KR20220040764A - Hoe 특성 평가 장치 - Google Patents

Hoe 특성 평가 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20220040764A
KR20220040764A KR1020200123880A KR20200123880A KR20220040764A KR 20220040764 A KR20220040764 A KR 20220040764A KR 1020200123880 A KR1020200123880 A KR 1020200123880A KR 20200123880 A KR20200123880 A KR 20200123880A KR 20220040764 A KR20220040764 A KR 20220040764A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
hoe
lens
angle
laser light
incident
Prior art date
Application number
KR1020200123880A
Other languages
English (en)
Inventor
송민수
김재진
정보라
황혜원
유연재
Original Assignee
주식회사 엘지화학
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 엘지화학 filed Critical 주식회사 엘지화학
Priority to KR1020200123880A priority Critical patent/KR20220040764A/ko
Publication of KR20220040764A publication Critical patent/KR20220040764A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/02—Details
    • G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
    • G01J1/0407—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02—Testing optical properties
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
    • G02B17/08—Catadioptric systems
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00—Simple or compound lenses
    • G02B3/0087—Simple or compound lenses with index gradient
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00—Simple or compound lenses
    • G02B3/02—Simple or compound lenses with non-spherical faces
    • G02B3/06—Simple or compound lenses with non-spherical faces with cylindrical or toric faces
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/32—Holograms used as optical elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00—Simple or compound lenses
    • G02B2003/0093—Simple or compound lenses characterised by the shape

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Holo Graphy (AREA)

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 HOE 특성 평가 장치는, 상면에 HOE(홀로그램 광학 소자)가 안착되고 모든 외면이 광학 표면(optical surface)으로 이루어진 렌즈와, 상기 렌즈의 하부를 지지하며, 수평 방향으로 회전하여 상기 렌즈에 안착된 HOE의 수평 방향 각도를 조절하는 제1 회전 스테이지와, 상기 렌즈 및 제1 회전 스테이지를 지지하며, 수직 방향으로 회전하여 상기 렌즈에 안착된 HOE의 수직 방향 각도를 조절하는 제2 회전 스테이지와, 상기 렌즈를 통해 상기 HOE의 하면을 향해 레이저 광을 입사시키는 레이저 광원, 및 상기 HOE로부터 투과되거나 회절되는 광의 세기를 측정하는 파워미터(power meter)를 포함한다.

Description

HOE 특성 평가 장치{DEVICE FOR MEASURING HOLOGRAPHIC OPTICAL ELEMENT CHARACTERISTICS}
본 발명은 HOE(홀로그래픽 광학 소자; Holographic Optical Element) 특성 평가 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 HOE에 입사되는 레이저를 이용하여 HOE의 특성에 따라 투과빔의 강도 분포가 달라지는 것을 이용하여, HOE의 회절 효율 및 회절각 특성을 측정할 수 있는 HOE 특성 평가 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 자동차의 HUD(Head Up Display)는 차량의 현재 속도, 연료 잔량, 내비게이션 길 안내 정보 등을 운전자 바로 앞 유리창 부분에 그래픽 이미지로 투영해 주어 운전자가 불필요하게 시선을 다른 곳으로 옮기는 것을 최소화시켜준다.
이러한 HUD에는 홀로그래픽 광학 소자(HOE; Holographic Optical Element)가 적용된다. HOE는 높은 회절 효율과 협대역 주파수 특성, 그리고 여러 가지 기능을 하나의 소자로 구현할 수 있는 특성을 갖고 있어 비행기와 자동차의 정보 표시를 위한 HUD, 증강현실용 HMD(Head Mounted Display), 2D/3D 디스플레이용 스크린 등에 널리 활용되고 있다.
그런데, 이러한 HOE를 이용하여 홀로그램을 기록하기 위해서는 정형화된 매질 특성이 필요하며, 홀로그램 기록시 HOE의 광학적 특성의 분석이 필요하다. 그러나, 항상 수동으로 광학 컴포넌트를 이동하는 경우가 대부분이므로 HOE 특성 측정시 발생할 수 있는 오차를 제어하기 위한 작업이 필요하다.
따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, HOE의 수평/수직 각도를 변경하여 HOE에 입사되는 레이저광의 각도를 조절함으로써, HOE로부터 투과되거나 회절되는 광의 세기로부터 HOE의 광 특성을 측정할 수 있는 HOE 특성 평가 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 HOE 특성 평가 장치는, 상면에 HOE(홀로그램 광학 소자)가 안착되고 모든 외면이 광학 표면(optical surface)으로 이루어진 렌즈와, 상기 렌즈의 하부를 지지하며, 수평 방향으로 회전하여 상기 렌즈에 안착된 HOE의 수평 방향 각도를 조절하는 제1 회전 스테이지와, 상기 렌즈 및 제1 회전 스테이지를 지지하며, 수직 방향으로 회전하여 상기 렌즈에 안착된 HOE의 수직 방향 각도를 조절하는 제2 회전 스테이지와, 상기 렌즈를 통해 상기 HOE의 하면을 향해 레이저 광을 입사시키는 레이저 광원, 및 상기 HOE로부터 투과되거나 회절되는 광의 세기를 측정하는 파워미터(power meter)를 포함한다.
상기 렌즈는 원기둥 형상으로 이루어질 수 있다.
상기 렌즈는 1.48 내지 1.54의 굴절율을 가지도록 이루어질 수 있다.
상기 레이저 광의 파장은 455 nm 내지 465 nm, 530 nm 내지 535 nm, 또는 630 nm 내지 665 nm 일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 HOE 특성 평가 장치는, 상기 HOE의 하면으로 입사되는 레이저 광의 각도를 조절하기 위해 상기 레이저 광을 상기 렌즈를 향해 반사시키는 미러를 더 포함할 수 있다.
상기 렌즈는 엑시콘(axicon) 형상으로 이루어질 수 있다.
상기 렌즈는 상면과 경사면 사이의 각도가 α 인 형태로 이루어질 수 있으며, 상기 레이저 광은 상기 경사면과 α의 각도로 상기 렌즈 내부로 입사될 수 있으며, 상기 α는 하기 수학식1에 의해 설정될 수 있다.
tan α = -n*cosθ1 / (1-n*sin θ1) ……………………… [수학식 1]
이 때, n은 렌즈의 굴절률이고, θ1은 렌즈의 굴절률 n일 때의 HOE로 입사되는 광 각도이다.
상기 렌즈는 상면과 경사면의 각도가 β인 형태로 이루어질 수 있으며, 상기 레이저 광은 상기 경사면과 90°인 각도로 상기 렌즈 내부로 입사될 수 있으며, 상기 β는 하기 수학식2에 의해 설정될 수 있다.
β= π/2 - θ2 ………………………………………………… [수학식2]
이 때, θ2은 렌즈의 굴절률 n일 때의 HOE로 입사되는 광 각도이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 레이저 광을 이용하여, 입사되는 레이저 광이 내부 전반사되는 특수한 HOE의 회절 효율과 회절각을 평가하여, HOE의 양품 여부를 판단하고, HOE 특성 측정시 발생할 수 있는 오차를 제거할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 HOE 특성 평가 장치의 구조를 간략히 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 HOE 특성 평가 장치에 이용되는 엑시콘(axicon) 형상의 렌즈의 일 예를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 HOE 특성 평가 장치에 이용되는 엑시콘 형상의 렌즈의 다른 예를 개략적으로 나타낸 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 일 실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예들에서는 일 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
도면들은 개략적이고 축적에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 감소되어 도시되었으며, 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고, 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다. 어느 부분이 다른 부분의 "위에" 또는 "상에" 있다고 언급하는 경우, 이는 바로 다른 부분의 위에 있을 수 있거나 그 사이에 다른 부분이 수반될 수도 있다.
본 발명의 실시예는 본 발명의 한 실시예를 구체적으로 나타낸다. 그 결과, 도해의 다양한 변형이 예상된다. 따라서 실시예는 도시한 영역의 특정 형태에 국한되지 않으며, 예를 들면 제조에 의한 형태의 변형도 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조로, 본 발명의 실시예에 따른 HOE 특성 평가 장치 구조에 관하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 HOE 특성 평가 장치의 구조를 간략히 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 HOE 특성 평가 장치(100)는 상면에 HOE(홀로그램 광학 소자)(5)가 안착되는 렌즈(10)와, 렌즈(10)의 하부를 지지하는 제1 회전 스테이지(20)와, 렌즈(10) 및 제1 회전 스테이지(20)를 지지하는 제2 회전 스테이지(30)와, 레이저 광원(40), 및 파워미터(power meter)(52, 54)를 포함한다.
HOE(5)는 각각 소정의 두께를 갖는 홀로그램 광학층과 기재층으로 구성될 수 있다. 도 1에서, 홀로그램 광학층은 기재층의 아래층에 형성된 것일 수 있다. 또한, 홀로그램 광학층은 약 4 μm 내지 약 30 μm의 두께를 가질 수 있으며, 기재층은 약 30 μm 내지 약 100 μm 의 두께를 가질 수 있다. HOE(5)에 입사된 광은 홀로그램 광학층으로 입사되고, 홀로그램 광학층에서 일부 회절되고 일부는 기재층을 향해 투과된다. 기재층에 도달한 광은 전반사되어 다시 HOE(5) 하측으로 향하게 된다.
렌즈(10)는 원기둥 형상으로 이루어질 수 있으며, 모든 외면이 광학 표면(optical surface)으로 이루어질 수 있다. 즉, 외부로부터 입사된 광은 렌즈(10)의 굴절률에 따라 적절한 각도로 렌즈(10) 상면에 안착된 HOE(5)의 하면을 향해 입사되고, HOE(5)의 홀로그램 광학층에서 광의 일부는 회절되고, 나머지 일부는 기재층에서 전반사되고 투과되어 렌즈(10)의 외부로 출사된다. 렌즈(10)의 외부로 출사된 회절광(c)과 투과광(b)은 각각 렌즈(10) 외부에 배치된 파워미터(52, 54)에 의해 각각 검출될 수 있다.
제1 회전 스테이지(20)는 수평 방향으로 회전하여 수평 방향 각도(φ)를 조절한다. 따라서, 렌즈(10) 상면에 안착된 HOE(5)의 수평 방향 각도(φ)가 조절된다.
제2 회전 스테이지(30)는 렌즈(10) 및 제1 회전 스테이지(20)를 함께 지지하며, 수직 방향으로 회전함에 따라 렌즈(10) 상면에 안착된 HOE(5)의 수직 방향 각도(θ)를 조절한다.
제1 회전 스테이지(20) 및 제2 회전 스테이지(30)는 각각 지그(미도시)에 의해 지지되고, 지그를 회전시킴에 따라 제1 회전 스테이지(20) 및 제2 회전 스테이지(30)가 각각 회전될 수 있다.
레이저 광원(40)은 렌즈(10) 외부에 배치되며, 렌즈(10)를 향해 레이저 광을 입사시키고, 렌즈(10)에서 굴절된 레이저 광은 HOE(5)의 하면을 향해 입사된다. 렌즈(10)는 약 1.48 내지 약 1.54의 굴절율을 가지도록 설계될 수 있다. 또한, 레이저 광원(40)으로부터 출사되는 레이저 광은 약 455 nm 내지 약465 nm의 파장을 가지는 청색광, 약 530 nm 내지 약 535 nm의 파장을 가지는 녹색광, 또는 약 630 nm 내지 약 665 nm의 파장을 가지는 적생광일 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 HOE 특성 평가 장치(100)는 렌즈(10) 외부에, 렌즈(10)와 레이저 광원(40) 사이에 배치되는 미러(mirror)(60)를 더 포함할 수 있다. 레이저 광원(40)으로부터 출사된 레이저 광이 미러(60)로 입사되고 레이저 광은 미리 각도가 조절된 미러(60)에서 반사되어 렌즈(10)를 향해 입사된다. 렌즈(10)에 입사된 레이저 광(a)은 HOE(5)의 하면을 향해 입사된다.
파워미터(power meter)(52, 54)는 렌즈(10)의 외부에 배치되고, HOE(5)로부터 투과 및 회절되는 레이저 광(b, c)을 검출하고 그 세기를 각각 측정할 수 있다.
우선, HOE(5) 내부에서 전반사되어 렌즈(10)를 통해 굴절된 투과광(b)은 파워미터(54)에 입사된다. 파워미터(54)에 입사된 투과광(b)의 세기는 렌즈(10)가 모든 모든 외면이 광학 표면으로 이루어져 있으므로, 입사광(a)의 세기와 같다. 또한, 파워미터(54)에 입사된 투과광(b)의 반사각은 제1 회전 스테이지(20)와 제2 회전 스테이지(30)를 통해 조절된 각도(φ, θ)와 동일하다.
한편, HOE(5)에서 회절된 회절광(c)은 파워미터(52)에 입사된다. HOE(5)에서 회절되어 표시되는 홀로그램 이미지는 간섭 무늬를 형성할 때 사용된 기준광을 홀로그램 기록 재료에 입사시키는 것에 의해 재생할 수 있다. 이 재생 과정에서 어느 정도의 광이 재생 이미지에 기여하는지를 나타내는 척도가 회절 효율(diffraction efficiency)이다. 회절 효율은 홀로그램 기록 재료에 형성된 홀로그램 이미지의 구현 정도를 정량적으로 보여주는 수치이기 때문에 그 값이 높을수록 보다 선명하고 완전한 홀로그램 이미지를 재생할 수 있게 된다.
이러한 회절효율은 홀로그램 기록 재료에 형성된 간섭 무늬에 기준광(reference beam)을 조사하여, 홀로그램 기록 재료에 입사한 광과 회절된 광의 세기를 각 디텍터로서 측정하여 계산한다.
본 발명에서, 회절 효율의 계산은 아래의 두 가지 방법으로 계산될 수 있다.
η = I회 / Ii (절대 회절 효율)
η = I회 / (I회 + I투) (상대 회절 효율)
각 식에서, Ii 는 입사광의 세기(W)이며, I회 는 회절광의 세기(W)이고, I투 는 투과광의 세기(W)이다. 이에 의하면, 간섭 무늬의 회절 효율은 기본적으로 입사광과 투과광, 회절광 각각의 세기 비율에 의존함을 알 수 있다. 즉, 본 발명에서, HOE(5)의 회절 효율은 레이저 광원(40)으로부터 렌즈(10)를 향해 입사되는 입사광(a)의 세기(Ii)와, 파워미터(52)에 의해 측정되는 HOE(5)로부터 회절된 회절광(c)의 세기(I회) 에 의해 절대 회절 효율을 측정할 수 있고, HOE(5)로부터 회절된 회절광(c)의 세기(I회)와 투과된 투과광(b)의 세기(I투)로부터 상대 회절 효율을 측정할 수 있다.
또한, HOE(5)의 회절각은 평가를 위해 미리 설정된 제1 회전 스테이지(20)의 수평 방향 각도(φ)와 제2 회전 스테이지(30)의 수직 방향 각도(θ)로서 측정될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 HOE 특성 평가 장치에 이용되는 엑시콘(axicon) 형상의 렌즈의 일 예를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 렌즈(12)는 원기둥 형상 대신, 엑시콘(axicon) 형상으로 이루어질 수 있다. 즉, 렌즈(12)는 상부는 평면 형태이고 하부는 원뿔 형태로 이루어질 수 있다.
이 때, 렌즈(12)는 상면과 경사면 사이의 각도가 α 인 형태로 이루어질 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 레이저 광원(40)으로부터 레이저 광(a')이 렌즈(12)의 경사면과 α의 각도로 렌즈(12) 내부로 입사될 수 있다.
그리고, α는 하기 수학식1에 의해 설정될 수 있다.
tan α = -n*cosθ1 / (1-n*sin θ1) ……………………… [수학식 1]
이 때, n은 렌즈의 굴절률이고, θ1은 렌즈(12)의 굴절률 n일 때의 HOE(5)로 입사되는 레이저 광의 각도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 HOE 특성 평가 장치에 이용되는 엑시콘 형상의 렌즈의 다른 예를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 렌즈(14)는 상면과 경사면의 각도가 β인 형태로 이루어질 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 레이저 광원으로부터 레이저 광(a")이 렌즈(14)의 경사면과 90°인 각도로 렌즈 내부로 입사될 수 있다.
그리고, β는 하기 수학식2에 의해 설정될 수 있다.
β= π/2 - θ2 ……………………………………………… [수학식 2]
이 때, θ2은 렌즈(14)의 굴절률 n일 때의 HOE(5)로 입사되는 광 각도이다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 렌즈(12, 14)를 엑시콘 형태로 구성하고, 렌즈 상면에 HOE를 안착시키고, 렌즈(12, 14)에 레이저 광을 입사시키는 각도를 각각 α, β로 설정함으로써, 회절각의 측정에 편의성이 향상될 수 있다.
즉, 도 2에 도시된 바와 같이, HOE(5)에 광(a')이 입사되는 입사각 중 θ 성분은 렌즈(12)의 굴절률 n일 때의 입사각 θ1으로 설계되고, 렌즈(12)의 굴절률이 n이면, 도 2의 경우, 입사광/투과광/회절광(a', b', c')이 이루는 평면이 수평면에 평행하게 된다. 따라서, 이 경우, HOE(5)로의 입사/투과/회절 각도는 θ1이 된다.
또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 입사광(a")이 렌즈(14)의 경사면과 90°인 각도로 렌즈(14)에 입사되면, 입사광(a")은 HOE(5)로 직진되며 입사광/투과광/회절광(a", b", c")의 각도는 θ2로 모두 동일하게 된다.
이와 같이, HOE에 입사되는 레이저를 이용하여, 레이저 광을 이용하여, 입사되는 레이저 광이 내부 전반사되는 특수한 HOE의 회절 효율과 회절각을 평가할 수 있어, HOE의 양품 여부를 판단하고, HOE 특성 측정시 발생할 수 있는 오차를 제거할 수 있다.
이상으로 본 발명에 관한 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 실시예로부터 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의한 용이하게 변경되어 균등하다고 인정되는 범위의 모든 변경을 포함한다.
100: HOE 특성 평가 장치
5: HOE(홀로그램 광학 소자)
10, 12, 14: 렌즈
20: 제1 회전 스테이지
30: 제2 회전 스테이지
40: 레이저 광원
52, 54: 파워미터(power meter)
60: 미러(mirror)

Claims (8)

  1. 상면에 HOE(홀로그램 광학 소자)가 안착되고 모든 외면이 광학 표면(optical surface)으로 이루어진 렌즈;
    상기 렌즈의 하부를 지지하며, 수평 방향으로 회전하여 상기 렌즈에 안착된 HOE의 수평 방향 각도를 조절하는 제1 회전 스테이지;
    상기 렌즈 및 제1 회전 스테이지를 지지하며, 수직 방향으로 회전하여 상기 렌즈에 안착된 HOE의 수직 방향 각도를 조절하는 제2 회전 스테이지;
    상기 렌즈를 통해 상기 HOE의 하면을 향해 레이저 광을 입사시키는 레이저 광원; 및
    상기 HOE로부터 투과되거나 회절되는 광의 세기를 측정하는 파워미터(power meter)를 포함하는 HOE 특성 평가 장치.
  2. 제 1 항에서,
    상기 렌즈는 원기둥 형상으로 이루어진 HOE 특성 평가 장치.
  3. 제 1 항에서,
    상기 렌즈는 1.48 내지 1.54의 굴절율을 가지도록 이루어진 HOE 특성 평가 장치.
  4. 제 1 항에서,
    상기 레이저 광의 파장은 455 nm 내지 465 nm, 530 nm 내지 535 nm, 또는630 nm 내지 665 nm 인 HOE 특성 평가 장치.
  5. 제 1 항에서,
    상기 HOE의 하면으로 입사되는 레이저 광의 각도를 조절하기 위해 상기 레이저 광을 상기 렌즈를 향해 반사시키는 미러를 더 포함하는 HOE 특성 평가 장치.
  6. 제 1 항에서,
    상기 렌즈는 엑시콘(axicon) 형상으로 이루어진 HOE 특성 평가 장치.
  7. 제 6 항에서,
    상기 렌즈는 상면과 경사면 사이의 각도가 α 인 형태로 이루어지며,
    상기 레이저 광은 상기 경사면과 α의 각도로 상기 렌즈 내부로 입사되며,
    상기 α는 하기 수학식1에 의해 설정되는 HOE 특성 평가 장치.
    tan α = -n*cosθ1 / (1-n*sin θ1) ……………………… [수학식 1]
    (이 때, n은 렌즈의 굴절률이고, θ1은 렌즈의 굴절률 n일 때의 HOE로 입사되는 광 각도이다.)
  8. 제 6 항에서,
    상기 렌즈는 상면과 경사면의 각도가 β인 형태로 이루어지며,
    상기 레이저 광은 상기 경사면과 90°인 각도로 상기 렌즈 내부로 입사되며,
    상기 β는 하기 수학식2에 의해 설정되는 HOE 특성 평가 장치.
    β= π/2 - θ2 ……………………………………………… [수학식 2]
    (이 때, θ2은 렌즈의 굴절률 n일 때의 HOE로 입사되는 광 각도이다.)
KR1020200123880A 2020-09-24 2020-09-24 Hoe 특성 평가 장치 KR20220040764A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200123880A KR20220040764A (ko) 2020-09-24 2020-09-24 Hoe 특성 평가 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200123880A KR20220040764A (ko) 2020-09-24 2020-09-24 Hoe 특성 평가 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20220040764A true KR20220040764A (ko) 2022-03-31

Family

ID=80935147

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200123880A KR20220040764A (ko) 2020-09-24 2020-09-24 Hoe 특성 평가 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20220040764A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6809829B1 (en) Method and apparatus for evaluating aberrations of optical element and method and apparatus for adjusting optical unit and lens
JP2515090B2 (ja) パタ―ン化されたウェハの厚さ測定用のコフォ―カル光学系
JP2014215300A (ja) 物体の３次元構造を検出する装置
JP3287517B2 (ja) 干渉縞による測定方法および装置
US5309214A (en) Method for measuring distributed dispersion of gradient-index optical elements and optical system to be used for carrying out the method
KR20050044901A (ko) 그레이징 입사 간섭계용 줄무늬 패턴 판별기
US5257093A (en) Apparatus for measuring nanometric distances employing frustrated total internal reflection
TWI649535B (zh) Optical element characteristic measuring device
US7379172B2 (en) Method and apparatus for inspection of optical component
KR20220040764A (ko) Hoe 특성 평가 장치
EP0128183B1 (en) Inspection apparatus and method
US4693604A (en) Interference method and interferometer for testing the surface precision of a parabolic mirror
KR100453710B1 (ko) 표면 측정장치 및 그 측정방법
JP2960905B2 (ja) 洩れ内部全反射に基づいて磁気ヘッドの透明媒体に対する浮動高さ及び方位を測定する装置
JP2007078605A (ja) 界面の位置測定方法及び位置測定装置
JPH04310836A (ja) 屈折率分布測定方法
JP3617916B2 (ja) シアリング干渉計
TW202122740A (zh) 用於波前測量之共同路徑模式光纖尖端繞射干涉儀
WO2021039900A1 (ja) 試料測定装置および試料測定方法
KR100484283B1 (ko) 층밀리기 간섭을 이용한 광부품 검사 장치
JP2666495B2 (ja) 屈折率分布測定方法及び屈折率分布測定装置
JP3164127B2 (ja) ホログラム干渉計
JP2000097657A (ja) 干渉計
JP3155569B2 (ja) 分散分布測定方法
Tadrous Use of a refractive index–coupled diffuser to both generate and measure high‐numerical aperture illumination for light microscopy

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination