KR20210138444A - Fan filter unit wireless communication system - Google Patents

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Abstract

According to the present invention, a fan filter unit control system comprises: a fan filter unit controller installed in each of a fan filter unit or a fan filter unit for equipment to form a wireless mesh network topology with other fan filter unit controllers and communicating through a multi-hop method; a control server designating a transmission path of the fan filter unit controllers to transmit transmission path setting information to the fan filter unit controller; and a gateway relaying communication between the control server and the fan filter unit controller.

Description

팬 필터 유닛 무선 통신 시스템{FAN FILTER UNIT WIRELESS COMMUNICATION SYSTEM}FAN FILTER UNIT WIRELESS COMMUNICATION SYSTEM

클린룸에 설치되는 팬 필터 유닛(FFU) 또는 장비용 팬 필터 유닛(EFU)을 제어하는 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 무선 통신을 통해 FFU 또는 EFU를 제어하는 시스템에 관한 발명이 개시된다.The present invention relates to a system for controlling a fan filter unit (FFU) or a fan filter unit for equipment (EFU) installed in a clean room, and more particularly, to a system for controlling the FFU or EFU through wireless communication.

반도체 또는 LCD 등이 제조되는 클린룸(Clean Room)에는 내부의 공기를 조화하기 위한 다수의 FFU 또는 EFU들이 클린룸 천장 또는 생산 장비 주변 등에 설치된다. 이러한 FFU와 EFU를 제어하기 위해 연결된 시리얼 라인을 통해 FFU 또는 EFU의 상태정보를 획득한다.In a clean room where semiconductors or LCDs are manufactured, a plurality of FFUs or EFUs for air conditioning inside are installed on the ceiling of the clean room or around production equipment. To control these FFUs and EFUs, FFU or EFU status information is acquired through a connected serial line.

일반적으로 제어 시스템과 FFU 또는 EFU는 유선 시리얼 통신을 하므로 통신 케이블 및 트레이 등의 유선 설비가 필수적이다. 그러나, FFU 또는 EFU는 대형화된 환경에 설치되므로 물리적인 통신선 불량 등으로 인한 장애가 발생할 수 있으며, 장애 발생시 이를 찾아 복구하는 것이 어렵다.In general, since the control system and the FFU or EFU perform wired serial communication, wired facilities such as communication cables and trays are essential. However, since the FFU or EFU is installed in an enlarged environment, a failure may occur due to a physical communication line defect, etc., and it is difficult to find and restore it when a failure occurs.

대한민국 공개특허 제10-2019-0019481호는 무선 연결을 통해 제어 시스템과 FFU 또는 EFU가 통신할 수 있도록 무선제어 장치에 관한 기술을 개시하고 있다.Korean Patent Laid-Open No. 10-2019-0019481 discloses a technology related to a radio control device so that the control system and the FFU or EFU can communicate through a wireless connection.

그러나, 무선제어 장치가 유선 연결을 대체하고 있으며, 음영 지역이 발생할지 않도록 메쉬 토폴로지 연결을 사용하나, 무선 연결이 원활하지 않을 때 즉, 무선 경로 구간 사이에 장애가 발생하는 경우 무선제어 장치의 통신 경로 변경에 대한 고려를 하고 있지 않아, 대형화된 환경에 설치된 경우 통신 경로가 특정 중계기로 몰려 지연 또는 통신 장애가 발생할 수 있다.However, when the wireless control device replaces the wired connection and uses a mesh topology connection to prevent shadow areas from occurring, but when the wireless connection is not smooth, that is, when a failure occurs between the wireless path sections, the communication path of the wireless control device Changes are not taken into consideration, and when installed in a large-scale environment, the communication path is concentrated to a specific repeater, and delay or communication failure may occur.

대한민국 공개특허 제10-2019-0019481호(2019.02.27.)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2019-0019481 (2019.02.27.)

본 발명은 무선통신을 이용하여 FFU 또는 EFU를 제어하되, 무선 통신 경로 상에 장애가 발생하는 경우 무선 통신 경로를 효율적으로 재설정할 수 있는 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to control the FFU or EFU using wireless communication, but to provide a system that can efficiently reconfigure the wireless communication path when a failure occurs on the wireless communication path.

본 발명의 일 양상에 따르면, 무선 통신을 통해 클린룸에 설치되는 팬 필터 유닛(Fan Filter Unit, FFU) 또는 장비용 팬 필터 유닛(Equipment Fan Filter Unit, EFU)을 제어하는 시스템은 팬 필터 유닛 제어기와, 제어 서버와, 게이트웨이를 포함한다.According to an aspect of the present invention, a system for controlling a fan filter unit (FFU) or an equipment fan filter unit (EFU) installed in a clean room through wireless communication is a fan filter unit controller and a control server and a gateway.

팬 필터 유닛 제어기는 팬 필터 유닛 또는 장비용 팬 필터 유닛 각각에 설치되어, 다른 팬 필터 유닛 제어기들과 무선 메쉬 네트워크 토폴로지를 구성하고 멀티 홉(Multi-Hop) 방식으로 통신한다.The fan filter unit controller is installed in each fan filter unit or a fan filter unit for equipment, configures a wireless mesh network topology with other fan filter unit controllers, and communicates in a multi-hop manner.

제어 서버는 팬 필터 유닛 제어기들의 전송 경로를 지정하여 팬 필터 유닛 제어기에 전송 경로 설정 정보를 전송한다.The control server transmits the transmission path setting information to the fan filter unit controller by designating the transmission path of the fan filter unit controllers.

게이트웨이는 제어 서버와 팬 필터 유닛 제어기 사이의 통신을 중계한다.The gateway relays communication between the control server and the fan filter unit controller.

발명의 또 다른 양상에 따르면, 팬 필터 유닛 제어기는 인접한 게이트웨이 또는 다른 팬 필터 유닛 제어기들과 설정된 주기로 비콘 신호를 교환하여 획득한 통신 품질 정보를 제어 서버에 전송할 수 있다.According to another aspect of the present invention, the fan filter unit controller may transmit communication quality information obtained by exchanging a beacon signal with an adjacent gateway or other fan filter unit controllers at a set period to the control server.

제어 서버는 수신한 통신 품질 정보로부터 팬 필터 유닛 제어기의 통신 상태를 분석하여 전송 경로 재설정 여부를 판단하고, 전송 경로 재설정이 필요한 경우전송 경로 재설정 대상 팬 필터 유닛 제어기에 전송 경로 재설정 정보를 전송할 수 있다.The control server analyzes the communication state of the fan filter unit controller from the received communication quality information to determine whether to reset the transmission path, and if it is necessary to reset the transmission path, it can transmit the transmission path resetting information to the target fan filter unit controller for the transmission path reset. .

발명의 또 다른 양상에 따르면, 제어 서버는 게이트웨이와 해당 게이트웨이를 경유하여 제어 서버와 통신하도록 경로 설정되는 팬 필터 유닛 제어기들을 그룹핑하여 관리하고, 팬 필터 유닛 단위, 그룹 단위 또는 전체 팬 필터 유닛을 대상으로 팬 필터 유닛 제어를 수행할 수 있다.According to another aspect of the invention, the control server groups and manages the gateway and the fan filter unit controllers routed to communicate with the control server via the gateway, and targets the fan filter unit unit, the group unit, or the entire fan filter unit. to control the fan filter unit.

발명의 추가적 양상에 따르면, 팬 필터 유닛 제어 시스템은 제어 서버로부터 시스템 모니터링 정보를 수신하여 제공하는 웹 서버를 더 포함할 수 있다.According to a further aspect of the invention, the fan filter unit control system may further include a web server that receives and provides system monitoring information from the control server.

본 발명에 의하면 팬 필터 유닛을 무선으로 제어할 수 있으며, 무선 통신 경로 상에 장애가 발생하거나 통신 품질 저하가 발생하는 경우 무선 통신 경로를 효율적으로 재설정할 수 있는 팬 필터 유닛 제어 시스템을 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a fan filter unit control system that can control the fan filter unit wirelessly, and can efficiently reset the wireless communication path when a failure occurs in the wireless communication path or when communication quality deteriorates. .

도 1은 일 실시 예에 따르는 팬 필터 유닛 제어 시스템의 전송 경로 구성을 도시한 것이다.
도 2는 팬 필터 유닛 제어기가 메쉬 네트워크에서 인접한 노드와 주기적으로 비콘을 교환하여 통신 품질 정보를 측정하는 예를 도시한 것이다.
도 3은 팬 필터 유닛 제어기의 장애로 인한 전송 경로 변경의 예를 도시한 것이다.
도 4는 게이트웨이의 장애로 인한 전송 경로 변경의 예를 도시한 것이다.1 illustrates a configuration of a transmission path of a fan filter unit control system according to an exemplary embodiment.
FIG. 2 illustrates an example in which the fan filter unit controller measures communication quality information by periodically exchanging beacons with adjacent nodes in a mesh network.
3 shows an example of a transmission path change due to a failure of the fan filter unit controller.
4 illustrates an example of a transmission path change due to a failure of a gateway.

전술한, 그리고 추가적인 양상들은 첨부된 도면을 참조하여 설명하는 실시 예들을 통해 구체화된다. 각 실시 예들의 구성 요소들은 다른 언급이나 상호간에 모순이 없는 한 실시 예 내에서 다양한 조합이 가능한 것으로 이해된다. 블록도의 각 블록은 어느 경우에 있어서 물리적인 부품을 표현할 수 있으나 또 다른 경우에 있어서 하나의 물리적인 부품의 기능의 일부 혹은 복수의 물리적인 부품에 걸친 기능의 논리적인 표현일 수 있다. 때로는 블록 혹은 그 일부의 실체는 프로그램 명령어들의 집합(set)일 수 있다. 이러한 블록들은 전부 혹은 일부가 하드웨어, 소프트웨어 혹은 이들의 결합에 의해 구현될 수 있다.The foregoing and additional aspects are embodied through the embodiments described with reference to the accompanying drawings. It is understood that various combinations of elements in each embodiment are possible within the embodiments as long as there is no contradiction between them or other mentions. Each block in the block diagram may in some cases represent a physical component, but in other cases may be a part of the function of one physical component or a logical representation of a function across a plurality of physical components. Sometimes a block or part of an entity may be a set of program instructions. All or a part of these blocks may be implemented by hardware, software, or a combination thereof.

도 1은 일 실시 예에 따르는 팬 필터 유닛 제어 시스템의 전송 경로 구성을 도시한 것이다. 본 발명의 일 양상에 따르면, 무선 통신을 통해 클린룸에 설치되는 팬 필터 유닛(Fan Filter Unit, FFU, 101) 또는 장비용 팬 필터 유닛(Equipment Fan Filter Unit, EFU)을 제어하는 팬 필터 유닛 시스템(10)은 팬 필터 유닛 제어기(100)와, 제어 서버(140)와, 게이트웨이(120)를 포함한다.1 illustrates a configuration of a transmission path of a fan filter unit control system according to an embodiment. According to an aspect of the present invention, a fan filter unit system for controlling a fan filter unit (FFU, 101) or an equipment fan filter unit (EFU) installed in a clean room through wireless communication Reference numeral 10 includes a fan filter unit controller 100 , a control server 140 , and a gateway 120 .

팬 필터 유닛 제어기(100)는 클린룸 내부의 천장에 설치되는 팬 필터 유닛(101) 또는 장비 주변에 설치되는 장비용 팬 필터 유닛 각각에 설치되어, 팬 필터 유닛(101) 또는 장비용 팬 필터 유닛을 제어한다. 예를 들어, 팬 필터 유닛 제어기(100)는 시리얼 통신 방식으로 팬 필터 유닛(101) 또는 장비용 팬 필터 유닛과 연결되어 팬의 구동 제어, 타이머 제어 등을 수행할 수 있다. 팬 필터 유닛(101) 또는 장비용 팬 필터 유닛은 클린룸 내부에 복수개 배치되므로 각각의 팬 필터 유닛(101) 또는 장비용 팬 필터 유닛에 설치되는 팬 필터 유닛 제어기(100) 또한 복수개 배치된다. 팬 필터 유닛(101) 또는 장비용 팬 필터 유닛의 일부는 외부로부터 흡입된 공기를 정화하여 클린룸 내부로 유입시키고, 일부는 클린룸 내부의 공기를 외부를 배출시켜 클린룸 내부의 온도 및 습도를 유지시킨다.The fan filter unit controller 100 is installed in each of the fan filter unit 101 installed on the ceiling inside the clean room or the fan filter unit for equipment installed around the equipment, the fan filter unit 101 or the fan filter unit for equipment. to control For example, the fan filter unit controller 100 may be connected to the fan filter unit 101 or the fan filter unit for equipment through serial communication to perform fan driving control, timer control, and the like. Since a plurality of fan filter units 101 or fan filter units for equipment are disposed inside the clean room, a plurality of fan filter unit controllers 100 installed in each fan filter unit 101 or fan filter units for equipment are also provided. A part of the fan filter unit 101 or the fan filter unit for equipment purifies the air sucked in from the outside and introduces it into the clean room, and a part exhausts the air inside the clean room to the outside to reduce the temperature and humidity inside the clean room. keep it

팬 필터 유닛 제어기(100)는 무선 통신 장치를 포함한다. 사용되는 무선 통신 프로토콜은 블루투스, 지그비, 와이파이 등 제한이 없다. 팬 필터 유닛 제어기(100)는 다른 팬 필터 유닛 제어기(100)들과 무선 메쉬 네트워크 토폴로지를 구성하고 멀티 홉(Multi-Hop) 방식으로 통신한다. 즉, 대부분의 팬 필터 유닛 제어기(100)는 게이트웨이(120)와 직접 연결되어 있지 않고 다른 팬 필터 유닛 제어기(100)들을 통해 게이트웨이(120)와 연결되어 있다. 도 1에 도시된 예에서 게이트웨이(120)와 연결된 4대의 팬 필터 유닛 제어기(100)를 제외하면 나머지 팬 필터 유닛 제어기(100)는 모두 다른 팬 필터 유닛 제어기(100)를 통해 게이트웨이(120)와 연결된다. 팬 필터 유닛 제어기(100)는 다른 팬 필터 유닛 제어기(100)들과 무선 메쉬 네트워크 토폴로지를 구성하므로 하나의 팬 필터 유닛 제어기(100)는 복수의 팬 필터 유닛 제어기(100) 또는 게이트웨이(120)와 연결될 수 있다. 하지만, 도 1의 예처럼 전송 경로를 통해서만 제어 서버(140) 등과 통신하며, 전송 경로는 제어 서버(140)로부터 전송 경로 정보를 수신하여 설정한다. 팬 필터 유닛 제어기(100)는 제어 서버(140)가 전송 경로를 설정할 수 있도록 인접한 노드(팬 필터 유닛 또는 게이트웨이)와 비콘 신호를 교환하고 신호의 강도를 전달한다. 이때는 일반적인 메쉬 네트워크에서의 라우팅을 이용한다. 제어 서버(140)로부터 전송 경로 정보를 수신하면 그때부터 해당 경로로 트래픽을 전송한다.The fan filter unit controller 100 includes a wireless communication device. There are no restrictions on the wireless communication protocol used, such as Bluetooth, Zigbee, or Wi-Fi. The fan filter unit controller 100 configures a wireless mesh network topology with other fan filter unit controllers 100 and communicates with each other in a multi-hop manner. That is, most of the fan filter unit controllers 100 are not directly connected to the gateway 120 , but are connected to the gateway 120 through other fan filter unit controllers 100 . In the example shown in FIG. 1 , except for the four fan filter unit controllers 100 connected to the gateway 120 , the remaining fan filter unit controllers 100 are all connected to the gateway 120 through other fan filter unit controllers 100 . Connected. Since the fan filter unit controller 100 constitutes a wireless mesh network topology with other fan filter unit controllers 100 , one fan filter unit controller 100 is connected to a plurality of fan filter unit controllers 100 or gateways 120 . can be connected However, as in the example of FIG. 1 , communication is performed with the control server 140 and the like only through the transmission path, and the transmission path is set by receiving transmission path information from the control server 140 . The fan filter unit controller 100 exchanges a beacon signal with an adjacent node (fan filter unit or gateway) and transmits the signal strength so that the control server 140 can establish a transmission path. In this case, routing in a general mesh network is used. When transmission path information is received from the control server 140 , traffic is transmitted through the corresponding path thereafter.

제어 서버(140)는 팬 필터 유닛 제어기(100)들로부터 인접한 노드와의 신호의 강도 정보를 수신하여 팬 필터 유닛 제어기(100)들의 전송 경로를 결정한다. 제어 서버(140)는 결정된 전송 경로를 지정하기 위해 팬 필터 유닛 제어기(100) 및 게이트웨이(120)에 전송 경로 설정 정보를 전송한다. 제어 서버(140)가 전송한 전송 경로 설정 정보를 수신한 팬 필터 유닛 제어기(100) 및 게이트웨이(120)는 전송 경로를 설정하고 그때부터 해당 전송 경로로 트래픽을 송수신한다.The control server 140 receives signal strength information with respect to an adjacent node from the fan filter unit controllers 100 and determines a transmission path of the fan filter unit controllers 100 . The control server 140 transmits transmission path setting information to the fan filter unit controller 100 and the gateway 120 to designate the determined transmission path. The fan filter unit controller 100 and the gateway 120 that have received the transmission path setting information transmitted by the control server 140 set a transmission path, and then transmit/receive traffic through the corresponding transmission path.

게이트웨이(120)는 제어 서버(140)와 팬 필터 유닛 제어기(100) 사이의 통신을 중계한다. 게이트웨이(120)는 제어 서버(140)와 유선으로 연결될 수 있다. 게이트웨이(120)와 팬 필터 유닛 제어기(100)는 메쉬 네트워크를 구성하므로 무선으로 연결된다. 게이트웨이(120)는 무선 통신 구간과 유선 통신 구간 사이의 통신을 인터페이스한다.The gateway 120 relays communication between the control server 140 and the fan filter unit controller 100 . The gateway 120 may be connected to the control server 140 by wire. Since the gateway 120 and the fan filter unit controller 100 constitute a mesh network, they are connected wirelessly. The gateway 120 interfaces communication between the wireless communication section and the wired communication section.

도 2는 팬 필터 유닛 제어기가 메쉬 네트워크에서 인접한 노드와 주기적으로 비콘을 교환하여 통신 품질 정보를 측정하는 예를 도시한 것이다. 발명의 또 다른 양상에 따르면, 팬 필터 유닛 제어기는 인접한 게이트웨이 또는 다른 팬 필터 유닛 제어기들과 설정된 주기로 비콘 신호를 교환하여 획득한 통신 품질 정보를 제어 서버(140)에 전송할 수 있다. 통신 품질 정보는 무선 신호의 세기, 에러율 등을 포함할 수 있다.FIG. 2 illustrates an example in which a fan filter unit controller measures communication quality information by periodically exchanging beacons with adjacent nodes in a mesh network. According to another aspect of the present invention, the fan filter unit controller may transmit communication quality information obtained by exchanging a beacon signal with an adjacent gateway or other fan filter unit controllers at a set period to the control server 140 . The communication quality information may include a strength of a radio signal, an error rate, and the like.

도 2에 도시된 예에서, 팬 필터 유닛(U6)에 설치된 팬 필터 유닛 제어기가 인접한 노드 즉, 다른 팬 필터 유닛(U1, U2, U5, U7, U9, U10, U11)에 설치된 팬 필터 유닛 제어기와 미리 설정된 주기로 비콘 신호를 교환하며 통신 품질을 측정한다. 측정된 통신 품질 정보는 전송 경로를 통해 제어 서버(140)로 전송된다. 도 1의 예처럼 U6 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기는 설정된 전송 경로 상의 U5 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기로 트래픽을 전송하나 U5 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기와의 통신 연결에 장애가 발생할 경우를 대비하여 제어 서버(140)가 새로운 전송 경로를 재설정할 수 있게 한다. 도 2에 도시된 또 다른 예로 팬 필터 유닛(U3)에 설치된 팬 필터 유닛 제어기가 인접한 게이트웨이(G2, G3)와 다른 팬 필터 유닛(U2, U4, U7, U8)에 설치된 팬 필터 유닛 제어기와 미리 설정된 주기로 비콘 신호를 교환하며 통신 품질을 측정한다. 측정된 통신 품질 정보는 전송 경로를 통해 제어 서버(140)로 전송된다. 팬 필터 유닛 제어기는 다른 팬 필터 유닛 제어기 외에 게이트웨이와도 통신 품질 측정을 위한 비콘 신호를 교환할 수 있다.In the example shown in Fig. 2, the fan filter unit controller installed in the fan filter unit U6 is an adjacent node, that is, the fan filter unit controller installed in the other fan filter units U1, U2, U5, U7, U9, U10, U11. It measures the communication quality by exchanging beacon signals with a preset period. The measured communication quality information is transmitted to the control server 140 through a transmission path. As in the example of Fig. 1, the fan filter unit controller installed in the U6 fan filter unit transmits traffic to the fan filter unit controller installed in the U5 fan filter unit on the set transmission path, but the communication connection with the fan filter unit controller installed in the U5 fan filter unit is limited. In case a failure occurs, the control server 140 may re-establish a new transmission path. As another example shown in FIG. 2 , the fan filter unit controller installed in the fan filter unit U3 and the fan filter unit controller installed in the adjacent gateways G2 and G3 and other fan filter units U2, U4, U7, U8 and The beacon signal is exchanged at a set period and the communication quality is measured. The measured communication quality information is transmitted to the control server 140 through a transmission path. The fan filter unit controller may exchange beacon signals for communication quality measurement with a gateway in addition to other fan filter unit controllers.

도 3은 팬 필터 유닛 제어기의 장애로 인한 전송 경로 변경의 예를 도시하고, 도 4는 게이트웨이의 장애로 인한 전송 경로 변경의 예를 도시하고 있다. 발명의 또 다른 양상에 따르면, 제어 서버(140)는 수신한 통신 품질 정보로부터 팬 필터 유닛 제어기의 통신 상태를 분석하여 전송 경로 재설정 여부를 판단하고, 전송 경로 재설정이 필요한 경우 전송 경로 재설정 대상 팬 필터 유닛 제어기에 전송 경로 재설정 정보를 전송할 수 있다.3 shows an example of a transmission path change due to a failure of the fan filter unit controller, and FIG. 4 shows an example of a transmission path change due to a failure of a gateway. According to another aspect of the invention, the control server 140 analyzes the communication state of the fan filter unit controller from the received communication quality information to determine whether to reset the transmission path, and if the transmission path needs to be reset, the transmission path reset target fan filter Transmission re-route information may be transmitted to the unit controller.

제어 서버(140)는 특정 팬 필터 유닛 제어기와의 통신 품질이 나쁘다고 통보한 팬 필터 유닛 제어기가 있는 경우 해당 팬 필터 유닛 제어기를 전송 경로에서 제외할 지 여부를 결정할 수 있다. 제어 서버(140)가 해당 팬 필터 유닛 제어기를 전송 경로에서 제외하는 경우에는 팬 필터 유닛 제어기들이 전송한 통신 품질 정보와 전송 경로 변경 시 예측되는 트래픽 양에 기초하여 새로운 전송 경로를 결정한다. 제어 서버(140)는 새로운 전송 경로가 결정되면 전송 경로를 재설정해야 하는 팬 필터 유닛 제어기 및 게이트웨이를 결정하고, 해당 팬 필터 유닛 및 게이트웨이에 새로운 전송 경로를 전달하여 해당 팬 필터 유닛 및 게이트웨이가 전송 경로를 재설정할 수 있도록 한다.The control server 140 may determine whether to exclude the corresponding fan filter unit controller from the transmission path when there is a fan filter unit controller that has notified that the communication quality with the specific fan filter unit controller is bad. When the control server 140 excludes the corresponding fan filter unit controller from the transmission path, it determines a new transmission path based on the communication quality information transmitted by the fan filter unit controllers and the amount of traffic expected when the transmission path is changed. When the new transmission path is determined, the control server 140 determines the fan filter unit controller and gateway to which the transmission path needs to be reset, and delivers the new transmission path to the fan filter unit and gateway so that the fan filter unit and the gateway are the transmission path. to be resettable.

도 3에 도시된 예처럼, U6 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기에 통신 장애가 발생하면 기존 전송 경로인 U5 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기와 U6 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기 사이의 전송 경로와 U10 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기와 U6 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기 사이의 전송 경로가 끊어지게 된다. U6 팬 필터 유닛에 인접한 다른 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기들이 측정한 통신 품질 정보(U6 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기와 측정한 품질 정보)가 나쁘므로 제어 서버(140)는 전송 경로에서 U6 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기를 제외하고 새로운 전송 경로인 U5 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기와 U10 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기 사이에 전송 경로를 설정하도록 제어한다. 이 예에서는 전송 경로의 변화로 기존 전송 경로 상에 트래픽이 추가되지 않는다.3, when a communication failure occurs in the fan filter unit controller installed in the U6 fan filter unit, the existing transmission path is between the fan filter unit controller installed in the U5 fan filter unit and the fan filter unit controller installed in the U6 fan filter unit. The transmission path and the transmission path between the fan filter unit controller installed in the U10 fan filter unit and the fan filter unit controller installed in the U6 fan filter unit are cut off. Since the communication quality information (quality information measured with the fan filter unit controller installed in the U6 fan filter unit) measured by the fan filter unit controllers installed in other fan filter units adjacent to the U6 fan filter unit is poor, the control server 140 sends the transmission path control to establish a transmission path between the fan filter unit controller installed in the U5 fan filter unit and the fan filter unit controller installed in the U10 fan filter unit and the fan filter unit controller installed in the U5 fan filter unit, which is a new transmission path except for the fan filter unit controller installed in the U6 fan filter unit. In this example, no traffic is added on the existing transmission path due to the change of the transmission path.

도 4에 도시된 또 다른 예처럼, 게이트웨이(G2)에 통신 장애가 발생하면 재설정되는 전송 경로로 인해 기존 전송 경로에 트래픽이 추가되므로 제어 서버(140)는 추가되는 트래픽이 한쪽 경로로 몰리지 않도록 전송 경로를 재설정한다. U2 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기는 U1 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기와 전송 경로가 재설정되고, U3 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기는 G3 게이트웨이와 전송 경로가 재설정된다. 도 4에 도시된 것과 달리, 트래픽 분배를 위해 U12 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기의 전송 경로가 U13 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기에 설정되도록 제어될 수도 있다.As another example shown in FIG. 4 , when a communication failure occurs in the gateway G2, traffic is added to the existing transmission path due to the reset transmission path, so the control server 140 controls the transmission path so that the added traffic does not flow to one path. reset the The fan filter unit controller installed in the U2 fan filter unit has a transmission path reset with the fan filter unit controller installed in the U1 fan filter unit, and the fan filter unit controller installed in the U3 fan filter unit has a transmission path reset with the G3 gateway. 4, the transmission path of the fan filter unit controller installed in the U12 fan filter unit for traffic distribution may be controlled to be set in the fan filter unit controller installed in the U13 fan filter unit.

발명의 또 다른 양상에 따르면, 제어 서버(140)는 게이트웨이와 해당 게이트웨이를 경유하여 제어 서버(140)와 통신하도록 경로 설정되는 팬 필터 유닛 제어기들을 그룹핑하여 관리하고, 팬 필터 유닛 단위, 그룹 단위 또는 전체 팬 필터 유닛을 대상으로 팬 필터 유닛 제어를 수행할 수 있다.According to another aspect of the invention, the control server 140 groups and manages the gateway and the fan filter unit controllers routed to communicate with the control server 140 via the gateway, the fan filter unit unit, the group unit, or The fan filter unit control may be performed on the entire fan filter unit.

도 2를 참조하면, G1 게이트웨이와, U1, U5, U6, U9, U10의 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기들이 제1 그룹을 형성하고, G2 게이트웨이와 U2, U3, U7, U11, U12의 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기들이 제2 그룹을 형성하고, G3 게이트웨이와 U4, U8, U13, U14의 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기들이 제3 그룹을 형성할 수 있다.Referring to FIG. 2 , the G1 gateway and the fan filter unit controllers installed in the fan filter units of U1, U5, U6, U9, and U10 form a first group, and the G2 gateway and the U2, U3, U7, U11, and U12 The fan filter unit controllers installed in the fan filter unit may form a second group, and the fan filter unit controllers installed in the G3 gateway and the fan filter units of U4, U8, U13, and U14 may form a third group.

발명의 양상에 따라서는 각 그룹별로 게이트웨이와 직접 연결되는 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기는 그룹 내의 다른 팬 필터 유닛 제어기를 제어하는 MCUL(Multi Control Unit with LCD) 제어기일 수 있다. 도 2를 참조하면 U1, U2(단, 도 2의 도시와 달리 U3 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기가 G2 게이트웨이가 아닌 U2 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기에 전송 경로가 설정되어 있다고 가정한다.), U4 팬 필터 유닛에 설치된 팬 필터 유닛 제어기가 MCUL 제어기일 수 있다.According to an aspect of the invention, the fan filter unit controller installed in the fan filter unit directly connected to the gateway for each group may be an MCUL (Multi Control Unit with LCD) controller that controls other fan filter unit controllers in the group. Referring to FIG. 2, it is assumed that U1 and U2 (however, unlike the figure in FIG. 2, the fan filter unit controller installed in the U3 fan filter unit has a transmission path set in the fan filter unit controller installed in the U2 fan filter unit, not the G2 gateway. ), the fan filter unit controller installed in the U4 fan filter unit may be an MCUL controller.

발명의 추가적 양상에 따르면, 팬 필터 유닛 제어 시스템(10)은 제어 서버(140)로부터 시스템 모니터링 정보를 수신하여 제공하는 웹 서버(160)를 더 포함할 수 있다. 웹 서버(160)는 접속하는 사용자 단말의 요청에 따라 시스템 모니터링 정보를 제공할 수 있다.According to a further aspect of the present invention, the fan filter unit control system 10 may further include a web server 160 that receives and provides system monitoring information from the control server 140 . The web server 160 may provide system monitoring information according to a request of a user terminal to be accessed.

이상에서 본 발명을 첨부된 도면을 참조하는 실시 예들을 통해 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며, 이들로부터 당업자라면 자명하게 도출할 수 있는 다양한 변형 예들을 포괄하도록 해석되어야 한다. 특허청구범위는 이러한 변형 예들을 포괄하도록 의도되었다.Although the present invention has been described above with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited thereto, and it should be construed to encompass various modifications that can be apparent from those skilled in the art. The claims are intended to cover such variations.

10: 팬 필터 유닛 제어 시스템
100: 팬 필터 유닛 제어기
101: 팬 필터 유닛
120: 게이트웨이
140: 제어 서버
160: 웹 서버10: fan filter unit control system
100: fan filter unit controller
101: fan filter unit
120: gateway
140: control server
160: web server

Claims (5)

무선 통신을 통해 클린룸에 설치되는 팬 필터 유닛(Fan Filter Unit, FFU) 또는 장비용 팬 필터 유닛(Equipment Fan Filter Unit, EFU)을 제어하는 시스템에 있어서,
팬 필터 유닛 또는 장비용 팬 필터 유닛 각각에 설치되는 팬 필터 유닛 제어기로서, 다른 팬 필터 유닛 제어기들과 무선 메쉬 네트워크 토폴로지를 구성하고 멀티 홉(Multi-Hop) 방식으로 통신하는 팬 필터 유닛 제어기;
팬 필터 유닛 제어기들의 전송 경로를 지정하여 팬 필터 유닛 제어기에 전송 경로 설정 정보를 전송하는 제어 서버; 및
제어 서버와 팬 필터 유닛 제어기 사이의 통신을 중계하는 게이트웨이;
를 포함하는 팬 필터 유닛 제어 시스템.
In a system for controlling a fan filter unit (FFU) or an equipment fan filter unit (EFU) installed in a clean room through wireless communication,
A fan filter unit controller installed in each fan filter unit or fan filter unit for equipment, comprising: a fan filter unit controller that configures a wireless mesh network topology with other fan filter unit controllers and communicates in a multi-hop manner;
a control server that transmits transmission path setting information to the fan filter unit controller by designating transmission paths of the fan filter unit controllers; and
a gateway relaying communication between the control server and the fan filter unit controller;
A fan filter unit control system comprising a.
 제 1 항에 있어서,
팬 필터 유닛 제어기는 인접한 게이트웨이 또는 팬 필터 유닛 제어기들과 설정된 주기로 비콘 신호를 교환하여 획득한 통신 품질 정보를 제어 서버에 전송하는 팬 필터 유닛 제어 시스템
The method of claim 1,
The fan filter unit controller is a fan filter unit control system that transmits communication quality information obtained by exchanging a beacon signal with an adjacent gateway or fan filter unit controllers at a set period to the control server.
 제 2 항에 있어서,
제어 서버는 수신한 통신 품질 정보로부터 팬 필터 유닛 제어기의 통신 상태를 분석하여 접속 경로 재설정 여부를 판단하고, 접속 경로 재설정이 필요한 경우접속 경로 재설정 대상 팬 필터 유닛 제어기에 접속 경로 재설정 정보를 전송하는 팬 필터 유닛 제어 시스템.
3. The method of claim 2,
The control server analyzes the communication status of the fan filter unit controller from the received communication quality information to determine whether to reset the access path, and when it is necessary to reset the access path, the fan that transmits the access path reset information to the fan filter unit controller to reset the access path filter unit control system.
 제 3 항에 있어서,
제어 서버는 게이트웨이와 해당 게이트웨이를 경유하여 제어 서버와 통신하도록 경로 설정되는 팬 필터 유닛 제어기들을 그룹핑하여 관리하고,
제어 서버는 팬 필터 유닛 단위, 그룹 단위 또는 전체 팬 필터 유닛을 대상으로 팬 필터 유닛 제어를 수행하는 팬 필터 유닛 제어 시스템.
4. The method of claim 3,
The control server groups and manages the gateway and the fan filter unit controllers routed to communicate with the control server via the gateway,
The control server is a fan filter unit control system that performs fan filter unit control for a fan filter unit unit, a group unit, or the entire fan filter unit.
 제 1 항에 있어서,
제어 서버로부터 시스템 모니터링 정보를 수신하여 제공하는 웹 서버;
를 더 포함하는 팬 필터 유닛 제어 시스템.
The method of claim 1,
a web server that receives and provides system monitoring information from the control server;
The fan filter unit control system further comprising a.
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