KR20220042534A - 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법 - Google Patents

개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법에 관한 것으로, 특히 기존에 타겟을 장착하기 위해 사용된 분할 백킹 플레이트를 재사용하여 일체형 백킹 플레이트를 제조함으로써, 백킹 플레이트 제조를 위한 시간, 노력 및 비용을 절감시킬 수 있고, 일체형 백킹 플레이트의 측부에 저단부가 형성되도록 가공함으로써, 두께가 서로 다른 타겟을 장착하더라도 평면형 타겟을 구성할 수 있고, 이로 인하여 스퍼터링 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명인 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법을 이루는 구성수단은, 적어도 두개의 기사용된 분할 백킹 플레이트를 결합하여 개조된 일체형 백킹 플레이트를 제조하는 방법에 있어서, 결합할 기사용된 분할 백킹 플레이트를 클리닝하는 클리닝 단계, 상기 클리닝한 기사용된 분할 백킹 플레이트를 맞접하여 전자빔 용접을 통해 일체로 결합하는 용접 단계, 상기 일체로 결합한 일체형 백킹 플레이트에 단차가 형성되도록 측부의 높이를 낮게하는 단차 가공 단계, 상기 단차 가공된 일체형 백킹 플레이트의 평탄도를 교정하는 평탄도 교정 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법{Method for manufacturing a modified integral backing plate}
본 발명은 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법에 관한 것으로, 특히 기존에 타겟을 장착하기 위해 사용된 분할 백킹 플레이트를 재사용하여 일체형 백킹 플레이트를 제조함으로써, 백킹 플레이트 제조를 위한 시간, 노력 및 비용을 절감시킬 수 있고, 일체형 백킹 플레이트의 측부에 저단부가 형성되도록 가공함으로써, 두께가 서로 다른 타겟을 장착하더라도 평면형 타겟을 구성할 수 있고, 이로 인하여 스퍼터링 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 스퍼터링 공정은 텔레비전 세트, 노트북 컴퓨터, 및 기타 모니터에 사용하기 위한 액정 패널, 유기전기발광(EL) 패널을 구성하는 박막, 광기록 및 반도체 분야에 사용하기 위한 배선막 등의 형성에 채용된다.
스퍼터링 공정에서, 기판과 피막 재료인 타겟 사이에서 플라즈마 방전을 일으켜 이온화된 기체를 타겟에 충돌시킴으로써 타겟으로부터 떨어진 원자가 기판 표면에 퇴적됨으로써 박막이 제조된다. 이 방법은 진공 증착 및 아크 이온 플레이팅(AIP)과는 달리 타겟과 동일한 조성의 박막을 형성할 수 있다는 이점이 있다.
한편, 타겟의 저면에는 이 타겟을 지지하고 타겟에서 발생한 열을 방출하는 백킹 플레이트가 접합되는데, 일반적으로는 타겟과 백킹 플레이트가 마주하는 부분에 금속성의 접착재를 적층하여 구현한다.
상기 백킹 플레이트는 도 1에 도시된 바와 같이, 진공 챔버(3) 내의 측벽 측에 수직 방향으로 장착 배치되어 수직 방향으로 세워진 기판(1)에 대해 스퍼터링을 수행하여 박막이 증착될 수 있도록 할 수 있다. 이 경우, 상기 백킹 플레이트는 원바디로 제작하여 사용하는 것이 아니라 상대적으로 작은 사이즈인 분할 백킹 플레이트를 수직 방향으로 결합하여 원바디 백킹 플레이트의 사이즈를 형성하여 사용한다.
사이즈가 큰 원바디 백킹 플레이트를 제작하는 것이 상대적으로 시간, 노력 및 비용이 더 많이 소요되기 때문에, 이와 같이 분할 백킹 플레이트를 제작하여 사용하는 것이 일반적이다. 이 경우, 상기 분할 백킹 플레이트에 해당 타겟이 부착되어 사용된다.
도 2는 백킹 플레이트가 진공 챔버(3)의 상부에 배치되어 하부에 배치되는 기판(1)에 대해 스퍼터링을 수행하는 스퍼터 장비를 보여주고 있다. 이 경우에는 분할 백킹 플레이트가 적용된 것이 아니라 원바디 백킹 플레이트에 해당하는 일체형 백킹 플레이트(7)가 적용되고 있다.
이 경우, 백킹 플레이트가 상부에 배치되고 이 백킹 플레이트에 타겟이 부착되기 때문에, 스퍼터링 과정에서 이물질이 기판 상으로 떨어지는 문제점이 발생할 수 있다. 특히 상기 백킹 플레이트를 분할 백킹 플레이트(5)로 구성하고 이들을 볼트 조립 등을 통해 결합하여 사용하는 경우, 조립 경계 부위에서 발생하는 이물질에 의해 문제가 발생할 수 있다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 진공 챔버(3) 상부에 타겟을 배치하는 경우에는 도 2에 도시된 바와 같이 일체형 백킹 플레이트(7)를 제작하여 적용하는 것이 일반적이다.
그러나, 원바디 일체형 백킹 플레이트를 제작하는 것은 시간, 노력 및 비용이 필요 이상 소요되는 문제점을 발생시킨다. 즉, 분할 백킹 플레이트를 결합하여 일체형 백킹 플레이트를 구성하여 사용하는 것에 비해 상대적으로 시간, 노력 및 비용이 증가하는 문제점이 발생한다.
따라서, 기존에 사용한 분할 백킹 플레이트를 재사용하되, 이물질이 발생하는 것을 방지하여 일체형 백킹 플레이트를 개조하여 사용한다면 버려지는 기사용된 분할 백킹 플레이트를 재활용할 수 있고, 이로 인하여 일체형 백킹 플레이트 제조를 위한 시간, 노력 및 비용을 절약할 수 있다.
그러나, 지금까지 기사용된 분할 백킹 플레이트를 재사용하되, 결합 부위에서 이물질이 발생되지 않은 일체형 백킹 플레이트를 제작하기 위한 기술 구성이 현재 제안되지 못하고 있고, 더 나아가 기사용된 분할 백킹 플레이트를 이용하여 제조된 일체형 백킹 플레이트에 서로 다른 두께를 가지는 타겟을 장착한 경우 평면형 타겟을 형성하기 위한 일체형 백킹 플레이트 구조에 대해 지금까지 전혀 제안되지 못하고 있다.
라서, 기사용된 분할 백킹 플레이트를 재사용하여 개조된 일체형 백킹 플레이트를 제조하기 위한 새로운 방법에 제안될 필요성이 절실한 상황이나, 대한민국 등록특허 제10-1350345호(이하, "선행기술문헌"이라 함)는 단지 백킹 플레이트와 타겟의 접착 효율을 증가시키기 위한 구조적 특징만을 제안하고 있을 뿐, 기사용된 분할 백킹 플레이트를 재사용하여 개조된 일체형 백킹 플레이트를 제조하기 위한 방법에 대해서는 전혀 시사하지 못하고 있다.
대한민국 등록특허 제10-1350345호(공고일자 : 2014년 01월 13일, 발명의 명칭 : 스퍼터 타겟 접합용 백킹 플레이트 및 이를 이용한 백킹 플레이트 조립체)
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 기존에 타겟을 장착하기 위해 사용된 분할 백킹 플레이트를 재사용하여 일체형 백킹 플레이트를 제조함으로써, 백킹 플레이트 제조를 위한 시간, 노력 및 비용을 절감시킬 수 있고, 일체형 백킹 플레이트의 측부에 저단부가 형성되도록 가공함으로써, 두께가 서로 다른 타겟을 장착하더라도 평면형 타겟을 구성할 수 있고, 이로 인하여 스퍼터링 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법을 이루는 구성수단은, 적어도 두개의 기사용된 분할 백킹 플레이트를 결합하여 개조된 일체형 백킹 플레이트를 제조하는 방법에 있어서, 결합할 기사용된 분할 백킹 플레이트를 클리닝하는 클리닝 단계, 상기 클리닝한 기사용된 분할 백킹 플레이트를 맞접하여 전자빔 용접을 통해 일체로 결합하는 용접 단계, 상기 일체로 결합한 일체형 백킹 플레이트에 단차가 형성되도록 측부의 높이를 낮게하는 단차 가공 단계, 상기 단차 가공된 일체형 백킹 플레이트의 평탄도를 교정하는 평탄도 교정 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 클리닝 단계의 이전, 상기 용접 단계 이전 및 단차 가공 단계 이전에 해당 백킹 플레이트에 대해 평탄도 교정을 수행하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 클리닝 단계는 상기 기사용된 분할 백킹 플레이트의 타겟 본딩면에 잔존하는 인듐을 제거하는 단계인 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 과제 및 해결 수단을 가지는 본 발명인 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법에 의하면, 기존에 타겟을 장착하기 위해 사용된 분할 백킹 플레이트를 재사용하여 일체형 백킹 플레이트를 제조하기 때문에, 백킹 플레이트 제조를 위한 시간, 노력 및 비용을 절감시킬 수 있도록 하는 장점이 발생된다.
또한, 본 발명에 의하면, 일체형 백킹 플레이트의 측부에 저단부가 형성되도록 가공하기 때문에, 두께가 서로 다른 타겟을 장착하더라도 평면형 타겟을 구성할 수 있고, 이로 인하여 스퍼터링 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 효과가 발생한다.
도 1은 종래의 제1 배치 구조를 가지는 스퍼터 장비의 개략 구성도이다.
도 2는 종래의 제2 배치 구조를 가지는 스퍼터 장비의 개략 구성도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따라 제조된 개조된 일체형 백킹 플레이트가 적용된 스퍼터 장비의 개략적인 구성도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법에 관한 플로챠트이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법을 구성하는 용접 단계를 수행한 후 일체형 백킹 플레이트의 용접 부의의 변화를 설명하기 위한 개략도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법을 구성하는 단차 가공 단계를 수행한 후 일체형 백킹 플레이트의 개략적인 부분 확대도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따라 제조된 개조된 일체형 백킹 플레이트에 타겟이 부착된 상태를 보여주는 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 과제, 해결수단 및 효과를 가지는 본 발명인 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법에 관한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 동작 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 동작이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따라 제조된 개조된 일체형 백킹 플레이트(30)가 적용된 스퍼터 장치를 개략적으로 보여주고 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따라 제조된 개조된 일체형 백킹 플레이트(30)는 진공 챔버(3)의 내부 상측에 배치되어 사용된다. 즉, 본 발명에 적용되는 개조된 일체형 백킹 플레이트(30)는 진공 챔버(3)의 내부 측벽에 인접하여 배치되어 사용되는 것이 아니라, 상측에 배치되어 타겟을 장착되도록 한 후, 하측에 배치되는 기판(1)에 대해 스퍼터링이 수행될 수 있도록 한다.
본 발명에 따라 제조된 개조된 일체형 백킹 플레이트(30)는 새롭게 만들어지는 분할 백킹 플레이트가 아니라, 도 1에 도시된 바와 같이, 수직하게 배치되어 사용된 분할 백킹 플레이트, 즉 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)를 결합하여 사용한다.
구체적으로, 본 발명에 따라 제조된 개조된 일체형 백킹 플레이트(30)는 적어도 두개의 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)를 결합하여 형성된다. 따라서, 본 발명에 따른 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법은 적어도 두개의 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)를 결합하여 개조된 일체형 백킹 플레이트(30)를 제조하는 방법에 해당한다.
도 3에서 상기 개조된 일체형 백킹 플레이트(30)는 두 개의 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)를 결합하여 제조된 것을 예시하고 있지만, 세 개 이상의 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)를 결합하여 개조된 일체형 백킹 플레이트(30)를 제조하여 사용할 수도 있다.
한편, 도 3에서는 두 개의 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)가 결합하는 부위, 구체적으로 용접 부위(31)가 명시적으로 표시되고 있지만, 이는 두 개의 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)가 결합하여 개조된 일체형 백킹 플레이트(30)가 형성된다는 것을 설명하기 위한 것이고, 실제로는 도 5에 도시된 바와 같이, 용접에 의해 결합하고 오비탈 처리를 수행하면 용접 부위(31)는 거의 눈에 띄지 않게 된다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법에 관한 플로챠트이다. 이하에서는 도 4를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법에 대해 구체적으로 설명한다.
먼저, 결합할 기사용된 분할 백킹 플레이트를 클리닝하는 클리닝 단계를 수행한다(s10). 구체적으로, 두 개의 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)를 결합하여 개조된 일체형 백킹 플레이트(30)를 제조하고자 하는 경우에는, 각각의 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)에 대해 클리닝 단계를 수행하는 것이 바람직하다.
상기 클리닝 단계는 각각의 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)에 묻어 있는 오물 등을 제거하는 세정 공정 등을 포함할 수 있지만, 반드시 상기 각각의 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)의 타겟 본딩면에 잔존하는 인듐을 제거하는 과정을 포함하는 것이 바람직하다. 즉, 상기 클리닝 단계는 상기 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)의 타겟 본딩면에 잔존하는 인듐을 제거하는 단계인 것이 바람직하다.
본 발명은 기존에 사용된 분할 백킹 플레이트를 재활용하는 것을 목적으로 하기 때문에, 상기 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)에는 기존에 사용될 당시에 타겟을 부착하기 위한 접합물질이 남아 있다. 구체적으로, 본 발명에 적용된 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)는 인듐을 이용하여 타겟을 부착한 것에 해당한다. 따라서, 본 발명에 적용되는 상기 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)의 타겟 본딩면에는 인듐이 남아 있을 것이다. 따라서, 반드시 결합할 기사용된 분할 백킹 플레이트를 클리닝하는 단계, 이중에서도 구체적으로 상기 기사용된 분할 백킹 플레이트의 타겟 본딩면에 잔존하는 인듐을 제거하는 단계를 수행하는 것이 바람직하다.
상기 클리닝 단계가 완료되면, 상기 클리닝한 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)를 맞접하여 전자빔 용접을 통해 일체로 결합하는 용접 단계를 수행한다(s30). 본 발명에 따른 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)의 결합은 전자빔 용접을 이용하는 것이 바람직하다.
본 발명에 적용되는 전자빔 용접은 고진공(高眞空) 중에서 음극으로부터 방출된 전자를 고전압으로 가속, 상기 용접 부위(31)에 충돌시켜 그 에너지로 용접하는 방법이다. 용접이 어긋나는 등 변형되는 경우가 극히 적으며, 정밀용접이 가능하며, 두꺼운 판의 고속용접도 가능하다. 즉, 본 발명에 따른 전자빔 용접은 다른 용접법에 비하여 전자빔용접의 장점으로는 용접입열이 작기 때문에 용접이 어긋나는 등 변형되는 경우가 극히 적으며, 또 용접부의 폭이 좁기 때문에 정밀용접이 가능한 점, 용해용접을 깊게 할 수 있기 때문에 두꺼운 판의 고속용접도 가능한 점 등이 있다.
특히, 본 발명에 적용되는 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)는 티타늄 재질의 분할 백킹 플레이트인 것이 바람직하다. 따라서, 적어도 두 개의 티타늄 재질의 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)의 용접 부위(31)에 대해 정밀 용접이 수행될 수 있도록 전자빔 용접을 채택 적용한다.
본 발명에 따라 전자빔 용접을 통해 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)를 정밀하게 결합하기 위해서는 상기 결합할 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)를 견고하고 안정적으로 고정할 필요가 있다. 이를 위하여, 본 발명에 따라 수행되는 용접 단계는 용접 지그(미도시)에 상기 결합할 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)를 고정하되, 용접 부위(31)에 맞접되도록 고정되도록 한다.
이와 같이, 용접 지그에 상기 결합할 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)들을 맞접되도록 고정 결합한 상태로 상기 용접 부위(31)에 대해 전자빔 용접을 수행하여 일체로 결합한 일체형 백킹 플레이트가 형성되도록 한다. 이와 같이 용접 부위(31)에 대해 전자빔 용접을 수행한 후, 상기 용접 부위(31)에 대해 오비탈 처리를 수행하면, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 전자빔을 통해 용접된 용접 부위(31)가 거의 눈에 띄지 않을 정도로 매끈해진다.
결과적으로, 두 개의 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)의 결합 부위에서 별도의 이물질이 발생되는 것을 방지할 수 있고, 이로 인하여 진공 챔버(3)의 내부 상측에 배치하더라도 스퍼터링 과정에서 용접 부위(31)에서 별도의 이물질이 발생하여 기판(1)에 떨어지는 것을 방지할 수 있다.
상기와 같이 용접 단계가 완료되면, 상기 일체로 결합한 일체형 백킹 플레이트에 단차가 형성되도록 측부의 높이를 낮게하는 단차 가공 단계를 수행한다(s50). 구체적으로, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 일체형 백킹 플레이트의 측부의 높이가 낮아지도록, 좀 더 구체적으로 측부의 두께가 얇아지도록 가공하여 단차가 형성되도록 한다.
일반적으로 백킹 플레이트에 타겟을 부착한 다음 스퍼터링을 수행하면, 타겟의 가운데 부분에 비하여 측부의 타겟이 더 빠르게 침식된다. 따라서, 일반적으로 백킹 플레이트 상에 타겟을 장착할 때, 서로 다른 두께를 가지는 타겟을 부착하여 사용한다. 구체적으로, 상기 백킹 플레이트의 가운데 부분에 비하여 측부에 부착되는 타겟의 두께가 더 두껍게 되도록 타겟을 구성하여 부착 사용한다. 결과적으로, 상기 백킹 플레이트에 부착되는 타겟은 평면형 타겟을 형성하지 못하고 단차를 가지는 비평면형 타겟을 형성하게 된다.
이러한, 비평면형 타겟 구조는 스퍼터링 효율을 감소시키는 문제가 발생한다. 따라서, 본 발명에서는 평면형 타겟 구조가 적용될 수 있도록 단차 가공 단계를 수행하여 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 일체형 백킹 플레이트의 측부의 높이가 더 낮아지도록, 즉 측부의 두께가 상대적으로 더 얇아지도록 가공한다.
상기 단차 가공 단계를 수행하면, 결국 상기 일체형 백킹 플레이트(30)는 상대적으로 높이가 낮은(두께가 얇은) 저단부(33)와 상대적으로 높이가 높은(두께가 두꺼운) 고단부(35)를 구비한다. 상기 용접 단계를 거친 후 상기 일체형 백킹 플레이트의 측부에 대해 MCT 가공을 통해 삭제 처리하면 상기와 같이 저단부(33)가 측부에 형성된다.
상기 저단부(33)와 상기 고단부(35)의 높이 차이, 즉 단차 높이(a)는 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 고단부(35)에 부착되는 제1 타겟(51)과 상기 저단부(33)에 부착되는 제2 타겟(53)의 두께 차이와 동일한 것이 바람직하다. 그러면, 상기 개조된 일체형 백킹 플레이트(30)에 부착되는 타겟(50)은 평면형 구조를 가질 수 있고, 이로 인하여 스퍼터링 효율을 향상시킬 수 있다.
상기 단차 가공 단계는 상기 용접 단계 이후에 MCT 가공을 통해 수행된다. 따라서 상기 개조된 일체형 백킹 플레이트(30)는 단차 가공 단계에서 역시 견고하고 안정적으로 고정될 필요가 있다. 이를 위하여, 상기 개조된 일체형 백킹 플레이트(30)는 상기 용접 지그 상에서 그대로 상기 단차 가공 단계를 수행받는 것이 바람직하다.
구체적으로, 상기 두 개의 기사용된 분할 백킹 플레이트(10)를 상기 용접 지그에 고정한 상태에서 전자빔 용접을 수행하여 일체형 백킹 플레이트(30)를 형성한 후, 이후 상기 일체형 백킹 플레이트(30)를 용접 지그에서 분리하지 않고 그대로 상기 단차 가공 단계를 수행한다. 결과적으로, 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조를 위한 시간, 노력 및 비용을 감소시킬 수 있다.
상기 단차 가공 단계가 완료되면, 상기 용접 지그에서 상기 개조된 일체형 백킹 플레이트(30)를 분리한 후 평탄도 교정 단계(s70)를 수행한다. 즉, 상기 단차 가공 단계(s50)가 완료되면, 상기 용접 지그로부터 이탈시킨 상기 단차 가공된 일체형 백킹 플레이트(30)의 평탄도를 교정하는 평탄도 교정 단계를 수행한다(s70).
상기 평탄도 교정 단계는 다양한 평탄도 교정기와 관련 측정 장비를 통해 진행될 수 있다. 본 발명에 따른 평탄도 교정 단계(s70)는 평탄도가 0.5mm 이하가 되도록 평탄도를 교정하는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명에 따른 평탄도 교정 단계는 상기 단계들, 즉 클리닝 단계(s10), 용접 단계(s30), 단차 가공 단계(s50) 등을 정밀하게 수행하고 지속적으로 평탄도를 유지하기 위하여, 각 단계 전후에 걸쳐 수행하는 것이 바람직하다. 구체적으로, 상기 클리닝 단계(s10)의 이전, 상기 용접 단계(s30) 이전 및 단차 가공 단계(s50) 이전에 해당 백킹 플레이트에 대해 평탄도 교정을 수행하는 것이 바람직하다.
좀 더 구체적으로, 상기 클리닝 단계(s10) 이전에 평탄도 교정 단계(s5)를 수행할 수 있다. 상기 평탄도 교정 단계(s5)는 개조된 일체형 백킹 플레이트(30)를 형성하기 위한 기사용된 분할 백킹 플레이트에 해당하는지 여부를 판단하거나 과도하게 평탄도가 나빠지는 것을 사전에 예방하는 차원에서 수행될 수 있다. 즉, 상기 평탄도 교정 단계(s5)를 거쳐 평탄도가 교정이 잘 안되거나 평탄도가 허용 범위 이하로 교정되지 않으면 개조된 일체형 백킹 플레이트(30)를 형성하기 위한 기사용된 분할 백킹 플레이로 적용할 수 없다. 상기 평탄도 교정 단계(s5)에서 교정하는 평탄도 역시 0.5mm 이하가 되도록 평탄도를 교정하는 것이 바람직하다.
상기 용접 단계(s30) 이전에 수행되는 평탄도 교정 단계(s15)는 용접 대상인 기사용된 분할 백킹 플레이트의 전자빔 용접이 정상적으로 이뤄지고 과도하게 평탄도를 벗어나는 것을 예방하는 차원에서 수행되는 것이 바람직하다. 상기 평탄도 교정 단계(s15)에서 교정하는 평탄도 역시 0.5mm 이하가 되도록 평탄도를 교정하는 것이 바람직하다.
상기 단차 가공 단계(s50) 이전에 수행되는 평탄도 교정 단계(s35)는 전자빔 용접 과정에서 휨 발생 등 평탄도가 벗어날 가능성이 크기 때문에, 용접 완료된 일체형 백킹 플레이트(30)에 대해 용접 과정을 통해 발생된 휨 등을 교정하고, 과도하게 평탄도를 벗어나는 것을 사전에 예방하는 차원에서 수행되는 것이 바람직하다. 상기 평탄도 교정 단계(s35)에서 교정하는 평탄도 역시 0.5mm 이하가 되도록 평탄도를 교정하는 것이 바람직하다.
상술한 바와 같이, 최종 평탄도 교정 단계(s70)가 완료되면, 누설 테스크(Leak Test) 등의 필요한 검사 및 테스트를 수행한 후 양호 또는 정상의 개조된 일체형 백킹 플레이트만을 선별하여 포장하는 단계를 진행할 수 있다.
이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
a : 단차 높이 1 : 기판
3 : 진공 챔버 5 : 분할 백킹 플레이트
7 : 일체형 백킹 플레이트
10 : 기사용된 분할 백킹 플레이트
30 : 개조된 일체형 백킹 플레이트
31 : 용접 부위 33 : 저단부
35 : 고단부
50 : 타겟 51 : 제1 타켓
53 : 제2 타겟

Claims (3)

  1. 적어도 두개의 기사용된 분할 백킹 플레이트를 결합하여 개조된 일체형 백킹 플레이트를 제조하는 방법에 있어서,
    결합할 기사용된 분할 백킹 플레이트를 클리닝하는 클리닝 단계;
    상기 클리닝한 기사용된 분할 백킹 플레이트를 맞접하여 전자빔 용접을 통해 일체로 결합하는 용접 단계;
    상기 일체로 결합한 일체형 백킹 플레이트에 단차가 형성되도록 측부의 높이를 낮게하는 단차 가공 단계;
    상기 단차 가공된 일체형 백킹 플레이트의 평탄도를 교정하는 평탄도 교정 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 클리닝 단계의 이전, 상기 용접 단계 이전 및 단차 가공 단계 이전에 해당 백킹 플레이트에 대해 평탄도 교정을 수행하는 것을 특징으로 하는 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 클리닝 단계는 상기 기사용된 분할 백킹 플레이트의 타겟 본딩면에 잔존하는 인듐을 제거하는 단계인 것을 특징으로 하는 개조된 일체형 백킹 플레이트 제조 방법.
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