KR20220058330A

KR20220058330A - System for Sequential Process Pressure Measurement

Info

Publication number: KR20220058330A
Application number: KR1020200143966A
Authority: KR
Inventors: 노주환; 윤상진
Original assignee: (주)에스디플렉스
Priority date: 2020-10-31
Filing date: 2020-10-31
Publication date: 2022-05-09
Also published as: KR102416879B9; KR102416879B1

Abstract

The present invention relates to a sequential process pressure measuring system, which efficiently manages process effectiveness, comprising: (N*s) air supply pipes; (N*s) air supply valves; N exhaust pipes; N exhaust valves; N chamber-side exhaust flanges; N exhaust pipe-side flanges; N exhaust valve-side flanges; a pressure measurement flange; N solenoid valves; and a control module.

Description

System for Sequential Process Pressure Measurement

본 발명은 N(N≥2)개의 챔버에 과포화 증기를 급기하여 지정된 공정을 수행한 후 배기하는 과정을 반복하는 시스템에서 N개의 챔버에 연결된 N개의 배기관과 N개의 배기밸브를 연결하는 N개의 배기관 측 플랜지(Flange)와 N개의 배기밸브 측 플랜지 사이에 N개의 압력측정용 플랜지를 구비하고 상기 N개의 압력측정용 플랜지와 지정된 압력측정장치 사이에 압력측정관을 N:1의 관계로 연결한 후, N개의 챔버에 과포화 증기를 급기하여 지정된 공정을 수행할 때마다 N개의 압력측정용 플랜지 중 어느 한 제n(1≤n≤N) 압력측정용 플랜지를 통해 제n 챔버의 압력을 압력측정장치로 전달하여 측정하는 과정을 지정된 순서에 따라 순차 수행하는 시스템을 제공하는 것이다.The present invention provides N exhaust pipes connected to N chambers and N exhaust valves connected to N exhaust valves in a system that repeats the process of supplying supersaturated steam to N (N≥2) chambers, performing a specified process, and then evacuating them. After providing N pressure measuring flanges between the side flanges and the N exhaust valve side flanges, and connecting the pressure measuring tube between the N pressure measuring flanges and the designated pressure measuring device in a relationship of N:1 , Every time a specified process is performed by supplying supersaturated steam to N chambers, the pressure of the nth chamber is measured through any one of the N pressure measurement flanges (1≤n≤N) through the pressure measuring device. It is to provide a system that sequentially carries out the measurement process by transmitting it to the specified order.

종래에 수십 개 내지 수백 개 이상의 복수의 챔버에 과포화 증기를 급기하여 지정된 공정을 수행하는 다양한 산업시설(예컨대, 간편밥 제조 공장 등)이 존재한다. 이러한 종래의 산업시설들은 각각의 레시피에 따라 챔버에 공급되는 과포화 증기의 압력을 제어하여 공정을 수행하는데, 24시간 쉬지 않고(또는 매일 반복적으로) 운영되는 특성 상 일정 기간 이상 사용하게 되면 설비의 노후화로 인해 공정 상의 다양한 오류가 발생하게 된다. Conventionally, there are various industrial facilities (eg, convenience food manufacturing plants, etc.) that perform a specified process by supplying supersaturated steam to a plurality of chambers of tens to hundreds or more. These conventional industrial facilities perform the process by controlling the pressure of supersaturated steam supplied to the chamber according to each recipe. Due to the characteristics of being operated non-stop for 24 hours (or repeatedly every day), if used for more than a certain period of time, the equipment deteriorates. This causes various errors in the process.

한편 상기와 같은 공정 상의 오류를 판별하거나 예측하기 위해서는 챔버 내의 공정 압력을 측정해야 하는데, 최근 구축된 일부 산업시설을 제외하고 오래된 산업시설의 경우 각 챔버로 공급되는 과포화 증기의 공정 압력을 직접 측정할 수 있는 측정장치가 구비되지 않은 사례가 비일비재하다. 물론 과포화 증기를 챔버로 공급하기 전 감압밸브나 매니폴드의 압력을 측정하는 측정장치가 구비된 사례는 일부 존재하지만, 감압밸브나 매니폴드의 측정 압력으로는 챔버 내 공정 압력을 알 수 없으며, 설령 어떤 산술식을 통해 예측한다고 하더라도 챔버나 급기관 또는 배기관 등의 누수에 의한 압력 손실을 확인할 수 없는 문제점을 지니고 있다. On the other hand, in order to determine or predict the error in the process as described above, it is necessary to measure the process pressure in the chamber. Except for some recently built industrial facilities, old industrial facilities can directly measure the process pressure of supersaturated steam supplied to each chamber. There are many cases in which a measuring device that can measure is not provided. Of course, there are some cases where a pressure reducing valve or a measuring device is provided to measure the pressure of the manifold before supplying supersaturated steam to the chamber, but the process pressure in the chamber cannot be known from the pressure measured by the pressure reducing valve or manifold, even if Even if it is predicted through any arithmetic formula, it has a problem in that it is not possible to check the pressure loss due to leakage of the chamber, air supply pipe, or exhaust pipe.

본 발명의 목적은, 과포화 증기를 이용하여 지정된 공정을 수행하는 시스템에 있어서, 매니폴드(Manifold)에 구비된 과포화 증기를 지정된 공정을 수행하는 N(N≥2)개의 챔버로 공급하기 위한 각 챔버 별 s(s≥1)개의 급기관을 포함하는 (N*s)개의 급기관과 상기 (N*s)개의 급기관을 경유하여 상기 매니폴드에 공급된 과포화 증기를 상기 N개의 챔버로 급기하는 것을 열거나 닫는 (N*s)개의 급기밸브와 지정된 공정을 위해 N개의 챔버로 공급된 과포화 증기를 배기하기 위한 N개의 배기관과 상기 N개의 챔버로 공급되어 공정에 사용된 과포화 증기를 상기 N개의 배기관을 경유하여 배기하는 것을 열거나 닫는 N개의 배기밸브와 상기 N개의 배기관의 일 측을 상기 N개의 챔버에 연결하기 위한 N개의 챔버 측 배기용 플랜지와 상기 N개의 챔버 측 배기용 플랜지에 연결된 N개의 배기관의 다른 일 측에 연결되는 N개의 배기관 측 플랜지와 상기 N개의 배기밸브에 구비 또는 연결되는 N개의 배기밸브 측 플랜지와 상기 N개의 배기관 측 플랜지와 N개의 배기밸브 측 플랜지 사이에 구비되며 N개의 압력측정관과 연결되는 N개의 압력측정용 플랜지와 상기 N개의 압력측정용 플랜지와 연결된 N개의 압력측정관의 일 측과 연결되고 지정된 압력측정장치와 연결된 압력측정관과 연결된 N개의 전자밸브 및 지정된 제i(i≥1)차 공정을 위해 상기 N개의 챔버로 과포화 증기를 급기하는 경우 상기 N개의 배기밸브를 닫고 상기 (N*s)개의 급기밸브를 열며, 상기 N개의 전자밸브 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n(1≤n≤N) 전자밸브를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브를 닫거나 닫은 상태를 유지하여 제n 압력측정용 플랜지와 연결된 압력측정관을 통해 지정된 압력측정장치로 제n 챔버의 압력을 전달하여 압력을 측정하도록 제어하고, 상기 제i차 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우 상기 (N*s)개의 급기밸브를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브를 열도록 제어하는 제어모듈을 포함하는 순차적 공정 압력 측정 시스템을 제공함에 있다.An object of the present invention is, in a system for performing a specified process using supersaturated steam, each chamber for supplying supersaturated steam provided in a manifold to N (N≥2) chambers performing a specified process The supersaturated steam supplied to the manifold via (N*s) air supply pipes and the (N*s) air supply pipes including s (s≥1) air supply pipes is supplied to the N chambers. (N*s) air supply valves that open or close the N exhaust valves for opening or closing exhaust through the exhaust pipe, N flanges for chamber-side exhaust for connecting one side of the N exhaust pipes to the N chambers, and N connected to the N flanges for exhaust on the chamber side N exhaust pipe side flanges connected to the other side of the N exhaust pipes, N exhaust valve side flanges provided or connected to the N exhaust valves, and the N exhaust pipe side flanges and N exhaust valve side flanges are provided between the N N number of solenoid valves connected to one side of the N pressure measurement tubes connected to the N pressure measurement tubes and the N pressure measurement tubes connected to the N pressure measurement flanges and connected to the pressure measurement tube connected to the designated pressure measurement device, and When supersaturated steam is supplied to the N chambers for the designated i (i≥1) process, the N exhaust valves are closed and the (N*s) air supply valves are opened, in a specified order among the N solenoid valves The pressure specified through the pressure measuring tube connected to the flange for nth pressure measurement by closing or maintaining the closed state of the remaining (N-1) solenoid valves at the same time as one nth (1≤n≤N) solenoid valve Control to measure the pressure by transmitting the pressure of the nth chamber to the measuring device, and when the supersaturated vapor used in the i-th process is exhausted, the (N*s) air supply valves are closed to block the air supply and the N A sequence comprising a control module that controls the exhaust valve to open To provide a process pressure measurement system.

본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템은, 과포화 증기를 이용하여 지정된 공정을 수행하는 시스템에 있어서, 매니폴드(Manifold)에 구비된 과포화 증기를 지정된 공정을 수행하는 N(N≥2)개의 챔버로 공급하기 위한 각 챔버 별 s(s≥1)개의 급기관을 포함하는 (N*s)개의 급기관과 상기 (N*s)개의 급기관을 경유하여 상기 매니폴드에 공급된 과포화 증기를 상기 N개의 챔버로 급기하는 것을 열거나 닫는 (N*s)개의 급기밸브와 지정된 공정을 위해 N개의 챔버로 공급된 과포화 증기를 배기하기 위한 N개의 배기관과 상기 N개의 챔버로 공급되어 공정에 사용된 과포화 증기를 상기 N개의 배기관을 경유하여 배기하는 것을 열거나 닫는 N개의 배기밸브와 상기 N개의 배기관의 일 측을 상기 N개의 챔버에 연결하기 위한 N개의 챔버 측 배기용 플랜지와 상기 N개의 챔버 측 배기용 플랜지에 연결된 N개의 배기관의 다른 일 측에 연결되는 N개의 배기관 측 플랜지와 상기 N개의 배기밸브에 구비 또는 연결되는 N개의 배기밸브 측 플랜지와 상기 N개의 배기관 측 플랜지와 N개의 배기밸브 측 플랜지 사이에 구비되며 N개의 압력측정관과 연결되는 N개의 압력측정용 플랜지와 상기 N개의 압력측정용 플랜지와 연결된 N개의 압력측정관의 일 측과 연결되고 지정된 압력측정장치와 연결된 압력측정관과 연결된 N개의 전자밸브 및 지정된 제i(i≥1)차 공정을 위해 상기 N개의 챔버로 과포화 증기를 급기하는 경우 상기 N개의 배기밸브를 닫고 상기 (N*s)개의 급기밸브를 열며, 상기 N개의 전자밸브 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n(1≤n≤N) 전자밸브를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브를 닫거나 닫은 상태를 유지하여 제n 압력측정용 플랜지와 연결된 압력측정관을 통해 지정된 압력측정장치로 제n 챔버의 압력을 전달하여 압력을 측정하도록 제어하고, 상기 제i차 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우 상기 (N*s)개의 급기밸브를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브를 열도록 제어하는 제어모듈을 포함하는 것을 특징으로 한다.Sequential process pressure measurement system according to the present invention, in a system for performing a specified process using supersaturated steam, N (N≥2) chambers for performing a specified process for supersaturated steam provided in a manifold The supersaturated steam supplied to the manifold via the (N*s) air supply pipes and the (N*s) air supply pipes including s (s≥1) air supply pipes for each chamber for supplying the N (N*s) supply valves that open or close the supply to the chambers, N exhaust pipes for exhausting the supersaturated vapor supplied to the N chambers for a specified process, and the supersaturation used in the process supplied to the N chambers N exhaust valves for opening or closing exhausting steam via the N exhaust pipes, N flanges for chamber-side exhaust for connecting one side of the N exhaust pipes to the N chambers, and the N chamber-side exhaust N exhaust pipe side flanges connected to the other side of the N exhaust pipe connected to the flange, N exhaust valve side flanges provided or connected to the N exhaust valves, the N exhaust pipe side flanges, and N exhaust valve side flanges It is provided between and connected to one side of the N pressure measurement flanges connected to the N pressure measurement tubes and the N pressure measurement tubes connected to the N pressure measurement flanges, and connected to the pressure measurement tube connected to a designated pressure measurement device When supersaturated steam is supplied to the N chambers for N solenoid valves and the designated i(i≥1)-th process, the N exhaust valves are closed and the (N*s) air supply valves are opened, and the N According to the specified order among the solenoid valves, one nth (1≤n≤N) solenoid valve is opened and the remaining (N-1) solenoid valves are closed or maintained at the same time to measure the pressure connected to the nth pressure measurement flange Controls to measure the pressure by transmitting the pressure of the nth chamber to the designated pressure measuring device through the pipe, and when the supersaturated vapor used in the i-th process is exhausted, the (N*s) air supply valves are closed to supply air. block and open the N exhaust valves. It is characterized in that it includes a control module.

본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 제어모듈은, 제(i+1)차 공정을 위해 상기 N개의 챔버로 과포화 증기를 급기하는 경우 상기 N개의 배기밸브를 닫고 상기 (N*s)개의 급기밸브를 열며, 상기 N개의 전자밸브 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n'(1≤n'≤N, n≠n') 전자밸브를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브를 닫거나 닫은 상태를 유지하여 제n' 압력측정용 플랜지와 연결된 압력측정관을 통해 지정된 압력측정장치로 제n' 챔버의 압력을 전달하여 압력을 측정하도록 제어하고, 상기 제(i+1)차 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우 상기 (N*s)개의 급기밸브를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브를 열도록 제어하는 것을 특징으로 한다.In the sequential process pressure measurement system according to the present invention, the control module closes the N exhaust valves and closes the (N*s) when supersaturated steam is supplied to the N chambers for the (i+1)th process. ) air supply valves are opened, and one n' (1≤n'≤N, n≠n') solenoid valve is opened at the same time as the remaining (N-1) solenoid valves according to the specified order among the N solenoid valves. Controls to measure the pressure by transferring the pressure of the n'th chamber to the designated pressure measuring device through the pressure measuring tube connected to the n'th pressure measuring flange by maintaining the closed or closed state, and the (i+1)th When the supersaturated steam used in the process is exhausted, the (N*s) air supply valves are closed to block the supply air and the N exhaust valves are controlled to open.

본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 제어모듈은, 상기 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우 상기 N개의 전자밸브를 닫거나 닫은 상태를 유지하도록 제어하는 것을 특징으로 한다.In the sequential process pressure measurement system according to the present invention, the control module is characterized in that when the supersaturated vapor used in the process is exhausted, the N solenoid valves are closed or controlled to maintain a closed state.

본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 (N*s)개의 급기밸브를 상기 매니폴드에 연결하기 위한 (N*s)개의 매니폴드 측 플랜지와 상기 (N*s)개의 급기밸브에 구비 또는 연결되는 (N*s)개의 급기밸브 측 플랜지와 상기 (N*s)개의 급기밸브 측 플랜지에 상기 (N*s)개의 급기관의 일 측을 연결하는 (N*s)개의 급기관 측 플랜지 및 상기 (N*s)개의 급기관 측 플랜지에 연결된 상기 (N*s)개의 급기관의 다른 일 측을 상기 N개의 챔버에 연결하는 (N*s)개의 챔버 측 급기용 플랜지;를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the sequential process pressure measurement system according to the present invention, (N*s) manifold side flanges for connecting the (N*s) air supply valves to the manifold and the (N*s) air supply valves (N*s) air supply valve side flanges provided or connected, and (N*s) air supply pipes connecting one side of the (N*s) air supply pipe to the (N*s) air supply valve side flange (N*s) chamber-side air supply flanges connecting the other side of the (N*s) air supply pipes connected to the side flanges and the (N*s) air supply pipe side flanges to the N chambers; It is characterized in that it further comprises.

본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 급기관은, 지정된 일정 기간 동안 챔버로 공급되는 과포화 증기의 고온 고압에 의한 손상율이 기 설정된 기준값 이하인 재질을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the sequential process pressure measurement system according to the present invention, the air supply pipe is characterized in that it comprises a material whose damage rate due to high temperature and high pressure of supersaturated steam supplied to the chamber for a specified period is less than or equal to a preset reference value.

본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 급기관은, 지정된 공정 전 또는 중 또는 후에 챔버에 주기적으로 가해지는 물리적 충격량에 의한 손상을 억제하는 유연한 재질이나 충격 흡수 구조를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the sequential process pressure measurement system according to the present invention, the air supply pipe comprises a flexible material or shock absorbing structure that suppresses damage due to the amount of physical impact periodically applied to the chamber before, during, or after the specified process do it with

본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 급기관은, 기 설정된 초기가압 시간 내에 기 설정된 유효압력의 과포화 증기를 고속 급기받기 위해 각 챔버 별로 복수개 구비되는 것을 특징으로 한다.In the sequential process pressure measurement system according to the present invention, the air supply pipe is characterized in that a plurality of each chamber is provided to receive supersaturated steam of a preset effective pressure at high speed within a preset initial pressurization time.

본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 배기관은, 지정된 일정 기간 동안 챔버로 공급된 과포화 증기의 고온 고압에 의한 손상율이 기 설정된 기준값 이하인 재질을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the sequential process pressure measurement system according to the present invention, the exhaust pipe is characterized in that it comprises a material whose damage rate due to high temperature and high pressure of supersaturated steam supplied to the chamber for a specified period is less than or equal to a preset reference value.

본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서,상기 배기관은, 지정된 공정 전 또는 중 또는 후에 챔버에 주기적으로 가해지는 물리적 충격량에 의한 손상을 억제하는 유연한 재질이나 충격 흡수 구조를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the sequential process pressure measurement system according to the present invention, the exhaust pipe comprises a flexible material or shock absorbing structure that suppresses damage due to the amount of physical impact periodically applied to the chamber before, during, or after a designated process. do.

본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 N개의 압력측정관은, N개의 압력측정용 플랜지와 N개의 전자밸브 사이에 구비되며, 기 설정된 기준 길이 이내의 길이를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the sequential process pressure measurement system according to the present invention, the N pressure measurement tubes are provided between the N pressure measurement flanges and the N solenoid valves, and include a length within a preset reference length. do.

본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 제어모듈과 연동하여 지정된 공정 또는 급기 중에 전자밸브가 열린 챔버를 식별하는 챔버식별정보를 수신하는 수신부와, 상기 압력측정장치와 연동하여 지정된 공정 또는 급기 중에 상기 열린 상태의 전자밸브를 통해 측정된 압력변화측정정보를 수집하는 수집부와,상기 챔버식별정보와 압력변화측정정보를 지정된 운영DB에 연계 저장하는 저장부를 구비한 분석모듈을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the sequential process pressure measurement system according to the present invention, a receiver for receiving chamber identification information for identifying a chamber in which the solenoid valve is opened during a designated process or air supply in conjunction with the control module, and a designated process or Further comprising an analysis module having a collecting unit for collecting pressure change measurement information measured through the solenoid valve in an open state during air supply, and a storage unit for storing the chamber identification information and pressure change measurement information in a connection to a designated operation DB characterized by being made.

본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 분석모듈은, 상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 기 설정된 유효압력 미만인 제q(1≤q≤N) 챔버를 확인하는 압력 분석부와, 상기 확인된 제q 챔버의 챔버식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하는 결과 생성부와, 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송하는 결과 처리부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the sequential process pressure measurement system according to the present invention, the analysis module includes a pressure analysis unit that reads the collected or stored pressure change measurement information and identifies a q (1≤q≤N) chamber that is less than a preset effective pressure; , A result generating unit for generating analysis result information including the identified chamber identification information of the qth chamber, and a result processing unit for outputting the analysis result information through a specified output means or transmitting to a specified terminal characterized.

본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서,상기 분석모듈은, 상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 급기 개시 후 기 설정된 초기가압 시간 내에 기 설정된 유효압력에 도달하지 못한 제q(1≤q≤N) 챔버를 확인하는 압력 분석부와, 상기 확인된 제q 챔버의 챔버식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하는 결과 생성부와, 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송하는 결과 처리부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the sequential process pressure measurement system according to the present invention, the analysis module reads the collected or stored pressure change measurement information and does not reach a preset effective pressure within a preset initial pressurization time after starting air supply, q (1≤ q≤N) a pressure analysis unit for checking a chamber, a result generating unit for generating analysis result information including chamber identification information of the checked qth chamber, and outputting the analysis result information through a specified output means or designated It is characterized in that it further comprises a result processing unit to be transmitted to the terminal.

본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 분석모듈은, 상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 급기 개시 후 배기 개시 전 사이의 지정된 공정 시간 동안 기 설정된 유효공정압력 이상의 압력을 유지한 압력유지시간이 기 설정된 유효유지시간 미만인 제q(1≤q≤N) 챔버를 확인하는 압력 분석부와, 상기 확인된 제q 챔버의 챔버식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하는 결과 생성부와, 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송하는 결과 처리부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the sequential process pressure measurement system according to the present invention, the analysis module reads the collected or stored pressure change measurement information and maintains a pressure equal to or greater than a preset effective process pressure for a specified process time between the start of air supply and before the start of exhaust. A pressure analysis unit for confirming a q (1≤q≤N) chamber in which the pressure holding time is less than a preset effective holding time, and a result generating unit for generating analysis result information including chamber identification information of the checked qth chamber And, it characterized in that it further comprises a result processing unit for outputting the analysis result information through a specified output means or for transmitting to a specified terminal.

본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 분석모듈은, 상기 N개의 챔버에 대하여 주기적으로 수행된 공정유효성검사의 검사결과를 포함하는 공정유효성검사정보를 확인하여 지정된 관리DB에 저장하는 검사 확인부와, 상기 확인 또는 저장된 공정유효성검사정보를 판독하여 공정유효성이 기 설정된 기준값 이상 손상된 제p(1≤p≤N) 챔버를 확인하는 검사 분석부와, 상기 운영DB로부터 상기 제p 챔버의 챔버식별정보와 연계된 적어도 하나의 압력변화측정정보를 확인하는 압력 확인부와, 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버의 공정유효성검사정보와 상기 확인된 제p 챔버의 압력변화측정정보 사이의 상관 관계에 대응하는 공정유효성 손상 압력변화패턴정보를 생성하여 지정된 저장매체에 저장하는 정보 생성부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the sequential process pressure measurement system according to the present invention, the analysis module checks the process validation information including the inspection result of the process validation periodically performed for the N chambers and stores it in a designated management DB A confirmation unit, an inspection analysis unit that reads the checked or stored process validation information to confirm that the process validity is damaged by more than a preset reference value (1≤p≤N), and the pth chamber from the operation DB A pressure confirmation unit for confirming at least one piece of pressure change measurement information linked to the chamber identification information, and the correlation between the process validation information of the p-th chamber in which the process validity is impaired and the checked pressure change measurement information of the p-th chamber It characterized in that it further comprises an information generating unit for generating the process effectiveness damage pressure change pattern information corresponding to the storage medium to be stored in a designated storage medium.

본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 공정유효성검사는, 챔버에 식균모듈을 투입하여 지정된 공정을 거친 후 살균 상태를 검사하는 살균 검사, 챔버에 연결된 s개의 급기관 별 핀홀(pin hole) 발생을 검사하는 급기관 핀홀 검사, 챔버에 연결된 배기관의 핀홀(pin hole) 발생을 검사하는 배기관 핀홀 검사, 챔버에 구비된 가스켓(gasket)의 파손 상태를 검사하는 가스켓 파손 검사 중 적어도 하나의 검사를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the sequential process pressure measurement system according to the present invention, the process validation test includes a sterilization test that checks the sterilization state after a phagocytic module is put into the chamber and undergoes a specified process, and pinholes for each s supply pipe connected to the chamber. ) at least one of the air supply pipe pinhole inspection to inspect the occurrence, the exhaust pipe pinhole inspection to inspect the pinhole occurrence of the exhaust pipe connected to the chamber, and the gasket damage inspection to inspect the damage state of the gasket provided in the chamber. It is characterized in that it comprises a.

본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서, 상기 정보 생성부는, 상기 제p 챔버의 압력변화측정정보의 관측된 특징에 대응하는 입력 정보와 상기 제p 챔버의 공정유효성검사정보의 관측된 결과에 대응하는 출력 정보를 지정된 인공지능모듈에 대입하여 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버의 공정유효성검사정보와 상기 제p 챔버의 압력변화측정정보 사이의 상관 관계를 학습시키는 기능을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the sequential process pressure measurement system according to the present invention, the information generating unit may include input information corresponding to the observed characteristics of the pressure change measurement information of the p-th chamber and the observed result of the process validation information of the p-th chamber. and a function of learning the correlation between the process validation information of the p-th chamber whose process validity is impaired and the pressure change measurement information of the p-th chamber by substituting the corresponding output information into a designated artificial intelligence module. do.

본 발명에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템에 있어서,상기 분석모듈은, 상기 공정유효성 손상 압력변화패턴정보를 근거로 상기 운영DB에 최근 일정 시간 내에 저장된 압력변화측정정보를 분석하여 공정유효성의 손상이 예측되거나 발생한 제q(1≤q≤N) 챔버를 확인하는 압력 분석부와, 상기 확인된 제q 챔버의 챔버식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하는 결과 생성부와, 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송하는 결과 처리부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the sequential process pressure measurement system according to the present invention, the analysis module analyzes the pressure change measurement information stored in the operation DB within a recent predetermined time based on the pressure change pattern information on the process effectiveness damage to predict the damage to the process effectiveness A pressure analysis unit for checking the qth chamber that has been or has occurred (1≤q≤N), and a result generating unit for generating analysis result information including chamber identification information of the confirmed qth chamber, and the analysis result information is designated It is characterized in that it further comprises a result processing unit that is output through the output means or transmitted to a designated terminal.

본 발명에 따르면, 수십 개 내지 수백 개 이상의 복수의 챔버에 과포화 증기를 급기하여 지정된 공정을 수행하는 산업시설(예컨대, 간편밥 제조 공장 등) 등에서 종래 챔버들을 교체하지 않음은 물론, 복수의 각 챔버 별로 복수의 압력측정장치를 탑재하지 않고도, 저렴한 비용으로 각 챔버 별 공정 압력을 순차적으로 전수 측정하여 공정유효성을 효율적으로 관리하는 이점이 있다.According to the present invention, conventional chambers are not replaced in industrial facilities (eg, convenience food manufacturing plants, etc.) that perform a specified process by supplying supersaturated steam to a plurality of chambers of several tens to hundreds or more, as well as a plurality of chambers. There is an advantage of efficiently managing process effectiveness by sequentially measuring all process pressures for each chamber at a low cost without mounting a plurality of pressure measuring devices.

도 1은 본 발명의 실시 방법에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템의 구성을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 방법에 따른 순차적 공정 압력 측정 과정을 도시한 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 실시 방법에 따른 압력 수집 및 분석 과정을 도시한 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 실시 방법에 따른 공정유효성 분석 및 관리 과정을 도시한 흐름도이다.1 is a diagram illustrating the configuration of a sequential process pressure measurement system according to an embodiment of the present invention.
2 is a flowchart illustrating a sequential process pressure measurement process according to an embodiment of the present invention.
3 is a flowchart illustrating a pressure collection and analysis process according to an embodiment of the present invention.
4 is a flowchart illustrating a process effectiveness analysis and management process according to an embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면과 설명을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 동작 원리를 상세히 설명한다. 다만, 하기에 도시되는 도면과 후술되는 설명은 본 발명의 특징을 효과적으로 설명하기 위한 여러 가지 방법 중에서 바람직한 실시 방법에 대한 것이며, 본 발명이 하기의 도면과 설명만으로 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the principle of operation of the preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings and description. However, the drawings shown below and the description to be given below relate to a preferred implementation method among various methods for effectively explaining the characteristics of the present invention, and the present invention is not limited only to the following drawings and description.

즉, 하기의 실시예는 본 발명의 수 많은 실시예 중에 바람직한 합집합 형태의 실시예에 해당하며, 하기의 실시예에서 특정 구성(또는 단계)을 생략하는 실시예, 또는 특정 구성(또는 단계)에 구현된 기능을 특정 구성(또는 단계)으로 분할하는 실시예, 또는 둘 이상의 구성(또는 단계)에 구현된 기능을 어느 하나의 구성(또는 단계)에 통합하는 실시예, 특정 구성(또는 단계)의 동작 순서를 교체하는 실시예 등은, 하기의 실시예에서 별도로 언급하지 않더라도 모두 본 발명의 권리범위에 속함을 명백하게 밝혀두는 바이다. 따라서 하기의 실시예를 기준으로 부분집합 또는 여집합에 해당하는 다양한 실시예들이 본 발명의 출원일을 소급받아 분할될 수 있음을 분명하게 명기하는 바이다.That is, the following embodiment corresponds to an embodiment of a preferred union type among numerous embodiments of the present invention, and an embodiment in which a specific configuration (or step) is omitted in the following embodiment, or a specific configuration (or step) An embodiment in which the implemented function is divided into a specific configuration (or step), or an embodiment in which the function implemented in two or more configurations (or step) is integrated into any one configuration (or step), of a specific configuration (or step) Embodiments in which the order of operations are replaced, etc. are clearly stated to be within the scope of the present invention, even if not separately mentioned in the following embodiments. Therefore, based on the following examples, it is clearly specified that various examples corresponding to a subset or a complement can be divided retroactively from the filing date of the present invention.

또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 발명에서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. In addition, in the following description of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related well-known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. And the terms to be described later are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to intentions or customs of users and operators. Therefore, the definition should be made based on the content throughout the present invention.

결과적으로, 본 발명의 기술적 사상은 청구범위에 의해 결정되며, 이하 실시예는 진보적인 본 발명의 기술적 사상을 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 효율적으로 설명하기 위한 일 수단일 뿐이다.As a result, the technical spirit of the present invention is determined by the claims, and the following examples are one means for efficiently explaining the technical spirit of the present invention to those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. only

도면1은 본 발명의 실시 방법에 따른 순차적 공정 압력 측정 시스템의 구성을 도시한 도면이다. 1 is a diagram showing the configuration of a sequential process pressure measurement system according to an embodiment of the present invention.

보다 상세하게 본 도면1은 N(N≥2)개의 챔버(120)에 과포화 증기를 급기하여 지정된 공정을 수행한 후 배기하는 과정을 반복하는 시스템에서 N개의 챔버(120)에 연결된 N개의 배기관(128)과 N개의 배기밸브(136)를 연결하는 N개의 배기관 측 플랜지(130)(Flange)와 N개의 배기밸브 측 플랜지(134) 사이에 N개의 압력측정용 플랜지(132)를 구비하고 상기 N개의 압력측정용 플랜지(132)와 지정된 압력측정장치(146) 사이에 압력측정관(142)을 N:1의 관계로 연결한 후, N개의 챔버(120)에 과포화 증기를 급기하여 지정된 공정을 수행할 때마다 N개의 압력측정용 플랜지(132) 중 어느 한 제n(1≤n≤N) 압력측정용 플랜지(132)를 통해 제n 챔버(120)의 압력을 압력측정장치(146)로 전달하여 측정하는 과정을 지정된 순서에 따라 순차 수행하는 시스템의 구성을 도시한 것으로서, 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 본 도면1을 참조 및/또는 변형하여 상기 순차적 공정 압력 측정 시스템에 대한 다양한 실시 방법(예컨대, 일부 구성부가 생략되거나, 또는 세분화되거나, 또는 합쳐진 실시 방법)을 유추할 수 있을 것이나, 본 발명은 상기 유추되는 모든 실시 방법을 포함하여 이루어지며, 본 도면1에 도시된 실시 방법만으로 그 기술적 특징이 한정되지 아니한다.In more detail, FIG. 1 shows N exhaust pipes ( 128) and N exhaust pipe side flanges 130 (Flange) connecting the N exhaust valves 136 and N pressure measurement flanges 132 are provided between the N exhaust valve side flanges 134, and the N After connecting the pressure measuring tube 142 between the flanges 132 for pressure measurement and the designated pressure measuring device 146 in an N:1 relationship, supersaturated steam is supplied to the N chambers 120 to perform the designated process. Whenever it is performed, the pressure of the n-th chamber 120 through any one of the N-th flanges 132 for pressure measurement (1≤n≤N) through the flange 132 for pressure measurement to the pressure measurement device 146 . As shows the configuration of a system that sequentially performs the process of transferring and measuring in a specified order, those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains, refer to and/or modify this FIG. 1 to change the sequential process pressure Various implementation methods for the measurement system (eg, implementation methods in which some components are omitted, subdivided, or combined) may be inferred, but the present invention includes all of the inferred implementation methods, and in this figure 1 The technical characteristics are not limited only to the implementation method shown in .

도면1을 참조하면, 과포화 증기를 이용하여 지정된 공정을 수행하는 본 발명의 시스템은, 보일러(100)로부터 제공된 고압력의 과포화 증기를 제공받아 1차 감압하는 이송용 감압밸브(102)와, 상기 이송용 감압밸브(102)를 통해 1차 감압되어 이송된 과포화 증기를 2차 감압하는 공급용 감압밸브(104)와, 상기 공급용 감압밸브(104)를 통해 감압된 과포화 증기를 공급받아 유지하는 매니폴드(106)(Manifold)와, 상기 매니폴드(106)의 과포화 증기를 급기받아 가압되면서 지정된 공정을 수행하는 N(N≥2)개의 챔버(120)를 포함한다. Referring to Figure 1, the system of the present invention for performing a specified process using supersaturated steam is provided with a high pressure supersaturated steam provided from a boiler 100, and a pressure reducing valve for transport 102 that primarily reduces the pressure, and the transport A supply pressure reducing valve 104 for secondarily depressurizing the transferred supersaturated vapor after being first decompressed through the pressure reducing valve 102 for supply, and a manifold for receiving and maintaining the supersaturated vapor decompressed through the supply pressure reducing valve 104 It includes a fold 106 (Manifold) and N (N≥2) chambers 120 for performing a specified process while receiving and pressurizing the supersaturated vapor of the manifold 106 .

상기 이송용 감압밸브(102)는 보일러(100)를 통해 생성되어 제공된 고압력의 과포화 증기를 수십~수백미터 정도 거리의 공급용 감압밸브(104)까지 이송 가능한 압력으로 1차 감압하고, 상기 공급용 감압밸브(104)는 상기 이송용 감압밸브(102)를 통해 1차 감압되어 이송된 과포화 증기를 매니폴드(106)에 공급하도록 설정된 압력으로 2차 감압한다. The transfer pressure reducing valve 102 first depressurizes supersaturated steam of high pressure generated and provided through the boiler 100 to a pressure that can be transferred to the supply pressure reducing valve 104 at a distance of several tens to several hundred meters, and the supply The pressure reducing valve 104 secondly reduces the pressure to a pressure set to supply the supersaturated steam transferred by the first pressure reduction through the transfer pressure reducing valve 102 to the manifold 106 .

상기 매니폴드(106)는 상기 공급용 감압밸브(104)를 통해 2차 감압된 과포화 증기를 공급받아 축적하고 있다. 바람직하게, 상기 매니폴드(106)는 N개의 챔버(120)에 동시에 과포화 증기를 급기하여 N개의 챔버(120)의 압력을 기 설정된 초기가압 시간 내에 기 설정된 유효압력에 도달시키기 위한 대용량의 과포화 증기를 축적할 수 있다. The manifold 106 receives and accumulates the secondary pressure-reduced supersaturated vapor through the supply pressure reducing valve 104 . Preferably, the manifold 106 supplies supersaturated steam to the N chambers 120 at the same time so that the pressure of the N chambers 120 reaches a preset effective pressure within a preset initial pressurization time. can accumulate.

도면1을 참조하면, 본 발명의 시스템은, 매니폴드(106)에 구비된 과포화 증기를 지정된 공정을 수행하는 N개의 챔버(120)로 공급하기 위한 각 챔버(120) 별 s(s≥1)개의 급기관(116)을 포함하는 (N*s)개의 급기관(116)과, 상기 (N*s)개의 급기관(116)을 경유하여 상기 매니폴드(106)에 공급된 과포화 증기를 상기 N개의 챔버(120)로 급기하는 것을 열거나 닫는 (N*s)개의 급기밸브(110)를 포함하며, 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 상기 매니폴드(106)에 연결하기 위한 (N*s)개의 매니폴드 측 플랜지(108)와, 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)에 구비 또는 연결되는 (N*s)개의 급기밸브 측 플랜지(112)와, 상기 (N*s)개의 급기밸브 측 플랜지(112)에 상기 (N*s)개의 급기관(116)의 일 측을 연결하는 (N*s)개의 급기관 측 플랜지(114)와, 상기 (N*s)개의 급기관 측 플랜지(114)에 연결된 상기 (N*s)개의 급기관(116)의 다른 일 측을 상기 N개의 챔버(120)에 연결하는 (N*s)개의 챔버 측 급기용 플랜지(118)를 포함한다. 1, in the system of the present invention, s (s≥1) for each chamber 120 for supplying the supersaturated vapor provided in the manifold 106 to the N chambers 120 performing a specified process. The supersaturated steam supplied to the manifold 106 via the (N*s) air supply pipes 116 and the (N*s) air supply pipes 116 including the It includes (N*s) air supply valves 110 that open or close the air supply to the N chambers 120 , and connect the (N*s) air supply valves 110 to the manifold 106 . (N*s) manifold side flanges 108 for (N*s) air supply pipe side flanges 114 connecting one side of the (N*s) air supply pipe 116 to N*s) air supply valve side flanges 112, and the (N* (N*s) flanges for chamber-side air supply connecting the other side of the (N*s) air supply pipes 116 connected to the s) number of air supply pipe side flanges 114 to the N number of chambers 120 . (118).

각 챔버(120)는 매니폴드(106)에 구비된 과포화 증기를 급기받기 위해 s개의 급기관(116)이 연결된다. 바람직하게, 각 챔버(120)는 상기 매니폴드(106)로부터 기 설정된 초기가압 시간 내에 기 설정된 유효압력의 과포화 증기를 고속 급기받기 위해 복수개의 급기관(116)이 연결되는 것이 바람직하다. Each chamber 120 is connected to the s number of air supply pipes 116 to receive the supersaturated vapor provided in the manifold (106). Preferably, each chamber 120 is preferably connected to a plurality of air supply pipes 116 to receive supersaturated steam of a preset effective pressure at high speed from the manifold 106 within a preset initial pressurization time.

본 발명의 실시 방법에 따르면, 상기 급기관(116)은 지정된 일정 기간 동안 챔버(120)로 공급되는 과포화 증기의 고온 고압에 의한 손상율이 기 설정된 기준값 이하인 재질을 포함하여 제작되되는 것이 바람직하다. 한편 상기 급기관(116)은 상기 과포화 증기의 압력과 온도를 견디는 동안 경질화되고, 챔버(120) 측의 챔버 상부(122)와 하부(124)가 밀착되었다가 떨어지는 과정 중에 전달되는 충격에 의해 손상이 발생할 수 있다. 이에 상기 급기관(116)은 지정된 공정 전 또는 중 또는 후에 챔버(120)에 주기적으로 가해지는 물리적 충격량에 의한 손상을 억제하는 유연한 재질이나 충격 흡수 구조를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다. 다만 그러함에도 상기 급기관(116)은 공정이 반복되고 시간이 경과함에 따라 점차 경화되거나 파손되어 핀홀(pin hole)이 발생할 수 있는데, 이에 의해 압력 손실 내지 공정유효성 오류가 발생할 수 있다. According to the implementation method of the present invention, the air supply pipe 116 is preferably manufactured including a material whose damage rate due to high temperature and high pressure of the supersaturated steam supplied to the chamber 120 for a specified period is less than or equal to a preset reference value. . On the other hand, the air supply pipe 116 is hardened while enduring the pressure and temperature of the supersaturated steam, and the upper part 122 and the lower part 124 of the chamber 120 on the side of the chamber come into close contact with each other. damage may occur. Accordingly, it is preferable that the air supply pipe 116 includes a flexible material or a shock absorbing structure that suppresses damage caused by the amount of physical impact periodically applied to the chamber 120 before, during, or after a designated process. However, despite this, the process is repeated and the air supply pipe 116 may be gradually hardened or damaged over time to generate a pin hole, which may cause a pressure loss or an error in process effectiveness.

상기 매니폴드(106)는 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하기 위한 (N*s)개의 급기밸브(110)를 상기 매니폴드(106)에 연결하기 위한 (N*s)개의 매니폴드 측 플랜지(108)를 구비하거나 연결될 수 있다. 한편 본 발명의 다른 실시 방법에 따르면, 상기 매니폴드(106)와 급기밸브(110) 사이에는 별도의 급기관(116) 내지 급기관(116)을 연결하기 위한 별도의 플랜지를 더 구비할 수 있으며, 이에 의해 본 발명이 한정되지 아니한다. The manifold 106 has (N*s) number of manifolds for connecting (N*s) air supply valves 110 for supplying supersaturated steam to the N chambers 120 to the manifold 106 . It may have or be connected to a side flange 108 . Meanwhile, according to another embodiment of the present invention, a separate flange for connecting a separate air supply pipe 116 to the air supply pipe 116 may be further provided between the manifold 106 and the air supply valve 110 , , the present invention is not limited thereby.

상기 (N*s)개의 급기밸브(110)는 상기 매니폴드(106)와 N개의 챔버(120) 사이에 구비되며, 제어모듈(148)의 제어를 통해 상기 매니폴드(106)에 공급된 과포화 증기를 상기 (N*s)개의 급기관(116)을 경유하여 상기 N개의 챔버(120)로 급기하는 것을 열거나 닫는 기능을 수행한다. The (N*s) air supply valves 110 are provided between the manifold 106 and the N chambers 120 , and the supersaturation supplied to the manifold 106 through the control of the control module 148 . It performs a function of opening or closing the supply of steam to the N chambers 120 via the (N*s) air supply pipes 116 .

상기 (N*s)개의 급기밸브(110)는 (N*s)개의 급기밸브 측 플랜지(112)와 (N*s)개의 급기관 측 플랜지(114)를 통해 (N*s)개의 급기관(116)의 일 측과 연결되며, 상기 (N*s)개의 급기관(116)의 다른 일 측은 (N*s)개의 챔버 측 급기용 플랜지(118)를 통해 N개의 챔버(120)에 연결된다. The (N*s) air supply valves 110 have (N*s) air supply valve side flanges 112 and (N*s) air supply pipe side flanges 114 through (N*s) air supply pipe side flanges 114 . It is connected to one side of (116), and the other side of the (N*s) air supply pipes 116 is connected to the N chambers 120 through (N*s) chamber-side air supply flanges 118 . do.

본 발명의 실시 방법에 따르면, 상기 N개의 챔버(120)는 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 열어 상기 매니폴드(106)의 과포화 증기를 급기하기 전에 각 챔버(120)의 상부(122)와 하부(124)를 밀착시켜 밀폐된 상태를 유지하며, 각 챔버(120)가 밀폐된 상태에서 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 열어 상기 매니폴드(106)의 과포화 증기를 급기한다. 한편 상기 N개의 챔버(120)는 상기 밀폐된 상태를 유지하기 위해 각 챔버(120)의 상부(122)와 하부(124) 사이에 가스켓(gasket)이 구비되는데, 상기 가스켓은 공정이 반복되고 시간이 경과함에 따라 점차 경화되고, 각 챔버(120)의 상부(122)와 하부(124)를 밀착시켰다가 개방하는 과정 중의 물리적 충격량에 의해 파손될 수 있다. 이 경우 상기 챔버(120)의 상부(122)와 하부(124)를 밀착시키더라도 상기 가스켓의 파손에 의해 밀폐된 상태를 유지할 수 없으며, 결과적으로 압력 손실 내지 공정유효성 오류가 발생할 수 있다. According to the implementation method of the present invention, the N chambers 120 open the (N*s) air supply valves 110 to supply supersaturated steam from the manifold 106. (122) and the lower part (124) are kept in close contact to maintain a closed state, and in the closed state of each chamber (120), the (N*s) air supply valves (110) are opened to supersaturate the manifold (106). supply steam. Meanwhile, in the N chambers 120, a gasket is provided between the upper part 122 and the lower part 124 of each chamber 120 in order to maintain the sealed state. As this time elapses, it is gradually hardened, and the upper 122 and lower 124 of each chamber 120 are brought into close contact with each other and may be damaged by the amount of physical impact during the opening process. In this case, even when the upper portion 122 and the lower portion 124 of the chamber 120 are brought into close contact, the sealed state cannot be maintained due to damage to the gasket, and as a result, a pressure loss or process effectiveness error may occur.

도면1을 참조하면, 본 발명의 시스템은, 지정된 공정을 위해 N개의 챔버(120)로 공급된 과포화 증기를 배기하기 위한 N개의 배기관(128)과, 상기 N개의 챔버(120)로 공급되어 공정에 사용된 과포화 증기를 상기 N개의 배기관(128)을 경유하여 배기하는 것을 열거나 닫는 N개의 배기밸브(136)와, 상기 N개의 배기관(128)의 일 측을 상기 N개의 챔버(120)에 연결하기 위한 N개의 챔버 측 배기용 플랜지(126)와, 상기 N개의 챔버 측 배기용 플랜지(126)에 연결된 N개의 배기관(128)의 다른 일 측에 연결되는 N개의 배기관 측 플랜지(130)와, 상기 N개의 배기밸브(136)에 구비 또는 연결되는 N개의 배기밸브 측 플랜지(134)와, 상기 N개의 배기관 측 플랜지(130)와 N개의 배기밸브 측 플랜지(134) 사이에 구비되며 N개의 압력측정관(142)과 연결되는 N개의 압력측정용 플랜지(132)와, 상기 N개의 압력측정용 플랜지(132)와 연결된 N개의 압력측정관(142)의 일 측과 연결되고 지정된 압력측정장치(146)와 연결된 압력측정관(142)과 연결된 N개의 전자밸브(144)를 구비한다. Referring to Figure 1, the system of the present invention, N exhaust pipes 128 for exhausting the supersaturated vapor supplied to the N chambers 120 for a specified process, and the N number of chambers 120 are supplied to the process N exhaust valves 136 that open or close to exhaust the supersaturated vapor used for exhausting via the N exhaust pipes 128, and one side of the N exhaust pipes 128 to the N chambers 120 N number of flanges 126 for the chamber side exhaust for connection, and N number of flanges 130 on the side of the exhaust pipe connected to the other side of the N exhaust pipes 128 connected to the N number of flanges for the chamber side exhaust 126 and , the N exhaust valve side flanges 134 provided or connected to the N exhaust valves 136, and the N exhaust pipe side flanges 130 and the N exhaust valve side flanges 134 and provided between the N exhaust valve side flanges 134. N number of flanges 132 for pressure measurement connected to the pressure measurement tube 142, and one side of the N number of pressure measurement tubes 142 connected to the N number of pressure measurement flanges 132, and a designated pressure measurement device It is provided with the N number of solenoid valves 144 connected to the pressure measuring tube 142 connected to (146).

각 챔버(120)는 지정된 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하기 위해 배기관(128)을 구비한다. 바람직하게, 각 챔버(120)는 과포화 증기를 배기하기 하나의 배기관(128)이 연결될 수 있으나, 이에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명은 각 챔버(120)에 복수의 배기관(128)이 연결되는 실시예도 권리범위로 포함할 수 있다.Each chamber 120 has an exhaust pipe 128 for evacuating supersaturated vapors used in a designated process. Preferably, each chamber 120 may be connected to one exhaust pipe 128 to exhaust supersaturated vapor, but the present invention is not limited thereto. This linked embodiment may also be included in the scope of rights.

본 발명의 실시 방법에 따르면, 상기 배기관(128)은 지정된 일정 기간 동안 챔버(120)로 공급되는 과포화 증기의 고온 고압에 의한 손상율이 기 설정된 기준값 이하인 재질을 포함하여 제작되되는 것이 바람직하다. 한편 상기 배기관(128)은 상기 과포화 증기의 압력과 온도를 견디는 동안 경질화되고, 챔버(120) 측의 챔버 상부(122)와 하부(124)가 밀착되었다가 떨어지는 과정 중에 전달되는 충격에 의해 손상이 발생할 수 있다. 이에 상기 배기관(128)은 지정된 공정 전 또는 중 또는 후에 챔버(120)에 주기적으로 가해지는 물리적 충격량에 의한 손상을 억제하는 유연한 재질이나 충격 흡수 구조를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다. 다만 그러함에도 상기 배기관(128)은 공정이 반복되고 시간이 경과함에 따라 점차 경화되거나 파손되어 핀홀(pin hole)이 발생할 수 있는데, 이에 의해 압력 손실 내지 공정유효성 오류가 발생할 수 있다. According to the implementation method of the present invention, it is preferable that the exhaust pipe 128 is made of a material whose damage rate due to high temperature and high pressure of the supersaturated steam supplied to the chamber 120 for a predetermined period is less than or equal to a preset reference value. On the other hand, the exhaust pipe 128 is hardened while resisting the pressure and temperature of the supersaturated steam, and the chamber upper part 122 and the lower part 124 of the chamber 120 side are in close contact with each other and are damaged by the impact transmitted during the falling process. This can happen. Accordingly, it is preferable that the exhaust pipe 128 includes a flexible material or a shock absorbing structure that suppresses damage due to the amount of physical impact periodically applied to the chamber 120 before, during, or after a designated process. However, the exhaust pipe 128 may cause a pin hole as the process is repeated and gradually hardened or damaged over time, which may cause a pressure loss or an error in process effectiveness.

상기 N개의 챔버(120)는 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하기 위한 N개의 배기관(128)을 연결하기 위한 N개의 챔버 측 배기용 플랜지(126)를 구비하거나 연결될 수 있다. The N chambers 120 may be provided with or connected to N number of chamber side exhaust flanges 126 for connecting the N exhaust pipes 128 for exhausting the supersaturated vapor used in the process.

상기 N개의 배기관(128)의 일 측은 상기 N개의 챔버 측 배기용 플랜지(126)를 통해 상기 N개의 챔버(120)에 연결되고, 상기 N개의 배기관(128)의 다른 일 측은 N개의 배기관 측 플랜지(130)에 연결된다. One side of the N exhaust pipes 128 is connected to the N chambers 120 through the N chamber side exhaust flanges 126 , and the other side of the N exhaust pipes 128 is connected to the N exhaust pipe side flanges. connected to 130 .

상기 N개의 배기밸브(136)는 상기 N개의 배기관(128)을 경유하여 상기 N개의 챔버(120)와 연결되며, 제어모듈(148)의 제어를 통해 상기 N개의 챔버(120)로 공급되어 지정된 공정에 사용된 과포화 증기를 상기 N개의 배긱관을 경유하여 배기하는 것을 열거나 닫는 기능을 수행한다. 한편 상기 N개의 배기밸브(136)는 배기구(140)에 연결되는 N개의 배기구 측 플랜지(138)를 구비하거나 연결될 수 있다. The N exhaust valves 136 are connected to the N chambers 120 via the N exhaust pipes 128 , and are supplied to the N chambers 120 through the control of the control module 148 and designated It performs a function of opening or closing the exhaust of the supersaturated vapor used in the process via the N exhaust pipes. Meanwhile, the N exhaust valves 136 may include or be connected to the N exhaust port side flanges 138 connected to the exhaust port 140 .

상기 N개의 배기밸브(136)는 N개의 배기밸브 측 플랜지(134)를 구비하거나 연결된다. 한편 상기 N개의 배기밸브 측 플랜지(134)는 상기 N개의 배기관 측 플랜지(130)와 연결되어 상기 N개의 배기밸브(136)와 N개의 배기관(128)을 연결할 수 있는데, 본 발명에 따르면 상기 N개의 배기밸브 측 플랜지(134)와 N개의 배기관 측 플랜지(130) 사이에 N개의 압력측정용 플랜지(132)를 구비함으로써, 상기 N개의 배기밸브(136)가 닫히고 상기 N개의 챔버(120)가 밀폐된 상태에서 상기 매니폴드(106)의 과포화 증기가 상기 N개의 챔버(120)로 공급되어 지정된 공정을 수행하는 동안 상기 N개의 압력측정용 플랜지(132) 중 어느 한 제n(1≤n≤N) 압력측정용 플랜지(132)는 지정된 제n 압력측정관(142)을 통해 제n 챔버(120)의 압력을 지정된 압력측정장치(146)로 전달하여 상기 제n 챔버(120)의 공정 압력을 측정할 수 있다. The N exhaust valves 136 are provided with or connected to the N exhaust valve side flanges 134 . Meanwhile, the N exhaust valve side flanges 134 may be connected to the N exhaust pipe side flanges 130 to connect the N exhaust valves 136 and N exhaust pipe 128 . According to the present invention, the N By providing N pressure measurement flanges 132 between the exhaust valve side flanges 134 and the N exhaust pipe side flanges 130 , the N exhaust valves 136 are closed and the N chambers 120 are closed. In a sealed state, the supersaturated vapor of the manifold 106 is supplied to the N chambers 120 to perform a designated process, while any one of the N-th flanges 132 for pressure measurement (1≤n≤ N) The flange 132 for pressure measurement transmits the pressure of the n-th chamber 120 to the designated pressure measuring device 146 through the designated n-th pressure measuring pipe 142 to process the pressure of the n-th chamber 120 . can be measured.

상기 N개의 전자밸브(144)는 제어모듈(148)에 의해 제어되며, 상기 N개의 압력측정용 플랜지(132)와 연결된 N개의 압력측정관(142)의 일 측과 연결되고 지정된 압력측정장치(146)와 연결된 압력측정관(142)과 연결된다. 바람직하게, 상기 N개의 압력측정용 플랜지(132) 및 N개의 전자밸브(144)는 상기 N개의 압력측정관(142)을 통해 지정된 압력측정장치(146)와 N:1의 관계로 연결되는 것이 바람직하다.The N solenoid valves 144 are controlled by the control module 148, and are connected to one side of the N pressure measuring tubes 142 connected to the N pressure measuring flanges 132 and a designated pressure measuring device ( It is connected to the pressure measuring tube 142 connected to 146). Preferably, the N number of flanges 132 for pressure measurement and the N number of solenoid valves 144 are connected to the designated pressure measurement device 146 through the N pressure measurement tubes 142 in a N:1 relationship. desirable.

도면1을 참조하면, 본 발명의 시스템은, 지정된 제i(i≥1)차 공정을 위해 상기 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하는 경우 상기 N개의 배기밸브(136)를 닫고 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 열며, 상기 N개의 전자밸브(144) 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n(1≤n≤N) 전자밸브(144)를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지하여 제n 압력측정용 플랜지(132)와 연결된 압력측정관(142)을 통해 지정된 압력측정장치(146)로 제n 챔버(120)의 압력을 전달하여 압력을 측정하도록 제어하고, 상기 제i차 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브(136)를 열며, 상기 N개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지하도록 제어하는 제어모듈(148)을 포함하며, 상기 제어모듈(148)은 제(i+1)차 공정을 위해 상기 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하는 경우 상기 N개의 배기밸브(136)를 닫고 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 열며, 상기 N개의 전자밸브(144) 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n'(1≤n'≤N, n≠n') 전자밸브(144)를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지하여 제n' 압력측정용 플랜지(132)와 연결된 압력측정관(142)을 통해 지정된 압력측정장치(146)로 제n' 챔버(120)의 압력을 전달하여 압력을 측정하도록 제어하고, Referring to Figure 1, the system of the present invention closes the N exhaust valves 136 when supersaturated steam is supplied to the N chambers 120 for the designated i (i≥1)-th process and the ( Opens N*s) air supply valves 110, and according to the specified order among the N solenoid valves 144, one nth (1≤n≤N) solenoid valve 144 is salted and the remaining (N- 1) The pressure of the n-th chamber 120 with the pressure measuring device 146 specified through the pressure measuring pipe 142 connected to the n-th pressure measuring flange 132 by closing or maintaining the closed state of the 1) solenoid valves 144 control to measure the pressure by transmitting and a control module 148 for controlling the N solenoid valves 144 to be closed or maintained in a closed state, and the control module 148 is configured for the (i+1)th process for the N chambers. When supersaturated steam is supplied to 120, the N exhaust valves 136 are closed, the (N*s) air supply valves 110 are opened, and any one of the N solenoid valves 144 is specified in the specified order. n' (1≤n'≤N, n≠n') for n'th pressure measurement by closing or maintaining the closed state of the remaining (N-1) solenoid valves 144 at the same time as salting the solenoid valve 144 Control to measure the pressure by transmitting the pressure of the n'th chamber 120 to the designated pressure measuring device 146 through the pressure measuring pipe 142 connected to the flange 132,

상기 제(i+1)차 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브(136)를 열며, 상기 N개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지하도록 제어함으로써, 지정된 순서에 따라 N개의 챔버(120) 별 공정 압력을 순차 측정하도록 제어한다. When the supersaturated vapor used in the (i+1)th process is exhausted, the (N*s) supply valves 110 are closed to block the supply air, the N exhaust valves 136 are opened, and the N By controlling the solenoid valve 144 to close or maintain the closed state, it is controlled to sequentially measure the process pressure for each of the N chambers 120 in a specified order.

지정된 제i(i≥1)차 공정을 위해 상기 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하는 경우, 상기 제어모듈(148)은 상기 N개의 챔버(120)가 밀폐된 상태에서 상기 N개의 배기밸브(136)를 닫음과 동시에 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 열어 상기 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하도록 제어한다. 한편 상기 제어모듈(148)은 상기 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하기 전 또는 중에 상기 N개의 전자밸브(144) 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n 전자밸브(144)를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지함으로써, 상기 제n 압력측정용 플랜지(132)와 연결된 제n 압력측정관(142)과 제n 전자밸브(144)를 통해 지정된 압력측정장치(146)로 제n 챔버(120)의 압력을 전달하여 상기 제n 챔버(120)의 공정 압력을 측정하도록 제어한다. When supersaturated steam is supplied to the N chambers 120 for a designated i-th (i≥1)-th process, the control module 148 controls the N exhausts while the N chambers 120 are sealed. At the same time as closing the valve 136 , the (N*s) air supply valves 110 are opened to control to supply supersaturated steam to the N chambers 120 . On the other hand, the control module 148 opens any one of the nth solenoid valves 144 according to a specified order among the N solenoid valves 144 before or during the supply of supersaturated steam to the N chambers 120 at the same time as salting. By closing or maintaining the closed state of the remaining (N-1) solenoid valves 144, through the n-th pressure measuring tube 142 and the n-th solenoid valve 144 connected to the n-th pressure measuring flange 132 The pressure of the n-th chamber 120 is transmitted to a designated pressure measuring device 146 to measure the process pressure of the n-th chamber 120 .

한편 상기 제i차 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우, 상기 제어모듈(148)은 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브(136)를 열어 배기하도록 제어한다. 한편 본 발명의 실시 방법에 따르면, 상기 제어모듈(148)은 상기 N개의 챔버(120)로 공급된 과포화 증기를 배기하기 전 또는 중에 상기 제i차 공정에서 열었던 제n 전자밸브(144)를 닫아 결과적으로 상기 N개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지함으로써, 상기 압력측정장치(146)를 통해 제n 챔버(120)의 압력을 측정하는 과정을 차단 또는 멈춤할 수 있다.On the other hand, when exhausting the supersaturated steam used in the i-th process, the control module 148 closes the (N*s) air supply valves 110 to block the air supply and closes the N exhaust valves 136 . Control to open and exhaust. Meanwhile, according to the implementation method of the present invention, the control module 148 controls the n-th solenoid valve 144 opened in the i-th process before or during exhausting the supersaturated vapor supplied to the N chambers 120 . As a result, by closing or maintaining the closed state of the N solenoid valves 144 , it is possible to block or stop the process of measuring the pressure of the n-th chamber 120 through the pressure measuring device 146 .

한편 상기 제i차 공정을 수행한 후 제(i+1)차 공정을 위해 상기 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하는 경우, 상기 제어모듈(148)은 상기 N개의 챔버(120)가 밀폐된 상태에서 상기 N개의 배기밸브(136)를 닫음과 동시에 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 열어 상기 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하도록 제어한다. 한편 상기 제어모듈(148)은 상기 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하기 전 또는 중에 상기 N개의 전자밸브(144) 중 지정된 순서에 따라 상기 제i차 공정에서 열었던 제n 전자밸브(144) 이외에 다음 순서에 대응하는 어느 한 제n'(1≤n'≤N, n≠n') 전자밸브(144)를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지함으로써, 상기 제n'압력측정용 플랜지(132)와 연결된 제n'압력측정관(142)과 제n'전자밸브(144)를 통해 지정된 압력측정장치(146)로 제n' 챔버(120)의 압력을 전달하여 상기 제n'챔버(120)의 공정 압력을 측정하도록 제어한다. On the other hand, when supersaturated steam is supplied to the N chambers 120 for the (i+1)-th process after performing the i-th process, the control module 148 determines that the N chambers 120 are In a closed state, the N exhaust valves 136 are closed and the (N*s) air supply valves 110 are opened at the same time to control to supply supersaturated steam to the N chambers 120 . On the other hand, the control module 148 opens the nth solenoid valve ( In addition to 144), any one of the n'th (1≤n'≤N, n≠n') solenoid valves 144 corresponding to the following sequence is opened or closed at the same time as the remaining (N-1) solenoid valves 144 are closed. By maintaining the state, the n'th chamber is transferred to the designated pressure measuring device 146 through the n'th pressure measuring tube 142 and the n'th solenoid valve 144 connected to the n'th pressure measuring flange 132 . A pressure of 120 is transmitted to control to measure the process pressure of the n'th chamber 120 .

한편 상기 제(i+1)차 공정에 사용된 과포화 증기를 배기하는 경우, 상기 제어모듈(148)은 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브(136)를 열어 배기하도록 제어한다. 한편 본 발명의 실시 방법에 따르면, 상기 제어모듈(148)은 상기 N개의 챔버(120)로 공급된 과포화 증기를 배기하기 전 또는 중에 상기 제(i+1)차 공정에서 열었던 제n' 전자밸브(144)를 닫아 결과적으로 상기 N개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지함으로써, 상기 압력측정장치(146)를 통해 제n' 챔버(120)의 압력을 측정하는 과정을 차단 또는 멈춤할 수 있다.On the other hand, when exhausting the supersaturated vapor used in the (i+1)th process, the control module 148 closes the (N*s) air supply valves 110 to cut off the supply air, and the N exhaust valves (136) is opened to control the exhaust. Meanwhile, according to the implementation method of the present invention, the control module 148 opens the n'th electron in the (i+1)th process before or during exhausting the supersaturated vapor supplied to the N chambers 120 . By closing the valve 144 and consequently closing or maintaining the closed state of the N solenoid valves 144, the process of measuring the pressure of the n'th chamber 120 through the pressure measuring device 146 is blocked or stopped can do.

도면1을 참조하면, 본 발명의 시스템은, 상기 제어모듈(148)과 연동하여 지정된 공정 또는 급기 중에 전자밸브(144)가 열린 챔버(120)를 식별하는 챔버(120)식별정보를 수신하는 수신부(152)와, 상기 압력측정장치(146)와 연동하여 지정된 공정 또는 급기 중에 상기 열린 상태의 전자밸브(144)를 통해 측정된 압력변화측정정보를 수집하는 수집부(154)와, 상기 챔버(120)식별정보와 압력변화측정정보를 지정된 운영DB에 연계 저장하는 저장부(156)를 구비한 분석모듈(150)을 포함한다. Referring to Figure 1, the system of the present invention, in conjunction with the control module 148, a receiving unit for receiving the chamber 120 identification information for identifying the chamber 120 in which the solenoid valve 144 is opened during a specified process or air supply (152), the collecting unit 154 for collecting the pressure change measurement information measured through the solenoid valve 144 in the open state during a designated process or air supply in conjunction with the pressure measuring device 146, and the chamber ( 120) and an analysis module 150 having a storage unit 156 that links and stores identification information and pressure change measurement information in a designated operation DB.

상기 제어모듈(148)이 지정된 공정 또는 급기를 위해 N개의 챔버(120)가 밀폐된 상태에서 N개의 배기밸브(136)를 닫고 (N*s)개의 급기밸브(110)를 열어 상기 N개의 챔버(120)로 과포화 증기를 급기하면서, 상기 N개의 압력측정용 플랜지(132)와 연결된 N개의 전자밸브(144) 중 어느 한 제n 전자밸브(144)를 열어 지정된 압력측정장치(146)를 통해 제n 챔버(120)의 공정 압력을 측정하도록 제어하는 경우, 상기 수신부(152)는 상기 제어모듈(148)과 연동하여 상기 압력 측정을 위해 상기 열린 상태의 제n 전자밸브(144)에 대응하는 제n 챔버(120)를 식별하는 챔버(120)식별정보를 수신한다. The control module 148 closes the N exhaust valves 136 and opens (N*s) air supply valves 110 in a state in which the N chambers 120 are sealed for a specified process or air supply to open the N chambers. While supplying supersaturated steam to 120, any one of the N solenoid valves 144 connected to the N pressure measurement flange 132 is opened and the specified pressure measuring device 146 is opened. When controlling to measure the process pressure of the n-th chamber 120 , the receiving unit 152 works in conjunction with the control module 148 to measure the pressure corresponding to the n-th solenoid valve 144 in the open state. Receives chamber 120 identification information for identifying the n-th chamber 120 .

한편 상기 제n 전자밸브(144)가 열려 상기 압력측정장치(146)를 통해 상기 제n 챔버(120)의 공정 압력을 측정하는 경우, 상기 수집부(154)는 상기 압력측정장치(146)와 연동하여 상기 열린 상태의 제n 전자밸브(144)를 통해 측정된 제n 챔버(120)의 압력변화측정정보를 수집한다. 상기 저장부(156)는 상기 수신부(152)를 통해 수신된 제n 챔버(120)의 챔버(120)식별정보와 상기 수집부(154)를 통해 수집된 제n 챔버(120)의 압력변화측정정보를 지정된 운영DB에 연계 저장한다. On the other hand, when the n-th solenoid valve 144 is opened and the process pressure of the n-th chamber 120 is measured through the pressure measuring device 146 , the collecting unit 154 is connected with the pressure measuring device 146 . In conjunction with, the pressure change measurement information of the n-th chamber 120 measured through the n-th solenoid valve 144 in the open state is collected. The storage unit 156 measures the chamber 120 identification information of the n-th chamber 120 received through the receiving unit 152 and the pressure change of the n-th chamber 120 collected through the collecting unit 154 . The information is linked and stored in the designated operation DB.

도면1을 참조하면, 상기 분석모듈(150)은, 상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 이상 상태가 발생한 제q(1≤q≤N) 챔버(120)를 확인하는 압력 분석부(166)와, 상기 확인된 제q 챔버(120)의 챔버(120)식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하는 결과 생성부(168)와, 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송하는 결과 처리부(170)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the analysis module 150 reads the collected or stored pressure change measurement information to determine the qth (1≤q≤N) chamber 120 in which the abnormal state occurs, the pressure analysis unit 166 ), a result generating unit 168 for generating analysis result information including the identified information of the chamber 120 of the q-th chamber 120, and outputting the analysis result information through a designated output means or a designated terminal and a result processing unit 170 that is transmitted to

본 발명의 제1 분석 실시예에 따르면, 상기 압력 분석부(166)는 상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 기 설정된 유효압력 미만인 제q 챔버(120)를 확인할 수 있다. 이 경우 상기 결과 생성부(168)는 상기 확인된 제q 챔버(120)의 챔버(120)식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하고, 상기 결과 처리부(170)는 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송할 수 있다.According to the first analysis embodiment of the present invention, the pressure analyzer 166 may read the collected or stored pressure change measurement information to identify the q-th chamber 120 that is less than a preset effective pressure. In this case, the result generating unit 168 generates analysis result information including the identified chamber 120 identification information of the q th chamber 120 , and the result processing unit 170 outputs the analysis result information to a designated output. It can be output through means or transmitted to a designated terminal.

본 발명의 제2 분석 실시예에 따르면, 상기 압력 분석부(166)는 상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 급기 개시 후 기 설정된 초기가압 시간 내에 기 설정된 유효압력에 도달하지 못한 제q 챔버(120)를 확인할 수 있다. 이 경우 상기 결과 생성부(168)는 상기 확인된 제q 챔버(120)의 챔버(120)식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하고, 상기 결과 처리부(170)는 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송할 수 있다.According to the second analysis embodiment of the present invention, the pressure analyzer 166 reads the collected or stored pressure change measurement information, and the q-th chamber fails to reach a preset effective pressure within a preset initial pressurization time after starting air supply. (120) can be confirmed. In this case, the result generating unit 168 generates analysis result information including the identified chamber 120 identification information of the q th chamber 120 , and the result processing unit 170 outputs the analysis result information to a designated output. It can be output through means or transmitted to a designated terminal.

본 발명의 제3 분석 실시예에 따르면, 상기 압력 분석부(166)는 상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 급기 개시 후 배기 개시 전 사이의 지정된 공정 시간 동안 기 설정된 유효공정압력 이상의 압력을 유지한 압력유지시간이 기 설정된 유효유지시간 미만인 제q 챔버(120)를 확인할 수 있다. 이 경우 상기 결과 생성부(168)는 상기 확인된 제q 챔버(120)의 챔버(120)식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하고, 상기 결과 처리부(170)는 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송할 수 있다.According to the third analysis embodiment of the present invention, the pressure analyzer 166 reads the collected or stored pressure change measurement information to determine a pressure equal to or greater than the preset effective process pressure for a specified process time between the start of air supply and before the start of exhaust. The q-th chamber 120 in which the maintained pressure holding time is less than the preset effective holding time can be confirmed. In this case, the result generating unit 168 generates analysis result information including the identified chamber 120 identification information of the q th chamber 120 , and the result processing unit 170 outputs the analysis result information to a designated output. It can be output through means or transmitted to a designated terminal.

본 발명의 제4 분석 실시예에 따르면, 상기 압력 분석부(166)는 상기 제1 내지 제3 분석 실시예 중 적어도 둘 이상을 조합하여 이상 상태가 발생한 제q 챔버(120)를 확인할 수 있으며, 이 경우 상기 결과 생성부(168)는 상기 확인된 제q 챔버(120)의 챔버(120)식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하고, 상기 결과 처리부(170)는 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송할 수 있다.According to the fourth analysis embodiment of the present invention, the pressure analyzer 166 may combine at least two or more of the first to third analysis embodiments to identify the q-th chamber 120 in which the abnormal state occurs, In this case, the result generating unit 168 generates analysis result information including the identified chamber 120 identification information of the q th chamber 120 , and the result processing unit 170 outputs the analysis result information to a designated output. It can be output through means or transmitted to a designated terminal.

도면1을 참조하면, 상기 분석모듈(150)은, 상기 N개의 챔버(120)에 대하여 주기적으로 수행된 공정유효성검사의 검사결과를 포함하는 공정유효성검사정보를 확인하여 지정된 관리DB에 저장하는 검사 확인부(158)와, 상기 확인 또는 저장된 공정유효성검사정보를 판독하여 공정유효성이 기 설정된 기준값 이상 손상된 제p(1≤p≤N) 챔버(120)를 확인하는 검사 분석부(160)와, 상기 운영DB로부터 상기 제p 챔버(120)의 챔버(120)식별정보와 연계된 적어도 하나의 압력변화측정정보를 확인하는 압력 확인부(162)와, 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버(120)의 공정유효성검사정보와 상기 확인된 제p 챔버(120)의 압력변화측정정보 사이의 상관 관계에 대응하는 공정유효성 손상 압력변화패턴정보를 생성하여 지정된 저장매체에 저장하는 정보 생성부(164)를 포함한다. Referring to FIG. 1 , the analysis module 150 checks the process validation information including the inspection results of the process validation periodically performed on the N chambers 120 and stores the information in a designated management DB. A verification unit 158 and an inspection analysis unit 160 that reads the verified or stored process validation information to check the pth chamber 120 whose process validity is damaged by more than a preset reference value; A pressure check unit 162 for confirming at least one pressure change measurement information associated with the identification information of the chamber 120 of the p-th chamber 120 from the operation DB, and the p-th chamber 120 in which the process effectiveness is impaired An information generating unit 164 for generating process validation damage pressure change pattern information corresponding to the correlation between the process validation information of the and the confirmed pressure change measurement information of the p-th chamber 120 and storing it in a designated storage medium; include

상기 N개의 챔버(120)는 상기 제1 내지 제4 분석 실시예 중 적어도 하나를 통해 이상 상태가 발생한 제q 챔버(120)를 확인하는 방식 외에, 주기적으로 상기 N개의 챔버(120)에 대한 공정유효성검사를 수행할 수 있다. 바람직하게, 상기 공정유효성검사는 챔버(120)에 식균모듈을 투입하여 지정된 공정을 거친 후 살균 상태를 검사하는 살균 검사, 챔버(120)에 연결된 s개의 급기관(116) 별 핀홀(pin hole) 발생을 검사하는 급기관(116) 핀홀 검사, 챔버(120)에 연결된 배기관(128)의 핀홀(pin hole) 발생을 검사하는 배기관(128) 핀홀 검사, 챔버(120)에 구비된 가스켓(gasket)의 파손 상태를 검사하는 가스켓 파손 검사 중 적어도 하나의 검사를 포함할 수 있다. In addition to the method of checking the q-th chamber 120 in which the abnormal state has occurred through at least one of the first to fourth analysis embodiments, the N chambers 120 are periodically processed for the N chambers 120 . Validation can be performed. Preferably, the process validation is a sterilization test that checks the sterilization state after inputting a phagocytic module into the chamber 120 and passing a specified process, pinholes for each s air supply pipe 116 connected to the chamber 120 Air supply pipe 116 pinhole inspection to inspect the occurrence, exhaust pipe 128 pinhole inspection to inspect pinhole occurrence of the exhaust pipe 128 connected to the chamber 120, a gasket provided in the chamber 120 It may include at least one inspection of the gasket breakage test for inspecting the damage state of the .

한편 상기 N개의 챔버(120)에 대한 공정유효성검사를 수행된 경우, 상기 검사 확인부(158)는 상기 N개의 챔버(120)에 대하여 주기적으로 수행된 공정유효성검사의 검사결과를 포함하는 공정유효성검사정보를 지정된 단말을 통해 입력받거나 통신망을 경유하여 수신하여 지정된 관리DB에 저장한다. On the other hand, when process validation is performed on the N chambers 120 , the inspection confirmation unit 158 includes the process validation results of the process validation periodically performed on the N chambers 120 . Receive inspection information through a designated terminal or receive it through a communication network and store it in a designated management DB.

상기 관리DB에 하나 이상의 공정유효성검사정보가 저장된 경우, 상기 검사 분석부(160)는 상기 확인 또는 저장된 공정유효성검사정보를 판독하여 공정유효성이 기 설정된 기준값 이상 손상된 제p 챔버(120)를 확인할 수 있다. 예를들어, 상기 공정유효성검사가 살균 검사인 경우 상기 검사 분석부(160)는 상기 공정유효성검사정보를 판독하여 살균력이 기 설정된 기준 살균 수치 미만인 제p 챔버(120)를 확인할 수 있다. When one or more process validation information is stored in the management DB, the inspection analysis unit 160 reads the checked or stored process validation information to identify the p-th chamber 120 whose process validity is damaged by more than a preset reference value. there is. For example, when the process validation test is a sterilization test, the test analysis unit 160 may read the process validation information to identify the p-th chamber 120 having a sterilization power less than a preset reference sterilization value.

한편 상기 검사 분석부(160)를 통해 공정유효성이 기 설정된 기준값 이상 손상된 제p 챔버(120)를 확인한 경유, 상기 압력 확인부(162)는 상기 운영DB로부터 상기 제p 챔버(120)의 챔버(120)식별정보와 연계된 적어도 하나의 압력변화측정정보를 확인하고, 상기 정보 생성부(164)는 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버(120)의 공정유효성검사정보와 상기 확인된 제p 챔버(120)의 압력변화측정정보 사이의 상관 관계에 대응하는 공정유효성 손상 압력변화패턴정보를 생성하여 지정된 저장매체에 저장한다. On the other hand, through the inspection and analysis unit 160, the process validity of the p-th chamber 120, which is damaged by more than a preset reference value, the pressure check unit 162 is the chamber of the p-th chamber 120 from the operation DB ( 120) Check at least one piece of pressure change measurement information associated with the identification information, and the information generating unit 164 includes the process validation information of the p-th chamber 120 whose process validity is impaired and the confirmed p-th chamber ( 120), the process validity damage pressure change pattern information corresponding to the correlation between the pressure change measurement information is generated and stored in a designated storage medium.

본 발명의 실시 방법에 따르면, 상기 정보 생성부(164)는 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버(120)의 압력변화측정정보의 관측된 특징에 대응하는 입력 정보와 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버(120)의 공정유효성검사정보의 관측된 결과에 대응하는 출력 정보를 지정된 인공지능모듈에 대입하여 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버(120)의 공정유효성검사정보와 상기 제p 챔버(120)의 압력변화측정정보 사이의 상관 관계를 학습시킬 수 있다. According to the implementation method of the present invention, the information generating unit 164 includes input information corresponding to the observed characteristics of the pressure change measurement information of the p-th chamber 120 in which the process validity is impaired, and the p-th chamber in which the process validity is impaired. By substituting output information corresponding to the observed result of the process validation information of (120) into a designated artificial intelligence module, the process validation information of the p-th chamber 120 and the process validation information of the p-th chamber 120 in which the process validity is impaired It is possible to learn the correlation between pressure change measurement information.

한편 본 발명의 제5 분석 실시예에 따르면, 상기 정보 생성부(164)를 통해 공정유효성 손상 압력변화패턴정보가 생성되어 저장된 경우, 상기 압력 분석부(166)는 상기 공정유효성 손상 압력변화패턴정보를 근거로 상기 운영DB에 최근 일정 시간 내에 저장된 압력변화측정정보를 분석하여 공정유효성의 손상이 예측되거나 발생한 제q 챔버(120)를 확인할 수 있다. 예를들어, 상기 공정유효성 손상 압력변화패턴정보가 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버(120)의 압력변화측정정보를 학습한 인공지능모듈인 경우, 상기 압력 분석부(166)는 상기 운영DB에 최근 일정 시간 내에 저장된 압력변화측정정보를 상기 인공지능모듈에 대입하여 공정유효성의 손상이 예측되거나 발생한 제q 챔버(120)를 확인할 수 있다. 한편 상기 압력 분석부(166)를 통해 상기 공정유효성의 손상이 예측되거나 발생한 제q 챔버(120)가 확인된 경우, 상기 결과 생성부(168)는 상기 확인된 제q 챔버(120)의 챔버(120)식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하고, 상기 결과 처리부(170)는 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송할 수 있다.On the other hand, according to the fifth analysis embodiment of the present invention, when the process effectiveness damage pressure change pattern information is generated and stored through the information generating unit 164 , the pressure analysis unit 166 provides the process effectiveness damage pressure change pattern information Based on the analysis of the pressure change measurement information recently stored in the operation DB within a predetermined time, it is possible to check the q-th chamber 120 in which the damage to process effectiveness is predicted or occurred. For example, when the process effectiveness-impaired pressure change pattern information is an artificial intelligence module that has learned the pressure change measurement information of the p-th chamber 120 whose process effectiveness is impaired, the pressure analysis unit 166 is stored in the operation DB. By substituting the pressure change measurement information stored within a recent predetermined time into the artificial intelligence module, it is possible to check the q-th chamber 120 in which the damage to process effectiveness is predicted or occurred. On the other hand, when the q-th chamber 120 in which the damage to the process effectiveness is predicted or occurred is confirmed through the pressure analysis unit 166, the result generating unit 168 is a chamber ( 120) Generates analysis result information including identification information, and the result processing unit 170 may output the analysis result information through a specified output means or transmit it to a specified terminal.

도면2는 본 발명의 실시 방법에 따른 순차적 공정 압력 측정 과정을 도시한 흐름도이다.2 is a flowchart illustrating a sequential process pressure measurement process according to an embodiment of the present invention.

보다 상세하게 본 도면2는 과포화 증기를 N개의 챔버(120)에 공급하여 제i차 공정을 수행하는 중에 제n 압력측정용 플랜지(132)와 제n 전자밸브(144)를 통해 제n 챔버(120)의 공정 압력을 측정하고, 제(i+1)차 공정을 수행하는 중에 제n' 압력측정용 플랜지(132)와 제n' 전자밸브(144)를 통해 제n' 챔버(120)의 공정 압력을 측정하는 과정을 도시한 것으로서, 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 본 도면2를 참조 및/또는 변형하여 상기 과정에 대한 다양한 실시 방법(예컨대, 일부 단계가 생략되거나, 또는 순서가 변경된 실시 방법)을 유추할 수 있을 것이나, 본 발명은 상기 유추되는 모든 실시 방법을 포함하여 이루어지며, 본 도면2에 도시된 실시 방법만으로 그 기술적 특징이 한정되지 아니한다.In more detail, FIG. 2 shows the n-th chamber ( ) through the n-th pressure measurement flange 132 and the n-th solenoid valve 144 while performing the ith process by supplying supersaturated steam to the N chambers 120 . 120) of the n'th chamber 120 through the n'th pressure measuring flange 132 and the n'th solenoid valve 144 while performing the (i+1)th process. As showing the process of measuring the process pressure, those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs, refer to and/or modify this figure 2 to various implementation methods for the process (eg, some steps are omitted) or an implementation method in which the order is changed) may be inferred, but the present invention is made including all the inferred implementation methods, and the technical characteristics are not limited only to the implementation method illustrated in FIG. 2 .

도면2를 참조하면, 제i차 공정을 수행할 N개의 챔버(120)가 밀폐된 경우(200), 상기 제어모듈(148)은 상기 N개의 배기밸브(136)를 닫고 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 열며, 상기 N개의 전자밸브(144) 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n 전자밸브(144)를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지하도록 제어하며(205), 압력측정장치(146)는 상기 N개의 챔버(120)에 과포화 증기를 급기하여 제i차 공정을 수행하는 동안 상기 제n 압력측정용 플랜지(132)와 제n 전자밸브(144)에 연결된 압력측정관(142)을 통해 제n 챔버(120)의 압력을 전달받아 상기 제n 챔버(120)의 공정 압력을 측정하여 압력변화측정정보를 생성한다(210).Referring to FIG. 2 , when the N chambers 120 for performing the ith process are sealed 200 , the control module 148 closes the N exhaust valves 136 and the (N*s) Opens the air supply valves 110 and closes or closes the remaining (N-1) solenoid valves 144 at the same time as any one of the nth solenoid valves 144 according to the specified order among the N solenoid valves 144. control to maintain the state (205), the pressure measuring device 146 supplies the supersaturated steam to the N chambers 120 to perform the i-th process while performing the n-th pressure measurement flange 132 and the second The pressure of the n-th chamber 120 is received through the pressure measuring tube 142 connected to the n solenoid valve 144, and the process pressure of the n-th chamber 120 is measured to generate pressure change measurement information (210). .

한편 상기 제i차 공정 수행이 완료되는 경우, 상기 제어모듈(148)은 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브(136)를 열도록 제어하며, 상기 N개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지하도록 제어한다(215).On the other hand, when the i-th process is performed, the control module 148 closes the (N*s) air supply valves 110 to block the air supply and controls to open the N exhaust valves 136, , to close or maintain the closed state of the N solenoid valves 144 (215).

한편 상기 제i차 공정을 수행한 후 제(i+1)차 공정을 수행할 N개의 챔버(120)가 밀폐된 경우(220), 상기 제어모듈(148)은 상기 N개의 배기밸브(136)를 닫고 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 열며, 상기 N개의 전자밸브(144) 중 지정된 순서에 따라 어느 한 제n'전자밸브(144)를 염과 동시에 나머지 (N-1)개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지하도록 제어하며(225), 압력측정장치(146)는 상기 N개의 챔버(120)에 과포화 증기를 급기하여 제(i+1)차 공정을 수행하는 동안 상기 제n' 압력측정용 플랜지(132)와 제n' 전자밸브(144)에 연결된 압력측정관(142)을 통해 제n' 챔버(120)의 압력을 전달받아 상기 제n' 챔버(120)의 공정 압력을 측정하여 압력변화측정정보를 생성한다(230).On the other hand, when the N chambers 120 for performing the (i+1)-th process are sealed after performing the i-th process (220), the control module 148 controls the N exhaust valves 136 close and open the (N * s) air supply valves 110, and according to the specified order among the N solenoid valves 144, one n'th solenoid valve 144 is salted and the remaining (N-1) The solenoid valves 144 are closed or controlled to maintain the closed state (225), and the pressure measuring device 146 supplies supersaturated steam to the N chambers 120 to perform the (i+1)-th process. While receiving the pressure of the n' chamber 120 through the pressure measuring tube 142 connected to the n'th pressure measuring flange 132 and the n'th solenoid valve 144, the n'th chamber 120 ) to generate pressure change measurement information by measuring the process pressure ( 230 ).

한편 상기 제(i+1)차 공정 수행이 완료되는 경우, 상기 제어모듈(148)은 상기 (N*s)개의 급기밸브(110)를 닫아 급기를 차단하고 상기 N개의 배기밸브(136)를 열도록 제어하며, 상기 N개의 전자밸브(144)를 닫거나 닫은 상태를 유지하도록 제어한다(235).On the other hand, when the (i+1)-th process is completed, the control module 148 closes the (N*s) air supply valves 110 to cut off the air supply and closes the N exhaust valves 136 . It controls to open, and controls to close or maintain the closed state of the N solenoid valves 144 (235).

도면3은 본 발명의 실시 방법에 따른 압력 수집 및 분석 과정을 도시한 흐름도이다.3 is a flowchart illustrating a pressure collection and analysis process according to an embodiment of the present invention.

보다 상세하게 본 도면3은 상기 도면2의 과정을 통해 순차 측정된 압력을 수집하여 분석하는 과정을 도시한 것으로서, 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 본 도면3을 참조 및/또는 변형하여 상기 과정에 대한 다양한 실시 방법(예컨대, 일부 단계가 생략되거나, 또는 순서가 변경된 실시 방법)을 유추할 수 있을 것이나, 본 발명은 상기 유추되는 모든 실시 방법을 포함하여 이루어지며, 본 도면3에 도시된 실시 방법만으로 그 기술적 특징이 한정되지 아니한다.In more detail, FIG. 3 shows the process of collecting and analyzing the pressures sequentially measured through the process of FIG. 2, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains, refer to FIG. 3 and Various implementation methods for the above process (eg, an implementation method in which some steps are omitted or the order is changed) may be inferred with / or modified, but the present invention is made including all the inferred implementation methods, The technical characteristics are not limited only to the implementation method shown in FIG. 3 .

도면3을 참조하면, 상기 도면2의 과정에서 상기 제어모듈(148)을 통해 N개의 챔버(120)에 대응하는 N개의 전자밸브(144) 중 지정된 순서에 따라 어느 한 전자밸브(144)가 열린 경우, 상기 분석모듈(150)은 상기 제어모듈(148)과 연동하여 순차 압력 측정을 위해 전자밸브(144)가 열린 챔버(120)를 식별하는 챔버(120)식별정보를 수신한다(300). 한편 상기 도면2의 과정에서 상기 압력측정장치(146)가 상기 열린 상태의 전자밸브(144)를 통해 어느 한 챔버(120)의 압력을 측정하는 경우, 상기 분석모듈(150)은 상기 압력측정장치(146)와 연동하여 상기 열린 상태의 전자밸브(144)를 통해 측정된 압력변화측정정보를 수집하고(305), 상기 챔버(120)식별정보와 압력변화측정정보를 지정된 운영DB에 연계 저장한다(310).Referring to FIG. 3 , in the process of FIG. 2 , one of the N solenoid valves 144 corresponding to the N chambers 120 is opened through the control module 148 according to a specified order. In this case, the analysis module 150 interlocks with the control module 148 to receive the chamber 120 identification information for identifying the chamber 120 in which the solenoid valve 144 is opened for sequential pressure measurement ( 300 ). Meanwhile, in the process of FIG. 2 , when the pressure measuring device 146 measures the pressure of any one chamber 120 through the solenoid valve 144 in the open state, the analysis module 150 is the pressure measuring device In conjunction with (146), the pressure change measurement information measured through the solenoid valve 144 in the open state is collected (305), and the chamber 120 identification information and the pressure change measurement information are linked and stored in a designated operation DB. (310).

한편 상기 분석모듈(150)은 상기 수집 또는 저장된 압력변화측정정보를 판독하여 이상 상태가 발생한 제q 챔버(120)를 확인한다(315). Meanwhile, the analysis module 150 reads the collected or stored pressure change measurement information to identify the q-th chamber 120 in which an abnormal state has occurred ( 315 ).

만약 이상 상태가 발생한 제q 챔버(120)를 확인한 경우, 상기 분석모듈(150)은 상기 확인된 제q 챔버(120)의 챔버(120)식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하고(320), 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송한다(325). If it is confirmed that the q-th chamber 120 in which the abnormal state occurs, the analysis module 150 generates analysis result information including identification information of the chamber 120 of the checked q-th chamber 120 (320) , the analysis result information is output through a designated output means or transmitted to a designated terminal (325).

도면4는 본 발명의 실시 방법에 따른 공정유효성 분석 및 관리 과정을 도시한 흐름도이다.4 is a flowchart illustrating a process effectiveness analysis and management process according to an implementation method of the present invention.

보다 상세하게 본 도면4는 상기 도면3의 과정을 통해 압력변화측정정보를 통해 N개의 챔버(120) 별 공정유효성을 분석 및 관리하는 과정을 도시한 것으로서, 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 본 도면4를 참조 및/또는 변형하여 상기 과정에 대한 다양한 실시 방법(예컨대, 일부 단계가 생략되거나, 또는 순서가 변경된 실시 방법)을 유추할 수 있을 것이나, 본 발명은 상기 유추되는 모든 실시 방법을 포함하여 이루어지며, 본 도면4에 도시된 실시 방법만으로 그 기술적 특징이 한정되지 아니한다.In more detail, FIG. 4 shows a process of analyzing and managing process effectiveness for each of the N chambers 120 through the pressure change measurement information through the process of FIG. With reference to and/or modifying this figure 4, various implementation methods for the above process (eg, an implementation method in which some steps are omitted or the order is changed) will be inferred, but the present invention is based on the analogy It is made including all implementation methods that are used, and the technical characteristics are not limited only to the implementation method shown in FIG. 4 .

도면4를 참조하면, 상기 분석모듈(150)은 상기 N개의 챔버(120)에 대하여 주기적으로 수행된 공정유효성검사의 검사결과를 포함하는 공정유효성검사정보를 확인하여 지정된 관리DB에 저장하고(400), 상기 확인 또는 저장된 공정유효성검사정보를 판독하여 공정유효성이 기 설정된 기준값 이상 손상된 제p 챔버(120)를 확인한다(405).4, the analysis module 150 checks the process validation information including the inspection result of the process validation periodically performed for the N chambers 120 and stores it in a designated management DB (400) ), the checked or stored process validation information is read to confirm the p-th chamber 120 whose process validation is damaged by more than a preset reference value ( 405 ).

만약 공정유효성이 기 설정된 기준값 이상 손상된 제p 챔버(120)를 확인한 경우, 상기 분석모듈(150)은 상기 운영DB로부터 상기 도면3의 과정을 통해 저장된 상기 제p 챔버(120)의 챔버(120)식별정보와 연계된 적어도 하나의 압력변화측정정보를 확인하고(410), 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버(120)의 공정유효성검사정보와 상기 확인된 제p 챔버(120)의 압력변화측정정보 사이의 상관 관계에 대응하는 공정유효성 손상 압력변화패턴정보를 생성하여 지정된 저장매체에 저장한다(415). 본 발명의 일 예에 따르면, 상기 분석모듈(150)은 상기 제p 챔버(120)의 압력변화측정정보의 관측된 특징에 대응하는 입력 정보와 상기 제p 챔버(120)의 공정유효성검사정보의 관측된 결과에 대응하는 출력 정보를 지정된 인공지능모듈에 대입하여 상기 공정유효성이 손상된 제p 챔버(120)의 공정유효성검사정보와 상기 제p 챔버(120)의 압력변화측정정보 사이의 상관 관계를 학습시킬 수 있다. If it is confirmed that the process validity is damaged by more than a preset reference value, the analysis module 150 stores the chamber 120 of the p-th chamber 120 stored through the process of FIG. 3 from the operation DB. At least one piece of pressure change measurement information associated with the identification information is checked ( 410 ), and the process validation information of the p-th chamber 120 whose process validity is impaired and the checked pressure change measurement information of the p-th chamber 120 . Process validity damage pressure change pattern information corresponding to the correlation is generated and stored in a designated storage medium (415). According to an example of the present invention, the analysis module 150 includes input information corresponding to the observed characteristics of the pressure change measurement information of the p-th chamber 120 and process validation information of the p-th chamber 120 . By substituting output information corresponding to the observed result into a designated artificial intelligence module, the correlation between the process validation information of the p-th chamber 120 and the pressure change measurement information of the p-th chamber 120, the process validity of which is impaired can learn

한편 상기 공정유효성 손상 압력변화패턴정보가 생성되어 저장된 경우, 상기 분석모듈(150)은 상기 공정유효성 손상 압력변화패턴정보를 근거로 상기 운영DB에 최근 일정 시간 내에 저장된 압력변화측정정보를 분석하여 공정유효성의 손상이 예측되거나 발생한 제q 챔버(120)를 확인한다(420). On the other hand, when the process effectiveness damage pressure change pattern information is generated and stored, the analysis module 150 analyzes the pressure change measurement information stored in the operation DB within a recent predetermined time based on the process effectiveness damage pressure change pattern information to process The q-th chamber 120 in which the impairment of effectiveness is predicted or occurred is checked (420).

만약 공정유효성의 손상이 예측되거나 발생한 제q 챔버(120)가 확인된 경우, 상기 분석모듈(150)은 상기 확인된 제q 챔버(120)의 챔버(120)식별정보를 포함하는 분석결과정보를 생성하고(425), 상기 분석결과정보를 지정된 출력수단을 통해 출력하거나 지정된 단말로 전송한다(430). If the damage to process effectiveness is predicted or the q-th chamber 120 that has occurred is confirmed, the analysis module 150 analyzes the analysis result information including the chamber 120 identification information of the confirmed q-th chamber 120 is generated (425), and the analysis result information is output through a designated output means or transmitted to a designated terminal (430).

100 : 보일러 102 : 이송용 감압밸브
104 : 공급용 감압밸브 106 : 매니폴드
108 : 매니폴드 측 플랜지 110 : 급기밸브
112 : 급기관 측 플랜지 116 : 급기관
118 : 챔버 측 급기용 플랜지 120 : N(N≥2)개의 챔버
122 : 챔버 상부 124 : 챔버 하부
126 : 챔버 측 배기용 플랜지 128 : 배기관
130 : 배기관 측 플랜지 132 : 압력측정용 플랜지
134 : 배기밸브 측 플랜지 136 : 배기밸브
138 : 배기구 측 플랜지 140 : 배기구
142 : 압력측정관 144 : 전자밸브
146 : 압력측정장치 148 : 제어모듈
150 : 분석모듈 152 : 수신부
154 : 수집부 156 : 저장부
158 : 검사 확인부 160 : 검사 분석부
162 : 압력 확인부 164 : 정보 생성부
166 : 압력 분석부 168 : 결과 생성부
170 : 결과 처리부100: boiler 102: pressure reducing valve for transport
104: pressure reducing valve for supply 106: manifold
108: manifold side flange 110: air supply valve
112: supply pipe side flange 116: supply pipe
118: flange for chamber side air supply 120: N (N≥2) chambers
122: upper chamber 124: lower chamber
126: chamber side exhaust flange 128: exhaust pipe
130: exhaust pipe side flange 132: pressure measurement flange
134: exhaust valve side flange 136: exhaust valve
138: exhaust port side flange 140: exhaust port
142: pressure measuring tube 144: solenoid valve
146: pressure measuring device 148: control module
150: analysis module 152: receiver
154: collection unit 156: storage unit
158: inspection confirmation unit 160: inspection analysis unit
162: pressure check unit 164: information generation unit
166: pressure analysis unit 168: result generating unit
170: result processing unit

Claims

In the system for performing a specified process using supersaturated steam,
(N*s) grades including s(s≥1) air supply pipes for each chamber for supplying the supersaturated vapor provided in the manifold to N(N≥2) chambers performing the specified process Agency;
(N*s) air supply valves for opening or closing the supply of supersaturated steam supplied to the manifold via the (N*s) air supply pipes to the N chambers;
N exhaust pipes for exhausting the supersaturated vapor supplied to the N chambers for a designated process;
N exhaust valves that open or close the exhausting of the supersaturated vapor supplied to the N chambers and used in the process through the N exhaust pipes;
N number of chamber side exhaust flanges for connecting one side of the N exhaust pipes to the N chambers;
N exhaust pipe side flanges connected to the other side of the N exhaust pipe connected to the N chamber side exhaust flanges;
N exhaust valve side flanges provided or connected to the N exhaust valves;
N flanges for pressure measurement provided between the N exhaust pipe side flanges and the N exhaust valve side flanges and connected to the N pressure measuring pipes;
N solenoid valves connected to one side of the N pressure measurement tubes connected to the N pressure measurement flanges and connected to a pressure measurement tube connected to a specified pressure measurement device; and
When supersaturated steam is supplied to the N chambers for the designated i (i≥1) process, the N exhaust valves are closed and the (N*s) air supply valves are opened, in a specified order among the N solenoid valves The pressure specified through the pressure measuring tube connected to the nth pressure measurement flange by closing or maintaining the closed state of the remaining (N-1) solenoid valves at the same time as opening one nth (1≤n≤N) solenoid valve according to Control to measure the pressure by transmitting the pressure of the n-th chamber to the measuring device,
Sequential process pressure measurement system comprising a; when the supersaturated vapor used in the ith process is exhausted, a control module for controlling to close the (N*s) air supply valves to block the supply air and open the N exhaust valves .

According to claim 1, wherein the control module,
When supersaturated steam is supplied to the N chambers for the (i+1)th process, the N exhaust valves are closed and the (N*s) air supply valves are opened, according to a specified order among the N solenoid valves. Any n'(1≤n'≤N,n≠n') solenoid valve is closed at the same time as the remaining (N-1) solenoid valves are closed or maintained, and the pressure connected to the n'th pressure measurement flange Control to measure the pressure by transmitting the pressure of the n'th chamber to the designated pressure measuring device through the measuring tube,
Sequential process pressure, characterized in that when the supersaturated vapor used in the (i+1)th process is exhausted, the (N*s) air supply valves are closed to block the supply air and the N exhaust valves are controlled to open measuring system.

According to claim 1 or 2, wherein the control module,
Sequential process pressure measurement system, characterized in that when the supersaturated vapor used in the process is exhausted, the N solenoid valves are closed or controlled to maintain a closed state.

The method of claim 1,
(N*s) manifold side flanges for connecting the (N*s) air supply valves to the manifold;
(N*s) air supply valve side flanges provided or connected to the (N*s) air supply valves;
(N*s) air supply pipe side flanges connecting one side of the (N*s) air supply pipe to the (N*s) air supply valve side flanges; and
The (N*s) number of flanges for chamber-side air supply connecting the other side of the (N*s) number of air supply pipes connected to the flanges on the side of the (N*s) air supply pipe to the N chambers; further including Sequential process pressure measurement system, characterized in that made.

According to claim 1, wherein the air supply pipe,
Sequential process pressure measurement system, characterized in that it comprises a material whose damage rate due to high temperature and high pressure of supersaturated steam supplied to the chamber for a specified period is less than or equal to a preset reference value.

According to claim 1, wherein the air supply pipe,
Sequential process pressure measurement system, characterized in that it comprises a flexible material or shock-absorbing structure that suppresses damage caused by the amount of physical impact periodically applied to the chamber before, during, or after a designated process.

According to claim 1, wherein the air supply pipe,
Sequential process pressure measurement system, characterized in that a plurality of each chamber is provided to receive supersaturated steam of a preset effective pressure at high speed within a preset initial pressurization time.

According to claim 1, wherein the exhaust pipe,
Sequential process pressure measurement system, characterized in that it comprises a material whose damage rate due to high temperature and high pressure of the supersaturated vapor supplied to the chamber for a specified period is less than or equal to a preset reference value.

According to claim 1, wherein the exhaust pipe,
Sequential process pressure measurement system, characterized in that it comprises a flexible material or shock-absorbing structure that suppresses damage caused by the amount of physical impact periodically applied to the chamber before, during, or after a designated process.

According to claim 1, wherein the N pressure measuring tube,
Sequential process pressure measurement system, characterized in that it is provided between the N number of flanges for pressure measurement and the N number of solenoid valves, and includes a length within a preset reference length.

The method of claim 1,
a receiving unit for receiving chamber identification information for identifying a chamber in which the solenoid valve is opened during a specified process or air supply in conjunction with the control module;
a collecting unit for collecting pressure change measurement information measured through the solenoid valve in the open state during a specified process or air supply in conjunction with the pressure measuring device;
Sequential process pressure measurement system, characterized in that it further comprises an analysis module having a storage unit for storing the chamber identification information and the pressure change measurement information linked to a designated operation DB.

The method of claim 11, wherein the analysis module,
A pressure analysis unit that reads the collected or stored pressure change measurement information to check a qth chamber that is less than a preset effective pressure (1≤q≤N);
a result generating unit for generating analysis result information including the chamber identification information of the confirmed q-th chamber;
Sequential process pressure measurement system, characterized in that it further comprises a result processing unit for outputting the analysis result information through a specified output means or for transmitting to a specified terminal.

The method of claim 11, wherein the analysis module,
A pressure analysis unit for reading the collected or stored pressure change measurement information and checking the qth chamber that has not reached a preset effective pressure within a preset initial pressurization time after starting air supply;
a result generating unit for generating analysis result information including the chamber identification information of the confirmed q-th chamber;
Sequential process pressure measurement system, characterized in that it further comprises a result processing unit for outputting the analysis result information through a specified output means or for transmitting to a specified terminal.

The method of claim 11, wherein the analysis module,
By reading the collected or stored pressure change measurement information, the pressure holding time for maintaining the pressure above the preset effective process pressure for the specified process time between the start of air supply and before the start of exhaust is less than the preset effective holding time q (1≤q≤ N) a pressure analyzer to check the chamber;
a result generating unit for generating analysis result information including the chamber identification information of the confirmed q-th chamber;
Sequential process pressure measurement system, characterized in that it further comprises a result processing unit for outputting the analysis result information through a specified output means or for transmitting to a specified terminal.

The method of claim 11, wherein the analysis module,
an inspection confirmation unit that checks process validation information including inspection results of process validation periodically performed for the N chambers and stores it in a designated management DB;
an inspection analysis unit that reads the checked or stored process validation information and checks the p-th chamber whose process validity is damaged by more than a preset reference value;
a pressure confirmation unit for confirming at least one pressure change measurement information associated with the chamber identification information of the p-th chamber from the operation DB;
Information generating information for generating process validity impairment pressure change pattern information corresponding to the correlation between the process validation information of the p-th chamber whose process validity is impaired and the checked pressure change measurement information of the p-th chamber and storing it in a designated storage medium Sequential process pressure measurement system, characterized in that it further comprises a part.

The method of claim 15, wherein the process validation
A sterilization test that checks the sterilization status after passing a specified process by putting a phagocytic module into the chamber;
Air supply pipe pinhole inspection to check the occurrence of pinholes for each s supply pipe connected to the chamber;
Exhaust pipe pinhole inspection to check the occurrence of pinholes in the exhaust pipe connected to the chamber;
Sequential process pressure measurement system, characterized in that it comprises at least one of the gasket breakage test for inspecting the breakage state of the gasket (gasket) provided in the chamber.

The method of claim 15, wherein the information generating unit,
Input information corresponding to the observed characteristic of the pressure change measurement information of the p-th chamber and output information corresponding to the observed result of the process validation information of the p-th chamber are substituted into a designated artificial intelligence module, so that the process validity is impaired Sequential process pressure measurement system, characterized in that it comprises a function of learning the correlation between the process validation information of the p-th chamber and the pressure change measurement information of the p-th chamber.

The method of claim 15, wherein the analysis module,
A pressure analysis to check the q (1≤q≤N) chamber in which the damage to the process effectiveness is predicted or occurred by analyzing the pressure change measurement information stored in the operation DB within a recent predetermined time based on the pressure change pattern information for the damage to the process effectiveness wealth,
a result generating unit for generating analysis result information including the chamber identification information of the confirmed q-th chamber;
Sequential process pressure measurement system, characterized in that it further comprises a result processing unit for outputting the analysis result information through a specified output means or for transmitting to a specified terminal.