한다. 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경은, 이하와 같이 측정한다. 시판되고 있는 CCD 카메라형 고정식 빔 프로파일러를 사용하여, 금속 스트립 표면에 있어서, 레이저의 주사 직교 방향에 있어서의 빔의 강도 프로파일을 측정하고, 그 빔 프로파일에 있어서 빔 강도가 빔 강도의 최대치의 0.135 배가 되는 2 점간의 프로파일폭을, 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경으로 한다. 또한, 빔 형상의 장축 방향이 레이저의 주사 방향과 일치하고 있는 경우, 빔 형상의 단축 직경이 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경이 된다.The beam diameter in the direction orthogonal to the scanning of the laser is set to 10 μm or more and 100 μm or less from the viewpoint of obtaining excellent core loss characteristics particularly in grain-oriented electrical steel sheets. The beam diameter in the scanning orthogonal direction is measured as follows. Using a commercially available CCD camera-type fixed beam profiler, the intensity profile of the beam in the direction orthogonal to the scanning direction of the laser was measured on the surface of the metal strip, and the beam intensity in the beam profile was 0.135 of the maximum beam intensity. The doubled profile width between two points is taken as the beam diameter in the scanning orthogonal direction. In addition, when the major axis direction of the beam shape coincides with the scanning direction of the laser, the minor axis diameter of the beam shape becomes the beam diameter in the scanning orthogonal direction.

레이저의 조사 에너지는 큰 편이 레지스트 피막의 제거 잔류물이 적어지지만, 금속 스트립의 용해를 막아 보다 균일한 형상의 선상 홈을 형성하는 관점에서, 레이저의 조사 에너지는, 40 J/m 이하로 하는 것이 바람직하고, 30 J/m 이하로 하는 것이 보다 바람직하고, 10 J/m 이하로 하는 것이 더욱 바람직하다. 또한, 레이저의 조사 에너지의 하한은 특별히 한정되지 않지만, 레지스트 피막을 바람직하게 제거하기 위해서, 레이저의 조사 에너지는 3 J/m 이상으로 하는 것이 바람직하다.The larger the irradiation energy of the laser, the smaller the removal residue of the resist film, but from the viewpoint of preventing the dissolution of the metal strip and forming a more uniform shape of the linear groove, it is recommended that the irradiation energy of the laser be 40 J/m or less. Preferably, it is more preferably 30 J/m or less, and even more preferably 10 J/m or less. The lower limit of the laser irradiation energy is not particularly limited, but in order to preferably remove the resist film, the laser irradiation energy is preferably 3 J/m or more.

또한, 레이저의 종류는, 생산성의 관점, 및 방향성 전기 강판에 있어서는 나아가 철손 특성의 관점에서 결정될 수 있다. 방향성 전기 강판의 철손 특성을 향상시키는 관점에서는, 좁은 홈폭이 유리하기 때문에, 집광성이 높은 레이저 장치를 사용하여 레지스트 피막 제거폭을 좁게 하는 것이 바람직하다. 한편, 생산성의 관점에서는, 레이저 주사를 고속으로 실시하는 것이 요망된다. 고속으로 레이저 주사를 했을 경우, 제거에 필요한 에너지 밀도를 확보하기 위해서, 보다 출력이 높은 레이저 조사 장치를 사용하는 것이 바람직하다. 따라서, 빔 집광성과 레이저 출력을 양립시키기 위해서, 레이저의 종류는 싱글 모드 파이버 레이저로 하는 것이 바람직하다. 레이저의 주사는, 고속화의 관점에서, 갈바노 미러, 폴리곤 미러 등의 미러의 회전 구동에 의해 실시하는 것이 바람직하다.In addition, the type of laser can be determined from the viewpoint of productivity and, furthermore, from the viewpoint of iron loss characteristics in grain-oriented electrical steel sheets. From the viewpoint of improving the iron loss characteristics of the grain-oriented electrical steel sheet, since a narrow groove width is advantageous, it is preferable to use a laser device with high light condensing property to narrow the resist film removal width. On the other hand, from the viewpoint of productivity, it is desired to perform laser scanning at high speed. In the case of high-speed laser scanning, it is preferable to use a laser irradiation device with higher output in order to secure the energy density required for removal. Therefore, in order to achieve both beam condensing performance and laser output, it is preferable to use a single-mode fiber laser as the type of laser. The scanning of the laser is preferably performed by rotational driving of a mirror such as a galvano mirror or a polygon mirror from the viewpoint of high speed.

일반적으로 사용되는 금속 스트립의 상당수는, 판폭이 1 m 정도이다. 1 m 정도의 판폭을 갖는 금속 스트립의 판폭 전역에 걸쳐 보다 균일하게 레이저를 조사하기 위해서, 레이저 조사 장치는, 2 대 이상으로 하는 것이 바람직하다.Many of the generally used metal strips have a sheet width of about 1 m. In order to more uniformly irradiate the laser over the entire sheet width of a metal strip having a sheet width of about 1 m, it is preferable to use two or more laser irradiation devices.

레이저의 주사는, 직선상으로 실시하는 것이 바람직하다. 또, 레이저의 주사 방향은 금속 스트립의 압연 방향을 횡단하는 방향이면 된다.It is preferable to perform laser scanning in a straight line. In addition, the scanning direction of the laser may be a direction transverse to the rolling direction of the metal strip.

상기한 레이저 조사 공정에 있어서, 레이저가 조사된 부분의 레지스트 피막은, 유기 화합물의 가스화 및 무기 화합물의 비산에 의해 제거된다. 그 때문에, 레이저 조사 공정의 후에, 집진기 및 배기 가스 세정 장치의 적어도 일방을 사용하여, 송풍 또는 흡인에 의해 제거된 레지스트 피막을 회수하는 것이 바람직하다. 레이저 조사를 실시하면서 송풍 또는 흡인에 의해 제거된 레지스트 피막을 회수할 수도 있다. 단, 금속 스트립이 송풍 또는 흡인에 의해 진동하여 초점이 어긋나는 것을 방지하기 위해, 레이저 조사를 실시하면서 송풍 또는 흡인을 실시하는 경우의 집진기 또는 배기 가스 세정 장치의 풍량은, 100 ㎥/min 이하로 하는 것이 바람직하다. 또, 상기 풍량의 하한은 특별히 한정되지 않지만, 제거된 레지스트 피막을 바람직하게 회수하는 관점에서, 풍량은 10 ㎥/min 이상으로 하는 것이 바람직하다.In the laser irradiation step described above, the resist film on the portion irradiated with the laser is removed by gasification of organic compounds and scattering of inorganic compounds. Therefore, after the laser irradiation step, it is preferable to use at least one of the dust collector and the exhaust gas cleaning device to recover the resist film removed by blowing or suction. It is also possible to recover the resist film removed by blowing or suction while performing laser irradiation. However, in order to prevent defocusing due to vibration of the metal strip due to blowing or suction, the air volume of the dust collector or the exhaust gas cleaning device when blowing or suction is performed while laser irradiation is performed is set to 100 m 3 /min or less. it is desirable Further, the lower limit of the air volume is not particularly limited, but from the viewpoint of favorably recovering the removed resist film, the air volume is preferably 10 m 3 /min or more.

[에칭 처리 공정][Etching treatment process]

레이저 조사 공정 종료 후, 에칭 처리를 실시하여 금속 스트립의 표면에 선상 홈을 형성한다. 에칭 처리에 사용하는 수법은 특별히 한정되지 않지만, 화학 에칭 및 전해 에칭의 적어도 일방을 사용하는 것이 바람직하다. 선상 홈의 판두께 방향에 있어서의 홈 깊이를 제어하는 관점에서는, 에칭 처리의 수법으로서 전해 에칭을 사용하는 것이 보다 바람직하다. 에칭 처리의 수법으로서 화학 에칭을 사용하는 경우에는, 예를 들어, FeCl3, HNO3, HCl, 및 H2SO4 로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종을 함유하는 수용액을 에칭액으로서 사용할 수 있다. 또, 전해 에칭의 경우에는, 예를 들어, NaCl, KCl, CaCl2, 및 NaNO3 으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종을 함유하는 수용액을 에칭액 (전해액) 으로서 사용할 수 있다.After completion of the laser irradiation process, an etching process is performed to form linear grooves on the surface of the metal strip. Although the method used for etching treatment is not specifically limited, It is preferable to use at least one of chemical etching and electrolytic etching. From the viewpoint of controlling the groove depth in the plate thickness direction of the linear grooves, it is more preferable to use electrolytic etching as a method of etching treatment. When chemical etching is used as an etching treatment method, for example, an aqueous solution containing at least one selected from the group consisting of FeCl 3 , HNO 3 , HCl, and H 2 SO 4 can be used as the etching solution. In the case of electrolytic etching, for example, an aqueous solution containing at least one selected from the group consisting of NaCl, KCl, CaCl 2 , and NaNO 3 can be used as the etching solution (electrolytic solution).

또, 에칭액을 교반하면서 에칭 처리를 실시하는 것이 바람직하다. 에칭액을 교반함으로써, 에칭 조 내에 있어서의 전해액의 온도 및 물질 농도의 편중을 해소하고, 보다 균일하게 에칭을 실시할 수 있다. 또, 에칭액을 교반함으로써, 에칭 조 내에 있어서의 전해액의 유속을 높여 에칭 효율을 향상시킬 수도 있다. 상기 교반을 실시하는 방법은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 교반 부재에 의한 기계 교반, 및 에칭액을 순환시키는 것에 의한 교반 등을 이용할 수 있다. 기계 교반을 실시하는 경우에는, 에칭액에 대한 내성을 고려하여, 수지제의 교반 부재를 사용하는 것이 바람직하다. 순환에 의한 교반을 실시하는 경우에는, 예를 들어, 에칭 조 내에 에칭액의 분출구를 형성하고, 펌프 등을 사용하여 에칭액을 상기 분출구로부터 분출시킬 수 있다.Moreover, it is preferable to perform an etching process while stirring an etchant. By stirring the etchant, the unevenness of the temperature and material concentration of the electrolyte solution in the etching bath can be eliminated, and etching can be performed more uniformly. Moreover, by stirring the etching solution, the flow rate of the electrolyte solution in the etching bath can be increased and the etching efficiency can be improved. The method of performing the agitation is not particularly limited, but for example, mechanical agitation by an agitating member and agitation by circulating an etching solution can be used. In the case of performing mechanical stirring, it is preferable to use a resin-made stirring member in consideration of resistance to etching liquid. In the case of performing stirring by circulation, for example, an ejection port for the etching solution may be formed in the etching bath, and the etching solution may be ejected from the ejection port using a pump or the like.

전해 에칭에 의해 에칭 처리를 실시하는 경우에는, 임의의 방법으로 금속 스트립에 대한 통전을 실시할 수 있다. 예를 들어, 래디얼 셀 방식 또는 수평 셀 방식의 에칭 조를 사용하여, 직접 통전 또는 간접 통전에 의해 금속 스트립에 통전을 실시할 수 있다. 통전의 전해 조건은, 에칭 처리의 대상이 되는 강판의 종류, 및 사용하는 전해액 등에 따라 적절히 조정하면 되는데, 예를 들어, 전류 밀도를 1 ∼ 100 A/d㎡ 의 범위 내로 조정할 수 있다.When the etching treatment is performed by electrolytic etching, the metal strip can be energized by any method. For example, the metal strip can be energized by direct or indirect energization using an etching bath of a radial cell method or a horizontal cell method. The electrolysis conditions for energization may be appropriately adjusted according to the type of steel sheet to be subjected to the etching treatment, the electrolyte solution to be used, and the like, but the current density can be adjusted within the range of 1 to 100 A/dm 2 , for example.

에칭 처리에 의해 형성되는 선상 홈의 홈폭 및 홈 깊이는, 레이저의 빔 형상, 및 에칭 조건에 따라 조정할 수 있지만, 방향성 전기 강판의 자기 특성을 향상시키는 관점에서는, 선상 홈의 홈폭을 10 ㎛ 이상으로 하는 것이 바람직하고, 또 100 ㎛ 이하로 하는 것이 바람직하다. 또, 선상 홈의 판두께 방향에 있어서의 깊이에 관해서는 10 ㎛ 이상으로 하는 것이 바람직하고, 또 40 ㎛ 이하로 하는 것이 바람직하다. 여기서, 본 실시형태에 관련된 선상 홈 형성 방법에 있어서는, 선상 홈의 홈폭과 레지스트 제거폭이 거의 일치하기 때문에, 레이저의 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경은 10 ㎛ 이상으로 하는 것이 바람직하고, 100 ㎛ 이하로 하는 것이 바람직하다.The groove width and groove depth of the linear grooves formed by the etching process can be adjusted depending on the laser beam shape and the etching conditions. It is preferable to set it as 100 micrometers or less. Further, the depth of the linear grooves in the plate thickness direction is preferably set to 10 µm or more, and is preferably set to 40 µm or less. Here, in the linear groove formation method according to the present embodiment, since the groove width of the linear groove and the resist removal width are substantially the same, the beam diameter in the direction orthogonal to the scanning direction of the laser is preferably 10 µm or more, and 100 µm It is preferable to set it as below.

본 선상 홈 형성 방법에 있어서, 상기한 조건 이외의 조건은, 통상적인 방법에 따라 할 수 있다.In this linear groove forming method, conditions other than the above conditions can be set in accordance with a conventional method.

또한, 본 선상 홈 형성 방법은, 상기 서술한 레지스트 피막 형성 공정, 레이저 조사 공정, 및 에칭 처리 공정에 더해, 상기 (2) 레이저 조사 공정의 후, 상기 (3) 에칭 처리 공정의 전에, 레지스트 피막의 제거 상황을 감시하기 위해서, 레이저 조사부를 촬상 장치가 확대하여 촬상하는 화상 촬영 공정을 갖는 것이 바람직하다. 촬상 장치는, 촬상한 화상을, 해석부에 공급한다. 해석부는, 촬상 장치로부터 취득한 화상, 및 레이저의 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경에 기초하여, 레지스트 제거 비율을 결정한다. 이 레지스트 제거 비율을 이용하여, 레이저의 조사 조건 등을 조정할 수 있다. 또 레지스트 제거 비율을 기록하여 제품 관리에 활용할 수 있다. 레이저 조사부에 있어서의 레지스트 피막의 제거의 상황에 따라, 홈 형상은 변화하기 때문에, 레지스트 피막 제거 상황의 감시는, 홈폭의 감시로 대체하는 것이 가능하다. 그러나, 홈 형상은 레지스트 피막 제거 이외의 영향도 받기 때문에 홈 형성 전의 레지스트 피막의 제거 상황을 직접 감시하는 것이 보다 바람직하다.In addition, in this linear groove formation method, in addition to the above-described resist film forming step, laser irradiation step, and etching treatment step, after the above-mentioned (2) laser irradiation step and before the above-mentioned (3) etching treatment step, the resist film In order to monitor the removal status of the laser beam, it is preferable to have an image capturing process in which an imaging device enlarges and captures an image of the laser irradiation unit. The imaging device supplies the captured image to the analysis unit. The analysis unit determines the resist removal ratio based on the image acquired from the imaging device and the beam diameter in the scanning orthogonal direction of the laser. The laser irradiation conditions and the like can be adjusted using this resist removal rate. In addition, the resist removal rate can be recorded and used for product management. Since the shape of the groove changes depending on the status of the removal of the resist film in the laser irradiation unit, monitoring of the status of removing the resist film can be replaced with monitoring of the width of the groove. However, since the shape of the groove is affected by other than the removal of the resist film, it is more preferable to directly monitor the status of the removal of the resist film before forming the groove.

<방향성 전기 강판의 제조 방법><Production method of grain-oriented electrical steel sheet>

본 실시형태에 관련된 선상 홈 형성 방법은, 방향성 전기 강판의 제조에 바람직하게 적용할 수 있다. 본 실시형태에 관련된 방향성 전기 강판의 제조 방법은,The linear groove formation method according to the present embodiment can be suitably applied to the production of grain-oriented electrical steel sheets. The method for producing a grain-oriented electrical steel sheet according to the present embodiment,

강 슬래브에 열간 압연을 실시하여 열연 강판으로 하고,Hot rolling is performed on a steel slab to obtain a hot rolled steel sheet,

이어서, 상기 열연 강판에, 혹은, 상기 열연 강판에 열연판 어닐링을 실시하여 얻은 열연 어닐링판에, 1 회 또는 중간 어닐링을 사이에 두는 2 회 이상의 냉간 압연을 실시하여 냉연 강판으로 하고,Next, the hot-rolled steel sheet or the hot-rolled annealed sheet obtained by subjecting the hot-rolled steel sheet to hot-rolled sheet annealing is subjected to cold rolling once or twice or more with intermediate annealing interposed therebetween to obtain a cold-rolled steel sheet,

이어서, 상기 냉연 강판에 1 차 재결정 어닐링을 실시하여 1 차 재결정판으로 하고,Subsequently, primary recrystallization annealing is performed on the cold-rolled steel sheet to obtain a primary recrystallized sheet,

이어서, 상기 1 차 재결정판에 2 차 재결정 어닐링을 실시하여 2 차 재결정판으로 하는, 방향성 전기 강판의 제조 방법으로서,Subsequently, as a method for producing a grain-oriented electrical steel sheet, by subjecting the primary recrystallized sheet to secondary recrystallization annealing to obtain a secondary recrystallized sheet,

상기 열간 압연 후의 어느 강판의 적어도 편면에, 상기 서술한 선상 홈 형성 방법에 의해, 선상 홈을 형성하는, 방향성 전기 강판의 제조 방법이다.This is a method for producing a grain oriented electrical steel sheet in which linear grooves are formed on at least one surface of a certain steel sheet after the hot rolling by the linear groove forming method described above.

선상 홈 형성 방법을 방향성 전기 강판의 제조에 적용하는 경우, 선상 홈 형성의 대상이 되는 금속 스트립은, 열간 압연 후의 어느 강판일 수 있다. 보다 구체적으로는, 홈 형성의 대상이 되는 금속 스트립은, 열간 압연 후의 열연 강판, 열연 강판을 열연판 어닐링한 열연 어닐링판, 냉간 압연을 1 회로 하는 경우의 냉간 압연 후의 냉연 강판, 냉간 압연을 중간 어닐링을 사이에 두는 2 회 이상으로 하는 경우에 있어서의, 중간 어닐링 전 혹은 후의 냉연 강판, 또는 중간 어닐링 후에 냉간 압연한 후의 냉연 강판, 1 차 재결정 어닐링 후의 1 차 재결정판, 2 차 재결정 어닐링 후의 2 차 재결정판일 수 있다.When the linear groove formation method is applied to the production of grain-oriented electrical steel sheets, the metal strip to be subjected to linear groove formation may be any steel sheet after hot rolling. More specifically, the metal strip to be grooved is a hot-rolled steel sheet after hot rolling, a hot-rolled annealed sheet obtained by annealing the hot-rolled steel sheet, a cold-rolled steel sheet after cold rolling in the case of performing cold rolling once, and intermediate cold rolling. Cold-rolled steel sheet before or after intermediate annealing, or cold-rolled steel sheet after cold rolling after intermediate annealing, primary recrystallized sheet after primary recrystallization annealing, secondary recrystallization annealing after secondary recrystallization annealing It may be a secondary recrystallized version.

상기 방향성 전기 강판을 제조하는 경우의 성분 조성은 특별히 한정되지 않고 임의의 성분 조성으로 할 수 있다. 방향성 전기 강판의 철손을 저감하는 관점에서, Si 를 2.0 ∼ 8.0 질량% 의 범위에서 함유하는 성분 조성으로 하는 것이 바람직하고, 더불어 통판성의 관점에서 Si 를 2.5 ∼ 4.5 질량% 의 범위에서 함유하는 성분 조성으로 하는 것이 보다 바람직하다.The component composition in the case of manufacturing the grain-oriented electrical steel sheet is not particularly limited, and may be an arbitrary component composition. From the viewpoint of reducing the iron loss of the grain-oriented electrical steel sheet, it is preferable to have a component composition containing Si in the range of 2.0 to 8.0 mass%, and also from the viewpoint of sheet passability, the component composition containing Si in the range of 2.5 to 4.5 mass% It is more preferable to

또한, 방향성 전기 강판을 제조하는 경우의 성분 조성으로서 바람직한, Si 이외의 성분 조성은, 다음과 같다. 물론, 이하의 성분 조성으로 한정되는 경우는 없고, 어떠한 방향성 전기 강판이어도 본 개시의 적용에 의해 적용 전의 강판의 철손은 확실하게 개선된다.In addition, the component composition other than Si which is preferable as a component composition in the case of manufacturing a grain-oriented electrical steel sheet is as follows. Of course, it is not limited to the following component composition, and the iron loss of the steel sheet before application is surely improved by application of the present disclosure in any grain-oriented electrical steel sheet.

C : 0.01 ∼ 0.08 질량%C: 0.01 to 0.08% by mass

C 는, 1 차 재결정시의 집합 조직을 개선하기 위해 필요한 원소이며, 그 효과를 얻기 위해서는 0.01 질량% 이상 함유시키는 것이 바람직하다. 또, 1 차 재결정 어닐링에서, C 의 함유량을 자기 시효가 일어나지 않는 양까지 바람직하게 저감하는 관점에서, C 의 함유량은 0.08 질량% 이하로 하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 C 의 함유량은 0.03 질량% 이상이다. 또, 보다 바람직하게는 C 의 함유량은 0.07 질량% 이하이다.C is an element necessary for improving the texture at the time of primary recrystallization, and it is preferable to contain 0.01% by mass or more in order to obtain the effect. Further, from the viewpoint of preferably reducing the C content to an amount at which self-aging does not occur in primary recrystallization annealing, the C content is preferably 0.08% by mass or less. More preferably, the content of C is 0.03% by mass or more. More preferably, the content of C is 0.07% by mass or less.

Mn : 0.005 ∼ 1.0 질량%Mn: 0.005 to 1.0% by mass

Mn 은, 열간 가공성을 개선하는 데에 유효한 원소이다. 상기 효과를 얻기 위해서, Mn 의 함유량은 0.005 질량% 이상으로 하는 것이 바람직하다. 또, 보다 양호한 자속 밀도를 얻는 관점에서, Mn 의 함유량은 1.0 질량% 이하로 하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 Mn 의 함유량은 0.010 질량% 이상이다. 또, 보다 바람직하게는 Mn 의 함유량은 0.2 질량% 이하이다.Mn is an effective element for improving hot workability. In order to obtain the said effect, it is preferable to make content of Mn into 0.005 mass % or more. Also, from the viewpoint of obtaining a better magnetic flux density, the Mn content is preferably 1.0% by mass or less. More preferably, the content of Mn is 0.010% by mass or more. More preferably, the content of Mn is 0.2% by mass or less.

또, 본 개시의 방향성 전기 강판의 제조에 사용하는 강 소재의 상기 성분 이외의 기본 성분은, 2 차 재결정을 일으키게 하기 위해 인히비터를 이용하는 경우와, 이용하지 않는 경우에서 상이하다.In addition, the basic components other than the above components of the steel material used in the production of the grain-oriented electrical steel sheet of the present disclosure are different between the case where an inhibitor is used and the case where an inhibitor is not used to cause secondary recrystallization.

2 차 재결정을 일으키게 하기 위해 인히비터를 사용하는 경우, 각종 인히비터 성분을 포함하는 성분 조성으로 한다. 예를 들어, AlN 계 인히비터를 이용할 때에는, Al 및 N 을 각각 Al : 0.01 ∼ 0.065 질량%, N : 0.005 ∼ 0.012 질량% 의 범위에서 함유시키는 것이 바람직하다. 또, MnS·MnSe 계 인히비터를 이용할 때에는, S : 0.005 ∼ 0.03 질량% 및 Se : 0.005 ∼ 0.03 질량% 의 적어도 일방을 함유시키는 것이 바람직하다.In the case of using an inhibitor to cause secondary recrystallization, a component composition containing various inhibitor components is used. For example, when using an AlN-based inhibitor, it is preferable to contain Al and N within the ranges of Al: 0.01 to 0.065 mass% and N: 0.005 to 0.012 mass%, respectively. Further, when using a MnS·MnSe-based inhibitor, it is preferable to contain at least one of S: 0.005 to 0.03 mass% and Se: 0.005 to 0.03 mass%.

한편, 2 차 재결정을 일으키게 하기 위해서 인히비터를 이용하지 않는 경우에는, 인히비터 성분인 Al, N, S 및 Se 는, 각각 Al : 0.0100 질량% 이하, N : 0.0050 질량% 이하, S : 0.0050 질량% 이하, Se : 0.0050 질량% 이하로 저감하는 것이 바람직하다.On the other hand, when an inhibitor is not used to cause secondary recrystallization, Al, N, S, and Se, which are inhibitor components, are Al: 0.0100 mass% or less, N: 0.0050 mass% or less, and S: 0.0050 mass%, respectively. % or less, Se: 0.0050% by mass or less.

또, 본 실시형태에 관련된 방향성 전기 강판의 제조에 사용하는 강 소재에는, 상기한 기본 성분 외에, 자기 특성의 추가적인 개선을 목적으로 하여, 상기 성분 조성에 더해 추가로, Ni : 0.03 ∼ 1.50 질량%, Sn : 0.01 ∼ 1.50 질량%, Sb : 0.005 ∼ 1.50 질량%, Cu : 0.03 ∼ 3.0 질량%, P : 0.03 ∼ 0.50 질량%, Mo : 0.005 ∼ 0.10 질량% 및 Cr : 0.03 ∼ 1.50 질량% 중에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상을 함유시켜도 된다.Further, in addition to the basic components described above, in the steel material used for production of the grain-oriented electrical steel sheet according to the present embodiment, Ni: 0.03 to 1.50% by mass, in addition to the above component composition, for the purpose of further improving magnetic properties. , Sn: 0.01 to 1.50 mass%, Sb: 0.005 to 1.50 mass%, Cu: 0.03 to 3.0 mass%, P: 0.03 to 0.50 mass%, Mo: 0.005 to 0.10 mass%, and Cr: selected from 0.03 to 1.50 mass% You may contain 1 type or 2 or more types which become.

Ni 는, 열연판 조직을 개선하여 자기 특성을 향상시키는 데에 유용한 원소이다. 자기 특성의 향상 효과를 얻기 위해서는, Ni 의 함유량은 0.03 질량% 이상으로 하는 것이 바람직하다. 또, 바람직하게 2 차 재결정립을 발달시켜, 자기 특성을 향상시키는 관점에서, Ni 의 함유량은 1.50 질량% 이하로 하는 것이 바람직하다. 또, Sn, Sb, Cu, P, Mo 및 Cr 은, 자기 특성의 향상에 유용한 원소이다. 자기 특성의 향상 효과를 얻기 위해서는, 이들 원소를 모두 상기 각 하한치 이상 함유시키는 것이 바람직하다. 또, 바람직하게 2 차 재결정립을 발달시키는 관점에서, 이들 원소를 모두 상기 상한 이하 함유시키는 것이 바람직하다.Ni is a useful element for improving the structure of a hot-rolled sheet and improving magnetic properties. In order to obtain the effect of improving the magnetic properties, the content of Ni is preferably 0.03% by mass or more. Further, from the viewpoint of preferably developing secondary recrystallized grains and improving magnetic properties, the content of Ni is preferably 1.50% by mass or less. In addition, Sn, Sb, Cu, P, Mo and Cr are elements useful for improving magnetic properties. In order to obtain the effect of improving the magnetic properties, it is preferable to contain all of these elements at or above the respective lower limits. Further, from the viewpoint of preferably developing secondary recrystallized grains, it is preferable to contain all of these elements within the above upper limit.

본 실시형태에 관련된 방향성 전기 강판의 제조에 사용하는 강 소재에 있어서, 상기 성분 이외의 잔부는, Fe 및 불가피적 불순물일 수 있다. 또한, C 는 1 차 재결정 어닐링에 있어서 탈탄되고, Al, N, S 및 Se 는 2 차 재결정 어닐링에 있어서 순화되기 때문에, 2 차 재결정 어닐링 후의 강판 (방향성 전기 강판) 에서는, 이들 성분은 불가피적 불순물 정도의 함유량으로 저감된다.In the steel material used for production of the grain-oriented electrical steel sheet according to the present embodiment, remainder other than the above components may be Fe and unavoidable impurities. In addition, since C is decarburized in primary recrystallization annealing and Al, N, S, and Se are purified in secondary recrystallization annealing, these components are unavoidable impurities in the steel sheet (grain oriented electrical steel sheet) after secondary recrystallization annealing. content is reduced to a certain extent.

방향성 전기 강판을 제조하는 경우, 철손의 저감 효과를 높인다는 관점에서, 금속 스트립의 판폭 방향 (압연 직교 방향 TD) 에 대한 레이저 주사 방향의 각도를 40°이하로 하는 것이 바람직하다. 레이저의 주사 방향은, 금속 스트립의 판폭 방향과 평행 (강판의 판폭 방향에 대한 레이저 주사 방향의 각도를 0°) 하게 하는 것이 보다 바람직하다. 또, 레이저 조사 공정에 있어서의 레이저 주사는, 상기 강판의 압연 방향으로 주기적으로 실시하는 것이 바람직하다. 바꿔 말하면, 레지스트 제거부가 강판의 압연 방향으로 일정한 간격으로 형성되도록, 레이저 주사를 반복하여 실시하는 것이 바람직하다. 강판의 압연 방향에 있어서의 레지스트 제거부의 간격 (이하,「레지스트 제거부의 간격」이라고 한다) 은, 2 ㎜ 이상으로 하는 것이 바람직하고, 또 10 ㎜ 이하로 하는 것이 바람직하다. 에칭 처리에 의해 형성되는 선상 홈의, 압연 방향에 있어서의 간격 (이하,「선상 홈의 간격」이라고 한다) 은, 레지스트 제거부의 간격과 동일해지기 때문에, 레지스트 제거부의 간격을 상기 범위 내로 함으로써, 선상 홈의 간격을 바람직한 범위로 하고, 방향성 전기 강판의 자기 특성을 더욱 향상시킬 수 있다.When producing grain-oriented electrical steel sheets, from the viewpoint of enhancing the effect of reducing iron loss, the angle of the laser scan direction with respect to the sheet width direction of the metal strip (rolling orthogonal direction TD) is preferably 40° or less. It is more preferable that the scanning direction of the laser is parallel to the sheet width direction of the metal strip (the angle of the laser scanning direction with respect to the sheet width direction of the steel sheet is 0°). In addition, it is preferable to perform laser scanning in the laser irradiation step periodically in the rolling direction of the steel sheet. In other words, it is preferable to repeatedly perform laser scanning so that resist removal portions are formed at regular intervals in the rolling direction of the steel sheet. The distance between the resist removal sections in the rolling direction of the steel sheet (hereinafter referred to as "interval between the resist removal sections") is preferably 2 mm or more, and preferably 10 mm or less. Since the spacing of the linear grooves formed by the etching process in the rolling direction (hereinafter referred to as "interval of linear grooves") is the same as the spacing of the resist removal section, the spacing of the resist removal section must be within the above range. By doing so, the spacing between the linear grooves can be set within a preferred range, and the magnetic properties of the grain-oriented electrical steel sheet can be further improved.

실시예Example

다음으로, 실시예에 기초하여 본 개시를 구체적으로 설명한다. 이하의 실시예는, 본 개시의 바람직한 일례를 나타내는 것이며, 본 개시는, 그 실시예에 의해 전혀 한정되는 것이 아니다.Next, the present disclosure will be specifically described based on examples. The following examples show preferred examples of the present disclosure, and the present disclosure is not limited by the examples at all.

(실시예 1)(Example 1)

레이저 조사 조건이 선상 홈의 형태 및 방향성 전기 강판의 철손 특성에 미치는 영향을 평가하기 위해서, 복수의 조건으로, 냉연 강판의 표면에 선상 홈을 형성하였다. 또한, 냉연 강판으로는, C : 0.05 질량%, Si : 3.25 질량%, Mn : 0.01 질량%, Al : 0.029 질량%, N : 0.012 질량%, S : 0.005 질량% 및 Se : 0.012 질량% 를 함유하는 조성 (인히비터 성분을 포함하는 조성) 을 갖는 강 슬래브에 열간 압연을 실시하여 열연 강판으로 하고, 이어서, 그 열연 강판에 냉간 압연을 실시하여 0.27 ㎜, 폭 1120 ㎜ 의 냉연 강판으로 한 것을 사용하였다. 그 후, 그라비어 오프셋 인쇄법에 의해 그 냉연 강판의 양면 전체에 균일하게 레지스트 피막 형성용 피복제를 도포하였다. 레지스트 피막 형성용 피복제로는, 에폭시 변성 멜라민·알키드 수지와, 고형분 환산으로 40 질량% 의 산화마그네슘을 함유하는 레지스트 피막 형성용 피복제를 도포하였다. 레지스트 피막의 겉보기 중량 (건조 후) 은 3.0 g/㎡ 로 하였다.In order to evaluate the effect of laser irradiation conditions on the shape of the linear groove and the core loss characteristics of the grain-oriented electrical steel sheet, linear grooves were formed on the surface of the cold-rolled steel sheet under a plurality of conditions. In addition, as a cold-rolled steel sheet, it contains C: 0.05 mass%, Si: 3.25 mass%, Mn: 0.01 mass%, Al: 0.029 mass%, N: 0.012 mass%, S: 0.005 mass%, and Se: 0.012 mass%. A steel slab having a composition (composition containing an inhibitor component) is hot-rolled to obtain a hot-rolled steel sheet, and then the hot-rolled steel sheet is cold-rolled to obtain a cold-rolled steel sheet having a width of 0.27 mm and a width of 1120 mm. did Thereafter, a coating material for forming a resist film was uniformly applied to the entire both surfaces of the cold-rolled steel sheet by a gravure offset printing method. As the coating material for forming a resist film, a coating material for forming a resist film containing an epoxy-modified melamine alkyd resin and 40% by mass of magnesium oxide in terms of solid content was applied. The weight per unit area (after drying) of the resist film was 3.0 g/m 2 .

레지스트 피막 형성용 피복제를 도포한 후, 330 ℃ 에서 40 s 의 건조를 실시하여, 냉연 강판의 표면에 레지스트 피막을 형성하였다. 이어서, 표 1 에 나타내는 조건으로, 냉연 강판의 판폭 방향으로 직선상으로 주사하면서 레이저를 조사하였다. 상기 레이저의 주사는, 강판의 압연 방향으로 3.5 ㎜ 간격으로 주기적으로 실시하였다. 본 실험에 있어서는, 싱글 모드 파이버 레이저의 조사 장치 3 대를 냉연 강판의 판폭 방향으로 나열하여 설치하고, 그 3 대의 조사 장치에 의해 레이저 조사를 실시하였다. 레이저의 주사 속도, 조사 에너지, 레이저의 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경, 및 레이저의 장단축비는, 표 1 에 나타내는 바와 같이 하였다.After applying the coating material for forming a resist film, drying was performed at 330°C for 40 s to form a resist film on the surface of the cold-rolled steel sheet. Next, under the conditions shown in Table 1, the laser was irradiated while linearly scanning in the sheet width direction of the cold-rolled steel sheet. The scanning of the laser was performed periodically at intervals of 3.5 mm in the rolling direction of the steel sheet. In this experiment, three single-mode fiber laser irradiation devices were arranged in a row in the sheet width direction of a cold-rolled steel sheet, and laser irradiation was performed using the three irradiation devices. The laser scanning speed, irradiation energy, beam diameter in the laser scanning orthogonal direction, and laser long-short axis ratio were as shown in Table 1.

<레지스트 피막 제거폭의 측정><Measurement of Resist Film Removal Width>

레이저 조사 후의 냉연 강판에 대해, 레지스트 피막의 제거폭을 측정하였다. 레이저 조사 후의 냉연 강판 표면을 광학 현미경으로 관찰하고, 레이저 조사부의 지철이 노출되어 있는 영역의 압연 방향의 폭을 레이저 주사 방향 1 ㎜ 에 걸쳐 10 점 측정하고, 그 평균치를 레지스트 피막의 제거폭으로 하였다. 또한, 레지스트 피막의 제거폭과 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경의 차가, 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경에 대해 -80 % 이상 +180 % 이하이면, 조사한 레이저의 직경과 동일한 정도의 폭으로 레지스트 피막을 제거할 수 있었다고 판단하였다.For the cold-rolled steel sheet after laser irradiation, the removal width of the resist film was measured. The surface of the cold-rolled steel sheet after laser irradiation was observed with an optical microscope, and the width in the rolling direction of the region where the base iron was exposed in the laser irradiation area was measured at 10 points over 1 mm in the laser scanning direction, and the average value was taken as the removal width of the resist film. . Further, if the difference between the removal width of the resist film and the beam diameter in the scanning orthogonal direction is -80% or more and +180% or less with respect to the beam diameter in the scanning orthogonal direction, the resist film is formed with a width approximately equal to the diameter of the irradiated laser. It was determined that it could be removed.

계속해서, 레이저 조사 후의 냉연 강판에 전해 에칭을 실시하여, 냉연 강판의 양면에 선상 홈을 형성하였다. 전해액으로는 25 질량% 의 NaCl 수용액을 사용하고, 모든 냉연 강판에 있어서 홈 깊이가 20 ㎛ 가 되도록 사전에 전류 밀도 조정을 실시하였다. 전해 조건은, 전해액 온도 : 20 ℃, 전류 밀도 : 4 ∼ 24 A/d㎡, 통전 시간 : 2 min 으로 하였다. 에칭 처리의 종료 후, 냉연 강판의 표리면에 남은 레지스트 피막을 NaOH 수용액으로 제거하였다. 상기 NaOH 수용액의 액온은, 50 ∼ 70 ℃ 의 범위 내로 유지하였다. 에칭 처리 종료 후, 냉연 강판에 수세 및 표면 세정 처리를 실시하였다.Then, electrolytic etching was performed on the cold-rolled steel sheet after laser irradiation, and linear grooves were formed on both surfaces of the cold-rolled steel sheet. As the electrolytic solution, a 25% by mass NaCl aqueous solution was used, and current density was previously adjusted so that the groove depth was 20 μm in all cold-rolled steel sheets. Electrolysis conditions were made into electrolyte solution temperature: 20 degreeC, current density: 4-24 A/dm<2>, and energization time: 2 min. After completion of the etching treatment, the resist film remaining on the front and back surfaces of the cold-rolled steel sheet was removed with an aqueous NaOH solution. The liquid temperature of the NaOH aqueous solution was maintained within the range of 50 to 70°C. After completion of the etching treatment, the cold-rolled steel sheet was subjected to water washing and surface cleaning treatment.

그 후, 냉연 강판에, 850 ℃ 에서 1 차 재결정 어닐링을 실시하여 1 차 재결정판으로 하고, 이어서 그 1 차 재결정판에 1000 ℃ 에서 2 차 재결정 어닐링을 실시하여 2 차 재결정판으로 하고, 이어서 그 2 차 재결정판에 장력 피막을 형성하였다. 이렇게 하여 얻어진 방향성 전기 강판에 대해, 실험예 1 과 동일하게 철손 W17/50 을 측정하였다. 또한, 철손 W17/50 이 0.80 W/㎏ 이하이면, 철손 특성이 우수하다고 판단하였다. 측정 결과를 표 1 에 병기한다.Thereafter, the cold-rolled steel sheet is subjected to primary recrystallization annealing at 850°C to obtain a primary recrystallized sheet, then the primary recrystallized sheet is subjected to secondary recrystallization annealing at 1000°C to obtain a secondary recrystallized sheet, and then A tensile film was formed on the secondary recrystallized plate. For the grain-oriented electrical steel sheet thus obtained, iron loss W 17/50 was measured in the same manner as in Experimental Example 1. In addition, when the iron loss W 17/50 was 0.80 W/kg or less, it was determined that the iron loss characteristics were excellent. The measurement results are listed together in Table 1.

<선상 홈의 홈폭의 측정><Measurement of groove width of linear groove>

공초점 레이저 현미경을 사용하여 압연 방향의 선상 홈의 깊이 프로파일을 측정하였다. 압연면을「높이 100 %」, 홈 깊이의 최대 깊이를「높이 0 %」로 하여,「높이 90 %」가 되는 위치의 압연 방향의 폭을 홈폭으로 하고, 레이저 주사 방향으로 10 점 측정한 평균치를 선상 홈의 홈폭으로 하였다. 또한, 선상 홈의 홈폭과 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경의 차가 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경에 대해 -70 % 이상 +500 % 이하이면, 원하는 홈폭의 선상 홈을 형성할 수 있었다고 판단하였다. 또, 선상 홈의 홈폭이 10 ㎛ 이상 100 ㎛ 정도 이하이면, 선상 홈의 홈폭이 양호하다고 판단하였다. 측정 결과를 표 1 에 병기한다.The depth profile of linear grooves in the rolling direction was measured using a confocal laser microscope. Average value of 10 measurements in the laser scanning direction, taking the rolling surface as "height 100%" and the maximum depth of groove depth as "height 0%", taking the width in the rolling direction at the position of "height 90%" as the groove width was made into the groove width of the linear groove. Further, if the difference between the groove width of the linear groove and the beam diameter in the scanning orthogonal direction was -70% or more and +500% or less with respect to the beam diameter in the scanning orthogonal direction, it was judged that the linear groove with the desired groove width could be formed. Further, when the groove width of the linear groove was 10 μm or more and about 100 μm or less, it was judged that the groove width of the linear groove was good. The measurement results are listed together in Table 1.

Figure pct00001
Figure pct00001

표 1 에 나타낸 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 개시의 범위 내의 선상 홈 형성 방법을 채용한 발명예에 있어서는, 원하는 홈폭을 갖고, 또한 홈폭이 양호한 선상 홈을 형성할 수 있어, 비교예보다 양호한 철손 특성을 가지고 있는 것을 알 수 있다.As can be seen from the results shown in Table 1, in the invention examples employing the linear groove forming method within the scope of the present disclosure, linear grooves having a desired groove width and a good groove width can be formed, which is better than that of the comparative example. It can be seen that it has iron loss characteristics.

(실시예 2)(Example 2)

실시예 1 과 동일하게 하여, 홈 형성 전의 냉연 강판을 제조하였다. 그 냉연 강판에, 수계 알키드 수지를 주성분으로 하는 레지스트 피막 형성용 피복제에 실리카를 고형물 환산으로 0 ∼ 95 질량% 배합한 레지스트 피막 형성용 피복제를 그라비어 오프셋 인쇄법에 의해 강판 표면 전체에 균일하게 도포하였다. 레지스트 피막의 겉보기 중량 (건조 후) 은 3.0 g/㎡ 로 하였다. 레지스트 피막 형성용 피복제를 도포한 후, 330 ℃ 에서 40 s 의 건조를 실시하였다. 이어서, 주사 속도 60 m/s, 빔 조사 에너지 30 J/m, 빔의 단축 직경 50 ㎛, 빔의 장단축비 50 의 조건으로 냉연 강판의 판폭 방향을 따라 직선상으로 주사하면서 레이저를 조사하였다. 레이저의 주사는, 냉연 강판의 압연 방향으로 3.5 ㎜ 간격으로 주기적으로 실시하였다. 본 실험에 있어서는, 싱글 모드 파이버 레이저의 조사 장치 3 대를 냉연 강판의 판폭 방향으로 나열하여 설치하고, 그 3 대의 조사 장치에 의해 레이저 조사를 실시하였다.In the same manner as in Example 1, a cold-rolled steel sheet before groove formation was manufactured. To the cold-rolled steel sheet, a coating material for forming a resist film in which 0 to 95% by mass of silica in terms of solid content was blended with a coating material for forming a resist film containing an aqueous alkyd resin as a main component was applied uniformly over the entire surface of the steel sheet by a gravure offset printing method. applied. The weight per unit area (after drying) of the resist film was 3.0 g/m 2 . After applying the coating material for forming a resist film, drying was performed at 330°C for 40 s. Next, the laser was irradiated while scanning in a straight line along the sheet width direction of the cold-rolled steel sheet under conditions of a scanning speed of 60 m/s, a beam irradiation energy of 30 J/m, a beam diameter of 50 μm, and a beam long-short axis ratio of 50. Laser scanning was performed periodically at intervals of 3.5 mm in the rolling direction of the cold-rolled steel sheet. In this experiment, three single-mode fiber laser irradiation devices were arranged in a row in the sheet width direction of a cold-rolled steel sheet, and laser irradiation was performed using the three irradiation devices.

계속해서, 각 냉연 강판에 전해 에칭을 실시하여 냉연 강판의 표면에 선상 홈을 형성하였다. 전해액으로는 25 질량% 의 NaCl 수용액을 사용하고, 모든 냉연 강판에 대해 홈 깊이 20 ㎛ 의 선상 홈이 형성되도록 사전에 전류 밀도 조정을 실시하였다. 전해 조건은, 전해액 온도 : 20 ℃, 전류 밀도 : 4 ∼ 24 A/d㎡, 통전 시간 : 2 min 으로 하였다. 에칭 처리 종료 후, 냉연 강판의 표리면에 남은 레지스트 피막을 NaOH 수용액으로 제거하였다. 에칭 처리 종료 후, 냉연 강판에 수세 및 표면 세정 처리를 실시하였다.Subsequently, electrolytic etching was performed on each cold-rolled steel sheet to form linear grooves on the surface of the cold-rolled steel sheet. A 25% by mass NaCl aqueous solution was used as the electrolyte solution, and current density was previously adjusted so that linear grooves with a groove depth of 20 μm were formed on all cold-rolled steel sheets. Electrolysis conditions were made into electrolyte solution temperature: 20 degreeC, current density: 4-24 A/dm<2>, and energization time: 2 min. After completion of the etching treatment, the resist film remaining on the front and back surfaces of the cold-rolled steel sheet was removed with an aqueous NaOH solution. After completion of the etching treatment, the cold-rolled steel sheet was subjected to water washing and surface cleaning treatment.

그 후, 냉연 강판에, 850 ℃ 에서 1 차 재결정 어닐링을 실시하여 1 차 재결정판으로 하고, 이어서 그 1 차 재결정판에 1000 ℃ 에서 2 차 재결정 어닐링을 실시하여 2 차 재결정판으로 하고, 이어서 그 2 차 재결정판에 장력 피막을 형성하였다. 이렇게 하여 얻어진 방향성 전기 강판에 대해, 철손 W17/50 을 실험예 1 과 동일한 방법으로 측정하였다. 또한, 철손 W17/50 이 0.80 W/㎏ 이하이면, 철손 특성이 우수하다고 판단하였다. 측정 결과를 표 2 에 병기한다.Thereafter, the cold-rolled steel sheet is subjected to primary recrystallization annealing at 850°C to obtain a primary recrystallized sheet, then the primary recrystallized sheet is subjected to secondary recrystallization annealing at 1000°C to obtain a secondary recrystallized sheet, and then A tensile film was formed on the secondary recrystallized plate. For the grain-oriented electrical steel sheet thus obtained, iron loss W 17/50 was measured in the same manner as in Experimental Example 1. In addition, when the iron loss W 17/50 was 0.80 W/kg or less, it was determined that the iron loss characteristics were excellent. The measurement results are listed together in Table 2.

Figure pct00002
Figure pct00002

표 2 에 나타낸 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 무기 화합물을 20 질량% 이상 함유하는 레지스트 피막을 채용한 발명예에 있어서는, 원하는 홈폭을 갖고, 또한 양호한 홈폭의 선상 홈을 형성할 수 있어, 비교예보다 양호한 철손 특성을 가지고 있는 것을 알 수 있다.As can be seen from the results shown in Table 2, in the example of the invention employing a resist film containing 20% by mass or more of an inorganic compound, linear grooves having a desired groove width and a good groove width can be formed, Comparative Example It can be seen that it has better iron loss characteristics.

10 : 레이저 조사 장치
20 : 금속 스트립
30 : 레이저
40 : 레이저 조사부
10: laser irradiation device
20: metal strip
30: laser
40: laser irradiation unit

Claims (3)

금속 스트립의 적어도 편면에 레지스트 피막을 형성하고,
이어서, 상기 레지스트 피막에, 상기 금속 스트립의 압연 방향을 횡단하는 방향으로 주사하면서 레이저를 조사하여, 상기 레이저가 조사된 부분의 상기 레지스트 피막을 제거하고,
이어서, 상기 금속 스트립의 상기 레지스트 피막이 제거된 부분에 에칭 처리를 실시하여 선상 홈을 형성하는, 선상 홈 형성 방법으로서,
상기 레지스트 피막은, 무기 화합물을 고형분 환산으로 20 질량% 이상 함유하고,
상기 금속 스트립 표면에 있어서, 상기 레이저는 단축 직경에 대한 장축 직경의 비가 5.0 이상인 타원상의 빔 형상을 갖고, 또한 주사 직교 방향에 있어서의 빔 직경이 10 ㎛ 이상 100 ㎛ 이하인, 선상 홈 형성 방법.
Forming a resist film on at least one surface of the metal strip;
Next, the resist film is irradiated with a laser while scanning in a direction transverse to the rolling direction of the metal strip to remove the resist film at a portion irradiated with the laser,
Subsequently, an etching process is performed on a portion of the metal strip from which the resist film is removed to form a linear groove, a linear groove forming method,
The resist film contains 20% by mass or more of an inorganic compound in terms of solid content,
On the surface of the metal strip, the laser has an elliptical beam shape in which the ratio of the major axis diameter to the minor axis diameter is 5.0 or more, and the beam diameter in the scanning orthogonal direction is 10 μm or more and 100 μm or less.
제 1 항에 있어서,
상기 레이저의 조사 에너지를 30 J/m 이하로 하는, 선상 홈 형성 방법.
According to claim 1,
A linear groove forming method, wherein the irradiation energy of the laser is 30 J/m or less.
강 슬래브에 열간 압연을 실시하여 열연 강판으로 하고,
이어서, 상기 열연 강판에, 혹은, 상기 열연 강판에 열연판 어닐링을 실시하여 얻은 열연 어닐링판에, 1 회 또는 중간 어닐링을 사이에 두는 2 회 이상의 냉간 압연을 실시하여 냉연 강판으로 하고,
이어서, 상기 냉연 강판에 1 차 재결정 어닐링을 실시하여 1 차 재결정판으로 하고,
이어서, 상기 1 차 재결정판에 2 차 재결정 어닐링을 실시하여 2 차 재결정판으로 하는, 방향성 전기 강판의 제조 방법으로서,
상기 열간 압연 후의 어느 강판의 적어도 편면에, 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 선상 홈 형성 방법에 의해, 선상 홈을 형성하는, 방향성 전기 강판의 제조 방법.
Hot rolling is performed on a steel slab to obtain a hot rolled steel sheet,
Next, the hot-rolled steel sheet or the hot-rolled annealed sheet obtained by subjecting the hot-rolled steel sheet to hot-rolled sheet annealing is subjected to cold rolling once or twice or more with intermediate annealing interposed therebetween to obtain a cold-rolled steel sheet,
Subsequently, primary recrystallization annealing is performed on the cold-rolled steel sheet to obtain a primary recrystallized sheet,
Subsequently, as a method for producing a grain-oriented electrical steel sheet, by subjecting the primary recrystallized sheet to secondary recrystallization annealing to obtain a secondary recrystallized sheet,
A method for producing a grain-oriented electrical steel sheet, wherein linear grooves are formed on at least one side of a steel sheet after hot rolling by the linear groove forming method according to claim 1 or 2.
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