KR20210137709A - Pressure feedback servo-valve - Google Patents

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KR20210137709A
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이웅용
유선겸
남석호
류성무
문정환
류인석
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포항공과대학교 산학협력단
(주)케이엔알시스템
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Abstract

The present invention relates to a pressure feedback servo-valve comprising: a torque motor configured to operate a flapper that selectively opens and closes a pressure nozzle according to an external signal; a body unit having one side connected to the torque motor, and including a sleeve communicating with an A port, a B port, a tank port, and a pressure port; a spool capable of being reciprocating in a predetermined section within the sleeve, and for determining the flow path of a fluid according to a position; and a pair of pressure feedback channels capable of transmitting pressure from the A port and the B port to both ends of the spool. The pressure feedback servo-valve allows the pressure feedback channels connected to a rod side to transmit feedback force to the spool, thereby directly controlling force and torque by using only an electrical signal without a separate sensor. In addition, the pressure feedback servo-valve can be backdrivable and enables safe control interacting with an external environment. Moreover, the pressure feedback servo-valve can alleviate the frictional force of the spool and the interference caused by concentricity to ease the hysteresis problem of the existing servo-valve, thereby performing more accurate control.

Description

압력 피드백 서보 밸브{PRESSURE FEEDBACK SERVO-VALVE}PRESSURE FEEDBACK SERVO-VALVE

본 발명은 압력 피드백 서보 밸브에 관한 것이며, 보다 상세하게는 외부와 연결된 부하에서 생성된 압력의 변화에 대한 피드백으로 힘/토크 제어가 가능한 서보 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a pressure feedback servo valve, and more particularly, to a servo valve capable of force/torque control by feedback on a change in pressure generated from a load connected to the outside.

서보 밸브(servo valve)란 밸브에 가해지는 전기 신호에 따라 연속적으로 밸브의 스풀(spool)을 움직여서 유량이나 압력을 제어할 수 있는 밸브를 뜻한다. 이러한 서보 밸브는 각종 유압 시스템에 활용되며, 강한 힘을 필요로 하는 항공기, 자동차, 선박, 로봇 등 다양한 분야에서 적용되고 있다.A servo valve refers to a valve that can control flow or pressure by continuously moving a spool of a valve according to an electrical signal applied to the valve. These servo valves are used in various hydraulic systems, and are applied in various fields such as aircraft, automobiles, ships, and robots that require strong force.

종래의 서보 밸브와 관련하여 대한민국 등록특허 제1110280 호가 개시되어 있다. 그러나 이러한 종래의 서보 밸브는 유압을 이용한 제어 시스템은 속도와 위치 제어에 용이하지만 힘과 토크 제어에는 불리하고 외부에서 구동부에 가해지는 외력에 대한 능동적인 대처가 불가능한 특성을 갖고 있다. 따라서 로봇과 같이 외부 환경과 상호작용해야 하는 장비에 구비되는 유압 시스템은 힘/토크 센서와 같은 추가적인 장비가 필요로 하며, 이에 따라 부피 및 조립 복잡도 면에서 불리하여 로봇 시스템에 바로 적용하기 어려운 문제점이 있었다.Korean Patent Registration No. 1110280 is disclosed in relation to a conventional servo valve. However, the conventional servo valve has a characteristic that the hydraulic control system is easy to control speed and position, but is disadvantageous in controlling force and torque, and cannot actively cope with external force applied to the driving unit from the outside. Therefore, the hydraulic system provided in equipment that needs to interact with the external environment, such as a robot, requires additional equipment such as a force/torque sensor. there was.

또한 서보 밸브는 스풀과 밸브 바디 간의 마찰에 의해 스풀의 위치를 입력 신호에 의해 정밀하게 제어할 수 없는 ‘히스테리시스’ 문제가 발생하여 정확한 힘/토크의 제어에 어려운 문제점이 있었다.In addition, the servo valve had a problem of 'hysteresis' in which the position of the spool could not be precisely controlled by the input signal due to friction between the spool and the valve body, making it difficult to accurately control force/torque.

대한민국 등록특허 제1110280 호Republic of Korea Patent No. 1110280

본 발명은 전술한 종래의 문제점을 해결할 수 있도록 압력 피드백을 통하여 서보 밸브를 구동하며, 히스테리시스 문제를 개선하여 개선된 제어성능을 갖는 서보 밸브를 제공하는 것에 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a servovalve having improved control performance by driving a servovalve through pressure feedback and improving hysteresis to solve the problems of the prior art.

상기 과제의 해결 수단으로서, 외부의 신호에 따라 압력 노즐을 선택적으로 개폐하는 플래퍼를 작동시킬 수 있도록 구성되는 토크 모터, 일측이 토크 모터와 연결되며, A 포트, B 포트, 탱크 포트 및 압력 포트와 연통되는 슬리브를 포함하여 구성되는 바디부, 슬리브 내의 소정 구간에서 왕복가능하게 구성되며, 위치에 따라 유체의 유동경로를 결정하도록 구성되는 스풀 및 A 포트 및 B 포트로부터 각각 스풀의 양측단부에 압력이 전달될 수 있도록 구성되는 한 쌍의 압력 피드백 채널을 포함하는 유압 피드백 서보 밸브가 제공될 수 있다.As a means of solving the above problem, a torque motor configured to operate a flapper that selectively opens and closes a pressure nozzle according to an external signal, one side is connected to the torque motor, and A port, B port, tank port and pressure port A body portion comprising a communicating sleeve, a spool configured to be reciprocable in a predetermined section within the sleeve, and a spool configured to determine a flow path of a fluid according to a position, and pressure is applied to both ends of the spool from port A and port B, respectively A hydraulic feedback servovalve may be provided that includes a pair of pressure feedback channels configured to be transferable.

한편, 스풀은, A 포트 또는 B 포트에 압력이 변화되는 경우 양측 단부에 작용하는 압력 차이에 따라 길이방향으로 이동되도록 구성될 수 있다.On the other hand, the spool may be configured to move in the longitudinal direction according to the pressure difference acting on both ends when the pressure is changed in port A or port B.

또한, 스풀은, 양단이 한 쌍의 압력 피드백 채널에 각각 삽입될 수 있도록 길이방향으로 연장되어 형성되는 한 쌍의 압력 피드백 포트를 더 포함할 수 있다.In addition, the spool may further include a pair of pressure feedback ports extending in the longitudinal direction so that both ends can be respectively inserted into the pair of pressure feedback channels.

한편, 압력 피드백 포트의 단면적은 슬리브의 내경보다 작게 구성될 수 있다.On the other hand, the cross-sectional area of the pressure feedback port may be configured to be smaller than the inner diameter of the sleeve.

또한, 한 쌍의 압력 피드백 포트는 스풀의 길이방향의 작동거리(stroke) 내에서 한 쌍의 압력 피드백 채널에 각각 삽입된 상태를 유지할 수 있도록 구성될 수 있다.In addition, the pair of pressure feedback ports may be configured to remain respectively inserted into the pair of pressure feedback channels within a longitudinal stroke of the spool.

나아가, 압력 피드백 포트는 압력 피드백 채널 내에서 길이방향으로 이동시 마찰력을 감소시킬 수 있도록 회전반경을 따라 절삭된 적어도 하나의 홈을 포함할 수 있다.Further, the pressure feedback port may include at least one groove cut along a turning radius to reduce frictional force when moving in the longitudinal direction within the pressure feedback channel.

한편, 압력 피드백 채널은 바디부에 형성될 수 있다.Meanwhile, the pressure feedback channel may be formed in the body portion.

또한, 바디부는, 토크 모터가 상측에 연결되며, 내측에 슬리브 및 스풀이 배치될 수 있도록 구성되며, A 포트, B 포트, 탱크 포트 및 압력 포트와 연결되기 위한 복수의 유로가 형성되는 유압 매니폴드, 유압 매니폴드의 양측으로 노출된 스풀의 양단이 각각 삽입될 수 있도록 구성되는 한 쌍의 유압 하우징 블록 및 한 쌍의 유압 하우징 블록을 유압 매니폴드와 상대적으로 이동시킬 수 있도록 구성되는 지그를 더 포함할 수 있다.In addition, the body portion, the torque motor is connected to the upper side, is configured so that the sleeve and the spool can be arranged on the inside, the A port, the B port, the tank port and a hydraulic manifold in which a plurality of flow paths for connecting to the pressure port are formed. , A pair of hydraulic housing blocks configured so that both ends of the spool exposed on both sides of the hydraulic manifold can be respectively inserted, and a jig configured to relatively move the pair of hydraulic housing blocks with the hydraulic manifold can do.

한편, 지그는, 복수의 지점에서 유압 매니폴드와 고정되며, 내측에 유압 하우징 블록이 수용될 수 있도록 구성되는 유압 하우징 블록 수용 홈이 구비되며, 복수의 지점에서 유압 하우징 블록 수용 홈으로 관통되어 형성되는 조절나사 삽입구가 형성될 수 있다.On the other hand, the jig is fixed to the hydraulic manifold at a plurality of points, is provided with a hydraulic housing block accommodating groove configured to accommodate the hydraulic housing block inside, and is formed by penetrating into the hydraulic housing block accommodating groove at a plurality of points. An adjustment screw insertion hole may be formed.

한편, 조절나사 삽입구는, 스풀의 길이방향과 수직한 2 방향으로 형성되며, 조절나사가 삽입됨에 따라 유압 하우징 블록의 위치를 이동시킬 수 있도록 구성될 수 있다.On the other hand, the adjustment screw insertion hole is formed in two directions perpendicular to the longitudinal direction of the spool, and may be configured to move the position of the hydraulic housing block as the adjustment screw is inserted.

한편, 일단이 플래퍼와 연결되며, 타단이 스풀의 길이방향의 중심부분에 지지되며, 스풀이 중립위치로 복귀되도록 복원력을 제공하는 피드백 스프링을 더 포함할 수 있다.On the other hand, one end is connected to the flapper, the other end is supported on the central portion in the longitudinal direction of the spool, the spool may further include a feedback spring that provides a restoring force to return to the neutral position.

한편, 유압 피드백 채널의 적어도 일부는 유압 하우징 블록에 형성되며, 스풀의 압력 피드백 포트는 유압 하우징 블록에 형성된 유압 피드백 채널에 적어도 일부가 삽입되도록 구성될 수 있다.Meanwhile, at least a portion of the hydraulic feedback channel may be formed in the hydraulic housing block, and the pressure feedback port of the spool may be configured such that at least a portion is inserted into the hydraulic feedback channel formed in the hydraulic housing block.

본 발명에 따른 압력 피드백 서보 밸브는 로드측에 작용하는 압력의 변화를 피드백하여 제어할 수 있어 능동적으로 힘/토크의 제어가 가능하며, 압력 서보 밸브에 피드백 스프링 및 스풀의 양 끝단에 하나 이상의 홈 구조를 활용한다. 또한, 스풀과 압력 피드백 포트간의 축의 동심을 맞추기 위한 정밀 제어를 통해 ‘히스테리시스’ 문제를 개선하고 서보 밸브의 제어 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.The pressure feedback servo valve according to the present invention can control the change in pressure acting on the rod side by feedback, so that the force/torque can be actively controlled. use the structure. In addition, through precise control to match the concentricity of the shaft between the spool and the pressure feedback port, it is possible to improve the hysteresis problem and improve the control performance of the servo valve.

도 1은 본 발명에 따른 일 실시예인 압력 피드백 서보 밸브의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 일 실시예인 압력 피드백 서보 밸브의 분해사시도이다.
도 3은 도 2에서 스풀의 중심축을 기준으로 절개한 단면도이다.
도 4는 유압 매니폴드의 일측과 스풀이 나타난 부분 절개도이다.
도 5는 도 3의 압력 피드백 포트를 확대하여 도시한 부분확대도이다.
도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 압력 피드백 서보 밸브의 작동상태도이다.
도 8은 본 발명에 따른 다른 실시예의 지그 및 유압 매니폴드를 나타낸 사시도이다.
도 9은 스풀과 양 측단의 매니폴드 간의 축을 정렬하기 위한 지그의 사용상태도이다.
1 is a perspective view of a pressure feedback servo valve according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view of a pressure feedback servo valve according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view taken along the central axis of the spool in FIG. 2 .
4 is a partial cutaway view showing one side of the hydraulic manifold and the spool.
FIG. 5 is a partially enlarged view illustrating the pressure feedback port of FIG. 3 .
6 and 7 are operational state diagrams of the pressure feedback servo valve according to the present invention.
8 is a perspective view showing a jig and a hydraulic manifold of another embodiment according to the present invention.
9 is a state diagram of a jig for aligning the axis between the spool and the manifolds at both ends.

이하, 본 발명의 실시 예에 따른 압력 피드백 서보 밸브에 대하여, 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 이하의 실시예의 설명에서 각각의 구성요소의 명칭은 당업계에서 다른 명칭으로 호칭될 수 있다. 그러나 이들의 기능적 유사성 및 동일성이 있다면 변형된 실시예를 채용하더라도 균등한 구성으로 볼 수 있다. 또한 각각의 구성요소에 부가된 부호는 설명의 편의를 위하여 기재된다. 그러나 이들 부호가 기재된 도면상의 도시 내용이 각각의 구성요소를 도면내의 범위로 한정하지 않는다. 마찬가지로 도면상의 구성을 일부 변형한 실시예가 채용되더라도 기능적 유사성 및 동일성이 있다면 균등한 구성으로 볼 수 있다. 또한 당해 기술 분야의 일반적인 기술자 수준에 비추어 보아, 당연히 포함되어야 할 구성요소로 인정되는 경우, 이에 대하여는 설명을 생략한다.Hereinafter, a pressure feedback servo valve according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. And in the description of the embodiments below, the name of each component may be called another name in the art. However, if they have functional similarity and identity, even if a modified embodiment is employed, it can be regarded as an equivalent configuration. In addition, the code added to each component is described for convenience of description. However, the contents shown in the drawings in which these symbols are indicated do not limit each component to the scope within the drawings. Similarly, even if an embodiment in which the configuration in the drawings is partially modified is employed, if there is functional similarity and sameness, it can be regarded as an equivalent configuration. In addition, in view of the level of a general engineer in the art, if it is recognized as a component to be included of course, a description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명에 따른 일 실시예인 압력 피드백 서보 밸브의 사시도이며, 도 2는 본 발명에 따른 일 실시예인 압력 피드백 서보 밸브의 분해사시도이며, 도 3은 도 2에서 스풀(250)의 중심축을 기준으로 절개한 단면도이다.1 is a perspective view of a pressure feedback servo valve according to an embodiment according to the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of a pressure feedback servo valve according to an embodiment according to the present invention, and FIG. 3 is the central axis of the spool 250 in FIG. It is a cross-sectional view cut out as a reference.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 압력 피드백 서보 밸브는 토크 모터(100)와 바디부(200)를 포함하여 구성될 수 있다.Referring to FIG. 1 , the pressure feedback servo valve according to the present invention may include a torque motor 100 and a body part 200 .

토크 모터(100)는 내부에 구비된 플래퍼(120)의 위치를 변환하여 후술할 바디부(200)의 노즐(270)을 선택적으로 개폐할 수 있도록 구성된다. 토크 모터(100)는 바디부(200)의 일측에 연결되며, 내측의 유압이 외부에 연결되지 않도록 바디부(200)와의 연결부분이 실링될 수 있다. The torque motor 100 is configured to selectively open and close the nozzle 270 of the body 200 to be described later by changing the position of the flapper 120 provided therein. The torque motor 100 is connected to one side of the body part 200 , and a connection part with the body part 200 may be sealed so that an internal hydraulic pressure is not connected to the outside.

토크 모터(100)는 플래퍼(120)에 구비되는 피드백 스프링(130)이 구비될 수 있다. 피드백 스프링(130)은 스풀(250)이 일측으로 이동했을 대 원위치할 수 있는 복원력을 제공하도록 구성될 수 있다. 피드백 스프링(130)의 일측은 플래퍼(120) 또는 아마추어(110)의 중심축에 연결되며, 타측은 스풀(250)의 길이방향의 중심부분에 지지되도록 설치될 수 있다. 피드백 스프링(130)은 스풀(250)이 복원력을 증가시켜 스풀(250)의 이동시 슬리브(260)와의 마찰력에 의한 저항을 극복하고 중립의 위치, 즉 중심위치로 원위치할 수 있는 힘을 제공할 수 있어 히스테리시스 (hysteresis)를 극복할 수 있다. 따라서 다만, 토크 모터(100)는 아마추어(110)와 플래퍼(120), 영구자석, 전자석을 포함하여 구성될 수 있으며, 이러 한 토크 모터(100)의 구성은 널리 사용되는 구성이므로 더 이상의 상세한 설명은 생략하도록 한다.The torque motor 100 may include a feedback spring 130 provided in the flapper 120 . The feedback spring 130 may be configured to provide a restoring force capable of returning to the original position when the spool 250 is moved to one side. One side of the feedback spring 130 may be connected to the central axis of the flapper 120 or the armature 110 , and the other side may be installed to be supported by the central portion of the spool 250 in the longitudinal direction. The feedback spring 130 provides a force for the spool 250 to increase its restoring force, thereby overcoming the resistance caused by the frictional force with the sleeve 260 when the spool 250 moves and returning it to a neutral position, that is, the central position. hysteresis can be overcome. Therefore, however, the torque motor 100 may be configured to include the armature 110, the flapper 120, a permanent magnet, and an electromagnet, and since the configuration of the torque motor 100 is a widely used configuration, further detailed description should be omitted.

바디부(200)는 토크 모터(100)의 구동에 따라 유체가 유동하는 경로를 선택적으로 전환하도록 구성될 수 있다. 바디부(200)는 유압 매니폴드(210), 유압 하우징 블록(220), 지그(230)를 포함하여 구성될 수 있다.The body part 200 may be configured to selectively switch a path through which the fluid flows according to the driving of the torque motor 100 . The body 200 may include a hydraulic manifold 210 , a hydraulic housing block 220 , and a jig 230 .

유압 매니폴드(210)는 내측에 형성된 복수의 유로를 포함하여 구성되며, 내측에 스풀(250)이 일 방향으로 직선이동 가능하도록 위치될 수 있다. 유압 매니폴드(210)는 중심부 매니폴드(211), 하부 매니폴드(212) 및 측부 매니폴드(213)를 포함하여 구성될 수 있다.The hydraulic manifold 210 is configured to include a plurality of flow paths formed on the inside, and the spool 250 may be positioned so that the spool 250 can move linearly in one direction on the inside. The hydraulic manifold 210 may include a central manifold 211 , a lower manifold 212 , and a side manifold 213 .

중심부 매니폴드(211)는 토크 모터(100)의 작동에 의해 플래퍼(120)가 작용하여 유로의 유동 경로가 전환될 수 있도록 구성된다. 중심부 매니폴드(211)는 노즐(270), 슬리브(260) 및 스풀(250)을 포함하여 구성될 수 있다.The central manifold 211 is configured such that the flapper 120 acts by the operation of the torque motor 100 so that the flow path of the flow path can be switched. The central manifold 211 may include a nozzle 270 , a sleeve 260 , and a spool 250 .

노즐(270)은 서로 나란하게 대면하여 구비되며, 플래퍼(120)의 각도가 전환될 때 분사구가 밀폐되도록 구성될 수 있다. 노즐(270)이 플래퍼(120)에 의해 밀폐되는 경우 분사구가 밀폐된 노즐(270)의 내부에는 압력이 증가되며, 증가된 압력은 스풀(250)에 전달되어 스풀(250)이 이동하게 된다. The nozzles 270 are provided to face each other in parallel, and when the angle of the flapper 120 is changed, the injection port may be closed. When the nozzle 270 is closed by the flapper 120 , a pressure is increased inside the nozzle 270 in which the injection port is closed, and the increased pressure is transmitted to the spool 250 to move the spool 250 .

슬리브(260)는 스풀(250)이 내측에 수용가능하게 구성되며, 서로 원활하게 직선이동 될 수 있는 단차를 두어 구성될 수 있다. 슬리브(260)는 중심부 매니폴드(211)에 측 방향으로 삽입될 수 있다. 슬리브(260)는 원통형으로 구성될 수 있으며, 중심부 매니폴드(211)에 구비된 복수의 포트와 슬리브(260)의 내외부가 유체소통될 수 있도록 반경방향으로 형성된 복수의 개구를 포함하여 구성될 수 있다. The sleeve 260 is configured such that the spool 250 can be accommodated on the inside, and can be configured with a step difference that can be smoothly linearly moved to each other. The sleeve 260 may be laterally inserted into the central manifold 211 . The sleeve 260 may be configured in a cylindrical shape, and may include a plurality of ports provided in the central manifold 211 and a plurality of openings formed in a radial direction so that the inside and outside of the sleeve 260 may be in fluid communication. have.

스풀(250)은 슬리브(260) 내측에서 직선이동하여 유체 이동을 전환할 수 있도록 구성된다. 스풀(250)은 연장된 길이방향으로 직선이동 될 수 있도록 구성된다. 스풀(250)은 전체적으로 원기둥 형상으로 구성되며, 원기둥의 복수의 지점에서 반경방향으로 확장되어 형성되는 확장부(251)를 포함하여 구성될 수 있다. 확장부(251)와 확장부(251) 사이의 공간은 스풀 챔버(254)가 되며, 유압이 수용되는 경우 스풀(250)의 길이방향에 압력에 의한 힘이 작용될 수 있도록 구성될 수 있다. 스풀(250)은 위치에 따라 스풀 챔버(254)와 유체소통되는 채널이 전환될 수 있으며, 스풀 챔버(254)와 동시에 유체소통되는 채널은 서로 압력이 전달되며, 스풀 챔버(254)를 통하여 유체가 유동될 수 있게 된다.The spool 250 is configured to move linearly inside the sleeve 260 to divert fluid movement. The spool 250 is configured to be linearly moved in the extended longitudinal direction. The spool 250 is configured in a cylindrical shape as a whole, and may include an extension 251 formed by extending radially at a plurality of points of the cylinder. The space between the expanded part 251 and the expanded part 251 becomes the spool chamber 254 , and when hydraulic pressure is received, it may be configured so that a force by pressure can be applied to the longitudinal direction of the spool 250 . The channel in fluid communication with the spool chamber 254 may be switched depending on the position of the spool 250 , and the channels in fluid communication with the spool chamber 254 transmit pressure to each other, and fluid through the spool chamber 254 . can be moved.

한편, 스풀(250)의 양단에는 외부의 부하에 의해 작용하는 압력변화를 피드백할 수 있도록 압력 피드백 포트(252)가 구비될 수 있다. 압력 피드백 포트(252)는 스풀(250)의 길이방향의 양단에 연장되어 형성될 수 있다. 압력 피드백 포트(252)는 각각 외부의 부하, 예를 들어 액추에이터의 챔버와 연결되는 A 포트(310) 및 B 포트(320)에 작용하는 압력이 전달되도록 구성될 수 있다. 따라서 A 포트(310) 및 B 포트(320)에 작용하는 압력이 변화되면 스풀(250)의 길이방향으로 작용하는 힘도 달라져 스풀(250)의 위치 이동이 이루어지게 된다. 결국 별도의 토크 모터(100)의 조작을 하지 않더라도 스풀(250)이 외부의 액추에이터로부터 압력을 피드백받을 수 있게 된다. Meanwhile, a pressure feedback port 252 may be provided at both ends of the spool 250 to feed back a pressure change applied by an external load. The pressure feedback port 252 may be formed to extend at both ends in the longitudinal direction of the spool 250 . The pressure feedback port 252 may be configured to transmit an external load, for example, a pressure acting on the A port 310 and the B port 320 connected to the chamber of the actuator. Therefore, when the pressure acting on the A port 310 and the B port 320 is changed, the force acting in the longitudinal direction of the spool 250 also changes, so that the position of the spool 250 is moved. As a result, the spool 250 can receive pressure feedback from an external actuator even without a separate operation of the torque motor 100 .

한 쌍의 압력 피드백 포트(252)는 각각 후술할 측부 매니폴드(213)에 형성된 압력 피드백 채널(350)에 삽입될 수 있다. 압력 피드백 포트(252)는 압력 피드백 채널(350)에 삽입되면서 밀폐할 수 있도록 구성되며, 길이방향으로 소정길이로 이동될 수 있도록 구성될 수 있다. 즉 스풀(250)의 길이방향의 가동거리(stroke) 내에서 양측의 압력 피드백 포트(252)는 한 쌍의 측부 매니폴드(213)에 구비된 압력 피드백 채널(350) 내에 삽입된 상태로 유지될 수 있다. 따라서 압력 피드백 포트(252)는 스풀(250)의 수평위치와 무관하게 지속적으로 외부의 압력 변화에 의한 압력을 피드백 받을 수 있게 된다. A pair of pressure feedback ports 252 may be respectively inserted into a pressure feedback channel 350 formed in a side manifold 213 to be described later. The pressure feedback port 252 is configured to be sealed while being inserted into the pressure feedback channel 350 , and may be configured to be movable by a predetermined length in the longitudinal direction. That is, the pressure feedback ports 252 on both sides within the longitudinal stroke of the spool 250 are to be maintained inserted into the pressure feedback channels 350 provided in the pair of side manifolds 213 . can Therefore, the pressure feedback port 252 can continuously receive a feedback of the pressure caused by the external pressure change regardless of the horizontal position of the spool 250 .

하부 매니폴드(212)는 외부의 부하, 예를 들어 액추에이터와 연결되는 복수의 채널이 구비될 수 있다. 하부 매니폴드(212)는 중심부 매니폴드(211)의 하측에 구비될 수 있으며, 중심부 매니폴드(211)의 슬리브(260)와 유체소통 될 수 있도록 구성되는 A 포트(310) 및 B 포트(320)가 구비될 수 있다.The lower manifold 212 may be provided with a plurality of channels connected to an external load, for example, an actuator. The lower manifold 212 may be provided on the lower side of the central manifold 211 , and the A port 310 and B port 320 configured to be in fluid communication with the sleeve 260 of the central manifold 211 . ) may be provided.

측부 매니폴드(213)는 중심부 매니폴드(211) 및 하부 매니폴드(212)를 측방향, 즉 도 2 상에서 x 축 방향의 양단에서 연결될 수 있도록 구성될 수 있다. 측부 매니폴드(213)는 스풀(250)의 압력 피드백 포트(252)가 후술할 유압 하우징 블록(220)에 삽입될 수 있도록 측 방향으로 관통되어 형성되는 구멍을 포함할 수 있다.The side manifold 213 may be configured to connect the central manifold 211 and the lower manifold 212 in the lateral direction, that is, at both ends in the x-axis direction in FIG. 2 . The side manifold 213 may include a hole through which the pressure feedback port 252 of the spool 250 is penetrated in the lateral direction so that it can be inserted into the hydraulic housing block 220 to be described later.

유압 하우징 블록(220)은 스풀(250)의 양측에 구비된 압력 피드백 포트(252)에 압력이 피드백될 수 있도록 구성된다. 유압 하우징 블록(220)은 측부 매니폴드(213)의 양측의 외곽에 구비되며, 스풀(250)의 양측에서 지지할 수 있도록 구성될 수 있다. 유압 하우징 블록(220)은 스풀(250)의 압력 피드백 포트(252)가 삽입될 수 있도록 스풀(250)의 길이방향, 즉 x 방향으로 관통되어 형성되는 압력 피드백 포트 수용 홈(221)을 포함하여 구성될 수 있다. 압력 피드백 포트 수용 홈(221)은 압력 피드백 채널(350)의 일부로서 기능하며, 스풀(250)의 압력 피드백 포트(252)가 삽입된 상태에서 x 방향으로 슬라이딩이 가능한 내경을 갖도록 구성될 수 있다. 압력 피드백 포트 수용 홈(221)은 일측에서 압력 피드백 포트(252)가 삽입되며, 타측에서 압력 피드백 채널(350)과 유체소통될 수 있다. The hydraulic housing block 220 is configured so that pressure can be fed back to the pressure feedback ports 252 provided on both sides of the spool 250 . The hydraulic housing block 220 is provided on the outer sides of both sides of the side manifold 213 , and may be configured to be supported on both sides of the spool 250 . The hydraulic housing block 220 includes a pressure feedback port accommodating groove 221 that is formed to penetrate in the longitudinal direction of the spool 250, that is, in the x direction so that the pressure feedback port 252 of the spool 250 can be inserted. can be configured. The pressure feedback port receiving groove 221 functions as a part of the pressure feedback channel 350, and may be configured to have an inner diameter that is slidable in the x direction in a state in which the pressure feedback port 252 of the spool 250 is inserted. . The pressure feedback port accommodating groove 221 may have a pressure feedback port 252 inserted from one side thereof, and may be in fluid communication with the pressure feedback channel 350 from the other side.

지그(230)는 측부 매니폴드(213)와 유압 하우징 블록(220)의 외곽에 구비될 수 있다. 지그(230) 중 측부 매니폴드(213)와 대면하는 면에는 전술한 유압 하우징 블록(220)이 삽입되어 배치될 수 있도록 유압 하우징 블록(220)의 형상에 대응하여 형성되는 유압 하우징 블록 수용 홈(231)이 구비될 수 있다. 지그(230)의 내부에는 압력 피드백 채널(350)이 구비될 수 있으며, 압력 피드백 채널(350)은 지그(230)의 일측 외면으로부터 유압 하우징 블록 수용 홈(231)으로 연장되어 형성될 수 있으며, 최종적으로 유압 하우징 블록(220)의 압력 피드백 포트 수용 홈(221)과 유체소통되어 형성될 수 있다.The jig 230 may be provided outside the side manifold 213 and the hydraulic housing block 220 . A hydraulic housing block accommodating groove ( 231) may be provided. A pressure feedback channel 350 may be provided inside the jig 230, and the pressure feedback channel 350 may be formed to extend from one outer surface of the jig 230 to the hydraulic housing block receiving groove 231, Finally, it may be formed in fluid communication with the pressure feedback port receiving groove 221 of the hydraulic housing block 220 .

도 4는 유압 매니폴드의 일측과 스풀이 나타난 부분 절개도이고, 도 5는 도 3의 압력 피드백 포트(252)를 확대하여 도시한 부분확대도이다.4 is a partial cutaway view showing one side of the hydraulic manifold and the spool, and FIG. 5 is a partially enlarged view showing the pressure feedback port 252 of FIG. 3 .

도 3을 참조하면, 스풀(250)의 양단에 스풀(250)의 길이방향으로 연장되어 형성되는 압력 피드백 포트(252)가 유압 하우징 블록(220)의 압력 피드백 포트 수용 홈(221)에 삽입되어 있는 상태가 도시되어 있다. 압력 피드백 포트(252)는 스풀(250)은 길이방향으로의 위치가 변환되더라도 양측 단부에서 압력 피드백 채널(350)로부터 지속적으로 압력을 제공받을 수 있게 된다. 다만 도시되지는 않았으나, 한 쌍의 압력 피드백 채널(350)은 외부에서 A 포트(310) 및 B 포트(320)와 유체소통되도록 구성되는 등 외부와 연결되어 있는 액추에이터로부터 압력을 직접 압력 피드백 포트(252)에 적용시킬 수 있는 다양한 구성으로 변형되어 적용될 수 있다.Referring to FIG. 3 , the pressure feedback ports 252 extending in the longitudinal direction of the spool 250 at both ends of the spool 250 are inserted into the pressure feedback port receiving grooves 221 of the hydraulic housing block 220 . The state in which there is is shown. The pressure feedback port 252 allows the spool 250 to continuously receive pressure from the pressure feedback channel 350 at both ends even if the position in the longitudinal direction is changed. Although not shown, the pair of pressure feedback channels 350 are configured to be in fluid communication with the A port 310 and the B port 320 from the outside, and directly apply pressure from the actuator connected to the outside ( 252) can be modified and applied to various configurations that can be applied to it.

도 4를 참조하면, 유압 매니폴드(210)는 다양한 경로의 유체 이동경로가 형성될 수 있다. 구체적으로 하부 매니폴드(212)에서 수직방향으로 관통하여 압력 포트(340), A 포트(310) 및 B 포트(320)가 형성되며, 중심부 매니폴드의 스풀(250)측으로 유체소통할 수 있도록 구성될 수 있다. Referring to FIG. 4 , in the hydraulic manifold 210 , fluid movement paths of various paths may be formed. Specifically, the pressure port 340, the A port 310, and the B port 320 are formed by penetrating in the vertical direction from the lower manifold 212, and configured to be in fluid communication with the spool 250 side of the central manifold. can be

하부 매니폴드(212) 및 측부 매니폴드(213)에는 A 포트(310)에서 스풀(250)의 압력 피드백 포트(252)로 유압이 전달되기 위한 유압 피드백 채널(350)의 적어도 일부가 형성될 수 있다.The lower manifold 212 and the side manifold 213 may be formed with at least a portion of the hydraulic feedback channel 350 for transferring hydraulic pressure from the A port 310 to the pressure feedback port 252 of the spool 250 . have.

구체적으로, 하부 매니폴드(212)에는 제1-1 유압 피드백 채널(351)이 B 포트(320)로부터 수평방향으로 연장되어 형성되며, 측부 매니폴드(213)에 형성되어 있는 제1-2 유압 피드백 채널(352)과 연결될 수 있다. 제1-2 유압 피드백 채널(352)은 측부 매니폴드(213) 내부에서 수평방향 및 수직방향으로 형성되며, 일측 유압 하우징 블록(220)의 유압 피드백 포트 수용 홈(221)과 유체소통될 수 있다.Specifically, the lower manifold 212 has a 1-1 hydraulic feedback channel 351 extending in the horizontal direction from the B port 320 , and a 1-2 hydraulic pressure formed in the side manifold 213 . It may be coupled to a feedback channel 352 . The 1-2 hydraulic feedback channel 352 is formed in the horizontal and vertical directions inside the side manifold 213 and may be in fluid communication with the hydraulic feedback port receiving groove 221 of the hydraulic housing block 220 on one side. .

또한 하부 매니폴드(212)에는 제2-1 유압 피드백 채널(353)이 A 포트(310)로부터 수평방향으로 연장되어 형성되며, 측부 매니폴드(213)에 형성되어 있는 제1-2 유압 피드백 채널(354)과 연결될 수 있다. 제2-2 유압 피드백 채널(354)은 측부 매니폴드(213) 내부에서 수평방향 및 수직 방향으로 형성되며, 타측 유압 하우징 블록(220)의 유압 피드백 포트 수용 홈(221)과 유체소통 될 수 있다.Also, in the lower manifold 212 , a 2-1 hydraulic feedback channel 353 is formed extending from the A port 310 in the horizontal direction, and a 1-2 hydraulic feedback channel is formed in the side manifold 213 . (354) can be connected. The 2-2 hydraulic feedback channel 354 is formed in the horizontal and vertical directions inside the side manifold 213 and may be in fluid communication with the hydraulic feedback port receiving groove 221 of the other hydraulic housing block 220 . .

결국 유압 매니폴드(210)에는 A 포트(310), B 포트(320)로부터 스풀(250)의 양측 단부인 압력 피드백 포트(252)에 압력을 전달할 수 있도록 유압 피드백 패널(350)이 형성되므로 외력에 의해 A 포트(310) 및 B 포트(320) 측에서 발생하는 압력의 변화를 피드백하여 스풀(250)의 위치가 변할 수 있게 된다. As a result, the hydraulic feedback panel 350 is formed in the hydraulic manifold 210 to transmit pressure from the A port 310 and the B port 320 to the pressure feedback port 252, which is both ends of the spool 250, so that an external force The position of the spool 250 can be changed by feeding back the change in pressure generated at the A port 310 and the B port 320 side by the .

도 5를 참조하면, 압력 피드백 포트(252)는 원통형의 형상으로 스풀(250)의 단부측에 구비되며, 외측에 스풀(250)의 길이방향의 중심축을 기준으로 둘레 방향을 따라 적어도 하나의 홈(253)이 형성될 수 있다. 압력 피드백 포트(252)의 홈(253)은 압력 피드백 포트 수용 홈(221)과 압력 피드백 포트(252)의 외면간의 마찰력을 최소화 할 수 있도록 구성되며, 따라서 스풀(250)의 수평방향 이동을 원활하게 확보할 수 있게 된다.Referring to FIG. 5 , the pressure feedback port 252 has a cylindrical shape and is provided on the end side of the spool 250 , and has at least one groove along the circumferential direction with respect to the central axis in the longitudinal direction of the spool 250 on the outside. (253) may be formed. The groove 253 of the pressure feedback port 252 is configured to minimize the frictional force between the pressure feedback port receiving groove 221 and the outer surface of the pressure feedback port 252, and thus smooth the horizontal movement of the spool 250. can be secured.

이하에서는 도 6 및 도 7을 참조하여 본 발명에 따른 압력 피드백 서보 밸브의 작동원리에 대하여 설명하도록 한다. 도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 압력 피드백 서보 밸브의 작동상태도이다. 본 도면에서는 설명의 편의를 위해 구성요소를 단순화하여 나타내었다.Hereinafter, the operating principle of the pressure feedback servo valve according to the present invention will be described with reference to FIGS. 6 and 7 . 6 and 7 are operational state diagrams of the pressure feedback servo valve according to the present invention. In this drawing, components are simplified for convenience of description.

도 6를 참조하면, 스풀(250)과 유체소통될 수 있는 유로, 즉 A 포트(310), B 포트(320), 탱크 포트(330) 및 압력 포트(340)가 구성되어 있다. 압력 포트(340)는 한 쌍의 노즐(270)에도 유압을 공급한다. A 포트(310)와 B 포트(320)는 외부의 부하, 즉 액추에이터와 연결될 수 있다.Referring to FIG. 6 , a flow path capable of fluid communication with the spool 250 , that is, a port A 310 , a port B 320 , a tank port 330 and a pressure port 340 are configured. The pressure port 340 also supplies hydraulic pressure to the pair of nozzles 270 . The A port 310 and the B port 320 may be connected to an external load, that is, an actuator.

A 포트(310)의 일측은 압력 피드백 채널(350)과 유체소통되며, A 포트(310)에 작용하는 압력이 도 6 상에서 스풀(250)의 좌측의 압력 피드백 포트에 작용하게 된다. 마찬가지로 B 포트(320)의 일측은 압력 피드백 채널(350)이 유체소통되며, B 포트(320)에 작용하는 압력이 도 5 상에서 우측의 압력 피드백 포트(252)에 작용하게 된다. One side of the A port 310 is in fluid communication with the pressure feedback channel 350 , and the pressure acting on the A port 310 acts on the pressure feedback port on the left side of the spool 250 in FIG. 6 . Similarly, one side of the B port 320 is in fluid communication with the pressure feedback channel 350 , and the pressure acting on the B port 320 acts on the pressure feedback port 252 on the right side in FIG. 5 .

도 7을 참조하면, 사용자의 입력에 의해 토크 모터(100)가 작동하여 스풀(250)이 도 7 상에서 좌측으로 이동된 모습이 도시되어 있다. 스풀(250)이 좌측으로 이동하여 A 포트(310)와 압력 포트(340)가 유체소통되어 압력이 공급된다. 또한 B 포트(320)에서는 탱크 포트(330)와 유체소통되어 유체가 회수된다. 이때 좌측의 유압 피드백 포트에는 공급 압력(Ps)이 작용하게 되며, 우측의 유압 피드백 포트에는 공급 압력(Ps) 보다 작은 회수 압력(Pr)이 작용한다. Referring to FIG. 7 , a state in which the torque motor 100 is operated by the user's input and the spool 250 is moved to the left in FIG. 7 is shown. The spool 250 moves to the left so that the A port 310 and the pressure port 340 are in fluid communication to supply pressure. In addition, the B port 320 is in fluid communication with the tank port 330 to recover the fluid. At this time, the supply pressure Ps is applied to the hydraulic feedback port on the left, and the recovery pressure Pr, which is smaller than the supply pressure Ps, is applied to the hydraulic feedback port on the right.

스풀(250)은 공급 압력(Ps)과 회수 압력(Pr)의 차이에 따른 복원력(F)를 받게 된다. 여기서 압력 피드백 포트(252)의 단면적이 스풀(250)의 확장부(251)보다 작은 크기로 구성되어 피드백되는 유압에 의한 복원력의 크기가 스풀(250)을 구동하기 위한 구동력보다 작아지게 된다. 따라서 유압 피드백에 의한 복원력 자체가 구동력보다 크지 않게 설정되어 스풀(250)의 직접 구동에 미치는 영향을 일정 비율 이내로 결정할 수 있게 된다.The spool 250 receives a restoring force F according to the difference between the supply pressure Ps and the recovery pressure Pr. Here, the cross-sectional area of the pressure feedback port 252 is configured to be smaller than the expanded portion 251 of the spool 250 so that the magnitude of the restoring force by the hydraulic pressure that is fed back becomes smaller than the driving force for driving the spool 250 . Therefore, the restoring force itself by the hydraulic feedback is set not to be greater than the driving force, so that the influence on the direct driving of the spool 250 can be determined within a certain ratio.

스풀(250)의 동작으로 공급 압력의 유체가 액추에이터(actuator, 1000)의 로테이터 배인(1210)과 고정부 배인(1110)의 사이에 형성되는 챔버(1300)에 공급되면, 액추에이터의 로테이터(1200)는 도 6 상에서 시계 반대방향으로 회전하게 된다. 이때 로터리 액추에이터의 외부에서 구동방향에 저항하는 외력이 작용하면 내부의 챔버 또한 압력이 변화된다. 이때 A 포트(310) 및 B 포트(320) 각각의 변화된 압력은 압력 피드백 채널(350)을 통하여 전달된다. 스풀(250)의 양단에 압력이 변화되면 양측 압력 피드백 포트(252)에 작용하는 피드백 힘의 차이에 의해 스풀(250)의 길이방향의 위치가 조절된다. 따라서 외부의 압력 변화에 의한 피드백이 구조적으로 이루어질 수 있게 되므로 정밀한 제어를 수행할 수 있게 된다. When the fluid of the supply pressure is supplied to the chamber 1300 formed between the rotator vane 1210 and the fixed part vane 1110 of the actuator 1000 by the operation of the spool 250, the rotator 1200 of the actuator is rotated counterclockwise in FIG. 6 . At this time, when an external force resisting the driving direction is applied from the outside of the rotary actuator, the pressure of the inner chamber is also changed. At this time, the changed pressure of each of the A port 310 and the B port 320 is transmitted through the pressure feedback channel 350 . When the pressure at both ends of the spool 250 is changed, the position in the longitudinal direction of the spool 250 is adjusted by the difference in the feedback force acting on the pressure feedback ports 252 on both sides. Therefore, since feedback by external pressure change can be structurally made, it is possible to perform precise control.

이하에서는 도 8 및 도 9을 참조하여 본 발명에 따라 스풀(250)의 위치를 정밀하게 조절할 수 있는 실시예에 대하여 설명하도록 한다. 본 실시예에서도 전술한 실시예와 동일한 구성요소를 포함하여 구성될 수 있으며, Hereinafter, an embodiment in which the position of the spool 250 can be precisely adjusted according to the present invention will be described with reference to FIGS. 8 and 9 . In this embodiment as well, it may be configured to include the same components as in the above-described embodiment,

도 8은 본 발명에 따른 다른 실시예의 지그(230) 및 유압 매니폴드(210)를 나타낸 사시도이다.8 is a perspective view showing the jig 230 and the hydraulic manifold 210 of another embodiment according to the present invention.

도 8을 참조하면, 지그(230)에는 유압 하우징 블록 수용 홈(231)에 삽입된 유압 하우징 블록(220)의 위치를 조절할 수 있는 조절나사(241, 242, 244)를 포함하여 구성될 수 있다. 지그(230)는 외곽면에서부터 유압 하우징 블록 수용 홈(231)까지 연장되어 형성되는 조절나사 삽입구가 형성될 수 있다. 조절나사 삽입구는 도 7 상에서 지그(230)의 외곽면으로부터 조절나사가 삽입가능한 크기로 z 방향 및 y 방향의 양측에서 삽입되도록 구성될 수 있다. 조절나사(241, 242, 244)는 유압 하우징 블록(220)의 노출된 측면을 지지하며 위치를 조절할 수 있도록 구성될 수 있다. 전술한 바와 같이 유압 하우징 블록(220)에는 압력 피드백 포트 수용 홈(221)이 구비되며, 압력 피드백 포트 수용 홈(221)에는 스풀(250)의 압력 피드백 포트(252)가 삽입되어 조립된다. 따라서 유압 하우징 블록(220)의 위치를 조절하면 스풀(250)의 위치를 조절할 수 있게 된다.Referring to FIG. 8 , the jig 230 may include adjusting screws 241 , 242 , 244 capable of adjusting the position of the hydraulic housing block 220 inserted into the hydraulic housing block receiving groove 231 . . The jig 230 may be formed with an adjustment screw insertion hole extending from the outer surface to the hydraulic housing block accommodating groove 231 . The adjustment screw insertion hole may be configured to be inserted from both sides of the z-direction and the y-direction to a size in which the adjustment screw can be inserted from the outer surface of the jig 230 in FIG. 7 . The adjusting screws 241 , 242 , and 244 may be configured to support the exposed side of the hydraulic housing block 220 and to adjust a position thereof. As described above, the pressure feedback port accommodating groove 221 is provided in the hydraulic housing block 220 , and the pressure feedback port 252 of the spool 250 is inserted and assembled into the pressure feedback port accommodating groove 221 . Therefore, if the position of the hydraulic housing block 220 is adjusted, the position of the spool 250 can be adjusted.

도 9는 스풀과 양 측단의 매니폴드 간의 축을 정렬하기 위한 지그의 사용상태도이다. 지그(230)는 하부 매니폴드(212) 및 중심부 매니폴드(211)와 고정되어 설치되므로 조절나사를 조작하는 경우 유압 하우징 블록(220)이 지그(230)상에서 이동할 수 있게 된다. 즉 유압 하우징 블록(220)에 양측이 고정된 스풀(250)에 대하여 길이방향의 수직한 2 방향으로 위치를 조절할 수 있도록 구성된다. 즉 스풀(250)과 유압 하우징 블록(220)간이 축의 중심을 맞추기 위해 지그(230)의 위치를 조절할 수 있게 된다.9 is a state diagram of a jig for aligning the axis between the spool and the manifolds at both ends. Since the jig 230 is fixedly installed with the lower manifold 212 and the central manifold 211 , the hydraulic housing block 220 can move on the jig 230 when the adjusting screw is operated. That is, the position can be adjusted in two directions perpendicular to the longitudinal direction with respect to the spool 250 fixed on both sides to the hydraulic housing block 220 . That is, the position of the jig 230 can be adjusted to align the center of the axis between the spool 250 and the hydraulic housing block 220 .

한편, 유압 하우징 블록 수용 홈(231)은 유압 하우징 블록(220)이 삽입되었을 때 y축 및 z 축으로 이동이 가능할 수 있도록 유압 하우징 블록(220)보다 다소 큰 크기로 홈의 크기가 결정될 수 있다.On the other hand, the hydraulic housing block accommodating groove 231 may have a size somewhat larger than that of the hydraulic housing block 220 so that it can move in the y-axis and z-axis when the hydraulic housing block 220 is inserted. .

도 9a를 참조하면, 제2 y 축 조절나사(244)를 조작하여 지그(230)와 유압 하우징 블록(220)의 y 축 방향의 상대적인 위치를 조절하는 개념이 도시되어 있다. 제2 y 축 조절나사(244)를 조작하여 유압 하우징 블록(220)을 도 9a 상에서 좌측으로 밀어낼 수 있다. 이 경우 스풀(250)은 일측이 y+ 방향으로 이동된다. 한편, 도시되지는 않았으나, 반대로 제1 y축 조절나사(241)를 조작하여 유압 하우징 블록(220)을 y- 방향으로 이동시킬 수 있게 된다.Referring to FIG. 9A , the concept of adjusting the relative positions of the jig 230 and the hydraulic housing block 220 in the y-axis direction by manipulating the second y-axis adjusting screw 244 is illustrated. The hydraulic housing block 220 may be pushed to the left in FIG. 9A by manipulating the second y-axis adjusting screw 244 . In this case, one side of the spool 250 is moved in the y+ direction. Meanwhile, although not shown, the hydraulic housing block 220 can be moved in the y- direction by operating the first y-axis adjusting screw 241 on the contrary.

도 9b를 참조하면, z- 방향으로 유압 하우징 블록(220)을 조작하는 개념이 도시되어 있다. z 축 조절나사(242)를 조작하여 유압 하우징 블록(220)을 z- 방향으로 이동시킬 수 있게 된다. 결국 유압 하우징 블록(220)의 위치를 조절하여 최종적으로 중심부 매니폴드(211) 내의 스풀(250)의 위치를 조절가능하므로 동심 정렬을 정밀하게 수행할 수 있게 된다.Referring to FIG. 9B , the concept of manipulating the hydraulic housing block 220 in the z-direction is illustrated. By manipulating the z-axis adjusting screw 242, the hydraulic housing block 220 can be moved in the z-direction. Finally, by adjusting the position of the hydraulic housing block 220, the position of the spool 250 in the central manifold 211 can be finally adjusted, so that concentric alignment can be precisely performed.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 압력 피드백 서보 밸브는 로드측과 연결된 압력 피드백 채널이 스풀에 피드백 힘을 전달할 수 있으므로, 전기 신호 만으로 별도의 센서 없이 직접적인 힘과 토크의 제어가 가능하다. 또한 역구동이 가능하며(Backdrivable), 안전하게 외부 환경과 상호작용하는 제어가 가능하다.As described above, in the pressure feedback servo valve according to the present invention, since the pressure feedback channel connected to the rod side can transmit the feedback force to the spool, direct force and torque control without a separate sensor is possible only with an electric signal. In addition, it is backdrivable, and it is possible to safely interact with the external environment and control it.

또한 스풀의 마찰력 및 동심에 의한 간섭 문제를 완화시킬 수 있어 기존 서보 밸브의 히스테리시스 문제를 개선하여 보다 정학한 제어를 수행할 수 있는 효과가 있다.In addition, it is possible to alleviate the problem of interference caused by frictional force and concentricity of the spool, thereby improving the hysteresis problem of the existing servo valve and performing more precise control.

100: 토크 모터 110: 아마추어
120: 플래퍼 130: 피드백 스프링
200: 바디부
210: 유압 매니폴드 211: 중심부 매니폴드
212: 하부 매니폴드 213: 측부 매니폴드
220: 유압 하우징 블록
221: 압력 피드백 포트 수용 홈
230: 지그
231: 유압 하우징 블록 수용 홈
232: 조절나사 삽입구
241: 제1 y축 조절나사 242: z축 조절나사
244: 제2 y축 조절나사
250: 스풀 251: 확장부
252: 압력 피드백 포트 253: 홈
254: 스풀 챔버 260: 슬리브
270: 노즐
310: A 포트 320: B 포트
330: 탱크 포트 340: 압력 포트
350: 압력 피드백 채널
1000: 액추에이터 1110: 고정부 배인
1200: 로테이터 1210: 로테이터 배인
1300: 압력 챔버
100: torque motor 110: armature
120: flapper 130: feedback spring
200: body part
210: hydraulic manifold 211: central manifold
212: lower manifold 213: side manifold
220: hydraulic housing block
221: pressure feedback port receiving groove
230: jig
231: hydraulic housing block receiving groove
232: adjustment screw insertion hole
241: first y-axis adjustment screw 242: z-axis adjustment screw
244: second y-axis adjustment screw
250: spool 251: extension
252: pressure feedback port 253: groove
254: spool chamber 260: sleeve
270: nozzle
310: A port 320: B port
330: tank port 340: pressure port
350: pressure feedback channel
1000: actuator 1110: fixed part vane
1200: rotator 1210: rotator vane
1300: pressure chamber

Claims (12)

외부의 신호에 따라 압력 노즐을 선택적으로 개폐하는 플래퍼를 작동시킬 수 있도록 구성되는 토크 모터;
일측이 상기 토크 모터와 연결되며, A 포트, B 포트, 탱크 포트 및 압력 포트와 연통되는 슬리브를 포함하여 구성되는 바디부;
상기 슬리브 내의 소정 구간에서 왕복가능하게 구성되며, 위치에 따라 유체의 유동경로를 결정하도록 구성되는 스풀; 및
상기 A 포트 및 상기 B 포트로부터 각각 상기 스풀의 양측단부에 압력이 전달될 수 있도록 구성되는 한 쌍의 압력 피드백 채널을 포함하는 압력 피드백 서보 밸브.
a torque motor configured to operate a flapper that selectively opens and closes the pressure nozzle according to an external signal;
a body portion having one side connected to the torque motor and comprising a sleeve communicating with the A port, the B port, the tank port, and the pressure port;
a spool configured to be reciprocable in a predetermined section within the sleeve and configured to determine a flow path of the fluid according to a position; and
and a pair of pressure feedback channels configured to transmit pressure from the A port and the B port to both ends of the spool, respectively.
제1 항에 있어서,
상기 스풀은,
상기 A 포트 또는 상기 B 포트에 압력이 변화되는 경우 상기 양측 단부에 작용하는 압력 차이에 따라 길이방향으로 이동되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 압력 피드백 서보 밸브.
According to claim 1,
The spool is
The pressure feedback servo valve, characterized in that it is configured to move in the longitudinal direction according to the pressure difference applied to the both ends when the pressure is changed in the A port or the B port.
제2 항에 있어서,
상기 스풀은,
양단이 상기 한 쌍의 압력 피드백 채널에 각각 삽입될 수 있도록 상기 길이방향으로 연장되어 형성되는 한 쌍의 압력 피드백 포트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 피드백 서보 밸브.
3. The method of claim 2,
The spool is
The pressure feedback servo valve further comprising a pair of pressure feedback ports extending in the longitudinal direction so that both ends can be respectively inserted into the pair of pressure feedback channels.
제3 항에 있어서,
상기 압력 피드백 포트의 단면적은 상기 슬리브의 내경보다 작게 구성되는 것을 특징으로 하는 압력 피드백 서보 밸브.
4. The method of claim 3,
The pressure feedback servo valve, characterized in that the cross-sectional area of the pressure feedback port is configured to be smaller than the inner diameter of the sleeve.
제4 항에 있어서,
상기 한 쌍의 압력 피드백 포트는,
상기 스풀의 길이방향의 작동거리(stroke) 내에서 상기 한 쌍의 압력 피드백 채널에 각각 삽입된 상태를 유지할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 압력 피드백 서보 밸브.
5. The method of claim 4,
The pair of pressure feedback ports,
and are configured to maintain respective inserted states in the pair of pressure feedback channels within a longitudinal stroke of the spool.
제3 항에 있어서,
상기 압력 피드백 포트는 상기 압력 피드백 채널 내에서 길이방향으로 이동시 마찰력을 감소시킬 수 있도록 회전반경을 따라 절삭된 적어도 하나의 홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 피드백 서보 밸브.
4. The method of claim 3,
and the pressure feedback port includes at least one groove cut along a rotation radius to reduce friction when moving in the longitudinal direction within the pressure feedback channel.
제3 항에 있어서,
상기 압력 피드백 채널은 상기 바디부에 형성되는 것을 특징으로 하는 압력 피드백 서보 밸브.
4. The method of claim 3,
The pressure feedback channel is a pressure feedback servo valve, characterized in that formed in the body portion.
제3 항에 있어서,
상기 바디부는,
상기 토크 모터가 상측에 연결되며,
내측에 상기 슬리브 및 스풀이 배치될 수 있도록 구성되며, A 포트, B 포트, 탱크 포트 및 압력 포트와 연결되기 위한 복수의 유로가 형성되는 유압 매니폴드;
상기 유압 매니폴드의 양측으로 노출된 상기 스풀의 양단이 각각 삽입될 수 있도록 구성되는 한 쌍의 유압 하우징 블록; 및
상기 한 쌍의 유압 하우징 블록을 상기 유압 매니폴드와 상대적으로 이동시킬 수 있도록 구성되는 지그를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 피드백 서보 밸브.
4. The method of claim 3,
The body part,
The torque motor is connected to the upper side,
a hydraulic manifold configured so that the sleeve and the spool can be disposed therein, and having a plurality of flow paths to be connected to the A port, the B port, the tank port, and the pressure port;
a pair of hydraulic housing blocks configured to be inserted into both ends of the spool exposed on both sides of the hydraulic manifold; and
and a jig configured to move the pair of hydraulic housing blocks relative to the hydraulic manifold.
제8 항에 있어서,
상기 지그는,
복수의 지점에서 상기 유압 매니폴드와 고정되며,
내측에 상기 유압 하우징 블록이 수용될 수 있도록 구성되는 유압 하우징 블록 수용 홈이 구비되며,
복수의 지점에서 상기 유압 하우징 블록 수용 홈으로 관통되어 형성되는 조절나사 삽입구가 형성되는 것을 특징으로 하는 압력 피드백 서보 밸브.
9. The method of claim 8,
The jig is
fixed to the hydraulic manifold at a plurality of points,
A hydraulic housing block accommodating groove configured to accommodate the hydraulic housing block is provided inside;
A pressure feedback servo valve, characterized in that at a plurality of points, an adjustment screw insertion hole that is formed through the hydraulic housing block receiving groove is formed.
제9 항에 있어서,
상기 조절나사 삽입구는,
상기 스풀의 길이방향과 수직한 2 방향으로 형성되며,
조절나사가 삽입됨에 따라 상기 유압 하우징 블록의 위치를 이동시킬 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 압력 피드백 서보 밸브.
10. The method of claim 9,
The adjusting screw insertion hole,
It is formed in two directions perpendicular to the longitudinal direction of the spool,
A pressure feedback servo valve, characterized in that it is configured to move the position of the hydraulic housing block as the adjusting screw is inserted.
제3 항에 있어서,
일단이 상기 플래퍼와 연결되며,
타단이 상기 스풀의 길이방향의 중심부분에 지지되며,
상기 스풀이 중립위치로 복귀되도록 복원력을 제공하는 피드백 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 피드백 서보 밸브.
4. The method of claim 3,
One end is connected to the flapper,
The other end is supported on the central portion in the longitudinal direction of the spool,
The pressure feedback servo valve according to claim 1, further comprising a feedback spring that provides a restoring force so that the spool returns to the neutral position.
제10 항에 있어서,
상기 유압 피드백 채널의 적어도 일부는 상기 유압 하우징 블록에 형성되며,
상기 스풀의 압력 피드백 포트는 상기 유압 하우징 블록에 형성된 상기 유압 피드백 채널에 적어도 일부가 삽입되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 압력 피드백 서보 밸브.
11. The method of claim 10,
At least a portion of the hydraulic feedback channel is formed in the hydraulic housing block,
The pressure feedback port of the spool is configured to be inserted at least partially into the hydraulic feedback channel formed in the hydraulic housing block.
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