KR20220123761A - Absolute Encoder - Google Patents

Absolute Encoder Download PDF

Info

Publication number
KR20220123761A
KR20220123761A KR1020227030014A KR20227030014A KR20220123761A KR 20220123761 A KR20220123761 A KR 20220123761A KR 1020227030014 A KR1020227030014 A KR 1020227030014A KR 20227030014 A KR20227030014 A KR 20227030014A KR 20220123761 A KR20220123761 A KR 20220123761A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
absolute
image sensor
scale
absolute position
digital signal
Prior art date
Application number
KR1020227030014A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102507084B1 (en
Inventor
야스히로 기타야마
아키히코 히구치
도시오 메카타
마사시 오쿠마
Original Assignee
미쓰비시덴키 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 filed Critical 미쓰비시덴키 가부시키가이샤
Publication of KR20220123761A publication Critical patent/KR20220123761A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102507084B1 publication Critical patent/KR102507084B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34776Absolute encoders with analogue or digital scales
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34707Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
    • G01D5/34715Scale reading or illumination devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36Forming the light into pulses

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Analogue/Digital Conversion (AREA)

Abstract

앱솔루트 인코더(1X)가 절대값 부호 패턴이 배치된 원판 모양의 스케일(20)과, 스케일(20)의 제1 위치로부터의 광을 수광하여 제1 아날로그 신호를 출력하는 이미지 센서(3X)와, 스케일(20)의 제2 위치로부터의 광을 수광하여 제2 아날로그 신호를 출력하는 이미지 센서(4X)와, 제1 아날로그 신호를 제1 디지털 신호로 변환하는 AD 변환기(5A)와, 제2 아날로그 신호를 제2 디지털 신호로 변환하는 AD 변환기(5B)와, 제1 및 제2 디지털 신호에 기초하여, 스케일(20) 상에서의 제1 절대 위치를 산출하는 절대 위치 연산부(6X)를 구비하고 있다. The absolute encoder 1X receives the light from the first position of the disk-shaped scale 20 on which the absolute value sign pattern is disposed, and the scale 20 and the image sensor 3X for outputting a first analog signal; An image sensor 4X that receives light from a second position of the scale 20 and outputs a second analog signal, an AD converter 5A that converts the first analog signal into a first digital signal, and a second analog signal An AD converter 5B for converting a signal into a second digital signal, and an absolute position calculating unit 6X for calculating a first absolute position on the scale 20 based on the first and second digital signals are provided. .

Figure P1020227030014
Figure P1020227030014

Description

앱솔루트 인코더Absolute Encoder

본 개시는 측정 대상물의 각도 위치를 측정하는 앱솔루트 인코더에 관한 것이다. The present disclosure relates to an absolute encoder for measuring an angular position of a measurement object.

샤프트 등의 측정 대상물의 기계적인 각도 위치를 측정하는 앱솔루트 인코더는, 복수의 마크가 배열된 원판 스케일과, 원판 스케일에 광을 조사함으로써, 원판 스케일로부터 측정 대상물의 각도 위치에 대응하는 신호를 취득하는 광 센서 모듈을 구비하고 있다. An absolute encoder for measuring the mechanical angular position of a measurement object such as a shaft is a disk scale in which a plurality of marks are arranged, and by irradiating light to the disk scale, a signal corresponding to the angular position of the measurement object is obtained from the disk scale An optical sensor module is provided.

특허 문헌 1에 기재된 앱솔루트 인코더에서는, 원판 스케일에 ABS(ABSolute, 앱솔루트) 패턴과, INC(INCremental, 인크리멘탈) 패턴을 조합한 마크가 배열되어 있다. 이 앱솔루트 인코더는 원판 스케일로부터 취득되는 위치 정보를, 2개의 검출기로 취득하여, ABS 패턴의 위치 정보와 INC 패턴의 위치 정보로 분해하고, 이들 위치 정보를 평균값화함으로써, 위치 정보의 분해능을 향상시키고 있다. In the absolute encoder described in Patent Document 1, marks in which an ABS (ABSolute) pattern and an INC (INCremental) pattern are combined are arranged on the original scale. This absolute encoder acquires the position information obtained from the disc scale with two detectors, decomposes it into position information of the ABS pattern and the position information of the INC pattern, and by averaging these position information, the resolution of the position information is improved, have.

특허 문헌 1: 일본 특허 제5787513호 공보Patent Document 1: Japanese Patent No. 5787513

그렇지만, 상기 특허 문헌 1의 기술에서는, 원판 스케일로부터 수광되는 광은 원판 스케일의 하나의 영역으로부터 수광되어 있고, 1개의 영역으로부터 수광된 광에 기초하여 ABS 패턴의 위치 정보 및 INC 패턴의 위치 정보를 산출하여 평균값화하고 있다. 이 때문에, 상기 특허 문헌 1의 기술에서는, 2개의 검출기 중 어느 것에 이물 부착 등이 있으면 위치 정보의 신뢰성이 손상된다고 하는 문제가 있었다. However, in the technique of Patent Document 1, the light received from the original scale is received from one area of the original scale, and the position information of the ABS pattern and the position information of the INC pattern are obtained based on the light received from the one area. Calculated and averaged. For this reason, in the technique of the said patent document 1, there existed a problem that the reliability of position information was impaired when a foreign material adhered etc. to either of the two detectors.

본 개시는 상기를 감안하여 이루어진 것으로서, 신뢰성이 높고 분해능이 높은 위치 데이터를 산출할 수 있는 앱솔루트 인코더를 얻는 것을 목적으로 한다. The present disclosure has been made in view of the above, and an object of the present disclosure is to obtain an absolute encoder capable of calculating position data with high reliability and high resolution.

상술한 과제를 해결하여 목적을 달성하기 위해서, 본 개시의 앱솔루트 인코더는, 절대값 부호 패턴이 배치된 원판 모양의 스케일과, 스케일에 광을 조사하는 발광 소자를 구비하고 있다. 또, 본 개시의 앱솔루트 인코더는, 스케일의 중심으로부터 제1 거리만큼 떨어진 제1 위치로부터의 제1 광을 수광하여 제1 광에 대응하는 제1 아날로그 신호를 출력하는 제1 이미지 센서와, 스케일의 중심으로부터 제2 거리만큼 떨어진 제2 위치로부터의 제2 광을 수광하여 제2 광에 대응하는 제2 아날로그 신호를 출력하는 제2 이미지 센서를 구비하고 있다. 또, 본 개시의 앱솔루트 인코더는, 제1 아날로그 신호를 제1 디지털 신호로 변환하는 제1 신호 변환부와, 제2 아날로그 신호를 제2 디지털 신호로 변환하는 제2 신호 변환부와, 제1 디지털 신호 및 제2 디지털 신호에 기초하여, 스케일 상에서의 제1 절대 위치를 산출하는 절대 위치 연산부를 구비하고 있다. In order to solve the above-mentioned problem and achieve the objective, the absolute encoder of this indication is equipped with the disk-shaped scale on which the absolute value code pattern is arrange|positioned, and the light emitting element which irradiates light to the scale. In addition, the absolute encoder of the present disclosure includes a first image sensor that receives a first light from a first position separated by a first distance from the center of the scale and outputs a first analog signal corresponding to the first light; and a second image sensor that receives a second light from a second position separated by a second distance from the center and outputs a second analog signal corresponding to the second light. In addition, the absolute encoder of the present disclosure includes a first signal converter for converting a first analog signal into a first digital signal, a second signal converter for converting a second analog signal into a second digital signal, and a first digital An absolute position calculating unit for calculating a first absolute position on the scale based on the signal and the second digital signal is provided.

본 개시에 따른 앱솔루트 인코더는, 신뢰성이 높고 분해능이 높은 위치 데이터를 산출할 수 있다고 하는 효과를 달성한다. The absolute encoder according to the present disclosure achieves the effect that position data with high reliability and high resolution can be calculated.

도 1은 실시 형태 1에 따른 앱솔루트 인코더의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 실시 형태 1에 따른 앱솔루트 인코더의 광량 보정부에 입력되는 신호를 나타내는 도면이다.
도 3은 실시 형태 1에 따른 앱솔루트 인코더의 광량 보정부가 출력하는 신호를 나타내는 도면이다.
도 4는 도 3에 나타낸 엣지 영역의 신호를 나타내는 도면이다.
도 5는 실시 형태 1에 따른 앱솔루트 인코더의 엣지 검출부가 검출하는 상승 엣지 및 하강 엣지를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 도 5에 나타낸 엣지 정보에 대응하는 비트열을 나타내는 도면이다.
도 7은 실시 형태 1에 따른 앱솔루트 인코더의 디코드부가 개략적인(approximate) 절대 위치를 특정하는 처리를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 실시 형태 1에 따른 앱솔루트 인코더의 위상 검출부가 산출하는, 신호의 위상 편차량을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 실시 형태 1에 따른 앱솔루트 인코더에서 얻어지는 신호의 특징을 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 실시 형태 2에 따른 앱솔루트 인코더의 구성을 나타내는 도면이다.
도 11은 실시 형태 2에 따른 앱솔루트 인코더에 있어서의 이미지 센서의 배치 위치를 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 실시 형태 3에 따른 앱솔루트 인코더의 구성을 나타내는 도면이다.
도 13은 실시 형태 3에 따른 앱솔루트 인코더의 위치 데이터 생성부에 의한 위치 데이터의 생성 처리 절차를 나타내는 순서도이다.
도 14는 실시 형태 3에 따른 앱솔루트 인코더의 위치 데이터 생성부에 의한 이상 판정 처리의 제1 예의 처리 절차를 나타내는 순서도이다.
도 15는 실시 형태 3에 따른 앱솔루트 인코더의 위치 데이터 생성부에 의한 이상 판정 처리의 제2 예의 처리 절차를 나타내는 순서도이다.
도 16은 실시 형태 3에 따른 앱솔루트 인코더의 스케일에 발생하는 면 편차(face deflection)를 설명하기 위한 도면이다.
도 17은 실시 형태 4에 따른 앱솔루트 인코더의 개략 구성을 나타내는 도면이다.
도 18은 실시 형태 4에 따른 앱솔루트 인코더의 이미지 센서가 실장된 모듈의 제1 구성예를 나타내는 도면이다.
도 19는 실시 형태 4에 따른 앱솔루트 인코더의 이미지 센서가 실장된 모듈의 제2 구성예를 나타내는 도면이다.
도 20은 실시 형태 4에 따른 앱솔루트 인코더의 이미지 센서가 실장된 모듈의 제3 구성예를 나타내는 도면이다.
도 21은 도 20에 나타낸 모듈을 실시 형태 3의 앱솔루트 인코더에 적용했을 경우의, 앱솔루트 인코더의 구성을 나타내는 도면이다.
도 22는 실시 형태 1에 따른 앱솔루트 인코더가 구비하는 절대 위치 연산부를 실현하는 하드웨어 구성예를 나타내는 도면이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the structure of the absolute encoder which concerns on Embodiment 1. As shown in FIG.
2 is a diagram illustrating a signal input to a light amount correcting unit of the absolute encoder according to the first embodiment.
3 is a diagram illustrating a signal output by a light amount correcting unit of the absolute encoder according to the first embodiment.
FIG. 4 is a diagram illustrating a signal of an edge region shown in FIG. 3 .
5 is a diagram for explaining a rising edge and a falling edge detected by the edge detection unit of the absolute encoder according to the first embodiment.
FIG. 6 is a diagram illustrating a bit string corresponding to edge information shown in FIG. 5 .
Fig. 7 is a diagram for explaining processing for specifying an approximate absolute position of a decode unit of the absolute encoder according to the first embodiment;
It is a figure for demonstrating the amount of phase deviation of the signal which the phase detection part of the absolute encoder which concerns on Embodiment 1 calculates.
9 is a diagram for explaining the characteristics of a signal obtained by the absolute encoder according to the first embodiment.
Fig. 10 is a diagram showing the configuration of the absolute encoder according to the second embodiment.
It is a figure for demonstrating the arrangement position of the image sensor in the absolute encoder which concerns on Embodiment 2. FIG.
12 is a diagram showing the configuration of the absolute encoder according to the third embodiment.
13 is a flowchart showing a process procedure for generating position data by the position data generating unit of the absolute encoder according to the third embodiment.
14 is a flowchart showing a processing procedure of a first example of abnormality determination processing by the position data generation unit of the absolute encoder according to the third embodiment.
15 is a flowchart showing a processing procedure of a second example of abnormality determination processing by the position data generation unit of the absolute encoder according to the third embodiment.
16 is a diagram for explaining face deflection occurring in the scale of the absolute encoder according to the third embodiment.
17 is a diagram showing a schematic configuration of an absolute encoder according to the fourth embodiment.
18 is a diagram showing a first configuration example of a module in which the image sensor of the absolute encoder according to the fourth embodiment is mounted.
19 is a diagram showing a second configuration example of a module in which the image sensor of the absolute encoder according to the fourth embodiment is mounted.
20 is a diagram showing a third configuration example of a module on which an image sensor of an absolute encoder according to the fourth embodiment is mounted.
Fig. 21 is a diagram showing the configuration of an absolute encoder when the module shown in Fig. 20 is applied to the absolute encoder of the third embodiment.
22 is a diagram showing an example of a hardware configuration for realizing an absolute position calculating unit included in the absolute encoder according to the first embodiment.

이하에, 본 개시의 실시 형태에 따른 앱솔루트 인코더를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the absolute encoder which concerns on embodiment of this indication is demonstrated in detail based on drawing.

실시 형태 1.Embodiment 1.

도 1은 실시 형태 1에 따른 앱솔루트 인코더의 구성을 나타내는 도면이다. 앱솔루트 인코더(1X)는 발광 소자(2)와, 이미지 센서(3X, 4X)와, 스케일(20)과, AD(Analog to Digital) 변환기(5A, 5B)와, 절대 위치 연산부(6X)를 구비하고 있다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the structure of the absolute encoder which concerns on Embodiment 1. As shown in FIG. The absolute encoder 1X includes a light emitting element 2, an image sensor 3X, 4X, a scale 20, an AD (Analog to Digital) converter 5A, 5B, and an absolute position calculating unit 6X. are doing

발광 소자(2)는 스케일(20)에 광을 조사하는 조명부이다. 발광 소자(2)에는, 예를 들면 점광원 LED(Light Emitting Diode, 발광 다이오드)가 이용된다. 이미지 센서(3X, 4X)는 스케일(20)로부터의 광을 수광하는 광 검출부이다. 이미지 센서(3X, 4X)에는 CCD(Charge Coupled Device, 전하 결합 소자) 이미지 센서, CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor, 상보성 금속 산화막 반도체) 이미지 센서 등의 촬상 디바이스가 이용된다. 실시 형태 1에서는, 이미지 센서(3X, 4X)가 1차원 이미지 센서인 경우에 대해서 설명하지만, 이미지 센서(3X, 4X)는 2차원 이미지 센서여도 상관없다. The light emitting element 2 is an illumination unit that irradiates light to the scale 20 . For the light emitting element 2, for example, a point light source LED (Light Emitting Diode, light emitting diode) is used. The image sensors 3X and 4X are light detection units that receive light from the scale 20 . As the image sensors 3X and 4X, an imaging device such as a Charge Coupled Device (CCD) image sensor and a Complementary Metal Oxide Semiconductor (CMOS) image sensor is used. In Embodiment 1, the case where the image sensors 3X and 4X are one-dimensional image sensors will be described. However, the image sensors 3X and 4X may be two-dimensional image sensors.

스케일(20)은 원판 모양의 스케일이다. 스케일(20)은 모터(도시하지 않음) 등이 구비하는 회전 샤프트(7)에 연결되어 있어, 회전 샤프트(7)가 회전함으로써 스케일(20)이 회전한다. 스케일(20)은 원주를 따른 방향으로 절대 위치 패턴인 절대값 부호 패턴(30)을 가지는 트랙이 1개만 마련되어 있다. 절대값 부호 패턴(30)에는, 스케일(20)의 지름 방향으로 연장되는 복수의 반사부(31)와, 복수의 비반사부(32)가 배치되어 있다. The scale 20 is a disk-shaped scale. The scale 20 is connected to a rotating shaft 7 provided in a motor (not shown) or the like, and as the rotating shaft 7 rotates, the scale 20 rotates. The scale 20 has only one track having the absolute value sign pattern 30 which is an absolute position pattern in a direction along the circumference. In the absolute value sign pattern 30 , a plurality of reflective portions 31 and a plurality of non-reflecting portions 32 extending in the radial direction of the scale 20 are disposed.

반사부(31)는 발광 소자(2)로부터의 광을 반사하는 부분이고, 또, 비반사부(32)는 발광 소자(2)로부터의 광을 흡수, 혹은 투과하는 부분이다. 비반사부(32)는 반사부(31)의 반사율보다도 낮은 반사율로 반사하는 부분이면 된다. 반사부(31) 및 비반사부(32)는, 이미지 센서(3X, 4X) 상에 투영되는 광 강도 분포를 변조하도록 기능한다. The reflective part 31 is a part that reflects the light from the light emitting element 2, and the non-reflecting part 32 is a part which absorbs or transmits the light from the light emitting element 2 . The non-reflecting portion 32 may be a portion that reflects with a reflectance lower than the reflectance of the reflection portion 31 . The reflective portion 31 and the non-reflecting portion 32 function to modulate the light intensity distribution projected onto the image sensors 3X and 4X.

절대값 부호 패턴(30)은 스케일(20)의 각도 위치를 특징지우도록 반사부(31) 및 비반사부(32)로 구성되어 있다. 절대값 부호 패턴(30)의 배열에는, 예를 들면, M계열 등의 의사 랜덤 부호를 맨체스터 부호화한 부호열이 사용된다. The absolute sign pattern 30 consists of a reflective portion 31 and a non-reflecting portion 32 to characterize the angular position of the scale 20 . For the arrangement of the absolute code pattern 30, for example, a code string obtained by Manchester-coding a pseudo-random code such as an M-series is used.

실시 형태 1에서는, 발광 소자(2) 및 이미지 센서(3X, 4X)가 모두 스케일(20)의 편측(片側)의 면인 상면에 배치된 반사형 인코더를 예시한다. 또한, 실시 형태 1의 앱솔루트 인코더(1X)는, 스케일(20)을 사이에 두고 서로 대향하는 위치인 상면 및 하면에 발광 소자(2) 및 이미지 센서(3X, 4X)가 배치된 투과형 인코더에도 적용 가능하다. In Embodiment 1, the light emitting element 2 and the image sensors 3X, 4X are all exemplified by the reflective encoder arranged on the upper surface which is the surface on one side of the scale 20. As shown in FIG. Further, the absolute encoder 1X of the first embodiment is also applied to a transmissive encoder in which the light emitting element 2 and the image sensors 3X and 4X are disposed on the upper and lower surfaces opposite to each other with the scale 20 interposed therebetween. It is possible.

투과형 인코더의 경우, 절대값 부호 패턴(30)은 광을 투과하는 투과부와, 광을 투과하지 않는 비투과부로 구성되면 된다. 반사형 인코더 및 투과형 인코더 중 어느 경우에도, 이미지 센서(3X, 4X) 상에 투영되는 광 강도 분포를 변조하도록 구성되어 있으면, 절대값 부호 패턴(30)의 구성은 특별히 한정되지 않는다. In the case of a transmissive encoder, the absolute value code pattern 30 may be composed of a transmissive part that transmits light and a non-transmissive part that does not transmit light. In either case of the reflective encoder and the transmissive encoder, the configuration of the absolute value code pattern 30 is not particularly limited as long as it is configured to modulate the light intensity distribution projected on the image sensors 3X and 4X.

또, 실시 형태 1에서는, 스케일(20)의 중심으로부터 지름 방향을 따라서, 발광 소자(2) 및 이미지 센서(3X, 4X)가, 발광 소자(2), 이미지 센서(3X), 및 이미지 센서(4X)의 순번으로 배치되어 있는 예를 나타내고 있지만, 배치의 순번은 이 순번으로 한정되지 않는다. 즉, 발광 소자(2) 및 이미지 센서(3X, 4X)는, 수광하는 광의 스케일(20) 상에서의 반사 위치가 다르면, 배치의 순번은 한정되지 않는다. Moreover, in Embodiment 1, along the radial direction from the center of the scale 20, the light emitting element 2 and the image sensors 3X, 4X are the light emitting element 2, the image sensor 3X, and the image sensor ( 4X), although the example is shown, the order of arrangement|positioning is not limited to this order. That is, the order of arrangement of the light emitting element 2 and the image sensors 3X and 4X is not limited as long as the reflection positions of the received light on the scale 20 are different.

이미지 센서(3X, 4X) 및 발광 소자(2)는, 스케일(20)의 상면측인 회전축 방향에서 보았을 경우에, 스케일(20)의 중심으로부터 스케일(20)의 제1 지름 방향으로 연장되는 반직선 상에 겹치도록 배치되어 있다. 실시 형태 1에서는, 이 반직선에, 스케일(20)의 상면측에서 보았을 경우에, 이미지 센서(3X)의 중심과, 이미지 센서(4X)의 중심과, 발광 소자(2)의 중심이 겹치도록, 이미지 센서(3X, 4X) 및 발광 소자(2)가 배치되어 있다. The image sensors 3X and 4X and the light emitting element 2 are radial lines extending from the center of the scale 20 in the first radial direction of the scale 20 when viewed from the rotation axis direction, which is the upper surface side of the scale 20 . placed so as to overlap. In Embodiment 1, the center of the image sensor 3X, the center of the image sensor 4X, and the center of the light emitting element 2 overlap on this semi-rectangular line when viewed from the upper surface side of the scale 20, Image sensors 3X, 4X and a light emitting element 2 are arranged.

실시 형태 1에서는, 이미지 센서(3X)가 제1 이미지 센서이고, 이미지 센서(4X)가 제2 이미지 센서이다. 이미지 센서(3X)는 스케일(20)의 중심으로부터 제1 거리만큼 떨어진 제1 위치로부터의 제1 광을 수광하여 제1 광에 대응하는 아날로그 신호를 출력한다. 이미지 센서(4X)는 스케일(20)의 중심으로부터 제2 거리만큼 떨어진 제2 위치로부터의 제2 광을 수광하여 제2 광에 대응하는 아날로그 신호를 출력한다. 실시 형태 1에서는, 제1 거리와 제2 거리는 상이한 거리이다. 이미지 센서(3X)가 출력하는 아날로그 신호가 제1 아날로그 신호이고, 이미지 센서(4X)가 출력하는 아날로그 신호가 제2 아날로그 신호이다. In Embodiment 1, the image sensor 3X is a first image sensor, and the image sensor 4X is a second image sensor. The image sensor 3X receives the first light from a first position separated by a first distance from the center of the scale 20 and outputs an analog signal corresponding to the first light. The image sensor 4X receives the second light from a second position separated by a second distance from the center of the scale 20 and outputs an analog signal corresponding to the second light. In Embodiment 1, the first distance and the second distance are different distances. The analog signal output from the image sensor 3X is the first analog signal, and the analog signal output from the image sensor 4X is the second analog signal.

AD 변환기(5A)는 이미지 센서(3X)가 검출한 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하는 제1 신호 변환부이다. AD 변환기(5B)는 이미지 센서(4X)가 검출한 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하는 제2 신호 변환부이다. AD 변환기(5A)가 변환하는 디지털 신호가 제1 디지털 신호이고, AD 변환기(5B)가 변환하는 디지털 신호가 제2 디지털 신호이다. The AD converter 5A is a first signal converter that converts the analog signal detected by the image sensor 3X into a digital signal. The AD converter 5B is a second signal converter that converts the analog signal detected by the image sensor 4X into a digital signal. The digital signal converted by the AD converter 5A is the first digital signal, and the digital signal converted by the AD converter 5B is the second digital signal.

절대 위치 연산부(6X)는 AD 변환기(5A, 5B)로부터의 출력에 기초하여, 스케일(20)의 절대 위치를 연산하는 연산부이다. 절대 위치 연산부(6X)는 제1 디지털 신호 및 제2 디지털 신호에 기초하여, 스케일(20) 상에서의 절대 위치를 산출하여, 위치 데이터(40X)로서 출력한다. 실시 형태 1에서는, 위치 데이터(40X)가 제1 절대 위치이다. The absolute position calculating part 6X is an calculating part which computes the absolute position of the scale 20 based on the output from AD converter 5A, 5B. The absolute position calculating part 6X calculates the absolute position on the scale 20 based on a 1st digital signal and a 2nd digital signal, and outputs it as position data 40X. In the first embodiment, the position data 40X is the first absolute position.

절대 위치 연산부(6X)는 광량 보정부(10A, 10B)와, 엣지 검출부(11A, 11B)와, 디코드부(12A)와, 개략 검출부(13A)와, 위상 검출부(14B)와, 고정밀도 검출부(15X)를 가지고 있다. The absolute position calculating unit 6X includes the light quantity correction units 10A and 10B, the edge detection units 11A and 11B, the decode unit 12A, the rough detection unit 13A, the phase detection unit 14B, and the high-precision detection unit. (15X).

광량 보정부(10A)는 AD 변환기(5A)로부터 보내져 오는 디지털 신호의 신호 강도를 균일화하여, 엣지 검출부(11A)로 보낸다. 광량 보정부(10B)는 AD 변환기(5B)로부터 보내져 오는 디지털 신호의 신호 강도를 균일화하여, 엣지 검출부(11B)로 보낸다. The light amount correction unit 10A equalizes the signal intensity of the digital signal sent from the AD converter 5A, and sends it to the edge detection unit 11A. The light amount correcting unit 10B equalizes the signal intensity of the digital signal sent from the AD converter 5B, and sends it to the edge detecting unit 11B.

엣지 검출부(11A)는 광량 보정부(10A)에 의해서 신호 강도가 균일화된 신호에 대해서, 미리 설정해 둔 임계값 레벨과 일치하는, 이미지 센서(3X) 상에서의 엣지 위치(이하, 엣지 화소 위치라고 함)를 구한다. 또, 엣지 검출부(11A)는 엣지 화소 위치가 엣지의 상승을 나타내는 상승 엣지인지, 엣지의 하강을 나타내는 하강 엣지인지를 판별한다. The edge detection unit 11A corresponds to a signal whose signal intensity is equalized by the light quantity correcting unit 10A, and the edge position on the image sensor 3X (hereinafter referred to as an edge pixel position) coincides with a preset threshold level. ) to find In addition, the edge detection unit 11A discriminates whether the edge pixel position is a rising edge indicating a rising edge or a falling edge indicating a falling edge.

엣지 검출부(11B)는 광량 보정부(10B)에 의해서 신호 강도가 균일화된 신호에 대해서, 미리 설정해 둔 임계값 레벨과 일치하는, 이미지 센서(4X) 상에서의 엣지 화소 위치를 구한다. 또, 엣지 검출부(11B)는 엣지 화소 위치가 엣지의 상승을 나타내는 상승 엣지인지, 엣지의 하강을 나타내는 하강 엣지인지를 판별한다.The edge detection unit 11B obtains an edge pixel position on the image sensor 4X that coincides with a preset threshold level for the signal whose signal intensity is equalized by the light amount correcting unit 10B. In addition, the edge detection unit 11B determines whether the edge pixel position is a rising edge indicating a rising edge or a falling edge indicating a falling edge.

디코드부(12A)는 엣지 검출부(11A)가 판별한 상승 엣지 및 하강 엣지에 기초하여, 신호를 비트값 「1」 및 비트값 「0」으로 이루어지는 비트열로 변환한다. The decoding unit 12A converts the signal into a bit string composed of a bit value "1" and a bit value "0" based on the rising edge and the falling edge determined by the edge detection unit 11A.

개략 검출부(13A)는, 디코드부(12A)가 변환한 비트열로부터 개략적인 절대 위치를 검출한다. 개략 검출부(13A)에서는, 예를 들면, 절대값 부호 패턴(30)의 비트열을 나타내는 룩업 테이블과, 디코드부(12A)가 변환한 비트열을 비교함으로써 개략적인 절대 위치를 검출한다. 실시 형태 1에서는, 개략 검출부(13A)가 검출하는 개략적인 절대 위치가, 제2 절대 위치이다. The rough detection unit 13A detects a rough absolute position from the bit string converted by the decoding unit 12A. The rough detection unit 13A detects a rough absolute position, for example, by comparing a lookup table indicating the bit string of the absolute value code pattern 30 with the bit string converted by the decoding unit 12A. In Embodiment 1, the rough absolute position detected by the rough detection part 13A is a 2nd absolute position.

위상 검출부(14B)는, 엣지 검출부(11B)가 판별한 상승 엣지 및 하강 엣지에 기초하여, 기준이 되는 화소 위치(후술하는 기준 화소 위치(150))에 대한 위상 편차량을 산출한다. The phase detection unit 14B calculates an amount of phase deviation with respect to a pixel position serving as a reference (a reference pixel position 150 to be described later) based on the rising edge and the falling edge determined by the edge detection unit 11B.

고정밀도 검출부(15X)는, 개략 검출부(13A)가 검출한 개략적인 절대 위치와, 위상 검출부(14B)가 산출한 위상 편차량을 모두 더함으로써, 스케일(20)의 절대 위치를 산출한다. 고정밀도 검출부(15X)는 산출한 절대 위치를 위치 데이터(40X)로서 출력한다. The high-precision detection unit 15X calculates the absolute position of the scale 20 by adding both the rough absolute position detected by the rough detection unit 13A and the amount of phase deviation calculated by the phase detection unit 14B. The high-precision detection unit 15X outputs the calculated absolute position as position data 40X.

또한, 이미지 센서(3X, 4X) 및 발광 소자(2)는 반직선 상에 겹치도록 배치되지 않아도 상관없다. 환언하면, 이미지 센서(3X, 4X)는 스케일(20)의 상면측인 회전축 방향에서 보았을 경우에, 스케일(20)의 중심으로부터 스케일(20)의 제1 지름 방향으로 연장되는 반직선 상에 겹쳐 있지 않아도 된다. 즉, 이미지 센서(3X)와 스케일(20)의 중심을 연결하는 직선과, 이미지 센서(4X)와 스케일(20)의 중심을 연결하는 직선은, 상이한 방향의 직선이어도 된다. In addition, the image sensors 3X, 4X and the light emitting element 2 may not be arrange|positioned so that they may overlap on a semi-linear line. In other words, the image sensors 3X and 4X do not overlap on a straight line extending from the center of the scale 20 in the first radial direction of the scale 20 when viewed from the rotation axis direction, which is the upper surface side of the scale 20 . you don't have to That is, the straight line connecting the image sensor 3X and the center of the scale 20 and the straight line connecting the image sensor 4X and the center of the scale 20 may be straight lines in different directions.

이미지 센서(3X, 4X) 및 발광 소자(2)가 반직선 상에 겹치지 않은 경우, 절대 위치 연산부(6X)는 미리 산출된 이미지 센서(3X, 4X)의 위상차를 이용하여, 이미지 센서(3X, 4X)로부터 얻어지는 절대 위치 중 적어도 한쪽을 보정하면 된다. 예를 들면, 개략 검출부(13A)는 이미지 센서(3X)로부터 얻어지는 절대 위치를, 이미지 센서(3X, 4X) 및 발광 소자(2)가 반직선 상에 배치되었을 경우에 이미지 센서(3X)로부터 얻어지는 절대 위치로 보정한다. 또, 위상 검출부(14B)가 이미지 센서(4X)로부터 얻어지는 위상 편차량을, 이미지 센서(3X, 4X) 및 발광 소자(2)가 반직선 상에 배치되었을 경우에 이미지 센서(4X)로부터 얻어지는 위상 편차량으로 보정해도 된다. When the image sensors 3X, 4X and the light emitting element 2 do not overlap on a ray, the absolute position calculating unit 6X uses the pre-calculated phase difference between the image sensors 3X and 4X, and the image sensors 3X and 4X ), at least one of the absolute positions obtained from For example, the rough detection unit 13A may determine the absolute position obtained from the image sensor 3X, the absolute position obtained from the image sensor 3X when the image sensors 3X and 4X and the light emitting element 2 are arranged on a semi-linear line. correct the position. In addition, the phase detection unit 14B calculates the phase deviation amount obtained from the image sensor 4X, the phase shift obtained from the image sensor 4X when the image sensors 3X and 4X and the light emitting element 2 are arranged on a semi-linear line. It can be corrected by vehicle.

이미지 센서(3X, 4X) 및 발광 소자(2)가 반직선 상에 겹치지 않는 경우, 앱솔루트 인코더(1X)에는, 2개의 발광 소자(2)가 배치된다. 이미지 센서(3X)는 2개의 발광 소자(2) 중 한쪽 발광 소자(2)로부터의 광을 수광하고, 이미지 센서(4X)는 2개의 발광 소자(2) 중 다른 쪽 발광 소자(2)로부터의 광을 수광한다. When the image sensors 3X, 4X and the light-emitting element 2 do not overlap on a semi-linear line, the two light-emitting elements 2 are arranged in the absolute encoder 1X. The image sensor 3X receives light from one light emitting element 2 of the two light emitting elements 2 , and the image sensor 4X receives light from the other light emitting element 2 of the two light emitting elements 2 . receive light

다음에, 절대 위치 연산부(6X)의 각 구성부의 동작에 대해서 설명한다. AD 변환기(5A)가 이미지 센서(3X)에서 검출된 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하여 광량 보정부(10A)로 보내면, 광량 보정부(10A)는 디지털 신호의 신호 강도를 균일화하여, 엣지 검출부(11A)로 보낸다. Next, the operation of each component of the absolute position calculating unit 6X will be described. When the AD converter 5A converts the analog signal detected by the image sensor 3X into a digital signal and sends it to the light amount correcting unit 10A, the light level correcting unit 10A equalizes the signal strength of the digital signal, and the edge detecting unit ( 11A).

AD 변환기(5B)가 이미지 센서(4X)에서 검출된 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하여 광량 보정부(10B)로 보내면, 광량 보정부(10B)는 디지털 신호의 신호 강도를 균일화하여, 엣지 검출부(11B)로 보낸다. When the AD converter 5B converts the analog signal detected by the image sensor 4X into a digital signal and sends it to the light amount correcting unit 10B, the light level correcting unit 10B equalizes the signal intensity of the digital signal, and the edge detection unit ( 11B).

도 2는 실시 형태 1에 따른 앱솔루트 인코더의 광량 보정부에 입력되는 신호를 나타내는 도면이다. 도 2의 가로축은 화소 위치이고, 세로축은 신호 강도이다. 광량 보정부(10A, 10B)에 입력되는 신호는, 광 강도 분포(70)와 같은 분포를 가지고 있다. 2 is a diagram illustrating a signal input to a light amount correcting unit of the absolute encoder according to the first embodiment. The horizontal axis of FIG. 2 is the pixel position, and the vertical axis is the signal intensity. The signals input to the light amount correcting units 10A and 10B have the same distribution as the light intensity distribution 70 .

광량 보정부(10A)에 입력되는 신호와, 광량 보정부(10B)에 입력되는 신호는, 이미지 센서(3X, 4X)의 배치 위치의 차이의 분만큼 상이한 신호로 되어 있다. 이미지 센서(3X, 4X)는 마찬가지의 처리를 실행하고, 광량 보정부(10A, 10B)는 마찬가지의 처리를 실행하고, 엣지 검출부(11A, 11B)는 마찬가지의 처리를 실행하므로, 도 2에서부터 도 5에서는, 이미지 센서(3X), 광량 보정부(10A), 엣지 검출부(11A)에 의한 처리에 대해서 설명한다. The signal input to the light amount correcting unit 10A and the signal input to the light amount correcting unit 10B are different signals by the difference in the arrangement positions of the image sensors 3X and 4X. Since the image sensors 3X and 4X execute the same processing, the light amount correcting units 10A and 10B execute the same processing, and the edge detection units 11A and 11B execute the same processing, In 5, the process by the image sensor 3X, the light amount correction part 10A, and the edge detection part 11A is demonstrated.

도 2에 나타내는 High 비트(8)는, 스케일(20)의 반사부(31)에서의 패턴을 나타내고, Low 비트(9)는 스케일(20)의 비반사부(32)에서의 패턴을 나타내고 있다. 이미지 센서(3X) 상에 투영되는 스케일(20)의 절대값 부호 패턴(30)에 대응하는 신호는, 도 2에 나타내는 것처럼, High 비트(8) 및 Low 비트(9)가 불균일한 광 강도 분포(70)가 된다. 즉, 절대값 부호 패턴(30)에 의한 신호는, 발광 소자(2) 자체의 광 강도 분포의 편차, 이미지 센서(3X)의 각 화소의 게인 편차 등의 영향에 의해서, 불균일한 광 강도 분포(70)가 된다. 이에, 광량 보정부(10A)는 불균일한 광 강도 분포(70)를 균일한 광 강도 분포가 되도록 미리 계측해 둔 광량 보정값에 기초하여 화소마다 광량의 보정을 행한다. The high bit 8 shown in FIG. 2 represents the pattern in the reflective part 31 of the scale 20, and the low bit 9 shows the pattern in the non-reflecting part 32 of the scale 20. As shown in FIG. As shown in FIG. 2 , the signal corresponding to the absolute value sign pattern 30 of the scale 20 projected on the image sensor 3X has a light intensity distribution in which the High bit 8 and the Low bit 9 are non-uniform. becomes (70). That is, the signal by the absolute value sign pattern 30 has a non-uniform light intensity distribution ( 70) becomes. Accordingly, the light amount correcting unit 10A corrects the light amount for each pixel based on the light amount correction value previously measured so that the non-uniform light intensity distribution 70 becomes a uniform light intensity distribution.

도 3은 실시 형태 1에 따른 앱솔루트 인코더의 광량 보정부가 출력하는 신호를 나타내는 도면이다. 도 3의 가로축은 화소 위치이고, 세로축은 신호 강도이다. 도 3에서는, 광량 보정부(10A)가, 도 2에 나타낸 신호의 광량을 보정한 후의 신호의 광 강도 분포(71)를 나타내고 있다. 도 3에 나타내는 것처럼, 광량 보정 후에는, 절대값 부호 패턴(30)에 대응하는 신호는, High 비트(8) 및 Low 비트(9)가 균일한 광 강도 분포(71)가 된다. 광량 보정부(10A)는 광 강도 분포(71)를 엣지 검출부(11A)로 보낸다. 또, 광량 보정부(10B)는 광량의 보정을 행한 광 강도 분포를 엣지 검출부(11B)로 보낸다. 3 is a diagram illustrating a signal output by a light amount correcting unit of the absolute encoder according to the first embodiment. 3 , the horizontal axis indicates pixel positions, and the vertical axis indicates signal strength. In FIG. 3 , the light intensity distribution 71 of the signal after the light amount correcting unit 10A corrects the light amount of the signal shown in FIG. 2 is shown. As shown in Fig. 3, after the light amount correction, the signal corresponding to the absolute value sign pattern 30 has a light intensity distribution 71 in which the high bit 8 and the low bit 9 are uniform. The light amount correcting unit 10A sends the light intensity distribution 71 to the edge detecting unit 11A. Further, the light amount correcting unit 10B sends the light intensity distribution in which the light amount has been corrected to the edge detecting unit 11B.

엣지 검출부(11A)는 광 강도 분포(71)의 신호에 대해서, 미리 설정해 둔 임계값 레벨(105)과 일치하는, 이미지 센서(3X) 상에서의 엣지 화소 위치(후술하는 엣지 화소 위치(110))를 구한다. 도 3에서는, 엣지 화소 위치를 포함하는 영역인 엣지 영역의 일례로서, 엣지 영역(75)을 나타내고 있다. The edge detection unit 11A corresponds to the signal of the light intensity distribution 71 at an edge pixel position on the image sensor 3X that coincides with a preset threshold level 105 (edge pixel position 110 to be described later). save In FIG. 3 , an edge region 75 is shown as an example of an edge region that is a region including an edge pixel position.

도 4는 도 3에 나타낸 엣지 영역의 신호를 나타내는 도면이다. 도 4의 가로축은 화소 위치이고, 세로축은 신호 강도이다. 도 4에서는 도 3에 나타낸 엣지 영역(75)의 확대도를 나타내고 있다. 광 강도 분포(71)의 신호 중 임계값 레벨(105)과 일치하는 화소 위치가 엣지 화소 위치(110)이다. FIG. 4 is a diagram illustrating a signal of an edge region shown in FIG. 3 . 4 , the horizontal axis indicates pixel positions, and the vertical axis indicates signal strength. 4 shows an enlarged view of the edge region 75 shown in FIG. 3 . A pixel position coincident with the threshold level 105 among the signals of the light intensity distribution 71 is the edge pixel position 110 .

엣지 검출부(11A)는 서로 이웃하는, i(i는 자연수) 번째의 화소의 신호 강도와, i+1번째의 화소의 신호 강도 중, 한쪽의 신호 강도가 임계값 레벨(105)보다도 낮고, 다른 쪽의 신호 강도가 임계값 레벨(105)보다도 높은 2개의 화소를 검출한다. 구체적으로는, 엣지 검출부(11A)는 i번째의 화소의 신호 강도가 임계값 레벨(105)보다도 낮고, 또한 i+1번째의 화소의 신호 강도가 임계값 레벨(105)보다도 높은 2개의 화소 사이에 엣지 화소 위치(110)가 있다고 판단한다. 또, 엣지 검출부(11A)는 i번째의 화소의 신호 강도가 임계값 레벨(105)보다도 높고, 또한 i+1번째의 화소의 신호 강도가 임계값 레벨(105)보다도 낮은 2개의 화소 사이에 엣지 화소 위치(110)가 있다고 판단한다. The edge detection unit 11A has one signal strength lower than the threshold level 105 among the signal strength of the i (i is a natural number)-th pixel and the signal strength of the i+1-th pixel adjacent to each other, and the other Two pixels whose signal strength is higher than the threshold level 105 are detected. Specifically, the edge detection unit 11A is an edge between two pixels in which the signal strength of the i-th pixel is lower than the threshold level 105 and the signal strength of the i+1-th pixel is higher than the threshold level 105 . It is determined that the pixel position 110 exists. Further, the edge detection unit 11A is positioned at an edge pixel position between two pixels in which the signal intensity of the i-th pixel is higher than the threshold level 105 and the signal intensity of the i+1-th pixel is lower than the threshold level 105 . It is determined that (110) exists.

또한, 엣지 검출부(11A)는 엣지 화소 위치(110)가 있다고 판정한 i번째의 화소와 i+1번째의 화소에 대해서, 임계값 레벨(105)을 넘도록 i번째의 화소와 i+1번째의 화소를 선형 보간한다. 엣지 검출부(11A)는 선형 보간된 신호와, 임계값 레벨(105)의 일치점을 엣지 화소 위치(110)로서 검출한다. 이와 같이 엣지 화소 위치(110)는, 디지털 신호의 상승 또는 하강의 위치이다. 환언하면, 엣지 화소 위치(110)는 디지털 신호의 유무의 경계이다. Further, the edge detection unit 11A linearly interpolates the i-th pixel and the i+1-th pixel so as to exceed the threshold level 105 with respect to the i-th pixel and the i+1-th pixel determined to have the edge pixel position 110 . do. The edge detection unit 11A detects a point of coincidence between the linear interpolated signal and the threshold level 105 as the edge pixel position 110 . As described above, the edge pixel position 110 is a rising or falling position of the digital signal. In other words, the edge pixel position 110 is a boundary of the presence or absence of a digital signal.

또, 엣지 검출부(11A)는 검출한 엣지 화소 위치(110)가, 상승 엣지인지, 하강 엣지인지를 판정함으로써, 상승 엣지 및 하강 엣지를 검출한다. Further, the edge detection unit 11A detects a rising edge and a falling edge by determining whether the detected edge pixel position 110 is a rising edge or a falling edge.

도 5는 실시 형태 1에 따른 앱솔루트 인코더의 엣지 검출부가 검출하는 상승 엣지 및 하강 엣지를 설명하기 위한 도면이다. 도 5의 가로 방향은, 화소 위치에 대응하고 있다. 5 is a diagram for explaining a rising edge and a falling edge detected by the edge detection unit of the absolute encoder according to the first embodiment. The horizontal direction in FIG. 5 corresponds to the pixel position.

엣지 검출부(11A)는 검출한 엣지 화소 위치(110) 중, i번째의 화소의 신호 강도가 i+1번째의 화소의 신호 강도보다도 낮은 엣지 화소 위치(110)를 상승 엣지(51)로서 검출한다. The edge detection unit 11A detects, as the rising edge 51 , an edge pixel position 110 in which the signal intensity of the i-th pixel is lower than the signal intensity of the i+1-th pixel among the detected edge pixel positions 110 .

또, 엣지 검출부(11A)는 검출한 엣지 화소 위치(110) 중, i번째의 화소의 신호 강도가 i+1번째의 화소의 신호 강도보다도 높은 엣지 화소 위치(110)를 하강 엣지(52)로서 검출한다. In addition, the edge detection unit 11A detects, as the falling edge 52 , an edge pixel position 110 in which the signal intensity of the i-th pixel is higher than the signal intensity of the i+1-th pixel among the detected edge pixel positions 110 . .

이것에 의해, 엣지 검출부(11A)는 엣지 화소 위치(110)가, 상승 엣지(51)인지, 또는 하강 엣지(52)인지를 나타내는 엣지 방향 정보(50)를, 각 엣지 화소 위치(110)에 대해서 설정한다. 엣지 검출부(11A)는 엣지 방향 정보(50) 및 엣지 화소 위치(110)를 디코드부(12A)로 보낸다. Accordingly, the edge detection unit 11A transmits edge direction information 50 indicating whether the edge pixel position 110 is the rising edge 51 or the falling edge 52 to each edge pixel position 110 . set for The edge detection unit 11A sends the edge direction information 50 and the edge pixel position 110 to the decoding unit 12A.

엣지 검출부(11B)도 엣지 검출부(11A)와 마찬가지의 처리에 의해서 엣지 방향 정보(50) 및 엣지 화소 위치(110)를 검출한다. 엣지 검출부(11B)는 엣지 방향 정보(50) 및 엣지 화소 위치(110)를 위상 검출부(14B)로 보낸다. The edge detection unit 11B also detects the edge direction information 50 and the edge pixel position 110 by the same processing as the edge detection unit 11A. The edge detection unit 11B sends the edge direction information 50 and the edge pixel position 110 to the phase detection unit 14B.

디코드부(12A)는 엣지 방향 정보(50) 및 엣지 화소 위치(110)에 기초하여, High 비트(8) 및 Low 비트(9)를, 「1」 또는 「0」의 비트값으로 변환함으로써, 신호를 비트열로 변환한다. The decoding unit 12A converts the high bit 8 and the low bit 9 into bit values of “1” or “0” based on the edge direction information 50 and the edge pixel position 110, Converts a signal to a bit string.

도 6은 도 5에 나타낸 엣지 정보에 대응하는 비트열을 나타내는 도면이다. 도 6에서는, 디코드부(12A)가 엣지 방향 정보(50) 및 엣지 화소 위치(110)에 기초하여, High 비트(8) 및 Low 비트(9)를, 「1」 또는 「0」으로 변환한 비트열(120)을 나타내고 있다. FIG. 6 is a diagram illustrating a bit string corresponding to edge information shown in FIG. 5 . In Fig. 6, the decoding unit 12A converts the high bit 8 and the low bit 9 into "1" or "0" based on the edge direction information 50 and the edge pixel position 110. A bit string 120 is shown.

디코드부(12A)는, 예를 들면, 상승 엣지(51)로부터 하강 엣지(52)까지의 사이는 비트값 「1」로 하고, 하강 엣지(52)로부터 상승 엣지(51)까지의 사이는 비트값 「0」으로 함으로써 비트열(120)을 생성한다. 이것에 의해, High 비트(8)가 비트값 「1」로서 표현되고, Low 비트(9)가 비트값 「0」으로서 표현된다. The decoding unit 12A sets, for example, the bit value "1" between the rising edge 51 and the falling edge 52, and the bit value between the falling edge 52 and the rising edge 51, for example. The bit string 120 is generated by setting it to the value "0". Thereby, the high bit 8 is expressed as a bit value "1", and the low bit 9 is expressed as a bit value "0".

또, 디코드부(12A)는 1비트당 화소의 폭이 기본 주기폭과 동일해지도록, 비트열(120)을 생성한다. 기본 주기폭은 반사부(31) 및 비반사부(32)로 구성되는 절대값 부호 패턴(30)의 최소 선폭(線幅)이다. 단, 절대값 부호 패턴(30)은 스케일(20)의 중심으로부터 방사선 모양으로 형성되어 있으므로, 기본 주기폭은 스케일(20)의 지름 방향에 의존하여 값이 바뀐다. In addition, the decoding unit 12A generates the bit string 120 so that the width of pixels per bit is equal to the basic period width. The basic period width is the minimum line width of the absolute value sign pattern 30 composed of the reflective part 31 and the non-reflective part 32 . However, since the absolute value sign pattern 30 is radially formed from the center of the scale 20 , the basic period width changes depending on the radial direction of the scale 20 .

디코드부(12A)는 High 비트(8) 및 Low 비트(9)를 2진화 처리에 의해서 「1」 또는 「0」의 비트값으로 변환함으로써, 신호를 비트열(120)로 변환해도 된다. 디코드부(12A)는 신호를 「1」 및 「0」으로 이루어지는 비트열(120)로 변환할 수 있는 방법이면, 어느 방법으로 신호를 비트열(120)로 변환해도 된다. 디코드부(12A)는 비트열(120)을 개략 검출부(13A)로 보낸다. The decoding unit 12A may convert the signal into the bit string 120 by converting the high bit 8 and the low bit 9 into bit values of “1” or “0” by binarization processing. The decoding unit 12A may convert the signal into the bit string 120 by any method as long as it can convert the signal into the bit string 120 composed of "1" and "0". The decoding unit 12A sends the bit string 120 to the coarse detection unit 13A.

개략 검출부(13A)는 디코드부(12A)가 변환한 비트열(120)로부터 개략적인 절대 위치를 검출한다. 개략 검출부(13A)에는, 예를 들면, 절대값 부호 패턴(30)을 구성하는 비트열이, 미리 룩업 테이블 내에 격납되어 있다. 개략 검출부(13A)는 디코드부(12A)가 검출한 비트열(120)과, 룩업 테이블 내의 비트열을 비교함으로써, 개략적인 절대 위치를 특정한다. 개략 검출부(13A)는, 비트열(120)이 룩업 테이블 내의 어느 쪽의 비트열에 대응하고 있을지에 기초하여, 개략적인 절대 위치를 특정한다. The rough detection unit 13A detects a rough absolute position from the bit string 120 converted by the decode unit 12A. In the rough detection unit 13A, for example, a bit string constituting the absolute value code pattern 30 is stored in advance in a lookup table. The rough detection unit 13A specifies the approximate absolute position by comparing the bit string 120 detected by the decoding unit 12A with the bit string in the lookup table. The rough detection unit 13A specifies the rough absolute position based on which bit string in the lookup table the bit string 120 corresponds to.

도 7은 실시 형태 1에 따른 앱솔루트 인코더의 디코드부가 개략적인 절대 위치를 특정하는 처리를 설명하기 위한 도면이다. 개략 검출부(13A)는 룩업 테이블(130)을 참조하여, 비트열(120)과 일치하는 비트열(140)을 탐색한다. 개략 검출부(13A)는 비트열(140)에 상당하는 절대 위치를 구함으로써, 비트열(120)에 대응하는 개략적인 절대 위치를 특정한다. 개략 검출부(13A)는 비트열(120)과 일치하는 비트열(140)의 위치에 대응하는 위치를 개략적인 절대 위치로서 검출한다. 개략 검출부(13A)는 특정한 절대 위치를 고정밀도 검출부(15X)로 보낸다. Fig. 7 is a diagram for explaining processing for specifying a schematic absolute position of a decode unit of the absolute encoder according to the first embodiment. The coarse detection unit 13A refers to the lookup table 130 and searches for the bit string 140 that matches the bit string 120 . The rough detection unit 13A specifies the approximate absolute position corresponding to the bit string 120 by finding the absolute position corresponding to the bit string 140 . The coarse detection unit 13A detects a position corresponding to the position of the bit string 140 coincident with the bit string 120 as a rough absolute position. The rough detection unit 13A sends a specific absolute position to the high-precision detection unit 15X.

또한, 개략 검출부(13A)가 비트열(140)의 중앙 비트에 상당하는 화소 위치를 기준으로 개략적인 절대 위치를 특정했을 경우, 특정한 절대 위치는, 이미지 센서(3X)로 취득하는 중심 화소 위치에 있어서의 절대 위치에 상당한다. In addition, when the rough detection unit 13A specifies a rough absolute position based on the pixel position corresponding to the center bit of the bit string 140, the specific absolute position is the central pixel position obtained by the image sensor 3X. It corresponds to the absolute position in

위상 검출부(14B)는 엣지 검출부(11B)로부터 엣지 방향 정보(50) 및 엣지 화소 위치(110)를 접수하면, 기준의 화소 위치인 기준 화소 위치와, 신호 사이의 위상 편차량을 산출한다. When the phase detection unit 14B receives the edge direction information 50 and the edge pixel position 110 from the edge detection unit 11B, the phase detection unit 14B calculates the amount of phase deviation between the reference pixel position, which is the reference pixel position, and the signal.

도 8은 실시 형태 1에 따른 앱솔루트 인코더의 위상 검출부가 산출하는, 신호의 위상 편차량을 설명하기 위한 도면이다. 위상 검출부(14B)는 이미지 센서(4X)의 기준 화소 위치(150)에 대한 위상 편차량 θ를 산출한다. 기준 화소 위치(150)의 중심 위치를 P라고 하고, P에 제일 가까운 엣지 화소 위치(110)를 ZC(i)라고 하면, ZC(i)는 기준 화소 위치(150)로부터의 위상 편차량 θ를 이용하여 이하의 식(1)로 나타낼 수 있다. It is a figure for demonstrating the amount of phase deviation of the signal which the phase detection part of the absolute encoder which concerns on Embodiment 1 calculates. The phase detection unit 14B calculates the amount of phase deviation θ with respect to the reference pixel position 150 of the image sensor 4X. Assuming that the center position of the reference pixel position 150 is P and the edge pixel position 110 closest to P is ZC(i), ZC(i) is the amount of phase deviation θ from the reference pixel position 150 . It can be expressed by the following formula (1) using

ZC(i)=P+θ···(1)ZC(i)=P+θ...(1)

θ는 기준 화소 위치(150)보다도 왼쪽에 있으면 마이너스의 부호가 되고, 오른쪽에 있으면 플러스의 부호가 된다. 환언하면, θ는 기준 화소 위치(150)보다도 회전 방향의 앞에 있으면 마이너스의 부호가 되고, 기준 화소 위치(150)보다도 회전 방향의 안쪽에 있으면 플러스의 부호가 된다. 위상 검출부(14B)는 엣지 검출부(11B)에서 검출한 엣지 화소 위치(110) 중, P에 가장 가까운 ZC(i)를 탐색하고, ZC(i)와 P의 차분을 취함으로써 위상 편차량 θ를 산출한다. θ has a minus sign if it is to the left of the reference pixel position 150 , and a plus sign if it is to the right of the reference pixel position 150 . In other words, θ has a negative sign when it is in front of the reference pixel position 150 in the rotational direction, and has a positive sign when it is located inside the reference pixel position 150 in the rotational direction. The phase detection unit 14B searches for ZC(i) closest to P among the edge pixel positions 110 detected by the edge detection unit 11B, and obtains the phase deviation amount θ by taking the difference between ZC(i) and P Calculate.

또한, 실시 형태 1에서는, 위상 검출부(14B)가 ZC(i) 및 P만을 이용하여 위상 편차량 θ를 산출하고 있지만, 위상 검출부(14B)는 모든 엣지 화소 위치(110)를 이용하여, 최소 이승법에 의해 위상 편차량 θ를 산출해도 된다. 또, 기준 화소 위치(150)는 이미지 센서(4X)의 중심 화소여도 되고, 좌단(左端) 또는 우단(右端)의 화소여도 되며, 기준 화소 위치(150)의 위치는 특별히 한정되지 않는다. 위상 검출부(14B)는 위상 편차량 θ를 고정밀도 검출부(15X)로 보낸다. Moreover, in Embodiment 1, although the phase detection part 14B calculates the phase deviation amount θ using only ZC(i) and P, the phase detection part 14B uses all the edge pixel positions 110 and uses the least squares. You may calculate the phase deviation amount (theta) by a method. Further, the reference pixel position 150 may be a central pixel of the image sensor 4X, or a pixel at the left or right end, and the position of the reference pixel position 150 is not particularly limited. The phase detection unit 14B sends the phase deviation amount θ to the high-precision detection unit 15X.

고정밀도 검출부(15X)는 개략 검출부(13A)가 산출한 개략적인 절대 위치와, 위상 검출부(14B)가 산출한 위상 편차량 θ를 모두 더함으로써, 스케일(20)의 절대 위치를 산출한다. 고정밀도 검출부(15X)는 개략적인 절대 위치의 특정에 사용한 비트에 대응하는 화소 위치와, 위상 편차량 θ의 산출에 사용한 기준 화소 위치(150)를 일치시킨 다음에, 스케일(20)의 절대 위치를 산출한다. 고정밀도 검출부(15X)는 산출한 절대 위치를 위치 데이터(40X)로서 출력한다. The high-precision detection unit 15X calculates the absolute position of the scale 20 by adding both the rough absolute position calculated by the rough detection unit 13A and the phase deviation amount θ calculated by the phase detection unit 14B. The high-precision detection unit 15X matches the pixel position corresponding to the bit used for specifying the rough absolute position with the reference pixel position 150 used for calculating the phase deviation amount θ, and then the absolute position of the scale 20 to calculate The high-precision detection unit 15X outputs the calculated absolute position as position data 40X.

이와 같이, 앱솔루트 인코더(1X)는 신호 검출용의 패턴으로서는 절대값 부호 패턴(30)만으로부터 고정밀한 절대 위치를 검출할 수 있다. 따라서, 앱솔루트 인코더(1X)는 신호 검출용의 패턴을 복잡화하지 않고, 높은 신뢰성으로 높은 분해능의 절대 위치를 검출하는 것이 가능해진다. In this way, the absolute encoder 1X can detect the absolute position with high precision from only the absolute value code pattern 30 as the pattern for signal detection. Accordingly, the absolute encoder 1X can detect an absolute position with high reliability and high resolution without complicating the pattern for signal detection.

또, 앱솔루트 인코더(1X)는 스케일(20)의 지름 방향을 따라서 배치된 2개의 이미지 센서(3X, 4X)를 이용하고 있으므로, 절대 위치의 검출 정밀도를 향상시킬 수 있다. 여기서, 앱솔루트 인코더(1X)가 2개의 이미지 센서(3X, 4X)를 이용하여 절대 위치의 검출 정밀도를 향상시킬 수 있는 이유에 대해서 설명한다. Moreover, since the absolute encoder 1X uses the two image sensors 3X and 4X arrange|positioned along the radial direction of the scale 20, the detection precision of an absolute position can be improved. Here, the reason why the absolute encoder 1X can improve the detection accuracy of the absolute position by using the two image sensors 3X and 4X will be described.

앱솔루트 인코더(1X)에서는, 도 1에 나타내는 것처럼, 스케일(20)의 회전축 방향에서 보았을 경우에, 스케일(20)의 지름 방향에 대해서, 발광 소자(2)의 중심, 이미지 센서(3X)의 중심, 및 이미지 센서(4X)의 중심이 일직선 상이 되도록, 발광 소자(2), 이미지 센서(3X, 4X)가 배치되어 있다. 또, 이미지 센서(3X)는 이미지 센서(4X) 보다도 스케일(20)의 중심에 가까운 위치에 배치되어 있다. 여기서의 이미지 센서(3X, 4X)는 동일한 사양이다. In the absolute encoder 1X, as shown in FIG. 1, when viewed from the rotation axis direction of the scale 20, the center of the light emitting element 2 and the center of the image sensor 3X with respect to the radial direction of the scale 20 , and the light emitting element 2 and the image sensors 3X and 4X are arranged so that the center of the image sensor 4X is on a straight line. In addition, the image sensor 3X is arranged at a position closer to the center of the scale 20 than the image sensor 4X. Here, the image sensors 3X and 4X have the same specifications.

여기서, 이미지 센서(3X, 4X)에서 수광하는 광을, AD 변환기(5A, 5B) 및 절대 위치 연산부(6X)에서 처리하여 얻어지는 신호의 특징에 대해서 설명한다. Here, the characteristics of the signal obtained by processing the light received by the image sensors 3X and 4X by the AD converters 5A and 5B and the absolute position calculating unit 6X will be described.

도 9는 실시 형태 1에 따른 앱솔루트 인코더에서 얻어지는 신호의 특징을 설명하기 위한 도면이다. 도 9의 좌측에 나타내는 스케일(20)의 일부에는, 이미지 센서(3X)가 수광한 광의 스케일(20) 상에서의 반사 지점(160)과, 이미지 센서(4X)가 수광한 광의 스케일(20) 상에서의 반사 지점(170)을 나타내고 있다. 또, 도 9의 우측에는, 이미지 센서(3X, 4X)에 투영된 광의 광량 보정 후의 광 강도 분포(72, 73)를 나타내고 있다. 광 강도 분포(72)가, 반사 지점(160)에 있어서의 광의 강도 분포이고, 광 강도 분포(73)가, 반사 지점(170)에 있어서의 광의 강도 분포이다. 9 is a diagram for explaining the characteristics of a signal obtained by the absolute encoder according to the first embodiment. In a part of the scale 20 shown on the left of FIG. 9 , a reflection point 160 on the scale 20 of the light received by the image sensor 3X and the scale 20 of the light received by the image sensor 4X A reflection point 170 of is shown. Moreover, on the right side of FIG. 9, the light intensity distributions 72 and 73 after the light quantity correction of the light projected by the image sensors 3X, 4X are shown. The light intensity distribution 72 is the light intensity distribution at the reflection point 160 , and the light intensity distribution 73 is the light intensity distribution at the reflection point 170 .

이미지 센서(3X)가 수광하는 광의 반사 지점(160)에는, 이미지 센서(4X)가 수광하는 광의 반사 지점(170)보다도 많은 절대값 부호 패턴(30)이 포함되어 있다. 이 때문에, 엣지 검출부(11B)가 이미지 센서(3X)에 투영된 광의 광 강도 분포(72)에 대해서 엣지 검출 처리를 실행하면, 이미지 센서(4X)에 투영된 광의 광 강도 분포(73)에 대한 엣지 검출보다도 많은 엣지 화소 위치(110)가 검출된다. The reflection point 160 of the light received by the image sensor 3X includes more absolute value sign patterns 30 than the reflection point 170 of the light received by the image sensor 4X. For this reason, when the edge detection unit 11B executes edge detection processing on the light intensity distribution 72 of the light projected on the image sensor 3X, the light intensity distribution 73 of the light projected on the image sensor 4X is More edge pixel positions 110 than edge detection are detected.

또, 반사 지점(160, 170)에 포함되는, 동일한 반사부(31)의 선폭 또는 동일한 비반사부(32)의 선폭에 주목하면, 반사 지점(160)에 있어서의 선폭의 쪽이, 반사 지점(170)에 있어서의 선폭보다도 좁다. 이 때문에, 광 강도 분포(72)에 있어서의 기본 주기폭은, 광 강도 분포(73)에 있어서의 기본 주기폭보다도 좁아진다. 이것은, 디코드부(12A)가 광 강도 분포(72)에 대해서 생성하는 비트열(18)이, 광 강도 분포(73)에 대해서 생성되는 비트열(19)보다도, 1비트당 화소수가 적어, 비트수(비트 길이)가 많은 것을 의미하고 있다. 즉, 이미지 센서(4X)에서 수광하는 광의 쪽이, 이미지 센서(3X)에서 수광하는 광보다도 1비트당 화소수가 많으므로, 이미지 센서(3X)에서 수광하는 광보다도 분해능이 높다. 한편, 이미지 센서(3X)에서 수광하는 광의 쪽이, 이미지 센서(4X)에서 수광하는 광보다도 비트수가 많으므로, 이미지 센서(4X)에서 수광하는 광보다도 신뢰도가 높다.In addition, when paying attention to the line width of the same reflective part 31 or the same non-reflective part 32 included in the reflection points 160 and 170, the line width at the reflection point 160 is the reflection point ( 170), which is narrower than the line width. For this reason, the basic periodic width in the light intensity distribution 72 is narrower than the basic periodic width in the light intensity distribution 73 . This means that the bit string 18 generated by the decoding unit 12A for the light intensity distribution 72 has fewer pixels per bit than the bit string 19 generated for the light intensity distribution 73, It means that the number (bit length) is large. That is, since the light received by the image sensor 4X has more pixels per bit than the light received by the image sensor 3X, the resolution is higher than that of the light received by the image sensor 3X. On the other hand, since the number of bits of the light received by the image sensor 3X is larger than that of the light received by the image sensor 4X, the reliability is higher than that of the light received by the image sensor 4X.

실시 형태 1의 앱솔루트 인코더(1X)는, 이미지 센서(3X, 4X)에 의해서 얻어지는 신호를 절대 위치 연산부(6X) 내에서 별개로 처리하고, 고정밀도 검출부(15X)가 별개로 구해진 위치 정보를 모두 더하고 있다. The absolute encoder 1X of the first embodiment separately processes the signals obtained by the image sensors 3X and 4X within the absolute position calculation unit 6X, and the high-precision detection unit 15X collects all the separately obtained position information. are adding

앱솔루트 인코더(1X)에서는, AD 변환기(5A)가 이미지 센서(3X)로부터의 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하여, 절대 위치 연산부(6X)에 입력한다. 절대 위치 연산부(6X)는 이 AD 변환기(5A)로부터의 디지털 신호에 대해, 광량 보정 처리, 엣지 검출 처리, 및 디코드 처리를 실행하고, 개략 검출부(13A)가 개략적인 절대 위치를 산출한다. In the absolute encoder 1X, the AD converter 5A converts the analog signal from the image sensor 3X into a digital signal, and inputs it to the absolute position calculating part 6X. The absolute position calculating unit 6X executes light amount correction processing, edge detection processing, and decoding processing on the digital signal from this AD converter 5A, and the rough detection unit 13A calculates a rough absolute position.

개략 검출부(13A)는 이미지 센서(3X)가 취득한 신호로부터 생성한 비트열(18)과, 룩업 테이블(130)에 격납된 비트열을 비교함으로써 개략적인 절대 위치를 특정한다. 비트열(18)은 비트열(19)보다도 비트수가 많으므로, 개략 검출부(13A)는 비트열(19)를 이용하는 경우보다도 많은 비트를 비교 대상으로 할 수 있어, 산출하는 절대 위치의 신뢰성을 높일 수 있다. 예를 들면, 스케일(20)로의 이물의 부착에 의해서 스케일(20)로의 광이 차광되어, 비트열(18)의 일부의 비트에 오류가 발생했을 경우에도, 비교 대상으로 하는 비트수가 많으면, 개략 검출부(13A)는 이물의 부착에 의한 영향을 받지 않고 절대 위치를 특정할 수 있다. The rough detection unit 13A specifies the rough absolute position by comparing the bit string 18 generated from the signal acquired by the image sensor 3X with the bit string stored in the lookup table 130 . Since the bit string 18 has a larger number of bits than the bit string 19, the coarse detection unit 13A can compare more bits than the case where the bit string 19 is used, thereby increasing the reliability of the calculated absolute position. can For example, even when light to the scale 20 is blocked by the adhesion of foreign matter to the scale 20 and an error occurs in some bits of the bit string 18, if the number of bits to be compared is large, the The detection unit 13A can specify the absolute position without being affected by the adhesion of the foreign object.

또, 앱솔루트 인코더(1X)에서는, AD 변환기(5B)가 이미지 센서(4X)로부터의 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하여, 절대 위치 연산부(6X)에 입력한다. 절대 위치 연산부(6X)는 이 AD 변환기(5B)로부터의 디지털 신호에 대해, 광량 보정 처리, 및 엣지 검출 처리를 실행하고, 엣지 검출부(11B)가 위상 편차량 θ를 산출한다. Moreover, in the absolute encoder 1X, the AD converter 5B converts the analog signal from the image sensor 4X into a digital signal, and inputs it to the absolute position calculating part 6X. The absolute position calculating unit 6X executes light amount correction processing and edge detection processing on the digital signal from the AD converter 5B, and the edge detection unit 11B calculates the phase deviation amount θ.

위상 검출부(14B)가 산출하는 위상 편차량 θ의 단위는 화소수이다. 이미지 센서(4X)가 취득한 비트열(19)의 1비트당 화소수는, 비트열(18)의 1비트당 화소수 보다도 많다. 따라서, 위상 편차량 θ에 상당하는 화소수는, 비트열(19)의 화소수의 쪽이 비트열(18)의 화소수보다도 많아진다. 위상 검출부(14B)는 비트열(19)을 이용하여 위상 편차량 θ를 산출하고 있으므로, 비트열(18)을 이용하여 위상 편차량 θ를 산출하는 경우보다도 높은 분해능의 위상 편차량 θ를 산출할 수 있다. The unit of the phase deviation amount θ calculated by the phase detection unit 14B is the number of pixels. The number of pixels per bit of the bit string 19 acquired by the image sensor 4X is larger than the number of pixels per bit of the bit string 18 . Accordingly, as for the number of pixels corresponding to the phase deviation amount θ, the number of pixels in the bit string 19 is larger than the number of pixels in the bit string 18 . Since the phase detection unit 14B calculates the phase deviation amount θ using the bit string 19, it is possible to calculate the phase deviation amount θ with higher resolution than when calculating the phase deviation amount θ using the bit string 18. can

고정밀도 검출부(15X)는 개략 검출부(13A)가 산출한 신뢰성이 높은 개략적인 절대 위치와, 위상 검출부(14B)가 산출한 높은 분해능의 위상 편차량 θ를 모두 더한다. 이와 같이, 앱솔루트 인코더(1X)는 이미지 센서(3X, 4X)로부터 얻어지는 신호를 별개로 처리하여 모두 더함으로써, 신뢰성이 높고 분해능이 높은 절대 위치를 얻을 수 있다. The high-precision detection unit 15X adds both the highly reliable rough absolute position calculated by the rough detection unit 13A and the high-resolution phase deviation amount θ calculated by the phase detection unit 14B. In this way, the absolute encoder 1X separately processes the signals obtained from the image sensors 3X and 4X and adds them all to obtain an absolute position with high reliability and high resolution.

이와 같이, 앱솔루트 인코더(1X)는 절대값 부호 패턴(30) 중 2지점에서 계측된 2개의 신호에 기초하여 위치 데이터(40X)를 산출하고 있으므로, 신뢰성이 높고 분해능이 높은 절대 위치를 얻을 수 있다. In this way, since the absolute encoder 1X calculates the position data 40X based on two signals measured at two points in the absolute value sign pattern 30, an absolute position with high reliability and high resolution can be obtained. .

또, 앱솔루트 인코더(1X)는 신뢰성이 높고 분해능이 높은 절대 위치를 얻을 수 있으므로, AD 변환기(5A, 5B)의 분해능을 향상시킬 필요도, 또 검출 횟수를 늘릴 필요도 없다. Further, since the absolute encoder 1X can obtain an absolute position with high reliability and high resolution, it is not necessary to improve the resolution of the AD converters 5A, 5B, nor to increase the number of detections.

또, 앱솔루트 인코더(1X)의 스케일(20)은, 원주를 따른 방향으로 절대값 부호 패턴(30)을 가지는 트랙이 1개만 마련되어 있으므로, 간이한 구성으로 신뢰성이 높고 분해능이 높은 절대 위치를 얻을 수 있다. In addition, the scale 20 of the absolute encoder 1X has only one track having the absolute value sign pattern 30 in the circumferential direction, so an absolute position with high reliability and high resolution can be obtained with a simple configuration. have.

또한, 실시 형태 1에서는, 동일 사양의 이미지 센서(3X, 4X)를 이용하는 경우에 대해서 설명했지만, 비트열(18)의 비트수가, 비트열(19)의 비트수보다도 많다고 하는 조건을 만족하고 있으면, 이미지 센서(4X)보다도 소형화의 이미지 센서(3X)가 이용되어도 된다. 이것에 의해, 앱솔루트 인코더(1X)의 실장 체적을 경감시킬 수 있다. 또, 앱솔루트 인코더(1X)는 3개 이상의 이미지 센서를 이용하여 절대 위치를 검출해도 된다. In the first embodiment, the case of using the image sensors 3X and 4X of the same specification has been described, but if the condition that the number of bits in the bit string 18 is larger than the number of bits in the bit string 19 is satisfied , an image sensor 3X smaller in size than the image sensor 4X may be used. Thereby, the mounting volume of the absolute encoder 1X can be reduced. Moreover, the absolute encoder 1X may detect an absolute position using three or more image sensors.

이와 같이 실시 형태 1의 앱솔루트 인코더(1X)에서는, 이미지 센서(3X, 4X)가 스케일(20)의 중심으로부터 지름 방향으로 연장되는 반직선 상에 겹치도록 배치되어 있다. 또, 절대 위치 연산부(6X)가 이미지 센서(3X)로부터의 신호에 기초하여 스케일(20) 상에서의 개략적인 절대 위치를 산출함과 아울러, 이미지 센서(4X)로부터의 신호에 기초하여 기준 화소 위치(150)로부터의 위상 편차량 θ를 산출하고 있다. 그리고, 절대 위치 연산부(6X)가 개략적인 절대 위치와 위상 편차량 θ를 모두 더함으로써 위치 데이터(40X)를 산출하고 있다. 이것에 의해, 절대 위치 연산부(6X)는 신뢰도가 높은 개략적인 정보에 기초하여 산출된 절대 위치와, 분해능이 높은 정보에 기초하여 산출된 위상 편차량 θ를 모두 더할 수 있으므로, 신뢰성이 높고 분해능이 높은 위치 데이터(40X)를 산출할 수 있다. Thus, in the absolute encoder 1X of Embodiment 1, the image sensors 3X, 4X are arrange|positioned so that they may overlap on the radial line extending from the center of the scale 20 in the radial direction. Further, the absolute position calculating unit 6X calculates the approximate absolute position on the scale 20 based on the signal from the image sensor 3X, and the reference pixel position based on the signal from the image sensor 4X. The amount of phase deviation θ from (150) is calculated. Then, the absolute position calculating unit 6X calculates the position data 40X by adding both the rough absolute position and the phase deviation amount θ. Thereby, the absolute position calculating unit 6X can add both the absolute position calculated based on the highly reliable rough information and the phase deviation amount θ calculated based on the high-resolution information, so that the reliability is high and the resolution is high. High position data 40X can be calculated.

실시 형태 2.Embodiment 2.

다음에, 도 10 및 도 11을 이용하여 실시 형태 2에 대해서 설명한다. 실시 형태 2에서는, 절대 위치 연산부가, 한쪽의 이미지 센서로부터 취득한 신호를 이용하여 산출한 비트열과, 다른 쪽의 이미지 센서로부터 취득한 신호를 이용하여 산출한 비트열을 서로 연결한 비트열을 생성하여 개략적인 절대 위치를 산출한다.Next, Embodiment 2 is demonstrated using FIG.10 and FIG.11. In the second embodiment, the absolute position calculating unit generates a bit string in which a bit string calculated using a signal obtained from one image sensor and a bit string calculated using a signal obtained from the other image sensor are connected to each other, to calculate the absolute position.

도 10은 실시 형태 2에 따른 앱솔루트 인코더의 구성을 나타내는 도면이다. 도 11은 실시 형태 2에 따른 앱솔루트 인코더에 있어서의 이미지 센서의 배치 위치를 설명하기 위한 도면이다. 도 10의 각 구성요소 중 도 1에 나타내는 실시 형태 1의 앱솔루트 인코더(1X)와 동일 기능을 달성하는 구성요소에 대해서는 동일 부호를 부여해 두고, 중복하는 설명은 생략한다. Fig. 10 is a diagram showing the configuration of the absolute encoder according to the second embodiment. It is a figure for demonstrating the arrangement position of the image sensor in the absolute encoder which concerns on Embodiment 2. FIG. The same code|symbol is attached|subjected about the component which achieves the same function as the absolute encoder 1X of Embodiment 1 shown in FIG. 1 among each component of FIG. 10, and overlapping description is abbreviate|omitted.

앱솔루트 인코더(1Y)는 발광 소자(2)와, 이미지 센서(3Y, 4Y)와, 스케일(20)과, AD 변환기(5A, 5B)와, 절대 위치 연산부(6Y)를 구비하고 있다. 이미지 센서(3Y, 4Y)는 이미지 센서(3X, 4X)와 같은 이미지 센서이고, 이미지 센서(3X, 4X)와는, 스케일(20)의 원주를 따른 방향의 배치 위치가 다르다.The absolute encoder 1Y is provided with the light emitting element 2, image sensors 3Y, 4Y, the scale 20, AD converters 5A, 5B, and the absolute position calculating part 6Y. The image sensors 3Y and 4Y are the same image sensors as the image sensors 3X and 4X, and their arrangement positions in the direction along the circumference of the scale 20 are different from those of the image sensors 3X and 4X.

절대 위치 연산부(6Y)는 광량 보정부(10A, 10B)와, 엣지 검출부(11A, 11B)와, 디코드부(12A, 12B)와, 개략 검출부(13Y)와, 위상 검출부(14A, 14B)와, 고정밀도 검출부(15A, 15B)와, 연산부(45)를 가지고 있다. The absolute position calculating unit 6Y includes the light quantity correcting units 10A and 10B, the edge detecting units 11A and 11B, the decoding units 12A and 12B, the coarse detecting unit 13Y, and the phase detecting units 14A and 14B. , it has high-precision detection units 15A and 15B, and an arithmetic unit 45 .

앱솔루트 인코더(1Y)에서는, 이미지 센서(3Y)의 중심 Ca와 이미지 센서(4Y)의 중심 Cb가, 스케일(20)의 원주를 따른 방향에 대해서 상이한 위치로 되어 있다. 환언하면, 앱솔루트 인코더(1Y)에서는, 스케일(20)을 상면측에서 보았을 경우에, 이미지 센서(3Y)의 중심 Ca 이외의 위치와 이미지 센서(4Y)의 중심 Cb 이외의 위치 중 적어도 한쪽이, 스케일(20)의 중심 C1로부터 스케일(20)의 제1 지름 방향으로 연장되는 반직선(22) 상에 겹치도록 이미지 센서(3Y, 4Y)가 배치되어 있다. 즉, 이미지 센서(3Y)의 일부 및 이미지 센서(4Y)의 일부가 반직선(22) 상에 겹치고, 또한 이미지 센서(3Y)의 중심 Ca와 이미지 센서(4Y)의 중심 Cb 중 적어도 한쪽이, 반직선(22) 상에 겹치지 않도록 이미지 센서(3Y, 4Y)가 배치되어 있다. 발광 소자(2)는 발광 소자(2)의 중심 C2가, 이 반직선(22) 상에 겹치도록 배치되어 있다. 중심 Ca로부터 반직선(22)까지의 최단 거리와, 중심 Cb로부터 반직선(22)까지의 최단 거리는 같다. In the absolute encoder 1Y, the center Ca of the image sensor 3Y and the center Cb of the image sensor 4Y are at different positions with respect to the direction along the circumference of the scale 20 . In other words, in the absolute encoder 1Y, when the scale 20 is viewed from the upper surface side, at least one of a position other than the center Ca of the image sensor 3Y and a position other than the center Cb of the image sensor 4Y is The image sensors 3Y and 4Y are arranged so as to overlap on a ray 22 extending in the first radial direction of the scale 20 from the center C1 of the scale 20 . That is, a part of the image sensor 3Y and a part of the image sensor 4Y overlap on the ray 22 , and at least one of the center Ca of the image sensor 3Y and the center Cb of the image sensor 4Y is a ray Image sensors 3Y and 4Y are arranged so as not to overlap on 22 . The light emitting element 2 is arrange|positioned so that the center C2 of the light emitting element 2 may overlap on this ray 22. The shortest distance from the center Ca to the ray 22 is equal to the shortest distance from the center Cb to the ray 22 .

또, 앱솔루트 인코더(1Y)에서는, 발광 소자(2)의 중심 C2와 스케일(20)의 중심 C1을 연결하는 반직선(22)이, 이미지 센서(3Y)의 수광면(21A) 및 이미지 센서(4Y)의 수광면(21B)을 통과하도록, 이미지 센서(3Y, 4Y)가 배치되어 있다. 또, 앱솔루트 인코더(1Y)에서는, 이미지 센서(3Y)의 길이 방향으로 연장되는 중앙선(41)과, 이미지 센서(4Y)의 길이 방향으로 연장되는 중앙선(42)이 겹치지 않도록, 이미지 센서(3Y, 4Y)가 배치되어 있다. 이미지 센서(3Y, 4Y)의 길이 방향은, 반직선(22)에 수직인 방향이다. 실시 형태 2에서는, 이미지 센서(3Y)가 제1 이미지 센서이고, 이미지 센서(4Y)가 제2 이미지 센서이다. Moreover, in the absolute encoder 1Y, the ray 22 connecting the center C2 of the light emitting element 2 and the center C1 of the scale 20 is the light receiving surface 21A of the image sensor 3Y and the image sensor 4Y ), the image sensors 3Y and 4Y are disposed so as to pass through the light receiving surface 21B. In addition, in the absolute encoder 1Y, the center line 41 extending in the longitudinal direction of the image sensor 3Y and the center line 42 extending in the longitudinal direction of the image sensor 4Y do not overlap, so that the image sensor 3Y, 4Y) is placed. The longitudinal direction of the image sensors 3Y and 4Y is a direction perpendicular to the ray 22 . In Embodiment 2, the image sensor 3Y is a first image sensor, and the image sensor 4Y is a second image sensor.

이와 같이, 앱솔루트 인코더(1Y)에서는, 이미지 센서(3Y, 4Y)의 원주를 따른 방향의 위치 및 지름 방향의 위치가 상이하고, 또한 반직선(22)이 수광면(21A, 21B)을 통과하도록, 이미지 센서(3Y, 4Y)가 배치되어 있다. In this way, in the absolute encoder 1Y, the position along the circumference and the position in the radial direction of the image sensors 3Y and 4Y are different, and the ray 22 passes through the light receiving surfaces 21A and 21B, Image sensors 3Y and 4Y are disposed.

이러한 이미지 센서(3Y, 4Y)의 배치에 의해, 수광면(21A, 21B)에서 수광되는 광에는 공통의 절대값 부호 패턴이 일부 포함되게 된다. 이것에 의해, 앱솔루트 인코더(1Y)는 이미지 센서(3Y, 4Y)의 신호를 디코딩함으로써 얻어지는 비트열을 서로 연결한 비트열(23)을 얻을 수 있다. Due to the arrangement of the image sensors 3Y and 4Y, the common absolute value sign pattern is partially included in the light received by the light receiving surfaces 21A and 21B. Thereby, the absolute encoder 1Y can obtain the bit string 23 which mutually connected the bit string obtained by decoding the signal of the image sensors 3Y, 4Y.

절대 위치 연산부(6Y)에서는, 광량 보정부(10A), 엣지 검출부(11A), 디코드부(12A), 위상 검출부(14A), 및 고정밀도 검출부(15A)가, 각각 광량 보정부(10B), 엣지 검출부(11B), 디코드부(12B), 위상 검출부(14B), 및 고정밀도 검출부(15B)와 마찬가지의 처리를 실행한다. 따라서, 여기에서는 광량 보정부(10A), 엣지 검출부(11A), 디코드부(12A), 위상 검출부(14A), 및 고정밀도 검출부(15A)가 실행하는 처리에 대해서 설명한다. 또, 개략 검출부(13Y) 및 연산부(45)가 실행하는 처리에 대해서 설명한다. In the absolute position calculating unit 6Y, the light quantity correcting unit 10A, the edge detecting unit 11A, the decoding unit 12A, the phase detecting unit 14A, and the high-precision detecting unit 15A, respectively, the light quantity correcting unit 10B, Processes similar to those of the edge detection unit 11B, the decode unit 12B, the phase detection unit 14B, and the high-precision detection unit 15B are executed. Therefore, here, the processing performed by the light amount correction part 10A, the edge detection part 11A, the decoding part 12A, the phase detection part 14A, and the high precision detection part 15A is demonstrated. Moreover, the process performed by the outline detection part 13Y and the calculating part 45 is demonstrated.

절대 위치 연산부(6Y)의 광량 보정부(10A), 엣지 검출부(11A), 디코드부(12A), 개략 검출부(13Y), 위상 검출부(14A), 및 고정밀도 검출부(15A)는, 각각, 절대 위치 연산부(6X)의 광량 보정부(10A), 엣지 검출부(11A), 디코드부(12A), 개략 검출부(13A), 위상 검출부(14B), 및 고정밀도 검출부(15X)와 마찬가지의 처리를 실행한다. The light amount correction unit 10A, the edge detection unit 11A, the decode unit 12A, the rough detection unit 13Y, the phase detection unit 14A, and the high-precision detection unit 15A of the absolute position calculating unit 6Y are, respectively, absolute The same processing as that of the light amount correction unit 10A, the edge detection unit 11A, the decode unit 12A, the rough detection unit 13A, the phase detection unit 14B, and the high-precision detection unit 15X of the position calculating unit 6X is executed do.

즉, 광량 보정부(10A)는 AD 변환기(5A)로부터 보내져 오는 디지털 신호의 신호 강도를 균일화하여, 엣지 검출부(11A)로 보낸다. 엣지 검출부(11A)는 신호 강도가 균일화된 신호에 대해서, 임계값 레벨(105)과 일치하는 엣지 화소 위치(110)를 구한다. 또, 엣지 검출부(11A)는 엣지의 상승 또는 하강을 나타내는 엣지 방향 정보(50)를 각 엣지 화소 위치(110)에 설정한다. 절대 위치 연산부(6Y)의 엣지 검출부(11A)는 엣지 방향 정보(50) 및 엣지 화소 위치(110)를 디코드부(12A) 및 위상 검출부(14A)로 보낸다. That is, the light amount correcting unit 10A equalizes the signal intensity of the digital signal sent from the AD converter 5A, and sends it to the edge detecting unit 11A. The edge detection unit 11A obtains an edge pixel position 110 that coincides with a threshold level 105 for a signal having a uniform signal intensity. In addition, the edge detection unit 11A sets edge direction information 50 indicating the rise or fall of the edge at each edge pixel position 110 . The edge detecting unit 11A of the absolute position calculating unit 6Y sends the edge direction information 50 and the edge pixel position 110 to the decoding unit 12A and the phase detecting unit 14A.

디코드부(12A)는 엣지 방향 정보(50) 및 엣지 화소 위치(110)에 기초하여, 신호를, 비트값 「1」 및 비트값 「0」으로 이루어지는 비트열로 변환한다. 디코드부(12A)는 비트열을 개략 검출부(13Y)로 보낸다. Based on the edge direction information 50 and the edge pixel position 110, the decoding unit 12A converts the signal into a bit string composed of a bit value "1" and a bit value "0". The decoding unit 12A sends the bit string to the coarse detection unit 13Y.

또, 디코드부(12B)는 디코드부(12A)와 마찬가지의 처리를 실행한다. 즉, 디코드부(12B)는 엣지 검출부(11B)로부터 접수한, 엣지 방향 정보(50) 및 엣지 화소 위치(110)에 기초하여, 신호를, 비트값 「1」 및 비트값 「0」으로 이루어지는 비트열로 변환한다. 디코드부(12B)는 비트열을 개략 검출부(13Y)로 보낸다. In addition, the decoding unit 12B executes the same processing as that of the decoding unit 12A. That is, the decoding unit 12B generates a signal based on the edge direction information 50 and the edge pixel position 110 received from the edge detection unit 11B, the signal having a bit value of “1” and a bit value of “0”. Convert to bit string. The decoding unit 12B sends the bit string to the coarse detection unit 13Y.

개략 검출부(13Y)는, 디코드부(12A)가 변환한 비트열과, 디코드부(12B)가 변환한 비트열을 서로 연결함으로써, 비트열(23)을 생성한다. 개략 검출부(13Y)는, 비트열(23)과 룩업 테이블(130)을 비교함으로써 개략적인 절대 위치를 검출한다. 이 때, 개략 검출부(13Y)는 특정하는 개략적인 절대 위치가, 반직선(22) 상의 스케일 각도 위치가 되도록 개략적인 절대 위치를 조정한 다음에 개략적인 절대 위치를 검출한다. 실시 형태 2에서는, 개략 검출부(13Y)가 검출하는 개략적인 절대 위치가, 제2 절대 위치이다. 개략 검출부(13Y)는 조정 후의 개략적인 절대 위치를 고정밀도 검출부(15A, 15B)로 보낸다. The rough detection unit 13Y generates the bit string 23 by connecting the bit string converted by the decoding unit 12A and the bit string converted by the decoding unit 12B to each other. The coarse detection unit 13Y detects the coarse absolute position by comparing the bit string 23 with the lookup table 130 . At this time, the rough detection unit 13Y detects the rough absolute position after adjusting the rough absolute position so that the specified rough absolute position becomes the scale angular position on the ray 22 . In Embodiment 2, the rough absolute position detected by the rough detection part 13Y is a 2nd absolute position. The rough detection unit 13Y sends the rough absolute position after adjustment to the high-precision detection units 15A and 15B.

위상 검출부(14A)는 엣지 검출부(11A)가 판별한 상승 엣지(51) 및 하강 엣지(52)에 기초하여, 기준 화소 위치(24)에 대한 위상 편차량 θ를 산출한다. 이 때, 위상 검출부(14A)는 이미지 센서(3Y)의 기준 화소 위치가, 반직선(22) 상의 기준 화소 위치(24)가 되도록 위상 편차량 θ를 조정한 다음에 위상 편차량 θ를 산출한다. 위상 검출부(14A)는 위상 편차량 θ를 고정밀도 검출부(15A)로 보낸다. The phase detection unit 14A calculates the phase deviation amount θ with respect to the reference pixel position 24 based on the rising edge 51 and the falling edge 52 determined by the edge detection unit 11A. At this time, the phase detection unit 14A adjusts the phase deviation amount θ so that the reference pixel position of the image sensor 3Y becomes the reference pixel position 24 on the ray 22 , and then calculates the phase deviation amount θ. The phase detection unit 14A sends the phase deviation amount θ to the high-precision detection unit 15A.

또, 위상 검출부(14B)는 엣지 검출부(11B)가 판별한 상승 엣지(51) 및 하강 엣지(52)에 기초하여, 기준 화소 위치(25)에 대한 위상 편차량 θ를 산출한다. 이 때, 위상 검출부(14B)는 이미지 센서(4Y)의 기준 화소 위치가, 반직선(22) 상의 기준 화소 위치(25)가 되도록 위상 편차량 θ를 조정한 다음에 위상 편차량 θ를 산출한다. 위상 검출부(14B)는 위상 편차량 θ를 고정밀도 검출부(15B)로 보낸다. Further, the phase detection unit 14B calculates the phase deviation amount θ with respect to the reference pixel position 25 based on the rising edge 51 and the falling edge 52 determined by the edge detection unit 11B. At this time, the phase detection unit 14B adjusts the phase deviation amount θ so that the reference pixel position of the image sensor 4Y becomes the reference pixel position 25 on the ray 22 , and then calculates the phase deviation amount θ. The phase detection unit 14B sends the phase deviation amount θ to the high-precision detection unit 15B.

실시 형태 2에서는, 기준 화소 위치(24)가 제1 기준 화소 위치이고, 위상 검출부(14A)가 산출하는 위상 편차량 θ가 제1 위상 편차량이다. 또, 실시 형태 2에서는, 기준 화소 위치(25)가 제2 기준 화소 위치이고, 위상 검출부(14B)가 산출하는 위상 편차량 θ가 제2 위상 편차량이다. In Embodiment 2, the reference pixel position 24 is the first reference pixel position, and the phase deviation amount θ calculated by the phase detection unit 14A is the first phase deviation amount. Moreover, in Embodiment 2, the reference pixel position 25 is a 2nd reference pixel position, and the phase deviation amount (theta) calculated by the phase detection part 14B is a 2nd phase deviation amount.

고정밀도 검출부(15A)는 개략 검출부(13Y)가 검출한 개략적인 절대 위치와, 위상 검출부(14A)가 산출한 위상 편차량 θ를 모두 더함으로써, 스케일(20)의 절대 위치를 산출한다. 고정밀도 검출부(15A)는 산출한 절대 위치를 연산부(45)로 보낸다. The high-precision detection unit 15A calculates the absolute position of the scale 20 by adding both the rough absolute position detected by the rough detection unit 13Y and the phase deviation amount θ calculated by the phase detection unit 14A. The high-precision detection unit 15A sends the calculated absolute position to the calculation unit 45 .

또, 고정밀도 검출부(15B)는 고정밀도 검출부(15A)와 마찬가지로, 개략 검출부(13Y)가 검출한 개략적인 절대 위치와, 위상 검출부(14B)가 산출한 위상 편차량 θ를 모두 더함으로써, 스케일(20)의 절대 위치를 산출한다. 고정밀도 검출부(15B)는 산출한 절대 위치를 연산부(45)로 보낸다. In addition, the high-precision detection unit 15B, similarly to the high-precision detection unit 15A, adds both the approximate absolute position detected by the rough detection unit 13Y and the amount of phase deviation θ calculated by the phase detection unit 14B to scale. Calculate the absolute position of (20). The high-precision detection unit 15B sends the calculated absolute position to the calculation unit 45 .

실시 형태 2에서는, 고정밀도 검출부(15A)가 산출하는 절대 위치가 제3 절대 위치이고, 고정밀도 검출부(15B)가 산출하는 절대 위치가 제4 절대 위치이다. In Embodiment 2, the absolute position calculated by the high-precision detection part 15A is a 3rd absolute position, and the absolute position calculated by the high-precision detection part 15B is a 4th absolute position.

이와 같이, 이미지 센서(3Y)가 취득한 신호는, 광량 보정부(10A)로부터 고정밀도 검출부(15A)까지의 처리에 의해서 스케일(20)의 절대 위치로 연산되고, 이미지 센서(4Y)가 취득한 신호는, 광량 보정부(10B)로부터 고정밀도 검출부(15B)까지의 처리에 의해서 스케일(20)의 절대 위치로 연산된다. In this way, the signal acquired by the image sensor 3Y is calculated as the absolute position of the scale 20 by processing from the light amount correcting unit 10A to the high-precision detection unit 15A, and the signal acquired by the image sensor 4Y is calculated as the absolute position of the scale 20 by processing from the light amount correcting unit 10B to the high-precision detection unit 15B.

연산부(45)는 고정밀도 검출부(15A)가 산출한 절대 위치와, 고정밀도 검출부(15B)가 산출한 절대 위치의 평균 위치를 산출하고, 산출한 평균 위치를 위치 데이터(40Y)로서 출력한다. 실시 형태 2에서는, 위치 데이터(40Y)가 제1 절대 위치이다. The calculating part 45 calculates the average position of the absolute position calculated by the high-precision detection part 15A, and the absolute position computed by the high-precision detection part 15B, and outputs the calculated average position as position data 40Y. In Embodiment 2, the positional data 40Y is the first absolute position.

이와 같이 실시 형태 2의 절대 위치 연산부(6Y)에서는, 개략 검출부(13Y)가, 디코드부(12A)가 변환한 비트열과, 디코드부(12B)가 변환한 비트열을 서로 연결한 비트열(23)을 생성하여 절대 위치를 산출하므로, 신뢰성이 높은 절대 위치를 얻을 수 있다. As described above, in the absolute position calculating unit 6Y of the second embodiment, the rough detection unit 13Y connects the bit string converted by the decoding unit 12A and the bit string converted by the decoding unit 12B to each other, the bit string 23 ) to calculate the absolute position, a highly reliable absolute position can be obtained.

실시 형태 3.Embodiment 3.

다음에, 도 12에서부터 도 16을 이용하여 실시 형태 3에 대해서 설명한다. 실시 형태 3의 앱솔루트 인코더는, 2개의 이미지 센서가 스케일(20)의 중심을 사이에 두고 대향하는 위치에 배치되어 있다. 실시 형태 3의 앱솔루트 인코더는, 2개의 이미지 센서 중 한쪽의 각도 검출 기능이 이상인 경우에는, 정상인 이미지 센서로부터 얻어지는 절대 위치를 출력하고, 양쪽의 각도 검출 기능이 정상인 경우에는, 절대 위치의 평균 위치를 출력한다. Next, Embodiment 3 will be described with reference to FIGS. 12 to 16 . In the absolute encoder of the third embodiment, two image sensors are disposed at opposing positions with the center of the scale 20 interposed therebetween. The absolute encoder of the third embodiment outputs an absolute position obtained from a normal image sensor when one of the two image sensors has abnormal angle detection functions, and when both of the angle detection functions are normal, the average position of the absolute positions print out

도 12는 실시 형태 3에 따른 앱솔루트 인코더의 구성을 나타내는 도면이다. 도 12의 각 구성요소 중 도 1에 나타내는 실시 형태 1의 앱솔루트 인코더(1X) 또는 도 10에 나타내는 실시 형태 2의 앱솔루트 인코더(1Y)와 동일 기능을 달성하는 구성요소에 대해서는 동일 부호를 부여해 두고, 중복하는 설명은 생략한다. 12 is a diagram showing the configuration of the absolute encoder according to the third embodiment. Among the components in Fig. 12, the same reference numerals are assigned to components that achieve the same function as the absolute encoder 1X of the first embodiment shown in Fig. 1 or the absolute encoder 1Y of the second embodiment shown in Fig. 10, A duplicate description is omitted.

앱솔루트 인코더(1Z)는 발광 소자(2A, 2B)와, 이미지 센서(3Z, 4Z)와, 스케일(20)과, AD 변환기(5A, 5B)와, 절대 위치 연산부(6Z)를 구비하고 있다. 이미지 센서(3Z, 4Z)는 이미지 센서(3X, 4X)와 같은 이미지 센서이고, 이미지 센서(3X, 4X)와는 배치 위치가 다르다. The absolute encoder 1Z includes light emitting elements 2A and 2B, image sensors 3Z and 4Z, a scale 20, AD converters 5A and 5B, and an absolute position calculating unit 6Z. The image sensors 3Z and 4Z are the same image sensors as the image sensors 3X and 4X, and have different arrangement positions from the image sensors 3X and 4X.

실시 형태 3에서는, 이미지 센서(3Z, 4Z)가 회전 샤프트(7)의 회전축을 대칭으로 180°어긋난 위치에 배치되어 있다. 환언하면, 이미지 센서(3Z, 4Z)가 스케일(20)의 중심 위치를 사이에 두고 대향하도록 배치되어 있다. In the third embodiment, the image sensors 3Z and 4Z are disposed at positions symmetrically shifted by 180° from the rotation axis of the rotation shaft 7 . In other words, the image sensors 3Z and 4Z are arranged to face each other with the center position of the scale 20 interposed therebetween.

또, 발광 소자(2A, 2B)는 실시 형태 1의 발광 소자(2)와 마찬가지로 스케일(20)에 광을 조사하는 조명부이다. 이미지 센서(3Z)는 발광 소자(2A)가 조사하고 스케일(20)에서 반사된 광을 수광하여, 수광한 광에 대응하는 아날로그 신호를 AD 변환기(5A)로 출력한다. 이미지 센서(4Z)는 발광 소자(2B)가 조사하고 스케일(20)에서 반사된 광을 수광하여, 수광한 광에 대응하는 아날로그 신호를 AD 변환기(5B)로 출력한다.In addition, the light emitting elements 2A and 2B are illumination parts which irradiate light to the scale 20 similarly to the light emitting element 2 of Embodiment 1. FIG. The image sensor 3Z receives the light irradiated by the light emitting element 2A and reflected from the scale 20, and outputs an analog signal corresponding to the received light to the AD converter 5A. The image sensor 4Z receives the light irradiated by the light emitting element 2B and reflected from the scale 20, and outputs an analog signal corresponding to the received light to the AD converter 5B.

실시 형태 3에서는, 발광 소자(2A)가 스케일(20)의 제1 위치에 광을 조사하는 제1 발광 소자이고, 발광 소자(2B)가 스케일(20)의 제2 위치에 광을 조사하는 제2 발광 소자이다. 또, 실시 형태 3에서는, 이미지 센서(3Z)가 제1 이미지 센서이고, 이미지 센서(4Z)가 제2 이미지 센서이다. 이미지 센서(3Z)는 스케일(20)의 중심으로부터 제1 거리만큼 떨어진 제1 위치로부터의 제1 광을 수광하여 제1 광에 대응하는 아날로그 신호를 출력한다. 이미지 센서(4Z)는 스케일(20)의 중심으로부터 제2 거리만큼 떨어진 제2 위치로부터의 제2 광을 수광하여 제2 광에 대응하는 아날로그 신호를 출력한다. 실시 형태 3에서는, 제1 거리와 제2 거리는 상이한 거리여도 되고, 같은 거리여도 된다. 이미지 센서(3Z)가 출력하는 아날로그 신호가 제1 아날로그 신호이고, 이미지 센서(4Z)가 출력하는 아날로그 신호가 제2 아날로그 신호이다. In Embodiment 3, the light emitting element 2A is a first light emitting element that irradiates light to a first position of the scale 20 , and the light emitting element 2B is a second light emitting element that irradiates light to a second position of the scale 20 . 2 is a light emitting device. Moreover, in Embodiment 3, the image sensor 3Z is a 1st image sensor, and the image sensor 4Z is a 2nd image sensor. The image sensor 3Z receives the first light from a first position separated by a first distance from the center of the scale 20 and outputs an analog signal corresponding to the first light. The image sensor 4Z receives the second light from the second position separated by a second distance from the center of the scale 20 and outputs an analog signal corresponding to the second light. In the third embodiment, the first distance and the second distance may be different distances or the same distance. The analog signal output from the image sensor 3Z is the first analog signal, and the analog signal output from the image sensor 4Z is the second analog signal.

절대 위치 연산부(6Z)는 광량 보정부(10A, 10B)와, 엣지 검출부(11A, 11B)와, 디코드부(12A, 12B)와, 개략 검출부(13A, 13B)와, 위상 검출부(14A, 14B)와, 고정밀도 검출부(15A, 15B)와, 위치 데이터 생성부(16)를 가지고 있다. The absolute position calculating unit 6Z includes the light quantity correcting units 10A and 10B, the edge detecting units 11A and 11B, the decoding units 12A and 12B, the coarse detecting units 13A and 13B, and the phase detecting units 14A and 14B. ), high-precision detection units 15A and 15B, and a position data generation unit 16 .

개략 검출부(13A)는 디코드부(12A)가 변환한 비트열과 룩업 테이블(130)을 비교함으로써 개략적인 절대 위치를 검출한다. 개략 검출부(13A)는 조정 후의 개략적인 절대 위치를 고정밀도 검출부(15A)로 보낸다. The coarse detection unit 13A detects the approximate absolute position by comparing the bit string converted by the decoding unit 12A with the lookup table 130 . The rough detection unit 13A sends the rough absolute position after adjustment to the high-precision detection unit 15A.

개략 검출부(13B)는 디코드부(12B)가 변환한 비트열과 룩업 테이블(130)을 비교함으로써 개략적인 절대 위치를 검출한다. 개략 검출부(13B)는 조정 후의 개략적인 절대 위치를 고정밀도 검출부(15B)로 보낸다.The coarse detection unit 13B detects the approximate absolute position by comparing the bit string converted by the decoding unit 12B with the lookup table 130 . The rough detection unit 13B sends the rough absolute position after adjustment to the high-precision detection unit 15B.

고정밀도 검출부(15A)는 개략 검출부(13A)가 검출한 개략적인 절대 위치와, 위상 검출부(14A)가 산출한 위상 편차량 θ를 모두 더함으로써, 스케일(20)의 절대 위치를 산출한다. 고정밀도 검출부(15A)는 산출한 절대 위치를 위치 데이터 생성부(16)로 보낸다. The high-precision detection unit 15A calculates the absolute position of the scale 20 by adding both the rough absolute position detected by the rough detection unit 13A and the phase deviation amount θ calculated by the phase detection unit 14A. The high-precision detection unit 15A sends the calculated absolute position to the position data generation unit 16 .

고정밀도 검출부(15B)는 개략 검출부(13B)가 검출한 개략적인 절대 위치와, 위상 검출부(14B)가 산출한 위상 편차량 θ를 모두 더함으로써, 스케일(20)의 절대 위치를 산출한다. 고정밀도 검출부(15B)는 산출한 절대 위치를 위치 데이터 생성부(16)로 보낸다. The high-precision detection unit 15B calculates the absolute position of the scale 20 by adding both the rough absolute position detected by the rough detection unit 13B and the phase deviation amount θ calculated by the phase detection unit 14B. The high-precision detection unit 15B sends the calculated absolute position to the position data generation unit 16 .

이와 같이, 절대 위치 연산부(6Z)는 이미지 센서(3Z)가 취득한 신호와, 이미지 센서(4Z)가 취득한 신호를 별개로 처리하여, 각각의 신호로부터 절대 위치를 산출한다. 즉, 절대 위치 연산부(6Z)는 광량 보정부(10A)로부터 고정밀도 검출부(15A)까지의 처리에 의해서, 이미지 센서(3Z)가 취득한 신호로부터 절대 위치를 산출한다. 또, 절대 위치 연산부(6Z)는 광량 보정부(10B)로부터 고정밀도 검출부(15B)까지의 처리에 의해서, 이미지 센서(4Z)가 취득한 신호로부터 절대 위치를 산출한다. In this way, the absolute position calculating unit 6Z separately processes the signal acquired by the image sensor 3Z and the signal acquired by the image sensor 4Z, and calculates the absolute position from each signal. That is, the absolute position calculating unit 6Z calculates the absolute position from the signal acquired by the image sensor 3Z by processing from the light amount correcting unit 10A to the high-precision detection unit 15A. Moreover, the absolute position calculating part 6Z calculates an absolute position from the signal acquired by the image sensor 4Z by the process from the light amount correction part 10B to the high-precision detection part 15B.

위치 데이터 생성부(16)는 이미지 센서(3Z)의 절대 위치와 이미지 센서(4Z)의 절대 위치의 평균 위치를 위치 데이터(40Z)로서 산출하여 출력한다. 실시 형태 3에서는, 이미지 센서(3Z)의 절대 위치가 제2 절대 위치이고, 이미지 센서(4Z)의 절대 위치가 제3 절대 위치이다. 또, 실시 형태 3에서는, 위치 데이터(40Z)가 제1 절대 위치이다. The position data generating unit 16 calculates and outputs the average position of the absolute position of the image sensor 3Z and the absolute position of the image sensor 4Z as position data 40Z. In Embodiment 3, the absolute position of the image sensor 3Z is the second absolute position, and the absolute position of the image sensor 4Z is the third absolute position. Moreover, in Embodiment 3, the positional data 40Z is a 1st absolute position.

도 13은 실시 형태 3에 따른 앱솔루트 인코더의 위치 데이터 생성부에 의한 위치 데이터의 생성 처리 절차를 나타내는 순서도이다. 위치 데이터 생성부(16)는, 고정밀도 검출부(15A)가 산출한 절대 위치와, 고정밀도 검출부(15B)가 산출한 절대 위치의 위상차를 보정한다(스텝 S10). 고정밀도 검출부(15A)가 산출한 절대 위치가, 이미지 센서(3Z)로부터 얻어지는 절대 위치이고, 고정밀도 검출부(15B)가 산출한 절대 위치가, 이미지 센서(4Z)로부터 얻어지는 절대 위치이다. 위치 데이터 생성부(16)는 미리 산출해 둔 이미지 센서(3Z, 4Z)의 위상차를 이용하여, 이미지 센서(3Z, 4Z)로부터 얻어지는 절대 위치 중 적어도 한쪽을 보정한다. 13 is a flowchart showing a process procedure for generating position data by the position data generating unit of the absolute encoder according to the third embodiment. The position data generation unit 16 corrects the phase difference between the absolute position calculated by the high-precision detection unit 15A and the absolute position calculated by the high-precision detection unit 15B (step S10). The absolute position calculated by the high-precision detection unit 15A is an absolute position obtained from the image sensor 3Z, and the absolute position calculated by the high-precision detection unit 15B is an absolute position obtained from the image sensor 4Z. The position data generating unit 16 corrects at least one of the absolute positions obtained from the image sensors 3Z and 4Z by using the previously calculated phase difference between the image sensors 3Z and 4Z.

위치 데이터 생성부(16)는 앱솔루트 인코더(1Z)의 이상의 유무를 판정한다(스텝 S20). 앱솔루트 인코더(1Z)의 이상은, 이미지 센서(3Z)의 각도 검출 기능 및 이미지 센서(4Z)의 각도 검출 기능 중 적어도 한쪽의 이상이다. 위치 데이터 생성부(16)가 이상을 검출하면, 앱솔루트 인코더(1Z)의 동작을 긴급 정지시키거나, 또는 정상인 절대 위치가 되도록 절대 위치를 보정하여 동작을 계속한다. The position data generation unit 16 determines whether or not the absolute encoder 1Z is abnormal (step S20). The abnormality of the absolute encoder 1Z is an abnormality of at least one of the angle detection function of the image sensor 3Z and the angle detection function of the image sensor 4Z. When the position data generating unit 16 detects an abnormality, the operation of the absolute encoder 1Z is urgently stopped, or the operation is continued by correcting the absolute position so as to obtain a normal absolute position.

도 14는 실시 형태 3에 따른 앱솔루트 인코더의 위치 데이터 생성부에 의한 이상 판정 처리의 제1 예의 처리 절차를 나타내는 순서도이다. 위치 데이터 생성부(16)는 위상차를 보정한 후에 이미지 센서(3Z, 4Z)로부터 얻어지는 절대 위치의 차분이, 차분의 기준값 이상인지 여부를 판정한다(스텝 S110). 14 is a flowchart showing a processing procedure of a first example of abnormality determination processing by the position data generation unit of the absolute encoder according to the third embodiment. After correcting the phase difference, the position data generating unit 16 determines whether the absolute position difference obtained from the image sensors 3Z and 4Z is equal to or greater than a reference value of the difference (step S110).

절대 위치의 차분이 차분의 기준값 이상인 경우(스텝 S110, Yes), 위치 데이터 생성부(16)는 앱솔루트 인코더(1Z)의 이상이라고 판정한다. 즉, 위치 데이터 생성부(16)는 이미지 센서(3Z)의 각도 검출 기능 및 이미지 센서(4Z)의 각도 검출 기능 중 적어도 한쪽이 이상이라고 판정한다. 이 경우, 위치 데이터 생성부(16)는 회전 샤프트(7)를 회전시키는 모터를 긴급 정지시킴으로써 스케일(20)의 회전을 긴급 정지시킨다(스텝 S120). 구체적으로는, 절대 위치의 차분이 차분의 기준값 이상인 경우, 위치 데이터 생성부(16)는 모터를 긴급 정지시키기 위한 지령을, 모터를 제어하는 모터 제어 장치에 송신한다. 이것에 의해, 모터 제어 장치가 모터를 정지시킨다. When the absolute position difference is equal to or greater than the reference value of the difference (step S110, Yes), the position data generation unit 16 determines that the absolute encoder 1Z is abnormal. That is, the position data generation unit 16 determines that at least one of the angle detection function of the image sensor 3Z and the angle detection function of the image sensor 4Z is abnormal. In this case, the position data generating unit 16 urgently stops the rotation of the scale 20 by urgently stopping the motor that rotates the rotating shaft 7 (step S120). Specifically, when the absolute position difference is equal to or greater than the reference value of the difference, the position data generation unit 16 transmits a command for emergency stop of the motor to the motor control device that controls the motor. Thereby, the motor control device stops the motor.

한편, 절대 위치의 차분이 차분의 기준값 미만인 경우(스텝 S110, No), 위치 데이터 생성부(16)는 앱솔루트 인코더(1Z)가 정상이라고 판정한다. 이 경우, 위치 데이터 생성부(16)는 이미지 센서(3Z, 4Z)로부터 얻어진 위상차 보정 후의 절대 위치의 평균 위치를 위치 데이터(40Z)로서 출력한다(스텝 S130). 이것에 의해, 앱솔루트 인코더(1Z)는 간이한 연산으로 신뢰성이 높은 절대 위치를 얻을 수 있다. On the other hand, when the absolute position difference is less than the reference value of the difference (step S110, No), the position data generation unit 16 determines that the absolute encoder 1Z is normal. In this case, the position data generating unit 16 outputs the average position of the absolute positions after phase difference correction obtained from the image sensors 3Z and 4Z as position data 40Z (step S130). Thereby, the absolute encoder 1Z can obtain a highly reliable absolute position by simple calculation.

도 15는 실시 형태 3에 따른 앱솔루트 인코더의 위치 데이터 생성부에 의한 이상 판정 처리의 제2 예의 처리 절차를 나타내는 순서도이다. 위치 데이터 생성부(16)는 이미지 센서(3Z)의 각도 검출 기능이 이상인지 여부를 판정한다(스텝 S210). 위치 데이터 생성부(16)는, 예를 들면, 엣지 검출부(11A)가 검출한 엣지 화소 위치(110)의 개수가, 엣지수의 기준값 이하인 경우에 이상이라고 판정한다. 또, 위치 데이터 생성부(16)는, 개략 검출부(13A)가 구하는 비트열(120)과, 룩업 테이블(130) 내의 비트열(140)의 차이 비트수가 임계값 이상인 경우에 이상이라고 판정해도 된다.15 is a flowchart showing a processing procedure of a second example of abnormality determination processing by the position data generation unit of the absolute encoder according to the third embodiment. The position data generation unit 16 determines whether the angle detection function of the image sensor 3Z is abnormal (step S210). The position data generation unit 16 determines, for example, to be abnormal when the number of edge pixel positions 110 detected by the edge detection unit 11A is equal to or less than a reference value of the number of edges. Further, the position data generation unit 16 may determine that it is abnormal when the number of bits difference between the bit string 120 calculated by the rough detection unit 13A and the bit string 140 in the lookup table 130 is equal to or greater than a threshold value. .

이미지 센서(3Z)의 각도 검출 기능이 이상인 경우(스텝 S210, Yes), 위치 데이터 생성부(16)는 이미지 센서(4Z)의 각도 검출 기능이 이상인지 여부를 판정한다(스텝 S220). 위치 데이터 생성부(16)는, 예를 들면, 엣지 검출부(11B)가 검출한 엣지 화소 위치(110)의 개수가, 엣지수의 기준값 이하인 경우에 이상이라고 판정한다. 이미지 센서(3Z)에 있어서의 엣지 화소 위치(110)가 제1 엣지 위치이고, 이미지 센서(4Z)에 있어서의 엣지 화소 위치(110)가 제2 엣지 위치이다. When the angle detection function of the image sensor 3Z is abnormal (step S210, Yes), the position data generation unit 16 determines whether the angle detection function of the image sensor 4Z is abnormal (step S220). The position data generation unit 16 determines that it is abnormal, for example, when the number of edge pixel positions 110 detected by the edge detection unit 11B is equal to or less than a reference value of the number of edges. The edge pixel position 110 in the image sensor 3Z is the first edge position, and the edge pixel position 110 in the image sensor 4Z is the second edge position.

또, 위치 데이터 생성부(16)는 개략 검출부(13B)가 구하는 비트열(120)과, 룩업 테이블(130) 내의 비트열(140)의 차이 비트수가 임계값 이상인 경우에 이상이라고 판정해도 된다. 실시 형태 3에서는, 개략 검출부(13A)가 구하는 비트열(120)이 제1 비트열이고, 개략 검출부(13B)가 구하는 비트열(120)이 제2 비트열이다. 또, 룩업 테이블(130) 내의 비트열(140)이, 제3 비트열이다. 또, 실시 형태 3에서는, 이미지 센서(3Z)의 각도 검출 기능이 제1 각도 검출 기능이고, 이미지 센서(4Z)의 각도 검출 기능이 제2 각도 검출 기능이다. In addition, the position data generation unit 16 may determine that it is abnormal when the number of bits difference between the bit string 120 calculated by the rough detection unit 13B and the bit string 140 in the lookup table 130 is equal to or greater than a threshold value. In Embodiment 3, the bit string 120 calculated|required by the rough detection part 13A is a 1st bit string, and the bit string 120 calculated|required by the rough detection part 13B is a 2nd bit string. Also, the bit string 140 in the lookup table 130 is the third bit string. Moreover, in Embodiment 3, the angle detection function of the image sensor 3Z is a 1st angle detection function, and the angle detection function of the image sensor 4Z is a 2nd angle detection function.

이미지 센서(4Z)의 각도 검출 기능이 이상인 경우(스텝 S220, Yes), 위치 데이터 생성부(16)는 모터를 긴급 정지시킨다(스텝 S230).When the angle detection function of the image sensor 4Z is abnormal (step S220, Yes), the position data generation unit 16 makes an emergency stop of the motor (step S230).

이미지 센서(3Z)의 각도 검출 기능이 이상이지만, 이미지 센서(4Z)의 각도 검출 기능이 이상이 아닌 경우(스텝 S220, No), 위치 데이터 생성부(16)는 이미지 센서(4Z)로부터 얻어진 절대 위치를 위치 데이터(40Z)로서 출력한다(스텝 S240). 즉, 위치 데이터 생성부(16)는 고정밀도 검출부(15B)로부터 보내져 온 절대 위치를 위치 데이터(40Z)로서 출력한다. When the angle detection function of the image sensor 3Z is abnormal, but the angle detection function of the image sensor 4Z is not abnormal (step S220, No), the position data generating unit 16 sets the absolute value obtained from the image sensor 4Z The position is output as position data 40Z (step S240). That is, the position data generation unit 16 outputs the absolute position sent from the high-precision detection unit 15B as position data 40Z.

이미지 센서(3Z)의 각도 검출 기능이 이상이 아닌 경우(스텝 S210, No), 위치 데이터 생성부(16)는 이미지 센서(4Z)의 각도 검출 기능이 이상인지 여부를 판정한다(스텝 S250). 여기서의 위치 데이터 생성부(16)는, 엣지 검출부(11B)가 검출한 엣지 화소 위치(110)의 개수가, 엣지수의 기준값 이하인 경우에 이상이라고 판정해도 되고, 비트열(120)과 비트열(140)의 차이 비트수가 임계값 이상인 경우에 이상이라고 판정해도 된다. When the angle detection function of the image sensor 3Z is not abnormal (step S210, No), the position data generation unit 16 determines whether the angle detection function of the image sensor 4Z is abnormal (step S250). Here, the position data generation unit 16 may determine that the number of edge pixel positions 110 detected by the edge detection unit 11B is equal to or smaller than a reference value of the number of edges, and may determine that the bit string 120 and the bit string are abnormal. When the number of difference bits of (140) is equal to or greater than the threshold value, it may be determined as abnormal.

이미지 센서(3Z)의 각도 검출 기능은 이상은 아니지만, 이미지 센서(4Z)의 각도 검출 기능이 이상인 경우(스텝 S250, Yes), 위치 데이터 생성부(16)는 이미지 센서(3Z)로부터 얻어지는 절대 위치를 위치 데이터(40Z)로서 출력한다(스텝 S260). 즉, 위치 데이터 생성부(16)는 고정밀도 검출부(15A)로부터 보내져 온 절대 위치를 위치 데이터(40Z)로서 출력한다. Although the angle detection function of the image sensor 3Z is not abnormal, when the angle detection function of the image sensor 4Z is abnormal (step S250, Yes), the position data generating unit 16 determines the absolute position obtained from the image sensor 3Z. is output as the position data 40Z (step S260). That is, the position data generation unit 16 outputs the absolute position transmitted from the high-precision detection unit 15A as position data 40Z.

이미지 센서(3Z, 4Z)의 각도 검출 기능이 이상이 아닌 경우(스텝 S250, No), 위치 데이터 생성부(16)는 이미지 센서(3Z, 4Z)로부터 얻어진 절대 위치의 평균 위치를 위치 데이터(40Z)로서 출력한다(스텝 S270). 즉, 위치 데이터 생성부(16)는 고정밀도 검출부(15A, 15B)로부터 보내져 온 절대 위치의 평균 위치를 위치 데이터(40Z)로서 출력한다. When the angle detection function of the image sensors 3Z and 4Z is not abnormal (step S250, No), the position data generating unit 16 converts the average position of the absolute positions obtained from the image sensors 3Z and 4Z into the position data 40Z ) as an output (step S270). That is, the position data generation unit 16 outputs the average position of the absolute positions sent from the high-precision detection units 15A and 15B as the position data 40Z.

이와 같이, 위치 데이터 생성부(16)는 이미지 센서(3Z, 4Z)의 각도 검출 기능이 이상인지 여부를 판정하여, 정상인 각도 검출 기능이 있으면 동작을 계속하므로, 앱솔루트 인코더(1Z)는 로버스트하게 절대 위치를 얻을 수 있다. In this way, the position data generating unit 16 determines whether the angle detection function of the image sensors 3Z and 4Z is abnormal, and if there is a normal angle detection function, the operation continues, so the absolute encoder 1Z is robust. You can get the absolute position.

또, 앱솔루트 인코더(1Z)에서는, 180°의 위상차로 이미지 센서(3Z, 4Z)가 배치되어 있다. 그리고, 앱솔루트 인코더(1Z)는 이미지 센서(3Z, 4Z)에서 얻어진 절대 위치의 평균 위치를 위치 데이터(40Z)로서 생성하고 있다. 이것에 의해, 앱솔루트 인코더(1Z)는 회전하는 스케일(20)의 면 편차에 의한 절대 위치의 오차 성분을 제거할 수 있다. Moreover, in the absolute encoder 1Z, the image sensors 3Z, 4Z are arrange|positioned with the phase difference of 180 degrees. Then, the absolute encoder 1Z is generating the average position of the absolute positions obtained by the image sensors 3Z and 4Z as the position data 40Z. Thereby, the absolute encoder 1Z can remove the error component of the absolute position due to the surface deviation of the rotating scale 20 .

도 16은 실시 형태 3에 따른 앱솔루트 인코더의 스케일에 발생하는 면 편차를 설명하기 위한 도면이다. 앱솔루트 인코더(1Z)에서는, 스케일(20)의 상면과 제어 기판(27)의 상면이 대향하도록 배치되어 있다. 16 is a diagram for explaining a plane deviation occurring in the scale of the absolute encoder according to the third embodiment. In the absolute encoder 1Z, the upper surface of the scale 20 and the upper surface of the control board 27 are disposed to face each other.

발광 소자(2A, 2B) 및 이미지 센서(3Z, 4Z)는, 제어 기판(27)의 상면에 배치되어 있다. 도 16에서는, 제어 기판(27)에 대해서 스케일(20)이 면 편차에 의해서 기울어 있는 경우를 도시하고 있다. 또한, 스케일(20)에 대해서 제어 기판(27)이 기우는 경우도 있다. The light emitting elements 2A and 2B and the image sensors 3Z and 4Z are disposed on the upper surface of the control board 27 . 16 shows a case in which the scale 20 is inclined with respect to the control board 27 due to plane deviation. In addition, the control board 27 may incline with respect to the scale 20 .

이와 같이 실시 형태 3의 앱솔루트 인코더(1Z)에서는, 이미지 센서(3Z, 4Z)가 180°의 위상차로 배치되어 있으므로, 이미지 센서(3Z)와 스케일(20) 사이의 거리와, 이미지 센서(4Z)와 스케일(20) 사이의 거리의 합은, 스케일(20)의 회전 위치에 의존하지 않고 일정해진다. 따라서, 절대 위치 연산부(6Z)는 이미지 센서(3Z, 4Z)로부터 얻어진 절대 위치의 평균 위치를 위치 데이터(40Z)로 함으로써, 면 편차에 기인하는 절대 위치의 오차 성분을 제거하는 것이 가능해진다. As described above, in the absolute encoder 1Z of the third embodiment, since the image sensors 3Z and 4Z are arranged with a phase difference of 180°, the distance between the image sensor 3Z and the scale 20 and the image sensor 4Z The sum of the distances between and the scale 20 becomes constant regardless of the rotational position of the scale 20 . Accordingly, the absolute position calculating unit 6Z uses the average position of the absolute positions obtained from the image sensors 3Z and 4Z as the position data 40Z, so that it is possible to remove the error component of the absolute position due to the plane deviation.

또한, 이미지 센서(3Z)와 스케일(20) 사이의 거리와, 이미지 센서(4Z)와 스케일(20) 사이의 거리가 달라도 된다. 이 경우에도, 절대 위치 연산부(6Z)는 이미지 센서(3Z, 4Z)로부터 얻어진 절대 위치의 평균 위치를 위치 데이터(40Z)로 함으로써, 면 편차에 기인하는 절대 위치의 오차 성분을 저감시키는 것이 가능해진다. In addition, the distance between the image sensor 3Z and the scale 20 and the distance between the image sensor 4Z and the scale 20 may be different. Also in this case, the absolute position calculating unit 6Z uses the average position of the absolute positions obtained from the image sensors 3Z and 4Z as the position data 40Z, so that it is possible to reduce the error component of the absolute position due to the plane deviation. .

실시 형태 4.Embodiment 4.

다음에, 도 17에서부터 도 21을 이용하여 실시 형태 4에 대해서 설명한다. 실시 형태 4에서는, 발광 소자(2), 및 이미지 센서(3X, 4X)가 1개의 모듈에 실장된다. Next, Embodiment 4 will be described with reference to FIGS. 17 to 21 . In Embodiment 4, the light emitting element 2 and the image sensors 3X and 4X are mounted in one module.

도 17은 실시 형태 4에 따른 앱솔루트 인코더의 개략 구성을 나타내는 도면이다. 도 17의 각 구성요소 중 도 1에 나타내는 실시 형태 1의 앱솔루트 인코더(1X)와 동일 기능을 달성하는 구성요소에 대해서는 동일 부호를 부여해 두고, 중복하는 설명은 생략한다. 17 is a diagram showing a schematic configuration of an absolute encoder according to the fourth embodiment. The same code|symbol is attached|subjected about the component which achieves the same function as the absolute encoder 1X of Embodiment 1 shown in FIG. 1 among each component of FIG. 17, and overlapping description is abbreviate|omitted.

실시 형태 4의 앱솔루트 인코더(1X)는, 실시 형태 1의 앱솔루트 인코더(1X)와 같은 구성요소를 가지고 있다. 실시 형태 4의 앱솔루트 인코더(1X)에서는, 발광 소자(2), 및 이미지 센서(3X, 4X)가, 1개의 모듈(80a)에 집약되어, 앱솔루트 인코더(1X)의 하드웨어를 구성하는 제어 기판(27)에 실장되어 있다. 구체적으로는, 발광 소자(2), 및 이미지 센서(3X, 4X)가, 소 기판(26) 상에 실장되고, 이 소 기판(26)이 제어 기판(27)의 상면에 실장되어 있다.The absolute encoder 1X of the fourth embodiment has the same components as the absolute encoder 1X of the first embodiment. In the absolute encoder 1X of the fourth embodiment, the light emitting element 2 and the image sensors 3X and 4X are integrated into one module 80a, and a control board constituting the hardware of the absolute encoder 1X ( 27) is installed. Specifically, the light emitting element 2 and the image sensors 3X and 4X are mounted on a small substrate 26 , and the small substrate 26 is mounted on the upper surface of the control substrate 27 .

여기서, 모듈(80a)의 구성과, 모듈(80a)과는 상이한 위치에 발광 소자(2), 또는 이미지 센서(3X, 4X)가 배치된 모듈(80b, 80c)의 구성에 대해서 설명한다. Here, the configuration of the module 80a and the configuration of the modules 80b and 80c in which the light emitting element 2 or the image sensors 3X and 4X are disposed at different positions from the module 80a will be described.

도 18은 실시 형태 4에 따른 앱솔루트 인코더의 이미지 센서가 실장된 모듈의 제1 구성예를 나타내는 도면이다. 도 18에서는, 모듈(80a)을 이미지 센서(3X, 4X)의 실장 방향에서 본 모듈(80a)의 상면도를 나타내고 있다. 18 is a diagram showing a first configuration example of a module in which the image sensor of the absolute encoder according to the fourth embodiment is mounted. 18 shows a top view of the module 80a as viewed from the mounting direction of the image sensors 3X and 4X.

도 19는 실시 형태 4에 따른 앱솔루트 인코더의 이미지 센서가 실장된 모듈의 제2 구성예를 나타내는 도면이다. 도 19에서는, 모듈(80b)을 이미지 센서(3P, 4P)의 실장 방향에서 본 모듈(80b)의 상면도를 나타내고 있다. 모듈(80b)은 실시 형태 1에서 설명한 앱솔루트 인코더(1X) 등에 적용 가능하다. 19 is a diagram showing a second configuration example of a module in which the image sensor of the absolute encoder according to the fourth embodiment is mounted. 19 shows a top view of the module 80b as viewed from the mounting direction of the image sensors 3P and 4P. The module 80b is applicable to the absolute encoder 1X and the like described in the first embodiment.

도 20은 실시 형태 4에 따른 앱솔루트 인코더의 이미지 센서가 실장된 모듈의 제3 구성예를 나타내는 도면이다. 도 20에서는, 모듈(80c)을 이미지 센서(3Z)의 실장 방향에서 본 모듈(80c)의 상면도를 나타내고 있다. 모듈(80c)은 실시 형태 3에서 설명한 앱솔루트 인코더(1Z) 등에 적용 가능하다. 20 is a diagram showing a third configuration example of a module in which the image sensor of the absolute encoder according to the fourth embodiment is mounted. Fig. 20 shows a top view of the module 80c when the module 80c is viewed from the mounting direction of the image sensor 3Z. The module 80c is applicable to the absolute encoder 1Z and the like described in the third embodiment.

모듈(80a)에서는, 발광 소자(2) 및 이미지 센서(3X, 4X)가 소 기판(26)의 상면에 배치되어 있다. 모듈(80a)에서는, 발광 소자(2)에 대향하는 위치에 이미지 센서(4X)가 배치되고, 발광 소자(2)와 이미지 센서(4X)의 사이에 이미지 센서(3X)가 배치되어 있다.In the module 80a, the light emitting element 2 and the image sensors 3X, 4X are arranged on the upper surface of the small substrate 26 . In the module 80a, the image sensor 4X is disposed at a position opposite to the light emitting element 2, and the image sensor 3X is disposed between the light emitting element 2 and the image sensor 4X.

모듈(80b)에서는, 발광 소자(2) 및 이미지 센서(3P, 4P)가 소 기판(26)의 상면에 배치되어 있다. 이미지 센서(3P, 4P)는 이미지 센서(3X, 4X)와 같은 이미지 센서이고, 이미지 센서(3X, 4X)와는 배치 위치가 다르다. 모듈(80b)에서는, 이미지 센서(3P)와 이미지 센서(4P)가 대향하도록 이미지 센서(3P, 4P)가 배치되고, 이미지 센서(3P)와 이미지 센서(4P)의 사이에 발광 소자(2)가 배치되어 있다. In the module 80b , the light emitting element 2 and the image sensors 3P and 4P are arranged on the upper surface of the small substrate 26 . The image sensors 3P and 4P are the same image sensors as the image sensors 3X and 4X, and have different arrangement positions from the image sensors 3X and 4X. In the module 80b, the image sensors 3P and 4P are disposed so that the image sensor 3P and the image sensor 4P face each other, and the light emitting element 2 is disposed between the image sensor 3P and the image sensor 4P. is placed.

모듈(80c)에서는, 발광 소자(2A) 및 이미지 센서(3Z)가 소 기판(26)의 상면에 배치되어 있다. 모듈(80c)에서는, 발광 소자(2A)에 대향하는 위치에 이미지 센서(3Z)가 배치되어 있다. 또, 도 20에 나타낸 소 기판(26)과는 다른 소 기판(26)의 상면에, 발광 소자(2B) 및 이미지 센서(4Z)가 배치된다. In the module 80c , the light emitting element 2A and the image sensor 3Z are disposed on the upper surface of the small substrate 26 . In the module 80c, an image sensor 3Z is disposed at a position opposite to the light emitting element 2A. In addition, the light emitting element 2B and the image sensor 4Z are arranged on the upper surface of the small substrate 26 different from the small substrate 26 shown in FIG. 20 .

도 21은 도 20에 나타낸 모듈을 실시 형태 3의 앱솔루트 인코더에 적용했을 경우의, 앱솔루트 인코더의 구성을 나타내는 도면이다. 도 21에서는, 상단에 앱솔루트 인코더(1Z)가 구비하는 제어 기판(27) 등의 단면도를 나타내고, 하단에 앱솔루트 인코더(1Z)가 구비하는 제어 기판(27)의 상면도를 나타내고 있다.Fig. 21 is a diagram showing the configuration of an absolute encoder when the module shown in Fig. 20 is applied to the absolute encoder of the third embodiment. In FIG. 21, the cross-sectional view of the control board 27 etc. with which the absolute encoder 1Z is equipped at the upper end is shown, and the top view of the control board 27 with which the absolute encoder 1Z is equipped at the lower end is shown.

제어 기판(27)의 상면에는, 모듈(80c, 80c)이 스케일(20)의 중심을 사이에 두고 대향하도록 배치되어 있다. 한쪽의 모듈(80c)은 도 20에서 설명한 모듈로서, 발광 소자(2A) 및 이미지 센서(3Z)가 실장되어 있다. 다른 쪽의 모듈(80c)에서는, 발광 소자(2B)에 대향하는 위치에 이미지 센서(4Z)가 실장되어 있다. On the upper surface of the control board 27 , modules 80c and 80c are disposed to face each other with the center of the scale 20 interposed therebetween. One module 80c is the module described with reference to Fig. 20, in which the light emitting element 2A and the image sensor 3Z are mounted. In the other module 80c, an image sensor 4Z is mounted at a position opposite to the light emitting element 2B.

또한, 실시 형태 2에서 설명한 앱솔루트 인코더(1Y)의 발광 소자(2) 및 이미지 센서(3Y, 4Y)가 1개의 모듈에 실장되어도 된다. 이와 같이 앱솔루트 인코더(1X, 1Y, 1Z)에서는, 적어도 1개의 발광 소자와 적어도 1개의 이미지 센서가 1개의 모듈에 실장되어 있다. In addition, the light emitting element 2 and image sensors 3Y, 4Y of the absolute encoder 1Y demonstrated in Embodiment 2 may be mounted in one module. As described above, in the absolute encoders 1X, 1Y, and 1Z, at least one light emitting element and at least one image sensor are mounted on one module.

이와 같이 실시 형태 4에 의하면, 모듈(80a, 80b, 80c) 중 어느 것이 사용됨으로써 실장 부품의 집약화를 실현할 수 있어, 제어 기판(27)의 실장 면적으로의 압박을 억제할 수 있다. 또, 모듈로서 부품을 실장할 수 있으므로, 생산시의 실장 속도가 향상되고, 실장시의 실장 위치 오류를 저감시키는 것이 가능해진다. As described above, according to the fourth embodiment, when any of the modules 80a, 80b, and 80c is used, it is possible to realize the integration of mounted components, and it is possible to suppress the pressure on the mounting area of the control board 27 . Moreover, since components can be mounted as a module, the mounting speed at the time of production is improved, and it becomes possible to reduce the mounting position error at the time of mounting.

여기서, 절대 위치 연산부(6X~6Z)의 하드웨어 구성에 대해서 설명한다. 또한, 절대 위치 연산부(6X~6Z)는 마찬가지의 하드웨어 구성을 가지고 있으므로, 여기에서는, 절대 위치 연산부(6X)의 하드웨어 구성에 대해서 설명한다. Here, the hardware configuration of the absolute position calculating units 6X to 6Z will be described. In addition, since the absolute position calculating part 6X-6Z has the same hardware structure, here, the hardware structure of the absolute position calculating part 6X is demonstrated.

도 22는 실시 형태 1에 따른 앱솔루트 인코더가 구비하는 절대 위치 연산부를 실현하는 하드웨어 구성예를 나타내는 도면이다. 절대 위치 연산부(6X)는 입력 장치(300), 프로세서(100), 메모리(200), 및 출력 장치(400)에 의해 실현할 수 있다. 프로세서(100)의 예는, CPU(Central Processing Unit, 중앙 처리 장치, 처리 장치, 연산 장치, 마이크로 프로세서, 마이크로 컴퓨터, DSP(Digital Signal Processor)라고도 함) 또는 시스템 LSI(Large Scale Integration)이다. 메모리(200)의 예는, RAM(Random Access Memory), ROM(Read Only Memory)이다. 22 is a diagram showing an example of a hardware configuration for realizing an absolute position calculating unit included in the absolute encoder according to the first embodiment. The absolute position calculating unit 6X may be realized by the input device 300 , the processor 100 , the memory 200 , and the output device 400 . An example of the processor 100 is a CPU (Central Processing Unit, central processing unit, processing unit, arithmetic unit, microprocessor, microcomputer, also called DSP (Digital Signal Processor)) or a system LSI (Large Scale Integration). Examples of the memory 200 are random access memory (RAM) and read only memory (ROM).

절대 위치 연산부(6X)는, 프로세서(100)가 메모리(200)에 기억되어 있는 절대 위치 연산부(6X)의 동작을 실행하기 위한, 컴퓨터에서 실행 가능한, 절대 위치 연산 프로그램을 읽어내어 실행함으로써 실현된다. 절대 위치 연산부(6X)의 동작을 실행하기 위한 프로그램인 절대 위치 연산 프로그램은, 절대 위치 연산부(6X)의 절차 또는 방법을 컴퓨터에 실행시키는 것이라고도 말할 수 있다. The absolute position calculating unit 6X is realized by the processor 100 reading and executing an absolute position calculating program executable in a computer for executing the operation of the absolute position calculating unit 6X stored in the memory 200 . . The absolute position calculation program, which is a program for executing the operation of the absolute position calculating unit 6X, can also be said to be a computer executing the procedure or method of the absolute position calculating unit 6X.

절대 위치 연산부(6X)에서 실행되는 절대 위치 연산 프로그램은, 광량 보정부(10A, 10B)와, 엣지 검출부(11A, 11B)와, 디코드부(12A)와, 개략 검출부(13A)와, 위상 검출부(14B)와, 고정밀도 검출부(15X)를 포함하는 모듈 구성으로 이루어져 있고, 이것들이 주 기억 장치 상에 로드되어, 이것들이 주 기억 장치 상에 생성된다. The absolute position calculation program executed by the absolute position calculation unit 6X includes the light quantity correction units 10A and 10B, the edge detection units 11A and 11B, the decode unit 12A, the coarse detection unit 13A, and the phase detection unit. It consists of a module structure including 14B and the high-precision detection part 15X, these are loaded on the main memory device, and these are created on the main memory device.

입력 장치(300)는 AD 변환기(5A, 5B)로부터 디지털 신호를 접수하여 프로세서(100)로 보낸다. 메모리(200)는 프로세서(100)가 각종 처리를 실행할 때의 일시 메모리에 사용된다. 또, 메모리(200)는 임계값 레벨(105), 룩업 테이블(130) 등을 기억한다. 출력 장치(400)는 프로세서(100)가 산출한 위치 데이터(40X)를 출력한다. The input device 300 receives digital signals from the AD converters 5A and 5B and sends them to the processor 100 . The memory 200 is used as a temporary memory when the processor 100 executes various processes. In addition, the memory 200 stores a threshold level 105 , a lookup table 130 , and the like. The output device 400 outputs the position data 40X calculated by the processor 100 .

절대 위치 연산 프로그램은 인스톨 가능한 형식 또는 실행 가능한 형식의 파일로, 컴퓨터가 판독 가능한 기억 매체에 기억되어 컴퓨터 프로그램 프로덕트로서 제공되어도 된다. 또, 절대 위치 연산 프로그램은 인터넷 등의 네트워크 경유로 절대 위치 연산부(6X)에 제공되어도 된다. 또한, 절대 위치 연산부(6X)의 기능에 대해서, 일부를 전용 회로 등의 전용의 하드웨어로 실현하고, 일부를 소프트웨어 또는 펌웨어로 실현하도록 해도 된다. The absolute position calculation program may be stored in a computer-readable storage medium as a file in an installable format or an executable format, and may be provided as a computer program product. Moreover, the absolute position calculating program may be provided to the absolute position calculating part 6X via a network, such as the Internet. In addition, with respect to the function of the absolute position calculating part 6X, you may make it implement|achieve part with dedicated hardware, such as a dedicated circuit, and implement part with software or firmware.

이상의 실시 형태에 나타낸 구성은, 일례를 나타내는 것이며, 다른 공지의 기술과 조합하는 것도 가능하고, 실시 형태끼리를 조합하는 것도 가능하며, 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 구성의 일부를 생략, 변경하는 것도 가능하다. The configuration shown in the above embodiment shows an example, it is possible to combine with other known techniques, it is also possible to combine the embodiments, and without departing from the gist, a part of the configuration is omitted or changed. It is also possible

1X, 1Y, 1Z: 앱솔루트 인코더 2, 2A, 2B: 발광 소자
3P, 3X, 3Y, 3Z, 4P, 4X, 4Y, 4Z: 이미지 센서
5A, 5B: AD 변환기 6X~6Z: 절대 위치 연산부
7: 회전 샤프트 10A, 10B: 광량 보정부
11A, 11B: 엣지 검출부 12A, 12B: 디코드부
13A, 13B, 13Y: 개략 검출부 14A, 14B: 위상 검출부
15A, 15B, 15X: 고정밀도 검출부 16: 위치 데이터 생성부
20: 스케일 21A, 21B: 수광면
22: 반직선 24, 25: 기준 화소 위치
30: 절대값 부호 패턴 31: 반사부
32: 비반사부 40X, 40Y, 40Z: 위치 데이터
45: 연산부 70~73: 광 강도 분포
80a, 80b, 80c: 모듈 100: 프로세서
105: 임계값 레벨 110: 엣지 화소 위치
130: 룩업 테이블 150: 기준 화소 위치
160, 170: 반사 지점 200: 메모리
300: 입력 장치 400: 출력 장치
1X, 1Y, 1Z: Absolute encoder 2, 2A, 2B: Light emitting element
3P, 3X, 3Y, 3Z, 4P, 4X, 4Y, 4Z: Image sensor
5A, 5B: AD converter 6X~6Z: Absolute position calculator
7: Rotating shaft 10A, 10B: Light quantity correction unit
11A, 11B: edge detection unit 12A, 12B: decode unit
13A, 13B, 13Y: rough detection unit 14A, 14B: phase detection unit
15A, 15B, 15X: High-precision detection unit 16: Position data generation unit
20: Scale 21A, 21B: light receiving surface
22: ray 24, 25: reference pixel position
30: absolute value sign pattern 31: reflector
32: Non-reflecting part 40X, 40Y, 40Z: Position data
45: calculation unit 70 to 73: light intensity distribution
80a, 80b, 80c: Module 100: Processor
105: threshold level 110: edge pixel position
130: lookup table 150: reference pixel position
160, 170: reflection point 200: memory
300: input device 400: output device

Claims (14)

절대값 부호 패턴이 배치된 원판 모양의 스케일과,
상기 스케일에 광을 조사하는 발광 소자와,
상기 스케일의 중심으로부터 제1 거리만큼 떨어진 제1 위치로부터의 제1 광을 수광하여 상기 제1 광에 대응하는 제1 아날로그 신호를 출력하는 제1 이미지 센서와,
상기 스케일의 중심으로부터 제2 거리만큼 떨어진 제2 위치로부터의 제2 광을 수광하여 상기 제2 광에 대응하는 제2 아날로그 신호를 출력하는 제2 이미지 센서와,
상기 제1 아날로그 신호를 제1 디지털 신호로 변환하는 제1 신호 변환부와,
상기 제2 아날로그 신호를 제2 디지털 신호로 변환하는 제2 신호 변환부와,
상기 제1 디지털 신호 및 상기 제2 디지털 신호에 기초하여, 상기 스케일 상에서의 제1 절대 위치를 산출하는 절대 위치 연산부를 구비하고 있는,
것을 특징으로 하는 앱솔루트 인코더.
A disk-shaped scale on which the absolute value sign pattern is placed,
a light emitting element irradiating light to the scale;
a first image sensor for receiving a first light from a first position separated by a first distance from the center of the scale and outputting a first analog signal corresponding to the first light;
a second image sensor for receiving a second light from a second position separated by a second distance from the center of the scale and outputting a second analog signal corresponding to the second light;
a first signal converter converting the first analog signal into a first digital signal;
a second signal converter converting the second analog signal into a second digital signal;
an absolute position calculating unit for calculating a first absolute position on the scale based on the first digital signal and the second digital signal;
Absolute encoder, characterized in that.
청구항 1에 있어서,
상기 절대 위치 연산부는,
상기 제1 디지털 신호에 기초하여 상기 스케일 상에서의 제2 절대 위치를 산출함과 아울러, 상기 제2 디지털 신호에 기초하여 기준이 되는 화소 위치인 기준 화소 위치로부터의 위상 편차량을 산출하고, 상기 제2 절대 위치와 상기 위상 편차량을 모두 더함으로써 상기 제1 절대 위치를 산출하는,
것을 특징으로 하는 앱솔루트 인코더.
The method according to claim 1,
The absolute position calculating unit,
A second absolute position on the scale is calculated based on the first digital signal, and an amount of phase deviation from a reference pixel position that is a reference pixel position is calculated based on the second digital signal, and the second absolute position is calculated based on the second digital signal. 2 calculating the first absolute position by adding both the absolute position and the phase deviation amount,
Absolute encoder, characterized in that.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 제1 이미지 센서, 상기 제2 이미지 센서, 및 상기 발광 소자는, 상기 스케일의 회전축 방향에서 보았을 경우에, 상기 스케일의 중심으로부터 상기 스케일의 제1 지름 방향으로 연장되는 반직선 상에 겹치도록 배치되어 있는,
것을 특징으로 하는 앱솔루트 인코더.
The method according to claim 1 or 2,
The first image sensor, the second image sensor, and the light emitting element are arranged to overlap on a semi-rectangular line extending from the center of the scale in the first radial direction of the scale when viewed in the direction of the rotation axis of the scale. there is,
Absolute encoder, characterized in that.
청구항 3에 있어서,
상기 제1 이미지 센서, 상기 제2 이미지 센서, 및 상기 발광 소자는, 상기 스케일의 회전축 방향에서 보았을 경우에, 상기 반직선 상에 상기 제1 이미지 센서의 중심, 상기 제2 이미지 센서의 중심, 및 상기 발광 소자의 중심이 겹치도록 배치되어 있는,
것을 특징으로 하는 앱솔루트 인코더.
4. The method according to claim 3,
The first image sensor, the second image sensor, and the light emitting device may include a center of the first image sensor, a center of the second image sensor, and the Arranged so that the center of the light emitting element overlaps,
Absolute encoder, characterized in that.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 이미지 센서 및 상기 제2 이미지 센서는, 상기 스케일의 회전축 방향에서 보았을 경우에, 상기 스케일의 중심으로부터 상기 스케일의 제1 지름 방향으로 연장되는 반직선 상에 겹치도록 배치되고, 또한 상기 제1 이미지 센서의 중심 및 상기 제2 이미지 센서의 중심이, 상기 반직선 상에 겹치지 않도록 배치되고,
상기 절대 위치 연산부는,
상기 제1 디지털 신호 및 상기 제2 디지털 신호에 기초하여 상기 스케일 상에서의 제2 절대 위치를 산출함과 아울러, 상기 제1 디지털 신호에 기초하여 기준이 되는 화소 위치인 제1 기준 화소 위치로부터의 제1 위상 편차량을 산출하고, 상기 제2 디지털 신호에 기초하여 기준이 되는 화소 위치인 제2 기준 화소 위치로부터의 제2 위상 편차량을 산출하고, 상기 제2 절대 위치와 상기 제1 위상 편차량을 모두 더함으로써 제3 절대 위치를 산출하고, 상기 제2 절대 위치와 상기 제2 위상 편차량을 모두 더함으로써 제4 절대 위치를 산출하고, 상기 제3 절대 위치 및 상기 제4 절대 위치의 평균 위치를 상기 제1 절대 위치로서 산출하는,
것을 특징으로 하는 앱솔루트 인코더.
The method according to claim 1,
The first image sensor and the second image sensor are arranged to overlap on a radial line extending from the center of the scale in the first radial direction of the scale when viewed in the direction of the rotation axis of the scale, and The center of the image sensor and the center of the second image sensor are disposed so as not to overlap on the semi-rectangular line,
The absolute position calculating unit,
The second absolute position on the scale is calculated based on the first digital signal and the second digital signal, and the second absolute position is calculated from the first reference pixel position, which is a pixel position serving as a reference based on the first digital signal. Calculating one phase deviation amount, calculating a second phase deviation amount from a second reference pixel position that is a reference pixel position based on the second digital signal, and calculating the first phase deviation amount from the second absolute position A third absolute position is calculated by adding all of to calculate as the first absolute position,
Absolute encoder, characterized in that.
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
상기 발광 소자와, 상기 제1 이미지 센서 및 상기 제2 이미지 센서 중 적어도 한쪽이 1개의 모듈에 실장되어 있는,
것을 특징으로 하는 앱솔루트 인코더.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
At least one of the light emitting element and the first image sensor and the second image sensor is mounted on one module,
Absolute encoder, characterized in that.
절대값 부호 패턴이 배치된 원판 모양의 스케일과,
상기 스케일의 중심으로부터 제1 거리만큼 떨어진 제1 위치에 광을 조사하는 제1 발광 소자와,
상기 스케일의 중심으로부터 제2 거리만큼 떨어진 제2 위치에 광을 조사하는 제2 발광 소자와,
상기 제1 위치로부터의 제1 광을 수광하여 상기 제1 광에 대응하는 제1 아날로그 신호를 출력하는 제1 이미지 센서와,
상기 제2 위치로부터의 제2 광을 수광하여 상기 제2 광에 대응하는 제2 아날로그 신호를 출력하는 제2 이미지 센서와,
상기 제1 아날로그 신호를 제1 디지털 신호로 변환하는 제1 신호 변환부와,
상기 제2 아날로그 신호를 제2 디지털 신호로 변환하는 제2 신호 변환부와,
상기 제1 디지털 신호 및 상기 제2 디지털 신호에 기초하여 상기 스케일 상에서의 제1 절대 위치를 산출하는 절대 위치 연산부를 구비하고,
상기 절대 위치 연산부는,
상기 제1 디지털 신호 및 상기 제2 디지털 신호에 기초하여, 상기 제1 이미지 센서의 제1 각도 검출 기능 및 상기 제2 이미지 센서의 제2 각도 검출 기능이 이상인지 여부를 판정하고, 상기 제1 각도 검출 기능 및 상기 제2 각도 검출 기능이 정상이면, 상기 제1 디지털 신호에 대응하는 상기 스케일 상에서의 제2 절대 위치와 상기 제2 디지털 신호에 대응하는 상기 스케일 상에서의 제3 절대 위치의 평균 위치를 상기 제1 절대 위치로서 산출하는,
것을 특징으로 하는 앱솔루트 인코더.
A disk-shaped scale on which the absolute value sign pattern is placed,
a first light emitting element irradiating light to a first position separated by a first distance from the center of the scale;
a second light emitting element irradiating light to a second position separated by a second distance from the center of the scale;
a first image sensor receiving the first light from the first position and outputting a first analog signal corresponding to the first light;
a second image sensor receiving the second light from the second position and outputting a second analog signal corresponding to the second light;
a first signal converter converting the first analog signal into a first digital signal;
a second signal converter converting the second analog signal into a second digital signal;
an absolute position calculating unit for calculating a first absolute position on the scale based on the first digital signal and the second digital signal;
The absolute position calculating unit,
Based on the first digital signal and the second digital signal, it is determined whether a first angle detection function of the first image sensor and a second angle detection function of the second image sensor are abnormal, and the first angle If the detection function and the second angle detection function are normal, the average position of the second absolute position on the scale corresponding to the first digital signal and the third absolute position on the scale corresponding to the second digital signal Calculated as the first absolute position,
Absolute encoder, characterized in that.
청구항 7에 있어서,
상기 절대 위치 연산부는,
상기 제1 각도 검출 기능이 정상이고 상기 제2 각도 검출 기능이 이상이면, 상기 제2 절대 위치를, 상기 제1 절대 위치로서 산출하고,
상기 제1 각도 검출 기능이 이상이고 상기 제2 각도 검출 기능이 정상이면, 상기 제3 절대 위치를, 상기 제1 절대 위치로서 산출하는,
것을 특징으로 하는 앱솔루트 인코더.
8. The method of claim 7,
The absolute position calculating unit,
If the first angle detection function is normal and the second angle detection function is abnormal, calculating the second absolute position as the first absolute position;
calculating the third absolute position as the first absolute position when the first angle detection function is abnormal and the second angle detection function is normal;
Absolute encoder, characterized in that.
청구항 7에 있어서,
상기 절대 위치 연산부는,
상기 제1 각도 검출 기능 및 상기 제2 각도 검출 기능이 이상이면, 상기 스케일의 회전을 정지시키는,
것을 특징으로 하는 앱솔루트 인코더.
8. The method of claim 7,
The absolute position calculating unit,
If the first angle detection function and the second angle detection function are abnormal, stopping the rotation of the scale,
Absolute encoder, characterized in that.
청구항 7 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 있어서,
상기 절대 위치 연산부는,
상기 제1 절대 위치와 상기 제2 절대 위치의 차분이 기준값 이상인 경우에, 상기 제1 각도 검출 기능 및 상기 제2 각도 검출 기능 중 적어도 한쪽이 이상이라고 판정하여, 상기 스케일의 회전을 정지시키는,
것을 특징으로 하는 앱솔루트 인코더.
10. The method according to any one of claims 7 to 9,
The absolute position calculating unit,
When the difference between the first absolute position and the second absolute position is equal to or greater than a reference value, it is determined that at least one of the first angle detection function and the second angle detection function is abnormal, and the rotation of the scale is stopped;
Absolute encoder, characterized in that.
청구항 7 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 있어서,
상기 절대 위치 연산부는,
상기 제1 디지털 신호의 상승 또는 하강의 위치이며 상기 제1 디지털 신호의 유무의 경계인 제1 엣지 위치를 검출하여, 상기 제1 엣지 위치의 개수가 기준값 이하인 경우에 상기 제1 각도 검출 기능이 이상이라고 판정하고,
상기 제2 디지털 신호의 상승 또는 하강이고 상기 제2 디지털 신호의 유무의 경계인 제2 엣지 위치를 검출하여, 상기 제2 엣지 위치의 개수가 상기 기준값 이하인 경우에 상기 제2 각도 검출 기능이 이상이라고 판정하는,
것을 특징으로 하는 앱솔루트 인코더.
10. The method according to any one of claims 7 to 9,
The absolute position calculating unit,
Detects a first edge position that is a rising or falling position of the first digital signal and is a boundary of the presence or absence of the first digital signal, and when the number of first edge positions is less than or equal to a reference value, the first angle detection function is abnormal judge,
Detects a second edge position that is the rising or falling of the second digital signal and is a boundary of the presence or absence of the second digital signal, and determines that the second angle detection function is abnormal when the number of the second edge positions is less than or equal to the reference value doing,
Absolute encoder, characterized in that.
청구항 7 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 있어서,
상기 절대 위치 연산부는,
상기 제1 디지털 신호에 대응하는 제1 비트열을 생성함과 아울러, 상기 제2 디지털 신호에 대응하는 제2 비트열을 생성하고,
상기 제1 비트열과, 상기 절대값 부호 패턴의 비트열을 나타내는 룩업 테이블 내의 비트열인 제3 비트열의 차이 비트수가, 임계값 이상인 경우에 상기 제1 각도 검출 기능이 이상이라고 판정하고,
상기 제2 비트열과, 상기 제3 비트열의 차이 비트수가, 상기 임계값 이상인 경우에 상기 제2 각도 검출 기능이 이상이라고 판정하는,
것을 특징으로 하는 앱솔루트 인코더.
10. The method according to any one of claims 7 to 9,
The absolute position calculating unit,
generating a first bit string corresponding to the first digital signal and generating a second bit string corresponding to the second digital signal;
When the number of bits difference between the first bit string and a third bit string that is a bit string in a lookup table representing the bit string of the absolute value code pattern is equal to or greater than a threshold value, it is determined that the first angle detection function is abnormal;
determining that the second angle detection function is abnormal when the number of bits difference between the second bit string and the third bit string is equal to or greater than the threshold value;
Absolute encoder, characterized in that.
청구항 7 내지 청구항 12 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 이미지 센서 및 상기 제2 이미지 센서는, 상기 스케일의 회전축 방향에서 보았을 경우에, 상기 스케일의 중심을 사이에 두고 대향하는 위치에 배치되는,
것을 특징으로 하는 앱솔루트 인코더.
13. The method according to any one of claims 7 to 12,
The first image sensor and the second image sensor are disposed at opposing positions with the center of the scale interposed therebetween when viewed in the direction of the axis of rotation of the scale,
Absolute encoder, characterized in that.
청구항 7 내지 청구항 13 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 발광 소자 및 상기 제2 발광 소자 중 적어도 한쪽과, 상기 제1 이미지 센서 및 상기 제2 이미지 센서 중 적어도 한쪽이 1개의 모듈에 실장되어 있는,
것을 특징으로 하는 앱솔루트 인코더.
14. The method according to any one of claims 7 to 13,
At least one of the first light emitting element and the second light emitting element and at least one of the first image sensor and the second image sensor are mounted in one module,
Absolute encoder, characterized in that.
KR1020227030014A 2020-08-31 2020-08-31 absolute encoder KR102507084B1 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2020/032886 WO2022044323A1 (en) 2020-08-31 2020-08-31 Absolute encoder

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220123761A true KR20220123761A (en) 2022-09-08
KR102507084B1 KR102507084B1 (en) 2023-03-07

Family

ID=75638858

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020227030014A KR102507084B1 (en) 2020-08-31 2020-08-31 absolute encoder

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP6865915B1 (en)
KR (1) KR102507084B1 (en)
CN (1) CN115210538B (en)
TW (2) TWI800870B (en)
WO (1) WO2022044323A1 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006170788A (en) * 2004-12-15 2006-06-29 Canon Inc Optical encoder
JP2011145118A (en) * 2010-01-13 2011-07-28 Mitsubishi Electric Corp Reflected type optical encoder
JP2015137955A (en) * 2014-01-23 2015-07-30 三菱電機株式会社 absolute encoder
JP5787513B2 (en) 2010-12-15 2015-09-30 キヤノン株式会社 Absolute rotary encoder
JP2016014574A (en) * 2014-07-01 2016-01-28 キヤノン株式会社 Absolute encoder

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02145917A (en) * 1988-07-13 1990-06-05 Furuno Electric Co Ltd Rotary encoder
DE4208918A1 (en) * 1992-03-20 1993-09-23 Siemens Ag TURNING OR LINEAR POSITION SENSOR DEVICE FOR A MOVABLE DEVICE PART
DE102008053985A1 (en) * 2008-10-30 2010-05-06 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Absolute angle coding and angle measuring device
WO2012029927A1 (en) * 2010-09-02 2012-03-08 株式会社安川電機 Encoder, servomotor, and motor unit
WO2013171901A1 (en) * 2012-05-18 2013-11-21 三菱電機株式会社 Absolute optical encoder
JP5877212B2 (en) * 2014-01-10 2016-03-02 キヤノンプレシジョン株式会社 Encoder, device using encoder, and encoder calculation program
JP2015200613A (en) * 2014-04-10 2015-11-12 株式会社安川電機 Encoder, motor with encoder, and servo system
CN103983290B (en) * 2014-05-06 2016-05-11 上海精浦机电有限公司 Compound absolute value encoder
US9605981B1 (en) * 2015-09-22 2017-03-28 Mitsubishi Electric Corporation Absolute encoder
CN108351225A (en) * 2015-11-12 2018-07-31 大库输送机株式会社 The abnormal determination system of detection device, the abnormality determination method of detection device, the abnormity determining device of detection device and detection device
CN106871938A (en) * 2015-12-10 2017-06-20 精工爱普生株式会社 position detecting device
TWI646311B (en) * 2018-01-02 2019-01-01 大銀微系統股份有限公司 Optical coding sensing device
JP2019158850A (en) * 2018-03-16 2019-09-19 富士電機株式会社 Reflection type encoder
JP2019215306A (en) * 2018-06-14 2019-12-19 多摩川精機株式会社 Optical rotary encoder

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006170788A (en) * 2004-12-15 2006-06-29 Canon Inc Optical encoder
JP2011145118A (en) * 2010-01-13 2011-07-28 Mitsubishi Electric Corp Reflected type optical encoder
JP5787513B2 (en) 2010-12-15 2015-09-30 キヤノン株式会社 Absolute rotary encoder
JP2015137955A (en) * 2014-01-23 2015-07-30 三菱電機株式会社 absolute encoder
JP2016014574A (en) * 2014-07-01 2016-01-28 キヤノン株式会社 Absolute encoder

Also Published As

Publication number Publication date
JP6865915B1 (en) 2021-04-28
KR102507084B1 (en) 2023-03-07
CN115210538A (en) 2022-10-18
TWI830571B (en) 2024-01-21
JPWO2022044323A1 (en) 2022-03-03
TW202210793A (en) 2022-03-16
TW202318811A (en) 2023-05-01
WO2022044323A1 (en) 2022-03-03
CN115210538B (en) 2023-04-25
TWI800870B (en) 2023-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8698071B2 (en) Rotary encoder having multiple slit arrays, which detects rotation angle
EP2778623B1 (en) Position detection apparatus, lens apparatus, image pickup system, and machine tool apparatus
CN108027259B (en) Absolute encoder
EP3301401B1 (en) Eccentricity calculating method, rotary encoder, robotic arm and robot apparatus
US8546747B2 (en) Rotary encoder and optical apparatus
US9574910B2 (en) Position detecting apparatus, and lens apparatus and image pickup apparatus including the position detecting apparatus
US7565256B2 (en) Displacement detecting encoder
US20100006748A1 (en) Encoder and photodetector for encoder
US9000356B2 (en) Encoder
KR102507084B1 (en) absolute encoder
JP6149740B2 (en) Absolute encoder
WO2018163424A1 (en) Absolute encoder
US20110128529A1 (en) Rotation and differential angle optical sensor with non-transition pattern sampling
US8077301B2 (en) Rotation and differential angle optical sensor with integral bearing races
JP2007064949A (en) Rotary encoder
US8077303B2 (en) Rotation and differential angle optical sensor with short optical sensing array
JP7203584B2 (en) absolute rotary encoder
US11293786B2 (en) Rotary encoder
US9423276B2 (en) Measurement apparatus, measurement method, and absolute encoder
US20230375373A1 (en) Encoder and information processing method
JP2004309230A (en) Distance measuring apparatus
JP2006242599A (en) Linear encoder
JP2004257952A (en) Distance measuring method

Legal Events

Date Code Title Description
A302 Request for accelerated examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant