KR20210158165A - Laser processing apparatus including polygon scanner - Google Patents

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Abstract

A laser processing apparatus according to one embodiment of the present invention comprises: a laser generator for generating a laser beam; and a polygon scanner located on an optical path of the laser beam and controlling the laser beam to be irradiated to a predetermined position of an object by separating the laser beam into a plurality of scan lines. The polygon scanner includes: a polygon mirror having a plurality of reflective surfaces for reflecting the laser beam; and a rotary shaft located in the center of the polygon mirror and rotating the polygon mirror, wherein the polygon mirror has a plurality of heat dissipation holes. The laser processing apparatus of the present invention has excellent decontamination efficiency of objects.

Description

폴리곤 스캐너를 포함하는 레이저 가공 장치{LASER PROCESSING APPARATUS INCLUDING POLYGON SCANNER}Laser processing apparatus including polygon scanner {LASER PROCESSING APPARATUS INCLUDING POLYGON SCANNER}

본 발명은 폴리곤 스캐너를 포함하는 레이저 가공 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a laser processing apparatus comprising a polygon scanner.

현재 철강 산업의 발달에 따라 제염 기술 또는 녹제거 기술와 같은 오염 제거 기술이 조명받고 있다. 이러한 오염 제염 기술에서는 레이저를 이용하여 표면을 가공하는 것이 상당히 효과적이다. 일반적으로 레이저를 이용한 오염 제거 장치, 즉 레이저 가공 장치는 레이저 빔을 스캔 헤드(scan head)에 연결하여 녹 또는 페인트 등의 오염물을 대상물로부터 제거할 수 있다. 이러한 레이저 가공 장치의 스캔 헤드는 갈바노 미러(Galvano Mirror)를 포함하므로, 무게가 무거우며 진동도 매우 크게 된다. Currently, with the development of the steel industry, decontamination technology such as decontamination technology or rust removal technology is in the spotlight. In this decontamination technique, it is quite effective to process the surface using a laser. In general, a decontamination apparatus using a laser, that is, a laser processing apparatus may connect a laser beam to a scan head to remove contaminants such as rust or paint from an object. Since the scan head of such a laser processing apparatus includes a galvano mirror, the weight is heavy and the vibration is very large.

이러한 레이저 가공 장치가 갈바노 1차원 미러를 포함하는 경우에는 직선 방향으로의 1차원 스캔만 가능하므로, 대상물의 오염 제거에 있어서 그 효율이 저하된다. 그러나, 오염 제거 효율을 향상시키기 위해, 레이저 가공 장치가 갈바노 2차원 미러를 포함하는 경우에는 타원 또는 팔자 형상과 같은 2차원 스캔이 가능하나, 무게가 매우 무거워진다.When such a laser processing apparatus includes a galvano one-dimensional mirror, only a one-dimensional scan in a linear direction is possible, so the efficiency is reduced in decontamination of an object. However, in order to improve the decontamination efficiency, when the laser processing apparatus includes a galvano two-dimensional mirror, a two-dimensional scan such as an ellipse or an elliptical shape is possible, but the weight becomes very heavy.

본 발명은 전술한 배경 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 대상물의 오염 제거 효율이 뛰어나고, 가공 속도도 빠른 레이저 가공 장치를 제공하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is to solve the problems of the above-described background art, and to provide a laser processing apparatus having excellent decontamination efficiency of an object and a fast processing speed.

본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치는 레이저 빔을 발생시키는 　레이저 발생기, 그리고 상기 레이저 빔의 광경로 상에 위치하며 상기 레이저 빔을 복수개의 스캔 라인으로 분리시켜 대상물의 소정 위치에 조사되도록 제어하는 폴리곤 스캐너를 포함하고, 상기 폴리곤 스캐너는 상기 레이저 빔을 반사시키는 복수개의 반사면을 가지는 폴리곤 미러, 그리고 상기 폴리곤 미러의 중앙부에 위치하며 상기 폴리곤 미러를 회전시키는 회전축을 포함하고, 상기 폴리곤 미러는 복수개의 방열 홀을 가진다.A laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention is controlled to be irradiated to a predetermined position of an object by separating the laser beam into a plurality of scan lines located on a 　 laser generator for generating a laser beam, and an optical path of the laser beam. and a polygon scanner, wherein the polygon scanner includes a polygon mirror having a plurality of reflective surfaces for reflecting the laser beam, and a rotation axis positioned at the center of the polygon mirror to rotate the polygon mirror, the polygon mirror comprising: It has a plurality of heat dissipation holes.

상기 복수개의 반사면의 경사각 중 적어도 하나는 서로 다를 수 있다. At least one of the inclination angles of the plurality of reflective surfaces may be different from each other.

상기 복수개의 반사면은 상기 폴리곤 미러의 측면에 형성되며, 상기 복수개의 방열 홈은 상기 폴리곤 미러의 상부면에서 하부면을 관통하여 형성될 수 있다.The plurality of reflective surfaces may be formed on a side surface of the polygon mirror, and the plurality of heat dissipation grooves may be formed through an upper surface of the polygon mirror and a lower surface of the polygon mirror.

상기 복수개의 반사면은 상기 회전축과 평행한 제1 반사면, 상기 회전축을 기준으로 양의 경사각을 가지는 제2 반사면, 그리고 상기 회전축을 기준으로 음의 경사각을 가지는 제3 반사면을 포함할 수 있다.The plurality of reflective surfaces may include a first reflective surface parallel to the rotation axis, a second reflection surface having a positive inclination angle with respect to the rotation axis, and a third reflection surface having a negative inclination angle with respect to the rotation axis. have.

상기 제2 반사면은 상기 폴리곤 미러의 상기 상부면 단부에서 상기 하부면 단부까지 테이퍼진 형상을 가지며, 상기 제3 반사면은 상기 폴리곤 미러의 상기 하부면 단부에서 상기 상부면 단부까지 역테이퍼진 형상을 가질 수 있다.The second reflective surface has a tapered shape from the upper surface end to the lower surface end of the polygon mirror, and the third reflective surface has a reverse tapered shape from the lower surface end to the upper surface end of the polygon mirror. can have

상기 폴리곤 미러는 6개의 반사면을 포함하고, 서로 마주보는 한 쌍의 제1 반사면, 서로 마주보는 한 쌍의 제2 반사면, 그리고 서로 마주보는 한 쌍의 제3 반사면을 포함할 수 있다.The polygon mirror may include six reflective surfaces, and may include a pair of first reflective surfaces facing each other, a pair of second reflective surfaces facing each other, and a pair of third reflective surfaces facing each other. .

상기 폴리곤 스캐너는 상기 폴리곤 미러 위에 설치되어 상기 폴리곤 미러에서 발생하는 열을 방출하는 방열 팬을 더 포함할 수 있다.The polygon scanner may further include a heat dissipation fan installed on the polygon mirror to dissipate heat generated from the polygon mirror.

상기 방열 팬은 상기 폴리곤 미러의 무게 중심과 회전 중심이 일치하도록 상기 폴리곤 미러에 형성될 수 있다.The heat dissipation fan may be formed on the polygon mirror so that a center of gravity and a center of rotation of the polygon mirror coincide.

상기 방열 팬은 상기 폴리곤 미러의 방열 홀과 마주보는 위치에 설치될 수 있다.The heat dissipation fan may be installed at a position facing the heat dissipation hole of the polygon mirror.

상기 폴리곤 스캐너는 상기 회전축에 연결되어 상기 폴리곤 미러의 수직 이동을 제어하는 수직 이동 제어부를 더 포함할 수 있다.The polygon scanner may further include a vertical movement control unit connected to the rotation axis to control the vertical movement of the polygon mirror.

상기 폴리곤 미러에서 반사된 상기 레이저 빔을 집광하여 상기 대상물에 조사하는 집광 부재를 더 포함할 수 있다. It may further include a light collecting member for condensing the laser beam reflected from the polygon mirror to irradiate the object.

본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치는 복수개의 반사면의 경사각이 서로 다른 폴리곤 미러를 포함하는 폴리곤 스캐너를 이용함으로써, 2차원 스캔이 가능하여 가공 속도를 향상시켜 대상물의 오염 제거 효율을 향상시킬 수 있다.The laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention uses a polygon scanner including a polygon mirror having different inclination angles of a plurality of reflective surfaces, so that a two-dimensional scan is possible, thereby improving the processing speed and improving the decontamination efficiency of the object. can do it

또한, 대상물의 오염 제거 효율을 향상시키기 위해 갈바노 2차원 미러를 사용하지 않아도 되므로, 가벼우며, 사용자가 사용하거나 기계에 장착하기 용이하다.In addition, since it is not necessary to use the galvano two-dimensional mirror in order to improve the decontamination efficiency of the object, it is light and easy to use by a user or to be mounted on a machine.

또한, 폴리곤 미러에 방열 홀을 형성함으로써, 과열을 방지하여 레이저 가공 장치의 손상을 방지할 수 있다. In addition, by forming a heat dissipation hole in the polygon mirror, it is possible to prevent overheating and damage to the laser processing apparatus.

또한, 폴리곤 미러는 회전축의 축방향으로 이동 가능함으로써, 복수개의 스캔 라인간의 간격을 조정할 수 있어, 가공 효율을 향상시킬 수 있다. In addition, since the polygon mirror is movable in the axial direction of the rotation axis, it is possible to adjust the spacing between the plurality of scan lines, thereby improving processing efficiency.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치의 개략적인 정면도이다.
도 2는 도 1의 폴리곤 미러의 평면도이다.
도 3은 도 1의 폴리곤 미러의 배면도이다.
도 4는 도 2의 폴리곤 미러를 IV-IV선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 5는 도 2의 폴리곤 미러를 V-V선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 6은 도 2의 폴리곤 미러를 VI-VI선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치의 폴리곤 미러를 이용하여 대상물에 제1 스캔 라인을 형성하는 상태를 설명하는 도면이다.
도 8은 도 7의 폴리곤 미러를 회전시켜 대상물에 제2 스캔 라인을 형성하는 상태를 설명하는 도면이다.
도 9는 도 8의 폴리곤 미러를 회전시켜 대상물에 제3 스캔 라인을 형성하는 상태를 설명하는 도면이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 가공 장치의 폴리곤 스캐너의 개략적인 단면도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 가공 장치의 폴리곤 스캐너의 수직 이동 제어부를 이용하여 폴리곤 미러를 회전축의 단부까지 이동시킨 상태를 도시한 개략적인 단면도이다. 1 is a schematic front view of a laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view of the polygon mirror of FIG. 1 .
FIG. 3 is a rear view of the polygon mirror of FIG. 1 .
4 is a cross-sectional view illustrating the polygon mirror of FIG. 2 taken along line IV-IV.
5 is a cross-sectional view illustrating the polygon mirror of FIG. 2 taken along line VV.
6 is a cross-sectional view illustrating the polygon mirror of FIG. 2 taken along line VI-VI.
7 is a view for explaining a state of forming a first scan line on an object using a polygon mirror of the laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a view for explaining a state in which a second scan line is formed on an object by rotating the polygon mirror of FIG. 7 .
9 is a view for explaining a state in which a third scan line is formed on an object by rotating the polygon mirror of FIG. 8 .
10 is a schematic cross-sectional view of a polygon scanner of a laser processing apparatus according to another embodiment of the present invention.
11 is a schematic cross-sectional view illustrating a state in which the polygon mirror is moved to the end of the rotation axis using the vertical movement control unit of the polygon scanner of the laser processing apparatus according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, various embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement them. The present invention may be embodied in several different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly explain the present invention, parts irrelevant to the description are omitted, and the same reference numerals are assigned to the same or similar components throughout the specification.

그러면 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치에 대하여 도 1 내지 도 6을 참고로 상세하게 설명한다.Then, a laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 6 .

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치의 개략적인 정면도이다.1 is a schematic front view of a laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치는 레이저 발생기(100), 폴리곤 스캐너(200), 집광 부재(300), 그리고 스테이지(400)를 포함한다. As shown in FIG. 1 , the laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a laser generator 100 , a polygon scanner 200 , a light collecting member 300 , and a stage 400 .

레이저 발생기(100)는 레이저 빔(L)을 발생시켜 스테이지(400)에 탑재되는 대상물(10)의 오염물(1)을 제거할 수 있다. 레이저 발생기(100)는 30W 파이버 레이저 일수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 오염물(1)은 대상물의 표면에 위치하는 방사능 물질, 녹(rust) 등일 수 있다. The laser generator 100 generates a laser beam L to remove the contaminants 1 of the object 10 mounted on the stage 400 . The laser generator 100 may be a 30W fiber laser, but is not necessarily limited thereto. The contaminant 1 may be a radioactive material, rust, etc. located on the surface of the object.

폴리곤 스캐너(200)는 레이저 빔(L)의 광 경로 상에 위치하며 레이저 빔(L)을 복수개의 스캔 라인으로 분리시켜 대상물(10)에 형성된 오염물(1)에 조사하도록 제어할 수 있다. 이러한 폴리곤 스캐너(200)를 이용하여 레이저 빔(L)을 대상물(10)에서 소정 방향(X)으로 스캐닝할 수 있다.The polygon scanner 200 is positioned on the optical path of the laser beam L and can be controlled to irradiate the contaminants 1 formed on the object 10 by separating the laser beam L into a plurality of scan lines. Using the polygon scanner 200 , the laser beam L may be scanned in a predetermined direction X from the object 10 .

폴리곤 스캐너(200)는 스캐너 본체(210), 폴리곤 미러(220), 그리고 회전축(230)을 포함할 수 있다.The polygon scanner 200 may include a scanner body 210 , a polygon mirror 220 , and a rotation shaft 230 .

스캐너 본체(210) 내부에 폴리곤 미러(220)가 설치될 수 있다. 이러한 스캐너 본체(210)의 형상은 평면상 사각형 형상으로 도시되어 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 폴리곤 미러(220)가 스캐너 본체(210)의 내부에서 회전할 수 있는 구조라면 다양한 형상이 가능하다. A polygon mirror 220 may be installed inside the scanner body 210 . Although the shape of the scanner body 210 is shown as a rectangular shape on a plane, it is not necessarily limited thereto, and various shapes are possible as long as the polygon mirror 220 is rotatable inside the scanner body 210 . .

폴리곤 미러(220)는 소정 방향(R)으로 회전하며 레이저 빔(L)을 반사시킬 수 있다. 이러한 폴리곤 미러(220)는 복수개의 반사면(20)을 구비하며 각각의 반사면(20)에 레이저 빔(L)을 반사시켜 대상물(10) 위에 복수개의 스캔 라인(PL1, PL2, PL3, 도 7 내지 도 9 참조)을 형성할 수 있다. 복수개의 반사면(20)은 폴리곤 미러(220)의 측면에 형성될 수 있다. The polygon mirror 220 may be rotated in a predetermined direction R to reflect the laser beam L. The polygon mirror 220 has a plurality of reflective surfaces 20 and reflects a laser beam L on each reflective surface 20 to form a plurality of scan lines PL1, PL2, PL3, and FIG. 7 to 9) may be formed. The plurality of reflective surfaces 20 may be formed on a side surface of the polygon mirror 220 .

회전축(230)은 폴리곤 미러(220)의 중앙부에 위치하며 폴리곤 미러(220)를 회전시킬 수 있다.The rotation shaft 230 is located in the center of the polygon mirror 220 and can rotate the polygon mirror 220 .

본 실시예에서는 폴리곤 미러(220)가 평면상 정육각형 형상을 가지고 6개의 반사면(20)을 가지나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 형상의 폴리곤 미러가 가능하다. 이하에서, 설명의 편의를 위해 6개의 반사면을 가지는 폴리곤 미러를 중심으로 설명하기로 한다. In this embodiment, the polygon mirror 220 has a regular hexagonal shape in plan view and has six reflective surfaces 20, but is not limited thereto, and polygon mirrors of various shapes are possible. Hereinafter, for convenience of description, a polygon mirror having six reflective surfaces will be mainly described.

폴리곤 미러(220)의 복수개의 반사면(20)의 경사각 중 적어도 하나는 서로 다를 수 있다. 이에 대해 도 2 내지 도 6을 참조하여 상세히 설명한다. At least one of the inclination angles of the plurality of reflective surfaces 20 of the polygon mirror 220 may be different from each other. This will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 6 .

도 2는 도 1의 폴리곤 미러의 평면도이며, 도 3은 도 1의 폴리곤 미러의 배면도이고, 도 4는 도 2의 폴리곤 미러를 IV-IV선을 따라 잘라 도시한 단면도이며, 도 5는 도 2의 폴리곤 미러를 V-V선을 따라 잘라 도시한 단면도이고, 도 6은 도 2의 폴리곤 미러를 VI-VI선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.Figure 2 is a plan view of the polygon mirror of Figure 1, Figure 3 is a rear view of the polygon mirror of Figure 1, Figure 4 is a cross-sectional view showing the polygon mirror of Figure 2 taken along the IV-IV line, Figure 5 is 2 is a cross-sectional view illustrating the polygon mirror of FIG. 2 cut along the line VV, and FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating the polygon mirror of FIG. 2 cut along the line VI-VI.

도 2 내지 도 6에 도시한 바와 같이, 복수개의 반사면(20)은 회전축(230)과 평행한 제1 반사면(21), 회전축(230)을 기준으로 양의 경사각(θ1)을 가지는 제2 반사면(22), 그리고 회전축(230)을 기준으로 음의 경사각(θ2)을 가지는 제3 반사면(23)을 포함할 수 있다.As shown in FIGS. 2 to 6 , the plurality of reflective surfaces 20 have a first reflective surface 21 parallel to the rotation axis 230 and a first reflective surface 21 having a positive inclination angle θ1 with respect to the rotation axis 230 . The second reflective surface 22 may include a third reflective surface 23 having a negative inclination angle θ2 with respect to the rotation axis 230 .

본 실시예에서는 폴리곤 미러(220)는 6개의 반사면(20)을 가지며, 6개의 반사면(20)은 서로 마주보는 한 쌍의 제1 반사면(21), 서로 마주보는 한 쌍의 제2 반사면(22), 그리고 서로 마주보는 한 쌍의 제3 반사면(23)을 포함할 수 있다. In this embodiment, the polygon mirror 220 has six reflective surfaces 20, and the six reflective surfaces 20 are a pair of first reflective surfaces 21 facing each other, and a pair of second reflective surfaces facing each other. It may include a reflective surface 22 and a pair of third reflective surfaces 23 facing each other.

따라서, 소정 방향(R)을 따라 제1 반사면(21), 제2 반사면(22), 제3 반사면(23), 제1 반사면(21), 제2 반사면(22), 그리고 제3 반사면(23)의 순서대로 배치될 수 있다. Accordingly, along the predetermined direction R, the first reflective surface 21 , the second reflective surface 22 , the third reflective surface 23 , the first reflective surface 21 , the second reflective surface 22 , and The third reflective surfaces 23 may be disposed in order.

구체적으로, 도 4에 도시한 바와 같이, 제1 반사면(21)은 회전축(230)과 평행하며, 도 5에 도시한 바와 같이, 제2 반사면(22)은 회전축(230)과 평행한 가상의 라인(A)을 기준으로 양의 경사각(θ1)을 가질 수 있으며, 도 6에 도시한 바와 같이, 제3 반사면(23)은 회전축(230)과 평행한 가상의 라인(A)을 기준으로 음의 경사각(θ2)을 가질 수 있다. 따라서, 제2 반사면(22)은 폴리곤 미러(220)의 상부면(220u)의 단부에서 하부면(220d)의 단부까지 테이퍼진 형상을 가지며, 제3 반사면(23)은 폴리곤 미러(220)의 하부면(220d)의 단부에서 상부면(220u)의 단부까지 역테이퍼진 형상을 가질 수 있다.Specifically, as shown in FIG. 4 , the first reflective surface 21 is parallel to the rotation axis 230 , and as shown in FIG. 5 , the second reflection surface 22 is parallel to the rotation axis 230 . It may have a positive inclination angle θ1 with respect to the imaginary line A, and as shown in FIG. 6 , the third reflective surface 23 forms an imaginary line A parallel to the rotation axis 230 . It may have a negative inclination angle θ2 as a reference. Accordingly, the second reflective surface 22 has a tapered shape from the end of the upper surface 220u of the polygon mirror 220 to the end of the lower surface 220d, and the third reflective surface 23 is the polygon mirror 220 . ) may have a reverse tapered shape from the end of the lower surface 220d to the end of the upper surface 220u.

따라서, 도 2에 도시한 바와 같이, 평면도 상에서 제2 반사면(22)은 보이나, 제1 반사면(21) 및 제3 반사면(23)은 보이지 않으며, 도 3에 도시한 바와 같이, 배면도 상에서 제3 반사면(23)은 보이나, 제1 반사면(21) 및 제2 반사면(22)은 보이지 않게 된다. Accordingly, as shown in FIG. 2 , the second reflective surface 22 is visible in a plan view, but the first reflective surface 21 and the third reflective surface 23 are not visible, and as shown in FIG. 3 , the rear surface In the figure, the third reflective surface 23 is visible, but the first reflective surface 21 and the second reflective surface 22 are invisible.

본 실시예에서는 3개의 다른 경사각을 가지는 반사면을 가지는 폴리곤 미러를 도시하였으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 6개의 반사면 모두가 다른 경사각을 가지는 폴리곤 미러도 가능하다. Although the present embodiment shows a polygon mirror having three reflective surfaces having different inclination angles, the present invention is not limited thereto, and a polygon mirror in which all six reflective surfaces have different inclination angles is also possible.

이하에서, 도 7 내지 도 9를 참조로 하여 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치를 이용하여 대상물에 형성된 오염물을 제거하는 방법에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, a method of removing contaminants formed on an object using a laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 7 to 9 .

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치의 폴리곤 미러를 이용하여 대상물에 제1 스캔 라인을 형성하는 상태를 설명하는 도면이고, 도 8은 도 7의 폴리곤 미러를 회전시켜 대상물에 제2 스캔 라인을 형성하는 상태를 설명하는 도면이며, 도 9는 도 8의 폴리곤 미러를 회전시켜 대상물에 제3 스캔 라인을 형성하는 상태를 설명하는 도면이다.7 is a view for explaining a state of forming a first scan line on an object by using the polygon mirror of the laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. It is a view for explaining a state of forming a second scan line, and FIG. 9 is a view for explaining a state of forming a third scan line on an object by rotating the polygon mirror of FIG. 8 .

우선, 도 7에 도시한 바와 같이, 소정 방향(R)으로 회전하는 폴리곤 미러(220)의 제1 반사면(21)에서 반사된 레이저 빔(L)은 대상물(10)의 표면에 제1 스캔 라인(PL1)을 형성한다. First, as shown in FIG. 7 , the laser beam L reflected from the first reflective surface 21 of the polygon mirror 220 rotating in the predetermined direction R is first scanned on the surface of the object 10 . A line PL1 is formed.

다음으로, 도 8에 도시한 바와 같이, 소정 방향(R)으로 더욱 회전한 폴리곤 미러(220)는 제3 반사면(23)이 레이저 빔(L)을 반사시키게 된다. 이 때, 제3 반사면(23)은 회전축(230)을 기준으로 음의 경사각(θ2)을 가지므로, 제3 반사면(23)에서 반사된 레이저 빔(L)은 대상물(10)의 표면에 제2 스캔 라인(PL2)을 형성한다. 제2 스캔 라인(PL2)은 제1 스캔 라인(PL1)을 기준으로 일측에 형성된다. 본 실시예에서는 제2 스캔 라인(PL2)은 제1 스캔 라인(PL1)의 좌측에 형성될 수 있다.Next, as shown in FIG. 8 , in the polygon mirror 220 further rotated in the predetermined direction R, the third reflective surface 23 reflects the laser beam L. At this time, since the third reflective surface 23 has a negative inclination angle θ2 with respect to the rotation axis 230 , the laser beam L reflected from the third reflective surface 23 is the surface of the object 10 . A second scan line PL2 is formed on the The second scan line PL2 is formed on one side with respect to the first scan line PL1 . In the present embodiment, the second scan line PL2 may be formed on the left side of the first scan line PL1 .

다음으로, 도 9에 도시한 바와 같이, 소정 방향(R)으로 더욱 회전한 폴리곤 미러(220)는 제2 반사면(22)이 레이저 빔(L)을 반사시키게 된다. 이 때, 제2 반사면(22)은 회전축(230)을 기준으로 양의 경사각(θ1)을 가지므로, 제2 반사면(22)에서 반사된 레이저 빔(L)은 대상물(10)의 표면에 제3 스캔 라인(PL3)을 형성한다. 제3 스캔 라인(PL3)은 제1 스캔 라인(PL1)을 기준으로 타측에 형성된다. 본 실시예에서는 제3 스캔 라인(PL3)은 제1 스캔 라인(PL1)의 우측에 형성될 수 있다. Next, as shown in FIG. 9 , in the polygon mirror 220 further rotated in the predetermined direction R, the second reflective surface 22 reflects the laser beam L. At this time, since the second reflective surface 22 has a positive inclination angle θ1 with respect to the rotation axis 230 , the laser beam L reflected from the second reflective surface 22 is the surface of the object 10 . A third scan line PL3 is formed in The third scan line PL3 is formed on the other side with respect to the first scan line PL1 . In the present embodiment, the third scan line PL3 may be formed on the right side of the first scan line PL1 .

이와 같이, 폴리곤 미러(220)를 회전함에 따라 제1 반사면(21), 제3 반사면(23), 그리고 제2 반사면(22)이 차례로 레이저 빔(L)을 반사하며, 대상물(10)의 표면에 제1 스캔 라인(PL1), 제2 스캔 라인(PL2), 및 제3 스캔 라인(PL3)을 형성하게 된다. 따라서, 제1 스캔 라인(PL1), 제2 스캔 라인(PL2), 및 제3 스캔 라인(PL3)을 동시에 이용하여 대상물(10)의 표면에 형성된 오염물(1)을 제거할 수 있으므로, 대상물(10)의 표면에 형성된 오염물(1)을 보다 용이하고 신속하게 제거할 수 있다. As described above, as the polygon mirror 220 is rotated, the first reflective surface 21 , the third reflective surface 23 , and the second reflective surface 22 sequentially reflect the laser beam L, and the object 10 ), a first scan line PL1 , a second scan line PL2 , and a third scan line PL3 are formed. Accordingly, since the contaminants 1 formed on the surface of the object 10 can be removed by using the first scan line PL1, the second scan line PL2, and the third scan line PL3 at the same time, the object ( The contaminants 1 formed on the surface of 10) can be removed more easily and quickly.

한편, 폴리곤 미러(220)는 복수개의 방열 홀(220a)을 가질 수 있다. Meanwhile, the polygon mirror 220 may have a plurality of heat dissipation holes 220a.

복수개의 방열 홀(220a)은 폴리곤 미러(220)의 상부면(220u)에서 하부면(220d)을 관통하여 형성될 수 있다. 따라서, 폴리곤 미러(220)의 표면적을 증가시킬 수 있으므로, 회전 에너지에 의해 폴리곤 미러(220)에 발생한 열을 용이하게 방출하여, 레이저 가공 장치의 손상을 방지할 수 있다. The plurality of heat dissipation holes 220a may be formed to pass through the lower surface 220d from the upper surface 220u of the polygon mirror 220 . Therefore, since the surface area of the polygon mirror 220 can be increased, heat generated in the polygon mirror 220 by rotational energy can be easily radiated, thereby preventing damage to the laser processing apparatus.

또한, 폴리곤 미러(220)에 복수개의 방열 홀(220a)을 형성함으로써, 폴리곤 미러(220)의 무게를 줄일 수 있어서, 폴리곤 미러(220)를 회전시키는 데 필요한 에너지를 최소화할 수 있다. In addition, by forming the plurality of heat dissipation holes 220a in the polygon mirror 220 , the weight of the polygon mirror 220 may be reduced, and thus energy required to rotate the polygon mirror 220 may be minimized.

이때, 복수개의 방열 홀(220a)은 폴리곤 미러(220)의 무게 중심과 회전 중심이 일치하도록 폴리곤 미러(220)에 형성될 수 있다. 이를 위해 복수개의 방열 홀(220a)은 회전축(230)으로부터 동일한 거리에 형성될 수 있다. 따라서, 회전하는 폴리곤 미러(220)의 회전 편심을 방지할 수 있다. In this case, the plurality of heat dissipation holes 220a may be formed in the polygon mirror 220 so that the center of gravity and the center of rotation of the polygon mirror 220 coincide. To this end, the plurality of heat dissipation holes 220a may be formed at the same distance from the rotation shaft 230 . Accordingly, rotational eccentricity of the rotating polygon mirror 220 can be prevented.

한편, 집광 부재(300)는 폴리곤 미러(220)에서 반사된 레이저 빔(L)을 집광하여 대상물(10)에 조사할 수 있다. 이러한 집광 부재는 에프 세타(f-θ) 렌즈를 포함할 수 있다. Meanwhile, the light collecting member 300 may focus the laser beam L reflected from the polygon mirror 220 and irradiate the light onto the object 10 . Such a light collecting member may include an f-theta (f-θ) lens.

스테이지(400)는 대상물(10)이 탑재되며 대상물(10)을 소정 방향으로 이동시켜, 대상물(10)의 모든 부분에 스캔 라인(L1, L2, L3)을 형성할 수 있다. 따라서, 고속으로 레이저 가공을 진행할 수 있다.The stage 400 may have the object 10 mounted thereon and may move the object 10 in a predetermined direction to form scan lines L1 , L2 , and L3 in all parts of the object 10 . Therefore, laser processing can be performed at high speed.

한편, 상기 일 실시예에서는 폴리곤 미러(220)에 형성된 방열 홀(220a)만을 이용하여 폴리곤 미러(220)에서 발생한 열을 방출하였으나, 방열 팬을 추가하여 폴리곤 미러(220)에서 발생한 열을 방출하는 다른 실시예도 가능하다. On the other hand, in the embodiment, heat generated from the polygon mirror 220 is emitted using only the heat radiation hole 220a formed in the polygon mirror 220, but a heat radiation fan is added to radiate the heat generated in the polygon mirror 220. Other embodiments are possible.

이하에서, 도 10을 참고하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 가공 장치에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to FIG. 10, a laser processing apparatus according to another embodiment of the present invention will be described in detail.

도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 가공 장치의 폴리곤 스캐너의 개략적인 단면도이다.10 is a schematic cross-sectional view of a polygon scanner of a laser processing apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 10에 도시된 다른 실시예는 도 1 내지 도 9에 도시된 일 실시예와 비교하여 방열 팬 및 수직 이동 제어부의 구조만을 제외하고 실질적으로 동일한 바 반복되는 설명은 생략한다.The other embodiment shown in FIG. 10 is substantially the same as that of the embodiment shown in FIGS. 1 to 9 except for the structure of the heat dissipation fan and the vertical movement control unit, and thus repeated description will be omitted.

도 10에 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 가공 장치의 폴리곤 스캐너는 스캐너 본체(210), 폴리곤 미러(220), 회전축(230), 방열 팬(240), 그리고 수직 이동 제어부(250)를 포함할 수 있다. 10, the polygon scanner of the laser processing apparatus according to another embodiment of the present invention is a scanner body 210, a polygon mirror 220, a rotation shaft 230, a heat dissipation fan 240, and a vertical movement control unit 250 may be included.

폴리곤 미러(220)는 적어도 하나 이상 다른 경사각을 가지는 복수개의 반사면(20)을 구비하며 각각의 반사면(20)에 레이저 빔(L)을 반사시켜 대상물(10) 위에 복수개의 스캔 라인(PL1, PL2, PL3, 도 7 내지 도 9 참조)을 형성할 수 있다.The polygon mirror 220 includes a plurality of reflective surfaces 20 having at least one or more different inclination angles, and reflects a laser beam L on each reflective surface 20 to reflect a plurality of scan lines PL1 on the object 10 . , PL2, PL3 (see FIGS. 7 to 9) may be formed.

방열 팬(240)은 폴리곤 미러(220)와 이격되어 폴리곤 미러(220) 위에 설치될 수 있다. 방열 팬(240)은 폴리곤 미러(220)의 방열 홀(220a)과 마주보는 위치에 형성될 수 있다. 이러한 방열 팬(240)은 폴리곤 미러(220)에서 발생하는 열을 외부로 방출할 수 있다. 따라서, 폴리곤 미러(220)에서 발생하는 열을 외부로 더욱 용이하게 방출시킬 수 있다. The heat dissipation fan 240 may be installed on the polygon mirror 220 to be spaced apart from the polygon mirror 220 . The heat dissipation fan 240 may be formed at a position facing the heat dissipation hole 220a of the polygon mirror 220 . The heat dissipation fan 240 may radiate heat generated from the polygon mirror 220 to the outside. Accordingly, heat generated from the polygon mirror 220 may be more easily radiated to the outside.

수직 이동 제어부(250)는 회전축(230)에 연결되어 설치될 수 있다. 이러한 수직 이동 제어부(250)는 폴리곤 미러(220)의 회전축 방향(Y)으로의 수직 이동을 제어할 수 있다. 폴리곤 미러(220)는 회전축(230)의 단부로 이동할수록 회전 편심이 커지게 된다. 따라서, 수직 이동 제어부(250)를 이용하여 폴리곤 미러(220)의 수직 위치를 조절함으로써, 제1 스캔 라인(PL1), 제2 스캔 라인(PL2), 그리고 제3 스캔 라인(PL3) 간의 간격을 조절할 수 있다. The vertical movement control unit 250 may be installed while being connected to the rotation shaft 230 . The vertical movement control unit 250 may control the vertical movement of the polygon mirror 220 in the rotation axis direction (Y). As the polygon mirror 220 moves toward the end of the rotation shaft 230 , the rotational eccentricity increases. Accordingly, by adjusting the vertical position of the polygon mirror 220 using the vertical movement control unit 250, the interval between the first scan line PL1, the second scan line PL2, and the third scan line PL3 is reduced. can be adjusted

도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 가공 장치의 폴리곤 스캐너의 수직 이동 제어부를 이용하여 폴리곤 미러를 회전축의 단부까지 이동시킨 상태를 도시한 개략적인 단면도이다.11 is a schematic cross-sectional view illustrating a state in which the polygon mirror is moved to the end of the rotation axis using the vertical movement control unit of the polygon scanner of the laser processing apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 11에 도시한 바와 같이, 폴리곤 미러(220)의 복수개의 반사면의 경사각 이 서로 다르지 않은 경우에도, 수직 이동 제어부(250)를 이용하여 폴리곤 미러(220)를 회전축 방향(Y)을 따라 이동시킬수록 제1 스캔 라인(PL1), 제2 스캔 라인(PL2), 그리고 제3 스캔 라인(PL3)이 발생할 수 있다. 또한, 수직 이동 제어부(250)를 이용하여 폴리곤 미러(220)를 회전축(230)의 단부로 이동시킬수록 제1 스캔 라인(PL1), 제2 스캔 라인(PL2), 그리고 제3 스캔 라인(PL3) 간의 간격이 더욱 커질 수 있다. 이와 같이, 폴리곤 스캐너(200)에 수직 이동 제어부(250)를 설치함으로써, 대상물(10)의 표면에서 2차원 스캔이 가능해지므로, 대상물(10)의 표면에 형성된 오염물(1)을 보다 용이하고 신속하게 제거할 수 있다. 11 , even when the inclination angles of the plurality of reflective surfaces of the polygon mirror 220 are not different from each other, the polygon mirror 220 is moved along the rotation axis direction Y by using the vertical movement control unit 250 . As a result, the first scan line PL1 , the second scan line PL2 , and the third scan line PL3 may be generated. In addition, as the polygon mirror 220 is moved toward the end of the rotation shaft 230 using the vertical movement controller 250 , the first scan line PL1 , the second scan line PL2 , and the third scan line PL3 ) can be further increased. As described above, by installing the vertical movement control unit 250 in the polygon scanner 200, two-dimensional scanning is possible on the surface of the object 10, so that the contaminants 1 formed on the surface of the object 10 can be removed more easily and quickly. can be removed

본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.Although the present invention has been described through preferred embodiments as described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and variations are possible without departing from the concept and scope of the following claims. Those in the technical field to which it belongs will readily understand.

100: 레이저 발생기 200: 폴리곤 스캐너
210: 스캐너 본체 220: 폴리곤 미러
230: 회전축 300: 집광 부재
400: 스테이지 100: laser generator 200: polygon scanner
210: scanner body 220: polygon mirror
230: rotation shaft 300: light collecting member
400: stage

Claims (11)

레이저 빔을 발생시키는 　레이저 발생기, 그리고
상기 레이저 빔의 광경로 상에 위치하며 상기 레이저 빔을 복수개의 스캔 라인으로 분리시켜 대상물의 소정 위치에 조사되도록 제어하는 폴리곤 스캐너
를 포함하고,
상기 폴리곤 스캐너는
상기 레이저 빔을 반사시키는 복수개의 반사면을 가지는 폴리곤 미러, 그리고
상기 폴리곤 미러의 중앙부에 위치하며 상기 폴리곤 미러를 회전시키는 회전축
을 포함하고,
상기 폴리곤 미러는 복수개의 방열 홀을 가지는 레이저 가공 장치.a laser generator for generating a laser beam, and
A polygon scanner located on the optical path of the laser beam and controlling the laser beam to be irradiated to a predetermined position by dividing the laser beam into a plurality of scan lines
including,
The polygon scanner
a polygon mirror having a plurality of reflective surfaces for reflecting the laser beam, and
A rotation axis positioned at the center of the polygon mirror and rotating the polygon mirror
including,
The polygon mirror is a laser processing device having a plurality of heat dissipation holes. 제1항에서,
상기 복수개의 반사면의 경사각 중 적어도 하나는 서로 다른 레이저 가공 장치.In claim 1,
At least one of the inclination angles of the plurality of reflective surfaces is different from each other. 제2항에서,
상기 복수개의 반사면은 상기 폴리곤 미러의 측면에 형성되며,
상기 복수개의 방열 홈은 상기 폴리곤 미러의 상부면에서 하부면을 관통하여 형성되는 레이저 가공 장치.In claim 2,
The plurality of reflective surfaces are formed on a side surface of the polygon mirror,
The plurality of heat dissipation grooves are formed by penetrating the lower surface from the upper surface of the polygon mirror. 제3항에서,
상기 복수개의 반사면은
상기 회전축과 평행한 제1 반사면,
상기 회전축을 기준으로 양의 경사각을 가지는 제2 반사면, 그리고
상기 회전축을 기준으로 음의 경사각을 가지는 제3 반사면
을 포함하는 레이저 가공 장치.In claim 3,
The plurality of reflective surfaces
a first reflective surface parallel to the axis of rotation;
a second reflective surface having a positive inclination angle with respect to the rotation axis, and
A third reflective surface having a negative inclination angle with respect to the rotation axis
A laser processing device comprising a. 제4항에서,
상기 제2 반사면은 상기 폴리곤 미러의 상기 상부면 단부에서 상기 하부면 단부까지 테이퍼진 형상을 가지며,
상기 제3 반사면은 상기 폴리곤 미러의 상기 하부면 단부에서 상기 상부면 단부까지 역테이퍼진 형상을 가지는 레이저 가공 장치.In claim 4,
The second reflective surface has a tapered shape from an end of the upper surface of the polygon mirror to an end of the lower surface,
The third reflective surface is a laser processing apparatus having a reverse tapered shape from the lower surface end to the upper surface end of the polygon mirror. 제5항에서,
상기 폴리곤 미러는 6개의 반사면을 포함하고,
서로 마주보는 한 쌍의 제1 반사면, 서로 마주보는 한 쌍의 제2 반사면, 그리고 서로 마주보는 한 쌍의 제3 반사면을 포함하는 레이저 가공 장치.In claim 5,
The polygon mirror includes six reflective surfaces,
A laser processing apparatus comprising a pair of first reflective surfaces facing each other, a pair of second reflective surfaces facing each other, and a pair of third reflective surfaces facing each other. 제1항에서,
상기 폴리곤 스캐너는
상기 폴리곤 미러 위에 설치되어 상기 폴리곤 미러에서 발생하는 열을 방출하는 방열 팬을 더 포함하는 레이저 가공 장치.In claim 1,
The polygon scanner
Laser processing apparatus further comprising a heat dissipation fan installed on the polygon mirror to emit heat generated in the polygon mirror. 제7항에서,
상기 방열 팬은 상기 폴리곤 미러의 무게 중심과 회전 중심이 일치하도록 상기 폴리곤 미러에 형성되는 레이저 가공 장치.In claim 7,
The heat dissipation fan is a laser processing device formed in the polygon mirror so that the center of gravity and the rotation center of the polygon mirror coincide. 제7항에서,
상기 방열 팬은 상기 폴리곤 미러의 방열 홀과 마주보는 위치에 설치되는 레이저 가공 장치. In claim 7,
The heat dissipation fan is a laser processing device installed at a position facing the heat dissipation hole of the polygon mirror. 제1항 또는 제2항에서,
상기 폴리곤 스캐너는
상기 회전축에 연결되어 상기 폴리곤 미러의 수직 이동을 제어하는 수직 이동 제어부를 더 포함하는 레이저 가공 장치.In claim 1 or 2,
The polygon scanner
Laser processing apparatus further comprising a vertical movement control unit connected to the rotation shaft to control the vertical movement of the polygon mirror. 제1항에서,
상기 폴리곤 미러에서 반사된 상기 레이저 빔을 집광하여 상기 대상물에 조사하는 집광 부재를 더 포함하는 레이저 가공 장치.In claim 1,
Laser processing apparatus further comprising a condensing member for condensing the laser beam reflected from the polygon mirror to irradiate the object.
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