KR20210121460A - Light emitting unit and exposure system having the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반사부를 통해 발광부에서 생성된 빛을 반사하는 발광 유닛과, 이를 구비한 노광기 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a light emitting unit that reflects light generated from a light emitting unit through a reflecting unit, and an exposure machine system having the same.
발광 유닛은 발광체가 복수개 구비된 발광부와, 발광체에서 생성된 빛을 반사키는 반사부를 포함하여 구성된다.The light emitting unit is configured to include a light emitting unit provided with a plurality of light emitting bodies and a reflecting unit for reflecting light generated from the light emitting body.
이러한 발광 유닛은 여러 산업 분야에 쓰이게 되는데, 발광 유닛이 사용되는 산업 분야의 종류에 따라, 발광 유닛의 발광체의 종류가 달라지거나, 발광 유닛의 필요 광량이 달라질 수 있다.Such a light emitting unit is used in various industrial fields, and depending on the type of industry in which the light emitting unit is used, the type of the light emitting body of the light emitting unit may vary, or the required amount of light of the light emitting unit may vary.
발광 유닛의 광량을 높이기 위해 발광체의 갯수를 늘리게 되면, 발광부의 면적이 커지게 되어 발광 유닛이 대형화되고, 많은 수의 발광체에서 생성된 열에 의해 발광부 및 반사부에 열이 발생함으로써, 발광 유닛의 수명이 짧아지는 문제점이 발생한다.When the number of light emitting units is increased to increase the amount of light of the light emitting unit, the area of the light emitting unit is increased, and the light emitting unit is enlarged. There is a problem that the lifespan is shortened.
전술한 발광 유닛에 대한 특허로는 일본공개특허공보 제2004-335952호 (이하, '특허문헌 1' 이라 한다)에 기재된 것이 공지되어 있다.As a patent for the above-described light emitting unit, the one described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-335952 (hereinafter referred to as 'Patent Document 1') is known.
특허문헌 1의 조명 광원 장치는 반도체 소자나 액정 기판 등을 제조하기 위한 노광 장치에 이용되는 것으로서, 종래의 수은 램프 광원 대신, 발광 다이오드(LED)을 광원으로 사용한다. 이러한 발광 다이오드는 수은 램프 등에 비해 발광 효율이 높고, 절전, 소발열이라고 하는 특징을 가져 유지비용의 감소를 실현할 수 있고, 수명 또한, 수은 램프에 비하여 매우 길기 때문에 교환에 따른 비용을 줄일 수 있으며, 열화 등 요인에 따른 파열의 위험성이 없는 장점이 있다.The illumination light source device of
그러나, 특허문헌 1의 경우, 복수개의 LED를 판형 부재에 2차원으로 배열하여 발광 유닛을 구성하였으나 여전히 충분한 광량을 얻기 위해서는 많은 수의 LED를 2차원 평면 상에 배열해야 한다. 이처럼 2차원 평면 상에 많은 수의 LED를 배열할 경우, 발광 유닛의 크기가 대형화되며, 이를 구비한 노광기 시스템 또한 그 크기가 대형화 되는 문제점이 있다.However, in the case of
또한, 2차원 평면 상에 광원을 배열할 경우, 광이 조사되는 영역에 광량 또는 조도를 조절하는 것이 용이하지 않아 조도 불균일이 발생하는 문제점이 있다.In addition, when arranging the light source on a two-dimensional plane, it is not easy to adjust the amount of light or the illuminance in the area to which the light is irradiated, so there is a problem in that the illuminance non-uniformity occurs.
본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 충분한 광량을 얻음으로써, 조도 불균일 문제를 해결하고, 발광 유닛 및 노광기 시스템의 소형화를 달성할 수 있는 발광 유닛 및 이를 구비한 노광기 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been devised to solve the above problem, and by obtaining a sufficient amount of light, to solve the problem of illuminance non-uniformity, and to achieve miniaturization of the light emitting unit and the exposure machine system, and an exposure machine system having the same aim to
본 발명의 일 특징에 따른 발광 유닛은, 지지부; 상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되는 복수개의 반사부; 상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간에 위치하는 복수개의 발광부; 상기 복수개의 발광부 각각의 외주면에 설치되어 광을 생성하는 복수개의 발광체; 및 상기 복수개의 반사부 각각의 전방 방향으로 광이 조사되도록 상기 복수개의 발광체에서 생성된 광을 반사하며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간의 내측면에 구비되는 복수개의 반사면;을 포함하고, 상기 복수개의 반사부 각각의 상기 복수개의 반사면에서 반사되는 광은 그 주광축이 수평인 제1 반사광과, 그 주광축이 경사진 제2 반사광으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.A light emitting unit according to one aspect of the present invention includes a support; a plurality of reflection units respectively installed on one surface of the support unit; a plurality of light emitting units respectively installed on one surface of the support unit and positioned in an inner space of each of the plurality of reflection units; a plurality of light emitting bodies installed on an outer circumferential surface of each of the plurality of light emitting units to generate light; and a plurality of reflective surfaces that reflect the light generated by the plurality of light emitting bodies so that light is irradiated in a forward direction of each of the plurality of reflective parts, and are provided on inner surfaces of the inner spaces of each of the plurality of reflective parts. , The light reflected from the plurality of reflective surfaces of each of the plurality of reflective units is characterized in that the main optical axis is a horizontal first reflected light and the main optical axis is inclined second reflected light.
또한, 상기 복수개의 반사부 각각의 상기 복수개의 반사면 중 적어도 상기 복수개의 반사부 각각의 최외곽에 위치하는 반사면에서 상기 제2 반사광이 생성되되, 상기 제2 반사광은, 상기 복수개의 반사부 각각의 중심점에서 상기 반사부 각각의 외측 방향으로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the second reflected light is generated from at least a reflective surface positioned at an outermost portion of each of the plurality of reflective parts among the plurality of reflective surfaces of each of the plurality of reflective parts, and the second reflected light is the plurality of reflective parts It is characterized in that it is formed to be inclined in an outward direction of each of the reflective parts at each central point.
또한, 상기 복수개의 반사부 각각의 상기 복수개의 반사면 중 상기 복수개의 반사부 각각의 최외곽에 위치하는 반사면에서 상기 제2 반사광이 생성되되, 상기 제2 반사광은, 상기 복수개의 반사부 각각의 중심점에서 상기 반사부 각각의 내측 방향으로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the second reflected light is generated from a reflective surface positioned at the outermost part of each of the plurality of reflective parts among the plurality of reflective surfaces of each of the plurality of reflective parts, and the second reflected light includes each of the plurality of reflective parts It is characterized in that it is formed to be inclined in an inward direction of each of the reflective parts from the central point of the .
또한, 상기 복수개의 발광부 각각은 그 중심축이 상기 복수개의 반사부 각각의 중심점과 동일하도록 상기 복수개의 반사부 각각의 중앙에 배치되고, 상기 복수개의 반사부 각각의 복수개의 반사면에서 반사된 제1반사광 및 제2 반사광은 상기 복수개의 반사부 각각의 발광부의 중심축을 기준으로 서로 대칭되게 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, each of the plurality of light emitting units is disposed at the center of each of the plurality of reflection units so that the central axis thereof is the same as the center point of each of the plurality of reflection units, and is reflected from the plurality of reflection surfaces of each of the plurality of reflection units. The first reflected light and the second reflected light are formed symmetrically with respect to the central axis of the light emitting part of each of the plurality of reflection parts.
본 발명의 다른 특징에 따른 발광 유닛은, 지지부; 상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되는 복수개의 반사부; 상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간에 위치하는 복수개의 발광부; 상기 복수개의 발광부 각각의 외주면에 설치되어 광을 생성하는 복수개의 발광체; 및 상기 복수개의 반사부 각각의 전방 방향으로 광이 조사되도록 상기 복수개의 발광체에서 생성된 광을 반사하며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간의 내측면에 구비되는 복수개의 반사면;을 포함하고, 상기 복수개의 반사부 각각은 상기 복수개의 반사면 중 적어도 어느 하나의 반사면에서 반사되는 광이 경사지게 반사되어 상기 복수개의 반사부가 서로 인접하는 영역인 인접 영역의 전방에서 상기 광이 서로 중첩되는 것을 특징으로 한다.A light emitting unit according to another aspect of the present invention includes a support; a plurality of reflection units respectively installed on one surface of the support unit; a plurality of light emitting units respectively installed on one surface of the support unit and positioned in an inner space of each of the plurality of reflection units; a plurality of light emitting bodies installed on an outer circumferential surface of each of the plurality of light emitting units to generate light; and a plurality of reflective surfaces that reflect the light generated by the plurality of light emitting bodies so that light is irradiated in a forward direction of each of the plurality of reflective parts, and are provided on inner surfaces of the inner spaces of each of the plurality of reflective parts. , Each of the plurality of reflective parts reflects the light reflected from at least one reflective surface of the plurality of reflective surfaces to be obliquely reflected, so that the light overlaps each other in front of an adjacent area, which is an area where the plurality of reflective parts are adjacent to each other. characterized.
본 발명의 다른 특징에 따른 발광 유닛은, 지지부; 상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되는 복수개의 반사부; 상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간에 위치하는 복수개의 발광부; 상기 복수개의 발광부 각각의 외주면에 설치되어 광을 생성하는 복수개의 발광체; 및 상기 복수개의 반사부 각각의 전방 방향으로 광이 조사되도록 상기 복수개의 발광체에서 생성된 광을 반사하며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간의 내측면에 구비되는 복수개의 반사면;을 포함하고, 상기 복수개의 발광부 각각은 그 중심축이 상기 복수개의 반사부 각각의 중심점과 동일하도록 상기 복수개의 반사부 각각의 중앙에 배치되고, 상기 복수개의 반사부 각각은 상기 복수개의 반사면 중 적어도 어느 하나의 반사면에서 반사되는 광이 경사지게 반사되어 상기 복수개의 발광부 각각의 전방에서 상기 광이 서로 중첩되는 것을 특징으로 한다.A light emitting unit according to another aspect of the present invention includes a support; a plurality of reflection units respectively installed on one surface of the support unit; a plurality of light emitting units respectively installed on one surface of the support unit and positioned in an inner space of each of the plurality of reflection units; a plurality of light emitting bodies installed on an outer circumferential surface of each of the plurality of light emitting units to generate light; and a plurality of reflective surfaces that reflect the light generated by the plurality of light emitting bodies so that light is irradiated in a forward direction of each of the plurality of reflective parts, and are provided on inner surfaces of the inner spaces of each of the plurality of reflective parts. , Each of the plurality of light emitting units is disposed at the center of each of the plurality of reflection units such that a central axis thereof is the same as the center point of each of the plurality of reflection units, and each of the plurality of reflection units is at least any one of the plurality of reflection surfaces Light reflected from one reflective surface is reflected obliquely so that the light overlaps each other in front of each of the plurality of light emitting units.
본 발명의 다른 특징에 따른 발광 유닛은, 지지부; 상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되는 복수개의 반사부; 상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간에 위치하는 복수개의 발광부; 상기 복수개의 발광부 각각의 외주면에 설치되어 광을 생성하는 복수개의 발광체; 및 상기 복수개의 반사부 각각의 전방 방향으로 광이 조사되도록 상기 복수개의 발광체에서 생성된 광을 반사하며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간의 내측면에 구비되는 복수개의 반사면;을 포함하고, 상기 복수개의 발광부 각각은 그 중심축이 상기 복수개의 반사부 각각의 중심점과 동일하도록 상기 복수개의 반사부 각각의 중앙에 배치되고, 상기 복수개의 반사부 각각의 복수개의 반사면에서 반사된 반사광은 상기 복수개의 반사부 각각의 발광부의 중심축을 기준으로 서로 대칭되지 않게 형성되고, 상기 복수개의 반사부 각각의 상기 복수개의 반사면 중 적어도 어느 하나의 반사면에서 반사되는 광은 그 주광축이 경사지게 형성되는 반사광으로 이루어진 것을 특징으로 한다.A light emitting unit according to another aspect of the present invention includes a support; a plurality of reflection units respectively installed on one surface of the support unit; a plurality of light emitting units respectively installed on one surface of the support unit and positioned in an inner space of each of the plurality of reflection units; a plurality of light emitting bodies installed on an outer circumferential surface of each of the plurality of light emitting units to generate light; and a plurality of reflective surfaces that reflect the light generated by the plurality of light emitting bodies so that light is irradiated in a forward direction of each of the plurality of reflective parts, and are provided on inner surfaces of the inner spaces of each of the plurality of reflective parts. , Each of the plurality of light emitting units is disposed at the center of each of the plurality of reflection units such that a central axis thereof is the same as the center point of each of the plurality of reflection units, and reflected light reflected from the plurality of reflection surfaces of each of the plurality of reflection units is formed not to be symmetrical to each other with respect to the central axis of the light emitting part of each of the plurality of reflective parts, and the light reflected from at least one of the plurality of reflective surfaces of each of the plurality of reflective parts is such that the main optical axis is inclined. It is characterized in that it consists of reflected light that is formed.
본 발명의 다른 특징에 따른 발광 유닛은, 지지부; 상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되는 복수개의 반사부; 상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간에 위치하는 복수개의 발광부; 상기 복수개의 발광부 각각의 외주면에 설치되어 광을 생성하는 복수개의 발광체; 및 상기 복수개의 반사부 각각의 전방 방향으로 광이 조사되도록 상기 복수개의 발광체에서 생성된 광을 반사하며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간의 내측면에 구비되는 복수개의 반사면;을 포함하고, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간은 그 일측이 개구되도록 상기 복수개의 반사부 각각은 상기 발광부의 중심축을 기준으로 전체 둘레에 형성되지 않으며, 상기 복수개의 반사부 각각의 상기 복수개의 반사면 중 적어도 어느 하나의 반사면에서 반사되는 광은 그 주광축이 경사지게 형성되는 반사광으로 이루어진 것을 특징으로 한다.A light emitting unit according to another aspect of the present invention includes a support; a plurality of reflection units respectively installed on one surface of the support unit; a plurality of light emitting units respectively installed on one surface of the support unit and positioned in an inner space of each of the plurality of reflection units; a plurality of light emitting bodies installed on an outer circumferential surface of each of the plurality of light emitting units to generate light; and a plurality of reflective surfaces that reflect the light generated by the plurality of light emitting bodies so that light is irradiated in a forward direction of each of the plurality of reflective parts, and are provided on inner surfaces of the inner spaces of each of the plurality of reflective parts. , Each of the plurality of reflective parts is not formed around the entire periphery with respect to the central axis of the light emitting part so that one side of the inner space of each of the plurality of reflective parts is opened, and among the plurality of reflective surfaces of each of the plurality of reflective parts The light reflected from at least one reflective surface is characterized in that it consists of reflected light whose main optical axis is inclined.
또한, 상기 복수개의 반사부 각각은 상기 발광부의 중심축을 기준으로 상기 발광부의 상부에서 180도 둘레에 형성되고, 상기 내부공간은 그 하측이 개구되는 것을 특징으로 한다.In addition, each of the plurality of reflective parts is formed at a circumference of 180 degrees above the light emitting part with respect to the central axis of the light emitting part, and the inner space is characterized in that the lower side thereof is opened.
본 발명의 일 특징에 따른 노광기 시스템은, 광을 생성하는 발광 유닛; 상기 광 중 불필요한 광을 제거하는 어퍼쳐; 상기 광을 균질하게 만드는 광 균질부; 상기 광 균질부를 통과한 광을 평행광으로 만들어 주는 적어도 하나의 거울; 상기 평행광을 통과시키는 마스크를 지지하는 마스크 스테이지; 및 상기 마스크를 통과한 광이 조사되는 조사대상을 지지하는 조사대상 스테이지를 포함하고, 상기 발광 유닛은, 지지부와, 상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되는 복수개의 반사부와, 상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간에 위치하는 복수개의 발광부와, 상기 복수개의 발광부 각각의 외주면에 설치되어 광을 생성하는 복수개의 발광체 및 상기 복수개의 반사부 각각의 전방 방향으로 광이 조사되도록 상기 복수개의 발광체에서 생성된 광을 반사하며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간의 내측면에 구비되는 복수개의 반사면;을 포함하고, 상기 복수개의 반사부 각각의 상기 복수개의 반사면에서 반사되는 광은 그 주광축이 수평인 제1 반사광과, 그 주광축이 경사진 제2 반사광으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.An exposure machine system according to one aspect of the present invention includes a light emitting unit generating light; an aperture for removing unnecessary light from among the light; a light homogenizer for making the light homogeneous; at least one mirror that converts the light passing through the light homogenizer into parallel light; a mask stage supporting a mask through which the parallel light passes; and an irradiation target stage supporting an irradiation subject to which the light passing through the mask is irradiated, wherein the light emitting unit includes a support, a plurality of reflection units separately installed on one surface of the support, and one surface of the support A plurality of light emitting units respectively installed in the reflective unit and located in the inner space of each of the plurality of light emitting units, a plurality of light emitting units installed on the outer peripheral surface of each of the plurality of light emitting units to generate light, and the plurality of reflecting units, respectively and a plurality of reflective surfaces that reflect the light generated by the plurality of light emitting bodies so that light is irradiated in the forward direction of the plurality of reflective parts, and are provided on the inner surface of each of the plurality of reflective parts; and, each of the plurality of reflective parts The light reflected from the plurality of reflective surfaces of is characterized in that it consists of a first reflected light whose main optical axis is horizontal and a second reflected light whose main optical axis is inclined.
이상에서 살펴본 바와 같은 본 발명의 발광 유닛 및 이를 구비한 노광기 시스템에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.According to the light emitting unit of the present invention and the exposure machine system having the same as described above, there are the following effects.
복수개의 발광체가 발광부의 외주면에 구비되고, 적어도 어느 하나의 발광체가 설치되는 발광부의 외주면은 지지부의 일면과 평행하지 않음으로써, 발광체는 지지부와 2차원 평면이 아닌 3차원 평면에 위치하게 되며, 이를 통해, 최소한의 면적으로 더욱 많은 수의 발광체를 구비할 수 있다. 따라서, 종래의 발광 유닛보다 작은 사이즈로도 필요한 광량을 발생시킬 수 있다. 다시 말해, 본 발명의 발광 유닛은 복수개의 발광체를 3차원으로 배열하여 충분한 광량을 얻으면서도 상하 및 좌우 방향으로 소형화하는 효과를 제공한다.A plurality of light emitting bodies are provided on the outer circumferential surface of the light emitting part, and the outer circumferential surface of the light emitting part on which at least one light emitting body is installed is not parallel to one surface of the support part, so that the light emitting body is located on a three-dimensional plane rather than a two-dimensional plane with the support part. Through this, it is possible to provide a greater number of light emitting bodies with a minimum area. Therefore, it is possible to generate a required amount of light even with a size smaller than that of a conventional light emitting unit. In other words, the light emitting unit of the present invention provides an effect of downsizing in vertical and left and right directions while obtaining a sufficient amount of light by arranging a plurality of light emitting bodies in three dimensions.
복수개의 발광체를 발광부의 외주면에 3차원적으로 배열하고, 반사부의 반사면으로 복수개의 발광체에서 생성된 광을 반사시켜줌으로써, 충분한 광량을 얻을 수 있으면서 발광 유닛 및 이를 구비한 노광기 시스템의 소형화를 달성할 수 있다.By arranging a plurality of light emitting bodies three-dimensionally on the outer circumferential surface of the light emitting unit and reflecting the light generated from the plurality of light emitting bodies on the reflective surface of the reflecting unit, a sufficient amount of light can be obtained while miniaturization of the light emitting unit and the exposure machine system having the same is achieved. can do.
발광 유닛은, 반사면에서 반사되는 반사광을 그 주광축이 경사진 반사광과, 그 주광축이 수평한 반사광을 포함함으로써, 충분한 광량을 확보함과 동시에 조사 영역의 조도 불균일 문제를 해결할 수 있다.The light emitting unit can secure a sufficient amount of light and solve the problem of illuminance non-uniformity in the irradiated area by including the reflected light reflected from the reflective surface with the reflected light whose main optical axis is inclined and the reflected light whose main optical axis is horizontal.
경사지게 형성되는 반사광을 통해, 인접하는 반사부 사이에 발생할 수 있는 물리적인 음영 구역에 의해 광 균질부의 골 부분을 통과하는 광량이 부족하여 조사영역에서 격자 모양의 조도 불균일의 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다.Through the reflected light that is formed obliquely, the amount of light passing through the trough of the light homogenizer is insufficient due to the physical shadow area that may occur between the adjacent reflectors, so that the problem of illuminance unevenness in the shape of a grid in the irradiation area is prevented. can
경사지게 형성되는 반사광을 통해, 발광부의 전방 단부에 광원이 없어도, 발광부의 전방 단부에 반사광이 조사되도록 할 수 있다.Through the reflected light inclinedly formed, even if there is no light source at the front end of the light emitting unit, the reflected light may be irradiated to the front end of the light emitting unit.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛의 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛의 전면도.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛의 결합관계를 도시한 단면도.
도 4는 도 1의 지지부에서 발광부와 반사부를 분해한 것을 도시한 단면도.
도 5는 도 1의 반사부의 분해사시도.
도 6은 도 1의 반사부의 전면도.
도 7(a)는 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛의 발광부의 사시도.
도 7(b)는 도 12(a)의 발광부를 후방에서 전방측으로 바라본 배면도.
도 7(c)는 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛의 지지부의 제1 지지부 고정부가 홀 형상으로 이루어진 구조를 도시한 도.
도 7(d)는 도 7(c)의 제1 지지부 고정부에 발광부가 결합된 것을 도시한 단면도.
도 8(a)는 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛의 지지부의 전면도.
도 8(b)는 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛의 지지부의 후면도.
도 9는 제1변형 예에 따른 발광 유닛의 반사부에서 광이 반사되는 것을 도시한 단면도.
도 10은 제2변형 예에 따른 발광 유닛의 반사부에서 광이 반사되는 것을 도시한 단면도.
도 11은 제3변형 예에 따른 발광 유닛의 반사부에서 광이 반사되는 것을 도시한 단면도.
도 12는 제4변형 예에 따른 발광 유닛의 반사부에서 광이 반사되는 것을 도시한 단면도.
도 13는 제4변형 예에 따른 발광 유닛의 전면도.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 유닛을 구비한 노광기 시스템을 도시한 도.1 is a perspective view of a light emitting unit according to an embodiment of the present invention.
2 is a front view of a light emitting unit according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view illustrating a coupling relationship of a light emitting unit according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating an exploded light emitting part and a reflective part from the support part of FIG. 1 .
5 is an exploded perspective view of the reflector of FIG. 1 ;
6 is a front view of the reflector of FIG. 1 ;
7A is a perspective view of a light emitting unit of a light emitting unit according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 (b) is a rear view of the light emitting unit of Figure 12 (a) viewed from the rear to the front side.
7 (c) is a view showing a structure in which the first support fixing part of the support part of the light emitting unit is formed in a hole shape according to an embodiment of the present invention.
FIG. 7(d) is a cross-sectional view illustrating a light emitting part coupled to the first supporting part fixing part of FIG. 7(c);
Figure 8 (a) is a front view of the support portion of the light emitting unit according to an embodiment of the present invention.
Figure 8 (b) is a rear view of the support portion of the light emitting unit according to an embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional view illustrating light being reflected from a reflective portion of a light emitting unit according to a first modified example;
10 is a cross-sectional view illustrating light being reflected from a reflective portion of a light emitting unit according to a second modified example;
11 is a cross-sectional view illustrating light being reflected from a reflective portion of a light emitting unit according to a third modified example;
12 is a cross-sectional view illustrating light being reflected from a reflection unit of a light emitting unit according to a fourth modified example;
Fig. 13 is a front view of a light emitting unit according to a fourth modified example;
14 is a view showing an exposure machine system having a light emitting unit according to an embodiment of the present invention.
본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.Specific structural or functional descriptions of the embodiments according to the concept of the present invention disclosed in this specification are only exemplified for the purpose of explaining the embodiments according to the concept of the present invention, and the embodiments according to the concept of the present invention are It may be implemented in various forms and is not limited to the embodiments described herein.
본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.Since the embodiments according to the concept of the present invention may have various changes and may have various forms, the embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail herein. However, this is not intended to limit the embodiments according to the concept of the present invention to specific disclosed forms, and includes all modifications, equivalents, or substitutes included in the spirit and scope of the present invention.
제1 또는 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만, 예컨대 본 발명의 개념에 따른 권리 범위로부터 벗어나지 않은 채, 제1구성 요소는 제2구성 요소로 명명될 수 있고 유사하게 제2구성 요소는 제1구성 요소로도 명명될 수 있다.Terms such as first or second may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another, for example without departing from the scope of the inventive concept, a first component may be termed a second component and similarly a second component A component may also be referred to as a first component.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.When a component is referred to as being “connected” or “connected” to another component, it may be directly connected or connected to the other component, but it is understood that other components may exist in between. it should be On the other hand, when it is said that a certain element is "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that the other element does not exist in the middle. Other expressions describing the relationship between components, such as "between" and "immediately between" or "neighboring to" and "directly adjacent to", etc., should be interpreted similarly.
본 명세서에서 사용한 기술적 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 본 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The technical terms used herein are used only to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present specification, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described herein exists, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
이하, 도 1 내지 도 8(b)를 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛에 대해 설명한다.Hereinafter, a light emitting unit according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 8 ( b ).
도 1에서, 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛(10)에 의해서 광이 출사되는 x 방향을 발광 유닛(10)의 전방으로, y 방향을 발광 유닛(10)의 상측 방향으로, z 방향을 발광 유닛(10)의 우측 방향으로 정의한다.1 , the x direction in which light is emitted by the
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛의 전면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛의 결합관계를 도시한 단면도이고, 도 4는 도 1의 지지부에서 발광부와 반사부를 분해한 것을 도시한 단면도이고, 도 5는 도 1의 반사부의 분해사시도이고, 도 6은 도 1의 반사부의 전면도이고, 도 7(a)는 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛의 발광부의 사시도이고, 도 7(b)는 도 12(a)의 발광부를 후방에서 전방측으로 바라본 배면도이고, 도 7(c)는 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛의 지지부의 제1 지지부 고정부가 홀 형상으로 이루어진 구조를 도시한 도이고, 도 7(d)는 도 7(c)의 제1 지지부 고정부에 발광부가 결합된 것을 도시한 단면도이고, 도 8(a)는 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛의 지지부의 전면도이고, 도 8(b)는 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛의 지지부의 후면도이다.Figure 1 is a perspective view of a light emitting unit according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a front view of the light emitting unit according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a combination of the light emitting unit according to an embodiment of the present invention It is a cross-sectional view showing the relationship, FIG. 4 is a cross-sectional view showing the disassembled light emitting part and the reflecting part in the support of FIG. 1, FIG. 5 is an exploded perspective view of the reflecting part of FIG. 1, and FIG. 6 is a front view of the reflecting part of FIG. 7 (a) is a perspective view of the light emitting unit of the light emitting unit according to an embodiment of the present invention, FIG. 7 (b) is a rear view of the light emitting unit of FIG. c) is a diagram illustrating a structure in which the first support fixing part of the support part of the light emitting unit has a hole shape according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7(d) is the first support fixing part of FIG. It is a cross-sectional view showing that the light emitting unit is combined, Figure 8 (a) is a front view of the support of the light emitting unit according to an embodiment of the present invention, Figure 8 (b) is a light emitting unit according to an embodiment of the present invention It is a rear view of the support part.
도 1 내지 도 8(b)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛(10)은, 지지부(100), 발광부(300), 발광체(410, 420, 430, 440), 반사부(500) 및 반사면(540)을 포함하여 구성될 수 있다. 상세하게는, 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛(10)은, 지지부(100)와, 지지부(100)의 일면에 각각 개별적으로 설치되는 복수개의 반사부(500)와, 지지부(100)의 일면에 각각 개별적으로 설치되며, 복수개의 반사부(500) 각각의 내부공간(520)에 위치하는 복수개의 발광부(300)와, 복수개의 발광부(300) 각각의 외주면에 설치되어 광을 생성하는 복수개의 발광체(410, 420, 430, 440)와, 복수개의 반사부(500) 각각의 전방 방향으로 광이 조사되도록 복수개의 발광체(410, 420, 430, 440)에서 생성된 광을 반사하며, 복수개의 반사부(500) 각각의 내부공간(520)의 내측면에 구비되는 복수개의 반사면(540)을 포함하여 구성될 수 있다.1 to 8 (b), the
지지부(100)는 발광부(300)와 반사부(500)의 구성을 각각 개별적으로 지지할 수 있다. 복수개의 발광부(300)가 지지부(100)에 설치될 수 있다. 복수개의 반사부(500)가 지지부(100)에 설치될 수 있다.The
도 2를 참조하면, 복수개의 발광부(300) 및 복수개의 반사부(500)는 하나의 지지부(100)에 각각 개별적으로 설치될 수 있다. 복수개의 발광부(300)와 복수개의 반사부(500)는 서로 일대일 대응하게 지지부(100)에 설치될 수 있다. 하나의 발광부(300)는 하나의 반사부(500)의 내부공간(520)에 배치되도록 지지부(100)의 설치면(101)에 설치될 수 있다. 복수개의 발광부(300) 및 복수개의 반사부(500)는 나란하게 정렬된 행과 열로 지지부(100) 상에 설치될 수 있다.Referring to FIG. 2 , the plurality of light emitting
지지부(100)는 발광부(300)와 반사부(500)의 무게를 지탱하기 위하여 금속재질 또는 높은 강도를 가지는 플라스틱 재질로 형성될 수 있다.The
지지부(100)는 복수개의 면을 포함하는 면체일 수 있다. 지지부(100)는 발광부(300) 또는 반사부(500)가 설치되는 설치면(101)을 포함할 수 있다. 설치면(101)은 원형, 타원형, 사각형, 정사각형, 직사각형, 오각형, 육각형 등의 다각형으로 형성될 수 있다. 설치면(101)은 평면 혹은 곡면으로 이뤄질 수 있다. 설치면(101)이 곡면으로 이뤄진 경우에 설치면(101)은 소정의 곡률을 가지도록 오목하게 형성될 수 있다.The
지지부(100)의 전체 형상은 설치면(101)을 포함하는 판상 부재일 수 있다, 또한, 지지부(100)의 전체 형상은 설치면(101)을 포함하는 직육면체 형상일 수 있다. The overall shape of the
지지부(100)는 그 전면을 설치면(101)으로 정의할 수 있으며, 그 후면(102), 전면과 후면(102) 사이를 연결하는 측면(미도시)을 포함할 수 있다. The
또는, 지지부(100)의 설치면(101)을 제외한 복수개의 면을 곡면으로 형성할 수 있으며, 곡면인 경우에 지지부(100)의 후방으로 오목하게 혹은 볼록하게 형성할 수 있다.Alternatively, a plurality of surfaces other than the
지지부(100)는 지지부(100)에 구비되어 발광부(300)의 제1 연결부(340)가 삽입되는 제1 지지부 고정부(110) 및 지지부(100)에 구비되어 반사부(500)의 제2 연결부(510a)가 삽입되는 제2 지지부 고정부(120)를 포함하여 구성될 수 있다.The
상세하게는, 지지부(100)는 설치면(101)에 발광부(300)를 고정하기 위하여 제1 지지부 고정부(110)를 포함할 수 있다. 제1 지지부 고정부(110)는 설치면(101)에 설치되는 복수개의 발광부(300)에 대응하는 개수로 복수개로 구성될 수 있다.In detail, the
지지부(100)는 설치면(101)에 반사부(500)를 고정하기 위하여 제2 지지부 고정부(120)를 포함할 수 있다. 제2 지지부 고정부(120)는 설치면(101)에 설치되는 복수개의 반사부(500)에 대응하는 개수로 복수개로 구성될 수 있다.The
본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛(10)의 제1 지지부 고정부(110)는 발광부(300)의 제1 연결부(340)를 삽입시킬 수 있는 홈 또는 홀 형상을 가질 수 있다. The first supporting
제1 지지부 고정부(110)는 발광부(300)의 제1 연결부(340)의 외주면에 형성된 나사산이 착탈 가능하게 결합될 수 있도록 내주면에 나사산을 포함할 수 있다. The first
발광부(300)는 제1 지지부 고정부(110)에 나사 결합으로 결합될 수 있다.The
제2 지지부 고정부(120)는 반사부(500)의 제2 연결부(510a)를 삽입시킬 수 있는 홈 또는 홀 형상을 가질 수 있다. The second support
제2 지지부 고정부(120)는 반사부(500)의 제2 연결부(510a)에 형성된 나사산이 착탈 가능하게 결합될 수 있도록 내주면에 나사산을 포함할 수 있다. The second support
제2 지지부 고정부(120)는 제1 지지부 고정부(110)의 주변에 배치되도록 제1 지지부 고정부(110)와 동심인 원형 홈 또는 원형 홀 형상을 가질 수 있다. 이 경우, 제2 지지부 고정부(120)는 제1 지지부 고정부(110) 보다 큰 직경을 가진다.The second
전술한 구조와 같이, 본 발명의 발광 유닛(10)은 복수개의 반사부(500)와 복수개의 발광부(300)가 각각 개별적으로 지지부(100)의 일면에 설치됨으로써, 복수개의 반사부(500)와 복수개의 발광부(300)가 서로 접촉하지 않을 수 있다.As in the structure described above, in the
지지부(100)는 지지부 자체의 몸체를 냉각부재로 구성할 수 있다. 이 경우 지지부(100)는 열 전도율이 높은 재질의 지지부 몸체(100a)와, 지지부 몸체(100a)를 관통하여 열교관유체를 통과시키는 지지부 냉각관(100b)을 포함할 수 있다. 지지부 몸체(100a)는 금속 재질로 이뤄질 수 있으며, 열 전도율이 높은 구리 혹은 알루미늄으로 이뤄질 수 있다. 따라서, 지지부(100)는 지지부(100)에 결합되는 발광부(300) 및 반사부(500)로부터 열을 전달 받아 발광부(300) 및 반사부(500)를 냉각시켜 줄 수 있다.The
발광 유닛(10)은 그 내부에 냉매를 유동시키는 복수개의 냉각관(220)이 구비되며, 지지부(100)의 후면에 부착되는 지지부 냉각부(200)를 더 포함하여 구성될 수 있다.The
도 1 내지 도 3를 참조하면, 일 실시 예에 따른 지지부 냉각부(200)는 지지부(100)의 열을 냉각시켜주기 위해 지지부(100)의 후면에 결합할 수 있다. 이 경우 지지부 냉각부(200)는 지지부(100)와 별개 부재로서, 지지부(100)의 후면에 최대 표면적으로 결합할 수 있도록 지지부(100)의 후면에 면접촉 할 수 있다. 지지부 냉각부(200)는 속이 곽찬 형상의 냉각바디부(210)와, 냉각바디부(210)를 관통하고 내부에 냉매를 유동시키는 복수개의 냉각관(220)을 포함할 수 있다. 또는 지지부 냉각부(200)는 복수개의 냉각핀(미도시)와, 복수개의 냉각핀을 관통하고 내부에 냉매를 유동시키는 복수개의 냉각관(220)을 포함할 수 있다. 1 to 3 , the
지지부(100)는 복수개의 발광부(300)와 복수개의 반사부(500)와 각각 개별적으로 결합되므로, 발광부(300) 및 반사부(500)에서 발생된 열을 그대로 전달 받는다. 지지부 냉각부(200)를 이용하여 지지부(100)의 열을 식혀줌으로써, 지지부(100)가 과도한 열을 전달받아 열파괴되는 것을 방지할 수 있다.Since the
지지부 냉각부(200)는 지지부(100) 보다 열전달 효율이 좋은 물질로 형성함으로써 지지부(100)의 열이 지지부 냉각부(200)로 효율적으로 전달될 수 있다. 지지부 냉각부(200)는 열전달 효율이 좋은 금속 재질로 이뤄지는 것이 바람직하다.Since the support
이하에서 본 발명의 반사부(500)에 대하여 설명한다.Hereinafter, the
도 4 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 반사부(500)는 반사부 바디부(510), 발광부(300)가 배치시키기 위하여 반사부 바디부(510)에 형성된 내부공간(520)과, 발광부(300)에서 발생하는 광을 반사시키는 복수개의 반사면(540)이 형성된 내부면(530)을 포함할 수 있다.4 to 6 , in the
반사부(500)의 내부공간(520)에는 발광부(300)의 길이 방향으로 설치되는 복수개의 발광체 각각에 대응하여 광을 반사하는 복수개의 반사면(540)이 구비될 수 있다.A plurality of
이 경우, 복수개의 발광체와 이에 대응되는 복수개의 반사면(540) 사이의 거리 각각은 발광부(300)의 길이 방향 전방 측으로 갈수록 그 거리가 길어진다.In this case, each of the distances between the plurality of light emitting bodies and the plurality of
예컨데, 복수개의 발광체가 발광부(300)의 길이 방향으로 설치되는 제1 내지 제3 발광체(410a, 410b, 410c)로 이루어질 경우, 복수개의 반사면(540)은 제1 내지 제3 발광체(410a, 410b, 410c) 각각에 대응하여 광을 반사하는 제1 내지 제3 반사면(540a, 540b, 540c)으로 이루어질 수 있다.For example, when the plurality of light emitting bodies are formed of the first to third
다시 말해, 반사부(500)의 내부공간(520)에는 발광부(300)의 길이 방향으로 설치되는 제1 내지 제3 발광체(410a, 410b, 410c) 각각에 대응하여 광을 반사하는 제1 내지 제3 반사면(540a, 540b, 540c)이 구비될 수 있다. In other words, first to third
제1 내지 제3 발광체(410a, 410b, 410c)는 발광부(300)의 길이 방향을 기준으로 전방에서 후방 방향으로 제1 발광체(410a), 제2 발광체(410b) 및 제3 발광체(410c)가 순차적으로 배치된다.The first to third
제1 내지 제3 발광체(410a, 410b, 410c) 각각에 대응되는 제1 내지 제3 반사면(540a, 540b, 540c)은 발광부(300)의 길이 방향을 기준으로 전방에서 후방 방향으로 제1 반사면(540a), 제2 반사면(540b) 및 제3 반사면(540c)가 순차적으로 배치된다.The first to third
이 경우, 제1 내지 제3 발광체(410a, 410b, 410c)와 제1 내지 제3 반사면(540a, 540b, 540c) 사이의 거리는 '제1 발광체(410a)와 제1 반사면(540a) 사이의 거리 > 제2 발광체(410b)와 제2 반사면(540b) 사이의 거리 > 제3 발광체(410c)와 제3 반사면(540c) 사이의 거리' 관계를 만족한다.In this case, the distance between the first to third light-emitting
다시 말해, 복수개의 발광체 중 어느 하나의 발광체와 이에 대응되는 반사면 사이의 거리는 발광부(300)의 전방 또는 반사부(500)의 전방 개구부(520a)로 갈수록 그 길이가 길어진다.In other words, the distance between any one of the plurality of light emitting bodies and the corresponding reflective surface increases toward the front of the
반사부 바디부(510)는 열 전도 효율이 높은 금속 재질로 형성될 수 있다. 다만, 반사부 바디부(510)은 광을 반사도 해야 하므로 열 전도 효율이 높을 뿐만 아니라 광 반사율이 높은 금속 재질인 알루미늄으로 이뤄질 수 있다.The
반사부 바디부(510)는 후방면에 제2 지지부 고정부(120)와 결합할 수 있는 제2 연결부(510a)를 포함할 수 있으며, 일 예에 따른 제2 연결부(510a)는 후방으로 돌출된 돌기 형상으로 제2 지지부 고정부(120)에 삽입되어 결합될 수 있다. 이와 달리, 도시되지 않았으나, 제2 연결부는 홀 내지 홈 형상으로 제2 지지부 고정부를 관통한 반사부 고정나사에 의해서 삽입되어 고정 결합될 수도 있다The
반사부 바디부(510)는 전방으로 개구된 전방 개구부(520a) 및 후방으로 개구된 후방 개구부(520b)를 포함할 수 있다. 전방 개구부(520a)은 후방 개구부(520b) 보다 넓은 면적을 가질 수 있다. 전방 개구부(520a) 및 후방 개구부(520b)는 원형으로 형성될 수 있다. 전방 개구부(520a)는 발광부(300)에서 생성된 광이 복수개의 반사면(540)에 의해서 반사되어 외부로 출사할 때 반사부(500)의 출사광에 대한 개구 역할을 한다. 후방 개구부(520b)는 발광부(300)에 의해서 관통하며 발광부(300)의 일단이 지지부(100)에 직접 설치될 수 있는 개구 역할을 한다.The
반사부 바디부(510)의 외형은 직육면체 형상을 가질 수 있으나, 이에 한정될 것은 아니며, 원기둥, 삼각기둥, 사각기둥, 오각기둥, 육각기둥, 역 원추 등의 형상을 가질 수 있다.The external shape of the
반사부 바디부(510)는 전체를 일체형으로 하나의 바디로 형성할 수 있으며, 또는 도 5에 도시된 바와 같이 복수개의 반사부 피스(511, 512, 513)의 조립체로 형성할 수 있다. The
복수개의 반사부 피스(511, 512, 513)는 전방 개구부(520a)가 형성된 제1 반사부 피스(511), 제1 반사부 피스(511)의 후방에 결합하는 제2 반사부 피스(512), 제2 반사부 피스(512)의 후방에 결합하고 후방 개구부(520b)가 형성된 제3 반사부 피스(513)를 포함할 수 있다. A plurality of
다만, 복수개의 반사부 피스를 3개로 설명하는 것은 일 예일 뿐 이에 한정될 것은 아니며, 2개, 4개, 5개, 6개 등 발광부(300)의 발광체 스팟의 개수 또는 필요한 광량에 따라서 반사부 피스의 개수를 변경할 수 있다.However, the description of the plurality of reflective unit pieces as three is only an example and is not limited thereto, and the reflection according to the number of light emitting unit spots of the
복수개의 반사부 피스(511, 512, 513)은 서로 결합하여 하나의 반사부 바디부(510)를 형성할 수 있다. 각각의 반사부 피스(511, 512, 513)는 반사부 바디부(510)를 전후방향으로 소정 길이로 수직으로 절단한 형상을 가질 수 있다.The plurality of
내부공간(520)은 발광부(300)가 거치되는 공간을 제공할 수 있다. 내부공간(520)은 내부면(530)의 의해서 반사부 바디부(510) 내부에 형성된 공간을 의미한다. The
내부공간(520)은 전방 개구부(520a) 및 후방 개구부(520b)에 의해서 전방 및 후방으로 연통된다. 내부공간(520)의 수직 단면적은 전방에서 후방으로 갈수록 작아지며, 이로써 후술할 반사면(540)에 반사된 반사광의 경로를 방해하지 않게 된다. 내부공간(520)의 내부면(530)은 후방으로 갈수록 발광부(300) 측으로 가까워지게 경사질 수 있다.The
내부공간(520)은 제1 반사부 피스(511)에 의해서 형성된 제1 내부공간(521)과, 제2 반사부 피스(512)에 의해서 형성된 제2 내부공간(522)과, 제3 반사부 피스(513)에 의해서 형성된 제3 내부공간(523)을 포함할 수 있다. 다만, 반사부 피스의 개수에 따라서 내부공간을 더 분할할 수 있다. 예를 들어, 제4 내부공간, 제5 내부공간 등으로 내부공간이 더 분할될 수 있다.The
제1 내부공간(521)은 전방으로 전방 개구부(520a)와 연통하고 후방으로 제2 내부공간(522)의 전면 개구와 연통한다. 제3 내부공간(523)은 후방으로 후방 개구부(520b)와 연통하고 전방으로 제2 내부공간(522)의 후면 개구와 연통한다. 제2 내부공간(522)의 전면 개구는 제1 내부공간(521)의 후면 개구와 대응하는 형상을 가질 수 있으며, 제2 내부공간(522)의 후면 개구는 제3 내부공간(523)의 전면 개구와 대응하는 형상을 가질 수 있다.The first
내부면(530)은 반사부 바디부(510)의 내부에 형성된 면으로, 내부공간(520)을 형성한다.The
내부면(530)은 제1 내부공간(521)의 내측 면인 제1 내부면(531), 제2 내부공간(522)의 내측 면인 제2 내부면(532), 제3 내부공간(523)의 내측 면인 제3 내부면(533)을 포함할 수 있다. 다만, 반사부 피스의 개수에 따라서 내부면을 더 분할할 수 있다. 예를 들어, 제4 내부면, 제5 내부면 등으로 내부면이 더 분할될 수 있다.The
내부면(530)은 발광부(300)의 길이방향을 중심축으로 회전시킨 형상을 갖을 수 있다. 예를 들면, 내부면(530)은 중심축으로 360도로 회전시킨 원 형상을 갖을 수 있다. 또는 내부면(530)은 중심축으로 소정의 각도로 회전시킨 호 형상을 갖을 수 있으며, 복수개의 호를 겹합시킨 형상을 갖을 수 있다. 내부면(530)은 발광부(500)의 수직한 방향을 기준으로 그 단면을 원 형상, 복수개의 호를 겹친 형상을 갖을 수 있다. The
내부면(530)은 도 6에 도시된 바와 같이, 4개의 호를 결합하여 만든 형상을 가질 수 있다. 이 경우, 내부면(530)은 내부공간(520)의 내측면이다. 상기 호의 개수는 발광부(300)의 발광체 스팟의 개수에 따라서 결정될 수 있다.The
내부면(530)은 발광부(300)의 광을 반사하는 복수개의 반사면(540)을 포함할 수 있다. 복수개의 반사면(540)은 내부면(530)의 표면에 형성될 수 있다. The
도 4와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛(10)의 반사부(500)의 복수개의 반사면(540)은 내부면(530)의 전체에 형성될 수 있다. 4 , the plurality of
다시 말해, 내부면(530)의 면을 전체적으로 반사면(540)으로 형성하여, 내부면(530)에서 전체적으로 광을 반사시킬 수 있다. 이 경우, 제1 반사면(540a)은 제1 내부면(531) 상에 전체적으로 형성되고, 제2 반사면(540b)은 제2 내부면(532) 상에 전체적으로 형성되고, 제3 반사면(540c)은 제3 내부면(533) 상에 전체적으로 형성될 수 있다. In other words, since the entire surface of the
복수개의 반사면(540)은 내부면(530)을 반사율이 높은 물질로 코팅하거나 내부면(530)을 폴리싱하여 반사율을 높여서 형성할 수 있다. 또는 복수개의 반사면(540)은 반사부 바디부(510)에 착탈 가능하게 결합할 수 있다.The plurality of
복수개의 반사면(540) 각각은, 발광부(500)의 길이 방향을 기준으로, 타원면, 파라볼릭면, 자유곡면 중 적어도 하나로 형성될 수 있다. Each of the plurality of
타원 반사면은 발광부(500)의 발광체 스팟을 타원의 제1초점으로 하는 경우 타원 반사면에 반사된 반사광은 타원의 제2 초점으로 집광하는 효과를 얻을 수 있다. In the case of the elliptical reflective surface, when the light emitting spot of the
파라볼릭 반사면은 발광부(500)의 발광체 스팟을 파라볼릭의 초점으로 하는 경우 하나의 파라볼릭 반사면에 반사된 반사광은 평행한 수평광을 형성할 수 있다.In the case of the parabolic reflective surface, when the light emitting spot of the
자유곡면의 반사면은 반사면의 설계에 따라서 하나의 동일한 자유곡면에서 반사된 반사광은 발광부(500)의 길이 방향으로 경사진 경사광을 얻을 수 있다.As for the reflection surface of the free-form surface, depending on the design of the reflection surface, the reflected light reflected from the same free-form surface may obtain inclined light inclined in the longitudinal direction of the
도 3 내지 도 5를 참조하면, 반사부(500)는 복수개의 반사면(540)을 복수개의 파라볼릭 반사면으로 형성된 예이며, 복수개의 파라볼릭 반사면들은 발광부(300)의 각각의 발광체 스팟을 초점으로 갖으며, 복수개의 파라볼릭 반사면에서 반사된 반사광 모두가 발광부(300)의 길이방향에 나란하게 형성되는 예이다. 3 to 5 , the
도 3 내지 도 5의 경우, 반사부(500)에서 반사된 반사광들은 발광부(300)의 중심축을 기준으로 서로 대칭되도록 형성될 수 있다. 3 to 5 , the reflected light reflected by the
도 2를 다시 참조하면, 발광 유닛(10)은 복수개의 반사부(500)를 포함할 수 있다. Referring back to FIG. 2 , the
복수개의 반사부(500)는 지지부(100)의 단부 측에 설치된 제1 반사군(P)와, 제1 반사군(P)보다 지지부(100)의 중심부 측에 설치된 제2 반사군(C)을 포함할 수 있다. The plurality of
제1 반사군(P)는 지지부(100)의 상단, 하단, 좌단, 우단 중 적어도 하나의 열 또는 행으로 설치되는 복수개의 반사부(500)를 포함할 수 있다. 제2 반사군(C)는 지지부(100)에 설치된 복수개의 반사부(500) 중 제1 반사군(P)를 제외한 복수개의 반사부(500)를 포함할 수 있으며, 지지부(100)의 상단, 하단, 좌단, 우단에 설치되지 않은 복수개의 반사부(500)를 포함할 수 있다.The first reflection group P may include a plurality of
제2 반사군(C)은 지지부(100)의 설치면(101)에서 중심 부분에 설치되며, 제1 반사군(P)은 지지부(100)의 설치면(101)에서 가장가리 부분에 설치된다. 제1 반사군(C)은 제2 반사군(P) 보다 지지부(100)의 설치면(101)에서 중심 부분 보다 외곽 부분에 설치된다.The second reflection group C is installed at the center of the
제1 반사군(P)에 설치된 반사부에서 반사된 반사광의 주광축은 경사광이며, 제2 반사군(C)에 설치된 반사부에서 반사된 반사광의 주광축은 수평광일 수 있다. 발광부(300)의 길이 방향에 나란하면 수평광이라하고, 길이 방향에 경사지면 경사광이라 할 수 있다. The main optical axis of the reflected light reflected by the reflection unit installed in the first reflection group P may be inclined light, and the main optical axis of the reflected light reflected by the reflection unit installed in the second reflection group C may be horizontal light. If it is parallel to the longitudinal direction of the
반사부의 주광축의 방향은 하나의 반사부에 구비된 복수개의 반사면에 의해서 반사된 복수개의 반사광들의 광축들의 방향들을 평균한 방향이다. 반사부의 반사광의 주광축이 수평하더라도 각각의 반사광은 일부 경사광일 수 있으나 발광부(300)를 기준으로 대칭되게 경사지면 수평한 주광축을 가질 수 있다. 반대로, 반사부의 반사광의 주광축이 경사지더라도 각각의 반사광은 일부 수평광일 수 있으나 전체 반사광의 평균 방향이 발광부(300)에 대해 경사지게 형성된다.The direction of the main optical axis of the reflection unit is a direction obtained by averaging the directions of the optical axes of the plurality of reflected lights reflected by the plurality of reflection surfaces provided in one reflection unit. Although the main optical axis of the reflected light of the reflection unit is horizontal, each reflected light may be partially inclined light. Conversely, even if the main optical axis of the reflected light of the reflector is inclined, each reflected light may be some horizontal light, but the average direction of the total reflected light is inclined with respect to the
제1 반사군(P)에 설치된 반사부는, 하나의 반사부에서 반사된 반사광이 발광부(300)를 기준으로 대칭되지 않은 경사광일 수 있다. 제1 반사군(P)의 반사광은 후술할 어퍼처(20) 안으로 입사할 수 있는 경사광일 수 있다. The reflection unit installed in the first reflection group P may be inclined light in which the reflected light reflected from one reflection unit is not symmetrical with respect to the
이로써, 어퍼처를 통과하지 못하는 광량을 줄여서 조사영역에까지 광이 도달하지 못해서 조사영역에 광부족 문제를 해소할 수 있다. Accordingly, it is possible to reduce the amount of light that does not pass through the aperture, so that the light does not reach the irradiation area, thereby solving the problem of insufficient light in the irradiation area.
또는 제1 반사군(P)의 반사광은 발광부(300)의 길이 방향에 평행한 평행광 보다 경사진 경사광의 비율이 높을 수 있다.Alternatively, the ratio of the inclined light to the reflected light of the first reflection group P may be higher than that of the parallel light parallel to the longitudinal direction of the
제2 반사군(C)에 설치된 반사부는, 하나의 반사부에서 반사된 반사광이 발광부(300)를 기준으로 대칭된 광일 수 있다. 제2 반사군(C)의 반사광은 평행광일 수 있다. 또는 제2 반사군(C)의 반사광은 발광부(300)의 길이 방향에 평행한 평행광 보다 경사진 경사광의 비율이 작을 수 있다.In the reflection unit installed in the second reflection group C, the reflected light reflected by one reflection unit may be symmetrical light with respect to the
반사부(500)는 복수개의 반사면(540) 중 적어도 하나를 타원면, 파라볼릭면, 자유곡면 중 적어도 하나로 형성할 수 있다. The
이하, 도 7(a) 내지 도 8(b)을 참조하여 발광부(300) 및 지지부(100)에 대해 상세하게 설명한다.Hereinafter, the
도 7(a)를 참고하면, 발광부(300)는 지지부(100)에 설치되어 반사면(540) 방향으로 광을 생성하는 부재이다. 앞서 설명한 바와 같이, 복수개의 발광부(300)는 행과 열으로 하나의 지지부(100)에 착탈 가능하게 설치될 수 있다.Referring to FIG. 7A , the
복수개의 발광부(300) 각각은, 복수개의 발광체 중 적어도 어느 하나의 발광체(410, 420, 430, 440)가 설치되는 발광부(300)의 외주면은 지지부(100)의 일면과 평행하지 않는다.In each of the plurality of light emitting
다시 말해, 발광부(300)에 설치되는 복수개의 발광체(410, 420, 430, 440) 중 적어도 어느 하나의 발광체는 지지부(100)와 2차원 평면이 아닌 3차원 평면에 위치하게 되며, 이를 통해, 최소한의 면적으로 더욱 많은 수의 발광체를 구비할 수 있다.In other words, at least one of the plurality of light emitting
전술한 발광부(300)의 외주면은 복수개의 실장면(310a, 310b, 310c, 310d)으로 이해될 수 있으며, 지지부(100)의 일면은 지지부(100)의 설치면(101)으로 이해될 수 있다.The outer circumferential surface of the above-described
발광부(300)는 복수개의 발광체(410, 420, 430, 440)와 복수개의 발광체(410, 420, 430, 44)가 실장될 수 있는 발광부 몸체(310)를 포함할 수 있다.The
발광체 몸체(310)는 복수개의 실장면(310a, 310b, 310c, 310d)으로 이뤄진 다면체일 수 있다. 발광체 몸체(310)의 단면은 삼각형, 사각형, 오각형, 육각형 등의 다각형으로 이뤄질 수 있으며, 발광체 몸체(310)의 외주면은 복수개의 직사각형으로 이뤄질 수 있다. 복수개의 직사각형의 개수는 발광체 몸체(310)의 단면 형상에 의존한다. The
발광부 몸체(310)는 일측 방향(전후 방향)으로 길게 형성된 기둥 형상을 가질 수 있으며, 삼각 기둥, 사각 기둥, 오각 기둥, 육각 기둥 등의 다각 기둥 형상으로 이뤄질 수 있다. 도 7(a)의 경우 발광부 몸체(310)를 사각 기둥으로 이뤄진 예이다.The light emitting
복수개의 실장면(310a, 310b, 310c, 310d)은 발광체 몸체(310)의 외주면을 이루는 직사각형으로 형성될 수 있다. 발광체 몸체(310)의 외주면을 형성하는 복수개의 실장면(310a, 310b, 310c, 310d) 각각에 복수개의 발광체(410, 420, 430, 440)가 실장될 수 있다. The plurality of mounting
또한, 하나의 실장면(310a)에 복수개의 발광체(410a, 410b, 410c)가 실장될 수 있으며, 하나의 실장면(310b)에 복수개의 발광체(420a, 420b, 420c)가 실장될 수 있으며, 하나의 실장면(310c)에 복수개의 발광체(430a, 430b, 430c)가 실장될 수 있으며, 하나의 실장면(310d)에 복수개의 발광체(440a, 440b, 440c)가 실장될 수 있다.In addition, a plurality of light emitting
다시 말해, 발광체는 발광부 몸체(310)의 길이 방향을 기준으로 발광부의 하나의 실장면 상에 복수개로 실장될 수 있으며, 발광부 몸체(310)의 외주면에 둘레 방향으로 복수개의 실장면에 복수개로 실장될 수 있다.In other words, a plurality of light emitting units may be mounted on one mounting surface of the light emitting unit based on the longitudinal direction of the light emitting
발광부(300)는 지지부(100)의 제1 지지부 고정부(110)와 착탈 가능하게 결합하여 고정될 수 있는 제1 연결부(340)을 포함할 수 있다. 제1 연결부(340)는 발광부 몸체(310)의 일단에서 연장되어 돌출될 수 있으며, 제1 연결부(340)는 제1 지지부 고정부(110)의 홈 또는 홀에 삽입되어 결합될 수 있다. 이 경우 제1 연결부(340)의 외주면에 나사산(340a)이 형성될 수 있다. 또는 제1 연결부(340)는 발광부 몸체(3100의 일단 내측에 홈 또는 홀 형상으로 이뤄질 수 있으며, 제1 연결부(340)은 지지부(100)를 관통한 발광부 고정나사(120a)에 의해서 삽입되어 고정될 수 있다.The
도 7(b)를 참조하면, 발광부(300)는 복수개의 발광체(410, 420, 430, 440)에 전기를 공급하기 위하여 복수개의 실장면(310a, 310b, 310c, 310d) 상에 플러스 배선(321, 323)과 마이너스 배선(322, 324)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 7( b ), the
예를 들면, 플러스 배선(321)과 마이너스 배선(322)은 하나의 실장면(310a) 위에 배치될 수 있으며, 접착제로 실장면(310a)에 부착되거나 실장면(310a) 위에 금속 물질을 코팅함으로서 형성될 수 있다. 발광체(410)는 하나의 실장면(310a) 상의 플러스 배선(321)과 마이너스 배선(322)에 전기적으로 연결되어 전력을 공급받음으로써 광을 생성할 수 있다.For example, the
인접한 2개의 실장면(310a, 310d) 상에 배치된 각각의 플러스 배선(321)은 전기적으로 연결된 하나의 부재로 형성될 수 있으며, 인접한 2개의 실장면(310a, 310b) 상에 배치된 마이너스 배선(322)은 전기적으로 연결된 하나의 부재로 형성될 수 있다. 이로써, 발광체 몸체(310)가 사각 기둥으로 이뤄진 경우에는 사각형의 모서리 부분으로 플러스 배선 또는 마이너스 배선을 인접한 실장면들이 서로 공유하며, 2개의 플러스 배선 및 2개의 마이너스 배선만으로 4개의 실장면 상에 실장되는 발광체에 전기를 공급할 수 있다.Each of the
만약, 발광체 몸체(310)가 육각 기둥으로 이뤄진 경우에는 육각형의 모서리 부분에 인접하는 2개의 실장면 상에 배치되는 3개의 플러스 배선 및 3개의 마이너스 배선으로 각각의 실장면에 실장되는 발광체에 전기를 공급할 수 있다.If the
도 7(c)을 참조하면, 지지부(100)는 발광부(300)의 플러스 및 마이너스 배선에 전기를 공급하기 위하여, 지지부(100)에 구비되며 발광부(300)의 플러스 배선(321, 323)에 전기적으로 접촉하는 플러스 연결선(140), 지지부(100)에 구비되며 발광부(300)의 마이너스 배선(322, 324)에 전기적으로 접촉하는 마이너스 연결선(150)을 포함할 수 수 있다. Referring to FIG. 7( c ), the
도 7(d)를 참조하면, 플러스 연결선(140)와 마이너스 연결선(150)은 지지부(100)의 설치면(101) 위에 형성될 수 있으며, 발광부 몸체(310)의 후방면까지 연장된 플러스 배선(321, 323)과 마이너스 배선(322, 324)에 각각 전기적으로 접촉될 수 있다.Referring to FIG. 7( d ), the
도 8(a) 및 도 8(b)를 참조하면, 플러스 연결선(140)은 지지부(100)의 설치면(101) 상에 형성된 플러스 연장선(141)에 전기적으로 연결되며, 마이너스 연결선(150)은 지지부(100)의 후면 상에 형성된 마이너스 연장성(151)에 전기적으로 연결될 수 있다. 플러스 연장선(141) 및 마이너스 연장선(151)는 외부 단자에 연결되어 전기를 공급 받을 수 있다. 앞서 설명된 플러스 단자 및 마이너스 단자의 배치는 하나의 예일 뿐 본 발명을 한정할 것은 아니며, 플러스 단자 및 마이너스 단자의 위치를 서로 교환하여 배치할 수도 있다.8 (a) and 8 (b), the
복수개의 발광체(410, 420, 430, 440)는 전기를 인가한 경우에 광을 발생시키는 부재 내지 소자로서, LED칩 또는 LED패키지 중 하나일 수 있다. 복수개의 발광체(410, 420, 430, 440)는 복수개의 실장면(310a, 310b, 310c, 310d)에 실장될 수 있다.The plurality of light emitting
이하에서 발광부(300)의 길이 방향으로 실장되는 복수개의 발광체들 사이의 관계를 설명한다. 예를 들어, 발광부(100)의 길이 방향으로 실장되는 복수개의 발광체(410a, 410b, 410c)는 발광부(300)의 전방 단부에서부터 후방측으로 순서대로 배치되는 제1 발광체(410a), 제2 발광체(410b), 제3 발광체(410c)를 포함할 수 있다.Hereinafter, a relationship between the plurality of light emitting bodies mounted in the longitudinal direction of the
복수개의 발광체(410, 420, 430, 440)는 발광부(300)의 길이 방향으로 소정 길이 간격으로 이격되어 하나의 실장면(310a, 310b, 310c, 310d) 상에 배치될 수 있다. 이 경우 각각의 실장면에 설치된 발광체의 개수는 모든 실장면에서 동일하게 설치될 수 있다.The plurality of light emitting
복수개의 발광체(410, 420, 430, 440)는 발광부(300)의 둘레 방향으로 소정 길이 간격으로 이격되어 복수개의 실장면 상에 배치될 수 있다. 이 경우 발광부(300)의 길이 방향의 제1 위치에서 둘레 방향으로 설치된 발광체의 개수는 길이 방향의 제2 위치에서 둘레 방향으로 설치된 발광체의 개수와 동일하게 구비될 수 있다.The plurality of light emitting
복수개의 발광체(410, 420, 430, 440)는 모두 동일한 광의 프로파일을 가질 수 있다. 또한, 복수개의 발광체(410, 420, 430, 440)의 광축은 각각의 발광체가 설치된 실장면(310a, 310b, 310c, 310d)에 법선 방향을 향할 수 있다.The plurality of light emitting
발광부(300)는 발광부 몸체(310)의 내부에 발광부 냉각부(330)을 포함할 수 있으며, 발광부 냉각부(330)은 지지부 냉각부(200)에 접촉할 수 있으며 발광체에서 발생하는 열을 받아 지지부 냉각부(200)로 전달할 수 있다.The
본 발명의 발광 유닛(10)은 여러 변형 예를 가질 수 있다.The
이하, 도 9 내지 도 13을 참조하여 제1변형 예 내지 제4변형 예에 따른 발광 유닛(10a, 10b, 10c, 10d)에 대해 설명한다. 단, 이하의 설명에서는 전술한 일 실시 예에 따른 발광 유닛(10)의 반사부(500)의 차이점을 중점으로 설명하는 것이며, 설명되지 않은 구성요소는 전술한 설명이 대체될 수 있다.Hereinafter, the
이하, 도 9를 참조하여, 제1변형 예에 따른 발광 유닛(10a)에 대해 설명한다.Hereinafter, the
도 9는 제1변형 예에 따른 발광 유닛의 반사부에서 광이 반사되는 것을 도시한 단면도이다.9 is a cross-sectional view illustrating that light is reflected from a reflection unit of the light emitting unit according to the first modification.
도 9에 도시된 바와 같이, 제1변형 예에 따른 발광 유닛(10a)은, 복수개의 반사부(500, 500') 각각의 복수개의 반사면(540, 540')에서 반사되는 광은 그 주광축이 수평인 제1 반사광(RL1)과, 그 주광축이 경사진 제2 반사광(RL2)으로 이루어질 수 있다.As shown in FIG. 9 , in the
복수개의 반사부(500, 500') 각각의 복수개의 반사면(540, 540') 중 적어도 복수개의 반사부(500, 500') 각각의 최외곽에 위치하는 반사면(540a, 540a')에서 상기 제2 반사광(RL2)이 생성되되, 제2 반사광(RL2)은, 복수개의 반사부(500, 500') 각각의 중심점에서 반사부(500, 500') 각각의 외측 방향으로 경사지게 형성될 수 있다.At least among the plurality of
복수개의 발광부(300, 300') 각각은 그 중심축이 상기 복수개의 반사부(500, 500') 각각의 중심축 또는 중심점과 동일하도록 복수개의 반사부(500, 500') 각각의 중앙에 배치되고, 복수개의 반사부(500, 500') 각각의 복수개의 반사면(540, 540')에서 반사된 제1반사광(RL1) 및 제2 반사광(RL2)은 복수개의 반사부(500, 500') 각각의 발광부(300, 300')의 중심축을 기준으로 서로 대칭되게 형성될 수 있다.Each of the plurality of light emitting
복수개의 반사부(500, 500') 각각은 복수개의 반사면(530, 530') 중 적어도 어느 하나의 반사면에서 반사되는 광이 경사지게 반사되어 복수개의 반사부(500, 500')가 서로 인접하는 영역인 인접 영역(AR)의 전방에서 상기 어느 하나의 반사면에서 반사되는 광이 서로 중첩될 수 있다.Each of the plurality of
도 9에 도시된 바와 같이, 발광 유닛(10a)의 복수개의 반사부(500, 500')는 상하로 배열되며, 서로 인접하는 제1 반사부(500) 및 제2 반사부(500')로 이루어질 수 있다.As shown in FIG. 9 , the plurality of
제1 반사부(500)의 내부에는 제1 발광부(300)가 배치되며, 이 경우, 제1 반사부(500)의 중심축 또는 중심점과 제1 발광부(300)의 중심축은 동일하도록 제1 발광부(300)는 제1 반사부(500)의 중앙에 배치된다.The first
제1 반사부(500)의 제1-1 내지 제1-3 반사면(540a, 540b, 540c) 중 제1-1 반사면(540a) 및 제1-2 반사면(540b)에서는 제1 반사부(500)의 중심점에서 제1 반사부(500)의 외측 방향으로 경사지게 형성된 제2 반사광(RL2)이 생성된다.Among the 1-1 to 1-3
제1 반사부(500)의 제1-1 내지 제1-3 반사면(540a, 540b, 540c) 중 제1-3 반사면(540c)에서는 수평한 제1 반사광(RL2)이 생성된다.The horizontal first reflected light RL2 is generated from the 1-3
제1 반사부(500)의 제1-1 내지 제1-3 반사면(540a, 540b, 540c)에서 반사된 제1 반사광(RL1) 및 제2 반사광(RL2)은 제1 반사부(500)의 제1 발광부(300)의 중심축을 기준으로 서로 대칭되게 형성될 수 있다.The first reflected light RL1 and the second reflected light RL2 reflected from the 1-1 to 1-3
제2 반사부(500')의 내부에는 제2 발광부(300')가 배치되며, 이 경우, 제2 반사부(500')의 중심축 또는 중심점과 제2 발광부(300')의 중심축은 동일하도록 제2 발광부(300')는 제2 반사부(500')의 중앙에 배치된다.The second
제2 반사부(500')의 제2-1 내지 제2-3 반사면(540a', 540b', 540c') 중 제2-1 반사면(540a') 및 제2-2 반사면(540b')에서는 제2 반사부(500')의 중심점에서 제2 반사부(500')의 외측 방향으로 경사지게 형성된 제2 반사광(RL2)이 생성된다.Of the 2-1 to 2-3-th
제2 반사부(500')의 제2-1 내지 제2-3 반사면(540a', 540b', 540c') 중 제2-3 반사면(540c')에서는 수평한 제1 반사광(RL2)이 생성된다.Among the 2-1 to 2-3
제2 반사부(500')의 제2-1 내지 제2-3 반사면(540a', 540b', 540c')에서 반사된 제1 반사광(RL1) 및 제2 반사광(RL2)은 제2 반사부(500')의 제2 발광부(300')의 중심축을 기준으로 서로 대칭되게 형성될 수 있다.The first reflected light RL1 and the second reflected light RL2 reflected from the 2-1 to 2-3-th
상하로 배열되는 제1 반사부(500)와 제2 반사부(500')의 사이에는 인접 영역(AR)이 형성될 수 있다.An adjacent area AR may be formed between the first and
제1 반사부(500)의 제1-1 반사면(540a)에서 반사된 제2 반사광(RL2)과 제2 반사부(500)의 제2-1반사면(540a)에서 반사된 제2 반사광(RL2)은 인접 영역(AR)의 전방에서 서로 중첩될 수 있다.The second reflected light RL2 reflected from the first-
이 경우, 발광 유닛(10a)의 제1, 2 반사부(500, 500')의 전방에는 광 균질부(30)가 위치할 수 있으며, 인접 영역(AR)의 전방은 광 균질부(30)의 골 부분인 2개의 제2 반사광(RL2)이 중첩되는 영역(H1)일 수 있다.In this case, the
위와 같은 구성을 갖음에 따라, 제1변형 예에 따른 발광 유닛(10a)은 다음과 같은 효과를 갖는다.According to the above configuration, the
하나의 반사부(500)에서 반사된 모든 반사광을 평행한 수평광으로 형성하면, 제1 반사부(500)의 반사광과 인접한 제2 반사부(500')의 반사광 사이에 발생할 수 있는 물리적인 음영 구역 때문에 광 균질부(30)의 골 부분을 통과하는 광량이 부족하여 조사영역(80)에서 격자 모양의 조도 불균일의 문제가 발생할 수 있다. When all of the reflected light reflected from one
따라서, 위와 같은 구성에 의해, 제1 반사부(500)의 복수개의 반사면(540) 중 적어도 하나의 반사면의 반사광이 인접하는 제2 반사부(500')의 복수개의 반사면(540') 중 적어도 하나의 반사광과 광 균질부(30)로 중첩되어 입사하게 함으로써, 광 균질부(30)의 골 부분을 통과하는 광량이 부족을 해결하여 조사영역(80)에서 격자 모양의 조도 불균일의 문제를 해결할 수 있다.Accordingly, by the above configuration, the light reflected from at least one of the plurality of
이 경우, 제1 반사부(500)의 제1-1 반사면(540a)의 제2 반사광(RL2)과 제2 반사부(500')의 제2-1 반사면(540a')의 제2 반사광(RL2)은 서로 중첩되도록 경사지게 구비될 수 있으며, 2개의 제2 반사광(RL2)이 중첩되는 영역(H1)을 광 균질부(30)의 골 부분으로 할 수 있다.In this case, the second reflected light RL2 of the first-
전술한 바와 같이, 발광체에서 생성된 광이 경사지게 반사되는 곳은, 복수개의 반사면 중 복수개의 반사부가 서로 인접하는 영역인 인접 영역에 위치하는 반사면이다.As described above, the place where the light generated by the light emitting body is reflected obliquely is a reflective surface located in an adjacent region, which is an area where the plurality of reflective parts are adjacent to each other among the plurality of reflective surfaces.
인접 영역은 복수개의 반사부가 서로 인접하는 영역을 의미한다. The adjacent area means an area in which the plurality of reflection units are adjacent to each other.
예컨데, 반사부가 상하로 배열될 경우, 인접 영역은 상하로 배열된 반사부의 사이이다. 따라서, 상부에 위치하는 반사부의 인접 영역은 상기 반사부의 하부가 되며, 하부에 위치하는 반사부의 인접 영역은 상기 반사부의 상부가 된다. 따라서, 상기 상부에 위치하는 반사부의 경우, 상기 반사부의 하부에 위치하는 반사면 중 최외곽 반사면에서 광을 하부 방향으로 경사지게 형성하여 경사광을 조사하고, 상기 하부에 위치하는 반사부의 경우, 상기 반사부의 상부에 위치하는 반사면 중 최외곽 반사면에서 광을 상부 방향으로 경사지게 형성함으로써, 인접 영역의 전방에 제2 반사광들이 중첩되게 할 수 있다.For example, when the reflecting units are arranged vertically, the adjacent region is between the vertical reflecting units. Accordingly, an area adjacent to the upper reflector becomes a lower portion of the reflector, and an adjacent area to the lower reflector becomes an upper portion of the reflector. Accordingly, in the case of the reflective part located at the upper part, the light is irradiated by obliquely forming the light from the outermost reflective surface of the reflective surfaces located below the reflective part in the downward direction to irradiate the inclined light, and in the case of the reflective part located at the lower part, the By forming the light to be inclined upwardly from the outermost reflective surface among the reflective surfaces positioned above the reflective part, the second reflected light may be overlapped in front of the adjacent area.
또한, 복수개의 반사부가 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 복수개의 행 과 복수개의 열을 갖는 매트릭스 형태로 배열될 경우, 1개의 반사부는 복수개의 반사부에 둘러쌓여 있으므로, 상기 1개의 반사부의 인접 영역은 상기 1개의 반사부의 상부, 하부, 좌측, 우측 즉, 모든 면이 된다.In addition, as shown in FIGS. 1 and 2 , when a plurality of reflection units are arranged in a matrix form having a plurality of rows and a plurality of columns, one reflection unit is surrounded by the plurality of reflection units, so that the one reflection unit The adjacent regions of the negative portion are the top, bottom, left, and right sides of the one reflective portion, that is, all sides.
이 경우, 상기 1개의 반사부의 상, 하, 좌, 우에 위치하는 반사면들 중 최외곽 반사면들이 광을 각각 상부, 하부, 좌측, 우측으로 경사지게 형성함으로써, 제2 반사광이 인접 영역의 전방에서 중첩되게 할 수 있다.In this case, the outermost reflective surfaces of the reflective surfaces positioned on the top, bottom, left, and right of the one reflective part incline the light to the upper, lower, left, and right, respectively, so that the second reflected light is transmitted from the front of the adjacent area. can be nested.
이하, 도 10을 참조하여, 제2변형 예에 따른 발광 유닛(10b)에 대해 설명한다. 단, 도 10에는 설명의 용이함을 위해 1개의 반사부(500) 및 발광부(300)가 도시하였다.Hereinafter, a
도 10은 제2변형 예에 따른 발광 유닛의 반사부에서 광이 반사되는 것을 도시한 단면도이다.10 is a cross-sectional view illustrating that light is reflected from a reflection unit of a light emitting unit according to a second modification.
도 10에 도시된 바와 같이, 제2변형 예에 따른 발광 유닛(10b)은, 복수개의 반사부(500) 각각의 복수개의 반사면(540)에서 반사되는 광은 그 주광축이 수평인 제1 반사광(RL1)과, 그 주광축이 경사진 제2 반사광(RL2) 및 제3 반사광(RL2)으로 이루어질 수 있으며, 복수개의 반사부(500) 각각의 복수개의 반사면(540) 중 적어도 복수개의 반사부(500) 각각의 최외곽에 위치하는 반사면(540a)에서 상기 제2 반사광(RL2)이 생성되고, 복수개의 반사부(500) 각각의 복수개의 반사면(540) 중 적어도 복수개의 반사부(500) 각각의 최외곽의 내측에 위치하는 반사면(54b)에서 상기 제3 반사광(RL3)이 생성되되, 제2 반사광(RL2)은, 복수개의 반사부(500) 각각의 중심점에서 반사부(500) 각각의 내측 방향으로 경사지게 형성되고, 제3 반사광(RL3)은, 복수개의 반사부(500) 각각의 중심점에서 반사부(500) 각각의 외측 방향으로 경사지게 형성될 수 있다. As shown in FIG. 10 , in the
복수개의 발광부(300) 각각은 그 중심축이 상기 복수개의 반사부(500) 각각의 중심축 또는 중심점과 동일하도록 복수개의 반사부(500) 각각의 중앙에 배치되고, 복수개의 반사부(500) 각각의 복수개의 반사면(540)에서 반사된 제1반사광(RL1), 제2 반사광(RL2) 및 제3 반사광(RL3)은 복수개의 반사부(500) 각각의 발광부(300)의 중심축을 기준으로 서로 대칭되게 형성될 수 있다.Each of the plurality of light emitting
복수개의 반사부(500) 각각은 복수개의 반사면(530) 중 적어도 어느 하나의 반사면에서 반사되는 광이 경사지게 반사되어 복수개의 발광부(300) 각각의 전방에서 상기 어느 하나의 반사면에서 반사되는 광이 서로 중첩될 수 있다.Each of the plurality of
도 10에 도시된 바와 같이, 복수개의 반사부(500) 각각의 내부에는 발광부(300)가 배치되며, 이 경우, 복수개의 반사부(500) 각각의 중심축 또는 중심점과 복수개의 발광부(300) 각각의 중심축은 동일하도록 복수개의 발광부(300) 각각은복수개의 반사부(500) 각각의 중앙에 배치된다As shown in FIG. 10 , the
복수개의 반사부(500) 각각의 복수개의 반사면(540)은 복수개의 반사부(500) 각각의 최외곽에 위치하는 제1 반사면(540a)과, 제1 반사면(540a)의 내측에 위치하는 제2 반사면(540b)과, 복수개의 반사부(500) 각각의 최내측에 위치하는 제3 반사면(540c)을 포함하여 구성될 수 있다.The plurality of
제1 내지 제3 반사면(540a, 540b, 540c)은 반사부(500)의 외측에서 내측 방향으로 제1 반사면(540a), 제2 반사면(540b), 제3 반사면(540c) 순서대로 배치된다.The first to third
제1 내지 제3 반사면(540a, 540b, 540c)은 반사부(500)의 전방에서 후방 방향으로 제1 반사면(540a), 제2 반사면(540b), 제3 반사면(540c) 순서대로 배치된다.The first to third
반사부(500)의 제1 내지 제3 반사면(540a, 540b, 540c) 중 제1 반사면(540a)에서는 반사부(500)의 중심점에서 제1 반사부(500)의 내측 방향으로 경사지게 형성된 제2 반사광(RL2)이 생성된다.Among the first to third
반사부(500)의 제1 내지 제3 반사면(540a, 540b, 540c) 중 제3 반사면(540c)에서는 수평한 제1 반사광(RL2)이 생성된다.A horizontal first reflected light RL2 is generated from the third
반사부(500)의 제1 내지 제3 반사면(540a, 540b, 540c) 중 제2 반사면(540c)에서는 수평한 제1 반사광(RL2)이 생성된다.The first horizontal reflected light RL2 is generated at the second reflecting
반사부(500)의 제1 내지 제3 반사면(540a, 540b, 540c)에서 반사된 제1 반사광(RL1), 제2 반사광(RL2) 및 제2 반사광(RL3)은 반사부(500)의 발광부(300)의 중심축을 기준으로 서로 대칭되게 형성될 수 있다.The first reflected light RL1 , the second reflected light RL2 , and the second reflected light RL3 reflected from the first to third
복수개의 반사부(500) 각각의 제1 반사면(540a)에서 반사된 제2 반사광(RL2)은 복수개의 발광부(300) 각각의 전방에서 서로 중첩될 수 있다.The second reflected light RL2 reflected from the first
이 경우, 발광 유닛(10b)의 복수개의 반사부(500)의 전방에는 광 균질부(30)가 위치할 수 있다.In this case, the
또한, 제1 반사면(540a)에서 반사된 제2 반사광(RL2)이 중첩되는 영역은 발광부(300)의 중심축과, 광 균질부(30)가 만나는 영역(H2)일 수 있다.Also, the area where the second reflected light RL2 reflected from the first
위와 같은 구성을 갖음에 따라, 제2변형 예에 따른 발광 유닛(10b)은 다음과 같은 효과를 갖는다.According to the above configuration, the
하나의 반사부(500)에서 반사된 모든 광을 평행한 수평광으로 형성하면, 반사부(500)의 중심에 배치된 발광부(300)의 전방 단부에서는 광원이 없기 때문에 발광부(300)의 중심축 방향으로 물리적인 음영 구역이 발생할 수 있다. When all the light reflected by one
위와 같은 구성에 의해, 발광부(300)의 전방 단부에 광원을 배치하지 않게 되더라도, 발광부(300)의 전방, 즉, 발광부(300)의 중심축과 광 균질부(30)가 만나는 영역(H2)에 제2 반사광(RL2)이 도달하도록 할 수 있다. 구체적으로, 반사부(500)의 제1 반사면(540a)의 반사광을 발광부(300)의 중심축 방향으로 경사지게 구비하여 광 균질부(30)과 중심축(O1)이 반사는 영역(H2)에 도달하도록 할 수 있다.Even if the light source is not disposed at the front end of the
위와 달리, 발광부(300)의 전방 단부에 광원을 배치할수도 있으나, 발광부(300)의 전방 단부에 배치된 광원의 광은 반사부(500)에 의해서 반사되지 않고 직접적으로 광 균질부(30)에 도달하여 오히려 조사 영역에서 과도한 광량으로 인해 스팟 모양의 조도 불균일의 문제가 발생할 수 있다. 따라서, 제2 변형 예에서는 위와 같이, 제2 반사광(RL2)을 통해, 발광부(300)의 전방 영역에서의 조도 불균형을 해결하는 것이다.Contrary to the above, a light source may be disposed at the front end of the
또한, 제2 반사면(540b)은 제3 반사광(RL3)이 생성되므로, 발광 유닛(10b)의 전방 영역, 즉, 광 균질부(30)에 보다 넓게 광을 도달시킬 수 있으며, 이를 통해, 조도 불균일의 문제를 더욱 용이하게 해결할 수 있다.In addition, since the second
이하, 도 11을 참조하여, 제3변형 예에 따른 발광 유닛(10c)에 대해 설명한다. 단, 도 11에는 설명의 용이함을 위해 1개의 반사부(500) 및 발광부(300)가 도시하였다.Hereinafter, a
도 11은 제3변형 예에 따른 발광 유닛의 반사부에서 광이 반사되는 것을 도시한 단면도이다.11 is a cross-sectional view illustrating that light is reflected from a reflection unit of a light emitting unit according to a third modified example.
도 11에 도시된 바와 같이, 제3변형 예에 따른 발광 유닛(10c)은, 복수개의 발광부(300) 각각은 그 중심축이 상기 복수개의 반사부(500) 각각의 중심점과 동일하도록 복수개의 반사부(500) 각각의 중앙에 배치되고, 복수개의 반사부(500) 각각의 복수개의 반사면(540)에서 반사된 반사광은 상기 복수개의 반사부 각각의 발광부의 중심축을 기준으로 서로 대칭되지 않게 형성될 수 있다.11 , in the
또한, 복수개의 반사부(500) 각각의 복수개의 반사면(540) 중 적어도 어느 하나의 반사면(540)에서 반사되는 광은 그 주광축이 경사지게 형성되는 반사광으로 이루어질 수 있다.In addition, the light reflected from at least one of the plurality of
하나의 예로써, 도 12에 도시된 바와 같이, 제3변형 예에 따른 발광 유닛(10c)의 복수개의 반사부(500) 각각의 제1 내지 제3 반사면(540a, 540b, 540c) 중 발광부(300)를 중심으로 상부에 위치하는 제1 내지 제3 반사면(540a, 540b, 540c)에서 반사되는 광은 그 주광축이 반사부(500)의 외측에서 내측 방향으로(또는 상부에서 하부 방향으로) 경사지게 형성되는 제1 반사광(RL1)이고, 복수개의 반사부(500) 각각의 제1 내지 제3 반사면(540a, 540b, 540c) 중 발광부(300)를 중심으로 하부에 위치하는 제1 내지 제3 반사면(540a, 540b, 540c)에서 반사되는 광은 그 주광축이 반사부(500)의 내측에서 외측 방향(또는 하부에서 상부 방향)으로 경사지게 형성되는 제2 반사광(RL2)일 수 있다. As an example, as shown in FIG. 12 , light emission from among the first to third
위와 같은 구성에 따라, 제3변형 예에 따른 발광 유닛(10c)은 광이 조사되는 영역, 예컨데, 광 균질부(30)의 영역 중에서 필요한 조도량을 손쉽게 조절할 수 있다. 따라서, 광이 조사되는 영역 중에서 조도가 모자란 영역에 경사진 반사광을 조사하여 조도를 높이고, 조도가 불필요한 영역은 반사광을 조사하지 않음으로써, 조도를 낮출 수 있다. 따라서, 조도 불균일 문제를 해결할 수 있다.According to the above configuration, the
전술한 제3변형 예에 따른 발광 유닛(10c)의 제1 내지 제3 반사면(540a, 540b, 540c) 중 적어도 어느 하나에서 반사되는 광은 그 주광축이 수평인 반사광일 수도 있다.The light reflected from at least one of the first to third
이하, 도 12 및 도 13를 참조하여, 제4변형 예에 따른 발광 유닛(10d)에 대해 설명한다. 단, 도 12 및 도 13에는 설명의 용이함을 위해 1개의 반사부(500) 및 발광부(300)가 도시하였다.Hereinafter, a
도 12는 제3변형 예에 따른 발광 유닛의 반사부에서 광이 반사되는 것을 도시한 단면도이고, 도 13은 제4변형 예에 따른 발광 유닛의 전면도이다.12 is a cross-sectional view illustrating that light is reflected from a reflection unit of the light emitting unit according to the third modification, and FIG. 13 is a front view of the light emitting unit according to the fourth modification.
도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이, 제4변형 예에 따른 발광 유닛(10d)은, 복수개의 반사부(500) 각각의 내부공간(520)은 그 일측이 개구되도록 복수개의 반사부(500) 각각은 발광부의 중심축을 기준으로 전체 둘레에 형성되지 않으며, 복수개의 반사부 각각의 복수개의 반사면 중 적어도 어느 하나의 반사면에서 반사되는 광은 그 주광축이 경사지게 형성되는 반사광(RL1)으로 이루어질 수 있다.12 and 13 , in the
제4변형 예에 따른 발광 유닛(10d)은, 복수개의 반사부(500) 각각은 발광부(300)의 중심축을 기준으로 도 9 내지 도 11과 같이 360도 전체 둘레가 아닌 소정 각도에만 형성될 수 있다.In the
하나의 예로써, 도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이, 복수개의 반사부(500) 각각은 발광부(300)의 중심축을 기준으로 발광부(300)의 상부에서 180도 둘레에만 형성되고, 내부공간(520)은 그 하측이 개구될 수 있다.As an example, as shown in FIGS. 12 and 13, each of the plurality of
위와 달리, 복수개의 반사부(500) 각각은 발광부(300)의 중심축을 기준으로 발광부(300)의 하부에서 180도 둘레에만 형성되고, 내부공간(520)은 그 상측이 개구될 수 있다.Contrary to the above, each of the plurality of
이 경우, 발광부(300)의 발광체(410, 420, 430, 440)는 반사부(500)가 형성된 영역에만 배치되며, 반사부(500)가 형성되지 않은 영역에는 배치되지 않는다. In this case, the
다시 말해, 내부공간(520)의 하측이 개구될 경우, 발광체(410, 420, 430, 440)는 발광부(300)의 외주면 중 하측 방향의 외주면에는 배치되지 않는다.In other words, when the lower side of the
또한, 내부공간(520)의 상측이 개구될 경우, 발광체(410, 420, 430, 440)는 발광부(300)의 외주면 중 상측 방향의 외주면에는 배치되지 않는다.In addition, when the upper side of the
전술한 제4변형 예에 따른 발광 유닛(10d)의 제1 내지 제3 반사면(540a, 540b, 540c) 중 적어도 어느 하나에서 반사되는 광은 그 주광축이 경사제게 형성되는 제1 반사광(RL1)일 수 있으며, 제1 반사광(RL1)은 그 주광축이 반사부(500)의 외측에서 내측 방향으로(또는 상부에서 하부 방향으로) 경사지게 형성되거나, 그 주광축이 반사부(500)의 내측에서 외측 방향(또는 하부에서 상부 방향)으로 경사지게 형성될 수 있다.The light reflected from at least one of the first to third
또한, 제1 내지 제3 반사면(540a, 540b, 540c) 중 적어도 어느 하나에서 반사되는 광은 그 주광축이 수평인 반사광일 수도 있다.In addition, light reflected from at least one of the first to third
위와 같은 구성에 따라, 제4변형 예에 따른 발광 유닛(10d)은 반사부(500)의 크기가 줄어들게 되며, 이를 통해, 더욱 조밀하게 발광 유닛(10d)의 반사부(500) 및 발광부(300)를 배열할 수 있다. 따라서, 지지부(100)의 동일 면적에서 더욱 높은 조도량을 생성할 수 있다.According to the above configuration, in the
상세하게 설명하면, 광이 조사되는 영역, 예컨데, 광 균질부(30)의 영역 중에서 필요한 조도량을 손쉽게 조절할 수 있다. 따라서, 광이 조사되는 영역 중에서 조도가 모자란 영역에 경사진 반사광을 조사하여 조도를 높이고, 조도가 불필요한 영역은 반사광을 조사하지 않음으로써, 조도를 낮출 수 있다. 따라서, 조도 불균일 문제를 해결할 수 있다.In detail, it is possible to easily control the amount of illuminance required in the area to which light is irradiated, for example, in the area of the
전술한 제4변형 예에 따른 발광 유닛(10d)의 제1 내지 제3 반사면(540a, 540b, 540c) 중 적어도 어느 하나에서 반사되는 광은 그 주광축이 수평인 반사광일 수도 있다.The light reflected from at least one of the first to third
본 발명의 발광 유닛(10, 10a, 10b, 10c, 10d)은, 수개의 발광체(410, 420, 430, 440)가 발광부(300)의 외주면에 구비되고, 적어도 어느 하나의 발광체가 설치되는 발광부(300)의 외주면은 지지부(100)의 일면과 평행하지 않음으로써, 발광체는 지지부(100)와 2차원 평면이 아닌 3차원 평면에 위치하게 되며, 이를 통해, 최소한의 면적으로 더욱 많은 수의 발광체를 구비할 수 있다. 따라서, 종래의 발광 유닛보다 작은 사이즈로도 필요한 광량을 발생시킬 수 있다. 다시 말해, 본 발명의 발광 유닛(10)은 복수개의 발광체를 3차원으로 배열하여 충분한 광량을 얻으면서도 상하 및 좌우 방향으로 소형화하는 효과를 제공한다.In the
본 발명의 발광 유닛(10, 10a, 10b, 10c, 10d)은, 반사면(540)에서 반사되는 반사광을 그 주광축이 경사진 반사광과, 그 주광축이 수평한 반사광을 포함함으로써, 충분한 광량을 확보함과 동시에 조사 영역의 조도 불균일 문제를 해결할 수 있다.The
이하, 도 14을 참조하여 전술한 구성을 갖는 발광 유닛(10)을 구비한 노광기 시스템(1)에 대해 설명한다.Hereinafter, the
도 14는 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛을 구비한 노광기 시스템을 도시한 도이다.14 is a diagram illustrating an exposure machine system including a light emitting unit according to an embodiment of the present invention.
도 14를 참고하면, 본 발명의 노광기 시스템(1)은, 발광 유닛(10), 어퍼쳐(20), 광 균질부(30), 오목거울(40), 평면거울(50), 마스크 스테이지(60), 조사대상 스테이지(70)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 14 , the
발광 유닛(10)은 앞서 설명한 모든 구성들의 조합으로 이뤄질 수 있다. The
어퍼쳐(20)는 광 균질부(30) 보다 작은 사이즈의 개구를 가지며, 발광 유닛(10)에서 출사된 광 중 불필요한 광을 제거하기 위하여 광 균질부(30) 보다 광 경로 상에 전단에 구비된다. The
광 균질부(30)는 플라이 아이 렌즈(FEL), 로드 렌즈, 인티그레이터 렌즈 중 하나로 일 수 있다. 광 균질부(30)는 어퍼쳐(20)를 통과하여 입사하는 광을 전체적으로 균질하게 만들어 출사시키는 렌즈를 일컬는다.The
오목 거울(40)은 광 균질부(30)에서 출사된 광 중 평행광을 제외한 광을 제거해주기 위한 광학 부재이다. 오목 거울(40)에 입사된 광은 오목 거울(40)에 의해서 반사되어 평면 거울(50)로 출사되는 광을 제외하고는 평면 거울(50)에 도달하지 못하고, 도달하지 못한 광들은 평행광이 아닌 경사광으로 조사영역(80)에 도달하지 못한다. 이를 통해서 조사영역(80)의 법선 방향에 나란한 평행광만 도달하게 된다.The
반사 거울(50)은 오목 거울(40)에서 반사된 광을 조사영역(80)의 방향으로 광의 경로를 바꾸어 주는 광학부재이다.The
마스크 스테이지(60)는 상단에 마스크(61)을 거치할 수 있으며, 마스크 구동부(미도시)에 의해서 X축, Z축의 평면 방향 뿐만 아니라 Y축 방향으로도 이동될 수 있다. The
조사대상 스테이지(70)는 상단에 조사대상(71)을 거치할 수 있으며, 웨이퍼 구동부(미도시)에 의해서 X축, Z축의 평면 방향 뿐만 아니라 Y축 방향으로도 이동될 수 있다. The
반사 거울(50)에 의해서 반사된 광은 마스크 스테이지 상단의 마스크(61)를 통과하며, 마스크(61)을 통과한 광은 조사대상(71)에 도달함으로써, 조사대상(71)의 상단에 조사영역(80)을 형성한다. 조사대상(71)은 반도체소자, 프린트 기판, 액정 표시 기판 등 중 하나일 수 있다.The light reflected by the
본 발명의 일 실시 예에 따른 발광 유닛(10) 및 노광기 시스템(1)의 구성을 사용함으로써, 조사영역(80)에 도달하는 광을 조사대상(71)에 균일하게 조사시킬 수 있다. 또한, 광량을 높이기 위해 발광체의 개수를 늘리게 되더라도, 발광 유닛(10) 및 노광기 시스템(1)의 크기를 소형화시킬 수 있다.By using the configuration of the
또한, 노광기 시스템(1)에 구비되는 발광 유닛(10)은 복수개의 발광체(410, 420, 430, 440)를 발광부(300)의 외주면에 3차원적으로 배열하고, 반사부의 반사면으로 복수개의 발광체(410, 420, 430, 440)에서 생성된 광을 반사시켜줌으로써, 충분한 광량을 얻을 수 있으면서 발광 유닛(10) 및 이를 구비한 노광기 시스템(1)의 소형화를 달성할 수 있다.In addition, the
또한, 노광기 시스템(1)에 구비되는 발광 유닛(10)은 복수개의 발광체(410a, 410b, 410c)와 이에 대응되는 복수개의 반사면(540a, 540b, 540c) 사이의 거리를 발광부(300)의 길이 방향 전방 측으로 갈수록 길어지게 함으로써, 발광부(300)의 길이 방향으로 배열되는 발광체(410a, 410b, 410c)의 개수를 늘리게 되더라도, 발광 유닛(10)의 전방 방향, 즉, 노광기 시스템(1)의 전방 방향으로충분한 광량이 용이하게 조사되게 할 수 있다.In addition, the
본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiment shown in the drawings, this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Accordingly, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.
1: 노광기 시스템
10, 10a, 10b, 10c, 10d: 발광 유닛
20: 어퍼쳐
30: 광 균질부
40: 오목거울
50: 평면거울
60: 마스크 스테이지
61: 마스크
70: 조사대상 스테이지
71: 조사대상
100: 지지부
100a: 지지부 몸체
100b: 지지부 냉각관
101: 설치면
102: 후면
110: 제1 지지부 고정부
120: 제2 지지부 고정부
200: 지지부 냉각부
210: 냉각바디부
220: 냉각관
300: 발광부
310: 발광부 몸체
310a, 310b, 310c, 310d: 실장면
321, 323: 플러스 배선
322, 324: 마이너스 배선
340: 제1 연결부
340a: 나사산
410, 420, 430, 440: 발광체
500: 반사부
510: 반사부 바디부
510a: 제2 연결부
511: 제1 반사부 피스
512: 제2 반사부 피스
513: 제3 반사부 피스
520: 내부공간
520a: 전방 개구부
520b: 후방 개구부
521: 제1 내부공간
522: 제2 내부공간
523: 제3 내부공간
530: 내부면
531: 제1 내부면
532: 제2 내부면
533: 제3 내부면
540: 반사면
540a: 제1 반사면
540b: 제2 반사면
540c: 제3 반사면1: Exposure machine system
10, 10a, 10b, 10c, 10d: light emitting unit
20: aperture 30: light homogenizer
40: concave mirror 50: flat mirror
60: mask stage
61: mask 70: irradiation target stage
71: Investigation subject
100:
100b: support cooling tube
101: mounting surface 102: rear
110: fixing part of the first support part 120: fixing part of the second support part
200: support cooling unit 210: cooling body unit
220: cooling tube
300: light emitting unit 310: light emitting unit body
310a, 310b, 310c, 310d: mounting surface
321, 323:
340:
410, 420, 430, 440: illuminant
500: reflector 510: reflector body part
510a: second connection part 511: first reflective part piece
512: second reflective unit piece 513: third reflective unit piece
520:
520b: rear opening 521: first inner space
522: second inner space 523: third inner space
530: inner surface 531: first inner surface
532: second inner surface 533: third inner surface
540:
540b: second
Claims (10)
상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되는 복수개의 반사부;
상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간에 위치하는 복수개의 발광부;
상기 복수개의 발광부 각각의 외주면에 설치되어 광을 생성하는 복수개의 발광체; 및
상기 복수개의 반사부 각각의 전방 방향으로 광이 조사되도록 상기 복수개의 발광체에서 생성된 광을 반사하며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간의 내측면에 구비되는 복수개의 반사면;을 포함하고,
상기 복수개의 반사부 각각의 상기 복수개의 반사면에서 반사되는 광은 그 주광축이 수평인 제1 반사광과, 그 주광축이 경사진 제2 반사광으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 발광 유닛.support;
a plurality of reflection units respectively installed on one surface of the support unit;
a plurality of light emitting units respectively installed on one surface of the support unit and positioned in an inner space of each of the plurality of reflection units;
a plurality of light emitting bodies installed on an outer circumferential surface of each of the plurality of light emitting units to generate light; and
and a plurality of reflective surfaces that reflect the light generated by the plurality of light emitting bodies so that light is irradiated in a forward direction of each of the plurality of reflective parts, and are provided on the inner surface of the inner space of each of the plurality of reflective parts; and
The light emitting unit, characterized in that the light reflected from the plurality of reflective surfaces of each of the plurality of reflective parts comprises a first reflected light whose principal optical axis is horizontal and a second reflected light whose principal optical axis is inclined.
상기 복수개의 반사부 각각의 상기 복수개의 반사면 중 적어도 상기 복수개의 반사부 각각의 최외곽에 위치하는 반사면에서 상기 제2 반사광이 생성되되, 상기 제2 반사광은, 상기 복수개의 반사부 각각의 중심점에서 상기 반사부 각각의 외측 방향으로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 발광 유닛.According to claim 1,
At least among the plurality of reflective surfaces of each of the plurality of reflective parts, the second reflected light is generated from a reflective surface positioned at an outermost portion of each of the plurality of reflective parts, and the second reflected light is, each of the plurality of reflective parts The light emitting unit, characterized in that formed to be inclined in an outward direction of each of the reflection units from the central point.
상기 복수개의 반사부 각각의 상기 복수개의 반사면 중 상기 복수개의 반사부 각각의 최외곽에 위치하는 반사면에서 상기 제2 반사광이 생성되되, 상기 제2 반사광은, 상기 복수개의 반사부 각각의 중심점에서 상기 반사부 각각의 내측 방향으로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 발광 유닛.According to claim 1,
The second reflected light is generated from a reflective surface positioned at the outermost part of each of the plurality of reflective parts among the plurality of reflective surfaces of each of the plurality of reflective parts, and the second reflected light is a center point of each of the plurality of reflective parts The light emitting unit, characterized in that formed to be inclined in an inward direction of each of the reflection units.
상기 복수개의 발광부 각각은 그 중심축이 상기 복수개의 반사부 각각의 중심점과 동일하도록 상기 복수개의 반사부 각각의 중앙에 배치되고,
상기 복수개의 반사부 각각의 복수개의 반사면에서 반사된 제1반사광 및 제2 반사광은 상기 복수개의 반사부 각각의 발광부의 중심축을 기준으로 서로 대칭되게 형성되는 것을 특징으로 하는 발광 유닛.4. The method of claim 2 or 3,
Each of the plurality of light emitting units is disposed at the center of each of the plurality of reflection units such that a central axis thereof is the same as the center point of each of the plurality of reflection units,
The light emitting unit, characterized in that the first reflected light and the second reflected light reflected from the plurality of reflective surfaces of each of the plurality of reflective parts are symmetrically formed with respect to the central axis of the light emitting part of each of the plurality of reflective parts.
상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되는 복수개의 반사부;
상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간에 위치하는 복수개의 발광부;
상기 복수개의 발광부 각각의 외주면에 설치되어 광을 생성하는 복수개의 발광체; 및
상기 복수개의 반사부 각각의 전방 방향으로 광이 조사되도록 상기 복수개의 발광체에서 생성된 광을 반사하며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간의 내측면에 구비되는 복수개의 반사면;을 포함하고,
상기 복수개의 반사부 각각은 상기 복수개의 반사면 중 적어도 어느 하나의 반사면에서 반사되는 광이 경사지게 반사되어 상기 복수개의 반사부가 서로 인접하는 영역인 인접 영역의 전방에서 상기 광이 서로 중첩되는 것을 특징으로 하는 발광 유닛.support;
a plurality of reflection units respectively installed on one surface of the support unit;
a plurality of light emitting units respectively installed on one surface of the support unit and positioned in an inner space of each of the plurality of reflection units;
a plurality of light emitting bodies installed on an outer circumferential surface of each of the plurality of light emitting units to generate light; and
and a plurality of reflective surfaces that reflect the light generated by the plurality of light emitting bodies so that light is irradiated in a forward direction of each of the plurality of reflective parts, and are provided on the inner surface of the inner space of each of the plurality of reflective parts; and
Each of the plurality of reflective parts is characterized in that light reflected from at least one reflective surface of the plurality of reflective surfaces is reflected obliquely, so that the light overlaps with each other in front of an adjacent region, which is an area where the plurality of reflective parts are adjacent to each other. light emitting unit.
상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되는 복수개의 반사부;
상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간에 위치하는 복수개의 발광부;
상기 복수개의 발광부 각각의 외주면에 설치되어 광을 생성하는 복수개의 발광체; 및
상기 복수개의 반사부 각각의 전방 방향으로 광이 조사되도록 상기 복수개의 발광체에서 생성된 광을 반사하며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간의 내측면에 구비되는 복수개의 반사면;을 포함하고,
상기 복수개의 발광부 각각은 그 중심축이 상기 복수개의 반사부 각각의 중심점과 동일하도록 상기 복수개의 반사부 각각의 중앙에 배치되고,
상기 복수개의 반사부 각각은 상기 복수개의 반사면 중 적어도 어느 하나의 반사면에서 반사되는 광이 경사지게 반사되어 상기 복수개의 발광부 각각의 전방에서 상기 광이 서로 중첩되는 것을 특징으로 하는 발광 유닛.support;
a plurality of reflection units respectively installed on one surface of the support unit;
a plurality of light emitting units respectively installed on one surface of the support unit and positioned in an inner space of each of the plurality of reflection units;
a plurality of light emitting bodies installed on an outer circumferential surface of each of the plurality of light emitting units to generate light; and
and a plurality of reflective surfaces that reflect the light generated by the plurality of light emitting bodies so that light is irradiated in a forward direction of each of the plurality of reflective parts, and are provided on the inner surface of the inner space of each of the plurality of reflective parts; and
Each of the plurality of light emitting units is disposed at the center of each of the plurality of reflection units such that a central axis thereof is the same as the center point of each of the plurality of reflection units,
Each of the plurality of reflective units is a light emitting unit, characterized in that the light reflected from at least one of the plurality of reflective surfaces is reflected obliquely so that the light overlaps each other in front of each of the plurality of light emitting units.
상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되는 복수개의 반사부;
상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간에 위치하는 복수개의 발광부;
상기 복수개의 발광부 각각의 외주면에 설치되어 광을 생성하는 복수개의 발광체; 및
상기 복수개의 반사부 각각의 전방 방향으로 광이 조사되도록 상기 복수개의 발광체에서 생성된 광을 반사하며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간의 내측면에 구비되는 복수개의 반사면;을 포함하고,
상기 복수개의 발광부 각각은 그 중심축이 상기 복수개의 반사부 각각의 중심점과 동일하도록 상기 복수개의 반사부 각각의 중앙에 배치되고,
상기 복수개의 반사부 각각의 복수개의 반사면에서 반사된 반사광은 상기 복수개의 반사부 각각의 발광부의 중심축을 기준으로 서로 대칭되지 않게 형성되고,
상기 복수개의 반사부 각각의 상기 복수개의 반사면 중 적어도 어느 하나의 반사면에서 반사되는 광은 그 주광축이 경사지게 형성되는 반사광으로 이루어진 것을 특징으로 하는 발광 유닛.support;
a plurality of reflection units respectively installed on one surface of the support unit;
a plurality of light emitting units respectively installed on one surface of the support unit and positioned in an inner space of each of the plurality of reflection units;
a plurality of light emitting bodies installed on an outer circumferential surface of each of the plurality of light emitting units to generate light; and
and a plurality of reflective surfaces that reflect the light generated by the plurality of light emitting bodies so that light is irradiated in a forward direction of each of the plurality of reflective parts, and are provided on the inner surface of the inner space of each of the plurality of reflective parts; and
Each of the plurality of light emitting units is disposed at the center of each of the plurality of reflection units such that a central axis thereof is the same as the center point of each of the plurality of reflection units,
The reflected light reflected from the plurality of reflective surfaces of each of the plurality of reflective parts is formed not to be symmetrical with each other with respect to the central axis of the light emitting part of each of the plurality of reflective parts,
The light emitting unit, characterized in that the light reflected from at least one of the plurality of reflective surfaces of each of the plurality of reflective parts consists of reflected light whose principal optical axis is inclined.
상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되는 복수개의 반사부;
상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간에 위치하는 복수개의 발광부;
상기 복수개의 발광부 각각의 외주면에 설치되어 광을 생성하는 복수개의 발광체; 및
상기 복수개의 반사부 각각의 전방 방향으로 광이 조사되도록 상기 복수개의 발광체에서 생성된 광을 반사하며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간의 내측면에 구비되는 복수개의 반사면;을 포함하고,
상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간은 그 일측이 개구되도록 상기 복수개의 반사부 각각은 상기 발광부의 중심축을 기준으로 전체 둘레에 형성되지 않으며,
상기 복수개의 반사부 각각의 상기 복수개의 반사면 중 적어도 어느 하나의 반사면에서 반사되는 광은 그 주광축이 경사지게 형성되는 반사광으로 이루어진 것을 특징으로 하는 발광 유닛.support;
a plurality of reflection units respectively installed on one surface of the support unit;
a plurality of light emitting units respectively installed on one surface of the support unit and positioned in an inner space of each of the plurality of reflection units;
a plurality of light emitting bodies installed on an outer circumferential surface of each of the plurality of light emitting units to generate light; and
and a plurality of reflective surfaces that reflect the light generated by the plurality of light emitting bodies so that light is irradiated in a forward direction of each of the plurality of reflective parts, and are provided on the inner surface of the inner space of each of the plurality of reflective parts; and
The inner space of each of the plurality of reflection units is not formed around the entire perimeter with respect to the central axis of the light emitting unit so that one side thereof is opened,
The light emitting unit, characterized in that the light reflected from at least one of the plurality of reflective surfaces of each of the plurality of reflective parts consists of reflected light whose principal optical axis is inclined.
상기 복수개의 반사부 각각은 상기 발광부의 중심축을 기준으로 상기 발광부의 상부에서 180도 둘레에 형성되고, 상기 내부공간은 그 하측이 개구되는 것을 특징으로 하는 발광 유닛.9. The method of claim 8,
Each of the plurality of reflection units is formed at a circumference of 180 degrees from the upper portion of the light emitting unit with respect to the central axis of the light emitting unit, and the lower side of the inner space is opened.
상기 광 중 불필요한 광을 제거하는 어퍼쳐;
상기 광을 균질하게 만드는 광 균질부;
상기 광 균질부를 통과한 광을 평행광으로 만들어 주는 적어도 하나의 거울;
상기 평행광을 통과시키는 마스크를 지지하는 마스크 스테이지; 및
상기 마스크를 통과한 광이 조사되는 조사대상을 지지하는 조사대상 스테이지를 포함하고,
상기 발광 유닛은, 지지부와, 상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되는 복수개의 반사부와, 상기 지지부의 일면에 각각 개별적으로 설치되며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간에 위치하는 복수개의 발광부와, 상기 복수개의 발광부 각각의 외주면에 설치되어 광을 생성하는 복수개의 발광체 및 상기 복수개의 반사부 각각의 전방 방향으로 광이 조사되도록 상기 복수개의 발광체에서 생성된 광을 반사하며, 상기 복수개의 반사부 각각의 내부공간의 내측면에 구비되는 복수개의 반사면;을 포함하고,
상기 복수개의 반사부 각각의 상기 복수개의 반사면에서 반사되는 광은 그 주광축이 수평인 제1 반사광과, 그 주광축이 경사진 제2 반사광으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 노광기 시스템.a light emitting unit that generates light;
an aperture for removing unnecessary light from among the light;
a light homogenizer for making the light homogeneous;
at least one mirror that converts the light passing through the light homogenizer into parallel light;
a mask stage supporting a mask through which the parallel light passes; and
and an irradiation target stage supporting an irradiation subject to which the light passing through the mask is irradiated,
The light emitting unit includes a support, a plurality of reflective parts that are individually installed on one surface of the support, and a plurality of light emitting units that are individually installed on one surface of the support and located in the inner space of each of the plurality of reflective parts and a plurality of light emitting units installed on the outer circumferential surface of each of the plurality of light emitting units to generate light, and the plurality of light emitting units to reflect light generated from the plurality of light emitting units so that light is irradiated in a forward direction of each of the plurality of reflective units; Including;
The light reflected from the plurality of reflective surfaces of each of the plurality of reflective parts comprises a first reflected light whose main optical axis is horizontal and a second reflected light whose main optical axis is inclined.
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KR1020200038134A KR20210121460A (en) | 2020-03-30 | 2020-03-30 | Light emitting unit and exposure system having the same |
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JP2004335952A (en) | 2002-12-27 | 2004-11-25 | Nikon Corp | Illumination light source, lighting system, exposure device, and exposure method |
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