KR20220118086A - Pressure sensing device for large area pressure sensing - Google Patents

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KR20220118086A
KR20220118086A KR1020210021774A KR20210021774A KR20220118086A KR 20220118086 A KR20220118086 A KR 20220118086A KR 1020210021774 A KR1020210021774 A KR 1020210021774A KR 20210021774 A KR20210021774 A KR 20210021774A KR 20220118086 A KR20220118086 A KR 20220118086A
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pressure sensing
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박인규
최중락
이기훈
우춘식
이병재
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한국과학기술원
(주)키움테크
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Abstract

A pressure sensing device for large area pressure sensing is disclosed. According to an embodiment of the present invention, the pressure sensing device for large area pressure sensing comprises: a first electrode and a second electrode disposed facing each other at a predetermined interval; a pressure sensing layer disposed between the first electrode and the second electrode; and a controller for sensing pressure by detecting a change in current or resistance by the contact between the first electrode, the second electrode, and the pressure sensing layer or by deformation of the pressure sensing layer. If no pressure is not applied, only portions of both surfaces of the pressure sensing layer contact the first electrode and the second electrode, and if pressure is applied, both the surfaces of the pressure sensing layer can contact both the first electrode and the second electrode in a predetermined range based on a portion to which the pressure is applied. Therefore, the pressure sensing device can increase sensing sensitivity by increasing an initial resistance value through a change in the shape of the pressure sensing layer.

Description

대면적 압력 센싱을 위한 압력 센싱 장치{Pressure sensing device for large area pressure sensing}Pressure sensing device for large area pressure sensing

본 발명은 대면적 압력 센싱을 위한 압력 센싱 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 간단한 방식으로 압력 센싱 장치의 구조를 변경하여 압력 센싱 물질(예컨대, 압력 센싱 필름 등)의 민감도를 향상시켜 보다 정확한 센싱이 가능하면서, 소비전력과 제조비용을 절감할 수 있도록 하는 기술적 사상에 관한 것이다.The present invention relates to a pressure sensing device for large-area pressure sensing, and more particularly, by changing the structure of the pressure sensing device in a simple manner to improve the sensitivity of a pressure sensing material (eg, a pressure sensing film, etc.), more accurate sensing It is related to a technical idea that enables this to be possible while reducing power consumption and manufacturing cost.

소정 범위에서 가해지는 압력을 센싱할 수 있는 압력 센서가 널리 알려져 있다.A pressure sensor capable of sensing a pressure applied in a predetermined range is widely known.

이러한 압력 센서는 비교적 소형 사이즈가 널리 보급되어 있으며, 대면적에서 압력을 센싱할 수 있는 대면적 압력 센서 또는 대면적 압력 센싱 장치에 대한 연구는 미진한 상태이다.A relatively small size of such a pressure sensor is widespread, and research on a large-area pressure sensor or a large-area pressure sensing device capable of sensing a pressure in a large area is still insufficient.

현재 일반적으로 사용되는 대면적 압력 센서는 도 1에 도시된 바와 같은 구조가 알려져 있다.A structure as shown in FIG. 1 is known for a large-area pressure sensor currently generally used.

도 1은 종래의 압력 센싱 장치에서 대면적을 구현하기 위한 방식의 예를 나타낸다.1 shows an example of a method for implementing a large area in a conventional pressure sensing device.

도 1을 참조하면, 종래의 일반적인 대면적용 압력 센싱 장치에서는 압력에 따른 저항변화(압저항성(piezoresistivity)를 이용하고 있다. Referring to FIG. 1 , a conventional general large-area pressure sensing device uses a change in resistance (piezoresistivity) according to pressure.

이를 위한 압력 센싱물질로는 일반적으로 2D 필름 형태의 압력 센싱물질이 이용되는데, 2D 필름 형태의 압력 센싱물질은 비전도성 고분자 물질과 전도성 마이크로/나노파티클/와이어가 섞인 복합소재로 구현된다. 여기서 2D 필름에 압력이 가해지면, 압력에 따라 각각의 파티클/와이어들이 서로 가까워지면서 연결되고, 이로 인해 저항이 낮아지게 된다. 압력 센싱 장치는 이를 이용하여 전극 사이의 저항을 측정하여 압력을 감지(센싱)하고 있다.A pressure sensing material in the form of a 2D film is generally used as a pressure sensing material for this purpose. The pressure sensing material in the form of a 2D film is implemented as a composite material in which a non-conductive polymer material and conductive micro/nanoparticle/wire are mixed. Here, when a pressure is applied to the 2D film, the respective particles/wires are connected as they approach each other according to the pressure, thereby lowering the resistance. The pressure sensing device senses (sens) the pressure by measuring the resistance between the electrodes using this.

이러한 압력 센싱 장치 특히, 대면적 압력 센싱 장치는 도 1a에 도시된 바와 같이 전극(10)을 교차(interdigitated)형으로 패턴화하여 배치하고, 그 위에 압력에 따라 저항이 변화하는 압력 센싱 물질(20)을 올려두는 구조와, 도 1b에 도시된 바와 같이 압력 센싱 물질(20)을 가운데 배치하고, 그 상하단에 전극(10, 11)을 배치하여 압력을 측정하는 구조가 알려져 있다.Such a pressure sensing device, in particular, a large-area pressure sensing device, as shown in FIG. 1A, has electrodes 10 interdigitated patterned and disposed thereon, and a pressure sensing material 20 whose resistance changes according to pressure thereon. ) and a structure in which a pressure sensing material 20 is disposed in the center as shown in FIG. 1B and electrodes 10 and 11 are disposed at the upper and lower ends to measure the pressure are known.

이때 압력 센싱물질로는 주로 카본이 섞인 필름이 사용되고 있는데, 도 1b에 도시된 방식의 경우, 초기 저항값이 매우 낮아지기 때문에 압력 측정시 셀 간에 상호간섭(crosstalk) 현상이 발생하여 정확한 압력을 측정하는 것이 매우 어려워질 수 있다. 따라서 초기 저항값을 올리기 위해, 도 1a에 도시된 전극을 패턴화하는 방식이 주로 사용된다. At this time, a film mixed with carbon is mainly used as a pressure sensing material. In the case of the method shown in FIG. 1B, since the initial resistance value is very low, crosstalk between cells occurs during pressure measurement, so accurate pressure is measured. can be very difficult. Therefore, in order to increase the initial resistance value, the method of patterning the electrode shown in FIG. 1A is mainly used.

그러나 도 1a와 같은 방식의 경우 전극의 패턴화를 위한 공정상 비용이 많이 소모되면서, 공간해상도를 높이기 어려워 면적이 넓어질수록 그 효율이 크게 떨어지는 문제가 있다.However, in the case of the method as shown in FIG. 1A, as the process cost for patterning the electrode is consumed a lot, it is difficult to increase the spatial resolution, so that the efficiency is greatly reduced as the area increases.

따라서 대면적 생산에 유리하면서도 압력의 센싱 민감도를 높여 압력 센싱의 정확도를 담보할 수 있는 기술적 사상이 요구된다.Therefore, a technical idea that can guarantee the accuracy of pressure sensing by increasing the pressure sensing sensitivity while being advantageous for large-area production is required.

한국공개특허(출원번호 10-2018-0036473, "압력 검출 매트")Korean Patent Laid-Open Patent (Application No. 10-2018-0036473, "Pressure detection mat")

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 소정의 간격을 두고 마주보도록 배치되는 제1전극과 제2전극 사이에 배치되는 압력 센싱층(예컨대, 압력 센싱 필름)의 형상 변화를 통해 초기 저항값을 높여 센싱 민감도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.The problem to be solved by the present invention is to increase the initial resistance value through a shape change of a pressure sensing layer (eg, a pressure sensing film) disposed between the first electrode and the second electrode disposed to face each other at a predetermined distance to increase the sensing sensitivity has the effect of improving

또한, 이를 위한 압력 센싱층을 열성형 방식으로 용이하게 제조할 수 있어 대면적 생산에 유리할 뿐 아니라, 대량 생산이 용이하여 제조단가를 절감할 수 있는 효과가 있다.In addition, since the pressure sensing layer for this can be easily manufactured by a thermoforming method, it is advantageous for large-area production, and there is an effect of reducing the manufacturing cost because mass production is easy.

상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 압력 센싱을 위한 압력 센싱 장치는, 소정의 간격을 두고 마주보도록 배치되는 제1전극 및 제2전극, 상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에 배치되는 압력 센싱층, 및 상기 제1전극, 상기 제2전극 및 상기 압력 센싱층의 접촉 또는 상기 압력 센싱층의 변형에 의해, 전류 또는 저항변화를 감지하여 압력을 센싱하는 제어부를 포함하며, 상기 압력 센싱층은, 압력이 가해지지 않는 경우, 양면의 각각 일부만 상기 제1전극 및 상기 제2전극에 접촉 상태를 유지하며, 압력이 가해지는 경우, 압력이 가해지는 부위를 중심으로 소정 범위에서 양면에 각각 상기 제1전극 및 상기 제2전극에 모두 접촉될 수 있는 것을 특징으로 할 수 있다.A pressure sensing device for large-area pressure sensing according to an embodiment of the present invention for solving the above technical problem includes a first electrode and a second electrode disposed to face each other at a predetermined interval, and the first electrode and the second electrode A pressure sensing layer disposed between the electrodes, and a controller configured to sense a pressure by sensing a change in current or resistance by contact between the first electrode, the second electrode, and the pressure sensing layer or by deformation of the pressure sensing layer. and, the pressure sensing layer maintains a contact state with the first electrode and the second electrode on only a portion of both surfaces when no pressure is applied, and when pressure is applied, a predetermined It may be characterized in that both sides can be in contact with the first electrode and the second electrode, respectively, in the range.

또한, 상기 압력 센싱층은, 압력이 가해지지 않는 경우, 상기 제1전극 및 상기 제2전극과 접촉 상태를 유지하는 접점이 균일한 간격을 가지는 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, the pressure sensing layer may be characterized in that, when no pressure is applied, a contact point maintaining a contact state with the first electrode and the second electrode has a uniform interval.

또한, 상기 압력 센싱층은, 단면이 요철 형상을 가지도록 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, the pressure sensing layer may be formed to have an uneven cross-section.

또한, 상기 압력 센싱층은, 플라스틱 재질을 포함하여 열성형 공법을 통해 제조될 수 있는 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, the pressure sensing layer, including a plastic material, may be characterized in that it can be manufactured through a thermoforming method.

본 발명의 실시 예에 의하면, 소정의 간격을 두고 마주보도록 배치되는 제1전극과 제2전극 사이에 배치되는 압력 센싱층(예컨대, 압력 센싱 필름)의 형상 변화를 통해 초기 저항값을 높여 센싱 민감도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.According to an embodiment of the present invention, the initial resistance value is increased through a shape change of a pressure sensing layer (eg, a pressure sensing film) disposed between the first electrode and the second electrode disposed to face each other at a predetermined distance to increase the sensing sensitivity. has the effect of improving

또한, 이를 위한 압력 센싱층을 열성형 방식으로 용이하게 제조할 수 있어 대면적 생산에 유리할 뿐 아니라, 대량 생산이 용이하여 제조단가를 절감할 수 있는 효과가 있다.In addition, since the pressure sensing layer for this can be easily manufactured by a thermoforming method, it is advantageous for large-area production, and there is an effect of reducing the manufacturing cost because mass production is easy.

본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.
도 1은 종래의 압력 센싱 장치에서 대면적을 구현하기 위한 방식의 예를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 센싱을 위한 압력 센싱 장치의 개략적인 구성을 나타낸다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 센싱을 위한 압력 센싱 장치에서 열성형 방식으로 성형된 압력 센싱층의 구현 예를 나타낸다.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 센싱을 위한 압력 센싱 장치의 작용 방식을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 센싱을 위한 압력 센싱 장치의 초기 저항값을 비교하기 위한 도면이다.In order to more fully understand the drawings recited in the Detailed Description of the Invention, a brief description of each drawing is provided.
1 shows an example of a method for implementing a large area in a conventional pressure sensing device.
2 shows a schematic configuration of a pressure sensing device for sensing a large area according to an embodiment of the present invention.
3 shows an embodiment of a pressure sensing layer formed by a thermoforming method in a pressure sensing device for sensing a large area according to an embodiment of the present invention.
4 to 6 are diagrams for explaining an operation method of a pressure sensing device for sensing a large area according to an embodiment of the present invention.
7 is a diagram for comparing initial resistance values of a pressure sensing device for large-area sensing according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Since the present invention can apply various transformations and can have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known technology may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise.

본 명세서에 있어서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In the present specification, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that the features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification exist, and one or more other It is to be understood that this does not preclude the possibility of addition or presence of features or numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 센싱을 위한 압력 센싱 장치의 개략적인 구성을 나타낸다.2 shows a schematic configuration of a pressure sensing device for sensing a large area according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 센싱을 위한 압력 센싱 장치(100, 이하, 압력 센싱 장치라 함)은 소정의 간격을 두고 서로 마주보도록 배치되는 제1전극(110)과 제2전극(120), 및 상기 제1전극(110)과 상기 제2전극(120) 사이에 배치되는 압력 센싱층(130)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2 , a pressure sensing device 100 (hereinafter, referred to as a pressure sensing device) for sensing a large area according to an embodiment of the present invention includes a first electrode 110 disposed to face each other at a predetermined interval and It may include a second electrode 120 and a pressure sensing layer 130 disposed between the first electrode 110 and the second electrode 120 .

상기 압력 센싱층(130)은 상기 압력 센싱 장치(100)에 압력이 가해지지 않는 경우, 양면이 각각 일부만 상기 제1전극(110) 및 상기 제2전극(120)에 접촉 상태를 유지할 수 있다.When no pressure is applied to the pressure sensing device 100 , both sides of the pressure sensing layer 130 may maintain contact with the first electrode 110 and the second electrode 120 .

그리고 상기 압력 센싱 장치(100)에 압력이 가해지는 경우, 압력이 가해지는 부위를 중심으로 소정 범위에서 상기 압력 센싱층(130)의 양면이 상기 제1전극(110) 및 상기 제2전극(120)에 모두 접촉되어 압력이 감지될 수 있다.And when pressure is applied to the pressure sensing device 100 , both sides of the pressure sensing layer 130 have the first electrode 110 and the second electrode 120 in a predetermined range centered on the portion to which the pressure is applied. ) and the pressure can be sensed.

또한 상기 압력 센싱 장치(100)는 상기 제1전극(110), 상기 제2전극(120) 및 상기 압력 센싱층(130)의 접촉을 통해 흐르는 전류 및/또는 상기 압력 센싱층(130)의 변형에 의한 저항변화를 감지하여 압력을 센싱하는 제어부(미도시)를 포함할 수 있다. 구현 예에 따라, 상기 제어부(미도시)는 상기 압력 센싱 장치(100) 상의 위치정보에 따라 압력이 가해지는 위치를 특정할 수 있다.In addition, the pressure sensing device 100 includes a current flowing through the contact between the first electrode 110 , the second electrode 120 , and the pressure sensing layer 130 and/or deformation of the pressure sensing layer 130 . It may include a control unit (not shown) for sensing the pressure by sensing a change in resistance. According to an embodiment, the control unit (not shown) may specify a position to which pressure is applied according to position information on the pressure sensing device 100 .

일 실시 예에 의하면, 상기 압력 센싱층(130)은 압력이 가해지지 않은 상태에서, 상기 제1전극(110) 및/또는 상기 제2전극(120)에 접촉되는 부분과 접촉되지 않은 부분이 균일한 간격을 가지도록 형성될 수 있다.According to an embodiment, in the pressure sensing layer 130 , in a state where no pressure is applied, a portion in contact with the first electrode 110 and/or the second electrode 120 and a portion not in contact are uniform. It may be formed to have one interval.

예를 들면, 상기 압력 센싱층(130)은 요철 형상을 가지도록 형성될 수 있다. 이러한 예가 도 3에 도시된다.For example, the pressure sensing layer 130 may be formed to have an uneven shape. An example of this is shown in FIG. 3 .

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 센싱을 위한 압력 센싱 장치에서 열성형 방식으로 성형된 압력 센싱층의 구현 예를 나타낸다.3 shows an embodiment of a pressure sensing layer formed by a thermoforming method in a pressure sensing device for sensing a large area according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 의한 상기 압력 센싱층(130)은 도면에 도시된 바와 같이 단면이 요철 형상을 가지도록 형성될 수 있다. 이러한 경우, 상기 압력 센싱층(130)은 플라스틱 재질로 형성되거나 플라스틱 재질을 포함하는 재질로 형성될 수 있다. 그리고 상기 압력 센싱층(130)은 열성형 공법을 통해 요철 형상으로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3 , the pressure sensing layer 130 according to an embodiment of the present invention may be formed to have a concave-convex cross-section as shown in the drawing. In this case, the pressure sensing layer 130 may be formed of a plastic material or a material including a plastic material. In addition, the pressure sensing layer 130 may be formed in a concave-convex shape through a thermoforming method.

이에 따라 단면이 요철 형상인 상기 압력 센싱층(130)은 압력이 가해지지 않는 경우 요철에 따라 상기 제1전극(110) 및/또는 상기 제2전극(120)에 일부만 접촉 상태가 유지되고, 압력이 가해지는 경우 요철 형상이 평면으로 변형되면서 상기 제1전극(110) 및/또는 상기 제2전극(120)과 모두 접촉되도록 구현될 수 있다. 이를 위해, 상기 압력 센싱층(130)은 소정의 탄성력을 가지도록 형성되는 것이 바람직할 수 있다.Accordingly, when pressure is not applied to the pressure sensing layer 130 having a concave-convex cross-section, only a portion of the pressure sensing layer 130 is kept in contact with the first electrode 110 and/or the second electrode 120 according to the concavities and convexities. When this is applied, the concavo-convex shape may be deformed to a flat surface, and both the first electrode 110 and/or the second electrode 120 may be in contact with each other. To this end, the pressure sensing layer 130 may be formed to have a predetermined elastic force.

도 4 내지 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 센싱을 위한 압력 센싱 장치의 작용 방식을 설명하기 위한 도면이다.4 to 6 are diagrams for explaining an operation method of a pressure sensing device for sensing a large area according to an embodiment of the present invention.

먼저 도 4를 참조하면, 단면이 요철 형상을 가지도록 형성된 상기 압력 센싱층(130)의 양면으로 상기 제1전극(110)과 상기 제2전극(120)기 배치되어, 상기 압력 센싱층(130)의 일부만이 상기 제1전극(110) 및/또는 상기 제2전극(120)과 접촉상태를 유지함을 알 수 있다.First, referring to FIG. 4 , the first electrode 110 and the second electrode 120 are disposed on both sides of the pressure sensing layer 130 formed to have a concave-convex cross-section, so that the pressure sensing layer 130 is disposed. ), it can be seen that only a portion of the first electrode 110 and/or the second electrode 120 maintains a contact state.

그리고 도 5에 도시된 바와 같이 압력이 가해지는 경우, 압력이 가해지는 부위를 중심으로 소정 범위의 상기 압력 센싱층(130)이 눌리면서 평면 형상으로 변형되고, 상기 소정 범위 내에서 상기 압력 센싱층(130)의 양면이 모두 상기 제1전극(110) 및/또는 상기 제2전극(120)과 접촉되면서 접촉 면적이 증가될 수 있다. And when pressure is applied as shown in FIG. 5, the pressure sensing layer 130 in a predetermined range is pressed and deformed into a planar shape centered on the portion to which the pressure is applied, and within the predetermined range, the pressure sensing layer ( As both surfaces of 130 are in contact with the first electrode 110 and/or the second electrode 120 , a contact area may be increased.

전술한 바와 같이 상기 압력 센싱층(130)은 압력에 따라 저항이 감소할 수 있는 압저항 물질일 수 있으며, 도 6에 도시된 바와 같이 도 5에서 설명한 압력보다 강한 압력이 가해지게 되면 저항이 보다 감소하게 되면서 저항의 변화 및/또는 저항 변화에 따른 전류 변화를 통해 상기 제어부(미도시)가 압력의 세기를 감지할 수 있다.As described above, the pressure sensing layer 130 may be a piezoresistive material capable of reducing resistance according to pressure, and as shown in FIG. 6 , when a pressure stronger than the pressure described in FIG. 5 is applied, the resistance becomes more As it decreases, the control unit (not shown) may sense the intensity of the pressure through a change in resistance and/or a change in current according to the change in resistance.

이후 상기 압력 센싱 장치(100)에 가해지던 압력이 해제되면, 상기 압력 센싱층(130)은 도 5와 같이 다시 요철 형상으로 복원되면서 압력의 감소/해제를 감지할 수 있게 된다.Thereafter, when the pressure applied to the pressure sensing device 100 is released, the pressure sensing layer 130 is restored to a concave-convex shape as shown in FIG.

도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 센싱을 위한 압력 센싱 장치의 초기 저항값을 비교하기 위한 도면이다.7 is a diagram for comparing initial resistance values of a pressure sensing device for large-area sensing according to an embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 종래의 압력 센서의 테스트 결과와 본 발명의 실시 예에 따른 압력 센싱 장치(100)의 테스트 결과가 나타나 있다. 본 테스트에는 압력 센서와 압력 센싱 장치(100)가 약 5㎝ * 5㎝의 면적에 약 1㎜의 두께를 가지도록 하여 시행되었다.Referring to FIG. 7 , a test result of a conventional pressure sensor and a test result of the pressure sensing device 100 according to an embodiment of the present invention are shown. This test was conducted so that the pressure sensor and the pressure sensing device 100 had a thickness of about 1 mm in an area of about 5 cm * 5 cm.

먼저 도 7a는 종래의 압력 센서에 대한 테스트로, 압력 센싱층(130)에 종래의 일반적인 2D 필름(bare 필름)이 사용된 경우 압력에 따른 저항 변화를 그래프로 나타낸다. 이러한 경우, 5kPa 이하에서는 저항의 변화가 빠르게 일어나지만, 그 이후에는 저항 변화가 매우 미미하거나 변화하지 않는 것을 확인할 수 있다. 또한, 저항의 범위 역시 상대적으로 매우 낮은 범위(약 600Ω ~ 500Ω)에서만 변화하는 것이 확인된다.First, FIG. 7A is a test for a conventional pressure sensor, and when a conventional 2D film (bare film) is used for the pressure sensing layer 130 , the resistance change according to pressure is shown as a graph. In this case, it can be seen that the change in resistance occurs rapidly at 5 kPa or less, but the change in resistance is very small or does not change after that. In addition, it is confirmed that the range of resistance also changes only in a relatively very low range (about 600Ω to 500Ω).

이에 비해 도 7b에 도시된 본 발명의 기술적 사상에 따른 압력 센싱 장치(100)의 경우, 전체적인 그래프의 형태가 도 7a에서 설명한 종래의 압력 센서와 유사한 형태를 그리지만, 전술한 본 발명의 압력 센싱층(130)의 구조적인 특성으로 인해, 초기 전극과 압력 센싱층(130) 간의 접촉이 상대적으로 적어 종래의 압력 센서에 비해 상대적으로 매우 높은 저항이 측정(6*10^8Ω)됨을 볼 수 있다. 그리고 이후 압력에 따라 저항이 약 4*10^4Ω까지 서서히 감소하는 것을 확인할 수 있다.In contrast, in the case of the pressure sensing device 100 according to the technical idea of the present invention shown in FIG. 7B , the overall graph has a shape similar to that of the conventional pressure sensor described with reference to FIG. 7A , but the pressure sensing of the present invention described above Due to the structural characteristics of the layer 130, the contact between the initial electrode and the pressure sensing layer 130 is relatively small, so it can be seen that a relatively high resistance is measured (6*10^8Ω) compared to a conventional pressure sensor. . And it can be seen that the resistance gradually decreases to about 4*10^4Ω according to the pressure thereafter.

이러한 테스트 결과를 보면, 본 발명의 기술적 사상에 따른 압력 센싱 장치(100)의 경우 종래의 일반적인 압력 센서에 비해 약 100kPa의 압력 범위에서 상대적으로 높은 민감도와 초기 저항, 선형성 및 낮은 소비전력을 가질 수 있음을 용이하게 유추할 수 있다.According to these test results, the pressure sensing device 100 according to the technical idea of the present invention may have relatively high sensitivity, initial resistance, linearity, and low power consumption in a pressure range of about 100 kPa compared to a conventional general pressure sensor. It can be easily inferred that

이러한 본 발명의 압력 센싱층(130)은 열성형 공법을 통해 용이하게 제조가 가능하며, 대면적 구현을 위해 전극에 복잡한 패턴을 형성할 필요가 없어 대량 생산에 유리하여 제조 단가를 상당히 절감할 수 있는 탁월한 효과를 가질 수 있다.The pressure sensing layer 130 of the present invention can be easily manufactured through a thermoforming method, and there is no need to form a complex pattern on the electrode to realize a large area. can have an outstanding effect.

한편 본 발명의 다른 실시 예에 의하면, 상기 압력 센싱층(130)의 형상을 요철 형상으로 변형하지 않고, 별도의 절연층을 구비함으로써 유사한 효과를 가질 수 있다.Meanwhile, according to another embodiment of the present invention, a similar effect can be obtained by providing a separate insulating layer without deforming the shape of the pressure sensing layer 130 into a concave-convex shape.

본 발명의 다른 실시 예에 따른 압력 센싱 장치(100)는 소정의 간격을 두고 마주보도록 배치되는 제1전극(110) 및 제2전극(120), 상기 제1전극(110)과 상기 제2전극(120) 사이에 배치되는 절연층, 및 상기 제2전극(120)과 상기 절연층 사이에 배치되는 압력 센싱층(130)이 포함될 수 있다.In the pressure sensing apparatus 100 according to another embodiment of the present invention, the first electrode 110 and the second electrode 120 and the first electrode 110 and the second electrode are disposed to face each other at a predetermined interval. An insulating layer disposed between 120 and a pressure sensing layer 130 disposed between the second electrode 120 and the insulating layer may be included.

이러한 경우, 상기 상기 압력 센싱층(130)은 상기 압력 센싱 장치(100)에 압력이 가해지지 않는 경우, 상기 절연층에 의해 상기 제2전극(120)과 비접촉 상태를 유지할 수 있다. In this case, when no pressure is applied to the pressure sensing device 100 , the pressure sensing layer 130 may maintain a non-contact state with the second electrode 120 by the insulating layer.

본 발명의 일 실시 예에 의하면, 상기 절연층에는 적어도 하나의 통공이 형성될 수 있다. 그리고, 압력이 가해지는 경우 상기 적어도 하나의 통공을 통해 상기 압력 센싱층(130)이 상기 제2전극(120)과 접촉함으로써, 상기 제1전극(110), 상기 제2전극(120), 및 상기 압력 센싱층(130)이 접촉하여 전류가 흐르도록 구현될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, at least one through hole may be formed in the insulating layer. And, when pressure is applied, the pressure sensing layer 130 contacts the second electrode 120 through the at least one through hole, so that the first electrode 110 , the second electrode 120 , and The pressure sensing layer 130 may come into contact with each other to allow current to flow.

본 명세서에서는 설명의 편의를 위해 상기 절연층이 상기 압력 센싱층(130)과 상기 제2전극(120) 사이에 배치된 경우를 예로 들어 설명하지만 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 전술한 바와 같이 제1, 제2의 용어는 단순히 구성요소를 구분하기 위한 것으로, 상기 제1전극(110) 및/또는 상기 제2전극(120)의 위치가 반드시 도면에 도시된 바와 같이 각각 상/하단에 고정될 필요는 없다. 따라서 상기 절연층은 도 2에 도시된 바와 같이 상기 제1전극(110) 및 상기 압력 센싱층(130) 사이에 배치될 수도 있고, 후술할 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제2전극(120)과 상기 압력 센싱층(130) 사이에 배치될 수도 있다. 또한, 필요에 따라 상기 제1전극(110)이 양극이고, 상기 제2전극(120)으로 구현될 수도 있고, 반대로 상기 제1전극(110)이 음극, 상기 제2전극(120)이 양극으로 구현될 수도 있다.In the present specification, for convenience of explanation, a case in which the insulating layer is disposed between the pressure sensing layer 130 and the second electrode 120 will be described as an example, but the present disclosure is not limited thereto. As described above, the first and second terms are simply for distinguishing the components, and the positions of the first electrode 110 and/or the second electrode 120 must be identical to each other as shown in the drawings. It doesn't have to be fixed at the bottom of /. Accordingly, the insulating layer may be disposed between the first electrode 110 and the pressure sensing layer 130 as shown in FIG. 2 , and as shown in FIGS. 4 to 6 to be described later, the second electrode It may be disposed between 120 and the pressure sensing layer 130 . In addition, if necessary, the first electrode 110 may be an anode and the second electrode 120 may be implemented. Conversely, the first electrode 110 is a cathode and the second electrode 120 is an anode. may be implemented.

한편 상기 압력 센싱 장치(100)에 압력이 가해지는 경우에는, 상기 압력 센싱층(130)의 적어도 일부가 상기 제2전극(120)과 접촉될 수 있다. 예컨대, 압력 인가 여부에 따라 상기 압력 센싱층(130)과 상기 제2전극(120)이 선택적으로 접촉될 수 있다.Meanwhile, when pressure is applied to the pressure sensing device 100 , at least a portion of the pressure sensing layer 130 may contact the second electrode 120 . For example, the pressure sensing layer 130 and the second electrode 120 may selectively contact depending on whether pressure is applied.

한편 상기 대면적 압력 센싱 장치(100)에 압력이 가해지는 경우에는, 상기 압력 센싱층(130)의 적어도 일부가 상기 제2전극(120)과 접촉될 수 있다. 예컨대, 압력 인가 여부에 따라 상기 압력 센싱층(130)과 상기 제2전극(120)이 선택적으로 접촉될 수 있다. 이러한 상기 압력 센싱층(130)과 상기 제2전극(120) 간의 접촉은 전술한 바와 같이 상기 절연층에 형성되는 적어도 하나의 통공을 통해 이루어질 수 있다.Meanwhile, when pressure is applied to the large-area pressure sensing device 100 , at least a portion of the pressure sensing layer 130 may be in contact with the second electrode 120 . For example, the pressure sensing layer 130 and the second electrode 120 may selectively contact depending on whether pressure is applied. The contact between the pressure sensing layer 130 and the second electrode 120 may be made through at least one through hole formed in the insulating layer as described above.

일 실시 예에 의하면, 상기 절연층은 복수 개의 통공이 규칙적인 배열을 가지도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 절연층(130)은 메쉬구조를 가지도록 형성될 수 있다. 이러한 경우 대면적에서의 압력을 센싱하기 보다 유리할 수 있으며, 후술할 바와 같이 대면적에서 압력이 가해지는 위치를 특정하기에도 보다 유리할 수 있다.According to an embodiment, the insulating layer may be formed to have a plurality of through-holes in a regular arrangement. For example, the insulating layer 130 may be formed to have a mesh structure. In this case, it may be more advantageous to sense the pressure in a large area, and as will be described later, it may be more advantageous to specify a position where the pressure is applied in a large area.

예를 들어, 상기 제어부(미도시)는 상기 절연층(140)에 형성된 복수 개의 통공들 각각에 상응하는 위치정보를 저장하고 있을 수 있다. 예컨대 압력이 센싱되는 위치 즉, 상기 압력 센싱층(130)이 상기 전극들과 어느 위치의 통공에서 접촉하는지 여부에 기초하여 상기 대면적 압력 센싱 장치(100)에서 압력이 가해지는 위치를 특정할 수 있다. For example, the controller (not shown) may store location information corresponding to each of the plurality of through holes formed in the insulating layer 140 . For example, a position at which pressure is applied in the large-area pressure sensing device 100 can be specified based on a position where pressure is sensed, that is, whether the pressure sensing layer 130 is in contact with the electrodes and a hole at which position. have.

한편 상기 압력 센싱층(130)은 소정의 탄성력을 가지도록 형성되는 것이 바람직할 수 있다. 이처럼 상기 압력 센싱층(130)이 탄성력을 가지게 되면 압력이 가해지는 경우, 상기 절연층에 형성된 통공을 통해 상기 압력 센싱층(130)이 휘어지며 상기 제2전극(120)과 접촉할 수 있고, 압력이 해제되는 경우에는 다시 원래 형상으로 복원되면서 상기 압력 센싱층(130)과 상기 제2전극(120) 간의 접촉이 해제될 수 있다.Meanwhile, the pressure sensing layer 130 may be formed to have a predetermined elastic force. As such, when the pressure sensing layer 130 has elastic force, when pressure is applied, the pressure sensing layer 130 is bent through the through hole formed in the insulating layer, and can be in contact with the second electrode 120, When the pressure is released, the contact between the pressure sensing layer 130 and the second electrode 120 may be released while the original shape is restored again.

이와 같은 본 발명의 기술적 사상에 의하면 압력이 인가되기 전인 초기에는 상기 압력 센싱층(130)이 어느 하나의 전극(예컨대, 제2전극(120))과 접촉이 전혀 이루어지지 않기 때문에, 소모전력을 크게 낮출 수 있으면서 저항값의 범위 역시 크게 증가하여 압력 측정 시 발생하는 개별 셀 간의 상호간섭 문게가 상당히 개선될 수 있는 유리한 효과를 가질 수 있다.According to the technical idea of the present invention, since the pressure sensing layer 130 does not come into contact with any one electrode (eg, the second electrode 120) in the initial stage before pressure is applied, power consumption is reduced. While it can be significantly lowered, the range of the resistance value is also greatly increased, so it can have an advantageous effect that the interference threshold between individual cells generated during pressure measurement can be significantly improved.

본 발명의 실시 예에 따른 대면적 압력 센싱을 위한 압력 센싱 방법은 컴퓨터가 읽을 수 있는 프로그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체에 저장될 수 있으며, 본 발명의 실시 예에 따른 제어 프로그램 및 대상 프로그램도 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체에 저장될 수 있다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록 매체는 컴퓨터 시스템에 의하여 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록 장치를 포함한다.The pressure sensing method for large-area pressure sensing according to an embodiment of the present invention may be implemented in the form of a computer-readable program command and stored in a computer-readable recording medium, and the control program according to the embodiment of the present invention and the target program may also be stored in a computer-readable recording medium. The computer-readable recording medium includes all types of recording devices in which data readable by a computer system is stored.

기록 매체에 기록되는 프로그램 명령은 본 발명을 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 소프트웨어 분야 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다.The program instructions recorded on the recording medium may be specially designed and configured for the present invention, or may be known and available to those skilled in the software field.

컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CD-ROM, DVD와 같은 광기록 매체(optical media), 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magnetro-optical media) 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 또한 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템에 분산되어, 분산 방식으로 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드가 저장되고 실행될 수 있다.Examples of the computer-readable recording medium include magnetic media such as hard disks, floppy disks and magnetic tapes, optical recording media such as CD-ROMs and DVDs, and floppy disks. hardware devices specially configured to store and execute program instructions, such as magnetro-optical media and ROM, RAM, flash memory, and the like. In addition, the computer-readable recording medium is distributed in a computer system connected to a network, so that the computer-readable code can be stored and executed in a distributed manner.

프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 전자적으로 정보를 처리하는 장치, 예를 들어, 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다.Examples of the program instruction include not only machine code such as generated by a compiler, but also a device for electronically processing information using an interpreter or the like, for example, a high-level language code that can be executed by a computer.

상술한 하드웨어 장치는 본 발명의 동작을 수행하기 위해 하나 이상의 소프트웨어 모듈로써 작동하도록 구성될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.The hardware devices described above may be configured to operate as one or more software modules to perform the operations of the present invention, and vice versa.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The foregoing description of the present invention is for illustration, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can understand that it can be easily modified into other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. will be. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive. For example, each component described as a single type may be implemented in a distributed manner, and likewise components described as distributed may be implemented in a combined form.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타나며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the following claims rather than the above detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention. .

Claims (5)

소정의 간격을 두고 마주보도록 배치되는 제1전극 및 제2전극;
상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에 배치되는 압력 센싱층; 및
상기 제1전극, 상기 제2전극 및 상기 압력 센싱층의 접촉 또는 상기 압력 센싱층의 변형에 의해, 전류 또는 저항변화를 감지하여 압력을 센싱하는 제어부를 포함하며,
상기 압력 센싱층은,
압력이 가해지지 않는 경우, 양면의 각각 일부만 상기 제1전극 및 상기 제2전극에 접촉 상태를 유지하며,
압력이 가해지는 경우, 압력이 가해지는 부위를 중심으로 소정 범위에서 양면에 각각 상기 제1전극 및 상기 제2전극에 모두 접촉될 수 있는 것을 특징으로 하는 대면적 압력 센싱을 위한 압력 센싱 장치.
a first electrode and a second electrode disposed to face each other at a predetermined distance;
a pressure sensing layer disposed between the first electrode and the second electrode; and
a control unit configured to sense a pressure by sensing a change in current or resistance by contact of the first electrode, the second electrode, and the pressure sensing layer or deformation of the pressure sensing layer;
The pressure sensing layer,
When no pressure is applied, only a portion of each of both surfaces maintains a contact state with the first electrode and the second electrode,
When pressure is applied, a pressure sensing device for large-area pressure sensing, characterized in that both the first electrode and the second electrode can be in contact with each other on both sides within a predetermined range around a portion to which the pressure is applied.
 제1항에 있어서, 상기 압력 센싱층은,
압력이 가해지지 않는 경우, 상기 제1전극 및 상기 제2전극과 접촉 상태를 유지하는 접점이 균일한 간격을 가지는 것을 특징으로 하는 대면적 압력 센싱을 위한 압력 센싱 장치.
According to claim 1, wherein the pressure sensing layer,
When no pressure is applied, a pressure sensing device for large-area pressure sensing, characterized in that the contact points maintaining a contact state with the first electrode and the second electrode have uniform intervals.
 제1항에 있어서, 상기 압력 센싱층은,
단면이 요철 형상을 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적 압력 센싱을 위한 압력 센싱 장치.
According to claim 1, wherein the pressure sensing layer,
A pressure sensing device for large-area pressure sensing, characterized in that the cross-section is formed to have an uneven shape.
 제1항에 있어서, 상기 제어부는,
상기 압력 센싱층 중 저항변화 또는 전류변화가 감지되는 위치를 압력이 가해지는 센싱 위치로 특정하는 것을 특징으로 하는 대면적 압력 센싱을 위한 압력 센싱 장치.
According to claim 1, wherein the control unit,
A pressure sensing device for large area pressure sensing, characterized in that a position where a change in resistance or a change in current is sensed in the pressure sensing layer is specified as a sensing position to which pressure is applied.
 대면적 압력 센싱을 위한 압력 센싱 방법에 있어서,
대면적 압력 센싱을 위한 압력 센싱 장치가 제1전극, 제2전극 및 압력 센싱층의 접촉으로 인한 전류를 감지하는 단계; 및
상기 대면적 압력 센싱을 위한 압력 센싱 장치가 상기 압력 센싱층의 저항변화 또는 상기 저항변화로 인한 전류변화에 기초하여 압력을 센싱하는 단계를 포함하며,
상기 대면적 압력 센싱을 위한 압력 센싱 장치는,
압력이 가해지지 않는 경우, 상기 압력 센싱층의 양면의 각각 일부만 상기 제1전극 및 상기 제2전극에 접촉 상태를 유지하며,
압력이 가해지는 경우, 압력이 가해지는 부위를 중심으로 소정 범위에서 양면에 각각 상기 제1전극 및 상기 제2전극에 모두 접촉될 수 있는 것을 특징으로 하는 대면적 압력 센싱을 위한 압력 센싱 방법.


In the pressure sensing method for large area pressure sensing,
detecting, by a pressure sensing device for large-area pressure sensing, a current due to contact between the first electrode, the second electrode, and the pressure sensing layer; and
and sensing, by the pressure sensing device for the large-area pressure sensing, the pressure based on a change in resistance of the pressure sensing layer or a change in current due to the change in resistance,
The pressure sensing device for sensing the large area pressure,
When no pressure is applied, only a portion of each of both surfaces of the pressure sensing layer maintains a contact state with the first electrode and the second electrode,
When pressure is applied, the pressure sensing method for large-area pressure sensing, characterized in that both the first electrode and the second electrode can be in contact with each other on both sides in a predetermined range based on a portion to which the pressure is applied.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180036473A (en) 2016-09-30 2018-04-09 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 Organic electroluminescent material and organic electroluminescent device comprising the same

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102081892B1 (en) * 2013-09-05 2020-02-26 삼성전자주식회사 Resistive pressure sensor including piezo-resistive electrode
KR101742240B1 (en) * 2015-08-31 2017-06-01 숭실대학교산학협력단 Tactile sensor and method for manufacturing the same
TWI593943B (en) * 2015-10-19 2017-08-01 國立清華大學 A tunable sensing device
KR102308301B1 (en) * 2017-04-20 2021-10-05 엘지이노텍 주식회사 Pressure sensing sensor and pressure sensing apparatus comprising the same
KR102035687B1 (en) * 2018-03-21 2019-10-23 중앙대학교 산학협력단 Pressure Sensor And The Manufacturing Method Of The Same

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180036473A (en) 2016-09-30 2018-04-09 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 Organic electroluminescent material and organic electroluminescent device comprising the same

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