KR20220096899A - Liquid crystal panel - Google Patents

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KR20220096899A KR1020200189746A KR20200189746A KR20220096899A KR 20220096899 A KR20220096899 A KR 20220096899A KR 1020200189746 A KR1020200189746 A KR 1020200189746A KR 20200189746 A KR20200189746 A KR 20200189746A KR 20220096899 A KR20220096899 A KR 20220096899A
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Abstract

In accordance with an embodiment of the present invention, a liquid crystal display panel manufacturing method includes the following steps of: forming a transistor on a third substrate including a silicon component of first density and provided with a fifth thickness; forming a color filter on a fourth substrate including a silicon component of second density relatively smaller than the first density and provided with the fifth thickness; forming a laminated substrate by laminating the third substrate with the fourth substrate; providing a chemical fluid onto the laminated substrate for a chemical fluid exposure time; and forming a first substrate having a first thickness by removing the third thickness from the third substrate through control on the chemical fluid exposure time, and forming a second substrate having a second thickness by removing the fourth thickness from the fourth substrate. Accordingly, the first thickness of the first substrate can be 1.3 to 1.7 times greater than the second thickness of the second substrate. Therefore, the present invention is capable of minimizing the damage defect from a pad part.

Description

액정표시패널{Liquid crystal panel}Liquid crystal panel {Liquid crystal panel}

본 발명은 액정표시패널에 관한 것으로 특히 컬러필터 기판보다 어레이 기판의 두께를 두껍게 하여 액정표시장치의 패드부의 파손불량을 최소화할 수 있는 액정표시패널에 관한 것이다. The present invention relates to a liquid crystal display panel, and more particularly, to a liquid crystal display panel capable of minimizing damage to a pad portion of a liquid crystal display device by making an array substrate thicker than a color filter substrate.

액정표시장치는 정보 표시 기술에서 차지하는 비중이 매우 크다. 액정표시장치는 양쪽 유리기판 사이에 액정을 삽입하여 유리기판 위아래에 있는 전극을 통해 전원을 주입, 각 액정에서 이를 변환하여 빛을 냄으로써 정보를 표시한다. The liquid crystal display device occupies a very large portion in information display technology. A liquid crystal display device displays information by inserting a liquid crystal between both glass substrates, injecting power through electrodes located above and below the glass substrate, and converting it in each liquid crystal to emit light.

일반적인 액정표시장치는 어레이 기판과 컬러필터 기판을 합착시킨 액정표시패널을 포함하며, 어레이 기판 상에 전원을 주입하기 위한 패드부가 배치된다. 이에 어레이 기판이 컬러필터 기판보다 크게 형성되고, 크게 형성된 부분만큼에 패드부가 배치될 수 있다. A general liquid crystal display device includes a liquid crystal display panel in which an array substrate and a color filter substrate are bonded, and a pad unit for supplying power is disposed on the array substrate. Accordingly, the array substrate may be formed to be larger than the color filter substrate, and the pad portion may be disposed in the larger portion.

상기 액정표시패널은 컬러필터 기판과 상기 어레이 기판에 화학적 식각을 진행하여 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판이 합착된 셀 두께를 줄이는 공정을 실시한다. The liquid crystal display panel performs a process of chemically etching the color filter substrate and the array substrate to reduce the cell thickness in which the color filter substrate and the array substrate are bonded.

여기서 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판은 동일한 약액을 사용하고, 동일한 성분의 기판을 사용함에 따라 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판의 두께가 동일한 두께로 형성된다. Here, the color filter substrate and the array substrate use the same chemical solution, and since the substrate of the same component is used, the color filter substrate and the array substrate have the same thickness.

셀 두께를 줄이기 위한 일환으로 실시된 화학적 식각은 액정표시패널의 셀(Cell) 두께가 얇아질수록 단판으로 노출된 패드(Pad)부의 파손을 발생시키는 원인이 되고 있다. Chemical etching performed as a part of reducing the cell thickness causes damage to the pad portion exposed as a single plate as the cell thickness of the liquid crystal display panel becomes thinner.

다시 말해, 액정표시패널의 패드부는 컬러필터 기판으로부터 노출되어 어레이 기판의 단판으로 형성된 영역임으로 얇은 두께로 인해 파손불량에 대해서 취약해 질 수 밖에 없는 구조이다. In other words, the pad portion of the liquid crystal display panel is a region exposed from the color filter substrate and formed as a single plate of the array substrate, and thus has a structure inevitably vulnerable to damage due to its thin thickness.

본 발명은 트랜지스터가 형성된 제1 기판과 컬러필터가 형성된 제2 기판에 식각율이 다른 종류의 글라스를 적용하여 식각 후 컬러필터가 형성된 제2 기판보다 트랜지스터가 형성된 제1 기판의 두께를 두껍게 형성하여 패드부의 파손불량을 최소화시킨 액정표시패널을 제공한다. The present invention applies a glass having a different etch rate to the first substrate on which the transistor is formed and the second substrate on which the color filter is formed. After etching, the thickness of the first substrate on which the transistor is formed is thicker than the second substrate on which the color filter is formed. To provide a liquid crystal display panel that minimizes damage to the pad part.

본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널의 제조방법은, 제1 밀도의 규소 성분을 포함하며 제5 두께로 마련된 제3 기판 상에 트랜지스터를 형성되는 단계, 상기 제1 밀도보다 상대적으로 적은 제2 밀도의 규소 성분을 포함하며 제5 두께로 마련되는 제4 기판 상에 컬러필터를 형성하는 단계, 상기 제3 기판과 상기 제4 기판을 합착시켜 합착기판을 형성하는 단계, 상기 합착기판 상에 약액 노출시간동안 약액을 제공하는 단계 및 상기 약액 노출시간을 제어하여 상기 제3 기판에서 제3 두께를 제거하여 제1 두께를 갖는 제1 기판을 형성하고, 상기 제4 기판에서 제4 두께를 제거하여 제2 두께를 갖는 제2 기판을 형성하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention includes: forming a transistor on a third substrate including a silicon component having a first density and having a fifth thickness; Forming a color filter on a fourth substrate including a silicon component having a density and having a fifth thickness, bonding the third substrate and the fourth substrate to form a bonded substrate, and a chemical solution on the bonding substrate providing a chemical solution for an exposure time and controlling the exposure time of the chemical solution to form a first substrate having a first thickness by removing a third thickness from the third substrate, and removing a fourth thickness from the fourth substrate and forming a second substrate having a second thickness.

여기서, 상기 제1 기판의 제1 두께는 상기 제2 기판의 제2 두께의 1.3 내지 1.7배일 수 있다. Here, the first thickness of the first substrate may be 1.3 to 1.7 times the second thickness of the second substrate.

상기 제3 기판 및 제4 기판에 동일한 시간동안 약액을 제공하는 단계에 있어서, 상기 약액이 상기 제3 기판의 일 표면을 제거하는 제1 식각제거영역을 상기 제3 두께로 형성하는 단계일 수 있다. In the step of providing the chemical solution to the third substrate and the fourth substrate for the same time period, the chemical solution may be a step of forming a first etch removal region to remove one surface of the third substrate to the third thickness. .

상기 제3 기판 및 제4 기판에 동일한 약액노출 시간동안 약액을 제공하는 단계에 있어서, 상기 약액이 상기 제4 기판의 일 표면을 제거하는 제2 식각제거영역을 상기 제4 두께로 형성하는 단계일 수 있다. In the step of providing a chemical solution to the third substrate and the fourth substrate for the same chemical exposure time, forming a second etch removal region in which the chemical solution removes one surface of the fourth substrate to the fourth thickness can

상기 제4 두께는 상기 제3 두께의 1.3 내지 1.7배 범위일 수 있다. The fourth thickness may be in a range of 1.3 to 1.7 times the third thickness.

상기 제3 기판 및 제4 기판에 제공되는 상기 약액 노출시간은 80min 내지 120min 범위이고, 상기 제3 기판 및 제4 기판에 동일한 노출시간이 제공될 수 있다. The exposure time of the chemical solution provided to the third substrate and the fourth substrate may be in the range of 80 min to 120 min, and the same exposure time may be provided to the third substrate and the fourth substrate.

상기 약액은 불산과 질산을 혼합한 혼합물일 수 있다. The chemical may be a mixture of hydrofluoric acid and nitric acid.

상기 제3 기판의 제1 밀도의 규소 성분은 60함량% 내지 70함량% 범위일 수 있다. The silicon component of the first density of the third substrate may be in the range of 60% by weight to 70% by weight.

상기 제4 기판의 제2 밀도의 규소 성분은 70함량% 내지 75함량% 범위일 수 있다. The silicon component of the second density of the fourth substrate may be in the range of 70% by weight to 75% by weight.

상기 제2 기판은 제2 두께는 100um 내지 250um 범위로 형성되고, 상기 제1 기판의 제1 두께는 150um 내지 300um 범위로 형성될 수 있다. A second thickness of the second substrate may be formed in a range of 100 μm to 250 μm, and a first thickness of the first substrate may be formed in a range of 150 μm to 300 μm.

상기 제5 두께는 300um 내지 800um 범위일 수 있다. The fifth thickness may be in the range of 300um to 800um.

상기 합착기판은, 상기 제3 기판과 제4 기판이 중첩되게 배치되는 합착영역과, 상기 제4 기판으로부터 제3 기판이 노출되어 형성되는 오픈영역을 포함하고, 상기 오픈영역 상에는 패드부가 형성될 수 있다, The bonding substrate may include a bonding region in which the third substrate and the fourth substrate overlap each other, and an open region formed by exposing the third substrate from the fourth substrate, and a pad portion may be formed on the open region. have,

상기 약액 노출시간을 제어하여 상기 제3 기판의 제3 두께를 제거하여 제1 두께를 갖는 제1 기판을 형성하고, 상기 제4 기판을 제4 두께를 제거하여 제2 두께를 갖는 제2 기판을 형성하는 단계는, 상기 합착영역과 상기 오픈영역의 두께 차이를 최소화시킬 수 있다. A first substrate having a first thickness is formed by removing a third thickness of the third substrate by controlling the chemical exposure time, and a second substrate having a second thickness is formed by removing the fourth thickness of the fourth substrate. In the forming, a difference in thickness between the bonding region and the open region may be minimized.

본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널은, 트랜지스터가 배치되며 제1 밀도의 규소 성분을 포함하고 제1 두께를 갖는 제1 기판 및 컬러필터가 배치되며 제2 밀도의 규소 성분을 포함하고 제2 두께를 갖는 제2 기판를 포함할 수 있다.In a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention, a transistor is disposed, a first substrate including a silicon component of a first density, a first substrate having a first thickness, and a color filter are disposed, a second density of a silicon component is disposed, and a second A second substrate having a thickness may be included.

여기서 상기 제1 밀도의 규소 성분은 65함량% 내지 70함량% 범위로 형성되고, 상기 제2 밀도의 규소 성분은 70함량% 내지 75함량% 범위로 형성되고, 상기 제1 두께는 상기 제2 두께의 1.3배 내지 1.7배일 수 있다. Here, the silicon component of the first density is formed in a range of 65% to 70% by weight, the silicon component of the second density is formed in a range of 70% by content to 75% by weight, and the first thickness is the second thickness. It may be 1.3 times to 1.7 times of

상기 제1 기판과 제2 기판이 중첩되게 배치되는 합착영역과, 상기 제2 기판으로부터 제1 기판이 노출되어 형성되는 오픈영역을 포함하고, 상기 오픈영역 상에는 패드부가 형성될 수 있다. It may include a bonding region in which the first substrate and the second substrate overlap each other, and an open region formed by exposing the first substrate from the second substrate, and a pad portion may be formed on the open region.

상기 제1 기판과 제2 기판은 상기 합착영역과 상기 오픈영역의 두께 차이를 최소화시킬 수 있다. The first substrate and the second substrate may minimize a difference in thickness between the bonding region and the open region.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. The details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널은 트랜지스터가 형성된 제1 기판과 컬러필터가 형성된 제2 기판에 동일 약액에 대해 식각율이 다른 종류의 글라스를 적용함으로써 식각 후 컬러필터가 형성된 제2 기판보다 트랜지스터가 형성된 제1 기판의 두께를 두껍게 형성하여 패드부의 파손불량을 최소화시킬 수 있다. In the liquid crystal display panel according to the embodiment of the present invention, a type of glass having a different etch rate with respect to the same chemical solution is applied to the first substrate on which the transistor is formed and the second substrate on which the color filter is formed. By forming the thickness of the first substrate on which the transistor is formed to be thick, it is possible to minimize the failure of the pad part.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널은 제1 기판과 제2 기판이 합착된 합착영역과 패드부가 형성된 오픈영역에서의 두께 차이를 최소화시킴으로써 외력으로 가해지는 충격이 상대적으로 얇은 두께의 패드부로 전달되어 패드부가 파손되는 불량의 발생을 최소화시킬 수 있다. In addition, the liquid crystal display panel according to the embodiment of the present invention minimizes the difference in thickness between the bonding region where the first substrate and the second substrate are bonded and the open region where the pad part is formed, so that the impact applied by an external force is relatively thin. It is possible to minimize the occurrence of defects that are transmitted to the part and the pad part is damaged.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다. The effect according to the present invention is not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the present specification.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널의 평면도이다.
도 2는 도 1의 “A” 영역의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널의 기판두께와 종래의 액정표시패널의 기판두께를 비교한 단면도들이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널의 제조공정을 도시한 단면도이다.
도 5은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널의 식각 메카니즘을 개략적으로 도시한 모식도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널의 기판을 구성하는 규소 성분의 분자 구조를 도시한 도면이다.
1 is a plan view of a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of area “A” of FIG. 1 .
3 is a cross-sectional view comparing the substrate thickness of the liquid crystal display panel according to the embodiment of the present invention and the substrate thickness of the conventional liquid crystal display panel.
4 is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention.
5 is a schematic diagram schematically illustrating an etching mechanism of a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention.
6 is a diagram illustrating a molecular structure of a silicon component constituting a substrate of a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 설명한다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호들은 실질적으로 동일한 구성 요소들을 의미한다. 이하의 설명에서, 본 발명과 관련된 공지 기술 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그 상세한 설명을 생략한다. 여러 실시예들을 설명함에 있어서, 동일한 구성요소에 대하여는 서두에서 대표적으로 설명하고 다른 실시예에서는 생략될 수 있다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals refer to substantially identical elements throughout. In the following description, if it is determined that a detailed description of a known technology or configuration related to the present invention may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. In describing various embodiments, the same components are representatively described in the introduction and may be omitted in other embodiments.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. Terms including an ordinal number such as 1st, 2nd, etc. may be used to describe various elements, but the elements are not limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

본 명세서의 여러 실시 예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관관계로 함께 실시할 수도 있다. Each feature of the various embodiments of the present specification may be partially or wholly combined or combined with each other, technically various interlocking and driving are possible, and each embodiment may be independently implemented with respect to each other or may be implemented together in a related relationship. may be

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널의 평면도이고, 도 2는 도 1의 “A” 영역의 사시도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널의 기판두께와 종래의 액정표시패널의 기판두께를 비교한 단면도들이다.1 is a plan view of a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of area “A” of FIG. 1, and FIG. 3 is a substrate thickness of a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention and a conventional These are cross-sectional views comparing the substrate thickness of the liquid crystal display panel.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널(10)은 트랜지스터가 배치되며 제1 밀도의 규소 성분을 포함하고 제1 두께(D1)를 갖는 제1 기판(100) 및 컬러필터가 배치되며 제2 밀도의 규소 성분을 포함하고 제2 두께(D2)를 갖는 제2 기판(200)를 포함한다. 1 to 3 , in the liquid crystal display panel 10 according to the embodiment of the present invention, a first substrate 100 on which transistors are disposed, including a silicon component of a first density, and having a first thickness D1 . and a second substrate 200 on which a color filter is disposed and includes a silicon component having a second density and having a second thickness D2.

여기서 제1 두께(D1)는 제2 두께(D2)의 1.3 내지 1.7배일 수 있다. 다시 말해, 제1 기판(100)의 제1 두께(D1)는 제2 기판(200)의 제2 두께(D2)보다 1.3 내지 1.7배 더 두껍게 배치될 수 있다. 그리고 제1 기판(100)은 제2 기판(200)보다 크게 형성되어, 제2 기판(200)으로부터 노출되는 패드부(PDA)를 구비할 수 있다. Here, the first thickness D1 may be 1.3 to 1.7 times the second thickness D2. In other words, the first thickness D1 of the first substrate 100 may be 1.3 to 1.7 times thicker than the second thickness D2 of the second substrate 200 . In addition, the first substrate 100 may be formed to be larger than the second substrate 200 , and may include a pad part PDA exposed from the second substrate 200 .

제1 기판(100) 및 제2 기판(200)은 이산화 규소를 포함하는 유리(Glass)계열로 형성될 수 있다. The first substrate 100 and the second substrate 200 may be formed of a glass-based material including silicon dioxide.

액정표시패널(10)을 개략으로 설명하면, 제1 기판(100) 상에 트랜지스터가 배치될 수 있다. 상기 트랜지스터는 제1 기판(100) 상에 배치되는 게이트 전극, 상기 게이트 전극 상에 배치되는 게이트 절연막, 상기 게이트 절연막 상에 배치되는 반도체층, 상기 반도체층 상에 배치되는 소스/드레인 전극을 포함할 수 있다. 그리고, 소스/드레인 전극 중 어느 하나의 전극에 연결되는 화소전극을 포함할 수 있다. When the liquid crystal display panel 10 is schematically described, a transistor may be disposed on the first substrate 100 . The transistor may include a gate electrode disposed on the first substrate 100 , a gate insulating layer disposed on the gate electrode, a semiconductor layer disposed on the gate insulating layer, and source/drain electrodes disposed on the semiconductor layer. can In addition, a pixel electrode connected to any one of the source/drain electrodes may be included.

상기와 같이 형성되는 트랜지스터의 화소전극은 제1 기판(100) 또는 제2 기판(200) 상에 형성된 공통전극과 전계를 형성하여 제1 기판(100)과 제2 기판(200) 사이에 배치되는 액정층의 액정을 온/오프시켜 영상을 표시할 수 있다. The pixel electrode of the transistor formed as described above forms an electric field with the common electrode formed on the first substrate 100 or the second substrate 200 to be disposed between the first substrate 100 and the second substrate 200 . An image can be displayed by turning on/off the liquid crystal of the liquid crystal layer.

그리고 제2 기판 상에는 컬러필터가 배치될 수 있다. 컬러필터는 광을 선별적으로 투과시켜 색상을 표현할 수 있다. In addition, a color filter may be disposed on the second substrate. The color filter selectively transmits light to express color.

상기와 같이, 컬러필터와 트랜지스터가 형성된 기판 사이에 액정층을 개재하고, 제1 기판(100)과 제2 기판(200)을 합착시켜 액정표시패널(10)을 형성할 수 있다. 따라서 액정표시패널(10)은 제1 기판(100)과 제2 기판(200)이 합착된 합착영역(HA)이 형성되고, 패드부(PDA)가 제2 기판(200)으로부터 오픈된 오픈영역(OPA)이 형성될 수 있다. As described above, the liquid crystal layer is interposed between the color filter and the substrate on which the transistor is formed, and the first substrate 100 and the second substrate 200 are bonded to each other to form the liquid crystal display panel 10 . Accordingly, in the liquid crystal display panel 10 , the bonding area HA in which the first substrate 100 and the second substrate 200 are bonded is formed, and the pad part PDA is an open area open from the second substrate 200 . (OPA) may be formed.

제1 기판(100)은 제1 밀도의 규소 성분을 포함한다. 그리고 제2 기판(200)은 제2 밀도의 규소 성분을 포함한다. 여기서 상기 제1 밀도와 상기 제2 밀도는 상이한 밀도로 정의된다. 구체적으로, 상기 제1 밀도는 상기 제2 밀도보다 상대적으로 높은 밀도이다. The first substrate 100 includes a silicon component having a first density. And the second substrate 200 includes a silicon component having a second density. Here, the first density and the second density are defined as different densities. Specifically, the first density is a relatively higher density than the second density.

구체적으로, 제1 기판(100) 상에 함유되는 상기 제1 밀도의 규소 성분은 65함량% 내지 70함량% 범위로 형성되고, 제1 기판(100) 상에 함유되는 상기 제2 밀도의 규소 성분은 70함량% 내지 75함량% 범위로 형성될 수 있다. Specifically, the silicon component of the first density contained on the first substrate 100 is formed in the range of 65 content% to 70 content%, and the silicon component of the second density contained on the first substrate 100 . Silver may be formed in the range of 70 content % to 75 content %.

상기한 규소 성분은 추후에 설명할 약액에 대한 반응성이 상이함으로 제1 기판(100)과 제2 기판(200)의 슬리밍 비율(Slimming rate)을 제어할 수 있다. 즉, 규소 성분의 밀도차이는 슬리밍 비율(Slimming rate)의 차이를 발생시켜 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널(10)의 제1 두께(D1)의 제1 기판(100)과 제2 두께(D2)의 제2 기판(200)을 형성할 수 있다. 여기서 제1 두께(D1)의 제1 기판(100)이 제2 두께(D2)의 제2 기판(200)보다 1.3배 내지 1.7배 두꺼워지도록 형성할 수 있다. Since the silicon component has different reactivity to a chemical solution, which will be described later, the slimming rate of the first substrate 100 and the second substrate 200 may be controlled. That is, the difference in the density of the silicon component causes a difference in the slimming rate, so that the first substrate 100 and the second thickness of the first thickness D1 of the liquid crystal display panel 10 according to the embodiment of the present invention. The second substrate 200 of (D2) may be formed. Here, the first substrate 100 having the first thickness D1 may be formed to be 1.3 times to 1.7 times thicker than the second substrate 200 having the second thickness D2.

반면, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 종래에는 동일한 성분을 가지는 제1 기판(100-1)과 제2 기판(200-1)에 사용하였다. 여기서 종래의 액정표시패널(10-1)의 셀 두께를 줄이기 위해 실시되는 공정에서 동일한 약액을 사용하는 경우, 동일한 성분의 제1 기판(100-1)과 제2 기판(200-1)은 식각되는 두께가 동일해져 최종적으로 제1 기판(100-1)과 제2 기판(200-1)은 동일한 형성두께(Q1)를 갖도록 형성된다. On the other hand, as shown in (a) of FIG. 3 , conventionally, the first substrate 100-1 and the second substrate 200-1 having the same component were used. Here, when the same chemical solution is used in the process performed to reduce the cell thickness of the conventional liquid crystal display panel 10-1, the first substrate 100-1 and the second substrate 200-1 of the same component are etched. The thicknesses used become the same, and finally, the first substrate 100-1 and the second substrate 200-1 are formed to have the same thickness Q1.

여기서 제1 기판(100-1)의 경우는 패드부(PDA)를 구비함으로 패드부(PDA)가 형성된 오픈영역(OPA) 상에는 제1 기판(100)과 제2 기판(200)이 합착된 합착영역(HA)보다 상대적으로 얇아져 작은 외력으로 가해지는 충격에도 파손되는 불량이 발생할 수 있다. Here, in the case of the first substrate 100-1, since the pad part PDA is provided, the first substrate 100 and the second substrate 200 are bonded together on the open area OPA where the pad part PDA is formed. Since it is relatively thinner than the area HA, a defect may occur even when an impact is applied by a small external force.

그러나, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널(10)은 제2 기판(200)보다 상대적으로 두껍게 형성되는 제1 기판(100)으로 인해 제1 기판(100)과 제2 기판(200)이 합착된 합착영역(HA)과 패드부(PDA)가 형성된 오픈영역(OPA)에서의 두께 차이가 최소화될 수 있다. 따라서 외력으로 가해지는 충격이 상대적으로 얇은 두께의 패드부(PDA)로 전달되어 패드부(PDA)가 파손되는 불량의 발생을 최소화시킬 수 있다. However, as shown in FIG. 3B , the liquid crystal display panel 10 according to the embodiment of the present invention has the first substrate 100 formed to be relatively thicker than the second substrate 200 . A thickness difference between the bonding area HA in which the substrate 100 and the second substrate 200 are bonded and the open area OPA in which the pad part PDA is formed may be minimized. Accordingly, it is possible to minimize the occurrence of a defect in which an impact applied by an external force is transmitted to the pad part PDA having a relatively thin thickness, and the pad part PDA is damaged.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널(10)은 트랜지스터가 형성된 제1 기판(100)과 컬러필터가 형성된 제2 기판(200)에 동일 약액에 대해 식각율이 다른 종류의 글라스를 적용함으로써 식각 후 컬러필터가 형성된 제2 기판(200)보다 트랜지스터가 형성된 제1 기판(100)의 두께를 두껍게 형성하여 패드부(PDA)의 파손불량을 최소화시킬 수 있다.As described above, in the liquid crystal display panel 10 according to the embodiment of the present invention, a type of glass having a different etching rate with respect to the same chemical solution is applied to the first substrate 100 on which the transistor is formed and the second substrate 200 on which the color filter is formed. By applying this, the thickness of the first substrate 100 on which the transistor is formed is thicker than that of the second substrate 200 on which the color filter is formed after etching, thereby minimizing damage to the pad part PDA.

게다가, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널(10)은 제1 기판(100)과 제2 기판(200)이 합착된 합착영역(HC)과 패드부(PDA)가 형성된 오픈영역(OPA)에서의 두께 차이를 최소화시킴으로써 외력으로 가해지는 충격이 상대적으로 얇은 두께의 패드부(PDA)로 전달되어 패드부(PDA)가 파손되는 불량의 발생을 최소화시킬 수 있다.In addition, the liquid crystal display panel 10 according to the embodiment of the present invention has a bonding area HC in which the first substrate 100 and the second substrate 200 are bonded and an open area OPA in which the pad part PDA is formed. By minimizing the thickness difference in the , an impact applied by an external force is transmitted to the pad part PDA having a relatively thin thickness, thereby minimizing the occurrence of a defect in which the pad part PDA is damaged.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널의 제조공정을 도시한 단면도이고, 도 5은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널의 식각 메카니즘을 개략적으로 도시한 모식도이다. 그리고, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널의 기판을 구성하는 규소 성분의 분자 구조를 도시한 도면이다. 4 is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a schematic diagram schematically illustrating an etching mechanism of the liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention. 6 is a view showing a molecular structure of a silicon component constituting a substrate of a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention.

도 4 내지 6은 중복 설명을 회피하고, 용이한 설명을 위해 도 1 내지 3을 인용하여 설명하기로 한다. 4 to 6 will be described with reference to FIGS. 1 to 3 to avoid overlapping description and for easy explanation.

도 4 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널(10)의 제조방법은 제1 밀도의 규소 성분을 포함하며 제5 두께(D5)로 마련된 제3 기판(300) 상에 트랜지스터를 형성되는 단계, 제1 밀도보다 상대적으로 적은 제2 밀도의 규소 성분을 포함하며 제5 두께(D5)로 마련되는 제4 기판(400) 상에 컬러필터를 형성하는 단계, 제3 기판(300)과 제4 기판(400)을 합착시켜 합착기판(10a)을 형성하는 단계, 합착기판(10a) 상에 약액(LFN) 노출시간동안 약액(LFN)을 제공하는 단계 및 제3 기판(300)의 제3 두께(D3)를 제거하여 제1 두께(D1)를 갖는 제1 기판(100)을 형성하고, 제4 기판(400)의 제4 두께(D4)를 제거하여 제2 두께(D2)를 갖는 제2 기판(200)을 형성하는 단계를 포함한다. 4 to 6 , in the method of manufacturing the liquid crystal display panel 10 according to an embodiment of the present invention, the third substrate 300 including the silicon component of the first density and provided with the fifth thickness D5 is Forming a transistor on the substrate, forming a color filter on the fourth substrate 400 including a silicon component having a second density that is relatively less than the first density and having a fifth thickness D5, the third substrate The step of bonding 300 and the fourth substrate 400 to form a cemented substrate 10a, providing a chemical solution (LFN) on the cemented substrate 10a for an exposure time of the chemical solution (LFN), and a third substrate ( The third thickness D3 of 300 is removed to form the first substrate 100 having the first thickness D1, and the fourth thickness D4 of the fourth substrate 400 is removed to form a second thickness ( and forming a second substrate 200 having D2).

여기서 제1 기판(100)의 제1 두께(D1)는 제2 기판(200)의 제2 두께(D2)의 1.3 내지 1.7배일 수 있다. 다시 말해, 제1 기판(100)의 제1 두께(D1)는 제2 기판(200)의 제2 두께(D2)보다 1.3 내지 1.7배 더 두껍게 배치될 수 있다. Here, the first thickness D1 of the first substrate 100 may be 1.3 to 1.7 times the second thickness D2 of the second substrate 200 . In other words, the first thickness D1 of the first substrate 100 may be 1.3 to 1.7 times thicker than the second thickness D2 of the second substrate 200 .

제1 밀도의 규소 성분을 포함하며 제5 두께(D5)로 마련된 제3 기판(300) 상에 트랜지스터를 형성되는 단계를 실시한다. 전술한 바와 같이, 제3 기판(300) 상에 복수의 트랜지스터를 형성한다. A step of forming a transistor on the third substrate 300 including the silicon component of the first density and having a fifth thickness D5 is performed. As described above, a plurality of transistors are formed on the third substrate 300 .

그리고 제1 밀도보다 상대적으로 적은 제2 밀도의 규소 성분을 포함하며 제5 두께(D5)로 마련되는 제4 기판(400) 상에 컬러필터를 형성하는 단계를 실시한다. 전술한 바와 같이, 제4 기판(400) 상에 특정 파장을 투과시키는 컬러 필터를 형성한다. In addition, a step of forming a color filter on the fourth substrate 400 including a silicon component having a second density that is relatively less than the first density and having a fifth thickness D5 is performed. As described above, a color filter that transmits a specific wavelength is formed on the fourth substrate 400 .

여기서, 제3 기판(300) 및 제4 기판(400)은 제 5 두께(D5)로 동일한 두께로 마련할 수 있다. 다시 말해, 제3 기판(300) 및 제4 기판(400)이 서로 다른 두께로 마련될 경우, 슬리밍 비율(Slimming rate)의 제어가 가능하나, 최종 형성되는 제1 기판(100)과 제2 기판(200)의 두께 비율을 제어하기 어려울 수 있다. Here, the third substrate 300 and the fourth substrate 400 may be provided to have the same thickness as the fifth thickness D5 . In other words, when the third substrate 300 and the fourth substrate 400 are provided with different thicknesses, the slimming rate can be controlled, but the first substrate 100 and the second substrate finally formed It can be difficult to control the thickness ratio of (200).

그리고, 제5 두께(D5)는 300um 내지 800um 범위일 수 있다. 제5 두께(D5)가 300um 미만인 경우, 기판의 두께가 얇아 슬리밍 비율(Slimming rate)의 제어가 어렵고, 제5 두께(D5)가 800um 초과인 경우, 추후 실시하는 약액 노출시간이 길어져 공정시간이 증가할 수 있다. And, the fifth thickness D5 may be in the range of 300um to 800um. When the fifth thickness (D5) is less than 300um, the thickness of the substrate is thin and it is difficult to control the slimming rate, and when the fifth thickness (D5) is more than 800um, the chemical exposure time to be carried out later becomes longer and the process time is reduced can increase

한편, 제1 밀도의 규소 성분 및 제2 밀도의 규소 성분은 추후 설명하기로 한다. Meanwhile, the silicon component of the first density and the silicon component of the second density will be described later.

제3 기판(300)과 제4 기판(400)을 합착시켜 합착기판(10a)을 형성할 수 있다. 여기서 합착기판(10a)은 제3 기판(300)과 제4 기판(400) 사이에 액정층(미도시)을 개재할 수 있다. 합착기판(10a)은 제3 기판(300)과 제4 기판(400)이 중첩배치되는 합착영역(HA)과, 제4 기판(400)으로부터 제3 기판(300)이 노출되어 형성되는 오픈영역(OPA)을 포함할 수 있다. 오픈영역(OPA) 상에는 패드부(PDA)가 배치될 수 있다. 따라서 합착기판(10a)은 오픈영역(OPA)의 두께에 대해서 합착영역(HA)의 두께가 대략 2배 정도일 수 있다. A bonded substrate 10a may be formed by bonding the third substrate 300 and the fourth substrate 400 to each other. Here, in the bonding substrate 10a, a liquid crystal layer (not shown) may be interposed between the third substrate 300 and the fourth substrate 400 . The bonding substrate 10a includes a bonding area HA in which the third substrate 300 and the fourth substrate 400 are overlapped, and an open area formed by exposing the third substrate 300 from the fourth substrate 400 . (OPA) may be included. A pad part PDA may be disposed on the open area OPA. Accordingly, the thickness of the bonding area HA of the bonding substrate 10a may be approximately twice that of the open area OPA.

합착기판(10a) 상에 약액 노출시간동안 약액(LFN)을 제공하는 단계를 실시한다. 약액(LFN)은 불산(HF)과 질산(HNO)을 혼합한 혼합물을 사용할 수 있다. The step of providing the chemical solution LFN on the bonding substrate 10a during the exposure time of the chemical solution is performed. As the chemical solution (LFN), a mixture of hydrofluoric acid (HF) and nitric acid (HNO) may be used.

도 5 및 도 6을 참조하면, 약액(LFN)과 기판들(제3 기판(300)과 제4기판(400))의 반응 메커니즘은 아래의 식으로 정의될 수 있다. 5 and 6 , the reaction mechanism between the chemical liquid LFN and the substrates (the third substrate 300 and the fourth substrate 400 ) may be defined by the following equation.

[화학식 1][Formula 1]

SiO2 + 6HF

Figure pat00001
H2(SiF6) + 2H2O+ ESiO 2 + 6HF
Figure pat00001
H 2 (SiF 6 ) + 2H 2 O+ E

여기서 E은 기판들(제3 기판(300)과 제4기판(400))과 약액(LFN)의 반응으로 발생되는 열 에너지 등으로 정의될 수 있다.Here, E may be defined as thermal energy generated by a reaction between the substrates (the third substrate 300 and the fourth substrate 400 ) and the chemical liquid LFN.

기판(제3 기판(300)과 제4기판(400))들의 슬리밍은 이산화규소(SiO2)와 불산(HF) 또는 질산(HNO) 및 이들의 혼합물 중 어느 하나의 반응의 의해 진행될 수 있다. 여기서는 대표적으로 불산(HF)을 예들 어 설명하기로 한다. 기판(제3 기판(300)과 제4기판(400))들의 표면에 접촉하는 약액(LFN)이 반응에 따라 기판(제3 기판(300)과 제4기판(400))들의 Si-O-Si의 네트워크 구조를 끊고, 벌크 상태의 기판(제3 기판(300)과 제4기판(400))들로부터 상기한 구성분자를 유리시킴으로써 기판(제3 기판(300)과 제4기판(400))들의 박형화를 구현할 수 있다. The slimming of the substrates (the third substrate 300 and the fourth substrate 400 ) may be performed by a reaction between silicon dioxide (SiO 2 ), hydrofluoric acid (HF), nitric acid (HNO), and a mixture thereof. Here, hydrofluoric acid (HF) will be described as an example. Si-O- of the substrates (the third substrate 300 and the fourth substrate 400) according to the reaction of the chemical liquid (LFN) in contact with the surfaces of the substrates (the third substrate 300 and the fourth substrate 400) By breaking the network structure of Si and releasing the constituent molecules from the bulk substrates (the third substrate 300 and the fourth substrate 400), the substrate (the third substrate 300 and the fourth substrate 400) ) can be implemented.

따라서 기판(제3 기판(300)과 제4기판(400))들의 구성 중에 이산화규소(SiO2)성분이 많다는 뜻은 Si-O-Si의 네트워크 구조가 많다는 의미일 수 있다. 즉, 단위 약액(LFN) 노출시간 당 Si-O-Si의 네트워크 구조를 끊기 위한 시간은 정해져 있기 때문에 Si-O-Si의 네트워크 구조를 끊기 위한 필요 시간이 길어짐을 의미한다. Therefore, in the configuration of the substrates (the third substrate 300 and the fourth substrate 400 ), a large amount of silicon dioxide (SiO 2 ) may mean a large amount of Si-O-Si network structure. That is, since the time for breaking the network structure of Si-O-Si per unit chemical solution (LFN) exposure time is fixed, it means that the time required for breaking the network structure of Si-O-Si becomes longer.

따라서 이산화규소(SiO2)성분이 제1 밀도로 포함된 제3 기판(300)과, 상기 제1 밀도보다 상대적으로 적은 제2 밀도의 이산화규소(SiO2)성분을 포함하는 제4 기판(400)을 약액(LFN)에 동일 시간동안 노출시키면, 식각되는 정도를 상이하게 형성할 수 있다. 따라서 식각공정으로 일정한 두께를 가진 기판(제3 기판(300)과 제4기판(400))들을 얻기 위해서 제3 기판(300) 및 제4 기판(400)에 동일한 약액(LFN) 노출시간이 제공되어야 한다. Therefore, the third substrate 300 including the silicon dioxide (SiO 2 ) component at a first density, and the fourth substrate 400 including the silicon dioxide (SiO 2 ) component having a second density that is relatively smaller than the first density. ) to the chemical solution (LFN) for the same time, the degree of etching can be formed differently. Accordingly, the same chemical solution (LFN) exposure time is provided to the third substrate 300 and the fourth substrate 400 to obtain substrates (the third substrate 300 and the fourth substrate 400) having a constant thickness through the etching process. should be

여기서 약액(LFN) 노출시간은 80min 내지 120min 범위일 수 있다. 약액 노출시간은 80min 미만인 경우는, 반응시간이 적어 제3 기판(300)과 제4 기판(400)의 두께 차이를 발생시키기 어렵고, 약액 노출시간은 120min 초과인 경우는, 약액(LFN) 노출시간이 길어져 택트 타임(Tact tome)이 증가하여 생산성이 저하될 수 있다. Here, the exposure time of the chemical solution (LFN) may be in the range of 80 min to 120 min. When the chemical exposure time is less than 80 min, the reaction time is small, so it is difficult to generate a thickness difference between the third substrate 300 and the fourth substrate 400, and when the chemical exposure time is more than 120 min, the chemical solution (LFN) exposure time This lengthening may increase the tact time (Tact tome), thereby reducing productivity.

예를 들어 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 이산화 규소 성분이 많이 포함된 제3 기판(300)의 표면에는 제3 두께(D3)로 형성되는 제1 식각제거영역(ED1)이 형성되고, 이산화 규소 성분이 덜 포함된 제4 기판(400)의 표면에는 제3 두께(D3)로 형성되는 제2 식각제거영역(ED2)이 형성될 수 있다. 여기서 제2 식각제거영역(ED2)으로 형성된 제4 두께(D4)는 제1 식각제거영역(ED1)이 형성되는 제3 두께(D3)의 1.3 내지 1.7배 범위로 형성될 수 있다. For example, as shown in FIG. 4B , a first etch removal region ED1 having a third thickness D3 is formed on the surface of the third substrate 300 containing a large amount of silicon dioxide. and a second etch removal region ED2 having a third thickness D3 may be formed on the surface of the fourth substrate 400 containing less silicon dioxide. Here, the fourth thickness D4 formed as the second etch removal region ED2 may be formed in a range of 1.3 to 1.7 times the third thickness D3 at which the first etch removal region ED1 is formed.

이와 같이, 제3 기판(300)에서 제1 식각제거영역(ED1)인 제3 두께(D3)를 제거하여 제1 기판(100)을 형성할 수 있다. 그리고 제4 기판(400)에서 제2 식각제거영역(ED2)인 제4 두께(D4)를 제거하여 제2 기판(200)을 형성할 수 있다. As described above, the first substrate 100 may be formed by removing the third thickness D3 that is the first etch-removed region ED1 from the third substrate 300 . In addition, the second substrate 200 may be formed by removing the fourth thickness D4 that is the second etch removal region ED2 from the fourth substrate 400 .

따라서 제1 기판(100)의 제1 두께(D1)는 제2 기판(200)의 제2 두께(D2)의 1.3 내지 1.7배로 형성할 수 있다. 제2 기판(200)은 제2 두께(D2)는 100um 내지 250um 범위로 형성될 수 있고, 제1 기판(100)의 제1 두께(D1)는 150um 내지 300um 범위로 형성될 수 있다. 따라서, 제1 기판(100)의 제1 두께(D1)가 제2 기판(200)은 제2 두께(D2)보다 두껍게 형성됨에 따라 합착영역(HA)과 오픈영역(OPA)의 두께 차이를 최소화시킬 수 있다. Accordingly, the first thickness D1 of the first substrate 100 may be 1.3 to 1.7 times the second thickness D2 of the second substrate 200 . The second thickness D2 of the second substrate 200 may be formed in a range of 100 μm to 250 μm, and the first thickness D1 of the first substrate 100 may be formed in a range of 150 μm to 300 μm. Accordingly, as the first thickness D1 of the first substrate 100 is thicker than the second thickness D2 of the second substrate 200, the thickness difference between the bonding area HA and the open area OPA is minimized. can do it

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널(10)의 제조방법은 트랜지스터가 형성된 제1 기판(100)과 컬러필터가 형성된 제2 기판(200)에 동일 약액에 대해 식각율이 다른 종류의 글라스를 적용함으로써 식각 후 컬러필터가 형성된 제2 기판(200)보다 트랜지스터가 형성된 제1 기판(100)의 두께를 두껍게 형성하여 패드부(PDA)의 파손불량을 최소화시킬 수 있다.As described above, in the method of manufacturing the liquid crystal display panel 10 according to the embodiment of the present invention, the etching rate is different for the same chemical solution on the first substrate 100 on which the transistor is formed and the second substrate 200 on which the color filter is formed. By applying the glass of , the thickness of the first substrate 100 on which the transistor is formed is thicker than that of the second substrate 200 on which the color filter is formed after etching, so that the failure of the pad part PDA can be minimized.

게다가, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널(10)의 제조방법은 제1 기판(100)과 제2 기판(200)이 합착된 합착영역(HC)과 패드부(PDA)가 형성된 오픈영역(OPA)에서의 두께 차이를 최소화시킴으로써 외력으로 가해지는 충격이 상대적으로 얇은 두께의 패드부(PDA)로 전달되어 패드부(PDA)가 파손되는 불량의 발생을 최소화시킬 수 있다.In addition, in the method of manufacturing the liquid crystal display panel 10 according to the embodiment of the present invention, the bonding area HC in which the first substrate 100 and the second substrate 200 are bonded and the open area in which the pad part PDA is formed. By minimizing the thickness difference in the OPA, an impact applied by an external force is transmitted to the pad part PDA having a relatively thin thickness, thereby minimizing the occurrence of a defect in which the pad part PDA is damaged.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양하게 변경 및 수정할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정해져야만 할 것이다. Those skilled in the art through the above description will be able to make various changes and modifications without departing from the technical spirit of the present invention. Accordingly, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.

10: 액정표시패널 100: 제1 기판
200: 제2 기판 300: 제3 기판
400: 제4 기판 ED1: 제1 식각제거영역
ED2: 제2 식각제거영역 OPA: 오픈영역
HC: 합착영역 LFN: 약액
10: liquid crystal display panel 100: first substrate
200: second substrate 300: third substrate
400: fourth substrate ED1: first etch removal region
ED2: second etch removal area OPA: open area
HC: Adhesion region LFN: Chemical solution

Claims (15)

제1 밀도의 규소 성분을 포함하며 제5 두께로 마련된 제3 기판 상에 트랜지스터를 형성되는 단계;
상기 제1 밀도보다 상대적으로 적은 제2 밀도의 규소 성분을 포함하며 제5 두께로 마련되는 제4 기판 상에 컬러필터를 형성하는 단계;
상기 제3 기판과 상기 제4 기판을 합착시켜 합착기판을 형성하는 단계;
상기 합착기판 상에 약액 노출시간동안 약액을 제공하는 단계; 및
상기 약액 노출시간을 제어하여 상기 제3 기판에서 제3 두께를 제거하여 제1 두께를 갖는 제1 기판을 형성하고, 상기 제4 기판에서 제4 두께를 제거하여 제2 두께를 갖는 제2 기판을 형성하는 단계;를 포함하되,
상기 제1 기판의 제1 두께는 상기 제2 기판의 제2 두께의 1.3 내지 1.7배인 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
forming a transistor on a third substrate including a silicon component having a first density and having a fifth thickness;
forming a color filter on a fourth substrate including a silicon component having a second density that is relatively less than the first density and having a fifth thickness;
bonding the third substrate and the fourth substrate to form a bonded substrate;
providing a chemical solution for an exposure time of the chemical solution on the bonding substrate; and
A first substrate having a first thickness is formed by removing a third thickness from the third substrate by controlling the exposure time to the chemical, and a second substrate having a second thickness is formed by removing a fourth thickness from the fourth substrate. Forming; including,
The first thickness of the first substrate is 1.3 to 1.7 times the second thickness of the second substrate.
제1 항에 있어서,
상기 제3 기판 및 제4 기판에 동일한 시간동안 약액을 제공하는 단계에 있어서,
상기 약액이 상기 제3 기판의 일 표면을 제거하는 제1 식각제거영역을 상기 제3 두께로 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
According to claim 1,
In the step of providing a chemical solution to the third substrate and the fourth substrate for the same time,
and forming a first etch removal region in which the chemical solution removes one surface of the third substrate to the third thickness.
제1 항에 있어서,
상기 제3 기판 및 제4 기판에 동일한 약액노출 시간동안 약액을 제공하는 단계에 있어서,
상기 약액이 상기 제4 기판의 일 표면을 제거하는 제2 식각제거영역을 상기 제4 두께로 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
According to claim 1,
In the step of providing a chemical solution to the third substrate and the fourth substrate for the same exposure time to the chemical,
and forming a second etch removal region in which the chemical solution removes one surface of the fourth substrate to the fourth thickness.
제1 항에 있어서,
상기 제4 두께는 상기 제3 두께의 1.3 내지 1.7배 범위인 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
According to claim 1,
The fourth thickness is in the range of 1.3 to 1.7 times the third thickness.
제1 항에 있어서,
상기 제3 기판 및 제4 기판에 제공되는 상기 약액 노출시간은 80min 내지 120min 범위이고, 상기 제3 기판 및 제4 기판에 동일한 노출시간이 제공되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
According to claim 1,
The exposure time of the chemical solution provided to the third and fourth substrates ranges from 80 min to 120 min, and the same exposure time is provided to the third and fourth substrates.
제1 항에 있어서,
상기 약액은 불산과 질산을 혼합한 혼합물인 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
According to claim 1,
The method of manufacturing a liquid crystal display panel, characterized in that the chemical is a mixture of hydrofluoric acid and nitric acid.
제1 항에 있어서,
상기 제3 기판의 제1 밀도의 규소 성분은 65함량% 내지 70함량% 범위인 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
According to claim 1,
The method of manufacturing a liquid crystal display panel, characterized in that the silicon component of the first density of the third substrate is in the range of 65 content % to 70 content %.
제1 항에 있어서,
상기 제4 기판의 제2 밀도의 규소 성분은 70함량% 내지 75함량% 범위인 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
According to claim 1,
The method of manufacturing a liquid crystal display panel, characterized in that the silicon component of the second density of the fourth substrate is in the range of 70% by content to 75% by content.
제1 항에 있어서,
상기 제2 기판은 제2 두께는 100um 내지 250um 범위로 형성되고,
상기 제1 기판의 제1 두께는 150um 내지 300um 범위로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
According to claim 1,
The second substrate has a second thickness in the range of 100um to 250um,
A method of manufacturing a liquid crystal display panel, characterized in that the first thickness of the first substrate is formed in the range of 150um to 300um.
제1 항에 있어서,
상기 제5 두께는 300um 내지 800um 범위인 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
According to claim 1,
The fifth thickness is a method of manufacturing a liquid crystal display panel, characterized in that in the range of 300um to 800um.
제1 항에 있어서,
상기 합착기판은,
상기 제3 기판과 제4 기판이 중첩되게 배치되는 합착영역과,
상기 제4 기판으로부터 제3 기판이 노출되어 형성되는 오픈영역을 포함하고,
상기 오픈영역 상에는 패드부가 형성되는 액정표시패널의 제조방법.
According to claim 1,
The bonding substrate is
a bonding region in which the third substrate and the fourth substrate overlap each other;
and an open region formed by exposing a third substrate from the fourth substrate;
A method of manufacturing a liquid crystal display panel in which a pad part is formed on the open area.
제11 항에 있어서,
상기 약액 노출시간을 제어하여 상기 제3 기판의 제3 두께를 제거하여 제1 두께를 갖는 제1 기판을 형성하고, 상기 제4 기판을 제4 두께를 제거하여 제2 두께를 갖는 제2 기판을 형성하는 단계는,
상기 합착영역과 상기 오픈영역의 두께 차이를 최소화시키는 것을 특징으로 액정표시패널의 제조방법.
12. The method of claim 11,
A first substrate having a first thickness is formed by removing a third thickness of the third substrate by controlling the exposure time to the chemical, and a second substrate having a second thickness is formed by removing the fourth thickness of the fourth substrate. The forming step is
A method of manufacturing a liquid crystal display panel, characterized in that the difference in thickness between the bonding region and the open region is minimized.
트랜지스터가 배치되며 제1 밀도의 규소 성분을 포함하고 제1 두께를 갖는 제1 기판; 및
컬러필터가 배치되며 제2 밀도의 규소 성분을 포함하고 제2 두께를 갖는 제2 기판; 를 포함하되,
상기 제1 밀도의 규소 성분은 65함량% 내지 70함량% 범위로 형성되고,
상기 제2 밀도의 규소 성분은 70함량% 내지 75함량% 범위로 형성되고,
상기 제1 두께는 상기 제2 두께의 1.3배 내지 1.7배인 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
a first substrate having a first thickness and comprising a silicon component of a first density on which the transistor is disposed; and
a second substrate on which the color filter is disposed, the second substrate including a silicon component of a second density and having a second thickness; including,
The silicon component of the first density is formed in the range of 65% by weight to 70% by weight,
The silicon component of the second density is formed in the range of 70% by weight to 75% by weight,
The first thickness of the liquid crystal display panel, characterized in that 1.3 times to 1.7 times the second thickness.
제13 항에 있어서,
상기 제1 기판과 제2 기판이 중첩되게 배치되는 합착영역과,
상기 제2 기판으로부터 제1 기판이 노출되어 형성되는 오픈영역을 포함하고,
상기 오픈영역 상에는 패드부가 형성되는 액정표시패널.
14. The method of claim 13,
a bonding region in which the first substrate and the second substrate overlap each other;
and an open region formed by exposing the first substrate from the second substrate;
A liquid crystal display panel in which a pad part is formed on the open area.
제14 항에 있어서,
상기 제1 기판과 제2 기판은 상기 합착영역과 상기 오픈영역의 두께 차이를 최소화시키는 것을 특징으로 액정표시패널.
15. The method of claim 14,
The first substrate and the second substrate minimize a thickness difference between the bonding region and the open region.
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