KR20210132771A - Graphite muffle structure - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a graphite muffle structure. The graphite muffle structure according to an embodiment of the present invention is a graphite muffle structure of a furnace using nitrogen atmospheric gas comprising: a heat treating furnace main body which has an interior space; an insulation member which is formed to cover the interior space; and a heater which is installed inside the interior space and is heated to a set temperature. The graphite muffle structure comprises: a first graphite muffle which is located inside the insulation member, provides a sealed space of nitrogen gas atmosphere, and is made of graphite material; and a second graphite muffle which seals the surroundings of the first graphite muffle by covering the interior space in which the first graphite muffle is installed and is made of graphite material. The graphite muffle structure significantly reduces oxygen concentration inside the furnace by being applied in the furnace using nitrogen atmospheric gas.

Description

그라파이트 머플 구조물{GRAPHITE MUFFLE STRUCTURE}Graphite muffle structure {GRAPHITE MUFFLE STRUCTURE}

본 발명의 실시예들은 그라파이트 머플 구조물에 관한 것이다. Embodiments of the present invention relate to graphite muffle structures.

대기 중의 산소는 로(furnace) 내부에서 탄소와 결합하여 CO가스로 변환된다. 그리고 탄소 구조물에서 배출되는 탄소의 양은 극히 미량으로 구조물의 내구성에 관여를 하지 않을 수 있다. Oxygen in the atmosphere is converted into CO gas by combining with carbon inside the furnace. And the amount of carbon emitted from the carbon structure is extremely small and may not be involved in the durability of the structure.

만일, 탄소 구조물을 로(furnace) 내부의 구조에 적용할 경우, 로(furnace) 내의 산소농도가 매우 낮아질 수 있어 분위기 로(furnace)의 최적화에 유리한 측면이 있다. If the carbon structure is applied to the structure inside the furnace, the oxygen concentration in the furnace may be very low, which is advantageous for optimizing the atmosphere furnace.

대한민국 공개특허 제10-2000-0023444호(2000. 04. 25, 공개)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2000-0023444 (April 25, 2000, published)

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 질소 분위기 가스 사용 로에 적용되어 로 내부의 산소농도를 대폭 저감시킬 수 있는 그라파이트 머플 구조물을 제공하는 것을 목적으로 한다. An object of the present invention is to provide a graphite muffle structure that can be applied to a nitrogen atmosphere gas furnace to significantly reduce the oxygen concentration inside the furnace in order to solve the above problems.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects and advantages of the present invention not mentioned may be understood by the following description, and will be more clearly understood by the examples of the present invention. Moreover, it will be readily apparent that the objects and advantages of the present invention may be realized by the means and combinations thereof indicated in the claims.

본 발명의 실시예에 따르는 그라파이트 머플 구조물은, 내부공간을 갖는 열처리로 본체와, 상기 내부공간을 둘러싸도록 형성된 단열부재와, 상기 내부공간에 설치되며 설정온도로 가열되는 히터를 포함하는 질소 분위기 가스 사용 로의 그라파이트 머플 구조물로서, 상기 그라파이트 머플 구조물은, 상기 단열부재의 내측에 위치하며 질소가스 분위기의 밀폐공간을 제공하고, 그라파이트 재질로 이루어진 제1 그라파이트 머플; 및 상기 제1 그라파이트 머플이 설치되는 상기 내부공간을 둘러 감싸 상기 제1 그라파이트 머플의 주변을 밀폐시키며, 그라파이트 재질로 이루어진 제2 그라파이트 머플;을 포함한다. A graphite muffle structure according to an embodiment of the present invention includes a heat treatment furnace body having an inner space, a heat insulating member formed to surround the inner space, and a heater installed in the inner space and heated to a set temperature. A graphite muffle structure for a furnace, wherein the graphite muffle structure includes: a first graphite muffle located inside the heat insulating member and providing a closed space of a nitrogen gas atmosphere, made of a graphite material; and a second graphite muffle that surrounds the inner space in which the first graphite muffle is installed to seal the periphery of the first graphite muffle, and is made of a graphite material.

상기 제1 그라파이트 머플은, 상기 내부공간의 중앙에 위치하도록 설치되며, 구역별로 분할된 복수의 그라파이트 유닛의 조립에 의해 형성될 수 있다. The first graphite muffle is installed to be located in the center of the inner space, and may be formed by assembling a plurality of graphite units divided for each zone.

상기 제2 그라파이트 머플은, 상기 단열부재의 내부 벽면을 따라 밀착하여 배치되며, 구역별로 분할된 복수의 그라파이트 유닛의 조립에 의해 형성될 수 있다. The second graphite muffle is disposed in close contact with the inner wall surface of the heat insulating member, and may be formed by assembling a plurality of graphite units divided for each zone.

상기 제1 그라파이트 머플은, 상기 밀폐공간의 상부에 수평 배치되는 제1 상부 그라파이트 유닛; 상기 밀폐공간의 하부에 수평 배치되며 상기 제1 상부 그라파이트 유닛에 대응하는 길이로 마주하여 설치되는 제1 하부 그라파이트 유닛; 및 상기 제1 상부 그라파이트 유닛 및 상기 제1 하부 그라파이트 유닛의 양단을 교차하는 방향으로 조립되는 제1 측면 그라파이트 유닛;을 포함한다. The first graphite muffle may include: a first upper graphite unit horizontally disposed on an upper portion of the sealed space; a first lower graphite unit that is horizontally disposed in the lower portion of the closed space and is installed to face the first upper graphite unit with a length corresponding to that of the first upper graphite unit; and a first side graphite unit assembled in a direction crossing both ends of the first upper graphite unit and the first lower graphite unit.

상기 제1 그라파이트 머플의 조립 구조를 보강 및 지지하는 서포트부재;를 더 포함한다. It further includes; a support member for reinforcing and supporting the assembly structure of the first graphite muffle.

상기 서포트부재는, 상기 제1 상부 그라파이트 유닛의 상부를 외측에서 덮어 결합되며, 그라파이트 재질로 이루어지는 수평결합부; 및 상기 수평결합부의 양측 단부로부터 하향 절곡되어 상기 제1 측면 그라파이트 유닛의 일부를 감싸 고정되며, 그라파이트 재질로 이루어지는 꺾임연장부;를 포함한다.The support member is coupled to cover the upper portion of the first upper graphite unit from the outside, the horizontal coupling portion made of a graphite material; and a bending extension part bent downward from both ends of the horizontal coupling part to wrap and fix a part of the first side graphite unit, and made of a graphite material.

상기 서포트부재는, 상기 제1 하부 그라파이트 유닛의 하부를 소정 높이 상에 위치시키도록 상기 열처리로 본체의 지지대 상부에 세워 설치되며, 그라파이트 재질로 이루어지는 입설부;를 더 포함한다.The support member is installed upright on the support of the heat treatment furnace body to position the lower portion of the first lower graphite unit at a predetermined height, and a standing portion made of a graphite material; further includes.

상기 제2 그라파이트 머플은, 상기 제1 상부 그라파이트 유닛과 일정간격을 두고 상기 단열부재에 밀착 결합되는 제2 상부 그라파이트 유닛; 상기 제2 상부 그라파이트 유닛과 일정간격을 두고 상기 단열부재에 밀착 결합되는 제2 하부 그라파이트 유닛; 상기 제2 상부 그라파이트 유닛 및 상기 제2 하부 그라파이트 유닛의 양단을 교차하는 방향으로 조립되는 제2 측면 그라파이트 유닛;을 포함한다.The second graphite muffle may include: a second upper graphite unit closely coupled to the heat insulating member at a predetermined interval from the first upper graphite unit; a second lower graphite unit closely coupled to the heat insulating member at a predetermined distance from the second upper graphite unit; and a second side graphite unit assembled in a direction crossing both ends of the second upper graphite unit and the second lower graphite unit.

상기 제1 상부 그라파이트 유닛과 상기 제2 상부 그라파이트 유닛의 각각의 폭 중심을 상하로 관통하여 외부로부터 상기 밀폐공간 내부로 연통하여 형성되며, 샘플링가스 흡입구와 연결되는 샘플링가스 흡입노즐; 및 상기 제2 상부 그라파이트 유닛을 상하로 관통하여 상기 제2 그라파이트 머플의 내부까지 연통하여 형성되며, 질소가스 투입구와 연결되는 복수의 질소가스 투입노즐;을 포함하며, 상기 샘플링가스 흡입노즐과 상기 복수의 질소가스 투입노즐 각각은 그라파이트 재질로 이루어질 수 있다. a sampling gas suction nozzle connected to a sampling gas suction port, which is formed to communicate with the inside of the sealed space from the outside through vertical centers of widths of the first upper graphite unit and the second upper graphite unit; and a plurality of nitrogen gas input nozzles which are formed in communication with the inside of the second graphite muffle by penetrating the second upper graphite unit up and down and connected to the nitrogen gas inlet; including, the sampling gas suction nozzle and the plurality of Each of the nitrogen gas input nozzles may be made of a graphite material.

상기 히터는, 상기 내부공간의 내측 폭 중앙 위치까지 수평 방향으로 연장하여 상기 제1 그라파이트 머플의 상부에 간격을 두고 배치되는 복수의 제1 히터; 및 상기 복수의 제1 히터의 하측에 나란하게 위치하며, 상기 내부공간의 내측 폭 중앙 위치까지 수평 방향으로 연장하여 상기 제1 그라파이트 머플의 하부에 간격을 두고 배치되는 복수의 제2 히터;를 포함하고, 상기 제1 히터의 하부에는 상기 제1 히터를 지지하는 제1 히터 받침부재가 구비되며, 상기 제2 히터의 하부에는 상기 제2 히터를 지지하는 제2 히터 받침부재가 구비되고, 상기 제1, 2 히터 받침부재는 그라파이트 재질로 이루어질 수 있다. The heater may include: a plurality of first heaters extending in a horizontal direction to a central position of an inner width of the inner space and disposed at intervals on the upper portion of the first graphite muffle; and a plurality of second heaters positioned side by side under the plurality of first heaters, extending in the horizontal direction to a central position of the inner width of the inner space, and disposed at intervals below the first graphite muffle. and a first heater supporting member for supporting the first heater is provided under the first heater, and a second heater supporting member supporting the second heater is provided under the second heater, and the second heater supporting member is provided under the first heater. 1, 2 The heater support member may be made of a graphite material.

본 발명인 그라파이트 머플 구조물에 의하면 질소를 분위기 가스로 사용하는 로 내부의 산소농도를 대폭 낮출 수 있어, 질소 분위기 가스 사용 로의 최적화가 가능한 장점이 있다. According to the graphite muffle structure of the present invention, it is possible to significantly lower the oxygen concentration inside a furnace using nitrogen as an atmosphere gas, so it is possible to optimize a furnace using nitrogen atmosphere gas.

구체적인 예로서, 이중 그라파이트 머플 타입으로 최소량의 질소가스로 최적의 로 내부 분위기를 유지할 수 있는 장점이 있다. 특히, 이중 그라파이트 머플 타입을 적용하는 동시에, 히터 받침, 질소가스 노즐, 샘플링가스 노즐, 머플 서포트의 구성을 전체적으로 그라파이트 재질로 구성하여 로 내부 산소분위기 농도를 대폭 낮추면서도 기밀성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다. As a specific example, the double graphite muffle type has the advantage of maintaining an optimal furnace atmosphere with a minimum amount of nitrogen gas. In particular, while applying the double graphite muffle type, the heater support, nitrogen gas nozzle, sampling gas nozzle, and muffle support are all made of graphite material to significantly lower the oxygen atmosphere concentration inside the furnace and improve airtightness. have.

또한, 본 발명에 의하면, 제1, 2 그라파이트 머플이 조립식으로 제작되어, 파손 시 부분 교체가 가능한 장점이 있다.In addition, according to the present invention, the first and second graphite muffles are manufactured in a prefabricated manner, and there is an advantage that parts can be replaced in case of damage.

상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.In addition to the above-described effects, the specific effects of the present invention will be described together while describing specific details for carrying out the invention below.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 그라파이트 머플 구조물을 간략히 도시한 도면이다.
도 2 내지 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 그라파이트 머플 구조물의 세부 구성을 설명하기 위해 도시한 개념도이다.
1 is a diagram schematically illustrating a graphite muffle structure according to an embodiment of the present invention.
2 to 6 are conceptual views illustrating the detailed configuration of a graphite muffle structure according to an embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, with reference to the drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement them. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다. 또한, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가질 수 있다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 수 있다.In order to clearly explain the present invention, parts irrelevant to the description are omitted, and the same reference numerals are given to the same or similar elements throughout the specification. Further, some embodiments of the present invention will be described in detail with reference to exemplary drawings. In adding reference numerals to components of each drawing, the same components may have the same reference numerals as much as possible even though they are indicated in different drawings. In addition, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description may be omitted.

본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질, 차례, 순서 또는 개수 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 다른 구성 요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성 요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In describing the components of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), (b), etc. may be used. These terms are only for distinguishing the elements from other elements, and the nature, order, order, or number of the elements are not limited by the terms. When it is described that a component is “connected”, “coupled” or “connected” to another component, the component may be directly connected or connected to the other component, but other components may be interposed between each component. It will be understood that each component may be “interposed” or “connected”, “coupled” or “connected” through another component.

또한, 본 발명을 구현함에 있어서 설명의 편의를 위하여 구성요소를 세분화하여 설명할 수 있으나, 이들 구성요소가 하나의 장치 또는 모듈 내에 구현될 수도 있고, 혹은 하나의 구성요소가 다수의 장치 또는 모듈들에 나뉘어져서 구현될 수도 있다.In addition, in implementing the present invention, components may be subdivided for convenience of description, but these components may be implemented in one device or module, or one component may include a plurality of devices or modules. It may be implemented by being divided into .

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 그라파이트 머플 구조물 및 이를 포함하는 질소 분위기 가스 사용 로의 개략적인 형태를 보여주는 도면이다.1 is a view showing a schematic form of a graphite muffle structure and a nitrogen atmosphere gas furnace including the same according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 그라파이트 머플 구조물(200)은 질소 분위기 가스 사용 로(100)의 머플 구조물을 말한다. The graphite muffle structure 200 according to an embodiment of the present invention refers to the muffle structure of the nitrogen atmosphere gas furnace 100 .

질소 분위기 가스 사용 로(100)는 내부공간을 갖는 열처리로 본체(110)와, 상기 내부공간을 둘러싸도록 형성된 단열부재(120)와, 상기 내부공간에 설치되며 설정온도로 가열되는 히터(130, 140)를 포함한다. The nitrogen atmosphere gas furnace 100 includes a heat treatment furnace body 110 having an inner space, a heat insulating member 120 formed to surround the inner space, and a heater 130 installed in the inner space and heated to a set temperature. 140).

본 발명의 실시예에 따르는 그라파이트 머플 구조물(200)은 단열부재(120)의 내측에 위치하며 질소가스 분위기의 밀폐공간을 제공하는 그라파이트 재질로 이루어진 제1 그라파이트 머플(210)을 포함한다. The graphite muffle structure 200 according to the embodiment of the present invention includes a first graphite muffle 210 located inside the heat insulating member 120 and made of a graphite material that provides a sealed space of a nitrogen gas atmosphere.

또한, 본 발명의 실시예에 따르는 그라파이트 머플 구조물(200)은 제1 그라파이트 머플(210)이 설치되는 내부공간(113)을 둘러 감싸 제1 그라파이트 머플(210)의 주변을 밀폐시키며 그라파이트 재질로 이루어진 제2 그라파이트 머플(220)을 포함한다. In addition, the graphite muffle structure 200 according to the embodiment of the present invention surrounds the inner space 113 in which the first graphite muffle 210 is installed to seal the periphery of the first graphite muffle 210 and is made of a graphite material. A second graphite muffle 220 is included.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면 제1 그라파이트 머플(210)과 함께 제2 그라파이트 머플(220)이 동시에 구비되어 산소 농도를 대폭 낮추는데 도움이 되며, 기밀성을 충분히 향상시킬 수 있다. As such, according to the embodiment of the present invention, the second graphite muffle 220 is provided simultaneously with the first graphite muffle 210, which helps to significantly lower the oxygen concentration, and can sufficiently improve airtightness.

이하, 본 발명의 실시예에 따르는 그라파이트 머플 구조물(200)이 적용되는 질소 분위기 가스 사용 로(100)에 관하여 간략히 설명하기로 한다.Hereinafter, a nitrogen atmosphere gas furnace 100 to which the graphite muffle structure 200 according to an embodiment of the present invention is applied will be briefly described.

예를 들어, 열처리로 본체(110)는 밀폐된 내부공간(113)을 갖는다. 구체적으로 설명하면, 열처리로 본체(110)는 도시된 바와 같이 상부몸체(111), 복수의 측벽몸체(112), 지지대(115)를 포함한다. 상부몸체(111)는 단열부재(120)의 상부 면에 밀착하여 결합된다. 복수의 측벽몸체(112)는 단열부재(120)의 양측 면에 밀착하여 결합된다. 지지대(115)는 단열부재(120)의 하부 면에 밀착하여 단열부재(120)를 설정 높이로 지지한다. For example, the heat treatment furnace body 110 has a sealed inner space (113). Specifically, the heat treatment furnace body 110 includes an upper body 111 , a plurality of side wall bodies 112 , and a support 115 as shown. The upper body 111 is coupled in close contact with the upper surface of the heat insulating member 120 . The plurality of side wall bodies 112 are coupled in close contact with both sides of the heat insulating member 120 . The support 115 is in close contact with the lower surface of the heat insulating member 120 to support the heat insulating member 120 to a set height.

예를 들어, 단열부재(120)는 열처리로 본체(110)의 내부에 구비된다. 예를 들어, 단열부재(120)는 내부공간(113)의 외부를 둘러싸는 직사각형 단면 형상의 구조를 갖다. 단열부재(120)는 세라믹 파이버 재질로 이루어질 수 있다. For example, the heat insulating member 120 is provided inside the heat treatment furnace body 110 . For example, the heat insulating member 120 has a rectangular cross-sectional shape surrounding the outside of the inner space (113). The heat insulating member 120 may be made of a ceramic fiber material.

예를 들어, 히터(130, 140)는 열처리로 본체(110)와 단열부재(120)를 관통하여 내부공간에 설치되며 설정온도로 가열될 수 있다. 히터(130, 140)는 복수의 제1 히터(130)와 복수의 제2 히터(140)를 포함한다. 복수의 제1 히터(130)는 복수의 측벽몸체(112)와 단열부재(120)를 관통하여 내부공간(113)의 내측 폭 중앙 위치까지 수평 방향으로 연장하여 돌출될 수 있다. 구체적으로는 복수의 제1 히터(130)는 제1 그라파이트 머플(210)의 상부에 간격을 두고 수평 배치될 수 있다. 복수의 제2 히터(140)는 복수의 제1 히터(130)의 하측에 나란하게 위치한다. 복수의 제2 히터(140)는 복수의 측벽몸체(112)와 단열부재(120)를 관통하여 내부공간(113)의 내측 폭 중앙 위치까지 수평 방향으로 연장하여 돌출될 수 있다. 구체적으로는 복수의 제2 히터(140)는 제1 그라파이트 머플(210)의 하부에 간격을 두고 수평 배치될 수 있다. For example, the heaters 130 and 140 are installed in the inner space through the heat treatment furnace body 110 and the heat insulating member 120, and may be heated to a set temperature. The heaters 130 and 140 include a plurality of first heaters 130 and a plurality of second heaters 140 . The plurality of first heaters 130 may extend through the plurality of side wall bodies 112 and the heat insulating member 120 in the horizontal direction to a central position of the inner width of the inner space 113 to protrude. Specifically, the plurality of first heaters 130 may be horizontally disposed on the first graphite muffle 210 at intervals therebetween. The plurality of second heaters 140 are positioned side by side under the plurality of first heaters 130 . The plurality of second heaters 140 may extend through the plurality of side wall bodies 112 and the heat insulating member 120 in the horizontal direction to a central position of the inner width of the inner space 113 to protrude. Specifically, the plurality of second heaters 140 may be horizontally disposed at intervals below the first graphite muffle 210 .

예를 들어, 복수의 제1 히터(130)는 단열부재(120)의 내측에 마련된 밀폐된 내부공간의 상부에 소정 높이로 위치하는데, 복수의 제1 히터(130) 각각이 좌, 우 측벽몸체(112)와 단열부재(120)를 수평 방향으로 관통하여 내부공간(113)의 내측 폭 중앙 위치까지 마주보도록 돌출되는 구조를 가진다. 이와 마찬가지로, 복수의 제2 히터(140)는 복수의 제1 히터(130)의 하측에 평행을 이루어 위치하는데, 복수의 제2 히터(140) 각각이 좌, 우 측벽몸체(112)와 단열부재(120)를 수평 방향으로 관통하여 내부공간(113)의 내측 폭 중앙 위치까지 마주보도록 돌출되는 구조를 가진다. 이에 따라, 복수의 제1 히터(130)와 복수의 제2 히터(140) 사이에는 제1 그라파이트 머플(210)이 위치하며, 질소 가스 분위기 형성 공간의 온도를 설정온도로 가열할 수 있다. For example, the plurality of first heaters 130 are positioned at a predetermined height above the sealed inner space provided inside the heat insulating member 120 , and each of the plurality of first heaters 130 is a left and right side wall body. It has a structure that protrudes to face the inner width central position of the inner space 113 through the 112 and the heat insulating member 120 in the horizontal direction. Similarly, the plurality of second heaters 140 are positioned parallel to the lower side of the plurality of first heaters 130 , and each of the plurality of second heaters 140 includes the left and right side wall bodies 112 and the heat insulating member. It has a structure that penetrates through 120 in the horizontal direction and protrudes to face up to the central position of the inner width of the inner space 113 . Accordingly, the first graphite muffle 210 is positioned between the plurality of first heaters 130 and the plurality of second heaters 140 , and the temperature of the nitrogen gas atmosphere forming space may be heated to a set temperature.

그라파이트 머플 구조물Graphite Muffle Structure

이하, 본 발명의 실시예에 따른 그라파이트 머플 구조물에 관하여 구체적으로 살펴보기로 한다. Hereinafter, the graphite muffle structure according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

도면에서, 도 2 내지 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 그라파이트 머플 구조물의 세부 구성을 설명하기 위해 도시한 개념도이다. In the drawings, FIGS. 2 to 6 are conceptual views illustrating the detailed configuration of a graphite muffle structure according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에 따르는 그라파이트 머플 구조물(200)은 제1 그라파이트 머플(210)과 제2 그라파이트 머플(220)을 포함한다.The graphite muffle structure 200 according to an embodiment of the present invention includes a first graphite muffle 210 and a second graphite muffle 220 .

제1 그라파이트 머플(210)은 단열부재(120)의 내측에 위치하며 질소가스 분위기의 밀폐공간을 제공하며 그라파이트 재질로 이루어진다. The first graphite muffle 210 is located inside the heat insulating member 120, provides a closed space in a nitrogen gas atmosphere, and is made of a graphite material.

제2 그라파이트 머플(220)은 제1 그라파이트 머플(210)이 설치되는 내부공간(113)을 둘러 감싸 제1 그라파이트 머플(210)의 주변을 밀폐시키며 그라파이트 재질로 이루어진다. The second graphite muffle 220 surrounds the inner space 113 in which the first graphite muffle 210 is installed to seal the periphery of the first graphite muffle 210 and is made of a graphite material.

이와 같이, 제1 그라파이트 머플(210)과 함께 제2 그라파이트 머플(220)이 동시에 구비되어 산소 농도를 대폭 낮추는데 도움이 되며, 기밀성을 충분히 향상시킬 수 있다. In this way, the second graphite muffle 220 is provided simultaneously with the first graphite muffle 210, which helps to significantly lower the oxygen concentration, and can sufficiently improve airtightness.

구체적으로 설명하면, 제1 그라파이트 머플(210)은 내부공간(113)의 중앙에 위치하도록 설치되며, 구역별로 분할된 복수의 그라파이트 유닛의 조립에 의해 형성되는 조립식 구조를 가진다.Specifically, the first graphite muffle 210 is installed to be located in the center of the inner space 113, and has a prefabricated structure formed by assembling a plurality of graphite units divided for each zone.

제1 그라파이트 머플(210)은 밀폐공간(215) 내부의 산소 농도를 낮추고 질소 분위기 확보에 유리한 장점이 있다. The first graphite muffle 210 has the advantage of lowering the oxygen concentration inside the closed space 215 and securing a nitrogen atmosphere.

또한, 제2 그라파이트 머플(220)은 단열부재(120)의 내부 벽면을 따라 밀착하여 배치되며, 구역별로 분할된 복수의 그라파이트 유닛의 조립에 의해 형성되는 조립식 구조를 가진다. In addition, the second graphite muffle 220 is disposed in close contact along the inner wall surface of the heat insulating member 120, and has a prefabricated structure formed by assembling a plurality of graphite units divided for each zone.

그리고 제2 그라파이트 머플(220)은 제1 그라파이트 머플(210)이 설치되는 내부공간(113)을 둘러 감싸는 구조로 밀폐시킨다. And the second graphite muffle 220 is sealed in a structure that surrounds the inner space 113 in which the first graphite muffle 210 is installed.

이와 같이, 제1, 2 그라파이트 머플(210, 220)은 그라파이트 재질로 이루어져 대기 중의 산소와 결합하여 CO를 발생시키며, 로 내부 산소분위기를 적어도 20ppm 이하로 낮춰줄 수 있다. 그 대신 제1 그라파이트 머플(210)의 조립 구조로 인해 취약해질 수 있는 기밀성을 제2 그라파이트 머플(220)의 함께 적용됨으로써 보완할 수 있다. 그 결과, 산소농도를 대폭 낮추면서도 기밀성을 효과적으로 향상시킬 수 있다. As such, the first and second graphite muffles 210 and 220 are made of a graphite material and combine with oxygen in the atmosphere to generate CO, and may lower the oxygen atmosphere inside the furnace to at least 20 ppm or less. Instead, airtightness that may be weakened due to the assembly structure of the first graphite muffle 210 may be supplemented by applying the second graphite muffle 220 together. As a result, airtightness can be effectively improved while significantly lowering the oxygen concentration.

그리고 제1 그라파이트 머플(210)과 제2 그라파이트 머플(220)은 모두 조립식 결합 구조로 이루어져 있어, 파손 시 부분 교체가 가능한 점에서 일체형 금속재질 머플 구조에 비해 유리한 측면이 있다. And since the first graphite muffle 210 and the second graphite muffle 220 are both made of a prefabricated coupling structure, there is an advantage compared to the integrated metal muffle structure in that partial replacement is possible in case of damage.

구체적인 예로서, 제1 그라파이트 머플(210)은 제1 상부 그라파이트 유닛(211), 제1 하부 그라파이트 유닛(212), 제1 측면 그라파이트 유닛(213)을 포함한다. As a specific example, the first graphite muffle 210 includes a first upper graphite unit 211 , a first lower graphite unit 212 , and a first side graphite unit 213 .

여기서, 제1 상부 그라파이트 유닛(211)은 밀폐공간(215)의 상부에 수평 배치된다. 그리고 제1 하부 그라파이트 유닛(212)은 밀폐공간(215)의 하부에 수평 배치되며 상기 제1 상부 그라파이트 유닛(211)에 대응하는 길이로 마주하여 설치될 수 있다. 그리고 제1 측면 그라파이트 유닛(213)은 상기 제1 상부 그라파이트 유닛(211) 및 상기 제1 하부 그라파이트 유닛(212)의 양단을 교차하는 방향으로 조립될 수 있다. Here, the first upper graphite unit 211 is horizontally disposed on the upper portion of the closed space 215 . In addition, the first lower graphite unit 212 may be horizontally disposed in the lower portion of the closed space 215 and installed to face the first upper graphite unit 211 with a length corresponding to the first upper graphite unit 211 . In addition, the first side graphite unit 213 may be assembled in a direction crossing both ends of the first upper graphite unit 211 and the first lower graphite unit 212 .

제2 그라파이트 머플(220)은 제2 상부 그라파이트 유닛(221), 제2 하부 그라파이트 유닛(222), 및 제2 측면 그라파이트 유닛(223)을 포함한다. The second graphite muffle 220 includes a second upper graphite unit 221 , a second lower graphite unit 222 , and a second side graphite unit 223 .

여기서, 제2 상부 그라파이트 유닛(221)은 제1 상부 그라파이트 유닛(211)과 일정간격을 두고 상기 단열부재(120)에 밀착 결합되는 그라파이트 재질의 조립 부품을 말한다. 그리고 제2 하부 그라파이트 유닛(222)은 제2 상부 그라파이트 유닛(221)과 일정간격을 두고 상기 단열부재(120)에 밀착 결합되는 그라파이트 재질의 조립 부품을 말한다. 그리고 제2 측면 그라파이트 유닛(223)은 제2 상부 그라파이트 유닛(221)과 제2 하부 그라파이트 유닛(222)의 양단을 교차하는 방향으로 조립되는 그라파이트 재질의 조립 부품을 말한다. Here, the second upper graphite unit 221 refers to an assembly part made of a graphite material that is closely coupled to the heat insulating member 120 at a predetermined distance from the first upper graphite unit 211 . In addition, the second lower graphite unit 222 refers to an assembly part made of graphite that is closely coupled to the heat insulating member 120 at a predetermined interval from the second upper graphite unit 221 . And the second side graphite unit 223 refers to an assembly part made of graphite material that is assembled in a direction crossing both ends of the second upper graphite unit 221 and the second lower graphite unit 222 .

제1 그라파이트 머플(210)은 그라파이트 재질을 갖도록 구성되며, 파손 시 부분적으로 교체가 가능한 조립식 구조로 이루어질 수 있다. 또한, 제1 상부 그라파이트 유닛(211)은 제1 측면 그라파이트 유닛(213)과 조립을 통해 연결되는데, 제1 단차부(2111)와 제1 돌기부(2113)가 제2 단차부(2131)와 제2 돌기부(2133)과 ㄱ 형상으로 단차지게 결합되어, 조립 부위에서의 기밀을 확보할 수 있다(도 2 참조). The first graphite muffle 210 is configured to have a graphite material, and may have a prefabricated structure that can be partially replaced when damaged. In addition, the first upper graphite unit 211 is connected to the first side graphite unit 213 through assembly, the first step 2111 and the first protrusion 2113 are the second step 2131 and the second 2 is coupled to the protrusion 2133 and a step in the shape of a, it is possible to secure the airtightness at the assembly site (see FIG. 2).

제1 그라파이트 머플(210)을 조립식 구조를 보강하기 위하여 서포트부재(230)가 더 포함될 수 있다. 서포트부재(230)는 제1 그라파이트 머플(210)의 조립 구조를 보강 및 지지하며 그라파이트 재질로 이루어진다. 구체적으로는 서포트부재(230)는 제1 상부 그라파이트 유닛(211)의 상부를 외측에서 덮어 결합되는 수평결합부(231)와, 수평결합부(231)의 양측 단부로부터 하향 절곡되어 상기 제1 측면 그라파이트 유닛(213)의 일부를 감싸 고정되는 꺾임연장부(233)를 포함한다. 그리고 서포트부재(230)는 제1 하부 그라파이트 유닛(212)의 하부를 소정 높이 상에 위치시켜 지지하는 입설부(235)를 더 포함한다. 이때, 수평결합부(231), 꺾임연장부(233), 입설부(235)는 모두 그라파이트 재질로 이루어져 산소농도를 대폭 낮추는 장점이 있다(도 3 참조). A support member 230 may be further included to reinforce the prefabricated structure of the first graphite muffle 210 . The support member 230 reinforces and supports the assembly structure of the first graphite muffle 210 and is made of a graphite material. Specifically, the support member 230 includes a horizontal coupling part 231 coupled to cover the upper portion of the first upper graphite unit 211 from the outside, and the first side surface bent downward from both ends of the horizontal coupling part 231 . It includes a bent extension part 233 that is fixed by wrapping a part of the graphite unit 213 . And the support member 230 further includes a standing portion 235 to position and support the lower portion of the first lower graphite unit 212 on a predetermined height. At this time, the horizontal coupling portion 231 , the bent extension portion 233 , and the standing tongue portion 235 are all made of a graphite material and have the advantage of significantly lowering the oxygen concentration (see FIG. 3 ).

제2 그라파이트 머플(220)은 전술한 바와 같이 전체적으로 그라파이트 재질을 갖도록 구성되며, 파손 시 부분적으로 교체가 가능한 조립식 구조로 이루어져 유지 보수 비용이 대폭 감소되는 장점이 있다. 또한, 제2 그라파이트 머플(220)은 외부로부터의 산소의 유입을 차단하며, 외부로 유입되는 질소가스를 원천적으로 차단한다. 특히, 밀폐공간(215)의 내부의 질소가스가 제1 그라파이트 머플(210)의 외부로 나오지 못하게 되며, 제1 그라파이트 머플(210)의 외부에서 밀폐공간(215)으로 소량의 질소가스가 유입될 수 있어 질소가스의 사용량을 절약할 수 있는 장점이 있다(도 4 참조). The second graphite muffle 220 is configured to have a graphite material as a whole as described above, and has a prefabricated structure that can be partially replaced when damaged, thereby significantly reducing maintenance costs. In addition, the second graphite muffle 220 blocks the inflow of oxygen from the outside, and fundamentally blocks the nitrogen gas flowing into the outside. In particular, the nitrogen gas inside the sealed space 215 is prevented from coming out of the first graphite muffle 210, and a small amount of nitrogen gas is introduced into the sealed space 215 from the outside of the first graphite muffle 210. This has the advantage of saving the amount of nitrogen gas used (see FIG. 4).

나아가, 본 발명의 실시예에 따르면 제1 히터 받침부재(241)와, 제2 히터 받침부재(243)을 더 포함한다. 제1 히터 받침부재(241)는 단열부재(120)의 내측에서 제1 히터(130)의 하부에 접촉되어 제1 히터(130)를 지지한다. 이러한 제1 히터 받침부재(241)는 그라파이트 재질로 이루어져 산소 농도를 낮추는 장점이 있다. 제1 히터 받침부재(241)는 제1 상부 그라파이트 유닛(211)의 상부 면과 제1 히터(130)의 하부 면 사이에 개재되어, 제1 히터(130)를 안정적으로 받쳐주는 형태로 이루어질 수 있다(도 5 참조). Furthermore, according to an embodiment of the present invention, it further includes a first heater support member 241 and a second heater support member 243 . The first heater support member 241 is in contact with the lower portion of the first heater 130 inside the heat insulating member 120 to support the first heater 130 . The first heater support member 241 is made of a graphite material and has the advantage of lowering the oxygen concentration. The first heater support member 241 may be interposed between the upper surface of the first upper graphite unit 211 and the lower surface of the first heater 130 to stably support the first heater 130 . There is (see Fig. 5).

또한, 제2 히터 받침부재(243)는 단열부재(120)의 내측에서 제2 히터(140)의 하부에 접촉되어 제2 히터(140)를 지지한다. 제2 히터 받침부재(243)는 열처리로 본체의 지지대(115)의 상부에서 위로 돌출된 구조물과 제2 히터(140) 사이에 위치할 수 있다. 제2 히터 받침부재(243)는 제1 히터 받침부재(241)와 동일하게 그라파이트 재질로 이루어져 산소 농도를 낮추는데 이용될 수 있다(도 5 참조). In addition, the second heater supporting member 243 is in contact with the lower portion of the second heater 140 inside the heat insulating member 120 to support the second heater (140). The second heater support member 243 may be positioned between the structure protruding upward from the top of the support 115 of the main body of the heat treatment furnace and the second heater 140 . The second heater support member 243 is made of a graphite material in the same manner as the first heater support member 241 and may be used to lower the oxygen concentration (see FIG. 5 ).

또한, 본 발명의 실시예에 따르면 샘플링가스 흡입노즐(250)과, 복수의 질소가스 투입노즐(260)을 더 포함한다. In addition, according to the embodiment of the present invention, it further includes a sampling gas suction nozzle 250 and a plurality of nitrogen gas input nozzles 260 .

샘플링가스 흡입노즐(250)은 제1 상부 그라파이트 유닛(211)과 제2 상부 그라파이트 유닛(221)의 각각의 폭 중심을 상하로 관통하여 외부로부터 상기 밀폐공간(215) 내부로 연통하여 형성되며 샘플링가스 흡입구(151)와 연결된다. The sampling gas suction nozzle 250 is formed in communication with the inside of the sealed space 215 from the outside by penetrating the respective width centers of the first upper graphite unit 211 and the second upper graphite unit 221 up and down. It is connected to the gas inlet 151 .

복수의 질소가스 투입노즐(260)은 샘플링가스 흡입노즐(250)을 기준으로 양측에 대칭되는 위치에 각각 형성되며, 제2 상부 그라파이트 유닛(221)을 상하로 관통하여 제2 그라파이트 머플(220)의 내부까지 연통하여 형성되고 질소가스 투입구(161)와 연결된다. The plurality of nitrogen gas input nozzles 260 are respectively formed at positions symmetrical on both sides with respect to the sampling gas suction nozzle 250, and penetrate the second upper graphite unit 221 up and down to penetrate the second graphite muffle 220. It is formed in communication to the inside of the and is connected to the nitrogen gas inlet (161).

이때, 샘플링가스 흡입노즐(250)과, 복수의 질소가스 투입노즐(260) 각각은 그라파이트 재질로 이루어진다. At this time, each of the sampling gas suction nozzle 250 and the plurality of nitrogen gas input nozzles 260 is made of a graphite material.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면 제1,2 그라파이트 머플(210, 220)을 물론, 서포트부재(230), 히터 받침부재(240), 샘플링가스 흡입노즐(250), 질소가스 투입노즐(260)이 모두 그라파이트 재질로 이루어져 질소를 분위기 가스로 사용하는 로 내부 산소농도를 대폭 낮출 수 있어 로의 최적화에 큰 도움을 줄 수 있다. As such, according to the embodiment of the present invention, in addition to the first and second graphite muffles 210 and 220, the support member 230, the heater support member 240, the sampling gas suction nozzle 250, the nitrogen gas input nozzle ( 260) are all made of graphite, which can greatly reduce the oxygen concentration in a furnace using nitrogen as an atmosphere gas, which can greatly help optimize the furnace.

도 6은 본 발명의 실시예에 따르는 질소 분위기 가스 사용 로에 포함되는 그라파이트 머플 구조물의 측면 조립 형상을 보여주는 도면이다. 6 is a view showing a side assembly shape of a graphite muffle structure included in a nitrogen atmosphere gas using furnace according to an embodiment of the present invention.

도시된 바와 같이, 그라파이트 머플 구조물(200)은 제1 그라파이트 머플(210), 제2 그라파이트 머플(220)을 포함한다. 제1 그라파이트 머플(210), 제2 그라파이트 머플(220)은 모두 조립 구조로 이루어져 충격 등 외부요인으로 인한 파손 시 부분적으로 교체가 가능한 장점이 있다. 이에 따라, 기존의 일체형 구조에 비해 유지 보수 비용이 절감되는 유리한 효과가 있다. As shown, the graphite muffle structure 200 includes a first graphite muffle 210 and a second graphite muffle 220 . The first graphite muffle 210 and the second graphite muffle 220 have an advantage that they can be partially replaced in case of damage due to external factors such as impact because they are all assembled structures. Accordingly, there is an advantageous effect that the maintenance cost is reduced compared to the conventional one-piece structure.

아울러, 제1 그라파이트 머플(210)과 제2 그라파이트 머플(220)이 이중 구조로 이루어져 로 내 분위기가 월등히 우수하고, 질소가스 사용량도 절감할 수 있는 유리한 효과가 있다. 심지어, 서포트부재(230), 히터 받침부재(240)를 비롯하여 샘플링가스 흡입노즐(250, 도 5 참조), 질소가스 투입노즐(260, 도 5 참조)까지 모두 그라파이트 재질로 이루어져 있어 산소 농도를 대폭 낮추고 질소가스 사용량을 절감할 수 있는 장점이 있다. In addition, since the first graphite muffle 210 and the second graphite muffle 220 have a double structure, the atmosphere in the furnace is extremely excellent, and there is an advantageous effect of reducing the amount of nitrogen gas used. Even, the support member 230, the heater support member 240, the sampling gas suction nozzle (250, see FIG. 5), and the nitrogen gas input nozzle (260, see FIG. 5) are all made of graphite, which greatly increases the oxygen concentration. It has the advantage of lowering and reducing the amount of nitrogen gas used.

상술한 바와 같이, 본 발명의 구성 및 작용에 따르면, 그라파이트 머플 구조물을 적용하여 로 내부의 산소농도를 대폭 낮출 수 있어, 질소 분위기 가스 사용 로의 최적화가 가능한 장점이 있다. 구체적인 예로서, 질소 분위기 가스 사용 로의 경우, 이중 그라파이트 머플 타입으로 최소량의 질소가스로 최적의 로 내부 분위기를 유지할 수 있다. As described above, according to the configuration and operation of the present invention, it is possible to significantly lower the oxygen concentration in the furnace by applying the graphite muffle structure, and thus there is an advantage that the nitrogen atmosphere gas furnace can be optimized. As a specific example, in the case of a furnace using nitrogen atmosphere gas, it is possible to maintain an optimal internal atmosphere of the furnace with a minimum amount of nitrogen gas as a double graphite muffle type.

또한, 제1 그라파이트 머플은 조립식으로 제작되어, 파손 시 부분 교체가 가능하다. In addition, since the first graphite muffle is manufactured in a prefabricated manner, it is possible to partially replace it in case of damage.

다만, 이러한 조립식 구조의 경우 기존의 금속재질 일체형 머플과 비교하여 기밀성이 낮은 단점이 있으나, 제1 그라파이트 머플과 함께 그 외곽을 둘러싸는 제2 그라파이트 머플을 추가 구성하여 기밀성을 충분히 향상시킬 수 있다. However, in the case of this prefabricated structure, there is a disadvantage in that the airtightness is low compared to the conventional metal material integrated muffle, but the airtightness can be sufficiently improved by additionally configuring the second graphite muffle surrounding the outer periphery together with the first graphite muffle.

제2 그라파이트 머플 역시 조립식으로 제작되어 파손 시 부분 교체가 가능하여 유지 보수 작업이 간편하고 비용 절감을 도모할 수 있다. The second graphite muffle is also manufactured in a prefabricated manner, so that it can be partially replaced in case of damage, making maintenance work simple and cost reduction possible.

그리고 조립식 구조의 제1 그라파이트 머플을 구조적으로 보강하기 위해, 각 조립구간 별로 서포트부재가 더 설치되며, 서포트부재를 구성하는 수평결합부, 꺾임연장부, 입설부의 소재도 그라파이트로 구성하여 산소농도를 낮추고 반영구적인 사용이 가능하다. And in order to structurally reinforce the first graphite muffle of the prefabricated structure, a support member is further installed for each assembly section, and the material of the horizontal coupling part, the bending extension part, and the standing part constituting the support member is also composed of graphite and oxygen concentration can be lowered and semi-permanent use is possible.

제2 그라파이트 머플은, 외부로의 산소를 차단하고 제1 그라파이트 머플의 외부로 유입되는 질소가스를 원천적으로 차단하는 역할을 하여 질소 분위기 가스 사용 로의 최적화를 도모할 수 있다. The second graphite muffle may serve to block oxygen to the outside and fundamentally block nitrogen gas flowing to the outside of the first graphite muffle, thereby optimizing the nitrogen atmosphere gas furnace.

이와 같이, 제1, 2 그라파이트 머플 구조의 적용에 따라, 제1 그라파이트 머플 내부의 질소가스가 외부로 나오지 못하고, 역으로 제1 그라파이트 머플 외부에서 내부로 소량의 질소가스가 유입될 수 있어 질소가스의 사용량을 절약할 수 있다. 제1 그라파이트 머플 외부도 제2 그라파이트 머플이 설치됨에 따라 산소농도를 설정수준(예: 20ppm 등) 이하로 유지할 수 있다. As such, according to the application of the first and second graphite muffle structures, the nitrogen gas inside the first graphite muffle cannot come out, and conversely, a small amount of nitrogen gas can be introduced from the outside of the first graphite muffle to the inside. consumption can be saved. As the second graphite muffle is installed outside the first graphite muffle, the oxygen concentration can be maintained below a set level (eg, 20 ppm, etc.).

이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다. 아울러 앞서 본 발명의 실시예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.As described above, the present invention has been described with reference to the illustrated drawings, but the present invention is not limited by the embodiments and drawings disclosed in the present specification. It is obvious that variations can be made. In addition, even if the effect of the configuration of the present invention is not explicitly described and described while describing the embodiment of the present invention, it is natural that the effect predictable by the configuration should also be recognized.

100: 질소 분위기 가스 사용 로
110: 열처리로 본체
111: 상부몸체
112: 측벽몸체
113: 내부공간
115: 지지대
120: 단열부재
130: 제1 히터
140: 제2 히터
151: 샘플링가스 흡입구
161: 질소가스 투입구
200: 그라파이트 머플 구조물
210: 제1 그라파이트 머플
211: 제1 상부 그라파이트 유닛
2111: 제1 단차부
2113: 제1 돌기부
2131: 제2 단차부
2133: 제2 돌기부
212: 제1 하부 그라파이트 유닛
213: 제1 측면 그라파이트 유닛
215: 내부공간
220: 제2 그라파이트 머플
221: 제2 상부 그라파이트 유닛
222: 제2 하부 그라파이트 유닛
223: 제2 측면 그라파이트 유닛
230: 서포트부재
231: 수평결합부
233: 꺾임연장부
235: 입설부
240: 히터 받침부재
241: 제1 히터 받침부재
243: 제2 히터 받침부재
250: 샘플링가스 흡입노즐
260: 질소가스 투입노즐
100: furnace using nitrogen atmosphere gas
110: heat treatment furnace body
111: upper body
112: side wall body
113: inner space
115: support
120: insulation member
130: first heater
140: second heater
151: sampling gas inlet
161: nitrogen gas inlet
200: graphite muffle structure
210: first graphite muffle
211: first upper graphite unit
2111: first step part
2113: first protrusion
2131: second step portion
2133: second protrusion
212: first lower graphite unit
213: first side graphite unit
215: inner space
220: second graphite muffle
221: second upper graphite unit
222: second lower graphite unit
223: second side graphite unit
230: support member
231: horizontal coupling part
233: bend extension
235: standing tongue
240: heater support member
241: first heater support member
243: second heater support member
250: sampling gas suction nozzle
260: nitrogen gas input nozzle

Claims (10)

내부공간을 갖는 열처리로 본체와, 상기 내부공간을 둘러싸도록 형성된 단열부재와, 상기 내부공간에 설치되며 설정온도로 가열되는 히터를 포함하는 질소 분위기 가스 사용 로의 그라파이트 머플 구조물로서,
상기 그라파이트 머플 구조물은,
상기 단열부재의 내측에 위치하며 질소가스 분위기의 밀폐공간을 제공하고, 그라파이트 재질로 이루어진 제1 그라파이트 머플; 및
상기 제1 그라파이트 머플이 설치되는 상기 내부공간을 둘러 감싸 상기 제1 그라파이트 머플의 주변을 밀폐시키며, 그라파이트 재질로 이루어진 제2 그라파이트 머플;
을 포함하는 그라파이트 머플 구조물.
A graphite muffle structure of a nitrogen atmosphere gas furnace comprising a heat treatment furnace body having an inner space, a heat insulating member formed to surround the inner space, and a heater installed in the inner space and heated to a set temperature,
The graphite muffle structure is
a first graphite muffle located inside the heat insulating member and providing a closed space in a nitrogen gas atmosphere, and made of a graphite material; and
a second graphite muffle made of a graphite material, enclosing the inner space in which the first graphite muffle is installed and sealing the periphery of the first graphite muffle;
A graphite muffle structure comprising a.
제1항에 있어서,
상기 제1 그라파이트 머플은,
상기 내부공간의 중앙에 위치하도록 설치되며, 구역별로 분할된 복수의 그라파이트 유닛의 조립에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는
그라파이트 머플 구조물.
According to claim 1,
The first graphite muffle,
Installed so as to be located in the center of the inner space, characterized in that formed by assembling a plurality of graphite units divided by zone
Graphite muffle structure.
제2항에 있어서,
상기 제2 그라파이트 머플은,
상기 단열부재의 내부 벽면을 따라 밀착하여 배치되며, 구역별로 분할된 복수의 그라파이트 유닛의 조립에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는
그라파이트 머플 구조물.
3. The method of claim 2,
The second graphite muffle,
Disposed in close contact along the inner wall surface of the heat insulating member, characterized in that formed by assembling a plurality of graphite units divided by zone
Graphite muffle structure.
제1항에 있어서,
상기 제1 그라파이트 머플은,
상기 밀폐공간의 상부에 수평 배치되는 제1 상부 그라파이트 유닛;
상기 밀폐공간의 하부에 수평 배치되며 상기 제1 상부 그라파이트 유닛에 대응하는 길이로 마주하여 설치되는 제1 하부 그라파이트 유닛; 및
상기 제1 상부 그라파이트 유닛 및 상기 제1 하부 그라파이트 유닛의 양단을 교차하는 방향으로 조립되는 제1 측면 그라파이트 유닛;
를 포함하는 그라파이트 머플 구조물.
According to claim 1,
The first graphite muffle,
a first upper graphite unit horizontally disposed on an upper portion of the closed space;
a first lower graphite unit that is horizontally disposed in the lower portion of the closed space and is installed to face the first upper graphite unit with a length corresponding to that of the first upper graphite unit; and
a first side graphite unit assembled in a direction crossing both ends of the first upper graphite unit and the first lower graphite unit;
A graphite muffle structure comprising a.
제4항에 있어서,
상기 제1 그라파이트 머플의 조립 구조를 보강 및 지지하는 서포트부재;
를 더 포함하는 그라파이트 머플 구조물.
5. The method of claim 4,
a support member for reinforcing and supporting the assembly structure of the first graphite muffle;
A graphite muffle structure further comprising a.
제5항에 있어서,
상기 서포트부재는,
상기 제1 상부 그라파이트 유닛의 상부를 외측에서 덮어 결합되며, 그라파이트 재질로 이루어지는 수평결합부; 및
상기 수평결합부의 양측 단부로부터 하향 절곡되어 상기 제1 측면 그라파이트 유닛의 일부를 감싸 고정되며, 그라파이트 재질로 이루어지는 꺾임연장부;
를 포함하는 그라파이트 머플 구조물.
6. The method of claim 5,
The support member is
a horizontal coupling part which is coupled to cover the upper part of the first upper graphite unit from the outside, and made of a graphite material; and
a bent extension part bent downward from both ends of the horizontal coupling part to wrap around a part of the first side graphite unit and fixed, and made of a graphite material;
A graphite muffle structure comprising a.
제6항에 있어서,
상기 서포트부재는,
상기 제1 하부 그라파이트 유닛의 하부를 소정 높이 상에 위치시키도록 상기 열처리로 본체의 지지대 상부에 세워 설치되며, 그라파이트 재질로 이루어지는 입설부;
를 더 포함하는 그라파이트 머플 구조물.
7. The method of claim 6,
The support member is
a standing portion that is installed on the support of the heat treatment furnace body so as to position the lower portion of the first lower graphite unit at a predetermined height, and is made of a graphite material;
A graphite muffle structure further comprising a.
제4항에 있어서,
상기 제2 그라파이트 머플은,
상기 제1 상부 그라파이트 유닛과 일정간격을 두고 상기 단열부재에 밀착 결합되는 제2 상부 그라파이트 유닛;
상기 제2 상부 그라파이트 유닛과 일정간격을 두고 상기 단열부재에 밀착 결합되는 제2 하부 그라파이트 유닛;
상기 제2 상부 그라파이트 유닛 및 상기 제2 하부 그라파이트 유닛의 양단을 교차하는 방향으로 조립되는 제2 측면 그라파이트 유닛;
를 포함하는 그라파이트 머플 구조물.
5. The method of claim 4,
The second graphite muffle,
a second upper graphite unit closely coupled to the heat insulating member at a predetermined distance from the first upper graphite unit;
a second lower graphite unit closely coupled to the heat insulating member at a predetermined distance from the second upper graphite unit;
a second side graphite unit assembled in a direction crossing both ends of the second upper graphite unit and the second lower graphite unit;
A graphite muffle structure comprising a.
제8항에 있어서,
상기 제1 상부 그라파이트 유닛과 상기 제2 상부 그라파이트 유닛의 각각의 폭 중심을 상하로 관통하여 외부로부터 상기 밀폐공간 내부로 연통하여 형성되며, 샘플링가스 흡입구와 연결되는 샘플링가스 흡입노즐; 및
상기 제2 상부 그라파이트 유닛을 상하로 관통하여 상기 제2 그라파이트 머플의 내부까지 연통하여 형성되며, 질소가스 투입구와 연결되는 복수의 질소가스 투입노즐;을 포함하며,
상기 샘플링가스 흡입노즐과 상기 복수의 질소가스 투입노즐 각각은 그라파이트 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는
그라파이트 머플 구조물.
9. The method of claim 8,
a sampling gas suction nozzle connected to a sampling gas suction port, which is formed to communicate with the inside of the sealed space from the outside through vertical centers of widths of the first upper graphite unit and the second upper graphite unit; and
It includes; a plurality of nitrogen gas input nozzles formed by penetrating the second upper graphite unit up and down and communicating to the inside of the second graphite muffle, and connected to the nitrogen gas inlet;
Each of the sampling gas suction nozzle and the plurality of nitrogen gas input nozzles is made of a graphite material
Graphite muffle structure.
제9항에 있어서,
상기 히터는, 상기 제1 그라파이트 머플의 상부에 간격을 두고 배치되는 복수의 제1 히터와, 상기 복수의 제1 히터의 하측에 나란하게 위치하며, 상기 제1 그라파이트 머플의 하부에 간격을 두고 배치되는 복수의 제2 히터를 포함하고,
상기 제1, 2 히터의 하부 각각에는 그라파이트 재질로 이루어지는 제1, 2 히터 받침부재가 구비되는 것을 특징으로 하는
그라파이트 머플 구조물.
10. The method of claim 9,
The heater includes a plurality of first heaters disposed at intervals on the upper portion of the first graphite muffle, and a plurality of first heaters disposed side by side under the plurality of first heaters, and disposed at intervals below the first graphite muffle A plurality of second heaters being
The first and second heater support members made of graphite are provided on the lower portions of the first and second heaters, respectively.
Graphite muffle structure.
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