KR20210158351A - 검사 장치 및 검사 방법 - Google Patents

검사 장치 및 검사 방법 Download PDF

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타케시 카와사키
마사하루 후지
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쥬키 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 만곡면을 갖는 대상물의 외관 검사를 적정하게 실시하는 것.
[해결 수단] 검사 장치는, 만곡면을 갖는 대상물을 지지하는 테이블과, 테이블에 지지된 대상물을 조명광으로 조명하는 조명 장치와, 광학 시스템 및 이미지 센서를 갖는 촬상 장치와, 광학 시스템의 시야 범위에 배치되어 있는 만곡면의 조정용 화상을 상기 촬상 장치로 하여금 촬상하게 하는 촬상 제어부와, 테이블을 기울여서, 조정용 화상의 휘도를 조정하는 테이블 제어부를 구비한다. 촬상 제어부는, 조정용 화상의 휘도가 조정된 후에, 시야 범위에 배치되어 있는 만곡면의 검사용 화상을 촬상 장치로 하여금 촬상하게 한다.

Description

검사 장치 및 검사 방법{INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION METHOD}
[0001] 본 개시(開示)는, 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.
[0002] 전자 디바이스의 생산 공정에 있어서, 특허문헌 1에 개시되어 있는 바와 같은, 부품 실장(實裝; mounting) 장치(피(被)실장물 작업 장치)가 사용된다. 부품이 실장된 기판의 외관은, 자동 광학 검사 장치(AOI：Automated Optical Inspection)라고 불리는 검사 장치에 의해 검사가 이루어진다.
국제 공개 제2019/111388호
[0004] 검사 장치를 이용하여, 다양한 대상물의 외관 검사를 실시하고자 하는 요망(要望)이 있다. 예컨대 만곡면을 갖는 대상물의 외관 검사를 적정하게 실시하고자 하는 요망이 있다.
[0005] 본 개시는, 만곡면을 갖는 대상물의 외관 검사를 적정하게 실시하는 것을 목적으로 한다.
[0006] 본 개시에 따르면, 만곡면을 갖는 대상물을 지지하는 테이블과, 상기 테이블에 지지된 상기 대상물을 조명광으로 조명하는 조명 장치와, 광학 시스템 및 이미지 센서를 갖는 촬상(撮像) 장치와, 상기 광학 시스템의 시야 범위에 배치되어 있는 상기 만곡면의 조정용 화상(畵像, image)을 상기 촬상 장치로 하여금 촬상하게 하는 촬상 제어부와, 상기 테이블을 기울여서, 상기 조정용 화상의 휘도를 조정하는 테이블 제어부를 구비하며, 상기 촬상 제어부는, 상기 조정용 화상의 휘도가 조정된 후에, 상기 시야 범위에 배치되어 있는 상기 만곡면의 검사용 화상을 상기 촬상 장치로 하여금 촬상하게 하는, 검사 장치가 제공된다.
[0007] 본 개시에 의하면, 만곡면을 갖는 대상물의 외관 검사를 적정하게 실시할 수 있다.
[0008] 도 1은, 실시형태에 따른 검사 장치를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 2는, 실시형태에 따른 제어 장치를 나타낸 기능 블록도이다.
도 3은, 실시형태에 따른 검사 방법을 나타낸 플로차트이다.
도 4는, 실시형태에 따른 테이블에 지지된 대상물을 상방(上方)으로부터 바라본 도면이다.
도 5는, 실시형태에 따른 광학 시스템의 시야 범위에 만곡면의 제1 범위가 배치되어 있는 상태를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 6은, 실시형태에 따른 만곡면의 제1 범위의 조정용 화상을 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 7은, 실시형태에 따른 테이블 제어부의 처리를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은, 실시형태에 따른 테이블이 기울여진 후의 만곡면의 제1 범위의 조정용 화상을 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 9는, 실시형태에 따른 표시 장치에 표시된 제1 범위의 검사용 화상을 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 10은, 실시형태에 따른 광학 시스템의 시야 범위에 만곡면의 제2 범위가 배치되어 있는 상태를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 11은, 실시형태에 따른 컴퓨터 시스템을 나타낸 블록도이다.
도 12는, 기타의 실시형태에 따른 테이블 제어부의 처리를 설명하기 위한 도면이다.
[0009] 이하에서는, 본 개시와 관련된 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명하겠지만, 본 개시는 이에 한정되지 않는다. 이하에서 설명하는 실시형태의 구성 요소는, 적절히 조합하는 것이 가능하다. 또한, 일부의 구성 요소를 이용하지 않는 경우도 있다.
[0010] 실시형태에 있어서는, XYZ 직교 좌표계를 규정하고, XYZ 직교 좌표계를 참조하면서 각부(各部)의 위치 관계에 대해 설명한다. 수평면 내의 X축과 평행한 방향을 X축 방향으로 한다. X축과 직교하는 수평면 내의 Y축과 평행한 방향을 Y축 방향으로 한다. 수평면과 직교하는 Z축과 평행한 방향을 Z축 방향으로 한다. X축을 중심으로 하는 회전 또는 경사 방향을 θX 방향으로 한다. Y축을 중심으로 하는 회전 또는 경사 방향을 θY 방향으로 한다. Z축을 중심으로 하는 회전 또는 경사 방향을 θZ 방향으로 한다. X축 및 Y축을 포함하는 평면을 적절히, XY 평면이라 칭한다. XY 평면은, 수평면과 평행이다. Z축은 연직선과 평행이다. Z축 방향은 상하 방향이다. ＋Z 방향은 상(上)방향이며, -Z 방향은 하(下)방향이다. Z축은, XY 평면과 직교한다.
[0011] [검사 장치]
도 1은, 실시형태에 따른 검사 장치(1)를 모식적으로 나타낸 도면이다. 실시형태에 있어서, 검사 장치(1)는, 외관 검사 장치의 일종인 자동 광학 검사 장치(AOI：Automated Optical Inspection)이다.
[0012] 검사 장치(1)는, 대상물(2)을 지지하는 테이블(3)과, 테이블(3)을 기울이는 테이블 구동 장치(4)와, 테이블(3)에 지지된 대상물(2)을 조명광으로 조명하는 조명 장치(5)와, 광학 시스템(6) 및 이미지 센서(7)를 갖는 촬상 장치(8)와, 촬상 장치(8)를 이동시키는 촬상 이동 장치(9)와, 컴퓨터 시스템을 포함하는 제어 장치(10)와, 표시 데이터를 표시하는 표시 장치(11)를 구비한다.
[0013] 대상물(2)은, 검사 장치(1)의 검사 대상물이다. 대상물(2)은, 만곡면(12)을 갖는다. 만곡면(12)을 갖는 대상물(2)로서, 미러, 렌즈, 및 판금(板金)이 예시된다. 만곡면(12)은, 검사 장치(1)의 검사 대상이다. 검사 장치(1)는, 만곡면(12)의 외관 검사를 실시한다.
[0014] 테이블(3)은, 대상물(2)의 적어도 일부를 지지하는 지지면(13)을 갖는다. 테이블(3)의 지지면(13)은, ＋Z 방향을 향한다. 지지면(13)은, XY 평면과 평행이다. 또한, 지지면(13)은, XY 평면에 대해 경사져도 된다. 대상물(2)은, 만곡면(12)이 상방을 향하도록, 테이블(3)에 지지된다. 대상물(2)이 테이블(3)에 지지되어 있는 상태에서, 만곡면(12)은, 상방으로 돌출된다.
[0015] 테이블 구동 장치(4)는, 테이블(3)을 θX 방향 및 θY 방향의 각각으로 기울일 수 있다. 테이블(3)이 기울어짐에 따라, 테이블(3)에 지지되어 있는 대상물(2)이 θX 방향 및 θY 방향의 각각으로 기울어진다. 테이블 구동 장치(4)는, 테이블(3)을 기울이는 동력을 발생시키는 복수의 액추에이터(14)와, 복수의 액추에이터(14)를 통해 테이블(3)을 지지하는 베이스 부재(15)를 갖는다.
[0016] 조명 장치(5)는, 테이블(3)에 지지된 대상물(2)의 만곡면(12)을 조명광으로 조명한다. 조명 장치(5)는, 테이블(3)보다 상방에 배치된다. 조명 장치(5)는, 경사 조명 장치(16)와 동축 조명 장치(17)를 갖는다.
[0017] 경사 조명 장치(16)는, 링(圓環) 형상의 복수의 광원(18)과, 복수의 광원(18)을 지지하는 지지 부재(19)를 갖는다. 광원(18)으로서, 발광 다이오드(LED：Light Emitting Diode)가 예시된다. 광원(18)은, 조명광으로서 백색광을 사출(射出)한다.
[0018] 실시형태에 있어서, 광원(18)은, 제1 내경(內徑)을 갖는 제1 광원(18A)과, 제1 내경보다 큰 제2 내경을 갖는 제2 광원(18B)과, 제2 내경보다 큰 제3 내경을 갖는 제3 광원(18C)을 포함한다. 복수의 광원(18) 중, 제1 광원(18A)이 테이블(3)로부터 가장 먼 위치에 배치되고, 제1 광원(18A)에 이어 제2 광원(18B)이 테이블(3)로부터 먼 위치에 배치되고, 제3 광원(18C)이 테이블(3)에 가장 가까운 위치에 배치된다. 즉, 복수의 광원(18) 중, 제1 광원(18A)이 가장 높은 위치에 배치되고, 제1 광원(18A)에 이어 제2 광원(18B)이 높은 위치에 배치되고, 제3 광원(18C)이 가장 낮은 위치에 배치된다. 테이블(3)에 대상물(2)이 지지되어 있지 않은 경우, 제1 광원(18A)으로부터 사출된 조명광은, 제1 입사각도로 지지면(13)에 입사한다. 제2 광원(18B)으로부터 사출된 조명광은, 제2 입사각도로 지지면(13)에 입사한다. 제3 광원(18C)으로부터 사출된 조명광은, 제3 입사각도로 지지면(13)에 입사한다. 제1 입사각도와 제2 입사각도와 제3 입사각도는, 상이하다.
[0019] 동축 조명 장치(17)는, 촬상 장치(8)의 광학 시스템(6)의 입사면(20) 주위에 배치되는 광원(21)과, 광원(21)을 지지하는 지지 부재(22)를 갖는다. 광원(21)은, 광학 시스템(6)의 입사면(20) 주위에 간격을 두고 복수 개가 배치된다. 광원(21)으로서, 발광 다이오드(LED：Light Emitting Diode)가 예시된다. 광원(21)은, 조명광으로서 백색광을 사출한다.
[0020] 광원(21)은, 광학 시스템(6)의 광축(AX)과 평행한 방향으로 조명광을 사출한다. 실시형태에 있어서, 광학 시스템(6)의 광축(AX)은, Z축과 평행이다. 테이블(3)에 대상물(2)이 지지되어 있지 않고, 지지면(13)이 XY 평면과 평행인 경우, 광원(21)으로부터 사출된 조명광은, 지지면(13)에 수직으로 입사한다.
[0021] 촬상 장치(8)는, 조명 장치(5)에 의해 조명된 대상물(2)의 만곡면(12)을 촬상한다. 촬상 장치(8)는, 테이블(3)보다 상방에 배치된다. 촬상 장치(8)는, 테이블(3)에 지지되어 있는 대상물(2)의 만곡면(12)을 상방으로부터 촬상한다.
[0022] 촬상 장치(8)는, 광학 시스템(6)과 이미지 센서(7)를 갖는다. 광학 시스템(6)의 광축(AX)은, 링 형상의 광원(18)의 내측에 배치된다. 이미지 센서(7)는, 광학 시스템(6)을 통해 대상물(2)의 화상(34)을 취득한다. 이미지 센서(7)로서, CCD(Couple Charged Device) 이미지 센서 또는 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 이미지 센서가 예시된다. 촬상 장치(8)에 의해 촬상되는 화상(34)은, 컬러 화상이다. 또한, 촬상 장치(8)에 의해 촬상되는 화상(34)은, 흑백 화상이어도 된다.
[0023] 촬상 이동 장치(9)는, 광학 시스템(6)의 광축(AX)과 직교하는 XY 평면 내에서 촬상 장치(8)를 이동시킨다. 촬상 이동 장치(9)는, 촬상 장치(8)의 몸체(body)를 유지(保持)시키는 유지 부재(23)와, 유지 부재(23)를 통해 촬상 장치(8)를 이동시키는 동력을 발생시키는 액추에이터(24)를 갖는다. 촬상 장치(8)가 XY 평면 내에서 이동함으로써, 조명 장치(5)도, 촬상 장치(8)와 함께 XY 평면 내에서 이동한다.
[0024] XY 평면 내에서 촬상 장치(8)가 이동함으로써, 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)가 대상물(2)에 대해 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동한다. 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)는, 촬상 장치(8)의 촬상 가능 범위이다. 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)는, 만곡면(12)보다 작다. XY 평면 내에서 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)와 만곡면(12) 간의 상대 위치가 조정됨으로써, 촬상 장치(8)는, 만곡면(12)의 복수의 범위(40)의 각각을 촬상할 수 있다.
[0025] 제어 장치(10)는, 테이블 구동 장치(4), 조명 장치(5), 촬상 장치(8), 및 촬상 이동 장치(9)를 제어한다. 제어 장치(10)는, CPU(Central Processing Unit)와 같은 프로세서를 포함하는 연산 처리 장치와, ROM(Read Only Memory) 또는 RAM(Random Access Memory)과 같은 메모리 및 스토리지를 포함하는 기억 장치를 갖는다. 연산 처리 장치는, 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시한다. 또한, 제어 장치(10)는, 예컨대, ASIC(Application Specific Integrated Circuit) 또는 FPGA(Field Programmable Gate Array)와 같은 집적 회로에 의해 구성되어도 된다.
[0026] 표시 장치(11)는, 표시 데이터를 표시시키는 표시 화면을 갖는다. 표시 장치(11)로서, 액정 디스플레이(LCD：Liquid Crystal Display) 또는 유기 EL디스플레이(OELD：Organic Electroluminescence Display)와 같은 플랫 패널 디스플레이가 예시된다. 표시 장치(11)에 표시되는 표시 데이터는, 만곡면(12)의 화상(34)을 포함한다. 작업자는, 표시 장치(11)의 표시 화면에서 만곡면(12)의 상태를 확인할 수 있다.
[0027] [제어 장치]
도 2는, 실시형태에 따른 제어 장치(10)를 나타내는 기능 블록도이다. 제어 장치(10)는, 조명 제어부(26)와, 촬상 위치 제어부(27)와, 촬상 제어부(28)와, 화상 취득부(29)와, 화상 처리부(30)와, 테이블 제어부(31)와, 표시 제어부(32)와, 기억부(33)를 갖는다.
[0028] 조명 제어부(26)는, 조명 장치(5)에 제어 명령을 출력하여, 테이블(3)에 지지되어 있는 대상물(2)을 조명광에 의해 조명하게 한다. 실시형태에 있어서, 조명 제어부(26)는, 동축 조명 장치(17)에 제어 명령을 출력하여, 테이블(3)에 지지되어 있는 대상물(2)을 조명광에 의해 조명하게 한다.
[0029] 촬상 위치 제어부(27)는, 촬상 이동 장치(9)에 제어 명령을 출력하여, XY 평면 내에서 촬상 장치(8)를 이동시킨다. 촬상 위치 제어부(27)는, 촬상 이동 장치(9)에 제어 명령을 출력하여, XY 평면 내에 있어서의 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)와 테이블(3)에 지지되어 있는 대상물(2) 간의 상대 위치를 조정한다.
[0030] 촬상 제어부(28)는, 촬상 장치(8)에 제어 명령을 출력하여, 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)에 배치되어 있는 만곡면(12)의 화상(34)을 촬상하게 한다. 촬상 제어부(28)는, 촬상 장치(8)에 제어 명령을 출력하여, 만곡면(12)을 촬상하게 하는 타이밍, 셔터 속도, 및 광학 시스템(6)의 조리개 중 적어도 하나를 포함하는 촬상 조건을 제어한다.
[0031] 화상 취득부(29)는, 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)에 배치되어 있는 만곡면(12)의 화상(34)을 촬상 장치(8)로부터 취득한다.
[0032] 실시형태에 있어서, 촬상 장치(8)에 의해 촬상되는 화상(34)은, 조정용 화상(34A)과, 검사용 화상(34B)을 포함한다. 화상 취득부(29)가 취득하는 화상(34)은, 조정용 화상(34A)과, 검사용 화상(34B)을 포함한다.
[0033] 화상 처리부(30)는, 화상 취득부(29)에 의해 취득된 만곡면(12)의 화상(34)을 처리한다. 화상 처리부(30)는, 화상(34)의 휘도를 산출한다. 화상(34)은, 복수의 화소(35)에 의해 구성된다. 실시형태에 있어서, 화상 처리부(30)는, 화상(34)을 구성하는 복수의 화소(35)의 각각의 휘도를 산출한다.
[0034] 테이블 제어부(31)는, 테이블 구동 장치(4)에 제어 명령을 출력하여, 테이블(3)을 기울인다. 테이블 제어부(31)는, 화상 처리부(30)에 의해 산출된 조정용 화상(34A)의 휘도에 근거하여, 테이블(3)을 기울인다. 테이블 제어부(31)는, 테이블(3)을 기울여서, 조정용 화상(34A)의 휘도를 조정한다.
[0035] 실시형태에 있어서, 테이블 제어부(31)는, 화상 처리부(30)의 산출 결과에 근거하여, 조정용 화상(34A)을 구성하는 복수의 화소(35)의 각각의 휘도가 미리 정해져 있는 휘도 임계값(36) 이상이 되도록, 테이블(3)을 기울인다. 또한, 테이블 제어부(31)는, 화상 처리부(30)의 산출 결과에 근거하여, 조정용 화상(34A)에 있어서의 화소(35)의 휘도의 최대값과 최소값 간의 차(差)가 미리 정해져 있는 차분(差分) 임계값(37) 이하가 되도록, 테이블(3)을 기울인다.
[0036] 표시 제어부(32)는, 화상 취득부(29)에 의해 취득된 만곡면(12)의 화상(34)을 표시 장치(11)로 하여금 표시하게 한다.
[0037] 기억부(33)는, 미리 정해져 있는 휘도 임계값(36) 및 차분 임계값(37)을 기억한다. 기억부(33)는, 화상 취득부(29)에 의해 취득된 만곡면(12)의 화상(34)을 기억한다.
[0038] [검사 방법]
도 3은, 실시형태에 따른 검사 방법을 나타낸 플로차트이다. 대상물(2)이 테이블(3)의 지지면(13)에 설치된다. 대상물(2)은, 만곡면(12)과 촬상 장치(8)가 대향(對向)되도록, 테이블(3)에 지지된다(단계 S1).
[0039] 도 1에 나타낸 바와 같이, 실시형태에 있어서, 검사 대상인 만곡면(12)은, 상방으로 돌출된다. 즉, 실시형태에 있어서, 검사 대상인 만곡면(12)은, 촬상 장치(8)를 향해 돌출되는 볼록면(凸面)이다.
[0040] 도 4는, 실시형태에 따른 테이블(3)에 지지된 대상물(2)을 상방으로부터 바라본 도면이다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 만곡면(12)에 복수의 범위(40)가 설정된다. 1개의 범위(40)의 외형 및 사이즈는, 시야 범위(25)의 외형 및 사이즈와 실질적으로 동일하다.
[0041] 조명 제어부(26)는, 동축 조명 장치(17)에 제어 명령을 출력하여, 테이블(3)에 지지되어 있는 대상물(2)의 만곡면(12)의 조명을 개시한다. 대상물(2)의 만곡면(12)은, 동축 조명 장치(17)의 광원(21)으로부터 사출된 조명광에 의해 조명된다(단계 S2).
[0042] 카운터(i)가 초기값인 「1」로 설정된다(단계 S3).
[0043] 촬상 위치 제어부(27)는, 촬상 장치(8)의 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)에 만곡면(12)의 제i 범위(40)가 배치되도록, 촬상 이동 장치(9)에 제어 명령을 출력한다(단계 S4).
[0044] 카운터(i)가 「1」인 경우, 촬상 위치 제어부(27)는, 촬상 장치(8)의 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)에 만곡면(12)의 제1 범위(41)가 배치되도록, 촬상 이동 장치(9)에 제어 명령을 출력한다.
[0045] 도 5는, 실시형태에 따른 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)에 만곡면(12)의 제1 범위(41)가 배치되어 있는 상태를 모식적으로 나타낸 도면이다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 촬상 위치 제어부(27)는, 촬상 장치(8)를 XY 평면 내에서 이동시켜, 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)에 만곡면(12)의 제1 범위(41)가 배치되도록, XY 평면 내에 있어서의 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)와 만곡면(12) 간의 상대 위치를 조정한다.
[0046] 촬상 제어부(28)는, 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)에 배치되어 있는 만곡면(12)의 조정용 화상(34A)을 촬상 장치(8)로 하여금 촬상하게 한다. 화상 취득부(29)는, 촬상 장치(8)로부터 제1 범위(41)의 조정용 화상(34A)을 취득한다(단계 S5).
[0047] 도 6은, 실시형태에 따른 만곡면(12)의 제1 범위(41)의 조정용 화상(34A)을 모식적으로 나타낸 도면이다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 범위(41)의 조정용 화상(34A)에 있어서, 휘도가 낮은 제1 영역(51)과, 휘도가 높은 제2 영역(52)이 존재하는 경우가 있다.
[0048] 도 5에 나타낸 바와 같이, 광축(AX)에 대한 제1 범위(41)의 각도에 의해, 제1 범위(41)의 제1 부분(61)에 입사한 조명광은 촬상 장치(8)로 반사되지 않고, 제1 범위(41)의 제2 부분(62)에 입사한 조명광은 촬상 장치(8)로 반사될 가능성이 있다. 만곡면(12)의 제1 부분(61)은, 조정용 화상(34A)의 제1 영역(51)에 대응한다. 만곡면(12)의 제2 부분(62)은, 조정용 화상(34A)의 제2 영역(52)에 대응한다.
[0049] 화상 처리부(30)는, 화상 취득부(29)에 의해 취득된 제1 범위(41)의 조정용 화상(34A)의 휘도를 산출한다. 조정용 화상(34A)은, 복수의 화소(35)에 의해 구성된다. 실시형태에 있어서, 화상 처리부(30)는, 조정용 화상(34A)을 구성하는 복수의 화소(35)의 각각의 휘도를 산출한다(단계 S6).
[0050] 테이블 제어부(31)는, 화상 처리부(30)에 의해 산출된 조정용 화상(34A)의 휘도에 근거하여, 테이블(3)을 기울인다. 실시형태에 있어서, 테이블 제어부(31)는, 화상 처리부(30)의 산출 결과에 근거하여, 조정용 화상(34A)을 구성하는 복수의 화소(35)의 각각의 휘도가 미리 정해져 있는 휘도 임계값(36) 이상이 되도록, 테이블(3)을 기울인다(단계 S7).
[0051] 즉, 테이블 제어부(31)는, 화상 처리부(30)의 산출 결과를 모니터링(監視)하면서, 조정용 화상(34A) 전체가 밝은 백색이 되도록, 테이블(3)에 지지되어 있는 대상물(2)을 기울인다.
[0052] 도 7은, 실시형태에 따른 테이블 제어부(31)의 처리를 설명하기 위한 도면이다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 테이블 제어부(31)는, 제1 범위(41)의 조정용 화상(34A)에 있어서 제1 영역(51)의 휘도가 높아지도록, 테이블(3)을 기울인다.
[0053] 예컨대, 제1 범위(41)의 조정용 화상(34A)에 있어서 휘도가 휘도 임계값(36) 미만인 제1 영역(51)과 휘도 임계값(36) 이상인 제2 영역(52)이 존재하는 경우, 테이블 제어부(31)는, 제1 영역(51)에 대응하는 만곡면(12)의 제1 부분(61)이 촬상 장치(8)에 접근하도록, 즉, 제1 부분(61)이 ＋Z 방향으로 이동하도록, 테이블(3)을 기울인다. 또한, 테이블 제어부(31)는, 제2 영역(52)에 대응하는 만곡면(12)의 제2 부분(62)이 촬상 장치(8)로부터 이격(離隔)되도록, 즉, 제2 부분(62)이 -Z 방향으로 이동하도록, 테이블(3)을 기울여도 된다.
[0054] 도 8은, 실시형태에 따른 테이블(3)이 기울여진 후의 만곡면(12)의 제1 범위(41)의 조정용 화상(34A)을 모식적으로 나타낸 도면이다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 테이블(3)이 기울여짐으로써, 휘도가 낮은 제1 영역(51)이 사라져, 조정용 화상(34A) 전체가 밝은 백색이 된다. 즉, 제1 범위(41)의 조정용 화상(34A)을 구성하는 복수의 화소(35)의 각각의 휘도가 휘도 임계값(36) 이상이 된다.
[0055] 또한, 테이블 제어부(31)는, 화상 처리부(30)의 산출 결과에 근거하여, 조정용 화상(34A)에 있어서의 화소(35)의 휘도의 최대값과 최소값 간의 차가 미리 정해져 있는 차분 임계값(37) 이하가 되도록, 테이블(3)을 기울인다(단계 S8).
[0056] 즉, 테이블 제어부(31)는, 화상 처리부(30)의 산출 결과를 모니터링하면서, 조정용 화상(34A)의 휘도의 분포가 균일해지도록, 테이블(3)에 지지되어 있는 대상물(2)을 기울인다.
[0057] 단계 S7 및 단계 S8의 처리에 의해, 조정용 화상(34A)을 구성하는 복수의 화소(35)의 각각의 휘도가 휘도 임계값(36) 이상이 되고, 또한, 조정용 화상(34A)의 휘도의 분포가 균일해지도록, 테이블(3)이 기울여진다.
[0058] 촬상 제어부(28)는, 단계 S7 및 단계 S8에 있어서 조정용 화상(34A)의 휘도가 조정된 후에, 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)에 배치되어 있는 만곡면(12)의 검사용 화상(34B)을 촬상 장치(8)로 하여금 촬상하게 한다. 촬상 제어부(28)는, 조정용 화상(34A)의 휘도가 조정된 후의 테이블(3)의 기울기를 유지한 상태에서, 검사용 화상(34B)을 촬상 장치(8)로 하여금 촬상하게 한다. 즉, 검사 장치(1)는, 조정용 화상(34A)을 구성하는 복수의 화소(35)의 각각의 휘도가 휘도 임계값(36) 이상이 되고, 또한, 조정용 화상(34A)의 휘도의 분포가 균일해지도록, 테이블(3)을 기울인 후, 그 테이블(3)의 기울기를 유지한 상태에서, 검사용 화상(34B)의 촬상으로 이행한다. 검사용 화상(34B)은, 단계 S7 및 단계 S8에 있어서 휘도가 조정된 후의 조정용 화상(34A)과 동일한 화상(34)이다. 화상 취득부(29)는, 촬상 장치(8)로부터 제1 범위(41)의 검사용 화상(34B)을 취득한다(단계 S9).
[0059] 단계 S9에 있어서 취득된 제1 범위(41)의 검사용 화상(34B)은, 만곡면(12)의 외관 검사용의 화상(34)이다. 표시 제어부(32)는, 단계 S9에서 취득된 제1 범위(41)의 검사용 화상(34B)을 표시 장치(11)로 하여금 표시하게 한다(단계 S10).
[0060] 도 9는, 실시형태에 따른 표시 장치(11)에 표시된 제1 범위(41)의 검사용 화상(34B)을 모식적으로 나타낸 도면이다. 제1 범위(41)에 이상(異常)이 존재하지 않는 경우, 제1 범위(41)의 검사용 화상(34B)은, 백색으로 표시된다. 제1 범위(41)에 이상이 존재하는 경우, 제1 범위(41)의 검사용 화상(34B)에 있어서, 이상 부분(38)은, 흑색으로 표시된다. 제1 범위(41)의 이상으로서, 제1 범위(41)에 대한 이물질의 부착 또는 제1 범위(41)의 일부의 손상이 예시된다. 이상 부분(38)이 존재하는 경우, 이상 부분(38)에 입사한 조명광은, 촬상 장치(8)로 반사되지 않는다. 그 결과, 화상(34)에 있어서, 이상 부분(38)은, 흑색이 된다. 작업자는, 표시 장치(11)에 표시된 검사용 화상(34B)을 확인함으로써, 제1 범위(41)의 이상 유무를 판정할 수 있다.
[0061] 또한, 화상 처리부(30)가, 단계 S9에서 취득된 검사용 화상(34B)을 화상 처리하여, 제1 범위(41)의 이상 유무를 판정해도 된다.
[0062] 촬상 위치 제어부(27)는, 만곡면(12)의 검사가 종료되었는지의 여부를 판정한다(단계 S11).
[0063] 단계 S11에 있어서, 만곡면(12)의 검사가 종료되어 있지 않다고 판정되었을 경우(단계 S11：No), 카운터(i)가 증가(increment)된다(단계 S12).
[0064] 단계 S12에 있어서, 카운터(i)가 증가된 후, 단계 S4의 처리로 되돌아간다.
[0065] 카운터(i)가 「2」로 설정되었을 경우, 촬상 위치 제어부(27)는, 촬상 장치(8)의 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)에 만곡면(12)의 제2 범위(42)가 배치되도록, 촬상 이동 장치(9)에 제어 명령을 출력한다(단계 S4).
[0066] 도 10은, 실시형태에 따른 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)에 만곡면(12)의 제2 범위(42)가 배치되어 있는 상태를 모식적으로 나타낸 도면이다. 도 10에 나타낸 바와 같이, 촬상 위치 제어부(27)는, 촬상 장치(8)를 XY 평면 내에서 이동시켜, 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)에 만곡면(12)의 제2 범위(42)가 배치되도록, XY 평면 내에 있어서의 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)와 만곡면(12) 간의 상대 위치를 조정할 수 있다.
[0067] 이하, 만곡면(12)의 제2 범위(42)에 대해, 상술한 단계 S5부터 단계 S10의 처리가 실시된다. 즉, 촬상 제어부(28)는, 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)에 배치되어 있는 만곡면(12)의 제2 범위(42)의 조정용 화상(34A)을 촬상 장치(8)로 하여금 촬상하게 한다. 테이블 제어부(31)는, 화상 처리부(30)의 산출 결과에 근거하여, 테이블(3)을 기울여서, 제2 범위(42)의 조정용 화상(34A)의 휘도를 조정한다. 촬상 제어부(28)는, 제2 범위(42)의 조정용 화상(34A)의 휘도가 조정된 후에, 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)에 배치되어 있는 제2 범위(42)의 검사용 화상(34B)을 촬상 장치(8)로 하여금 촬상하게 한다. 표시 제어부(32)는, 제2 범위(42)의 검사용 화상(34B)을 표시 장치(11)로 하여금 표시하게 한다.
[0068] 만곡면(12)의 제2 범위(42)에 대해, 단계 S4부터 단계 S10까지의 처리가 종료된 후, 촬상 위치 제어부(27)는, 만곡면(12)의 검사가 종료되었는지의 여부를 판정한다(단계 S11).
[0069] 도 4를 참조하여 설명한 바와 같이, 만곡면(12)에 복수의 범위(40)가 설정된다. 복수의 범위(40)의 각각에 대해, 단계 S4부터 단계 S10까지의 처리가 종료됨으로써, 만곡면(12)의 검사가 종료되었다고 판정된다(단계 S11：Yes).
[0070] 이와 같이, 실시형태에 있어서, 촬상 제어부(28)는, 만곡면(12)의 제1 범위(41)의 조정용 화상(34A)의 휘도가 조정된 후에, 제1 범위(41)의 검사용 화상(34B)을 촬상 장치(8)로 하여금 촬상하게 하고, 만곡면(12)의 제2 범위(42)의 조정용 화상(34A)의 휘도가 조정된 후에, 제2 범위(42)의 검사용 화상(34B)을 촬상 장치(8)로 하여금 촬상하게 한다. 만곡면(12)에 N개의 범위(40)가 설정되어 있는 경우, N개의 범위(40)의 각각에 대해, 단계 S4부터 단계 S10의 처리가 실시된다. N개의 범위(40)의 각각에 대해, 조정용 화상(34A)의 휘도 조정과 검사용 화상(34B)의 취득이 종료될 때까지, 대상물(2)은, 테이블(3)에 계속 지지된다. 이와 같이, 복수의 범위(40)의 각각에 대해, 조정용 화상(34A)의 휘도 조정과 검사용 화상(34B)의 취득이, 스텝 앤드 리피트(step and repeat) 방식으로 실시된다.
[0071] [컴퓨터 시스템]
도 11은, 실시형태에 따른 컴퓨터 시스템(1000)을 나타낸 블록도이다. 상술한 제어 장치(10)는, 컴퓨터 시스템(1000)을 포함한다. 컴퓨터 시스템(1000)은, CPU(Central Processing Unit)와 같은 프로세서(1001)와, ROM(Read Only Memory)과 같은 불휘발성 메모리 및 RAM(Random Access Memory)과 같은 휘발성 메모리를 포함하는 메인 메모리(1002)와, 스토리지(1003)와, 입출력 회로를 포함하는 인터페이스(1004)를 갖는다. 제어 장치(10)의 기능은, 컴퓨터 프로그램으로서 스토리지(1003)에 기억되어 있다. 프로세서(1001)는, 컴퓨터 프로그램을 스토리지(1003)로부터 읽어내어 메인 메모리(1002)에 전개하고, 컴퓨터 프로그램에 따라 상술한 처리를 실행한다. 또한, 컴퓨터 프로그램은, 네트워크를 통해 컴퓨터 시스템(1000)에 전송(配信)되어도 된다.
[0072] 컴퓨터 프로그램은, 상술한 실시형태에 따라, 컴퓨터 시스템(1000)에, 만곡면(12)을 갖는 대상물(2)을 조명광에 의해 조명하는 것과, 촬상 장치(8)의 광학 시스템(6)의 시야 범위(25)에 배치되어 있는 만곡면(12)의 조정용 화상(34A)을 촬상하게 하는 것과, 대상물(2)을 기울여서, 조정용 화상(34A)의 휘도를 조정하는 것과, 조정용 화상(34A)의 휘도가 조정된 후에, 시야 범위(25)에 배치되어 있는 만곡면(12)의 검사용 화상(34B)을 촬상하게 하는 것을 실행시킬 수 있다.
[0073] [효과]
이상 설명한 바와 같이, 실시형태에 의하면, 만곡면(12)의 검사용 화상(34B)이 취득되기 전에, 만곡면(12)의 조정용 화상(34A)이 취득된다. 테이블(3)을 기울임으로써, 조정용 화상(34A)의 휘도가 조정된다. 실시형태에 있어서는, 조정용 화상(34A) 전체가 밝은 백색이 되도록, 테이블(3)이 기울여진다. 조정용 화상(34A)의 휘도가 조정된 후, 만곡면(12)의 검사용 화상(34B)이 취득된다. 이에 따라, 만곡면(12)을 갖는 대상물(2)의 외관 검사가 적정하게 실시된다. 상술한 바와 같이, 만곡면(12)의 이상 부분(38)은, 화상(34)에 있어서 흑색이 된다. 실시형태에 있어서는, 검사용 화상(34B)을 취득하기 전에, 조정용 화상(34A) 전체가 밝은 백색이 되도록, 대상물(2)의 기울기가 조정된다. 휘도가 조정된 후의 조정용 화상(34A)은, 검사용 화상(34B)과 동일한 화상(34)이다. 검사용 화상(34B)에 이상 부분(38)이 존재하는 경우, 백색과 흑색의 대비(contrast)에 의해, 검사용 화상(34B)으로부터 이상 부분(38)이 높은 정밀도로 발견된다. 이에 따라, 만곡면(12)의 외관 검사가 적정하게 실시된다.
[0074] 실시형태에 있어서, 테이블 제어부(31)는, 조정용 화상(34A)의 휘도를 모니터링하면서, 조정용 화상(34A) 전체가 밝은 백색이 되도록, 테이블(3)을 기울인다. 예컨대 경사 센서의 검출 데이터에 근거하여 테이블(3)이 기울여지는 경우, 테이블(3)과 대상물(2) 간의 위치 결정을 높은 정밀도로 실시할 필요가 있다. 실시형태에 의하면, 조정용 화상(34A)의 휘도에 근거하여, 조정용 화상(34A) 전체가 밝은 백색이 되도록 테이블(3)을 기울이는 피드백 제어가 실시된다. 이 때문에, 테이블(3)과 대상물(2) 간의 위치 결정이 높은 정밀도로 실시되지 않더라도, 테이블 제어부(31)는, 조정용 화상(34A) 전체가 밝은 백색이 되도록, 테이블(3)을 기울일 수가 있다.
[0075] 테이블 제어부(31)는, 조정용 화상(34A)을 구성하는 복수의 화소(35)의 각각의 휘도가 미리 정해져 있는 휘도 임계값(36) 이상이 되도록, 테이블(3)을 기울인다. 이에 따라, 테이블 제어부(31)는, 조정용 화상(34A) 전체를 밝은 백색으로 할 수가 있다.
[0076] 테이블 제어부(31)는, 조정용 화상(34A)에 있어서의 화소(35)의 휘도의 최대값과 최소값 간의 차가 차분 임계값(37) 이하가 되도록, 테이블(3)을 기울인다. 이에 따라, 테이블 제어부(31)는, 조정용 화상(34A)의 휘도의 분포를 균일하게 할 수가 있다.
[0077] 촬상 제어부(28)는, 조정용 화상(34A)의 휘도가 조정된 후의 테이블(3)의 기울기를 유지한 상태에서, 검사용 화상(34B)을 촬상 장치(8)로 하여금 촬상하게 한다. 즉, 조정용 화상(34A) 전체가 밝은 백색이 되도록 테이블(3)이 기울여진 후, 테이블(3)의 기울기가 유지된 상태에서, 검사용 화상(34B)이 촬상된다. 이에 따라, 만곡면(12)의 외관 검사는, 적정하고도 효율적으로 실시된다.
[0078] 조명 장치(5)는, 광학 시스템(6)의 입사면(20) 주위에 배치되는 광원(21)을 갖는 동축 조명 장치(17)를 포함한다. 동축 조명 장치(17)의 광원(21)은, 광학 시스템(6)의 광축(AX)과 평행한 Z축 방향으로 조명광을 사출한다. 이에 따라, 화상(34)의 휘도가 충분히 높아진다. 즉, 화상(34) 전체가 밝은 백색이 된다.
[0079] 대상물(2)은, 만곡면(12)과 촬상 장치(8)가 대향되도록, 테이블(3)에 지지된다. 검사 대상인 만곡면(12)은, 촬상 장치(8)를 향해 돌출된다. 조정용 화상(34A)에 있어서 휘도가 휘도 임계값(36) 미만인 제1 영역(51)과 휘도 임계값(36) 이상인 제2 영역(52)이 존재하는 경우, 테이블 제어부(31)는, 제1 영역(51)에 대응하는 만곡면(12)의 제1 부분(61)이 촬상 장치(8)에 접근하도록, 또는, 제2 영역(52)에 대응하는 만곡면(12)의 제2 부분(62)이 촬상 장치(8)로부터 이격되도록, 테이블(3)을 기울인다. 이에 따라, 테이블 제어부(31)는, 조정용 화상(34A)의 휘도에 근거하여, 조정용 화상(34A) 전체가 밝은 백색이 되도록, 테이블(3)을 적정하게 기울일 수가 있다.
[0080] 테이블(3)과 촬상 장치(8)는, 광학 시스템(6)의 광축(AX)과 직교하는 XY 평면 내에서 상대 이동이 가능하다. 촬상 제어부(28)는, 만곡면(12)의 제1 범위(41)의 조정용 화상(34A)의 휘도가 조정된 후에, 제1 범위(41)의 검사용 화상(34B)을 촬상 장치(8)로 하여금 촬상하게 하고, 만곡면(12)의 제2 범위(42)의 조정용 화상(34A)의 휘도가 조정된 후에, 제2 범위(42)의 검사용 화상(34B)을 촬상 장치(8)로 하여금 촬상하게 한다. 즉, 만곡면(12)에 설정된 복수의 범위(40)의 각각에 대해, 스텝 앤드 리피트 방식으로, 조정용 화상(34A)을 이용하는 휘도의 조정, 및 검사용 화상(34B)을 이용하는 만곡면(12)의 외관 검사가 효율적으로 실시된다. 또한, 만곡면(12)이 시야 범위(25)보다 크더라도, 만곡면(12) 전체의 외관 검사가 원활하게 실시된다.
[0081] 촬상 장치(8)에 의해 촬상된 만곡면(12)의 검사용 화상(34B)은, 표시 장치(11)에 표시된다. 이에 따라, 작업자는, 표시 장치(11)의 표시 화면을 확인함으로써, 만곡면(12)의 이상 유무를 확인할 수가 있다.
[0082] [기타의 실시형태]
상술한 실시형태에 있어서는, 검사 대상인 만곡면(12)은, 촬상 장치(8)를 향해 돌출되는 볼록면인 것으로 하였다. 검사 대상인 만곡면(12)은, 촬상 장치(8)에 대해 오목하게 들어간 오목면(凹面)이어도 된다.
[0083] 도 12는, 기타의 실시형태에 따른 테이블 제어부(31)의 처리를 설명하기 위한 도면이다. 도 12에 나타낸 바와 같이, 검사 대상인 만곡면(12)은, 촬상 장치(8)에 대해 오목하게 들어간 오목면이다. 범위(40)의 조정용 화상(34A)에 있어서 휘도가 휘도 임계값(36) 미만인 제1 영역(51)과 휘도 임계값(36) 이상인 제2 영역(52)이 존재하는 경우, 테이블 제어부(31)는, 제1 영역(51)에 대응하는 만곡면(12)의 제1 부분(61)이 촬상 장치(8)로부터 이격되도록, 테이블(3)을 기울인다. 이에 따라, 테이블 제어부(31)는, 조정용 화상(34A) 전체를 밝은 백색으로 할 수가 있다. 또한, 테이블 제어부(31)는, 제2 영역(52)에 대응하는 만곡면(12)의 제2 부분(62)이 촬상 장치(8)에 접근하도록, 테이블(3)을 기울여도 된다.
[0084] 상술한 실시형태에 있어서는, 촬상 이동 장치(9)에 의해 촬상 장치(8)가 XY 평면 내에서 이동함에 따라, 시야 범위(25)와 만곡면(12) 간의 상대 위치가 변경되는 것으로 하였다. 테이블(3)이 XY 평면 내에서 이동해도 되고, 테이블(3) 및 촬상 장치(8)의 양방(兩方)이 XY 평면 내에서 이동해도 된다. 테이블(3)과 촬상 장치(8)는, 광학 시스템(6)의 광축(AX)과 직교하는 X축 방향 및 Y축 방향의 각각으로 상대 이동이 가능하면 된다.
[0085] 상술한 실시형태에 있어서는, 동축 조명 장치(17)가 만곡면(12)을 조명하는 것으로 하였다. 경사 조명 장치(16)가 만곡면(12)을 조명해도 된다.
1…검사 장치, 2…대상물, 3…테이블, 4…테이블 구동 장치, 5…조명 장치, 6…광학 시스템, 7…이미지 센서, 8…촬상 장치, 9…촬상 이동 장치, 10…제어 장치, 11…표시 장치, 12…만곡면, 13…지지면, 14…액추에이터, 15…베이스 부재, 16…경사 조명 장치, 17…동축 조명 장치, 18…광원, 18A…제1 광원, 18B…제2 광원, 18C…제3 광원, 19…지지 부재, 20…입사면, 21…광원, 22…지지 부재, 23…유지 부재, 24…액추에이터, 25…시야 범위, 26…조명 제어부, 27…촬상 위치 제어부, 28…촬상 제어부, 29…화상 취득부, 30…화상 처리부, 31…테이블 제어부, 32…표시 제어부, 33…기억부, 34…화상, 34A…조정용 화상, 34B…검사용 화상, 35…화소, 36…휘도 임계값, 37…차분 임계값, 38…이상 부분, 40…범위, 41…제1 범위, 42…제2 범위, 51…제1 영역, 52…제2 영역, 61…제1 부분, 62…제2 부분, 1000…컴퓨터 시스템, 1001…프로세서, 1002…메인 메모리, 1003…스토리지, 1004…인터페이스, AX…광축.

Claims (10)

  1. 만곡면을 갖는 대상물을 지지하는 테이블과,
    상기 테이블에 지지된 상기 대상물을 조명광으로 조명하는 조명 장치와,
    광학 시스템 및 이미지 센서를 갖는 촬상(撮像) 장치와,
    상기 광학 시스템의 시야 범위에 배치되어 있는 상기 만곡면의 조정용 화상(畵像, image)을 상기 촬상 장치로 하여금 촬상하게 하는 촬상 제어부와,
    상기 테이블을 기울여서, 상기 조정용 화상의 휘도를 조정하는 테이블 제어부
    를 구비하며,
    상기 촬상 제어부는, 상기 조정용 화상의 휘도가 조정된 후에, 상기 시야 범위에 배치되어 있는 상기 만곡면의 검사용 화상을 상기 촬상 장치로 하여금 촬상하게 하는, 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 테이블 제어부는, 상기 조정용 화상을 구성하는 복수의 화소의 각각의 휘도가 휘도 임계값 이상이 되도록, 상기 테이블을 기울이는,
    검사 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 테이블 제어부는, 상기 조정용 화상에 있어서의 상기 휘도의 최대값과 최소값 간의 차가 차분(差分) 임계값 이하가 되도록, 상기 테이블을 기울이는,
    검사 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 촬상 제어부는, 상기 조정용 화상의 휘도가 조정된 후의 상기 테이블의 기울기를 유지한 상태에서, 상기 검사용 화상을 상기 촬상 장치로 하여금 촬상하게 하는,
    검사 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 조명 장치는, 상기 광학 시스템의 입사면 주위에 배치되는 광원을 가지며,
    상기 광원은, 상기 광학 시스템의 광축과 평행한 방향으로 상기 조명광을 사출하는,
    검사 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 대상물은, 상기 만곡면과 상기 촬상 장치가 대향(對向)되도록, 상기 테이블에 지지되며,
    상기 만곡면은, 상기 촬상 장치를 향해 돌출되며,
    상기 조정용 화상에 있어서 상기 휘도가 휘도 임계값 미만인 제1 영역과 휘도 임계값 이상인 제2 영역이 존재하는 경우, 상기 테이블 제어부는, 상기 제1 영역에 대응하는 상기 만곡면의 제1 부분이 상기 촬상 장치에 접근하도록, 또는, 상기 제2 영역에 대응하는 상기 만곡면의 제2 부분이 상기 촬상 장치로부터 이격되도록, 상기 테이블을 기울이는,
    검사 장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 대상물은, 상기 만곡면과 상기 촬상 장치가 대향되도록, 상기 테이블에 지지되며,
    상기 만곡면은, 상기 촬상 장치에 대해 오목하게 들어가 있으며,
    상기 조정용 화상에 있어서 상기 휘도가 휘도 임계값 미만인 제1 영역과 휘도 임계값 이상인 제2 영역이 존재하는 경우, 상기 테이블 제어부는, 상기 제1 영역에 대응하는 상기 만곡면의 제1 부분이 상기 촬상 장치로부터 이격되도록, 또는, 상기 제2 영역에 대응하는 상기 만곡면의 제2 부분이 상기 촬상 장치에 접근하도록, 상기 테이블을 기울이는,
    검사 장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 테이블과 상기 촬상 장치는, 상기 광학 시스템의 광축과 직교하는 방향으로 상대 이동이 가능하며,
    상기 촬상 제어부는, 상기 만곡면의 제1 범위의 상기 조정용 화상의 휘도가 조정된 후에, 상기 제1 범위의 상기 검사용 화상을 상기 촬상 장치로 하여금 촬상하게 하고, 상기 만곡면의 제2 범위의 상기 조정용 화상의 휘도가 조정된 후에, 상기 제2 범위의 상기 검사용 화상을 상기 촬상 장치로 하여금 촬상하게 하는,
    검사 장치.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 검사용 화상을 표시 장치로 하여금 표시하게 하는 표시 제어부를 구비하는,
    검사 장치.
  10. 만곡면을 갖는 대상물을 조명광에 의해 조명하는 것과,
    촬상 장치의 광학 시스템의 시야 범위에 배치되어 있는 상기 만곡면의 조정용 화상을 촬상하게 하는 것과,
    상기 대상물을 기울여서, 상기 조정용 화상의 휘도를 조정하는 것과,
    상기 조정용 화상의 휘도가 조정된 후에, 상기 시야 범위에 배치되어 있는 상기 만곡면의 검사용 화상을 촬상하게 하는 것을 포함하는,
    검사 방법.
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