KR20210126843A - 마스크 어셈블리와, 이를 이용한 마스크 시트의 리페어 방법 - Google Patents

마스크 어셈블리와, 이를 이용한 마스크 시트의 리페어 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20210126843A
KR20210126843A KR1020200044304A KR20200044304A KR20210126843A KR 20210126843 A KR20210126843 A KR 20210126843A KR 1020200044304 A KR1020200044304 A KR 1020200044304A KR 20200044304 A KR20200044304 A KR 20200044304A KR 20210126843 A KR20210126843 A KR 20210126843A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mask sheet
mask
thermal deformation
sheet
deposition pattern
Prior art date
Application number
KR1020200044304A
Other languages
English (en)
Inventor
노희석
김광록
김형욱
지경민
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020200044304A priority Critical patent/KR20210126843A/ko
Publication of KR20210126843A publication Critical patent/KR20210126843A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask
    • H01L51/0011—
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • H01L51/56—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

마스크 어셈블리와, 이를 이용한 마스크 시트의 리페어 방법을 개시한다. 본 발명은 마스크 프레임;과, 길이 방향으로 양 단부가 마스크 프레임에 용접된 적어도 하나의 마스크 시트;와, 마스크 시트의 적어도 어느 한 영역에 배치되며, 마스크 시트의 열적 변형량을 조절하는 열변형부;를 포함하되, 열변형부는 마스크 시트의 표면으로부터 마스크 시트의 두께 방향으로 열을 인가한 복수의 변형점을 구비하며, 각각의 변형점은 마스크 시트를 관통하지 않는다.

Description

마스크 어셈블리와, 이를 이용한 마스크 시트의 리페어 방법{Mask assembly and repair method of mask using the same thereof}
본 발명은 마스크 어셈블리와, 이를 이용한 마스크 시트의 리페어 방법에 관한 것이다.
통상적으로, 디스플레이 장치는 스마트 폰, 랩 탑 컴퓨터, 디지털 카메라, 캠코더, 휴대 정보 단말기, 노트북, 태블릿 퍼스널 컴퓨터와 같은 모바일 장치나, 데스크 탑 컴퓨터, 텔레비전, 옥외 광고판, 전시용 디스플레이 장치, 자동차용 계기판, 헤드 업 디스플레이(head up display, HUD)와 같은 전자 장치에 이용할 수 있다.
디스플레이 장치는 기판 상에 박막을 형성하기 위하여 다양한 방법을 사용한다. 이중에서, 증착법은 마스크 어셈블리를 이용하여 증착 물질을 기판 상에 증착하는 방법이다.
그런데, 마스크 어셈블리는 증착 공정중, 마스크 시트의 열적 변형이 발생할 수 있다. 마스크 시트가 변형되면, 마스크 시트에 패턴화된 증착홀이 정위치에서 벗어날 수 있다. 이에 따라, 섀도우 불량이 발생할 수 있다. 또한, 마스크의 제조 과정중에도, 마스크 시트의 변형이 발생할 수 있다.
측정된 마스크 시트의 PPA(pixel position accuracy)가 허용된 오차 범위를 벗어날 경우, 마스크 시트의 증착홀을 통과한 증착 물질이 기판 상의 소망하는 영역에 증착될 수 없다. 결과적으로, 기판 상에 정밀한 증착 패턴을 형성할 수 없다.
따라서, 해당 마스크 시트를 제거한 후, 다른 마스크 시트를 적용하여 PPA를 측정하여 허용된 오차 범위를 만족하도록 마스크 시트를 부착하게 된다. 이와 같은 리페어 작업을 수행하는 과정에 있어서, 마스크 시트의 낭비와 교체 시간이 소요된다.
본 발명의 실시예들은 리페어 공정이 용이한 마스크 어셈블리와, 이를 이용한 마스크 시트의 리페어 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 마스크 어셈블리는, 개구를 가지며, 상기 개구를 둘러싸는 마스크 프레임;과, 상기 마스크 프레임 상에 배치되며, 복수의 증착홀을 가지는 증착 패턴부가 패턴화되며, 길이 방향으로 양 단부가 상기 마스크 프레임에 용접된 적어도 하나의 마스크 시트;와, 상기 마스크 시트의 적어도 어느 한 영역에 배치되며, 상기 마스크 시트의 열적 변형량을 조절하는 열변형부;를 포함하되, 상기 열변형부는 상기 마스크 시트의 표면으로부터 상기 마스크 시트의 두께 방향으로 열을 인가한 복수의 변형점을 구비하며, 각각의 변형점은 상기 마스크 시트를 관통하지 않을 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 열변형부는 상기 용접되는 위치인 용접점과 상기 마스크 시트의 길이 방향으로 최외곽 증착 패턴부 사이에 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 열변형부는 상기 마스크 프레임과 상기 마스크 시트가 중첩되는 영역에 위치할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 열변형부는 상기 마스크 프레임에 중첩되지 않은 상기 마스트 시트의 영역에 위치할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 각각의 변형점은 상기 마스크 시트의 폭 방향으로 이격되게 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 열변형부는 상기 마스크 시트의 폭 방향으로 상기 증착 패턴부의 바깥측과, 상기 마스크 시트의 가장자리 사이에 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 열변형부는 상기 마스크 시트의 길이 방향으로 상기 마스크 시트의 중앙부에 대응되는 증착 패턴부의 바깥측과 상기 마스크 시트의 폭 방향으로 상기 마스크 시트의 상부 가장자리 사이에 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 열변형부는 상기 마스크 시트의 길이 방향으로 상기 마스크 시트의 중앙부에 대응되는 증착 패턴부의 바깥측과 상기 마스크 시트의 폭 방향으로 마스크 시트의 하부 가장자리 사이에 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 각각의 변형점은 상기 마스크 시트의 길이 방향으로 이격되게 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 열변형부는 상기 마스크 시트의 표면으로부터 상기 마스크 시트의 두께의 90％까지 용융된 부분을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따른 마스크 시트의 리페어 방법은, 길이 방향으로 마스크 프레임에 양 단부가 용접되며, 복수의 증착홀을 가지는 증착 패턴부가 패턴화된 적어도 하나의 마스크 시트가 기판에 대하여 정위치에 정렬했는지 측정하는 단계;와, 상기 마스크 시트의 적어도 어느 한 영역에 레이저 빔을 조사하여 상기 마스크 시트를 관통하지 않는 복수의 변형점을 가지는 열변형부를 형성하는 단계; 및 상기 마스크 시트의 열적 변화량을 조절하여 상기 증착 패턴부의 위치를 재정렬하는 단계;를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 열변형부는 상기 마스크 시트의 표면으로부터 상기 마스크 시트의 두께의 90％까지 열을 인가할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 열변형부는 상기 용접되는 위치인 용접점과 마스크 시트의 길이 방향으로 최외곽 증착 패턴부 사이에 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 열변형부는 상기 마스크 프레임과 상기 마스크 시트가 중첩되는 영역에 위치할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 열변형부는 상기 마스크 프레임에 중첩되지 않은 상기 마스크 시트의 영역에 위치할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 열변형부 주변은 상기 마스크 시트의 길이 방향으로 서로 다른 수축량으로 수축되며, 상기 증착 패턴부는 상기 마스크 시트의 길이 방향으로 상기 수축량의 차이만큼 팽창할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 열변형부는 상기 마스크 시트의 폭 방향으로 증착 패턴부의 바깥측과, 상기 마스크 시트의 가장자리 사이에 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 열변형부는 상기 마스크 시트의 길이 방향으로 상기 마스크 시트의 중앙부에 대응되는 증착 패턴부의 바깥측과, 상기 마스크 시트의 폭 방향으로 상기 마스크 시트의 상부 가장자리에 위치할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 열변형부는 상기 마스크 시트의 길이 방향으로 상기 마스크 시트의 중앙부에 대응되는 증착 패턴부의 바깥측과, 상기 마스크 시트의 폭 방향으로 상기 마스크 시트의 하부 가장자리에 위치할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 열변형부 주변은 상기 마스크 시트의 폭 방향으로 서로 다른 수축량으로 수축되며, 상기 증착 패턴부는 상기 마스크 시트의 폭 방향으로 상기 수축량의 차이만큼 팽창할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 마스크 어셈블리와, 이를 이용한 마스크 시트의 리페어 방법은 마스크 시트를 교체하지 않고 마스크 시트의 리페어 작업이 가능하다. 또한, 마스크 시트의 리페어 시간을 단축시킬 수 있다.
본 발명의 효과는 상술한 내용 이외에도, 도면을 참조하여 이하에서 설명할 내용으로부터도 도출될 수 있음은 물론이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리를 일부 분리하여 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 마스크 어셈블리를 이용하여 증착하는 증착 장치를 도시한 구성도이다.
도 3은 도 1의 분리된 하나의 마스크 시트를 도시한 평면도이다.
도 4는 도 3의 마스크 시트의 일 단부를 확대 도시한 평면도이다.
도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ 선을 따라 취한 단면도이다.
도 6은 도 3의 마스크 시트의 변형예이다.
도 7은 도 6의 Ⅶ-Ⅶ 선을 따라 절개 도시한 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 분리된 하나의 마스크 시트를 도시한 평면도이다.
도 9는 도 8의 마스크 시트의 변형예이다.
도 10은 도 1의 마스크 어셈블리를 이용하여 증착된 유기 발광 디스플레이 장치의 일 서브 픽셀을 도시한 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하의 실시예에 있어서, 층, 막, 영역, 판 등의 각종 구성요소가 다른 구성요소 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 구성요소 "바로 상에" 있는 경우뿐 아니라 그 사이에 다른 구성요소가 개재된 경우도 포함한다. 또한, 설명의 편의를 위하여 도면에서는 구성 요소들이 그 크기가 과장, 또는, 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에 있어서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
이하의 실시예에 있어서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에 있어서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에 있어서, 포함하다, 또는, 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에 있어서, 어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면 번호를 부여하고, 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 접속되었다고 하거나 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 접속되거나 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 접속되거나 전기적 연결된 경우도 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(100)를 일부 분리하여 도시한 사시도이다.
도면을 참조하면, 상기 마스크 어셈블리(100)는 마스크 프레임(200)과, 상기 마스크 프레임(200)에 장착된 마스크 시트(300)를 포함한다.
상기 마스크 프레임(200)에는 개구(201)가 형성될 수 있다. 상기 개구(201)는 복수의 프레임(210 내지 240)에 의하여 둘러싸일 수 있다. 상기 복수의 프레임(210 내지 240)은 서로 연결될 수 있다.
복수의 프레임(210 내지 240)은 제 1 방향(X 방향)으로 연장되며, 제 2 방향(Y 방향)으로 서로 마주보는 제 1 프레임(210) 및 제 2 프레임(220)과, 제 2 방향(Y 방향)으로 연장되며, 제 1 방향(X 방향)으로 서로 마주보는 제 3 프레임(230) 및 제 4 프레임(240)을 포함한다. 상기 제 1 프레임(210), 제 2 프레임(220), 제 3 프레임(230), 및 제 4 프레임(240)은 서로 연결되어 상기 개구(201)을 둘러쌀 수 있다.
상기 마스크 프레임(200)은 사각틀 형상일 수 있다. 상기 마스크 프레임(200)은 상기 마스크 시트(300)의 용접시 변형이 작은 물질, 예컨대, 강성이 큰 금속으로 이루어질 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 마스크 프레임(200)은 스테인레스 스틸, 인바(invar) 등을 포함한다.
상기 마스크 시트(300)는 상기 마스크 프레임(200) 상에 결합될 수 있다. 상기 마스크 시트(300)는 박판일 수 있다. 상기 마스크 시트(300)는 스테인레스 스틸, 인바, 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 등을 포함한다.
상기 마스크 시트(300)는 분리된 복수의 마스크 시트(310)를 포함한다. 각각의 마스크 시트(310)는 제 1 방향(X 방향)으로 연장될 수 있다. 분리된 복수의 마스크 시트(310)는 제 2 방향(Y 방향)으로 분리배치될 수 있다. 제 1 방향(X 방향)은 각각의 마스크 시트(310)의 길이 방향일 수 있다. 제 2 방향(Y 방향)은 제 1 방향에 수직 방향이며, 각각의 마스크 시트(310)의 폭 방향일 수 있다. 이하, 마스크 시트라 함은 분리된 하나의 마스크 시트(310)를 지칭한다.
상기 마스크 시트(310)에는 적어도 하나의 증착 패턴부(320)가 배치될 수 있다. 하나의 증착 패턴부(320)는 하나의 단위 디스플레이 패널의 증착 패턴에 대응될 수 있다. 상기 증착 패턴부(320)는 상기 마스크 시트(310)의 길이 방향(X 방향)으로 이격되게 배치될 수 있다. 상기 마스크 시트(310)는 복수의 단위 디스플레이 패널의 증착 패턴을 동시에 증착시킬 수 있다. 다른 일 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트(310)에는 단일의 증착 패턴부(320)가 배치될 수 있다. 단일의 증착 패턴부(320)이 형성될 경우, 상기 증착 패턴부(320)는 상기 마스크 시트(310)의 길이 방향(X 방향)으로 연속적으로 배치될 수 있다.
상기 증착 패턴부(320)에는 복수의 증착홀(330)이 배치될 수 있다. 상기 증착홀(330)은 디스플레이 패널의 일 영역에 패턴화되는 증착 패턴을 형성하기 위하여 필요한 홀일 수 있다. 상기 증착홀(330)은 도트형의 슬릿 패턴이나, 스트립형의 슬릿 패턴을 포함할 수 있다.
상기 마스크 시트(310)의 길이 방향으로 이웃하는 증착 패턴부(320) 사이에는 리브(340)가 배치될 수 있다. 상기 리브(340)에는 증착홀(330)이 배치되지 않을 수 있다. 상기 리브(340)는 마스크 시트(310)의 폭 방향(Y 방향)으로 연장될 수 있다. 다른 일 실시예에 있어서, 상기 리브(340)에는 더미 증착홀이 배치될 수 있다.
상기 마스크 시트(310)는 상기 마스크 프레임(200) 상에 배치될 수 있다. 상기 마스크 시트(310)는 상기 마스크 프레임(200)의 개구(201)를 가로질러 제 1 방향(X 방향)으로 연장될 수 있다. 상기 마스크 시트(310)는 제 2 방향(Y 방향)으로 연속적으로 배치되어, 상기 마스크 프레임(200)의 개구(201)를 덮을 수 있다.
상기 마스크 시트(310)의 양 단부는 제 1 방향(X 방향)으로 상기 제 3 프레임(230) 및 제 4 프레임(240)에 스팟 용접에 의하여 고정될 수 있다. 상기 마스크 시트(310)는 상기 제 3 프레임(230) 및 제 4 프레임(240)에 인장된 상태로 부착될 수 있다. 예를 들면, 상기 마스크 시트(310)의 양 단부는 마스크 시트(310)의 길이 방향으로 인장시킨 상태에서 상기 제 3 프레임(230) 및 제 4 프레임(240)에 용접하여 고정될 수 있다.
도시되어 있지 않지만, 상기 마스크 프레임(200)과 마스크 시트(300) 사이에는 상기 마스크 시트(310)가 자중에 의하여 처지는 것을 방지하기 위하여 서포트 스틱이 더 배치될 수 있다. 서포트 스틱은 제 2 방향(Y 방향)으로 연장되거나, 이웃하는 마스크 시트(310)의 경계부에 배치될 수 있다.
도 2는 도 1의 마스크 어셈블리(100)를 이용하여 증착하는 증착 장치(400)를 도시한 구성도이다.
도면을 참조하면, 상기 증착 장치(400)에는 유기 발광 디스플레이 장치의 유기 발광층과 같은 박막을 증착하기 위한 챔버(410)를 구비한다. 상기 챔버(410) 내부에는 공간이 형성될 수 있으며, 일부가 개방될 수 있다. 상기 챔버(410)의 개구된 부분에는 게이트 밸브(411)가 설치되어서 개구된 부분을 개폐할 수 있다.
상기 챔버(410)의 하부에는 증착원(420)이 위치할 수 있다. 상기 증착원(420) 상에는 마스크 어셈블리(100)가 배치될 수 있다. 상기 증착원(420)은 상기 마스크 어셈블리(100)와 대향되도록 배치될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 증착원(420)은 챔버(410)에 고정될 수 있다. 다른 일 실시예에 있어서, 상기 증착원(420)은 상기 챔버(410)내 이동가능할 수 있다. 상기 증착원(420) 내부에는 증착 물질이 수납될 수 있다. 상기 증착원(420) 둘레에는 증착 물질에 열을 가하는 히터(421)가 배치될 수 있다.
상기 마스크 프레임(200) 상에는 마스크 시트(300)가 배치될 수 있다. 상기 마스크 시트(300) 상에는 기판(430)이 위치할 수 있다. 상기 기판(430)은 제 1 서포트(440) 상에 안착될 수 있다. 상기 마스크 프레임(200)은 제 2 서포트(450) 상에 안착될 수 있다.
비젼(460)은 상기 챔버(410) 상부에 설치될 수 있다. 상기 비젼(460)은 상기 마스크 어셈블리(100)와 기판(430)의 위치를 촬영할 수 있다. 상기 비젼(460)은 촬영된 영상을 제어부(미도시)로 전송할 수 있다. 제어부는 마스크 어셈블리(100)와 기판(430)의 위치를 근거로 마스크 어셈블리(100)와 기판(430)를 얼라인시킬 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 증착 장치(400)의 작용을 간략하게 살펴보면 다음과 같다.
상기 기판(430) 및 마스크 어셈블리(100)를 각각 제 1 서포트(440)와 제 2 서포트(450)에 안착시키게 된다. 이후, 비젼(460)에 촬영된 이미지를 근거로 기판(430)과 마스크 어셈블리(100)를 얼라인시킨다.
상기 증착원(420)으로부터 증착 물질을 상기 마스크 시트(300)를 향하여 분사하게 되면, 증착 물질은 상기 마스크 시트(300)에 패턴화된 복수의 증착홀(330)을 통과하여 상기 기판(430)의 일면에 증착된다. 상기 기판(430) 상에 증착 패턴이 형성된 다음에는 다른 기판(430)을 챔버(410)에 장입하여 증착 과정을 반복적으로 수행하게 된다.
상기 챔버(410) 내에서 수회 내지 수십 횟수의 증착 과정을 반복적으로 수행하면, 마스크 시트(300)는 열적 변형이 발생하게 된다. 예컨대, 상기 증착원(420)으로부터 발생하는 열로 인하여 상기 마스크 시트(300)는 변형될 수 있다. 이에 따라, 상기 기판(430) 상의 소망하는 위치에 증착 패턴을 형성하지 못하게 된다. 결과적으로 섀도우 불량이 발생하게 된다.
한편, 상기 마스크 어셈블리(100)는 제조 과정중에도 마스크 시트(300)의 변형이 발생할 수 있다.
이처럼, 상기 마스크 시트(300)는 길이 방향 또는 폭 방향으로 변형될 수 있다. 상기 마스크 시트(300)의 PPA가 허용된 오차 범위를 벗어나면, 기판(430) 상에 정밀한 증착 패턴을 형성할 수 없다. 따라서, 상기 마스크 시트(300)의 증착홀(330)이 정위치할 수 있도록 상기 마스크 시트(300)의 리페어 작업을 수행하게 된다.
리페어 작업시, 상기 마스크 시트(300)의 어느 한 영역, 예컨대, 상기 마스크 시트(300)의 단부측이나, 상기 마스크 시트(300)의 폭 방향의 가장자리 측에는 상기 마스크 시트(300)의 열적 변형량을 조절하기 위하여 열변형부가 배치될 수 있다. 여기서, 단부라 함은 상기 마스크 시트(300)의 길이 방향의 가장자리를 의미한다.
도 3은 도 1의 분리된 하나의 마스크 시트(310)를 도시한 평면도이고, 도 4는 도 3의 마스크 시트(310)의 일 단부를 확대 도시한 평면도이고, 도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ 선을 따라 절개 도시한 단면도이다.
도 3 내지 도 5의 실시예는 상기 마스크 시트(300)의 길이 방향(X 방향)으로 PPA를 재정렬하기 위한 실시예일 수 있다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 상기 마스크 시트(310)는 제 1 방향(X 방향)으로 연장될 수 있다. 상기 마스크 시트(310)는 제 2 방향(Y 방향)으로 분리배치될 수 있다. 상기 제 1 방향(X 방향)은 상기 마스크 시트(310)의 길이 방향일 수 있다. 상기 제 2 방향(Y 방향)은 상기 마스크 시트(310)의 폭 방향일 수 있다.
상기 마스크 시트(310)의 길이 방향에 있어서, 상기 마스크 시트(310)의 제 1 단부(311)는 상기 제 3 프레임(230)에 용접되고, 상기 마스크 시트(310)의 제 2 단부(312)는 상기 제 4 프레임(240)에 용접될 수 있다. 상기 제 1 단부(311) 및 제 2 단부(312)는 상기 마스크 시트(310)가 인장된 상태에서 상기 제 3 프레임(230) 및 제 4 프레임(240)에 각각 용접될 수 있다.
상기 마스크 시트(310)의 제 1 단부(311)에는 레이저 용접에 의하여 복수의 제 1 용접점(351)이 형성되고, 상기 마스크 시트(310)의 제 2 단부(312)에는 레이저 용접에 의하여 복수의 제 2 용접점(352)이 형성될 수 있다. 상기 제 1 용접점(351)은 상기 마스크 시트(310)의 제 1 단부(311)와 제 3 프레임(230)을 용융시켜 형성되며, 상기 제 3 프레임(230)에 대하여 상기 제 1 단부(311)를 고정할 수 있다. 상기 제 2 용접점(352)은 상기 마스크 시트(310)의 제 2 단부(312)와 제 4 프레임(240)을 용융시켜 형성되며, 상기 제 4 프레임(240)에 대하여 상기 제 2 단부(312)를 고정할 수 있다.
상기 마스크 시트(310)에는 길이 방향으로 상기 마스크 시트(310)의 열적 변형량을 조절할 수 있는 열변형부(500)가 배치될 수 있다. 상기 열변형부(500)는 마스크 시트(310)의 양 단부(311)(312)에 배치된 제 1 열변형부(510) 및 제 2 열변형부(520)를 포함한다.
구체적으로, 상기 제 1 용접점(351)과 제 1 최외곽 증착패턴부(321) 사이에는 제 1 열변형부(510)가 배치될 수 있다. 상기 제 1 최외곽 증착 패턴부(321)는 상기 마스크 시트(310)의 길이 방향으로 상기 마스크 시트(310)의 제 1 단부(311)에 가장 인접한 증착 패턴부일 수 있다. 상기 제 2 용접점(352)과 제 2 최외곽 증착패턴부(322) 사이에는 제 2 열변형부(520)가 배치될 수 있다. 상기 제 2 최외곽 증착 패턴부(322)는 상기 마스크 시트(310)의 제 2 단부(312)에 가장 인접한 증착 패턴부일 수 있다.
상기 제 1 최외곽 증착 패턴부(321) 및 제 2 최외곽 증착 패턴부(322)에는 복수의 증착홀(330)이 각각 패턴화될 수 있다. 패턴화된 증착홀(330)은 디스플레이 패널의 표시 영역에 패턴화되는 픽셀 패턴에 대응될 수 있다. 다른 일 실시예에 있어서, 상기 증착홀(330)의 일부는 더미 표시 영역에 패턴화되는 더미 픽셀 패턴에 대응될 수 있다.
상기 제 1 열변형부(510)는 복수의 제 1 변형점(511)을 포함한다. 복수의 제 1 변형점(511)은 상기 마스크 시트(310)의 폭 방향(Y 방향)으로 이격될 수 있다. 상기 제 2 열변형부(520)는 복수의 제 2 변형점(521)을 포함한다. 복수의 제 2 변형점(521)은 상기 마스크 시트(301)의 폭 방향(Y 방향)으로 이격될 수 있다.
복수의 제 1 변형점(511) 및 복수의 제 2 변형점(521)은 상기 마스크 시트(310)의 표면(313)으로부터 상기 마스크 시트(310)의 두께 방향으로 열을 인가하는 것에 의하여 형성될 수 있다. 레이저 장치(560)를 이용하여 상기 마스크 시트(310)에 열에너지를 인가하게 되면, 상기 마스크 시트(310)의 일부가 용융되어 상기 제 1 변형점(511) 및 제 2 변형점(521)을 형성할 수 있다.
상기 제 1 변형점(511) 및 제 2 변형점(521)은 상기 마스크 시트(310)를 관통하지 않을 수 있다. 상기 제 1 변형점(511) 및 제 2 변형점(521)은 상기 마스크 시트(310)의 표면(313)으로부터 상기 마스크 시트(310) 두께의 90％까지 용융된 부분을 포함한다. 상기 마스크 시트(310)의 길이 방향으로 열적 변화량을 조절하기 위한 상기 제 1 변형점(511) 및 제 2 변형점(521)의 최적 범위는 상기 마스크 시트(310)의 표면(313)으로부터 상기 마스크 시트(310) 두께의 10％ 내지 90％의 용융된 부분을 포함할 수 있다. 상기 마스크 시트(310) 두께의 10％ 이하일 경우에는 상기 마스크 시트(310)의 열적 변형 효과가 미약하며, 상기 마스크 시트(310) 두께의 90％ 이상일 경우에는 열에너지가 과다하여 상기 마스크 시트(310)가 상기 마스크 프레임(200)에 부착될 수 있다.
상기 제 1 용접점(351) 및 제 2 용접점(352)은 상기 마스크 프레임(200)에 대하여 마스크 시트(310)를 고정시키는 반면에, 상기 제 1 열변형부(510) 및 제 2 열변형부(520)를 구비하는 열변형부(500)는 상기 마스크 프레임(200)과 마스크 시트(310)를 용융하여 결합시키지 않으며, 상기 마스크 프레임(200)과 마스크 시트(310)는 서로 분리될 수 있다.
상기 열변형부(500)는 상기 마스크 프레임(200)이 존재하는 상기 마스크 시트(310)의 일 영역에 배치될 수 있다. 상기 열변형부(500)는 상기 마스크 프레임(200)과 마스크 시트(310)가 중첩되는 영역에 위치할 수 있다. 구체적으로, 상기 제 1 변형점(511)은 상기 마스크 시트(310)와 제 3 프레임(230)이 중첩되는 영역에 위치하고, 상기 제 2 변형점(521)은 상기 마스크 시트(310)와 제 4 프레임(240)이 중첩되는 영역에 위치할 수 있다.
상기 제 1 변형점(511) 및 제 2 변형점(521)을 형성시키기 위하여 가해지는 열은 마스크 시트(310)의 열변형을 발생시킬 수 있다. 상기 마스크 시트(310) 표면(313)에 레이저 빔(561)이 조사되면, 상기 제 1 변형점(511)의 주변 및 제 2 변형점(521) 주변은 열변형으로 인하여 수축될 수 있다.
이때, 도 4에 도시된 것처럼, 상기 마스크 시트(310)의 +X 방향으로 작용하는 수축량은 상기 마스크 시트(310)의 -X 방향으로 작용하는 수축량보다 화살표로 표시한 바와 같이 더 클 수 있다. 상기 마스크 시트(310)의 X 방향으로 수축량의 차이가 나는 것은 상기 마스크 시트(310)의 제 1 단부(311)가 상기 제 3 프레임(230)에 고정되어 있기 때문이다.
수축량의 차이로 인하여, 상기 마스크 시트(310)는 상기 마스크 시트(310)의 +X 방향으로 팽창하게 된다. 이에 따라, 상기 마스크 시트(310)에 패턴화된 상기 증착 패턴부(320)도 상기 마스크 시트(310)의 길이 방향으로 팽창될 수 있다.
도시되지 않지만, 상기 마스크 시트(310)의 제 2 단부(312)도 상기 제 1 단부(311)처럼 상기 마스크 시트(310)의 길이 방향으로 팽창함은 물론이다. 일 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트(310)의 길이 방향으로 상기 마스크 시트(310)의 중앙부에서 팽창이 가장 적으며, 상기 마스크 시트(310)의 양 단부(311)(312)에서 가장 많이 발생하게 된다.
일 실시예에 있어서, 복수의 제 1 변형점(511) 및 복수의 제 2 변형점(521)은 도트형 이외에 바형이나, 스트라이프형등 어느 하나의 형상에 한정되는 것은 아니다.
일 실시예에 있어서, 복수의 제 1 변형점(511) 및 복수의 제 2 변형점(521)은 상기 마스크 시트(310)의 길이 방향으로 복수의 열로 배치되거나, 지그재그로 배치될 수 있는등 어느 하나에 한정되는 것은 아니다.
이상, 도 3 내지 도 5를 참조하여 마스크 시트(310)의 리페어 공정을 수행하는 과정을 살펴보면 다음과 같다.
상기 마스크 시트(310)의 제 1 단부(311) 및 제 2 단부(312)는 인장력이 인가된 상태로 상기 제 3 프레임(230) 및 제 4 프레임(240)에 용접된다. 디스플레이 장치의 증착 공정이나, 상기 마스크 어셈블리(100)의 제조 공정중 상기 마스크 시트(310)에 패턴화된 증착 패턴부(320)가 기판(도 2의 430)에 대하여 정위치에 정렬했는지 상기 마스크 시트(310)의 이미지를 촬영하여 PPA를 측정하게 된다.
PPA가 상기 마스크 시트(310)의 길이 방향으로 허용된 오차 범위를 벗어날 경우, PPA를 재정렬하기 위하여 상기 마스크 시트(310)의 어느 한 영역에 레이저 빔(561)을 조사하여 열변형부(500)를 형성하게 된다.
구체적으로, 상기 마스크 시트(310)의 길이 방향으로, 상기 제 1 용접점(351)과 제 1 최외곽 증착패턴부(321) 사이, 및 제 2 용접점(352)과 제 2 최외곽 증착패턴부(322) 사이에 상기 마스크 시트(310)의 표면(313)을 향하여 레이저 빔(561)을 조사하여 복수의 제 1 변형점(511) 및 복수의 제 2 변형점(521)을 가지는 제 1 변형부(510) 및 제 2 변형부(510)를 각각 형성하게 된다.
상기 열변형부(500)는 상기 마스크 프레임(200)과 상기 마스크 시트(310)가 중첩되는 영역에 형성된다. 상기 제 1 변형점(511)은 상기 마스크 시트(310)와 제 3 프레임(230)이 중첩되는 영역에 형성되고, 상기 제 2 변형점(521)은 상기 마스크 시트(310)와 제 4 프레임(240)이 중첩되는 영역에 형성된다.
이때, 인가되는 열에너지는 상기 마스크 시트(310)를 관통하지 않는다. 레이저 빔(561)은 상기 마스크 시트(310)의 표면(313)으로부터 상기 마스크 시트(310) 두께의 90％까지 용융시켜서 제 1 변형점(511) 및 제 2 변형점(521)을 형성하게 된다.
상기 마스크 시트(310)의 표면(313)에 레이저 빔(561)이 조사되면, 상기 제 1 변형점(511) 및 제 2 변형점(521) 주변은 열변형으로 수축된다. 도 4에 도시된 것처럼, 상기 마스크 시트(310)의 +X 방향으로 작용하는 수축량과, 상기 마스크 시트(310)의 -X 방향으로 작용하는 수축량은 다르다. 전술한 바와 같이, 상기 마스크 시트(310)의 +X 방향으로 작용하는 수축량은 상기 마스크 시트(310)의 -X 방향으로 작용하는 수축량보다 더 크다. 상기 마스크 시트(310)의 제 1 단부(311)가 상기 제 3 프레임(230)에 고정되어 있으므로, 상기 마스크 시트(310)의 +X 방향의 수축력이 상기 마스크 시트(310)의 -X 방향으로 작용하는 수축력보다 더 크다.
도시되어 있지 않지만, 상기 마스크 시트(310)의 제 1 단부(311)의 반대쪽에 위치한 상기 마스크 시트(310)의 제 2 단부(312)에도 동일한 방식으로 레이저 빔을 조사할 수 있음은 물론이다.
상기 마스크 시트(310)의 제 1 단부(311) 및 제 2 단부(312)에 레이저 빔을 조사하게 되면, 상기 마스크 시트(310)의 길이 방향(X 방향)으로 상기 마스크 시트(310)의 동일한 선상에 있는 복수의 제 1 변형점(511)중 해당 제 1 변형점 및 복수의 제 2 변형점(521)중 해당 제 2 변형점을 동시에 조사하게 된다. 예컨대, 마스크 시트(310)의 폭 방향으로 중앙부에 위치한 해당 제 1 및 제 2 변형점들에 동시에 레이저빔을 조사하게 된다. 이후, 레이저 장치를 마스크 시트(310)의 폭(Y 방향)으로 상하 이동시켜서, 동일한 위치에 있는 상기 복수의 제 1 변형점(511)중 해당 변형점 및 복수의 제 2 변형점(521)중 해당 변형점에 동시에 조사하는 공정을 수행하게 된다.
한편, 상기 마스크 시트(310)의 폭 방향(Y 방향)으로 작용하는 수축량은 +Y 방향 및 -Y 방향으로 평형을 이루므로, 상기 마스크 시트(310)의 폭 방향의 수축력은 상쇄될 수 있다.
이에 따라, 상기 마스크 시트(310)는 길이 방향으로 팽창될 수 있다. 상기 마스크 시트(310)의 +X 방향으로 작용하는 수축량과 상기 마스크 시트(310)의 -X 방향으로 작용하는 수축량의 차이로 인하여 상기 마스크 시트(310)는 길이 방향으로 팽창하게 되고, 상기 증착 패턴부(320)도 상기 마스크 시트(310)의 길이 방향으로 팽창될 수 있다.
상기 증착 패턴부(320)는 수축량의 차이만큼 상기 제 1 단부(311) 및 제 2 단부(312) 쪽으로 변형될 수 있으며, 상기 증착 패턴부(320)에 패턴화된 상기 증착홀(330)도 점선으로 표시한 증착홀(331)로 위치이동할 수 있다. 이때, 상기 마스크 시트(310)에 인가되는 열에너지의 세기는 제어부에 의하여 미리 설정된 값을 인가하여 상기 증착홀(330)이 패턴화된 증착 패턴부(320)의 변형량(g)을 조절할 수 있다. 이처럼, 상기 마스크 시트(310)의 교체없이, 상기 마스크 시트(310)의 PPA를 용이하게 보정할 수 있다.
상기 마스크 시트(310)의 양 단부(311)(312)에 열에너지를 가하게 되면, 상기 열변형부(500) 주변은 상기 마스크 시트(310)의 길이 방향으로 서로 다른 수축량으로 수축하게 되고, 상기 증착 패턴부(320)는 상기 마스크 시트(310)의 길이 방향으로 수축량의 차이만큼 팽창하게 된다. 이처럼, 상기 마스크 시트(310)의 열적 변화량을 조절하여 상기 증착홀(330)이 패턴화된 증착 패턴부(320)의 위치를 재정렬할 수 있다.
도 6은 도 3의 마스크 시트(310)의 변형예이며, 도 7은 도 6의 Ⅶ-Ⅶ 선을 따라 절개 도시한 단면도이다.
도면을 참조하면, 마스크 시트(610)에는 길이 방향으로 열적 변형량을 조절할 수 있는 열변형부(700)가 배치될 수 있다. 상기 열변형부(700)는 마스크 시트(610)의 단부(611)에 배치될 수 있다. 상기 열변형부(700)는 용접점(651)과 최외곽 증착 패턴부(621) 사이에 배치될 수 있다. 상기 증착 패턴부(621)에는 복수의 증착홀(630)이 패턴화될 수 있다.
상기 열변형부(700)는 복수의 변형점(711)을 포함한다. 복수의 변형점(711)은 상기 마스크 시트(610)의 폭 방향(Y 방향)으로 이격될 수 있다. 복수의 변형점(711)은 상기 마스크 시트(610)의 표면(613)으로부터 상기 마스크 시트(610)의 두께 방향으로 열을 인가하는 것에 의하여 형성될 수 있다. 상기 변형점(711)은 상기 마스크 시트(610)를 관통하지 않을 수 있다.
도 4의 실시예와는 달리, 상기 열변형부(700)는 상기 마스크 프레임(200)이 존재하지 않는 마스크 시트(610)의 일 영역에 배치될 수 있다. 구체적으로, 상기 변형점(711)은 상기 마스크 프레임(200)에 중첩되지 않은 상기 마스크 시트(610)의 영역에 위치할 수 있다.
도 3 및 도 6에서와 같이, 상기 열변형부(500)(700)는 용접점(351)(352)(651)과, 마스크 시트(310)(610)의 최외곽 증착 패턴부(321)(322)(621) 사이에 대응되는 마스크 시트(310)(610)의 일 영역에 배치된다면 어느 하나에 한정되는 것은 아니다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 분리된 하나의 마스크 시트(810)를 도시한 평면도이다.
도 3의 마스크 시트(310)의 경우, 마스크 시트(310)의 길이 방향(X 방향)으로 열적 변형한 경우를 예를 들어 설명한 것인데 반하여, 도 8의 마스크 시트(810)의 경우, 마스크 시트(810)의 폭 방향(Y 방향)으로 열적 변형한 경우를 예를 들어 설명한 것이다.
도면을 참조하면, 마스크 시트(810)는 길이 방향(Y 방향)으로 연장될 수 있다. 상기 마스크 시트(810)는 폭 방향(Y 방향)으로 분리배치될 수 있다. 상기 마스크 시트(810)의 제 1 단부(811)는 상기 제 3 프레임(230)에 용접될 수 있고, 상기 마스크 시트(810)의 제 2 단부(812)는 상기 제 4 프레임(240)에 용접될 수 있다.
상기 마스크 시트(810)의 제 1 단부(811)에는 레이저 용접에 의하여 복수의 제 1 용접점(851)이 형성되고, 상기 마스크 시트(810)의 제 2 단부(812)에는 레이저 용접에 의하여 복수의 제 2 용접점(852)이 형성될 수 있다.
상기 마스크 시트(810)에는 폭 방향(Y 방향)으로 상기 마스크 시트(810)의 열적 변형량을 조절할 수 있는 열변형부(830)가 배치될 수 있다. 상기 열변형부(830)는 상기 마스크 시트(810)의 폭 방향(Y 방향)으로 상기 증착 패턴부(820)의 바깥측과 상기 마스크 시트(810)의 가장자리에 위치할 수 있다. 구체적으로, 상기 열변형부(830)는 상기 마스크 시트(810)의 길이 방향(X 방향)으로 상기 마스크 시트(810)의 중앙부에 대응되는 제 1 증착 패턴부(821)의 바깥측과 상기 마스크 시트(810)의 폭 방향(Y 방향)으로 상기 마스크 시트(810)의 상부 가장자리(813) 사이에 배치될 수 있다.
상기 열변형부(830)는 복수의 변형점(831)을 포함한다. 상기 복수의 변형점(831)은 상기 마스크 시트(810)의 길이 방향(X 방향)으로 이격될 수 있다. 상기 열변형부(830)는 상기 마스크 시트(810)의 중앙부에 대응되는 제 1 증착 패턴부(821)의 상부 가장자리(813)에 배치된 것을 예를 들어 설명하지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 상기 마스크 시트(810)의 열적 변화량을 고려하여, 상기 열변형부(830)는 상기 제 1 증착 패턴부(821)에 양측으로 인접한 제 2 증착 패턴부(822)의 상부나, 제 3 증착 패턴부(823)의 상부에도 배치될 수 있다.
상기 열변형부(830)는 상기 마스크 시트(810)의 두께 방향으로 열을 인가하는 것에 의하여 형성될 수 있다. 상기 변형점(831)은 상기 마스크 시트(810)를 관통하지 않을 수 있다. 상기 마스크 시트(810)에 열에너지를 인가하면, 상기 마스크 시트(810)의 일부가 용융되어 복수의 변형점(831)을 형성할 수 있다.
상기 마스크 시트(810)의 상부 가장자리(813)에 레이저 빔이 조사되면, 변형점(831)의 주변은 열변형으로 수축될 수 있다. 구체적으로, 상기 마스크 시트(810)의 +Y 방향으로 작용하는 수축량은 상기 마스크 시트(810)의 -Y 방향으로 작용하는 수축량보다 더 클 수 있다. 상기 마스크 시트(810)의 Y 방향으로 수축량의 차이가 나는 것은 상기 마스크 시트(810)의 양 단부(811)(812)가 프레임(230)(240)에 고정되어 있기 때문이다.
수축량의 차이로 인하여, 상기 마스크 시트(810)는 점선으로 도시한 바와 같이 상기 마스크 시트(810)의 +Y 방향으로 팽창하게 된다. 이에 따라, 상기 마스크 시트(810)에 패턴화된 증착 패턴부(820)도 상기 마스크 시트(810)의 폭 방향(Y 방향)으로 팽창될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트(810)의 중앙부의 제 1 증착 패턴부(821)가 가장 많이 팽창되며, 최외곽의 증착 패턴부(824)(825)가 가장 적게 팽창된다. 이처럼, 상기 마스크 시트(810)의 열적 변화량을 조절하여 상기 증착 패턴부(820)의 위치를 재정렬할 수 있다.
도 9는 도 8의 마스크 시트(810)의 변형예이다.
도면을 참조하면, 마스크 시트(910)의 제 1 단부(911)는 상기 제 3 프레임(230)에 용접될 수 있고, 상기 마스크 시트(910)의 제 2 단부(912)는 상기 제 4 프레임(240)에 용접될 수 있다. 상기 마스크 시트(910)의 제 1 단부(911)에는 복수의 제 1 용접점(951)이 형성되고, 상기 마스크 시트(910)의 제 2 단부(912)에는 복수의 제 2 용접점(952)이 형성될 수 있다.
상기 마스크 시트(910)에는 폭 방향으로 상기 마스크 시트(910)의 열적 변형량을 조절할 수 있는 열변형부(930)가 배치될 수 있다. 도 8의 마스크 시트(810)와는 달리, 상기 열변형부(930)는 상기 마스크 시트(910)의 길이 방향(X 방향)으로 상기 마스크 시트(910)의 중앙부에 대응되는 제 1 증착 패턴부(921)의 바깥측과 상기 마스크 시트(910)의 폭 방향으로 상기 마스크 시트(910)의 하부 가장자리(913) 사이에 배치될 수 있다.
상기 열변형부(930)는 복수의 변형점(931)을 포함한다. 상기 복수의 변형점(931)은 상기 마스크 시트(910)의 길이 방향(X 방향)으로 이격될 수 있다. 상기 열변형부(930)는 상기 마스크 시트(910)의 두께 방향으로 열을 인가하는 것에 의하여 형성될 수 있다. 상기 변형점(931)은 상기 마스크 시트(910)를 관통하지 않을 수 있다.
상기 마스크 시트(910)의 하부 가장자리(913)에 레이저 빔이 조사되면, 상기 마스크 시트(910)의 폭 방향(Y 방향)으로의 수축량 차이에 의하여 상기 마스크 시트(910)는 점선으로 도시한 바와 같이 상기 마스크 시트(810)의 -Y 방향으로 팽창하게 된다. 이에 따라, 상기 마스크 시트(910)에 패터환된 증착 패턴부(920)도 상기 마스크 시트(910)의 폭 방향(Y 방향)으로 팽창될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트(910)는 중앙부의 제 1 증착 패턴부(921)가 가장 많이 팽창되며, 최외곽의 증착 패턴부(922)(923)가 가장 적게 팽창된다.
도 10은 도 1의 마스크 어셈블리(100)를 이용하여 증착된 유기 발광 디스플레이 장치(1000)의 일 서브 픽셀을 도시한 단면도이다.
여기서, 서브 픽셀들은 적어도 하나의 박막 트랜지스터(TFT)와, 유기 발광 소자(OLED)를 가진다. 상기 박막 트랜지스터는 반드시 도 10의 구조로만 가능한 것은 아니며, 그 수와 구조는 다양하게 변형가능하다.
도면을 참조하면, 유기 발광 디스플레이 장치(1000)에는 기판(1011)이 마련되어 있다. 상기 기판(1011)은 글래스 기판이나, 플라스틱 기판이나, 유연성을 가지는 필름 기판을 포함한다. 상기 기판(1011)은 투명하거나, 반투명하거나, 불투명할 수 있다.
상기 기판(1011) 상에는 버퍼층(1012)이 배치될 수 있다. 상기 버퍼층(1012)은 상기 기판(1011)의 윗면을 덮을 수 있다. 상기 버퍼층(1012)은 무기막,또는, 유기막으로 형성될 수 있다. 상기 버퍼층(1012)은 단일막, 또는, 다층막일 수 있다.
상기 버퍼층(1012) 상에는 박막 트랜지스터(Thin film transistor, TFT)가 형성될 수 있다. 본 실시예에 따른 박막 트랜지스터는 탑 게이트(Top gate) 방식의 박막 트랜지스터를 예시하나, 바텀 게이트(Bottom gate) 방식 등 다른 구조의 박막 트랜지스터가 구비될 수 있음은 물론이다.
상기 버퍼층(1012) 상에는 반도체층(1013)이 배치될 수 있다. 상기 반도체층(1013)에는 N형, 또는, P형 불순물 이온을 도핑하는 것에 의하여 소스 영역(1014)과, 드레인 영역(1015)이 형성될 수 있다. 상기 소스 영역(1014)과, 드레인 영역(1015) 사이의 영역은 불순물이 도핑되지 않는 채널 영역(1016)일 수 있다.
상기 반도체층(1013)은 유기 반도체나, 무기 반도체나, 비정질 실리콘(amorphous silicon)일 수 있다. 다른 일 실시예에 있어서, 상기 반도체층(1013)은 산화물 반도체일 수 있다.
상기 반도체층(1013) 상에는 게이터 절연막(1017)이 증착될 수 있다. 상기 게이트 절연막(1017)은 무기막으로 형성될 수 있다. 상기 게이트 절연막(1017)은 단일층, 또는, 다층막일 수 있다.
상기 게이트 절연막(1017) 상에는 게이트 전극(1018)이 배치될 수 있다. 상기 게이트 전극(1018)은 Au, Ag, Cu, Ni, Pt, Pd, Al, Mo, Cr 등의 단일막, 또는, 다층막을 포함하거나, Al:Nd, Mo:W 와 같은 합금을 포함한다.
상기 게이트 전극(1018) 상에는 층간 절연막(1019)이 배치될 수 있다. 상기 층간 절연막(1019)은 실리콘 산화물이나, 실리콘 질화물 등과 같은 무기막으로 형성될 수 있다.
상기 층간 절연막(1019) 상에는 소스 전극(1020)과, 드레인 전극(1021)이 배치될 수 있다. 상기 게이트 절연막(1017)의 일부 및 층간 절연막(1019)의 일부를 제거하여서 콘택홀을 형성하고, 콘택홀을 통하여 소스 영역(1014)에 대하여 소스 전극(1020)이 전기적으로 연결되고, 드레인 영역(1015)에 대하여 드레인 전극(1021)이 전기적으로 연결될 수 있다.
상기 소스 전극(1020)과, 드레인 전극(1021) 상에는 패시베이션막(1022)이 형성될 수 있다. 상기 패시베이션막(1022)은 무기막, 또는, 유기막으로 형성될 수 있다.
상기 패시베이션막(1022) 상에는 평탄화막(1023)이 형성될 수 있다. 상기 평탄화막(1023)은 아크릴(acryl), 폴리이미드(polyimide), BCB(Benzocyclobutene) 등의 유기막을 포함한다. 일 실시예에 이어서, 상기 패시베이션막(1022) 및 평탄화막(1023)은 단일층, 또는, 다층으로 형성할 수 있다.
상기 박막 트랜지스터의 상부에는 유기 발광 소자(OLED)가 배치될 수 있다.
상기 유기 발광 소자(OLED)는 픽셀 전극(1025), 대향 전극(1027), 및 픽셀 전극(1025)과 대향 전극(1027) 사이에 개재되는 중간층(1026)을 포함한다.
픽셀 전극(1025)은 콘택홀을 통하여 상기 소스 전극(1020)이나 드레인 전극(1021)중 어느 한 전극에 전기적으로 연결되어 있다.
상기 픽셀 전극(1025)은 애노우드로 기능하는 것으로서, 다양한 도전성 소재로 형성될 수 있다. 상기 픽셀 전극(1025)은 투명 전극, 또는, 반사형 전극으로 형성될 수 있다.
상기 평탄화막(1023) 상에는 상기 픽셀 전극(1025)의 가장자리를 덮는 픽셀 정의막(pixel define layer, PDL, 1024)이 배치될 수 있다. 상기 픽셀 정의막(1024)은 상기 픽셀 전극(1025)의 가장자리를 둘러싸는 것에 의하여 각 서브 픽셀의 발광 영역을 정의한다.
상기 픽셀 정의막(1024)은 유기막으로 형성될 수 있다.
상기 픽셀 전극(1025) 상에는 상기 픽셀 정의막(1024)의 일부를 에칭하는 것에 의하여 노출된 영역에 중간층(1026)이 배치될 수 있다. 상기 중간층(1026)은 증착 공정에 의하여 형성시킬 수 있다.
상기 중간층(1026)은 저분자 유기물이나, 고분자 유기물로 이루어질 수 있다.
상기 중간층(1026)은 유기 발광층(Emissive layer, EML)을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 상기 중간층(1026)는 유기 발광층을 구비하고, 그 외에, 정공 주입층(Hole injection layer, HIL), 정공 수송층(Hole transport layer, HTL), 전자 수송층(Electron transport layer, ETL), 전자 주입층(Electron injection layer, EIL)중 적어도 어느 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예에서는 이에 한정되지 않고, 상기 중간층(1026)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층을 더 구비할 수 있다.
상기 중간층(1026) 상에는 대향 전극(1027)이 배치될 수 있다. 상기 대향 전극(1027)은 공통 전극에 대응될 수 있다. 상기 대향 전극(1027)은 픽셀 전극(1025)과 마찬가지로 투명 전극이나, 반사형 전극으로 형성할 수 있다.
상기 픽셀 전극(1025)과, 대향 전극(1027)은 중간층(1026)에 의하여 서로 절연될 수 있다. 상기 픽셀 전극(1025) 및 대향 전극(1027)에 전압이 인가되면, 상기 중간층(1026)에서 가시광이 발광하여 사용자가 인식할 수 있는 화상이 구현된다.
유기 발광 소자의 상부에는 밀봉부(1040, Encapsulation)가 배치될 수 있다.
상기 밀봉부(1040)는 복수의 유기막(1041)(1042)과, 복수의 무기막(1043)(1044)(1045)이 교대로 적층될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 밀봉부(1040)는 유기막(1041)(1042)이 적어도 1층이고, 무기막(1043)(1044)(1045)이 적어도 2층의 구조를 가질 수 있다. 상기 밀봉부(1040)중 외부로 노출된 최상층(1045)은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기막으로 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 리페어 공정을 수행한 마스크 시트(300)를 적용함에 따라 상기 중간층(1026)은 소망하는 위치에 정확하게 증착될 수 있다.
100...마스크 프레임 어셈블리 200...마스크 프레임
300...마스크 시트 310...분리된 마스크 시트
320...증착 패턴부 351...제 1 용접점
352...제 2 용접점 500...열변형부
510...제 1 열변형부 511...제 1 변형점
520...제 2 열변형부 521...제 2 변형점

Claims (20)

  1. 개구를 가지며, 상기 개구를 둘러싸는 마스크 프레임;
    상기 마스크 프레임 상에 배치되며, 복수의 증착홀을 가지는 증착 패턴부가 패턴화되며, 길이 방향으로 양 단부가 상기 마스크 프레임에 용접된 적어도 하나의 마스크 시트; 및
    상기 마스크 시트의 적어도 어느 한 영역에 배치되며, 상기 마스크 시트의 열적 변형량을 조절하는 열변형부;를 포함하되,
    상기 열변형부는 상기 마스크 시트의 표면으로부터 상기 마스크 시트의 두께 방향으로 열을 인가한 복수의 변형점을 구비하며, 각각의 변형점은 상기 마스크 시트를 관통하지 않은 마스크 어셈블리.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 열변형부는 상기 용접되는 위치인 용접점과 상기 마스크 시트의 길이 방향으로 최외곽 증착 패턴부 사이에 배치된 마스크 어셈블리.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 열변형부는 상기 마스크 프레임과 상기 마스크 시트가 중첩되는 영역에 위치하는 마스크 어셈블리.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 열변형부는 상기 마스크 프레임에 중첩되지 않은 상기 마스트 시트의 영역에 위치하는 마스크 어셈블리.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 각각의 변형점은 상기 마스크 시트의 폭 방향으로 이격되게 배치된 마스크 어셈블리.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 열변형부는 상기 마스크 시트의 폭 방향으로 상기 증착 패턴부의 바깥측과, 상기 마스크 시트의 가장자리 사이에 배치된 마스크 어셈블리.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 열변형부는 상기 마스크 시트의 길이 방향으로 상기 마스크 시트의 중앙부에 대응되는 증착 패턴부의 바깥측과 상기 마스크 시트의 폭 방향으로 상기 마스크 시트의 상부 가장자리 사이에 배치된 마스크 어셈블리.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 열변형부는 상기 마스크 시트의 길이 방향으로 상기 마스크 시트의 중앙부에 대응되는 증착 패턴부의 바깥측과 상기 마스크 시트의 폭 방향으로 마스크 시트의 하부 가장자리 사이에 배치된 마스크 어셈블리.
  9. 제 6 항에 있어서,
    각각의 변형점은 상기 마스크 시트의 길이 방향으로 이격되게 배치된 마스크 어셈블리.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 열변형부는 상기 마스크 시트의 표면으로부터 상기 마스크 시트의 두께의 90％까지 용융된 부분을 포함하는 마스크 어셈블리.
  11. 길이 방향으로 마스크 프레임에 양 단부가 용접되며, 복수의 증착홀을 가지는 증착 패턴부가 패턴화된 적어도 하나의 마스크 시트가 기판에 대하여 정위치에 정렬했는지 측정하는 단계;
    상기 마스크 시트의 적어도 어느 한 영역에 레이저 빔을 조사하여 상기 마스크 시트를 관통하지 않는 복수의 변형점을 가지는 열변형부를 형성하는 단계; 및
    상기 마스크 시트의 열적 변화량을 조절하여 상기 증착 패턴부의 위치를 재정렬하는 단계;를 포함하는 마스크 시트의 리페어 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 열변형부는 상기 마스크 시트의 표면으로부터 상기 마스크 시트의 두께의 90％까지 열을 인가하는 마스크 시트의 리페어 방법.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 열변형부는 상기 용접되는 위치인 용접점과 마스크 시트의 길이 방향으로 최외곽 증착 패턴부 사이에 배치되는 마스크 시트의 리페어 방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 열변형부는 상기 마스크 프레임과 상기 마스크 시트가 중첩되는 영역에 위치하는 마스크 시트의 리페어 방법.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 열변형부는 상기 마스크 프레임에 중첩되지 않은 상기 마스크 시트의 영역에 위치하는 마스크 시트의 리페어 방법.
  16. 제 13 항에 있어서,
    상기 열변형부 주변은 상기 마스크 시트의 길이 방향으로 서로 다른 수축량으로 수축되며, 상기 증착 패턴부는 상기 마스크 시트의 길이 방향으로 상기 수축량의 차이만큼 팽창하는 마스크 시트의 리페어 방법.
  17. 제 11 항에 있어서,
    상기 열변형부는 상기 마스크 시트의 폭 방향으로 증착 패턴부의 바깥측과, 상기 마스크 시트의 가장자리 사이에 배치되는 마스크 시트의 리페어 방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 열변형부는 상기 마스크 시트의 길이 방향으로 상기 마스크 시트의 중앙부에 대응되는 증착 패턴부의 바깥측과, 상기 마스크 시트의 폭 방향으로 상기 마스크 시트의 상부 가장자리에 위치하는 마스크 시트의 리페어 방법.
  19. 제 17 항에 있어서,
    상기 열변형부는 상기 마스크 시트의 길이 방향으로 상기 마스크 시트의 중앙부에 대응되는 증착 패턴부의 바깥측과, 상기 마스크 시트의 폭 방향으로 상기 마스크 시트의 하부 가장자리에 위치하는 마스크 시트의 리페어 방법.
  20. 제 17 항에 있어서,
    상기 열변형부 주변은 상기 마스크 시트의 폭 방향으로 서로 다른 수축량으로 수축되며, 상기 증착 패턴부는 상기 마스크 시트의 폭 방향으로 상기 수축량의 차이만큼 팽창하는 마스크 시트의 리페어 방법.
KR1020200044304A 2020-04-10 2020-04-10 마스크 어셈블리와, 이를 이용한 마스크 시트의 리페어 방법 KR20210126843A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200044304A KR20210126843A (ko) 2020-04-10 2020-04-10 마스크 어셈블리와, 이를 이용한 마스크 시트의 리페어 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200044304A KR20210126843A (ko) 2020-04-10 2020-04-10 마스크 어셈블리와, 이를 이용한 마스크 시트의 리페어 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20210126843A true KR20210126843A (ko) 2021-10-21

Family

ID=78269069

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200044304A KR20210126843A (ko) 2020-04-10 2020-04-10 마스크 어셈블리와, 이를 이용한 마스크 시트의 리페어 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20210126843A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102420460B1 (ko) 마스크 프레임 조립체, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
US10263185B2 (en) Method of manufacturing OLED display device, mask, and method of designing mask
KR102586048B1 (ko) 마스크 조립체, 이의 제조방법 및 이를 포함한 표시 장치의 제조장치
KR102632617B1 (ko) 마스크 조립체, 이를 이용한 표시 장치의 제조장치, 이를 이용한 표시 장치의 제조방법 및 표시 장치
US11396030B2 (en) Mask frame assembly for depositing thin film
US8701592B2 (en) Mask frame assembly, method of manufacturing the same, and method of manufacturing organic light-emitting display device using the mask frame assembly
US10897010B2 (en) Mask frame assembly for thin layer deposition
KR101833234B1 (ko) 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리
US10452182B2 (en) Display device and method of manufacturing the same
TWI546996B (zh) 用於薄膜沉積之遮罩框架組件
KR102316680B1 (ko) 박막 증착용 마스크 어셈블리와, 이의 제조 방법
KR102631256B1 (ko) 마스크 조립체, 이를 이용한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
US20100035503A1 (en) Method of manufacturing flat panel display device
US11939657B2 (en) Hybrid mask stick and mask frame assembly employing the same
KR102424976B1 (ko) 마스크 조립체, 이를 이용한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR20180032718A (ko) 분할 마스크의 제조 방법
KR102606276B1 (ko) 마스크 조립체의 제조방법 및 표시 장치의 제조방법
KR102369675B1 (ko) 박막 증착용 마스크 어셈블리와, 이를 이용하여 제조된 유기 발광 디스플레이 장치
KR20240057395A (ko) 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리
KR102631255B1 (ko) 하이브리드형 마스크 스틱과, 이를 적용한 마스크 프레임 어셈블리
KR20210126843A (ko) 마스크 어셈블리와, 이를 이용한 마스크 시트의 리페어 방법
EP3960895A1 (en) Mask assembly, method of providing the same, and method of providing display panel using mask
KR100846589B1 (ko) 기판 정렬 방법
KR20070015328A (ko) 평판 디스플레이 장치
KR20230055469A (ko) 마스크 조립체, 이를 포함하는 표시장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법