KR20210158549A - 워터젯 노즐 구조체 및 이를 포함하는 레이저 가공 장치 - Google Patents

워터젯 노즐 구조체 및 이를 포함하는 레이저 가공 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20210158549A
KR20210158549A KR1020200077001A KR20200077001A KR20210158549A KR 20210158549 A KR20210158549 A KR 20210158549A KR 1020200077001 A KR1020200077001 A KR 1020200077001A KR 20200077001 A KR20200077001 A KR 20200077001A KR 20210158549 A KR20210158549 A KR 20210158549A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
nozzle
waterjet
unit
inner diameter
fluid
Prior art date
Application number
KR1020200077001A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102387585B1 (ko
Inventor
최병찬
Original Assignee
최병찬
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 최병찬 filed Critical 최병찬
Priority to KR1020200077001A priority Critical patent/KR102387585B1/ko
Publication of KR20210158549A publication Critical patent/KR20210158549A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102387585B1 publication Critical patent/KR102387585B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/146—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor the fluid stream containing a liquid
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/16—Removal of by-products, e.g. particles or vapours produced during treatment of a workpiece
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/352—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70—Auxiliary operations or equipment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

본 발명은, 레이저 빔이 도달하는 가공면에 대해 직교되는 방향으로 워터젯을 생성하는 노즐이 배치된 워터젯 유닛을 포함하되, 상기 워터젯 유닛의 상기 노즐은 적어도 2 이상의 상이한 압력으로 유체가 분사되도록 상이한 직경을 갖고 분리되는 구조를 포함하는 워터젯 노즐 구조체 및 이를 포함하는 레이저 가공장치가 제공된다.

Description

워터젯 노즐 구조체 및 이를 포함하는 레이저 가공 장치 {NOZZLE STRUCTURE AND LASER PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME}
본 발명은 워터젯 노즐 구조체 및 이를 포함하는 레이저 가공 장치에 관한 것이다.
산업이 발전함에 따라 여러 분야에서 금속, 복합재, 세라믹, 난삭재 등 다양한 기능성 소재의 정밀 가공 요구가 증가하고 있다. 특히, 저온 정밀 가공, 저온 정밀 절단, 미세홀 가공 등 고품질 가공이 가능하고, 반도체, 평면패널, 디스플레이, 태양 에너지, 의료장비 및 자동차, 금형, 중공업 등까지 다방면의 산업 분야에서 활용될 수 있는 쉽게 변경 가능한 프로세스 및 높은 유연성을 가진 정밀 가공 기술이 필요한 상황이다. 발전용 엔진, 항공기 엔진, 산업장비의 터빈 엔진, 선박용 터빈 엔진 등의 주요 부품에 대한 고정밀 가공 즉, 터빈 블레이드의 냉각 홀뿐만 아니라 연소기의 부품의 냉각 홀과 연료 노즐의 젯팅 홀 등 가스터빈의 핵심부품의 정밀 가공이 필요하다. 최근에는 부품의 소형화 및 효과적인 냉각을 위하여 냉각 홀의 형상이 다양해지고 있으며, 냉각 홀의 크기는 직경이 작고 깊이가 큰 높은 형상지수가 요구되고 있다. 그리고, 임펠러와 같은 구조적으로 복잡한 부품에 대한 정밀 가공 요구가 증가하고 있다.
이러한 정밀 가공을 위하여 레이저 가공 장치가 개발되고 있다. 종래의 레이저 가공 장치의 경우에는 레이저 빔을 집속시키기 위하여 광학 렌즈를 사용하는데, 레이저 빔의 발산 성질 때문에 유효한 작업 거리가 불과 수 mm 정도밖에 되지 않는다. 따라서, 피가공물이 두꺼울 경우에는 이를 절단하기 어렵고, 작업 거리를 늘리기 위하여 레이저의 출력을 높이게 되면 열 손상 영역(heat affected zone)이 커지게 된다. 또한, 종래의 레이저 가공 장치는 레이저 가공 과정에서 피가공물의 가공면에서 발생하는 찌꺼기가 가공면 주위에 남아서 가공물에 대한 오염 및 인체에 유해한 물질이 발생하게 된다. 즉, 피가공물 표면 또는 내부에 물리적인 손상 또는 열손상을 주게 되어 가공 품질 문제가 발생할 뿐만 아니라 피가공물의 가공 테이퍼 각도나 가공 폭(종횡비) 등을 조절하는 것이 제한되었다.
상기와 같은 종래의 레이저 가공 장치의 문제점을 해결하기 위해, 피가공물의 가공면에 워터젯을 분사하는 워터젯 유닛을 구비하여, 상기 워터젯의 내부로 레이저 빔의 초점을 위치시켜, 상기 워터젯을 통하여 레이저 에너지가 전달되도록 하여 피가공물의 가공면을 가공하는 레이저 가공 장치가 개발되었다.
그런데, 레이저 빔이 고출력으로 조사되는 경우에 워터젯의 내부에 심각한 파손을 초래할 수 있으며, 지속적으로 사용됨에 따라 온도가 크게 상승하게 되면서 열렌즈 효과에 의하여 초점 위치 변화, 노즐 손상 및 레이저-워터젯 커플링 효과 감소 등의 문제점이 발생된다.
대한민국 공개특허공보 제2012-0081350 호 (2012. 07. 19)
본 발명이 해결하려는 과제는, 이압(multi-pressure) 공급 방식의 워터젯 노즐 구조를 적용시킴으로써, 워터젯 내부 구성의 파손을 방지하여 높은 공정효율로 장기간 고출력의 레이저 빔 조사가 가능한 워터젯 노즐 구조체 및 이를 포함하는 레이저 가공 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하려는 과제는, 이압(multi-pressure) 공급 방식의 워터젯 노즐 구조를 적용시킴으로써, 작은 워터젯 직경으로 인한 워터젯 내부로 레이저 빔을 전달시킬 수 있는 커플링 효율 증대의 한계를 극복하고, 기계적인 진동, 초점 위치의 변화, 워터젯 품질 변화, 워터젯 내부로의 레이저 초점 위치 셋팅 오류 등에 의해 노즐이 쉽게 손상되는 문제를 해결할 수 있다.
본 발명의 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 워터젯 노즐 구조체 및 이를 포함하는 레이저 가공 장치는,
레이저 빔이 도달하는 가공면에 대해 직교 되는 방향으로 워터젯을 생성하는 노즐이 배치된 워터젯 유닛;을 포함하되,
상기 워터젯 유닛의 상기 노즐은 적어도 2 이상의 상이한 압력으로 유체가 분사되도록 상이한 직경을 갖고 분리되는 구조를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 노즐은,
적어도 일부가 소정의 경사를 갖고 형성되는 제1 노즐부; 및
상기 제1 노즐부의 내측에 배치되어 내부 공간을 구획하도록 적어도 일부가 소정의 경사를 가지고 형성되는 제2 노즐부;를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 노즐부의 일측 단부의 내부 직경(D1)은 제2 노즐부의 일측 단부의 내부 직경(D2) 보다 큰 크기로 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 노즐부의 내부 직경과 제2 노즐부의 내부 직경은 적어도 1:1.1이상의 직경비를 갖고 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제2 노즐부의 일측 단부로부터 상기 제1 노즐부의 일측 단부는 소정의 거리(H)로 이격될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 노즐 및 제2 노즐로 각각 분사되는 상기 유체는 상기 이격거리(H)가 형성되는 부위에서 오프셋(offset)될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 이격거리(H)는 3~10mm 크기로 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 상기 제1 노즐부의 내부 직경(D1), 제2 노즐부의 내부 직경(D2) 및 이격거리(H)는 1: 1.1~3: 2~10 비율로 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 노즐부 및 제2 노즐부의 압력은 5 ~ 30:1 압력비를 갖고 분사될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 상기 제1 노즐부의 내부 직경(D1), 제2 노즐부의 내부 직경(D2) 및 이격거리(H)는 1.1~3: 1: 2~10 비율로 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 노즐부 및 제2 노즐부의 압력은 1:5 ~ 30 압력비를 갖고 분사될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 노즐부의 경사 내각(θ)은 1 ~ 50도 범위로 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제2 노즐은 이동 가능하게 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 노즐 및 제2 노즐로 분사되는 상기 유체는 각각 독립적으로 공급될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 유체는 공기, 물, 가스 및 에탄올 중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 노즐 및 제2 노즐은 석영, 용융 실리카(fused silica), 세라믹, 금속 및 합금 소재 중 적어도 하나를 포함하여 제조될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 워터젯은 적어도 하나의 코어와 상기 코어를 감싸는 클래드(clad)로 이루어진 코어-쉘 구조의 광섬유(optical fiber)를 포함하되,
상기 광섬유의 코어의 직경과 클래드의 직경은 1:1.1~3의 직경비를 포함할 수 있다.
한편, 본 발명은 상기 워터젯 노즐 구조체를 포함하는 레이저 가공장치를 제공하는 바,
레이저 빔을 발생시키는 레이저 빔 발생기; 및
레이저 빔이 도달하는 가공면에 대해 직교되는 방향으로 워터젯을 생성하는 노즐이 배치된 워터젯 유닛;을 포함하되,
상기 워터젯 유닛의 상기 노즐은 적어도 2 이상의 상이한 압력으로 유체가 분사되도록 상이한 직경을 갖고 분리되는 구조를 포함하되,
상기 노즐은,
적어도 일부가 소정의 경사를 갖고 형성되는 제1 노즐부; 및
상기 제1 노즐부의 내측에 배치되어 내부 공간을 구획하도록 소정의 경사를 가지고 형성되는 제2 노즐부;를 포함할 수 있다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명에 따른 워터젯 노즐 구조체 및 이를 포함하는 레이저 가공 장치에 따르면, 이압(multi-pressure) 공급 방식의 워터젯 노즐 구조를 적용시킴으로써, 워터젯 내부 구성의 파손을 방지하여 높은 공정효율로 장기간 고출력의 레이저 빔 조사가 가능한 효과가 있다.
또, 본 발명에 따른 워터젯 노즐 구조체 및 이를 포함하는 레이저 가공 장치에 따르면, 이압(multi-pressure) 공급 방식의 워터젯 노즐 구조를 적용시킴으로써, 작은 워터젯 직경으로 인한 워터젯 내부로 레이저 빔을 전달시킬 수 있는 커플링 효율 증대의 한계를 극복하고, 기계적인 진동, 초점 위치의 변화, 워터젯 품질 변화, 워터젯 내부로의 레이저 초점 위치 셋팅 오류 등에 의해 노즐이 쉽게 손상되는 문제를 해결하는 효과가 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 가공장치를 나타내는 개요도이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 가공장치의 노즐 조립체의 단면도이고,
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 의한 레이저 가공장치의 노즐 조립체의 단면도이고,
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 레이저 가공장치의 노즐 조립체의 단면도이고,
도 5는 본발명의 일 실시예에 의한 레이저 빔의 워터젯 수평단면에 대한 레이저-워터젯 커플링 자유도를 나타낸 것이고,
도 6는 본발명의 일 실시예에 의한 축방향 오프셋(axial offset)에 대한 커플링 효율을 나타내는 그래프이고,
도 7은 본발명의 일 실시예에 의한 반지름 오프셋(radial offset)에 대한 커플링 효율을 나타내는 그래프이고,
도 8은 본발명의 일 실시예에 의한 각도 오프셋(angular offset)에 대한 커플링 효율을 나타내는 그래프이고,
도 9은 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 가공장치의 광섬유에 대한 부분 단면도이고,
도 10은 도 9의 광섬유의 굴절율을 나타내는 그래프이다.
이하, 본 발명의 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 실시예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 실시예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
본 발명의 실시예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 또한, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가진 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 본 발명의 실시예에 의한 워터젯 노즐 구조체 및 이를 포함하는 레이저 가공 장치를 도면들을 참고하여 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 레이저 가공장치를 나타내는 개요도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 의한 레이저 가공장치는, 레이저 빔 발생기(10), 빔 익스팬더(20), 다이나믹 포커싱 유닛(30), 반사 미러 유닛(40), 초점조절 미러 유닛(50), 포커싱 렌즈 유닛(60) 및 워터젯 유닛(70)을 포함할 수 있다.
레이저 빔 발생기(10)는 레이저 빔을 발생시킬 수 있다. 레이저 빔 발생기(10)는 발생시킨 레이저 빔을 빔 익스팬더(20)로 조사할 수 있다. 레이저 빔 발생기(10)는 발생시킨 레이저 빔을 피가공물의 가공면에 대해 평행한 방향으로 조사할 수 있다. 레이저 빔 발생기(10)는 발생시킨 레이저 빔을 도면상 수평방향으로 조사하여서 빔 익스팬더(20)로 조사할 수 있다.
도시되지는 않았으나, 상기 피가공물은 워터젯 유닛(70)에서 생성되는 워터젯(75)의 하측에 배치될 수 있고, 상기 피가공물의 가공면은 도 2의 도면 상 워터젯(75)의 방향에 대해 직교되는 방향인 수평방향으로 배치된다. 이하, 설명에서 수평방향은 상기 가공면에 대해 평행한 방향을 의미할 수 있고, 수직방향은 상기 가공면에 대해 직교되는 방향을 의미할 수 있다.
빔 익스팬더(20)는 레이저 빔 발생기(10)로부터 조사되어 입력되는 레이저 빔의 단면을 확장시킬 수 있다. 빔 익스팬더(20)는 레이저 빔 발생기(10)에서 생성한 상기 레이저 빔의 단면을 확장시켜 다이나믹 포커싱 유닛(30)으로 조사할 수 있다. 빔 익스팬더(20)는 레이저 빔 발생기(10)로부터 수평방향으로 입사되는 상기 레이저 빔의 단면을 확장시킬 수 있다. 여기서, 레이저 빔의 단면은 레이저 빔의 폭을 의미할 수 있다. 예를 들어, 상기 레이저 빔의 원형 단면일 경우, 빔 익스팬더(20)는 상기 레이저 빔의 직경을 확장시킬 수 있다. 여기서 빔 익스팬더(20)는 레이저 빔의 크기를 확장시켜 평행 빔으로 전달시켜주는 콜리메이터, 가우시안 빔의 형태의 레이저 빔을 플랫탑 빔의 형태로 변환시켜주는 빔변환장치로 대체되어 위치될 수 있다.
워터젯 유닛(70)에는 상기 가공면에 대해 직교되는 방향으로 워터젯(75)을 생성하는 노즐 조립체(100)이 배치될 수 있다. 노즐 조립체(100)은 노즐홀더를 통해 워터젯 유닛(70)에 설치될 수 있다. 노즐 조립체(100)은 워터젯 유닛(70)의 하측에 설치되어서, 워터젯(75)을 하측으로 생성시킬 수 있다.
워터젯 유닛(70)은 워터펌프(80)와 급수라인(85)을 통해 연결되어서, 워터펌프(80)로부터 워터젯(75)을 생성하기 위한 물을 공급받을 수 있다. 여기서, 급수라인(85)은 호스일 수 있으나, 반드시 호스로 한정되는 것은 아니다.
워터젯 유닛(70)의 일측에는 급수라인(85)과 연결되는 급수포트(72)가 돌출 형성될 수 있다. 급수포트(72)가 급수라인(85)을 통해 워터펌프(80)와 연결됨으로써, 워터젯 유닛(70)은 급수라인(85)을 통해 워터펌프(80)와 연결될 수 있다. 급수라인(85)의 일단은 워터펌프(80)와 연결되고, 급수라인(85)의 타단은 워터젯 유닛(70)의 일측에 형성된 급수포트(72)와 연결됨으로써, 워터젯 유닛(70)은 급수라인(85)을 통해 워터펌프(80)와 연결될 수 있다.
워터젯 유닛(70)의 내부에는 워터펌프(80)로부터 공급되는 물이 저장되는 챔버가 형성될 수 있고, 상기 챔버는 노즐 조립체(100)과 연통되어서, 상기 챔버 내로 유입된 물은 노즐 조립체(100)을 통해 상기 가공면으로 분사되어서, 상기 가공면에 대해 직교되는 방향으로 워터젯(75)을 형성할 수 있다.
워터젯 유닛(70)의 상측에는 윈도우(73)가 설치될 수 있다. 윈도우(73)는 레이저 빔이 입사될 수 있게 투명하게 형성될 수 있다. 윈도우(73)는 워터젯 유닛(70)의 내부에 형성된 상기 챔버의 개방된 상측을 덮을 수 있다. 상기 레이저 빔은 윈도우(73)의 상측에서 윈도우(73)를 통과하여 상기 챔버로 입사될 수 있다. 상기 챔버로 입사된 상기 레이저 빔이 노즐 조립체(100)로 입사되어 워터젯(75) 내부에 배치되어서, 상기 피가공물의 가공면을 가공할 수 있다.
포커싱 렌즈 유닛(60)은 복수개의 렌즈를 포함할 수 있다.
포커싱 렌즈 유닛(60)은 입사되는 상기 레이저 빔을 상기 워터젯 수평단면에 대해 직교되는 방향으로 집속되어 레이저 빔이 포커싱 렌즈 유닛(60)의 중심으로 수직으로 입사되는 경우에 상기 레이저 빔이 워터젯 수평단면에 대해 직교되는 방향으로 전달되어 워터젯 내부로 레이저 빔을 집속시켜 전달되는 레이저 파워가 높아져서 레이저-워터젯 커플링 효율이 향상될 수 있다(도 5 참고).
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 가공장치의 노즐 조립체의 단면도이고, 도 5는 상기 포커싱 렌즈 유닛(60)에 의해 집속되어 전달된 레이저 빔이 워터젯 수평단면에 대해 축방향 오프셋(axial offset, ΔZ), 반지름 오프셋(radial offset, (ΔX,ΔY), 각도 오프셋(angular offset,ΔΘ)에 따라 위치되었을 때의 레이저-워터젯 커플링 자유도를 도식화한 것이다. 상기 레이저-워터젯 커플링 자유도에 따라 워터젯 내부로 레이저 빔을 집속시켜 전달되는 레이저 파워가 다르게 될 수 있고, 이에 따라 레이저 빔 모드가 변경되기 때문에 가공성(가공효율, 가공품질)이 달라질 수 있다. 도 6는 본 발명의 일 실시예에 의한 축방향 오프셋(axial offset, ΔZ)에 대한 레이저-워터젯 커플링 효율을 나타내는 그래프이고, 도 7은 본발명의 일 실시예에 의한 반지름 오프셋(radial offset, (ΔX,ΔY)에 대한 레이저-워터젯 커플링 효율을 나타내는 그래프이고, 도 8은 본발명의 일 실시예에 의한 각도 오프셋(angular offset, ΔΘ)에 대한 레이저-워터젯 커플링 효율을 나타내는 그래프이다.
도 2 및 도 5 내지 도 8을 참조하면, 본 발명에 따른 워터젯 노즐 조립체(100)는 소정의 경사를 갖고 배치되는 제1 노즐부(110) 및 제1 노즐부 내측에 배치되어 내부 공간을 구획하고 소정의 경사를 가지고 형성되는 제2 노즐부(120)를 포함할 수 있다. 여기서, 본 발명에 따르면, 제1 노즐부(110) 및 제2 노즐부(120)의 소재로는, 예를 들어 석영, 용융 실리카(fused silica), 세라믹, 금속 및 합금 소재 중 하나의 성분을 포함할 수 있다.
워터젯 노즐 조립체(100)의 제1 노즐부(120)를 통하여 제1 유체(F1)가 분사될 수 있고, 제2 노즐부(110)를 통하여 제2 유체(F2)가 각각 분사될 있다. 제1 유체(F1)는 제1 공급관(101)을 통하여 공급될 수 있고, 제2 유체(F2)는 제2 공급관(102)을 통하여 공급될 수 있다. 즉, 제1 유체(F1)와 제2 유체(F2)는 서로 공간적으로 분리된 위치에서 각각 분사되도록 구성될 수 있다. 여기서, 본 발명에 따르면, 제1 유체(F1)와 제2 유체(F2)는 특별히 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 공기(air), 물(water), 가스(gas) 및 에탄올(ethanol) 중 적어도 하나 이상의 성분을 포함할 수 있다.
제2 노즐부(110)는 전체적으로 단면이 원뿔 형태로 형성될 수 있다. 제2 노즐부(110)는 상측으부터 하측 방향으로 소정의 경사를 가지고 내부 직경이 감소되는 깔때기 형상으로 형성될 수 있다. 제2 노즐부(110)는 제2 유체(F2)가 일정한 경사를 갖고 분사되도록 소정의 경사 내각(θ)을 갖도록 형성될 수 있다. 제1 노즐부(120)는 제2 노즐부(110)의 내측 공간에 형성될 수 있다. 마찬가지로, 제1 노즐부(120)는 원뿔 형상으로 형성되되, 제2 노즐부(110)의 내부 직경에 대응하도록 소정의 경사를 갖고 형성될 수 있다.
본 발명에 따르면, 바람직하게는 제2 노즐부(110)의 경사 내각(θ)은 대략 25~35도 범위로 형성될 수 있다. 이와 같은 제2 노즐부(110)의 경사 내각(θ)을 갖고 형성되는 경우에 유체의 분사 효율이 가장 우수할 수 있다. 즉, 제2 노즐부(110)의 경사면을 따라 제2 유체(F2)가 용이하게 유동할 수 있으며, 하기에서 설명하는 제1 유체(F1)와 함께 보다 원활하게 분사될 수 있다.
제2 노즐부(110)의 하측 단부는 소정의 직경(D2)을 갖는 노즐 분사공이 형성될 수 있고, 이러한 노즐 분사공을 통하여 제2 유체(F2)가 유동할 수 있다. 여기서, 제2 유체(F2)는 제2 노즐부(110)의 경사면을 따라 유동하되, 소정의 직경(D3)으로 형성되는 유로를 통하여 소정의 경사를 가지고 분사될 수 있다.
또, 제1 노즐부(120)에는 소정의 직경(D1)을 갖는 노즐 분사공(미도시)이 형성될 수 있고, 이를 통하여 제1 유체(F1)가 유동할 수 있다. 여기서, 제1유체(F1)는 제1 노즐부(120)의 소정의 직경(D1)으로 형성되는 유로를 통하여 수직 방향으로 분사될 수 있다.
제2 노즐부(110)의 상단부와 제1 노즐부(120)의 하단부는 소정의 거리(H)로 이격될 수 있다. 이러한 이격거리(H)는 제2 노즐부(110)를 통하여 분사되는 제2 유체(F2) 및 제1 노즐부(120)을 통하여 분사되는 제1 유체(F1)의 분사 압력(pressure)에 따라 적절히 조절될 수 있다.
본 발명에 따르면, 제2 노즐부(110)를 통하여 분사되는 제2 유체(F2) 및 제1 노즐부(120)를 통하여 분사되는 제1 유체(F1)가 이격거리(H)에서 합쳐질 때 와류 등이 발생될 수 있으므로, 이와 같은 이격거리(H) 상에서 제1 유체(F1)와 제2 유체(F2)의 충돌에 의하여 발생될 수 있는 분사속도, 압력 상쇄 등의 방해(disturbance)를 최소화하여 효율적으로 분사될 수 있도록 할 수 있다. 나아가, 제2 노즐부(110)에는 제2 유체(F2)가 최적의 분사 효율을 갖고 배출될 수 있도록 소정의 크기를 갖는 경사 내각(θ)으로 형성됨으로써, 제1 유체(F1)와 제2 유체(F2)의 분사 효율을 향상시켜 궁극적으로 레이저-워터젯 커플링 효율(water-guided laser coupling efficiency)을 최적화 시킬 수 있다.
전술한 바와 같이, 제2 노즐부(110)의 경사 내각(θ)과 직경(D2), 제1 노즐부(120)의 직경(D1) 및 제2 노즐부(110)의 상단부와 제1 노즐부(120)의 하단부 사이의 이격거리(H)를 최적화함으로써, 제1 유체(F1)와 제2 유체(F2)의 효율적인 분사를 통하여 최적의 레이저-워터젯 커플링 효율(water-guided laser coupling efficiency)을 획득할 수 있다.
본 발명의 도 2와 도 3의 실시예에 따르면, 바람직하게는 제1 노즐부(120)의 내부 직경(D1), 제2 노즐부(110)의 내부 직경(D2) 및 이격거리(H)는 1: 1.1~3: 2~10 비율로 형성될 수 있다. 즉, 제1 노즐부(120)의 내부 직경(D1) 보다 제2 노즐부(110)의 내부 직경(D2)은 상대적으로 크게 형성될 수 있고, 제2 노즐부(110)의 상단부와 제1 노즐부(120)의 하단부 사이의 이격거리(H)는 제1 노즐부(120)의 내부 직경(D1) 보다 상대적으로 크게 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 노즐부 및 제2 노즐부의 압력은 5 ~ 30:1 압력비를 갖고 분사될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 제 1유체(F1)와 제 2유체(F2)가 만날 때 요동을 최소화하기 위하여 거리(공간) 확보가 필요하며, 제1노즐부(120)의 내부 직경(D1) 1.0mm, 제 2노즐부(110)의 내부 직경(D2) 1.5mm, 제 1유체의 압력 50bar, 제 2유체의 압력 1~10bar일 때, 제2 노즐부(110)의 상단부와 제1 노즐부(120)의 하단부 사이의 이격거리(H)는 5mm이상일 수 있다.
본 발명의 도 4의 실시예에 따르면, 바람직하게는 제2 노즐부(110)의 내부 직경(D2), 제1 노즐부(120)의 내부 직경(D1) 및 이격거리(H)는 1: 1.1~3: 2~10 비율로 형성될 수 있다. 즉, 제2 노즐부(120)의 내부 직경(D2) 보다 제1 노즐부(110)의 내부 직경(D1)은 상대적으로 크게 형성될 수 있고, 제2 노즐부(110)의 상단부와 제1 노즐부(120)의 하단부 사이의 이격거리(H)는 제2 노즐부(110)의 내부 직경(D2) 보다 상대적으로 크게 형성될 수 있다. 제1 노즐부(120)의 내부 직경(D1)이 커지면 BBP(beam product parameter)가 커져서 multi-mode beam에 의한 가공 성능이 감소될 수 있고 물 소비량이 커질 수 있으므로 상기의 범위로 조절되는 것이 적절하다. 이 때, 제1 유체(F1)의 압력보다 제2 유체(F2)의 압력을 크게 하여 안정적인 제 1유체(F1)와 제 제2 유체(F2)를 형성하여 레이저-워터젯 커플링 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 제 1유체(F1)와 제 2유체(F2)가 만날 때 요동을 최소화하기 위하여 거리(공간) 확보가 필요하며, 제1노즐부(120)의 내부 직경(D1) 2.0mm, 제 2노즐부(110)의 내부 직경(D2) 1.0mm, 제 1유체의 압력 0.5~5bar, 제 2유체의 압력 25bar일 때, 제2 노즐부(110)의 상단부와 제1 노즐부(120)의 하단부 사이의 이격거리(H)는 5~7mm일 수 있다.
본 발명의 물기둥의 길이(laminar flow length)는 제1 유체의 직경(D1)과 제 2유체((D2)의 직경의 비율, 제 1유체의 압력과 제 2유제의 압력의 비율, 이격거리(H), 제1 유체의 직경(D1)과 제 2유체((D2)의 온도, 제 2노즐부의 내부 유로 직경(D3) 등에 의해 달라질 수 있다.
구체적으로, 종래에는 고출력(500W 이상)의 레이저 발생을 위한 레이저 워터젯 장치가 대략 100마이크로미터 이하의 직경을 갖는 좁은 물기둥(워터젯)에 의하여 레이저-워터젯 커플링 효율이 낮았다. 여기서 레이저-워터젯 커플링 효율은 워터젯 내부로 입력된 레이저빔의 세기와 워터에 의해 가이드된 레이저빔의 세기의 비율로 정의된다. 실시예에 의하면, 80um 직경을 갖는 노즐에 의해 형성된 워터젯에서 레이저-워터젯 커플링 효율은 25%이하, 100um 직경을 갖는 노즐에 의해 형성된 워터젯에서 레이저-워터젯 커플링 효율은 35%미만으로 워터젯에 의해 절단되는 레이저 세기가 낮아서 가공성 및 생산성이 저하되는 문제가 있다. 이와 같은 좁은 물기둥에 의하여 제공되는 레이저의 입사각(θ), 축방향(z) 및 방사방향(x, y)의 제어범위에 한계가 있었다. 따라서, 기계적인 진동(mechanical vibration), 초점 위치 변화(focus shift), 워터젯 품질 변화(water quality change) 및 설치 오류(installation error) 등과 같은 문제로 노즐이 쉽게 파손될 수 있었다.
이에 본 발명에서는 상기와 같은 비율로 입사각(Θ), 축방향(z) 및 방사방향(x, y)을 조절하여 종래 기술의 한계를 극복할 수 있다. 본 발명에서 제시하는 도 5내지 도 8에 도시된 바와 같이, 축방향 오프셋(axial offset, Δz), 반지름 오프셋(radial offset, Δx, Δy) 및 각도 오프셋(angular offset, ΔΘ)에 대한 레이저-워터젯 커플링 효율이 종래보다 각각 대략 3배, 2배 및 1.5배 이상의 자유도가 증가하는 것을 확인할 수 있다. 또한 가공 공정 효율이 증대되는 것을 확인할 수 있었다.
한편, 도 9은 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 가공장치의 이압(multi-pressure) 워터젯에 대한 부분 단면도이고, 도 10는 도 9의 이압(multi-pressure) 워터젯의 굴절율을 나타내는 그래프이다.
도 9 내지 도 10를 참조하면, 본 발명에 따른 워터젯 노즐 조립체(100)는 적어도 하나의 코어(210, 220)와 코어(210, 220)를 감싸는 적어도 하나의 클래드(230, 240)로 이루어진 코어-쉘 구조의 광섬유(optical fiber)를 포함하는 워터젯을 형성할 수 있다.
본 발명에 따른 이압(multi-pressure) 워터젯은, 도 9(a)에 도시된 바와 같이, 제1 코어(210) 및 제1 코어(210)의 외부를 감싸는 클레드(230)로 구성될 수 있다. 또는 도 9(b)에 도시된 바와 같이, 제1 코어(210), 제1 코어(210)의 외측을 감싸는 제2 코어(220) 및 제2 코어(220)의 외측을 감싸는 클래드(230)로 구성될 수 있다.
여기서, 본 발명에 따르면, 바람직하게는 도10과 같은 소정의 굴절율을 갖는 제1 코어(210) 및/또는 제2 코어(220)의 직경 크기에 대하여 클래드(230)의 직경은 대략 1:1~3 비율로 형성될 수 있다. 구체적인 예에서, 도 10에 도시된 바와 같이, 제1 코어(210) 및 제2 코어(220)의 직경이 각각 600마이크로미터로 설정하는 경우에 클래드(230)의 직경은 대략 800마이크로미터로 설정될 수 있다. 즉, 클래드(230)의 직경은 제1 코어(210) 또는 제2 코어(220)의 직경과 비교하여 대략 110 ~ 300%의 크기로 형성될 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 레이저 빔 발생기 20: 빔 익스팬더
30: 다이나믹 포커싱 유닛 40: 반사 미러 유닛
41: 제1 반사 미러 42: 제2 반사 미러
50: 초점조절 미러 유닛 51: 제1 초점조절 미러
52: 제2 초점조절 미러 60: 포커싱 렌즈 유닛
80: 워터펌프 85: 급수라인
91: 제1 센서 92: 제2 센서
93: 제어부 70: 워터젯 유닛
72: 급수포트 73: 윈도우
75: 워터젯 100: 노즐 조립체
101: 제1 공급관 102: 제2 공급관
120: 제1 노즐부 110: 제2 노즐부
200: 광섬유 210: 제1 코어
220: 제2 코어 230: 클래드
F1: 제1 유체 F2: 제2 유체

Claims (20)

  1. 레이저 빔이 도달하는 가공면에 대해 직교되는 방향으로 워터젯을 생성하는 노즐이 배치된 워터젯 유닛;을 포함하되,
    상기 워터젯 유닛의 상기 노즐은 적어도 2 이상의 상이한 압력으로 유체가 분사되도록 분리되는 구조를 포함하는 워터젯 노즐 구조체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐은,
    적어도 일부가 소정의 경사를 갖고 형성되는 제2 노즐부; 및
    상기 제2 노즐부의 내측에 배치되어 내부 공간을 구획하도록 적어도 일부가 소정의 경사를 가지고 형성되는 제1 노즐부;를 포함하는 워터젯 노즐 구조체.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 노즐부의 일측 단부의 내부 직경(D1)은 제2 노즐부의 일측 단부의 내부 직경(D2) 보다 큰 크기로 형성되는 워터젯 노즐 구조체.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1 노즐부의 내부 직경과 제2 노즐부의 내부 직경은 적어도 1:1.1의 직경비를 갖고 형성되는 워터젯 노즐 구조체.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 노즐부의 일측 단부의 내부 직경(D1)은 제2 노즐부의 일측 단부의 내부 직경(D2) 보다 작은 크기로 형성되는 워터젯 노즐 구조체.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제2 노즐부의 내부 직경과 제1 노즐부의 내부 직경은 적어도 1:1.1의 직경비를 갖고 형성되는 워터젯 노즐 구조체.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 제2 노즐부의 일측 단부로부터 상기 제1 노즐부의 일측 단부는 소정의 거리(H)로 이격되는 워터젯 노즐 구조체.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1 노즐 및 제2 노즐로 분사되는 상기 유체는 상기 이격거리(H)가 형성되는 부위에서 오프셋(offset)되는 워터젯 구조체.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 이격거리(H)는 3~10mm 크기로 형성되는 워터젯 구조체.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 상기 제1 노즐부의 내부 직경(D1), 제2 노즐부의 내부 직경(D2) 및 이격거리(H)는 1: 1.1~3: 2~6 비율로 형성되는 워터젯 구조체.
  11. 제 2 항에 있어서,
    상기 제2 노즐부 및 제1 노즐부의 압력은 1:5 ~ 30 압력비를 갖고 분사되는 워터젯 노즐 구조체.
  12. 제 7 항에 있어서,
    상기 제2 노즐부의 내부 직경(D2), 제1 노즐부의 내부 직경(D1) 및 이격거리(H)는 1: 1.1~3: 2~6 비율로 형성되는 워터젯 구조체.
  13. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 노즐부 및 제2 노즐부의 압력은 1:5 ~ 30 압력비를 갖고 분사되는 워터젯 노즐 구조체.
  14. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 노즐부의 경사 내각(θ)은 25 ~ 35도 범위로 형성되는 워터젯 노즐 구조체.
  15. 제 2 항에 있어서,
    상기 제2 노즐은 이동 가능하게 형성되는 워터젯 노즐 구조체.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 노즐 및 제2 노즐로 분사되는 상기 유체는 각각 독립적으로 공급되는 워터젯 노즐 구조체.
  17. 제 1 항에 있어서,
    상기 유체는 공기, 물, 가스 및 에탄올 중 적어도 하나 이상을 포함하는 워터젯 노즐 구조체.
  18. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 노즐 및 제2 노즐은 석영, 용융 실리카(fused silica), 세라믹, 금속 및 합금 소재 중 적어도 하나를 포함하는 워터젯 노즐 구조체.
  19. 제 1 항에 있어서,
    상기 워터젯은 적어도 하나의 코어와 상기 코어를 감싸는 클래드(clad)로 이루어진 코어-쉘 구조의 광섬유(optical fiber)를 포함하되,
    상기 광섬유의 코어의 직경과 클래드의 직경은 1:1.1~3의 직경비를 포함하는 워터젯 노즐 구조체.
  20. 레이저 빔을 발생시키는 레이저 빔 발생기; 및
    레이저 빔이 도달하는 가공면에 대해 직교되는 방향으로 워터젯을 생성하는 노즐이 배치된 워터젯 유닛;을 포함하되,
    상기 워터젯 유닛의 상기 노즐은 적어도 2 이상의 상이한 압력으로 유체가 분사되도록 상이한 직경을 갖고 분리되는 구조를 포함하되,
    상기 노즐은,
    적어도 일부가 소정의 경사를 갖고 형성되는 제2 노즐부; 및
    상기 제2 노즐부의 내측에 배치되어 내부 공간을 구획하도록 소정의 경사를 가지고 형성되는 제1 노즐부;를 포함하는 레이저 가공장치.
KR1020200077001A 2020-06-24 2020-06-24 워터젯 노즐 구조체 및 이를 포함하는 레이저 가공 장치 KR102387585B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200077001A KR102387585B1 (ko) 2020-06-24 2020-06-24 워터젯 노즐 구조체 및 이를 포함하는 레이저 가공 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200077001A KR102387585B1 (ko) 2020-06-24 2020-06-24 워터젯 노즐 구조체 및 이를 포함하는 레이저 가공 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210158549A true KR20210158549A (ko) 2021-12-31
KR102387585B1 KR102387585B1 (ko) 2022-04-15

Family

ID=79177758

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200077001A KR102387585B1 (ko) 2020-06-24 2020-06-24 워터젯 노즐 구조체 및 이를 포함하는 레이저 가공 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102387585B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116551218A (zh) * 2023-03-29 2023-08-08 淮阴工学院 一种水射流辅助激光打孔装置及其打孔工艺

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000334590A (ja) * 1999-05-24 2000-12-05 Amada Eng Center Co Ltd レーザ加工装置の加工ヘッド
JP2007021569A (ja) * 2005-07-21 2007-02-01 Shibuya Kogyo Co Ltd ハイブリッドレーザ加工装置
KR20120081350A (ko) 2011-01-11 2012-07-19 (주)코썸사이언스 워터젯을 겸비한 레이저 가공 장치
KR101845750B1 (ko) * 2017-08-25 2018-04-05 에이티아이 주식회사 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000334590A (ja) * 1999-05-24 2000-12-05 Amada Eng Center Co Ltd レーザ加工装置の加工ヘッド
JP2007021569A (ja) * 2005-07-21 2007-02-01 Shibuya Kogyo Co Ltd ハイブリッドレーザ加工装置
KR20120081350A (ko) 2011-01-11 2012-07-19 (주)코썸사이언스 워터젯을 겸비한 레이저 가공 장치
KR101845750B1 (ko) * 2017-08-25 2018-04-05 에이티아이 주식회사 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116551218A (zh) * 2023-03-29 2023-08-08 淮阴工学院 一种水射流辅助激光打孔装置及其打孔工艺

Also Published As

Publication number Publication date
KR102387585B1 (ko) 2022-04-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5902499A (en) Method and apparatus for machining material with a liquid-guided laser beam
CA2330426C (en) Material shaping device with a laser beam which is injected into a stream of liquid
KR101521256B1 (ko) 분사류 액체 칼럼 내에 도입된 레이저 광을 이용한 레이저 가공 장치
JP5161445B2 (ja) 熱成形システムおよび能動冷却プロセス
RU2750313C2 (ru) Способ лазерной обработки металлического материала с высоким уровнем динамического управления осями движения лазерного луча по заранее выбранной траектории обработки, а также станок и компьютерная программа для осуществления указанного способа
US8581141B2 (en) Laser machining apparatus using laser beam introduced into jet liquid column
EP2189236B1 (en) Method and apparatus for improving reliability of a machining process
KR20070084092A (ko) 레이저 가공을 위한 액체 분사방법과 분사장치
CN110125532B (zh) 一种水导引激光加工工件的方法、系统及其设备
JP2007021569A (ja) ハイブリッドレーザ加工装置
US20060096965A1 (en) Nose-piece for a laser-beam drilling or machining head
Oh et al. Effect of nozzle types on the laser cutting performance for 60-mm-thick stainless steel
KR101845750B1 (ko) 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법
KR102387585B1 (ko) 워터젯 노즐 구조체 및 이를 포함하는 레이저 가공 장치
US4402574A (en) Method and apparatus for refracting a laser beam
CN110125540A (zh) 一种水导引激光加工工件的方法、系统及其设备
Behera et al. State of the art on under liquid laser beam machining
CN112276346B (zh) 一种超高功率激光切割自动精准调焦加工头
CN219004922U (zh) 一种水导激光加工系统
CN113210894A (zh) 一种电场辅助水导激光切割装置
US20200001397A1 (en) Laser processing apparatus
CN113634880B (zh) 一种多光束水导激光加工装置与加工系统
KR102570759B1 (ko) 레이저 절삭 가공장치 및 이의 가공방법
CN118382510A (zh) 用于制造至少一中空结构的方法和装置、反射镜、euv光刻系统、流体供应设备和应用于供应流体的方法
KR102176312B1 (ko) 형상홀을 만들기 위한 레이저 드릴링 방법 및 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
AMND Amendment
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application
X091 Application refused [patent]
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant