KR20220108500A - 리테이너링 및 이를 포함하는 기판 연마 장치 - Google Patents

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KR20220108500A
KR20220108500A KR1020210011570A KR20210011570A KR20220108500A KR 20220108500 A KR20220108500 A KR 20220108500A KR 1020210011570 A KR1020210011570 A KR 1020210011570A KR 20210011570 A KR20210011570 A KR 20210011570A KR 20220108500 A KR20220108500 A KR 20220108500A
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outer circumferential
circumferential surface
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polishing
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신인철
김현오
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

일 실시예에 따른 리테이너링은, 고리 형상으로 형성되는 상부파트 및 상기 상부파트의 내측과 결합하는 수직 바디와, 상기 상부파트의 하측과 결합하여 상기 수직 바디와 연결되는 수평 바디를 포함하는 하부파트를 포함하고, 상기 수평 바디는, 상기 상부파트의 외주면에서 연장되는 면을 형성하는 제1하부 외주면 및 상기 제1하부 외주면과 단차지도록 상기 제1하부 외주면의 하측에 연결되는 제2하부 외주면을 포함할 수 있다.

Description

리테이너링 및 이를 포함하는 기판 연마 장치{RETAINER RING AND SUBSTRATE POLISHING APPRATUS COMPRISING THE SAME}
아래의 실시 예는 리테이너링 및 이를 포함하는 기판 연마 장치에 관한 것이다.
반도체소자의 제조에는, 연마와 버핑(buffing) 및 세정을 포함하는 CMP(chemical mechanical polishing) 작업이 필요하다. 반도체 소자는, 다층 구조의 형태로 되어 있으며, 기판층에는 확산영역을 갖춘 트랜지스터 소자가 형성된다. 기판층에서, 연결금속선이 패턴화되고 기능성 소자를 형성하는 트랜지스터 소자에 전기 연결된다. 공지된 바와 같이, 패턴화된 전도층은 이산화규소와 같은 절연재로 다른 전도층과 절연된다. 더 많은 금속층과 이에 연관된 절연층이 형성되므로, 절연재를 편평하게 할 필요성이 증가한다. 편평화가 되지 않으면, 표면형태에서의 많은 변동 때문에 추가적인 금속층의 제조가 실질적으로 더욱 어려워진다. 또한, 금속선패턴은 절연재로 형성되어, 금속 CMP 작업이 과잉금속물을 제거하게 된다.
CMP 공정은 기판의 표면을 연마 패드를 통해 물리적으로 마모시키는 과정을 포함하게 된다. 이러한 공정은, 기판 캐리어를 통해 기판을 파지한 상태로 기판을 연마헤드에 가압하는 방식으로 수행된다. 일반적으로, 연마 패드는 탄성을 가지므로 연마 과정에서 기판에 가해지는 압박력이 불균일하여 기판이 캐리어 헤드로부터 이탈하는 현상이 발생하게 된다. 따라서, 기판 캐리어는 기판의 엣지 영역을 지지하는 리테이너링을 구비하게 된다.
한편, 리테이너링은 기판의 연마 과정에서 연마 패드와 접촉하며 마모되기 때문에 연마과정이 진행될수록 표면의 평탄도가 불균일해지는 현상이 발생하게 된다. 이에, 리테이너링을 상부 파트 및 하부 파트로 구성하고, 마모가 이루어지는 하부 파트를 교체해가며 사용하는 방안이 도입되고 있다. 다만, 이와 같은 구조의 경우, 연마 패드와의 마찰에 의하여 하부 파트가 상부 파트로부터 이탈하는 현상이 발생한다는 문제가 있었다. 또한, 하부 파트를 교체하여 가공하는 과정에서, 하부 파트의 가공이 어렵고 재사용되는 상부 파트가 손상되는 문제가 있었다. 따라서, 하부 파트의 이탈을 방지할 수 있도록 하부 파트를 상부 파트에 안정적으로 체결할 수 있는 구조를 가지면서도 하부 파트의 교체가 용이한 리테이너링이 요구되는 실정이다.
전술한 배경기술은 발명자가 본원의 개시 내용을 도출하는 과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.
일 실시 예의 목적은, 구조적 특징을 통해 하부 파트의 가공을 용이하게 하고 교체시 상부 파트의 손상을 방지하는 기판 연마 장치를 제공하는 것이다.
일 실시 예의 목적은, 상부 파트 및 하부 파트의 재질을 상이하게 구성하여 상부파트의 재사용율을 높이고 하부 파트의 가공성 및 교체 용이성을 높이는 기판 연마 장치를 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 리테이너링은, 고리 형상으로 형성되는 상부파트 및 상기 상부파트의 내측과 결합하는 수직 바디와, 상기 상부파트의 하측과 결합하여 상기 수직 바디와 연결되는 수평 바디를 포함하는 하부파트를 포함하고, 상기 수평 바디는, 상기 상부파트의 외주면에서 연장되는 면을 형성하는 제1하부 외주면 및 상기 제1하부 외주면과 단차지도록 상기 제1하부 외주면의 하측에 연결되는 제2하부 외주면을 포함할 수 있다.
상기 제2하부 외주면의 직경은 상기 제1하부 외주면의 직경보다 작을 수 있다.
상기 수직 바디는, 상면에 함몰 형성되는 제1홈 및 상기 제1홈과 단차지도록 연결되어 함몰 형성되는 제2홈을 포함할 수 있다.
상기 제1홈은 상기 제2홈보다 더 깊게 함몰 형성될 수 있다.
상기 상부파트는, 상기 제1하부 외주면에서 연장되는 면을 형성하는 제1상부 외주면 및 상기 제1상부 외주면과 경사지도록 상기 제1상부 외주면의 상측에 연결되는 제2상부 외주면을 포함할 수 있다.
상기 제1상부 외주면의 직경은 상기 제2상부 외주면의 직경보다 작을 수 있다.
상기 상부파트는 상면 내측에서 하측방향으로 단차지는 상부 단차면을 포함하고, 상기 수직 바디는 상면 외측에서 하측방향으로 단차지는 하부 단차면을 포함할 수 있다.
상기 상부 단차면과 상기 하부 단차면은 동일 평면 상에 위치할 수 있다.
상기 수직 바디의 상면보다 상기 상부파트의 상면이 더 높은 곳에 위치할 수 있다.
상기 상부 파트 및 하부 파트는 서로 상이한 재질을 포함할 수 있다.
상기 하부 파트는 수지 재질을 포함할 수 있다.
상기 상부 파트는 금속 재질을 포함할 수 있다.
상기 상부 파트 및 하부 파트는 압착을 통해 접합될 수 있다.
일 실시 예에 따른 기판 연마 장치는, 구조적 특징을 통해 하부 파트의 가공을 용이하게 하고 교체시 상부 파트의 손상을 방지할 수 있다.
일 실시 예에 따른 기판 연마 장치는, 상부 파트 및 하부 파트의 재질을 상이하게 구성하여 상부파트의 재사용율을 높이고 하부 파트의 가공성 및 교체 용이성을 높일 수 있다.
도 1은 일 실시 예에 다른 기판 연마 장치의 모식도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 기판 캐리어의 단면도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 리테이너링의 측면 단면도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 리테이너링의 측면 단면도이다.
도 5는 일 실시 예에 따른 리테이너링의 측면 단면도이다.
이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들을 상세하게 설명한다. 그러나, 실시예들에는 다양한 변경이 가해질 수 있어서 특허출원의 권리 범위가 이러한 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 실시예들에 대한 모든 변경, 균등물 내지 대체물이 권리 범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.
실시예에서 사용한 용어는 단지 설명을 목적으로 사용된 것으로, 한정하려는 의도로 해석되어서는 안된다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 실시예의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시 예에 따른 기판 연마 장치의 모식도이다. 도 2는 일 실시 예에 따른 기판 캐리어의 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 일 실시 예에 따른 기판 연마 장치(1)는 기판(W)의 CMP 공정에 사용될 수 있다.
기판(W)은 반도체 장치(semiconductor) 제조용 실리콘 웨이퍼(silicon wafer)일 수 있다. 그러나, 기판(W)의 종류가 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 기판(W)은 LCD(liquid crystal display), PDP(plasma display panel)과 같은 평판 디스플레이 장치(flat panel display device, FPD)용 글라스를 포함할 수도 있다.
기판 연마 장치(1)는 기판(W)을 연마할 수 있다. 기판 연마 장치(1)는 기판 캐리어(10) 및 연마 유닛(U)을 포함할 수 있다.
연마 유닛(U)은 기판(W)의 피연마면을 연마할 수 있다. 연마 유닛(U)은 연마 정반(T) 및 연마 패드(P)를 포함할 수 있다.
연마 정반(T)에는 연마 패드(P)가 연결될 수 있다. 예를 들어, 연마 정반(T)의 상부에 연마 패드(P)가 부착될 수 있다. 연마 정반(T)은 축을 중심으로 회전하면서 연마 패드(P)에 접촉한 기판(W)의 피연마면을 오비탈(orbital) 방식으로 연마할 수 있다. 연마 정반(T)은 상하 방향으로 움직이면서 지면에 대한 연마 패드(P)의 위치를 조절할 수 있다. 연마 패드(P)는 기판(W)의 피연마면에 접촉되어, 기판(W)의 피연마면을 물리적으로 마모시킬 수 있다. 연마 패드(P)는 폴리우레탄(polyurethane) 재질을 포함할 수 있다.
도 2를 참조하면, 기판 캐리어(10)는 기판(W)을 파지할 수 있다. 기판 캐리어(10)는 연마 대상 기판(W)을 척킹하여 파지하고, 파지된 기판(W)을 연마 패드(P)의 상부로 이동시킬 수 있다. 기판 캐리어(10)는 연마 패드의 상부로 이송된 기판(W)을 연마 패드(P)에 접촉시킴으로써 기판(W)의 연마를 수행할 수 있다. 기판 캐리어(10)는 연마 패드(P)에 접촉된 기판(W)을 가압함으로써, 기판(W) 및 연마 패드(P) 사이의 마찰력을 조절하여 기판(W)의 연마정도를 결정할 수 있다. 기판 캐리어(10)는 캐리어 헤드(11), 멤브레인(12) 및 리테이너링(13)을 포함할 수 있다.
캐리어 헤드(11)는 기판(W)의 위치를 조절할 수 있다. 캐리어 헤드(11)는 외부로부터 동력을 전달받고, 연마 패드(P) 면에 수직한 축을 중심으로 회전할 수 있다. 캐리어 헤드(11)의 회전에 따라 파지된 기판(W)은 연마 패드(P)에 접촉한 상태로 회전하면서 연마될 수 있다.
캐리어 헤드(11)는 기판(W)을 수평으로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 캐리어 헤드(11)는 연마 패드(P) 면에 평행한 제1방향 및 제1방향에 수직한 제2방향으로 병진 운동할 수 있다. 제1방향 및 제2방향으로의 복합적인 움직임을 통해, 캐리어 헤드(11)는 기판(W)을 연마 패드(P) 면에 평행한 평면상에서 이동시킬 수 있다. 결과적으로, 캐리어 헤드(11)의 수평 이동에 따라 기판(W)은 연마 위치로 이송되거나, 연마 위치로부터 제거될 수 있다.
캐리어 헤드(11)는 기판(W)을 지면에 대해 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 캐리어 헤드(11)는 기판(W)의 척킹/디척킹을 위해 기판(W) 지지부에 대해 상하방향으로 움직이거나, 기판(W)의 연마를 위해 연마 패드(P)에 대해 상하 방향으로 움직일 수 있다.
멤브레인(12)은 캐리어 헤드(11)에 연결되고 기판(W)에 압력을 작용하기 위한 압력 챔버(C)를 형성할 수 있다. 멤브레인(12)이 형성하는 압력 챔버(C)의 압력 변동에 따라, 기판(W)에 작용하는 압력이 조절될 수 있다. 예를 들어, 기판(W)이 연마 패드(P)에 접촉한 상태에서 압력 챔버(C)의 압력 상승을 통해 기판(W)이 연마 패드(P)에 가압되는 정도가 증가할 수 있다. 멤브레인(12)은 압력 챔버(C)의 바닥면을 형성하는 바닥판과, 압력 챔버(C)의 측벽을 형성하는 플랩을 포함할 수 있다. 플랩은 바닥판의 중심을 기준으로 서로 다른 반지름을 가지도록 복수개가 형성될 수 있으며, 인접한 플랩 사이의 공간별로 각각의 압력 챔버(C)가 형성될 수 있다. 상기 압력 챔버(C)에는 서로 다른 압력이 인가될 수 있으며, 각 압력 챔버(C)에 인가되는 압력에 따라 각 압력 챔버(C)에 대응하는 기판(W) 부위가 국부적으로 가압될 수 있다.
도 3은 일 실시 예에 따른 리테이너링의 측면 단면도이다. 도 3은 리테이너링의 하면이 상측을 향하도록 배치된 단면도이다.
도 3을 참조하면, 리테이너링(13)은 파지된 기판(W)의 둘레를 감싸도록 캐리어 헤드(11)에 연결될 수 있다. 리테이너링(13)은 기판(W)이 파지된 위치로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다. 예를 들어, 리테이너링(13)은 기판(W) 연마 과정중 발생하는 진동으로 인해 기판(W)이 기판 캐리어(10)로부터 이탈하지 않도록, 기판(W)의 측면을 지지할 수 있다.
리테이너링(13)은 캐리어 헤드(11)에 직접 연결되거나, 별도의 연결부재를 통해 간접적으로 연결될 수 있다. 리테이너링(13)은 예를 들어, 별도의 액추에이터를 통해 기판 캐리어(10)에 대해 상하방향으로 움직이도록 캐리어 헤드(11)에 연결될 수 있다.
리테이너링은 상부 파트(131) 및 하부 파트(132)를 포함할 수 있다.
상부 파트(131)는 고리 형상으로 형성될 수 있다. 상부 파트(131)는 금속 재질을 포함할 수 있다. 따라서, 이와 같은 재질에 의하면, 리테이너링은 기판(W)의 처킹 및 연마에 따른 흔들림을 방지할 수 있고, 기판(W) 가공 과정에서 상부 파트(131)의 손상 및 마모 현상이 감소되어 상부 파트(131)의 재사용율을 높일 수 있다.
하부 파트(132)는 상부 파트(131)의 하측에 연결될 수 있다. 예를 들어, 하부 파트(132)는 고리 형상을 포함하고, 하부 파트(132) 및 상부 파트(131)는 압착을 통해 접합될 수 있다. 구체적으로, 하부 파트(132) 및 상부 파트(131)는 접촉면에 접착제가 도포되고 압착되어 접합될 수 있다. 하부 파트(132)는 연마패드(P)와 접촉하여 마모되므로, 주기적인 교체를 필요로 할 수 있다.
하부 파트(132) 및 상부 파트(131)는 서로 상이한 재질을 포함할 수 있다. 하부 파트(132)는 탄성 변형 가능한 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 하부 파트(132)는 엔지니어링 플라스틱 재질을 포함할 수 있다. 구체적으로, 하부 파트(132)는 수지 재질을 포함할 수 있다. 이와 같은 재질에 의하면, 기판(W) 연마 과정에서 마모된 하부 파트(132)는 보다 용이하게 교체되고 가공될 수 있다.
하부 파트(132)는 상부 파트(131)의 내측과 하측을 감싸도록 상부 파트(131)와 결합할 수 있다. 구체적으로, 하부 파트(132)는 상부 파트(131)의 내측과 결합하는 수직 바디(1320)를 포함하고, 상부 파트(131)의 하측과 결합하여 수직 바디(1320)와 연결되는 수평 바디(1321)를 포함할 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 기판(W)의 연마 과정에서, 하부 파트(132)는 상부 파트(131)의 내측에 체결된 상태로 상부 파트(131)와 결합되므로, 하부 파트(132)가 상부 파트(131)로부터 이탈되는 현상이 보다 방지될 수 있다.
하부 파트(132)의 수직 바디(1320)는 지면과 수직한 형상을 포함할 수 있다. 수직 바디(1320)는 제1홈(1320a) 및 제2홈(1320b)을 포함할 수 있다.
제1홈(1320a)은 상면에 함몰 형성될 수 있다. 제2홈(1320b)은 제1홈(1320a)과 단차지도록 연결되어 함몰 형성될 수 있다. 구체적으로, 제1홈(1320a)은 제2홈(1320b)보다 하측 방향으로 함몰 형성될 수 있다. 다시 말해, 제1홈(1320a)은 제2홈(1320b)보다 더 깊게 함몰 형성될 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 하부 파트(132)가 교체되고 수직 바디(1320)가 내측에서 외측 방향으로 가공되는 경우, 상부 파트(131)에 손상을 주지 않은 상태에서 수직 바디(1320)가 가공될 수 있다.
하부 파트(132)의 수평 바디(1321)는 지면과 나란한 형상을 포함할 수 있다. 수평 바디(1321)는 제1하부 외주면(1321a) 및 제2하부 외주면(1321b)을 포함할 수 있다.
제1하부 외주면(1321a)은 상부 파트(131)의 외주면에서 연장되는 면을 형성할 수 있다. 제2하부 외주면(1321b)은 제1하부 외주면(1321a)과 단차지도록 제1하부 외주면(1321a)의 하측에 연결될 수 있다. 제2하부 외주면(1321b)의 직경은 제1하부 외주면(1321a)의 직경보다 작을 수 있다. 즉, 제1하부 외주면(1321a)은 제2하부 외주면(1321b)을 기준에서 외측 방향으로 돌출 형성될 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 하부 파트(132)를 교체하고 하부 파트(132)의 외주면을 하측에서 상측 방향으로 가공하는 과정에서, 상부 파트(131)에 손상을 주지 않은 상태에서 수평 바디(1321)가 가공될 수 있다.
이하에서는, 상이한 구조를 포함하는 다른 실시예의 리테이너링에 대해 개시한다. 앞서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략하고, 차이나는 구조를 중점으로 서술하기로 한다.
도 4는 일 실시 예에 따른 리테이너링의 측면 단면도이다. 도 4는 리테이너링의 하면이 상측을 향하도록 배치된 단면도이다.
도 4를 참조하면, 리테이너링(23)은 상부 파트(231) 및 하부 파트(232)를 포함할 수 있다.
하부 파트는 수직 바디(2320)와 수평 바디(2321)를 포함할 수 있고, 수평 바디(2321)는 제1하부 외주면(2321a)과 제2하부 외주면(2321b)을 포함할 수 있다.
상부 파트(231)는 제1상부 외주면(231a) 및 제2상부 외주면(231b)을 포함할 수 있다. 제1상부 외주면(231a) 은 제1하부 외주면(2321a)에서 연장되는 면을 형성할 수 있다. 제2상부 외주면(231b)은 제1상부 외주면(231a) 과 경사지도록 제1상부 외주면(231a)의 상측에 연결될 수 있다. 제1상부 외주면(231a)의 직경은 제2상부 외주면(231b)의 직경보다 작을 수 있다. 다시 말해, 재2상부 외주면(231b)은 제1상부 외주면(231a)을 기준으로 외측 방향으로 돌출 형성될 수 있다. 하부 파트(232)가 교체되고 하부 파트(232)의 외주면을 가공할 때, 하부 파트(232)를 하측에서 상측 방향으로 가공하고 하부 파트(232)의 측면을 상부 파트(231)의 측면과 동시에 가공하게 되는데, 상부 파트(231)의 외측면도 하부 파트(232)의 외측면과 마찬가지로 내측 방향으로 가공될 수 있다. 결과적으로, 하부 파트(232)가 교체되고 하부 파트(232)의 외주면을 가공하는 과정에서, 상부 파트(231)의 이와 같은 구조를 통해, 하부 파트(232) 및 상부 파트(231)의 가공 작업을 최적화시킬 수 있다.
이하에서는, 상이한 구조를 포함하는 다른 실시예의 리테이너링에 대해 개시한다. 앞서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략하고, 차이나는 구조를 중점으로 서술하기로 한다.
도 5는 일 실시 예에 따른 리테이너링의 측면 단면도이다. 도 5는 리테이너링의 하면이 상측을 향하도록 배치된 단면도이다.
도 5를 참조하면, 리테이너링(33)은 상부 파트(331) 및 하부 파트(332)를 포함할 수 있고, 하부 파트는 수직 바디(3320)와 수평 바디(3321)를 포함할 수 있다.
상부 파트(331)는 상면 내측에서 하측방향으로 단차지는 상부 단차면(331a)을 포함하고, 수직 바디(3320)는 상면 외측에서 하측방향으로 단차지는 하부 단차면(3320a)을 포함할 수 있다. 상부 단차면(331a)과 하부 단차면(3320a)과 서로 연결되어 동일한 면을 형성할 수 있다. 즉, 상부 단차면(331a)과 하부 단차면(3320a)은 동일 평면 상에 위치할 수 있다. 다시 말해, 상부 단차면(331a)과 하부 단차면(3320a)에 의해, 상부 파트(331)의 상측에서 하측방향으로 함몰 형성된 홈 형상이 형성될 수 있다. 이때, 상부 파트(331)의 상면은 수직 바디(3320)의 상면보다 더 높은 곳에 위치할 수 있다. 하부 파트(332)를 교체하고 가공할 때, 수직 바디(3320)를 내측에서 외측방향으로 가공하고 상측에서 하측 방향으로 가공하는 과정에서, 상부 단차면(331a)과 동일한 면을 구성하도록 하부 단차면(3320a)이 가공될 수 있다. 결과적으로, 하부 파트(332)가 교체되고 하부 파트(332)의 내주면을 가공하는 과정에서, 상부 파트(331) 및 수직 바디(3329)의 이와 같은 구조를 통해, 하부 파트(332) 및 상부 파트(331)의 가공 작업을 최적화시킬 수 있다.
앞서 설명한 각 리테이너링의 실시 예뿐만 아니라, 각각의 실시 예가 서로 조합되어 리테이너링의 외측 및 내측의 구조를 이룰 수 있다.
이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기를 기초로 다양한 기술적 수정 및 변형을 적용할 수 있다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 청구범위의 범위에 속한다.
1: 기판 연마 장치
10: 기판 캐리어
11: 캐리어 헤드
12: 멤브레인
13: 리테이너링
131: 상부 파트
132: 하부 파트
1320: 수직 바디
1321: 수평 바디
1320a: 제1홈
1320b: 제2홈
1321a: 제1하부 외주면
1321b: 제2하부 외주면
231a: 제1상부 외주면
231b: 제2상부 외주면
331a: 상부 단차면
3320a: 하부 단차면

Claims (14)

  1. 고리 형상으로 형성되는 상부파트; 및
    상기 상부파트의 내측과 결합하는 수직 바디와, 상기 상부파트의 하측과 결합하여 상기 수직 바디와 연결되는 수평 바디를 포함하는 하부파트를 포함하고,
    상기 수평 바디는,
    상기 상부파트의 외주면에서 연장되는 면을 형성하는 제1하부 외주면; 및
    상기 제1하부 외주면과 단차지도록 상기 제1하부 외주면의 하측에 연결되는 제2하부 외주면을 포함하는, 리테이너링.
  2. 제1항에 있어서
    상기 제2하부 외주면의 직경은 상기 제1하부 외주면의 직경보다 작은, 리테이너링.
  3. 제1항에 있어서
    상기 수직 바디는,
    상면에 함몰 형성되는 제1홈; 및
    상기 제1홈과 단차지도록 연결되어 함몰 형성되는 제2홈을 포함하는, 리테이너링.
  4. 제3항에 있어서
    상기 제1홈은 상기 제2홈보다 더 깊게 함몰 형성되는, 리테이너링.
  5. 제1항에 있어서
    상기 상부파트는
    상기 제1하부 외주면에서 연장되는 면을 형성하는 제1상부 외주면; 및
    상기 제1상부 외주면과 경사지도록 상기 제1상부 외주면의 상측에 연결되는 제2상부 외주면을 포함하는, 리테이너링.
  6. 제5항에 있어서
    상기 제1상부 외주면의 직경은 상기 제2상부 외주면의 직경보다 작은, 리테이너링.
  7. 제1항에 있어서
    상기 상부파트는 상면 내측에서 하측방향으로 단차지는 상부 단차면을 포함하고,
    상기 수직 바디는 상면 외측에서 하측방향으로 단차지는 하부 단차면을 포함하는, 리테이너링.
  8. 제7항에 있어서
    상기 상부 단차면과 상기 하부 단차면은 동일 평면 상에 위치하는, 리테이너링.
  9. 제8항에 있어서
    상기 수직 바디의 상면보다 상기 상부파트의 상면이 더 높은 곳에 위치하는, 리테이너링.
  10. 제1항에 있어서
    상기 상부 파트 및 하부 파트는 서로 상이한 재질을 포함하는, 리테이너링.
  11. 제10항에 있어서
    상기 하부 파트는 수지 재질을 포함하는, 리테이너링.
  12. 제11항에 있어서
    상기 상부 파트는 금속 재질을 포함하는, 리테이너링.
  13. 제1항에 있어서
    상기 상부 파트 및 하부 파트는 압착을 통해 접합되는, 리테이너링.
  14. 제1항에 따른 리테이너링; 및
    상기 리테이너링의 상측에 연결되는 캐리어 헤드를 포함하는, 기판 연마 장치.
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