KR20210111393A - Substrate transportation vessel - Google Patents

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KR20210111393A
KR20210111393A KR1020200026138A KR20200026138A KR20210111393A KR 20210111393 A KR20210111393 A KR 20210111393A KR 1020200026138 A KR1020200026138 A KR 1020200026138A KR 20200026138 A KR20200026138 A KR 20200026138A KR 20210111393 A KR20210111393 A KR 20210111393A
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KR
South Korea
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receiver
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substrate
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Application number
KR1020200026138A
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Inventor
박기용
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

A substrate transport container comprises: a support foam including a support surface for supporting a substrate and a side wall bent from the support surface and defining a receiving hole; a receiver disposed in the receiving hole and defining an interior space; and a guide that is adjacent to the edge of the support surface, and has a shape corresponding to any one of a first mode having a shape taken out from the inner space and a second mode having a shape inserted into the inner space. An object of the present invention is to provide a substrate transport container capable of preventing a substrate from being damaged by a guide.

Description

기판 운송 용기{SUBSTRATE TRANSPORTATION VESSEL}SUBSTRATE TRANSPORTATION VESSEL

본 발명은 용기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판을 이송하는 기판 운송 용기에 관한 것이다.The present invention relates to a container, and more particularly, to a substrate transport container for transferring a substrate.

근래, 액정 텔레비전, 플라즈마 텔레비전 또는 유기 EL 텔레비전 등의 박형 텔레비전에 사용되는 기판이 대형화되고 있다. 이러한 기판은 특히 운송 시의 충격 등에 의해 손상을 받기 쉽다. DESCRIPTION OF RELATED ART In recent years, the board|substrate used for thin-screen televisions, such as a liquid crystal television, a plasma television, or organic electroluminescent television, is enlarged. Such a substrate is particularly susceptible to damage by impact or the like during transportation.

또한, 패널이 최종 출하되기 이전, 제품 안정성을 위해 기판의 다양한 검사가 진행된다. 이 경우, 각 검사마다 기판이 운송 용기로부터 외부로 반출되거나, 검사 이후 다시 운송 용기에 수납되는 동작이 반복될 수 있다. 이 경우, 기판의 유동을 방지하기 위해 운송 용기에 수납된 가이드에 의해 기판의 일 부분이 손상될 수 있다.In addition, before the panel is finally shipped, various inspections of the substrate are performed for product stability. In this case, the operation of taking out the substrate from the transport container to the outside for each inspection or being accommodated in the transport container again after the inspection may be repeated. In this case, a portion of the substrate may be damaged by the guide accommodated in the transport container to prevent the substrate from flowing.

본 발명의 목적은 가이드에 의해 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있는 기판 운송 용기를 제공하는 데 있다.It is an object of the present invention to provide a substrate transport container capable of preventing the substrate from being damaged by the guide.

본 발명의 목적을 달성하기 위한 실시 예에 따른 기판 운송 용기는, 기판을 지지하는 지지면 및 상기 지지면으로부터 절곡되며 수납 홀을 정의하는 측벽을 포함하는 지지폼, 상기 수납 홀에 배치되며 내부 공간을 정의하는 수납기, 상기 지지면의 모서리에 인접하고, 상기 내부 공간으로부터 반출된 형상을 갖는 제1 모드 및 상기 내부 공간에 삽입된 형상을 갖는 제2 모드 및 중 어느 하나의 모드에 대응하는 형상을 갖는 가이드를 포함한다.A substrate transport container according to an embodiment for achieving the object of the present invention, a support surface for supporting a substrate and a support foam bent from the support surface and including a sidewall defining a storage hole, is disposed in the storage hole and an internal space a shape corresponding to any one mode of a receiver defining Includes guides with

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 가이드는 상기 제2 모드 보다 상기 제1 모드에서 상기 지지면에 중첩하는 면적이 더 큰 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the guide has a larger area overlapping the support surface in the first mode than in the second mode.

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 가이드는 상기 제2 모드 보다 상기 제1 모드에서 상기 기판에 더 인접한 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the guide is characterized in that it is closer to the substrate in the first mode than in the second mode.

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 수납 홀은 서로 비중첩하며 제1 방향으로 연장된 제1 수납 홀 및 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 연장된 제2 수납 홀을 포함하고, 상기 수납기는 상기 제1 수납 홀에 배치되며 제1 내부 공간을 정의한 제1 수납기 및 상기 제2 수납 홀에 배치되며 상기 제2 내부 공간을 정의한 제2 수납기를 포함하고, 상기 가이드는 상기 제1 내부 공간에 삽입되거나 반출되는 제1 가이드 및 상기 제2 내부 공간에 삽입되거나 반출되는 제2 가이드를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the accommodating hole includes a first accommodating hole that does not overlap with each other and extends in a first direction and a second accommodating hole that extends in a second direction perpendicular to the first direction, includes a first receiver disposed in the first accommodating hole and defining a first internal space and a second receiver disposed in the second accommodating hole and defining the second internal space, wherein the guide is disposed in the first internal space. It includes a first guide that is inserted or carried out and a second guide that is inserted or carried out into the second inner space.

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 제2 모드 시에, 상기 제1 가이드는 상기 제1 방향을 따라 상기 제1 수납기에 삽입된 형상을 갖고, 상기 제2 가이드는 상기 제2 방향을 따라 상기 제2 수납기에 삽입된 형상을 갖는다.According to an embodiment of the present invention, in the second mode, the first guide has a shape inserted into the first receiver along the first direction, and the second guide is the second guide along the second direction. 2 It has a shape inserted into the receiver.

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 제1 모드에서, 상기 제1 가이드의 일 부분 및 상기 제2 가이드의 일 부분은 서로 중첩한다.According to an embodiment of the present invention, in the first mode, a portion of the first guide and a portion of the second guide overlap each other.

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 제1 가이드는 관통홀을 정의하고, 상기 제1 모드에서, 상기 제2 가이드는 상기 지지면 상에 중첩하며 상기 관통홀에 삽입된 형상을 갖고,According to an embodiment of the present invention, the first guide defines a through hole, and in the first mode, the second guide overlaps the support surface and has a shape inserted into the through hole,

상기 제2 모드에서, 상기 제2 가이드는 상기 관통홀에 비중첩하며 상기 제2 내부 공간에 삽입된 형상을 갖는다.In the second mode, the second guide does not overlap the through hole and has a shape inserted into the second inner space.

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 기판은 인접한 두 개의 제1 측면 및 제2 측면을 포함하고, 상기 제1 모드에서, 상기 제1 가이드의 일 부분은 상기 제2 방향에서 상기 제1 측면과 마주하고, 상기 제2 가이드의 일 부분은 상기 제1 방향에서 상기 제2 측면과 마주한다.According to an embodiment of the present invention, the substrate includes two adjacent first and second sides, and in the first mode, a portion of the first guide faces the first side in the second direction. and a portion of the second guide faces the second side surface in the first direction.

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 지지면은, 상기 기판을 지지하는 제1 지지면, 평면상에서 상기 제1 지지면을 에워싸고 상기 제1 지지면으로부터 상기 기판의 두께 방향으로 함몰된 형상을 갖는 제2 지지면을 포함하고, 상기 제1 모드에서, 상기 가이드는 상기 제2 지지면에 중첩한다.According to an embodiment of the present invention, the support surface, the first support surface for supporting the substrate, surrounds the first support surface on a plane and has a shape recessed from the first support surface in the thickness direction of the substrate and a second support surface, wherein in the first mode, the guide overlaps the second support surface.

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 가이드는 내부 홀을 정의하고, 상기 제2 모드에서 상기 내부 홀에 삽입된 형상을 갖고, 상기 제1 모드에서 상기 내부 홀로부터 반출된 형상을 갖는 보조 가이드를 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the guide defines an inner hole, has a shape inserted into the inner hole in the second mode, and further includes an auxiliary guide having a shape taken out from the inner hole in the first mode include

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 보조 가이드는 상기 제1 모드 및 상기 제2 모드 각각에서 상기 지지면 상에 전체적으로 중첩한다.According to an embodiment of the present invention, the auxiliary guide entirely overlaps on the support surface in each of the first mode and the second mode.

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 수납기 및 상기 가이드 각각은 제1 방향을 따라 연장되고, 상기 제2 모드 시에, 상기 가이드는 상기 제1 방향을 따라 상기 내부 공간에 삽입되고, 상기 보조 가이드는 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향을 따라 상기 가이드의 상기 내부 홀에 삽입된다.According to an embodiment of the present invention, each of the receiver and the guide extends along a first direction, and in the second mode, the guide is inserted into the inner space along the first direction, and the auxiliary guide is It is inserted into the inner hole of the guide along a second direction perpendicular to the first direction.

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 제2 모드 시에, 상기 가이드는 제1 방향을 따라 상기 내부 공간에 삽입되고, 상기 보조 가이드는 상기 제1 방향을 따라 상기 가이드의 상기 내부 홀에 삽입되고, 상기 수납기 및 상기 가이드 각각은 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향을 따라 연장된다.According to an embodiment of the present invention, in the second mode, the guide is inserted into the inner space along a first direction, and the auxiliary guide is inserted into the inner hole of the guide along the first direction, Each of the receiver and the guide extends along a second direction perpendicular to the first direction.

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 수납 홀은 서로 비중첩하며 각각이 제1 방향으로 연장된 제1 수납 홀 및 제2 수납 홀을 포함하고, 상기 수납기는 상기 제1 수납 홀에 배치되며 제1 내부 공간을 정의한 제1 수납기 및 상기 제2 수납 홀에 배치되며 상기 제2 내부 공간을 정의한 제2 수납기를 포함하고, 상기 가이드는 상기 제1 내부 공간에 삽입되는 제1 가이드 및 상기 제2 내부 공간에 삽입되는 제2 가이드를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the receiving hole includes a first receiving hole and a second receiving hole that do not overlap each other and each extend in a first direction, and the receiver is disposed in the first receiving hole and includes a first a first receiver defining an internal space and a second receiver disposed in the second receiving hole and defining the second internal space, wherein the guide includes a first guide inserted into the first internal space and the second internal space It includes a second guide inserted into the.

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 제1 모드에서, 상기 지지면 상에 중첩한 상기 제1 방향에서의 상기 제1 가이드의 길이는 상기 제2 가이드의 길이 보다 긴 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, in the first mode, a length of the first guide in the first direction superimposed on the support surface is longer than a length of the second guide.

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향에서 상기 제1 가이드 및 상기 제2 가이드는 서로 이격된다.According to an embodiment of the present invention, the first guide and the second guide are spaced apart from each other in a second direction perpendicular to the first direction.

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 기판은 제1 측면, 제2 측면, 제3 측면, 및 제4 측면을 포함하고, 상기 가이드는, 제1 방향으로 연장된 상기 제1 측면 및 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 연장된 상기 제2 측면에 의해 정의된 상기 기판의 제1 모서리에 인접한 제1 가이드, 상기 제2 측면 및 상기 제2 방향에서 상기 제1 측면과 마주한 상기 제3 측면에 의해 정의된 상기 기판의 제2 모서리에 인접한 제2 가이드, 상기 제3 측면 및 상기 제1 방향에서 상기 제2 측면과 마주한 상기 제4 측면에 의해 정의된 상기 기판의 제3 모서리에 인접한 제3 가이드, 상기 제4 측면 및 상기 제1 측면에 의해 정의된 상기 기판의 제4 모서리에 인접한 제4 가이드를 포함한다.According to an embodiment of the present disclosure, the substrate includes a first side surface, a second side surface, a third side surface, and a fourth side surface, and the guide includes the first side surface and the first direction extending in the first direction. a first guide adjacent to a first edge of the substrate defined by the second side surface extending in a second direction perpendicular to a second guide adjacent a second edge of the substrate defined by, a third guide adjacent a third edge of the substrate defined by the third side and the fourth side facing the second side in the first direction , a fourth guide adjacent to a fourth edge of the substrate defined by the fourth side and the first side.

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 측벽에 정의된 상기 수납 홀은 제1 내지 제4 수납 홀들을 포함하고, 상기 수납기는 상기 제1 내지 제4 수납 홀들에 각각 배치되며, 제1 내지 제4 내부 공간들을 각각 정의하는 제1 내지 제4 수납기들을 포함하고, 상기 제2 모드에서, 상기 제1 내지 제4 가이드들은 상기 제1 내지 제4 내부 공간들에 각각 삽입된 형상을 갖는다.According to an embodiment of the present invention, the accommodation hole defined in the sidewall includes first to fourth accommodation holes, the receiver is disposed in the first to fourth accommodation holes, respectively, and the first to fourth interior and first to fourth receivers defining spaces, respectively, and in the second mode, the first to fourth guides have a shape respectively inserted into the first to fourth internal spaces.

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 측벽은 제1 방향에서 서로 마주한 제1 측벽 및 제2 측벽과, 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향에서 서로 마주한 제3 측벽 및 제4 측벽을 포함하고, 상기 제1 내지 제4 측벽들 각각은 상기 수납기가 배치되기 위한 적어도 하나의 상기 수납 홀을 정의한다.According to an embodiment of the present invention, the sidewall includes a first sidewall and a second sidewall facing each other in a first direction, and a third sidewall and a fourth sidewall facing each other in a second direction perpendicular to the first direction, Each of the first to fourth sidewalls defines at least one receiving hole in which the receiver is disposed.

본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 측벽은 제1 방향에서 서로 마주한 제1 측벽 및 제2 측벽과, 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향에서 서로 마주한 제3 측벽 및 제4 측벽을 포함하고, 상기 제1 내지 제4 측벽들 중 두 개는 상기 수납기가 배치되기 위한 적어도 하나의 상기 수납 홀을 정의한다According to an embodiment of the present invention, the sidewall includes a first sidewall and a second sidewall facing each other in a first direction, and a third sidewall and a fourth sidewall facing each other in a second direction perpendicular to the first direction, Two of the first to fourth sidewalls define at least one said receiving hole in which the receiver is disposed.

본 발명의 실시 예에 따르면, 기판 운송 용기는 검사 모드 및 출하 모드 중 어느 하나의 모드에 대응한 형상을 가질 수 있다. 특히, 본 발명에 따른 기판 운송 용기는 기판의 유동을 방지하며 검사 모드 및 제품 출하 모드에 따라 특정 방향으로 이동이 가능한 가이드를 포함한다. According to an embodiment of the present invention, the substrate transport container may have a shape corresponding to any one of the inspection mode and the shipping mode. In particular, the substrate transport container according to the present invention includes a guide that prevents the flow of the substrate and is movable in a specific direction according to the inspection mode and the product shipping mode.

특히, 출하 모드 보다 검사 모드 시에, 가이드와 기판 간의 간격이 더 이격될 수 있다. 그 결과, 기판 운송 용기로부터 기판이 반출되거나 재차 삽입되는 과정에서, 가이드에 의한 기판의 손상이 방지될 수 있다.In particular, in the inspection mode than in the shipping mode, the distance between the guide and the substrate may be further spaced apart. As a result, damage to the substrate by the guide can be prevented while the substrate is removed from the substrate transport container or inserted again.

도 1a는 본 발명의 실시 예에 따른 제1 모드 시에 기판 운송 용기의 사시도이다.
도 1b는 본 발명의 실시 예에 따른 제2 모드 시에 기판 운송 용기의 사시도이다.
도 2a는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 운송 용기의 분해 사시도이다.
도 2b는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 운송 용기의 평면도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시 예에 따른 도 2a에 도시된 가이드의 사시도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시 예에 따른 도 2a에 도시된 가이드 및 수납기를 보여주는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 운송 용기의 평면도이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시 예에 따른 도 5에 도시된 가이드의 사시도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 운송 용기의 평면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 도 7에 도시된 가이드 및 수납기를 보여주는 사시도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 운송 용기의 평면도이다.
도 10a 및 도 10b는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 도 9에 도시된 가이드 및 수납기를 보여주는 사시도이다.1A is a perspective view of a substrate transport container in a first mode according to an embodiment of the present invention.
1B is a perspective view of a substrate transport container in a second mode according to an embodiment of the present invention.
2A is an exploded perspective view of a substrate transport container according to an embodiment of the present invention.
2B is a plan view of a substrate transport container according to an embodiment of the present invention.
3A and 3B are perspective views of the guide shown in FIG. 2A according to an embodiment of the present invention.
4A and 4B are perspective views illustrating the guide and the receiver shown in FIG. 2A according to an embodiment of the present invention.
5 is a plan view of a substrate transport container according to another embodiment of the present invention.
6A and 6B are perspective views of the guide shown in FIG. 5 according to an embodiment of the present invention.
7 is a plan view of a substrate transport container according to another embodiment of the present invention.
8 is a perspective view showing the guide and the receiver shown in FIG. 7 according to another embodiment of the present invention.
9 is a plan view of a substrate transport container according to another embodiment of the present invention.
10A and 10B are perspective views illustrating a guide and a receiver shown in FIG. 9 according to another embodiment of the present invention.

본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 “상에 있다”, “연결 된다”, 또는 “결합된다”고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다. In this specification, when a component (or region, layer, part, etc.) is referred to as “on,” “connected to,” or “coupled with” another component, it is directly disposed/on the other component. It means that it can be connected/coupled or a third component can be placed between them.

동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.Like reference numerals refer to like elements. In addition, in the drawings, thicknesses, ratios, and dimensions of components are exaggerated for effective description of technical content.

“및/또는”은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다. “and/or” includes any combination of one or more that the associated configurations may define.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise.

또한, “아래에”, “하측에”, “위에”, “상측에” 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.In addition, terms such as “below”, “lower side”, “above”, “upper side” are used to describe the relationship between the components shown in the drawings. The above terms are relative concepts, and are described based on directions indicated in the drawings.

다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 이상적인 또는 지나치게 형식적인 의미로 해석되지 않는 한, 명시적으로 여기에서 정의됩니다.Unless defined otherwise, all terms (including technical and scientific terms) used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Also, terms such as terms defined in commonly used dictionaries should be construed as having a meaning consistent with their meaning in the context of the relevant art, and unless they are interpreted in an ideal or overly formal sense, they are explicitly defined herein It's possible.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. Terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described in the specification is present, and includes one or more other features, numbers, or steps. , it should be understood that it does not preclude the possibility of the existence or addition of , operation, components, parts, or combinations thereof.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1a는 본 발명의 실시 예에 따른 제1 모드 시에 기판 운송 용기의 사시도이다. 도 1b는 본 발명의 실시 예에 따른 제2 모드 시에 기판 운송 용기의 사시도이다. 1A is a perspective view of a substrate transport container in a first mode according to an embodiment of the present invention. 1B is a perspective view of a substrate transport container in a second mode according to an embodiment of the present invention.

도 1a를 참조하면, 기판 운송 용기(TF)는 기판(PS)을 지지하는 지지폼(SF), 기판(PS)의 유동을 방지하는 가이드(GD), 및 가이드(GD)가 수납될 수 있는 수납기(RV)를 포함할 수 있다. 수납기(RV) 및 가이드(GD) 각각은 복수 개로 제공될 수 있다. 일 예로, 도 1a 및 도 1b에 도시된 바에 따르면, 수납기(RV) 및 가이드(GD) 각각은 기판(PS)의 모서리들에 인접한 4 개의 구성들로 이뤄질 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않으며, 수납기(RV) 및 가이드(GD)의 수는 기판(PS)의 유동을 방지하기 위한 구조에 맞춰 다양하게 조절될 수 있다. Referring to FIG. 1A , the substrate transport container TF includes a support foam SF for supporting a substrate PS, a guide GD for preventing the flow of the substrate PS, and a guide GD in which the guide GD can be accommodated. It may include a receiver (RV). Each of the receiver RV and the guide GD may be provided in plurality. As an example, as shown in FIGS. 1A and 1B , each of the receiver RV and the guide GD may include four components adjacent to corners of the substrate PS. However, the present invention is not limited thereto, and the number of the receiver RV and the guide GD may be variously adjusted according to a structure for preventing the substrate PS from flowing.

한편, 본 명세서에서, 기판(PS)은 표시모듈을 의미할 수 있다. 표시모듈은 영상을 표시하는 표시패널 및 외부의 입력을 감지하는 입력 감지 유닛 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 또한, 기판(MS)은 표시모듈에 포함된 단일 베이스기판을 의미할 수 있다. 기판(PS)은 지지폼(SF)에 정의된 실장 영역(PA)에 배치될 수 있다. Meanwhile, in this specification, the substrate PS may mean a display module. The display module may include at least one of a display panel displaying an image and an input sensing unit sensing an external input. Also, the substrate MS may refer to a single base substrate included in the display module. The substrate PS may be disposed in the mounting area PA defined in the support foam SF.

기판(PS)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)이 정의하는 면과 평행할 수 있다. 기판(PS)의 법선 방향 또는 두께 방향은 제3 방향(DR3)이 지시한다. 본 명세서 내에서 “평면상에서 보았을 때 또는 평면상에서 또는 평면상 면적”의 의미는 제3 방향(DR3)에서 바라보는 경우를 의미한다. 이하에서 설명되는 각 부재들 또는 유닛들의 전면(또는 상면)과 배면(또는 하면)은 제3 방향(DR3)에 의해 구분된다. 그러나, 본 실시예에서 도시된 제1 내지 제3 방향들(DR1, DR2, DR3)은 예시에 불과하고 제1 내지 제3 방향들(DR1, DR2, DR3)이 지시하는 방향들은 반대 방향들로 변환될 수 있다. The substrate PS may be parallel to a plane defined by the first direction DR1 and the second direction DR2 . The third direction DR3 indicates the normal direction or the thickness direction of the substrate PS. In the present specification, the meaning of “when viewed on a plane or on a plane or an area on a plane” refers to a case in which the image is viewed from the third direction DR3. The front (or upper surface) and the rear (or lower surface) of each of the members or units described below are divided by the third direction DR3 . However, the first to third directions DR1 , DR2 , and DR3 illustrated in this embodiment are merely examples, and directions indicated by the first to third directions DR1 , DR2 and DR3 are opposite directions. can be converted

기판 운송 용기(TF)는 기판(PS)을 배치하기 위한 수납 공간을 정의할 수 있다. 예컨대, 기판 운송 용기(TF)는 기판(PS)을 지지하는 지지면(BS) 및 지지면(BS)으로부터 절곡된 측벽(SD)을 포함할 수 있다. 평면상에서, 측벽(SD)은 지지면(BS)을 에워싼 형상일 수 있다. 실제, 지지면(BS)과 측벽(SD)은 동일한 물질의 일체 형상일 수 있다. The substrate transport container TF may define an accommodation space for disposing the substrate PS. For example, the substrate transport container TF may include a support surface BS that supports the substrate PS and a sidewall SD bent from the support surface BS. In a plan view, the sidewall SD may have a shape surrounding the support surface BS. In fact, the support surface BS and the sidewall SD may be integrally formed of the same material.

본 발명에 따르면, 측벽(SD)은 수납기(RV)가 배치되는 적어도 하나의 수납 홀을 정의할 수 있다. 측벽(SD)에 정의된 수납 홀의 수는 가이드(GD)의 수에 따라 조절될 수 있다. According to the present invention, the side wall SD may define at least one receiving hole in which the receiver RV is disposed. The number of receiving holes defined in the sidewall SD may be adjusted according to the number of guides GD.

수납기(RV)는 측벽(SD)에 정의된 수납 홀에 배치되어, 측벽(SD)과 일체 형상을 이룰 수 있다. 다만, 수납기(RV) 및 지지폼(SF)의 측벽(SD)은 서로 다른 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 수납기(RV)는 플라스틱일 수 있으며, 측벽(SD)은 스티리폼일 수 있다. 또한, 수납기(RV)는 측벽(SD)에 전체적으로 중첩한 구조로 내부 공간을 정의할 수 있다. The receiver RV may be disposed in a receiving hole defined in the side wall SD to form an integral shape with the side wall SD. However, the sidewalls SD of the receiver RV and the support foam SF may include different materials. For example, the receiver RV may be made of plastic, and the sidewall SD may be made of Styria. In addition, the receiver RV may define an internal space in a structure that is entirely overlapped with the side wall SD.

가이드(GD)는 수납기(RV)에 물리적으로 연결되어, 기판(PS)의 모서리에 인접하게 배치될 수 있다. 기판 운송 용기(TF)의 이동 시에, 기판(PS)의 모서리에 인접하게 배치된 가이드(GD)를 통해 기판(PS)의 유동이 방지될 수 있다. 가이드(GD)는 기판(PS)의 측부를 보호할 수 있는 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 가이드(GD)는 플라스틱 또는 고무 등의 다양한 물질을 포함할 수 있다. The guide GD may be physically connected to the receiver RV and disposed adjacent to the edge of the substrate PS. When the substrate transport container TF is moved, the flow of the substrate PS may be prevented through the guide GD disposed adjacent to the edge of the substrate PS. The guide GD may include a material capable of protecting the side of the substrate PS. For example, the guide GD may include various materials such as plastic or rubber.

한편, 제품 출하 전에 기판(PS)에 대한 다양한 검사가 진행될 수 있다. 각 검사 시마다, 기판 운송 용기(TF)에 수납된 기판(PS)이 외부로 반출되거나 다시 기판 운송 용기(TF)에 실장되는 과정이 반복될 수 있다. 이 경우, 기판(PS)이 반출 및 실장되는 과정에서, 가이드(GD)에 의해 기판(PS)의 일 부분이 손상될 수 있다. Meanwhile, various inspections of the substrate PS may be performed before product shipment. For each inspection, the process in which the substrate PS accommodated in the substrate transport container TF is carried out or mounted on the substrate transport container TF may be repeated. In this case, a portion of the substrate PS may be damaged by the guide GD while the substrate PS is unloaded and mounted.

본 발명의 실시 예에 따르면, 가이드(GD)는 수납기(RV)의 내부 공간으로부터 반출된 형상을 갖는 제1 모드 및 수납기(RV)에 정의된 내부 공간에 삽입된 형상을 갖는 제2 모드 중 어느 하나의 모드에 대응한 형상을 가질 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the guide GD is in any one of a first mode having a shape taken out from the internal space of the receiver RV and a second mode having a shape inserted into an internal space defined in the receiver RV. It may have a shape corresponding to one mode.

일 예로, 도 1a에 도시된 가이드(GD)는 제1 모드에 대응한 형상을 가질 수 있다. 기판(PS)의 제품 출하 시에, 가이드(GD)는 제1 모드에 대응하여 수납기(RV)의 내부 공간으로부터 반출된 형상을 가질 수 있다. For example, the guide GD shown in FIG. 1A may have a shape corresponding to the first mode. When the substrate PS is shipped, the guide GD may have a shape taken out from the inner space of the receiver RV in response to the first mode.

도 1b에 도시된 가이드(GD)는 제2 모드에 대응한 형상을 가질 수 있다. 기판(PS)의 검사 시에, 가이드(GD)는 제2 모드에 대응하여 수납기(RV)의 내부 공간에 삽입된 형상을 가질 수 있다. 그 결과, 기판(PS)이 검사를 위해 기판 운송 용기(TF)로부터 반출되거나 다시 기판 운송 용기(TF)에 실장될 시에, 가이드(GD)에 의한 간섭이 방지될 수 있다. The guide GD illustrated in FIG. 1B may have a shape corresponding to the second mode. When the substrate PS is inspected, the guide GD may have a shape inserted into the inner space of the receiver RV corresponding to the second mode. As a result, when the substrate PS is removed from the substrate transport container TF for inspection or is mounted on the substrate transport container TF again, interference by the guide GD can be prevented.

본 발명에 따르면, 가이드(GD)는 제2 모드 보다 제1 모드에서 지지면(BS) 상에 중첩한 면적이 더 클 수 있다. 제2 모드에서 가이드(GD)는 지지면(BS)에 비중첩하거나, 적어도 일 부분 중첩한 구조일 수 있다. 또한, 제1 모드 시에, 가이드(GD)는 기판(PS)의 유동을 방지하기 위해 제2 모드 보다 제1 모드에서 기판(PS)에 더 인접하게 배치될 수 있다. According to the present invention, the overlapping area of the guide GD on the support surface BS in the first mode than in the second mode may be larger. In the second mode, the guide GD may have a structure that does not overlap the support surface BS or at least partially overlaps with the support surface BS. Also, in the first mode, the guide GD may be disposed closer to the substrate PS in the first mode than in the second mode to prevent the substrate PS from flowing.

상술된 바에 따르면, 가이드(GD)는 기판(PS)의 공정 조건에 따라 제1 모드 및 제2 모드 중 어느 하나의 모드에 대응한 형상을 가질 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 가이드(GD)는 고정된 형상이 아닌, 이동이 가능한 구조로 제공될 수 있다. As described above, the guide GD may have a shape corresponding to any one of the first mode and the second mode according to the process conditions of the substrate PS. That is, the guide GD according to the present invention may be provided in a movable structure, not in a fixed shape.

도 2a는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 운송 용기의 분해 사시도이다. 도 2b는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 운송 용기의 평면도이다. 도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시 예에 따른 도 2a에 도시된 가이드의 사시도이다. 도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시 예에 따른 도 2a에 도시된 가이드 및 수납기를 보여주는 사시도이다. 2A is an exploded perspective view of a substrate transport container according to an embodiment of the present invention. 2B is a plan view of a substrate transport container according to an embodiment of the present invention. 3A and 3B are perspective views of the guide shown in FIG. 2A according to an embodiment of the present invention. 4A and 4B are perspective views illustrating the guide and the receiver shown in FIG. 2A according to an embodiment of the present invention.

도 2a 및 도 2b를 참조하면, 지지폼(SF)은 측벽(SD) 및 지지면(BS)을 포함한다. 지지면(BS)은 제1 지지면(BP1) 및 평면상에서 제1 지지면(BP1)을 에워싸는 제2 지지면(BP2)을 포함한다. 제1 지지면(BP1)은 기판(PS)이 실장되는 실장 영역(PA)을 정의할 수 있다. 제2 지지면(BP2)은 제1 지지면(BP1)으로부터 제3 방향(DR3)으로 함몰된 형상을 가질 수 있다. 2A and 2B , the support foam SF includes a side wall SD and a support surface BS. The support surface BS includes a first support surface BP1 and a second support surface BP2 that surrounds the first support surface BP1 in a plan view. The first support surface BP1 may define a mounting area PA on which the substrate PS is mounted. The second support surface BP2 may have a shape that is depressed in the third direction DR3 from the first support surface BP1 .

측벽(SD)은 제2 지지면(BP2)으로부터 절곡된 형상을 갖는 제1 내지 제4 측벽들(SD1~SD4)을 포함한다. 제1 측벽(SD1) 및 제3 측벽(SD3)은 제2 방향(DR2)에서 마주보며 이격되고, 제2 측벽(SD2) 및 제4 측벽(SD4)은 제1 방향(DR1)에서 마주보며 이격될 수 있다. The sidewall SD includes first to fourth sidewalls SD1 to SD4 having a shape bent from the second support surface BP2 . The first sidewall SD1 and the third sidewall SD3 are spaced apart from each other while facing each other in the second direction DR2 , and the second sidewall SD2 and the fourth sidewall SD4 are spaced apart from each other while facing each other in the first direction DR1 . can be

제1 측벽(SD1)은 제1 서브 수납 홀(SF-H1a) 및 제2 서브 수납 홀(SF-H1b)을 정의한다. 제1 서브 수납 홀(SF-H1a) 및 제2 서브 수납 홀(SF-H1b)은 제1 방향(DR1)에서 이격되며 서로 마주한 구조일 수 있다. The first sidewall SD1 defines a first sub-accommodating hole SF-H1a and a second sub-accommodating hole SF-H1b. The first sub-accommodation hole SF-H1a and the second sub-accommodation hole SF-H1b may be spaced apart from each other in the first direction DR1 and face each other.

제2 측벽(SD2)은 제3 서브 수납 홀(SF-H2a) 및 제4 서브 수납 홀(SF-H2b)을 정의한다. 제3 서브 수납 홀(SF-H2a) 및 제4 서브 수납 홀(SF-H2b)은 제2 방향(DR2)에서 이격되며 서로 마주한 구조일 수 있다.The second sidewall SD2 defines a third sub-accommodation hole SF-H2a and a fourth sub-accommodation hole SF-H2b. The third sub-accommodation hole SF-H2a and the fourth sub-accommodation hole SF-H2b may be spaced apart from each other in the second direction DR2 and face each other.

제3 측벽(SD3)은 제5 서브 수납 홀(SF-H3a) 및 제6 서브 수납 홀(SF-H3b)을 정의한다. 제5 서브 수납 홀(SF-H3a) 및 제6 서브 수납 홀(SF-H3b)은 제1 방향(DR1)에서 이격되며 서로 마주한 구조일 수 있다.The third sidewall SD3 defines a fifth sub-accommodating hole SF-H3a and a sixth sub-accommodating hole SF-H3b. The fifth sub-accommodating hole SF-H3a and the sixth sub-accommodating hole SF-H3b may be spaced apart from each other in the first direction DR1 and may face each other.

제4 측벽(SD4)은 제7 서브 수납 홀(SF-H4a) 및 제8 서브 수납 홀(SF-H4b)을 정의한다. 제7 서브 수납 홀(SF-H4a) 및 제8 서브 수납 홀(SF-H4b)은 제2 방향(DR2)에서 이격되며 서로 마주한 구조일 수 있다.The fourth sidewall SD4 defines the seventh sub-accommodating hole SF-H4a and the eighth sub-accommodating hole SF-H4b. The seventh sub-accommodation hole SF-H4a and the eighth sub-accommodation hole SF-H4b may be spaced apart from each other in the second direction DR2 and face each other.

본 발명에 따르면, 측벽(SD)은 수납기(RV)가 배치되는 적어도 하나의 수납 홀을 정의할 수 있다. 도 2a에 도시된 바에 따르면, 측벽(SD)은 제1 내지 제4 수납 홀들(SF-H1, SF-H2, SF-H3, SF-H4)을 정의할 수 있다. 수납기(RV)는 제1 내지 제4 수납 홀들(SF-H1, SF-H2, SF-H3, SF-H4)에 각각 배치된 제1 내지 제4 수납기들(RV1~RV4)을 포함한다. According to the present invention, the side wall SD may define at least one receiving hole in which the receiver RV is disposed. Referring to FIG. 2A , the sidewall SD may define first to fourth accommodation holes SF-H1 , SF-H2 , SF-H3 , and SF-H4 . The receiver RV includes first to fourth receivers RV1 to RV4 respectively disposed in the first to fourth receiving holes SF-H1 , SF-H2 , SF-H3 , and SF-H4 .

제1 수납 홀(SF-H1)은 서로 인접한 제1 서브 수납 홀(SF-H1a) 및 제3 서브 수납 홀(SF-H2a)을 포함한다. 제1 서브 수납 홀(SF-H1a) 및 제3 서브 수납 홀(SF-H2a)은 지지면(BS)의 모서리들 중 제1 모서리에 인접할 수 있다. 지지면(BS)의 제1 모서리는 제1 측벽(SD1) 및 제2 측벽(SD2)에 의해 정의된 제2 지지면(BP2)의 모서리에 대응될 수 있다. The first accommodating hole SF-H1 includes a first sub accommodating hole SF-H1a and a third sub accommodating hole SF-H2a adjacent to each other. The first sub-accommodation hole SF-H1a and the third sub-accommodation hole SF-H2a may be adjacent to a first edge among edges of the support surface BS. The first edge of the support surface BS may correspond to an edge of the second support surface BP2 defined by the first sidewall SD1 and the second sidewall SD2 .

제1 수납기(RV1)는 제1 방향(DR1)으로 연장되며 제3 서브 수납 홀(SF-H2a)에 배치된 제1 서브 수납기(RV1a) 및 제2 방향(DR2)으로 연장되며 제1 서브 수납 홀(SF-H1a)에 배치된 제2 서브 수납기(RV1b)를 포함한다. 제1 서브 수납기(RV1a) 및 제2 서브 수납기(RV1b) 각각은 내부 공간을 정의할 수 있다. The first receiver RV1 extends in the first direction DR1 and extends in the first sub-acceptor RV1a and the second direction DR2 disposed in the third sub-accommodation hole SF-H2a, and extends in the first sub-accommodation hole SF-H2a. and a second sub receiver RV1b disposed in the hall SF-H1a. Each of the first sub receiver RV1a and the second sub receiver RV1b may define an internal space.

제2 수납 홀(SF-H2)은 서로 인접한 제4 서브 수납 홀(SF-H2b) 및 제5 서브 수납 홀(SF-H3a)을 포함한다. 제4 서브 수납 홀(SF-H2b) 및 제5 서브 수납 홀(SF-H3a)은 지지면(BS)의 모서리들 중 제2 모서리에 인접할 수 있다. 지지면(BS)의 제2 모서리는 제2 측벽(SD2) 및 제3 측벽(SD3)에 의해 정의된 제2 지지면(BP2)의 모서리에 대응될 수 있다. The second accommodating hole SF-H2 includes a fourth sub accommodating hole SF-H2b and a fifth sub accommodating hole SF-H3a adjacent to each other. The fourth sub-accommodation hole SF-H2b and the fifth sub-accommodation hole SF-H3a may be adjacent to a second edge among edges of the support surface BS. The second edge of the support surface BS may correspond to an edge of the second support surface BP2 defined by the second sidewall SD2 and the third sidewall SD3 .

제2 수납기(RV2)는 제1 방향(DR1)으로 연장되며 제4 서브 수납 홀(SF-H2b)에 배치된 제3 서브 수납기(RV2a) 및 제2 방향(DR2)으로 연장되며 제5 서브 수납 홀(SF-H3a)에 배치된 제4 서브 수납기(RV2b)를 포함한다. 제3 서브 수납기(RV2a) 및 제4 서브 수납기(RV2b) 각각은 내부 공간을 정의할 수 있다. The second receiver RV2 extends in the first direction DR1 and extends in the third sub-acceptor RV2a and the second direction DR2 disposed in the fourth sub-accommodation hole SF-H2b, and extends in the fifth sub-accommodation hole SF-H2b. and a fourth sub receiver RV2b disposed in the hall SF-H3a. Each of the third sub receiver RV2a and the fourth sub receiver RV2b may define an internal space.

제3 수납 홀(SF-H3)은 서로 인접한 제6 서브 수납 홀(SF-H3b) 및 제7 서브 수납 홀(SF-H4a)을 포함한다. 제6 서브 수납 홀(SF-H3b) 및 제7 서브 수납 홀(SF-H4a)은 지지면(BS)의 모서리들 중 제3 모서리에 인접할 수 있다. 지지면(BS)의 제3 모서리는 제3 측벽(SD3) 및 제4 측벽(SD4)에 의해 정의된 제2 지지면(BP2)의 모서리에 대응될 수 있다. The third accommodating hole SF-H3 includes a sixth sub accommodating hole SF-H3b and a seventh sub accommodating hole SF-H4a adjacent to each other. The sixth sub-accommodating hole SF-H3b and the seventh sub-accommodating hole SF-H4a may be adjacent to a third corner among corners of the support surface BS. The third edge of the support surface BS may correspond to an edge of the second support surface BP2 defined by the third sidewall SD3 and the fourth sidewall SD4 .

제3 수납기(RV3)는 제1 방향(DR1)으로 연장되며 제7 서브 수납 홀(SF-H4a)에 배치된 제5 서브 수납기(RV3a) 및 제2 방향(DR2)으로 연장되며 제6 서브 수납 홀(SF-H3b)에 배치된 제6 서브 수납기(RV3b)를 포함한다. 제5 서브 수납기(RV3a) 및 제6 서브 수납기(RV3b) 각각은 내부 공간을 정의할 수 있다.The third receiver RV3 extends in the first direction DR1 and extends in the fifth sub receiver RV3a and the second direction DR2 disposed in the seventh sub accommodation hole SF-H4a and extends in the sixth sub receiver and a sixth sub receiver RV3b disposed in the hall SF-H3b. Each of the fifth sub receiver RV3a and the sixth sub receiver RV3b may define an internal space.

제4 수납 홀(SF-H4)은 서로 인접한 제8 서브 수납 홀(SF-H4b) 및 제2 서브 수납 홀(SF-H1b)을 포함한다. 제8 서브 수납 홀(SF-H4b) 및 제2 서브 수납 홀(SF-H1b)은 지지면(BS)의 모서리들 중 제4 모서리에 인접할 수 있다. 지지면(BS)의 제4 모서리는 제4 측벽(SD4) 및 제1 측벽(SD1)에 의해 정의된 제2 지지면(BP2)의 모서리에 대응될 수 있다. The fourth accommodating hole SF-H4 includes an eighth sub accommodating hole SF-H4b and a second sub accommodating hole SF-H1b adjacent to each other. The eighth sub-accommodating hole SF-H4b and the second sub-accommodating hole SF-H1b may be adjacent to a fourth corner among corners of the support surface BS. The fourth edge of the support surface BS may correspond to an edge of the second support surface BP2 defined by the fourth sidewall SD4 and the first sidewall SD1 .

제4 수납기(RV4)는 제1 방향(DR1)으로 연장되며 제8 서브 수납 홀(SF-H4b)에 배치된 제7 서브 수납기(RV4a) 및 제2 방향(DR2)으로 연장되며 제2 서브 수납 홀(SF-H1b)에 배치된 제8 서브 수납기(RV4b)를 포함한다. 제7 서브 수납기(RV4a) 및 제8 서브 수납기(RV4b) 각각은 내부 공간을 정의할 수 있다.The fourth receiver RV4 extends in the first direction DR1 and extends in the seventh sub receiver RV4a and the second direction DR2 disposed in the eighth sub accommodation hole SF-H4b, and extends in the second sub-accommodation hole SF-H4b. and an eighth sub receiver RV4b disposed in the hall SF-H1b. Each of the seventh sub receiver RV4a and the eighth sub receiver RV4b may define an internal space.

가이드(GD)는 제2 지지면(BP2) 상에 배치된 제1 내지 제4 가이드들(GD1~GD4)을 포함한다. 제1 가이드(GD1)는 제1 수납기(RV1) 물리적으로 연결되며, 제1 방향(DR1)으로 연장된 제1 서브 가이드(GD1a) 및 제2 방향(DR2)으로 연장된 제2 서브 가이드(GD1b)를 포함한다. 제1 서브 가이드(GD1a)는 제1 서브 수납기(RV1a)에 연결되며, 제1 서브 수납기(RV1a)에 정의된 내부 공간에 삽입되거나 반출될 수 있다. 제2 서브 가이드(GD1b)는 제2 서브 수납기(RV1b)에 연결되며, 제2 서브 수납기(RV1b)에 정의된 내부 공간에 삽입되거나 반출될 수 있다. The guide GD includes first to fourth guides GD1 to GD4 disposed on the second support surface BP2 . The first guide GD1 is physically connected to the first receiver RV1 , and the first sub-guide GD1a extending in the first direction DR1 and the second sub-guide GD1b extending in the second direction DR2 are ) is included. The first sub-guide GD1a is connected to the first sub-acceptor RV1a, and may be inserted into or taken out of an internal space defined in the first sub-acceptor RV1a. The second sub guide GD1b is connected to the second sub receiver RV1b, and may be inserted into or taken out of an internal space defined in the second sub receiver RV1b.

제2 가이드(GD2)는 제2 수납기(RV2) 물리적으로 연결되며, 제1 방향(DR1)으로 연장된 제3 서브 가이드(GD2a) 및 제2 방향(DR2)으로 연장된 제4 서브 가이드(GD2b)를 포함한다. 제3 서브 가이드(GD2a)는 제3 서브 수납기(RV2a)에 연결되며, 제3 서브 수납기(RV2a)에 정의된 내부 공간에 삽입되거나 반출될 수 있다. 제4 서브 가이드(GD2b)는 제4 서브 수납기(RV2b)에 연결되며, 제4 서브 수납기(RV2b)에 정의된 내부 공간에 삽입되거나 반출될 수 있다.The second guide GD2 is physically connected to the second receiver RV2 , and the third sub-guide GD2a extending in the first direction DR1 and the fourth sub-guide GD2b extending in the second direction DR2 are connected to each other. ) is included. The third sub guide GD2a is connected to the third sub receiver RV2a, and may be inserted into or taken out of the internal space defined in the third sub receiver RV2a. The fourth sub-guide GD2b is connected to the fourth sub-acceptor RV2b, and may be inserted into or taken out of an internal space defined in the fourth sub-acceptor RV2b.

제3 가이드(GD3)는 제3 수납기(RV3) 물리적으로 연결되며, 제1 방향(DR1)으로 연장된 제5 서브 가이드(GD3a) 및 제2 방향(DR2)으로 연장된 제6 서브 가이드(GD3b)를 포함한다. 제5 서브 가이드(GD3a)는 제5 서브 수납기(RV3a)에 연결되며, 제5 서브 수납기(RV3a)에 정의된 내부 공간에 삽입되거나 반출될 수 있다. 제6 서브 가이드(GD3b)는 제6 서브 수납기(RV3b)에 연결되며, 제6 서브 수납기(RV3b)에 정의된 내부 공간에 삽입되거나 반출될 수 있다.The third guide GD3 is physically connected to the third receiver RV3 , and the fifth sub-guide GD3a extending in the first direction DR1 and the sixth sub-guide GD3b extending in the second direction DR2 are connected to each other. ) is included. The fifth sub guide GD3a is connected to the fifth sub receiver RV3a, and may be inserted into or taken out of an internal space defined in the fifth sub receiver RV3a. The sixth sub guide GD3b is connected to the sixth sub receiver RV3b, and may be inserted into or taken out of the internal space defined in the sixth sub receiver RV3b.

제4 가이드(GD4)는 제4 수납기(RV4) 물리적으로 연결되며, 제1 방향(DR1)으로 연장된 제7 서브 가이드(GD4a) 및 제2 방향(DR2)으로 연장된 제8 서브 가이드(GD4b)를 포함한다. 제7 서브 가이드(GD4a)는 제7 서브 수납기(RV4a)에 연결되며, 제7 서브 수납기(RV4a)에 정의된 내부 공간에 삽입되거나 반출될 수 있다. 제8 서브 가이드(GD4b)는 제8 서브 수납기(RV4b)에 연결되며, 제8 서브 수납기(RV4b)에 정의된 내부 공간에 삽입되거나 반출될 수 있다.The fourth guide GD4 is physically connected to the fourth receiver RV4 , the seventh sub-guide GD4a extending in the first direction DR1 and the eighth sub-guide GD4b extending in the second direction DR2 . ) is included. The seventh sub guide GD4a is connected to the seventh sub receiver RV4a, and may be inserted into or taken out of the internal space defined in the seventh sub receiver RV4a. The eighth sub guide GD4b is connected to the eighth sub receiver RV4b, and may be inserted into or taken out of an internal space defined in the eighth sub receiver RV4b.

기판(PS)은 제1 측벽(SD1)에 마주한 제1 측면, 제2 측벽(SD2)에 마주한 제2 측면, 제3 측벽(SD3)에 마주한 제3 측면, 및 제4 측벽(SD4)에 마주한 제4 측면을 포함한다. 본 발명에 따르면, 제1 모드에서 제1 서브 가이드(GD1a)의 일 부분은 제2 방향(DR2)에서 제1 측면과 직접적으로 마주하고, 제2 서브 가이드(GD1b)의 일 부분은 제1 방향(DR1)에서 제2 측면과 직접적으로 마주할 수 있다. 상술된 제1 서브 가이드(GD1a) 및 제2 서브 가이드(GD1b)의 구조와 유사하게, 나머지 제2 내지 제4 가이드들(GD2~GD4) 각각에 포함된 두 개의 서브 가이드들은 기판(PS)의 일 측면과 직접적으로 마주한 일 부분을 포함할 수 있다. The substrate PS has a first side facing the first sidewall SD1 , a second side facing the second sidewall SD2 , a third side facing the third sidewall SD3 , and a fourth side facing the fourth sidewall SD4 . a fourth aspect. According to the present invention, in the first mode, a portion of the first sub-guide GD1a directly faces the first side surface in the second direction DR2, and a portion of the second sub-guide GD1b moves in the first direction. It may directly face the second side at (DR1). Similar to the structure of the first sub-guide GD1a and the second sub-guide GD1b described above, the two sub-guides included in each of the remaining second to fourth guides GD2 to GD4 are formed of the substrate PS. It may include a portion directly facing one side.

본 발명에 따르면, 도 1a에서 설명된 기판 운송 용기(TF)의 제2 모드에서, 제1 내지 제4 가이드들(GD1~GD4) 각각에 포함된 두 개의 서브 가이드들은 적어도 일 영역에서 중첩할 수 있다. According to the present invention, in the second mode of the substrate transport container TF described in FIG. 1A , two sub-guides included in each of the first to fourth guides GD1 to GD4 may overlap in at least one area. have.

자세하게, 도 3a 및 도 3b를 통해 제1 내지 제4 가이드들(GD1~GD4) 중 제1 가이드(GD1)가 예시적으로 도시되었으나, 나머지 제2 내지 제4 가이드들(GD2~GD4) 역시 도 3a 및 도 3b에 도시된 제1 가이드(GD1)의 구조와 실질적으로 동일한 구조를 가질 수 있다. In detail, the first guide GD1 among the first to fourth guides GD1 to GD4 is illustrated as an example through FIGS. 3A and 3B , but the remaining second to fourth guides GD2 to GD4 are also shown in FIG. 3A and 3B . The structure of the first guide GD1 illustrated in FIGS. 3A and 3B may be substantially the same as that of the first guide GD1 illustrated in FIGS. 3A and 3B .

먼저, 도 3a를 참조하면, 본 발명에 따른 제1 서브 가이드(GD1a)는 관통홀(OPa)을 정의할 수 있다. 관통홀(OPa)은 제2 서브 가이드(GD1b)의 형상에 대응하여 형성될 수 있다. 예컨대, 관통홀(OPa)은 제2 서브 가이드(GD1b)가 삽입될 수 있는 형상을 가질 수 있다. First, referring to FIG. 3A , the first sub guide GD1a according to the present invention may define a through hole OPa. The through hole OPa may be formed to correspond to the shape of the second sub guide GD1b. For example, the through hole OPa may have a shape into which the second sub guide GD1b may be inserted.

도 3b를 참조하면, 기판 운송 용기(TF)의 제2 모드에서, 제2 서브 가이드(GD1b)는 관통홀(OPa)을 통해 제2 방향(DR2)으로 이동될 수 있다. 그 결과, 도 4a에 도시된 바와 같이, 제2 서브 가이드(GD1b)는 제1 서브 가이드(GD1a)의 관통홀(OPa)을 관통하여 제2 서브 수납기(RV1b)의 내부 공간(RV1b-H)에 삽입될 수 있다. Referring to FIG. 3B , in the second mode of the substrate transport container TF, the second sub-guide GD1b may move in the second direction DR2 through the through hole OPa. As a result, as shown in FIG. 4A , the second sub-guide GD1b penetrates the through-hole OPa of the first sub-guide GD1a to form an internal space RV1b-H of the second sub-receiver RV1b. can be inserted into

또한, 도 4b에 도시된 바와 같이, 제2 서브 가이드(GD1b)가 제1 서브 가이드(GD1a)의 관통홀(OPa)을 통해 제2 서브 수납기(RV1b)에 삽입된 이후, 제1 서브 가이드(GD1a)가 제1 방향(DR1)을 따라 제1 서브 수납기(RV1a)의 내부 공간(RV1a-H)에 삽입될 수 있다. 그 결과, 기판 운송 용기(TF)의 제2 모드에서, 제1 서브 가이드(GD1a) 및 제2 서브 가이드(GD1b)는 서로 비중첩할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 4B , after the second sub guide GD1b is inserted into the second sub receiver RV1b through the through hole OPa of the first sub guide GD1a, the first sub guide ( GD1a may be inserted into the inner space RV1a-H of the first sub receiver RV1a along the first direction DR1 . As a result, in the second mode of the substrate transport container TF, the first sub-guide GD1a and the second sub-guide GD1b may not overlap each other.

기판 운송 용기(TF)의 제1 모드 시에, 제1 서브 가이드(GD1a)는 제1 방향(DR1)을 따라 제1 서브 수납기(RV1a)로부터 반출될 수 있다. 이후, 제2 서브 가이드(GD1b)는 제2 방향(DR2)을 따라 제2 서브 수납기(RV1b)로부터 반출될 수 있다. 이 경우, 제2 서브 가이드(GD1b)는 관통홀(OPa)을 통과하고, 제1 서브 가이드(GD1a)에 중첩할 수 있다. In the first mode of the substrate transport container TF, the first sub guide GD1a may be carried out from the first sub receiver RV1a along the first direction DR1 . Thereafter, the second sub guide GD1b may be carried out from the second sub receiver RV1b along the second direction DR2 . In this case, the second sub guide GD1b may pass through the through hole OPa and overlap the first sub guide GD1a.

도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 운송 용기의 평면도이다. 도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시 예에 따른 도 5에 도시된 가이드의 사시도이다. 5 is a plan view of a substrate transport container according to another embodiment of the present invention. 6A and 6B are perspective views of the guide shown in FIG. 5 according to an embodiment of the present invention.

도 5에 도시된 기판 운송 용기(TF-1)는 제1 내지 제4 수납기들(RV1-1, RV2-1, RV3-1, RV4-1), 제1 내지 제4 가이드들(GD1-1~GD4-1), 및 지지폼(SFa)을 포함한다. The substrate transport container TF-1 illustrated in FIG. 5 includes first to fourth receivers RV1-1, RV2-1, RV3-1, and RV4-1, and first to fourth guides GD1-1. ~GD4-1), and support foam (SFa).

본 발명에 따르면, 지지폼(SFa)의 제1 내지 제4 측벽들(SD1~SD4) 중 제1 방향(DR1)에서 마주한 제2 측벽(SD2) 및 제4 측벽(SD4) 각각은 적어도 하나의 수납 홀을 정의할 수 있다. 예시적으로, 도 5에 도시된 제2 측벽(SD2) 및 제4 측벽(SD4) 각각은 두 개의 수납 홀들을 정의한다.According to the present invention, each of the second sidewall SD2 and the fourth sidewall SD4 facing in the first direction DR1 among the first to fourth sidewalls SD1 to SD4 of the support foam SFa is at least one You can define storage halls. For example, each of the second sidewall SD2 and the fourth sidewall SD4 illustrated in FIG. 5 defines two receiving holes.

제1 내지 제4 수납기들(RV1-1, RV2-1, RV3-1, RV4-1) 각각은 제1 방향(DR1)으로 연장된 형상일 수 있다. 제1 수납기(RV1-1) 및 제2 수납기(RV2-1)는 지지폼(SFa)의 제2 측벽(SD2)에 정의된 두 개의 수납 홀들에 배치된다. 제3 수납기(RV3-1) 및 제4 수납기(RV4-1)는 지지폼(SFa)의 제4 측벽(SD4)에 정의된 두 개의 수납 홀들에 배치될 수 있다. Each of the first to fourth receivers RV1-1, RV2-1, RV3-1, and RV4-1 may have a shape extending in the first direction DR1. The first receiver RV1-1 and the second receiver RV2-1 are disposed in two receiving holes defined in the second sidewall SD2 of the support foam SFa. The third receiver RV3 - 1 and the fourth receiver RV4 - 1 may be disposed in two accommodating holes defined in the fourth sidewall SD4 of the support foam SFa.

제1 가이드(GD1-1)는 제1 수납기(RV1-1) 물리적으로 연결되며, 제1 방향(DR1)으로 연장된 제1 서브 가이드(GD1a-1) 및 제2 방향(DR2)으로 연장된 제2 서브 가이드(GD1b-1)를 포함한다. 제1 서브 가이드(GD1a-1)는 제1 수납기(RV1-1)에 연결되며, 제1 수납기(RV1-1)에 정의된 내부 공간에 삽입되거나 반출될 수 있다. 제2 서브 가이드(GD1b-1)는 제1 서브 가이드(GD1a-1)에 정의된 내부 홀에 삽입되거나 반출될 수 있다. The first guide GD1-1 is physically connected to the first receiver RV1-1, and extends in the first direction DR1 and the first sub-guide GD1a-1 extending in the second direction DR2. and a second sub-guide GD1b-1. The first sub-guide GD1a-1 is connected to the first receiver RV1-1, and may be inserted into or taken out of an internal space defined in the first receiver RV1-1. The second sub-guide GD1b-1 may be inserted into or taken out of an inner hole defined in the first sub-guide GD1a-1.

자세하게, 도 6a에 도시된 바에 따르면, 제1 서브 가이드(GD1a-1)는 내부 홀(OPb)을 정의할 수 있다. 본 발명에 따르면, 내부 홀(OPb)은 제2 서브 가이드(GD1b-1)가 전체적으로 삽입될 수 있는 공간을 정의할 수 있다. 예컨대, 내부 홀(OPb)은 제1 서브 가이드(GD1a-1)를 관통될 수 있는 관통홀이거나, 일 부분이 함몰된 함몰 공간일 수 있다. In detail, as shown in FIG. 6A , the first sub guide GD1a - 1 may define an inner hole OPb. According to the present invention, the inner hole OPb may define a space into which the second sub-guide GD1b - 1 may be entirely inserted. For example, the inner hole OPb may be a through hole that may pass through the first sub guide GD1a - 1 or a recessed space in which a portion is depressed.

본 발명에 따르면, 제1 모드에서, 제1 서브 가이드(GD1a-1)는 제1 수납기(RV1-1)로부터 제1 방향(DR1)을 따라 반출된 형상을 가진다. 제2 서브 가이드(GD1b-1)는 제2 방향(DR2)을 따라 제1 서브 가이드(GD1a-1)의 내부 홀(OPb)로부터 반출된 형상을 가진다. According to the present invention, in the first mode, the first sub-guide GD1a-1 has a shape taken out from the first receiver RV1-1 along the first direction DR1. The second sub-guide GD1b-1 has a shape taken out from the inner hole OPb of the first sub-guide GD1a-1 along the second direction DR2.

제2 모드에서, 제2 서브 가이드(GD1b-1)는 제1 서브 가이드(GD1a-1)의 내부 홀(OPb)에 삽입된 형상을 가진다. 제2 서브 가이드(GD1b-1)가 삽입된 제1 서브 가이드(GD1b-1)는 제1 수납기(RV1-1)에 삽입된 형상을 가진다. In the second mode, the second sub-guide GD1b-1 has a shape inserted into the inner hole OPb of the first sub-guide GD1a-1. The first sub-guide GD1b-1 into which the second sub-guide GD1b-1 is inserted has a shape inserted into the first receiver RV1-1.

특히, 제2 방향(DR2)에 따른 제1 서브 가이드(GD1a-1)의 폭(D1)은 제1 방향(DR1)에 따른 제2 서브 가이드(GD1b-1)의 길이(D2) 보다 클 수 있다. 그 결과, 도 6b에 도시된 바와 같이, 기판 운송 용기(TF)의 제2 모드에서, 제2 서브 가이드(GD1b-1)가 내부 홀(OPb)에 완전히 삽입된 형상일 수 있다. 즉, 제2 서브 가이드(GD1b-1)는 제1 모드 및 제2 모드 각각에서, 제2 지지면(BP2) 상에 전체적으로 중첩할 수 있다. In particular, the width D1 of the first sub-guide GD1a-1 in the second direction DR2 may be greater than the length D2 of the second sub-guide GD1b-1 in the first direction DR1. have. As a result, as shown in FIG. 6B , in the second mode of the substrate transport container TF, the second sub-guide GD1b - 1 may be completely inserted into the inner hole OPb. That is, the second sub guide GD1b - 1 may entirely overlap the second support surface BP2 in each of the first mode and the second mode.

한편, 본 명세서에서, 제1 서브 가이드(GD1a-1)에 삽입되는 제2 서브 가이드(GD1b-1)는 보조 가이드로 설명될 수 있다. Meanwhile, in this specification, the second sub-guide GD1b-1 inserted into the first sub-guide GD1a-1 may be described as an auxiliary guide.

다시 도 5를 참조하면, 제2 가이드(GD2-1)는 제2 수납기(RV2-1)에 물리적으로 연결되며, 제1 방향(DR1)으로 연장된 제3 서브 가이드(GD2a-1) 및 제2 방향(DR2)으로 연장된 제4 서브 가이드(GD2b-1)를 포함한다. 제3 서브 가이드(GD2a-1)는 제2 수납기(RV2-1)에 연결되며, 제2 수납기(RV2-1)에 정의된 내부 공간에 삽입되거나 반출될 수 있다. 제4 서브 가이드(GD2b-1)는 제3 서브 가이드(GD2a-1)에 정의된 내부 홀에 삽입되거나 반출될 수 있다. 마찬가지로, 제3 서브 가이드(GD2a-1) 및 제4 서브 가이드(GD2b-1)의 연결 구조는 도 6a 및 도 6b에 도시된 구조에 실질적으로 대응될 수 있다. Referring back to FIG. 5 , the second guide GD2-1 is physically connected to the second receiver RV2-1, and the third sub-guide GD2a-1 and the third sub-guide GD2a-1 extending in the first direction DR1 and and a fourth sub-guide GD2b-1 extending in two directions DR2. The third sub-guide GD2a-1 is connected to the second receiver RV2-1, and may be inserted into or taken out of an internal space defined in the second receiver RV2-1. The fourth sub-guide GD2b-1 may be inserted into or taken out of an inner hole defined in the third sub-guide GD2a-1. Similarly, the connection structure of the third sub-guide GD2a-1 and the fourth sub-guide GD2b-1 may substantially correspond to the structure illustrated in FIGS. 6A and 6B .

제3 가이드(GD3-1)는 제3 수납기(RV3-1) 물리적으로 연결되며, 제1 방향(DR1)으로 연장된 제5 서브 가이드(GD3a-1) 및 제2 방향(DR2)으로 연장된 제6 서브 가이드(GD3b-1)를 포함한다. 제5 서브 가이드(GD3a-1)는 제3 수납기(RV3-1)에 연결되며, 제3 수납기(RV3-1)에 정의된 내부 공간에 삽입되거나 반출될 수 있다. 제6 서브 가이드(GD3b-1)는 제5 서브 가이드(GD3a-1)에 정의된 내부 홀에 삽입되거나 반출될 수 있다. 마찬가지로, 제5 서브 가이드(GD3a-1) 및 제6 서브 가이드(GD3b-1)의 연결 구조는 도 6a 및 도 6b에 도시된 구조에 실질적으로 대응될 수 있다. The third guide GD3 - 1 is physically connected to the third receiver RV3 - 1 , the fifth sub guide GD3a - 1 extending in the first direction DR1 and the fifth sub guide GD3a - 1 extending in the second direction DR2 . and a sixth sub-guide GD3b-1. The fifth sub guide GD3a - 1 is connected to the third receiver RV3 - 1 , and may be inserted into or taken out of an internal space defined in the third receiver RV3 - 1 . The sixth sub-guide GD3b-1 may be inserted into or taken out of an inner hole defined in the fifth sub-guide GD3a-1. Similarly, the connection structure of the fifth sub guide GD3a - 1 and the sixth sub guide GD3b - 1 may substantially correspond to the structure shown in FIGS. 6A and 6B .

제4 가이드(GD4-1)는 제4 수납기(RV4-1) 물리적으로 연결되며, 제1 방향(DR1)으로 연장된 제7 서브 가이드(GD4a-1) 및 제2 방향(DR2)으로 연장된 제8 서브 가이드(GD4b-1)를 포함한다. 제7 서브 가이드(GD4a-1)는 제4 수납기(RV4-1)에 연결되며, 제4 수납기(RV4-1)에 정의된 내부 공간에 삽입되거나 반출될 수 있다. 제8 서브 가이드(GD4b-1)는 제7 서브 가이드(GD4a-1)에 정의된 내부 홀에 삽입되거나 반출될 수 있다. 마찬가지로, 제7 서브 가이드(GD4a-1) 및 제8 서브 가이드(GD4b-1)의 연결 구조는 도 6a 및 도 6b에 도시된 구조에 실질적으로 대응될 수 있다. The fourth guide GD4-1 is physically connected to the fourth receiver RV4-1, and extends in the seventh sub-guide GD4a-1 extending in the first direction DR1 and the second direction DR2. and an eighth sub-guide GD4b-1. The seventh sub guide GD4a - 1 is connected to the fourth receiver RV4 - 1 , and may be inserted into or taken out of an internal space defined in the fourth receiver RV4 - 1 . The eighth sub-guide GD4b-1 may be inserted into or taken out of the inner hole defined in the seventh sub-guide GD4a-1. Similarly, the connection structure of the seventh sub-guide GD4a-1 and the eighth sub-guide GD4b-1 may substantially correspond to the structure illustrated in FIGS. 6A and 6B .

도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 운송 용기의 평면도이다. 도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 도 7에 도시된 가이드 및 수납기를 보여주는 사시도이다. 7 is a plan view of a substrate transport container according to another embodiment of the present invention. 8 is a perspective view showing the guide and the receiver shown in FIG. 7 according to another embodiment of the present invention.

도 7에 도시된 기판 운송 용기(TF-2)는 제1 내지 제4 수납기들(RV1-2, RV2-2, RV3-2, RV4-2), 제1 내지 제4 가이드들(GD1-2~GD4-2), 및 지지폼(SFa)을 포함한다. The substrate transport container TF-2 illustrated in FIG. 7 includes first to fourth receivers RV1-2, RV2-2, RV3-2, and RV4-2, and first to fourth guides GD1-2. ~GD4-2), and support foam (SFa).

본 발명에 따르면, 지지폼(SFb)의 제1 내지 제4 측벽들(SD1~SD4) 중 제1 방향(DR1)에서 마주한 제2 측벽(SD2) 및 제4 측벽(SD4) 각각은 적어도 하나의 수납 홀을 정의할 수 있다. According to the present invention, each of the second sidewall SD2 and the fourth sidewall SD4 facing in the first direction DR1 among the first to fourth sidewalls SD1 to SD4 of the support foam SFb is at least one You can define storage halls.

제1 내지 제4 수납기들(RV1-2, RV2-2, RV3-2, RV4-2) 각각은 제1 방향(DR1)으로 연장된 형상일 수 있다. 제1 수납기(RV1-2) 및 제2 수납기(RV2-2)는 제2 측벽(SD2)에 정의된 수납 홀들에 각각 배치되며, 제3 수납기(RV3-2) 및 제4 수납기(RV4-2)는 제4 측벽(SD4)에 정의된 수납 홀들에 각각 배치될 수 있다. 또한, 제1 내지 제4 가이드들(GD1-2~GD4-2) 각각은 제1 방향(DR1)으로 연장된 형상일 수 있다.Each of the first to fourth receivers RV1 - 2 , RV2 - 2 , RV3 - 2 , and RV4 - 2 may have a shape extending in the first direction DR1 . The first receiver RV1 - 2 and the second receiver RV2 - 2 are respectively disposed in the accommodating holes defined in the second sidewall SD2 , and the third receiver RV3 - 2 and the fourth receiver RV4 - 2 . ) may be respectively disposed in the receiving holes defined in the fourth sidewall SD4 . Also, each of the first to fourth guides GD1 - 2 to GD4 - 2 may have a shape extending in the first direction DR1 .

제1 수납기(RV1-2)는 제1 방향(DR1)으로 연장되며 제2 방향(DR2)에서 서로 이격된 제1 서브 수납기(RV1a-2) 및 제2 서브 수납기(RV1b-2)를 포함한다. 제1 방향(DR1)에서, 제1 서브 수납기(RV1a-2)는 제2 서브 수납기(RV1b-2) 보다 더 긴 길이를 가질 수 있다. The first receiver RV1-2 includes a first sub receiver RV1a-2 and a second sub receiver RV1b-2 that extend in the first direction DR1 and are spaced apart from each other in the second direction DR2. . In the first direction DR1 , the first sub receiver RV1a - 2 may have a longer length than the second sub receiver RV1b - 2 .

자세하게, 도 8을 참조하면, 제1 가이드(GD1-2)는 제1 방향(DR1)으로 연장되며 제2 방향(DR2)에서 서로 이격된 제1 서브 가이드(GD1a-2) 및 제2 서브 가이드(GD1b-2)를 포함한다. 제1 서브 가이드(GD1a-2)는 제1 서브 수납기(RV1a-2)에 정의된 내부 공간(RV1a-H2)에 삽입되거나 반출된 형상을 가질 수 있다. 제2 서브 가이드(GD1b-2)는 제2 서브 수납기(RV1b-2)에 정의된 내부 공간(RV1b-H2)에 삽입되거나 반출된 형상을 가질 수 있다. In detail, referring to FIG. 8 , the first guide GD1-2 extends in the first direction DR1 and the first sub-guide GD1a-2 and the second sub-guide GD1a-2 are spaced apart from each other in the second direction DR2. (GD1b-2). The first sub guide GD1a - 2 may have a shape inserted into or taken out of the internal space RV1a - H2 defined in the first sub receiver RV1a - 2 . The second sub guide GD1b - 2 may have a shape inserted into or taken out of the internal space RV1b - H2 defined in the second sub receiver RV1b - 2 .

제1 모드에서, 제1 서브 가이드(GD1a-2) 및 제2 서브 가이드(GD1b-2)는 제1 서브 수납기(RV1a-2) 및 제2 서브 수납기(RV1b-2)로부터 각각 반출된 형상일 수 있다. 이 경우, 제1 서브 가이드(GD1a-2)는 제2 서브 가이드(GD1b-2) 보다 제2 측벽(SD2)으로부터 제1 방향(DR1)을 따라 더 긴 길이를 가질 수 있다. 제2 모드에서, 제1 서브 가이드(GD1a-2) 및 제2 서브 가이드(GD1b-2)는 제1 서브 수납기(RV1a-2) 및 제2 서브 수납기(RV1b-2)에 각각 삽입된 형상일 수 있다. In the first mode, the first sub-guide GD1a-2 and the second sub-guide GD1b-2 have shapes taken out from the first sub-receiver RV1a-2 and the second sub-receiver RV1b-2, respectively. can In this case, the first sub guide GD1a - 2 may have a longer length from the second sidewall SD2 in the first direction DR1 than the second sub guide GD1b - 2 . In the second mode, the first sub-guide GD1a-2 and the second sub-guide GD1b-2 are respectively inserted into the first sub-receiver RV1a-2 and the second sub-receiver RV1b-2. can

다시 도 7을 참조하면, 제2 가이드(GD2-2)는 제1 방향(DR1)으로 연장되며 제2 방향(DR2)에서 서로 이격된 제3 서브 가이드(GD2a-2) 및 제4 서브 가이드(GD2b-2)를 포함한다. 제3 서브 가이드(GD2a-2) 및 제4 서브 가이드(GD2b-2)는 앞서 도 8을 통해 설명된 제1 서브 가이드(GD1a-2) 및 제2 서브 가이드(GD1b-2)의 연결 구조와 실질적으로 동일한 구조를 가지는 바, 이에 대한 설명은 생략한다.Referring back to FIG. 7 , the second guide GD2-2 extends in the first direction DR1 and the third sub guide GD2a-2 and the fourth sub guide GD2a-2 are spaced apart from each other in the second direction DR2. GD2b-2). The third sub-guide GD2a-2 and the fourth sub-guide GD2b-2 are connected to the connection structure of the first sub-guide GD1a-2 and the second sub-guide GD1b-2 described above with reference to FIG. 8 . Since they have substantially the same structure, a description thereof will be omitted.

제3 가이드(GD3-2)는 제1 방향(DR1)으로 연장되며 제2 방향(DR2)에서 서로 이격된 제5 서브 가이드(GD3a-2) 및 제6 서브 가이드(GD3b-2)를 포함한다. 제5 서브 가이드(GD3a-2) 및 제6 서브 가이드(GD3b-2)는 도 8을 통해 설명된 제1 서브 가이드(GD1a-2) 및 제2 서브 가이드(GD1b-2)의 연결 구조와 실질적으로 동일한 구조를 가지는 바, 이에 대한 설명은 생략한다.The third guide GD3 - 2 extends in the first direction DR1 and includes a fifth sub guide GD3a - 2 and a sixth sub guide GD3b - 2 that are spaced apart from each other in the second direction DR2 . . The fifth sub-guide GD3a-2 and the sixth sub-guide GD3b-2 are substantially identical to the connection structure of the first sub-guide GD1a-2 and the second sub-guide GD1b-2 described with reference to FIG. 8 . and has the same structure, a description thereof will be omitted.

제4 가이드(GD4-2)는 제1 방향(DR1)으로 연장되며 제2 방향(DR2)에서 서로 이격된 제7 서브 가이드(GD4a-2) 및 제8 서브 가이드(GD4b-2)를 포함한다. 제7 서브 가이드(GD4a-2) 및 제8 서브 가이드(GD4b-2)는 도 8을 통해 설명된 제1 서브 가이드(GD1a-2) 및 제2 서브 가이드(GD1b-2)의 연결 구조와 실질적으로 동일한 구조를 가지는 바, 이에 대한 설명은 생략한다.The fourth guide GD4 - 2 extends in the first direction DR1 and includes a seventh sub guide GD4a - 2 and an eighth sub guide GD4b - 2 that are spaced apart from each other in the second direction DR2 . . The seventh sub-guide GD4a-2 and the eighth sub-guide GD4b-2 are substantially identical to the connection structure of the first sub-guide GD1a-2 and the second sub-guide GD1b-2 described with reference to FIG. 8 . and has the same structure, a description thereof will be omitted.

도 9는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 운송 용기의 평면도이다. 도 10a 및 도 10b는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 도 9에 도시된 가이드 및 수납기를 보여주는 사시도이다.9 is a plan view of a substrate transport container according to another embodiment of the present invention. 10A and 10B are perspective views illustrating a guide and a receiver shown in FIG. 9 according to another embodiment of the present invention.

도 9에 도시된 기판 운송 용기(TF-3)는 제1 내지 제4 수납기들(RV1-3, RV2-3, RV3-3, RV4-3), 제1 내지 제4 가이드들(GD1-3~GD4-3), 및 지지폼(SFc)을 포함한다. The substrate transport container TF-3 shown in FIG. 9 includes first to fourth receivers RV1-3, RV2-3, RV3-3, and RV4-3, and first to fourth guides GD1-3. ~GD4-3), and support foam (SFc).

본 발명에 따르면, 지지폼(SFc)의 제1 내지 제4 측벽들(SD1~SD4) 중 제1 방향(DR1)에서 마주한 제2 측벽(SD2) 및 제4 측벽(SD4) 각각은 적어도 하나의 수납 홀을 정의할 수 있다. 예시적으로, 도 9에 도시된 제2 측벽(SD2) 및 제4 측벽(SD4) 각각은 두 개의 수납 홀들을 정의한다. According to the present invention, each of the second sidewall SD2 and the fourth sidewall SD4 facing in the first direction DR1 among the first to fourth sidewalls SD1 to SD4 of the support foam SFc is at least one You can define storage halls. For example, each of the second sidewall SD2 and the fourth sidewall SD4 illustrated in FIG. 9 defines two accommodation holes.

제1 내지 제4 수납기들(RV1-3, RV2-3, RV3-3, RV4-3) 각각은 제2 방향(DR2)으로 연장된 형상일 수 있다. 제1 수납기(RV1-3) 및 제2 수납기(RV2-3)는 제2 측벽(SD2)에 정의된 두 개의 수납 홀들에 배치된다. 제3 수납기(RV3-3) 및 제4 수납기(RV4-3)는 제4 측벽(SD4)에 정의된 두 개의 수납 홀들에 배치될 수 있다. Each of the first to fourth receivers RV1-3, RV2-3, RV3-3, and RV4-3 may have a shape extending in the second direction DR2. The first receiver RV1-3 and the second receiver RV2-3 are disposed in two receiving holes defined in the second sidewall SD2. The third receiver RV3 - 3 and the fourth receiver RV4 - 3 may be disposed in two accommodating holes defined in the fourth sidewall SD4 .

제1 가이드(GD1-3)는 제1 수납기(RV1-3) 물리적으로 연결되며, 제2 방향(DR2)으로 연장된 제1 서브 가이드(GD1a-3) 및 제1 방향(DR1)으로 연장된 제2 서브 가이드(GD1b-3)를 포함한다. 다만, 이에 한정되지 않으며 제2 서브 가이드(GD1b-3)는 특정 방향으로 연장된 형상이 아닐 수 있다. 예를 들어, 제2 서브 가이드(GD1b-3)는 평면상에서 정사각형의 형상을 가질 수 있다. The first guide GD1-3 is physically connected to the first receiver RV1-3, and the first sub-guide GD1a-3 extending in the second direction DR2 and the first sub-guide GD1a-3 extending in the first direction DR1 and a second sub-guide GD1b-3. However, the present invention is not limited thereto, and the second sub-guide GD1b-3 may not have a shape extending in a specific direction. For example, the second sub-guide GD1b-3 may have a square shape in plan view.

제1 서브 가이드(GD1a-3)는 제1 수납기(RV1-3)에 연결되며, 제1 수납기(RV1-3)에 정의된 내부 공간에 삽입되거나 반출될 수 있다. 제2 서브 가이드(GD1b-3)는 제1 서브 가이드(GD1a-3)에 정의된 내부 홀에 삽입되거나 반출될 수 있다. The first sub-guide GD1a-3 is connected to the first receiver RV1-3, and may be inserted into or taken out of an internal space defined in the first receiver RV1-3. The second sub-guide GD1b-3 may be inserted into or taken out of an inner hole defined in the first sub-guide GD1a-3.

자세하게, 제1 서브 가이드(GD1a-3)는 내부 홀(OPc)을 정의할 수 있다. 본 발명에 따르면, 내부 홀(OPc)은 제2 서브 가이드(GD1b-3)가 전체적으로 삽입될 수 있는 공간을 정의할 수 있다. 예컨대, 내부 홀(OPc)은 제1 서브 가이드(GD1a-3)가 관통될 수 있는 관통홀이거나, 일 부분이 함몰된 함몰 공간일 수 있다. In detail, the first sub guide GD1a - 3 may define an inner hole OPc. According to the present invention, the inner hole OPc may define a space into which the second sub-guide GD1b-3 can be entirely inserted. For example, the inner hole OPc may be a through hole through which the first sub guide GD1a - 3 may pass, or a recessed space in which a portion is depressed.

도 10a에 도시된 바에 따르면, 제1 모드에서, 제1 서브 가이드(GD1a-3)는 제1 수납기(RV1-3)로부터 제1 방향(DR1)을 따라 반출된 형상을 가진다. 제2 서브 가이드(GD1b-3)는 제1 방향(DR1)을 따라 제1 서브 가이드(GD1a-3)의 내부 홀(OPc)로부터 반출된 형상을 가진다. Referring to FIG. 10A , in the first mode, the first sub-guide GD1a-3 has a shape taken out from the first receiver RV1-3 in the first direction DR1. The second sub guide GD1b - 3 has a shape taken out from the inner hole OPc of the first sub guide GD1a - 3 along the first direction DR1 .

제2 모드에서, 제2 서브 가이드(GD1b-3)는 제1 서브 가이드(GD1a-3)의 내부 홀(OPc)에 삽입된 형상을 가진다. 제2 서브 가이드(GD1b-3)가 삽입된 제1 서브 가이드(GD1b-3)는 제1 수납기(RV1-3)에 삽입된 형상을 가진다. 도 10b에 도시된 바와 같이, 제2 서브 가이드(GD1b-3)는 제1 서브 가이드(GD1a-3)에 전체적으로 삽입된 구조를 가지며, 제1 서브 가이드(GD1a-3)는 제1 방향(DR1)을 따라 이동하여 제1 수납기(RV1-3)의 내부 공간(RV1-H3)에 삽입될 수 있다. In the second mode, the second sub-guide GD1b-3 has a shape inserted into the inner hole OPc of the first sub-guide GD1a-3. The first sub-guide GD1b-3 into which the second sub-guide GD1b-3 is inserted has a shape inserted into the first receiver RV1-3. As shown in FIG. 10B , the second sub-guide GD1b-3 has a structure completely inserted into the first sub-guide GD1a-3 , and the first sub-guide GD1a-3 moves in the first direction DR1 . ) and may be inserted into the inner space RV1-H3 of the first receiver RV1-3.

다시 도 9를 참조하면, 제2 가이드(GD2-3)는 제2 수납기(RV2-3)에 물리적으로 연결되며, 제2 방향(DR2)으로 연장된 제3 서브 가이드(GD2a-3) 및 제1 방향(DR1)으로 연장된 제4 서브 가이드(GD2b-3)를 포함한다. 제3 서브 가이드(GD2a-3) 및 제4 서브 가이드(GD2b-3)의 연결 구조는 도 10a 및 도 10b에 도시된 구조에 실질적으로 대응될 수 있다. Referring back to FIG. 9 , the second guide GD2-3 is physically connected to the second receiver RV2-3, and the third sub-guide GD2a-3 and the third sub-guide GD2a-3 extending in the second direction DR2 and and a fourth sub-guide GD2b-3 extending in one direction DR1. A connection structure of the third sub-guide GD2a-3 and the fourth sub-guide GD2b-3 may substantially correspond to the structure illustrated in FIGS. 10A and 10B .

제3 가이드(GD3-3)는 제3 수납기(RV3-3) 물리적으로 연결되며, 제2 방향(DR2)으로 연장된 제5 서브 가이드(GD3a-3) 및 제1 방향(DR1)으로 연장된 제6 서브 가이드(GD3b-3)를 포함한다. 제5 서브 가이드(GD3a-3) 및 제6 서브 가이드(GD3b-3)의 연결 구조는 도 10a 및 도 10b에 도시된 구조에 실질적으로 대응될 수 있다. The third guide GD3 - 3 is physically connected to the third receiver RV3 - 3 , the fifth sub guide GD3a - 3 extending in the second direction DR2 and the fifth sub guide GD3a - 3 extending in the first direction DR1 . and a sixth sub-guide GD3b-3. A connection structure of the fifth sub-guide GD3a-3 and the sixth sub-guide GD3b-3 may substantially correspond to the structure illustrated in FIGS. 10A and 10B .

제4 가이드(GD4-3)는 제4 수납기(RV4-3) 물리적으로 연결되며, 제2 방향(DR2)으로 연장된 제7 서브 가이드(GD4a-3) 및 제1 방향(DR1)으로 연장된 제8 서브 가이드(GD4b-3)를 포함한다. 제7 서브 가이드(GD4a-3) 및 제8 서브 가이드(GD4b-3)의 연결 구조는 도 10a 및 도 10b에 도시된 구조에 실질적으로 대응될 수 있다. The fourth guide GD4-3 is physically connected to the fourth receiver RV4-3, and extends in the second direction DR2 and the seventh sub-guide GD4a-3 and the first direction DR1. and an eighth sub-guide GD4b-3. A connection structure of the seventh sub-guide GD4a-3 and the eighth sub-guide GD4b-3 may substantially correspond to the structure illustrated in FIGS. 10A and 10B .

이상에서와 같이 도면과 명세서에서 실시 예가 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허 청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.As described above, embodiments have been disclosed in the drawings and the specification. Although specific terms are used herein, they are used only for the purpose of describing the present invention and are not used to limit the meaning or the scope of the present invention described in the claims. Therefore, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

SF: 지지폼
RV: 수납기
GD: 가이드
BS: 지지면
BP1: 제1 지지면
BP2: 제2 지지면
PS: 기판SF: support foam
RV: receiver
GD: Guide
BS: support surface
BP1: first support surface
BP2: second support surface
PS: Substrate

Claims (20)

기판을 지지하는 지지면 및 상기 지지면으로부터 절곡되며 수납 홀을 정의하는 측벽을 포함하는 지지폼;
상기 수납 홀에 배치되며 내부 공간을 정의하는 수납기; 및
상기 지지면의 모서리에 인접하고, 상기 내부 공간으로부터 반출된 형상을 갖는 제1 모드 및 상기 내부 공간에 삽입된 형상을 갖는 제2 모드 및 중 어느 하나의 모드에 대응하는 형상을 갖는 가이드를 포함하는 기판 운송 용기. a support foam including a support surface for supporting the substrate and a sidewall bent from the support surface and defining a receiving hole;
a receiver disposed in the storage hole and defining an internal space; and
Adjacent to the edge of the support surface, including a guide having a shape corresponding to any one mode and a first mode having a shape taken out from the inner space and a second mode having a shape inserted into the inner space Substrate transport container. 제 1 항에 있어서,
상기 가이드는 상기 제2 모드 보다 상기 제1 모드에서 상기 지지면에 중첩하는 면적이 더 큰 것을 특징으로 하는 기판 운송 용기.The method of claim 1,
and the guide has a larger area overlapping the support surface in the first mode than in the second mode. 제 1 항에 있어서,
상기 가이드는 상기 제2 모드 보다 상기 제1 모드에서 상기 기판에 더 인접한 것을 특징으로 하는 기판 운송 용기. The method of claim 1,
wherein the guide is closer to the substrate in the first mode than in the second mode. 제 1 항에 있어서,
상기 수납 홀은 서로 비중첩하며 제1 방향으로 연장된 제1 수납 홀 및 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 연장된 제2 수납 홀을 포함하고,
상기 수납기는 상기 제1 수납 홀에 배치되며 제1 내부 공간을 정의한 제1 수납기 및 상기 제2 수납 홀에 배치되며 상기 제2 내부 공간을 정의한 제2 수납기를 포함하고,
상기 가이드는 상기 제1 내부 공간에 삽입되거나 반출되는 제1 가이드 및 상기 제2 내부 공간에 삽입되거나 반출되는 제2 가이드를 포함하는 기판 운송 용기. The method of claim 1,
The accommodating holes do not overlap each other and include a first accommodating hole extending in a first direction and a second accommodating hole extending in a second direction perpendicular to the first direction,
The receiver includes a first receiver disposed in the first accommodating hole and defining a first internal space and a second receiver disposed in the second accommodating hole and defining the second internal space,
The guide is a substrate transport container including a first guide inserted into or carried out into the first inner space and a second guide inserted into or carried out into the second inner space. 제 4 항에 있어서,
상기 제2 모드 시에, 상기 제1 가이드는 상기 제1 방향을 따라 상기 제1 수납기에 삽입된 형상을 갖고, 상기 제2 가이드는 상기 제2 방향을 따라 상기 제2 수납기에 삽입된 형상을 갖는 기판 운송 용기.5. The method of claim 4,
In the second mode, the first guide has a shape inserted into the first receiver along the first direction, and the second guide has a shape inserted into the second receiver along the second direction Substrate transport container. 제 5 항에 있어서,
상기 제1 모드에서, 상기 제1 가이드의 일 부분 및 상기 제2 가이드의 일 부분은 서로 중첩하는 기판 운송 용기. 6. The method of claim 5,
In the first mode, a portion of the first guide and a portion of the second guide overlap each other. 제 5 항에 있어서,
상기 제1 가이드는 관통홀을 정의하고,
상기 제1 모드에서, 상기 제2 가이드는 상기 지지면 상에 중첩하며 상기 관통홀에 삽입된 형상을 갖고,
상기 제2 모드에서, 상기 제2 가이드는 상기 관통홀에 비중첩하며 상기 제2 내부 공간에 삽입된 형상을 갖는 기판 운송 용기. 6. The method of claim 5,
The first guide defines a through hole,
In the first mode, the second guide overlaps the support surface and has a shape inserted into the through hole,
In the second mode, the second guide does not overlap the through hole and has a shape inserted into the second inner space. 제 5 항에 있어서,
상기 기판은 인접한 두 개의 제1 측면 및 제2 측면을 포함하고,
상기 제1 모드에서, 상기 제1 가이드의 일 부분은 상기 제2 방향에서 상기 제1 측면과 마주하고, 상기 제2 가이드의 일 부분은 상기 제1 방향에서 상기 제2 측면과 마주하는 기판 운송 용기. 6. The method of claim 5,
The substrate comprises two adjacent first and second sides,
In the first mode, a portion of the first guide faces the first side in the second direction, and a portion of the second guide faces the second side in the first direction. . 제 1 항에 있어서,
상기 지지면은,
상기 기판을 지지하는 제1 지지면; 및
평면상에서 상기 제1 지지면을 에워싸고 상기 제1 지지면으로부터 상기 기판의 두께 방향으로 함몰된 형상을 갖는 제2 지지면을 포함하고,
상기 제1 모드에서, 상기 가이드는 상기 제2 지지면에 중첩하는 기판 운송 용기. The method of claim 1,
The support surface is
a first support surface for supporting the substrate; and
and a second support surface surrounding the first support surface on a plane and having a shape recessed from the first support surface in a thickness direction of the substrate,
In the first mode, the guide overlaps the second support surface. 제 1 항에 있어서,
상기 가이드는 내부 홀을 정의하고,
상기 제2 모드에서 상기 내부 홀에 삽입된 형상을 갖고, 상기 제1 모드에서 상기 내부 홀로부터 반출된 형상을 갖는 보조 가이드를 더 포함하는 기판 운송 용기. The method of claim 1,
the guide defines an inner hole,
The substrate transport container further comprising an auxiliary guide having a shape inserted into the inner hole in the second mode, and having a shape taken out from the inner hole in the first mode. 제 10 항에 있어서,
상기 보조 가이드는 상기 제1 모드 및 상기 제2 모드 각각에서 상기 지지면 상에 전체적으로 중첩하는 기판 운송 용기.11. The method of claim 10,
wherein the auxiliary guide entirely overlaps on the support surface in each of the first mode and the second mode. 제 10 항에 있어서,
상기 수납기 및 상기 가이드 각각은 제1 방향을 따라 연장되고,
상기 제2 모드 시에, 상기 가이드는 상기 제1 방향을 따라 상기 내부 공간에 삽입되고, 상기 보조 가이드는 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향을 따라 상기 가이드의 상기 내부 홀에 삽입되는 기판 운송 용기. 11. The method of claim 10,
Each of the receiver and the guide extends along a first direction,
In the second mode, the guide is inserted into the inner space along the first direction, and the auxiliary guide is inserted into the inner hole of the guide along a second direction perpendicular to the first direction. Vessel. 제 10 항에 있어서,
상기 제2 모드 시에, 상기 가이드는 제1 방향을 따라 상기 내부 공간에 삽입되고, 상기 보조 가이드는 상기 제1 방향을 따라 상기 가이드의 상기 내부 홀에 삽입되고,
상기 수납기 및 상기 가이드 각각은 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향을 따라 연장되는 기판 운송 용기. 11. The method of claim 10,
In the second mode, the guide is inserted into the inner space along a first direction, and the auxiliary guide is inserted into the inner hole of the guide along the first direction,
Each of the receiver and the guide extends in a second direction perpendicular to the first direction. 제 1 항에 있어서,
상기 수납 홀은 서로 비중첩하며 각각이 제1 방향으로 연장된 제1 수납 홀 및 제2 수납 홀을 포함하고,
상기 수납기는 상기 제1 수납 홀에 배치되며 제1 내부 공간을 정의한 제1 수납기 및 상기 제2 수납 홀에 배치되며 상기 제2 내부 공간을 정의한 제2 수납기를 포함하고,
상기 가이드는 상기 제1 내부 공간에 삽입되는 제1 가이드 및 상기 제2 내부 공간에 삽입되는 제2 가이드를 포함하는 기판 운송 용기. The method of claim 1,
The accommodating hole includes a first accommodating hole and a second accommodating hole that do not overlap each other and each extend in a first direction,
The receiver includes a first receiver disposed in the first accommodating hole and defining a first internal space and a second receiver disposed in the second accommodating hole and defining the second internal space,
The guide is a substrate transport container including a first guide inserted into the first inner space and a second guide inserted into the second inner space. 제 14 항에 있어서,
상기 제1 모드에서, 상기 지지면 상에 중첩한 상기 제1 방향에서의 상기 제1 가이드의 길이는 상기 제2 가이드의 길이 보다 긴 것을 특징으로 하는 기판 운송 용기. 15. The method of claim 14,
In the first mode, a length of the first guide in the first direction superimposed on the support surface is longer than a length of the second guide. 제 14 항에 있어서,
상기 제1 방향과 수직한 제2 방향에서 상기 제1 가이드 및 상기 제2 가이드는 서로 이격되는 기판 운송 용기.15. The method of claim 14,
In a second direction perpendicular to the first direction, the first guide and the second guide are spaced apart from each other. 제 1 항에 있어서,
상기 기판은 제1 측면, 제2 측면, 제3 측면, 및 제4 측면을 포함하고,
상기 가이드는,
제1 방향으로 연장된 상기 제1 측면 및 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 연장된 상기 제2 측면에 의해 정의된 상기 기판의 제1 모서리에 인접한 제1 가이드;
상기 제2 측면 및 상기 제2 방향에서 상기 제1 측면과 마주한 상기 제3 측면에 의해 정의된 상기 기판의 제2 모서리에 인접한 제2 가이드;
상기 제3 측면 및 상기 제1 방향에서 상기 제2 측면과 마주한 상기 제4 측면에 의해 정의된 상기 기판의 제3 모서리에 인접한 제3 가이드; 및
상기 제4 측면 및 상기 제1 측면에 의해 정의된 상기 기판의 제4 모서리에 인접한 제4 가이드를 포함하는 기판 운송 용기. The method of claim 1,
The substrate includes a first side, a second side, a third side, and a fourth side,
The guide is
a first guide adjacent a first edge of the substrate defined by the first side surface extending in a first direction and the second side surface extending in a second direction perpendicular to the first direction;
a second guide adjacent a second edge of the substrate defined by the second side and the third side facing the first side in the second direction;
a third guide adjacent a third edge of the substrate defined by the third side and the fourth side facing the second side in the first direction; and
and a fourth guide adjacent a fourth edge of the substrate defined by the fourth side and the first side. 제 17 항에 있어서,
상기 측벽에 정의된 상기 수납 홀은 제1 내지 제4 수납 홀들을 포함하고,
상기 수납기는 상기 제1 내지 제4 수납 홀들에 각각 배치되며, 제1 내지 제4 내부 공간들을 각각 정의하는 제1 내지 제4 수납기들을 포함하고,
상기 제2 모드에서, 상기 제1 내지 제4 가이드들은 상기 제1 내지 제4 내부 공간들에 각각 삽입된 형상을 갖는 기판 운송 용기.18. The method of claim 17,
The accommodating hole defined in the sidewall includes first to fourth accommodating holes,
The receiver is disposed in the first to fourth receiving holes, respectively, and includes first to fourth receivers defining first to fourth internal spaces, respectively,
In the second mode, the first to fourth guides have a shape inserted into the first to fourth internal spaces, respectively. 제 1 항에 있어서,
상기 측벽은 제1 방향에서 서로 마주한 제1 측벽 및 제2 측벽과, 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향에서 서로 마주한 제3 측벽 및 제4 측벽을 포함하고,
상기 제1 내지 제4 측벽들 각각은 상기 수납기가 배치되기 위한 적어도 하나의 상기 수납 홀을 정의하는 기판 운송 용기.The method of claim 1,
The sidewall includes a first sidewall and a second sidewall facing each other in a first direction, and a third sidewall and a fourth sidewall facing each other in a second direction perpendicular to the first direction,
Each of the first to fourth sidewalls defines at least one of the receiving hole in which the receiver is disposed. 제 1 항에 있어서,
상기 측벽은 제1 방향에서 서로 마주한 제1 측벽 및 제2 측벽과, 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향에서 서로 마주한 제3 측벽 및 제4 측벽을 포함하고,
상기 제1 내지 제4 측벽들 중 두 개는 상기 수납기가 배치되기 위한 적어도 하나의 상기 수납 홀을 정의하는 기판 운송 용기.

The method of claim 1,
The sidewall includes a first sidewall and a second sidewall facing each other in a first direction, and a third sidewall and a fourth sidewall facing each other in a second direction perpendicular to the first direction,
two of said first to fourth sidewalls define at least one said receiving hole in which said receiver is disposed.
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