KR20220059902A - Method for automation transporting of display panel and system thereof - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to an automatic transfer method of display panels and a device thereof. Even in high-temperature display panels, adhesive performance of an adhesive pad can be constantly maintained and a lifespan thereof can be extended. The automatic transfer device of the display panels according to the present invention comprises: a circular vacuum chuck (230); an installation frame (110); a plurality of cooling modules (200); a temperature detecting sensor (190); a display panel detecting sensor (240); a cooler (210); a motor (220); and a controller (250).

Description

디스플레이 패널의 자동 이송 방법 및 그 장치{METHOD FOR AUTOMATION TRANSPORTING OF DISPLAY PANEL AND SYSTEM THEREOF} Automatic transport method and device for display panel

본 발명은 디스플레이 패널의 자동 이송 방법 및 그 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 트레이의 지지 바아에 접착패드를 부착하고 디스플레이 패널을 접착 고정하는 디스플레이 패널의 자동 이송 방법 및 그 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method and apparatus for automatic transfer of a display panel, and more particularly, to a method and apparatus for automatic transfer of a display panel in which an adhesive pad is attached to a support bar of a tray and the display panel is adhesively fixed.

일반적으로, 디스플레이 패널은 복수의 장치를 이용하여 증착, 식각 공정 등을 반복하여 디스플레이 패널 상에 소정 구조의 층이 복수 적층되어 제조된다. 즉, 증착 장치에서 소정 박막을 증착한 후 노광 장치에서 소정 패턴의 감광막을 형성하고, 식각 장치에서 감광막 패턴을 마스크로 식각 공정을 실시함으로써 일 층이 소정 구조로 형성된다. 이렇게 디스플레이 패널을 서로 다른 장치로 이송하여 공정을 진행하기 위해서는 디스플레이 패널을 고정해야 한다.In general, a display panel is manufactured by stacking a plurality of layers having a predetermined structure on the display panel by repeating deposition and etching processes using a plurality of devices. That is, after depositing a predetermined thin film in a deposition apparatus, a photoresist film having a predetermined pattern is formed in an exposure apparatus, and an etching process is performed using the photosensitive film pattern as a mask in the etching apparatus to form a predetermined structure. In order to carry out the process by transferring the display panel to different devices in this way, it is necessary to fix the display panel.

종래에는 디스플레이 패널을 이송하거나 고정하는 방법으로 클램프 고정 방식을 이용하였다. Conventionally, a clamp fixing method is used as a method of transporting or fixing a display panel.

상기 클램프(clamp) 고정 방식은 디스플레이 패널의 가장자리를 클램프로 집어서 고정한 후 이송하게 된다. 그러나, 이 방식은 클램프가 위치하는 디스플레이 패널의 가장자리 부분에 클램프 새도우(shadow) 현상으로 증착, 노광, 식각 등의 공정을 할 수 없는 문제점이 있다. 또한, 클램프가 접속한 패널에는 클램프의 자국이나 흠집 또는 스크래치가 형성되기 때문에 클램프가 접촉된 가장자리 부분을 커팅하여 제거해야 한다. 이로 인해, 클램프 고정 방식은 커팅 공정이 추가로 필요하고 커팅시 박막의 디스플레이 패널에 미세 클랙(crack)이 생기거나 브레이크(break) 현상이 발생하는 문제점이 있다.In the clamp fixing method, the edge of the display panel is clamped and fixed, and then transported. However, this method has a problem in that processes such as deposition, exposure, and etching cannot be performed due to the clamp shadow phenomenon on the edge of the display panel where the clamp is positioned. In addition, since marks, scratches, or scratches of the clamp are formed on the panel to which the clamp is connected, it is necessary to cut and remove the edge portion in contact with the clamp. For this reason, the clamp fixing method additionally requires a cutting process, and there is a problem in that a fine crack or a break occurs in the thin-film display panel during cutting.

따라서 종래에는 이러한 문제점을 개선하고 외부로부터의 전기/기계적 구동 장치를 배제할 수 있는 방식으로 접착패드를 이용한 방법이 제안되었다. Therefore, conventionally, a method using an adhesive pad has been proposed in a way that can improve this problem and exclude an external electric/mechanical driving device.

상기 접착패드는, 도마뱀붙이(Gecko)의 흡착 능력이 그 발판에 있는 작은 섬모의 모양과 구조에 기인 한 것으로 밝혀지면서, 이러한 물질 표면을 이루는 말단 부분들에서 발생하는 것으로 알려진 반데르발스힘(Van der waals force)을 인위적으로 발생시킬 수 있는 섬모 형태의 패턴을 형성하여 구성하였다. 여기서, 섬모 형태의 패턴은 나노 사이즈 패턴을 갖는 몰드(mold)의 양각 부위에 고분자 물질을 도포한 후 몰드를 기판 위에 누름으로써 형성하였다. 이때, 섬모의 유연성을 부여하기 위해 폴리디메틸실록산(poly-dimethylsiloxane), 폴리스티렌(polystyrene), 폴리우레탄(polyurethane), 폴리메틸메타크릴레이트(poly(methyl methacrylate)) 등과 같은 열을 가하여 유동시킬 수 있는 열가소성 수지 등의 고분자 물질을 이용하였다. 즉, 고분자 물질을 이용하여 패터닝함으로써 나노 섬모 패턴을 형성하였다.The adhesive pad, as it was found that the gecko's adsorption ability is due to the shape and structure of small cilia on its scaffold, van der Waals force (Van der Waals force), which is known to occur at the distal parts forming the surface of this material. der waals force) was artificially generated by forming a cilia-shaped pattern. Here, the cilia-shaped pattern was formed by applying a polymer material to the embossed portion of a mold having a nano-size pattern and then pressing the mold on the substrate. At this time, in order to give the flexibility of the cilia, heat such as poly-dimethylsiloxane, polystyrene, polyurethane, poly(methyl methacrylate), etc. A polymer material such as a thermoplastic resin was used. That is, a nano-cilia pattern was formed by patterning using a polymer material.

종래의 접착패드는 도마뱀붙이의 흡착 원리를 이용한 G-N 패드(Gecko-None PAD)를 사용하고 있다. G-N 패드(PAD)는 200∼250℃의 고온 분위기에서도 일정한 인력을 통한 접착력을 발생시킬 수 있는 폴리머 등의 내열성 소재로 제작되어 있다.A conventional adhesive pad uses a Gecko-None PAD using the gecko's adsorption principle. The G-N pad (PAD) is made of a heat-resistant material such as a polymer that can generate adhesion through a constant attractive force even in a high-temperature atmosphere of 200 to 250°C.

그러나, 고분자를 이용하여 형성된 G-N 패드의 섬모는 200℃ 이상의 고온에서 반복하여 사용하게 되면 물질 자체의 강도가 낮으므로 패턴이 무너지거나 탄성을 잃게 되는 등 변형과 특성의 열화 현상으로 수명이 단축되고, 250℃ 이상의 고온에서는 접착력이 떨어져서 제기능을 발휘할 수 없는 문제점이 있다.However, if the cilia of the G-N pad formed using a polymer are repeatedly used at a high temperature of 200°C or higher, the material itself has low strength, so the pattern collapses or loses elasticity, and the lifespan is shortened due to deformation and deterioration of properties, At a high temperature of 250° C. or higher, there is a problem in that the adhesive strength is lowered and thus the proper function cannot be exhibited.

대한민국 공개특허 제10-2019-0131651호(공개일자: 2019.11.27.)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2019-0131651 (published date: 2019.11.27.) 대한민국 공개특허 제10-2012-0124700호(공개일자: 2012.11.14.)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2012-0124700 (published on: November 14, 2012)

전술한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 게코(Gekco)도마뱀의 발바닥에 마련되는 스패튤라(Spatular)형상의 미세한 섬모와 같은 형상으로 폴리머 재질의 미세 섬모로 형성하고, 반데르발스힘(Van der waals force)에 의해 디스플레이 패널에 가압 접촉되면 접착력이 발휘되고 가압력이 제거되면 접착력이 해제되는 디스플레이 패널의 자동 이송 방법 및 그 장치를 제시하는데 그 목적이 있다.The technical problem to be achieved by the present invention in order to solve the above problems is to form microscopic cilia of a polymer material in the same shape as the spatular-shaped microcilia provided on the soles of the gekco lizards, and van der An object of the present invention is to provide a method and an apparatus for automatic transport of a display panel in which adhesive force is exerted when pressed against a display panel by van der waals force and the adhesive force is released when the pressing force is removed.

또한, 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 고온(예를 들어, 250℃ 이상)의 디스플레이 패널에도 접착패드의 접착력을 일정하게 유지시킬 수 있는 디스플레이 패널의 자동 이송 방법 및 그 장치를 제시하는데 그 목적이 있다.In addition, another technical problem to be achieved by the present invention is to provide a method and apparatus for automatic transport of a display panel capable of maintaining the adhesive force of an adhesive pad constant even on a display panel at a high temperature (eg, 250° C. or higher) and the device thereof. There is a purpose.

또한, 본 발명이 이루고자 하는 또다른 기술적 과제는, 트레이의 지지 바아에 접착패드를 부착하여 디스플레이 패널을 접착 고정하되 복수의 방열핀이 형성된 방열판(Heatsink)에 상기 접착패드를 부착하여 열을 자연 발산하는 디스플레이 패널의 자동 이송 방법 및 그 장치를 제시하는데 그 목적이 있다.In addition, another technical problem to be achieved by the present invention is to attach an adhesive pad to the support bar of the tray to adhesively fix the display panel, but to naturally dissipate heat by attaching the adhesive pad to a heat sink having a plurality of heat sink fins formed therein An object of the present invention is to provide a method for automatically transporting a display panel and an apparatus for the same.

또한, 본 발명이 이루고자 하는 또다른 기술적 과제는, 트레이의 지지 바아에 접착패드를 부착하여 디스플레이 패널을 접착 고정하되, 복수의 방열핀이 형성된 방열판(Heatsink)에 상기 접착패드를 부착하여 열을 발산하고, 상기 접착패드의 온도를 센서로 감지하여 송풍팬을 통해 강제로 방열시키는 디스플레이 패널의 자동 이송 방법 및 그 장치를 제시하는데 그 목적이 있다.In addition, another technical problem to be achieved by the present invention is to attach an adhesive pad to the support bar of the tray to adhesively fix the display panel, and to dissipate heat by attaching the adhesive pad to a heat sink having a plurality of heat dissipation fins formed therein. , An object of the present invention is to provide a method and an apparatus for automatic transfer of a display panel for forcibly dissipating heat through a blower fan by sensing the temperature of the adhesive pad with a sensor.

또한, 본 발명이 이루고자 하는 또다른 기술적 과제는, 트레이의 지지 바아에 접착패드를 부착하여 디스플레이 패널을 접착 고정하되, 내부에 냉각순환통로가 형성된 냉각모듈에 상기 접착패드를 부착하여 유체 또는 공기의 순환에 의해 수냉 또는 공냉으로 접착패드의 열을 냉각시키는 디스플레이 패널의 자동 이송 방법 및 그 장치를 제시하는데 그 목적이 있다.In addition, another technical problem to be achieved by the present invention is to attach an adhesive pad to a support bar of a tray to adhesively fix the display panel, but attach the adhesive pad to a cooling module having a cooling circulation path formed therein to absorb fluid or air. An object of the present invention is to provide a method and an apparatus for automatic transfer of a display panel that cools the heat of an adhesive pad by water cooling or air cooling by circulation.

또한, 본 발명이 이루고자 하는 또다른 기술적 과제는, 디스플레이 패널을 이송하는 트레이를 자석을 이용한 자기부상 방식으로 이동하는 디스플레이 패널의 자동 이송 방법 및 그 장치를 제시하는데 그 목적이 있다.In addition, another technical problem to be achieved by the present invention is to provide a method and an apparatus for automatic transport of a display panel in which a tray for transporting a display panel is moved by a magnetic levitation method using a magnet.

또한, 본 발명이 이루고자 하는 또다른 기술적 과제는, 디스플레이 패널을 이송하는 트레이를 롤러와 이송레일을 이용하여 이동시키는 디스플레이 패널의 자동 이송 방법 및 그 장치를 제시하는데 그 목적이 있다.In addition, another technical problem to be achieved by the present invention is to provide a method and apparatus for automatic transport of a display panel for moving a tray for transporting a display panel by using a roller and a transport rail.

또한, 본 발명이 이루고자 하는 또다른 기술적 과제는, 접착패드에 디스플레이 패널의 설치 여부를 감지하는 센서의 감지신호에 의해 디스플레이 패널의 이송을 자동 제어하는 디스플레이 패널의 자동 이송 방법 및 그 장치를 제시하는데 그 목적이 있다.In addition, another technical task to be achieved by the present invention is to provide a method and apparatus for automatic transfer of a display panel for automatically controlling transfer of a display panel by a detection signal of a sensor that detects whether the display panel is installed on an adhesive pad. There is a purpose.

본 발명의 해결과제는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.The problems to be solved of the present invention are not limited to those mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 본 발명에 의한 디스플레이 패널의 자동 이송 장치는, 사각틀 형상의 프레임(151)과, 상기 프레임(151)의 내부 영역을 수직으로 가로질러 소정 간격으로 배치된 복수의 지지 바아(152)와, 상기 지지 바아(152)의 전면에 설치되고 내부에 냉각순환통로(202)가 형성된 복수의 냉각모듈(200)과, 상기 냉각모듈(200)의 전면에 부착되며 디스플레이 패널(101)이 가압 접촉되면 접착력이 발휘되고 가압력이 제거되면 접착력이 해제되는 접착패드(160)와, 상기 디스플레이 패널(101)을 자석을 이용한 자기부상 방식 또는 롤러(120)와 이송레일(112)를 이용하여 이동시키는 트레이(150)를 포함하는 디스플레이 패널의 자동 이송 장치에 있어서, 상기 디스플레이 패널(101)을 흡착 이동하여 상기 지지 바아(152)의 냉각모듈(200)에 설치된 상기 접착패드(160)에 접착 고정시키는 원형 진공척(230); 상기 트레이(150)가 상기 이송레일(112)을 따라 이동할 때 상기 트레이(150)의 이동을 가이드 하는 이송 가이드(130)가 수평으로 설치되고, 상기 트레이(150)를 전진 및 후진으로 이동시키는 이송 실린더(140)가 일측에 설치되며, 상기 트레이(150)가 이동하는 이송레일(112)이 수평으로 설치된 설치프레임(110); 상기 지지 바아(152)의 전면에 설치되며, 상기 접착패드(160)가 전면에 부착되고, 몸체(201) 내부에 냉각순환통로(202)가 유입구와 배출구 사이에 지그재그 형상으로 형성되고, 상기 냉각순환통로(202)로 유체 또는 공기를 튜브나 파이프로 공급하여 상기 접착패드(160)의 열을 냉각시키는 복수의 냉각모듈(200); 상기 냉각모듈(200)의 전면에 배치되며 상기 접착패드(160)의 온도를 감지하는 온도감지센서(190); 상기 지지 바아(152)의 접착패드(160)에 상기 디스플레이 패널(101)의 설치 여부를 감지하는 디스플레이패널 감지센서(240); 상기 냉각모듈(200)에서 배출되거나 유입되는 유체 또는 공기를 냉각시키는 냉각기(210); 상기 냉각모듈(200)의 배출구와 상기 냉각기(210) 사이에, 또는 상기 냉각기(210)와 상기 냉각모듈(200)의 유입구 사이에 설치되며, 상기 유체 또는 공기를 강제 순환시키는 모터(220); 및 상기 온도감지센서(190)의 감지 온도가 설정 범위를 초과하면 상기 냉각기(210)와 상기 모터(220)를 작동시켜 상기 접착패드(160)의 온도가 정상 온도범위가 될 때까지 상기 냉각모듈(200)의 냉각순환통로(202)를 통해 유체 또는 공기를 순환 냉각시킴으로써 상기 접착패드(160)의 온도를 일정 온도범위로 유지시켜주고, 상기 디스플레이패널 감지센서(240)의 감지신호에 의해 상기 트레이(150)로 상기 디스플레이 패널(101)의 이송을 제어하는 컨트롤러(250);를 포함하여 구성될 수 있다.As a means for solving the above-described technical problem, the automatic transfer device for a display panel according to the present invention includes a frame 151 in the shape of a rectangular frame, and vertically crossing the inner region of the frame 151 at a predetermined interval. A plurality of support bars 152, a plurality of cooling modules 200 installed on the front surface of the support bar 152 and having a cooling circulation passage 202 formed therein, and attached to the front surface of the cooling module 200, When the display panel 101 is pressed into contact, adhesive force is exerted and the adhesive force is released when the pressing force is removed. In the automatic transfer device for a display panel including a tray 150 to be moved using 112), the adhesive pad installed in the cooling module 200 of the support bar 152 by adsorbing and moving the display panel 101 Circular vacuum chuck 230 for adhesively fixing to 160; When the tray 150 moves along the transport rail 112, the transport guide 130 for guiding the movement of the tray 150 is installed horizontally, and the transport for moving the tray 150 forward and backward. an installation frame 110 having a cylinder 140 installed on one side, and a transport rail 112 on which the tray 150 moves, installed horizontally; It is installed on the front side of the support bar 152, the adhesive pad 160 is attached to the front side, a cooling circulation passage 202 is formed in the body 201 in a zigzag shape between the inlet and the outlet, and the cooling a plurality of cooling modules 200 for cooling the heat of the adhesive pad 160 by supplying fluid or air to the circulation passage 202 through a tube or pipe; a temperature sensor 190 disposed on the front surface of the cooling module 200 and sensing the temperature of the adhesive pad 160; a display panel detection sensor 240 for detecting whether the display panel 101 is installed on the adhesive pad 160 of the support bar 152; a cooler 210 for cooling the fluid or air discharged or introduced from the cooling module 200; a motor 220 installed between the outlet of the cooling module 200 and the cooler 210 or between the cooler 210 and the inlet of the cooling module 200 and forcibly circulating the fluid or air; And when the sensing temperature of the temperature sensor 190 exceeds a set range, the cooling module operates the cooler 210 and the motor 220 until the temperature of the adhesive pad 160 is within the normal temperature range. By circulating and cooling the fluid or air through the cooling circulation passage 202 of 200, the temperature of the adhesive pad 160 is maintained in a certain temperature range, and by the detection signal of the display panel detection sensor 240, the A controller 250 for controlling the transfer of the display panel 101 to the tray 150; may be configured to include.

전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 본 발명에 의한 디스플레이 패널의 자동 이송 장치는, 사각틀 형상의 프레임(151)과, 상기 프레임(151)의 내부 영역을 수직으로 가로질러 소정 간격으로 배치된 복수의 지지 바아(152)와, 상기 지지 바아(152)에 설치되고 후면에 복수의 방열핀(171)이 형성된 방열판(170)과, 상기 방열판(170)의 전면에 부착되며 디스플레이 패널(101)이 가압 접촉되면 접착력이 발휘되고 가압력이 제거되면 접착력이 해제되는 접착패드(160)와, 자석을 이용한 자기부상 방식 또는 롤러(120)와 이송레일(112)를 이용하여 상기 디스플레이 패널(101)을 이동시키는 트레이(150)를 포함하는 디스플레이 패널의 자동 이송 장치에 있어서, 상기 디스플레이 패널(101)을 흡착 이동하여 상기 지지 바아(152)의 냉각모듈(200)에 설치된 상기 접착패드(160)에 접착 고정시키는 원형 진공척(230); 및 상기 트레이(150)가 상기 이송레일(112)을 따라 이동할 때 상기 트레이(150)의 이동을 가이드 하는 이송 가이드(130)가 수평으로 설치되고, 상기 트레이(150)를 전진 및 후진으로 이동시키는 이송 실린더(140)가 일측에 설치되며, 상기 트레이(150)가 이동하는 이송레일(112)이 수평으로 설치된 설치프레임(110);을 포함하며, 상기 방열판(170)은, 상기 지지 바아(152)의 방열판 설치구멍에 설치되어 전면에 부착된 접착패드(160)의 열을 후면에 형성된 복수의 방열핀(171)을 통해 공기 중으로 방열하도록 구성될 수 있다.As a means for solving the above-described technical problem, the automatic transfer device for a display panel according to the present invention includes a frame 151 in the shape of a rectangular frame, and vertically crossing the inner region of the frame 151 at a predetermined interval. A plurality of support bars 152, a heat sink 170 installed on the support bar 152 and having a plurality of heat radiation fins 171 on the rear surface thereof, and a display panel 101 attached to the front surface of the heat sink 170 The display panel 101 is moved using the adhesive pad 160, which exerts adhesive force when pressed and releases the adhesive force when the pressing force is removed, and a magnetic levitation method using a magnet or roller 120 and a transfer rail 112. In the automatic transporting device for a display panel including a tray 150 to provide a circular vacuum chuck 230; And when the tray 150 moves along the transport rail 112, a transport guide 130 for guiding the movement of the tray 150 is installed horizontally, and the tray 150 moves forward and backward. The transfer cylinder 140 is installed on one side, and the transfer rail 112 on which the tray 150 moves is installed in a horizontal installation frame 110 , and the heat sink 170 includes the support bar 152 . ) installed in the heat sink installation hole and may be configured to radiate heat from the adhesive pad 160 attached to the front side to the air through a plurality of heat dissipation fins 171 formed on the rear side.

상기 디스플레이 패널의 자동 이송 장치는, 상기 방열핀(171)의 상부에 설치되어 상기 방열핀(171)의 열을 강제로 발산시키는 송풍팬(181); 상기 방열판(170)의 전면에 설치되어 상기 접착패드(160)의 온도를 감지하는 온도감지센서(190); 및 상기 온도감지센서(190)에서 감지된 온도가 설정온도 이상일 경우 상기 접착패드(160)의 온도가 정상 온도범위가 될 때까지 상기 송풍팬(181)을 작동시켜 강제로 열을 식혀주도록 제어하는 컨트롤러(250);를 포함하여 구성될 수 있다.The automatic conveying device of the display panel includes: a blowing fan 181 installed on the heat dissipation fin 171 to forcibly dissipate the heat of the heat dissipation fin 171 ; a temperature sensor 190 installed on the front surface of the heat sink 170 to sense the temperature of the adhesive pad 160; And when the temperature sensed by the temperature sensor 190 is higher than the set temperature, the blower fan 181 is operated until the temperature of the adhesive pad 160 is within the normal temperature range to forcibly cool the heat. The controller 250; may be configured to include.

상기 접착패드(160)는, 게코(Gekco)도마뱀의 발바닥에 마련되는 스패튤라(Spatular)형상의 미세한 섬모와 같은 형상으로 폴리머 재질의 미세 섬모로 구성되며, 반데르발스힘(Van der waals force)에 의해 상기 디스플레이 패널(101)에 가압 접촉되면 접착력이 발휘되고 가압력이 제거되면 접착력이 해제되도록 구성될 수 있다.The adhesive pad 160 is composed of microscopic cilia made of a polymer material in the same shape as the spatular-shaped microscopic cilia provided on the sole of the gecko lizard, and uses Van der waals force. By the pressure contact with the display panel 101 may be configured such that the adhesive force is exerted and the adhesive force is released when the pressing force is removed.

본 발명에 따르면, 게코(Gekco)도마뱀의 발바닥에 마련되는 스패튤라(Spatular)형상의 미세한 섬모와 같은 형상으로 폴리머 재질의 미세 섬모로 형성하고, 반데르발스힘(Van der waals force)에 의해 디스플레이 패널에 가압 접촉되면 접착력이 발휘되고 가압력이 제거되면 접착력이 해제되는 접착패드를 이용하여 디스플레이 패널을 고정하여 이송할 수 있다. According to the present invention, the microcilia of a polymer material are formed in the same shape as the microscopic cilia of the Spatular shape provided on the sole of the gecko gecko, and the display is performed by Van der waals force. The display panel can be fixed and transported using an adhesive pad that exerts adhesive force when pressed against the panel and releases the adhesive force when the pressure is removed.

또한, 본 발명은 방열판(170), 방열모듈(180), 냉각모듈(200)을 통해 접착패드(160)의 온도를 일정 온도범위 내로 유지시켜 줌으로써 진공 분위기 및/또는 고온 분위기 하에서도 접착력을 일정하게 유지할 수 있고 탁월한 흡착성능을 구현할 수 있다.In addition, the present invention maintains the temperature of the adhesive pad 160 within a predetermined temperature range through the heat dissipation plate 170 , the heat dissipation module 180 , and the cooling module 200 so that the adhesive force is constant even under a vacuum atmosphere and/or a high temperature atmosphere. can be maintained and excellent adsorption performance can be realized.

또한, 고온(예를 들어, 250℃ 이상)의 디스플레이 패널에도 접착패드의 접착성능을 일정하게 유지시킬 수 있고 접착패드의 수명을 연장시킬 수 있다.In addition, the adhesive performance of the adhesive pad can be constantly maintained even on a display panel at a high temperature (eg, 250° C. or higher), and the lifespan of the adhesive pad can be extended.

본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.Effects of the present invention are not limited to those mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

도 1 내지 도 5는 본 발명에 의한 디스플레이 패널의 자동 이송 장치를 나타낸 구성도이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 제1 실시예에 의한 디스플레이 패널의 자동 이송 장치를 나타낸 구성도이다.
도 8 내지 도 10은 본 발명의 제2 실시예에 의한 디스플레이 패널의 자동 이송 장치를 나타낸 구성도이다.
도 11 내지 도 14는 본 발명의 제3 실시예에 의한 디스플레이 패널의 자동 이송 장치를 나타낸 구성도이다.1 to 5 are block diagrams showing an automatic transfer device for a display panel according to the present invention.
6 and 7 are block diagrams illustrating an automatic transfer device for a display panel according to a first embodiment of the present invention.
8 to 10 are block diagrams showing an automatic transfer device for a display panel according to a second embodiment of the present invention.
11 to 14 are block diagrams illustrating an automatic transfer device for a display panel according to a third embodiment of the present invention.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명되는 실시 예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 발명의 설명 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙여 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. However, the present invention may be embodied in several different forms and is not limited to the embodiments described herein. And in order to clearly explain the present invention in the drawings, parts irrelevant to the description are omitted, and similar reference numerals are attached to similar parts throughout the description of the invention.

이하, 본 발명에서 실시하고자 하는 구체적인 기술내용에 대해 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. Hereinafter, specific technical contents to be practiced in the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

디스플레이 패널의 자동 이송 장치Automatic transfer device for display panel

도 1 내지 도 5는 본 발명에 의한 디스플레이 패널의 자동 이송 장치를 나타낸 구성도이다.1 to 5 are block diagrams showing an automatic transfer device for a display panel according to the present invention.

본 발명의 디스플레이 패널의 자동 이송 장치(100)는 도 1 내지 도 5에 나타낸 바와 같이, 설치 프레임(110), 이송레일(112), 롤러(Roller; 120), 이송 가이드(Guide; 130), 이송 실린더(140), 트레이(150), 프레임(151), 지지 바아(152), 접착패드(160)를 포함하고 있다.As shown in Figs. 1 to 5, the automatic conveying device 100 of the display panel of the present invention includes an installation frame 110, a conveying rail 112, a roller 120, a conveying guide 130, It includes a transfer cylinder 140 , a tray 150 , a frame 151 , a support bar 152 , and an adhesive pad 160 .

먼저, 본 발명의 디스플레이 패널 자동 이송장치(100)는 원형 진공척(도 10의 230 참조)이 디스플레이 패널(101)을 흡착하여 상기 디스플레이 패널 자동 이송장치(100)의 트레이(150)로 이동하고 상기 트레이(150)의 지지 바아(152)에 설치된 상기 접착패드(160)에 상기 디스플레이 패널(101)을 접착 고정시키게 된다. 이어서, 디스플레이 패널 감지센서(도 10의 240 참조)에서 상기 접착패드(160)에 상기 디스플레이 패널(101)의 설치를 감지하고, 상기 디스플레이 패널 감지센서(240)의 감지신호에 의해 컨트롤러(도 10의 250 참조)에서 상기 이송 실린더(140)를 통해 상기 트레이(150)를 이동하여 상기 디스플레이 패널(101)을 이동시키게 된다.First, in the automatic display panel transfer device 100 of the present invention, a circular vacuum chuck (see 230 in FIG. 10 ) adsorbs the display panel 101 and moves to the tray 150 of the display panel automatic transfer apparatus 100 , The display panel 101 is adhesively fixed to the adhesive pad 160 installed on the support bar 152 of the tray 150 . Next, the display panel detection sensor (see 240 in FIG. 10 ) detects the installation of the display panel 101 on the adhesive pad 160 , and by the detection signal of the display panel detection sensor 240 , the controller ( FIG. 10 ) 250 ), the display panel 101 is moved by moving the tray 150 through the transfer cylinder 140 .

상기 디스플레이 패널(101)은 TFT-LCD, LED, OLED 등의 디스플레이 패널을 포함한다. The display panel 101 includes a display panel such as TFT-LCD, LED, and OLED.

상기 설치 프레임(110)은 상기 디스플레이 패널 자동 이송장치(100)의 몸체에 해당하는 것으로, 고정받침대(111)가 하단에 설치된다. 상기 고정받침대(111)는 나사식 회전으로 높이 조절이 가능하게 구성될 수 있다. 상기 설치 프레임(110)의 상부에는 상기 트레이(150)의 롤러(Roller; 120)가 이동하는 이송레일(112)이 수평으로 설치된다.The installation frame 110 corresponds to the body of the automatic display panel transfer device 100, and the fixing base 111 is installed at the lower end. The fixing pedestal 111 may be configured to be adjustable in height by screw-type rotation. A transport rail 112 on which a roller 120 of the tray 150 moves is horizontally installed on the upper portion of the installation frame 110 .

또한, 상기 설치 프레임(110)에는 상기 이송 가이드(Guide; 130)와 이송 실린더(140)가 설치된다. 상기 이송 가이드(130)는 상기 트레이(150)가 상기 이송레일(112)을 따라 이동할 때 상기 트레이(150)의 이동을 가이드하는 역할을 하며, 상기 이송 실린더(140)는 실린더의 전진 및 후진으로 상기 트레이(150)를 이동하여 상기 디스플레이 패널(101)을 이송시키는 역할을 한다.In addition, the transfer guide 130 and the transfer cylinder 140 are installed on the installation frame 110 . The transfer guide 130 serves to guide the movement of the tray 150 when the tray 150 moves along the transfer rail 112, and the transfer cylinder 140 moves forward and backward of the cylinder. It serves to transport the display panel 101 by moving the tray 150 .

상기 트레이(150)는 사각틀 형상의 프레임(151)과, 상기 프레임(151)의 내부 영역을 수직(또는, 수평)으로 가로질러 소정 간격으로 배치된 복수의 지지 바아(152)와, 상기 지지 바아(152)의 전면에 복수로 설치되고 상기 디스플레이 패널(101)에 가압 접촉되면 접착력이 발휘되고 가압력이 제거되면 접착력이 해제되는 접착패드(160)와, 상기 프레임(151)의 하단에 설치되고 상기 이송레일(112)을 따라 이동하여 상기 디스플레이 패널(101)을 이동시키는 롤러(120)를 포함하고 있다.The tray 150 includes a rectangular frame-shaped frame 151, a plurality of support bars 152 disposed at predetermined intervals vertically (or horizontally) across the inner region of the frame 151, and the support bars Adhesive pad 160 installed on the front surface of 152 and the adhesive force is exerted when pressed in contact with the display panel 101 and the adhesive force is released when the pressing force is removed, and is installed at the lower end of the frame 151 and the It includes a roller 120 for moving the display panel 101 by moving along the transport rail 112 .

상기 접착패드(160)는 게코(Gekco)도마뱀의 발바닥에 마련되는 스패튤라(Spatular)형상의 미세한 섬모와 같은 형상으로 폴리머 재질의 미세 섬모로 구성되며, 반데르발스힘(Van der waals force)에 의해 상기 디스플레이 패널(101)에 가압 접촉되면 접착력이 발휘되고 가압력이 제거되면 접착력이 해제된다.The adhesive pad 160 is composed of microscopic cilia made of a polymer material in the same shape as the spatular microcilia provided on the soles of the Gekco lizards, and is subjected to Van der waals force. Thus, when the pressure contact with the display panel 101 is exerted, the adhesive force is released when the pressing force is removed.

상기 게코(Gekco)도마뱀의 발바닥에는 각각의 섬모가 0.2 내지 0.5 마이크의 스패튤라(Spatular) 형상 구조로 종단하는 수백 개의 돌기를 포함하며, 섬모의 거시적 배향 및 사전 로딩(preloading)은 부착력을 재료의 마찰 측정에서보다 600배 높게 증가시키는 것이 문헌["Adhesive Force of a Single Gecko Foot-Hair," Autumn, K. et al.,Nature, 405, pp. 681-685 (2000)]에 보고되었다.The sole of the Gekco lizard includes hundreds of protrusions, each cilia terminating in a spatular-shaped structure of 0.2 to 0.5 microns, and macroscopic orientation and preloading of the cilia is responsible for the adhesion of the material. An increase of 600-fold higher than in friction measurements is described in "Adhesive Force of a Single Gecko Foot-Hair," Autumn, K. et al., Nature, 405, pp. 681-685 (2000)].

상기 접착패드(160)는 게코(Gekco)도마뱀의 발바닥에 마련되는 스패튤라(Spatular)형상의 미세한 섬모와 같은 형상으로 마련되며, 고온 분위기 하에서도, 예를 들면 200 도 내지 300도의 분위기에서도, 일정한 인력을 통한 접착력을 발생시킬 수 있는 폴리머 등의 내열성 소재로 제작될 수 있다.The adhesive pad 160 is provided in the same shape as the fine cilia of the spatular shape provided on the sole of the gecko lizard, and even in a high temperature atmosphere, for example, in an atmosphere of 200 degrees to 300 degrees, constant It may be made of a heat-resistant material such as a polymer capable of generating adhesive force through attractive force.

상기 접착패드(160)는 반데르발스힘(Van der waals force)의 원리에 의해 접착제 없이도 디스플레이 패널(101)을 쉽게 접착하여 고정시킬 수 있다. The adhesive pad 160 can easily adhere and fix the display panel 101 without an adhesive according to the principle of van der waals force.

따라서, 상기 접착패드(160) 상에 안착되는 예를 들어 기판 등의 대상 물질을 안정적으로 접착하여 고정시킬 수 있고, 그에 따라 이송 로봇 또는 이송 암의 이동에 의해 상기 접착패드(160)로부터 상기 디스플레이 패널(101)이 미끄러지거나 이탈하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 디스플레이 패널(101)이 상기 접착패드(160)로부터 이탈되지 않기 때문에 기판의 적재 위치가 달라지지 않으므로 설정 위치에 공정이 진행될 수 있어 공정 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 그리고, 공정이 진행되는 기판과 동일 재질의 모재를 이용함으로써 접촉에 의한 기판의 오염을 방지할 수 있다.Therefore, it is possible to stably adhere and fix a target material, such as a substrate, which is seated on the adhesive pad 160 , and accordingly, the display from the adhesive pad 160 by the movement of the transfer robot or transfer arm. It is possible to prevent the panel 101 from sliding or detaching. In addition, since the display panel 101 does not separate from the adhesive pad 160 , the loading position of the substrate does not change, so that the process can be performed at the set position, thereby improving process reliability. And, it is possible to prevent contamination of the substrate by contact by using the base material of the same material as the substrate on which the process is performed.

본 발명의 접착패드(160)는 도마뱀붙이의 흡착 원리를 이용한 RNR사의 G-N PAD(Gecko-None PAD) 제품을 사용할 수도 있다.The adhesive pad 160 of the present invention may use a Gecko-None PAD (Gecko-None PAD) product of RNR Corporation using the gecko adsorption principle.

본 발명의 실시예에서는 상기 디스플레이 패널(101)을 이송하는 트레이(150)를 롤러(120)와 이송레일(112)을 이용하여 이동하는 예에 대해 설명하였다. 그러나, 상기 디스플레이 패널(101)을 이송하는 트레이(150)를 자석을 이용한 자기부상 방식으로 이동하도록 구성될 수도 있다.In the embodiment of the present invention, an example in which the tray 150 for transporting the display panel 101 is moved using the roller 120 and the transport rail 112 has been described. However, it may be configured to move the tray 150 for transporting the display panel 101 in a magnetic levitation method using a magnet.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 디스플레이 패널 자동 이송장치의 실시예에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, an embodiment of an automatic display panel transfer device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

제1 실시예first embodiment

도 6 및 도 7은 본 발명의 제1 실시예에 의한 디스플레이 패널 자동 이송장치를 나타낸 구성도이다.6 and 7 are block diagrams showing the display panel automatic transfer device according to the first embodiment of the present invention.

본 발명의 제1 실시예에 의한 디스플레이 패널 자동 이송장치는 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 설치 프레임(110), 이송레일(도 1의 112 참조), 롤러(Roller; 120), 이송 가이드(Guide; 130), 이송 실린더(140), 트레이(150), 프레임(151), 지지 바아(152), 접착패드(160), 방열판(Heatsink; 170)을 포함하고 있다.As shown in Figs. 6 and 7, the display panel automatic conveying apparatus according to the first embodiment of the present invention includes an installation frame 110, a conveying rail (see 112 in Fig. 1), a roller 120, and a conveying guide. (Guide; 130), a transfer cylinder 140, a tray 150, a frame 151, a support bar 152, an adhesive pad 160, and a heat sink (Heatsink; 170).

본 발명의 제1 실시예는 도 1의 디스플레이 패널 자동 이송장치에서 상기 방열판(170)이 추가로 구성된 것으로, 나머지 구성은 도 1과 동일하다.In the first embodiment of the present invention, the heat sink 170 is additionally configured in the automatic display panel transfer device of FIG. 1 , and the rest of the configuration is the same as in FIG. 1 .

상기 방열판(170)은 상기 트레이(150)의 지지 바아(152)에 설치되며, 후면에 복수의 방열핀(171)이 돌출 형성되고 전면에 상기 접착패드(160)가 부착 설치된다.The heat dissipation plate 170 is installed on the support bar 152 of the tray 150 , a plurality of heat dissipation fins 171 are protruded from the rear surface, and the adhesive pad 160 is attached to the front surface.

상기 방열판(170)은 상기 지지 바아(152)의 전면에 설치될 수 있다. 이때, 상기 방열판(170)과 상기 지지 바아(152) 사이에는 상기 방열핀(171)에서 열을 발산할 수 있도록 공간을 형성하는 것이 바람직하다.The heat sink 170 may be installed on the front surface of the support bar 152 . At this time, it is preferable to form a space between the heat sink 170 and the support bar 152 to dissipate heat from the heat sink fin 171 .

또한, 상기 방열판(170)은 상기 지지 바아(152)의 방열판 설치구멍(미도시) 상에 체결하여 설치하거나 방열판 설치구멍에 삽입하여 설치할 수 있다. 이때, 상기 방열판(170)의 방열핀(171)은 상기 방열판 설치구멍을 통해 대기중에 노출되도록 구성된다.In addition, the heat sink 170 may be installed by being fastened on the heat sink installation hole (not shown) of the support bar 152 or inserted into the heat sink installation hole. At this time, the heat radiation fins 171 of the heat sink 170 are configured to be exposed to the atmosphere through the heat sink installation hole.

상기 방열판(170)은 상기 접착패드(160)가 전면에 부착되고 복수의 방열핀이 후면에 형성되어 있어 쿨러 없이 상기 접착패드(160)에서 발생하는 열을 공기 중으로 발산한다. 상기 방열판(170)은 열전도율이 높은 구리(Cu) 또는 알루미늄(Al) 소재로 구성될 수 있다. The heat dissipation plate 170 has the adhesive pad 160 attached to the front side and a plurality of heat dissipation fins formed on the back side to dissipate heat generated from the adhesive pad 160 into the air without a cooler. The heat sink 170 may be made of a copper (Cu) or aluminum (Al) material having high thermal conductivity.

상기 구성을 갖는 본 발명의 제1 실시예에 의한 디스플레이 패널 자동 이송장치는 상기 디스플레이 패널(101)을 접착 고정하는 상기 접착패드(160)가 상기 방열판(170)에 부착 설치되어 상기 디스플레이 패널(101)에서 상기 접착패드(160)로 전달되는 고온의 열을 공기중으로 방열시킴으로써, 고온(예를 들어, 250℃ 이상)의 디스플레이 패널(101)에도 상기 접착패드(160)의 접착력을 일정하게 유지시킬 수 있다.In the display panel automatic transfer device according to the first embodiment of the present invention having the above configuration, the adhesive pad 160 for adhesively fixing the display panel 101 is attached to the heat sink 170 to install the display panel 101 . ) by dissipating the high-temperature heat transferred to the adhesive pad 160 into the air, so that the adhesive force of the adhesive pad 160 is constantly maintained even on the display panel 101 at a high temperature (eg, 250° C. or higher). can

제2 실시예second embodiment

도 8 내지 도 10은 본 발명의 제2 실시예에 의한 디스플레이 패널 자동 이송장치를 나타낸 구성도이다.8 to 10 are block diagrams showing an automatic display panel transfer device according to a second embodiment of the present invention.

본 발명의 제2 실시예에 의한 디스플레이 패널 자동 이송장치는 도 8 및 도 10에 나타낸 바와 같이, 설치 프레임(110), 이송레일(도 1의 112 참조), 롤러(Roller; 120), 이송 가이드(Guide; 130), 이송 실린더(140), 트레이(150), 프레임(151), 지지 바아(152), 접착패드(160), 방열모듈(180), 온도감지센서(190), 원형 진공척(230), 디스플레이 패널 감지센서(240), 컨트롤러(250)를 포함하고 있다.As shown in FIGS. 8 and 10, the display panel automatic conveying device according to the second embodiment of the present invention includes an installation frame 110, a conveying rail (see 112 in FIG. 1), a roller 120, and a conveying guide. (Guide; 130), transfer cylinder 140, tray 150, frame 151, support bar 152, adhesive pad 160, heat dissipation module 180, temperature sensor 190, circular vacuum chuck 230 , a display panel detection sensor 240 , and a controller 250 .

본 발명의 제2 실시예는 도 1의 디스플레이 패널 자동 이송장치에서 상기 방열모듈(180), 상기 온도감지센서(190), 상기 원형 진공척(230), 상기 디스플레이 패널 감지센서(240), 상기 컨트롤러(250)가 추가로 구성된 것으로, 나머지 구성은 도 1과 동일하다.A second embodiment of the present invention is the heat dissipation module 180, the temperature sensor 190, the circular vacuum chuck 230, the display panel detection sensor 240, and the The controller 250 is additionally configured, and the rest of the configuration is the same as in FIG. 1 .

상기 방열모듈(180)은 방열판(170), 송풍팬(181)을 포함하고 있다. 여기서, 상기 방열판(170)은 도 6과 같이, 상기 트레이(150)의 지지 바아(152)에 설치되며, 후면에 복수의 방열핀(171)이 돌출 형성되고 전면에 상기 접착패드(160)가 부착 설치된다. 상기 송풍팬(181)은 상기 방열핀(171) 상부에 설치되어 상기 방열핀(171)의 열을 강제로 발산시키게 된다. The heat dissipation module 180 includes a heat dissipation plate 170 and a blowing fan 181 . Here, the heat dissipation plate 170 is installed on the support bar 152 of the tray 150 as shown in FIG. 6 , a plurality of heat dissipation fins 171 are protruded from the rear surface, and the adhesive pad 160 is attached to the front surface. is installed The blower fan 181 is installed on the heat dissipation fin 171 to forcibly dissipate the heat of the heat dissipation fin 171 .

상기 방열모듈(180)은 상기 지지 바아(152)의 전면에 설치될 수 있다. 이때, 상기 방열모듈(180)과 상기 지지 바아(152) 사이에는 상기 송풍팬(181)에서 열을 발산할 수 있도록 공간을 형성하는 것이 바람직하다.The heat dissipation module 180 may be installed on the front surface of the support bar 152 . At this time, it is preferable to form a space between the heat dissipation module 180 and the support bar 152 to dissipate heat from the blowing fan 181 .

상기 방열모듈(180)은 상기 지지 바아(152)의 방열판 설치구멍(미도시) 상에 체결하여 설치될 수 있다. 또한, 상기 방열모듈(180)은 방열판 설치구멍에 삽입하여 설치되며, 상기 송풍팬(181)은 상기 방열판 설치구멍을 통해 대기중에 노출되도록 구성될 수 있다.The heat dissipation module 180 may be installed by being fastened to a heat dissipation plate installation hole (not shown) of the support bar 152 . In addition, the heat dissipation module 180 may be installed by being inserted into the heat sink installation hole, and the blower fan 181 may be configured to be exposed to the atmosphere through the heat sink installation hole.

상기 방열모듈(180)의 방열판(170)은 열전도율이 높은 구리(Cu) 또는 알루미늄(Al) 소재로 구성될 수 있다. The heat sink 170 of the heat dissipation module 180 may be made of a copper (Cu) or aluminum (Al) material having high thermal conductivity.

상기 온도감지센서(190)는 상기 디스플레이 패널(101)에서 상기 접착패드(160)로 전달되는 온도를 감지하는 역할을 한다. 상기 온도감지센서(190)의 신호에 의해 상기 접착패드(160)가 정상적인 기능을 발휘는 온도범위(예를 들어, 250℃ 이하)를 초과하였을 때에는 상기 송풍팬(181)이 작동하여 상기 접착패드(160)의 열을 강제로 발산시키게 된다.The temperature sensor 190 serves to sense the temperature transferred from the display panel 101 to the adhesive pad 160 . When the temperature range at which the adhesive pad 160 exhibits a normal function (for example, 250° C. or less) is exceeded by a signal from the temperature sensor 190, the blower fan 181 operates to operate the adhesive pad (160) is forcibly dissipated.

상기 원형 진공척(230)은 디스플레이 패널(101)을 흡착하여 상기 디스플레이 패널 자동 이송장치(100)의 트레이(150)로 이동하고 상기 트레이(150)의 지지 바아(152)에 설치된 상기 접착패드(160)에 상기 디스플레이 패널(101)을 접착 고정시키는 역할을 한다.The circular vacuum chuck 230 adsorbs the display panel 101, moves it to the tray 150 of the automatic display panel transfer device 100, and the adhesive pad installed on the support bar 152 of the tray 150 ( It serves to adhesively fix the display panel 101 to 160).

상기 디스플레이 패널 감지센서(240)는 상기 접착패드(160)에 상기 디스플레이 패널(101)의 설치 여부를 감지하는 센서이다. 상기 디스플레이 패널 감지센서(240)의 감지신호에 의해 컨트롤러(250)에서 상기 이송 실린더(140)를 작동시켜 상기 트레이(150)를 이동하여 상기 디스플레이 패널(101)을 이동시키게 된다.The display panel detection sensor 240 is a sensor that detects whether the display panel 101 is installed on the adhesive pad 160 . In response to the detection signal of the display panel detection sensor 240 , the controller 250 operates the transfer cylinder 140 to move the tray 150 to move the display panel 101 .

상기 컨트롤러(250)는 상기 온도감지센서(190)로부터 수신받은 신호가 상기 접착패드(160)의 정상적인 기능을 발휘는 온도범위를 초과하였을 때, 상기 접착패드(160)의 온도가 정상 온도범위가 될 때까지 상기 송풍팬(181)을 작동시켜 강제로 열을 발산시키게 된다. 그리고, 상기 컨트롤러(250)는 상기 디스플레이 패널 감지센서(240)의 감지신호에 의해 상기 이송 실린더(140)를 작동시켜 상기 트레이(150)를 이동하여 상기 디스플레이 패널(101)을 이동시키도록 제어한다. When the signal received from the temperature sensor 190 exceeds the temperature range in which the adhesive pad 160 exhibits a normal function, the controller 250 determines that the temperature of the adhesive pad 160 is within the normal temperature range. The blower fan 181 is operated until the heat is forcibly dissipated. Then, the controller 250 operates the transfer cylinder 140 according to the detection signal of the display panel detection sensor 240 to move the tray 150 to move the display panel 101 . .

상기 구성을 갖는 본 발명의 제2 실시예에 의한 디스플레이 패널 자동 이송장치는 상기 디스플레이 패널(101)을 접착 고정하는 상기 접착패드(160)가 상기 방열판(170)에 부착 설치되어 상기 디스플레이 패널(101)에서 상기 접착패드(160)로 전달되는 고온의 열을 방열시킬 수 있고, 상기 온도감지센서(190)에서 감지한 상기 접착패드(160)의 온도가 설정온도 이상일 경우 상기 접착패드(160)의 온도가 정상 온도범위가 될 때까지 상기 송풍팬(181)을 작동시켜 강제로 상기 접착패드(160)의 열을 식혀줌으로써, 고온(예를 들어, 250℃ 이상)의 디스플레이 패널(101)에도 상기 접착패드(160)의 접착력을 일정하게 유지시킬 수 있다.In the display panel automatic transfer device according to the second embodiment of the present invention having the above configuration, the adhesive pad 160 for adhesively fixing the display panel 101 is attached to the heat sink 170 to install the display panel 101 . ) can dissipate the high-temperature heat transferred to the adhesive pad 160, and when the temperature of the adhesive pad 160 sensed by the temperature sensor 190 is higher than the set temperature By forcibly cooling the heat of the adhesive pad 160 by operating the blower fan 181 until the temperature is within the normal temperature range, the display panel 101 at a high temperature (for example, 250° C. or higher) is also applied to the display panel 101. The adhesive force of the adhesive pad 160 may be constantly maintained.

제3 실시예third embodiment

도 11 내지 도 14는 본 발명의 제3 실시예에 의한 디스플레이 패널 자동 이송장치를 나타낸 구성도이다.11 to 14 are block diagrams showing an automatic display panel transfer device according to a third embodiment of the present invention.

본 발명의 제3 실시예에 의한 디스플레이 패널 자동 이송장치는 도 11 내지 도 14에 나타낸 바와 같이, 설치 프레임(110), 이송레일(도 1의 112 참조), 롤러(Roller; 120), 이송 가이드(Guide; 130), 이송 실린더(140), 트레이(150), 프레임(151), 지지 바아(152), 접착패드(160), 온도감지센서(190), 냉각모듈(200), 냉각기(210), 모터(220), 원형 진공척(230), 디스플레이 패널 감지센서(240), 컨트롤러(250)를 포함하고 있다.11 to 14, the display panel automatic transport device according to the third embodiment of the present invention includes an installation frame 110, a transport rail (see 112 in FIG. 1), a roller 120, and a transport guide. (Guide; 130), transfer cylinder 140, tray 150, frame 151, support bar 152, adhesive pad 160, temperature sensor 190, cooling module 200, cooler 210 ), a motor 220 , a circular vacuum chuck 230 , a display panel detection sensor 240 , and a controller 250 .

본 발명의 제3 실시예는 도 1의 디스플레이 패널 자동 이송장치에서 상기 온도감지센서(190), 상기 냉각모듈(200), 상기 냉각기(210), 상기 모터(220), 상기 원형 진공척(230), 상기 디스플레이 패널 감지센서(240), 상기 컨트롤러(250)가 추가로 구성된 것으로, 나머지 구성은 도 1과 동일하다.A third embodiment of the present invention is the temperature sensor 190, the cooling module 200, the cooler 210, the motor 220, and the circular vacuum chuck 230 in the automatic display panel transfer device of FIG. ), the display panel detection sensor 240 and the controller 250 are additionally configured, and the rest of the configuration is the same as in FIG. 1 .

상기 온도감지센서(190)는 상기 제2 실시예에서 설명한 바와 같이, 상기 디스플레이 패널(101)에서 상기 접착패드(160)로 전달되는 온도를 감지하는 역할을 한다. 상기 온도감지센서(190)의 신호에 의해 상기 접착패드(160)가 정상적인 기능을 발휘는 온도범위(예를 들어, 250℃ 이하)를 초과하였을 때에는 상기 모터(220)를 작동하여 상기 냉각모듈(200)의 냉각순환통로(202)로 유체 또는 공기를 순환 냉각시킴으로써 상기 접착패드(160)의 열을 냉각시켜 온도를 낮추게 된다. 이때, 상기 유체 또는 공기는 튜브나 파이프를 통해 상기 냉각모듈(200)의 냉각순환통로(202)로 공급될 수 있다.The temperature sensor 190 serves to sense the temperature transferred from the display panel 101 to the adhesive pad 160 as described in the second embodiment. When the temperature range (for example, 250 ° C or less) in which the adhesive pad 160 exhibits a normal function is exceeded by the signal of the temperature sensor 190, the motor 220 is operated to operate the cooling module ( 200) by cooling the fluid or air through the cooling circulation passage 202 to cool the heat of the adhesive pad 160 to lower the temperature. At this time, the fluid or air may be supplied to the cooling circulation passage 202 of the cooling module 200 through a tube or pipe.

상기 냉각모듈(200)은 상기 지지 바아(152)에 설치되고, 몸체(201) 내부에 냉각순환통로(202)가 유입구와 배출구 사이에 지그재그 형상으로 형성되고 전면에 상기 접착패드(160)가 부착되며, 상기 냉각순환통로(202)를 통해 유체 또는 공기를 순환 냉각시켜 상기 접착패드(160)의 열을 냉각시키게 된다. 여기서, 상기 유체는 물 또는 냉각수를 포함하며, 상기 냉각모듈(200)은 열전도율이 높은 구리(Cu) 또는 알루미늄(Al) 소재로 구성될 수 있다. The cooling module 200 is installed on the support bar 152, the cooling circulation passage 202 is formed in a zigzag shape between the inlet and the outlet in the body 201, and the adhesive pad 160 is attached to the front side. The heat of the adhesive pad 160 is cooled by circulating and cooling the fluid or air through the cooling circulation passage 202 . Here, the fluid includes water or cooling water, and the cooling module 200 may be made of copper (Cu) or aluminum (Al) material having high thermal conductivity.

상기 냉각기(210)는 상기 냉각모듈(200)의 배출구에서 나오는 유체 또는 공기를 냉각시켜 배출하거나 또는 상기 냉각모듈(200)의 유입구로 들어가는 유체 또는 공기를 냉각시켜 공급하도록 구성된다. 상기 냉각기(210)의 냉각온도는 조절이 가능하도록 구성된다. The cooler 210 is configured to cool and discharge the fluid or air coming out of the outlet of the cooling module 200 or to cool and supply the fluid or air entering the inlet of the cooling module 200 . The cooling temperature of the cooler 210 is configured to be adjustable.

상기 모터(220)는 상기 냉각모듈(200)의 배출구와 상기 냉각기(210) 사이에, 또는 상기 냉각기(210)와 상기 냉각모듈(200)의 유입구 사이에 설치되며, 상기 유체 또는 공기를 강제 순환시키는 역할을 한다.The motor 220 is installed between the outlet of the cooling module 200 and the cooler 210 , or between the cooler 210 and the inlet of the cooling module 200 , and forcibly circulates the fluid or air. serves to make

*상기 원형 진공척(230)과 상기 디스플레이 패널 감지센서(240)의 구성은 상기 제2 실시예와 동일하므로, 여기서는 설명의 중복을 피해 생략하기로 한다.* Since the configuration of the circular vacuum chuck 230 and the display panel detection sensor 240 is the same as that of the second embodiment, it will be omitted here to avoid duplication of description.

상기 컨트롤러(250)는 상기 온도감지센서(190)에서 감지한 상기 접착패드(160)의 온도에 따라 상기 모터(220)의 작동을 자동으로 제어한다.The controller 250 automatically controls the operation of the motor 220 according to the temperature of the adhesive pad 160 detected by the temperature sensor 190 .

예를 들어, 상기 컨트롤러(250)는 상기 온도감지센서(190)로부터 수신받은 신호가 상기 접착패드(160)의 정상적인 기능을 발휘는 온도범위를 초과하였을 때, 상기 냉각기(210) 및 상기 모터(220)를 작동시켜 상기 냉각모듈(200)로 유체 또는 공기를 순환 냉각시켜 상기 접착패드(160)의 열을 냉각시켜 상기 접착패드(160)의 온도가 정상 온도범위가 될 때까지 제어한다. 그리고, 상기 컨트롤러(250)는 상기 디스플레이 패널 감지센서(240)의 감지신호에 의해 상기 이송 실린더(140)를 작동시켜 상기 트레이(150)를 이동하여 상기 디스플레이 패널(101)을 이동시키도록 제어한다. For example, when the signal received from the temperature sensor 190 exceeds the temperature range in which the adhesive pad 160 exhibits a normal function, the controller 250 includes the cooler 210 and the motor ( 220) is operated to circulate and cool the fluid or air to the cooling module 200 to cool the heat of the adhesive pad 160, and control the temperature of the adhesive pad 160 until it reaches a normal temperature range. Then, the controller 250 operates the transfer cylinder 140 according to the detection signal of the display panel detection sensor 240 to move the tray 150 to move the display panel 101 . .

상기 구성을 갖는 본 발명의 제3 실시예에 의한 디스플레이 패널 자동 이송장치는 상기 디스플레이 패널(101)을 접착 고정하는 상기 접착패드(160)가 상기 냉각모듈(200)에 부착 설치되어 상기 디스플레이 패널(101)에서 상기 접착패드(160)로 전달되는 고온의 열을 냉각시킬 수 있다. 또한, 상기 온도감지센서(190)에서 감지한 상기 접착패드(160)의 온도가 설정온도 이상일 경우, 상기 접착패드(160)의 온도가 정상 온도범위가 될 때까지 상기 냉각기(210) 및 모터(220)를 작동시켜 상기 냉각모듈(200)을 통해 상기 접착패드(160)의 열을 냉각시켜줌으로써, 고온(예를 들어, 250℃ 이상)의 디스플레이 패널(101)에도 상기 접착패드(160)의 접착력을 일정하게 유지시킬 수 있다.In the display panel automatic transfer device according to the third embodiment of the present invention having the above configuration, the adhesive pad 160 for adhesively fixing the display panel 101 is attached to the cooling module 200, and the display panel ( 101), the high-temperature heat transferred to the adhesive pad 160 may be cooled. In addition, when the temperature of the adhesive pad 160 detected by the temperature sensor 190 is higher than the set temperature, the cooler 210 and the motor ( 220) to cool the heat of the adhesive pad 160 through the cooling module 200, so that the adhesive pad 160 is Adhesion can be kept constant.

본 발명은 고온의 공정 챔버 내에서도 이용될 수 있다. 상기 공정 챔버는 스퍼터링 시스템을 포함한다. 상기 스퍼터링 시스템은 OLED용 기판, LED용 기판, LCD용 기판 등을 제작할 수 있는 시스템으로, 반송 설비(100), 로딩 챔버(200), 공정 챔버(400) 등을 인-라인(in-line) 타입의 배치로 구성하고 있다. 이에 국한되지 않고, 스퍼터링 시스템은 클러스터(cluster) 타입으로 배치될 수도 있다.The present invention can also be used in high temperature process chambers. The process chamber contains a sputtering system. The sputtering system is a system capable of manufacturing a substrate for OLED, a substrate for LED, a substrate for LCD, and the like, and includes the transfer equipment 100, the loading chamber 200, the process chamber 400, etc. in-line. It consists of an arrangement of types. The present invention is not limited thereto, and the sputtering system may be arranged in a cluster type.

상기 접착패드(160)는 고온 분위기 하에서도, 예를 들면 200 도 내지 300도의 분위기에서도, 일정한 인력을 통한 접착력을 발생시킬 수 있는 폴리머 등의 내열성 소재로 제작될 수 있다. 그리고, 상기 접착패드(160)는 도마뱀붙이의 흡착 원리를 이용한 RNR사의 G-N PAD(Gecko-None PAD) 제품을 사용할 수도 있다.The adhesive pad 160 may be made of a heat-resistant material such as a polymer capable of generating adhesive force through a constant attractive force even in a high-temperature atmosphere, for example, in an atmosphere of 200 degrees to 300 degrees. In addition, the adhesive pad 160 may use a Gecko-None PAD (Gecko-None PAD) manufactured by RNR using the gecko's adsorption principle.

본 발명은 상기 접착패드(160)의 온도를 일정 온도범위 내로 유지시켜 줌으로써 진공 분위기 및/또는 고온 분위기 하에서도 접착력을 일정하게 유지할 수 있고 탁월한 흡착성능을 구현할 수 있다.In the present invention, by maintaining the temperature of the adhesive pad 160 within a certain temperature range, the adhesive force can be constantly maintained even in a vacuum atmosphere and/or a high-temperature atmosphere, and excellent adsorption performance can be realized.

이송 방법의 실시예Example of transfer method

본 발명에 의한 이송 방법은, 디스플레이 패널(101)을 접착패드(160)로 접착하여 이송하는 디스플레이 패널의 자동 이송 방법에 있어서, (a) 트레이(150)의 사각틀 프레임(151)의 내부 영역을 가로질러 소정 간격으로 배치된 지지 바아(152)의 전면에 냉각모듈(200)을 설치하는 단계; (b) 상기 냉각모듈(200)의 전면에 접착패드(160)를 부착하여 상기 디스플레이 패널(101)이 가압 접촉되면 접착력을 발휘하고 가압력이 제거되면 접착력을 해제시키는 단계; (c) 상기 접착패드(160)에 상기 디스플레이 패널(101)이 접착 고정되면, 이를 감지한 디스플레이 패널 감지센서(240)의 신호에 의해 상기 트레이(150)를 자석을 이용한 자기 부상 방식으로 이동하여 상기 디스플레이 패널(101)을 이송하는 단계; 및 (d) 상기 접착패드(160)의 온도를 온도감지센서(190)에서 감지하여 상기 접착패드(160)의 온도에 따라 상기 냉각모듈(200)의 냉각순환통로(202)를 통해 유체 또는 공기를 순환시켜 상기 접착패드(160)의 열을 냉각시키는 단계;를 포함하여 구성될 수 있다.The transfer method according to the present invention is an automatic transfer method of a display panel in which the display panel 101 is attached to the adhesive pad 160 and transferred, (a) the inner area of the rectangular frame 151 of the tray 150 Installing the cooling module 200 on the front surface of the support bar 152 disposed at a predetermined interval across the; (b) attaching an adhesive pad 160 to the front surface of the cooling module 200 to exert adhesive force when the display panel 101 is pressed into contact and releasing the adhesive force when the pressing force is removed; (c) When the display panel 101 is adhesively fixed to the adhesive pad 160, the tray 150 is moved in a magnetic levitation method using a magnet by a signal from the display panel detection sensor 240 that detects it. transferring the display panel 101; and (d) the temperature of the adhesive pad 160 is sensed by the temperature sensor 190, and fluid or air passes through the cooling circulation passage 202 of the cooling module 200 according to the temperature of the adhesive pad 160. and cooling the heat of the adhesive pad 160 by circulating it.

상술한 바와 같이, 본 발명에 의한 디스플레이 패널의 자동 이송 방법 및 그 장치는, 게코(Gekco)도마뱀의 발바닥에 마련되는 스패튤라(Spatular)형상의 미세한 섬모와 같은 형상으로 폴리머 재질의 미세 섬모로 형성하고, 반데르발스힘(Van der waals force)에 의해 디스플레이 패널에 가압 접촉되면 접착력이 발휘되고 가압력이 제거되면 접착력이 해제되는 접착패드를 이용하여 디스플레이 패널을 고정하여 이송할 수 있고, 방열판(170), 방열모듈(180), 냉각모듈(200)을 통해 접착패드의 온도를 조절함으로써 고온(예를 들어, 250℃ 이상)의 디스플레이 패널에도 접착패드의 접착력을 일정하게 유지시킬 수 있다.As described above, the method and device for automatic transport of a display panel according to the present invention are formed of microscopic cilia made of a polymer material in the same shape as the microscopic cilia of the spatular shape provided on the sole of the gecko lizard. And, the display panel can be fixed and transported by using an adhesive pad that exhibits adhesive force when pressed into contact with the display panel by Van der waals force and releases the adhesive force when the pressing force is removed, and the heat sink 170 ), the heat dissipation module 180, and the cooling module 200, by controlling the temperature of the adhesive pad, it is possible to constantly maintain the adhesive force of the adhesive pad even in a display panel at a high temperature (eg, 250 ℃ or more).

이상에서 설명한 본 발명의 바람직한 실시 예들은 기술적 과제를 해결하기 위해 개시된 것으로, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자(당업자)라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가 등이 가능할 것이며, 이러한 수정 변경 등은 이하의 청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.Preferred embodiments of the present invention described above are disclosed in order to solve the technical problems, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains may make various modifications, changes, additions, etc. within the spirit and scope of the present invention. This will be possible, and such modifications and changes should be regarded as belonging to the following claims.

100 : 디스플레이 패널의 자동 이송 장치
101 : 디스플레이 패널
110 : 설치 프레임 111 : 고정받침대
112 : 이송레일 120 : 롤러(Roller)
130 : 이송 가이드(Guide) 140 : 이송 실린더
150 : 트레이 151 : 프레임
152 : 지지 바아 160 : 접착패드
170 : 방열판 171 : 방열핀
180 : 방열모듈 181 : 송풍팬
190 : 온도감지센서 200 : 냉각모듈
201 : 몸체 202 : 냉각순환통로
210 : 냉각기 220 : 모터
230 : 원형 진공척
240 : 디스플레이 패널 감지센서
250 : 컨트롤러 260 : 컨트롤 박스100: automatic transfer device of the display panel
101: display panel
110: installation frame 111: fixed base
112: transport rail 120: roller (Roller)
130: transfer guide (Guide) 140: transfer cylinder
150: tray 151: frame
152: support bar 160: adhesive pad
170: heat sink 171: heat sink fin
180: heat dissipation module 181: blower fan
190: temperature sensor 200: cooling module
201: body 202: cooling circulation passage
210: cooler 220: motor
230: circular vacuum chuck
240: display panel detection sensor
250: controller 260: control box

Claims (4)

사각틀 형상의 프레임(151)과, 상기 프레임(151)의 내부 영역을 수직으로 가로질러 소정 간격으로 배치된 복수의 지지 바아(152)와, 상기 지지 바아(152)의 전면에 설치되고 내부에 냉각순환통로(202)가 형성된 복수의 냉각모듈(200)과, 상기 냉각모듈(200)의 전면에 부착되며 디스플레이 패널(101)이 가압 접촉되면 접착력이 발휘되고 가압력이 제거되면 접착력이 해제되는 접착패드(160)와, 상기 디스플레이 패널(101)을 자석을 이용한 자기부상 방식 또는 롤러(120)와 이송레일(112)를 이용하여 이동시키는 트레이(150)를 포함하는 디스플레이 패널의 자동 이송 장치에 있어서,
상기 디스플레이 패널(101)을 흡착 이동하여 상기 지지 바아(152)의 냉각모듈(200)에 설치된 상기 접착패드(160)에 접착 고정시키는 원형 진공척(230);
상기 트레이(150)가 상기 이송레일(112)을 따라 이동할 때 상기 트레이(150)의 이동을 가이드 하는 이송 가이드(130)가 수평으로 설치되고, 상기 트레이(150)를 전진 및 후진으로 이동시키는 이송 실린더(140)가 일측에 설치되며, 상기 트레이(150)가 이동하는 이송레일(112)이 수평으로 설치된 설치프레임(110);
상기 지지 바아(152)의 전면에 설치되며, 상기 접착패드(160)가 전면에 부착되고, 몸체(201) 내부에 냉각순환통로(202)가 유입구와 배출구 사이에 지그재그 형상으로 형성되고, 상기 냉각순환통로(202)로 유체 또는 공기를 튜브나 파이프로 공급하여 상기 접착패드(160)의 열을 냉각시키는 복수의 냉각모듈(200);
상기 냉각모듈(200)의 전면에 배치되며 상기 접착패드(160)의 온도를 감지하는 온도감지센서(190);
상기 지지 바아(152)의 접착패드(160)에 상기 디스플레이 패널(101)의 설치 여부를 감지하는 디스플레이패널 감지센서(240);
상기 냉각모듈(200)에서 배출되거나 유입되는 유체 또는 공기를 냉각시키는 냉각기(210);
상기 냉각모듈(200)의 배출구와 상기 냉각기(210) 사이에, 또는 상기 냉각기(210)와 상기 냉각모듈(200)의 유입구 사이에 설치되며, 상기 유체 또는 공기를 강제 순환시키는 모터(220); 및
상기 온도감지센서(190)의 감지 온도가 설정 범위를 초과하면 상기 냉각기(210)와 상기 모터(220)를 작동시켜 상기 접착패드(160)의 온도가 정상 온도범위가 될 때까지 상기 냉각모듈(200)의 냉각순환통로(202)를 통해 유체 또는 공기를 순환 냉각시킴으로써 상기 접착패드(160)의 온도를 일정 온도범위로 유지시켜주고, 상기 디스플레이패널 감지센서(240)의 감지신호에 의해 상기 트레이(150)로 상기 디스플레이 패널(101)의 이송을 제어하는 컨트롤러(250);
를 포함하는 디스플레이 패널의 자동 이송 장치.
A rectangular frame-shaped frame 151, a plurality of support bars 152 disposed at predetermined intervals to vertically cross the inner region of the frame 151, and installed on the front surface of the support bar 152 and cooled therein A plurality of cooling modules 200 having a circulation passage 202 formed therein, and an adhesive pad attached to the front surface of the cooling module 200 and exhibiting adhesive force when the display panel 101 is pressed into contact and releasing the adhesive force when the pressing force is removed In the automatic transfer device of the display panel comprising a tray 150 for moving 160 and the display panel 101 using a magnetic levitation method using a magnet or roller 120 and a transfer rail 112,
a circular vacuum chuck 230 for adhering and fixing the display panel 101 to the adhesive pad 160 installed in the cooling module 200 of the support bar 152 by adsorption;
When the tray 150 moves along the transport rail 112, the transport guide 130 for guiding the movement of the tray 150 is installed horizontally, and the transport for moving the tray 150 forward and backward. an installation frame 110 having a cylinder 140 installed on one side, and a transport rail 112 on which the tray 150 moves, installed horizontally;
It is installed on the front side of the support bar 152, the adhesive pad 160 is attached to the front side, a cooling circulation passage 202 is formed in the body 201 in a zigzag shape between the inlet and the outlet, and the cooling a plurality of cooling modules 200 for cooling the heat of the adhesive pad 160 by supplying a fluid or air to the circulation passage 202 through a tube or pipe;
a temperature sensor 190 disposed on the front surface of the cooling module 200 and sensing the temperature of the adhesive pad 160;
a display panel detection sensor 240 for detecting whether the display panel 101 is installed on the adhesive pad 160 of the support bar 152;
a cooler 210 for cooling the fluid or air discharged or introduced from the cooling module 200;
a motor 220 installed between the outlet of the cooling module 200 and the cooler 210 or between the cooler 210 and the inlet of the cooling module 200 and forcibly circulating the fluid or air; and
When the sensing temperature of the temperature sensor 190 exceeds the set range, the cooling module ( 200) by circulating cooling fluid or air through the cooling circulation passage 202 to maintain the temperature of the adhesive pad 160 in a certain temperature range, and to the tray by the detection signal of the display panel detection sensor 240 a controller 250 for controlling the transfer of the display panel 101 to 150;
Automatic transfer device of the display panel comprising a.
 사각틀 형상의 프레임(151)과, 상기 프레임(151)의 내부 영역을 수직으로 가로질러 소정 간격으로 배치된 복수의 지지 바아(152)와, 상기 지지 바아(152)에 설치되고 후면에 복수의 방열핀(171)이 형성된 방열판(170)과, 상기 방열판(170)의 전면에 부착되며 디스플레이 패널(101)이 가압 접촉되면 접착력이 발휘되고 가압력이 제거되면 접착력이 해제되는 접착패드(160)와, 자석을 이용한 자기부상 방식 또는 롤러(120)와 이송레일(112)를 이용하여 상기 디스플레이 패널(101)을 이동시키는 트레이(150)를 포함하는 디스플레이 패널의 자동 이송 장치에 있어서,
상기 디스플레이 패널(101)을 흡착 이동하여 상기 지지 바아(152)의 냉각모듈(200)에 설치된 상기 접착패드(160)에 접착 고정시키는 원형 진공척(230); 및
상기 트레이(150)가 상기 이송레일(112)을 따라 이동할 때 상기 트레이(150)의 이동을 가이드 하는 이송 가이드(130)가 수평으로 설치되고, 상기 트레이(150)를 전진 및 후진으로 이동시키는 이송 실린더(140)가 일측에 설치되며, 상기 트레이(150)가 이동하는 이송레일(112)이 수평으로 설치된 설치프레임(110);을 포함하며,
상기 방열판(170)은,
상기 지지 바아(152)의 방열판 설치구멍에 설치되어 전면에 부착된 접착패드(160)의 열을 후면에 형성된 복수의 방열핀(171)을 통해 공기 중으로 방열하는,
디스플레이 패널의 자동 이송 장치.
A rectangular frame-shaped frame 151, a plurality of support bars 152 disposed at predetermined intervals to vertically cross the inner region of the frame 151, and a plurality of heat dissipation fins installed on the support bar 152 on the rear surface The heat sink 170 on which 171 is formed, and the adhesive pad 160 attached to the front surface of the heat sink 170 and releasing adhesive force when the display panel 101 is pressed into contact with the display panel 101 and the adhesive force is released when the pressing force is removed. In the automatic conveying apparatus of a display panel comprising a tray 150 for moving the display panel 101 using a magnetic levitation method using or roller 120 and a conveying rail 112,
a circular vacuum chuck 230 for adhering and fixing the display panel 101 to the adhesive pad 160 installed in the cooling module 200 of the support bar 152 by adsorption; and
When the tray 150 moves along the transport rail 112, the transport guide 130 for guiding the movement of the tray 150 is installed horizontally, and the transport for moving the tray 150 forward and backward. The cylinder 140 is installed on one side, and the installation frame 110 on which the transport rail 112 on which the tray 150 moves is installed horizontally; includes;
The heat sink 170 is
It is installed in the heat sink installation hole of the support bar 152 and radiates heat from the adhesive pad 160 attached to the front to the air through a plurality of heat dissipation fins 171 formed on the back side,
Automatic transfer device for display panel.
 청구항 2에 있어서,
상기 디스플레이 패널의 자동 이송 장치는,
상기 방열핀(171)의 상부에 설치되어 상기 방열핀(171)의 열을 강제로 발산시키는 송풍팬(181);
상기 방열판(170)의 전면에 설치되어 상기 접착패드(160)의 온도를 감지하는 온도감지센서(190); 및
상기 온도감지센서(190)에서 감지된 온도가 설정온도 이상일 경우 상기 접착패드(160)의 온도가 정상 온도범위가 될 때까지 상기 송풍팬(181)을 작동시켜 강제로 열을 식혀주도록 제어하는 컨트롤러(250);
를 포함하는 디스플레이 패널의 자동 이송 장치.
3. The method according to claim 2,
The automatic transfer device of the display panel,
a blowing fan 181 installed on the heat dissipation fin 171 to forcibly dissipate the heat of the heat dissipation fin 171;
a temperature sensor 190 installed on the front surface of the heat sink 170 to sense the temperature of the adhesive pad 160; and
When the temperature sensed by the temperature sensor 190 is greater than or equal to a set temperature, the controller controls to forcibly cool the heat by operating the blower fan 181 until the temperature of the adhesive pad 160 is within the normal temperature range. (250);
Automatic transfer device of the display panel comprising a.
 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 접착패드(160)는,
게코(Gekco)도마뱀의 발바닥에 마련되는 스패튤라(Spatular)형상의 미세한 섬모와 같은 형상으로 폴리머 재질의 미세 섬모로 구성되며, 반데르발스힘(Van der waals force)에 의해 상기 디스플레이 패널(101)에 가압 접촉되면 접착력이 발휘되고 가압력이 제거되면 접착력이 해제되는,
디스플레이 패널의 자동 이송 장치.
The method according to claim 1 or 2,
The adhesive pad 160,
The display panel 101 is composed of microscopic cilia made of a polymer material in the same shape as the spatular microscopic cilia provided on the sole of the gecko lizard, and the display panel 101 is formed by the Van der waals force. Adhesive force is exerted when the pressure is in contact with the
Automatic transfer device for display panel.
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KR20190131651A (en) 2018-05-17 2019-11-27 김태경 Substrate carrying apparatus

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