KR20210128646A - Bendable Piezo Actuator w/h Bump - Google Patents

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KR20210128646A
KR20210128646A KR1020200046531A KR20200046531A KR20210128646A KR 20210128646 A KR20210128646 A KR 20210128646A KR 1020200046531 A KR1020200046531 A KR 1020200046531A KR 20200046531 A KR20200046531 A KR 20200046531A KR 20210128646 A KR20210128646 A KR 20210128646A
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Abstract

The present invention relates to a bendable piezo actuator with a bump wherein an elastic body where the bump and a vibrating body fixing portion are installed is configured to be an approximate U-shape, the bump is installed at a center outside of the approximate U-shape, and the vibrating body fixing portion is configured to head for an outside of both ends of the approximate U-shape. The bendable piezo actuator with the bump is coupled to a bendable piezo element coupled to a flexible substrate connecting power into the approximate U-shape for a bending motion of the bendable piezo element to be converted into a back-and-forth motion of the bump so that a unit of the bump makes an object vibrate.

Description

돌기가 있는 벤딩형 피에조 액튜에이트{ Bendable Piezo Actuator w/h Bump }Bendable Piezo Actuator w/h Bump }

본 발명은 피에조 햅틱 액튜에이터에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 전압을 인가시 구부러지는 벤딩(Bending)형 피에조 소자를 돌기가 있는 탄성체에 결합하여 돌기부를 통해서 피가진체에 진동을 전달하여 햅틱 작용을 하게 하는 피에조 햅틱 액튜에이터에 관한 것이다. 여러 응용 사례가 있을 수 있으나 최근에 용도가 증가하고 있는 휴대폰이나, 게임기, 자동차용 등에 사용되는 진동 발생용 사례로 설명을 하고자 한다. The present invention relates to a piezo haptic actuator, and more particularly, by coupling a bending-type piezo element that is bent when a voltage is applied to an elastic body having a protrusion to transmit vibration to a vibrating body through the protrusion to perform a haptic action. It relates to a piezo haptic actuator. There may be several application cases, but we will explain with examples of vibration generation used in mobile phones, game machines, and automobiles, which are recently used for increasing use.

일반적으로 최근 통신기술 발달과 함께 대중들에게 가장 널리 보급된 것들 중에 잘 알려진 것들은 휴대폰, 게임기 등이며 이러한 기기들은 그 크기가 갈수록 작아져 휴대가 간편할 뿐만 아니라 언제 어디서나 음성 및 데이터를 입출력할 수 있기 때문에 필수 휴대품으로서 자리를 굳혀가고 있고 요즘은 공공 에티켓으로 진동 기능이 필수로 되었을 뿐 아니라 터치형으로 전화번호와 같은 데이터를 입력할 때 뿐 아니라 게임 기능에서도 총을 쏘거나 스포츠 게임에서 공을 칠 때 등의 경우에 진동을 발생시켜 게임자가 보다 실감나게 게임을 할 수 있는 기능도 제공하고 있다. 또한 최근 자동차의 전자기기 채용 확대와 터치 페널형 스크린 채용 등의 추세에 따라 자동차에도 차선 이탈 경고 신호 전달이나 터치 기기에서 햅틱 감각의 전달을 위해 진동 발생기의 채용을 확대 하고 있다. 이런 경우 보통 진동을 발생하는 모터를 채용하는데 이와 같이 다양한 경우에 진동 기능을 사용하게 됨으로써 진동 발생기의 사용 빈도가 증가하게 되어 모터에 대해 빠른 응답성과 같은 햅틱 기능의 향상과 박형화 같은 요구가 증대되고 있다. In general, with the recent development of communication technology, the well-known among the most widely distributed to the public are mobile phones and game consoles. Therefore, it is solidifying its place as an essential portable device, and these days, not only the vibration function has become essential as a public etiquette, but also when entering data such as a phone number with a touch type, as well as when shooting a gun or hitting a ball in a sports game in a game function. It also provides a function that allows gamers to play the game more realistically by generating vibrations in such cases. In addition, with the recent trend of increasing the adoption of electronic devices in automobiles and the adoption of touch panel-type screens, the adoption of vibration generators is also expanding to deliver lane departure warning signals to automobiles or to deliver haptic sensations in touch devices. In this case, a motor that generates vibration is usually employed, but as the vibration function is used in such a variety of cases, the frequency of use of the vibration generator increases, and the demand for improvement of haptic functions such as quick response to the motor and thinning is increasing. .

종래의 회전형의 진동 모터나 공진형 선형진동모터로는 회전과 정시시 관성으로 인한 느린 응답성이 햅틱감을 저하하기도 하고 진동 발생기의 장착 공간이 얇은 경우 성능 구현이 어려워 응답성이 빠르고 얇게 만들기도 쉬운 피에조 햅틱 액튜에이터의 필요성이 등장하였다.With conventional rotary vibration motors or resonant linear vibration motors, slow response due to inertia during rotation and on-time may reduce the haptic feeling, and if the mounting space of the vibration generator is thin, it is difficult to implement the performance, making the response fast and thin. The need for an easy-to-use piezo haptic actuator has emerged.

단, 본 고안의 적용 사례설명은 햅틱 진동으로 설명을 하지만 진동과 소리의 발생은 액튜에이터의 진동 주파수 영역에 따른 차이로서 고안의 동일한 내용으로 음향부문에서 사용 되는 경우를 배제하는 것은 아니다.However, although the description of the application case of the present invention is described with haptic vibration, the generation of vibration and sound is a difference according to the vibration frequency range of the actuator, so the case where the same content of the design is used in the acoustic field is not excluded.

도 1은 종래의 회전형 진동발생기의 단면도이다. 종래의 평편형 진동발생기는 크게 고정부재인 고정자와 회전 부재인 회전자로 이루어진다. 이 회전자는 권선 코일(10), 중량체(12)들을 대체로 한쪽으로 몰아 배치하므로 무게 중심이 회전 중심보다 편심되어 회전시 진동을 동반하게 되는 것이다. 이런 브러시 타입의 진동 발생기는 브러시(7a.7b)와 정류자(9)의 습동 접점에 의해 전류의 방향을 바꾸어 한 방향으로 계속 돌게 하는 것으로 습동 접점 부품의 기계적 마모를 피할 수 없어 장수명 요구에 대응할 수가 없다. 도 5의 좌측 그림처럼 브러시모터 외측에 편심 중량체 추를 다는 타입도 있으나 도 1의 회전형 진동 발생기와 같이 편심 중량체가 회전하며 진동을 발생하는 원리는 동일하다,1 is a cross-sectional view of a conventional rotary vibration generator. A conventional flat-type vibration generator is largely composed of a stator, which is a fixed member, and a rotor, which is a rotating member. Since this rotor drives the winding coil 10 and the weight 12 to one side, the center of gravity is eccentric than the center of rotation, and vibration is accompanied during rotation. This brush-type vibration generator changes the direction of the current by the sliding contact between the brush 7a.7b and the commutator 9 and keeps it rotating in one direction. none. There is also a type in which an eccentric weight is attached to the outside of the brush motor as shown in the left picture of FIG.

이와 달리 마모를 수반하는 전기적 접점이 없는 선형진동 발생기가 등장하게 되는데 선형 진동발생기로서는 일본특허공개공보 제1997-205763호에서 진동발생장치가 제안된 바 있으며, 이와 같은 유형의 고안에서 제시하는 구조는 도 2와 도 3에서 개념적으로 도시되고 있다. 도 2를 참조하여 그 작용을 살펴보면, 진동 발생장치는 케이스(212) 내부에 스프링(220)이 배치되고, 상기 스프링(220)에 결합된 요크(241), 영구자석(242) 및 평면요크(243)에 의해서 자기장(磁氣場)이 발생된다. 상기 자기장 내에 코일(230)이 배치되는데 코일(230) 한 끝단은 상기 베이스(211)의 내측 상면에 고정된다. 상기 진동 발생기는 상기 자기장의 방향과 상기 코일(230)을 따라 흐르는 전류의 방향이 수직으로 형성되어, 상기 코일(230)에 전류가 흐르면 플레밍의 왼손의 법칙에 따라 상기 자기장 방향과 전류의 방향에 모두 수직인 방향, 즉 도 2에서는 아래 또는 위로 스프링(220)에 의해 지지되는 자기장 형성부품들로 이뤄지는 진동자(241, 242, 243)가 움직이게 된다. 코일(230)에 인가되는 전류의 방향을 연속적으로 바꿔 주면 진동자는 연속적으로 상하 진동을 발생하게 된다, 이런 선형 진동 발생기는 회전형 진동발생기와 달리 습동 접점이 없으므로 내구성을 향상시킬 수 있다. On the other hand, a linear vibration generator without electrical contact accompanying wear appears. As a linear vibration generator, a vibration generator has been proposed in Japanese Patent Laid-Open No. 1997-205763, and the structure proposed in this type of design is 2 and 3 are conceptually shown. Looking at its operation with reference to FIG. 2, the vibration generating device has a spring 220 disposed inside the case 212, and a yoke 241, a permanent magnet 242 and a flat yoke coupled to the spring 220 ( 243) generates a magnetic field. A coil 230 is disposed in the magnetic field, and one end of the coil 230 is fixed to the inner upper surface of the base 211 . In the vibration generator, the direction of the magnetic field and the direction of the current flowing along the coil 230 are perpendicular to each other. The oscillators 241 , 242 , and 243 made of magnetic field forming parts supported by the spring 220 move downward or upward in both directions, that is, in FIG. 2 . If the direction of the current applied to the coil 230 is continuously changed, the vibrator continuously generates vertical vibrations. Unlike the rotary vibration generator, the linear vibration generator has no sliding contact, so durability can be improved.

이런 진동 발생기에 대비하여 보다 빠른 응답성과 보다 얇은 두께의 요구에 대응하기 위한 피에조 액튜에이터 사례를 도 4에서 소개한다. 전원을 인가하는 연성회로기판(450)을 부착한 피에조 소자(430)을 터치패드 뒷면 같은 피가진체(460)에 직접 양면테이프(440)을 이용하여 직접 결합하는 구조를 제시하고 있다. 도 5에서는 IC 생산 업체인 텍사스인스트루면트(TI)에서 기존 제품들의 주요 특징을 비교 제시하고 있는데 도 1과 같은 편심 중량체 회전형이나 도 2와 같은 공진형 선형 진동형 대비하여 벤딩형 피에조 액튜에이터 방식이 빠른 응답성과 얇은 두께 구현이 우수함을 설명하고 있다.In preparation for such a vibration generator, an example of a piezo actuator to respond to the demand for faster response and thinner thickness is introduced in FIG. 4 . A structure in which a piezo element 430 to which a flexible circuit board 450 for applying power is attached is directly coupled to a vibrating object 460 such as a rear surface of a touchpad using a double-sided tape 440 is presented. In FIG. 5, Texas Instruments (TI), an IC manufacturing company, compares and presents the main characteristics of existing products. Compared to the eccentric weight rotation type shown in FIG. 1 or the resonance type linear vibration type shown in FIG. 2, the bending type piezo actuator method It explains that this fast response and thin thickness implementation are excellent.

도 4와 같이 벤딩형 피에조 소자(430)를 양면 테이프(440)를 이용해 휴대폰, 게임기, 테블릿피시, 자동차용 터치 화면 같은 피가진체(460)에 직접 부착하여 전원을 인가하면 빠른 응답성이나 얇은 두께 구현이라는 장점에 비해서 피가진체(460)가 워낙 강성체에 가까운 구조물이라 벤딩형 피에조 소자(430)의 벤딩에 따라 피가진체(460)를 같이 벤딩 시키기가 어려워진다. 따라서, 피가진체(460) 표면에서 느끼는 진동감도 낮아지는 문제점이 있다.As shown in FIG. 4, when the bending-type piezo element 430 is directly attached to a vibrating object 460 such as a mobile phone, a game machine, a tablet PC, or a touch screen for a vehicle using a double-sided tape 440, and power is applied, a quick response is obtained. Compared to the advantage of implementing a thin thickness, since the vibrating body 460 is a structure that is very close to a rigid body, it becomes difficult to bend the vibrating body 460 together according to the bending of the bending-type piezo element 430 . Accordingly, there is a problem in that the vibration sensitivity felt on the surface of the vibrating object 460 is lowered.

본 고안은 도 6 에서 보듯이 벤딩형 피에조 소자(630)를 양면 테이프(640)를 이용하여 별도의 돌기(622)와 진동체 고정부위(621)가 설치된 탄성체(620)에 결합하고 피가진체(660)와 결합시 돌기부(622)에 예압이 걸리게 하여 눌러져서 접촉이 된 상태로 조립을 하게 하여 벤딩형 피에조 소자(630)가 벤딩을 하면 피가진체(660)를 가압 및 이완을 할 수 있게 하여 피가진체(620)의 강성과 관계없이 피가진체(620)가 왕복 진동을 할 수 있게 한다. In the present invention, as shown in FIG. 6 , the bending type piezo element 630 is coupled to an elastic body 620 in which a separate projection 622 and a vibrating body fixing part 621 are installed using a double-sided tape 640, and a vibrating body is used. When combined with the 660, a preload is applied to the protrusion 622 so that it is pressed and assembled in a contact state. This allows the vibrating body 620 to reciprocate irrespective of the rigidity of the vibrating body 620 .

도 4와 같은 종래의 벤딩형 피에조 소자(430)를 양면 테이프(440)로 피가진체에 직접 붙이는 경우 보다 피가진체(460, 660, 760)의 강성에 관계 없이 피가진체를 밀어 내는 동작으로 진동을 시켜서 진동 햅틱 효과를 더 효율 높게 전달하는 것이 가능하다. 탄성체(620, 720)가 추가로 필요하므로 두께가 조금 두꺼워지지만 여전히 편심 중량체 회전형이나 공진형 선형 진동 발생기 보다는 얇은 액튜에이터 구성이 가능하다 The operation of pushing the vibrating body irrespective of the rigidity of the vibrating body 460 , 660 , 760 than when the conventional bending-type piezo element 430 as shown in FIG. 4 is directly attached to the vibrating body with the double-sided tape 440 . It is possible to transmit the vibration haptic effect more efficiently by making it vibrate. Since the elastic body 620, 720 is additionally required, the thickness is slightly increased, but it is still possible to configure a thinner actuator than an eccentric weight rotation type or resonant linear vibration generator.

도 1은 종래의 편심 중량체 회전형 진동발생기의 측 단면을 도시한다.
도 2는 종래의 공진형 선형 진동발생기의 측 단면을 도시한다.
도 3은 종래의 공진형 선형 진동발생기의 스프링 평면도를 도시한다.
도 4는 종래의 벤딩형 피에조 액튜에어터 사례를 도시한다..
도 5는 편심 중량체 회전형 진동발생기, 선형 진동발생기, 벤딩형 피에조
액튜에어터 고안의 주요 특성을 비교한 비교표이다.
(응답성과 두께는 적색 화살표로 표시하고 있다)
도 6은 본 고안의 사례로 돌기부를 가지는 탄성체에 피에조
소자를 양면테이프로 결합하여 돌기부가 피가진체를 진동 시키는
구조를 도시하고 있다.
도 7은 본 고안의 사례로 탄성체의 각 부분의 형상을 변형한 사례를
도시한다.
도 8는 본 고안의 벤딩형 피에조 액튜에이터가 기기의 고정체에 쌍으로
예압이 걸린 상태로 조립된 사례를 예시한다.1 shows a side cross-section of a conventional eccentric weight rotating type vibration generator.
2 shows a side cross-section of a conventional resonant linear vibration generator.
3 shows a spring plan view of a conventional resonant linear vibration generator.
4 shows an example of a conventional bending-type piezo actuator.
5 is an eccentric weight body rotational vibration generator, a linear vibration generator, and a bending type piezo
This is a comparison table comparing the main characteristics of the actuator design.
(Responsiveness and thickness are indicated by red arrows)
6 is a piezoelectric body having a protrusion as an example of the present invention;
By combining the elements with double-sided tape, the protrusion vibrates the vibrating object.
structure is shown.
7 is a case in which the shape of each part of the elastic body is deformed as an example of the present invention;
show
Figure 8 is a bending-type piezo actuator of the present invention in a pair to the fixture of the device;
An example of assembly with a preload applied will be exemplified.

본 고안은 도 6 에서 보듯이 벤딩형 피에조 소자(630)를 양면 테이프(620)를 이용하여 별도의 돌기(622)와 진동체 고정부위(621)가 설치된 탄성체(620)에 결합하고 피가진체(660) 결합시 돌기부(622)와 예압을 걸어 접촉이 된 상태로 조립을 하게 하여 벤딩형 피에조 소자(630)가 벤딩을 하면 피가진체(660)를 가압 및 이완을 할 수 있게 하여 피가진체(660)가 왕복 진동을 할 수 있게 한다. 돌기(622)의 탄성체(620) 폭 방향으로 양 쪽 옆은 편평한 형태로 두고 가운데 부분만 대략 반원 형상으로 돌기(622)를 구성한 사례를 도시하고 있으나 탄성체 폭 전체를 대략 반원 형태의 돌기 형상으로 구성해도 무방하고, 진동체 고정부위(621)는 탄성체(620)에 구멍을 가진 형태를 예시하고 있는데 진동 햅틱을 필요로 하는 기기의 고정체에 나사를 사용하여 결합을 할 수 있다. 하지만 진동체 고정부위(621)을 기기의 고정체에 결합할 때 나사를 사용하는 방법으로 한정하지는 않고 틈새에 끼워 넣거나 용접이나 접착과 같은 방법도 가능하다 하겠다. In the present invention, as shown in FIG. 6 , the bending type piezo element 630 is coupled to an elastic body 620 in which a separate protrusion 622 and a vibrating body fixing part 621 are installed using a double-sided tape 620, and a vibrating body is used. (660) When the protrusion 622 and the protrusion 622 are preloaded and assembled in a contact state, when the bending-type piezo element 630 is bent, the vibrating object 660 can be pressurized and relaxed so that the vibrating body 660 can be pressed and released. It enables the sieve 660 to reciprocate. Although both sides of the protrusion 622 in the width direction of the elastic body 620 are flat and only the middle part is shown in an example in which the protrusion 622 is formed in a semicircular shape, the entire width of the elastic body is approximately semicircular. It is okay to do so, and the vibrating body fixing part 621 exemplifies a shape having a hole in the elastic body 620, but it can be coupled to a fixing body of a device requiring vibration haptics by using a screw. However, when the vibrating body fixing portion 621 is coupled to the fixing body of the device, it is not limited to a method of using a screw, but a method such as inserting it into a gap or welding or bonding is possible.

다른 변형 사례를 도 7에서 소개하자면 돌기부(722)는 반원형태가 아닌 뾰족한 형태도 가능하며 탄성체의 다리부(723)가 도 6에서는 직각인데 반해 기울어진 모양을 하고 있고 탄성체의 진동체 고정부위(721)도 한 쪽은 구멍이 아닌 슬롯 형태를 제시하고 있다. 다시 말하자면 본 고안의 취지 내라면 부품의 형태를 일부 변형하는 경우 역시 본 고안의 권리 범위를 벗어나지 못한다고 할 수 있다. To introduce another modified example in FIG. 7, the protrusion 722 may have a pointed shape rather than a semicircular shape, and the leg portion 723 of the elastic body is inclined while being at right angles in FIG. 6, and the vibrating body fixing part of the elastic body ( 721) also suggests a slot shape instead of a hole. In other words, within the spirit of the present invention, it can be said that some modifications of the shape of the parts also do not deviate from the scope of the present invention.

도 6 내지 도 7의 설명에서 언급 된 것처럼 벤딩형 피에조 소자(630, 730)이 볼록한 변형이나 오목한 변형을 하더라도 탄성체의 돌기(622,722)와 피가진체(660, 760)가 접촉한 상태를 유지하게 예압을 걸어 조립하여 사용하는 것이 중요하다. 예압을 걸어준 사례를 도 8에서 설명한다. 한 쌍의 벤딩형 피에조 액튜에이터(800)를 휴대폰, 테블릿피시, 터치식 화면 등의 기기 고정체(870) 내부의 좌우에 탄성체의 돌기부가 마주하게 배치하고 그사이에 피가진체(860)에 탄성체 돌기부와 예압된 상태로 접촉하게 조립을 하고 한 쌍의 벤딩형 피에조 액튜에이터(800)가 한 쪽의 피에조 소자가 볼록하게 될 때 다른 한 쪽은 오목하게 되고 또, 한 쪽의 피에조 소자가 오목하게 되면 다른 한 쪽은 볼록하게 되게 구동을 시키면 피가진체(860)을 좌우로 진동하게 구동을 할 수 있게 된다. As mentioned in the description of FIGS. 6 to 7 , even if the bending-type piezo elements 630 and 730 undergo convex or concave deformation, the protrusions 622 and 722 of the elastic body and the vibrating body 660 and 760 maintain contact. It is important to use it after preloading it. An example in which a preload is applied will be described with reference to FIG. 8 . A pair of bending-type piezo actuators 800 are arranged so that protrusions of an elastic body face each other on the left and right inside a device fixing body 870 such as a mobile phone, a tablet fish, and a touch screen, and the elastic body is placed on the vibrating body 860 between them. Assembled in contact with the protrusion and in a preloaded state, when the pair of bending-type piezo actuators 800 become convex on one side, the other side becomes concave, and when one piezo element becomes concave When the other side is driven to be convex, the vibrating object 860 can be driven to vibrate left and right.

도 1 관련
1 : 베이스, 3 : 케이스, 6 : 기판, 7a, 7b : 브러시, 9 : 정류자,
10 : 코일, 12 : 중량체, 16 : 영구자석
도 2 내지 도 3 관련
211 : 베이스 어셈블리, 212 : 케이스, 220 : 스프링,
230 : 코일, 241 : 요크, 242 : 영구자석, 243 : 평면요크,
도 4 관련
400 종래의 벤딩형 피에조 액튜에이터, 430 피에조 소자, 440 양면테이프,
450 : 연성회로기판, 460 : 피가진체
도 6 내지 도 7 관련
600, 700 : 돌기부를 가진 탄성체에 피에조 소자가 결합된 액튜에이트
620, 720 : 탄성체, 621, 721 탄성체의 진동체 고정부위,
622, 722 : 탄성체의 돌기, 623,723 : 탄성체의 다리부,
630, 730 : 피에조 소자, 640, 740 양면테이프 650, 750 : 연성회로기판, 660, 760 피가진체
도 8 관련
800 : 돌기부를 가진 탄성체에 피에조 소자가 결합된 액튜에이트
860 : 피가진체, 870 : 기기의 고정부1 related
1: base, 3: case, 6: substrate, 7a, 7b: brush, 9: commutator,
10: coil, 12: heavy body, 16: permanent magnet
2 to 3 related
211: base assembly, 212: case, 220: spring,
230: coil, 241: yoke, 242: permanent magnet, 243: flat yoke,
4 related
400 conventional bending type piezo actuator, 430 piezo element, 440 double-sided tape,
450: flexible circuit board, 460: vibrating body
6 to 7 related
600, 700: Actuate in which a piezo element is coupled to an elastic body having a protrusion
620, 720: elastic body, 621, 721 vibrating body fixing part of the elastic body,
622, 722: protrusion of an elastic body, 623, 723: leg portion of an elastic body,
630, 730: piezo element, 640, 740 double-sided tape 650, 750: flexible circuit board, 660, 760 vibrating body
8 related
800: Actuate in which a piezo element is coupled to an elastic body having a protrusion
860: moving object, 870: fixing part of the device

Claims (5)

돌기와 진동체 고정부위가 설치된 탄성체가 대략 “ㄷ”자 형상으로 구성이 되고 돌기는 대략 “ㄷ”자의 중앙 바깥 쪽으로 설치되며 진동체 고정부는 대략 “ㄷ”자 양 끝의 바깥으로 향하게 구성하고, 대략 “ㄷ”자 안쪽에 전원을 연결하는 연성 기판이 결합된 벤딩형 피에조 소자를 결합하여 피에조 소자의 벤딩형 움직임을 돌기의 전진/후진 왕복운동으로 전환되게 하여 상기 돌기부가 피가진체를 진동하게 하는 탄성체와 결합된 벤딩형 피에조 액튜에이터
The elastic body with the protrusion and the vibrating body fixing part is installed in an approximately “c” shape, the protrusion is installed out of the center of the “c” shape, and the vibrating body fixing part is configured to face outward at both ends of the “c” shape, approximately By combining a bending-type piezo element coupled with a flexible substrate connecting power to the inside of the “c” shape, the bending-type movement of the piezo element is converted into forward/backward reciprocating motion of the protrusion so that the protrusion vibrates the vibrating body. Bending type piezo actuator combined with an elastic body
 제 1항에서 있어서 연성 기판이 결합된 벤딩형 피에조 소자를 탄성체에 결합시 연성이 있는 양면테이프 또는 접착제를 사용한 벤딩형 피에조 액튜에이터
[Claim 2] The bending-type piezo actuator according to claim 1, wherein a flexible double-sided tape or adhesive is used when the bending-type piezo element to which the flexible substrate is bonded is bonded to the elastic body.
 제 1항 내지 제 2항에 있어서 탄성체의 진동체 고정부는 구멍 내지 슬롯을 포함하는 벤딩형 피에조 액튜에이터 The bending-type piezo actuator according to claim 1 or 2, wherein the vibrating body fixing portion of the elastic body includes a hole or a slot. 제 1항 내지 제 3항에 있어서 탄성체의 돌기부는 탄성체 폭 만큼 전부 돌기 형상이거나 일부는 편평하고 일부만 돌기 형상이며 피에조 소자가 돌기 쪽으로 오목 형상이 되어도 돌기가 돌출되는 크기의 돌출 높이를 가지는 '돌기가 있는 벤딩형 피에조 액튜에이터' [4] The protrusion according to claim 1, wherein the protrusion of the elastic body has a protrusion shape as much as the width of the elastic body, or a part flat and only a protrusion shape. Bending type piezo actuator with 제 1항 내지 제 4항에 있어서 '돌기가 있는 탄성체와 결합된 벤딩형 피에조 액튜에이터'를 대칭형상으로 마주 보게 배치를 하고 기기에 조립시 돌기가 예압이 걸리게 조립을 하고 한 쪽이 오목형상으로 변형 되면 다른 쪽은 볼록 형상이 되어 피가진체를 밀고 당기게 진동 시키는 '돌기가 있는 탄성체와 결합된 벤딩형 피에조 액튜에이터' 조립 방법

[Claim 5] The 'bending-type piezo actuator combined with an elastic body with protrusions' according to claim 1 to 4, arranged to face each other in a symmetrical shape, and assembled so that a preload is applied to the protrusion when assembling the device, and one side is deformed into a concave shape. Assembly method of 'bending-type piezo actuator combined with an elastic body with protrusions' that becomes convex on the other side and vibrates to push and pull the vibrating body
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN114337372A (en) * 2022-02-21 2022-04-12 上海声动微科技有限公司 MEMS energy collector and manufacturing method thereof

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