KR20220037970A - Self-powered tactile sensor based on the impedance matching of single-electrode triboelectric nanogenerator - Google Patents

Self-powered tactile sensor based on the impedance matching of single-electrode triboelectric nanogenerator Download PDF

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KR20220037970A
KR20220037970A KR1020210121507A KR20210121507A KR20220037970A KR 20220037970 A KR20220037970 A KR 20220037970A KR 1020210121507 A KR1020210121507 A KR 1020210121507A KR 20210121507 A KR20210121507 A KR 20210121507A KR 20220037970 A KR20220037970 A KR 20220037970A
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Abstract

The present invention relates to a self-powered tactile sensor using impedance matching of a single electrode and a triboelectric generator. The present invention provides the self-powered tactile sensor using impedance matching of the single electrode and the triboelectric generator, wherein a power unit and a detection unit constituting the tactile sensor are formed in one body to be appropriate to be applied to a device such as electronic skin, and the power unit is constituted to supply power to the detection unit connected with the same in one tactile sensor.

Description

단일전극 마찰발전기의 임피던스 정합을 이용한 자가동력 촉각센서 {Self-powered tactile sensor based on the impedance matching of single-electrode triboelectric nanogenerator}Self-powered tactile sensor based on the impedance matching of single-electrode triboelectric nanogenerator

본 발명은 단일전극 마찰발전기의 임피던스 정합을 이용한 자가동력 촉각센서에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 마찰발전 원리를 이용하여 자가동력을 생산하면서 터치를 감지하는 촉각센서에 관한 것이다.The present invention relates to a self-powered tactile sensor using impedance matching of a single-electrode triboelectric generator, and more particularly, to a tactile sensor that senses a touch while producing self-powered power using a triboelectric power principle.

촉각센서는 인간의 피부를 모사하여 외부의 터치, 압력 및 온도를 감지하는 센서이다. 한국특허등록 제2109696호("정보가 없는 객체를 파지하는 로봇 핸드 및 그 제어방법", 2020.05.06.)에는, 객체에 대한 세밀한 모델링이나 프로그래밍 작업 없이 시각센서 및 촉각센서를 활용하여 핸들링하는 로봇 핸드 및 그 제어방법이 개시된다. 즉 사람이 시각을 통해 대상의 형상정보 및 위치정보를 획득하고, 촉각을 통해 이러한 정보들을 보정하여 대상에 올바르게 파지하는 방식을 모사하여 로봇 핸드를 제어하는 것이다. 촉각센서는 궁극적으로는 바로 상술한 바와 같은 로봇이나 의수에 적용되는 전자피부에 활용되기 위한 것이라고 할 수 있다.A tactile sensor is a sensor that detects external touch, pressure, and temperature by mimicking human skin. Korean Patent Registration No. 2109696 ("Robot hand gripping an object without information and its control method", 2020.05.06.), a robot that handles using a visual sensor and a tactile sensor without detailed modeling or programming work on the object A hand and a method for controlling the same are disclosed. That is, the robot hand is controlled by simulating a method in which a person acquires shape information and location information of an object through sight, corrects such information through touch, and correctly grips the object. It can be said that the tactile sensor is ultimately intended for use in the electronic skin applied to the robot or prosthetic arm as described above.

일반적으로 센서는, 센서 자체를 구동하거나, 센서에서의 직접 감지된 신호를 외부에서 해석가능한 신호로 후처리하는 등과 같은 동작을 하기 위하여 동력원을 필요로 한다. 한국특허등록 제1805773호("감압 터치센서 및 이를 이용한 감압 터치스크린 패널 및 감압 터치센서의 제조방법", 2017.11.30.)에는, 사용자의 터치에 의한 외부 압력에 따라 두께가 변화하는 탄성 유전층 및 기판에 형성되어 탄성 유전층의 두께 변화에 따른 전기적 특성 변화 정도를 감지하여 전기적 신호로 변환하는 감지회로부를 포함하는 감압 터치센서가 개시된다. 여기에서, 전기적 특성의 변화정도를 감지하기 위해서는 센서에 계속 전력이 공급되고 있는 상태여야 함은 당연하다.In general, a sensor requires a power source to operate the sensor itself or to post-process a signal directly sensed by the sensor into an externally interpretable signal. Korean Patent Registration No. 1805773 (“Pressure-sensitive touch sensor and method for manufacturing pressure-sensitive touch screen panel and pressure-sensitive touch sensor using same,” 2017.11.30.) discloses an elastic dielectric layer whose thickness changes according to external pressure by a user's touch and Disclosed is a pressure-sensitive touch sensor that is formed on a substrate and includes a sensing circuit unit that detects a change in electrical characteristics according to a change in the thickness of an elastic dielectric layer and converts it into an electrical signal. Here, in order to detect the degree of change in electrical characteristics, it is natural that power must be continuously supplied to the sensor.

일반적으로 터치스크린은 배터리나 외부전원 등으로 안정적인 외부전력이 공급되는 장치에 입출력부로서 구비되므로, 터치스크린에 포함되는 센서에 전력을 공급하는 것은 문제가 되지 않는다. 그러나 전자피부의 경우 터치스크린과는 상당히 다른 환경에서 동작하기 때문에, 전력 공급에 있어 다른 방안이 요구된다. 이러한 방안의 일환으로, 센서에 지속적이고 안정적으로 전력을 공급하기 위하여, 자체적으로 전력을 생산하는 에너지 하베스팅 장치를 센서에 결합하는 기술이 최근 활발히 연구되고 있다. 에너지 하베스팅(energy haverting)이란 진동, 음파, 열, 운동, 위치에너지 등 일상생활에서 쉽게 버려지거나 사용하지 않는 작은 에너지를 수확하여 사용가능한 전기에너지로 변환하는 기술을 말하는 것이다. 마찰대전(triboelectrification)을 이용한 에너지 하베스팅에서는, 마찰대전 원리 즉 서로 다른 재료의 물체를 마찰 시 접촉면에서의 상호 간섭에 의해 각각의 물체에 반대 부호의 전하가 기계적으로 나뉘는 원리를 이용하여, 두 부재의 상대운동에 따른 접촉 및 마찰을 이용해서 에너지를 수확한다. 촉각센서의 경우 외부 터치를 센싱하는 것이기 때문에, 이러한 마찰발전기를 전력공급원으로 적용하기에 매우 적절하다.In general, since a touch screen is provided as an input/output unit in a device to which stable external power is supplied from a battery or an external power source, it is not a problem to supply power to a sensor included in the touch screen. However, since the electronic skin operates in a significantly different environment from that of the touch screen, a different method for power supply is required. As part of this method, in order to continuously and stably supply power to the sensor, a technology for coupling an energy harvesting device that generates power by itself to the sensor is being actively researched in recent years. Energy harvesting refers to a technology that harvests small amounts of energy that are not easily wasted or used in daily life, such as vibration, sound waves, heat, motion, and potential energy, and converts it into usable electrical energy. In energy harvesting using triboelectrification, using the triboelectric principle, that is, when objects of different materials are rubbed together, electric charges of opposite signs are mechanically divided on each object by mutual interference at the contact surface. Energy is harvested using contact and friction according to the relative motion of Since the tactile sensor senses an external touch, it is very appropriate to apply such a triboelectric generator as a power supply source.

한편 촉각센서를 활용하여 전자피부를 만든다고 할 때, 충분한 고분해능을 얻기 위해서는 다수의 촉각센서가 전자피부 상에 고집적도로 집적되어야 한다. 도 1은 종래의 촉각센서의 개략적인 회로도를, 도 2는 종래의 촉각센서를 이용한 집적회로의 한 실시예를 도시하고 있다. 도시된 바와 같이 종래에는 도 1에 도시된 바와 같이 촉각센서가 감지부("Sensor"로 표시됨) 및 전원부("Power source"로 표시됨)로 구성되되, 전원부는 에너지 하베스팅 시스템("Energy haversting system"로 표시됨)으로서, 에너지 하베스팅을 수행하는 마찰발전기("TENG"로 표시됨)와, 마찰발전기에서 얻어진 전력을 안정적으로 감지부에 공급하기 위한 정파정류기("Rectifying bridge"로 표시됨), 스위치, 에너지 저장장치("Energy storage"로 표시됨)를 포함하는 형태로 이루어졌다. 이러한 구성을 기반으로 집적회로를 구성하고자 할 때, 도 2에 도시된 바와 같이 전원부는 그대로 유지되되 감지부의 개수만이 늘어나는 형태로 이루어지게 되었다. 다수 개의 촉각센서가 집적될 때 이러한 구조를 가지게 되면, 기본적으로 전원부의 구성이 복잡하게 구성되는 문제, 작동을 위해 필요한 시기에 스위치를 켜주는 등의 제어동작을 필요로 하는 문제 등이 있다. 뿐만 아니라 도 2에 도시된 집적회로로 알 수 있는 바와 같이, 수많은 감지부 각각에 전력을 공급해야 하기 때문에 회로가 복잡해지며, 감지부를 추가하고자 하는 경우 회로의 복잡도가 더욱 높아지므로 감지부를 쉽게 추가하기 어렵다는 문제가 있다. 또한 이처럼 감지부 각각에 전력을 공급해야 하기 때문에 전력소비량이 매우 커지게 되는데, 이러한 큰 전력소비량을 마찰발전기로는 얻기 어려울 수도 있는 문제 또한 있다.On the other hand, when using a tactile sensor to make an electronic skin, in order to obtain sufficient high resolution, a plurality of tactile sensors must be highly integrated on the electronic skin. FIG. 1 is a schematic circuit diagram of a conventional tactile sensor, and FIG. 2 shows an embodiment of an integrated circuit using the conventional tactile sensor. As shown, conventionally, as shown in FIG. 1, a tactile sensor is composed of a sensing unit (indicated by “Sensor”) and a power supply (indicated by “Power source”), but the power supply is an energy harvesting system (“Energy haversting system”). a triboelectric generator (indicated by “TENG”) that performs energy harvesting as “ It was made in a form that included an energy storage device (labeled "Energy storage"). When configuring an integrated circuit based on such a configuration, as shown in FIG. 2 , the power supply unit is maintained as it is, but only the number of sensing units is increased. When a plurality of tactile sensors have such a structure when integrated, there is a problem that the configuration of the power supply is basically complicated, and a problem that a control operation such as turning on a switch is required at a necessary time for operation. In addition, as can be seen from the integrated circuit shown in FIG. 2, the circuit becomes complicated because power must be supplied to each of numerous sensing units. There is a difficult problem. In addition, since power must be supplied to each of the sensing units in this way, power consumption becomes very large, and there is also a problem that it may be difficult to obtain such a large power consumption with a friction generator.

1. 한국특허등록 제2109696호("정보가 없는 객체를 파지하는 로봇 핸드 및 그 제어방법", 2020.05.06.)1. Korean Patent Registration No. 2109696 ("Robot Hand Gripping Objects Without Information and its Control Method", 2020.05.06.) 2. 한국특허등록 제1805773호("감압 터치센서 및 이를 이용한 감압 터치스크린 패널 및 감압 터치센서의 제조방법", 2017.11.30.)2. Korean Patent Registration No. 1805773 (“Pressure-sensitive touch sensor and method for manufacturing pressure-sensitive touch screen panel and pressure-sensitive touch sensor using same,” 2017.11.30.)

따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은, 전자피부와 같은 장치에 적용하기에 적합하도록, 촉각센서를 구성하는 전원부 및 감지부가 일체로 이루어져 하나의 촉각센서 안에서 전원부가 자신에게 연결된 감지부에 전원을 공급하도록 이루어지는, 단일전극 마찰발전기의 임피던스 정합을 이용한 자가동력 촉각센서를 제공함에 있다.Accordingly, the present invention has been devised to solve the problems of the prior art as described above, and an object of the present invention is to integrate the power supply unit and the sensing unit constituting the tactile sensor to be suitable for application to devices such as electronic skin. An object of the present invention is to provide a self-powered tactile sensor using impedance matching of a single-electrode triboelectric generator, in which a power supply unit supplies power to a sensing unit connected thereto in one tactile sensor.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 단일전극 마찰발전기의 임피던스 정합을 이용한 자가동력 촉각센서(100)는, 외부로부터 터치를 직접적으로 입력받는 전원부유전체(111) 및 상기 전원부유전체(111) 하면에 적층 배치되는 전원부전극판(112)을 포함하며, 터치에 의하여 마찰대전 원리로 발전을 수행하며 터치신호를 생성하는 전원부(110); 상기 전원부전극판(112)과 전기적으로 연결되며 온도 또는 압력을 포함하는 환경조건에 따라 임피던스가 변화하는 물성을 가지는 감지부유전체(121) 및 상기 감지부유전체(122) 하면에 적층 배치되는 감지부전극판(122)을 포함하며, 상기 전원부(110)에서 발전되어 공급된 전원을 사용하여 감지신호를 생성하는 감지부(120); 를 포함할 수 있다.The self-powered tactile sensor 100 using the impedance matching of the single electrode triboelectric generator of the present invention for achieving the above object is a power subdielectric 111 and the power subdielectric 111 that receive a touch directly from the outside. a power supply unit 110 including a power supply electrode plate 112 stacked on a lower surface, generating power by a triboelectric principle by touch, and generating a touch signal; The sensing sub-dielectric 121 and the sensing sub-dielectric 122 electrically connected to the power supply electrode plate 112 and having physical properties of varying impedance depending on environmental conditions including temperature or pressure, and sensing failure disposed in lamination on the lower surface of the sensing sub-dielectric 122 . a sensing unit 120 including an electrode plate 122 and generating a sensing signal using power generated and supplied from the power unit 110; may include

또한 상기 자가동력 촉각센서(100)는, 상기 전원부(110)에서, 터치에 의하여 상기 전원부유전체(111)가 대전됨에 따라 상기 전원부전극판(112)에도 대전이 일어남으로써, 상기 전원부전극판(112)에서 측정되는 전압값으로서 상기 터치신호를 생성하고, 상기 감지부(120)에서, 상기 전원부전극판(112)이 대전됨에 따라 상기 감지부유전체(121)가 대전되고, 상기 감지부유전체(121)가 대전됨에 따라 상기 감지부전극판(122)에도 대전이 일어남으로써, 상기 감지부전극판(122)에서 측정되는 전류값으로서 상기 감지신호를 생성할 수 있다.In addition, in the self-powered tactile sensor 100 , in the power supply 110 , as the power supply dielectric 111 is charged by a touch, the power supply electrode plate 112 is also charged, so that the power supply electrode plate 112 is charged. ) to generate the touch signal as a voltage value measured at ) is charged, the sensing unit electrode plate 122 is also charged, so that the sensing signal can be generated as a current value measured by the sensing unit electrode plate 122 .

또한 상기 자가동력 촉각센서(100)는, 온도 또는 압력을 포함하는 환경조건이 변화하면 상기 감지부유전체(121)의 임피던스가 변화함에 따라, 동일한 터치에 대하여 생성되는 감지신호가 변화하는 정도를 이용하여, 환경조건의 변화를 측정할 수 있다.In addition, the self-powered tactile sensor 100 uses the degree to which the sensing signal generated for the same touch changes as the impedance of the sensing floating dielectric 121 changes when environmental conditions including temperature or pressure change. Thus, changes in environmental conditions can be measured.

또한 상기 자가동력 촉각센서(100)는, 초기상태에서 상기 전원부유전체(111) 및 상기 감지부유전체(112)의 임피던스가 정합되도록 형성될 수 있다.In addition, the self-powered tactile sensor 100 may be formed such that impedances of the power sub-dielectric 111 and the sensing sub-dielectric 112 are matched in an initial state.

또한 상기 자가동력 촉각센서(100)는, 상기 전원부(110) 하측에 상기 감지부(120)가 적층되는 형태로 형성되되, 상기 전원부(110) 및 상기 감지부(120)가 서로 접촉한 면적이, 상기 전원부(110) 및 상기 감지부(120) 각각의 면적보다 작게 형성될 수 있다.In addition, the self-powered tactile sensor 100 is formed in a form in which the sensing unit 120 is stacked on the lower side of the power unit 110 , and the area in which the power unit 110 and the sensing unit 120 are in contact with each other is , may be formed to be smaller than the area of each of the power supply unit 110 and the sensing unit 120 .

또는 상기 자가동력 촉각센서(100)는, 상기 전원부전극판(112) 및 상기 감지부(120)가 동일 평면상에 배치되는 형태로 형성될 수 있다.Alternatively, the self-powered tactile sensor 100 may be formed in such a way that the power supply electrode plate 112 and the sensing unit 120 are disposed on the same plane.

또한 상기 자가동력 촉각센서(100)는, 상기 전원부유전체(111) 및 상기 전원부전극판(112) 사이에 웨어러블(wearable)용 상측유연소재(131)가 개재되는 형태로서 보호부(130)를 형성할 수 있다.In addition, the self-powered tactile sensor 100 has a protective part 130 in a form in which an upper flexible material 131 for wearable is interposed between the power supply part dielectric 111 and the power supply part electrode plate 112 . can do.

이 때 상기 자가동력 촉각센서(100)는, 상기 전원부전극판(112) 하면에 웨어러블용 하측유연소재(132)가 배치되어, 상기 상측유연소재(131) 및 상기 하측유연소재(132)가 보호부(130)를 형성할 수 있다.At this time, in the self-powered tactile sensor 100, a lower flexible material 132 for wearables is disposed on the lower surface of the power supply electrode plate 112, and the upper flexible material 131 and the lower flexible material 132 are protected. A portion 130 may be formed.

또한 상기 자가동력 촉각센서(100)는, 상기 보호부(130) 내부에 상기 전원부전극판(112) 및 상기 감지부(120)가 모두 배치되거나, 또는 상기 보호부(130) 내부에 상기 전원부전극판(112)만이 배치되고 상기 감지부(120)는 상기 보호부(130) 외부에 배치될 수 있다.In addition, in the self-powered tactile sensor 100 , the power supply electrode plate 112 and the sensing unit 120 are both disposed inside the protection unit 130 , or the power supply failure inside the protection unit 130 . Only the electrode plate 112 is disposed, and the sensing unit 120 may be disposed outside the protection unit 130 .

또한 상기 자가동력 촉각센서(100)는, 하나의 상기 보호부(130) 당 상기 전원부(110) 또는 상기 감지부(120)가 복수 개 구비될 수 있다.In addition, the self-powered tactile sensor 100 may include a plurality of the power supply unit 110 or the sensing unit 120 per one protection unit 130 .

또한 상기 자가동력 촉각센서(100)는, 상기 감지부(120)가 변형센서 또는 온도센서일 수 있다.In addition, in the self-powered tactile sensor 100 , the sensing unit 120 may be a deformation sensor or a temperature sensor.

본 발명에 의하면, 촉각센서를 구성하는 전원부 및 감지부가 일체로 이루어져 하나의 촉각센서 안에서 전원부가 자신에게 연결된 감지부에 전원을 공급하도록 이루어진다. 따라서 매우 많은 개수의 촉각센서를 집적하여 구성하더라도 각각의 촉각센서 안에서 각각의 전원부는 자신에게 연결된 각각의 감지부에만 전원을 공급하면 되므로, 전원을 외부에서 공급하는 종래와는 달리 한꺼번에 많은 전력소비가 이루어질 필요가 없으며, 따라서 전력소비량을 크게 줄일 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, the power supply unit and the sensing unit constituting the tactile sensor are integrated to supply power to the sensing unit connected to the power supply unit in one tactile sensor. Therefore, even if a very large number of tactile sensors are integrated and configured, each power supply unit in each tactile sensor only needs to supply power to each sensing unit connected to it. There is no need to do it, and therefore, there is an effect of significantly reducing power consumption.

뿐만 아니라 본 발명에 의하면, 이처럼 하나의 촉각센서 안에 전원부 및 감지부가 일체로 이루어져 있기 때문에, 복수 개의 촉각센서를 집적 배치하고자 할 때 단지 서로 개별 구성으로 된 촉각센서들을 배열하기만 하면 되며, 이들 간의 복잡한 연결회로를 구성할 필요가 없다. 종래에는 하나의 전원부에 다수 개의 감지부가 연결되는 구성을 취했기 때문에 전원부와 감지부들을 연결하기 위해 매우 복잡한 회로를 구성해야 하였으나, 본 발명에 의하면 집적 배치 시 회로 구성의 복잡성을 비약적으로 저감할 수 있는 큰 효과가 있다.In addition, according to the present invention, since the power supply unit and the sensing unit are integrally formed in one tactile sensor, when a plurality of tactile sensors are to be integrated and arranged, it is only necessary to arrange the tactile sensors each having an individual configuration. There is no need to construct a complicated connection circuit. Conventionally, since a plurality of sensing units are connected to one power unit, a very complex circuit has to be configured to connect the power unit and sensing units. There is a big effect.

또한 이러한 효과들에 따라, 본 발명의 촉각센서는 궁극적으로, 매우 많은 촉각센서들이 고밀도 집적 배치되어 만들어지는 전자피부에 적용하기 매우 적합하다.In addition, according to these effects, the tactile sensor of the present invention is ultimately very suitable for application to electronic skin made by arranging a very large number of tactile sensors at high density.

도 1은 종래의 촉각센서의 개략적인 회로도.
도 2는 종래의 촉각센서를 이용한 집적회로.
도 3은 본 발명의 자가동력 촉각센서의 기본구성.
도 4는 본 발명의 자가동력 촉각센서의 동작원리.
도 5는 본 발명의 자가동력 촉각센서의 회로도.
도 6은 본 발명의 자가동력 촉각센서를 이용한 집적회로.
도 7은 본 발명의 자가동력 촉각센서의 응용구성의 한 실시예.
도 8은 본 발명의 자가동력 촉각센서의 응용구성의 다른 실시예.
도 9는 전원부의 제작실시예.
도 10은 감지부가 변형센서인 경우의 제작실시예.
도 11은 감지부(변형센서)의 민감도 및 전원부의 민감도.
도 12는 감지부가 변형센서인 자가동력 촉각센서의 실험예.
도 13은 감지부가 온도센서인 경우의 제작실시예.
도 14는 감지부(온도센서)의 민감도 및 반복반응성.
도 15는 감지부가 온도센서인 자가동력 촉각센서의 실험예.1 is a schematic circuit diagram of a conventional tactile sensor.
2 is an integrated circuit using a conventional tactile sensor.
3 is a basic configuration of the self-powered tactile sensor of the present invention.
4 is an operation principle of the self-powered tactile sensor of the present invention.
5 is a circuit diagram of the self-powered tactile sensor of the present invention.
6 is an integrated circuit using the self-powered tactile sensor of the present invention.
7 is an embodiment of an application configuration of the self-powered tactile sensor of the present invention.
8 is another embodiment of the application configuration of the self-powered tactile sensor of the present invention.
9 is a manufacturing embodiment of the power supply unit.
10 is a manufacturing embodiment in the case where the sensing unit is a deformation sensor.
11 shows the sensitivity of the sensing unit (deformation sensor) and the sensitivity of the power supply unit.
12 is an experimental example of a self-powered tactile sensor in which the sensing unit is a deformation sensor.
13 is a manufacturing embodiment in the case where the sensing unit is a temperature sensor.
14 shows the sensitivity and repetitive reactivity of the sensing unit (temperature sensor).
15 is an experimental example of a self-powered tactile sensor in which the sensing unit is a temperature sensor.

이하, 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 단일전극 마찰발전기의 임피던스 정합을 이용한 자가동력 촉각센서를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a self-powered tactile sensor using impedance matching of a single electrode triboelectric generator according to the present invention having the configuration as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

[1] 본 발명의 자가동력 촉각센서의 기본구성[1] Basic configuration of the self-powered tactile sensor of the present invention

도 3은 본 발명의 자가동력 촉각센서의 구성도를 도시하고 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 자가동력 촉각센서(100)는, 전원부(110) 및 감지부(120)가 전기적으로 연결된 형태로 형성된다. [1]에서 설명되는 기본구성에서는 상기 전원부(110) 및 상기 감지부(120)가 상하방향으로 적층된 형태이지만, 이후 [2]에서 설명되는 응용구성에서는 상기 전원부(110) 및 상기 감지부(120)가 적층되지 않고 단지 전기적으로 연결되기만 하여도 된다. 그러나 기본구성 및 응용구성 모두 원리는 동일하므로, 일단 기본구성으로 원리를 설명하기로 한다.3 is a block diagram of the self-powered tactile sensor of the present invention. As shown in FIG. 3 , the self-powered tactile sensor 100 of the present invention is formed in a form in which the power supply unit 110 and the sensing unit 120 are electrically connected. In the basic configuration described in [1] , the power supply unit 110 and the sensing unit 120 are stacked in the vertical direction, but in the application configuration described later in [2] , the power supply unit 110 and the sensing unit ( 120) may not be stacked but only be electrically connected. However, since the principle is the same for both the basic configuration and the applied configuration, the principle will be explained first with the basic configuration.

상기 전원부(110)는 전원부유전체(111) 및 전원부전극판(112)이 적층된 형태로 형성되며, 상기 감지부(120)는 감지부유전체(121) 및 감지부전극판(122)이 적층된 형태로 형성된다. 즉 쉽게 설명하자면, 본 발명의 자가동력 촉각센서(100)의 기본구성에서는, 도 3 하측의 단면도에 도시된 바와 같이, 상측에서부터 하측으로 가면서 상기 전원부유전체(111) - 상기 전원부전극판(112) - 상기 감지부유전체(121) - 상기 감지부전극판(122)이 순차적으로 적층된 형태로 이루어진다.The power supply unit 110 is formed in a form in which a power sub-dielectric 111 and a power supply electrode plate 112 are stacked, and the sensing unit 120 is formed in a form in which a sensing sub-dielectric 121 and a sensing part electrode plate 122 are stacked. is formed with That is, to put it simply, in the basic configuration of the self-powered tactile sensor 100 of the present invention, as shown in the sectional view on the lower side of FIG. 3 , the power supply floating dielectric 111 - the power supply electrode plate 112 while going from the upper side to the lower side. - The sensing unit dielectric 121 - The sensing unit electrode plates 122 are sequentially stacked.

상기 전원부(110)는 터치에 의하여 마찰대전 원리로 발전을 수행하며 터치신호를 생성하는 역할을 한다. 여기에서 터치신호란 터치 크기 자체를 측정할 수 있는 신호를 말한다. 상기 전원부유전체(111)는 외부로부터 터치를 직접적으로 입력받으며, 상기 전원부전극판(112)은 상기 전원부유전체(111) 하면에 적층 배치된다. 상기 전원부유전체(111)에서 터치가 발생하면, 도 4의 ①에 도시된 바와 같이 터치에 의하여 상기 전원부유전체(111)의 외면(터치가 발생된 면)에 대전이 일어나게 된다. 도 4의 ②에 도시된 바와 같이 상기 전원부유전체(111)의 반대쪽 면에는 반대 극성의 전하가 대전되며, 상기 전원부유전체(111) 하면에 적층 배치된 상기 전원부전극판(112)에는 보상전하가 대전되게 된다. 즉 상기 전원부전극판(112)에도 대전이 일어남으로써 전위가 발생하게 되어, 결과적으로 발전이 수행되는 것이다. 이 때 도 4의 ②에 도시된 바와 같이 상기 전원부전극판(112)이 대전된 정도, 즉 전압값을 측정함으로써 터치 크기를 산출할 수 있으며, 따라서 상기 전원부전극판(112)에서 측정된 전압값이 바로 터치신호가 된다. 즉 상기 전원부(110)에서는, 상기 전원부전극판(112)에서 측정되는 전압값으로서 상기 터치신호를 생성하는 것이다.The power supply unit 110 serves to generate a touch signal by performing power generation according to the triboelectric principle by touch. Here, the touch signal refers to a signal capable of measuring the size of the touch itself. The power sub-dielectric 111 directly receives a touch input from the outside, and the power-supply electrode plate 112 is stacked on the lower surface of the power sub-dielectric 111 . When a touch occurs in the power sub-dielectric 111 , as shown in ① of FIG. 4 , the power sub-dielectric 111 is electrically charged by the touch (the surface on which the touch occurs). As shown in ② of FIG. 4, charges of opposite polarity are charged on the opposite side of the power subdielectric 111, and compensation charges are charged on the power unit electrode plate 112 stacked on the lower surface of the power subdielectric 111. will become That is, the electric potential is generated as the electric charge occurs in the power supply electrode plate 112 , and as a result, power generation is performed. At this time, as shown in ② of FIG. 4 , the touch size can be calculated by measuring the degree to which the power supply electrode plate 112 is charged, that is, the voltage value, and thus the voltage value measured by the power supply electrode plate 112 . This is the touch signal. That is, the power supply unit 110 generates the touch signal as a voltage value measured by the power supply unit electrode plate 112 .

상기 감지부(120)는 상기 전원부(110)에서 발전되어 공급된 전원을 사용하여 감지신호를 생성하는 역할을 한다. 여기에서 감지신호란 온도, 압력을 포함하는 환경조건 변화를 측정할 수 있는 신호를 말한다. 도 4의 ①, ② 과정을 거쳐 상기 전원부전극판(112)이 대전됨에 따라 상기 감지부유전체(121)도 대전되게 된다. 보다 상세히는, 도 4의 ③에 도시된 바와 같이 상기 전원부전극판(112)이 대전됨에 따라 상기 전원부전극판(112) 하면에 적층 배치된 상기 감지부유전체(121)의 상면에 보상전하가 대전된다. 그러면 도 4의 ④에 도시된 바와 같이 상기 감지부유전체(121)의 하면에는 또 반대 극성의 전하가 대전되며, 상기 감지부유전체(121)의 하면에 적층 배치된 상기 감지부전극판(122)에는 또 그에 대한 보상전하가 대전되게 된다. 이처럼 상기 감지부전극판(122)에 전류가 유도됨에 따라 도 4의 ④에 도시된 바와 같이 상기 감지부전극판(122)으로부터 전류값을 측정할 수 있으며, 이 전류값은 상기 터치신호 값을 상기 감지부유전체(121)의 임피던스로 나눈 값과 같다.The sensing unit 120 serves to generate a sensing signal using power generated and supplied from the power unit 110 . Here, the sensing signal refers to a signal capable of measuring changes in environmental conditions including temperature and pressure. As the power supply electrode plate 112 is charged through the processes ① and ② in FIG. 4 , the sensing unit dielectric 121 is also charged. In more detail, as shown in ③ of FIG. 4 , as the power supply electrode plate 112 is charged, a compensation charge is charged on the upper surface of the sensing subdielectric 121 stacked on the lower surface of the power supply electrode plate 112 . do. Then, as shown in ④ of FIG. 4 , charges of the opposite polarity are charged on the lower surface of the sensing sub-dielectric 121 , and the sensing unit electrode plate 122 stacked on the lower surface of the sensing sub-dielectric 121 has Also, the compensatory charge is charged. As the current is induced in the sensing unit electrode plate 122, a current value can be measured from the sensing unit electrode plate 122 as shown in ④ of FIG. 4, and this current value senses the touch signal value. It is equal to the value divided by the impedance of the floating body 121 .

상기 감지부유전체(121)는 상술한 바와 같이 온도 또는 압력을 포함하는 환경조건에 따라 임피던스가 변화하는 물성을 가지므로, 상기 터치신호 값이 동일하다 하더라도 환경조건이 변화하면 임피던스가 변화함에 따라 전류값이 변화하게 된다. 즉 동일한 터치에 대하여 상기 감지부전극판(122)에서 측정되는 전류값이 변화하는 정도를 사용하여 환경조건의 변화를 산출할 수 있으며, 따라서 상기 감지부부전극판(122)에서 측정된 전류값이 바로 감지신호가 된다. 즉 상기 감지부(120)에서는, 상기 감지부전극판(122)에서 측정되는 전류값으로서 상기 감지신호를 생성하는 것이다.As described above, since the sensing subdielectric 121 has a property that impedance changes depending on environmental conditions including temperature or pressure, even if the touch signal value is the same, if the environmental conditions change, the current value will change. That is, a change in environmental conditions can be calculated using the degree of change in the current value measured by the sensing unit electrode plate 122 for the same touch, and therefore the current value measured by the sensing unit electrode plate 122 is immediately a detection signal. That is, the sensing unit 120 generates the sensing signal as a current value measured by the sensing unit electrode plate 122 .

한편 이처럼 상기 전원부(110)에서는 터치신호를 생성하고, 상기 감지부(120)에서는 감지신호를 생성하는 바, 이들을 각각 측정하고자 할 때 물리적으로 서로 다른 방향에서 측정하도록 하면 배치 설계 편의성을 향상할 수 있다. 이러한 관점에서 도 3 상측의 사시도에 도시된 바와 같이, 상기 전원부(110) 및 상기 감지부(120)가 각각 어떤 방향으로 연장된 바 형태를 이루되, 이들이 서로 수직하게 겹쳐 적층되는 형태로 형성되게 할 수 있다.Meanwhile, in this way, the power supply unit 110 generates a touch signal and the sensing unit 120 generates a sensing signal. When you want to measure them, you can measure them in physically different directions to improve layout design convenience. there is. From this point of view, as shown in the upper perspective view of FIG. 3 , the power supply unit 110 and the sensing unit 120 each have a bar shape extending in a certain direction, so that they are vertically overlapped and stacked. can do.

물론 이로써 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 신호값들을 뽑아내는 것이 편리하도록 하기 위해서라면 상기 전원부(110) 및 상기 감지부(120)가 서로 적층되어 접촉된 부분 외에 다른 쪽으로 더 연장되어 있는 부분이 형성되어 있기만 하면 된다. 즉, 상기 자가동력 촉각센서(100)는, 상기 전원부(110) 및 상기 감지부(120)가 서로 접촉한 면적이, 상기 전원부(110) 및 상기 감지부(120) 각각의 면적보다 작게 형성되는 것이 바람직하다.Of course, the present invention is not limited thereto, and in order to make it convenient to extract signal values, the power supply unit 110 and the sensing unit 120 are stacked with each other and a part extending to the other side is formed in addition to the contacted part. it just has to be That is, in the self-powered tactile sensor 100 , the area in which the power supply unit 110 and the sensing unit 120 contact each other is smaller than the area of each of the power supply unit 110 and the sensing unit 120 . it is preferable

이처럼 상기 자가동력 촉각센서(100)는, 환경조건이 변화하면 상기 감지부유전체(121)의 임피던스가 변화함에 따라, 동일한 터치에 대하여 생성되는 감지신호가 변화하는 정도를 이용하여, 환경조건의 변화를 측정한다. 이 때 감지신호의 변화가 입력되는 터치 크기 자체의 변화에 의해서인지, 아니면 (입력되는 터치 크기 자체는 변화하지 않지만) 온도, 압력 등 환경조건 변화에 따른 임피던스의 변화에 의해서인지를 구분할 수 있어야 한다. 이를 구분하는 원리를 예시를 통해 구체적으로 설명하면 다음과 같다.As such, the self-powered tactile sensor 100 uses the degree to which the sensing signal generated for the same touch changes as the impedance of the sensing subdielectric 121 changes when the environmental conditions change, thereby changing the environmental conditions. measure At this time, it should be possible to distinguish whether the change in the sensing signal is caused by a change in the input touch size itself or by a change in impedance according to environmental conditions such as temperature and pressure (though the input touch size itself does not change). . The principle of classifying them is explained in detail with an example as follows.

[실험 1]에서 크기 10의 터치를 입력하였을 때, 상기 전원부전극판(112)에서 측정된 전압값 즉 터치신호가 5, 상기 감지부전극판(122)에서 측정된 전류값 즉 감지신호가 5가 측정되었다고 한다. 만일 터치의 크기가 달라지면 당연히 터치신호 및 감지신호의 크기가 달라질 것이다. 한편 터치의 크기는 동일하더라도 온도, 압력 등 환경조건이 변화하면 상기 감지부유전체(121)의 물성에 의하여 임피던스가 변화함에 따라 감지신호의 크기가 달라질 것이다.When a touch of magnitude 10 is input in [Experiment 1], the voltage value measured by the power supply electrode plate 112, that is, the touch signal is 5, and the current value measured by the sensing part electrode plate 122, that is, the detection signal is 5 is said to have been measured. If the size of the touch is changed, of course, the size of the touch signal and the sensing signal will be different. Meanwhile, even if the size of the touch is the same, if the environmental conditions such as temperature and pressure change, the magnitude of the sensing signal will be changed as the impedance changes according to the physical properties of the sensing sub-dielectric 121 .

[실험 2]에서 크기 10의 터치를 입력하였을 때, 터치신호가 5, 감지신호가 3이 측정되었다고 한다. 터치신호는 [실험 1]에서와 동일하게 측정되었으므로, [실험 2]에서도 [실험 1]에서와 동일한 크기의 터치가 발생하였다는 것을 알 수 있다. 그런데 동일한 크기의 터치에 대하여 [실험 1] 및 [실험 2]에서의 감지신호가 각각 5 및 3으로 서로 달라진 것을 확인할 수 있다. 즉, [실험 1]에서와 [실험 2]에서의환경조건이 달라졌다는 것을 이 감지신호 변화로 확인할 수 있는 것이다. In [Experiment 2], it is said that when a touch of size 10 was input, a touch signal of 5 and a detection signal of 3 were measured. Since the touch signal was measured in the same way as in [Experiment 1], it can be seen that a touch of the same size as in [Experiment 1] occurred in [Experiment 2]. However, it can be seen that the detection signals in [Experiment 1] and [Experiment 2] are different to 5 and 3, respectively, for a touch of the same size. In other words, it can be confirmed by this change in the detection signal that the environmental conditions in [Experiment 1] and [Experiment 2] are different.

이 때 상기 감지부유전체(121)의 물성, 즉 온도 또는 압력이 얼마만큼 변화했을 때 임피던스가 얼마만큼 변화하는지에 대해서는 미리 알고 있기 때문에, 감지신호 변화량으로 임피던스 변화량을 계산하고, 임피던스 변화량으로부터 온도 또는 압력의 변화량을 계산함으로써, 궁극적으로 온도 또는 압력의 변화를 측정할 수 있게 된다.At this time, since the physical properties of the sensing subdielectric 121, that is, how much the impedance changes when the temperature or pressure changes by how much, is known in advance, the impedance change amount is calculated from the detection signal change amount, and the impedance change amount is calculated from the impedance change amount. By calculating the amount of change in pressure, it is ultimately possible to measure the change in temperature or pressure.

[실험 3]에서 크기 6의 터치를 입력하였을 때, 터치신호가 3, 감지신호가 3이 측정되었다고 한다. [실험 2]와 비교하였을 때 감지신호는 동일하지만, 터치신호는 상이하다. 앞서 설명한 바와 같이, [터치신호 = (감지부유전체) 임피던스 * 감지신호]의 관계가 성립하므로, 이로 미루어 [실험 1], [실험 2]의 결과들과 비교하여 볼 때, [실험 3]에서의 임피던스는 [실험 1]에서의 임피던스와 동일함을 확인할 수 있다. 즉 [실험 3] 수행 시의 환경조건은 [실험 1] 수행 시의 환경조건과 동일하다는 것이다. 즉 터치 크기 자체가 변화해서 감지신호가 변화했다는 것이 확인되며, 이로부터 터치 크기의 변화를 측정할 수 있게 된다.In [Experiment 3], when a touch of size 6 is input, it is said that 3 of the touch signal and 3 of the sensing signal are measured. Compared with [Experiment 2], the detection signal is the same, but the touch signal is different. As described above, the relationship of [touch signal = (sensing subdielectric) impedance * sensing signal] is established. It can be confirmed that the impedance of is the same as the impedance in [Experiment 1]. That is, the environmental conditions during [Experiment 3] are the same as those of [Experiment 1]. That is, it is confirmed that the sensing signal is changed due to the change in the touch size itself, and the change in the touch size can be measured from this.

정리하면, [실험 1] - [실험 2]에서는 터치신호는 동일하게 나오되 감지신호가 상이하게 나오는 것으로부터, 감지신호 변화가 임피던스 변화에 의한 것임을 알 수 있고, 이로부터 온도, 압력 등의 변화를 측정할 수 있다. [실험 1] - [실험 3]에서는 터치신호 및 감지신호가 모두 상이하게 나오되 터치신호 및 감지신호의 비 즉 임피던스는 동일하게 나오는 것으로부터, 감지신호 변화가 터치 크기 자체의 변화에 의한 것임을 알 수 있고, 이로부터 터치 크기 자체의 변화를 측정할 수 있다.In summary, in [Experiment 1] - [Experiment 2], it can be seen that the touch signal is the same but the sensing signal is different, indicating that the change in the sensing signal is due to the impedance change. can be measured. In [Experiment 1] - [Experiment 3], both the touch signal and the sensing signal are different, but the ratio of the touch signal and the sensing signal, that is, the impedance is the same. , and from this, it is possible to measure the change in the touch size itself.

위의 [실험 1], [실험 2], [실험 3]의 예시로 보면, [실험 1]을 기준으로 [실험 2] 및 [실험 3]에서 무엇이 어떻게 변화하였는지를 산출하고 있다. 즉 상기 자가동력 촉각센서(100)를 한 번 구동시키고 이 때 측정된 신호값들을 얻은 후에야, 이 값들을 기준값으로 삼아 이후 터치 크기 변화 또는 환경조건 변화를 측정할 수 있다는 것이다. 이 때 굳이 한 번 구동하여 기준값을 구할 것이 아니라, 상기 자가동력 촉각센서(100)가 특정한 조건에 맞추어 제작되도록 함으로써 초기상태에서 각 신호값들이 어떤 비율로 나오는지가 미리 결정되어 있도록 하면 이러한 초기 기준값 결정과정을 생략할 수 있다. 상기 전원부유전체(111)도 임피던스 값을 가지고 있고, 상기 감지부유전체(112)도 임피던스 값을 가지고 있으며, 일반적으로 안정적인 회로 구성을 위해서는 임피던스 값들이 정합되도록 하는 것이 바람직하다. 이러한 사항들을 고려하여, 상기 자가동력 촉각센서(100)는, 초기상태에서 상기 전원부유전체(111) 및 상기 감지부유전체(112)의 임피던스가 정합되도록 형성되는 것이 바람직하다. 이처럼 임피던스가 정합되게 함에 따라 별도의 정류나 에너지 저장 없이도 원활한 전원 공급 및 신호 생성을 실현할 수 있다.Looking at the examples of [Experiment 1], [Experiment 2], and [Experiment 3] above, what and how changed in [Experiment 2] and [Experiment 3] are calculated based on [Experiment 1]. That is, after the self-powered tactile sensor 100 is driven once and the signal values measured at this time are obtained, a change in the touch size or a change in environmental conditions can be measured by using these values as reference values. At this time, instead of driving once to obtain a reference value, the self-powered tactile sensor 100 is manufactured according to a specific condition so that the ratio of each signal value is determined in advance in an initial state, such an initial reference value is determined The process can be omitted. The power sub-dielectric 111 also has an impedance value, and the sensing sub-dielectric 112 also has an impedance value, and in general, it is preferable to match the impedance values for a stable circuit configuration. In consideration of these factors, the self-powered tactile sensor 100 is preferably formed such that the impedances of the power supply subdielectric 111 and the sensing subdielectric 112 are matched in an initial state. As the impedance is matched in this way, it is possible to realize smooth power supply and signal generation without separate rectification or energy storage.

이처럼 본 발명의 자가동력 촉각센서(100)는, 터치를 측정할 뿐만 아니라 온도, 압력 등의 환경조건 변화도 함께 측정할 수 있다. 특히 터치를 이용하여 마찰발전 원리로 발전까지 수행하고, 이렇게 얻어진 전원을 이용하여 환경조건 변화 감지를 수행할 수 있다. 즉 본 발명의 자가동력 촉각센서(100)는 외부로부터 전원을 공급해줄 필요가 없이, 터치 자체만으로 구동이 가능하다.As such, the self-powered tactile sensor 100 of the present invention can measure changes in environmental conditions such as temperature and pressure as well as measure touch. In particular, it is possible to perform power generation using the triboelectric power principle using touch, and to detect changes in environmental conditions using the power obtained in this way. That is, the self-powered tactile sensor 100 of the present invention can be driven only by touch without the need to supply power from the outside.

도 5는 본 발명의 자가동력 촉각센서의 회로도를 도시하고 있는데, 도 1의 종래의 촉각센서와 비교하였을 때 훨씬 단순한 구조를 가지고 있음을 직관적으로 확인할 수 있다. 본 발명의 자가동력 촉각센서(100)는, 상술한 바와 같이 임피던스 정합을 통해 정류나 저장 과정 등을 필요로 하지 않는다. 이에 따라 본 발명에서는, 종래의 촉각센서에서 반드시 필요로 하였던 정파정류기, 스위치, 에너지 저장장치 등을 모두 배제할 수 있으며, 따라서 센서 구성이 비약적으로 간소화될 수 있게 된다. 실제로 도 3을 참조하면, 본 발명의 자가동력 촉각센서(100)는 물리적으로도 4개의 레이어가 적층된 형태의 매우 간소한 구성으로 형성되며, 도 5로 확인되는 바와 같이 전기적으로도 간소한 구성이 된다.5 is a circuit diagram of the self-powered tactile sensor of the present invention, and it can be intuitively confirmed that it has a much simpler structure as compared to the conventional tactile sensor of FIG. 1 . The self-powered tactile sensor 100 of the present invention does not require rectification or storage through impedance matching as described above. Accordingly, in the present invention, it is possible to exclude all of the static wave rectifiers, switches, energy storage devices, etc., which are absolutely necessary in the conventional tactile sensor, and thus the sensor configuration can be drastically simplified. In fact, referring to FIG. 3 , the self-powered tactile sensor 100 of the present invention is physically formed in a very simple configuration in which four layers are stacked, and is electrically simple as confirmed in FIG. 5 . becomes this

이처럼 본 발명의 자가동력 촉각센서(100)가 종래에 비해 훨씬 간소한 구성으로 형성됨에 따라, 매우 많은 수의 센서들을 고밀도 집적 배치하는 경우에도 설계 및 제작 편의성이 크게 향상된다. 도 6은 본 발명의 자가동력 촉각센서를 이용한 집적회로의 예시를 도시하고 있다. 도 2의 종래의 촉각센서 집적회로와 비교하면, 종래에는 수많은 각각의 센서들에 전원을 공급해야 하는 공급라인과, 센서들로부터 측정된 신호를 받는 측정라인이 모두 형성되어 있어야만 했다. 그러나 본 발명에 의하면, 상기 자가동력 촉각센서(100) 각각에 자가구동을 가능하게 하는 상기 전원부(110)가 구비되어 있기 때문에, 도 6으로 확인되는 바와 같이 공급라인을 완전히 배제할 수 있게 된다. 이에 따라 집적회로 구성 시 공급라인 형성을 위한 잉여공간을 완전히 삭제할 수 있으며, 물론 설계 복잡성도 크게 완화된다. 즉 본 발명에 의하면, 각각의 센서 구성을 간소하게 함으로써 센서 자체의 설계 및 제작 편의성을 향상할 뿐만 아니라, 센서들을 고밀도 집적 배치하는 경우에도 공급라인을 배제함으로써 집적회로의 설계 및 제작 편의성 역시 크게 향상할 수 있는 것이다.As such, as the self-powered tactile sensor 100 of the present invention is formed in a much simpler configuration than in the prior art, design and manufacturing convenience is greatly improved even when a very large number of sensors are densely integrated and disposed. 6 shows an example of an integrated circuit using the self-powered tactile sensor of the present invention. Compared with the conventional tactile sensor integrated circuit of FIG. 2 , in the prior art, both a supply line for supplying power to numerous sensors and a measurement line for receiving signals measured from the sensors had to be formed. However, according to the present invention, since the power supply unit 110 enabling self-driving is provided in each of the self-powered tactile sensors 100, the supply line can be completely excluded as shown in FIG. 6 . Accordingly, the surplus space for forming the supply line can be completely eliminated when configuring the integrated circuit, and of course design complexity is greatly reduced. That is, according to the present invention, by simplifying each sensor configuration, not only the design and manufacturing convenience of the sensor itself is improved, but also the design and manufacturing convenience of the integrated circuit is greatly improved by excluding the supply line even when the sensors are integrated and arranged at high density. it can be done

[2] 본 발명의 자가동력 촉각센서의 기본구성[2] Basic configuration of the self-powered tactile sensor of the present invention

도 7은 본 발명의 자가동력 촉각센서의 응용구성의 한 실시예를 도시하고 있다. 앞서 설명한 바와 같이, 본 발명의 자가동력 촉각센서(100)는 상기 전원부(110) 및 상기 감지부(120)가 서로 전기적으로 연결된 형태로 구성된다. 이 때 기본구성에서는 상기 전원부(110) 및 상기 감지부(120)가 상하방향으로 적층됨으로써 물리적으로 접촉됨에 따라 전기적으로 연결되도록 형성되는 반면, 여기에서 설명할 응용구성에서는 상기 전원부(110) 및 상기 감지부(120)가 서로 물리적으로 접촉되지는 않더라도 별도의 회로선 등을 통해 전기적으로 연결되는 형태로 형성된다.7 shows an embodiment of an application configuration of the self-powered tactile sensor of the present invention. As described above, the self-powered tactile sensor 100 of the present invention is configured in such a way that the power supply unit 110 and the sensing unit 120 are electrically connected to each other. At this time, in the basic configuration, the power supply unit 110 and the sensing unit 120 are stacked in the vertical direction so as to be electrically connected as they are physically contacted, whereas in the application configuration to be described herein, the power supply unit 110 and the Although the sensing units 120 are not physically in contact with each other, they are formed in such a way that they are electrically connected through a separate circuit line or the like.

도 7에 도시된 응용구성의 한 실시예에 의한 상기 자가동력 촉각센서(100)는, 상기 전원부전극판(112) 및 상기 감지부(120)가 동일 평면상에 배치되는 형태로 형성된다. 상기 전원부유전체(111)는 도시된 바와 같이 터치를 직접 입력받아야 하기 때문에 항상 최상면에 위치하고 있어야 하지만, 나머지 부품들은 외부에 굳이 노출될 필요가 없다. 오히려 불필요한 손상 등을 피하기 위해서 상기 전원부유전체(111) 이외의 부품들은 외부와 격리되어 보호되는 것이 바람직하다. 뿐만 아니라 이러한 형태의 센서들은 웨어러블용으로 활용되고자 하는 요구가 대부분이다.The self-powered tactile sensor 100 according to an embodiment of the application configuration shown in FIG. 7 is formed in such a way that the power supply electrode plate 112 and the sensing unit 120 are disposed on the same plane. The power floating dielectric 111 should always be positioned on the top surface because it needs to directly receive a touch as shown, but the rest of the components do not need to be exposed to the outside. Rather, in order to avoid unnecessary damage, it is preferable that components other than the power floating dielectric 111 are isolated and protected from the outside. In addition, most of these types of sensors are requested to be used for wearables.

이러한 사항들을 고려할 때, 상기 자가동력 촉각센서(100)는, 도시된 바와 같이 웨어러블(wearable)용 유연소재를 더 포함하는 것이 바람직하며, 이러한 웨어러블용 유연소재는 상기 전원부유전체(111) 이외의 부품들을 외부로부터 격리 보호하는 역할을 할 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다. 이에 따라 기본적으로, 상기 자가동력 촉각센서(100)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 전원부유전체(111) 및 상기 전원부전극판(112) 사이에 웨어러블(wearable)용 상측유연소재(131)가 개재되는 형태로서 보호부(130)를 형성할 수 있다. 더불어 센서의 하면도 보호되어야 하는 경우, 역시 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 전원부전극판(112) 하면에 웨어러블용 하측유연소재(132)가 배치되어, 상기 상측유연소재(131) 및 상기 하측유연소재(132)가 보호부(130)를 형성할 수도 있다.In consideration of these factors, the self-powered tactile sensor 100 preferably further includes a wearable flexible material as shown, and the wearable flexible material is a component other than the power floating dielectric 111 . It is desirable to be formed so as to serve to isolate and protect them from the outside. Accordingly, basically, the self-powered tactile sensor 100 is, as shown in FIG. 7 , a wearable upper flexible material 131 between the power supply part dielectric 111 and the power supply part electrode plate 112 . The protection part 130 may be formed in a form in which is interposed. In addition, when the lower surface of the sensor must also be protected, a lower flexible material 132 for wearables is disposed on the lower surface of the power supply electrode plate 112 as shown in FIG. 7 , and the upper flexible material 131 and the lower side The flexible material 132 may form the protection part 130 .

도 7의 실시예에서는 상기 자가동력 촉각센서(100)가 상기 보호부(130) 내부에 상기 전원부전극판(112) 및 상기 감지부(120)가 모두 배치되는 구성을 취하고 있다. 그런데 상기 전원부(110) 및 상기 감지부(120)는 전기적으로 연결되기만 하면 되므로, 상기 감지부(120)가 반드시 상기 전원부(110) 근처에 배치되어야만 하는 것은 아니다. 도 8은 본 발명의 자가동력 촉각센서의 응용구성의 다른 실시예를 도시한 것으로서, 도 8의 실시예에서와 같이 상기 보호부(130) 내부에 상기 전원부전극판(112)만이 배치되고 상기 감지부(120)는 상기 보호부(130) 외부에 배치되도록 할 수도 있다.In the embodiment of FIG. 7 , the self-powered tactile sensor 100 has a configuration in which both the power supply electrode plate 112 and the sensing unit 120 are disposed inside the protection unit 130 . However, since the power supply unit 110 and the sensing unit 120 only need to be electrically connected, the sensing unit 120 does not necessarily have to be disposed near the power supply unit 110 . 8 shows another embodiment of the application configuration of the self-powered tactile sensor of the present invention. As in the embodiment of FIG. 8 , only the power supply electrode plate 112 is disposed inside the protection unit 130 and the sensing The part 120 may be disposed outside the protection part 130 .

또한 상기 전원부(110) 및 상기 감지부(120)가 반드시 1 : 1로 구비되어야만 하는 것은 아니다. 상기 전원부(110)가 모을 수 있는 전력이 많다면 하나의 상기 전원부(110) 당 복수 개의 상기 감지부(120)가 연결될 수도 있으며, 또는 상기 전원부(110) 하나당 모을 수 있는 전력이 적다면 복수 개의 상기 전원부(110)가 하나의 상기 감지부(120)에 연결되어 여럿이 모은 전력을 전달하게 형성될 수도 있다. 대개의 경우 웨어러블 소재에 구비되는 센서는 하나하나의 용량은 적을지라도 이들을 복수 개 모아서 구동가능한 전력 또는 식별가능한 신호를 생산하는 것을 목표로 한다. 이러한 사항을 고려하여, 상기 자가동력 촉각센서(100)는, 하나의 상기 보호부(130) 당 상기 전원부(110) 또는 상기 감지부(120)가 복수 개 구비되도록 형성되는 것이 바람직하다.Also, the power supply unit 110 and the sensing unit 120 do not necessarily have to be provided in a 1:1 ratio. If the power supply unit 110 has a large amount of power that can be collected, a plurality of sensing units 120 may be connected per one power unit 110 , or if the power unit 110 has less power, a plurality of sensing units 120 may be connected to each other. The power supply unit 110 may be connected to one sensing unit 120 to transmit power collected by several people. In most cases, sensors provided in wearable materials aim to generate drivable power or an identifiable signal by collecting a plurality of sensors, even if each sensor has a small capacity. In consideration of these considerations, the self-powered tactile sensor 100 is preferably formed such that a plurality of the power supply unit 110 or the sensing unit 120 is provided per one protection unit 130 .

[3] 본 발명의 자가동력 촉각센서의 실제 제작 및 실험예[3] Actual manufacturing and experimental example of the self-powered tactile sensor of the present invention

도 9는 전원부의 제작실시예를 도시하고 있다. 도 9의 실시예에 도시된 바와 같이, 원하는 물질을 성장시킨 후 전자스피닝(Electrospinning)한 후 PDMS를 스핀-코팅(Spin-coating)하여 하나의 레이어를 만들고, 전극판용 물질(도 9에서는 AgNWs)을 스핀-코팅한 후 에어로겔용액 및 PDMS를 순차적으로 스핀-코팅하여 다른 레이어를 만들어서, PDMS끼리 맞닿도록 적층함으로써 상기 전원부(110), 즉 전력을 생산하는 부분이 만들어질 수 있다.9 shows a manufacturing embodiment of the power supply unit. As shown in the embodiment of FIG. 9, after growing a desired material, electrospinning, and then spin-coating PDMS to make one layer, and material for electrode plate (AgNWs in FIG. 9) After spin-coating, the airgel solution and the PDMS are sequentially spin-coated to make another layer, and then stacked so that the PDMS are in contact with each other, so that the power supply unit 110, that is, the part that generates power can be made.

상기 전원부(110)는 터치를 받아들여 터치신호를 생산하면서 전력공급 역할을 하게 되며, 이와 연결되는 상기 감지부(120)가 이제 원하는 변수의 감지를 적극적으로 수행하게 된다. 상기 감지부(120)는 어떤 변수를 감지하고자 하는지에 따라 다양하게 만들어질 수 있는데, 여기에서는 상기 감지부(120)가 변형센서인 경우 및 온도센서인 경우를 예시적으로 설명한다.The power supply unit 110 receives a touch and generates a touch signal while supplying power, and the sensing unit 120 connected thereto actively detects a desired variable. The sensing unit 120 may be made in various ways depending on which variable is to be sensed. Here, a case in which the sensing unit 120 is a deformation sensor and a temperature sensor will be exemplarily described.

도 10은 감지부가 변형센서인 경우의 제작실시예를 도시하고 있다. 도 10에 도시된 바와 같이, 전극판용 물질(도 10에서는 AgNWs) 용액, 에어로겔용액. PDMS를 기판(도 10에서는 유리) 상에 순차적으로 스핀-코팅하고 열처리(Thermal annealing)한 후 기판에서 떼어냄으로써 변형센서인 상기 감지부(120)를 제작할 수 있다. 도 11은 감지부(변형센서)의 민감도 및 전원부의 민감도 그래프로서, 도 10의 제작실시예로 만들어진 변형센서인 상기 감지부(120) 및 도 9의 제작실시예로 만들어진 상기 전원부(110) 각각의 민감도를 나타낸 것이다. 도 12는 감지부가 변형센서인 자가동력 촉각센서의 실험예로서, 상기 전원부(110)를 손목 쪽에 부착하고(TENG) 변형센서인 상기 감지부(120)를 손가락 쪽에 부착하여(Strain sensor) 수행한 실험에서, 상기 감지부(120)가 늘려지거나(stretching) 복원되는(releasing) 변형이 일어남에 따라 신호의 변동이 발생하여, 변형 측정이 잘 이루어질 수 있음을 확인할 수 있다.10 shows a manufacturing embodiment in the case where the sensing unit is a deformation sensor. As shown in FIG. 10, a material for an electrode plate (AgNWs in FIG. 10) solution, an airgel solution. The sensing unit 120 as a strain sensor can be manufactured by sequentially spin-coating PDMS on a substrate (glass in FIG. 10), performing thermal annealing, and then peeling it off the substrate. 11 is a graph showing the sensitivity of the sensing unit (deformation sensor) and the sensitivity of the power supply unit. The sensing unit 120, which is a deformation sensor made in the manufacturing embodiment of FIG. 10, and the power supply unit 110 made in the manufacturing embodiment of FIG. 9, respectively shows the sensitivity of 12 is an experimental example of a self-powered tactile sensor in which the sensing unit is a strain sensor. The power supply unit 110 is attached to the wrist side (TENG) and the sensing unit 120 as a strain sensor is attached to the finger side (strain sensor). In the experiment, it can be confirmed that the signal is fluctuated as the sensing unit 120 is stretched or released and the deformation occurs, so that the deformation measurement can be performed well.

도 13은 감지부가 온도센서인 경우의 제작실시예를 도시하고 있다. 도 13에 도시된 바와 같이, 전극판용 물질(도 13에서는 PEDOT:PSS와 MWCNT 복합체) 용액, PDMS를 기판(도 13에서는 유리) 상에 순차적으로 스핀-코팅하고 열처리(Thermal annealing)한 후 기판에서 떼어냄으로써 온도센서인 상기 감지부(120)를 제작할 수 있다. 도 14는 감지부(온도센서)의 민감도 및 반복반응성을 나타낸 것이다. 도 15는 감지부가 온도센서인 자가동력 촉각센서의 실험예로서, 상기 전원부(110)(TENG)와 연결된 상기 감지부(120)(Temperature sensor)에 온기가 있는 손가락을 대거나(Touch) 뗌으로써(Detach) 열적 변화가 일어남에 따라 신호의 변동이 발생하여, 온도 측정 역시 잘 이루어질 수 있음을 확인할 수 있다.13 shows a manufacturing embodiment in the case where the sensing unit is a temperature sensor. As shown in FIG. 13, a solution of a material for an electrode plate (PEDOT:PSS and MWCNT composite in FIG. 13) and PDMS are sequentially spin-coated on a substrate (glass in FIG. 13), and after thermal annealing, on the substrate By removing it, the sensing unit 120, which is a temperature sensor, can be manufactured. 14 shows the sensitivity and repetitive reactivity of the sensing unit (temperature sensor). 15 is an experimental example of a self-powered tactile sensor in which the sensing unit is a temperature sensor, by touching or releasing a warm finger to the sensing unit 120 (Temperature sensor) connected to the power supply unit 110 (TENG). Detach) As a thermal change occurs, the signal is fluctuated, so it can be seen that the temperature measurement can also be performed well.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and the scope of application is varied, and anyone with ordinary knowledge in the field to which the present invention pertains without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims It goes without saying that various modifications are possible.

100 : 자가동력 촉각센서
110 : 전원부
111 : 전원부유전체 112 : 전원부전극판
120 : 감지부
121 : 감지부유전체 122 : 감지부전극판100: self-powered tactile sensor
110: power unit
111: power floating dielectric 112: power supply electrode plate
120: sensing unit
121: sensing floating dielectric 122: sensing unit electrode plate

Claims (11)

외부로부터 터치를 직접적으로 입력받는 전원부유전체(111) 및 상기 전원부유전체(111) 하면에 적층 배치되는 전원부전극판(112)을 포함하며, 터치에 의하여 마찰대전 원리로 발전을 수행하며 터치신호를 생성하는 전원부(110);
상기 전원부전극판(112)과 전기적으로 연결되며 온도 또는 압력을 포함하는 환경조건에 따라 임피던스가 변화하는 물성을 가지는 감지부유전체(121) 및 상기 감지부유전체(122) 하면에 적층 배치되는 감지부전극판(122)을 포함하며, 상기 전원부(110)에서 발전되어 공급된 전원을 사용하여 감지신호를 생성하는 감지부(120);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 자가동력 촉각센서.
It includes a power sub-dielectric 111 that directly receives a touch from the outside and a power-supply electrode plate 112 stacked on the lower surface of the power sub-dielectric 111, and generates a touch signal by generating electricity using the triboelectric principle by touch. a power supply unit 110;
The sensing sub-dielectric 121 and the sensing sub-dielectric 122 electrically connected to the power supply electrode plate 112 and having physical properties of varying impedance according to environmental conditions including temperature or pressure, and sensing failure disposed in lamination on the lower surface of the sensing sub-dielectric 122 a sensing unit 120 including an electrode plate 122 and generating a sensing signal using power generated and supplied from the power supply unit 110;
Self-powered tactile sensor comprising a.
 제 1항에 있어서, 상기 자가동력 촉각센서(100)는,
상기 전원부(110)에서, 터치에 의하여 상기 전원부유전체(111)가 대전됨에 따라 상기 전원부전극판(112)에도 대전이 일어남으로써, 상기 전원부전극판(112)에서 측정되는 전압값으로서 상기 터치신호를 생성하고,
상기 감지부(120)에서, 상기 전원부전극판(112)이 대전됨에 따라 상기 감지부유전체(121)가 대전되고, 상기 감지부유전체(121)가 대전됨에 따라 상기 감지부전극판(122)에도 대전이 일어남으로써, 상기 감지부전극판(122)에서 측정되는 전류값으로서 상기 감지신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 자가동력 촉각센서.
According to claim 1, The self-powered tactile sensor (100),
In the power supply unit 110, as the power supply unit dielectric 111 is charged by a touch, charging also occurs in the power supply unit electrode plate 112, so that the touch signal as a voltage value measured by the power supply unit electrode plate 112. create,
In the sensing unit 120 , as the power supply electrode plate 112 is charged, the sensing sub-dielectric 121 is charged, and as the sensing sub-dielectric 121 is charged, the sensing unit electrode plate 122 is also charged. When this occurs, the self-powered tactile sensor, characterized in that the sensing signal is generated as the current value measured by the sensing unit electrode plate (122).
 제 2항에 있어서, 상기 자가동력 촉각센서(100)는,
환경조건이 변화하면 상기 감지부유전체(121)의 임피던스가 변화함에 따라, 동일한 터치에 대하여 생성되는 감지신호가 변화하는 정도를 이용하여,
환경조건의 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 자가동력 촉각센서.
According to claim 2, The self-powered tactile sensor 100,
When the environmental conditions change, as the impedance of the sensing subdielectric 121 changes, using the degree to which the sensing signal generated for the same touch changes,
A self-powered tactile sensor for measuring changes in environmental conditions.
 제 2항에 있어서, 상기 자가동력 촉각센서(100)는,
초기상태에서 상기 전원부유전체(111) 및 상기 감지부유전체(112)의 임피던스가 정합되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 자가동력 촉각센서.
According to claim 2, The self-powered tactile sensor 100,
Self-powered tactile sensor, characterized in that the impedance of the power sub-dielectric 111 and the sensing sub-dielectric 112 are formed to match in the initial state.
 제 1항에 있어서, 상기 자가동력 촉각센서(100)는,
상기 전원부(110) 하측에 상기 감지부(120)가 적층되는 형태로 형성되되,
상기 전원부(110) 및 상기 감지부(120)가 서로 접촉한 면적이, 상기 전원부(110) 및 상기 감지부(120) 각각의 면적보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 자가동력 촉각센서.
According to claim 1, The self-powered tactile sensor (100),
Doedoe formed in a form in which the sensing unit 120 is stacked on the lower side of the power supply unit 110,
A self-powered tactile sensor, characterized in that an area in which the power supply unit 110 and the sensing unit 120 contact each other is smaller than an area of each of the power supply unit 110 and the sensing unit 120 .
 제 1항에 있어서, 상기 자가동력 촉각센서(100)는,
상기 전원부전극판(112) 및 상기 감지부(120)가 동일 평면상에 배치되는 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 자가동력 촉각센서.
According to claim 1, The self-powered tactile sensor (100),
The self-powered tactile sensor, characterized in that the power supply electrode plate (112) and the sensing unit (120) are formed to be disposed on the same plane.
 제 1항에 있어서, 상기 자가동력 촉각센서(100)는,
상기 전원부유전체(111) 및 상기 전원부전극판(112) 사이에 웨어러블(wearable)용 상측유연소재(131)가 개재되는 형태로서 보호부(130)를 형성하는 형성 것을 특징으로 하는 자가동력 촉각센서.
According to claim 1, The self-powered tactile sensor (100),
Self-powered tactile sensor, characterized in that the protective unit 130 is formed in a form in which a wearable upper flexible material 131 is interposed between the power supply part dielectric 111 and the power supply part electrode plate 112 .
 제 7항에 있어서, 상기 자가동력 촉각센서(100)는,
상기 전원부전극판(112) 하면에 웨어러블용 하측유연소재(132)가 배치되어, 상기 상측유연소재(131) 및 상기 하측유연소재(132)가 보호부(130)를 형성하는 것을 특징으로 하는 자가동력 촉각센서.
According to claim 7, The self-powered tactile sensor 100,
A wearable lower flexible material 132 is disposed on the lower surface of the power supply electrode plate 112, and the upper flexible material 131 and the lower flexible material 132 form a protection unit 130. Powered tactile sensor.
 제 8항에 있어서, 상기 자가동력 촉각센서(100)는,
상기 보호부(130) 내부에 상기 전원부전극판(112) 및 상기 감지부(120)가 모두 배치되거나, 또는
상기 보호부(130) 내부에 상기 전원부전극판(112)만이 배치되고 상기 감지부(120)는 상기 보호부(130) 외부에 배치되는 것을 특징으로 하는 자가동력 촉각센서.
According to claim 8, The self-powered tactile sensor (100),
Both the power supply electrode plate 112 and the sensing unit 120 are disposed inside the protection unit 130, or
Self-powered tactile sensor, characterized in that only the power supply electrode plate (112) is disposed inside the protection unit (130), and the sensing unit (120) is disposed outside the protection unit (130).
 제 8항에 있어서, 상기 자가동력 촉각센서(100)는,
하나의 상기 보호부(130) 당 상기 전원부(110) 또는 상기 감지부(120)가 복수 개 구비되는 것을 특징으로 하는 자가동력 촉각센서.
According to claim 8, The self-powered tactile sensor (100),
A self-powered tactile sensor, characterized in that a plurality of the power supply unit (110) or the sensing unit (120) are provided per one protection unit (130).
 제 1항에 있어서, 상기 자가동력 촉각센서(100)는,
상기 감지부(120)가 변형센서 또는 온도센서인 것을 특징으로 하는 자가동력 촉각센서.According to claim 1, The self-powered tactile sensor (100),
The self-powered tactile sensor, characterized in that the sensing unit 120 is a deformation sensor or a temperature sensor.
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