KR20220029882A

KR20220029882A - Gate valve module and sealing chamber

Info

Publication number: KR20220029882A
Application number: KR1020200111381A
Authority: KR
Inventors: 송동욱; 이재성; 강현욱
Original assignee: 엘지전자 주식회사
Priority date: 2020-09-02
Filing date: 2020-09-02
Publication date: 2022-03-10

Abstract

A gate valve module comprises: a support member having an opening unit; a sealing plate opening and closing the opening unit; and a rotary member of which an upper side is fastened to the sealing plate and a lower side is fastened to the support member to enable the sealing plate to open and close the opening unit.

Description

Gate valve module and sealing chamber

실시예는 게이트 밸브 모듈 및 밀폐 챔버에 관한 것이다.Embodiments relate to gate valve modules and closed chambers.

반도체나 디스플레이의 제조 공정에 적용되는 글로브박스 또는 밀폐 챔버는 외부와 차단되어 그 내부 공간을 특정 가스 분위기로 유지되도록 밀폐해야 한다. A glove box or an airtight chamber applied to a semiconductor or display manufacturing process must be closed to the outside to keep its interior space in a specific gas atmosphere.

밀폐 챔버에 반도체용 웨이퍼나 디스플레이용 패널 등과 같은 가공 대상 재공품(goods in process)이 출입된다. 이러한 가공 대상 재공품의 출입의 제어하기 위한 게이트 밸브가 밀폐 챔버에 구비된다. 게이트 밸브는 재공품을 밀폐 챔버와 외부 또는 밀폐 챔버와 다른 밀폐 챔버 사이로 이송하기 위해 밸브를 개폐하여 밀폐 챔버 내의 기밀상태가 유지시킨다.Goods in process to be processed, such as semiconductor wafers or display panels, enter and exit the sealed chamber. A gate valve for controlling the entry and exit of the workpiece to be processed is provided in the sealed chamber. The gate valve opens and closes the valve to transfer the work-in-progress between the closed chamber and the outside or between the closed chamber and another closed chamber to maintain an airtight state in the closed chamber.

종래의 게이트 밸브는 다수의 구성 부품들이 직접 밀폐 챔버의 벽체에 개별적으로 장착되므로, 게이트 밸브의 조립이 복잡한 문제점이 있었다. In the conventional gate valve, since a plurality of components are individually mounted directly on the wall of the hermetic chamber, there is a problem in that the assembly of the gate valve is complicated.

한편, 최근 반도체나 디스플레이가 대용량화, 대면적화되고 있고, 이러한 대용량화, 대면적화에 따라 밀폐 챔버뿐만 아니라 게이트 밸브의 크기도 대형화되고 있으며, 또한 출입하는 재공품의 위치에 따라 게이트 밸브의 장착 위치도 다양해지고 있다. On the other hand, recently, semiconductors and displays have increased in capacity and area, and the size of the closed chamber as well as the gate valve is enlarged according to the increase in capacity and area. there is.

이와 같이 게이트 밸브의 장착 위치가 변경되는 경우, 그 변경된 위치로 게이트 밸브의 다양한 구성 요소를 개별적으로 장착해야 하므로, 게이트 밸브의 설치와 유지 보수에 어려움이 있다. In this way, when the mounting position of the gate valve is changed, since various components of the gate valve must be individually mounted to the changed position, it is difficult to install and maintain the gate valve.

아울러, 게이트 밸브의 다양한 구성 요소가 부피가 커지고 하중이 늘어나, 이러한 구성 요소에 의해 벽체에 가해지는 불균일한 부하 때문에 시간이 경과함에 따라 벽체가 휘어지는 현상이 발생되어 밀폐 챔버의 밀폐 성능이 저하된다. 이러한 경우, 게이트 밸브를 벽체에 밀폐하더라도 게이트 밸브와 벽체에 접하지 접촉이 되지 않아, 밀폐 챔버의 밀폐 불량을 야기한다.In addition, as the various components of the gate valve become bulky and the load increases, the wall is bent over time due to the uneven load applied to the wall by these components, thereby reducing the sealing performance of the hermetic chamber. In this case, even if the gate valve is sealed on the wall, the gate valve and the wall do not come into contact with each other, causing a sealing failure of the sealed chamber.

실시예는 전술한 문제 및 다른 문제를 해결하는 것을 목적으로 한다.The embodiments aim to solve the above and other problems.

실시예는 장착이 용이한 게이트 밸브 모듈 및 밀폐 챔버를 제공한다. Embodiments provide an easy-to-mount gate valve module and hermetic chamber.

실시예는 벽체의 휘어짐을 방지할 수 있는 게이트 밸브 모듈 및 밀폐 챔버를 제공한다.The embodiment provides a gate valve module and an airtight chamber that can prevent warping of the wall.

실시예는 점유 면적을 최소화할 수 있는 게이트 밸브 모듈 및 밀폐 챔버를 제공한다.Embodiments provide a gate valve module and a closed chamber that can minimize the footprint.

실시예는 구조가 단순하고 비용을 절감할 수 있는 게이트 밸브 모듈 및 밀폐 챔버를 제공한다.The embodiment provides a gate valve module and a hermetic chamber that have a simple structure and can reduce costs.

상기 또는 다른 목적을 달성하기 위해 실시예의 일 측면에 따르면, 게이트 밸브 모듈은, 개구부를 포함하는 지지 부재; 상기 개구부를 개폐하는 밀폐판; 및 상측이 상기 밀폐판과 체결되고 하측이 상기 지지 부재에 체결되어 상기 밀폐판이 상기 개구부를 개폐하도록 회전 이동하는 회전 부재를 포함한다.According to one aspect of the embodiment to achieve the above or other objects, the gate valve module includes: a support member including an opening; a sealing plate for opening and closing the opening; and a rotating member having an upper side coupled to the sealing plate and a lower side coupled to the supporting member to rotate the sealing plate to open and close the opening.

실시예의 다른 측면에 따르면, 밀폐 챔버는, 제1 개구부를 포함하는 벽체; 및 게이트 밸브 모듈을 포함한다. 상기 게이트 밸브 모듈은, 제2 개구부를 포함하는 지지 부재; 상기 제2 개구부를 개폐하는 밀폐판; 및 상측이 상기 밀폐판과 체결되어 상기 밀폐판이 상기 제2 개구부를 개폐하도록 회전 이동하는 회전 부재를 포함한다.According to another aspect of the embodiment, the hermetic chamber comprises: a wall including a first opening; and a gate valve module. The gate valve module may include: a support member including a second opening; a sealing plate for opening and closing the second opening; and a rotating member whose upper side is engaged with the sealing plate to rotate and move so that the sealing plate opens and closes the second opening.

실시예에 따른 게이트 밸브 모듈 및 밀폐 챔버의 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.The effects of the gate valve module and the closed chamber according to the embodiment will be described as follows.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 다양한 구성 요소들, 즉 부품들을 모듈화한 게이트 밸브 모듈이 밀폐 챔버에 체결됨으로써, 게이트 밸브 모듈의 장착이 용이한 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, various components, that is, the gate valve module in which the parts are modularized is fastened to the closed chamber, so that the gate valve module can be easily mounted.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 게이트 밸브 모듈의 지지 부재의 전면이 밀폐 챔버에 체결되어 게이트 밸브 모듈의 하중이 밀폐 챔버에 분산되므로, 밀폐 챔버의 벽체가 휘어지지 않게 되어 밀폐 성능이 향상될 수 있다는 장점이 있다. According to at least one of the embodiments, since the front surface of the supporting member of the gate valve module is fastened to the hermetic chamber and the load of the gate valve module is distributed in the hermetic chamber, the wall of the hermetic chamber is not bent, so that the sealing performance can be improved. There is an advantage that

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 지지 부재의 개구부를 개폐하기 위해 밀폐판이 샤프트의 회전에 의해 이동되도록 하여 게이트 밸브 모듈의 점유 면적을 최소화할 수 있다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, there is an advantage that the sealing plate is moved by the rotation of the shaft to open and close the opening of the support member, thereby minimizing the area occupied by the gate valve module.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 회전 부재와 밀폐판 등으로 구성되어 구조가 단순하고 비용을 절감할 수 있다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, it is composed of a rotating member and a sealing plate, so that the structure is simple and the cost can be reduced.

실시예의 적용 가능성의 추가적인 범위는 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다. 그러나 실시예의 사상 및 범위 내에서 다양한 변경 및 수정은 당업자에게 명확하게 이해될 수 있으므로, 상세한 설명 및 바람직한 실시예와 같은 특정 실시예는 단지 예시로 주어진 것으로 이해되어야 한다. Further scope of applicability of embodiments will become apparent from the following detailed description. However, it should be understood that the detailed description and specific embodiments, such as preferred embodiments, are given by way of example only, since various changes and modifications within the spirit and scope of the embodiments may be clearly understood by those skilled in the art.

도 1은 실시예에 따른 밀폐 챔버 시스템을 도시한 측면도이다.
도 2는 실시예에 따른 밀폐 챔버 시스템을 도시한 측단면 사시도이다.
도 3은 도 2의 어댑터를 확대한 측단면 사시도이다.
도 4는 게이트 밸브 모듈을 이용한 밀폐 챔버의 닫힘 상태를 도시한다.
도 5는 게이트 밸브 모듈을 이용한 밀폐 챔버의 개방 상태를 도시한다.
도 6은 실시예에 따른 게이트 밸브 모듈을 도시한 사시도이다.
도 7은 도 6의 밀폐판의 측부를 확대한 도면이다.
도 8은 실시예에 따른 게이트 밸브 모듈을 도시한 분해사시도이다.
도 9는 지지 부재의 개구부를 개방하기 위해 회전 부재의 밀폐판이 회전 이동한 모습을 도시한다.
도 10은 실시예에 따른 게이트 밸브 모듈을 도시한 평면도이다.
도 11은 실시예에 따른 게이트 밸브 모듈을 도시한 측면도이다.
도 12는 실시예에 따른 게이트 밸브 모듈을 도시한 정면도이다.
도 13은 밀폐판이 지지 부재의 개구부에 위치되고 팽창부가 팽창되기 전의 모습을 도시한다.
도 14는 밀폐판이 지지 부재의 개구부에 위치되고 팽창부가 팽창된 후의 모습을 도시한다.1 is a side view illustrating a closed chamber system according to an embodiment.
2 is a side cross-sectional perspective view illustrating a closed chamber system according to an embodiment.
Figure 3 is an enlarged side cross-sectional perspective view of the adapter of Figure 2;
4 shows a closed state of the hermetic chamber using the gate valve module.
5 shows an open state of the closed chamber using the gate valve module.
6 is a perspective view illustrating a gate valve module according to an embodiment.
FIG. 7 is an enlarged view of a side portion of the sealing plate of FIG. 6 .
8 is an exploded perspective view illustrating a gate valve module according to an embodiment.
9 illustrates a state in which the sealing plate of the rotating member is rotated to open the opening of the supporting member.
10 is a plan view illustrating a gate valve module according to an embodiment.
11 is a side view illustrating a gate valve module according to an embodiment.
12 is a front view illustrating a gate valve module according to an embodiment.
13 shows the state before the sealing plate is placed in the opening of the support member and the inflatable part is inflated.
Fig. 14 shows the state after the sealing plate is placed in the opening of the support member and the expandable portion is inflated.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 기술 사상은 설명되는 일부 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 기술 사상 범위 내에서라면, 실시 예들간 그 구성 요소들 중 하나 이상을 선택적으로 결합, 치환하여 사용할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 사용되는 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는, 명백하게 특별히 정의되어 기술되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있으며, 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미를 고려하여 그 의미를 해석할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명의 실시예에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함할 수 있고, “B 및(와) C 중 적어도 하나(또는 한 개 이상)”로 기재되는 경우 A, B, C로 조합할 수 있는 모든 조합 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등으로 한정되지 않는다. 그리고, 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 '연결', '결합' 또는 '접속'된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 결합 또는 접속되는 경우 뿐만아니라, 그 구성 요소와 그 다른 구성요소 사이에 있는 또 다른 구성 요소로 인해 '연결', '결합' 또는 '접속＇되는 경우도 포함할 수 있다. 또한, 각 구성 요소의 " 상(위) 또는 하(아래)"에 형성 또는 배치되는 것으로 기재되는 경우, 상(위) 또는 하(아래)는 두개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되는 경우 뿐만아니라 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 형성 또는 배치되는 경우도 포함한다. 또한 “상(위) 또는 하(아래)”으로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the technical spirit of the present invention is not limited to some of the described embodiments, but may be implemented in various different forms, and within the scope of the technical spirit of the present invention, one or more of the components may be selected between the embodiments. It can be used by combining or substituted with . In addition, terms (including technical and scientific terms) used in the embodiments of the present invention may be generally understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs, unless specifically defined and described explicitly. It may be interpreted as a meaning, and generally used terms such as terms defined in advance may be interpreted in consideration of the contextual meaning of the related art. In addition, the terminology used in the embodiments of the present invention is for describing the embodiments and is not intended to limit the present invention. In this specification, the singular form may also include the plural form unless otherwise specified in the phrase, and when it is described as "at least one (or more than one) of B and (and) C", it can be combined with A, B, and C. It may include one or more of all combinations. In addition, in describing the components of the embodiment of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), (b), etc. may be used. These terms are only for distinguishing the component from other components, and are not limited to the essence, order, or order of the component by the term. And, when it is described that a component is 'connected', 'coupled' or 'connected' to another component, the component is not only directly connected, coupled or connected to the other component, but also with the component It may also include a case of 'connected', 'coupled' or 'connected' due to another element between the other elements. In addition, when it is described as being formed or disposed on "above (above) or under (below)" of each component, the upper (above) or lower (below) is not only when two components are in direct contact with each other, but also one Also includes a case in which another component as described above is formed or disposed between two components. In addition, when expressed as “up (up) or down (down)”, it may include not only the upward direction but also the meaning of the downward direction based on one component.

도 1은 실시예에 따른 밀폐 챔버 시스템을 도시한 측면도이다.1 is a side view illustrating a closed chamber system according to an embodiment.

도 1을 참조하면, 실시예에 따른 밀폐 챔버 시스템은 적어도 2개 이상의 밀폐 챔버(10, 11)와 이들 밀폐 챔버(10, 11)를 연결하는 어댑터(30)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1 , the sealed chamber system according to the embodiment may include at least two or more sealed chambers 10 and 11 and an adapter 30 connecting these sealed chambers 10 and 11 .

밀폐 챔버(10, 11)는 복수의 프레임과 복수의 벽체(20)로 구성될 수 있다. 즉, 복수의 프레임을 서로 간에 연결하고, 벽체(20)를 이들 프레임에 체결하여 밀폐 챔버(10, 11)가 제작될 수 있다. The hermetic chambers 10 and 11 may include a plurality of frames and a plurality of walls 20 . That is, the closed chambers 10 and 11 may be manufactured by connecting a plurality of frames to each other and fastening the wall 20 to these frames.

이러한 복수의 벽체 중 적어도 하나의 벽체(20)는 재공품의 이송이 가능한 개구부(도 2의 22)를 포함할 수 있다. 개구부(22)는 재공품의 사이즈보다 큰 사이즈를 가져, 재공품이 해당 개구부(22)를 통해 밀폐 챔버(10)로부터 또 다른 밀폐 챔버(11)로 용이하게 이송될 수 있다. At least one wall 20 of the plurality of walls may include an opening (22 in FIG. 2 ) through which a work-in-process can be transported. The opening 22 has a size larger than the size of the work-in-progress, so that the work-in-process can be easily transferred from the closed chamber 10 to another closed chamber 11 through the opening 22 .

어댑터(30)는 인접하는 밀폐 챔버(10, 11)를 연결하여 주는 것으로서, 예컨대 밀폐 챔버(11)과 일체로 형성될 수 있다. 즉, 밀폐 챔버(10)는 어댑터(30)을 통해 밀폐 챔버(11)과 연결될 수 있다. 밀폐 챔버(11)는 어댑터(30)를 통해 또 다른 밀폐 챔버와 연결될 수 있다. The adapter 30 connects the adjacent closed chambers 10 and 11 , and may be formed integrally with the closed chamber 11 , for example. That is, the hermetic chamber 10 may be connected to the hermetic chamber 11 through the adapter 30 . The hermetic chamber 11 may be connected to another hermetic chamber through the adapter 30 .

예컨대, 게이트 밸브 모듈(100)은 밀폐 챔버(10)의 벽체(20)에 장착될 수 있다. 벽체(20)는 밀폐 챔버(10)의 측부 상에 설치된 프레임에 체결될 수 있다. 벽체(20)의 일부는 개방되어 개구부(22)를 형성할 수 있다. For example, the gate valve module 100 may be mounted on the wall 20 of the closed chamber 10 . The wall 20 may be fastened to a frame installed on the side of the closed chamber 10 . A portion of the wall 20 may be opened to form an opening 22 .

게이트 밸브 모듈(100)에 의해 벽체(20)의 개구부(22)가 개방되거나 폐쇄될 수 있다. The opening 22 of the wall 20 may be opened or closed by the gate valve module 100 .

예컨대, 게이트 밸브 모듈(100)가 어댑터(30)에 배치될 수 있다. 예컨대, 게이트 밸브 모듈(100)은 벽체(20)의 외측면에 장착될 수 있다. For example, the gate valve module 100 may be disposed on the adapter 30 . For example, the gate valve module 100 may be mounted on the outer surface of the wall 20 .

다른 예로서, 게이트 밸브 모듈(100)은 벽체(20)가 아닌 프레임에 직접 체결될 수도 있다. 이러한 경우, 벽체(20)가 생략되므로, 밀폐 챔버 시스템의 구성이 단순해지고 비용이 절감될 수 있다. As another example, the gate valve module 100 may be directly coupled to the frame instead of the wall 20 . In this case, since the wall 20 is omitted, the configuration of the closed chamber system can be simplified and the cost can be reduced.

도 2는 실시예에 따른 밀폐 챔버 시스템을 도시한 측단면 사시도이고, 도 3은 도 2의 어댑터를 확대한 측단면 사시도이다.2 is a side cross-sectional perspective view illustrating a closed chamber system according to an embodiment, and FIG. 3 is an enlarged side cross-sectional perspective view of the adapter of FIG.

도 2 및 도 3을 참조하면, 게이트 밸브 모듈(100)은 밀폐 챔버(10)의 벽체(20)에 장착될 수 있다. 2 and 3 , the gate valve module 100 may be mounted on the wall 20 of the closed chamber 10 .

게이트 밸브 모듈(100)은 지지 부재(110), 밀폐판(120) 및 회전 부재(130)를 포함할 수 있다. 실시예에서, 게이트 밸브 모듈(100)은 이보다 더 많은 구성 요소를 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The gate valve module 100 may include a support member 110 , a sealing plate 120 , and a rotation member 130 . In an embodiment, the gate valve module 100 may include more components than this, but this is not limited thereto.

일 예로, 지지 부재(110)는 밀폐 챔버(10)의 복수의 벽체 중 적어도 하나의 벽체(20)에 체결될 수 있다. 이러한 경우, 지지 부재(110)의 사이즈는 벽체(20)의 사이즈와 동일하거나 작을 수 있다. 지지 부재(110)의 사이즈가 클수록 지지 부재(110)가 벽체(20)에 체결되는 면적이 커져, 게이트 밸브 모듈(100)의 하중을 벽체(20)의 넓은 면적에 분산시켜 게이트 밸브 모듈(100)의 하중으로 인한 벽체(20)의 휘어짐을 방지할 수 있다. For example, the support member 110 may be fastened to at least one wall 20 among a plurality of walls of the closed chamber 10 . In this case, the size of the support member 110 may be the same as or smaller than the size of the wall 20 . The larger the size of the support member 110 , the larger the area in which the support member 110 is fastened to the wall 20 , and the load of the gate valve module 100 is distributed over a wide area of the wall 20 to thereby distribute the gate valve module 100 . ) can prevent bending of the wall 20 due to the load.

예컨대, 지지 부재(110)는 우수한 강도를 갖는 재질로 형성될 수 있다. 지지 부재(110)는 예컨대, 스테인레스 스틸, 알루미늄이나 알루미늄 합금으로 형성될 수 있다. 예컨대, 지지 부재(110)는 지지 플레이트, 지지판, 지지 프레임 등으로 불릴 수 있다. For example, the support member 110 may be formed of a material having excellent strength. The support member 110 may be formed of, for example, stainless steel, aluminum, or an aluminum alloy. For example, the support member 110 may be referred to as a support plate, a support plate, a support frame, or the like.

예컨대, 지지 부재(110)가 플레이트 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 지지 부재(110)의 제1 측면과 제1 측면의 반대인 제2 측면 모두 평면을 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 제1 측면은 밀폐 챔버(10)의 벽체(20)에 마주보는 면이고, 제2 측면은 밀폐판(120)과 마주보든 면일 수 있다. 지지 부재(110)는 평면을 갖는 벽체(20)에 면대면으로 접하여 체결될 수 있다.For example, the support member 110 may have a plate shape. For example, both the first side surface and the second side opposite to the first side surface of the support member 110 may have a flat surface, but the present invention is not limited thereto. The first side may be a surface facing the wall 20 of the sealing chamber 10 , and the second side may be a side facing the sealing plate 120 . The support member 110 may be fastened in contact with the wall 20 having a flat surface in a face-to-face manner.

다른 예로, 지지 부재(110)가 벽체(20)로 대체되어 벽체(20)가 생략될 수도 있다. 지지 부재(110)가 직접 프레임들에 체결될 수 있다. 즉, 지지 부재(110)가 밀폐 챔버(10)의 벽체(20)로서의 역할을 할 수 있다. 이러한 경우, 벽체(20)가 생략되고, 지지 부재(110)가 직접 프레임들에 체결되므로, 조립이 더욱 더 용이할 수 있다. As another example, the support member 110 may be replaced with the wall 20 so that the wall 20 may be omitted. The support member 110 may be directly fastened to the frames. That is, the support member 110 may serve as the wall 20 of the closed chamber 10 . In this case, since the wall 20 is omitted and the support member 110 is directly fastened to the frames, assembly may be further facilitated.

한편, 지지 부재(110)는 개구부(112)를 포함할 수 있다. 지지 부재(110)가 벽체(20)에 체결되는 경우, 지지 부재(110)의 개구부(112)는 벽체(20)의 개구부(20)에 대응될 수 있다. 예컨대, 지지 부재(110)의 개구부(112)는 벽체(20)의 개구부(20)보다 작을 수 있다. 예컨대, 지지 부재(110)의 사이즈는 벽체(20)의 사이즈보다 클 수 있다. 따라서, 지지 부재(110)의 테두리 영역이 개구부(22)를 둘러싸는 벽체(20)에 체결될 수 있다. Meanwhile, the support member 110 may include an opening 112 . When the support member 110 is fastened to the wall 20 , the opening 112 of the support member 110 may correspond to the opening 20 of the wall 20 . For example, the opening 112 of the support member 110 may be smaller than the opening 20 of the wall 20 . For example, the size of the support member 110 may be larger than the size of the wall 20 . Accordingly, the edge region of the support member 110 may be fastened to the wall 20 surrounding the opening 22 .

지지 부재(110)의 개구부(112)는 적어도 재공품의 사이즈보다 크므로, 재공품이 지지 부재(110)의 개구부(112)를 통해 밀폐 챔버(10) 내부에서 외부로 또는 외부에서 내부로 용이하게 이동될 수 있다. Since the opening 112 of the support member 110 is at least larger than the size of the work-in-process, the work-in-progress easily moves from inside the closed chamber 10 to the outside or from the outside to the inside through the opening 112 of the support member 110 . can be

실시예의 밀폐판(120)은 지지 부재(110)의 개구부(112)를 개폐시키기 위한 부재일 수 있다. The sealing plate 120 of the embodiment may be a member for opening and closing the opening 112 of the support member 110 .

예컨대, 밀폐판(120)은 플레이트 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 밀폐판(120)은 우수한 강도를 갖는 재질로 형성될 수 있다. 밀폐판(120)은 스테인레스 스틸, 알루미늄이나 알루미늄 함금으로 형성될 수 있다.For example, the sealing plate 120 may have a plate shape. For example, the sealing plate 120 may be formed of a material having excellent strength. The sealing plate 120 may be formed of stainless steel, aluminum, or an aluminum alloy.

예컨대, 밀폐판(120)은 지지 부재(110)의 개구부(112)의 사이즈보다 작은 사이즈를 가질 수 있다. 이러한 경우, 밀폐판(120)이 지지 부재(110)의 개구부(112)에 위치될 때, 밀폐판(120)의 측면과 개구부(112)의 내측면 사이에 이격 공간(도 13 및 도 14의 150)이 형성될 수 있다. For example, the sealing plate 120 may have a size smaller than the size of the opening 112 of the support member 110 . In this case, when the sealing plate 120 is positioned in the opening 112 of the support member 110 , a space (in FIGS. 13 and 14 ) between the side surface of the sealing plate 120 and the inner surface of the opening 112 . 150) may be formed.

이때, 밀폐판(120)의 측면과 개구부(112)의 내측면은 이격 거리(d)만큼 이격될 수 있다. 예컨대, 밀폐판(120)의 측면을 따라 밀폐판(120)의 측면은 개구부(112)의 내측면으로부터 이격 거리(d)만큼 이격될 수 있다. 따라서, 밀폐판(120)이 지지 부재(110)의 개구부(112)를 밀폐시키기 위해 지지 부재(110)의 개구부(112)에 위치되어도 밀폐판(120)이 지지 부재(110)와 부딪히지 않음으로써, 밀폐판(120)과 지지 부재(110)가 부딪혀 발생되는 문제들을 차단할 수 있다. 이러한 문제들로 밀폐판(120)과 지지 부재(110)의 충돌로 밀폐판(120)이나 지지 부재(110)가 파손되거나 밀폐판(120)이나 지지 부재(110)로부터 파티클이 발생되어 밀폐 챔버(10)로 유입되어 오염원으로 작용할 수 있다. In this case, the side surface of the sealing plate 120 and the inner surface of the opening 112 may be spaced apart by a separation distance d. For example, the side surface of the sealing plate 120 along the side of the sealing plate 120 may be spaced apart from the inner surface of the opening 112 by a separation distance (d). Therefore, even when the sealing plate 120 is positioned in the opening 112 of the support member 110 to seal the opening 112 of the support member 110 , the sealing plate 120 does not collide with the support member 110 . , it is possible to block problems that occur when the sealing plate 120 and the support member 110 collide. Due to these problems, the sealing plate 120 or the supporting member 110 is damaged due to the collision between the sealing plate 120 and the supporting member 110 or particles are generated from the sealing plate 120 or the supporting member 110, so that the sealed chamber (10) and may act as a source of contamination.

하지만, 밀폐판(120)의 측면과 개구부(112)의 내측면이 서로 이격됨으로써, 지지 부재의 개구부가 완전하게 밀폐되지 않게 되는데, 이는 팽창부(140)의 팽창 또는 수축 동작으로 해결될 수 있으며, 나중에 상세히 설명한다.However, since the side surface of the sealing plate 120 and the inner surface of the opening 112 are spaced apart from each other, the opening of the support member is not completely sealed, which can be solved by the expansion or contraction operation of the expansion unit 140 , , which will be described in detail later.

실시예의 회전 부재(130)는 밀폐판(120)이 지지 부재(110)의 개구부(112)를 개폐하도록 회전 이동할 수 있다. 회전 부재(130)의 상측은 밀폐판(120)에 체결되고 하측은 지지 부재(110)에 체결될 수 있다. 이러한 경우, 회전 부재(130)의 하측을 기준으로 회전 부재(130)가 소정 각도 회전될 수 있다. 회전 각도는 예컨대, 0도와 90도 사이일 수 있다. 따라서, 밀폐판(120)은 0도와 90도 사이에서 회전 이동할 수 있다. The rotation member 130 of the embodiment may rotate so that the sealing plate 120 opens and closes the opening 112 of the support member 110 . An upper side of the rotation member 130 may be fastened to the sealing plate 120 , and a lower side thereof may be fastened to the support member 110 . In this case, the rotation member 130 may be rotated by a predetermined angle with respect to the lower side of the rotation member 130 . The angle of rotation may be, for example, between 0 and 90 degrees. Accordingly, the sealing plate 120 can be rotated between 0 degrees and 90 degrees.

예컨대, 밀폐판(120)의 면이 지지 부재(110)의 면에 수직인 방향에 위치될 수 있다. 이러한 경우, 회전 각도를 0도로 정의할 수 있다. 지지 부재(110)가 개방되었을 때, 밀폐판(120)의 면이 지지 부재(110)의 면에 수직인 방향에 위치되어야, 재공품이 수평 방향으로 안전하게 이동될 수 있다. For example, the surface of the sealing plate 120 may be positioned in a direction perpendicular to the surface of the support member 110 . In this case, the rotation angle can be defined as 0 degrees. When the support member 110 is opened, the surface of the sealing plate 120 should be positioned in a direction perpendicular to the surface of the support member 110 so that the workpiece can be safely moved in the horizontal direction.

예컨대, 밀폐판(120)의 면이 지지 부재(110)의 면과 평행한 방향에 위치될 수 있다. 이러한 경우, 회전 각도를 90도로 정의할 수 있다. 지지 부재(110)가 개방되었을 때, 밀폐판(120)의 면이 지지 부재(110)의 면에 평행한 방향에 위치되어야, 밀폐판(120)에 의해 지지 부재(110)의 개구부(112)가 완벽하게 밀폐될 수 있다. For example, the surface of the sealing plate 120 may be positioned in a direction parallel to the surface of the support member 110 . In this case, the rotation angle can be defined as 90 degrees. When the support member 110 is opened, the surface of the sealing plate 120 should be positioned in a direction parallel to the surface of the support member 110 , and the opening 112 of the support member 110 by the sealing plate 120 . can be completely sealed.

이상과 같이 게이트 밸브 모듈(100)이 구성됨으로써, 도 4에 도시한 바와 같이 회전 부재(130)가 시계 방향으로 회전 이동하여 지지 부재(110)의 개구부(112)가 밀폐되고, 도 5에 도시한 바와 같이 반시계 방향으로 회전 이동하여 지지 부재(110)의 개구부(112)가 개방될 수 있다. As the gate valve module 100 is configured as described above, as shown in FIG. 4 , the rotation member 130 rotates in a clockwise direction to seal the opening 112 of the support member 110 , as shown in FIG. 5 . As described above, the opening 112 of the support member 110 may be opened by rotationally moving in the counterclockwise direction.

예컨대, 밀폐 챔버(10)에서 소정의 공정을 수행하기 위해, 밀폐 챔버(10)가 밀폐되어야 하는 경우, 도 4에 도시한 바와 같이, 회전 부재(130)가 시계 방향으로 회전 이동하여 지지 부재(110)의 개구부(112)가 밀폐될 수 있다. For example, in order to perform a predetermined process in the hermetic chamber 10, when the hermetic chamber 10 needs to be hermetically sealed, as shown in FIG. 4 , the rotating member 130 rotates in a clockwise direction to move the supporting member ( The opening 112 of the 110 may be sealed.

예컨대, 밀폐 챔버(10)에서 공정이 완성된 재공품이 외부로 반출하는 경우, 도 5에 도시한 바와 같이, 회전 부재(130)가 반시계 방향으로 회전 이동하여 지지 부재(110)의 개구부(112)가 개방될 수 있다. 이때, 밀폐판(120)의 면이 지지 부재(110)의 면에 수직인 방향에 위치되어, 밀폐 챔버(10) 내의 재공품이 지지 부재(110)의 개구부(112)를 통해 수평 방향으로 이동되더라도 밀폐판(120)의 방해를 받지 않는다. For example, when the work-in-progress on which the process is completed in the closed chamber 10 is taken out, as shown in FIG. 5 , the rotating member 130 rotates counterclockwise to rotate the opening 112 of the supporting member 110 . ) can be opened. At this time, even if the surface of the sealing plate 120 is positioned in a direction perpendicular to the surface of the support member 110 , the work in progress in the sealing chamber 10 is moved in the horizontal direction through the opening 112 of the support member 110 . It is not obstructed by the sealing plate 120 .

도 6은 실시예에 따른 게이트 밸브 모듈을 도시한 사시도이고, 도 7은 도 6의 밀폐판의 측부를 확대한 도면이다. 도 8은 실시예에 따른 게이트 밸브 모듈을 도시한 분해사시도이다. 도 9는 지지 부재의 개구부를 개방하기 위해 회전 부재의 밀폐판이 회전 이동한 모습을 도시한다. 도 10은 실시예에 따른 게이트 밸브 모듈을 도시한 평면도이고, 도 11은 실시예에 따른 게이트 밸브 모듈을 도시한 측면도이며, 도 12는 실시예에 따른 게이트 밸브 모듈을 도시한 정면도이다.6 is a perspective view illustrating a gate valve module according to the embodiment, and FIG. 7 is an enlarged view of the sealing plate of FIG. 6 . 8 is an exploded perspective view illustrating a gate valve module according to an embodiment. 9 illustrates a state in which the sealing plate of the rotating member is rotated to open the opening of the supporting member. Figure 10 is a plan view showing a gate valve module according to the embodiment, Figure 11 is a side view showing the gate valve module according to the embodiment, Figure 12 is a front view showing the gate valve module according to the embodiment.

도 6 내지 도 12를 참조하면, 게이트 밸브 모듈(100)은 지지 부재(110), 밀폐판(120) 및 회전 부재(130)를 포함할 수 있다. 6 to 12 , the gate valve module 100 may include a support member 110 , a sealing plate 120 , and a rotation member 130 .

지지 부재(110)와 밀폐판(120)은 상술한 바 있으므로, 상세한 설명은 생략한다.Since the support member 110 and the sealing plate 120 have been described above, a detailed description thereof will be omitted.

실시예의 회전 부재(130)는 복수의 제1 브라켓(131), 샤프트(132) 및 복수의 리브(133)를 포함할 수 있다. 회전 부재(130)는 이보다 더 많은 구성 요소를 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The rotation member 130 of the embodiment may include a plurality of first brackets 131 , a shaft 132 , and a plurality of ribs 133 . The rotating member 130 may include more components than this, but is not limited thereto.

예컨대, 복수의 제1 브라켓(131)은 지지 부재(110)에 체결되고 일 방향을 따라 배치될 수 있다. 예컨대, 복수의 제1 브라켓(131)은 지지 부재(110)의 하측에 횡 방향을 따라 배치될 수 있다. 예컨대, 복수의 제1 브라켓(131)은 스크류와 같은 체결 수단을 이용하여 지지 부재(110)에 체결될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. For example, the plurality of first brackets 131 may be fastened to the support member 110 and disposed along one direction. For example, the plurality of first brackets 131 may be disposed on the lower side of the support member 110 in the lateral direction. For example, the plurality of first brackets 131 may be fastened to the support member 110 using a fastening means such as a screw, but the present invention is not limited thereto.

도 6 및 도 8에서는 3개의 제1 브라켓(131)이 도시되고 있지만, 이보다 더 많은 제1 브라켓이 구비될 수 있다. Although three first brackets 131 are shown in FIGS. 6 and 8 , more first brackets may be provided.

복수의 제1 브라켓(131)은 서로 간에 이격되어 지지 부재(110)에 체결될 수 있다. 복수의 제1 브라켓(131)은 일 방향, 즉 횡방향을 따라 서로 간에 이격되어 배치될 수 있다. 이들 제1 브라켓(131) 사이에 복수의 리브(133)가 배치될 수 있다. The plurality of first brackets 131 may be spaced apart from each other and fastened to the support member 110 . The plurality of first brackets 131 may be disposed to be spaced apart from each other in one direction, that is, in a lateral direction. A plurality of ribs 133 may be disposed between the first brackets 131 .

따라서, 샤프트(132)가 횡방향을 따라 복수의 제1 브라켓(131)과 복수의 리브(133)를 교대로 관통하도록 배치될 수 있다. 이러한 경우, 샤프트(132)는 복수의 제1 브라켓(131)에 대해 독립적으로 회전 가능하고, 복수의 리브(133)에 고정되도록 체결될 수 있다. 따라서, 샤프트(132)가 복수의 제1 브라켓(131)에 대해 독립적으로 회전하면, 샤프트(132)에 체결된 복수의 리브(133) 또한 회전될 수 있다. 이에 따라, 복수의 리브(133)에 체결된 밀폐판(120)이 이동되어 지지 부재(110)의 개구가 개폐될 수 있다. Accordingly, the shaft 132 may be disposed to alternately pass through the plurality of first brackets 131 and the plurality of ribs 133 along the lateral direction. In this case, the shaft 132 may be independently rotatable with respect to the plurality of first brackets 131 , and may be fastened to be fixed to the plurality of ribs 133 . Accordingly, when the shaft 132 independently rotates with respect to the plurality of first brackets 131 , the plurality of ribs 133 coupled to the shaft 132 may also rotate. Accordingly, the sealing plate 120 coupled to the plurality of ribs 133 may be moved to open and close the opening of the support member 110 .

예컨대, 샤프트(132)의 장축은 복수의 제1 브라켓(131)의 배치 방향을 따라 샤프는 복수의 제1 브라켓(131)을 관통할 수 있다. 예컨대, 도 6 내지 도 8에 도시한 바와 같이, 3개의 제1 브라켓(131)이 횡 방향으로 따라 지지 부재(110)에 체결되는 경우, 샤프트(132)는 횡 방향을 따라 3개의 제1 브라켓(131)을 관통할 수 있다. For example, the long axis of the shaft 132 may pass through the plurality of first brackets 131 along the arrangement direction of the plurality of first brackets 131 . For example, as shown in FIGS. 6 to 8 , when the three first brackets 131 are fastened to the support member 110 in the transverse direction, the shaft 132 is connected to the three first brackets in the transverse direction. (131) can be penetrated.

복수의 제1 브라켓(131) 각각의 중심에 홀이 형성되고, 샤프트(132)는 복수의 제1 브라켓(131) 각각의 홀을 관통하여 배치될 수 있다. A hole may be formed in the center of each of the plurality of first brackets 131 , and the shaft 132 may be disposed through the holes of each of the plurality of first brackets 131 .

샤프트(132)는 복수의 제1 브라켓(131)과 별개로 회전될 수 있다. The shaft 132 may be rotated separately from the plurality of first brackets 131 .

이를 위해, 복수의 제1 브라켓(131) 각각에 베어링(136)이 설치될 수 있다. 구체적으로, 복수의 제1 브라켓(131) 각각의 홀 내에 베어링(136)이 설치될 수 있다. To this end, a bearing 136 may be installed in each of the plurality of first brackets 131 . Specifically, a bearing 136 may be installed in each hole of the plurality of first brackets 131 .

도 8에 도시한 바와 같이, 베어링(136)은 중심에 관통홀(137)이 형성되고, 이 관통홀(137)에 샤프트(132)가 삽입될 수 있다. As shown in FIG. 8 , the bearing 136 has a through hole 137 formed in the center thereof, and the shaft 132 may be inserted into the through hole 137 .

예컨대, 베어링(136)은 샤프트(132)의 회전 운동을 가이드할 수 있다. 이에 따라, 베어링(136)을 매개로 하여 샤프트(132)는 복수의 제1 브라켓(131)에 대해 독립적으로 회전될 수 있다. For example, the bearing 136 may guide the rotational movement of the shaft 132 . Accordingly, the shaft 132 may be independently rotated with respect to the plurality of first brackets 131 via the bearing 136 .

복수의 리브(133)는 샤프트(132)와 밀폐판(120) 사이에 설치되어 샤프트(132)의 회전에 따라 밀폐판(120)이 회전되도록 매개하는 역할을 할 수 있다. 또한, 복수의 리브(133)는 밀폐판(120)을 지지하는 역할을 할 수도 있다. The plurality of ribs 133 may be installed between the shaft 132 and the sealing plate 120 to mediate the rotation of the sealing plate 120 according to the rotation of the shaft 132 . In addition, the plurality of ribs 133 may serve to support the sealing plate 120 .

복수의 리브(133)는 복수의 제1 브라켓(131) 사이에 배치될 수 있다. 즉, 복수의 제1 브라켓(131)과 복수의 리브(133)는 교대로 배치될 수 있다. 예컨대, 복수의 리브(133) 및 복수의 제1 브라켓(131) 각각 3개씨 구비되는 경우, 횡방향을 따라 일렬로 제1-1 브라켓, 제1 리브, 제1-2 브라켓, 제2 리브, 제1-3 브라켓 및 제3 리브의 순서로 배치될 수 있다. 즉, 제1-1 브라켓과 제1-2 브라켓 사이에 제1 리브가 위치되고, 제1-2 브라켓과 제1-3 브라켓 사이에 제2 리브가 위치될 수 있다. The plurality of ribs 133 may be disposed between the plurality of first brackets 131 . That is, the plurality of first brackets 131 and the plurality of ribs 133 may be alternately disposed. For example, when the plurality of ribs 133 and the plurality of first brackets 131 are provided with three seeds, the 1-1 bracket, the first rib, the 1-2 bracket, the second rib, It may be arranged in the order of the 1-3 bracket and the third rib. That is, the first rib may be positioned between the 1-1 bracket and the 1-2 bracket, and the second rib may be positioned between the 1-2 bracket and the 1-3 bracket.

예컨대, 복수의 리브(133) 각각의 일측은 샤프트(132)에 체결되고 타측은 밀폐판(120)에 체결될 수 있다. For example, one side of each of the plurality of ribs 133 may be fastened to the shaft 132 and the other side may be fastened to the sealing plate 120 .

복수의 리브(133) 각각이 밀폐판(120)에 접하는 영역이 작으므로, 이를 보완하기 위해 보다 큰 면적을 갖는 매개체(127)를 통해 복수의 리브(133) 각각이 밀폐판(120)에 체결될 수 있다. Since the area in which each of the plurality of ribs 133 comes in contact with the sealing plate 120 is small, each of the plurality of ribs 133 is fastened to the sealing plate 120 through the medium 127 having a larger area to compensate for this. can be

복수의 리브(133) 각각의 일측에는 관통홀(133a)가 형성되어, 이 관통홀(133a)에 샤프트(132)가 삽입될 수 있다. 즉, 샤프트(132)가 복수의 리브(133) 가각의 일측에 형성된 관통홀(133a)에 샤프트(132)가 관통될 수 있다. 복수의 리브(133)와 샤프트(132)가 고정되도록 스크류와 같은 체결 수단을 이용하여 복수의 리브(133) 각각이 샤프트(132)에 체결될 수 있다. A through hole 133a is formed at one side of each of the plurality of ribs 133 , and the shaft 132 may be inserted into the through hole 133a. That is, the shaft 132 may pass through the through hole 133a formed at one side of each of the plurality of ribs 133 . Each of the plurality of ribs 133 may be fastened to the shaft 132 using a fastening means such as a screw so that the plurality of ribs 133 and the shaft 132 are fixed.

따라서, 샤프트(132)가 회전되는 경우, 샤프트(132)에 고정된 복수의 리브(133) 각각도 회전될 수 있다. 예컨대, 샤프트(132)가 시계 방향으로 회전되면, 복수의 리브(133) 각각이 시계 방향으로 회전되어 복수의 리브(133) 각각에 체결된 밀폐판(120)이 전방으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 밀폐판(120)이 지지 부재(110)의 개구부(112)에 위치되어 지지 부재(110)를 밀폐시킬 수 있다. 예컨대, 샤프트(132)가 반시계 방향으로 회전되면, 복수의 리브(133) 각각이 반시계 방향으로 회전되어 복수의 리브(133) 각각에 체결된 밀폐판(120)이 후방으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 밀폐판(120)이 지지 부재(110)의 개구부(112)에서 멀어져 지지 부재(110)의 개구부(112)가 개방될 수 있다. Accordingly, when the shaft 132 is rotated, each of the plurality of ribs 133 fixed to the shaft 132 may also be rotated. For example, when the shaft 132 rotates clockwise, each of the plurality of ribs 133 is rotated clockwise so that the sealing plate 120 coupled to each of the plurality of ribs 133 may move forward. Accordingly, the sealing plate 120 may be positioned in the opening 112 of the support member 110 to seal the support member 110 . For example, when the shaft 132 is rotated counterclockwise, each of the plurality of ribs 133 is rotated counterclockwise so that the sealing plate 120 coupled to each of the plurality of ribs 133 may be moved backward. . Accordingly, the sealing plate 120 may move away from the opening 112 of the support member 110 to open the opening 112 of the support member 110 .

도면에서 복수의 리브(133) 각각은 평판 판재 구조를 가지지만, 이와 달리 프레임 구조를 갖거나 다른 형상 구조도 가능하다. In the drawings, each of the plurality of ribs 133 has a flat plate structure, but unlike this, it has a frame structure or other shape structures are possible.

실시예의 회전 부재(130)는 구동부(134)를 포함할 수 있다. The rotation member 130 of the embodiment may include a driving unit 134 .

예컨대, 구동부(134)는 샤프트(132)를 회전시킬 수 있다. 예컨대, 구동부(134)는 샤프트(132)를 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전시킬 수 있다. For example, the driving unit 134 may rotate the shaft 132 . For example, the driving unit 134 may rotate the shaft 132 in a clockwise or counterclockwise direction.

예컨대, 구동부(134)가 샤프트(132)를 시계 방향으로 회전시키면, 복수의 리브(133)를 통해 복수의 샤프트(132)에 체결된 밀폐판(120)이 이동되어 지지 부재(110)의 개구부(112)에 위치될 수 있다. 즉, 밀폐판(120)의 면이 수평면에 대패 수직으로 기립될 수 있다.For example, when the driving unit 134 rotates the shaft 132 in a clockwise direction, the sealing plate 120 coupled to the plurality of shafts 132 through the plurality of ribs 133 is moved to move the opening of the support member 110 . It may be located at 112 . That is, the surface of the sealing plate 120 may be vertically erected on the horizontal plane.

예컨대, 구동부(134)가 샤프트(132)를 반시계 방향으로 회전시키면, 복수의 리브(133)를 통해 샤프트(132)에 체결된 밀폐판(120)이 이동되어 지지 부재(110)로부터 멀어질 수 있다. 즉, 밀폐판(120)의 면이 수평면에 평행하게 배치될 수 있다. For example, when the driving unit 134 rotates the shaft 132 counterclockwise, the sealing plate 120 coupled to the shaft 132 through the plurality of ribs 133 moves to move away from the support member 110 . can That is, the surface of the sealing plate 120 may be disposed parallel to the horizontal plane.

예컨대, 구동부(134)는 샤프트(132)의 일측에 체결될 수 있다. 구체적으로, 구동부(134)는 횡방향을 따라 일렬로 배치된 복수의 제1 브라켓(131) 및 복수의 리브(133)를 관통한 샤프트(132)의 끝단에 체결될 수 있다. For example, the driving unit 134 may be coupled to one side of the shaft 132 . Specifically, the driving unit 134 may be fastened to the end of the shaft 132 penetrating the plurality of first brackets 131 and the plurality of ribs 133 arranged in a line along the lateral direction.

예컨대, 구동부(134)는 샤프트(132)의 우측 끝단에 배치되어 샤프트(132)의 끝단에 체결될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.For example, the driving unit 134 may be disposed at the right end of the shaft 132 and fastened to the end of the shaft 132 , but is not limited thereto.

도면에서, 구동부(134)는 샤프트(132)의 우측 끝단에만 도시되고 있지만, 구동부(134)는 각각 샤프트(132)의 좌측 끝단 및 우측 끝단에서 샤프트(132)의 양단에 체결될 수도 있다. In the drawing, the driving unit 134 is shown only at the right end of the shaft 132 , but the driving unit 134 may be fastened to both ends of the shaft 132 at the left and right ends of the shaft 132 , respectively.

예컨대, 구동부(134)는 실린더, 모터 등과 같이 샤프트(132)를 회전시킬 수 있는 부재일 수 있다. For example, the driving unit 134 may be a member capable of rotating the shaft 132, such as a cylinder or a motor.

실시예의 회전 부재(130)는 제2 브라켓(135)를 포함할 수 있다. The rotation member 130 of the embodiment may include a second bracket 135 .

예컨대, 제2 브라켓(135)은 복수의 제1 브라켓(131)과 동일한 방향, 즉 횡방향을 따라 배치될 수 있다. For example, the second bracket 135 may be disposed in the same direction as the plurality of first brackets 131 , that is, in a transverse direction.

제2 브라켓(135)은 일측이 지지 부재(110)에 체결되고 타측이 구동부(134)를 수용할 수 있다. 즉, 구동부(134)는 제2 브라켓(135)에 설치될 수 있다. 제2 브라켓(135)에 구동부(134)가 체결되어 고정될 수 있다. One side of the second bracket 135 may be fastened to the support member 110 and the other side may receive the driving unit 134 . That is, the driving unit 134 may be installed on the second bracket 135 . The driving unit 134 may be fastened to the second bracket 135 to be fixed.

예컨대, 제2 브라켓(135)은 구동부(134)가 배치된 영역에서 지지 부재(110)에 체결될 수 있다. 예컨대, 구동부(134)는 구동부(134)가 배치된 영역에서 제2 브라켓(135)에 체결될 수 있다.For example, the second bracket 135 may be fastened to the support member 110 in a region where the driving unit 134 is disposed. For example, the driving unit 134 may be fastened to the second bracket 135 in a region where the driving unit 134 is disposed.

예컨대, 구동부(134)는 지지 부재(110)에 체결된 제2 브라켓(135)의 측면 상에 체결될 수 있다. 제2 브라켓(135)의 측면은 횡방향을 따라 일렬로 배치된 복수의 리브(133)의 측면과 대향되는 면일 수 있다. For example, the driving unit 134 may be fastened on a side surface of the second bracket 135 fastened to the support member 110 . The side surface of the second bracket 135 may be a surface opposite to the side surface of the plurality of ribs 133 arranged in a line along the lateral direction.

제2 브라켓(135)은 복수의 제1 브라켓(131)과 동일한 재질로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The second bracket 135 may be formed of the same material as the plurality of first brackets 131 , but is not limited thereto.

실시예예서, 제2 브라켓(135)은 회전 부재(130)에 포함되는 것으로 설명되었지만, 제2 브라켓(135)은 회전 부재(130)에 포함되지 않을 수도 있다. In the embodiment, the second bracket 135 has been described as being included in the rotation member 130 , but the second bracket 135 may not be included in the rotation member 130 .

한편, 도 13 및 도 14에 도시한 바와 같이, 밀폐판(120)이 지지 부재(110)의 개구부(112)에 위치되더라도 이격 공간(150)으로 인해 지지 부재(110)의 개구부(112)가 밀폐되지 않게 된다. On the other hand, as shown in FIGS. 13 and 14 , even when the sealing plate 120 is positioned in the opening 112 of the support member 110 , the opening 112 of the support member 110 is closed due to the separation space 150 . will not be sealed.

실시예에 따른 게이트 밸브 모듈(100)은 팽창부(140)을 포함할 수 있다.The gate valve module 100 according to the embodiment may include an expansion unit 140 .

예컨대, 팽창부(140)는 밀폐판(120)의 측면을 따라 배치되어 팽창과 수축이 가능할 수 있다. 이는 팽창부(140) 내에 기체의 주입 또는 배출에 의해 가능하다. 따라서, 팽창부(140)는 밀폐판(120)의 측면을 따라 기체가 주입되거나 배출될 수 있는 통로(141)를 가질 수 있다. 팽창부(140)의 통로(141)를 통해 기체가 채워지거나 해당 기체가 외부로 배출될 수 있다.For example, the expansion unit 140 may be disposed along the side surface of the sealing plate 120 to allow expansion and contraction. This is possible by injecting or discharging gas into the expansion unit 140 . Accordingly, the expansion unit 140 may have a passage 141 through which gas may be injected or discharged along the side surface of the sealing plate 120 . Gas may be filled or the gas may be discharged to the outside through the passage 141 of the expansion unit 140 .

팽창부(140)는 밀폐판(120)의 측면을 따라 밀폐판(120)에 고정될 수 있다. 이를 위해, 밀폐판(120)의 측면을 따라 그루브(122)가 형성되고, 그루브(122)에 팽창부(140)가 삽입될 수 있다. 그루브(122)는 하측 영역의 폭보다 중간 영역의 폭이 작은 형상을 가짐으로써, 그루브(122)에 삽입된 팽창부(140)는 외부로 이탈되지 않을 수 있다. The expansion unit 140 may be fixed to the sealing plate 120 along the side of the sealing plate 120 . To this end, a groove 122 is formed along the side surface of the sealing plate 120 , and the expansion unit 140 may be inserted into the groove 122 . Since the groove 122 has a shape in which the width of the middle region is smaller than the width of the lower region, the expandable part 140 inserted into the groove 122 may not escape to the outside.

예컨대, 그루브(122)의 상측 영역의 폭은 밀폐판(120)의 폭보다 작을 수 있다. 예컨대, 그루브(122)의 상측 영역의 폭은 지지 부재(110)의 폭보다 작을 수 있다. 예컨대, 밀폐판(120)의 폭은 지지 부재(110)의 폭과 같거나 작을 수 있다. 즉, 밀폐판(120)이 지지 부재(110)의 개구부(112)에 위치될 때, 밀폐판(120)의 후면은 지지 부재(110)의 일면과 수직으로 일치되지만, 밀폐판(120)의 전면은 지지 부재(110)의 타면과 수직으로 일치되지 않을 수 있다. 밀폐판(120)의 전면 및 후면은 밀폐판(120)의 양 측면일 수 있다. 밀폐판(120)의 전면은 밀폐판(120)이 지지 부재(110)의 개구부(112)에 위치될 때 밀폐 챔버(10) 내의 챔버 공간과 접하는 면이고, 밀폐판(120)의 후면은 밀폐판(120)의 전면의 반대 면일 수 있다. For example, the width of the upper region of the groove 122 may be smaller than the width of the sealing plate 120 . For example, the width of the upper region of the groove 122 may be smaller than the width of the support member 110 . For example, the width of the sealing plate 120 may be equal to or smaller than the width of the support member 110 . That is, when the sealing plate 120 is positioned in the opening 112 of the support member 110 , the rear surface of the sealing plate 120 is vertically aligned with the one surface of the support member 110 , but the The front surface may not vertically coincide with the other surface of the support member 110 . The front and rear surfaces of the sealing plate 120 may be both sides of the sealing plate 120 . The front surface of the sealing plate 120 is a surface in contact with the chamber space in the hermetic chamber 10 when the sealing plate 120 is positioned in the opening 112 of the support member 110, and the rear surface of the sealing plate 120 is hermetically sealed. It may be the opposite side of the front side of the plate 120 .

팽창부(140)에 기체가 채워지면 팽창부(140)가 팽창될 수 있다. 예컨대, 샤프트(132)의 시계 방향으로의 회전으로 밀폐판(120)이 지지 부재(110)의 개구부(112)로 이동되면, 기체의 주입에 의해 팽창부(140)가 팽창될 수 있다. 따라서, 밀폐판(120)의 측면을 따라 배치된 팽창부(140)가 팽창되므로, 밀폐판(120)과 상기 팽창된 팽창부(140)에 의해 지지 부재(110)의 개구부(112)가 밀폐될 수 있다. When the expandable part 140 is filled with gas, the expandable part 140 may be expanded. For example, when the sealing plate 120 is moved to the opening 112 of the support member 110 due to the clockwise rotation of the shaft 132 , the expansion unit 140 may be expanded by injection of gas. Therefore, since the expansion part 140 disposed along the side surface of the sealing plate 120 expands, the opening 112 of the support member 110 is sealed by the sealing plate 120 and the expanded expansion part 140 . can be

팽창부(140)에 기체가 주입되면, 먼저 팽창부(140) 내부에 기체가 채워지고 이후 When gas is injected into the expansion unit 140 , the gas is first filled in the expansion unit 140 , and then

팽창부(140)에 채워진 기체가 배출되면 팽창부(140)가 수축되어 원래의 상태로 복귀될 수 있다. 예컨대, 예컨대, 지지 부재(110)의 개구부(112)가 개방되기 위해 팽창부(140)가 수축되어야 한다. 이를 위해, 팽창부(140)에 주입된 기체가 배출되면, 팽창부(140)가 수축되어 원래의 상태로 복귀될 수 있다. 이후, 샤프트(132)의 반시계 방향으로의 회전으로 밀폐판(120)이 지지 부재(110)로부터 멀어지도록 이동됨으로써, 지지 부재(110)의 개구부(112)가 개방될 수 있다. When the gas filled in the expansion unit 140 is discharged, the expansion unit 140 may contract and return to its original state. For example, in order to open the opening 112 of the support member 110 , the expansion unit 140 must contract. To this end, when the gas injected into the expansion unit 140 is discharged, the expansion unit 140 may be contracted and returned to its original state. Thereafter, the sealing plate 120 is moved away from the support member 110 by the counterclockwise rotation of the shaft 132 , so that the opening 112 of the support member 110 may be opened.

예컨대, 기체는 공기나 가스일 수 있다. For example, the gas may be air or a gas.

실시예에 따른 게이트 밸브 모듈(100)은 공압 배관(124)을 포함할 수 있다. The gate valve module 100 according to the embodiment may include a pneumatic pipe 124 .

공압 배관(124)은 팽창부(140)에 기체를 주입하거나 팽창부(140)에 채워진 기체를 배출시키는 통로일 수 있다. The pneumatic pipe 124 may be a passage for injecting gas into the expansion unit 140 or discharging the gas filled in the expansion unit 140 .

예컨대, 공압 배관(124)은 팽창부(140)에 연결될 수 있다. 예컨대, 밀폐판(120)의 후면의 일측에 홀이 형성되고, 이 홀에 공압 배관(124)이 삽입되어 팽창부(140)에 연결될 수 있다. 예컨대, 공압 배관(124)은 밀폐판(120)의 후면에 형성된 홀에 고정될 수 있다. For example, the pneumatic pipe 124 may be connected to the expansion unit 140 . For example, a hole may be formed on one side of the rear surface of the sealing plate 120 , and a pneumatic pipe 124 may be inserted into the hole to be connected to the expansion unit 140 . For example, the pneumatic pipe 124 may be fixed to a hole formed in the rear surface of the sealing plate 120 .

상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 실시예의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 실시예의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 실시예의 범위에 포함된다.The above detailed description should not be construed as restrictive in all respects and should be considered as exemplary. The scope of the embodiments should be determined by a reasonable interpretation of the appended claims, and all modifications within the equivalent scope of the embodiments are included in the scope of the embodiments.

10, 11: 밀폐 챔버
20: 벽체
22: 개구부
30: 어댑터
100: 게이트 밸브 모듈
110: 지지 부재
112: 개구부
120: 밀폐판
122: 그루브
124: 공압 배관
127: 매개체
130: 회전 부재
131: 제1 브라켓
132: 샤프트
133: 리브
133a: 관통홀
134: 구동부
135: 제2 브라켓
136: 베어링
137: 관통홀
140: 팽창부
141: 통로
150: 이격 공간
d: 이격 거리10, 11: sealed chamber
20: wall
22: opening
30: adapter
100: gate valve module
110: support member
112: opening
120: sealing plate
122: groove
124: pneumatic piping
127: medium
130: rotating member
131: first bracket
132: shaft
133: rib
133a: through hole
134: driving unit
135: second bracket
136: bearing
137: through hole
140: expansion part
141: passage
150: separation space
d: separation distance

Claims

a support member including an opening;
a sealing plate for opening and closing the opening; and
The upper side is fastened to the sealing plate and the lower side is fastened to the support member, and the sealing plate includes a rotating member that rotates to open and close the opening.
gate valve module.

According to claim 1,
The sealing plate has a plate shape smaller than the size of the opening
gate valve module.

According to claim 1,
The rotating member,
a plurality of first brackets fastened to the support member and disposed along one direction;
a shaft passing through the plurality of first brackets; and
One side is fastened to the shaft and the other side includes a plurality of ribs fastened to the sealing plate
gate valve module.

4. The method of claim 3,
The rotating member,
Further comprising a driving unit fastened to one side of the shaft
gate valve module.

5. The method of claim 4,
and a second bracket disposed along the same direction as the plurality of first brackets and installed with the driving unit.
gate valve module.

4. The method of claim 3,
Further comprising a bearing provided on each of the plurality of first brackets to guide the rotational movement of the shaft
gate valve module.

4. The method of claim 3,
Each of the plurality of ribs has a flat plate structure or a frame structure
gate valve module.

According to claim 1,
It is disposed along the side surface of the sealing plate, further comprising an expandable portion sealing the opening of the support member
gate valve module.

9. The method of claim 8,
The sealing plate is
a groove formed along the side;
The expansion part is disposed in the groove part

9. The method of claim 8,
Further comprising a pneumatic pipe connected to the expansion unit to inject gas
gate valve module.

According to claim 1,
The rotation angle of the rotating member is between 0 degrees and 90 degrees.
gate valve module.

According to claim 1,
The support member is fastened to the wall of the hermetic chamber
gate valve module.

According to claim 1,
The support member is a wall of the closed chamber.
gate valve module.

a wall including a first opening; and
a gate valve module;
The gate valve module,
a support member including a second opening;
a sealing plate for opening and closing the second opening; and
and a rotating member whose upper side is engaged with the sealing plate to rotate and move so that the sealing plate opens and closes the second opening.
sealed chamber.

15. The method of claim 14,
The support member is fastened to the wall
sealed chamber.

15. The method of claim 14,
The support member is the wall
sealed chamber.