KR20210128107A - Radio frequency generator with dual outputs - Google Patents

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주식회사 뉴파워 프라즈마
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Abstract

The present invention relates to a radio frequency generator with dual outputs. In accordance with the present invention, the radio frequency generator with the dual outputs comprises: a DC/DC converter configured to convert a first DC voltage into a second DC voltage; a radio frequency amplification unit configured to amplify the second DC voltage and output first and second radio frequency amplification signals; a combiner configured to combine the first and the second radio frequency amplification signals, and output a radio frequency power signal; a radio frequency sensor placed on an output-side electrode of the combiner and configured to detect an electric signal and to output an electric detection signal; a controller configured to output a plurality of control signals by using a control signal applied from outside and the electric detection signal; and a switch placed between the combiner and a plasma chamber to be controlled by a switching control signal outputted by the controller and to output the radio frequency power signal as a plurality of radio frequency output signals. Therefore, it is possible to greatly reduce manufacturing costs.

Description

이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터{RADIO FREQUENCY GENERATOR WITH DUAL OUTPUTS}RADIO FREQUENCY GENERATOR WITH DUAL OUTPUTS

본 발명은 무선 주파수 제너레이터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터에 관한 것이다.The present invention relates to a radio frequency generator, and more particularly to a radio frequency generator with dual outputs.

플라스마 에칭(plasma etching)은 예를 들면 반도체 제조에서 빈번히 사용된다. 플라스마 에칭에서, 기판 상에 노출된 표면들을 에칭하기 위하여 전계(electric field)에 의해 가속된다. 전계는 무선 주파수 파워 시스템의 무선 주파수 발생기에 의해 발생되는 무선 주파수 파워 신호들에 따라 발생된다. 무선 주파수 발생기에 의해 발생되는 무선 주파수 파워 신호들은 플라스마 에칭을 효율적으로 실행하도록 정밀하게 제어된다.Plasma etching is frequently used, for example, in semiconductor manufacturing. In plasma etching, it is accelerated by an electric field to etch exposed surfaces on a substrate. An electric field is generated according to radio frequency power signals generated by a radio frequency generator of the radio frequency power system. The radio frequency power signals generated by the radio frequency generator are precisely controlled to efficiently effect plasma etching.

무선 주파수 파워 시스템은 무선 주파수 발생기, 매칭 네트워크(matching network), 및 플라스마 챔버와 같은 부하(load)를 포함할 수 있다. 무선 주파수 파워 신호들은 집적회로(IC)들, 태양 전지들판, 콤팩트 디스크(CD)들, 및/또는 디지털 다기능(또는 비디오) 디스크(DVD)들을 포함하나 이에 한정되지 않는, 다양한 부품들을 제조하기 위하여 부하를 구동하도록 사용된다. 부하는 광대역 미스매치 부하들(broadband mismatched loads, 예를들면, 미스매치 저항기 종단), 협대역 미스매치 부하들(예를 들면, 2-소자 매칭 네트워크), 및 공진기(resonator) 부하들을 갖는 케이블들을 포함할 수 있다.A radio frequency power system may include a radio frequency generator, a matching network, and a load such as a plasma chamber. Radio frequency power signals are used to manufacture various components including, but not limited to, integrated circuits (ICs), solar panels, compact discs (CDs), and/or digital versatile (or video) discs (DVDs). used to drive the load. The load may include cables with broadband mismatched loads (eg, mismatched resistor termination), narrowband mismatched loads (eg, two-element matching network), and resonator loads. may include

무선 주파수 파워 신호들은 매칭 네트워크에서 수신된다. 매칭 네트워크는 매칭 네트워크의 입력 임피던스를 무선 주파수 발생기와 매칭 네트워크 사이의 전송 라인의 특징적인 임피던스에 매칭한다. 임피던스 매칭은 순방향으로 플라스마 챔버를 향하여("순방향 파워") 매칭 네트워크에 적용되고 다시 매칭 네트워크로부터 무선 주파수 발생기로 반사되는 파워의 양을 최소화하는데 도움을 주며, 임피던스 매칭은 또한 매칭 네트워크로부터 플라스마 챔버로 순방향 파워 출력을 최대화하는데 도움을 준다.Radio frequency power signals are received in a matching network. The matching network matches the input impedance of the matching network to the characteristic impedance of the transmission line between the radio frequency generator and the matching network. Impedance matching helps to minimize the amount of power applied to the matching network in a forward direction towards the plasma chamber (“forward power”) and reflected back from the matching network to the radio frequency generator, and impedance matching is also applied from the matching network to the plasma chamber. Helps maximize forward power output.

도 1은 종래기술에 따른 플라즈마 부하(7)에 공급하기 위해 플라즈마 전력 레벨을 생성하는 무선 주파수 플라즈마 공급 장치를 도시한다. 1 shows a radio frequency plasma supply device for generating plasma power levels for supplying a plasma load 7 according to the prior art.

종래기술에 따른 무선 주파수 플라즈마 공급 장치는 AC-DC 변환부(1), 제1 무선 주파수 발생부(2), 제2 무선 주파수 발생부(3), 컴바이너(4), 무선 주파수 센서(5), 및 콘트롤러(6)를 포함한다.The radio frequency plasma supply device according to the prior art is an AC-DC converter (1), a first radio frequency generator (2), a second radio frequency generator (3), a combiner (4), a radio frequency sensor ( 5), and a controller 6 .

AC-DC 변환부(1)는 상용의 교류 전압을 소정 레벨의 직류 전압으로 변환한다.The AC-DC converter 1 converts a commercial AC voltage into a DC voltage of a predetermined level.

제1 무선 주파수 발생부(2) 및 제2 무선 주파수 발생부(3)는 각각 AC-DC 변환부(1)로부터 출력되는 직류 전압을 이용하여 무선 주파수 신호를 발생한다.The first radio frequency generating unit 2 and the second radio frequency generating unit 3 each generate radio frequency signals using the DC voltage output from the AC-DC converter 1 .

컴바이너(4)는 제1 무선 주파수 발생부(2) 및 제2 무선 주파수 발생부(3)로부터 출력되는 무선 주파수 신호를 결합한다.The combiner 4 combines the radio frequency signals output from the first radio frequency generator 2 and the second radio frequency generator 3 .

무선 주파수 센서(5)는 컴바이너(4)로부터 플라즈마 부하(7)로 출력되는 순방향 무선 주파수 신호나 플라즈마 부하(7)로부터 컴바이너(4)로 출력되는 역방향의 무선 주파수 신호를 검출한다.The radio frequency sensor 5 detects a forward radio frequency signal output from the combiner 4 to the plasma load 7 or a reverse radio frequency signal output from the plasma load 7 to the combiner 4 . .

콘트롤러(6)는 무선 주파수 센서(5)로부터 출력되는 검출신호를 이용하여 AC-DC 변환부(1), 제1 무선 주파수 발생부(2), 제2 무선 주파수 발생부(3)를 제어하기 위한 제어 신호를 생성한다.The controller 6 uses the detection signal output from the radio frequency sensor 5 to control the AC-DC converter 1, the first radio frequency generator 2, and the second radio frequency generator 3 to generate a control signal for

한편 도 1에 도시된 바와 같이, 종래기술의 무선 주파수 플라즈마 공급 장치는 부하인 플라즈마 챔버에 플라즈마를 공급하는 경우, 플라즈마 챔버의 일측 전극에만 무선 주파수 파워를 공급하고, 플라즈마 챔버의 타측은 접지측과 연결되는 구조이다. 그런데 공정기술의 첨단화로 플라즈마 챔버 내에 다양한 크기의 플라즈마를 발생시키려는 요구가 있다. 그래서 종래의 다른 기술에 따르면, 플라즈마 챔버의 상측 전극과 하측 전극에 두개의 무선 주파수 플라즈마 공급 장치를 사용하여 개별적으로 무선 주파수 파워를 공급하기도 한다.On the other hand, as shown in FIG. 1, the prior art radio frequency plasma supply device supplies radio frequency power to only one electrode of the plasma chamber when supplying plasma to the plasma chamber as a load, and the other side of the plasma chamber is connected to the ground side and the ground side. It is a connected structure. However, there is a demand for generating plasma of various sizes in the plasma chamber with the advancement of process technology. So, according to another conventional technique, two radio frequency plasma supply devices are used to separately supply radio frequency power to the upper electrode and the lower electrode of the plasma chamber.

한국등록특허 10-0842243 RF 플라즈마 공급 장치의 전력 출력 제어 또는 조정 방법 및 RF 플라즈마 공급 장치Korean Patent Registration No. 10-0842243 Method for controlling or adjusting power output of RF plasma supply device and RF plasma supply device

이에 본 발명은 플라즈마 챔버의 양단에 무선 주파수 파워 신호를 공급할 수 있는 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터를 제공함에 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a radio frequency generator having a dual output capable of supplying a radio frequency power signal to both ends of a plasma chamber.

또한, 본 발명은 하나의 제너레이터로 두 개의 무선 주파수 파워 신호를 제공할 수 있는 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터를 제공함에 다른 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a radio frequency generator having dual outputs capable of providing two radio frequency power signals with one generator.

또한, 본 발명은 두 개의 무선 주파수 파워 신호를 선택적으로 제공함으로써 플라즈마 챔버 내에 발생하는 플라즈마를 정교하게 제어할 수 있는 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터를 제공함에 또 다른 목적이 있다. Another object of the present invention is to provide a radio frequency generator having dual outputs capable of precisely controlling plasma generated in a plasma chamber by selectively providing two radio frequency power signals.

본원의 제1 발명에 따른 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터는, 전압 제어 신호에 제어되어 제1 직류 전압을 제2 직류 전압으로 변환하도록 구성된 DC/DC 컨버터; 상기 제2 직류 전압을 증폭하여 제1 무선 주파수 증폭 신호를 출력하도록 구성된 제1 무선 주파수 증폭기; 상기 제2 직류 전압을 증폭하여 제2 무선 주파수 증폭 신호를 출력하도록 구성된 제2 무선 주파수 증폭기; 상기 제1 무선 주파수 증폭 신호와 상기 제2 무선 주파수 증폭 신호를 결합하여 무선 주파수 파워 신호를 출력하도록 구성된 컴바이너; 상기 컴바이너의 출력측 전극에 배치되고, 전기적 신호를 검출하여 전기적 검출 신호를 출력하도록 구성된 무선 주파수 센서; 외부에서 인가되는 컨트롤 신호와 상기 전기적 검출 신호를 이용하여 복수의 제어 신호를 출력하도록 구성된 컨트롤러; 및 상기 컴바이너와 플라즈마 챔버 사이에 배치되고, 상기 컨트롤러로부터 출력되는 스위칭 제어 신호에 제어되어 상기 무선 주파수 파워 신호를 복수의 무선 주파수 파워 출력 신호로 출력하도록 구성된 스위치를 포함한다.A radio frequency generator with dual outputs according to the first invention of the present application includes: a DC/DC converter controlled by a voltage control signal to convert a first DC voltage into a second DC voltage; a first radio frequency amplifier configured to amplify the second DC voltage to output a first radio frequency amplified signal; a second radio frequency amplifier configured to amplify the second direct voltage to output a second radio frequency amplified signal; a combiner configured to combine the first radio frequency amplified signal and the second radio frequency amplified signal to output a radio frequency power signal; a radio frequency sensor disposed on an output-side electrode of the combiner and configured to detect an electrical signal and output an electrical detection signal; a controller configured to output a plurality of control signals using an externally applied control signal and the electrical detection signal; and a switch disposed between the combiner and the plasma chamber and controlled by a switching control signal output from the controller to output the radio frequency power signal as a plurality of radio frequency power output signals.

바람직하게는, 상기 스위치는 릴레이로 구현되고, 상기 스위치를 통해 출력되는 상기 무선 주파수 파워 출력 신호는 상기 플라즈마 챔버의 상측 전극 또는 하측 전극에 번갈아 출력될 수 있다.Preferably, the switch is implemented as a relay, and the radio frequency power output signal output through the switch may be alternately output to an upper electrode or a lower electrode of the plasma chamber.

바람직하게는, 상기 복수의 무선 주파수 파워 출력 신호 중 제1 무선 주파수 파워 출력 신호는 상기 플라즈마 챔버의 상측 전극에 출력되고, 상기 복수의 무선 주파수 파워 출력 신호 중 제2 무선 주파수 파워 출력 신호는 상기 플라즈마 챔버의 하측 전극에 출력되되, 상기 제1 및 제2 무선 주파수 파워 출력 신호는 주기적 또는 비주기적으로 출력될 수 있다. Preferably, a first radio frequency power output signal of the plurality of radio frequency power output signals is output to an upper electrode of the plasma chamber, and a second radio frequency power output signal of the plurality of radio frequency power output signals is the plasma Doedoe output to the lower electrode of the chamber, the first and second radio frequency power output signals may be output periodically or aperiodically.

바람직하게는, 상기 스위치는 전자적 스위치로 구현되고, 상기 스위치를 통해 출력되는 상기 무선 주파수 파워 출력 신호는 상기 플라즈마 챔버의 상측 전극 또는 하측 전극에 번갈아 출력될 수 있다. Preferably, the switch is implemented as an electronic switch, and the radio frequency power output signal output through the switch may be alternately output to an upper electrode or a lower electrode of the plasma chamber.

바람직하게는, 상기 복수의 무선 주파수 파워 출력 신호 중 제1 무선 주파수 파워 출력 신호는 상기 플라즈마 챔버의 상측 전극에 출력되고, 상기 복수의 무선 주파수 파워 출력 신호 중 제2 무선 주파수 파워 출력 신호는 상기 플라즈마 챔버의 하측 전극에 출력되되, 상기 제1 및 제2 무선 주파수 파워 출력 신호는 주기적 또는 비주기적으로 출력될 수 있다.Preferably, a first radio frequency power output signal of the plurality of radio frequency power output signals is output to an upper electrode of the plasma chamber, and a second radio frequency power output signal of the plurality of radio frequency power output signals is the plasma Doedoe output to the lower electrode of the chamber, the first and second radio frequency power output signals may be output periodically or aperiodically.

또한, 본원의 제2 발명에 따른 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터는, 제1 직류 전압을 제2 직류 전압으로 변환하도록 구성된 DC/DC 컨버터; 상기 제2 직류 전압을 증폭하여 제1 및 제2 무선 주파수 증폭 신호를 출력하도록 구성된 무선 주파수 증폭부; 상기 제1 무선 주파수 증폭 신호와 상기 제2 무선 주파수 증폭 신호를 결합하여 무선 주파수 파워 신호를 출력하도록 구성된 컴바이너; 상기 컴바이너의 출력측 전극에 배치되고, 전기적 신호를 검출하여 전기적 검출 신호를 출력하도록 구성된 무선 주파수 센서; 외부에서 인가되는 컨트롤 신호와 상기 전기적 검출 신호를 이용하여 복수의 제어 신호를 출력하도록 구성된 컨트롤러; 및 상기 컴바이너와 플라즈마 챔버 사이에 배치되고, 상기 컨트롤러로부터 출력되는 스위칭 제어 신호에 제어되어 상기 무선 주파수 파워 신호를 복수의 무선 주파수 파워 출력 신호로 출력하도록 구성된 스위치를 포함한다. In addition, the radio frequency generator with dual output according to the second invention of the present application, a DC/DC converter configured to convert a first DC voltage into a second DC voltage; a radio frequency amplifier configured to amplify the second DC voltage to output first and second radio frequency amplified signals; a combiner configured to combine the first radio frequency amplified signal and the second radio frequency amplified signal to output a radio frequency power signal; a radio frequency sensor disposed on an output-side electrode of the combiner and configured to detect an electrical signal and output an electrical detection signal; a controller configured to output a plurality of control signals using an externally applied control signal and the electrical detection signal; and a switch disposed between the combiner and the plasma chamber and controlled by a switching control signal output from the controller to output the radio frequency power signal as a plurality of radio frequency power output signals.

바람직하게는, 상기 스위치는 기계적 스위치 또는 전자적 스위치로 구현되고, 상기 스위치를 통해 출력되는 상기 무선 주파수 파워 출력 신호는 상기 플라즈마 챔버의 상측 전극 또는 하측 전극에 번갈아 출력될 수 있다.Preferably, the switch is implemented as a mechanical switch or an electronic switch, and the radio frequency power output signal output through the switch may be alternately output to an upper electrode or a lower electrode of the plasma chamber.

본 발명의 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터에 따르면, 플라즈마 챔버의 양측 전극에 무선 주파수 파워 신호를 공급할 수 있고, 하나의 제너레이터로 두 개의 무선 주파수 파워 신호를 제공할 수 있으며, 두 개의 무선 주파수 파워 신호를 선택적으로 제공함으로써 플라즈마 챔버 내에 발생하는 플라즈마를 정교하게 제어할 수 있다. 또한, 하나의 제너레이터로 두 개의 무선 주파수 파워 신호를 제공함으로써 제너레이터의 크기를 대폭 축소할 수 있고 이에 따라 제조 비용을 대폭 절감할 수 있다.According to the radio frequency generator with dual output of the present invention, it is possible to supply radio frequency power signals to both electrodes of the plasma chamber, and one generator can provide two radio frequency power signals, and two radio frequency power signals By selectively providing , it is possible to precisely control the plasma generated in the plasma chamber. In addition, by providing two radio frequency power signals with one generator, the size of the generator can be greatly reduced, thereby significantly reducing the manufacturing cost.

도 1은 종래기술에 따른 무선 주파수 플라즈마 공급 장치 블럭도,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터 블럭도, 및
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터의 이중 출력 파형도이다.
1 is a block diagram of a radio frequency plasma supply device according to the prior art;
2 is a block diagram of a radio frequency generator with dual outputs in accordance with an embodiment of the present invention;
3 is a dual output waveform diagram of a radio frequency generator having dual outputs according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 추가적인 목적들, 특징들 및 장점들은 다음의 상세한 설명 및 첨부도면으로부터 보다 명료하게 이해될 수 있다.Additional objects, features and advantages of the present invention may be more clearly understood from the following detailed description and accompanying drawings.

본 발명의 상세한 설명에 앞서, 본 발명은 다양한 변경을 도모할 수 있고, 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는바, 아래에서 설명되고 도면에 도시된 예시들은 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Prior to the detailed description of the present invention, the present invention can make various changes and can have various embodiments, and the examples described below and shown in the drawings are not intended to limit the present invention to specific embodiments. No, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.When a component is referred to as being “connected” or “connected” to another component, it is understood that the other component may be directly connected or connected to the other component, but other components may exist in between. it should be On the other hand, when it is said that a certain element is "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that no other element is present in the middle.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도는 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used herein are used only to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, terms such as "comprises" or "have" are intended to designate that the features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification exist, but one or more other features It should be understood that this does not preclude the existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

또한, 명세서에 기재된 "...부", "...유닛", "...모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.In addition, terms such as "...unit", "...unit", "...module", etc. described in the specification mean a unit that processes at least one function or operation, which includes hardware or software or hardware and It can be implemented by a combination of software.

또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.In addition, in the description with reference to the accompanying drawings, the same components are given the same reference numerals regardless of the reference numerals, and the overlapping description thereof will be omitted. In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known technology may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

또한, 본원 명세서 전체에서, 어떤 단계가 다른 단계와 "상에"또는 "전에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 단계가 다른 단계와 직접적 시계열적인 관계에 있는 경우 뿐만 아니라, 각 단계 후의 혼합하는 단계와 같이 두 단계의 순서에 시계열적 순서가 바뀔 수 있는 간접적 시계열적 관계에 있는 경우와 동일한 권리를 포함한다.In addition, throughout this specification, when a step is located “on” or “before” another step, this means not only a case in which a step is in a direct time-series relationship with another step, but also a step of mixing after each step and Likewise, the order of two stages includes the same rights as in the case of an indirect time series relationship in which the time series order can be changed.

이하에서는 본 발명의 일실시예에 따른 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터에 대하여 구체적으로 설명하기로 한다.Hereinafter, a radio frequency generator having a dual output according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터 블럭도이다.2 is a block diagram of a radio frequency generator with dual outputs according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일실시예에 따른 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터는 EMI 필터(203), 정류기(205), DC/DC 컨버터(210), 보조 DC/DC 컨버터(215), 팬(220), 평활부(223), 무선 주파수 변환부(227), 결합용 변압부(237), 공진부(247), 컴바이너(255), 무선 주파수 센서(265), 컨트롤러(270) 및 스위치(275)를 포함한다. A radio frequency generator with dual outputs according to an embodiment of the present invention includes an EMI filter 203 , a rectifier 205 , a DC/DC converter 210 , an auxiliary DC/DC converter 215 , a fan 220 , and a smoothing device. Unit 223, radio frequency converter 227, coupling transformer 237, resonator 247, combiner 255, radio frequency sensor 265, controller 270 and switch 275 includes

EMI 필터(203)는 입력되는 3상 상용 전원에 포함된 전자기파의 노이즈를 차폐하는 기능을 담당한다.The EMI filter 203 is responsible for shielding the noise of electromagnetic waves included in the input three-phase commercial power.

정류기(205)는 EMI 필터(203)로부터 출력되는 3상 전압을 직류 전압으로 정류하여 출력한다.The rectifier 205 rectifies the three-phase voltage output from the EMI filter 203 into a DC voltage and outputs the rectified voltage.

DC/DC 컨버터(210)는 컨트롤러(270)로부터 출력되는 전압 제어 신호(Vcon)에 제어되어 정류기(205)로부터 출력되는 직류 전압을 제2 직류 전압으로 변환한다. 여기서, 제2 직류 전압은 다양한 레벨의 전압일 수 있다.The DC/DC converter 210 is controlled by the voltage control signal Vcon output from the controller 270 to convert the DC voltage output from the rectifier 205 into a second DC voltage. Here, the second DC voltage may be voltages of various levels.

보조 DC/DC 컨버터(215)는 정류기(205)로부터 출력되는 직류 전압을 보조 전원용 직류 전압으로 변환하고, 팬(220), DC/DC 컨버터(210), 및 컨트롤러(270)에 공급한다. The auxiliary DC/DC converter 215 converts the DC voltage output from the rectifier 205 into a DC voltage for auxiliary power and supplies it to the fan 220 , the DC/DC converter 210 , and the controller 270 .

평활부(223)는 DC/DC 컨버터(210)로부터 출력되는 직류 전압을 평활화한다.The smoothing unit 223 smoothes the DC voltage output from the DC/DC converter 210 .

무선 주파수 변환부(227)는 DC-DC 컨버터(210)로부터 출력되는 소정 레벨의 직류 전압을 증폭하여 펄스 파형의 무선 주파수 변환 신호를 생성한다. 무선 주파수 변환부(227)는 다양한 부하 조건에 따른 전압 및 주파수를 생성하기 위하여 2개 이상의 무선 주파수 변환기를 병렬 운전할 수 있다. The radio frequency converter 227 amplifies a DC voltage of a predetermined level output from the DC-DC converter 210 to generate a radio frequency converted signal of a pulse waveform. The radio frequency converter 227 may operate two or more radio frequency converters in parallel to generate voltages and frequencies according to various load conditions.

본 발명의 일실시예에 따르면, 무선 주파수 변환부(227)는 2개의 제1 및 제2 무선 주파수 변환기(225, 235)를 포함한다. 제1 무선 주파수 변환기(225)는 컨트롤러(270)로부터 출력되는 제1 변환 제어 신호(Pcon1)에 제어되어 제1 무선 주파수 변환 신호(v1)를 출력하고, 제2 무선 주파수 변환기(235)는 제2 변환 제어 신호(Pcon2)에 제어되어 제2 무선 주파수 변환 신호(v2)를 출력한다. 제1 무선 주파수 변환 신호(v1)와 제2 무선 주파수 변환 신호(v2)의 위상은 상호 같거나 다를 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the radio frequency converter 227 includes two first and second radio frequency converters (225, 235). The first radio frequency converter 225 is controlled by the first converted control signal Pcon1 output from the controller 270 to output the first radio frequency converted signal v1, and the second radio frequency converter 235 is the second 2 is controlled by the converted control signal Pcon2 to output the second radio frequency converted signal v2. The phases of the first radio frequency converted signal v1 and the second radio frequency converted signal v2 may be the same as or different from each other.

결합용 변압부(237)는 제1 결합용 변압기(230) 및 제2 결합용 변압기(240)를 포함한다. 제1 결합용 변압기(230)는 제1 무선 주파수 변환기(225)로부터 출력되는 펄스 파형의 무선 주파수 변환 신호를 2차측에 유도하며, 제2 결합용 변압기(240)는 제2 무선 주파수 변환기(235)로부터 출력되는 펄스 파형의 무선 주파수 변환 신호를 2차측에 유도한다. 결합용 변압부(237)는 1차측과 2차측을 전기적으로 절연함으로써 사용자가 플라즈마 챔버를 접촉하는 경우 감전사고를 예방할 수 있다.Combination transformer 237 includes a first coupling transformer 230 and a second coupling transformer 240 . The first combining transformer 230 induces the radio frequency converted signal of the pulse waveform output from the first radio frequency converter 225 to the secondary side, and the second combining transformer 240 is the second radio frequency converter 235 . ) to induce the radio frequency converted signal of the pulse waveform output from the secondary side. The coupling transformer 237 electrically insulates the primary side and the secondary side, thereby preventing an electric shock accident when the user touches the plasma chamber.

공진부(247)는 제1 및 제2 공진기(245, 250)를 포함하고, 제1 및 제2 공진기(245, 250) 각각은 직병렬로 결합된 인덕터와 캐패시터를 구비하고, 결합용 변압부(237)의 2차측에 유도된 무선 주파수 변환 신호를 이용하여 소정의 공진 주파수를 가진 사인 파형의 무선 주파수 증폭 신호를 출력한다. 여기서, 제1 공진기(245)는 제1 무선 주파수 증폭 신호(vR1)를 출력하고, 제2 공진기(250)는 제2 무선 주파수 증폭 신호(vR2)를 출력한다. The resonator 247 includes first and second resonators 245 and 250 , and each of the first and second resonators 245 and 250 includes an inductor and a capacitor coupled in series and parallel, and a transformer for coupling. By using the radio frequency conversion signal induced on the secondary side of (237), a sine wave radio frequency amplified signal having a predetermined resonant frequency is output. Here, the first resonator 245 outputs the first radio frequency amplified signal vR1, and the second resonator 250 outputs the second radio frequency amplified signal vR2.

한편, 제1 무선 주파수 증폭 신호(vR1)의 위상과 제2 무선 주파수 증폭 신호(vR2)의 위상은 상호 같거나 다를 수 있다. 여기서, 제1 무선 주파수 증폭 신호(vR1)의 위상과 제2 무선 주파수 증폭 신호(vR2)의 위상이 다르다는 것은 제1 무선 주파수 증폭 신호(vR1)의 위상과 대비하여 제2 무선 주파수 증폭 신호(vR2)의 위상이 뒤지거나 앞선다는 것을 의미한다. 일실시예에 따르면, 무선 주파수 증폭 신호의 공진 주파수는 13.56MHz일 수 있다.Meanwhile, the phase of the first radio frequency amplified signal vR1 and the phase of the second radio frequency amplified signal vR2 may be the same as or different from each other. Here, the difference in the phase of the first radio frequency amplified signal vR1 and the second radio frequency amplified signal vR2 means that the phase of the first radio frequency amplified signal vR1 is different from that of the second radio frequency amplified signal vR2. ) means that it is behind or ahead of the phase. According to an embodiment, the resonant frequency of the radio frequency amplified signal may be 13.56 MHz.

한편, 본 발명의 일실시예에 따른 무선 주파수 증폭부는, 무선 주파수 변환부(227), 결합용 변압부(237), 공진부(247)를 포함할 수 있다. 또한, 무선 주파수 증폭부는 제1 및 제2 무선 주파수 증폭기를 포함할 수 있다. 즉, 제1 무선 주파수 증폭기는 제1 무선 주파수 변환기(225), 제1 결합용 변압기(230), 제1 공진기(245)를 이용하여 구성하며, 제2 무선 주파수 증폭기는 제2 무선 주파수 변환기(235), 제2 결합용 변압기(240), 제2 공진기(250)를 이용하여 구성한다. 또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 무선 주파수 증폭부는, 도시되지는 않았지만, 변압기를 사용하지 않고 직류 전압으로부터 무선 주파수 증폭 신호를 생성하는 리니어 방식 증폭기로 구현될 수 있다.Meanwhile, the radio frequency amplification unit according to an embodiment of the present invention may include a radio frequency conversion unit 227 , a coupling transformer 237 , and a resonance unit 247 . Also, the radio frequency amplifier may include first and second radio frequency amplifiers. That is, the first radio frequency amplifier is configured by using a first radio frequency converter 225 , a first coupling transformer 230 , and a first resonator 245 , and the second radio frequency amplifier is a second radio frequency converter ( 235), a second coupling transformer 240, and a second resonator 250 are used. In addition, although not shown, the radio frequency amplifier according to another embodiment of the present invention may be implemented as a linear amplifier that generates a radio frequency amplified signal from a DC voltage without using a transformer.

컴바이너(255)는 3dB 커플러로 구성될 수 있다. 컴바이너(255)는 제1 무선 주파수 증폭 신호(vR1)와 제2 무선 주파수 증폭 신호(vR2)를 결합하여 무선 주파수 파워 신호(vR_pwr)를 출력한다. 제1 무선 주파수 증폭 신호(vR1)의 위상이 제2 무선 주파수 증폭 신호(vR2)의 위상보다 90도 앞서면, 무선 주파수 파워 신호(vR_pwr)는 부하측 터미널(미도시)로 거의 대부분 출력될 수 있다. 제1 무선 주파수 증폭 신호(vR1)의 위상이 제2 무선 주파수 증폭 신호(vR2)의 위상보다 90도 뒤지면, 무선 주파수 파워 신호(vR_pwr)는 종단 터미널(미도시)로 거의 대부분 출력될 수 있다. 그리고 제1 무선 주파수 증폭 신호(vR1)의 위상과 제2 무선 주파수 증폭 신호(vR2)의 위상이 동일하면, 무선 주파수 파워 신호(vR_pwr)는 부하측 터미널과 종단 터미널로 절반씩 출력될 수 있다. The combiner 255 may be configured as a 3dB coupler. The combiner 255 outputs a radio frequency power signal vR_pwr by combining the first radio frequency amplified signal vR1 and the second radio frequency amplified signal vR2. When the phase of the first radio frequency amplified signal vR1 is 90 degrees ahead of the phase of the second radio frequency amplified signal vR2, the radio frequency power signal vR_pwr may be almost output to a load-side terminal (not shown). When the phase of the first radio frequency amplified signal vR1 is 90 degrees behind the phase of the second radio frequency amplified signal vR2, the radio frequency power signal vR_pwr may be almost output to the terminal terminal (not shown). . In addition, when the phase of the first RF amplified signal vR1 and the phase of the second amplified RF signal vR2 are the same, the RF power signal vR_pwr may be output to the load-side terminal and the terminal terminal in half.

이와 같이, 무선 주파수 증폭부는 제1 무선 주파수 변환 신호(v1)의 위상과 제2 무선 주파수 변환 신호(v2)의 위상을 제어함으로써 제1 무선 주파수 증폭 신호(vR1)의 위상과 제2 무선 주파수 증폭 신호(vR2)의 위상을 조절할 수 있다. 이에 따라 플라즈마 챔버(260)로 출력되는 무선 주파수 파워 신호(vR_pwr)의 크기를 조절할 수 있다. In this way, the radio frequency amplification unit amplifies the phase and the second radio frequency of the first radio frequency amplified signal vR1 by controlling the phase of the first radio frequency converted signal v1 and the phase of the second radio frequency converted signal v2. The phase of the signal vR2 may be adjusted. Accordingly, the magnitude of the radio frequency power signal vR_pwr output to the plasma chamber 260 may be adjusted.

무선 주파수 센서(265)는 컴바이너(255)와 플라즈마 챔버(260) 사이에 배치되고, 컴바이너(255)와 플라즈마 챔버(260) 사이에 흐르는 전기적 신호를 검출하여 전기적 검출 신호를 출력한다. 여기서, 전기적 검출 신호는 검출전류값(Is), 검출전압값(Vs), 컴바이너(255)로부터 플라즈마 챔버(260)로 공급되는 포워드 전력(PFWD), 및 플라즈마 챔버(260)로부터 컴바이너(255)로 반사되는 반사전력(PREF) 중 적어도 어느 하나 이상일 수 있다. The radio frequency sensor 265 is disposed between the combiner 255 and the plasma chamber 260 , detects an electrical signal flowing between the combiner 255 and the plasma chamber 260 and outputs an electrical detection signal . Here, the electrical detection signal includes the detection current value Is, the detection voltage value Vs, the forward power PFWD supplied from the combiner 255 to the plasma chamber 260 , and the combine from the plasma chamber 260 . It may be at least one or more of the reflected power PREF reflected to you 255 .

컨트롤러(270)는 외부에서 인가되는 컨트롤 신호(Scon)와 무선 주파수 센서(265)로부터 출력되는 전기적 검출 신호를 이용하여 전압 제어 신호(Vcon), 제1 변환 제어 신호(Pcon1), 제2 변환 제어 신호(Pcon2) 및 스위칭 제어 신호(Ssw)를 생성한다.The controller 270 uses the control signal Scon applied from the outside and the electrical detection signal output from the radio frequency sensor 265 to control the voltage control signal Vcon, the first conversion control signal Pcon1, and the second conversion control. A signal Pcon2 and a switching control signal Ssw are generated.

스위치(275)는 컨트롤러(270)로부터 출력되는 스위칭 제어 신호(Ssw)에 제어되어 컴바이너(255)로부터 출력되는 무선 주파수 파워 신호를 제1 무선 주파수 파워 출력 신호(SA) 또는 제2 무선 주파수 파워 출력 신호(SB)로 구분하여 출력할 수 있다. 여기서, 본 발명에 따르면, 플라즈마 챔버(260)는 챔버 벽에 접지된다.The switch 275 is controlled by the switching control signal Ssw output from the controller 270 to convert the radio frequency power signal output from the combiner 255 to the first radio frequency power output signal SA or the second radio frequency The power output signal SB may be divided and output. Here, according to the present invention, the plasma chamber 260 is grounded to the chamber wall.

본 발명의 일실시예에 따르면, 스위치(275)는 기계적 스위치로 구현될 수 있다. 예컨대, 스위치(275)는 컨트롤러(270)로부터 출력되는 스위칭 제어 신호(Ssw)를 구동신호로 이용하는 하나의 릴레이에 의해 구현될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the switch 275 may be implemented as a mechanical switch. For example, the switch 275 may be implemented by a single relay using the switching control signal Ssw output from the controller 270 as a driving signal.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 스위치(275)는 두개의 전자적 스위치로 구현될 수 있다. 예컨대, 두개의 전자적 스위치는 컨트롤러(270)로부터 출력되는 스위칭 제어 신호(Ssw)에 제어되어 번갈아 스위칭될 수 있다. 한편, 본 발명에 따르면, 스위치는 두개의 전자적 스위치에 국한되는 것이 아니며, 둘 이상의 전자적 스위치를 사용하여 구현될 수 있음은 통상의 기술자에게 자명한 사항이므로 구체적인 설명은 생략하기로 한다. Also, according to another embodiment of the present invention, the switch 275 may be implemented as two electronic switches. For example, the two electronic switches may be alternately switched by being controlled by the switching control signal Ssw output from the controller 270 . Meanwhile, according to the present invention, the switch is not limited to two electronic switches, and since it is obvious to those skilled in the art that it can be implemented using two or more electronic switches, a detailed description thereof will be omitted.

도시되지는 않았지만, 스위치(275)와 플라즈마 챔버의 상측 전극 사이에 제1 임피던스 매칭 유닛이 배열되고, 스위치(275)와 플라즈마 챔버의 하측 전극 사이에 제2 임피던스 매칭 유닛이 배열된다. Although not shown, a first impedance matching unit is arranged between the switch 275 and an upper electrode of the plasma chamber, and a second impedance matching unit is arranged between the switch 275 and a lower electrode of the plasma chamber.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터의 이중 출력 파형도이다.3 is a dual output waveform diagram of a radio frequency generator having dual outputs according to an embodiment of the present invention.

도 3a는 제1 무선 주파수 파워 출력 신호(SA)와 제2 무선 주파수 파워 출력 신호(SB)를 7:3의 비율로 제공하는 파형도이고, 도 3b 제1 무선 주파수 파워 출력 신호(SA)와 제2 무선 주파수 파워 출력 신호(SB)를 5:5로 제공하는 파형도이고, 도 3c는 제1 무선 주파수 파워 출력 신호(SA) 또는 제2 무선 주파수 파워 출력 신호(SB)를 2:8의 비율로 제공하는 파형도이다.3A is a waveform diagram providing a first radio frequency power output signal SA and a second radio frequency power output signal SB in a ratio of 7:3, and FIG. 3B first radio frequency power output signal SA and It is a waveform diagram providing the second radio frequency power output signal SB in a ratio of 5:5, and FIG. 3C is a diagram showing the first radio frequency power output signal SA or the second radio frequency power output signal SB of 2:8. It is a waveform diagram provided as a ratio.

물론, 플라즈마 챔버(260)에서의 공정 조건에 따라, 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터는 제1 무선 주파수 파워 출력 신호(SA) 및 제2 무선 주파수 파워 출력 신호(SB) 중 어느 하나만 제공할 수 있음은 당연하다.Of course, depending on the process conditions in the plasma chamber 260, the radio frequency generator with dual output may provide only one of the first radio frequency power output signal SA and the second radio frequency power output signal SB is natural

한편, 제1 무선 주파수 파워 출력 신호(SA) 또는 제2 무선 주파수 파워 출력 신호(SB)의 제공으로 플라즈마 챔버(260)에 발생하는 플라즈마를 정확하게 검출하거나 예측하는 것은 매우 어렵다. 특히 제1 무선 주파수 파워 출력 신호(SA)를 플라즈마 챔버(260)의 상측 전극에, 그리고 제2 무선 주파수 파워 출력 신호(SB)를 플라즈마 챔버(260)의 하측 전극에 동시에 제공하여 플라즈마 챔버(260)에서 발생하는 플라즈마를 예측하여 제어하는 것은 더더욱 어렵다. Meanwhile, it is very difficult to accurately detect or predict plasma generated in the plasma chamber 260 by providing the first radio frequency power output signal SA or the second radio frequency power output signal SB. In particular, the first radio frequency power output signal SA is simultaneously provided to the upper electrode of the plasma chamber 260 and the second radio frequency power output signal SB is simultaneously provided to the lower electrode of the plasma chamber 260 to provide the plasma chamber 260 . ), it is even more difficult to predict and control the plasma generated in

따라서 본 발명에서는 하나의 무선 주파수 제너레이터가 두 개의 무선 주파수 파워 출력 신호를 생성하되, 타임 라인 상 두 개의 무선 주파수 파워 출력 신호 중 어느 하나만을 플라즈마 챔버(260)에 제공함으로써 무선 주파수 제너레이터가 손쉬운 제어를 달성할 수 있다. Therefore, in the present invention, one radio frequency generator generates two radio frequency power output signals, but by providing only one of the two radio frequency power output signals on the timeline to the plasma chamber 260, the radio frequency generator provides easy control. can be achieved

상기한 바와 같은 실시 예들은 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기를 기초로 다양한 기술적 수정 및 변형을 적용할 수 있다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.Although the above-described embodiments have been described with reference to the limited drawings, a person skilled in the art may apply various technical modifications and variations based on the above. For example, the described techniques are performed in a different order than the described method, and/or the described components of the system, structure, apparatus, circuit, etc. are combined or combined in a different form than the described method, or other components Or substituted or substituted by equivalents may achieve an appropriate result.

본 명세서에서 설명되는 실시 예와 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 예시적으로 설명하는 것에 불과하다. 따라서, 본 명세서에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이므로, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아님은 자명하다. 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시 예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The embodiments described in this specification and the accompanying drawings are merely illustrative of some of the technical ideas included in the present invention. Therefore, since the embodiments disclosed in the present specification are for explanation rather than limitation of the technical spirit of the present invention, it is obvious that the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments. Modifications and specific embodiments that can be easily inferred by those skilled in the art within the scope of the technical idea included in the specification and drawings of the present invention should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

200 : 상용 전원
203 : EMI 필터
205 : 정류기
210 : DC/DC 컨버터
215 : 보조 DC/DC 컨버터
220 : 팬
223 : 평활부
227 : 무선 주파수 전력 증폭부
237 : 제1 및 제2 결합용 변압부
247 : 공진부
255 : 컴바이너
260 : 플라즈마 챔버
265 : 무선 주파수 센서
270 : 컨트롤러
275: 스위치
200: commercial power
203: EMI filter
205: rectifier
210: DC/DC converter
215: auxiliary DC/DC converter
220: fan
223: smooth part
227: radio frequency power amplification unit
237: first and second combination transformer for
247: resonance part
255 : combiner
260: plasma chamber
265: radio frequency sensor
270 : controller
275: switch

Claims (7)

전압 제어 신호에 제어되어 제1 직류 전압을 제2 직류 전압으로 변환하도록 구성된 DC/DC 컨버터;
상기 제2 직류 전압을 증폭하여 제1 무선 주파수 증폭 신호를 출력하도록 구성된 제1 무선 주파수 증폭기;
상기 제2 직류 전압을 증폭하여 제2 무선 주파수 증폭 신호를 출력하도록 구성된 제2 무선 주파수 증폭기;
상기 제1 무선 주파수 증폭 신호와 상기 제2 무선 주파수 증폭 신호를 결합하여 무선 주파수 파워 신호를 출력하도록 구성된 컴바이너;
상기 컴바이너의 출력측 전극에 배치되고, 전기적 신호를 검출하여 전기적 검출 신호를 출력하도록 구성된 무선 주파수 센서;
외부에서 인가되는 컨트롤 신호와 상기 전기적 검출 신호를 이용하여 복수의 제어 신호를 출력하도록 구성된 컨트롤러; 및
상기 컴바이너와 플라즈마 챔버 사이에 배치되고, 상기 컨트롤러로부터 출력되는 스위칭 제어 신호에 제어되어 상기 무선 주파수 파워 신호를 복수의 무선 주파수 파워 출력 신호로 출력하도록 구성된 스위치
를 포함하는 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터.
a DC/DC converter controlled by a voltage control signal to convert the first DC voltage into a second DC voltage;
a first radio frequency amplifier configured to amplify the second DC voltage to output a first radio frequency amplified signal;
a second radio frequency amplifier configured to amplify the second direct voltage to output a second radio frequency amplified signal;
a combiner configured to combine the first radio frequency amplified signal and the second radio frequency amplified signal to output a radio frequency power signal;
a radio frequency sensor disposed on an output-side electrode of the combiner and configured to detect an electrical signal and output an electrical detection signal;
a controller configured to output a plurality of control signals using an externally applied control signal and the electrical detection signal; and
A switch disposed between the combiner and the plasma chamber and controlled by a switching control signal output from the controller to output the radio frequency power signal as a plurality of radio frequency power output signals
A radio frequency generator with dual outputs comprising a.
청구항 1에 있어서,
상기 스위치는 릴레이로 구현되고, 상기 스위치를 통해 출력되는 상기 무선 주파수 파워 출력 신호는 상기 플라즈마 챔버의 상측 전극 또는 하측 전극에 번갈아 출력되는 것을 특징으로 하는 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터.
The method according to claim 1,
The switch is implemented as a relay, and the radio frequency power output signal output through the switch is alternately output to an upper electrode or a lower electrode of the plasma chamber.
청구항 2에 있어서,
상기 복수의 무선 주파수 파워 출력 신호 중 제1 무선 주파수 파워 출력 신호는 상기 플라즈마 챔버의 상측 전극에 출력되고, 상기 복수의 무선 주파수 파워 출력 신호 중 제2 무선 주파수 파워 출력 신호는 상기 플라즈마 챔버의 하측 전극에 출력되되, 상기 제1 및 제2 무선 주파수 파워 출력 신호는 주기적 또는 비주기적으로 출력되는 것을 특징으로 하는 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터.
3. The method according to claim 2,
A first radio frequency power output signal of the plurality of radio frequency power output signals is output to an upper electrode of the plasma chamber, and a second radio frequency power output signal of the plurality of radio frequency power output signals is a lower electrode of the plasma chamber A radio frequency generator having a dual output, characterized in that output to the first and second radio frequency power output signals are output periodically or aperiodically.
청구항 1에 있어서,
상기 스위치는 전자적 스위치로 구현되고, 상기 컴바이너로부터 출력되는 상기 무선 주파수 파워 신호를 상기 플라즈마 챔버의 상측 전극 또는 하측 전극에 번갈아 출력하는 것을 특징으로 하는 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터.
The method according to claim 1,
The switch is implemented as an electronic switch, and the radio frequency generator having a dual output, characterized in that alternately outputting the radio frequency power signal output from the combiner to the upper electrode or the lower electrode of the plasma chamber.
청구항 4에 있어서,
상기 복수의 무선 주파수 파워 출력 신호 중 제1 무선 주파수 파워 출력 신호는 상기 플라즈마 챔버의 상측 전극에 출력되고, 상기 복수의 무선 주파수 파워 출력 신호 중 제2 무선 주파수 파워 출력 신호는 상기 플라즈마 챔버의 하측 전극에 출력되되, 상기 제1 및 제2 무선 주파수 파워 출력 신호는 주기적 또는 비주기적으로 출력되는 것을 특징으로 하는 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터.
5. The method according to claim 4,
A first radio frequency power output signal of the plurality of radio frequency power output signals is output to an upper electrode of the plasma chamber, and a second radio frequency power output signal of the plurality of radio frequency power output signals is a lower electrode of the plasma chamber A radio frequency generator having a dual output, characterized in that output to the first and second radio frequency power output signals are output periodically or aperiodically.
제1 직류 전압을 제2 직류 전압으로 변환하도록 구성된 DC/DC 컨버터;
상기 제2 직류 전압을 증폭하여 제1 및 제2 무선 주파수 증폭 신호를 출력하도록 구성된 무선 주파수 증폭부;
상기 제1 무선 주파수 증폭 신호와 상기 제2 무선 주파수 증폭 신호를 결합하여 무선 주파수 파워 신호를 출력하도록 구성된 컴바이너;
상기 컴바이너의 출력측 전극에 배치되고, 전기적 신호를 검출하여 전기적 검출 신호를 출력하도록 구성된 무선 주파수 센서;
외부에서 인가되는 컨트롤 신호와 상기 전기적 검출 신호를 이용하여 복수의 제어 신호를 출력하도록 구성된 컨트롤러; 및
상기 컴바이너와 플라즈마 챔버 사이에 배치되고, 상기 컨트롤러로부터 출력되는 스위칭 제어 신호에 제어되어 상기 무선 주파수 파워 신호를 복수의 무선 주파수 파워 출력 신호로 출력하도록 구성된 스위치
를 포함하는 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터.
a DC/DC converter configured to convert the first DC voltage into a second DC voltage;
a radio frequency amplifier configured to amplify the second DC voltage to output first and second radio frequency amplified signals;
a combiner configured to combine the first radio frequency amplified signal and the second radio frequency amplified signal to output a radio frequency power signal;
a radio frequency sensor disposed on an output-side electrode of the combiner and configured to detect an electrical signal and output an electrical detection signal;
a controller configured to output a plurality of control signals using an externally applied control signal and the electrical detection signal; and
A switch disposed between the combiner and the plasma chamber and controlled by a switching control signal output from the controller to output the radio frequency power signal as a plurality of radio frequency power output signals
A radio frequency generator with dual outputs comprising a.
청구항 6에 있어서,
상기 스위치는 기계적 스위치 또는 전자적 스위치로 구현되고, 상기 컴바이너로부터 출력되는 상기 무선 주파수 파워 신호를 상기 플라즈마 챔버의 상측 또는 하측 전극에 번갈아 출력하는 것을 특징으로 하는 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터.
7. The method of claim 6,
The switch is implemented as a mechanical switch or an electronic switch, and the radio frequency generator having a dual output, characterized in that alternately outputting the radio frequency power signal output from the combiner to the upper or lower electrodes of the plasma chamber.
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