KR20210146803A - 퍼지 노즐 어셈블리 및 퍼지 노즐 어셈블리를 포함한 반도체 처리 어셈블리 - Google Patents

퍼지 노즐 어셈블리 및 퍼지 노즐 어셈블리를 포함한 반도체 처리 어셈블리 Download PDF

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KR20210146803A
KR20210146803A KR1020210065385A KR20210065385A KR20210146803A KR 20210146803 A KR20210146803 A KR 20210146803A KR 1020210065385 A KR1020210065385 A KR 1020210065385A KR 20210065385 A KR20210065385 A KR 20210065385A KR 20210146803 A KR20210146803 A KR 20210146803A
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purge
spring
wafer cassette
mounting body
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리더 크리스티아누스 쥐.엠. 드
클라스 뻬 본스트라
Original Assignee
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이.
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Abstract

입구 개구부(14) 및 출구 개구부(16)를 포함하는 퍼지 노즐 본체(12)를 포함하는 퍼지 노즐 어셈블리(10). 출구 개구부(16)는 퍼지 노즐 접촉면(18) 쪽으로 통한다. 추가로, 퍼지 노즐 어셈블리는 퍼지 노즐 어셈블리(10)를 외부 프레임 부재에 연결하기 위한 장착 본체(20)를 포함한다. 기계적 결합 메커니즘은 장착 본체(20)에 퍼지 노즐 본체(12)를 이동 가능하게 결합하고, 그리고 장착 바디(20)에 대해 퍼지 노즐 본체(12)를 기울일 수 있을 뿐만 아니라, 장착 본체(20)에 대한 퍼지 노즐 본체(12)의 실질적인 측면 이동을 허용하도록 구성되며, 여기서, 측면 이동은 퍼지 노즐 접촉면(18)에 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는다.

Description

퍼지 노즐 어셈블리 및 상기 퍼지 노즐 어셈블리를 포함하는 반도체 처리 어셈블리 {Purge nozzle assembly and semiconductor processing assembly including the purge nozzle assembly}
본 개시는 일반적으로 퍼지 노즐 어셈블리 및 퍼지 노즐 어셈블리를 포함한 반도체 처리 어셈블리에 관한 것이다.
반도체 산업의 특정 응용 분야의 경우, 하단에 퍼지 포트가 있는 웨이퍼 카세트를 사용하는 웨이퍼 카세트 퍼지 시스템이 개발되고 있다. 시스템은, 웨이퍼 카세트가 배치되는 특정 위치에서 퍼지 노즐을 필요로 한다. 웨이퍼 카세트가 위치하는 인터페이스는 동역학 결합 인터페이스일 수 있고, 이는 이들 결합부 상에 배치하는 동안에 웨이퍼 카세트의 특정 측면 방향 이동과 일정 각도에서의 웨이퍼 카세트 배치를 가능하게 한다. 퍼지 노즐은, 입자 없는 가스를 웨이퍼 카세트의 포트를 통해 웨이퍼 카세트 내로 삽입하는 데 사용될 수 있다. JP6519897B2는 퍼지 노즐 어셈블리를 개시한다.
본 발명의 내용은 선정된 개념을 단순화된 형태로 소개하기 위해 제공된다. 이들 개념은 하기의 본 발명의 예시적 구현예의 상세한 설명에 더 상세하게 기재되어 있다. 본 발명의 내용은 청구된 요지의 주된 특징 또는 필수적인 특징을 구분하려는 의도가 아니며 청구된 요지의 범주를 제한하기 위해 사용하려는 의도 또한 아니다.
퍼지 포트를 둘러싸는 웨이퍼 카세트 표면에 대한 퍼지 노즐의 배치는 입자 생성이 최소화될 수 있는 방식으로 행해져야 함을 인식하고 있다. 일반적으로, 그로밋(grommet)은 웨이퍼 카세트 상 및/또는 퍼지 노즐 어셈블리 상의 퍼지 포트 주위에 장착될 수 있고, 그 경우 퍼지 노즐 접촉 표면을 제공할 수 있다. 또한, 퍼지 노즐과 퍼지 포트 사이의 체결은 임의의 누출이 최소화될 수 있도록 해야 한다.
이를 위해, 청구범위 제1항에 따른 퍼지 노즐 어셈블리가 제공될 수 있다. 보다 구체적으로, 다음을 포함할 수 있는 퍼지 노즐 어셈블리가 제공될 수 있다:
- 유입구 개구 및 유출구 개구를 포함할 수 있는 퍼지 노즐 몸체로서, 상기 유출구 개구는 퍼지 노즐 접촉 표면 내로 개방될 수 있는, 퍼지 노즐 몸체;
- 상기 퍼지 노즐 어셈블리를 외부 프레임 부재에 연결하기 위한 장착 몸체;
- 상기 퍼지 노즐 몸체를 상기 장착 몸체와 이동 가능하게 체결할 수 있는 기계 결합 메커니즘을 포함하되, 상기 기계 결합 메커니즘은,
- 상기 장착 몸체에 대해 상기 퍼지 노즐 몸체의 기울임을 허용하고,
- 상기 장착 몸체에 대한 상기 퍼지 노즐 몸체의 실질적인 측방향 이동을 허용하도록 구성될 수 있되, 상기 측방향 이동은 상기 퍼지 노즐 접촉 표면에 실질적으로 평행할 수 있는 이동 구성 요소를 가질 수 있다.
본 개시는 또한 청구범위 제20항에 따른 반도체 처리 어셈블리를 제공할 수 있다. 보다 구체적으로, 적어도 하나의 웨이퍼 카세트 지지 위치 및 적어도 하나의 웨이퍼 카세트를 포함할 수 있는, 반도체 처리 어셈블리가 제공될 수 있다. 웨이퍼 카세트는, 퍼지 가스를 웨이퍼 카세트의 내부에 공급하기 위한 퍼지 포트를 포함할 수 있다. 반도체 처리 어셈블리는, 웨이퍼 카세트 지지 위치에 대해 위치할 수 있는 본 개시에 따른 퍼지 노즐 어셈블리를 포함할 수 있어서, 웨이퍼 카세트가 상기 웨이퍼 카세트 지지 위치 상에 위치하는 경우에, 상기 퍼지 노즐 접촉 표면은, 상기 퍼지 노즐 접촉 표면과 상기 웨이퍼 카세트 사이의 마찰 또는 슬라이딩 이동 없이, 상기 웨이퍼 카세트를 실질적으로 배치하는 동안에 상기 퍼지 포트 주위에서 상기 웨이퍼 카세트를 체결할 수 있도록 한다.
퍼지 노즐의 기계 결합 메커니즘이 장착 몸체에 대한 퍼지 노즐 몸체의 기울임 및 장착 몸체에 대한 퍼지 노즐 몸체의 실질적인 측방향 이동을 허용할 수 있다는 사실 때문에, 퍼지 노즐 접촉 표면과 웨이퍼 카세트 사이의 마찰 또는 슬라이딩 이동이 최소화될 수 있다. JP6519897B2의 퍼지 노즐 유닛은 또한, 퍼지 노즐 몸체와 장착 몸체, 및 퍼지 노즐 몸체를 장착 몸체와 이동 가능하게 결합하기 위한 기계 결합 메커니즘을 포함하며, 이는 장착 몸체에 대한 퍼지 노즐 몸체의 기울임을 허용하도록 구성될 수 있다. 그러나, JP'897의 기계 결합 메커니즘은 장착 몸체에 대한 퍼지 노즐 몸체의 실질적인 측방향 이동을 허용하지 않으며, 여기서 측방향 이동은 중심축에 실질적으로 수직일 수 있는 이동 구성 요소를 가질 수 있다.
본 개시에 따른 퍼지 노즐 어셈블리의 경우, 퍼지 노즐이, 카세트 지지 위치 상에 웨이퍼 카세트를 배치하는 동안 퍼지 포트 주위의 웨이퍼 카세트와 접촉하면, 퍼지 노즐 접촉 표면과 웨이퍼 카세트 사이의 마찰력은, 장착 몸체에 대해 퍼지 노즐 몸체를 이동시키는 데 필요한 힘보다 더 클 수 있다. 퍼지 노즐 접촉 표면과 웨이퍼 카세트 사이에는 그로밋이 위치할 수 있다. 그로밋은 퍼지 포트 주위의 웨이퍼 카세트 상에 장착될 수 있다. 대안적으로, 그로밋은 퍼지 노즐 접촉 표면 상에 장착될 수 있다. 기계 결합 메커니즘이 장착 몸체에 대한 퍼지 노즐 몸체의 실질적인 측방향 이동을 허용할 수 있다는 사실 때문에, 웨이퍼 카세트의 임의 측방향 이동은, 퍼지 노즐 접촉 표면과 웨이퍼 카세트 사이의 실질적인 임의의 슬라이딩 또는 마찰 없이 퍼지 노즐 몸체에 의해 수용될 수 있다. 따라서, 이러한 슬라이딩 및 마찰로 인한 임의의 가능한 입자 방출이 방지될 수 있다. 기계 결합 메커니즘이 기울임을 허용하므로, 퍼지 노즐 접촉 표면은 심지어 웨이퍼 카세트가 완전히 수평 레벨이 아니더라도 밀폐 방식으로 퍼지 포트 주위의 웨이퍼 카세트와 항상 체결할 수 있다. 따라서, 이러한 비수평 웨이퍼 카세트, 또는 퍼지 노즐 접촉 표면과 퍼지 포트를 둘러싸는 웨이퍼 카세트 표면 사이에 위치한 비수평 그로밋의 경우에도 누출이 방지될 수 있다.
선행 기술에 비해 달성되는 장점 및 본 발명을 요약하기 위해, 본 발명의 특정 목적 및 장점이 앞서 본원에 기술되었다. 물론, 모든 목적 및 장점들이 본 발명의 임의의 특별한 구현예에 따라 반드시 달성되는 것이 아니라는 것을 이해하여야 한다. 따라서, 예들 들어 당업자는, 본 발명이, 본원에 교시 또는 제안될 수 있는 다른 목적들 또는 장점들을 반드시 달성하지 않고서, 본원에 교시되거나 제시된 바와 같은 하나의 장점 또는 여러 장점들을 달성하거나 최적화하는 방식으로 구현되거나 수행될 수 있다는 것을 인식할 것이다.
다양한 구현예가 종속된 청구범위에 청구되고, 도면에 나타낸 예시를 참조하여 추가로 명확해질 것이다. 구현예는 서로 별도로 적용되거나 조합될 수 있다.
이들 구현예 모두는 본원에 개시된 본 발명의 범주 내에 있는 것으로 의도된다. 본 발명은 개시된 임의의 특정 구현예(들)에 한정되지 않으며, 이들 및 다른 구현예들은 첨부된 도면들을 참조하는 특정 구현예들의 다음의 상세한 설명으로부터 당업자에게 용이하게 분명할 것이다.
본 명세서는 본 발명의 구현예로 간주되는 것을 특별히 지적하고 명백하게 주장하는 청구범위로 결론을 내지만, 본 개시의 구현예들의 장점들은 첨부한 도면들과 관련하여 읽을 때 본 개시의 구현예들의 특정 예의 설명으로부터 더욱 쉽게 확인될 수 있고, 도면들 중:
도 1은 퍼지 노즐의 제1 실시예의 단면도를 나타낸다.
도 2는 도 1에 나타낸 예시의 단면 사시도를 나타낸다.
도 3은 도 1에 나타낸 예시의 사시도를 나타낸다.
도 4는 퍼지 노즐의 제2 실시예의 단면도를 나타낸다.
도 5는 퍼지 노즐의 제3 실시예의 상면도를 나타낸다.
도 6은 도 5의 VI-VI 선에 대한 단면도를 나타낸다.
도 7은 제3 실시예의 사시도를 나타낸다.
도 8의 a는, 수직 방향으로 하향 이동하는 웨이퍼 카세트의 초기 위치 및 퍼지 포트에서 퍼지 노즐의 개략적인 단면도를 나타낸다.
도 8의 b는 도 8의 a에서와 동일한 도면을 나타내고, 웨이퍼 카세트는 그의 말단 위치에서 수직 하향으로 위치한다.
도 9의 a는, 경사 방향으로 하향 이동하는 웨이퍼 카세트의 초기 위치 및 퍼지 포트에서 퍼지 노즐의 개략적인 단면도를 나타낸다.
도 9의 b는 도 9의 a에서와 동일한 도면을 나타내고, 웨이퍼 카세트는 그의 말단 위치에서 경사 방향을 따라 하향으로 위치한다.
도 10의 a는, 수직 방향으로 하향 이동하는 웨이퍼 카세트 및 수평 평면에 대해 경사진 위치에 있는 퍼지 포트를 갖는 웨이퍼 카세트의 초기 위치 및 퍼지 포트에서 퍼지 노즐의 개략적인 단면도를 나타낸다.
도 10의 b는 웨이퍼 카세트의 중간 위치를 나타내고, 여기서 퍼지 포트를 둘러싸는 그로밋이 우측에서 퍼지 노즐 몸체와 체결한다.
도 10의 c는 웨이퍼 카세트의 말단 위치를 나타내고, 여기서 전체 퍼지 노즐 접촉 표면이 퍼지 포트의 그로밋과 접촉하도록, 퍼지 노즐 몸체를 웨이퍼 카세트와 동일한 각도로 기울인다.
도 11은 도 10의 c에 나타낸 바와 유사한 말단 위치를 나타내고, 웨이퍼 카세트는 경사 방향을 따르나 수직으로 하향 이동되지 않았다.
도 12는 반도체 처리 어셈블리의 개략적인 단면도를 나타낸다.
본원에서, 유사한 또는 대응하는 특징부는 유사한 또는 대응하는 참조 부호에 의해 표시된다. 다양한 구현예의 설명은 도면에 나타낸 예시에 한정되지 않으며, 상세한 설명에 사용된 참조 번호에 한정되지 않으며, 청구범위는 구현예의 설명에 제한되도록 의도되지 않으나 구현예를 명확하게 하도록 포함된다.
특정 구현예 및 실시예가 아래에 개시되었지만, 당업자는 본 발명이 구체적으로 개시된 구현예 및/또는 본 발명의 용도 및 이들의 명백한 변형물 및 균등물을 넘어 확장된다는 것을 이해할 것이다. 따라서, 개시된 발명의 범주는 후술되는 구체적인 개시된 구현예에 의해 제한되지 않도록 의도된다. 본원에 제시된 예시는 임의의 특정한 재료, 구조, 또는 소자의 실제 뷰를 의도하려 하는 것은 아니며, 단지 본 발명의 구현예를 설명하기 위해 사용되는 이상화된 표현이다.
본원에서 사용되는 바와 같이, 용어 "웨이퍼"는, 사용될 수 있는, 또는 그 위에 소자, 회로, 또는 막이 형성될 수 있는, 임의의 하부 재료 또는 재료들을 지칭할 수 있다.
가장 일반적인 측면에서, 본 개시는, 유입구 개구(14) 및 유출구 개구(16)를 포함할 수 있는 퍼지 노즐 몸체(12)를 포함하는 퍼지 노즐 어셈블리(10)를 제공할 수 있으며, 여기서 유출구 개구(16)는 퍼지 노즐 접촉 표면(18) 내로 개방될 수 있다. 퍼지 노즐 접촉 표면은 퍼지 노즐 몸체(12)의 중심축(L)에 실질적으로 수직일 수 있다. 퍼지 노즐 어셈블리는, 퍼지 노즐 어셈블리(10)를 외부 프레임 부재에 연결하기 위한 장착 몸체(20)를 추가로 포함할 수 있다. 기계 결합 메커니즘은 퍼지 노즐 몸체(12)를 장착 몸체(20)와 이동 가능하게 결합시킬 수 있다. 본 개시의 퍼지 노즐의 예시는 도 1 내지 도 7에 나타나 있다. 기계 결합 메커니즘은, 장착 몸체(20)에 대한 퍼지 노즐 몸체(12)의 기울임을 허용하고 장착 몸체(20)에 대한 퍼지 노즐 몸체(12)의 실질적인 측방향 이동을 허용하도록 구성될 수 있다. 측방향 이동은 퍼지 노즐 접촉 표면에 실질적으로 평행할 수 있고/있거나 중심축(L)에 수직으로 정의될 수 있다.
본 개시에 따른 퍼지 노즐 어셈블리의 장점은 발명의 내용 섹션에서 설명되었으며, 본원에 참조로서 포함된다.
도 1 내지 도 7에 나타낸 예시의 퍼지 노즐 어셈블리(10)의 구현예에서, 기계 결합 메커니즘은 퍼지 노즐 몸체(12) 및 장착 몸체(20)에 연결될 수 있는 적어도 하나의 스프링(22)을 포함할 수 있다. 적어도 하나의 스프링(22)은 중심축(L)을 따르는 방향으로 그리고 퍼지 노즐 접촉 표면(18)으로부터 멀리 유도된 방향으로 장착 몸체(20)에 대해 퍼지 노즐 몸체(12)를 편향시키도록 구성될 수 있다. 본 구현예에서, 다수의 당김 요소(24)가 퍼지 노즐 몸체(12) 및 장착 몸체(20)와 연결될 수 있다. 당김 요소(24)는 적어도 하나의 스프링(22)에 의해 팽팽하게 당겨져 장착 몸체(20)에 대해 퍼지 노즐 몸체(12)의 정의된 초기 위치를 제공할 수 있다. 적어도 하나의 스프링(22)은 정의된 초기 위치에서 예비 인장될 수 있다. 이러한 예비 인장은, 퍼지 노즐 몸체(12)와 웨이퍼 카세트(104) 또는 그로밋(108) 사이의 적절한 밀폐를 얻기 위해, 퍼지 노즐 몸체(12)와 웨이퍼 카세트(104) 또는 그로밋(108) 사이에 충분한 큰 힘을 초래할 수 있다.
당김 요소(24)에 의해, 장착 몸체(20)에 대한 퍼지 노즐 몸체(12)의 실질적인 측방향 이동(M3)이 허용될 수 있다. 측방향 이동은 도 9의 a, 도 9의 b 및 도 11에서 화살표(M3)로 명확하게 표시된 바와 같이, 중심축(L)에 실질적으로 수직일 수 있는 이동 구성 요소를 갖는다. 특히, 웨이퍼 카세트(104)가 동역학 결합부(110) 상에 배치되는 경우에, 이의 예시는 도 12에 개략적으로 나타나 있고, 이러한 측방향 이동은 동역학 결합부(110) 상에 웨이퍼 카세트(104)를 배치하는 동안에 발생할 수 있다. 당김 요소(24)에 의해, 웨이퍼 카세트(104)의 이러한 측방향 및 하향 조합된 이동에 이어서, 퍼지 노즐 몸체(12)의 접촉 표면(18)과 웨이퍼 카세트(104) 또는 웨이퍼 카세트(104) 상에 장착될 수 있는 그로밋(108) 사이의 실질적인 마찰 또는 슬라이딩 이동이 퍼지 노즐 몸체(12)는 없을 수 있다. 따라서, 웨이퍼 카세트(104)의 배치 동안에 입자의 방출이 최소화될 수 있다.
일 구현예에서, 당김 요소(24)의 길이는, 당김 요소(24)가 여전히 팽팽하게 당겨져 그에 따라 연결부로서 작용한다면 퍼지 노즐 몸체(12)가 만들 수 있는 원형 이동은, 퍼지 노즐 몸체(12)가 만들 수 있는 측방향 이동이 동역학 결합부(110) 상에 배치되는 웨이퍼 카세트(102)의 허용된 측방향 이동을 위해 SEMI에 정의된 한계와 같거나 더 클 수 있도록, 충분히 큰 반경을 가질 수 있게 하도록 하는 것이 바람직할 수 있다. 따라서, 퍼지 노즐 몸체(12)는 SEMI에 정의된 바와 같이, 웨이퍼 카세트의 측방향 이동에 대한 한계 내에서 임의의 측방향 이동을 따를 수 있다. 통상적으로, 각각의 당김 요소의 길이는 적어도 10 mm일 수 있고, 수평면에 대한 당김 요소(24)의 각도는 25° 내지 60°의 범위에 있을 수 있다.
퍼지 노즐 어셈블리(10)의 구현예에서, 당김 요소(24) 각각은 당김 방향(D1, D2)을 따라 당김력을 인가할 수 있다. 이와 관련하여 도 8에 나타낸 실시예를 참조한다. 다수의 당김 요소(24)의 당김 방향(D1, D2)의 교차점(P)은 실질적으로 퍼지 노즐 접촉 표면(18)에 의해 정의된 평면에 있을 수 있다. 이러한 구성 때문에, 교차점(P)은 "폴(pole)"로서 작용하고, 웨이퍼 카세트(104) 또는 그 위에 장착된 그로밋(108)과의 접촉의 시작 및 말단에서 매우 작은 이동이 이루어지는 경우에 노즐이 폴을 중심으로 회전한다.
본 구현예의 추가의 상세 설명에서, 교차점(P)은 퍼지 노즐 몸체(12)의 중심축(L) 상에 있을 수 있다.
일 구현예에서, 유출구 개구(16)는 퍼지 노즐 몸체(12)의 중심축(L)과 동일선 상에 있는 유출구 축을 정의할 수 있다.
일 구현예에서, 적어도 하나의 스프링(22)은 적어도 하나의 푸시 스프링(22)을 포함할 수 있다. 적어도 하나의 스프링(22)이 푸시 스프링인 구현 예시가 도 1 내지 도 3에 나타나 있다.
일 구현예에서, 적어도 하나의 스프링(22)은 적어도 하나의 당김 스프링을 포함할 수 있다. 적어도 하나의 스프링이 당김 스프링인 구현예의 두 예시가 도 4 및 도 5 내지 도 7에 나타나 있다.
일 구현예에서, 각각의 당김 요소(24)는 케이블, 로프 또는 체인을 포함할 수 있다. 당김 요소(24)가 로프를 포함한 구현예의 일례가 도 5 내지 도 7에 나타나 있다.
일 구현예에서, 각각의 당김 요소(24)는 퍼지 노즐 몸체(12) 및 장착 몸체(20) 중 하나와 슬라이딩 가능하게 그리고 피봇 가능하게 연결될 수 있고, 퍼지 노즐 몸체(12) 및 장착 몸체(20) 중 다른 하나와 또한 적어도 피봇 가능하게 그리고 선택적으로 또한 슬라이딩 가능하게 연결될 수 있는, 단일 링크를 포함할 수 있다. 각각의 당김 요소(24)가 단일 링크(24)로서 구현되는 두 개의 예시가 도 1 내지 도 3 및 도 4에 나타나 있다. 퍼지 노즐 몸체(12) 및 장착 몸체(20) 중 하나와 슬라이딩 가능하게 그리고 피봇 가능하게 연결될 수 있는 단일 링크는, 복수의 링크를 갖는 체인으로서 유사한 거동을 갖는 것으로 간주될 수 있다.
퍼지 노즐 어셈블리(10)의 일 구현예에서, 적어도 하나의 당김 요소(24)는 세 개의 당김 요소(24)를 포함할 수 있다. 120도에 걸쳐 서로 이격될 수 있는 세 개의 당김 요소(24)는, 장착 몸체(20)에 대한 퍼지 노즐 몸체(12)의 안정적이고 잘 정의된 초기 위치를 제공한다. 또한, 이러한 회전 대칭 구성은, 모든 방향으로 기울임 및 측방향 움직임 동안에 유사한 움직임 거동을 제공할 수 있다.
퍼지 노즐 어셈블리(10)의 구현예에서, 적어도 하나의 스프링(22)은 단일 스프링일 수 있다. 이러한 구현예의 일례가 도 1 내지 도 3에 나타나 있다.
퍼지 노즐 어셈블리(10)의 구현예에서, 적어도 하나의 스프링(22)은 복수의 스프링, 예를 들어 세 개의 스프링일 수 있다. 이 구현예의 두 예시가 도 4 및 도 5 내지 도 7에 나타나 있다.
바람직하게는, 적어도 하나의 스프링(22)은, 적어도 하나의 스프링(22)이 퍼지 노즐 몸체를 수평 위치에서 편향시키도록 중심축으로부터 충분히 큰 거리로 퍼지 노즐 몸체(12)에 힘을 인가할 수 있다. 적어도 하나의 스프링(22)이 단일 스프링(22)일 수 있는 구현예의 경우에, 이는, 단일 스프링이 이러한 레벨링 효과를 생성하기에 충분한 큰 직경을 가질 수 있음을 유지할 수 있다. 적어도 10 mm의 직경이 바람직할 수 있다. 적어도 하나의 스프링(22)이 복수의 스프링(22), 예를 들어 세 개의 스프링일 수 있는 구현예의 경우에, 이들 스프링은 레벨링 효과를 생성하기에 충분한 큰 직경, 예를 들어 적어도 10 mm의 직경으로 퍼지 노즐 몸체(12)에 연결되어야 한다.
퍼지 노즐 어셈블리(10)의 구현예에서, 적어도 하나의 스프링(22)은 코일 스프링일 수 있다. 도면에 나타낸 모든 예시에서, 적어도 하나의 스프링(22)은 나선형 스프링으로도 알려진 코일 스프링으로서 구현된다.
퍼지 노즐 어셈블리(10)의 일 구현예에서, 퍼지 노즐 몸체(12)는, 퍼지 몸체 링(26)이 장착될 수 있는 퍼지 노즐 몸체(12)의 원주 방향 외부 표면에 원형 홈을 가질 수 있다. 적어도 하나의 당김 요소(24)는, 퍼지 노즐 몸체(12)와 적어도 하나의 당김 요소(24) 사이의 연결을 생성하기 위해, 퍼지 몸체 링(26)에 연결될 수 있다. 이러한 구현예의 일례가 도 1 내지 도 3 및 도 5 내지 도 7에 나타나 있다. 적어도 하나의 당김 요소(24)를 연결하기 위한 퍼지 몸체 링(26)의 장점은, 링의 두께가 매우 작을 수 있고, 예를 들어 1 mm 이하일 수 있다는 점일 수 있다. 따라서, 적어도 하나의 당김 요소(24)와 퍼지 몸체 링(24) 사이의 마찰은 매우 작을 수 있다. 결과적으로, 이들 매우 작은 마찰력은 미미하고, 퍼지 노즐 몸체(12)의 이동을 방해하지 않는다.
퍼지 노즐 어셈블리(10)의 일 구현예에서, 장착 몸체(20)는, 장착 몸체 링(28)이 안에 장착될 수 있는 장착 몸체(20)의 원주 방향 내부 표면에 원형 홈을 가질 수 있다. 적어도 하나의 당김 요소(24)는 장착 몸체 링(28)에 연결되어, 장착 링(20)과 적어도 하나의 당김 요소(24) 사이의 연결을 생성할 수 있다. 퍼지 몸체 링(26)에서와 같이, 장착 몸체 링(28)은 매우 작은 두께, 예를 들어 1 mm 이하를 가질 수 있다. 재차, 적어도 하나의 당김 요소(24)와 장착 몸체 링(28) 사이의 마찰은 매우 작고 중요하지 않을 수 있어서, 이들은 퍼지 노즐 몸체(12)의 이동을 방해하지 않는다.
또한, 당김 요소(24)를 퍼지 몸체 링(26)과 장착 몸체 링(28)에 장착하는 것은 용이하고, 구성은 비교적 비용 효과적이다.
도 5 내지 도 7에 예시가 나타난 퍼지 노즐 어셈블리(10)의 구현예에서, 퍼지 노즐 몸체(12)는, 제2 퍼지 몸체 링(30)이 안에 장착될 수 있는 퍼지 노즐 몸체(12)의 원주 방향 외부 표면에 제2 원형 홈을 가질 수 있다. 적어도 하나의 스프링(22)은 제2 퍼지 몸체 링(30)에 연결되어 퍼지 노즐 몸체(12)와 적어도 하나의 스프링(22) 사이의 연결을 생성할 수 있다.
도 5 내지 도 7에 예시가 나타난 퍼지 노즐 어셈블리(10)의 구현예에서, 장착 몸체(20)는, 제2 장착 몸체 링(32)이 안에 장착될 수 있는 장착 몸체(20)의 원주 방향 내부 표면에 제2 원형 홈을 가질 수 있다. 적어도 하나의 스프링(22)은, 제2 장착 몸체 링(32)에 연결되어 장착 몸체(20)와 적어도 하나의 스프링(22) 사이의 연결을 생성할 수 있다.
당김 요소(24)를 연결하기 위한 퍼지 몸체 링(26)과 장착 몸체 링(28)에서와 같이, 제2 퍼지 몸체 링(30)과 제2 장착 몸체 링(32)은 적어도 하나의 스프링(22)을 연결하기 위한 것이고, 한편으로 이들 링(30, 32)과 적어도 하나의 스프링(22) 사이의 마찰력이 최소화되고 따라서 중요하지 않아서, 이들이 퍼지 노즐 몸체(12)의 이동을 방해하지 않을 수 있다. 또한, 제2 링(30, 32)은, 퍼지 노즐 몸체(12)와 장착 몸체(20) 사이에 적어도 하나의 스프링(22)을 연결하기 위해, 용이하고 신뢰성 있고 비용 효과적인 해결책을 또한 제공한다.
퍼지 노즐 어셈블리(10)의 구현예에서, 퍼지 노즐 몸체(12)는 실질적으로 원통형일 수 있고, 장착 몸체(20)는 실질적으로 링 형상일 수 있고, 링 개구를 가질 수 있다. 링 개구의 직경은 퍼지 노즐 몸체(12)의 외경보다 클 수 있다. 도 1 내지 도 3, 도 4 및 도 5 내지 도 7에 나타낸 예시는 모두 이러한 구성을 갖는다. 이러한 구성으로 인해, 당김 요소(24)의 위치 및 길이는, 퍼지 노즐 몸체(12)의 움직임의 자유도가 SEMI에 의해 정의된 한계 내에서 허용된 웨이퍼 카세트(104)의 모든 움직임이 수용될 수 있도록, 설계될 수 있다.
퍼지 노즐 어셈블리(10)의 일 구현예에서, 이 예시는 도 1 내지 도 3에 나타나 있고, 푸시 스프링 지지 프레임(34)은 장착 몸체(20)와 연결될 수 있다. 푸시 스프링(24)은, 푸시 스프링 지지 프레임(34)과 퍼지 노즐 몸체(12) 사이에서 편향될 수 있다. 푸시 스프링 지지 프레임은 장착 몸체(20)에 연결되는 별도의 부분일 수 있거나, 장착 몸체(20)와 일체로 형성될 수 있다.
일 구현예에서, 퍼지 노즐 어셈블리는 순응 시스템이 포함되는 모놀리식 부분일 수 있다. 모놀리식 부분은 3D 인쇄에 의해 제조될 수 있다. 모놀리식 퍼지 노즐 어셈블리의 설계는 3D 인쇄가 가능하도록 구성될 수 있다. 3D 인쇄 유연성 퍼지 노즐의 이점은, 퍼지 노즐이 단순 설계일 수 있다는 점일 수 있다. 모놀리식 구조일 수 있기 때문에, 조립이 필요하지 않을 것이다. 퍼지 노즐 어셈블리가 단일 부품일 수 있다는 사실로 인해, 서비스가 용이하고 더욱 신뢰성이 높아질 수 있다. 3D 인쇄된 부분은 다중 부분 퍼지 노즐에 비해 비용을 감소시킬 수 있다.
3D 인쇄된 퍼지 노즐을 추가적으로 정교화하면, 다중 재료 3D 인쇄가 FOUP 및 고객 요건의 변화에 사용될 수 있다.
3D 인쇄 대신에, 순응 시스템이 포함된 모놀리식 부분은 또한, 사출 성형, 다이 캐스팅 또는 유사한 성형 기술에 의해 제조될 수 있다.
본 개시는 또한 반도체 처리 어셈블리(100)를 제공한다. 반도체 처리 어셈블리(100)의 모든 관련 부분의 예시가 도 12에 개략적으로 나타나 있다. 반도체 처리 어셈블리(100)는 적어도 하나의 웨이퍼 카세트 지지 위치(102) 및 적어도 하나의 웨이퍼 카세트(104)를 포함할 수 있다. 웨이퍼 카세트는, 퍼지 가스를 웨이퍼 카세트(104)의 내부에 공급하기 위한 퍼지 포트(106)를 포함할 수 있다. 선택적으로, 그로밋(108)은 웨이퍼 카세트(104) 상에 장착될 수 있고 퍼지 포트(106)를 둘러쌀 수 있다. 반도체 처리 어셈블리(100)는, 웨이퍼 카세트 지지 위치(102)에 대해 위치할 수 있는 본 개시에 따른 퍼지 노즐 어셈블리(10)를 포함할 수 있어서, 웨이퍼 카세트(106)가 웨이퍼 카세트 지지 위치(102) 상에 위치하는 경우에, 퍼지 노즐 접촉 표면(18)은, 퍼지 노즐 접촉 표면(18)과 웨이퍼 카세트(104) 사이의 마찰 또는 슬라이딩 이동 없이, 웨이퍼 카세트(104)를 실질적으로 배치하는 동안에 웨이퍼 카세트(104)를 체결할 수 있도록 한다. 웨이퍼 카세트(104) 상에 장착되는 대신에 또는 이에 추가하여, 그로밋(108)은 또한 퍼지 노즐 어셈블리(10) 상에 장착될 수 있다.
도 8의 a는, 화살표(M1)로 나타낸 수직 방향으로 하향 이동하는 웨이퍼 카세트의 초기 위치 및 퍼지 포트에서 퍼지 노즐의 개략적인 단면도를 나타낸다. 이 도면에 나타내지 않은 적어도 하나의 스프링(22)은, 퍼지 노즐 몸체(12) 상에 화살표 F로 나타낸 힘을 인가할 수 있다. 웨이퍼 카세트(104)를 배치하는 동안에, 퍼지 포트(106) 주위의 그로밋(108)은 퍼지 노즐 몸체(12) 상에 화살표로 나타낸 힘 Fw를 인가할 수 있다. 도 8의 b는, 웨이퍼 카세트(104)가 그의 말단 위치에서 수직 하향으로 위치하는 것을 나타낸다. 도 8의 b로부터 명백한 바와 같이, 당김 요소(24)는 더 이상 팽팽하게 당겨지지 않지만, 퍼지 노즐 몸체의 하향 이동으로 인해 느슨하다. 적어도 하나의 스프링(22)에 의해 가해진 힘 F는, 퍼지 노즐 몸체(12)와 그로밋(108) 사이에 양호한 밀폐부를 제공할 수 있다.
도 9의 a는, 화살표(M3)로 나타낸 경사 방향으로 하향 이동하는 웨이퍼 카세트의 초기 위치 및 퍼지 포트에서 퍼지 노즐의 개략적인 단면도를 나타낸다. 웨이퍼 카세트(104)의 하향 이동 동안에, 좌측 당김 요소(24)는 팽팽하게 유지되는 반면, 우측 당김 요소(24)는 도 9의 b에서 명확하게 볼 수 있듯이 느슨해진다. 팽팽한 당김 요소(24)는, 측방향 이동 구성 요소를 포함하는, 화살표(M3)를 따라 퍼지 노즐 몸체(12)의 이동을 허용한다. 따라서, 웨이퍼 카세트(104)가 경사 방향(M2)으로 하향 이동하는 경우일지라도 그로밋(108)을 따라 퍼지 노즐 몸체(12)의 임의의 마찰 또는 슬라이딩이 방지될 수 있다.
도 10의 a는, 수직 방향(M1)으로 하향 이동하는 웨이퍼 카세트 및 수평 평면에 대해 경사진 위치에 있는 퍼지 포트(106)를 갖는 웨이퍼 카세트(104)의 초기 위치 및 퍼지 포트에서 퍼지 노즐의 개략적인 단면도를 나타낸다. 당김 요소(24)가 먼저 모두 팽팽하고(도 10의 a) 후속하여 우측 당김 요소(24)가 느슨해지고(도 10b), 도 10의 c에 나타낸 말단 위치에서 두 당김 요소(24)가 모두 느슨해지는 방법을 주목한다. 또한, 도 10의 b에서, 그로밋(108)과 퍼지 노즐 몸체(12) 사이의 제1 접촉은 우측에 있고, 웨이퍼 카세트는 그 지점에서 퍼지 노즐 몸체 상에 힘 Fw를 인가하는 것을 주목한다. 퍼지 노즐 몸체(12)의 접촉 표면은, 그로밋(108)의 접촉 표면과 아직 평행하지 않다. 도 10의 c에 나타낸 다음 단계에서, 그로밋 접촉 표면 및 퍼지 노즐 접촉 표면(18)은 완전히 접촉되어, 누출 방지 체결이 얻어질 수 있다. 힘 Fs와 Fw는 서로 상쇄하고, 충분한 가스 밀폐 체결을 생성하기 위해, 퍼지 노즐 접촉 표면(18)과 그로밋 접촉 표면 사이에 충분한 압축력을 제공할 수 있다.
도 11은 도 10의 c에 나타낸 바와 유사한 말단 위치를 나타내고, 웨이퍼 카세트는 경사 방향(M2)을 따르나 수직으로 하향 이동되지 않았다. 이러한 상황에서, 좌측 당김 요소(24)는 여전히 팽팽한 반면에 우측 당김 요소는 느슨하다.
반도체 처리 어셈블리의 구현예에서, 웨이퍼 카세트(104)와 웨이퍼 카세트 지지 위치(102) 모두는 동역학 결합(110)에 의해 서로에 대해 위치할 수 있다. 이러한 동역학 결합부(110)의 경우에, 웨이퍼 카세트(104)의 말단 위치가 매우 정밀하게 정의된다. 또한, SEMI는, 이러한 동역학 결합부 상에 배치되는 경우에 웨이퍼 카세트가 측방향으로 이동할 수 있는 한계를 정의한다. 따라서, 퍼지 노즐(10)의 설계는, 퍼지 노즐 몸체(12)가 SEMI에 의해 정의된 한계 내에 있는 웨이퍼 카세트(104)의 모든 측방향 이동을 수용하기 위해, 자유롭게 이동할 수 있도록 이들 한계에 맞춰 조정될 수 있다.
반도체 처리 어셈블리의 구현예에서, 적어도 하나의 스프링(22)은, 웨이퍼 카세트(104)가 웨이퍼 카세트 지지 위치(102) 상에 배치되는 경우에, 퍼지 노즐 몸체(12)의 초기 위치에서보다 더 큰 편향력을 인가할 수 있다. 당김 요소(24) 중 적어도 하나는, 적어도 하나의 스프링(22)에 의해 더 이상 팽팽하게 당겨지지 않을 수 있다. 따라서, 증가된 폐쇄력은, 퍼지 노즐 몸체(12)와, 웨이퍼 카세트(104)의 퍼지 포트(106)를 둘러싸는 그로밋(108) 사이에 개선된 밀폐부를 제공한다.
반도체 처리 어셈블리의 구현예에서, 웨이퍼 카세트는 전방 개방 통합 포드(FOUP)로서 구현될 수 있다.
본 발명의 예시적인 구현예가 첨부된 도면들을 참조하여 부분적으로 전술되었지만, 본 발명은 이들 구현예들에 한정되지 않는다는 것을 이해해야 한다. 개시된 구현에 대한 변형은 도면, 개시물, 및 첨부된 청구범위에 대한 연구로부터 청구된 발명을 실시함에 있어서 당업자에 의해 이해되고 영향을 받을 수 있다.
본 명세서 전반에 걸쳐 "하나의 구현예" 또는 "일 구현예"에 대한 참조는, 본 구현예와 관련하여 설명된 특정 특징부, 구조 또는 특성이 본 발명의 적어도 하나의 구현예에 포함됨을 의미한다. 따라서, 본 기술 전반에 걸쳐 다양한 장소에서 "하나의 구현예에서" 또는 "일 구현예에서"의 문구 출현은 반드시 동일한 구현예를 지칭하지 않는다.
또한, 전술한 하나 이상의 다양한 구현예의 특정 특징부, 구조, 또는 특징은, 서로 독립적으로 수행되도록 사용될 수 있고, 새롭고 명시적으로 설명되지 않은 구현예를 형성하도록 임의의 적절한 방식으로 조합될 수 있음을 유의한다. 상세한 설명 및 청구범위에 사용된 참조 번호는 구현예의 설명을 제한하지 않으며 청구범위를 제한하지 않는다. 참조 번호는 명확히 하기 위해 단독 사용된다.

Claims (24)

  1. 퍼지 노즐 어셈블리(10)로서,
    - 유입구 개구(14) 및 유출구 개구(16)를 포함하는 퍼지 노즐 몸체(12)로서, 유출구 개구(16)는 퍼지 노즐 접촉 표면(18) 내로 개방되는, 퍼지 노즐 몸체(12);
    - 퍼지 노즐 어셈블리(10)를 외부 프레임 부재에 연결하기 위한 장착 몸체(20);
    - 퍼지 노즐 몸체(12)를 장착 몸체(20)와 이동 가능하게 결합하는 기계 결합 메커니즘을 포함하되,
    상기 기계 결합 메커니즘은,
    - 장착 몸체(20)에 대해 퍼지 노즐 몸체(12)의 기울임을 허용하고,
    - 장착 몸체(20)에 대한 퍼지 노즐 몸체(12)의 실질적인 측방향 이동을 허용하도록 구성되되, 상기 측방향 이동은 접촉 표면(18)에 실질적으로 평행한 이동 구성 요소를 갖는, 퍼지 노즐 어셈블리.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기계 결합 메커니즘은,
    - 퍼지 노즐 몸체(12) 및 장착 몸체(20)에 연결되고, 퍼지 노즐 접촉 표면(18)에 실질적으로 수직이고 퍼지 노즐 접촉 표면(18)에서 멀리 유도된 방향으로 장착 몸체(20)에 대해 퍼지 노즐 몸체(12)를 편향시키도록 구성된 적어도 하나의 스프링(22); 및
    - 퍼지 노즐 몸체(12) 및 장착 몸체(20)와 연결되는 다수의 당김 요소(24)를 포함하되,
    당김 요소(24)는 적어도 하나의 스프링(22)에 의해 팽팽하게 당겨져 장착 몸체(20)에 대해 퍼지 노즐 몸체(12)의 정의된 초기 위치를 제공하는, 퍼지 노즐 어셈블리.
  3. 제2항에 있어서, 당김 요소(24) 각각은 당김 방향을 따라 당김력을 인가하되, 다수의 당김 요소(24)의 당김 방향의 교차점(P)은 실질적으로 퍼지 노즐 접촉 표면(18)에 의해 정의된 평면에 있는, 퍼지 노즐 어셈블리.
  4. 제3항에 있어서, 교차점(P)은, 퍼지 노즐 접촉 표면(18)에 의해 정의된 평면에 실질적으로 수직인 퍼지 노즐 몸체(12)의 중심축(L) 상에 있는, 퍼지 노즐 어셈블리.
  5. 제3항에 있어서, 유출구 개구(16)는 퍼지 노즐 몸체(12)의 중심축(L)과 동일선 상에 있는 유출구 축을 정의하는, 퍼지 노즐 어셈블리.
  6. 제2항 및 선택적으로 제3항 또는 제4항에 있어서, 적어도 하나의 스프링(22)은 적어도 하나의 푸시 스프링을 포함하는, 퍼지 노즐 어셈블리
  7. 제2항 및 선택적으로 제3항 또는 제4항에 있어서, 적어도 하나의 스프링(22)은 적어도 하나의 당김 스프링을 포함하는, 퍼지 노즐 어셈블리.
  8. 제2항 및 선택적으로 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 각각의 당김 요소(24, 24)는 케이블, 로프, 체인을 포함하는, 퍼지 노즐 어셈블리.
  9. 제2항 및 선택적으로 제3항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 각각의 당김 요소(24)는 퍼지 노즐 몸체(12) 및 장착 몸체(20) 중 하나와 슬라이딩 가능하게 그리고 피봇 가능하게 연결되고, 퍼지 노즐 몸체(12) 및 장착 몸체(20) 중 다른 하나와 또한 적어도 피봇 가능하게 그리고 선택적으로 또한 슬라이딩 가능하게 연결되는, 단일 링크를 포함하는, 퍼지 노즐 어셈블리.
  10. 제2항 및 선택적으로 제3항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 다수의 당김 요소(24)는 세 개의 당김 요소(24)를 포함하는, 퍼지 노즐 어셈블리.
  11. 제2항 및 선택적으로 제3항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 하나의 스프링(22)은 단일 스프링인, 퍼지 노즐 어셈블리.
  12. 제2항 및 선택적으로 제3항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 하나의 스프링(22)은 복수의 스프링, 예를 들어 세 개의 스프링인, 퍼지 노즐 어셈블리.
  13. 제2항 및 선택적으로 제3항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 하나의 스프링(22)은 코일 스프링인, 퍼지 노즐 어셈블리.
  14. 제2항 및 선택적으로 제3항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 퍼지 노즐 몸체(12)는, 퍼지 몸체 링(26)이 안에 장착된 퍼지 노즐 몸체(12)의 원주 방향 외부 표면 내에 원형 홈을 갖되, 적어도 하나의 당김 요소(24)는, 퍼지 노즐 몸체 몸체(12)와 적어도 하나의 당김 요소(24) 사이의 연결을 생성하기 위해, 퍼지 몸체 링(26)에 연결되는, 퍼지 노즐 어셈블리.
  15. 제2항 및 선택적으로 제3항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 장착 몸체(20)는, 장착 몸체 링(28)이 안에 장착된 장착 몸체(20)의 원주 방향 내부 표면에 원형 홈을 갖되, 적어도 하나의 당김 요소(24)는, 장착 링(20)과 적어도 하나의 당김 요소(24) 사이의 연결을 생성하기 위해, 장착 몸체 링(28)에 연결되는, 퍼지 노즐 어셈블리.
  16. 제2항 및 선택적으로 제3항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 퍼지 노즐 몸체(12)는, 제2 퍼지 몸체 링(30)이 안에 장착된 퍼지 노즐 몸체(12)의 원주 방향 외부 표면 내에 제2 원형 홈을 갖되, 적어도 하나의 스프링(22)은, 퍼지 노즐 몸체 몸체(12)와 적어도 하나의 스프링(22) 사이의 연결을 생성하기 위해, 제2 퍼지 몸체 링(30)에 연결되는, 퍼지 노즐 어셈블리.
  17. 제2항 및 선택적으로 제3항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 장착 몸체(20)는, 제2 장착 몸체 링(32)이 안에 장착된 장착 몸체(20)의 원주 방향 내부 표면에 제2 원형 홈을 갖되, 적어도 하나의 스프링(22)은, 장착 몸체(20)와 적어도 하나의 스프링(22) 사이의 연결을 생성하기 위해, 제2 장착 몸체 링(32)에 연결되는, 퍼지 노즐 어셈블리.
  18. 제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 퍼지 노즐 몸체(12)는 실질적으로 원통형이고, 장착 몸체(20)는 링 개구를 갖는 실질적으로 링 형상이되, 상기 링 개구의 직경은 퍼지 노즐 몸체(12)의 외경보다 큰, 퍼지 노즐 어셈블리.
  19. 제5항 및 제17항, 및 선택적으로 제3항, 제4항, 제7항 내지 제14항 중 어느 한 항의 조합에 있어서, 지지 푸시 스프링 지지 프레임(34)은 장착 몸체(20)와 연결되되, 푸시 스프링(24)은 푸시 스프링 지지 프레임(34)과 퍼지 노즐 몸체(12) 사이에서 편향되는, 퍼지 노즐 어셈블리.
  20. 제2항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서, 각각의 당김 요소의 길이는 적어도 10 mm이고, 수평면에 대한 각각의 당김 요소(24)의 각도는 25° 내지 60°의 범위인, 퍼지 노즐 어셈블리.
  21. 적어도 하나의 웨이퍼 카세트 지지 위치(102) 및 적어도 하나의 웨이퍼 카세트(104)를 포함하는 반도체 처리 어셈블리(100)로서, 상기 웨이퍼 카세트는 웨이퍼 카세트(104)의 내부에 퍼지 가스를 공급하기 위한 퍼지 포트(106)를 포함하고, 반도체 처리 어셈블리(100)는, 제1항 내지 제19항 중 어느 한 항에 따라 웨이퍼 카세트 지지 위치(102)에 대해 위치하는 퍼지 노즐 어셈블리(10)를 포함하여, 웨이퍼 카세트(106)가 웨이퍼 카세트 지지 위치(102) 상에 배치되는 경우에, 퍼지 노즐 접촉 표면(18)은 퍼지 노즐 접촉 표면(18)과 웨이퍼 카세트(104) 사이에서 실질적으로 마찰 또는 슬라이딩 이동 없이 웨이퍼 카세트(104)의 배치 동안에 퍼지 포트 주위에서 웨이퍼 카세트(104)와 체결하는, 반도체 처리 어셈블리.
  22. 제20항에 있어서, 웨이퍼 카세트(104)와 웨이퍼 카세트 지지 위치(102) 모두는 동역학 결합부(110)에 의해 서로에 대해 위치하는, 반도체 처리 어셈블리.
  23. 제20항 또는 제21항에 있어서, 퍼지 노즐 어셈블리(10)는 제2항 및 선택적으로 제3항 내지 제19항 중 어느 한 항에 따라 구현되되, 웨이퍼 카세트(104)가 웨이퍼 카세트 지지 위치(102) 상에 배치되는 경우에, 적어도 하나의 스프링(22)은 퍼지 노즐 몸체(12)의 초기 위치에서보다 더 큰 편향력을 인가하고, 당김 요소(24) 중 적어도 하나는 적어도 하나의 스프링(22)에 의해 더 이상 팽팽하게 당겨지지 않는, 반도체 처리 어셈블리.
  24. 제20항 내지 제22항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 웨이퍼 카세트는 전방 개방 통합 포드(FOUP)로서 구현되는, 반도체 처리 어셈블리.
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