KR20210126891A - 엑스레이 및 자외선 발생소자 및 장치 - Google Patents

엑스레이 및 자외선 발생소자 및 장치 Download PDF

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Abstract

개시된 본 발명에 의한 엑스레이 및 자외선 발생소자 및 장치는, 진공의 챔버부, 챔버부 내에 마련되어, 전자를 발생시키는 소스부 및, 챔버부 내에 마련되어, 소스부로부터 발생된 전자와 충돌하여 엑스레이 및 자외선을 발생시키는 발생부를 포함하며, 발생부는 전자와의 충돌에 의해 엑스레이 및 자외선을 각각 발생시키는 각각의 타겟이 한 몸체로 마련된다. 이러한 구성에 의하면, 하나의 기기를 통해 엑스레이 및 자외선을 발생시킬 수 있어, 사용 편의성과 다양성을 향상시킬 수 있게 된다.

Description

엑스레이 및 자외선 발생소자 및 장치{X-RAY AND ULTRAVIOLET GENERATING APPARATUS}
본 발명은 엑스레이 및 자외선 발생소자 및 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 하나의 타겟에 대해 전자가 충돌하여 엑스레이와 자외선을 동시에 발생시킬 수 있는 엑스레이 및 자외선 발생소자 및 장치에 관한 것이다.
엑스레이장치는 진공관 내에 음극과 양극으로 구성된 엑스레이 튜브를 이용하여 엑스레이를 발생시킨다. 여기서, 엑스레이 튜브는 전자방출원 즉, 전자 소스에 의해 발생된 전자가 타겟과 충돌하여 엑스레이를 발생시킨다. 이렇게 발생된 엑스레이는 식품생명공학, 식품검역분야, 재생의학분야 및 보건제품 위생분야 등과 같이, 다양한 분야에서 적용되고 있다.
또한, 자외선은 특정 파장 대역의 빛을 발생시킬 수 있는 자외선 발생수단을 통해 발생된다. 이러한 자외선은 자외선 파장 대역내에서도 살균성이 우수한 UV-C, 광학적 성능이 우수하여 의료기기에 적용될 수 있는 UV-B 및, 경화성을 가짐으로써 잉크류, 레진류, 접착제류 등에 적용될 수 있는 UV-A으로 구분될 수 있다.
이러한 엑스레이와 자외선은 각각 산업분야에서 다양하게 적용되고 있음에 따라, 적용 분야가 중첩된다. 이에 따라, 근래에는 엑스레이와 자외선에 대한 사용성을 향상시키기 위한 다양한 연구가 지속적으로 이루어지고 있는 추세이다.
대한민국 등록특허공보 제10-0617603호 일본 등록특허공보 제5183928호
본 발명의 목적은 엑스레이 및 자외선 발생소자 및 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 전자와 충돌하는 하나의 타겟을 이용해 엑스레이 및 자외선을 동시에 발생시킬 수 있는 엑스레이 및 자외선 발생장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 다른 목적은 자외선 파장 대역을 다양하게 발생시킬 수 있는 엑스레이 및 자외선 발생소자 및 장치를 제공하기 위한 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 엑스레이 및 자외선 발생장치는, 진공의 챔버부, 상기 챔버부 내에 마련되어, 전자를 발생시키는 소스부 및, 상기 챔버부 내에 마련되어, 상기 소스부로부터 발생된 전자와 충돌하여 엑스레이 및 자외선을 발생시키는 발생부를 포함하며, 상기 발생부는 상기 전자와의 충돌에 의해 상기 엑스레이 및 자외선을 각각 발생시키는 각각의 타겟이 한 몸체로 마련된다.
또한, 상기 소스부는 CNT 전자방출원에 전압을 인가하여 상기 전자를 발생시킬 수 있다.
또한, 상기 발생부는, 상기 전자와 충돌하여 상기 엑스레이를 발생시키는 제1타겟층, 상기 제1타겟층에 적층되어, 상기 챔버부의 외부를 향해 상기 엑스레이 및 자외선을 반사시키는 반사층, 상기 반사층에 적층되어, 상기 전자와의 충돌에 의해 상기 자외선을 발생시키는 제2타겟층을 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2타겟층에는 발생된 상기 엑스레이와 자외선을 투과시켜, 상기 챔버부의 외부로 안내하는 윈도우가 적층되며, 상기 윈도우는 베릴륨, 사파이어 및 쿼츠 중 적어도 어느 하나의 재질로 마련될 수 있다.
또한, 상기 제1타겟층은 상기 소스부와 마주하며, 텅스텐 재질로 마련될 수 있다.
또한, 상기 반사층은 알루미늄 재질로 마련될 수 있다.
또한, 상기 제2타겟층은 발광 형광체로 마련되며, 서로 다른 파장 대역의 자외선을 각각 발생시키도록 복수의 영역으로 구획될 수 있다.
또한, 상기 제2타겟층은 상기 전자와 충돌하여, UV-A, UV-B 및 UV-C 파장 대역의 자외선 중 적어도 어느 하나 또는 동시에 발생시킬 수 있다.
또한, 상기 전자는 상기 제2타겟층의 구획된 복수의 영역 중 적어도 어느 한 영역 또는 복수의 영역과 충돌할 수 있다.
또한, 상기 소스부는 상기 전자를 발생시키는 캐소드 및 상기 전자를 추출하는 게이트를 포함하며, 상기 캐소드 및 게이트는 일체로 마련될 수 있다.
또한, 상기 챔버부는 세라믹 재질로 마련될 수 있다.
또한, 상기 소스부에는 음극이 인가되고, 상기 제1타겟층에는 그라운드(Ground)가 연결될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 의한 엑스레이 및 자외선 발생소자는, 진공의 챔버부, 상기 챔버부 내에 마련되어, CNT 전자방출원에 전자를 발생시키는 소스부 및, 상기 챔버부 내에 상기 소스부와 마주하도록 마련되어, 상기 전자와 충돌에 의해 엑스레이 및 자외선을 발생시키는 발생부를 포함하며, 상기 발생부는 상기 엑스레이 및 자외선을 각각 발생시키는 엑스레이 타겟층 및 자외선 타겟층이 상호 적층되어 마련되며, 상기 전자가 엑스레이 타겟층 및 자외선 타겟층과 순차적으로 충돌한다.
또한, 상기 챔버부는 세라믹 재질로 마련될 수 있다.
또한, 상기 발생부는 상기 엑스레이 타겟층 및 상기 자외선 타겟층 사이에 마련되어, 상기 챔버부의 외부를 향해 상기 엑스레이 및 자외선을 반사시키는 반사층을 포함하며, 상기 반사층은 알루미늄 재질로 마련될 수 있다.
또한, 상기 자외선 타겟층에는 발생된 상기 엑스레이와 자외선을 투과시켜, 상기 챔버부의 외부로 안내하는 윈도우가 적층되며, 상기 윈도우는 베릴륨, 사파이어 및 쿼츠 중 적어도 어느 하나의 재질로 마련될 수 있다.
또한, 상기 엑스레이 타겟층은 상기 소스부와 마주하며, 텅스텐 재질로 마련되며, 상기 자외선 타겟층은 발광 형광체로 마련될 수 있다.
또한, 상기 자외선 타겟층은 서로 다른 파장 대역의 자외선을 각각 발생시키도록 복수의 영역으로 구획되며, 상기 전자는 상기 자외선 타겟층의 구획된 복수의 영역 중 적어도 어느 한 영역 또는 복수의 영역과 충돌할 수 있다.
또한, 상기 자외선 타겟층은 상기 전자와 충돌하여, UV-A, UV-B 및 UV-C 파장 대역의 자외선 중 적어도 어느 하나 또는 동시에 발생시킬 수 있다.
또한, 상기 소스부는 상기 전자를 발생시키는 캐소드 및 상기 전자를 추출하는 게이트를 포함하되, 상기 캐소드 및 게이트는 일체로 마련되며, 상기 소스부에는 음극이 인가되고, 상기 엑스레이 타겟층에는 그라운드(Ground)가 연결될 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의하면, 첫째, 전자와 충돌하는 발생부가 단일 몸체로 마련되어 엑스레이 및 자외선을 동시에 발생 가능함으로써, 다양한 분야에 각각 독립적으로 적용되던 엑스레이 및 자외선 발생장치를 하나의 기기로 제공할 수 있게 된다.
둘째, 엑스레이 및 자외선이 동시 발생 가능하여, 살균과 경화가 동시에 가능하다.
셋째, 사용 조건에 따라 발생되는 자외선 파장 대역을 조절할 수 있어, 다양한 응용 제품 및 적용분야 확보에 유리하다.
넷째, 기존의 진공 챔버를 구비하는 엑스레이 튜브 구조에 자외선 발생구조를 부가할 수 있어, 기존 엑스레이 제조라인을 활용함에 따른 제조성도 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 엑스레이 및 자외선 발생장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 Ⅱ영역을 개략적으로 확대 도시한 확대도이다. 그리고,
도 3은 도 1에 도시된 발생부를 확대하여 엑스레이 및 자외선이 발생되는 동작을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 본 발명의 바람직한 일 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 설명한다. 다만, 본 발명의 사상이 그와 같은 실시예에 제한되지 않고, 본 발명의 사상은 실시예를 이루는 구성요소의 부가, 변경 및 삭제 등에 의해서 다르게 제안될 수 있을 것이나, 이 또한 발명의 사상에 포함되는 것이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 엑스레이 및 자외선 발생장치(1)는 챔버부(10), 소스부(20) 및 발생부(30)를 포함한다.
참고로, 본 발명에서 설명하는 엑스레이 및 자외선 발생장치(1)는 도 3과 같이, 엑스레이(X)와 자외선(U)을 발생시키는 일종의 엑스레이 및 자외선 발생소자이다. 이에 따라, 본 실시예에서는 엑스레이 및 자외선 발생장치(1)로 기재하여 설명하나, 엑스레이 및 자외선 발생소자로써 적용될 수 있음은 당연하다.
챔버부(10)는 진공의 챔버로써, 내부가 비워진 원통 또는 컵(Cup) 형상을 가진다. 챔버부(10)는 자세히 도시되지 않았지만, 진공 패키징 공정을 통해 내부를 진공 상태로 유지하고, 진공 게터(getter)를 장착하여 내부가 장시간 동안 진공상태를 유지할 수 있다. 또한, 챔버부(10)는 기밀성이 우수한 세라믹을 포함하는 재질 및 형상을 가짐이 좋다. 이러한 챔버부(10)는 세라믹과 같은 비금속성 재질로 형성됨으로써, 후술할 소스부(20)로부터 발생되는 전자(E)(도 3 참조)와의 전기적 간섭을 방지함이 좋다.
참고로, 챔버부(10)는 제한된 면적에서 대면적 방출을 위해, 포커싱 컵 구조를 포함하는 외부 세라믹 스페이서로 마련될 수 있다.
한편, 챔버부(10)의 일측에는 내부에서 외부로 방출되는 엑스레이(X)(도 3 참조) 및 자외선(U)(도 3 참조)의 출입구인 윈도우(11)가 마련된다. 이러한 윈도우(11)는 베릴륨, 사파이어, 쿼츠 등과 같은 엑스레이 및 자외선을 포함하는 광의 투과력이 우수한 금속 및 산화물 재질로 마련될 수 있다. 본 실시예에서는 윈도우(11)가 베릴륨으로 마련되어 소정 파장 이하의 엑스레이(X)만을 방출하도록 필터링하는 것으로 예시하나, 꼭 이에 한정되지 않는다.
소스부(20)는 챔버부(10)의 내에 마련되어, CNT(carbon nanotube, 탄소나노튜브) 전자방출원에 전압을 인가하여 전자(E)를 발생시킨다. 소스부(20)는 엑스레이(X)와 자외선(U) 발생을 위한 전자(E)를 발생시키는 전자방출 모듈 또는 전자총을 포함한다. 이러한 소스부(20)는 챔버부(10)의 하부에 마련되어, 챔버부(10)의 상부에 마련된 발생부(30)를 향해 전자(E)를 방출한다.
한편, 자세히 도시되지 않았으나, 소스부(20)는 외부 세라믹 스페이서로 마련되는 챔버부(10)에 대해 캐소드와 게이트가 일체로 조립되도록 마련될 수 있다. 여기서, 캐소드는 고전압의 음극(Negative electrode) 전자(E)를 발생시키는 소스원으로써, 외부 전원과 연결되어 전원이 인가될 수 있다. 이러한 캐소드는 챔버부(10)가 진공에서 작동하기 때문에, 캐소드의 재료로써 니켈, 철, 코발트 등과 같은 합금이나, 단일 전이금속을 포함할 수 있다. 또한, 게이트는 캐소드로부터 발생된 전자(E)를 추출하기 위한 것으로서, 본 실시예에서는 캐소드와 게이트가 박판 형상을 가지고 상호 적층되어 일체로 마련된다. 이러한 게이트 또한, 금속 재질로 마련되며, 추출된 전자(E)의 통로인 게이트홀이 관통 형성될 수 있다.
참고로, 소스부(20)가 CNT 전자방출원에 의해 전자(E)를 발생시키는 구성은 본 발명의 요지가 아니므로, 자세한 도시 및 설명은 생략한다.
발생부(30)는 챔버부(10) 내에 마련되어, 소스부(20)로부터 발생된 전자(E)와의 충돌에 의해 엑스레이(X) 및 자외선(U)을 발생시킨다. 이를 위해, 발생부(30)는 도 2 및 도 3의 도시와 같이, 전자(E)와의 충돌에 의해 엑스레이(X) 및 자외선을 각각 발생시키는 일종의 타겟이 상호 적층되어 다층 구조의 한 몸체로 마련된다. 즉, 발생부(30)는 제1타겟층(31), 반사층(32) 및 제2타겟층(33)을 포함하여, 한 몸체로 마련된다.
제1타겟층(31)은 전자(E)와 충돌하여 엑스레이(X)를 발생시킨다. 여기서, 제1타겟층(31)은 엑스레이(X)를 발생시키기 위한 엑스레이 타겟인 애노드로써, 텅스텐 재질로 마련될 수 있으나, 제1타겟층(31) 재질이 이에 한정되지 않음은 당연하다. 참고로, 제1타겟층(31)은 그라운드(Ground) 전원으로 마련되어, 음극인 소스부(20)의 전자(E) 발생에 의한 열을 외부에서 강제 냉각시킴에 용이하다.
반사층(32)은 제1타겟층(31)에 적층되어, 엑스레이(X)와 자외선(U)을 챔버부(10)의 외부로 반사시킨다. 보다 구체적으로, 반사층(32)은 전자(E)를 자외선(33)으로 안내시킴과 아울러, 발생된 엑스레이(X) 및 자외선(U)을 윈도우(11)를 향해 반사시킨다. 즉, 반사층(32)은 전자(E), 엑스레이(X) 및 자외선(U)이 윈도우(11)가 마련된 전방이 아닌 후방을 향해 누설되지 않도록, 윈도우(11)를 향해 반사시켜 안내시킨다. 이러한 반사층(32)은 알루미늄 재질로 마련될 수 있다.
제2타겟층(33)은 반사층(32)에 적층되어, 전자(E)와의 충돌에 의해 자외선(U)을 발생시킨다. 이러한 제2타겟층(33)은 도 3의 도시와 같이, 전자(E)와 충돌되어 자외선(U)을 발광할 수 있는 발광 형광물질(33a)로 마련된다. 또한, 제2타겟층(33)은 도 2의 도시와 같이, 서로 다른 파장 대역의 자외선(U)을 각각 발생시키도록 복수의 영역으로 구획된다.
보다 구체적으로 제2타겟층(33)은 전자(E)와 충돌하여, UV-A, UV-B 및 UV-C 파장 대역의 자외선 중 적어도 어느 하나 또는 동시에 발생시킨다. 설명의 편의를 위해, 제2타겟층(33)의 UV-A 파장 대역의 자외선(U)을 발생시키는 영역을 A영역(331)으로 지칭하고, UV-B 파장 대역의 자외선(U)을 발생시키는 영역을 B영역(332)으로 지칭한다. 또한, 제2타겟층(33)의 UV-C 파장 대역의 자외선(U)을 발생시키는 영역을 C영역(333)으로 지칭하여 설명한다. 여기서, A, B 및 C영역(331)(332)(333)은 각각 상호 이웃하도록 나란하게 마련되며, A, B 및 C영역(331)(332)(333)의 크기, 개수 및 위치 등은 도 2에 도시된 예로 한정되지 않는다.
한편, 발생부(30)는 사용목적에 따라 엑스레이(X) 및 자외선(U) 중 적어도 어느 하나를 발생시키는 제어수단(미도시)을 더 포함할 수 있다. 이러한 제어수단(미도시)은 제2타겟층(33)이 A, B 및 C영역(331)(332)(333)으로 구분됨에 따라, 전자(E)가 A, B 및 C영역(331)(332)(333) 중 적어도 어느 하나와 충돌되도록 제어 가능하다. 예컨대, 사용자의 사용목적에 따라, UV-A + UV-B, UV-B + UV-C, UV-A + 엑스레이(X), UV-B + 엑스레이(X), UV-C + 엑스레이(X), UV-A + UV-B + UV-C + 엑스레이, UV-A + UV-B + 엑스레이(X), UV-B + UV-C + 엑스레이(X) 및, UV-A + UV-C + 엑스레이(X) 등과 같이 다양한 조합으로 엑스레이(X)와 자외선(U) 방출이 가능한 것이다.
이하에서는, 도 1 내지 도 3을 참고하여, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 엑스레이 및 자외선 발생장치(1)의 엑스레이(X) 및 자외선(U) 발생동작을 설명한다.
우선, 도 1의 도시와 같이, 진공의 챔버부(10) 내에 마련된 소스부(20)로부터 CNT 전자방출원에 의해 전자(E)가 발생된다. 발생된 전자(E)는 마주하는 발생부(30)를 향해 가속됨으로써, 도 2 및 도 3의 도시와 같이, 발생부(30)와 충돌한다.
발생부(30)는 전자(E)와 제1 및 제2타겟층(31)(33)이 순차적으로 충돌함으로써, 제1타겟층(31)에서 엑스레이(X)가 발생되고 제2타겟층(33)에서는 발광 형광물질(33a)에 의해 자외선(U)이 방출된다. 이렇게 제1타겟층(31)과 제2타겟층(33)에서 발생된 엑스레이(X) 및 자외선(U)은 윈도우(11)를 통과하여 챔버부(10)의 외부로 방출되게 된다. 이때, 엑스레이(X) 및 자외선(U)은 반사층(32)에 의해 진행 방향이 윈도우(11)를 향해 안내될 수 있다. 또한, 도 2의 도시와 같이, 사용자의 사용 목적에 따라, 자외선(U)은 UV-A, UV-B 및 UV-C 파장 중 적어도 어느 하나의 파장대역으로 발생된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
1: 엑스레이 및 자외선 발생장치.
10: 챔버부
11: 윈도우
20: 소스부
30: 발생부
31: 제1타겟층
32: 반사층
33: 제2타겟층
33a: 발광 형광물질
331: A영역
332: B영역
333: C영역

Claims (20)

  1. 진공의 챔버부;
    상기 챔버부 내에 마련되어, 전자를 발생시키는 소스부; 및
    상기 챔버부 내에 마련되어, 상기 소스부로부터 발생된 전자와 충돌하여 엑스레이 및 자외선을 발생시키는 발생부;
    를 포함하며,
    상기 발생부는 상기 전자와의 충돌에 의해 상기 엑스레이 및 자외선을 각각 발생시키는 각각의 타겟이 한 몸체로 마련되는 엑스레이 및 자외선 발생장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 소스부는 CNT 전자방출원에 전압을 인가하여 상기 전자를 발생시키는 엑스레이 및 자외선 발생장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 발생부는,
    상기 전자와 충돌하여 상기 엑스레이를 발생시키는 제1타겟층;
    상기 제1타겟층에 적층되어, 상기 챔버부의 외부를 향해 상기 엑스레이 및 자외선을 반사시키는 반사층;
    상기 반사층에 적층되어, 상기 전자와의 충돌에 의해 상기 자외선을 발생시키는 제2타겟층;
    을 포함하는 엑스레이 및 자외선 발생장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제2타겟층에는 발생된 상기 엑스레이와 자외선을 투과시켜, 상기 챔버부의 외부로 안내하는 윈도우가 적층되며,
    상기 윈도우는 베릴륨, 사파이어 및 쿼츠 중 적어도 어느 하나의 재질로 마련되는 엑스레이 및 자외선 발생장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제1타겟층은 상기 소스부와 마주하며, 텅스텐 재질로 마련되는 엑스레이 및 자외선 발생장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 반사층은 알루미늄 재질로 마련되는 엑스레이 및 자외선 발생장치.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 제2타겟층은 발광 형광체로 마련되며, 서로 다른 파장 대역의 자외선을 각각 발생시키도록 복수의 영역으로 구획되는 엑스레이 및 자외선 발생장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제2타겟층은 상기 전자와 충돌하여, UV-A, UV-B 및 UV-C 파장 대역의 자외선 중 적어도 어느 하나 또는 동시에 발생시키는 엑스레이 및 자외선 발생장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 전자는 상기 제2타겟층의 구획된 복수의 영역 중 적어도 어느 한 영역 또는 복수의 영역과 충돌하는 엑스레이 및 자외선 발생장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 소스부는 상기 전자를 발생시키는 캐소드 및 상기 전자를 추출하는 게이트를 포함하며, 상기 캐소드 및 게이트는 일체로 마련되는 엑스레이 및 자외선 발생장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 챔버부는 세라믹 재질로 마련되는 엑스레이 및 자외선 발생장치.
  12. 제3항에 있어서,
    상기 소스부에는 음극이 인가되고, 상기 제1타겟층에는 그라운드(Ground)가 연결되는 엑스레이 및 자외선 발생장치.
  13. 진공의 챔버부;
    상기 챔버부 내에 마련되어, CNT 전자방출원에 의해 전자를 발생시키는 소스부; 및
    상기 챔버부 내에 상기 소스부와 마주하도록 마련되어, 상기 전자와 충돌에 의해 엑스레이 및 자외선을 발생시키는 발생부;
    를 포함하며,
    상기 발생부는 상기 엑스레이 및 자외선을 각각 발생시키는 엑스레이 타겟층 및 자외선 타겟층이 상호 적층되어 마련되며, 상기 전자가 엑스레이 타겟층 및 자외선 타겟층과 순차적으로 충돌하는 엑스레이 및 자외선 발생소자.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 챔버부는 세라믹 재질로 마련되는 엑스레이 및 자외선 발생소자.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 발생부는 상기 엑스레이 타겟층 및 상기 자외선 타겟층 사이에 마련되어, 상기 챔버부의 외부를 향해 상기 엑스레이 및 자외선을 반사시키는 반사층을 포함하며,
    상기 반사층은 알루미늄 재질로 마련되는 엑스레이 및 자외선 발생소자.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 자외선 타겟층에는 발생된 상기 엑스레이와 자외선을 투과시켜, 상기 챔버부의 외부로 안내하는 윈도우가 적층되며,
    상기 윈도우는 베릴륨, 사파이어 및 쿼츠 중 적어도 어느 하나의 재질로 마련되는 엑스레이 및 자외선 발생소자.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 엑스레이 타겟층은 상기 소스부와 마주하며, 텅스텐 재질로 마련되며,
    상기 자외선 타겟층은 발광 형광체로 마련되는 엑스레이 및 자외선 발생소자.
  18. 제13항에 있어서,
    상기 자외선 타겟층은 서로 다른 파장 대역의 자외선을 각각 발생시키도록 복수의 영역으로 구획되며,
    상기 전자는 상기 자외선 타겟층의 구획된 복수의 영역 중 적어도 어느 한 영역 또는 복수의 영역과 충돌하는 엑스레이 및 자외선 발생소자.
  19. 제13항에 있어서,
    상기 자외선 타겟층은 상기 전자와 충돌하여, UV-A, UV-B 및 UV-C 파장 대역의 자외선 중 적어도 어느 하나 또는 동시에 발생시키는 엑스레이 및 자외선 발생소자.
  20. 제13항에 있어서,
    상기 소스부는 상기 전자를 발생시키는 캐소드 및 상기 전자를 추출하는 게이트를 포함하되, 상기 캐소드 및 게이트는 일체로 마련되며,
    상기 소스부에는 음극이 인가되고, 상기 엑스레이 타겟층에는 그라운드(Ground)가 연결되는 엑스레이 및 자외선 발생소자.
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