KR20220071460A - Manufacturing method of ceramic greet sheet - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic green sheet. The method comprises the following steps: a step of an aging treatment after a surface treatment of ceramic powder with a silane solution in which a silane coupling agent is dissolved in a first solvent to form a silane-based compound coating film on a surface of the ceramic powder; a step of preparing a ceramic slurry by adding an epoxy binder, a dispersant, a plasticizer, and a second solvent to the aged ceramic powder; and a step of forming a green sheet by tape casting the ceramic slurry. Accordingly, dispersibility and viscoelasticity of the ceramic powder are further increased, thereby increasing packing density between the powders and improving roughness of the green sheet formed. In addition, when a bulk chip is manufactured by sintering the green sheet, sintering density and dielectric properties thereof are improved. Therefore, a mechanism according to the present invention is very advantageous in manufacturing an MLCC or the like which is ultra-thin and has electrical properties of high dielectric permittivity while having flexibility.

Description

세라믹 그린시트의 제조방법 {MANUFACTURING METHOD OF CERAMIC GREET SHEET}Manufacturing method of ceramic green sheet {MANUFACTURING METHOD OF CERAMIC GREET SHEET}

본 발명은 세라믹 그린시트의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a ceramic green sheet.

최근 스마트폰 등 휴대용 기기의 슬림화 추세에 따라 소형화 및 고집적화가 가능한 적층형 칩 부품 형태로서 이른바 적층소자가 주로 사용된다. 이러한 적층소자는 대표적으로 MLCC(Multi Layer Ceramic Condenser)가 있으며 초소형화가 가능하여 예컨대 휴대용 기기의 슬림화뿐만 아니라 배터리의 소모를 최소화할 수 있다.In accordance with the recent trend of slimming portable devices such as smartphones, so-called stacked devices are mainly used as stacked chip components that can be miniaturized and highly integrated. A typical example of such a multilayer device is a Multi Layer Ceramic Condenser (MLCC), and since it can be miniaturized, it is possible to minimize battery consumption as well as slimming portable devices.

일반적으로 적층소자는 대부분 세라믹 유전체층과 금속전극이 교대로 적층되거나 또는 하나 이상의 세라믹 유전체가 적층된 적층체상에 금속전극이 부착되는 등의 다양한 적층형 벌크로서 구성되며 상기 벌크는 압착된 후 소성 열처리되어 최종 소자로서 제조된다. In general, multilayer devices are mostly composed of various stacked bulks, such as in which ceramic dielectric layers and metal electrodes are alternately stacked, or metal electrodes are attached to a stack in which one or more ceramic dielectric layers are stacked. manufactured as a component.

이때, 상기 유전체층은 작은 두께의 후막으로 형성하기 위해 세라믹 조성 분말에 바인더 및 분산제, 용매, 그리고 필요에 따라 가소제 등을 첨가 및 혼합하여 세라믹 분말이 용매에 균일하게 분산된 점도성의 슬러리로 제조한 후, 이를 닥터 블레이드(Doctor Blade) 등과 같이 테이프 캐스팅(tape casting)함으로써 후막의 그린시트로 제조한다. 그리고, 설계된 최종 적층소자의 구조에 맞추어 상기 그린시트를 복수로 적층하거나 또는 금속전극과 교대로 적층하고 이를 프레스 압착하여 하나의 벌크로 일체화한 후 소성 열처리함으로써 적층소자를 이루는 벌크로서 제조된다.At this time, the dielectric layer is formed into a thick film of a small thickness by adding and mixing a binder, a dispersant, a solvent, and, if necessary, a plasticizer, etc. to the ceramic composition powder to form a viscous slurry in which the ceramic powder is uniformly dispersed in the solvent. , it is manufactured into a thick green sheet by tape casting like a doctor blade. Then, a plurality of the green sheets are laminated or alternately laminated with metal electrodes according to the structure of the final laminated device designed, and the green sheets are press-compressed to be integrated into a single bulk, and then calcined to form a laminated device as a bulk.

도 1은 세라믹 그린시트를 제조하는 일반적인 테이프 캐스팅 장치의 개략 구조도이다.1 is a schematic structural diagram of a general tape casting apparatus for manufacturing a ceramic green sheet.

도 1을 참조하며 일반적인 테이프 캐스팅 공정을 대략 설명하면, 먼저 세라믹 조성 분말과 바인더, 분산제 및/또는 가소제 등이 혼합된 세라믹 슬러리(1)가 투입되고 이는 의도된 두께를 이루도록 높낮이 조절이 가능한 블레이드(3)를 통해 후막 테이프로 캐스팅된다. 그리고, 이때 지지를 위하여 상기 후막 테이프는 일반적으로 PET 등의 캐리어 필름(8) 상에 캐스팅된다. 이후, 상기 캐스팅된 후막 테이프는 가열 건조존(5)을 거치면서 그의 용매가 적어도 일부 기화되어 제거되고 이후 컨베이어 위에서 더 나아가면서 상온에서 자연 냉각되어 겔화된 그린시트(7)로서 형성되고 이는 권취부(9)에 권취된다.1, the general tape casting process is roughly described. First, a ceramic slurry (1) in which a ceramic composition powder, a binder, a dispersant and/or a plasticizer, etc. are mixed is introduced, which is a blade that can be adjusted in height to achieve the intended thickness ( 3) is cast through thick film tape. And, for support, the thick film tape is usually cast on a carrier film 8 such as PET. Thereafter, the cast thick film tape is removed by vaporizing at least a portion of its solvent while passing through the heating and drying zone 5, and then naturally cooled at room temperature while further on the conveyor to form a gelled green sheet 7, which is formed as a winding part It is wound in (9).

그런데, 적층소자의 구조 및 제조공정상 이들 그린시트(7)가 복수로 적층되어 형성하는 벌크 자체가 바로 적층소자를 형성하므로, 그린시트(7)의 물성은 곧 바로 최종 적층소자의 전기적 특성을 좌우한다. 특히, 그린시트(7)의 물성은 세라믹 슬러리(1)의 점도나 세라믹 분말들의 분산도 및 점탄성 등에 크게 좌우되며 그 조절이 까다롭다. 더구나, 상기 세라믹 분말의 분산도 조절은, 최근 적층소자의 고적층화 추세에 따른 그린시트(7)의 박형화로 인해 상기 세라믹 슬러리 용액(1)의 점도를 더 낮게 조절할 수 밖에 없어 일정 수준 이상으로 유지하기가 더 어려워졌고, 특히 최근 적층소자의 고유전율화 및 저유전손실화 등의 요구를 맞추기위해 나노 크기의 입도를 갖는 세라믹 분말을 사용하는 경우는 더더욱 어렵다. 그린시트(7) 내의 세라믹 분말의 낮은 분산도는 그린시트(7)가 적층 및 소성열처리되어 최종 형성하는 벌크 또는 소자의 유전특성을 크게 열화시킨다.However, since the bulk itself formed by laminating a plurality of these green sheets 7 in the structure and manufacturing process of the laminated device directly forms the laminated device, the physical properties of the green sheet 7 directly influence the electrical characteristics of the final laminated device. do. In particular, the physical properties of the green sheet 7 greatly depend on the viscosity of the ceramic slurry 1, the dispersion degree of ceramic powders, and the viscoelasticity, and the control thereof is difficult. Furthermore, the dispersion degree of the ceramic powder is maintained above a certain level because the viscosity of the ceramic slurry solution 1 has to be lowered due to the thinning of the green sheet 7 according to the recent trend of high lamination of multilayer devices. It has become more difficult to do, especially in the case of using a ceramic powder having a nano-sized particle size in order to meet the demands such as high dielectric constant and low dielectric loss in recent multilayer devices. The low dispersion of the ceramic powder in the green sheet 7 greatly deteriorates the dielectric properties of the bulk or device finally formed by lamination and firing heat treatment of the green sheet 7 .

1. 공개특허공보 87-2621호 (1987.04.06 공개)1. Unexamined Patent Publication No. 87-2621 (published on April 6, 1987) 2. 공개특허공보 특1995-0013711호 (1995.06.15 공개)2. Unexamined Patent Publication No. 1995-0013711 (published on June 15, 1995)

따라서, 본 발명은 세라믹 분말의 충진밀도와 조도가 향상되어 소결시 우수한 소결밀도와 유전특성을 가질 수 있는 그린시트의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a green sheet that can have excellent sintering density and dielectric properties during sintering by improving the packing density and roughness of ceramic powder.

위 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 세라믹 그린시트의 제조방법은 다음의 단계들을 포함한다:A method of manufacturing a ceramic green sheet according to the present invention for solving the above problems includes the following steps:

- 세라믹 분말을 실란 커플링제를 제1용매에 용해시킨 실란 용액으로 표면처리하여 상기 세라믹 분말의 표면에 실란계 화합물 코팅막을 형성한 후 에이징 처리하는 단계;- surface-treating the ceramic powder with a silane solution in which a silane coupling agent is dissolved in a first solvent to form a silane-based compound coating film on the surface of the ceramic powder, followed by aging;

- 에이징 처리된 상기 세라믹 분말에 에폭시 바인더와 분산제 및 제2용매를 첨가하여 세라믹 슬러리를 제조하는 단계; 및- preparing a ceramic slurry by adding an epoxy binder, a dispersant, and a second solvent to the aged ceramic powder; and

- 상기 세라믹 슬러리를 테이프캐스팅하여 그린시트를 형성하는 단계.- Forming a green sheet by tape-casting the ceramic slurry.

또한, 선택적으로, 상기 세라믹 슬러리를 제조하는 단계는 상기 세라믹 분말에 가소제를 첨가함을 더 포함할 수 있다.Also, optionally, preparing the ceramic slurry may further include adding a plasticizer to the ceramic powder.

또한, 선택적으로, 상기 에이징 처리는 상온에서 수행될 수 있다. 또는, 상기 에이징 처리는 -3~72℃ 범위의 온도에서 수행될 수 있다.In addition, optionally, the aging treatment may be performed at room temperature. Alternatively, the aging treatment may be performed at a temperature in the range of -3 to 72 ℃.

또한, 선택적으로, 상기 에이징 처리는 1~72 범위의 시간동안 수행될 수 있다.Also, optionally, the aging treatment may be performed for a time in the range of 1 to 72.

또한, 선택적으로, 상기 제1용매는 물(H2O), 에탄올(C2H5OH), 메탄올(CH3OH), 메틸에틸케톤(CH3COC2H5) 및 벤젠(C6H6)을 포함한 군에서 하나 이상 선택될 수 있다.In addition, optionally, the first solvent is water (H 2 O), ethanol (C 2 H 5 OH), methanol (CH 3 OH), methyl ethyl ketone (CH 3 COC 2 H 5 ) and benzene (C 6 H) 6 ) may be selected from the group including one or more.

또한, 선택적으로, 상기 실란 커플링제의 양은 상기 세라믹 분말의 총량대비 0.05~5 wt% 범위로 조절할 수 있다.In addition, optionally, the amount of the silane coupling agent may be adjusted in the range of 0.05 to 5 wt% based on the total amount of the ceramic powder.

또한, 선택적으로, 상기 실란 커플링제는 3-글리시드 옥시프로필 트리메톡시실란, 3-글리시드 옥시프로필 트리에톡시실란, 비닐 트리메톡시실란, 비닐 트리에톡시실란, 3-아미노프로필 트리메톡시실란, 트리메톡시[(3-(페닐아미노)프로필]실란, 3-아미노프로필 트리에톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필 트리메톡시실란, 3-메타크릴 옥시프로필 트리에톡시실란, 3-머캅토프로필 트리메톡시실란, 비닐에톡시실란, 비닐-톨릴(2-메톡시-에톡시)실란, γ-메타크릴옥시프로필 트리메톡시실란, γ-아미노프로필 트리메톡시실란, γ-아미노프로필 트리에톡시실란, N-페닐-γ-아미노프로필 트리메톡시실란, N-β-(아미노에틸)-γ-아미노프로필 트리메톡시실란, N-β-(아미노에틸)-γ-아미노프로필 트리에톡시실란, N-페닐-γ-아미노프로필 트리메톡시실란, β-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸 트리메톡 시실란, γ-글리시독시프로필 트리메톡시실란, 및 γ-메르캅토프로필 트리메톡시실란로 이루어진 군에서 하나 이상 선택될 수 있다.Also optionally, the silane coupling agent is 3-glycide oxypropyl trimethoxysilane, 3-glycide oxypropyl triethoxysilane, vinyl trimethoxysilane, vinyl triethoxysilane, 3-aminopropyl trime Toxysilane, trimethoxy[(3-(phenylamino)propyl]silane, 3-aminopropyl triethoxysilane, 3-methacryloxypropyl trimethoxysilane, 3-methacryl oxypropyl triethoxysilane, 3 -Mercaptopropyl trimethoxysilane, vinylethoxysilane, vinyl-tolyl (2-methoxy-ethoxy)silane, γ-methacryloxypropyl trimethoxysilane, γ-aminopropyl trimethoxysilane, γ- Aminopropyl triethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyl trimethoxysilane, N-β-(aminoethyl)-γ-aminopropyl trimethoxysilane, N-β-(aminoethyl)-γ-amino Propyl triethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyl trimethoxysilane, β-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyl trimethoxysilane, γ-glycidoxypropyl trimethoxysilane, and γ-mer At least one may be selected from the group consisting of captopropyl trimethoxysilane.

또한, 선택적으로, 상기 세라믹 분말은 100~300㎚ 범위 입경의 분말을 포함할 수 있다.Also, optionally, the ceramic powder may include a powder having a particle diameter in the range of 100 to 300 nm.

또한, 선택적으로, 상기 제2용매는 에탄올일 수 있다.Also, optionally, the second solvent may be ethanol.

또한, 선택적으로, 형성된 상기 실란계 화합물 코팅막의 두께는 0.5~5㎚ 범위일 수 있다.In addition, optionally, the thickness of the silane-based compound coating film formed may be in the range of 0.5 to 5 nm.

또한, 선택적으로, 상기 에폭시 바인더의 첨가량은 상기 세라믹 분말의 중량대비 60wt% 이하일 수 있다. 또한, 선택적으로, 상기 분산제의 첨가량은 상기 세라믹 분말의 중량대비 3wt% 이하일 수 있다. 또한, 선택적으로, 상기 가소제의 첨가량은 상기 세라믹 분말의 중량대비 5wt% 이하로 조절될 수 있다.In addition, optionally, the amount of the epoxy binder added may be less than or equal to 60 wt% based on the weight of the ceramic powder. In addition, optionally, the amount of the dispersant added may be 3 wt% or less based on the weight of the ceramic powder. Also, optionally, the amount of the plasticizer added may be adjusted to 5 wt% or less based on the weight of the ceramic powder.

또한, 선택적으로, 상기 세라믹 분말의 표면에 실란계 화합물 코팅막을 형성하는 것은 상기 세라믹 분말을 상기 실란 용액에 침지하여 수행될 수 있다.Also, optionally, forming a silane-based compound coating film on the surface of the ceramic powder may be performed by immersing the ceramic powder in the silane solution.

본 발명에 따르면, 테이프 캐스팅을 위하여 제조되는 세라믹 슬러리의 세라믹 분말은 실란 커플링제로써 표면처리됨으로써 그의 표면이 실란계 화합물로 코팅된 후 에이징 처리됨으로써 세라믹 분말이 균일하게 분산된다. 그리고 상기 실란계 화합물 코팅막은 추후 성형성을 위하여 첨가되는 에폭시 바인더와 균일하면서도 더욱 강화된 결합을 유도한다. 이렇게 에폭시 바인더와 균일하면서도 더욱 강화된 결합은 분말들 간의 분산성과 점탄성을 더욱 증대시켜 분말들 간의 충진밀도를 증가시키고 그린시트의 조도를 개선하며 상기 그린시트를 소결하여 벌크 칩을 제조할 경우 그의 소결밀도 및 유전특성을 향상시킨다. 따라서, 본 발명에 의한 메커니즘은 초박형으로서 가요성을 가지면서도 높은 유전율의 전기적 특성을 갖는 MLCC 등의 제조에 매우 유리하다.According to the present invention, the ceramic powder of the ceramic slurry prepared for tape casting is surface-treated with a silane coupling agent so that the surface thereof is coated with a silane-based compound and then subjected to aging treatment to uniformly disperse the ceramic powder. And the silane-based compound coating film induces a more uniform and stronger bonding with the epoxy binder added for later moldability. This uniform and stronger bonding with the epoxy binder further increases the dispersibility and viscoelasticity between the powders, thereby increasing the packing density between the powders, improving the roughness of the green sheet, and sintering the green sheet to produce bulk chips. It improves density and dielectric properties. Therefore, the mechanism according to the present invention is very advantageous for manufacturing MLCCs having high dielectric constant electrical characteristics while being ultra-thin and flexible.

도 1은 세라믹 그린시트를 제조하는 일반적인 테이프 캐스팅 장치의 개략 구조도이다.
도 2a는 위와 같은 본 발명에 따라 세라믹 분말 표면에 실란 커플링제의 가수분해 및 탈수축합 반응을 통해 실란계 화합물 코팅막을 형성하는 메커니즘을 차례로 (i)~(iii) 단계들에 걸쳐 설명하는 모식도이고, 도 2b는 세라믹 분말 표면(10)에 형성된 실란계 화합물 코팅막(20)의 구조를 보이는 모식도이고, 도 2c는 에이징 처리된 실란계 화합물 코팅막(20)이 형성된 세라믹 분말들의 상태를 보이는 모식도이다.
도 3a는 전술한 본 발명의 실시예에 따라 표면에 실란계 화합물 코팅막이 형성된 세라믹 혼합분말의 슬러리로 제조된 그린시트의 표면사진들로서, 좌측 사진 (A)는 형성된 그린시트가 도 1의 권취부(9)에 권취되는 사진이고 우측 사진 (B)는 형성된 그린시트 자체만의 사진이고, 도 3b는 비교예로서 실란계 화합물로 표면이 코팅되지않은 세라믹 혼합분말의 슬러리로 제조된 그린시트의 표면사진들로서, 좌측 사진 (A)는 형성된 그린시트가 도 1의 권취부(9)에 권취되는 사진이고 우측 사진 (B)는 형성된 그린시트 자체만의 사진이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따라 표면에 실란계 화합물 코팅막이 형성된 세라믹 혼합분말의 슬러리로 제조된 도 3a의 그린시트를 복수 적층하고 압착한 후 각 소성온도에서 소성한 칩의 실란용액 함량별 유전율("Dielectric constants (εr)") 특성의 변화를 나타내며, 또한 비교예로서 실란계 화합물로 표면이 코팅되지않은 세라믹 혼합분말의 슬러리로 제조된 그린시트를 복수 적층하고 압착한 후 각 소성온도에서 소성한 칩의 유전율 특성의 변화를 나타낸다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따라 표면에 실란계 화합물 코팅막이 형성된 세라믹 분말의 슬러리로 제조된 도 3a의 그린시트를 복수 적층하고 압착한 후 각 소성온도에서 소성한 칩의 실란용액 함량별 소결밀도("Density (g/cc)")의 변화를 나타내며, 또한 비교예로서 실란계 화합물로 표면이 코팅되지않은 세라믹 혼합분말의 슬러리로 제조된 그린시트를 복수 적층하고 압착한 후 각 소성온도에서 소성한 칩의 소결밀도의 변화를 나타낸다.
1 is a schematic structural diagram of a general tape casting apparatus for manufacturing a ceramic green sheet.
2a is a schematic diagram explaining the mechanism of forming a silane-based compound coating film through hydrolysis and dehydration condensation reaction of a silane coupling agent on the surface of a ceramic powder according to the present invention as above, sequentially through steps (i) to (iii) , FIG. 2b is a schematic diagram showing the structure of the silane-based compound coating film 20 formed on the ceramic powder surface 10, and FIG. 2c is a schematic diagram showing the state of the ceramic powders on which the aging-treated silane-based compound coating film 20 is formed.
3A is a photograph of the surface of a green sheet prepared with a slurry of ceramic mixed powder having a silane-based compound coating film formed on the surface according to the embodiment of the present invention. The photo wound in (9), the right photo (B) is a photo of only the formed green sheet itself, and FIG. 3b is a comparative example of the surface of a green sheet prepared from a slurry of ceramic mixed powder not coated with a silane-based compound. As the photos, the left photo (A) is a photo in which the formed green sheet is wound around the winding unit 9 of FIG. 1, and the right photo (B) is a photo of only the formed green sheet itself.
4 is a silane solution content of chips fired at each firing temperature after stacking and pressing a plurality of green sheets of FIG. 3A prepared as a slurry of ceramic mixed powder having a silane compound coating film formed on the surface according to an embodiment of the present invention; Shows a change in the dielectric constant (“Dielectric constants (ε r )”) characteristics, and as a comparative example, a plurality of green sheets made of a slurry of ceramic mixed powder whose surface is not coated with a silane-based compound are laminated and pressed, followed by each firing temperature shows the change in the dielectric constant characteristic of the fired chip.
5 is a sintering according to the silane solution content of chips fired at each firing temperature after stacking and pressing a plurality of green sheets of FIG. 3a prepared as a slurry of ceramic powder having a silane-based compound coating film formed on the surface according to an embodiment of the present invention; Shows the change in density ("Density (g/cc)") It shows the change of the sintering density of the fired chip.

전술했듯이, 일반적으로 적층소자는 대체로 세라믹 벌크와 금속전극의 단순한 구조로 구성되고 상기 세라믹 벌크는 세라믹 그린시트가 복수로 적층되어 구성되므로, 세라믹 그린시트의 막밀도나 조도 등의 물성은 적층소자의 유전특성 및 신뢰성을 절대적으로 좌우한다. 특히, 세라믹 그린시트가 주성분 분말에 다양한 특성 제어를 위해 여러 첨가제 분말이 혼합되는 조성일 경우, 다양한 입경분포로 인하여 이들 분말간에는 빈 공간이 많이 형성되고 이로 인해 충진율이 저하되며 이는 곧 최종 적층소자에서 유전율 등 유전특성의 저하와 전기적 특성의 저하를 초래한다. 따라서, 세라믹 그린시트 내에 분산된 세라믹 분말의 분산성을 높이는 것이 매우 중요하다. As described above, in general, a laminated device is generally composed of a simple structure of a ceramic bulk and a metal electrode, and the ceramic bulk is composed of a plurality of laminated ceramic green sheets. It absolutely determines the dielectric properties and reliability. In particular, when the ceramic green sheet has a composition in which the main component powder is mixed with various additive powders to control various properties, a lot of empty spaces are formed between these powders due to the various particle size distributions, which leads to a decrease in the filling rate, which is the dielectric constant in the final laminated device. It causes a decrease in dielectric characteristics and a decrease in electrical characteristics. Therefore, it is very important to increase the dispersibility of the ceramic powder dispersed in the ceramic green sheet.

더구나, 사용되는 세라믹 조성 분말이 나노 크기의 분말인 경우(이하 "나노분말"), 이들 나노분말은 비표면적이 매우 높아 결국 그린시트 내 충진된 분말들 간의 마찰력이 크게 증가된다. 따라서, 이들 세라믹 분말이 분산된 세라믹 슬러리를 도 1과 같이 테이프 캐스팅하여 그린시트를 제조하고 복수로 적층하여 압착 성형할 경우, 위와 같이 높은 분말들간의 마찰력으로 인해 아무리 높은 압력을 가해도 일정 수준(예컨대, 70% 이상)의 상대밀도를 얻기 힘들다. 이러한 현상은 기존대비 매우 많은 양(예컨대, 대략 5~6배 이상의 양)의 바인더를 첨가하여도 현재의 바인딩 시스템으로는 개선이 어렵다. 결국, 이렇게 열악한 상대밀도는 세라믹 벌크의 유전특성을 저하시킨다.Moreover, when the ceramic composition powder used is a nano-sized powder (hereinafter, “nano-powder”), the specific surface area of these nano-powders is very high, so that the friction force between the powders filled in the green sheet is greatly increased. Therefore, when the ceramic slurry in which these ceramic powders are dispersed is tape-casted as shown in FIG. 1 to manufacture a green sheet, and a plurality of layers are laminated and pressed, no matter how high a pressure is applied due to the high friction between the powders, a certain level ( For example, it is difficult to obtain a relative density of 70% or more). This phenomenon is difficult to improve with the current binding system even if a very large amount (eg, about 5 to 6 times or more) of the binder is added compared to the existing one. As a result, this poor relative density deteriorates the dielectric properties of the ceramic bulk.

이를 해결하기 위한 것으로, 특히 본 발명에 의하면, 테이프 캐스팅을 위하여 제조되는 세라믹 슬러리의 세라믹 분말은 실란 커플링제(silan coupling agent)로써 표면처리됨으로써 그의 표면이 실란계 화합물로 코팅된다. 본 발명에서 사용가능한 상기 세라믹 분말은 모든 세라믹 분말뿐만 아니라 세라믹 나노분말을 포함한다.In order to solve this problem, in particular, according to the present invention, the ceramic powder of the ceramic slurry prepared for tape casting is surface-treated with a silane coupling agent, so that the surface thereof is coated with a silane-based compound. The ceramic powder usable in the present invention includes all ceramic powders as well as ceramic nanopowders.

본 발명에서, 상기 실란 커플링제를 용매에 용해시킨 실란 용액은 가수분해되어 반응성이 우수한 실란올기(Si-OH)가 생성되는데, 이는 세라믹 분말 표면의 수산기(-OH)와 수소결합함으로써 실란계 화합물 코팅막을 형성한다. 그리고, 특히, 이러한 실란계 화합물 코팅막은 위와 같은 급격한 반응을 통해 불균일한 두께로 형성되므로, 이후 상기 실란계 화합물 코팅막을 상온, 바람직하게는 대략 -3~75℃ 범위에서 장시간, 바람직하게는 대략 1~72 시간 동안 에이징(aging) 처리함으로써 탈수 축합(dehydration condensation) 반응을 진행시키고 산소를 매개로 하는 세라믹 분말 표면과의 공유결합을 형성시킨다.In the present invention, the silane solution in which the silane coupling agent is dissolved in a solvent is hydrolyzed to generate a silanol group (Si-OH) with excellent reactivity, which is hydrogen-bonded with a hydroxyl group (-OH) on the surface of the ceramic powder to form a silane-based compound to form a coating film. And, in particular, since this silane-based compound coating film is formed to a non-uniform thickness through the rapid reaction as above, the silane-based compound coating film is then at room temperature, preferably in the range of about -3 to 75° C. for a long time, preferably about 1 Aging treatment for ~72 hours proceeds the dehydration condensation reaction and forms covalent bonds with the surface of the ceramic powder mediated through oxygen.

도 2a는 위와 같은 본 발명에 따라 세라믹 분말 표면에 실란 커플링제의 가수분해 및 탈수축합 반응을 통해 실란계 화합물 코팅막을 형성하는 메커니즘을 차례로 (i)~(iii) 단계들에 걸쳐 설명하는 모식도이고, 도 2b는 세라믹 분말 표면(10)에 형성된 실란계 화합물 코팅막(20)의 구조를 보이는 모식도이고, 도 2c는 에이징 처리된 실란계 화합물 코팅막(20)이 형성된 세라믹 분말들의 상태를 보이는 모식도이다. 2a is a schematic diagram illustrating the mechanism of forming a silane-based compound coating film through hydrolysis and dehydration condensation reaction of a silane coupling agent on the surface of a ceramic powder according to the present invention as above, sequentially through steps (i) to (iii). , FIG. 2b is a schematic diagram showing the structure of the silane-based compound coating film 20 formed on the ceramic powder surface 10, and FIG. 2c is a schematic diagram showing the state of the ceramic powders on which the aging-treated silane-based compound coating film 20 is formed.

도 2a~2c를 참조하면, 먼저 출발물질로서 실란 커플링제를 용매에 용해시켜 실란 커플링제의 알콕시기(Si-OR)가 물(H2O)에 의해 가수분해되어 실록산 결합(-Si-O-Si-)이 발생한 실란 용액을 세라믹 분말 입자 표면에 도포한다(도 2a의 "(i)"). 일 실시예에서, 상기 도포는 세라믹 분말을 상기 실란 용액에 침지함으로써 수행될 수 있다. Referring to FIGS. 2a to 2c, first, a silane coupling agent as a starting material is dissolved in a solvent so that the alkoxy group (Si-OR) of the silane coupling agent is hydrolyzed by water (H 2 O) to form a siloxane bond (-Si-O -Si-) generated silane solution is applied to the surface of the ceramic powder particles (“(i)” in FIG. 2A). In one embodiment, the application may be performed by immersing the ceramic powder in the silane solution.

또한, 본 발명의 일 구현예에서, 상기 실란 커플링제는 3-글리시드 옥시프로필 트리메톡시실란, 3-글리시드 옥시프로필 트리에톡시실란, 비닐 트리메톡시실란, 비닐 트리에톡시실란, 3-아미노프로필 트리메톡시실란, 트리메톡시[(3-(페닐아미노)프로필]실란, 3-아미노프로필 트리에톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필 트리메톡시실란, 3-메타크릴 옥시프로필 트리에톡시실란, 3-머캅토프로필 트리메톡시실란, 비닐에톡시실란, 비닐-톨릴(2-메톡시-에톡시)실란, γ-메타크릴옥시프로필 트리메톡시실란, γ-아미노프로필 트리메톡시실란, γ-아미노프로필 트리에톡시실란, N-페닐-γ-아미노프로필 트리메톡시실란, N-β-(아미노에틸)-γ-아미노프로필 트리메톡시실란, N-β-(아미노에틸)-γ-아미노프로필 트리에톡시실란, N-페닐-γ-아미노프로필 트리메톡시실란, β-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸 트리메톡 시실란, γ-글리시독시프로필 트리메톡시실란, 및 γ-메르캅토프로필 트리메톡시실란로 이루어진 군에서 하나 이상 선택될 수 있다. 일 실시예에서 상기 실란 커플링제는 상기 세라믹 분말의 총량대비 대략 0.1~1.0wt% 범위의 함량으로 첨가될 수 있다.In addition, in one embodiment of the present invention, the silane coupling agent is 3-glycide oxypropyl trimethoxysilane, 3-glycide oxypropyl triethoxysilane, vinyl trimethoxysilane, vinyl triethoxysilane, 3 -Aminopropyl trimethoxysilane, trimethoxy[(3-(phenylamino)propyl]silane, 3-aminopropyl triethoxysilane, 3-methacryloxypropyl trimethoxysilane, 3-methacryl oxypropyl tri Ethoxysilane, 3-mercaptopropyl trimethoxysilane, vinylethoxysilane, vinyl-tolyl (2-methoxy-ethoxy) silane, γ-methacryloxypropyl trimethoxysilane, γ-aminopropyl trime Toxysilane, γ-aminopropyl triethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyl trimethoxysilane, N-β-(aminoethyl)-γ-aminopropyl trimethoxysilane, N-β-(aminoethyl) )-γ-aminopropyl triethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyl trimethoxysilane, β-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyl trimethoxysilane, γ-glycidoxypropyl trimethoxysilane One or more may be selected from the group consisting of , and γ-mercaptopropyl trimethoxysilane In one embodiment, the silane coupling agent may be added in an amount ranging from about 0.1 to 1.0 wt% relative to the total amount of the ceramic powder. have.

또한, 본 발명의 일 구현예에서, 상기 실란 커플링제의 상기 용매로서는 물(H2O), 에탄올(C2H5OH), 메탄올(CH3OH), 메틸에틸케톤(CH3COC2H5) 및 벤젠(C6H6)을 포함한 군에서 선택된 하나 이상의 용매를 사용할 수 있으나, 본 발명은 이에 한정되지않는다. In addition, in one embodiment of the present invention, as the solvent of the silane coupling agent, water (H 2 O), ethanol (C 2 H 5 OH), methanol (CH 3 OH), methyl ethyl ketone (CH 3 COC 2 H) 5 ) and one or more solvents selected from the group including benzene (C 6 H 6 ) may be used, but the present invention is not limited thereto.

그리하면, 세라믹 분말 입자 표면의 수산기(-OH)와 실록산 화합물의 실란올기(Si-OH)가 자기조립되어 수소결합을 형성한 실란계 화합물 코팅막이 형성된다(도 2a의 "(ii)").Then, the hydroxyl group (-OH) on the surface of the ceramic powder particles and the silanol group (Si-OH) of the siloxane compound are self-assembled to form a silane-based compound coating film in which hydrogen bonds are formed (“(ii)” in FIG. 2a) .

그리고, 급격한 반응으로 불균일하게 형성된 상기 실란계 화합물 코팅막을 균일해지도록 표면 처리하기 위하여 이를 상온, 바람직하게는 대략 -3~75℃ 범위에서 장시간동안 에이징하며 탈수축합 반응을 진행시켜 균일한 표면층을 형성한다(도 1의 "(iii)"). 일 실시예에서, 최종 형성된 상기 실란계 화합물 코팅막의 두께는 대략 0.5~5㎚ 범위, 바람직하게는 5㎚이다.And, in order to surface-treat the silane-based compound coating film that is non-uniformly formed by rapid reaction, it is aged at room temperature, preferably in the range of about -3 to 75° C. for a long time, and dehydration condensation reaction proceeds to form a uniform surface layer. (“(iii)” in FIG. 1). In one embodiment, the thickness of the finally formed coating film of the silane-based compound is in the range of about 0.5 to 5 nm, preferably 5 nm.

특히, 본 발명에서, 도 2b에 도시하는 세라믹 분말 입자 표면(10)에 형성된 상기 실란계 화합물 코팅막(20)은 추후 성형을 위해 혼합 분말에 첨가되는 에폭시계 바인더와 균일하면서도 강력한 결합성을 갖는다.In particular, in the present invention, the silane-based compound coating film 20 formed on the surface 10 of the ceramic powder particles shown in FIG. 2B has uniform and strong bonding properties with the epoxy-based binder added to the mixed powder for later molding.

또한, 이렇게 증대되는 결합성은 세라믹 분말이 나노분말인 경우 더 큰 효과를 낳는다. 즉, 성형시 비표면적이 큰 상기 나노 분말에 상기 에폭시 바인더가 균일하게 흡착되도록하여 분말들간에 마찰력을 감소시킴과 동시에, 분말들 간의 분산성과 점탄성을 증대시켜 상기 나노 분말이 분말들 간의 빈 공간에 더 효과적으로 비집고 들어가 채울 수 있도록 한다. 이에 따라, 세라믹 분말의 충진밀도가 향상되고 이는 최종 유전특성의 향상으로 이어진다. 일 실시예에서, 상기 세라믹 나노분말은 대략 100~300㎚ 범위의 입경일 수 있으나 본 발명은 이에 제한되지아니하며 입경이 나노단위인 임의의 세라믹 분말로 될 수 있다.In addition, this increased bonding property produces a greater effect when the ceramic powder is a nanopowder. That is, during molding, the epoxy binder is uniformly adsorbed to the nanopowder having a large specific surface area, thereby reducing friction between the powders, and at the same time increasing the dispersibility and viscoelasticity between the powders so that the nanopowder is absorbed into the empty space between the powders. Allows for more effective prying in and filling. Accordingly, the packing density of the ceramic powder is improved, which leads to improvement of the final dielectric properties. In an embodiment, the ceramic nanopowder may have a particle diameter in the range of approximately 100 to 300 nm, but the present invention is not limited thereto, and may be any ceramic powder having a particle diameter in nano units.

또한, 본 발명의 일 구현예에서, 위와 같이 실란계 화합물 코팅막(20)이 형성된 세라믹 분말은 압축시 성형성 향상을 위한 에폭시계 바인더와 가소제, 및/또는 분산제를 첨가한 용매와 함께 혼합됨으로써 세라믹 분말이 균일하게 분산된 점도성의 슬러리로 제조한 후, 이를 도 1과 같이 테이프 캐스팅하여 후막의 그린시트로 제조한다. In addition, in one embodiment of the present invention, the ceramic powder on which the silane-based compound coating film 20 is formed as described above is mixed with a solvent to which an epoxy-based binder, a plasticizer, and/or a dispersant is added to improve formability during compression, thereby making the ceramic ceramic. After preparing a viscous slurry in which the powder is uniformly dispersed, it is tape-casted as shown in FIG. 1 to prepare a thick green sheet.

본 발명에서, 상기 용매는 에탄올을 포함한 모든 공지된 용매로 될 수 있다. 또한, 본 발명에서, 상기 바인더는 에폭시계 저중합 바인더를 포함한 모든 공지된 바인더로 될 수 있고, 일 실시예에서 상기 세라믹 분말 중량 대비 대략 60wt% 이하로 첨가될 수 있다. 또한, 본 발명에서, 상기 분산제는 BYK 111®(BYK-Chemie GmbH사)을 포함한 모든 공지된 분산제로 될 수 있고, 일 실시예에서 상기 세라믹 분말 중량 대비 대략 3wt% 이하로 첨가될 수 있다. 또한, 본 발명에서, 상기 가소제는 C16H22O24를 포함한 모든 공지된 가소제로 될 수 있고, 일 실시예에서 상기 세라믹 분말 중량 대비 대략 5wt% 이하로 첨가될 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에서, 위와 같이 제조된 그린시트는 복수로 적층되고 압착되어 하나의 벌크를 형성하며, 이는 소결처리되어 적층소자로서 제조될 수 있다.In the present invention, the solvent may be any known solvent including ethanol. In addition, in the present invention, the binder may be any known binder including an epoxy-based low-polymerization binder, and in one embodiment may be added in an amount of about 60 wt% or less based on the weight of the ceramic powder. Also, in the present invention, the dispersant may be any known dispersant including BYK 111 ® (BYK-Chemie GmbH), and in one embodiment, may be added in an amount of about 3 wt% or less based on the weight of the ceramic powder. In addition, in the present invention, the plasticizer may be any known plasticizer including C 16 H 22 O 24 and may be added in an amount of about 5 wt% or less based on the weight of the ceramic powder in one embodiment. In addition, in one embodiment of the present invention, the green sheets manufactured as above are laminated in plurality and compressed to form a single bulk, which may be sintered and manufactured as a laminated device.

위와 같은 본 발명의 바람직한 실시예들을 아래에서 상세히 설명한다. 다만, 본 발명이 하술하는 실시예들은 본 발명의 전반적인 이해를 돕기 위하여 제공되는 것이며, 본 발명은 하기 실시예들로만 한정되는 것은 아니다.Preferred embodiments of the present invention as described above will be described in detail below. However, the following examples of the present invention are provided to help the overall understanding of the present invention, and the present invention is not limited only to the following examples.

실시예Example

먼저, 입경이 대략 150㎚인 BaTiO3 나노분말과, 첨가제로서 각각 혼합분말의 총중량대비 0.1~2mol% 함량의 Dy2O3, 0.1~1.5mol% 함량의 MgO, 그리고 0.1~1.5mol% 함량의 SiO2의 각 나노분말의 세라믹 혼합분말을 준비하였다. 그리고, 상기 세라믹 혼합분말은 상기 혼합분말의 총중량대비 대략 0.1~1.0wt% 범위로 트리메톡시[(3-(페닐아미노)프로필]실란 용액(Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.사)으로 표면처리한 후 상온(대략 25℃)에서 24시간 에이징 처리함으로써 상기 세라믹 혼합분말의 표면상에 실란계 화합물 코팅막을 코팅하였다.First, BaTiO 3 nanopowder having a particle size of approximately 150 nm, Dy 2 O 3 in an amount of 0.1 to 2 mol% relative to the total weight of the mixed powder as an additive, MgO in a content of 0.1 to 1.5 mol%, and 0.1 to 1.5 mol% of the content Ceramic mixed powder of each nanopowder of SiO 2 was prepared. In addition, the ceramic mixed powder is surface treated with a trimethoxy[(3-(phenylamino)propyl]silane solution (Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) in the range of about 0.1 to 1.0 wt% based on the total weight of the mixed powder. After aging at room temperature (about 25° C.) for 24 hours, a silane-based compound coating film was coated on the surface of the ceramic mixed powder.

그리고, 이에 60wt% 이하의 에폭시계 저중합 바인더, 3wt% 이하의 BYK 111® 분산제 및 5wt% 이하의 C16H22O24 가소제를 각각 첨가하고 에탄올 40~60wt%를 첨가하여 아펙스 밀(Apex mill)로 2000~4500rpm으로 1~3시간 고속밀링을 진행하여 MLCC용의 세라믹 슬러리를 제조하였다.Then, 60wt% or less of the epoxy-based low-polymerization binder, 3wt% or less of BYK 111 ® dispersant, and 5wt% or less of C 16 H 22 O 24 plasticizer were added thereto, respectively, and 40-60 wt% of ethanol was added to the Apex mill (Apex mill). ), high-speed milling was performed at 2000-4500 rpm for 1 to 3 hours to prepare a ceramic slurry for MLCC.

그리고, 상기 세라믹 슬러리를 0.5m/min의 이송속도로 테이프 캐스팅하여 캐리어 필름상에 코팅한후 이는 복수의 건조존들(제1건조존은 25℃, 제2건조존은 35℃, 제3건조존은 35℃, 마지막 제4건조존은 60℃로 각각 유지됨)을 차례로 통과하며 대략 20~40㎛ 범위 두께의 그린시트로 형성하였다. 또한, 형성된 상기 그린시트는 광택계(glossmeter)를 사용하여 20°, 60° 및 85°의 입사광을 기준으로 상기 그린시트의 광택도(GU)를 계측하였다. 이때, 광택도(GU)는 상기 그린시트가 투명할수록 작아져 최대 0에 근접하고 상기 그린시트가 불투명할수록 커져 최대 100으로 근접한다.Then, the ceramic slurry is tape-casted at a feed rate of 0.5 m/min and coated on a carrier film, which is then applied to a plurality of drying zones (the first drying zone is 25°C, the second drying zone is 35°C, and the third drying zone is The zone was passed through 35 ° C., and the last fourth drying zone was maintained at 60 ° C.) in turn, and was formed into a green sheet with a thickness in the range of about 20 to 40 μm. In addition, the formed green sheet was measured for gloss (GU) of the green sheet based on incident light of 20°, 60°, and 85° using a glossmeter. At this time, the gloss (GU) decreases as the green sheet becomes more transparent and approaches a maximum of 0, and increases as the green sheet becomes opaque and approaches a maximum of 100.

그리고, 상기 그린시트를 규격에 맞게 절단하고 10~20장 복수로 적층하여 벌크를 형성한 후 이를 대략 100~150℃ 온도범위에서 성형압 3~5ton/㎝2으로 10~30초간 핫프레싱(hot pressing)하여 0.7~1.5㎜ 범위 두께의 벌크로 압착한 후, 1℃/min의 승온속도로 1000~1300℃에서 1~3시간 소결한 후 상온으로 서냉시켜 최종의 0.6~0.9㎜ 범위 두께의 칩을 제조하였다, 이때, 벌크의 수축율은 대략 7~15% 범위였다. 그리고, 상기 칩의 유전율과 소성밀도를 측정하였다.Then, the green sheet is cut according to the standard, and a plurality of 10 to 20 sheets are laminated to form a bulk, and then hot pressed for 10 to 30 seconds at a molding pressure of 3 to 5 ton/cm 2 in a temperature range of about 100 to 150 ° C. After pressing) into bulk with a thickness of 0.7 to 1.5 mm, sintered at 1000 to 1300 ° C for 1 to 3 hours at a temperature increase rate of 1 ° C/min, followed by slow cooling to room temperature to final chips with a thickness in the range of 0.6 to 0.9 mm was prepared, at this time, the bulk shrinkage was in the range of about 7-15%. Then, the dielectric constant and the firing density of the chip were measured.

도 3a는 전술한 본 발명의 실시예에 따라 표면에 실란계 화합물 코팅막이 형성된 세라믹 혼합분말의 슬러리로 제조된 그린시트의 표면사진들로서, 좌측 사진 (A)는 형성된 그린시트가 도 1의 권취부(9)에 권취되는 사진이고 우측 사진 (B)는 형성된 그린시트 자체만의 사진이고, 도 3b는 비교예로서 실란계 화합물로 표면이 코팅되지않은 세라믹 혼합분말의 슬러리로 제조된 그린시트의 표면사진들로서, 좌측 사진 (A)는 형성된 그린시트가 도 1의 권취부(9)에 권취되는 사진이고 우측 사진 (B)는 형성된 그린시트 자체만의 사진이다.3A is a photograph of the surface of a green sheet prepared with a slurry of ceramic mixed powder having a silane-based compound coating film formed on the surface according to the embodiment of the present invention. The photo wound in (9), the right photo (B) is a photo of the formed green sheet itself, and FIG. 3b is a comparative example of the surface of a green sheet prepared from a slurry of ceramic mixed powder not coated with a silane-based compound. As the photos, the left photo (A) is a photo in which the formed green sheet is wound around the winding unit 9 of FIG. 1, and the right photo (B) is a photo of only the formed green sheet itself.

도 3a~3b를 대비하면, 비교예의 그린시트의 경우(도 3b) 크랙 균열이 상당량 발생하였음이 관찰되나, 본 발명에 따라 표면에 실란계 화합물 코팅막이 형성된 세라믹 혼합분말의 슬러리로 제조된 그린시트의 경우(도 3a) 표면이 매끈하고 균열이 전혀 발생하지않음이 관찰된다.3A to 3B, it is observed that a significant amount of cracks and cracks occurred in the case of the green sheet of the comparative example (FIG. 3B), but according to the present invention, a green sheet prepared from a slurry of ceramic mixed powder having a silane-based compound coating film formed on the surface In the case of (Fig. 3a), it is observed that the surface is smooth and no cracks occur at all.

또한, 아래 표 1은, 도 3a의 본 발명의 실시예에 따라 표면에 실란계 화합물 코팅막이 형성된 세라믹 혼합분말의 슬러리로 제조된 그린시트와 도 3b의 비교예로서 실란계 화합물로 표면이 코팅되지않은 세라믹 혼합분말의 슬러리로 제조된 그린시트의 각 측정된 광택도(GU) 값들을 정리한 것이다.In addition, Table 1 below shows a green sheet prepared from a slurry of ceramic mixed powder having a silane-based compound coating film formed on the surface according to the embodiment of the present invention of FIG. 3A and a comparative example of FIG. 3B. The surface is not coated with a silane-based compound Each of the measured glossiness (GU) values of green sheets prepared with a slurry of untreated ceramic powder are summarized.

광택도(GU) Glossiness (GU) 그린시트
두께(㎛)
green sheet
Thickness (㎛)
20˚입사각 20˚ angle of incidence 60˚입사각 60˚ angle of incidence 85˚입사각 85˚ angle of incidence 비교예 comparative example 1.88 1.88 24.66 24.66 85.5 85.5 34 34 실시예 1
(0.1wt%의 실란용액 첨가)
Example 1
(Added 0.1wt% of silane solution)
1.7 1.7 17.3 17.3 85.02 85.02 36.6 36.6
실시예 2
(0.5wt%의 실란용액 첨가)
Example 2
(Added 0.5wt% of silane solution)
1.7 1.7 18.12 18.12 85.7 85.7 36.8 36.8
실시예 3
(1.0wt%의 실란용액 첨가)
Example 3
(1.0wt% of silane solution added)
1.72 1.72 19.12 19.12 87.08 87.08 35.4 35.4

위 표 1을 참조하면, 비교예와 대비하여 표면에 실란계 화합물 코팅막이 형성된 세라믹 혼합분말의 슬러리로 제조된 그린시트들인 실시예 1~3에서 광택도(GU) 값이 낮아 시트의 투명도가 크게 향상되었으며, 특히 표준광택 측정각인 60°입사각에서 비교예 대비 약 25% 정도로 투명도가 개선되었음을 알 수 있다. 이러한 광택도 및 투명도의 개선은 제조된 그린시트의 조도가 개선되었음을 의미하며, 이러한 조도의 개선은 곧 추후 그린시트가 복수로 적층 및 소성되어 제조되는 적층소자의 소성밀도와 유전율의 향상을 의미한다.Referring to Table 1 above, as compared to Comparative Example, in Examples 1 to 3, which are green sheets prepared with a slurry of ceramic mixed powder having a silane-based compound coating film on the surface, the gloss (GU) value was low and the transparency of the sheet was large. In particular, it can be seen that the transparency was improved by about 25% compared to the comparative example at an incident angle of 60°, which is a standard gloss measurement angle. Such improvement in glossiness and transparency means that the illuminance of the manufactured green sheet is improved, and this improvement in illuminance means improvement of the firing density and dielectric constant of a laminated device manufactured by subsequently stacking and firing a plurality of green sheets. .

도 4는 본 발명의 실시예에 따라 표면에 실란계 화합물 코팅막이 형성된 세라믹 혼합분말의 슬러리로 제조된 도 3a의 그린시트를 복수 적층하고 압착한 후 각 소성온도에서 소성한 칩의 실란용액 함량별 유전율("Dielectric constants (εr)") 특성의 변화를 나타내며, 또한 비교예로서 실란계 화합물로 표면이 코팅되지않은 세라믹 혼합분말의 슬러리로 제조된 그린시트를 복수 적층하고 압착한 후 각 소성온도에서 소성한 칩의 유전율 특성의 변화를 나타낸다. 또한, 아래 표 2는 도 4의 각 유전율값을 수치로 정리한 것이다.4 is a silane solution content of chips fired at each firing temperature after stacking and pressing a plurality of green sheets of FIG. 3A prepared as a slurry of ceramic mixed powder having a silane compound coating film formed on the surface according to an embodiment of the present invention; Shows a change in the dielectric constant (“Dielectric constants (ε r )”) characteristics, and as a comparative example, a plurality of green sheets made of a slurry of ceramic mixed powder whose surface is not coated with a silane-based compound are laminated and pressed, followed by each firing temperature shows the change in the dielectric constant characteristic of the fired chip. In addition, Table 2 below summarizes each dielectric constant value of FIG. 4 numerically.

소성온도firing temperature 1150℃1150℃ 1170℃1170℃ 1200℃1200℃ 1300℃1300℃ 비교예(Ref.)Comparative Example (Ref.) 20162016 20502050 15861586 14361436 실시예 1
(0.1wt%의 실란용액 첨가)
Example 1
(Added 0.1wt% of silane solution)
20012001 20112011 15551555 14251425
실시예 2
(0.5wt%의 실란용액 첨가)
Example 2
(Added 0.5wt% of silane solution)
20202020 23722372 16891689 15021502
실시예 3
(1.0wt%의 실란용액 첨가)
Example 3
(1.0wt% of silane solution added)
19991999 20432043 15711571 14201420

도 4 및 표 2를 참조하면, 그린시트가 적층된 벌크를 약 1170℃의 소성온도로 소결한 칩의 유전율을 비교예와 대비할 때 본 발명의 실시예 2에서 최대 대략 15.7%의 유전율 값이 향상되었음이 확인된다.4 and Table 2, when comparing the dielectric constant of the chip obtained by sintering the green sheet-stacked bulk at a firing temperature of about 1170° C. with the comparative example, the dielectric constant value of up to about 15.7% is improved in Example 2 of the present invention it is confirmed that

또한, 도 5는 본 발명의 실시예에 따라 표면에 실란계 화합물 코팅막이 형성된 세라믹 분말의 슬러리로 제조된 도 3a의 그린시트를 복수 적층하고 압착한 후 각 소성온도에서 소성한 칩의 실란용액 함량별 소결밀도("Density (g/cc)")의 변화를 나타내며, 또한 비교예로서 실란계 화합물로 표면이 코팅되지않은 세라믹 혼합분말의 슬러리로 제조된 그린시트를 복수 적층하고 압착한 후 각 소성온도에서 소성한 칩의 소결밀도의 변화를 나타낸다. 또한, 아래 표 3은 도 5의 각 소결밀도값을 수치로 정리한 것이다.5 is a silane solution content of chips fired at each firing temperature after stacking and pressing a plurality of green sheets of FIG. 3A prepared as a slurry of ceramic powder having a silane-based compound coating film formed on the surface according to an embodiment of the present invention It represents the change in sintering density ("Density (g/cc)") by star, and as a comparative example, a plurality of green sheets prepared from a slurry of ceramic powder whose surface is not coated with a silane-based compound are laminated and pressed, and then each firing It shows the change in the sintering density of the chip fired at the temperature. In addition, Table 3 below summarizes each sintered density value of FIG. 5 numerically.

소성온도firing temperature 1150℃1150℃ 1170℃1170℃ 1200℃1200℃ 1300℃1300℃ 비교예(Ref.)Comparative Example (Ref.) 5.285.28 5.445.44 5.555.55 5.555.55 실시예 1
(0.1wt%의 실란용액 첨가)
Example 1
(Added 0.1wt% of silane solution)
5.625.62 5.485.48 5.615.61 5.65.6
실시예 2
(0.5wt%의 실란용액 첨가)
Example 2
(Added 0.5wt% of silane solution)
5.465.46 5.445.44 5.715.71 5.555.55
실시예 3
(1.0wt%의 실란용액 첨가)
Example 3
(1.0wt% of silane solution added)
5.395.39 5.335.33 5.545.54 5.45.4

도 5 및 표 3을 참조하면, 비교예와 대비하여 실란계 화합물 코팅막을 표면에 코팅한 세라믹 분말의 슬러리로 제조되는 본 발명에서 소결밀도가 개선되었음을 알 수 있다.5 and Table 3, it can be seen that the sintering density is improved in the present invention prepared as a slurry of ceramic powder coated with a silane-based compound coating film on the surface as compared to Comparative Example.

위와 같이, 본 발명에 따르면, 테이프 캐스팅을 위하여 제조되는 세라믹 슬러리의 세라믹 분말은 실란 커플링제로써 표면처리됨으로써 그의 표면이 실란계 화합물로 코팅된 후 에이징 처리됨으로써 세라믹 분말의 균일한 분산을 유도한다. 그리고, 상기 실란계 화합물 코팅막은 추후 성형성을 위하여 첨가되는 에폭시 바인더와 균일하면서도 더욱 강화된 결합을 유도한다. 이렇게 에폭시 바인더와 균일하면서도 더욱 강화된 결합은 분말들 간의 분산성과 점탄성을 더욱 증대시켜 분말들 간의 충진밀도를 증가시키고 그린시트의 조도를 개선하여 이를 소결하여 벌크 칩을 제조할 경우 그의 소결밀도 및 유전특성을 향상시킨다. 따라서, 본 발명에 의한 메커니즘은 초박형으로서 가요성을 가지면서도 높은 유전율의 전기적 특성을 갖는 MLCC 등의 제조에 매우 유리하다.As described above, according to the present invention, the ceramic powder of the ceramic slurry prepared for tape casting is surface-treated with a silane coupling agent so that the surface thereof is coated with a silane-based compound and then subjected to aging treatment to induce uniform dispersion of the ceramic powder. In addition, the silane-based compound coating film induces a more uniform and stronger bond with an epoxy binder added for later moldability. This uniform and stronger bonding with the epoxy binder further increases the dispersibility and viscoelasticity between the powders to increase the packing density between the powders, and improves the roughness of the green sheet to produce bulk chips by sintering the sintering density and dielectric strength. improve properties. Therefore, the mechanism according to the present invention is very advantageous for manufacturing MLCCs having high dielectric constant electrical characteristics while being ultra-thin and flexible.

이상, 상술된 본 발명의 구현예 및 실시예에 있어서, 조성분말의 평균입도, 분포 및 비표면적과 같은 분말특성과, 원료의 순도, 불순물 첨가량 및 소결 조건에 따라 통상적인 오차범위 내에서 다소 변동이 있을 수 있음은 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 지극히 당연하다. Above, in the above-described embodiments and examples of the present invention, the powder properties such as the average particle size, distribution and specific surface area of the composition powder, the purity of the raw material, the amount of impurities added and the sintering conditions slightly fluctuate within the normal error range. It is very natural for those of ordinary skill in the relevant field that this may exist.

아울러 본 발명의 바람직한 구현예 및 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가 등이 가능할 것이고, 이러한 수정, 변경, 부가 등은 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 한다. In addition, preferred embodiments and embodiments of the present invention are disclosed for the purpose of illustration, and any person skilled in the art may make various modifications, changes, additions, etc. within the spirit and scope of the present invention, such modifications , changes, additions, etc. shall be regarded as belonging to the scope of the claims.

1: 세라믹 슬러리
3: 블레이드
5: 가열 건조존
7: 그린시트
8: 캐리어 필름
9: 권취부
1: ceramic slurry
3: Blade
5: Heat drying zone
7: Green seat
8: carrier film
9: Winding part

Claims (15)

세라믹 그린시트의 제조방법에 있어서,
세라믹 분말을 실란 커플링제를 제1용매에 용해시킨 실란 용액으로 표면처리하여 상기 세라믹 분말의 표면에 실란계 화합물 코팅막을 형성한 후 에이징 처리하는 단계와;
에이징 처리된 상기 세라믹 분말에 에폭시 바인더와 분산제 및 제2용매를 첨가하여 세라믹 슬러리를 제조하는 단계와;
상기 세라믹 슬러리를 테이프캐스팅하여 그린시트를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 제조방법.
In the method for manufacturing a ceramic green sheet,
Aging;
preparing a ceramic slurry by adding an epoxy binder, a dispersant, and a second solvent to the aged ceramic powder;
and tape-casting the ceramic slurry to form a green sheet.
제1항에 있어서,
상기 세라믹 슬러리를 제조하는 단계는 상기 세라믹 분말에 가소제를 첨가하는 것을 더 포함함을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 제조방법.
According to claim 1,
The preparing of the ceramic slurry further comprises adding a plasticizer to the ceramic powder.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 에이징 처리는 상온에서 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 제조방법.
3. The method of claim 1 or 2,
The aging treatment is a method of manufacturing a ceramic green sheet, characterized in that performed at room temperature.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 에이징 처리는 -3~72℃ 범위의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 제조방법.
3. The method of claim 1 or 2,
The aging treatment is a method of manufacturing a ceramic green sheet, characterized in that it is performed at a temperature in the range of -3 ~ 72 ℃.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 에이징 처리는 1~72 범위의 시간동안 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 제조방법.
3. The method of claim 1 or 2,
The method of manufacturing a ceramic green sheet, characterized in that the aging treatment is performed for a time in the range of 1 to 72.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1용매는 물(H2O), 에탄올(C2H5OH), 메탄올(CH3OH), 메틸에틸케톤(CH3COC2H5) 및 벤젠(C6H6)을 포함한 군에서 하나 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 제조방법.
3. The method of claim 1 or 2,
The first solvent is water (H 2 O), ethanol (C 2 H 5 OH), methanol (CH 3 OH), methyl ethyl ketone (CH 3 COC 2 H 5 ) and benzene (C 6 H 6 ) A method of manufacturing a ceramic green sheet, characterized in that at least one is selected from
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 실란 커플링제의 양은 상기 세라믹 분말의 총량대비 0.05~5 wt% 범위로 조절하는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 제조방법.
3. The method of claim 1 or 2,
The method of manufacturing a ceramic green sheet, characterized in that the amount of the silane coupling agent is adjusted in the range of 0.05 to 5 wt% based on the total amount of the ceramic powder.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 실란 커플링제는 3-글리시드 옥시프로필 트리메톡시실란, 3-글리시드 옥시프로필 트리에톡시실란, 비닐 트리메톡시실란, 비닐 트리에톡시실란, 3-아미노프로필 트리메톡시실란, 트리메톡시[(3-(페닐아미노)프로필]실란, 3-아미노프로필 트리에톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필 트리메톡시실란, 3-메타크릴 옥시프로필 트리에톡시실란, 3-머캅토프로필 트리메톡시실란, 비닐에톡시실란, 비닐-톨릴(2-메톡시-에톡시)실란, γ-메타크릴옥시프로필 트리메톡시실란, γ-아미노프로필 트리메톡시실란, γ-아미노프로필 트리에톡시실란, N-페닐-γ-아미노프로필 트리메톡시실란, N-β-(아미노에틸)-γ-아미노프로필 트리메톡시실란, N-β-(아미노에틸)-γ-아미노프로필 트리에톡시실란, N-페닐-γ-아미노프로필 트리메톡시실란, β-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸 트리메톡 시실란, γ-글리시독시프로필 트리메톡시실란, 및 γ-메르캅토프로필 트리메톡시실란로 이루어진 군에서 하나 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 제조방법.
3. The method of claim 1 or 2,
The silane coupling agent is 3-glycide oxypropyl trimethoxysilane, 3-glycide oxypropyl triethoxysilane, vinyl trimethoxysilane, vinyl triethoxysilane, 3-aminopropyl trimethoxysilane, trime Toxy[(3-(phenylamino)propyl]silane, 3-aminopropyl triethoxysilane, 3-methacryloxypropyl trimethoxysilane, 3-methacryl oxypropyl triethoxysilane, 3-mercaptopropyl tri Methoxysilane, vinylethoxysilane, vinyl-tolyl (2-methoxy-ethoxy)silane, γ-methacryloxypropyl trimethoxysilane, γ-aminopropyl trimethoxysilane, γ-aminopropyl triethoxy Silane, N-phenyl-γ-aminopropyl trimethoxysilane, N-β-(aminoethyl)-γ-aminopropyl trimethoxysilane, N-β-(aminoethyl)-γ-aminopropyl triethoxysilane , N-phenyl-γ-aminopropyl trimethoxysilane, β-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyl trimethoxysilane, γ-glycidoxypropyl trimethoxysilane, and γ-mercaptopropyl trimethoxy A method of manufacturing a ceramic green sheet, characterized in that at least one selected from the group consisting of silanes.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 세라믹 분말은 100~300㎚ 범위 입경의 분말을 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 제조방법.
3. The method of claim 1 or 2,
The ceramic powder is a method of manufacturing a ceramic green sheet, characterized in that it comprises a powder having a particle diameter in the range of 100 ~ 300㎚.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제2용매는 에탄올인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 제조방법.
3. The method of claim 1 or 2,
The method of manufacturing a ceramic green sheet, characterized in that the second solvent is ethanol.
제1항 또는 제2항에 있어서,
형성된 상기 실란계 화합물 코팅막의 두께는 0.5~5㎚ 범위인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 제조방법.
3. The method of claim 1 or 2,
A method of manufacturing a ceramic green sheet, characterized in that the thickness of the formed silane-based compound coating film is in the range of 0.5 to 5 nm.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 에폭시 바인더의 첨가량은 상기 세라믹 분말의 중량대비 60wt% 이하인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 제조방법.
3. The method of claim 1 or 2,
The method of manufacturing a ceramic green sheet, characterized in that the added amount of the epoxy binder is 60 wt% or less based on the weight of the ceramic powder.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 분산제의 첨가량은 상기 세라믹 분말의 중량대비 3wt% 이하인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 제조방법.
3. The method of claim 1 or 2,
The method of manufacturing a ceramic green sheet, characterized in that the amount of the dispersant added is 3 wt% or less based on the weight of the ceramic powder.
제2항에 있어서,
상기 가소제의 첨가량은 상기 세라믹 분말의 중량대비 5wt% 이하인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 제조방법.
3. The method of claim 2,
The method of manufacturing a ceramic green sheet, characterized in that the added amount of the plasticizer is 5 wt% or less based on the weight of the ceramic powder.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 세라믹 분말의 표면에 실란계 화합물 코팅막을 형성하는 것은 상기 세라믹 분말을 상기 실란 용액에 침지하여 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 제조방법.
3. The method of claim 1 or 2,
The method for manufacturing a ceramic green sheet, characterized in that forming the silane-based compound coating film on the surface of the ceramic powder is performed by immersing the ceramic powder in the silane solution.
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