KR20210115589A - Raw material supply apparatus for single crystal growth - Google Patents

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KR20210115589A
KR20210115589A KR1020200031565A KR20200031565A KR20210115589A KR 20210115589 A KR20210115589 A KR 20210115589A KR 1020200031565 A KR1020200031565 A KR 1020200031565A KR 20200031565 A KR20200031565 A KR 20200031565A KR 20210115589 A KR20210115589 A KR 20210115589A
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crystal growth
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KR1020200031565A
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박병우
백성철
이상헌
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에스케이실트론 주식회사
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Abstract

According to an embodiment of the present invention, a device for supplying a raw material for single crystal growth includes: a feed unit in which a poly-raw material is stored, and which supplies the poly-raw material in a predetermined amount; a dust removal unit which includes a ramp having one end provided at a lower side of the input unit and provided with a dust suction port for filtering dusts of the poly raw material supplied from the feed unit; and a transport unit which is provided at a lower side of the other end of the ramp and automatically transports the poly raw material which has passed through the ramp to a filling hopper. Therefore, it is possible to effectively remove the dust during automatic input of the poly raw materials.

Description

단결정 성장용 원료공급장치 {Raw material supply apparatus for single crystal growth}Raw material supply apparatus for single crystal growth

본 발명은 폴리 원료의 자동 투입 중 분진을 효과적으로 제거할 수 있는 단결정 성장용 원료공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a raw material supply device for single crystal growth that can effectively remove dust during automatic input of poly raw material.

초크랄스키 법에 의하면, 도가니에 다결정 실리콘 폴리를 공급하고, 도가니를 가열하여 다결정 실리콘을 멜팅(Melting)한 후, 단결정 시드(seed)를 용융액에 담근 상태에서 서서히 끌어올리며 단결정 잉곳을 성장시킬 수 있다.According to the Czochralski method, a single crystal ingot can be grown by supplying polycrystalline silicon poly to a crucible, heating the crucible to melt polycrystalline silicon, and then gradually raising the single crystal seed while dipped in a molten solution. have.

최근 실리콘 단결정의 생산성 향상을 위하여 차지(charge)량 증대가 요구되고 있다. Recently, an increase in the amount of charge is required to improve the productivity of silicon single crystals.

현재 제한된 초기 차지(Initial charge)량으로 인해 초기 다결정 실리콘의 양을 일정하게 차지하고 다결정 실리콘을 녹인 후에, 충전용 호퍼를 다결정 실리콘을 리차지(recharge)하는 방법이 진행되어 왔다.Currently, a method of recharging polycrystalline silicon in a charging hopper after taking a constant amount of initial polycrystalline silicon and melting polycrystalline silicon due to a limited initial charge amount has been in progress.

다결정 실리콘은 일정한 크기 이하의 폴리 형태로 충전용 호퍼에 공급되는데, 폴리 원료를 충전용 호퍼에 공급하기 위하여 연속적인 컨베이어벨트에 의하여 이송 공급한다. Polycrystalline silicon is supplied to the filling hopper in the form of poly of a certain size or less. In order to supply the poly raw material to the filling hopper, it is transferred and supplied by a continuous conveyor belt.

이러한 폴리 원료가 이송 공급되는 중 분진을 발생시키고, 폴리 원료가 균등하게 이송되지 못하여 편심됨에 따라 외부로 낙하 및 이탈함으로서, 폴리 원료의 손실을 발생시킬 뿐 아니라 작업 환경을 심각하게 오염시킬 수 있다.This poly raw material generates dust while being transported and supplied, and as the poly raw material is not uniformly transported and thus eccentric, it falls and separates to the outside, thereby causing a loss of the poly raw material and seriously contaminating the working environment.

또한, 단결정 성장 공정 중 폴리 원료의 분진은 용융되지 못하거나, 산화됨으로서, 단결정 성장에 부정적인 영향을 미칠 수 있고, 생산성을 저하시킬 수 있다.In addition, the dust of the poly raw material during the single crystal growth process may not be melted or oxidized, thereby negatively affecting single crystal growth and reducing productivity.

따라서, 박스 또는 원통 형태의 체를 통하여 폴리 원료의 분진을 제거하고, 작업자가 수동으로 분진을 제거한 폴리 원료를 충전용 호퍼로 옮겨담고 있는 실정이다.Therefore, the dust of the poly raw material is removed through a box or a cylindrical sieve, and the operator manually removes the dust from the poly raw material and transfers it to the filling hopper.

그러나, 종래 기술에 따라 체를 이용하여 폴리 원료의 분진을 제거하면, 사용 횟수가 증가할수록 체의 홀들이 막혀서 분진의 제거 효율이 떨어질 뿐 아니라 분진 제거 용량의 한계가 있고, 폴리 원료가 체의 홀들과 충돌로 인하여 손상될 뿐 아니라 체의 마모 조각에 의해 추가 오염될 수 있는 문제점이 있다.However, when the dust of the poly raw material is removed using a sieve according to the prior art, as the number of times of use increases, the holes of the sieve are clogged, thereby reducing the dust removal efficiency and limiting the dust removal capacity. There is a problem in that it is not only damaged due to a collision with the sieve, but also can be further contaminated by abrasive pieces of the sieve.

또한, 작업자가 수동 작업으로 폴리 원료를 옮기기 때문에 작업 부하의 증대 및 사고 위험이 높아지는 문제점이 있다.In addition, since the worker moves the poly raw material by manual operation, there is a problem in that the work load increases and the risk of an accident increases.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 폴리 원료의 자동 투입 중 분진을 효과적으로 제거할 수 있는 단결정 성장용 원료 공급장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a raw material supply device for single crystal growth that can effectively remove dust during automatic input of poly raw material.

본 실시예의 단결정 성장용 원료공급장치는, 폴리 원료가 저장되고, 소정량의 폴리 원료를 공급하는 투입부; 상기 투입부 하측에 일단이 구비되고, 상기 투입부에서 공급된 폴리 원료의 분진을 걸러주는 분진 흡입구가 구비된 경사로를 포함하는 분진 제거부; 및 상기 경사로 다른 일단 하측에 구비되고, 상기 경사로를 통과한 폴리 원료를 충전용 호퍼로 자동 이송시키는 운반부;를 포함한다.The raw material supply apparatus for single crystal growth of this embodiment includes an input unit for storing a poly raw material and supplying a predetermined amount of a poly raw material; a dust removal unit having an end provided at the lower side of the input unit and including a ramp equipped with a dust suction port for filtering the dust of the poly raw material supplied from the input unit; and a transport unit provided at the lower side of the other end of the ramp and automatically transporting the poly raw material that has passed through the ramp to the filling hopper.

상기 투입부는, 폴리 원료가 저장되는 저장용 호퍼와, 상기 호퍼의 하부를 자동 개폐시키는 도어를 포함할 수 있다.The input unit may include a storage hopper in which the poly raw material is stored, and a door for automatically opening and closing the lower portion of the hopper.

상기 저장용 호퍼와 도어는, 폴리에틸렌 재질로 구성될 수 있다.The storage hopper and the door may be made of a polyethylene material.

상기 경사로는, 상기 투입부 하측과 상기 운반부 상측 사이에 걸쳐 위치되고, 상기 투입부 하측에서 상기 운반부 상측으로 갈수록 하향 경사지게 설치될 수 있다.The ramp may be positioned between the lower side of the input unit and the upper side of the conveying unit, and may be installed to be inclined downward from the lower side of the input unit to the upper side of the conveying unit.

상기 경사로는, 상기 투입부 하측에서 상기 운반부 하측으로 갈수록 35°~ 45°로 하향 경사지게 설치될 수 있다.The ramp may be installed to be inclined downwardly at 35° to 45° from the lower side of the input unit toward the lower side of the transport unit.

상기 경사로는, 폴리 원료 높이 보다 높게 양측 단부에 상향 돌출된 한 쌍의 가이드 벽을 더 포함할 수 있다. The ramp may further include a pair of guide walls protruding upward at both ends higher than the height of the poly raw material.

상기 경사로는, 소정의 분진 높이 보다 높고 폴리 원료 높이 보다 낮게 상기 가이드 벽들을 가로지르도록 상향 돌출된 선별턱을 더 포함하고, 상기 분진 흡입구는, 상기 선별턱에 걸러진 분진이 흡입되도록 상기 선별턱과 인접하게 위치될 수 있다.The ramp further includes a sorting jaw that protrudes upward to cross the guide walls higher than a predetermined dust height and lower than the poly raw material height, and the dust suction port includes: may be located adjacently.

상기 분진 흡입구는, 상기 경사로의 양측 단부를 가로지르도록 상기 선별턱과 같은 형상의 슬릿홀 형태로 구비될 수 있다.The dust inlet may be provided in the form of a slit hole having the same shape as the sorting jaw to cross both ends of the ramp.

상기 선별턱은, 상기 경사로의 중심부에서 양측 단부로 갈수록 하향하는 삿갓 형태로 구비될 수 있다.The selection jaw may be provided in the form of a hat that descends from the center of the ramp toward both ends.

상기 선별턱과 분진 흡입구는, 상기 경사로의 경사 방향을 따라 소정 간격을 두고 적어도 두 개 이상 구비될 수 있다.The selection jaw and the dust inlet, at least two or more may be provided at a predetermined interval along the inclination direction of the ramp.

상기 경사로는, 폴리에틸렌 재질로 구성될 수 있다.The ramp may be made of a polyethylene material.

본 실시예는, 상기 경사로 하측에 구비되고, 상기 분진 흡입구로 걸러진 분진을 회수하는 제1 분진 배기부;를 더 포함할 수 있다.The present embodiment may further include a; a first dust exhaust unit provided on the lower side of the ramp and recovering the dust filtered through the dust inlet.

상기 제1 분진 배기부는, 상기 경사로 하부에 구비되는 제1 배기 커버와, 상기 제1 배기 커버 하측에 연통되는 제1 배기 유로와, 상기 제1 배기 유로 상에 설치되는 제1 배기 필터와, 상기 제1 배기 유로 상에 설치되는 제1 배기 펌프를 포함할 수 있다.The first dust exhaust unit may include a first exhaust cover provided under the slope, a first exhaust passage communicating with a lower side of the first exhaust cover, and a first exhaust filter installed on the first exhaust passage; It may include a first exhaust pump installed on the first exhaust passage.

상기 운반부는, 상기 경사로에 의해 안내된 폴리 원료가 담기는 운반 박스와, 상기 운반 박스가 안착되고, 상기 운반 박스를 정/역 방향으로 이송시키는 컨베이어 벨트를 포함할 수 있다.The transport unit may include a transport box containing the poly raw material guided by the ramp, and a conveyor belt on which the transport box is seated, and transporting the transport box in forward/reverse directions.

상기 운반 박스는, 폴리에틸렌 재질로 구성될 수 있다.The transport box may be made of a polyethylene material.

상기 컨베이어 벨트는, 상기 경사로의 다른 일단 하측에서 상기 운반 박스를 상향 경사진 방향으로 안내하는 상승 경로과, 상기 충전용 호퍼로 상기 운반 박스를 하향 경사진 방향으로 안내하는 하강 경로를 포함할 수 있다.The conveyor belt may include an ascending path for guiding the conveying box in an upwardly inclined direction at the other end of the lower side of the ramp, and a descending path for guiding the conveying box in a downwardly inclined direction to the filling hopper.

본 실시예는, 상기 컨베이어 벨트 하측에 구비되고, 상기 운반 박스와 컨베이어 벨트 주변의 분진을 회수하는 제2 분진 배기부;를 더 포함할 수 있다.The present embodiment may further include a second dust exhaust unit provided under the conveyor belt and configured to recover dust around the transport box and the conveyor belt.

상기 제2 분진 배기부는, 상기 컨베이어 벨트 하측에 상기 컨베이어 벨트 보다 크게 구비되는 제2 분진 커버와, 상기 제2 분진 커버 하측에 연통되는 제2 배기 유로와, 상기 제2 배기 유로 상에 설치되는 제2 배기 필터와, 상기 제2 배기 유로 상에 설치되는 제2 배기 펌프를 포함할 수 있다.The second dust exhaust unit may include a second dust cover provided on the lower side of the conveyor belt and larger than the conveyor belt, a second exhaust passage communicating with the lower side of the second dust cover, and a second exhaust passage provided on the second exhaust passage. It may include two exhaust filters and a second exhaust pump installed on the second exhaust passage.

본 실시예는, 상기 투입부와 분진 제거부와 운반부가 내장되는 챔버; 및 상기 챔버 상부에 구비되고, 상기 챔버 내부의 기류를 다운 플로우시키는 송풍팬;을 더 포함할 수 있다.This embodiment, the chamber in which the input unit and the dust removal unit and the transport unit are built; and a blowing fan provided above the chamber and configured to down-flow the airflow inside the chamber.

본 실시예에 따르면, 폴리 원료가 분진 제거부의 경사로를 통과하면서 분진이 제거되고, 분진이 제거된 폴리 원료가 운송부에 의해 자동으로 충전용 호퍼로 공급됨으로서, 폴리 원료의 이송 중 분진을 효과적으로 제거할 수 있고, 폴리 원료의 이송에 의한 작업 부하를 저감시킬 뿐 아니라 작업자에 의한 오염도 방지할 수있다. According to this embodiment, dust is removed while the poly raw material passes through the slope of the dust removal unit, and the dust removed poly raw material is automatically supplied to the filling hopper by the transport unit, thereby effectively removing dust during the transport of the poly raw material. It can be removed, and it is possible not only to reduce the workload caused by the transfer of the poly raw material, but also to prevent contamination by the operator.

또한, 분진 제거부의 분진 흡입구에 잔류하는 분진들을 제1 분진 배기부에 의해 배출시키거나, 운송부 주변의 분진들을 제2 분진 배기부에 의해 배출시킴으로서, 반복적인 사용으로도 폴리 원료의 분진 제거 효율을 높일 수 있다. 나아가, 분진을 제거한 깨끗한 폴리 원료를 단결정 성장 공정에 제공할 수 있고, 분진에 의한 단결정 성장 수율 및 품질 저하를 방지할 수 있다. In addition, by discharging the dust remaining in the dust inlet of the dust removal unit by the first dust exhaust unit, or by discharging the dust around the transport unit by the second dust exhaust unit, the dust removal of the poly raw material even after repeated use efficiency can be increased. Furthermore, it is possible to provide a clean poly raw material from which dust is removed to the single crystal growth process, and it is possible to prevent the single crystal growth yield and quality deterioration due to the dust.

또한, 폴리 원료의 이송 중 분진을 제거하더라도 챔버 내에서 송풍팬에 의해 다운 플로우 기류를 형성함으로서, 분진의 비산 또는 확산으로 인한 주변 오염 등의 위험을 최소화시킬 수 있다.In addition, even if dust is removed during transport of the poly raw material, a downflow airflow is formed in the chamber by a blower fan, thereby minimizing the risk of surrounding contamination due to scattering or diffusion of dust.

도 1은 본 실시예의 단결정 성장용 원료공급장치가 도시된 측단면도.
도 2 내지 도 4는 본 실시예에 포함된 경사로의 다양한 실시예가 도시된 평면도.
도 5는 본 실시예에 포함된 운반부의 실시예가 도시된 평면도.
도 6은 본 실시예의 단결정 성장용 원료공급장치 작동 상태가 도시된 측단면도.
도 7은 본 실시예에 포함된 경사로의 작동 상태가 도시된 평면도.1 is a side cross-sectional view showing a raw material supply device for single crystal growth of this embodiment.
2 to 4 are plan views showing various embodiments of the ramp included in the present embodiment.
5 is a plan view showing an embodiment of the transport unit included in the present embodiment.
Figure 6 is a side cross-sectional view showing the operating state of the raw material supply device for single crystal growth of this embodiment.
7 is a plan view showing the operating state of the ramp included in the present embodiment.

이하에서는, 본 실시예에 대하여 첨부되는 도면을 참조하여 상세하게 살펴보도록 한다. Hereinafter, the present embodiment will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 실시예의 단결정 성장용 원료공급장치가 도시된 측단면도이고, 도 2 내지 도 4는 본 실시예에 포함된 경사로의 다양한 실시예가 도시된 평면도이며, 도 5는 본 실시예에 포함된 운반부의 실시예가 도시된 평면도이다.1 is a side cross-sectional view showing a raw material supply apparatus for single crystal growth of this embodiment, FIGS. 2 to 4 are plan views showing various embodiments of the ramp included in this embodiment, and FIG. 5 is a side view of the ramp included in this embodiment It is a plan view showing an embodiment of the transport unit.

본 실시예의 단결정 성장용 원료공급장치는 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 투입부(110)와, 분진 제거부(120)와, 제1 분진 배기부(130)와, 운반부(140)와, 제2 분진 배기부(150)와, 충전용 호퍼(160)와, 챔버(170)와, 송풍팬(180)을 포함한다. As shown in FIGS. 1 to 5 , the raw material supply apparatus for single crystal growth of this embodiment includes an input unit 110 , a dust removal unit 120 , a first dust exhaust unit 130 , and a transport unit 140 . and a second dust exhaust unit 150 , a hopper 160 for charging, a chamber 170 , and a blowing fan 180 .

투입부(110)는 폴리 원료가 저장될 뿐 아니라 소정량의 폴리 원료를 공급하도록 구성될 수 있다. 투입부(110)는 상/하면이 개방된 저장용 호퍼(111)와, 저장용 호퍼(111)의 하면을 자동 개폐시키는 도어(112)를 포함할 수 있다. The input unit 110 may be configured to not only store the poly raw material but also supply a predetermined amount of the poly raw material. The input unit 110 may include a storage hopper 111 having an open upper/lower surface, and a door 112 for automatically opening and closing a lower surface of the storage hopper 111 .

저장용 호퍼(111)는 다량의 폴리 원료가 저장될 수 있고, 도어(112)가 개폐될 때마다 소정량의 폴리 원료가 저장용 호퍼(111) 하측으로 배출될 수 있다. 물론, 도어(112)의 개폐 정도 또는 개폐 시간을 조정함으로서, 폴리 원료의 배출량을 조절할 수 있다.The storage hopper 111 may store a large amount of poly raw material, and whenever the door 112 is opened and closed, a predetermined amount of the poly raw material may be discharged to the lower side of the storage hopper 111 . Of course, by adjusting the opening/closing degree or opening/closing time of the door 112, the discharge amount of the poly raw material can be adjusted.

상기와 같이 구성된 투입부(110)는 직접 폴리 원료가 접촉되는 부분으로서, 폴리 원료의 오염을 방지하기 위하여 저장용 호퍼(111)와 도어(112)는 폴리에틸렌 재질로 구성될 수 있으나, 한정되지 아니한다.The input unit 110 configured as described above is a part that directly contacts the poly raw material, and in order to prevent contamination of the poly raw material, the storage hopper 111 and the door 112 may be made of a polyethylene material, but is not limited thereto. .

분진 제거부(120)는 투입부(110)에서 공급된 폴리 원료를 이동시키는 중에 폴리 원료의 분진을 걸러주도록 구성될 수 있다. 분진 제거부(120)는 분진 흡입구(121h)가 구비된 경사로(121)와, 경사로(121)의 양측에 구비된 한 쌍의 가이드 벽(122)과, 경사로(121)를 가로지르도록 구비된 적어도 두 개 이상의 걸림턱(123)을 포함할 수 있다.The dust removal unit 120 may be configured to filter the dust of the poly raw material while moving the poly raw material supplied from the input unit 110 . The dust removal unit 120 is provided to cross the slope 121 provided with the dust suction port 121h, a pair of guide walls 122 provided on both sides of the slope 121, and the slope 121 It may include at least two or more locking jaws 123 .

경사로(121)는 길이 방향으로 길게 형성된 사각 플레이트 형상으로서, 경사로(121)의 일단은 투입부(110) 하측에 구비되고, 경사로(121)의 다른 일단은 운반부(140) 상측에 위치될 수 있다. 경사로(121)는 투입부(110)에서 운반부(140)로 갈수록 하향 경사지게 위치되는데, 경사로(121)의 경사 각도는 수평면을 기준으로 35° ~ 45°범위 내에서 한정될 수 있으며, 폴리 원료가 중력에 의해 경사로(121)를 따라 굴러 떨어질 수 있도록 설치되는 것이 바람직하다. The ramp 121 has a rectangular plate shape elongated in the longitudinal direction, and one end of the ramp 121 is provided below the input unit 110 , and the other end of the ramp 121 may be located above the transport unit 140 . have. The ramp 121 is positioned to be inclined downward from the input unit 110 to the transport unit 140, and the inclination angle of the ramp 121 may be limited within the range of 35° to 45° with respect to the horizontal plane, and the poly raw material It is preferable to be installed so that it can roll down along the ramp 121 by gravity.

한 쌍의 가이드 벽(122)은 경사로(121)의 양측 단부 전체에 걸쳐 상향 돌출되는데, 폴리 원료가 경사로(121)의 양측으로 떨어지는 것을 방지하기 위하여 구비될 수 있다. 가이드 벽들(122)은 적어도 폴리 원료의 크기 보다 크게 돌출되는 것이 바람직하다. A pair of guide walls 122 protrude upward across both ends of the ramp 121 , and may be provided to prevent the poly raw material from falling to both sides of the ramp 121 . It is preferable that the guide walls 122 protrude at least larger than the size of the poly raw material.

선별턱들(123)은 가이드 벽들(122) 사이를 가로지르도록 경사로(121)에 상향 돌출되는데, 폴리 원료가 경사로(121)를 따라 굴러가더라도 폴리 원료의 분진이 선벽턱들(123)에 의해 걸러지도록 구비될 수 있다. 즉, 선별턱들(123)의 높이는 폴리 원료의 높이 보다 낮지만, 폴리 원료의 분진 높이 보다 높게 형성되는 것이 바람직하다. The sorting jaws 123 protrude upward to the ramp 121 to cross between the guide walls 122 , and even if the poly raw material rolls along the ramp 121 , the dust of the poly raw material falls on the line wall sills 123 . It may be provided to be filtered by. That is, the height of the selection jaws 123 is lower than the height of the poly raw material, but is preferably formed higher than the dust height of the poly raw material.

선별턱들(123)은 경사로(121)의 길이 방향으로 소정 간격을 두고 나란히 구비될 수 있다. 물론, 선별턱들(123)의 높이를 같게 형성하거나, 폴리 원료의 분진 크기를 순차적으로 걸러주기 위하여 선별턱들(123)의 높이를 다르게 형성하더라도 무방하다. 또한, 선별턱들(123)의 형상은 다양하게 구성될 수 있으며, 하기에서 자세히 설명하기로 한다.The selection jaws 123 may be provided side by side at a predetermined interval in the longitudinal direction of the ramp 121 . Of course, the height of the selection jaws 123 may be the same, or the height of the selection jaws 123 may be formed differently in order to sequentially filter the size of the dust of the poly raw material. In addition, the shape of the selection jaws 123 may be variously configured, which will be described in detail below.

상기와 같은 분진 제거부(120)도 직접 폴리 원료가 접촉되는 부분으로서, 폴리 원료의 오염을 방지하기 위하여 경사로(121)와 가이드 벽들(122) 및 선별턱들(123)은 폴리에틸렌 재질로 구성될 수 있으나, 한정되지 아니한다.The dust removal unit 120 as described above is also a part in which the poly raw material is in direct contact, and in order to prevent contamination of the poly raw material, the ramp 121, the guide walls 122 and the sorting jaws 123 are made of polyethylene. may, but is not limited to.

도 2에 도시된 제1실시예의 분진 제거부(120)에 따르면, 선별턱(123)은 경사로(121)의 중심부에서 양측으로 갈수록 하향하는 삿갓 모양으로 형성될 수 있고, 분진 흡입구(121h)는 선별턱(123)과 같은 삿갓 모양의 슬릿홀 형태로서, 선별턱(123)의 선단 측에 구비될 수 있다. 따라서, 폴리 원료가 선별턱(123)을 통과할 때,폴리 원료의 분진은 선별턱(123)의 중심부에서 양측으로 안내되고, 선별턱(123)에 걸려진 폴리 원료의 분진이 분진 흡입구(121h)를 통해 경사로(121) 하측으로 배출될 수 있다. According to the dust removal unit 120 of the first embodiment shown in FIG. 2 , the sorting jaw 123 may be formed in the shape of a hat that goes downward from the center of the ramp 121 to both sides, and the dust suction port 121h is As a slit-hole shape in the shape of a hat like the selection jaw 123 , it may be provided on the front end of the selection jaw 123 . Therefore, when the poly raw material passes through the sorting jaw 123 , the dust of the poly raw material is guided to both sides from the center of the sorting jaw 123 , and the poly raw material dust caught on the sorting jaw 123 is removed from the dust suction port 121h. ) through the ramp 121 may be discharged to the lower side.

도 3에 도시된 제2실시예의 분진 제거부(220)에 따르면, 선별턱(223)은 경사로(221)를 가로지르는 직선 형상으로 형성될 수 있고, 분진 흡입구(221h)는 선별턱(223)과 같은 일자 모양의 슬릿홀 형태로서, 선별턱(223)의 선단 측에 구비될 수 있다. 따라서, 폴리 원료가 선별턱(223)을 통과할 때, 폴리 원료의 분진은 선별턱(223)에 걸려서 분진 흡입구(221h)를 통해 경사로(221) 하측으로 배출될 수 있다. According to the dust removal unit 220 of the second embodiment shown in FIG. 3 , the sorting jaw 223 may be formed in a straight shape that crosses the ramp 221 , and the dust suction port 221h is the sorting jaw 223 . In the form of a straight slit hole, such as, it may be provided on the tip side of the selection jaw 223 . Therefore, when the poly raw material passes through the sorting jaw 223 , the poly raw material dust may be caught by the sorting jaw 223 and discharged to the lower side of the ramp 221 through the dust suction port 221h.

도 4에 도시된 제3실시예의 분진 제거부(320)에 따르면, 선별턱(323)은 경사로(321)의 중심부에서 양측으로 갈수록 완만하게 하향하는 원호 형상으로 형성될 수 있고, 분진 흡입구(321h)는 선별턱(323)과 같은 원호 모양의 슬릿홀로서, 선별턱(323)의 선단 측에 구비될 수 있다. 따라서, 폴리 원료가 선별턱(323)을 통과할 때,폴리 원료의 분진은 선별턱(323)의 중심부에서 양측으로 안내되고, 선별턱(323)에 걸려진 폴리 원료의 분진이 분진 흡입구(321h)를 통해 경사로(321) 하측으로 배출될 수 있다. According to the dust removal unit 320 of the third embodiment shown in FIG. 4 , the sorting jaw 323 may be formed in an arc shape gradually downward from the center of the ramp 321 to both sides, and the dust suction port 321h ) is an arc-shaped slit hole like the selection jaw 323 , and may be provided on the front end of the selection jaw 323 . Therefore, when the poly raw material passes through the sorting jaw 323, the dust of the poly raw material is guided to both sides from the center of the sorting jaw 323, and the poly raw material dust caught on the sorting jaw 323 is removed from the dust suction port 321h. ) through the ramp 321 may be discharged to the lower side.

제1 분진 배기부(130)는 분진 제거부(120)에서 걸러진 폴리 원료의 분진을 별도의 공간으로 회수하도록 구성될 수 있다. 제1 분진 배기부(130)는 경사로(121) 하측에 구비된 제1 배기 커버(131)와, 제1 배기 커버(131)와 연통된 제1 배기 유로(132)와, 제1 배기 유로(132) 상에 구비된 제1 배기 필터(133) 및 제1 배기 펌프(134)를 포함할 수 있다.The first dust exhaust unit 130 may be configured to recover the dust of the poly raw material filtered by the dust removal unit 120 to a separate space. The first dust exhaust unit 130 includes a first exhaust cover 131 provided below the ramp 121, a first exhaust passage 132 communicating with the first exhaust cover 131, and a first exhaust passage ( It may include a first exhaust filter 133 and a first exhaust pump 134 provided on the 132 .

제1 배기 커버(131)는 경사로(121)의 하면을 감싸는 형태로서, 경사로(121)의 분진 흡입구들(121h)을 커버하도록 구성될 수 있다. 제1 배기 커버(131)는 경사로(121)의 하측에 밀봉된 형태로 구성됨으로서, 제1 배기 커버(131)로 유입된 폴리 원료의 분진이 비산하는 것을 방지할 수 있다. 제1 배기 커버(131)의 하면은 경사로(121)와 같이 일단에서 다른 일단으로 갈수록 하향 경사지게 구성됨으로서, 폴리 원료의 분진이 효과적으로 제1 배기 커버(131)의 최하측에 모아질 수 있다. The first exhaust cover 131 may be configured to cover the lower surface of the ramp 121 and cover the dust inlets 121h of the ramp 121 . Since the first exhaust cover 131 is formed in a sealed shape at the lower side of the ramp 121 , it is possible to prevent the dust of the poly raw material flowing into the first exhaust cover 131 from scattering. Since the lower surface of the first exhaust cover 131 is inclined downward from one end to the other end like the ramp 121 , the dust of the poly raw material can be effectively collected at the lowermost side of the first exhaust cover 131 .

제1 배기 유로(132)는 제1 배기 커버(131)의 최하측에 연통되는 유로로서, 제1 배기 커버(131)에 모아진 폴리 원료의 분진이 배출될 수 있다. 제1 배기 유로(132)는 제1 배기 커버(131)의 하측에 수직하게 연결된 수직 유로와, 수직 유로의 하단에 수평하게 연결된 수평 유로를 포함할 수 있으나, 한정되지 아니한다.The first exhaust passage 132 is a passage communicating with the lowermost side of the first exhaust cover 131 , and the dust of the poly raw material collected in the first exhaust cover 131 may be discharged. The first exhaust passage 132 may include a vertical passage vertically connected to a lower side of the first exhaust cover 131 and a horizontal passage horizontally connected to a lower end of the vertical passage, but is not limited thereto.

제1 배기 필터(133)는 폴리 원료의 분진을 걸러줄 수 있는 각종 필터로서, 제1 배기 유로(131)의 수평 유로 상에 구비될 수 있다. The first exhaust filter 133 is various filters capable of filtering the dust of the poly raw material, and may be provided on the horizontal flow path of the first exhaust flow path 131 .

제1 배기 펌프(134)는 제1 배기 유로(132)를 따라 배출되는 기류를 형성하는 펌프로서, 제1 배기 필터(133)의 후단 측의 제1 배기 유로(132)의 수평 유로 상에 구비될 수 있다. The first exhaust pump 134 is a pump that forms an air flow discharged along the first exhaust flow path 132 , and is provided on the horizontal flow path of the first exhaust flow path 132 at the rear end of the first exhaust filter 133 . can be

운반부(140)는 경사로(120)를 통과한 폴리 원료를 충전용 호퍼(160)로 자동 이송시키도록 구성될 수 있다. 운반부(140)는 폴리 원료가 담기는 운반 박스(141)와, 운반 박스(141)가 장착된 컨베이어 벨트(142)를 포함할 수 있다.The conveying unit 140 may be configured to automatically transfer the poly raw material that has passed through the ramp 120 to the filling hopper 160 . The transport unit 140 may include a transport box 141 containing the poly raw material, and a conveyor belt 142 on which the transport box 141 is mounted.

운반 박스(141)는 상면과 후면이 개방된 박스 형태로서, 하면(141a)과 전면(141b)과 양측면(141c)으로만 이루어질 수 있다. 운반 박스의 하면은 컨베이어 벨트(142)의 상면에 부착되는데, 컨베이어 벨트(142)의 작동에 따라 운반 박스의 전면은 경사로의 다른 일단 하측에 위치되거나, 운반 박스의 개방된 후면은 충전용 호퍼 상측에 위치될 수 있다. The transport box 141 is in the form of an open box with an upper surface and a rear surface, and may be formed of only a lower surface 141a, a front surface 141b, and both side surfaces 141c. The lower surface of the conveying box is attached to the upper surface of the conveyor belt 142. According to the operation of the conveyor belt 142, the front of the conveying box is located below the other end of the ramp, or the open rear of the conveying box is above the filling hopper. can be located in

운반 박스(141)도 마찬가지로 폴리 원료와 직접 접촉하므로, 폴리 원료의 오염을 방지하기 위하여 폴리에틸렌 재질로 구성될 수 있으나, 한정되지 아니한다. Since the transport box 141 also comes in direct contact with the poly raw material, it may be made of a polyethylene material in order to prevent contamination of the poly raw material, but is not limited thereto.

컨베이어 벨트(142)는 운반 박스(141)를 경사로(121)와 충전용 호퍼(160) 사이에 이송하도록 구비되는데, 정/역방향으로 구동됨에 따라 운반 박스(141)를 전후 방향 즉, 경사로(121)와 충전용 호퍼(160) 사이의 양방향으로 이동시킬 수 있다. The conveyor belt 142 is provided to transport the transport box 141 between the ramp 121 and the charging hopper 160, and as it is driven in the forward/reverse direction, the transport box 141 moves in the front-back direction, that is, the ramp 121. ) and the charging hopper 160 can be moved in both directions.

컨베이어 벨트(142)는 운반 박스(141)를 상향 경사진 방향으로 안내하는 상승 경로(a)과, 운반 박스(141)를 수평한 방향으로 안내하는 수평 경로(b)과, 운반 박스(141)를 하향 경사진 방향으로 안내하는 하강 경로(c)로 구성될 수 있다. Conveyor belt 142 includes an ascending path (a) for guiding the conveying box 141 in an upwardly inclined direction, a horizontal path (b) for guiding the conveying box 141 in a horizontal direction, and a conveying box 141 . It may be composed of a descending path (c) guiding in a downward inclined direction.

운반 박스(141)가 컨베이어 벨트(142)의 상승 경로(a)에 위치하면, 경사로(121)에서 떨어지는 폴리 원료가 운반 박스(141)에 효과적으로 담길 수 있고, 운반 박스(141)의 후면으로 떨어지는 것을 방지할 수 있다. 운반 박스(141)가 컨베이어 벨트(142)의 하강 경로(c)에 위치하면, 운반 박스(141)에 담긴 폴리 원료가 운반 박스(141)의 후면을 통하여 원활하게 충전용 호퍼(160)로 공급될 수 있다. When the transport box 141 is located in the ascending path (a) of the conveyor belt 142, the poly raw material falling from the ramp 121 can be effectively contained in the transport box 141, and falling to the rear of the transport box 141 it can be prevented When the transport box 141 is located in the descending path c of the conveyor belt 142 , the poly raw material contained in the transport box 141 is smoothly supplied to the hopper 160 for charging through the rear surface of the transport box 141 . can be

제2 분진 배기부(150)는 운반부(140) 주변의 폴리 원료의 분진을 별도의 공간으로 회수하도록 구성될 수 있다. 제2 분진 배기부(150)는 컨베이어 벨트(142) 하측에 구비된 제2 배기 커버(151)와, 제2 배기 커버(151)와 연통된 제2 배기 유로(152)와, 제2 배기 유로(152) 상에 구비된 제2 배기 필터(153) 및 제2 배기 펌프(154)를 포함할 수 있다.The second dust exhaust unit 150 may be configured to recover the dust of the poly raw material around the transport unit 140 to a separate space. The second dust exhaust unit 150 includes a second exhaust cover 151 provided under the conveyor belt 142 , a second exhaust passage 152 communicating with the second exhaust cover 151 , and a second exhaust passage It may include a second exhaust filter 153 and a second exhaust pump 154 provided on the 152 .

제2 배기 커버(151)는 컨베이어 벨트(142)의 하부를 수용하는 형태로서, 컨베이어 벨트(142) 전체를 커버하도록 구성될 수 있다. 제2 배기 커버(151)는 컨베이어 벨트(142)의 외측에 이격된 형태로 구성됨으로서, 컨베이어 벨트(142) 주변에 비산하는 폴리 원료의 분진이 제2 배기 커버(151)로 유입될 수 있다. 제2 배기 커버(151)의 하면을 중심으로 갈수록 하향 경사지게 구성됨으로서, 폴리 원료의 분진이 효과적으로 제2 배기 커버(151)의 최하측에 모아질 수 있다. The second exhaust cover 151 is configured to accommodate the lower portion of the conveyor belt 142 , and may be configured to cover the entire conveyor belt 142 . Since the second exhaust cover 151 is configured to be spaced apart from the outside of the conveyor belt 142 , dust of the poly raw material scattered around the conveyor belt 142 may be introduced into the second exhaust cover 151 . Since the lower surface of the second exhaust cover 151 is inclined downward toward the center, the dust of the poly raw material can be effectively collected at the lowermost side of the second exhaust cover 151 .

제2 배기 유로(152)와 제2 배기 필터(153) 및 제2 배기 펌프(154)는 제1 배기 유로(132)와 제1 배기 필터(133) 및 제1 배기 펌프(134)와 동일하게 구성됨으로서, 자세한 설명은 생략하기로 한다. The second exhaust passage 152 , the second exhaust filter 153 , and the second exhaust pump 154 are identical to the first exhaust passage 132 , the first exhaust filter 133 , and the first exhaust pump 134 . As configured, a detailed description will be omitted.

충전용 호퍼(160)는 운반부(140)에 의해 공급되는 폴리 원료를 저장하고, 저장된 폴리 원료를 단결정 잉곳 성장장치에 공급하도록 구성될 수 있다. The filling hopper 160 may be configured to store the poly raw material supplied by the transport unit 140 and supply the stored poly raw material to the single crystal ingot growing apparatus.

충전용 호퍼(160)는 상면이 개방된 원통 형상의 용기로서, 컨베이어 벨트(142)의 하강 경로 끝단 하측에 위치되고, 운반 박스(141)의 후면으로부터 떨어지는 폴리 원료가 저장될 수 있다. 물론, 충전용 호퍼(160)는 내측에 저장된 폴리 원료를 공급하기 위한 도어 등이 구비될 수 있다. The filling hopper 160 is a cylindrical container with an open upper surface, is located below the lower end of the descending path of the conveyor belt 142, and the poly raw material falling from the rear surface of the transport box 141 can be stored. Of course, the filling hopper 160 may be provided with a door for supplying the poly raw material stored therein.

챔버(170)는 상기의 구성 요소들이 내장되는 밀폐 공간을 제공하고, 송풍팬(180)은 챔버(170)의 상측에 구비될 수 있다.The chamber 170 provides a closed space in which the above components are embedded, and the blower fan 180 may be provided above the chamber 170 .

상기의 구성 요소들에 의해 폴리 원료를 이송하는 동안, 폴리 원료의 분진을 제거하더라도 챔버(170)에 의해 폴리 원료의 분진에 의한 주변 오염을 방지할 수 있다.While the poly raw material is transported by the above components, even if the poly raw material dust is removed, contamination of the surrounding area by the poly raw material dust can be prevented by the chamber 170 .

또한, 송풍팬(180)이 작동되는 동안, 챔버(170) 내부에 기류를 다운 플로우시킬 수 있고, 챔버(170) 내부에 폴리 원료의 분진이 부유 또는 확산되는 것을 방지할 수 있으며, 분진이 깨끗하게 제거된 폴리 원료만 충전용 호퍼(160)로 공급할 수 있다. In addition, while the blower fan 180 is operating, it is possible to downflow the airflow inside the chamber 170 , it is possible to prevent the dust of the poly raw material from floating or diffused inside the chamber 170 , and the dust can be cleaned Only the removed poly raw material may be supplied to the filling hopper 160 .

도 6은 본 실시예의 단결정 성장용 원료공급장치 작동 상태가 도시된 측단면도이고, 도 7은 본 실시예에 포함된 경사로의 작동 상태가 도시된 평면도이다.6 is a cross-sectional side view showing the operating state of the raw material supply apparatus for single crystal growth of this embodiment, and FIG. 7 is a plan view showing the operating state of the ramp included in the present embodiment.

본 실시예에 따르면, 투입부(110)에 저장된 폴리 원료(P)가 공급되면, 폴리 원료(P)가 경사로(121)의 길이 방향를 따라 이동되면서 선별턱들(123)에 순차적으로 부딪히고, 폴리 원료(P)로부터 분진들(D)이 떨어진다. 물론, 폴리 원료(P)가 선별턱(123)에 부딪힐수록 폴리 원료(P)로부터 떨어지는 분진들(D)의 량은 줄어든다. According to this embodiment, when the poly raw material P stored in the input unit 110 is supplied, the poly raw material P is moved along the longitudinal direction of the ramp 121 and collides with the sorting jaws 123 sequentially, Dusts (D) fall from the poly raw material (P). Of course, as the poly raw material P collides with the sorting jaw 123 , the amount of dust D falling from the poly raw material P decreases.

분진들(D)은 선별턱들(123) 보다 작기 때문에 선별턱들(123)을 넘어가지 못하고, 경사로(121)의 분진 흡입구들(121h)을 통하여 하측으로 떨어진 다음, 제1 배기 커버(131)의 최하측에 모아진다. Since the dust D is smaller than the selection jaws 123, it cannot pass the selection jaws 123, and falls downward through the dust inlets 121h of the ramp 121, and then the first exhaust cover 131 ) are gathered at the bottom of the

폴리 원료(P)가 경사로(121)를 따라 이동하는 동안 제1 배기 펌프(134)가 작동되면, 경사로(121)의 분진 흡입구들(121h)에 쌓인 분진들(D)을 비롯하여 제1 배기 커버(131)에 모아진 분진들(D)은 제1 배기 유로(132)로 배기되면서 제1 배기 필터(133)에 포집된다. When the first exhaust pump 134 is operated while the poly raw material P moves along the ramp 121, the first exhaust cover including the dust D accumulated in the dust inlets 121h of the ramp 121 The dusts D collected in the 131 are collected in the first exhaust filter 133 while being exhausted to the first exhaust passage 132 .

분진들(D)이 제거된 폴리 원료(P)는 선별턱들(123) 보다 크기 때문에 선벽턱들(123)을 넘어간 다음, 경사로(121)의 경사 각도에 의해 굴러 떨어지고, 컨베이어 벨트(142)의 상승 경로(a)에 위치한 운반 박스(141)에 공급된다. Since the poly raw material P from which the dusts (D) are removed is larger than the selection jaws 123, it passes over the sidewalls 123, and then rolls down by the inclination angle of the ramp 121, and the conveyor belt 142. It is supplied to the transport box 141 located in the ascending path (a) of the.

컨베이어 벨트(142)가 구동되면, 운반 박스(141)가 컨베이어 벨트(142)의 상승 경로(a)와 수평 경로(b)를 지나 하강 경로(c)에 도달하고, 운박 박스(141)에 저장된 폴리 원료(P)가 운반 박스(141)의 개방된 후면을 통하여 충전용 호퍼(160)로 공급된다. When the conveyor belt 142 is driven, the transport box 141 passes the ascending path (a) and the horizontal path (b) of the conveyor belt 142 to reach the descending path (c), and is stored in the shipping box 141 Poly raw material (P) is supplied to the hopper 160 for filling through the open rear surface of the transport box (141).

컨베이어 벨트(142)가 작동되는 동안 제2 배기 펌프(154)가 작동되면, 제2 배기 커버(151) 주변의 분진들(D)은 제2 배기 커버(151)의 최하측에 모아질 뿐 아니라 제2 배기 유로(152)로 배기되면서 제2 배기 필터(153)에 포집된다. When the second exhaust pump 154 is operated while the conveyor belt 142 is operating, the dust D around the second exhaust cover 151 is collected at the lowermost side of the second exhaust cover 151 as well as the second exhaust pump 154 is operated. It is collected by the second exhaust filter 153 while being exhausted through the second exhaust passage 152 .

상기와 같이 폴리 원료(P)의 이동 중 분진들(D)을 제거하는 동안 송풍팬(180)이 구동되면, 챔버(170) 내부에 다운 플로우 기류를 형성함으로서, 분진들(D)이 챔버(170) 내부에 부유 또는 확산하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 분진들(D)이 충전용 호퍼(160)로 공급되는 폴리 원료(P)에 다시 공급되는 것을 방지할 수 있고, 효과적으로 배출 및 포집될 수 있도록 한다.When the blowing fan 180 is driven while removing the dusts D during the movement of the poly raw material P as described above, by forming a downflow airflow inside the chamber 170, the dusts D are removed from the chamber ( 170) can be prevented from floating or diffusing inside. Therefore, it is possible to prevent the dust (D) from being supplied again to the poly raw material (P) supplied to the hopper for filling (160), and to be effectively discharged and collected.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. The above description is merely illustrative of the technical spirit of the present invention, and various modifications and variations will be possible without departing from the essential characteristics of the present invention by those skilled in the art to which the present invention pertains.

따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but to explain, and the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments.

본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The protection scope of the present invention should be construed by the following claims, and all technical ideas within the equivalent range should be construed as being included in the scope of the present invention.

110 : 투입부 120 : 분진 제거부
130 : 제1 분진 배기부 140 : 운반부
150 : 제2 분진 배기부 160 : 충전용 호퍼
170 : 챔버 180 : 송풍팬110: input unit 120: dust removal unit
130: first dust exhaust unit 140: transport unit
150: second dust exhaust unit 160: hopper for charging
170: chamber 180: blowing fan

Claims (19)

폴리 원료가 저장되고, 소정량의 폴리 원료를 공급하는 투입부;
상기 투입부 하측에 일단이 구비되고, 상기 투입부에서 공급된 폴리 원료의 분진을 걸러주는 분진 흡입구가 구비된 경사로를 포함하는 분진 제거부; 및
상기 경사로 다른 일단 하측에 구비되고, 상기 경사로를 통과한 폴리 원료를 충전용 호퍼로 자동 이송시키는 운반부;를 포함하는 단결정 성장용 원료공급장치.an input unit for storing the poly raw material and supplying a predetermined amount of the poly raw material;
a dust removal unit having an end provided at the lower side of the input unit and including a ramp equipped with a dust suction port for filtering the dust of the poly raw material supplied from the input unit; and
A material supplying device for single crystal growth comprising a; provided at the lower side of the other end of the ramp, and automatically transporting the poly raw material that has passed through the ramp to the filling hopper. 제1항에 있어서,
상기 투입부는,
폴리 원료가 저장되는 저장용 호퍼와,
상기 호퍼의 하부를 자동 개폐시키는 도어를 포함하는 단결정 성장용 원료공급장치. According to claim 1,
The input unit,
A storage hopper in which the poly raw material is stored,
A raw material supply device for single crystal growth including a door for automatically opening and closing the lower portion of the hopper. 제2항에 있어서,
상기 저장용 호퍼와 도어는,
폴리에틸렌 재질로 구성되는 단결정 성장용 원료공급장치.3. The method of claim 2,
The storage hopper and the door are
A raw material supply device for single crystal growth made of polyethylene. 제1항에 있어서,
상기 경사로는,
상기 투입부 하측과 상기 운반부 상측 사이에 걸쳐 위치되고,
상기 투입부 하측에서 상기 운반부 상측으로 갈수록 하향 경사지게 설치되는 단결정 성장용 원료공급장치.According to claim 1,
The ramp is
It is located between the lower side of the input unit and the upper side of the conveying unit,
A raw material supply device for single crystal growth which is installed to be inclined downward from the lower side of the input unit toward the upper side of the conveying unit. 제4항에 있어서,
상기 경사로는,
상기 투입부 하측에서 상기 운반부 하측으로 갈수록 35°~ 45°로 하향 경사지게 설치되는 단결정 성장용 원료공급장치.5. The method of claim 4,
The ramp is
A raw material supply device for single crystal growth that is installed to be inclined downwardly at 35° to 45° from the lower side of the input unit toward the lower side of the transport unit. 제4항에 있어서,
상기 경사로는,
폴리 원료 높이 보다 높게 양측 단부에 상향 돌출된 한 쌍의 가이드 벽을 더 포함하는 단결정 성장용 원료공급장치.5. The method of claim 4,
The ramp is
A raw material supply device for single crystal growth further comprising a pair of guide walls protruding upward at both ends higher than the height of the poly raw material. 제6항에 있어서,
상기 경사로는,
소정의 분진 높이 보다 높고 폴리 원료 높이 보다 낮게 상기 가이드 벽들을 가로지르도록 상향 돌출된 선별턱을 더 포함하고,
상기 분진 흡입구는,
상기 선별턱에 걸러진 분진이 흡입되도록 상기 선별턱과 인접하게 위치되는 단결정 성장용 원료공급장치.7. The method of claim 6,
The ramp is
Further comprising a sorting jaw protruding upward to cross the guide walls higher than the predetermined dust height and lower than the poly raw material height,
The dust inlet is
A raw material supply device for single crystal growth positioned adjacent to the sorting jaw so that the dust filtered by the sorting jaw is sucked. 제7항에 있어서,
상기 분진 흡입구는,
상기 경사로의 양측 단부를 가로지르도록 상기 선별턱과 같은 형상의 슬릿홀 형태로 구비되는 단결정 성장용 원료공급장치.8. The method of claim 7,
The dust inlet is
A raw material supply device for single crystal growth provided in the form of a slit hole having the same shape as the selection jaw so as to cross both ends of the ramp. 제7항에 있어서,
상기 선별턱은,
상기 경사로의 중심부에서 양측 단부로 갈수록 하향하는 삿갓 형태로 구비되는 단결정 성장용 원료공급장치.8. The method of claim 7,
The selection jaw is
A raw material supply device for single crystal growth provided in the form of a hat that goes downward from the center of the ramp toward both ends. 제7항에 있어서,
상기 선별턱과 분진 흡입구는,
상기 경사로의 경사 방향을 따라 소정 간격을 두고 적어도 두 개 이상 구비되는 단결정 성장용 원료공급장치.8. The method of claim 7,
The selection jaw and the dust inlet,
A raw material supply apparatus for single crystal growth provided with at least two at a predetermined interval along the inclination direction of the ramp. 제7항에 있어서,
상기 경사로는,
폴리에틸렌 재질로 구성되는 단결정 성장용 원료공급장치.8. The method of claim 7,
The ramp is
A raw material supply device for single crystal growth made of polyethylene. 제1항에 있어서,
상기 경사로 하측에 구비되고, 상기 분진 흡입구로 걸러진 분진을 회수하는 제1 분진 배기부;를 더 포함하는 단결정 성장용 원료공급장치.According to claim 1,
The raw material supply apparatus for single crystal growth further comprising; a first dust exhaust unit provided on the lower side of the ramp and recovering the dust filtered through the dust inlet. 제12항에 있어서,
상기 제1 분진 배기부는,
상기 경사로 하부에 구비되는 제1 배기 커버와,
상기 제1 배기 커버 하측에 연통되는 제1 배기 유로와,
상기 제1 배기 유로 상에 설치되는 제1 배기 필터와,
상기 제1 배기 유로 상에 설치되는 제1 배기 펌프를 포함하는 단결정 성장용 원료공급장치.13. The method of claim 12,
The first dust exhaust unit,
a first exhaust cover provided under the ramp;
a first exhaust passage communicating with a lower side of the first exhaust cover;
a first exhaust filter installed on the first exhaust passage;
and a first exhaust pump installed on the first exhaust passage. 제1항에 있어서,
상기 운반부는,
상기 경사로에 의해 안내된 폴리 원료가 담기는 운반 박스와,
상기 운반 박스가 안착되고, 상기 운반 박스를 정/역 방향으로 이송시키는 컨베이어 벨트를 포함하는 단결정 성장용 원료공급장치.According to claim 1,
The transport unit,
And a transport box containing the poly raw material guided by the ramp,
A raw material supply device for single crystal growth comprising a conveyor belt on which the transport box is seated, and a conveyor belt for transporting the transport box in forward/reverse directions. 제14항에 있어서,
상기 운반 박스는,
폴리에틸렌 재질로 구성되는 단결정 성장용 원료공급장치.15. The method of claim 14,
The transport box is
A raw material supply device for single crystal growth made of polyethylene. 제14항에 있어서,
상기 컨베이어 벨트는,
상기 경사로의 다른 일단 하측에서 상기 운반 박스를 상향 경사진 방향으로 안내하는 상승 경로과,
상기 충전용 호퍼로 상기 운반 박스를 하향 경사진 방향으로 안내하는 하강 경로를 포함하는 단결정 성장용 원료공급장치.15. The method of claim 14,
The conveyor belt is
An ascending path for guiding the transport box in an upwardly inclined direction from the lower side of the other end of the ramp;
A raw material supply device for single crystal growth including a descending path for guiding the transport box in a downwardly inclined direction to the filling hopper. 제14항에 있어서,
상기 컨베이어 벨트 하측에 구비되고, 상기 운반 박스와 컨베이어 벨트 주변의 분진을 회수하는 제2 분진 배기부;를 더 포함하는 단결정 성장용 원료공급장치.15. The method of claim 14,
A raw material supply device for single crystal growth further comprising; a second dust exhaust unit provided under the conveyor belt and configured to recover dust around the transport box and the conveyor belt. 제17항에 있어서,
상기 제2 분진 배기부는,
상기 컨베이어 벨트 하측에 상기 컨베이어 벨트 보다 크게 구비되는 제2 분진 커버와,
상기 제2 분진 커버 하측에 연통되는 제2 배기 유로와,
상기 제2 배기 유로 상에 설치되는 제2 배기 필터와,
상기 제2 배기 유로 상에 설치되는 제2 배기 펌프를 포함하는 단결정 성장용 원료공급장치.18. The method of claim 17,
The second dust exhaust unit,
a second dust cover provided at a lower side of the conveyor belt and larger than the conveyor belt;
a second exhaust passage communicating with a lower side of the second dust cover;
a second exhaust filter installed on the second exhaust passage;
and a second exhaust pump installed on the second exhaust passage. 제1항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 투입부와 분진 제거부와 운반부가 내장되는 챔버; 및
상기 챔버 상부에 구비되고, 상기 챔버 내부의 기류를 다운 플로우시키는 송풍팬;을 더 포함하는 단결정 성장용 원료공급장치.19. The method according to any one of claims 1 to 18,
a chamber in which the input unit, the dust removal unit, and the transport unit are built; and
The raw material supply apparatus for single crystal growth further comprising a; provided above the chamber, a blower fan for down-flowing the airflow inside the chamber.
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