KR20220098847A - Paddle and plating apparatus equipped with the paddle - Google Patents
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Abstract
Description
실시 예는 패들에 관한 것으로, 특히 전기 도금액의 유동을 위한 패들 및 이를 포함하는 도금장치에 관한 것이다.The embodiment relates to a paddle, and more particularly, to a paddle for the flow of an electroplating solution and a plating apparatus including the same.
일반적인 전기도금 장치는 생산성을 고려하여 수직 및 수평 연속형 도금 방식(VCP)으로 노즐을 이용한 액순환을 통해 기판의 도금을 진행한다. 다만, 이러한 수직 및 수평 연속형 도금 방식은 도금 품질에 문제가 있다.A general electroplating apparatus plating a substrate through liquid circulation using a nozzle in a vertical and horizontal continuous plating method (VCP) in consideration of productivity. However, these vertical and horizontal continuous plating methods have a problem in plating quality.
이에 따라, 최근에는 기판의 도금 품질을 향상시키기 위해 배치 방식(batch type)의 전기도금 장치를 사용하고 있다. 이러한 배치 방식의 전기도금 장치는 도금액 순환을 위해 노즐이 사용되기도 하지만, 일반적으로 패들(paddle)을 이용하여 도금액을 순환시키고 있다.Accordingly, in recent years, a batch type electroplating apparatus has been used to improve the plating quality of the substrate. In this arrangement type electroplating apparatus, a nozzle is sometimes used to circulate the plating solution, but in general, the plating solution is circulated using a paddle.
여기에서, 일반적인 패들은 캐비티 타입 또는 윙 타입의 구조를 가지나, 대부분의 전기도금 장치는 캐비티 타입 대비 도금액의 순환 특성이 좋은 윙 타입의 패들을 사용하여 도금액을 순환시키고 있다.Here, a typical paddle has a cavity-type or wing-type structure, but most electroplating apparatuses circulate the plating solution using a wing-type paddle that has better circulation characteristics of the plating solution than the cavity type.
상기 윙 타입의 패들은 얇은 금속 또는 플라스틱 재질로 된 리브를 이용하여 슬릿을 형성하고, 상기 리브를 이용하여 도금액을 순환시키고 있다. The wing-type paddle forms a slit using a rib made of a thin metal or plastic material, and circulates a plating solution using the rib.
그러나, 이와 같은 종래의 전기도금장치는 도금액의 순환을 위해 상기 패들을 이동시키는 과정에서, 상기 패들의 리브가 휘어지는 문제가 있다. 그리고, 생기 패들의 리브가 휘어지는 경우, 상기 도금액의 균일한 순환이 이루어지지 못하고, 이에 따른 기판에 형성되는 도금층의 두께 균일성에 문제가 발생할 수 있다.However, such a conventional electroplating apparatus has a problem in that the ribs of the paddle are bent in the process of moving the paddle to circulate the plating solution. Also, when the ribs of the live paddle are bent, the plating solution may not be circulated uniformly, and accordingly, a problem may occur in the thickness uniformity of the plating layer formed on the substrate.
실시 예에서는 도금액의 균일한 순환이 가능하도록 하면서, 이에 의해 형성되는 기판의 도금층의 두께 균일성을 향상시킬 수 있는 새로운 구조의 패들 및 이를 포함하는 도금장치를 제공하고자 한다.An object of the embodiment is to provide a paddle having a novel structure capable of improving the uniformity of the thickness of a plating layer of a substrate formed thereby while allowing a uniform circulation of a plating solution, and a plating apparatus including the same.
제안되는 실시 예에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 제안되는 실시 예가 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Technical tasks to be achieved in the proposed embodiment are not limited to the technical tasks mentioned above, and other technical tasks not mentioned are clear to those of ordinary skill in the art to which the proposed embodiment belongs from the description below. will be able to be understood
실시 예에 따른 패들은 도금에 사용되는 도금액을 기판으로 유동시키는 패들로서, 상기 기판의 표면과 평행하게 배치되는 프레임부; 및 상기 프레임부에 제1 방향으로 착탈 가능하게 결합되고, 상기 도금액을 상기 기판의 표면으로 유동시키는 가이드부를 포함하고, 상기 가이드부는 상기 제1 방향으로 연장되는 절곡축으로 중심으로 형성된 절곡부를 포함한다.A paddle according to an embodiment is a paddle for flowing a plating solution used for plating to a substrate, comprising: a frame portion disposed parallel to the surface of the substrate; and a guide part detachably coupled to the frame part in a first direction and flowing the plating solution to the surface of the substrate, wherein the guide part includes a bent part formed around a bending axis extending in the first direction .
또한, 상기 프레임부는, 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 연장되고, 상기 제1 방향으로 상호 이격된 제1 프레임 및 제2 프레임을 포함하고, 상기 가이드부의 일단은 상기 제1 프레임에 결합되고, 상기 가이드부의 타단은 상기 제2 프레임에 결합된다.In addition, the frame portion extends in a second direction perpendicular to the first direction, and includes a first frame and a second frame spaced apart from each other in the first direction, and one end of the guide portion is coupled to the first frame. and the other end of the guide part is coupled to the second frame.
또한, 상기 프레임부는 일단에 형성된 결합 돌기를 포함하고, 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 중 적어도 하나는 상기 프레임부의 상기 일단이 삽입되는 제1 고정부; 및 상기 결합 돌기가 삽입되는 제2 고정부를 포함한다.In addition, the frame part includes a coupling protrusion formed at one end, and at least one of the first frame and the second frame includes a first fixing part into which the one end of the frame part is inserted; and a second fixing part into which the coupling protrusion is inserted.
또한, 상기 가이드부는, 상기 절곡부에서 상기 기판의 표면을 향하여 연장되는 제1 윙 부분과, 상기 절곡부에서 상기 기판과 멀어지는 방향으로 연장되는 제2 윙 부분을 포함한다.In addition, the guide portion includes a first wing portion extending from the bent portion toward the surface of the substrate, and a second wing portion extending in a direction away from the substrate from the bent portion.
또한, 상기 제1 윙 부분은 상기 제1 프레임 또는 상기 제2 프레임에 경사각을 가지고 배치되며, 상기 경사각은 상기 제1 프레임 또는 상기 제2 프레임과 상기 제1 윙 부분의 단부 사이의 내각이며, 상기 내각은 30° 내지 80°의 범위를 만족한다.In addition, the first wing portion is disposed with an inclination angle on the first frame or the second frame, wherein the inclination angle is an interior angle between the first frame or the second frame and an end of the first wing portion, wherein The interior angle satisfies the range of 30° to 80°.
또한, 상기 절곡부의 절곡 각도는 90° 내지 170°의 범위를 만족하고, 상기 절곡 각도는 상기 제1 윙 부분과 상기 제2 윙 부분 사이의 내각에 대응한다.In addition, the bending angle of the bent portion satisfies a range of 90° to 170°, and the bending angle corresponds to an interior angle between the first wing portion and the second wing portion.
또한, 상기 제1 윙 부분의 폭은 상기 제2 윙 부분의 폭보다 크다.In addition, the width of the first wing portion is greater than the width of the second wing portion.
또한, 상기 제2 윙 부분의 폭은 상기 제1 윙 부분의 폭의 30% 내지 80%이다.Further, the width of the second wing portion is 30% to 80% of the width of the first wing portion.
또한, 상기 가이드부는 복수 개를 포함하고, 상기 복수 개의 가이드부는, 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임에 상기 제2 방향으로 상호 이격되어 배치되고, 상기 복수 개의 가이드부 사이의 이격 간격은 15mm 내지 50mm이다.In addition, the guide part includes a plurality, and the plurality of guide parts are disposed to be spaced apart from each other in the second direction on the first frame and the second frame, and the spacing between the plurality of guide parts is 15 mm to It is 50 mm.
또한, 상기 제1 윙 부분의 내측면과 상기 제2 윙 부분의 내측면 사이를 연결하는 상기 절곡부의 내측면은 곡면을 포함한다.In addition, the inner surface of the bent portion connecting between the inner surface of the first wing portion and the inner surface of the second wing portion includes a curved surface.
실시 예에 따른 패들은 가이드부를 포함한다. 그리고, 상기 가이드부는 연장 방향을 절곡축으로 하여 형성된 절곡부를 포함한다. 구체적으로, 상기 가이드부는 절곡부를 포함하는 L자 형상을 가질 수 있다. 이에 따라, 실시 예에서는 가이드부의 강성을 확보할 수 있으며, 이에 따른 상기 가이드부의 휨에 따른 신뢰성 문제를 해결할 수 있다. 또한, 실시 예에서는 상기 가이드부가 일정 수준 이상의 강성을 가질 수 있음에 따라, 상기 가이드부에 의한 도금액의 유동력을 향상시킬 수 있으며, 이에 따른 기판으로 균일한 도금액이 공급되도록 하여 도금 신뢰성을 향상시킬 수 있다.A paddle according to an embodiment includes a guide part. In addition, the guide part includes a bent part formed with an extension direction as a bending axis. Specifically, the guide part may have an L-shape including a bent part. Accordingly, in the embodiment, it is possible to secure the rigidity of the guide portion, thereby solving the reliability problem due to the bending of the guide portion. In addition, in an embodiment, since the guide part may have a rigidity of a certain level or higher, the flow force of the plating solution by the guide part can be improved, and the plating reliability can be improved by supplying the plating solution uniformly to the substrate. can
또한, 실시 예에 따른 가이드부의 절곡부는 곡면을 포함한다. 이에 따라, 실시 예에서는 도금액의 유속 저항을 최소화할 수 있으며, 이에 따른 도금액의 유동력을 더욱 향상시킬 수 있다.In addition, the bent portion of the guide portion according to the embodiment includes a curved surface. Accordingly, in the embodiment, it is possible to minimize the flow resistance of the plating solution, and thus the flow force of the plating solution can be further improved.
도 1a는 비교 예의 패들의 정면도이다.
도 1b는 비교 예의 패들의 평면도이다.
도 1c는 비교 예의 패들의 가이드부의 신뢰성 문제를 표현한 도면이다.
도 2는 실시 예에 따른 도금 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3a는 실시 예에 따른 패들의 사시도이다.
도 3b는 도 3a의 특정 영역을 확대한 확대도이다.
도 4는 도 3a의 가이드부의 사시도이다.
도 5a는 실시 예에 따른 패들의 정면도이다.
도 5b는 실시 예에 따른 패들의 평면도이다.
도 5c는 실시 예의 패들의 가이드부에 의한 도금액의 흐름을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 다른 실시 예에 따른 패들의 가이드부를 나타낸 사시도이다.
도 7은 도 6의 패들에 가이드부에 의한 도금액의 흐름을 설명하기 위한 도면이다.1A is a front view of a paddle of a comparative example;
1B is a plan view of a paddle of a comparative example;
1C is a diagram illustrating a reliability problem of a guide part of a paddle of a comparative example.
2 is a diagram schematically illustrating a plating apparatus according to an embodiment.
3A is a perspective view of a paddle according to an embodiment;
FIG. 3B is an enlarged view of a specific area of FIG. 3A .
FIG. 4 is a perspective view of the guide part of FIG. 3A ;
5A is a front view of a paddle according to an embodiment;
5B is a plan view of a paddle according to an embodiment.
5C is a view for explaining the flow of a plating solution by the guide part of the paddle according to the embodiment.
6 is a perspective view illustrating a guide part of a paddle according to another exemplary embodiment.
FIG. 7 is a view for explaining a flow of a plating solution by a guide unit to the paddle of FIG. 6 .
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Hereinafter, the embodiments disclosed in the present specification will be described in detail with reference to the accompanying drawings, but the same or similar components are assigned the same reference numerals regardless of reference numerals, and redundant description thereof will be omitted. The suffixes "module" and "part" for components used in the following description are given or mixed in consideration of only the ease of writing the specification, and do not have distinct meanings or roles by themselves. In addition, in describing the embodiments disclosed in the present specification, if it is determined that detailed descriptions of related known technologies may obscure the gist of the embodiments disclosed in the present specification, the detailed description thereof will be omitted. In addition, the accompanying drawings are only for easy understanding of the embodiments disclosed in the present specification, and the technical spirit disclosed herein is not limited by the accompanying drawings, and all changes included in the spirit and scope of the present invention , should be understood to include equivalents or substitutes.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms including ordinal numbers such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements are not limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.When a component is referred to as being “connected” or “connected” to another component, it is understood that the other component may be directly connected or connected to the other component, but other components may exist in between. it should be On the other hand, when it is said that a certain element is "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that the other element does not exist in the middle.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise.
본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In the present application, terms such as “comprises” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It is to be understood that this does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 실시 예의 설명에 앞서, 본 실시 예와 비교되는 비교 예에 대해 설명하기로 한다. Prior to the description of the present embodiment, a comparative example compared with the present embodiment will be described.
도 1a는 비교 예의 패들의 정면도이고, 도 1b는 비교 예의 패들의 평면도이고, 도 1c는 비교 예의 패들의 가이드부의 신뢰성 문제를 표현한 도면이다. 1A is a front view of the paddle of the comparative example, FIG. 1B is a plan view of the paddle of the comparative example, and FIG. 1C is a view illustrating a reliability problem of the guide part of the paddle of the comparative example.
도 1a 내지 도 1c를 참조하면, 비교 예의 패들(10)은 프레임부(11) 및 상기 프레임부(11)에 결합되는 가이드부(12)를 포함한다. 상기 프레임부(11)에는 상호 일정 간격 이격되어 복수 개의 가이드부(12)가 배치된다. 상기 복수 개의 가이드부(12) 사이의 공간은 슬릿(Slit)을 형성하고, 상기 슬릿(Slit)을 통해 기판(S)으로 도금액이 유동된다.1A to 1C , the
상기와 같은 비교 예의 패들(10)은 기판(S)을 사이에 두고, 이의 양측에 각각 배치된다. 즉, 패들(10)은 제1 패들(10A) 및 제2 패들(10B)을 포함한다. 상기 제2 패들(10B)은 일정 간격 이격된 위치에서 상기 제1 패들(10A)에 결합된다. 그리고, 상기 제1 패들(10A)과 상기 제2 패들(10B) 사이의 이격 공간에 상기 기판(S)이 배치된다. 그리고, 상기 제1 패들(10A)은 상기 기판(S)의 일면으로 도금액을 유동시키고, 상기 제2 패들(10B)은 상기 기판(S)의 타면으로 도금액을 유동시킨다.The
상기 제1 패들(10A)과 제2 패들(10B)은 도금조(미도시) 내에서 도금액을 유동시키기 위해, 패들 이동 방향을 중심으로 움직이게 된다.The
이때, 상기와 같은 패들(10)의 가이드부(12)는 얇은 메탈 또는 플라스틱 재질로 형성된다. 구체적으로, 상기 가이드부(12)는 얇은 판상 형상을 가지며 상기 프레임부(11)에 결합된다. At this time, the
그러나, 상기와 같은 형상을 가지는 가이드부(12)을 가지고는 도금액의 유동력을 증가시키는데 한계가 있으며, 이에 따른 기판(S)의 도금 품질 향상에 한계가 있다. 예를 들어, 기판(S)에는 일정 깊이를 가지는 비아 홀(미도시)을 포함하며, 상기 패들(10)은 상기 기판(S)의 비아 홀 내부로 도금액을 유동시켜 상기 비아 홀을 채우는 도금층(예를 들어, 비아)이 형성되도록 한다. 이때, 상기 패들(10)의 가이드부(12)에 의한 상기 도금액의 유동력에 의해 상기 도금층의 품질이 결정된다. 그러나, 상기와 같은 얇은 판상 형상을 가지는 가이드부(12)를 이용하여 상기 도금액의 유동력을 증가시키는데 한계가 있으며, 이에 따른 도금층의 품질 향상에도 한계가 있다.However, there is a limit in increasing the flow force of the plating solution with the
나아가, 상기와 같은 가이드부(12)는 패들(10)이 패들 이동 방향을 중심으로 이동할 때, 도금액의 흐름을 제어하여 상기 기판(S)으로 도금액을 유동시킨다. 이때, 도 1c에 도시된 바와 같이, 상기 패들 이동 방향으로 상기 가이드부(12)가 이동할 때, 도금액에 의한 압력에 의해 상기 가이드부(12)가 휘어지는 문제가 발생할 수 있다. 그리고, 상기 가이드부(12)가 휘어지는 경우, 기판(S)의 전체 영역으로 균일한 도금액 유동이 이루어지지 않는 문제가 있다. 예를 들어, 상기 가이드부(12)가 휘어지는 경우, 상기 기판(S)의 전체 영역 중 특정 영역으로의 집중된 도금액 유동이 이루어지게 되고, 이에 따른 도금 신뢰성 문제가 발생하게 된다.Furthermore, when the
이에 따라 실시 예에서는 상기 비교 예의 가이드부가 가지는 패들 이동 시의 휨 문제를 해결하면서, 도금액의 유동력을 극대화할 수 있는 새로운 구조의 패들 및 이를 포함하는 도금장치를 제공하고자 한다.Accordingly, the embodiment is to provide a paddle having a new structure capable of maximizing the flow force of a plating solution and a plating apparatus including the same while solving the bending problem of the guide part of the comparative example when the paddle is moved.
도 2는 실시 예에 따른 도금 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.2 is a diagram schematically illustrating a plating apparatus according to an embodiment.
도 2를 참조하면, 도금장치(100)는 도금액(114)을 이용하여 기판(S)에 도금층을 형성할 수 있다. 예를 들어, 도금장치(100)는 구리를 포함하는 도금액(114)을 이용하여 기판(S)에 회로 패턴(미도시) 또는 비아(미도시)를 도금하기 위한 장치일 수 있다.Referring to FIG. 2 , the
도금장치(100)는 도금조(110)를 포함한다.The
그리고, 상기 도금액(114)은 상기 도금조(110) 내에 담길 수 있다. 상기 도금조(110)는 내부에 상기 도금액(114)을 유지할 수 있다. 도금조(110)는 서브 도금조(110)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 도금조(110)는 메인 도금조라 할 수 있고, 메인 도금조는 서브 도금조(110)을 포함할 수 있다.In addition, the
상기 서브 도금조(112)는 상기 도금조(110)의 외측에 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 서브 도금조(112)는 상기 도금조(110)의 상방 외측에 형성될 수 있다. 상기 서브 도금조(112)는 상기 도금조(110)의 상방 외측의 둘레를 둘러싸며 형성된다. 상기 서브 도금조(112)에는 상기 도금조(110) 위로 넘치는 도금액이 담길 수 있다. The
도금장치(100)는 도금액 공급부(116)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 도금장치(100)는 상기 도금조(110)의 일측에 형성되어, 도금액(114)이 상기 도금조(110) 내로 공급될 수 있도록 하는 도금액 공급부(116)를 포함할 수 있다.The
그리고, 상기 서브 도금조(112)와 상기 도금액 공급부(116) 사이에는 도금액 공급로(112)가 위치할 수 있다. 상기 도금액 공급로(112)는 상기 서브 도금조(112) 내에 담긴 도금액을 상기 도금조(110)로 공급할 수 있다. 이를 위해, 도금액 공급로(112)는 펌프(120)를 구비할 수 있다. 그리고, 상기 펌프(112)는 상기 도금조(110) 위로 넘쳐 상기 서브 도금조(112)에 담긴 도금액을 상기 도금조(110) 내로 다시 공급할 수 있다. 이때, 상기 도금액 공급로(112)에는 온도 유지부(130) 및 필터부(140)가 배치될 수 있다. 상기 온도 유지부(130)는 상기 도금액 공급로(112)를 통해 상기 도금조(110) 내로 공급되는 도금액의 온도를 조절할 수 있다. 예를 들어, 상기 온도 유지부(130)는 상기 도금조(110) 내에 담긴 도금액의 온도와 동일한 온도로 상기 도금액 공급로(112)를 통해 흐르는 도금액의 온도를 조절할 수 있다. 또한, 상기 필터부(140)는 상기 도금액 공급로(112)를 통해 흐르는 도금액에 포함된 이물질을 제거할 수 있다. 즉, 상기 도금액 공급로(112)에는, 상기 도금조(110) 위로 넘친 도금액이 담기게 되며, 상기 도금액이 넘치는 과정에서 이물질이 포함될 수 있다. 따라서, 상기 필터부(140)는 상기 도금조(110)로 재공급되는 도금액에 포함된 이물질을 제거하기 위한 필터링 기능을 할 수 있다. In addition, a plating
도금장치(100)는 기판(S)이 장착되는 기판 장착부(150)를 포함한다. 상기 기판(S)은 상기 기판 장착부(150)에 착탈 가능하게 배치될 수 있다. The
도금장치(100)는 애노드(162)를 포함한다. 애노드(162)는 애노드 장착부(160)에 장착되어, 상기 도금조(110) 내에 위치할 수 있다. 상기 애노드(162)는 인을 포함하는 구리로 구현 가능하나, 이에 한정되지는 않는다. The
도금장치(100)는 전원부(170)를 포함한다. 전원부(170)는 애노드 장착부(160)와 기판 장착부(150) 사이에 배치되어, 이들과 전기적으로 연결될 수 있다. 바람직하게, 전원부(170)는 애노드 장착부(160)에 장착된 애노드(162) 및 기판 장착부(150)에 장착된 기판(S)과 각각 전기적으로 연결될 수 있다. 그리고, 상기 전원부(170)를 통해 인가되는 전류가 기판(S)에 공급될 수 있고, 이에 의해 상기 기판(S)에 도금층(미도시)을 형성할 수 있다. 즉, 상기 애노드(162)는 전원부(170)의 양극에 접속될 수 있고, 상기 기판 장착부(150) 및 기판(S)은 전원부의 음극에 접속될 수 있다.The
한편, 도금장치(100)는 기판(S)의 표면과 평행하게 배치되는 패들(200)을 포함한다. 이때, 패들(200)은 제1 패들(200A) 및 제2 패들(200B)을 포함할 수 있다. 상기 제1 패들(200A) 및 제2 패들(200B)는 상기 도금조(110) 내에서 일정 간격 이격되어 배치될 수 있다. 그리고, 상기 기판 장착부(150) 및 상기 기판(S)은 상기 제1 패들(200A)과 상기 제2 패들(200B) 사이에 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 패들(200A)은 상기 기판(S)의 일면과 마주보며 배치될 수 있고, 제2 패들(200B)은 상기 기판(S)의 타면과 마주보며 배치될 수 있다. 다만, 실시 예는 이에 한정되지 않으며, 상기 기판(S)의 일면 또는 타면과 마주보며 배치되는 1개의 패들만을 포함할 수도 있을 것이다.On the other hand, the
상기 제1 패들(200A)은 상기 기판(S)의 일면과 평행하게 왕복 운동할 수 있고, 이에 따라 상기 기판(S)의 일면에 도금액(114)을 균일하게 공급할 수 있다. 또한, 상기 제2 패들(200B)은 상기 기판(S)의 타면과 평행하게 왕복 운동할 수 있고, 이에 따라 상기 기판(S)의 타면에 도금액(114)을 균일하게 공급할 수 있다.The
실시 예에서의 패들(200)은 상기 기판(S)으로의 도금액(114)의 유동력을 증가시키면서, 보다 균일한 도금액(114)의 유동이 이루어지도록 할 수 있다. 이를 위해, 패들(200)은 도금액(114)의 유동을 가이드하는 가이드부(추후 설명)를 포함한다. 그리고, 상기 가이드부는 제1 방향(또는 세로 방향 또는 수직 방향)을 축으로 절곡된 절곡부(추후 설명)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 가이드부는 'L'자 형상을 가질 수 있다. 실시 예에서는 상기 가이드부가 절곡부를 포함하는 'L'자형상을 가지도록 하여, 상기 가이드부의 강성을 확보하면서 상기 가이드부에 의한 도금액(114)의 유동력을 증가시킬 수 있도록 한다. 이에 대해서는 하기에서 더욱 상세히 설명하기로 한다.The
또한, 도금장치(100)는 조정 플레이트(180)를 포함할 수 있다. 조정 플레이트(180)는 패들(200)과 애노드(162) 사이에 배치될 수 있다. 상기 조정 플레이트(180)는 유전체일 수 있다. 상기 조정 플레이트(180)는 상기 기판(S)의 전체 표면에 전위 분포가 균일하게 나타나도록 할 수 있다.Also, the
도 3a는 실시 예에 따른 패들의 사시도이고, 도 3b는 도 3a의 특정 영역을 확대한 확대도이고, 도 4는 도 3a의 가이드부의 사시도이고, 도 5a는 실시 예에 따른 패들의 정면도이고, 도 5b는 실시 예에 따른 패들의 평면도이고, 도 5c는 실시 예의 패들의 가이드부에 의한 도금액의 흐름을 설명하기 위한 도면이다. 이하에서는 도 3a 내지 도 5c를 참조하여 실시 예에 따른 패들에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.3A is a perspective view of a paddle according to an embodiment, FIG. 3B is an enlarged view of a specific area of FIG. 3A, FIG. 4 is a perspective view of the guide part of FIG. 3A, and FIG. 5A is a front view of the paddle according to the embodiment, 5B is a plan view of a paddle according to an embodiment, and FIG. 5C is a diagram for explaining a flow of a plating solution by a guide part of the paddle according to the embodiment. Hereinafter, a paddle according to the embodiment will be described in detail with reference to FIGS. 3A to 5C .
패들(200)은 제1 패들(200A) 및 제2 패들(200B)을 포함한다.The
상기 제1 패들(200A)은 기판(S)의 제1면(S1)과 마주보며 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 패들(200A)은 기판(S)의 제1면(S1)과 평행하게 배치될 수 있다. 여기에서, 상기 제1면(S1)은 기판(S)의 상면 또는 하면일 수 있다. 즉, 상기 기판(S)은 수직으로 세워진 상태로 도금조(110) 내에 위치하고, 상기 제1 패들(200A)은 상기 수직으로 세워진 기판(S)의 제1 면(S1)과 평행하게 배치될 수 있다.The
상기 제2 패들(200B)은 기판(S)의 제2면(S2)과 마주보며 배치될 수 있다. 예를 들어, 제2 패들(200B)은 기판(S)의 제2면(S2)과 평행하게 배치될 수 있다. 상기 제2면(S2)은 상기 제1면(S1)의 반대면, 예를 들어 하면 또는 상면일 수 있다.The
상기 제1 패들(200A) 및 제2 패들(200B)은 각각 프레임부를 포함할 수 있다. 구체적으로, 제1 패들(200A)은 제1 프레임부(210A)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 제2 패들(200B)은 제2 프레임부(210B)를 포함할 수 있다. 상기 제1 프레임부(210A)와 제2 프레임부(210)는 서로 동일한 형상 또는 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 패들(200)은 상기 제1 패들(200A)과 제2 패들(200B)을 상호 결합시키는 제3 프레임부(210C)를 포함할 수 있다. 즉, 상기 제1 프레임부(210A)는 제1 가이드부(300A)가 장착되는 제1 장착 프레임일 수 있고, 상기 제2 프레임부(210B)는 제2 가이드부(300B)가 장착되는 제2 장착 프레임일 수 있으며, 상기 제3 프레임부(210C)는 상기 제1 프레임부(210A)와 상기 제2 프레임부(210B)를 상호 결합시키기 위한 결합 프레임일 수 있다. 한편, 실시 예에서의 제1 패들(200A) 및 제2 패들(200B)은 서로 동일한 구조를 가짐에 따라, 이하에서는 이 중 어느 하나에 대해서만 설명하기로 한다. 이하에서의 프레임부는 제1 프레임부(210A) 및 제2 프레임부(210B) 중 어느 하나를 의미할 수 있다. 또한, 이하에서의 가이드부(300)는 상기 제1 프레임부(210A)에 장착되는 제1 가이드부(300A) 및 상기 제2 프레임부(210B)에 장착되는 제2 가이드부(300B) 중 어느 하나를 의미할 수 있다.Each of the
프레임부는 개구부(미도시)를 포함할 수 있다. 그리고, 상기 가이드부(300)는 상기 프레임부의 개구부에 배치될 수 있다. 상기 가이드부(300)는 프레임부에 장착 또는 고정될 수 있다. The frame part may include an opening (not shown). In addition, the
상기 프레임부는 상기 개구부를 둘러싸는 복수의 프레임을 포함할 수 있다. 예를 들어, 프레임부는 제1 프레임(211), 제2 프레임(212), 제3 프레임(213) 및 제4 프레임(214)을 포함할 수 있다. 상기 제1 프레임(211)은 상측 프레임이라고 할 수 있고, 상기 제2 프레임(212)은 하측 프레임이라고 할 수 있으며, 상기 제3 프레임(213)은 좌측 프레임이라고 할 수 있고, 상기 제4 프레임(214)은 우측 프레임이라고 할 수 있다. 상기 제1 프레임(211), 제2 프레임(212), 제3 프레임(213) 및 제4 프레임(214)은 서로 연결 또는 결합될 수 있다.The frame unit may include a plurality of frames surrounding the opening. For example, the frame unit may include a
상기 제1 프레임(211)과 상기 제2 프레임(212)은 각각 x축 방향 또는 가로 방향 또는 수평 방향으로 연장되고, 상호 세로 방향 또는 수직 방향 또는 z축 방향으로 이격될 수 있다.The
상기 제3 프레임(213)과 상기 제4 프레임(214)은 각각 세로 방향 또는 수직 방향 또는 z축 방향으로 연장되고, 상호 x축 방향 또는 가로 방향 또는 수평 방향으로 이격될 수 있다. The
상기 제1 프레임(211)의 일단부에는 제3 프레임(213)의 일단부가 결합되고, 상기 제1 프레임(211)의 타단부에는 제4 프레임(214)의 일단부가 결합될 수 있다. 또한, 제2 프레임(212)의 일단부에는 상기 제3 프레임(213)의 타단부가 결합되고, 상기 제2 프레임(212)의 타단부에는 상기 제4 프레임(214)의 타단부가 결합될 수 있다. One end of the
가이드부(300)는 상기 프레임부에 탈착 가능하도록 장착될 수 있다. 구체적으로, 상기 가이드부(300)는 상기 제1 프레임(211)에 일단이 결합되고, 상기 제2 프레임(212)에 타단이 결합될 수 있다. The
이를 위해, 상기 가이드부(300)는 양단에 각각 결합 돌기(310)가 형성될 수 있다. 상기 결합 돌기(310)는 일 예로 볼트로 구현될 수 있다. 예를 들어, 상기 결합 돌기(310)의 외측면에는 나사선이 형성될 수 있다. 또한, 상기 제1 프레임(211)과 상기 제2 프레임(212)은 각각 가이드부(300)가 장착 또는 고정되는 고정부(220, 230)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 프레임(211) 및 제2 프레임(212) 각각은 상기 가이드부(300)의 단부가 삽입되는 제1 고정부(220)을 포함할 수 있다. 상기 제1 고정부(220)는 상기 제1 프레임(211) 및 제2 프레임(212)을 비관통하는 리세스일 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다. 상기 가이드부(300)는 단부가 상기 제1 고정부(220)에 끼움 결합됨에 따라 위치가 고정될 수 있다. 또한, 상기 제1 프레임(211) 및 제2 프레임(212) 각각은 상기 가이드부(300)에 형성된 결합 돌기(310)가 끼움 결합되는 제2 고정부(230)을 포함할 수 있다. 상기 제2 고정부(230)는 상기 제1 프레임(211) 및 제2 프레임(212)을 각각 관통하는 관통 홀일 수 있다. 이에 따라, 상기 가이드부(300)의 결합 돌기(310)는 상기 제2 고정부(230)에 대응하는 관통 홀 내에 삽입된 상태에서, 너트와 같은 별도의 고정 부재(미도시)를 통해 상기 프레임부에 견고하게 장착 또는 고정될 수 있다.To this end, the
상기 가이드부(300)는 절곡부(301)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 가이드부(300)는 상기 가이드부(300)의 연장 방향에 대응하는 축을 중심으로 형성된 절곡부(301)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 5a에서, 상기 절곡부(301)는 세로 방향에 대응하는 중심축을 중심으로 형성될 수 있다. 구체적으로, 상기 가이드부(300)는 도 5a에서의 세로축을 중심으로 하여 절곡된 절곡부(301)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 가이드부(300)는 눕혀진 L자 형상을 가질 수 있다.The
상기 가이드부(300)는 상기 절곡부(301)를 중심으로 제1 윙 부분(302)과 제2 윙 부분(303)으로 나뉠 수 있다. 상기 가이드부(300)의 제1 윙 부분(302)은 상기 기판(S)을 향하여 연장될 수 있다. 예를 들어, 상기 가이드부(300)의 제1 윙 부분(302)은 상기 절곡부(301)를 중심으로, 상기 기판(S)의 일면(S1) 또는 타면(S2)과 가까워지는 방향으로 절곡될 수 있다. 예를 들어, 상기 가이드부(300)의 제2 윙 부분(303)은 상기 기판(S)과 멀어지는 방향으로 절곡될 수 있다. 한편, 도면 상에서, 상기 제1 윙 부분(302)과 상기 제2 윙 부분(303) 사이의 절곡부(301)의 절곡 각도는 90°인 것으로 도시하였으나, 이에 한정되지는 않는다. 다만, 상기 절곡 각도가 90°보다 작은 경우, 상기 가이드부(300)에 의한 도금액(114)의 유동에 영향을 줄 수 있으므로, 상기 절곡 각도는 90°보다 큰 것이 바람직하다. 바람직하게, 상기 절곡 각도는 상기 제1 윙 부분(302)과 상기 제2 윙 부분(303) 사이의 내각일 수 있다. 그리고, 상기 제1 윙 부분(302)과 상기 제2 윙 부분(303) 사이의 내각은 90° 내지 170°일 수 있다. The
실시 예에서는 상기 가이드부(300)가 절곡부(301)를 포함하도록 하고, 이에 따라 상기 제1 윙 부분(302)과 제2 윙 부분(303)으로 구분될 수 있도록 하여, 상기 도금액(114)의 유동력을 증가시키면서 가이드부(300)의 강성을 확보할 수 있도록 한다. 즉, 비교 예에서는 실시 예의 가이드부(300)의 제1 윙 부분(302)만을 포함하였다. 이에 반하여, 실시 에에서는 상기 가이드부(300)가 절곡부(301)을 중심으로 상기 제1 윙 부분(302)으로부터 절곡 연장되는 제2 윙 부분(303)도 포함하도록 하여, 상기 가이드부(300)의 강성을 확보할 수 있다. 그리고, 실시 예에서는 상기 가이드부(300)의 강성이 확보됨에 따라, 상기 가이드부(300)에 의한 도금액(114)의 유동력을 증가시킬 수 있다. 한편, 실시 예에서 상기 가이드부(300)의 상기 제1 윙 부분(302)은 도금액(114)을 상기 기판(S)의 표면으로 유동시키는 역할을 하며, 상기 제2 윙 부분(303)은 가이드부(300)의 강성을 증가시키면서 패들(200)의 외측에 존재하는 도금액(114)을 상기 제1 윙 부분(302)으로 공급하는 역하을 할 수 있다.In the embodiment, the
한편, 상기 가이드부(300)의 상기 제1 윙 부분(302)은 상기 프레임부에 경사각(θ)을 가지고 상기 기판(S)을 향하여 배치될 수 있다. 상기 경사각(θ)은 상기 제1 윙 부분(302)의 일단과 상기 제1 프레임(201) 또는 제2 프레임(202) 사이의 내각일 수 있다. 상기 경사각(θ)은 30° 내지 80°일 수 있다. 예를 들어, 상기 경사각(θ)은 35° 내지 75°일 수 있다. 예를 들어, 상기 경사각(θ)은 40° 내지 70°일 수 있다. 상기 경사각(θ)이 30°보다 작으면, 상기 제1 윙 부분(302)에 의해 유동되는 도금액(114)의 유동 거리가 작아질 수 있다. 즉, 상기 경사각(θ)이 30°보다 작으면, 상기 제1 윙 부분(302)을 통해 상기 기판(S)으로 도금액(114)을 유동시키기 위해서는 상기 기판(S)과 상기 제1 윙 부분(302) 사이의 거리를 줄여야 하며, 이에 따른 상기 제1 윙 부분(302)과 상기 기판(S)의 표면의 접촉에 따른 신뢰성 문제가 발생할 수 있다. 또한, 상기 경사각(θ)이 80°보다 큰 경우, 상기 패들(200)을 왕복 운동시키기 위해 필요한 전원이 증가할 수 있고, 이에 따른 소비전력이 증가할 수 있다.Meanwhile, the
또한, 상기 가이드부(300)의 제1 윙 부분(302)과 제2 윙 부분(303)의 두께(T)는 1mm 내지 3mm일 수 있다. 예를 들어, 상기 가이드부(300)의 제1 윙 부분(302)가 제2 윙 부분(303)의 두께는 1.5mm 내지 2.5mm일 수 있다. 예를 들어, 상기 가이드부(300)의 제1 윙 부분(302)과 제2 윙 부분(303)의 두께는 1.5mm 내지 2mm일 수 있다. 상기 가이드부(300)의 제1 윙 부분(302) 및 제2 윙 부분(303)의 두께가 1mm보다 작으면, 상기 패들(200)의 왕복 운동 시에 휨이 발생할 수 있다. 상기 가이드부(300)의 제1 윙 부분(302)과 제2 윙 부분(303)의 두께가 3mm보다 크면, 상기 패들(200)의 무게가 증가할 수 있으며, 이에 따른 도금장치(100)의 전체적인 부피가 증가할 수 있다.In addition, the thickness (T) of the
또한, 상기 가이드부(300)의 폭은 8mm 내지 25mm일 수 있다. 예를 들어, 가이드부(300)의 폭은 10mm 내지 20mm일 수 있다. 예를 들어, 가이드부(300)의 폭은 10mm 내지 15mm일 수 있다. 상기 가이드부(300)의 폭은 상기 제1 윙 부분(302)의 폭(W1)과 상기 제2 윙 부분(303)의 폭(W2)의 합일 수 있다. 상기 가이드부(300)의 폭이 8mm보다 작은 경우, 상기 도금액(114)의 충분한 유동력을 확보하지 못할 수 있다. 또한, 상기 가이드부(300)의 폭이 25mm보다 큰 경우, 상기 가이드부(300)의 재료비가 증가함에 따른 패들 단가가 증가할 수 있다. 또한, 상기 가이드부(300)의 폭이 25mm보다 큰 경우, 상기 패들(200)을 왕복 운동시키기 위해 필요한 전원이 증가할 수 있고, 이에 따른 소비전력이 증가할 수 있다.In addition, the width of the
한편, 실시 예에서 상기 제1 윙 부분(302)은 제1 폭(W1)을 가질 수 있다. 또한, 상기 제2 윙 부분(303)은 상기 제1 폭(W1)과 다른 제2 폭(W2)을 가질 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 윙 부분(302)은 상기 제2 윙 부분(303)이 가지는 제2 폭(W2)보다 큰 제1 폭(W1)을 가질 수 있다. 이에 따라, 실시 예에서는 상기 제1 윙 부분(302)을 통해 도금액(114)의 유동력을 증가시키면서, 상기 가이드부(300)가 가져야 하는 적정 수준의 강성을 확보할 수 있다. 이때, 상기 제2 폭(W2)은 상기 제1 폭(W1)의 30% 내지 80%일 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 폭(W2)은 상기 제1 폭(W1)의 35% 내지 70%일 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 폭(W2)은 상기 제1 폭(W1)의 45% 내지 55%일 수 있다. 상기 제2 폭(W2)이 상기 제1 폭(W1)의 30%보다 작은 경우, 상기 제2 윙 부분(303)에 의한 가이드부(300)의 강성이 충분히 확보되지 않아, 가이드부(300)의 휨이 발생할 수 있다. 상기 제2 폭(W2)은 상기 제1 폭(W1)의 80%보다 크면, 상기 가이드부(300)에 의한 도금액(114)의 유동 방향이 변화할 수 있으며, 이에 따른 기판(S)으로 균일한 도금액(114)이 공급되지 않을 수 있다. Meanwhile, in the embodiment, the
이에 따라, 실시 예에서는 도 5b에 도시된 바와 같이, 패들(200)의 제1 외측의 도금액이 제1 패들(200A)의 제1 가이드부(300A)의 제2 윙 부분(303A)에 의해, 패들(200)의 내측(또는 제1 윙 부분(302A)이 위치한 방향)으로 이동할 수 있고, 상기 제1 가이드부(300A)의 제1 윙 부분(302A)에 의해 기판(S)의 일면(S1)으로 공급될 수 있다. 또한, 패들(200)의 제2 외측의 도금액이 제2 패들(200B)의 제2 가이드부(300B)의 제2 윙 부분(303B)에 의해, 패들(200)의 내측(또는 제1 윙 부분(302B)이 위치한 방향)으로 이동할 수 있고, 상기 제2 가이드부(300B)의 제1 윙 부분(302B)에 의해 기판(S)의 타면(S2)으로 공급될 수 있다. Accordingly, in the embodiment, as shown in FIG. 5B , the plating solution on the outside of the
한편, 상기 가이드부(300)는 복수 개로 구성될 수 있다. 예를 들어, 상기 프레임부에는 복수 개의 가이드부(300)가 상호 일정 간격 이격되어 배치될 수 있다. 그리고, 상기 복수의 가이드 가이드부들 사이의 이격 공간은 슬릿(Slit)을 형성할 수 있다. 상기 슬릿(Slit)은 패들(200)의 외측에 위치한 도금액(114)을 상기 기판(S)이 위치한 영역으로 유입되기 위한 유입 공간일 수 있다. 이때, 상기 복수의 가이드부의 이격 간격(P)은 15mm 내지 50mm일 수 있다. 예를 들어, 상기 복수의 가이드부의 이격 간격(P)은 17mm 내지 40mm일 수 있다. 예를 들어, 상기 복수의 가이드부의 이격 간격(P)은 20mm 내지 30mm일 수 있다. 여기에서, 상기 복수의 가이드부의 이격 간격(P)은 상기 슬릿(slit)의 폭으로도 정의될 수 있다. 상기 복수의 가이드부의 이격 간격(P)은 15mm보다 작으면, 상기 도금액(114)이 상기 기판(S)쪽으로 충분히 유입되지 않는 문제가 발생할 수 있다. 또한, 상기 복수의 가이드부의 이격 간격(P)은 50mm보다 크면, 상기 가이드부(300)에 의해 상기 기판(S)으로 공급되는 도금액의 균일성이 저하될 수 있다.Meanwhile, the
한편, 도 5c에서와 같이, 가이드부(300)의 제1 윙 부분(302)과 제2 윙 부분(303) 사이의 절곡부(301)는 직각일 수 있고, 이에 따라 상기 절곡부(301)는 에지를 가질 수 있다. 이와 같은 경우, 제2 윙 부분(303)을 통해 제1 윙 부분(302)쪽으로 제공되는 도금액의 유속은, 상기 절곡부(301)의 에지에 의해 감소할 수 있다. 다시 말해서, 상기 절곡부(301)가 에지를 포함하는 직각일 경우, 도금액(114)의 유속 저항이 증가할 수 있다. 이에 따라, 실시 예에서는 상기 도금액(114)의 유속 저항을 최소화할 수 있도록 한다.On the other hand, as shown in Figure 5c, the
도 6은 다른 실시 예에 따른 패들의 가이드부를 나타낸 사시도이고, 도 7은 도 6의 패들에 가이드부에 의한 도금액의 흐름을 설명하기 위한 도면이다.6 is a perspective view illustrating a guide part of a paddle according to another exemplary embodiment, and FIG. 7 is a view for explaining a flow of a plating solution by the guide part to the paddle of FIG. 6 .
도 6 및 도 7을 참조하면, 가이드부(400)는 절곡부(401), 제1 윙 부분(402) 및 제2 윙 부분(403)을 포함한다. 이때, 도 6의 가이드부(400)는 절곡부(401)를 제외한 부분이 도 4의 가이드부(300)와 실질적으로 동일하며, 이에 따라 상기 절곡부(401)에 대해서만 설명하기로 한다.6 and 7 , the
도 4의 가이드부(300)는 제1 윙 부분(302)과 제2 윙 부분(303)을 연결하는 절곡부(301)가 에지를 가지는 수직면으로 형성되었고, 이에 따른 유속 저항이 증가하여 도금액의 유동력이 감소하였다.In the
이와 다르게, 도 6의 가이드부(400)는 제1 윙 부분(402)과 제2 윙 부분(403)을 연결하는 절곡부(401)가 에지를 포함하지 않는 라운드진 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 절곡부(401)는 곡면을 포함할 수 있다. 즉, 상기 절곡부(401)는 상기 제1 윙 부분(402)과 상기 제2 윙 부분(403)을 곡면으로 연결할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 윙 부분(402)의 내측면과 상기 제2 윙 부분(403)의 내측면 사이를 연결하는 상기 절곡부(401)의 내측면은 곡면을 포함할 수 있다.Alternatively, the
이에 따라, 실시 예에서는 상기 절곡부(401)가 라운드진 곡면으로 형성됨에 따라 유속 저항을 최소화할 수 있으며, 이에 따른 도금액의 유동력을 더욱 향상시킬 수 있다.Accordingly, in the embodiment, as the
이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Features, structures, effects, etc. described in the above embodiments are included in at least one embodiment, and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, features, structures, effects, etc. illustrated in each embodiment can be combined or modified for other embodiments by those of ordinary skill in the art to which the embodiments belong. Accordingly, the contents related to such combinations and modifications should be interpreted as being included in the scope of the embodiments.
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 실시예를 한정하는 것이 아니며, 실시예가 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 설정하는 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다. In the above, the embodiment has been mainly described, but this is only an example and not limiting the embodiment, and those of ordinary skill in the art to which the embodiment belongs may have several examples not illustrated above in the range that does not depart from the essential characteristics of the embodiment. It can be seen that variations and applications of branches are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be implemented by modification. And differences related to such modifications and applications should be interpreted as being included in the scope of the embodiments set forth in the appended claims.
Claims (11)
상기 기판의 표면과 평행하게 배치되는 프레임부; 및
상기 프레임부에 제1 방향으로 착탈 가능하게 결합되고, 상기 도금액을 상기 기판의 표면으로 유동시키는 가이드부를 포함하고,
상기 가이드부는 상기 제1 방향으로 연장되는 절곡축으로 중심으로 형성된 절곡부를 포함하는,
패들.A paddle for flowing a plating solution used for plating to a substrate, comprising:
a frame portion disposed parallel to the surface of the substrate; and
and a guide part detachably coupled to the frame part in a first direction and flowing the plating solution to the surface of the substrate,
The guide part comprises a bent part formed centered on the bending axis extending in the first direction,
paddle.
상기 프레임부는,
상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 연장되고, 상기 제1 방향으로 상호 이격된 제1 프레임 및 제2 프레임을 포함하고,
상기 가이드부의 일단은 상기 제1 프레임에 결합되고,
상기 가이드부의 타단은 상기 제2 프레임에 결합되는,
패들. According to claim 1,
The frame part,
and a first frame and a second frame extending in a second direction perpendicular to the first direction and spaced apart from each other in the first direction,
One end of the guide part is coupled to the first frame,
The other end of the guide part is coupled to the second frame,
paddle.
상기 프레임부는 일단에 형성된 결합 돌기를 포함하고,
상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 중 적어도 하나는,
상기 프레임부의 상기 일단이 삽입되는 제1 고정부; 및
상기 결합 돌기가 삽입되는 제2 고정부를 포함하는,
패들.3. The method of claim 2,
The frame portion includes a coupling protrusion formed at one end,
At least one of the first frame and the second frame,
a first fixing part into which the one end of the frame part is inserted; and
Comprising a second fixing part into which the coupling protrusion is inserted,
paddle.
상기 가이드부는,
상기 절곡부에서 상기 기판의 표면을 향하여 연장되는 제1 윙 부분과,
상기 절곡부에서 상기 기판과 멀어지는 방향으로 연장되는 제2 윙 부분을 포함하는,
패들.3. The method of claim 2,
The guide part,
a first wing portion extending from the bent portion toward the surface of the substrate;
Including a second wing portion extending in a direction away from the substrate in the bent portion,
paddle.
상기 제1 윙 부분은 상기 제1 프레임 또는 상기 제2 프레임에 경사각을 가지고 배치되며,
상기 경사각은 상기 제1 프레임 또는 상기 제2 프레임과 상기 제1 윙 부분의 단부 사이의 내각이며,
상기 내각은 30° 내지 80°의 범위를 만족하는,
패들.5. The method of claim 4,
The first wing portion is disposed with an inclination angle to the first frame or the second frame,
the inclination angle is an interior angle between the first frame or the second frame and the end of the first wing portion,
The interior angle satisfies the range of 30° to 80°,
paddle.
상기 절곡부의 절곡 각도는 90° 내지 170°의 범위를 만족하고,
상기 절곡 각도는 상기 제1 윙 부분과 상기 제2 윙 부분 사이의 내각에 대응하는,
패들.6. The method of claim 5,
The bending angle of the bending part satisfies the range of 90° to 170°,
wherein the bending angle corresponds to an interior angle between the first wing portion and the second wing portion,
paddle.
상기 제1 윙 부분의 폭은 상기 제2 윙 부분의 폭보다 큰,
패들.6. The method of claim 5,
a width of the first wing portion is greater than a width of the second wing portion;
paddle.
상기 제2 윙 부분의 폭은 상기 제1 윙 부분의 폭의 30% 내지 80%인,
패들.8. The method of claim 7,
the width of the second wing portion is 30% to 80% of the width of the first wing portion,
paddle.
상기 가이드부는 복수 개를 포함하고,
상기 복수 개의 가이드부는, 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임에 상기 제2 방향으로 상호 이격되어 배치되고,
상기 복수 개의 가이드부 사이의 이격 간격은 15mm 내지 50mm인,
패들.3. The method of claim 2,
The guide unit includes a plurality of
The plurality of guide parts are disposed to be spaced apart from each other in the second direction on the first frame and the second frame,
The spacing between the plurality of guide parts is 15mm to 50mm,
paddle.
상기 제1 윙 부분의 내측면과 상기 제2 윙 부분의 내측면 사이를 연결하는 상기 절곡부의 내측면은 곡면을 포함하는,
패들.5. The method of claim 4,
The inner surface of the bent portion connecting between the inner surface of the first wing portion and the inner surface of the second wing portion comprises a curved surface,
paddle.
전원부의 양극에 접속되는 애노드;
전원부의 음극에 접속되는 기판;
상기 기판과 평행하게 배치되고, 상기 기판과 평행한 방향으로 왕복 운동하여 상기 도금액을 상기 기판의 표면으로 공급하는 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 포함된 패들을 포함하는,
도금 장치.a plating bath containing a plating solution;
an anode connected to the anode of the power supply;
a substrate connected to the cathode of the power supply;
11. A paddle disposed in parallel with the substrate and reciprocating in a direction parallel to the substrate to supply the plating solution to the surface of the substrate.
plating device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020210000654A KR20220098847A (en) | 2021-01-05 | 2021-01-05 | Paddle and plating apparatus equipped with the paddle |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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- 2021-01-05 KR KR1020210000654A patent/KR20220098847A/en unknown
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