KR20210126321A - Field mapper for long axis superconducting electromagnet - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 장축 초전도 전자석용 필드 맵퍼에 관한 것으로, 초전도 전자석이 설치된 챔버의 빔 튜브 내에서 자기장 분포를 측정하는 장치이며 자기장을 측정하기 위한 길이가 긴 기구의 자중에 의한 축 처짐을 최소로 하여 위치 정밀도를 높이고 측정 정확도를 향상시킬 수 있는 장축 초전도 전자석용 필드 맵퍼에 관한 기술이다.The present invention relates to a field mapper for a long-axis superconducting electromagnet, which is a device for measuring the magnetic field distribution in a beam tube of a chamber in which a superconducting electromagnet is installed. It is a technology related to a field mapper for long-axis superconducting electromagnets that can increase precision and improve measurement accuracy.
초전도 전자석의 설계 검증을 위한 전자기적 특성 평가, 실제 운전시의 사용할 운전 전류별 자기장 데이터를 확보하는데 자기장 분포 측정 장치(이하 "필드 맵퍼")가 사용된다.A magnetic field distribution measuring device (hereinafter “field mapper”) is used to evaluate electromagnetic characteristics for design verification of superconducting electromagnets and to secure magnetic field data for each operating current to be used during actual operation.
이러한 초전도 전자석의 자기장 특성을 분석하기 위해서는 측정점에 대한 정밀한 위치 제어 및 위치 측정이 요구된다. 측정점의 위치 정밀도를 보장하기 위해서는 필드 맵퍼를 구성하는 기구부의 제작/조립/동작 정밀도가 요구되며, 장축 초전도 전자석용 설치 시 초전도 자석이 설치된 챔버와의 상대적 위치 정밀도 또한 중요하다.In order to analyze the magnetic field characteristics of such a superconducting electromagnet, precise position control and position measurement of the measurement point are required. In order to guarantee the positional accuracy of the measurement point, the manufacturing/assembly/operational precision of the mechanical part constituting the field mapper is required, and the relative positional accuracy with the chamber where the superconducting magnet is installed is also important when installing the long-axis superconducting electromagnet.
필드 맵퍼(Field mapper)는 저온초전도 전자석이 위치한 챔버의 측면 플랜지에 장착되어, 빔 튜브(반경 130mm) 내의 원통 표면에서의 자기장 분포를 측정하는 장치이다. 특정 반경(120mm)에 고정된 자기장 센서인 홀 프로브(hall probe)를 직선 방향(z축 방향)과 각도 방향(theta 방향)으로 움직이면서 3축 방향의 자기장(Br, Bt, Bz)을 동시에 측정하면서 원통 표면의 자기장 분포를 일정한 간격으로 측정하여 제공한다.The field mapper is mounted on the side flange of the chamber where the low-temperature superconducting electromagnet is located, and measures the magnetic field distribution on the cylindrical surface in the beam tube (radius 130mm). While simultaneously measuring the magnetic field (Br, Bt, Bz) in three directions while moving the hall probe, a magnetic field sensor fixed to a specific radius (120mm) in the linear direction (z-axis direction) and angular direction (theta direction), The magnetic field distribution on the cylindrical surface is measured and provided at regular intervals.
홀 프로브는 이동하는 카트 위에 부착되어 가이드 파이프 내부의 레일을 따라 슬라이딩 하면서 직선 이송된다. 또한, 가이드 파이프 전체가 회전하면서 홀 프로브를 각도 방향으로 움직이게 된다. 그리고 그 챔버의 길이(측정 시 z축 범위)가 3,400mm 임을 감안할 때 필드 맵퍼 기구부인 가이드 파이프의 축 처짐 현상이 예상되므로, 축 처짐에 대한 해석적 예측 및 보완 방안이 강구되어야 한다.The hole probe is attached to the moving cart and is transferred in a straight line while sliding along the rail inside the guide pipe. In addition, while the entire guide pipe rotates, the Hall probe is moved in an angular direction. And given that the length of the chamber (the z-axis range for measurement) is 3,400 mm, the axial deflection of the guide pipe, which is the mechanical part of the field mapper, is expected.
상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 본 발명은 초전도 전자석이 설치된 챔버의 빔 튜브 내에서 자기장 분포를 정밀측정 하기 위해서 자기장을 검출하기 위한 기구부의 축 처짐을 최소로 하여 위치 정밀도를 높이고 측정 정확도를 향상시킬 수 있는 장축 초전도 전자석용 필드 맵퍼를 제공하고자 하는데 그 목적이 있다. In order to solve the above problems, the present invention is to increase the positioning accuracy by minimizing the axial deflection of the mechanical part for detecting the magnetic field in order to precisely measure the magnetic field distribution in the beam tube of the chamber in which the superconducting electromagnet is installed, and to improve the measurement accuracy. The purpose is to provide a field mapper for long-axis superconducting electromagnets that can
상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 장축 초전도 전자석이 설치된 챔버의 빔 튜브 내에서 표면 자기장 분포를 측정하기 위한 장축 초전도 전자석용 필드 맵퍼에 있어서, 상기 빔 튜브 양측에 구비되는 지지대; 상기 빔 튜브를 관통하며 상기 지지대에 설치되어 회전수단에 의해 축 회전 가능한 가이드 파이프; 상기 가이드 파이프에 설치되어 회전에 연동되며, 이동수단에 의해 상기 가이드 파이프의 길이방향을 따라 왕복 이동되는 카트; 상기 카트에 설치되어 자기장 분포를 측정하는 홀 프로브; 상기 가이드 파이프 양단에 설치되어 상기 가이드 파이프의 자중에 의한 변형을 방지하는 중량체;가 포함되는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the present invention provides a field mapper for a long-axis superconducting electromagnet for measuring a surface magnetic field distribution in a beam tube of a chamber in which a long-axis superconducting electromagnet is installed, comprising: supports provided on both sides of the beam tube; a guide pipe that passes through the beam tube and is installed on the support and can be axially rotated by a rotating means; a cart installed on the guide pipe, interlocked with rotation, and reciprocally moved along the longitudinal direction of the guide pipe by a moving means; a Hall probe installed on the cart to measure a magnetic field distribution; and a weight body installed at both ends of the guide pipe to prevent deformation due to the weight of the guide pipe.
상기 지지대에는, 상기 지지대에 설치되고 상,하 이동되어 상기 중량체를 가압하는 중량조절을 하는 가압핀이 더 구비되는 것을 특징으로 한다.In the support, a pressure pin installed on the support and moved up and down to adjust the weight for pressing the weight is further provided.
상기 가압핀과 상기 중량체 사이에는 베어링이 설치되는 것을 특징으로 한다.A bearing is installed between the pressing pin and the weight.
상기 지지대와, 상기 가이드 파이프 사이에는, 자동조심롤러베어링이 설치되는 것을 특징으로 한다.Between the support and the guide pipe, it is characterized in that the self-aligning roller bearing is installed.
상기 지지대에는, 상기 가이드 파이프 하부에 위치되게 설치되어 상기 가이드 파이프의 자중에 의한 변형을 방지하는 플레이트 형상의 서포터가 더 구비되는 것을 특징으로 한다.The support may further include a plate-shaped supporter installed to be positioned below the guide pipe to prevent deformation due to the weight of the guide pipe.
상기의 해결 수단에 의하면 다음과 같은 효과를 기대할 수 있다.According to the above solution, the following effects can be expected.
자기장을 검출하기 위한 기구부인 가이드 파이프의 양측에 하중을 부여함으로써 가이드 파이프의 처짐을 최소로 하여 홀 프로브의 위치 정밀도를 높이고 자기장 분포 측정 정확도를 높일 수 있다.By applying a load to both sides of the guide pipe, which is a mechanism for detecting a magnetic field, the deflection of the guide pipe is minimized to increase the positional accuracy of the Hall probe and increase the magnetic field distribution measurement accuracy.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 장축 초전도 전자석용 필드 맵퍼의 구성도이다.
도 2는 도 1의 요부 확대도이다.
도 3은 도 1의 카트의 상세도이다.
도 4는 자중에 의한 가이드 파이프의 처짐 상태의 구조해석 결과이다.
도 5는 중량체 가압에 의한 가이드 파이프의 처짐 상태의 구조해석 결과이다.1 is a block diagram of a field mapper for a long-axis superconducting electromagnet according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged view of the main part of FIG. 1 .
Fig. 3 is a detailed view of the cart of Fig. 1;
4 is a structural analysis result of the deflection state of the guide pipe due to its own weight.
5 is a structural analysis result of the sagging state of the guide pipe due to the pressure of the weight body.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하고자 한다. 하기 설명 및 첨부 도면에 나타난 바는 본 발명의 전반적인 이해를 위해 제시된 것이므로 본 발명의 기술적 범위가 그것들에 한정되는 것은 아니다. 그리고 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 구성 및 기능에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the following description and the accompanying drawings are presented for a general understanding of the present invention, the technical scope of the present invention is not limited thereto. In addition, detailed descriptions of well-known configurations and functions that may unnecessarily obscure the gist of the present invention will be omitted.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 장축 초전도 전자석용 필드 맵퍼의 구성도이고, 도 2는 도 1의 요부 확대도이다.1 is a block diagram of a field mapper for a long-axis superconducting electromagnet according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged view of the main part of FIG. 1 .
도 1을 참조하면, 본 발명인 장축 초전도 전자석용 필드 맵퍼는 초전도 전자석이 설치된 챔버의 빔 튜브 내에서 표면 자기장 분포를 측정하기 위한 장축 초전도 전자석용 필드 맵퍼에 있어서, 크게 지지대(100), 가이드 파이프(200), 카트(300), 홀 프로브(400), 중량체(500)를 포함하여 이루어진다.1, the field mapper for long-axis superconducting electromagnets of the present invention is a field mapper for long-axis superconducting electromagnets for measuring surface magnetic field distribution in a beam tube of a chamber in which a superconducting electromagnet is installed. 200 ), a
상기 지지대(100)는 챔버의 상기 빔 튜브(10) 양측에 구비되어 상기 가이드 파이프(200)를 지지할 수 있다. 여기서 지지대(100)는 챔버 양측면 플랜지에 장착될 수 있다.The
상기 가이드 파이프(200)는 빔 튜브(10)를 관통하는 것으로 상기 빔 튜브(10) 길이 이상으로 형성되게 되며, 상기 가이드 파이프(200)의 상부에 자기장 분포를 측정하는 카트(300)의 이동을 가이드 하도록 레일이 형성되게 된다.The
상기 가이드 파이프(200)는 상기 빔 튜브(10)를 관통하며 상기 지지대(100)에 회전 가능하게 설치되어 회전수단에 의해 축 회전 가능하게 하며 측정간격을 1°로 하여 0°에서 360°까지 측정 가능하다. 측정간격을 사용용도와 환경에 따라 다양하게 조절 가능하다.The
여기서, 회전수단은 모터(220)의 회전력을 전달하는 벨트와 연결되어 상기 가이드 파이프(200)를 회전시킬 수 있다. 모터와 기어에 의한 가이드 파이프 연결방식은 기어와 모터와의 사이의 간격 및 처짐으로 백래시(back rash)가 발생할 수 있으며, 가이드 파이프(200)의 변형에 의한 기어의 파손이나 영구변형이 일어날 수 있기 때문에 벨트 연결이 더 바람직하다.Here, the rotating means may be connected to a belt that transmits the rotational force of the
또한, 상기 지지대(100)와 상기 가이드 파이프(200) 사이에는, 자동조심롤러베어링(110)이 설치되는 것을 특징으로 한다. 자동조심롤러베어링(110)을 사용하는 이유는 상기 가이드 파이프(200)에 중량체에 의한 하중 부가시 축의 자유도를 보완할 수 있고, 또한 가이드 파이프(200)의 자중에 의한 처짐과 회전으로 인한 간섭을 최소화하기 위해서이다.In addition, between the
상기 카트(300)는 상기 가이드 파이프(200)에 설치되어 있어 상기 가이드 파이프(200)의 회전에 연동되며, 이동수단에 의해 상기 가이드 파이프(200)의 길이방향을 따라 슬라이드 왕복 이동 가능하게 하며, 마찰을 최소화하기 위해 볼-슬라이드 구조로 결합할 수 있다.The
여기서, 상기 카트(300)는 상기 가이드 파이프(200)에 동심축 상에 설치되며, 서버 모터로 견인되는 벨트를 이용하여 축방향으로 왕복 이동 가능하며, 벨트 외에 다른 이동수단도 적용 가능하다.Here, the
상기 홀 프로브(400)는 상기 카트(300)에 설치되어 자기장 분포를 측정하게 한다.The
여기서, 홀 프로브(400)는 자기장 측정을 위한 3축 홀 프로브(400)가 위치하고, 상기 카트(300)의 이동에 의해 위치가 제어되게 된다.Here, in the
상기의 홀프로브(400)는 상기 가이드 파이프(200)의 회전에 연동되고 카트(300)의 이동에 연동되므로, 회전에 의한 일정각도에서 카트를 따라 일정거리 이동에 의한 자기장 분포를 수행하여 반경 방향의 자기장 분포를 측정할 수 있게 된다.Since the
상기 중량체(500)는 상기 가이드 파이프(200) 양단에 설치되어 상기 가이드 파이프(200)의 자중에 의한 변형을 방지하게 한다. 즉 상기 가이드 파이프(200)의 양단을 가압함으로써 축 처짐을 최소로 할 수 있게 된다.The
그래서, 가이드 파이프(200)의 축 처짐을 최소로 하는 것은 가이드 파이프(200)를 따라 이동하는 카트(300)의 위치 정밀도를 향상시키므로 홀 프로브(400)의 자기장 측정 정확도를 향상시킬 수 있게 된다.Therefore, minimizing the axial deflection of the
더하여, 상기 지지대(100)에는, 상기 지지대(100)에 설치되고 상,하 이동되어 상기 중량체(500)를 가압하는 중량조절을 하는 가압핀(600)이 더 구비되는 것이 특징이다.In addition, the
상기 가압핀(600)은 상,하 위치조절에 의해 가압으로 하중인가가 가능하고, 상기의 가이드 파이프(200)에 대한 회전에 간섭되지 않도록 상기 가압핀(600)과 상기 중량체(500) 사이에는 베어링(610)이 설치되는 것을 특징으로 한다.The
상기 베어링(610)을 기준으로 외측에서는 중량체(500)에 의한 가압이 이루어져 상기 가이드 파이프(200)의 처짐을 방지할 수 있게 되는 것이다.It is possible to prevent the
도 4는 자중에 의한 가이드 파이프의 처짐 상태의 구조해석 결과이다.4 is a structural analysis result of the deflection state of the guide pipe due to its own weight.
가이드 파이프(200)는 자중에 의해 도시된 바와 같이 중앙측으로 갈수록 처짐이 생기게 된다.The
도 5는 중량체 가압에 의한 가이드 파이프의 처짐 상태의 구조해석 결과이다.5 is a structural analysis result of the sagging state of the guide pipe due to the pressure of the weight body.
가이드 파이프(200)의 처짐량을 해소하기 위해서 양측에 중량체에 의한 하중을 증가하여 처짐량을 최소화 하였다.In order to solve the amount of deflection of the
그리고, 중량체의 하중인가 시 가이드 파이프(200)가 베어링의 내측 부분에서 위로 뜨는 것을 억제하기 위해 서포터(700)가 있다. 여기서 서포터(700)는 상기 가이드 파이프(200)의 양측에 일정 길이로 형성되며 서포터(700)의 자체 하중 고려가 필요하다. 그리고 상기 서포터(700)는 'ㄱ'자 형태가 되게 하여 강성을 높이고 상기 지지대에 측면상기 가이드 파이프(200)가 접하는 상부 부분을 일부 받쳐주게 된다.In addition, there is a
이상과 같이 본 발명은 장축 초전도 전자석용 필드 맵퍼의 기본적인 기술적인 사상으로 하고 있음을 알 수 있으며, 이와 같은 본 발명의 기본적인 사상의 범주내에서, 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서는 다른 많은 변형이 가능함은 물론이다.As described above, it can be seen that the present invention is based on the basic technical idea of a field mapper for long-axis superconducting electromagnets. Of course, variations are possible.
100: 지지대
200: 가이드 파이프
300: 카트
400: 홀 프로브
500: 중량체
600: 가압핀
700: 서포터100: support
200: guide pipe
300: cart
400: Hall probe
500: weight
600: press pin
700: supporter
Claims (5)
상기 빔 튜브 양측에 구비되는 지지대;
상기 빔 튜브를 관통하며 상기 지지대에 설치되어 회전수단에 의해 축 회전 가능한 가이드 파이프;
상기 가이드 파이프에 설치되어 회전에 연동되며, 이동수단에 의해 상기 가이드 파이프의 길이방향을 따라 왕복 이동되는 카트;
상기 카트에 설치되어 자기장 분포를 측정하는 홀 프로브;
상기 가이드 파이프 양단에 설치되어 상기 가이드 파이프의 자중에 의한 변형을 방지하는 중량체;가 포함되는 것을 특징으로 하는 장축 초전도 전자석용 필드 맵퍼.In the field mapper for long-axis superconducting electromagnet for measuring the surface magnetic field distribution in the beam tube of the chamber in which the superconducting electromagnet is installed,
supports provided on both sides of the beam tube;
a guide pipe that passes through the beam tube and is installed on the support and can be axially rotated by a rotating means;
a cart installed on the guide pipe, linked to rotation, and reciprocally moved along the longitudinal direction of the guide pipe by a moving means;
a Hall probe installed on the cart to measure a magnetic field distribution;
and a weight body installed at both ends of the guide pipe to prevent deformation due to the weight of the guide pipe.
상기 지지대에는,
상기 지지대에 설치되고 상,하 이동되어 상기 중량체를 가압하는 중량조절을 하는 가압핀이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 장축 초전도 전자석용 필드 맵퍼.According to claim 1,
On the support,
Long-axis superconducting electromagnet field mapper, characterized in that it is installed on the support and is moved up and down to adjust the weight for pressing the weight.
상기 가압핀과 상기 중량체 사이에는 베어링이 설치되는 것을 특징으로 하는 장축 초전도 전자석용 필드 맵퍼.3. The method of claim 2,
A field mapper for a long axis superconducting electromagnet, characterized in that a bearing is installed between the pressing pin and the weight.
상기 지지대와, 상기 가이드 파이프 사이에는,
자동조심롤러베어링이 설치되는 것을 특징으로 하는 장축 초전도 전자석용 필드 맵퍼.According to claim 1,
Between the support and the guide pipe,
A field mapper for long-axis superconducting electromagnets, characterized in that self-aligning roller bearings are installed.
상기 지지대에는,
상기 가이드 파이프 하부에 위치되게 설치되어 상기 가이드 파이프의 자중에 의한 변형을 방지하는 플레이트 형상의 서포터가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 장축 초전도 전자석용 필드 맵퍼.According to claim 1,
On the support,
The field mapper for long-axis superconducting electromagnets, further comprising a plate-shaped supporter installed to be positioned below the guide pipe to prevent deformation due to the weight of the guide pipe.
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20100080106A (en) * | 2008-12-31 | 2010-07-08 | 재단법인 한국원자력의학원 | Magnetic field profile measuring apparatus for electromagnet of the closed type cyclotron |
KR20180001278U (en) * | 2016-10-26 | 2018-05-04 | 대우조선해양 주식회사 | Moving apparatus for reducing vibration |
KR101995904B1 (en) | 2018-11-09 | 2019-07-04 | 한국기초과학지원연구원 | Method for measuring spatial magnetic field distribution of magnet and apparatus for measuring spatial magnetic field distribution of magnet using it |
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- 2020-04-10 KR KR1020200043993A patent/KR102373390B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20100080106A (en) * | 2008-12-31 | 2010-07-08 | 재단법인 한국원자력의학원 | Magnetic field profile measuring apparatus for electromagnet of the closed type cyclotron |
KR20180001278U (en) * | 2016-10-26 | 2018-05-04 | 대우조선해양 주식회사 | Moving apparatus for reducing vibration |
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