KR20210103863A - Irradiation light source - Google Patents

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KR20210103863A
KR20210103863A KR1020200018563A KR20200018563A KR20210103863A KR 20210103863 A KR20210103863 A KR 20210103863A KR 1020200018563 A KR1020200018563 A KR 1020200018563A KR 20200018563 A KR20200018563 A KR 20200018563A KR 20210103863 A KR20210103863 A KR 20210103863A
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주식회사 라이트전자
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Abstract

In accordance with an embodiment of the present invention, an irradiation device comprises: a housing spaced apart from a to-be-irradiated object extending in a first direction by a first distance to irradiate light, and including an accommodation space; a lighting module disposed in the accommodation space; and a light transmitting member disposed on the lighting module. The lighting module is disposed on a circuit board, and includes a plurality of light source modules including a light emitting device. The light emitting device emits light in a wavelength band of 315 to 410 nm, and the light transmitting member includes a material which can transmit the light emitted from the light source modules. The first distance is from 40 to 120 cm, a to-be-irradiated surface with a first area is formed on the to-be-irradiated object, and the first area is larger than the planar area of the irradiation device. The intensity of light irradiating the to-be-irradiated object is from 1 to 100 mW/cm^2, the uniformity of the intensity of the light irradiating the to-be-irradiated surface is 50% or more, and the uniformity of the intensity of the light satisfies equation 1, U = (I1 / I2) * 100. In the equation 1, U is the uniformity (%) of the intensity of light, I1 is a minimum value (mW/cm^2) of the intensity of incident light on the to-be-irradiated surface, and I2 is a maximum value (mw/cm^2) of intensity of incident light on the to-be-irradiated surface. Accordingly, heat dissipation characteristics are improved.

Description

조사 장치{IRRADIATION LIGHT SOURCE}Irradiation Device {IRRADIATION LIGHT SOURCE}

실시예는 조사 장치에 관한 것이다.The embodiment relates to an irradiation device.

반도체 소자는 pn접합 구조를 이용하여 다양한 파장 대역의 광을 방출하는 소자로, GaN, InGaN, AlGaN, GaAs, AlGaInP 등의 화합물을 포함할 수 있다. 특히, 상기 화합물을 포함하는 반도체 소자는 밴드갭 에너지를 쉽게 조정할 수 있어, 발광소자, 수광소자 등 다양한 분야에 사용되고 있다.A semiconductor device is a device that emits light of various wavelength bands using a pn junction structure, and may include a compound such as GaN, InGaN, AlGaN, GaAs, and AlGaInP. In particular, since the semiconductor device containing the compound can easily adjust the band gap energy, it is used in various fields such as a light emitting device and a light receiving device.

발광소자는 적색, 청색, 황색 등 다양한 가시광 대역의 광 및 자외선 대역의 광 등 다양한 파장 대역의 광을 구현할 수 있고, 형광 물질을 이용하거나 방출되는 광의 색을 조합하여 백색광도 구현할 수 있다. 상기 발광소자는 응답속도가 빠르고 친환경적이며, 발광 효율이 우수하여 차세대 광 에너지원으로 주목 받고 있다.The light emitting device may implement light of various wavelength bands, such as light of various visible light bands such as red, blue, and yellow, and light of ultraviolet band, and may also implement white light by using a fluorescent material or combining the colors of emitted light. The light emitting device is receiving attention as a next-generation light energy source because of its fast response speed, eco-friendliness, and excellent luminous efficiency.

특히, 최근에는 결정 성장 기술이 발전하면서 자외선 파장의 광을 방출하는 발광소자에 대한 연구가 지속되고 있다. 일례로, 자외선 발광소자는 크게 315nm에서 410nm 대역의 자외선 광을 방출하는 UV-A, 280nm에서 315nm 대역의 자외선 광을 방출하는 UV-B 및 200nm에서 315nm 대역의 자외선 광을 방출하는 UV-C로 구분될 수 있다. UV-A 발광소자는 3eV에서 4eV 정도의 자외선 광자의 높은 에너지를 이용하는 표면처리, 경화, 몰딩, 건조, 인쇄, 표면 검사 등 다양한 분야에 이용되고 있다. 또한, UV-B 발광소자는 피부 등의 의료용으로 사용되고 있고, UV-C 발광소자는 유전공학, 바이오, 농업, 임업, 수산업 분야에 응용은 물론, 살균 및 보건, 의료 분야 등에 이용되어 폭 넓은 활용이 기대되고 있다.In particular, with the development of crystal growth technology in recent years, research on a light emitting device emitting light of an ultraviolet wavelength continues. For example, the UV light emitting device is largely divided into UV-A emitting UV light in the 315 nm to 410 nm band, UV-B emitting UV light in the 280 nm to 315 nm band, and UV-C emitting UV light in the 200 nm to 315 nm band. can be distinguished. UV-A light emitting devices are being used in various fields such as surface treatment, curing, molding, drying, printing, and surface inspection using high energy of ultraviolet photons of about 3 eV to 4 eV. In addition, UV-B light-emitting devices are used for medical purposes such as skin, and UV-C light-emitting devices are widely used in genetic engineering, bio, agriculture, forestry, and fishery fields, as well as sterilization, health, and medical fields. This is expected

그러나, 상기 자외선 발광소자를 포함하는 조사 장치는 소자의 지향각 등의 문제로 피조사면에 균일한 세기의 자외선 광을 조사하기 어려운 문제점이 있다. 이에 따라, 피조사면의 영역에 따라 인가되는 광의 세기의 균일도가 저하되고 세기에 대한 편차가 크게 발생하는 문제가 있다. However, the irradiation apparatus including the ultraviolet light emitting device has a problem in that it is difficult to irradiate the ultraviolet light with uniform intensity to the surface to be irradiated due to problems such as the orientation angle of the element. Accordingly, there is a problem in that the uniformity of the intensity of the light applied according to the area of the irradiated surface is lowered and the deviation of the intensity is greatly generated.

또한, 상기 발광소자를 포함하는 조사 장치는 많은 양의 열이 발생되기에 별도의 방열 부재가 요구되어 장치의 부피 및 무게가 증가하는 문제점이 있다. In addition, since the irradiation device including the light emitting device generates a large amount of heat, a separate heat dissipation member is required, thereby increasing the volume and weight of the device.

따라서, 상기와 같은 문제점을 해결할 수 있는 새로운 조사 장치가 요구된다.Therefore, a new irradiation apparatus capable of solving the above problems is required.

실시예는 조사 대상에 균일한 세기의 광을 조사할 수 있는 조사 장치를 제공하고자 한다.The embodiment is intended to provide an irradiating device capable of irradiating light of a uniform intensity to an irradiated object.

또한, 실시예는 조사 대상에 균일한 세기의 광이 연속적으로 제공되는 피조사면을 형성할 수 있는 조사 장치를 제공하고자 한다.In addition, the embodiment intends to provide an irradiation apparatus capable of forming an irradiated surface in which light of a uniform intensity is continuously provided to an irradiated object.

또한, 실시예는 향상된 방열 특성을 가지는 조사 장치를 제공하고자 한다.In addition, the embodiment is to provide an irradiation device having improved heat dissipation characteristics.

또한, 실시예는 부피가 작고 가벼운 조사 장치를 제공하고자 한다.In addition, the embodiment is intended to provide a light irradiation device having a small volume.

또한, 실시예는 조립 및 교체가 용이한 조사 장치를 제공하고자 한다.In addition, the embodiment is intended to provide an irradiation device that is easy to assemble and replace.

실시예에 따른 조사 장치는 제 1 방향으로 연장하는 조사 대상과 제 1 거리만큼 이격되어 광을 조사하고, 수용 공간을 포함하는 하우징, 상기 수용 공간 내에 배치되는 조명 모듈 및 상기 조명 모듈 상에 배치되는 투광 부재를 포함하고, 상기 조명 모듈은 회로기판 상에 배치되며 발광소자를 포함하는 복수의 광원 모듈을 포함하고, 상기 발광소자는 315nm에서 410nm 파장 대역의 광을 방출하고, 상기 투광 부재는 상기 광원 모듈에서 방출된 광을 투과할 수 있는 재질을 포함하고, 상기 제 1 거리는 40cm에서 120cm이고, 상기 조사 대상 상에는 제 1 면적의 피조사면이 형성되고, 상기 제 1 면적은 상기 조사 장치의 평면적보다 크고, 상기 피조사면에 조사되는 광의 세기는 1mW/cm2에서 100mW/cm2이고, 상기 피조사면에 조사되는 광의 세기의 균일도는 50% 이상이고, 상기 광의 세기의 균일도는 하기 수학식 1을 만족한다.The irradiation device according to the embodiment is spaced apart from the irradiation target extending in the first direction by a first distance, irradiating light, a housing including an accommodation space, a lighting module disposed in the accommodation space, and a lighting module disposed on the lighting module a light-transmitting member, wherein the lighting module is disposed on a circuit board and includes a plurality of light source modules including a light-emitting device, wherein the light-emitting device emits light in a wavelength band of 315 nm to 410 nm, and the light-transmitting member is the light source a material capable of transmitting light emitted from the module, the first distance is from 40 cm to 120 cm, and an irradiated surface of a first area is formed on the irradiated object, and the first area is larger than the planar area of the irradiating device , The intensity of the light irradiated to the irradiated surface is 1mW/cm 2 to 100mW/cm 2 The uniformity of the intensity of the light irradiated to the irradiated surface is 50% or more, and the uniformity of the light intensity satisfies the following Equation 1 .

[수학식 1] [Equation 1]

U = (I1/I2)*100U = (I1/I2)*100

(U: 광의 세기의 균일도(%), I1: 피조사면에 입사되는 광의 세기의 최소값(mW/cm2), I2: 피조사면에 입사되는 광의 세기의 최대값(mw/cm2))(U: uniformity of light intensity (%), I1: minimum value of light intensity incident on the irradiated surface (mW/cm 2 ), I2: maximum value of light intensity incident on the irradiated surface (mw/cm 2 ))

실시예에 따른 조사 장치는 조사 대상의 설정된 크기의 피조사면에 균일한 세기의 광을 조사할 수 있다. 자세하게, 상기 조사 장치는 설정된 간격으로 이격된 복수의 발광소자를 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 조사 장치는 상기 피조사면의 중심, 주변 및 가장자리 영역에 편차를 최소화한 균일한 세기의 광을 제공할 수 있따.The irradiation apparatus according to the embodiment may irradiate light of a uniform intensity to the irradiated surface of a set size of the irradiation target. In detail, the irradiation device may include a plurality of light emitting elements spaced apart at a set interval. Accordingly, the irradiating device can provide light of a uniform intensity with minimal deviation to the center, periphery, and edge regions of the irradiated surface.

또한, 실시예에 따른 조사 장치는 상기 조사 대상의 연장 방향과 대응되는 방향으로 이격된 복수의 조사 장치를 포함할 수 있다. 이때, 상기 복수의 조사 장치는 설정된 간격으로 이격되어 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 복수의 조사 장치는 상기 조사 대상 상에 균일한 세기의 광이 제공되는 연속된 피조사면을 형성할 수 있다. 따라서, 상기 조사 장치는 다양한 길이를 가지는 조사 대상에 균일한 세기의 광을 제공할 수 있다.In addition, the irradiation apparatus according to the embodiment may include a plurality of irradiation apparatus spaced apart in a direction corresponding to the extending direction of the irradiation target. In this case, the plurality of irradiation devices may be disposed to be spaced apart from each other at a set interval. Accordingly, the plurality of irradiating devices may form a continuous irradiated surface on which light of a uniform intensity is provided on the irradiated object. Accordingly, the irradiation apparatus may provide light of a uniform intensity to an irradiation target having various lengths.

또한, 실시예에 따른 조사 장치는 향상된 방열 특성을 가질 수 있다. 자세하게, 상기 조명 모듈은 하우징과 접하며 배치될 수 있고 상기 하우징은 상기 조명 모듈에서 방출된 열을 배출할 수 있는 경로를 제공할 수 있다. 이에 따라, 실시예에 따른 조사 장치는 상기 조명 모듈에서 발생한 열을 방출하기 위한 별도의 방열 부재를 생략할 수 있으며, 이로 인해 보다 작은 부피, 가벼운 무게를 가질 수 있다.In addition, the irradiation apparatus according to the embodiment may have improved heat dissipation characteristics. In detail, the lighting module may be disposed in contact with the housing, and the housing may provide a path for discharging heat emitted from the lighting module. Accordingly, the irradiation device according to the embodiment may omit a separate heat dissipation member for dissipating the heat generated by the lighting module, thereby having a smaller volume and light weight.

또한, 실시예에 따른 조사 장치의 조명 모듈은 서로 대응되는 형상을 가질 수 있다. 자세하게, 상기 조명 모듈의 발광소자는 복수의 회로기판 상에 배치될 수 있고, 서로 대응되는 형상을 가질 수 있다. 이에 따라, 일부 발광소자 또는 회로기판이 수명이 다하거나 파손되어 교체가 필요할 경우, 부분적으로 교체할 수 있다. 따라서, 상기 조사 장치는 조립 및 교체가 용이하여 향상된 효율을 가질 수 있다.In addition, the illumination module of the irradiation apparatus according to the embodiment may have a shape corresponding to each other. In detail, the light emitting device of the lighting module may be disposed on a plurality of circuit boards, and may have shapes corresponding to each other. Accordingly, when some light emitting devices or circuit boards have expired or are damaged and need to be replaced, they can be partially replaced. Therefore, the irradiation device can have improved efficiency because it is easy to assemble and replace.

도 1은 실시예에 따른 조사 장치가 조사 대상에 광을 조사하는 것에 대한 개략도이다.
도 2는 실시예에 따른 조사 장치의 분해 사시도이다.
도 3은 실시예에 따른 조사 장치의 상면도이다.
도 4는 실시예에 따른 조사 장치에서 커버 부재가 제외된 상면도이다.
도 5는 도 4의 A1 영역을 확대한 확대도이다.
도 6은 도 4의 A2 영역을 확대한 확대도이다.
도 7은 도 4의 A3 영역을 확대한 확대도이다.
도 8 및 도 9는 실시예에 따른 조사 장치의 조사 밀도 분포에 대한 도면이다.
도 10 및 도 11은 실시예에 따른 조사 장치에서 커버 부재가 제외된 다른 상면도이다.
도 12는 실시예에 따른 조사 장치가 복수 개가 배치되어 조사 대상에 광을 조사하는 것에 대한 개략도이다.
도 13은 복수의 조사 장치의 조사 밀도 분포에 대한 도면이다.
1 is a schematic diagram of an irradiation apparatus according to an embodiment irradiating light to an irradiation target.
2 is an exploded perspective view of the irradiation apparatus according to the embodiment.
3 is a top view of the irradiation apparatus according to the embodiment.
4 is a top view in which the cover member is excluded from the irradiation apparatus according to the embodiment.
FIG. 5 is an enlarged view of an area A1 of FIG. 4 .
6 is an enlarged view of an area A2 of FIG. 4 .
7 is an enlarged view of an area A3 of FIG. 4 .
8 and 9 are diagrams of the irradiation density distribution of the irradiation apparatus according to the embodiment.
10 and 11 are other top views in which the cover member is excluded from the irradiation apparatus according to the embodiment.
12 is a schematic diagram of a plurality of irradiation devices according to the embodiment to irradiate light to an irradiation target.
It is a figure about the irradiation density distribution of several irradiation apparatus.

실시예들의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on)"에 또는 "하/아래(under)"에 형성된다는 기재는, 직접(directly) 또는 다른 층을 개재하여 형성되는 것을 모두 포함한다. 각 층의 상/위 또는 하/아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.In the description of the embodiments, each layer (film), region, pattern or structures is placed “on” or “under” the substrate, each layer (film), region, pad or patterns. The description of "formed on" includes both those formed directly or through another layer. The standards for the upper/above or lower/lower layers of each layer will be described with reference to the drawings.

또한, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다. In addition, when a certain part is said to be "connected" with another part, it includes not only the case where it is "directly connected" but also the case where it is "indirectly connected" with another member interposed therebetween. In addition, when a part "includes" a certain component, this means that other components may be further provided without excluding other components unless otherwise stated.

또한, 실시예에 대한 설명에서 제 1 방향은 도면에 도시된 x축 방향일 수 있고, 제 2 방향은 도면에 도시된 y축 방향으로 상기 x축 방향과 직교하는 방향일 수 있다. 또한, 제 3 방향은 도면에 도시된 z축 방향으로, 상기 x축 및 y축과 직교하는 방향일 수 있다.In addition, in the description of the embodiment, the first direction may be the x-axis direction shown in the drawings, and the second direction may be the y-axis direction shown in the drawings and a direction orthogonal to the x-axis direction. Also, the third direction is a z-axis direction shown in the drawing, and may be a direction orthogonal to the x-axis and the y-axis.

도 1은 실시예에 따른 조사 장치가 조사 대상에 광을 조사하는 것에 대한 개략도이다.1 is a schematic diagram of an irradiation apparatus according to an embodiment irradiating light to an irradiation target.

실시예에 따른 조사 장치(1000)는 제 1 방향(x축 방향) 및 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향(y축 방향)으로 연장될 수 있다. 상기 조사 장치(1000)의 제 1 방향 길이(w1)와 상기 제 2 방향 길이(w2)는 서로 다르거나 같을 수 있다. 자세하게, 상기 조사 장치(1000)의 제 1 방향 길이(w1)는 제 2 방향 길이(w2)보다 길 수 있다. 예를 들어, 상기 조사 장치(1000)의 제 1 방향 길이(w1)는 제 2 방향 길이(w2)의 약 2배 내지 약 4배일 수 있다. 자세하게, 상기 조사 장치(1000)의 제 1 방향 길이(w1)는 제 2 방향 길이(w2)의 약 2.5배 내지 약 3.5배일 수 있다. 일례로, 상기 조사 장치(1000)의 제 1 방향 길이(w1)는 약 60cm에서 약 120cm일 수 있고, 제 2 방향 길이(w2)는 약 17cm에서 약 48cm일 수 있다. 자세하게, 상기 조사 장치(1000)의 제 1 방향 길이(w1)는 약 80cm에서 약 100cm일 수 있고, 제 2 방향 길이(w2)는 약 20cm에서 약 40cm일 수 있다.The irradiation apparatus 1000 according to the embodiment may extend in a first direction (x-axis direction) and a second direction (y-axis direction) orthogonal to the first direction. The first direction length w1 and the second direction length w2 of the irradiation apparatus 1000 may be different from or the same as each other. In detail, the length w1 in the first direction of the irradiation apparatus 1000 may be longer than the length w2 in the second direction. For example, the length w1 in the first direction of the irradiation apparatus 1000 may be about 2 times to about 4 times the length w2 in the second direction. In detail, the length w1 in the first direction of the irradiation apparatus 1000 may be about 2.5 times to about 3.5 times the length w2 in the second direction. For example, the first direction length w1 of the irradiation device 1000 may be about 60 cm to about 120 cm, and the second direction length w2 may be about 17 cm to about 48 cm. In detail, the first direction length w1 of the irradiation apparatus 1000 may be about 80 cm to about 100 cm, and the second direction length w2 may be about 20 cm to about 40 cm.

상기 조사 장치(1000)는 조사 대상(800)과 제 3 방향(z축 방향)으로 이격되고 상기 조사 대상(800)에 광을 조사할 수 있다. 예를 들어, 상기 조사 대상(800)은 제 1 방향으로 연장되는 형태를 가질 수 있고, 상기 조사 대상(800)은 장축이 상기 제 1 방향과 평행하게 배치되어 상기 조사 대상(800)에 광을 조사할 수 있다. 이에 따라, 상기 조사 대상(800) 상에는 상기 조사 장치(1000)의 광이 입사되는 피조사면(850)이 형성될 수 있다. The irradiation apparatus 1000 may be spaced apart from the irradiation subject 800 in a third direction (z-axis direction) and may irradiate light to the irradiation subject 800 . For example, the irradiation object 800 may have a shape extending in a first direction, and the irradiation object 800 has a long axis parallel to the first direction to emit light to the irradiation object 800 . can be investigated Accordingly, the irradiated surface 850 on which the light of the irradiating apparatus 1000 is incident may be formed on the irradiated target 800 .

상기 조사 장치(1000)는 상기 조사 대상(800)과 제 1 거리(wd)만큼 이격될 수 있다. 상기 제 1 거리(wd)는 상기 조사 장치(1000)의 제 2 방향 길이(w2)의 약 0.6배 내지 약 8배일 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 거리(wd)가 상기 제 2 방향 길이(w2)의 약 0.6배 미만인 경우, 상기 피조사면(850)의 면적이 지나치게 작을 수 있고, 상기 피조사면(850)에 조사되는 광의 세기의 균일도(Uniformity)가 현저히 낮을 수 있다. 또한, 상기 제 1 거리(wd)가 상기 제 2 방향 길이(w2)의 약 8배를 초과할 경우, 상기 피조사면(850)에 조사되는 광의 세기 및 광의 세기의 균일도가 저하될 수 있다. 일례로, 상기 조사 장치(1000)가 상술한 범위의 제 1 및 제 2 방향 길이(w1, w2)를 각각 가질 경우, 상기 제 1 거리(wd)는 약 40cm에서 약 120cm일 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 거리(wd)는 약 50cm에서 약 110cm일 수 있다. 이에 따라, 상기 조사 장치(1000)는 설정된 면적의 피조사면(850)에 설정된 세기의 광을 균일하게 조사할 수 있다.The irradiation apparatus 1000 may be spaced apart from the irradiation target 800 by a first distance wd. The first distance wd may be about 0.6 times to about 8 times the second direction length w2 of the irradiation apparatus 1000 . In detail, when the first distance wd is less than about 0.6 times the length w2 in the second direction, the area of the irradiated surface 850 may be too small, and the intensity of light irradiated to the irradiated surface 850 . may have significantly lower uniformity. Also, when the first distance wd exceeds about 8 times the length w2 in the second direction, the intensity of light irradiated to the irradiated surface 850 and the uniformity of light intensity may be reduced. For example, when the irradiation apparatus 1000 has the first and second direction lengths w1 and w2 in the above-described ranges, the first distance wd may be about 40 cm to about 120 cm. In detail, the first distance wd may be about 50 cm to about 110 cm. Accordingly, the irradiating apparatus 1000 may uniformly irradiate light having a set intensity on the irradiated surface 850 of a set area.

상기 조사 대상(800)에서 상기 조사 장치(1000)의 광이 입사되는 피조사면(850)은 제 1 및 제 2 방향 길이(w3, w4)를 각각 가질 수 있다. 이때, 상기 피조사면(850)의 제 1 방향 길이(w3)는 상기 조사 장치(1000)의 제 1 방향 길이(w1)보다 길 수 있다. 또한, 상기 피조사면(850)의 제 2 방향 길이(w4)는 상기 조사 장치(1000)의 제 2 방향 길이(w2)보다 길 수 있다. 일례로, 상기 피조사면(850)의 제 1 방향 길이(w3)는 약 80cm에서 약 200cm일 수 있고, 상기 제 2 방향 길이(w4)는 약 30cm에서 약 75cm일 수 있다.The irradiated surface 850 on which the light of the irradiating apparatus 1000 is incident on the irradiated object 800 may have first and second direction lengths w3 and w4, respectively. In this case, the first direction length w3 of the irradiated surface 850 may be longer than the first direction length w1 of the irradiation apparatus 1000 . In addition, the second direction length w4 of the irradiated surface 850 may be longer than the second direction length w2 of the irradiation apparatus 1000 . For example, the first direction length w3 of the irradiated surface 850 may be about 80 cm to about 200 cm, and the second direction length w4 may be about 30 cm to about 75 cm.

상기 피조사면(850)의 면적(w3 * w4)은 상기 조사 장치(1000)의 평면적(w1 * w2)보다 클 수 있다. 예를 들어, 상기 피조사면(850)의 면적은 상기 조사 장치(1000)의 평면적의 약 1.1배 내지 약 3배일 수 있다. 자세하게, 상기 피조사면(850)의 면적은 상기 조사 장치(1000)의 평면적의 약 1.2배 내지 약 2.5배일 수 있다. 상기 피조사면(850)의 면적이 상술한 범위를 만족하지 못하고 상기 조사 장치(1000)의 평면적보다 좁을 경우, 상기 조사 장치(1000)의 효율이 저하될 수 있다. 예를 들어, 상기 조사 대상(800)에 광을 조사하여 설정된 피조사면을 형성할 경우, 보다 많은 수의 조사 장치(1000)가 요구될 수 있다. 따라서, 피조사면(850)의 면적은 상기 조사 장치(1000)의 평면적보다 넓은 것이 바람직하다. 일례로, 상기 피조사면(850)의 면적(w3 * w4)은 약 4000cm2에서 약 6000cm2일 수 있다.An area (w3 * w4) of the irradiated surface 850 may be larger than a planar area (w1 * w2) of the irradiation apparatus 1000 . For example, the area of the irradiated surface 850 may be about 1.1 times to about 3 times the plan area of the irradiation apparatus 1000 . In detail, the area of the irradiated surface 850 may be about 1.2 times to about 2.5 times the plan area of the irradiation apparatus 1000 . When the area of the irradiated surface 850 does not satisfy the above-described range and is narrower than the planar area of the irradiating apparatus 1000 , the efficiency of the irradiating apparatus 1000 may be reduced. For example, when the irradiation target 800 is irradiated with light to form a set surface to be irradiated, a larger number of irradiation apparatuses 1000 may be required. Therefore, the area of the irradiated surface 850 is preferably larger than the planar area of the irradiating apparatus 1000 . For example, the area (w3 * w4) of the surface 850 to be irradiated may be about 4000 cm 2 to about 6000 cm 2 .

즉, 실시예에 따른 조사 장치(1000)는 설정된 제 1 및 제 2 방향 길이(w1, w2)를 가질 수 있다. 이때, 상기 조사 장치(1000)는 장축이 상기 조사 대상(800)의 연장 방향(제 1 방향)과 대응되도록 배치될 수 있다. 또한, 상기 조사 장치(1000)는 상기 조사 대상(800)과 설정된 제 1 이격 거리(wd)만큼 이격될 수 있다. 이에 따라, 상기 조사 장치(1000)는 상기 조사 대상(800)에 상기 조사 장치(1000)의 평면적보다 넓은 면적의 피조사면(850)을 형성할 수 있고, 상기 피조사면(850)에 설정된 세기의 광을 균일하게 조사할 수 있다. That is, the irradiation apparatus 1000 according to the embodiment may have set first and second direction lengths w1 and w2. In this case, the irradiation apparatus 1000 may be arranged such that the long axis corresponds to the extension direction (first direction) of the irradiation object 800 . Also, the irradiation apparatus 1000 may be spaced apart from the irradiation target 800 by a set first separation distance wd. Accordingly, the irradiation apparatus 1000 may form the irradiated surface 850 having a larger area than the planar area of the irradiating apparatus 1000 on the irradiated target 800, and the intensity set on the irradiated surface 850 may be Light can be irradiated uniformly.

도 3은 실시예에 따른 조사 장치의 상면도이고, 도 4는 실시예에 따른 조사 장치에서 투광 부재가 제외된 상면도이다. 또한, 도 4는 실시예에 따른 조사 장치에서 커버 부재가 제외된 상면도이다. 도 2 내지 도 4를 참조하여 실시예에 따른 조사 장치(1000)를 보다 상세히 설명한다. 3 is a top view of the irradiation apparatus according to the embodiment, and FIG. 4 is a top view in which the light-transmitting member is excluded from the irradiation apparatus according to the embodiment. 4 is a top view in which the cover member is excluded from the irradiation apparatus according to the embodiment. The irradiation apparatus 1000 according to the embodiment will be described in more detail with reference to FIGS. 2 to 4 .

도 2 내지 도 4를 참조하면, 실시예에 따른 조사 장치(1000)는 하우징(100), 조명 모듈(50), 커버 부재(500) 및 투광 부재(510)를 포함할 수 있다.2 to 4 , the irradiation apparatus 1000 according to the embodiment may include a housing 100 , a lighting module 50 , a cover member 500 , and a light transmitting member 510 .

상기 하우징(100)은 상부가 오픈되고, 내부에 수용 공간(105)을 포함할 수 있다. 상기 하우징(100)은 상기 조명 모듈(50)을 수용할 수 있다. The housing 100 has an open upper portion and may include an accommodating space 105 therein. The housing 100 may accommodate the lighting module 50 .

상기 하우징(100)은 제 1 및 제 2 방향 길이를 가질 수 있다. 자세하게, 상기 하우징(100)은 상기 조사 장치(1000)의 제 1 방향 길이(w1) 및 제 2 방향 길이(w2)를 가질 수 있다.The housing 100 may have lengths in first and second directions. In detail, the housing 100 may have a first direction length w1 and a second direction length w2 of the irradiation apparatus 1000 .

상기 하우징(100)은 복수의 외측면을 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 하우징(100)은 제 1 방향으로 연장하는 제 1 외측면(OS1) 및 제 2 외측면(OS2)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 외측면(OS1)및 상기 제 2 외측면(OS2)은 제 2 방향으로 마주하며 제 2 방향으로 서로 이격될 수 있다. 또한, 상기 하우징(100)은 상기 제 1 및 제 2 외측면(OS1, OS2) 사이를 연결하는 제 3 외측면(OS3) 및 제 4 외측면(OS4)을 포함할 수 있다. 상기 제 3 외측면(OS3) 및 상기 제 4 외측면(OS4)은 제 2 방향으로 연장할 수 있다. 상기 제 3 외측면(OS3) 및 상기 제 4 외측면(OS4)은 제 1 방향으로 마주하며 제 1 방향으로 서로 이격될 수 있다.The housing 100 may include a plurality of outer surfaces. In detail, the housing 100 may include a first outer surface OS1 and a second outer surface OS2 extending in the first direction. The first outer surface OS1 and the second outer surface OS2 may face each other in the second direction and may be spaced apart from each other in the second direction. In addition, the housing 100 may include a third outer surface OS3 and a fourth outer surface OS4 that connect between the first and second outer surfaces OS1 and OS2 . The third outer surface OS3 and the fourth outer surface OS4 may extend in a second direction. The third outer surface OS3 and the fourth outer surface OS4 may face each other in a first direction and may be spaced apart from each other in the first direction.

상기 하우징(100)은 외부로부터 신뢰성을 가지는 재질을 포함할 수 있다. 또한, 상기 하우징(100)은 상기 조명 모듈(50)에서 방출되는 자외선 광에 파손되거나 변형되지 않는 재질을 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 하우징(100)은 수지, 세라믹 중 적어도 하나의 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 하우징(100)은 플라스틱, 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌(PE), 폴리카보네이트(PC), PBT(Polybutylene Terephthalate), ABS(Acrylonitrile Butadiene Styrene copolymer), POM(Poly Oxy Methylene, Polyacetal), PPO(Polyphenylene Oxide) 수지 및 변성 PPO (Modified PPO) 수지 중 적어도 하나의 수지 재질을 포함할 수 있다. The housing 100 may include a material having reliability from the outside. In addition, the housing 100 may include a material that is not damaged or deformed by the ultraviolet light emitted from the lighting module 50 . In detail, the housing 100 may include at least one of a resin and a ceramic material. For example, the housing 100 may include plastic, polypropylene (PP), polyethylene (PE), polycarbonate (PC), PBT (Polybutylene Terephthalate), ABS (Acrylonitrile Butadiene Styrene copolymer), POM (Poly Oxy Methylene, Polyacetal). ), a polyphenylene oxide (PPO) resin, and a modified PPO (Modified PPO) resin may include at least one resin material.

또한, 상기 하우징(100)은 금속 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 하우징(100)은 은(Ag), 구리(Cu), 금(Au), 백금(Pt), 티타늄(Ti), 마그네슘(Mg), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 주석(Sn), 알루미늄(Al), 스테인리스(Stainless) 및 이를 포함하는 합금 중 적어도 하나의 금속 재질을 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 하우징(100)은 향상된 신뢰성을 가짐과 동시에 높은 열전도성을 가질 수 있어, 상기 조명 모듈(50)에서 방출된 열의 방열 경로를 제공할 수 있다. 이에 따라, 상기 조사 장치(1000)는 상기 조명 모듈(50)에서 방출된 열을 효과적으로 배출할 수 있어 별도의 냉각팬(fan), 히트싱크(heatsink) 등의 방열 부재를 생략할 수 있다.In addition, the housing 100 may include a metal material. For example, the housing 100 may include silver (Ag), copper (Cu), gold (Au), platinum (Pt), titanium (Ti), magnesium (Mg), chromium (Cr), molybdenum (Mo), nickel. It may include at least one metal material of (Ni), tin (Sn), aluminum (Al), stainless steel (Stainless), and an alloy including the same. In this case, the housing 100 may have improved reliability and high thermal conductivity, thereby providing a heat dissipation path for the heat emitted from the lighting module 50 . Accordingly, the irradiation apparatus 1000 can effectively discharge the heat emitted from the lighting module 50 , so that a heat dissipation member such as a separate cooling fan and a heatsink can be omitted.

상기 조명 모듈(50)은 상기 수용 공간(105) 내에 배치될 수 있다. 상기 조명 모듈(50)은 상기 수용 공간(105)에 의해 노출된 상기 하우징(100)의 하면(110) 상에 배치될 수 있다. 상기 조명 모듈(50)은 상기 하면(110)과 직접 접촉할 수 있다. 상기 조명 모듈(50)은 오픈된 상기 하우징(100)의 상부 방향으로 광을 방출할 수 있다. 상기 조명 모듈(50)은 상기 피조사면(850)에 광을 조사할 수 있다. 상기 조명 모듈(50)은 상기 피조사면(850)에 약 1mW/cm2에서 100mW/cm2 -의 세기를 가지는 광을 조사할 수 있다. The lighting module 50 may be disposed in the accommodation space 105 . The lighting module 50 may be disposed on the lower surface 110 of the housing 100 exposed by the accommodation space 105 . The lighting module 50 may be in direct contact with the lower surface 110 . The lighting module 50 may emit light in an upper direction of the opened housing 100 . The illumination module 50 may irradiate light to the irradiated surface 850 . The illumination module 50 may irradiate light having an intensity of about 1 mW/cm 2 to 100 mW/cm 2 − on the irradiated surface 850 .

상기 조명 모듈(50)은 회로기판(200) 및 상기 회로기판(200) 상에 배치되며 발광소자를 포함하는 복수의 광원 모듈(310, 320)을 포함할 수 있다.The lighting module 50 may include a circuit board 200 and a plurality of light source modules 310 and 320 disposed on the circuit board 200 and including a light emitting device.

상기 회로기판(200)은 상기 광원 모듈(310, 320)의 발광소자에 전원을 공급하기 위한 배선층을 포함할 수 있고, 복수의 수지층으로 형성된 인쇄회로기판(PCB, Printed Circuit Board)일 수 있다. 일례로, 상기 회로기판(200)은 리지드 PCB(rigid PCB), 메탈 코어 PCB(MCPCB, Metal Core PCB), 연성 PCB(FPCB, Flexible PCB) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 또한, 상기 회로기판(200)은 글래스(glass), 수지, 에폭시 등을 포함하는 합성 수지를 포함할 수 있고, 열전도성이 우수한 세라믹(ceramic), 표면이 절연된 금속을 포함할 수 있다. 상기 회로기판(200)은 플레이트, 리드 프레임과 같은 형태를 가질 수 있으며 이에 대해 제한하지는 않는다.The circuit board 200 may include a wiring layer for supplying power to the light emitting devices of the light source modules 310 and 320, and may be a printed circuit board (PCB) formed of a plurality of resin layers. . For example, the circuit board 200 may include at least one of a rigid PCB (rigid PCB), a metal core PCB (MCPCB, Metal Core PCB), and a flexible PCB (FPCB, Flexible PCB). In addition, the circuit board 200 may include a synthetic resin including glass, resin, epoxy, and the like, and may include a ceramic having excellent thermal conductivity and a metal having an insulated surface. The circuit board 200 may have a shape such as a plate or a lead frame, but is not limited thereto.

상기 회로기판(200)은 상기 회로기판(200) 내에 형성되는 복수의 비아(via)를 포함할 수 있다. 상기 비아(via)는 후술할 광원 모듈(310, 320)의 발광소자가 배치되는 일면과 상기 일면과 반대되는 타면 상에 각각 형성된 전극 패턴을 연결할 수 있다. 일례로, 상기 비아(via) 내에는 도전성 물질이 배치되어 상기 일면 및 타면 상에 각각 형성된 전극 패턴을 전기적으로 연결할 수 있다. 또한, 도면에는 도시하지 않았으나 상기 회로기판(200) 상에는 제너 다이오드, 변압 조절기, 저항 등이 더 배치될 수 있다. The circuit board 200 may include a plurality of vias formed in the circuit board 200 . The vias may connect electrode patterns respectively formed on one surface on which light emitting devices of the light source modules 310 and 320 to be described later are disposed and the other surface opposite to the one surface. For example, a conductive material may be disposed in the via to electrically connect the electrode patterns respectively formed on the one surface and the other surface. In addition, although not shown in the drawings, a Zener diode, a voltage regulator, a resistor, etc. may be further disposed on the circuit board 200 .

상기 회로기판(200) 상에는 절연층(미도시) 또는 보호층(미도시)이 배치될 수 있다. 상기 절연층 또는 보호층은 상기 기판(100)의 일면 및 타면 중 적어도 하나의 면 상에 배치될 수 있다. 또한, 상기 회로기판(200) 상에는 상기 절연층 또는 상기 보호층으로부터 노출된 영역에 배치되는 본딩 패드(미도시)를 포함할 수 있다.An insulating layer (not shown) or a protective layer (not shown) may be disposed on the circuit board 200 . The insulating layer or the protective layer may be disposed on at least one of one surface and the other surface of the substrate 100 . In addition, a bonding pad (not shown) disposed in a region exposed from the insulating layer or the protective layer may be included on the circuit board 200 .

상기 본딩 패드는 전도성 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 본딩 패드는 금속을 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 본딩 패드는 Cu, Ti, Au, Ag, Ni, Cr, Ta, Pt, Sn, P, Fe, Al 및 Zn 중 선택되는 적어도 하나의 금속 또는 합금을 포함할 수 있다.The bonding pad may include a conductive material. For example, the bonding pad may include a metal. In detail, the bonding pad may include at least one metal or alloy selected from Cu, Ti, Au, Ag, Ni, Cr, Ta, Pt, Sn, P, Fe, Al, and Zn.

상기 본딩 패드는 상기 회로기판(200)의 일면 상에 배치될 수 있다. 상기 본딩 패드는 상기 일면 상에서 서로 이격되는 제 1 본딩 패드(미도시) 및 제 2 본딩 패드(미도시)를 포함할 수 있다. The bonding pad may be disposed on one surface of the circuit board 200 . The bonding pad may include a first bonding pad (not shown) and a second bonding pad (not shown) spaced apart from each other on the one surface.

상기 회로기판(200) 상에는 복수의 광원 모듈(310, 320)이 배치될 수 있다. 상기 광원 모듈(310, 320)은 상기 제 1 방향으로 연장하는 제 1 광원 모듈(310) 및 제 2 광원 모듈(320)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 광원 모듈(310) 및 상기 제 2 광원 모듈(320)은 제 2 방향으로 서로 이격될 수 있다. A plurality of light source modules 310 and 320 may be disposed on the circuit board 200 . The light source modules 310 and 320 may include a first light source module 310 and a second light source module 320 extending in the first direction. The first light source module 310 and the second light source module 320 may be spaced apart from each other in the second direction.

상기 제 1 광원 모듈(310) 및 상기 제 2 광원 모듈(320) 각각은 복수의 발광소자를 포함할 수 있다. 상기 발광소자는 상기 회로기판(200) 상에 배치될 수 있다. 상기 발광소자는 자외선 파장 대역의 광을 방출할 수 있다. 상기 발광소자는 약 400nm 이하의 광을 방출할 수 있다. 상기 발광소자는 자외선 UV-A, UV-B 및 UV-C 중 적어도 하나의 영역대의 자외선 파장 대역의 광을 방출할 수 있다. 일례로, 실시예에 따른 발광소자는 약 315nm에서 약 410nm 파장 대역의 광을 방출하는 UV-A 발광소자를 포함할 수 있다.Each of the first light source module 310 and the second light source module 320 may include a plurality of light emitting devices. The light emitting device may be disposed on the circuit board 200 . The light emitting device may emit light in an ultraviolet wavelength band. The light emitting device may emit light of about 400 nm or less. The light emitting device may emit light of an ultraviolet wavelength band of at least one of ultraviolet UV-A, UV-B, and UV-C. For example, the light emitting device according to the embodiment may include a UV-A light emitting device emitting light in a wavelength band of about 315 nm to about 410 nm.

상기 발광소자 상에는 렌즈 부재(미도시)가 배치될 수 있다. 상기 렌즈 부재는 상기 발광소자 상에 배치될 수 있다. 상기 렌즈 부재는 상기 발광소자에서 방출된 광을 투과시킬 수 있는 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 렌즈 부재는 유리, 플라스틱, 수지, 실리콘(silicon)계 수지, 불소 수지계 재질 및 에폭시(epoxy)계 재질, 산화물 및 질화물 등의 재질 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 렌즈 부재는 상기 발광소자에서 방출된 광을 굴절시켜 광의 경로를 바꾸어줄 수 있다. 즉, 상기 렌즈 부재는 상기 발광소자에서 방출된 광의 지향각을 제어할 수 있다. 일례로, 실시예에 따른 발광소자는 상기 렌즈 부재에 의해 60도 이하의 지향각을 가질 수 있다. 자세하게, 상기 발광소자는 약 30도 에서 60도의 지향각을 가질 수 있다.A lens member (not shown) may be disposed on the light emitting device. The lens member may be disposed on the light emitting device. The lens member may include a material capable of transmitting light emitted from the light emitting device. For example, the lens member may include at least one of glass, plastic, resin, silicon-based resin, fluororesin-based material, epoxy-based material, oxide, and nitride. The lens member may refract the light emitted from the light emitting device to change the path of the light. That is, the lens member may control the beam angle of the light emitted from the light emitting device. For example, the light emitting device according to the embodiment may have an orientation angle of 60 degrees or less by the lens member. In detail, the light emitting device may have an orientation angle of about 30 degrees to about 60 degrees.

상기 조명 모듈(50) 상에는 커버 부재(500)가 배치될 수 있다. 상기 커버 부재(500)는 오픈된 상기 하우징(100)의 상부를 커버할 수 있다. 상기 커버 부재(500)는 상기 조명 모듈(50)이 외부에 노출되는 것을 방지할 수 있다.A cover member 500 may be disposed on the lighting module 50 . The cover member 500 may cover the open upper portion of the housing 100 . The cover member 500 may prevent the lighting module 50 from being exposed to the outside.

상기 커버 부재(500)는 외부로부터 신뢰성을 가지며, 상기 조명 모듈(50)에서 방출되는 광에 파손되거나 변경되지 않는 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 커버 부재(500)는 수지, 세라믹, 금속 중 적어도 하나의 재질을 포함할 수 있다. 상기 커버 부재(500)는 상기 조명 모듈(50)에서 방출된 광을 차폐할 수 있다. The cover member 500 has reliability from the outside and may include a material that is not damaged or changed by the light emitted from the lighting module 50 . For example, the cover member 500 may include at least one of a resin, a ceramic, and a metal. The cover member 500 may shield the light emitted from the lighting module 50 .

상기 커버 부재(500)는 적어도 하나의 개구부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 커버 부재(500)는 상기 조명 모듈(50)의 제 1 광원 모듈(310) 및 제 2 광원 모듈(320)과 대응되는 영역에 형성되는 개구부를 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 개구부는 상기 제 1 및 제 2 광원 모듈(310, 320) 각각의 발광소자와 제 3 방향(z축 방향)으로 중첩되는 영역에 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제 1 및 제 2 광원 모듈(310, 320)에서 방출된 광은 상기 커버 부재(500)의 개구부를 통해 외부로 방출될 수 있다.The cover member 500 may include at least one opening. For example, the cover member 500 may include an opening formed in an area corresponding to the first light source module 310 and the second light source module 320 of the lighting module 50 . In detail, the opening may be formed in a region overlapping the light emitting device of each of the first and second light source modules 310 and 320 in the third direction (z-axis direction). Accordingly, the light emitted from the first and second light source modules 310 and 320 may be emitted to the outside through the opening of the cover member 500 .

상기 커버 부재(500)의 개구부 상에는 투광 부재(510)가 배치될 수 있다. 상기 투광 부재(510)는 상기 개구부를 차폐할 수 있다. 또한, 상기 커버 부재(500)는 상기 조명 모듈(50)과 제 3 방향으로 중첩되는 영역에 배치되어 상기 조명 모듈(50)에서 방출된 광을 투과시킬 수 있다. A light transmitting member 510 may be disposed on the opening of the cover member 500 . The light transmitting member 510 may shield the opening. In addition, the cover member 500 may be disposed in a region overlapping the lighting module 50 in the third direction to transmit the light emitted from the lighting module 50 .

상기 투광 부재(510)는 상기 조명 모듈(50)에서 방출된 광을 투과시키며 상기 광에 손상되지 않는 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 투광 부재(510)는 석영 유리, 보로(Borosilicate) 유리, 불소 수지 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The light transmitting member 510 transmits the light emitted from the lighting module 50 and may include a material that is not damaged by the light. For example, the light transmitting member 510 may include at least one of quartz glass, borosilicate glass, and fluororesin.

또한, 상기 투광 부재(510) 상에는 필터층이 더 형성될 수 있다. 상기 필터층은 상기 조명 모듈(50)에서 방출된 특정 파장의 광을 차단할 수 있다. 예를 들어, 상기 필터층은 상기 조명 모듈(50)에서 방출된 광 중 설정된 파장 대역 이외의 광을 필터할 수 있다. 이에 따라, 상기 조사 장치(1000)는 설정된 파장 대역의 광을 외부로 방출할 수 있다.In addition, a filter layer may be further formed on the light transmitting member 510 . The filter layer may block light of a specific wavelength emitted from the lighting module 50 . For example, the filter layer may filter light other than a set wavelength band among the light emitted from the lighting module 50 . Accordingly, the irradiation apparatus 1000 may emit light of a set wavelength band to the outside.

다시 상기 조명 모듈(50)에 대해 설명하면, 상기 제 1 광원 모듈(310)은 복수의 발광소자를 포함할 수 있다. 상기 복수의 발광소자는 제 1 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 1 광원 모듈(310)의 발광소자는 자외선 파장 대역의 광을 방출할 수 있다. 자세하게, 상기 발광소자는 UV-A, UV-B 및 UV-C 중 적어도 하나의 자외선 파장 대역의 광을 방출할 수 있다. 일례로, 상기 제 1 광원 모듈(310)의 발광소자는 약 315nm에서 약 410nm 파장 대역의 광을 방출하는 UV-A 발광소자일 수 있다.Referring to the lighting module 50 again, the first light source module 310 may include a plurality of light emitting devices. The plurality of light emitting devices may be spaced apart from each other in a first direction. The light emitting device of the first light source module 310 may emit light in an ultraviolet wavelength band. In detail, the light emitting device may emit light of at least one ultraviolet wavelength band of UV-A, UV-B, and UV-C. For example, the light emitting device of the first light source module 310 may be a UV-A light emitting device emitting light in a wavelength band of about 315 nm to about 410 nm.

상기 제 1 광원 모듈(310)의 복수의 발광소자는 서로 동일한 형태, 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 제 1 광원 모듈(310)의 복수의 발광소자는 서로 대응되는 지향각을 가질 수 있다. 자세하게, 상기 복수의 발광소자는 약 30도에서 약 60도의 범위 내에서 서로 동일한 지향각을 가질 수 있다.The plurality of light emitting devices of the first light source module 310 may have the same shape and structure. In addition, the plurality of light emitting devices of the first light source module 310 may have beam angles corresponding to each other. In detail, the plurality of light emitting devices may have the same directivity angle within a range of about 30 degrees to about 60 degrees.

상기 제 2 광원 모듈(320)은 복수의 발광소자를 포함할 수 있다. 상기 복수의 발광소자는 제 1 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 2 광원 모듈(320)의 발광소자는 자외선 파장 대역의 광을 방출할 수 있다. 자세하게, 상기 발광소자는 UV-A, UV-B 및 UV-C 중 적어도 하나의 자외선 파장 대역의 광을 방출할 수 있다. 일례로, 상기 제 2 광원 모듈(320)의 발광소자는 약 315nm에서 약 410nm 파장 대역의 광을 방출하는 UV-A 발광소자일 수 있다.The second light source module 320 may include a plurality of light emitting devices. The plurality of light emitting devices may be spaced apart from each other in a first direction. The light emitting device of the second light source module 320 may emit light in an ultraviolet wavelength band. In detail, the light emitting device may emit light of at least one ultraviolet wavelength band of UV-A, UV-B, and UV-C. For example, the light emitting device of the second light source module 320 may be a UV-A light emitting device emitting light in a wavelength band of about 315 nm to about 410 nm.

또한, 상기 제 2 광원 모듈(320)의 복수의 발광소자는 서로 동일한 형태, 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 제 2 광원 모듈(320)의 복수의 발광소자는 서로 대응되는 지향각을 가질 수 있다. 자세하게, 상기 복수의 발광소자는 약 30도에서 약 60도의 범위 내에서 서로 동일한 지향각을 가질 수 있다.In addition, the plurality of light emitting devices of the second light source module 320 may have the same shape and structure. In addition, the plurality of light emitting devices of the second light source module 320 may have beam angles corresponding to each other. In detail, the plurality of light emitting devices may have the same directivity angle within a range of about 30 degrees to about 60 degrees.

또한, 상기 제 2 광원 모듈(320)의 발광소자는 상기 제 1 광원 모듈(310)의 발광소자와 동일한 파장 대역의 광을 방출할 수 있다. 그리고, 상기 제 2 광원 모듈(320)의 발광소자는 상기 제 1 광원 모듈(310)의 발광소자와 동일한 형태, 구조를 가질 수 있고, 동일한 지향각을 가질 수 있다.In addition, the light emitting device of the second light source module 320 may emit light of the same wavelength band as the light emitting device of the first light source module 310 . In addition, the light emitting device of the second light source module 320 may have the same shape and structure as the light emitting device of the first light source module 310 , and may have the same orientation angle.

상기 제 1 광원 모듈(310)은 상기 제 1 외측면(OS1) 및 상기 제 3 외측면(OS3) 및 상기 제 4 외측면(OS4)과 인접하게 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 광원 모듈(310)은 상기 조사 장치(1000)의 중심(CP)보다 상기 제 1 외측면(OS1)과 인접하게 배치될 수 있다. The first light source module 310 may be disposed adjacent to the first outer surface OS1 , the third outer surface OS3 , and the fourth outer surface OS4 . In detail, the first light source module 310 may be disposed closer to the first outer surface OS1 than to the center CP of the irradiation apparatus 1000 .

상기 제 2 광원 모듈(320)은 상기 제 2 외측면(OS2), 상기 제 3 외측면(OS3) 및 상기 제 4 외측면(OS4)과 인접하게 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 광원 모듈(320)은 상기 조사 장치(1000)의 중심(CP)보다 상기 제 2 외측면(OS2)과 인접하게 배치될 수 있다.The second light source module 320 may be disposed adjacent to the second outer surface OS2 , the third outer surface OS3 , and the fourth outer surface OS4 . In detail, the second light source module 320 may be disposed closer to the second outer surface OS2 than the center CP of the irradiation apparatus 1000 .

특히, 상기 제 2 광원 모듈(320)은 상기 제 1 광원 모듈(310)과 마주하며 배치될 수 있다. 상기 제 2 광원 모듈(320)은 상기 제 1 광원 모듈(310)과 제 2 방향으로 이격될 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 광원 모듈(320)의 발광소자는 상기 제 1 광원 모듈(310)의 발광소자와 제 2 방향으로 대칭인 위치에 배치될 수 있다. 더 자세하게, 상기 제 2 광원 모듈(320)의 발광소자는 상기 조사 장치(1000)의 중심(CP)을 제 1 방향으로 통과하는 가상의 제 1 선을 기준으로 상기 제 1 광원 모듈(310)의 발광소자와 상기 제 2 방향으로 대칭인 영역에 배치될 수 있다. 상기 제 2 광원 모듈(320)의 발광소자는 상기 제 1 광원 모듈(310)의 발광소자와 상기 조사 장치(1000)의 중심(CP)에 대하여 180도 회전 대칭인 영역에 배치될 수 있다.In particular, the second light source module 320 may be disposed to face the first light source module 310 . The second light source module 320 may be spaced apart from the first light source module 310 in a second direction. In detail, the light emitting device of the second light source module 320 may be disposed at a position symmetrical to the light emitting device of the first light source module 310 in the second direction. In more detail, the light emitting device of the second light source module 320 is the light emitting device of the first light source module 310 based on a first virtual line passing through the center CP of the irradiation device 1000 in the first direction. It may be disposed in a region symmetrical to the light emitting device in the second direction. The light emitting device of the second light source module 320 may be disposed in a 180 degree rotationally symmetrical area with respect to the light emitting device of the first light source module 310 and the center CP of the irradiation apparatus 1000 .

즉, 상기 제 2 광원 모듈(320)은 상기 제 1 광원 모듈(310)의 발광소자와 서로 동일한 형상, 구조를 가지며 서로 대칭인 영역에 배치되는 발광소자를 포함할 수 있다. 이에 따라, 이하의 설명에서는 설명의 편의상 제 1 광원 모듈(310) 중심으로 설명한다.That is, the second light source module 320 may include light emitting devices that have the same shape and structure as the light emitting devices of the first light source module 310 and are disposed in symmetrical regions. Accordingly, the following description will be centered on the first light source module 310 for convenience of description.

상기 제 1 광원 모듈(310)은 복수의 그룹을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 광원 모듈(310)은 제 1 그룹(311), 제 2 그룹(312) 및 제 3 그룹(313)을 포함할 수 있다.The first light source module 310 may include a plurality of groups. For example, the first light source module 310 may include a first group 311 , a second group 312 , and a third group 313 .

상기 제 1 그룹(311)은 상기 조사 장치(1000)의 중심(CP)와 인접하게 배치될 수 있다. 상기 제 1 그룹(311)은 제 1 방향으로 이격되는 복수의 제 1 발광소자(311a)를 포함할 수 있다. 상기 복수의 제 1 발광소자(311a)는 제 1 간격(d1)으로 서로 이격될 수 있다.The first group 311 may be disposed adjacent to the center CP of the irradiation apparatus 1000 . The first group 311 may include a plurality of first light emitting devices 311a spaced apart from each other in a first direction. The plurality of first light emitting devices 311a may be spaced apart from each other at a first interval d1.

상기 제 2 그룹(312)은 상기 제 1 그룹(311)과 제 1 방향으로 이격되는 복수의 제 2 발광소자(312a)를 포함할 수 있다. 상기 제 2 그룹(312)은 상기 제 1 그룹(311)보다 상기 제 3 외측면(OS3)과 인접하게 배치될 수 있다. 상기 제 2 발광소자(312a)는 제 1 방향으로 서로 이격될 수 있다. 상기 제 2 발광소자(312a)는 제 2 간격(d2)으로 서로 이격될 수 있다.The second group 312 may include a plurality of second light emitting devices 312a spaced apart from the first group 311 in a first direction. The second group 312 may be disposed closer to the third outer surface OS3 than the first group 311 . The second light emitting devices 312a may be spaced apart from each other in the first direction. The second light emitting devices 312a may be spaced apart from each other by a second interval d2.

상기 제 3 그룹(313)은 상기 제 1 그룹(311) 및 상기 제 2 그룹(312)과 제 1 방향으로 이격되는 복수의 제 3 발광소자(313a)를 포함할 수 있다. 상기 제 3 그룹(313)은 상기 제 2 그룹(312)보다 상기 제 3 외측면(OS3)과 인접하게 배치될 수 있다. 즉, 상기 제 2 그룹(312)은 상기 제 1 그룹(311)과 상기 제 3 그룹(313) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제 3 그룹(313)의 발광소자는 제 1 방향으로 이격될 수 있다. 상기 복수의 제 3 발광소자(313a)는 제 1 방향을 기준으로 제 3 간격(d3)만큼 서로 이격될 수 있다. 또한, 상기 복수의 제 3 발광소자(313a)는 제 2 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 3 발광소자(313a)는 제 2 방향을 기준으로 제 4 간격(d4)만큼 서로 이격될 수 있다.The third group 313 may include a plurality of third light emitting devices 313a spaced apart from the first group 311 and the second group 312 in a first direction. The third group 313 may be disposed closer to the third outer surface OS3 than the second group 312 . That is, the second group 312 may be disposed between the first group 311 and the third group 313 . The light emitting devices of the third group 313 may be spaced apart from each other in the first direction. The plurality of third light emitting devices 313a may be spaced apart from each other by a third interval d3 in the first direction. Also, the plurality of third light emitting devices 313a may be spaced apart from each other in the second direction. The third light emitting devices 313a may be spaced apart from each other by a fourth interval d4 based on the second direction.

상기 제 1 광원 모듈(310)은 제 4 그룹(314), 제 5 그룹(315) 및 제 6 그룹(316)을 더 포함할 수 있다. The first light source module 310 may further include a fourth group 314 , a fifth group 315 , and a sixth group 316 .

상기 제 4 그룹(314)은 상기 제 1 그룹(311)과 제 1 방향으로 대칭인 위치에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 제 4 그룹(314)은 상기 조사 장치(1000)의 중심(CP)을 제 2 방향으로 통과하는 가상의 제 2 선을 기준으로 상기 제 1 그룹(311)과 대칭인 영역에 배치될 수 있다. 상기 제 4 그룹(314)은 상기 제 1 발광소자(311a)의 대응되는 개수 및 위치에 배치되는 복수의 제 4 발광소자(314a)를 포함할 수 있다. 상기 복수의 제 4 발광소자(314a)는 제 1 방향으로 이격될 수 있고, 상기 제 1 간격(d1)만큼 서로 이격될 수 있다.The fourth group 314 may be disposed at a position symmetrical to the first group 311 in the first direction. In detail, the fourth group 314 is to be disposed in an area symmetrical to the first group 311 based on a second virtual line passing through the center CP of the irradiation apparatus 1000 in the second direction. can The fourth group 314 may include a plurality of fourth light emitting devices 314a disposed at the number and positions corresponding to the first light emitting devices 311a. The plurality of fourth light emitting devices 314a may be spaced apart from each other in a first direction, and may be spaced apart from each other by the first distance d1.

상기 제 5 그룹(315)은 상기 제 4 그룹(314)과 제 1 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 5 그룹(315)은 상기 제 4 그룹(314)보다 상기 제 4 외측면(OS4)과 인접하게 배치될 수 있다. The fifth group 315 may be spaced apart from the fourth group 314 in the first direction. The fifth group 315 may be disposed closer to the fourth outer surface OS4 than the fourth group 314 .

상기 제 5 그룹(315)은 상기 제 2 그룹(312)과 제 1 방향으로 대칭인 위치에 배치될 수 있다. 상기 제 5 그룹(315)은 상기 제 2 선을 기준으로 상기 제 2 그룹(312)과 대칭인 영역에 배치될 수 있다. 상기 제 5 그룹(315)은 상기 제 2 발광소자(312a)와 대응되는 개수 및 위치에 배치되는 복수의 제 5 발광소자(315a)를 포함할 수 있다. 상기 복수의 제 5 발광소자(315a)는 제 1 방향으로 이격될 수 있고, 상기 제 2 간격(d2)만큼 서로 이격될 수 있다. The fifth group 315 may be disposed at a position symmetrical to the second group 312 in the first direction. The fifth group 315 may be disposed in an area symmetrical to the second group 312 with respect to the second line. The fifth group 315 may include a plurality of fifth light emitting devices 315a disposed in the number and positions corresponding to the second light emitting devices 312a. The plurality of fifth light emitting devices 315a may be spaced apart from each other in the first direction, and may be spaced apart from each other by the second distance d2.

상기 제 6 그룹(316)은 상기 제 5 그룹(315)과 제 1 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 6 그룹(316)은 상기 제 4 그룹(314) 및 상기 제 5 그룹(315)보다 상기 제 4 외측면(OS4)과 인접하게 배치될 수 있다. 즉, 상기 제 5 그룹(315)은 상기 제 4 그룹(314)과 상기 제 6 그룹(316) 사이에 배치될 수 있다. The sixth group 316 may be spaced apart from the fifth group 315 in the first direction. The sixth group 316 may be disposed closer to the fourth outer surface OS4 than the fourth group 314 and the fifth group 315 . That is, the fifth group 315 may be disposed between the fourth group 314 and the sixth group 316 .

상기 제 6 그룹(316)은 상기 제 3 그룹(313)과 제 1 방향으로 대칭인 위치에 배치될 수 있다. 상기 제 6 그룹(316)은 상기 제 2 선을 기준으로 상기 제 3 그룹(313)과 대칭인 영역에 배치될 수 있다. 상기 제 6 그룹(316)은 상기 제 3 발광소자(313a)와 대응되는 개수 및 위치에 배치되는 복수의 제 6 발광소자(316a)를 포함할 수 있다. 상기 복수의 제 6 발광소자(316a)는 제 1 방향으로 서로 이격될 수 있고, 상기 제 3 간격(d3)만큼 이격될 수 있다. 또한, 상기 복수의 제 6 발광소자(316a)는 제 2 방향으로 서로 이격될 수 있고, 상기 제 4 간격(d4)만큼 이격될 수 있다. The sixth group 316 may be disposed at a position symmetrical to the third group 313 in the first direction. The sixth group 316 may be disposed in an area symmetrical to the third group 313 with respect to the second line. The sixth group 316 may include a plurality of sixth light emitting devices 316a disposed in the number and positions corresponding to the third light emitting devices 313a. The plurality of sixth light emitting devices 316a may be spaced apart from each other in the first direction, and may be spaced apart from each other by the third distance d3. In addition, the plurality of sixth light emitting devices 316a may be spaced apart from each other in the second direction, and may be spaced apart from each other by the fourth distance d4 .

상기 제 2 광원 모듈(320)은 상술한 바와 같이 상기 제 1 광원 모듈(310)과 제 2 방향으로 대칭일 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 광원 모듈(320)은 상기 제 1 선을 기준으로 상기 제 1 광원 모듈(310)과 대칭인 영역에 배치되는 복수의 발광소자를 포함할 수 있다. 즉, 상기 제 2 광원 모듈(320)은 상술한 상기 제 1 광원 모듈(310)의 제 1 내지 제 6 그룹(311, 312, 313, 314, 315, 316)과 각각 대응되는 제 1 내지 제 6 그룹(321, 322, 323, 324, 325, 326)을 포함할 수 있다.As described above, the second light source module 320 may be symmetrical to the first light source module 310 in the second direction. For example, the second light source module 320 may include a plurality of light emitting devices disposed in an area symmetrical to the first light source module 310 with respect to the first line. That is, the second light source module 320 includes first to sixth groups corresponding to the first to sixth groups 311 , 312 , 313 , 314 , 315 and 316 of the first light source module 310 , respectively. groups 321 , 322 , 323 , 324 , 325 and 326 .

도 5는 도 4의 A1 영역을 확대한 확대도이고, 도 6은 도 4의 A2 영역을 확대한 확대도이다. 또한, 도 7은 도 4의 A3 영역을 확대한 확대도이다.FIG. 5 is an enlarged view of area A1 of FIG. 4 , and FIG. 6 is an enlarged view of area A2 of FIG. 4 . Also, FIG. 7 is an enlarged view of an area A3 of FIG. 4 .

먼저, 도 5를 참조하여 제 1 광원 모듈(310)의 제 1 그룹(311), 제 2 그룹(312) 및 제 3 그룹(313)에 포함된 발광소자에 대해 보다 상세히 설명한다.First, light emitting devices included in the first group 311 , the second group 312 , and the third group 313 of the first light source module 310 will be described in more detail with reference to FIG. 5 .

상기 제 1 그룹(311)은 상기 조사 장치(1000)의 중심 영역에 배치되는 광원 모듈일 수 있다. 상기 제 1 그룹(311)에서 방출된 광은 상기 피조사면(850)의 중심 영역을 형성할 수 있다. 상기 제 1 그룹(311)은 제 1 방향으로 연장하는 복수의 제 1 발광소자(311a)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 발광소자(311a)들은 동일 선상에서 상기 제 1 간격(d1)으로 이격될 수 있다. 일례로, 상기 제 1 간격(d1)은 약 10mm에서 약 25mm일 수 있다.The first group 311 may be a light source module disposed in a central region of the irradiation apparatus 1000 . The light emitted from the first group 311 may form a central region of the irradiated surface 850 . The first group 311 may include a plurality of first light emitting devices 311a extending in a first direction. The first light emitting devices 311a may be spaced apart from each other by the first interval d1 on the same line. For example, the first gap d1 may be about 10 mm to about 25 mm.

상기 제 2 그룹(312)은 상기 조사 장치(1000)의 중심 영역과 가장자리 영역 사이에 배치되는 광원 모듈일 수 있다. 상기 제 2 그룹(312)에서 방출된 광은 상기 피조사면(850)의 중심과 가장자리 영역 사이 영역을 형성할 수 있다. 상기 제 2 그룹(312)은 제 1 방향으로 연장하는 복수의 제 2 발광소자(312a)를 포함할 수 있다. 상기 제 2 발광소자(312a)는 상기 제 1 발광소자(311a)와 동일 선상에 배치될 수 있다. 상기 제 2 발광소자(312a)들은 상기 제 2 간격(d2)으로 이격될 수 있다.The second group 312 may be a light source module disposed between a center region and an edge region of the irradiation apparatus 1000 . The light emitted from the second group 312 may form a region between the center and the edge region of the irradiated surface 850 . The second group 312 may include a plurality of second light emitting devices 312a extending in the first direction. The second light emitting device 312a may be disposed on the same line as the first light emitting device 311a. The second light emitting devices 312a may be spaced apart from each other by the second interval d2.

상기 제 2 간격(d2)은 상기 제 1 간격(d1)보다 클 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 간격(d2)은 상기 제 1 간격(d1)의 약 1.1배 내지 약 1.5배일 수 있다. 일례로, 상기 제 2 간격(d2)은 약 15mm에서 약 30mm일 수 있다. 상기 제 2 간격(d2)이 상기 제 1 간격(d1)의 약 1.1배 미만인 경우, 상기 제 2 그룹(312)과 대응되는 피조사면(850)에 조사되는 광의 세기가 증가할 수 있다. 또한, 상기 제 2 간격(d2)이 상기 제 1 간격(d1)의 약 1.5배를 초과할 경우, 상기 제 2 그룹(312)과 대응되는 피조사면(850)에 조사되는 광의 세기가 감소할 수 있다. 이에 따라, 상기 피조사면(850) 전체에 조사되는 광의 균일도 특성이 저하될 수 있다. The second interval d2 may be greater than the first interval d1. For example, the second interval d2 may be about 1.1 times to about 1.5 times the first interval d1. For example, the second gap d2 may be about 15 mm to about 30 mm. When the second interval d2 is less than about 1.1 times the first interval d1 , the intensity of light irradiated to the irradiated surface 850 corresponding to the second group 312 may increase. In addition, when the second interval d2 exceeds about 1.5 times the first interval d1, the intensity of light irradiated to the irradiated surface 850 corresponding to the second group 312 may be reduced. have. Accordingly, the uniformity characteristic of the light irradiated to the entire surface 850 to be irradiated may be deteriorated.

상기 제 2 발광소자(312a)의 개수는 상기 제 1 발광소자(311a)의 개수와 상이할 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 발광소자(312a)의 개수는 상기 제 1 발광소자(311a)의 개수보다 적을 수 있다. 일례로, 상기 제 2 발광소자(312a)의 개수는 상기 제 1 발광소자(311a)의 개수의 약 0.3배 내지 약 0.7배일 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 발광소자(312a)의 개수는 상기 제 1 발광소자(311a)의 개수의 약 0.4배 내지 약 0.6배일 수 있다. 상기 제 2 발광소자(312a)의 개수가 상기 제 1 발광소자(311a)와 비교하여 상술한 범위를 만족하지 못할 경우, 상기 피조사면(850)에 조사되는 광의 균일도 특성이 저하될 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 그룹(312)과 대응되는 피조사면(850) 영역에 인가되는 광의 세기가 다른 피조사면(850) 영역에 인가되는 광의 세기와 큰 편차를 가져 상기 피조사면(850) 전체에 조사되는 광의 균일도 특성이 저하될 수 있다.The number of the second light emitting devices 312a may be different from the number of the first light emitting devices 311a. In detail, the number of the second light emitting devices 312a may be less than the number of the first light emitting devices 311a. For example, the number of the second light emitting devices 312a may be about 0.3 times to about 0.7 times the number of the first light emitting devices 311a. In detail, the number of the second light emitting devices 312a may be about 0.4 to about 0.6 times the number of the first light emitting devices 311a. When the number of the second light emitting devices 312a does not satisfy the above-described range compared to the first light emitting device 311a, the uniformity characteristic of the light irradiated to the irradiated surface 850 may be deteriorated. In detail, the intensity of light applied to the irradiated surface 850 region corresponding to the second group 312 has a large deviation from the intensity of light applied to another irradiated surface 850 region, so that the entire irradiated surface 850 is irradiated. The uniformity of the light may be deteriorated.

상기 제 3 그룹(313)은 상기 조사 장치(1000)의 가장자리 영역에 배치되는 광원 모듈일 수 있다. 상기 제 3 그룹(313)에서 방출된 광은 상기 피조사면(850)의 가장자리 영역을 형성할 수 있다. 상기 제 3 그룹(313)은 상기 제 1 방향으로 연장하는 복수의 제 3 발광소자(313a)를 포함할 수 있다. 상기 복수의 제 3 발광소자(313a) 중 일부는 상기 제 1 발광소자(311a) 및 상기 제 2 발광소자(312a)와 동일 선상에 배치될 수 있다. 상기 제 3 발광소자(313a)들은 제 1 방향을 기준으로 상기 제 3 간격(d3)으로 이격될 수 있다. 또한, 상기 복수의 제 3 발광소자(313a) 중 나머지는 상기 제 1 및 제 2 발광소자(311a, 312a)와 다른 선상에 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 다른 선상에 배치된 제 3 발광소자(313a)들은 제 1 방향을 기준으로 상기 제 3 간격(d3)으로 이격될 수 있다. 또한, 상기 다른 선상에 배치된 제 3 발광소자(313a)들은 상기 제 1 및 제 2 발광소자(311a, 312a)와 동일 선상에 배치된 제 3 발광소자(313a)들과 제 2 방향으로 상기 제 4 간격(d4)만큼 이격될 수 있다.The third group 313 may be a light source module disposed in an edge region of the irradiation apparatus 1000 . The light emitted from the third group 313 may form an edge region of the irradiated surface 850 . The third group 313 may include a plurality of third light emitting devices 313a extending in the first direction. Some of the plurality of third light emitting devices 313a may be disposed on the same line as the first light emitting device 311a and the second light emitting device 312a. The third light emitting devices 313a may be spaced apart from each other by the third interval d3 in the first direction. In addition, the remainder of the plurality of third light emitting devices 313a may be disposed on a line different from that of the first and second light emitting devices 311a and 312a. In this case, the third light emitting devices 313a disposed on the other line may be spaced apart from each other by the third interval d3 with respect to the first direction. In addition, the third light emitting devices 313a disposed on the different line are the third light emitting devices 313a disposed on the same line as the first and second light emitting devices 311a and 312a in the second direction. It may be spaced apart by 4 intervals d4.

상기 제 3 간격(d3)은 상기 제 4 간격(d4)과 동일할 수 있다. 또한, 상기 제 3 간격(d3) 및 상기 제 4 간격(d4)은 상기 제 1 간격(d1) 및 상기 제 2 간격(d2)보다 작을 수 있다. 예를 들어, 상기 제 3 간격(d3) 및 상기 제 4 간격(d4)은 상기 제 1 간격(d1)의 약 0.01배 내지 0.1배일 수 있다. 상기 제 3 간격(d3) 및 상기 제 4 간격(d4)이 상술한 범위를 만족하지 못할 경우, 상기 피조사면(850)에 조사되는 광의 균일도 특성이 저하될 수 있다. 자세하게, 상기 제 3 간격(d3)과 제 4 간격(d4)이 상술한 범위를 만족하지 못할 경우, 상기 제 3 그룹(313)과 대응되는 피조사면(850) 영역에 인가되는 광의 세기가 다른 피조사면(850) 영역에 인가되는 광의 세기와 큰 편차를 가져 상기 피조사면(850) 전체에 조사되는 광의 균일도 특성이 저하될 수 있다.The third interval d3 may be the same as the fourth interval d4. Also, the third interval d3 and the fourth interval d4 may be smaller than the first interval d1 and the second interval d2. For example, the third interval d3 and the fourth interval d4 may be about 0.01 to 0.1 times the first interval d1. When the third interval d3 and the fourth interval d4 do not satisfy the above-described ranges, the uniformity characteristic of the light irradiated to the irradiated surface 850 may be deteriorated. In detail, when the third interval d3 and the fourth interval d4 do not satisfy the above-described range, the third group 313 and the light intensity applied to the area to be irradiated to the area 850 to be irradiated are different. Since the intensity of the light applied to the slope 850 region has a large deviation, the uniformity characteristic of the light irradiated to the entire surface 850 to be irradiated may be deteriorated.

상기 제 3 발광소자(313a)의 개수는 상기 제 1 발광소자(311a)의 개수보다 많거나 같을 수 있다. 그리고, 상기 제 3 발광소자(313a)의 개수는 상기 제 2 발광소자(312a)의 개수와 상이할 수 있다. 자세하게, 상기 제 3 발광소자(313a)의 개수는 상기 제 2 발광소자(312a)의 개수보다 많을 수 있다. 일례로, 상기 제 3 발광소자(313a)의 개수는 상기 제 2 발광소자(312a)의 개수의 약 1.5배 내지 약 3배일 수 있다. The number of the third light emitting devices 313a may be greater than or equal to the number of the first light emitting devices 311a. In addition, the number of the third light emitting devices 313a may be different from the number of the second light emitting devices 312a. In detail, the number of the third light emitting devices 313a may be greater than the number of the second light emitting devices 312a. For example, the number of the third light emitting devices 313a may be about 1.5 to about 3 times the number of the second light emitting devices 312a.

또한, 상기 제 1 및 제 2 발광소자(311a, 312a)와 동일 선상에 배치된 제 3 발광소자(313a)의 개수는 상기 다른 선상에 배치된 상기 제 3 발광소자(313a)의 개수보다 많을 수 있다. 일례로, 상기 동일 선상에 배치된 제 3 발광소자(313a)의 개수는 다른 선상에 배치된 발광소자의 개수의 약 1.2배 내지 약 2배일 수 있다.In addition, the number of the third light emitting devices 313a disposed on the same line as the first and second light emitting devices 311a and 312a may be greater than the number of the third light emitting devices 313a disposed on the different line. have. For example, the number of the third light emitting devices 313a disposed on the same line may be about 1.2 to about 2 times the number of the light emitting devices disposed on another line.

상기 제 3 발광소자(313a)의 개수가 상술한 범위를 만족하지 못할 경우, 상기 피조사면(850)에 조사되는 광의 균일도 특성이 저하될 수 있다. 자세하게, 상기 제 3 그룹(313)과 대응되는 피조사면(850)에 조사되는 광의 세기가 증가하거나 감소할 수 있어, 상기 피조사면(850) 전체에 조사되는 광의 균일도 특성이 저하될 수 있다.When the number of the third light emitting devices 313a does not satisfy the above-described range, the uniformity characteristic of the light irradiated to the irradiated surface 850 may be deteriorated. In detail, the intensity of the light irradiated to the irradiated surface 850 corresponding to the third group 313 may increase or decrease, so that the uniformity of the light irradiated to the entire irradiated surface 850 may be deteriorated.

이에 따라, 상기 제 3 그룹(313)에서 방출되는 광의 세기는 상기 제 1 및 제 2 그룹(311, 312)보다 강할 수 있다. 자세하게, 상기 제 3 그룹(313)에서 방출되는 단위 면적당 광의 세기는 상기 제 1 및 제 2 그룹(311, 312)보다 강할 수 있다. 더 자세하게, 상기 제 3 그룹(313)에 배치된 복수의 제 3 발광소자(313a)는 상기 제 1 및 제 2 그룹(311, 312)에 각각 배치된 제 1 및 제 2 발광소자(311a, 312a)보다 좁은 간격으로 보다 조밀하게 배치될 수 있다. 즉, 상기 제 3 그룹(313)에 배치된 발광소자의 단위 면적당 집중도는 상기 제 1 및 제 2 그룹(311, 312)보다 높을 수 있다. 이로 인해 상기 피조사면(850)의 가장자리 영역에 균일한 세기의 광을 인가할 수 있으며, 복수의 조사 장치(1000)를 연속적으로 배치할 경우, 복수의 조사 장치(1000) 사 영역과 대응되는 피조사면(850) 영역에 균일한 세기의 광을 제공할 수 있다.Accordingly, the intensity of light emitted from the third group 313 may be stronger than that of the first and second groups 311 and 312 . In detail, the intensity of light per unit area emitted from the third group 313 may be stronger than that of the first and second groups 311 and 312 . In more detail, the plurality of third light emitting devices 313a disposed in the third group 313 includes first and second light emitting devices 311a and 312a disposed in the first and second groups 311 and 312, respectively. ) can be arranged more densely with narrower intervals. That is, the concentration per unit area of the light emitting devices arranged in the third group 313 may be higher than that of the first and second groups 311 and 312 . As a result, light of a uniform intensity can be applied to the edge region of the irradiated surface 850 , and when a plurality of irradiating devices 1000 are sequentially arranged, irradiated light corresponding to the area between the plurality of irradiating devices 1000 . Light of uniform intensity may be provided to the area of the slope 850 .

상기 제 1 그룹(311)은 상기 제 2 그룹(312)과 제 1 방향으로 이격될 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 그룹(311)의 일 단에 위치한 제 1 발광소자(311a)는 상기 제 2 그룹(312)의 일 단에 위치한 제 2 발광소자(312a)와 제 1 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 1 발광소자(311a)와 상기 제 2 발광소자(312a)는 제 5 간격(d5)만큼 이격될 수 있다. The first group 311 may be spaced apart from the second group 312 in a first direction. In detail, the first light emitting device 311a positioned at one end of the first group 311 may be spaced apart from the second light emitting device 312a positioned at one end of the second group 312 in the first direction. . The first light emitting device 311a and the second light emitting device 312a may be spaced apart from each other by a fifth interval d5.

상기 제 5 간격(d5)은 상기 제 2 간격(d2)보다 클 수 있다. 예를 들어, 상기 제 5 간격(d5)은 상기 제 2 간격(d2)의 약 4배 내지 약 7배일 수 있다. 자세하게, 상기 제 5 간격(d5)은 상기 제 2 간격(d2)의 약 4.5배 내지 약 6배일 수 있다. 일례로, 상기 제 5 간격(d5)은 약 90mm에서 약 120mm일 수 있다.The fifth interval d5 may be greater than the second interval d2. For example, the fifth interval d5 may be about 4 to about 7 times the second interval d2. In detail, the fifth interval d5 may be about 4.5 to about 6 times the second interval d2. For example, the fifth distance d5 may be about 90 mm to about 120 mm.

또한, 상기 제 2 그룹(312)은 상기 제 3 그룹(313)과 제 1 방향으로 이격될 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 그룹(312)의 일 단에 위치한 제 2 발광소자(312a)는 상기 제 3 그룹(313)의 일 단에 위치한 제 3 발광소자(313a)와 제 1 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 2 발광소자(312a)와 상기 제 3 발광소자(313a)는 제 6 간격(d6)만큼 이격될 수 있다.Also, the second group 312 may be spaced apart from the third group 313 in a first direction. In detail, the second light emitting device 312a located at one end of the second group 312 may be spaced apart from the third light emitting device 313a located at one end of the third group 313 in the first direction. . The second light emitting device 312a and the third light emitting device 313a may be spaced apart from each other by a sixth interval d6.

상기 제 6 간격(d6)은 상기 제 2 간격(d2)보다 작을 수 있다. 또한, 상기 제 6 간격(d6)은 상기 제 1 간격(d1)보다 작을 수 있고, 상기 제 3 간격(d3)보다 클 수 있다. 예를 들어, 상기 제 6 간격(d6)은 상기 제 2 간격(d2)의 약 0.2배에서 약 0.7배일 수 있다. 자세하게, 상기 제 6 간격(d6)은 상기 제 2 간격(d2)의 약 0.3배 내지 약 0.6배일 수 있다. 일례로, 상기 제 6 간격(d6)은 약 5mm에서 약 20mm일 수 있다.The sixth interval d6 may be smaller than the second interval d2. Also, the sixth interval d6 may be smaller than the first interval d1 and may be larger than the third interval d3. For example, the sixth interval d6 may be about 0.2 to about 0.7 times the second interval d2. In detail, the sixth interval d6 may be about 0.3 times to about 0.6 times the second interval d2. For example, the sixth distance d6 may be about 5 mm to about 20 mm.

상기 제 5 간격(d5) 및 상기 제 6 간격(d6)은 상기 피조사면(850)에 조사되는 광의 세기의 균일도를 고려하여 상술한 범위를 만족하는 것이 바람직하다.The fifth interval d5 and the sixth interval d6 preferably satisfy the above-described range in consideration of the uniformity of the intensity of the light irradiated to the irradiated surface 850 .

그리고, 상기 제 1 그룹(311)은 상기 제 1 외측면(OS1)과 제 2 방향으로 이격될 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 외측면(OS1)과 최인접한 제 1 발광소자(311a)의 일 끝단은 상기 제 1 외측면(OS1)과 제 7 간격(d7)만큼 이격될 수 있다. In addition, the first group 311 may be spaced apart from the first outer surface OS1 in a second direction. In detail, one end of the first light emitting device 311a closest to the first outer surface OS1 may be spaced apart from the first outer surface OS1 by a seventh interval d7.

또한, 상기 제 2 그룹(312)은 상기 제 1 외측면(OS1)과 제 2 방향으로 이격될 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 외측면(OS1)과 최인접한 제 2 발광소자(312a)의 일 끝단은 상기 제 1 외측면(OS1)과 제 8 간격(d8)만큼 이격될 수 있다.Also, the second group 312 may be spaced apart from the first outer surface OS1 in a second direction. In detail, one end of the second light emitting device 312a closest to the first outer surface OS1 may be spaced apart from the first outer surface OS1 by an eighth interval d8.

또한, 상기 제 3 그룹(313)은 상기 제 1 외측면(OS1)과 제 2 방향으로 이격될 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 외측면(OS1)과 최인접한 제 3 발광소자(313a)의 일 끝단은 상기 제 1 외측면(OS1)과 제 9 간격(d9)만큼 이격될 수 있다. 또한, 상기 제 3 그룹(313)은 상기 제 3 외측면(OS3)과 제 1 방향으로 이격될 수 있다. 자세하게, 상기 제 3 외측면(OS3)과 최인접한 제 3 발광소자(313a)의 일 끝단은 상기 제 3 외측면(OS3)과 제 10 간격(d10)만큼 이격될 수 있다.Also, the third group 313 may be spaced apart from the first outer surface OS1 in the second direction. In detail, one end of the third light emitting device 313a closest to the first outer surface OS1 may be spaced apart from the first outer surface OS1 by a ninth interval d9. Also, the third group 313 may be spaced apart from the third outer surface OS3 in the first direction. In detail, one end of the third light emitting device 313a closest to the third outer surface OS3 may be spaced apart from the third outer surface OS3 by a tenth interval d10.

이때, 상기 제 7 간격(d7), 상기 제 8 간격(d8) 및 상기 제 9 간격(d9)은 서로 동일할 수 있다. 또한, 상기 제 7 간격(d7), 상기 제 8 간격(d8) 및 상기 제 9 간격(d9)은 상기 제 10 간격(d10)보다 작을 수 있다.In this case, the seventh interval d7, the eighth interval d8, and the ninth interval d9 may be the same. In addition, the seventh interval d7 , the eighth interval d8 , and the ninth interval d9 may be smaller than the tenth interval d10 .

또한, 도면에는 도시하지 않았으나, 상기 제 1 광원 모듈(310)의 상기 제 4 그룹(314), 상기 제 5 그룹(315) 및 상기 제 6 그룹(316)은 상기 제 1 광원 모듈(310)의 상기 제 1 그룹(311), 상기 제 2 그룹(312) 및 상기 제 3 그룹(313)과 대칭일 수 있다.In addition, although not shown in the drawings, the fourth group 314 , the fifth group 315 , and the sixth group 316 of the first light source module 310 are of the first light source module 310 . The first group 311 , the second group 312 , and the third group 313 may be symmetrical.

자세하게, 상기 제 4 그룹(314)은 상기 제 1 그룹(311)과 상기 제 2 선을 기준으로 대칭일 수 있다. 상기 제 4 그룹(314)은 상기 조사 장치(1000)의 중심 영역에 배치되는 광원 모듈일 수 있다. 상기 제 4 그룹(314)에서 방출된 광은 상기 피조사면(850)의 중심 영역을 형성할 수 있다. 상기 제 4 그룹(314)은 제 1 방향으로 연장하는 복수의 제 4 발광소자(314a)를 포함할 수 있다. 상기 제 4 발광소자(314a)들은 동일 선상에서 상기 제 1 간격(d1)으로 이격될 수 있다. 상기 제 4 발광소자(314a)는 상기 제 1 발광소자(311a)와 동일 선상에 배치될 수 있다. 상기 제 4 발광소자(314a)는 상기 제 1 발광소자(311a)와 대칭인 위치에 동일한 개수로 배치될 수 있다.In detail, the fourth group 314 may be symmetrical with respect to the first group 311 and the second line. The fourth group 314 may be a light source module disposed in a central region of the irradiation apparatus 1000 . The light emitted from the fourth group 314 may form a central region of the irradiated surface 850 . The fourth group 314 may include a plurality of fourth light emitting devices 314a extending in the first direction. The fourth light emitting devices 314a may be spaced apart from each other by the first interval d1 on the same line. The fourth light emitting device 314a may be disposed on the same line as the first light emitting device 311a. The fourth light emitting device 314a may be disposed at a position symmetrical to the first light emitting device 311a in the same number.

상기 제 5 그룹(315)은 상기 제 2 그룹(312)과 상기 제 2 선을 기준으로 대칭일 수 있다. 상기 제 5 그룹(315)은 상기 조사 장치(1000)의 중심 영역과 가장자리 영역 사이에 배치되는 광원 모듈일 수 있다. 상기 제 5 그룹(315)에서 방출된 광은 상기 피조사면(850)의 중심과 가장자리 영역 사이 영역을 형성할 수 있다. 상기 제 5 그룹(315)은 제 1 방향으로 연장하는 복수의 제 5 발광소자(315a)를 포함할 수 있다. 상기 제 5 발광소자(315a)들은 동일 선상에서 상기 제 2 간격(d2)으로 이격될 수 있다. 상기 제 5 발광소자(315a)는 상기 제 4 발광소자(314a)와 동일 선상에 배치될 수 있다. 상기 제 5 발광소자(315a)는 상기 제 2 발광소자(312a)와 대칭인 위치에 동일한 개수로 배치될 수 있다. The fifth group 315 may be symmetrical to the second group 312 with respect to the second line. The fifth group 315 may be a light source module disposed between a center area and an edge area of the irradiation apparatus 1000 . The light emitted from the fifth group 315 may form a region between the center and an edge region of the irradiated surface 850 . The fifth group 315 may include a plurality of fifth light emitting devices 315a extending in the first direction. The fifth light emitting devices 315a may be spaced apart from each other by the second interval d2 on the same line. The fifth light emitting device 315a may be disposed on the same line as the fourth light emitting device 314a. The fifth light emitting device 315a may be disposed at a position symmetrical to the second light emitting device 312a in the same number.

상기 제 6 그룹(316)은 상기 제 3 그룹(313)과 상기 제 2 선을 기준으로 대칭일 수 있다. 상기 제 6 그룹(316)은 상기 조사 장치(1000)의 가장자리 영역에 배치되는 광원 모듈일 수 있다. 상기 제 6 그룹(316)에서 방출된 광은 상기 피조사면(850)의 가장자리 영역을 형성할 수 있다. 상기 제 6 그룹(316)은 제 1 방향으로 연장하는 복수의 제 6 발광소자(316a)를 포함할 수 있다. 상기 복수의 제 6 발광소자(316a) 중 일부는 상기 제 4 발광소자(314a) 및 상기 제 5 발광소자(315a)와 동일 선상에서 상기 제 3 간격(d3)으로 배치될 수 있다. 또한, 상기 복수의 제 6 발광소자(316a)중 나머지는 상기 제 4 및 제 5 발광소자(314a, 315a)와 다른 선상에 배치될 수 있다. 이 경우, 다른 선상에 배치된 제 6 발광소자(316a)들은 동일 선상에 배치된 상기 제 6 발광소자(316a)들과 제 2 방향으로 상기 제 4 간격(d4)만큼 이격될 수 있다. 상기 제 6 발광소자(316a)는 상기 제 3 발광소자(313a)와 대칭인 위치에 동일한 개수로 배치될 수 있다. The sixth group 316 may be symmetrical with respect to the third group 313 and the second line. The sixth group 316 may be a light source module disposed in an edge region of the irradiation apparatus 1000 . The light emitted from the sixth group 316 may form an edge region of the irradiated surface 850 . The sixth group 316 may include a plurality of sixth light emitting devices 316a extending in the first direction. Some of the plurality of sixth light emitting devices 316a may be disposed on the same line as the fourth light emitting device 314a and the fifth light emitting device 315a at the third interval d3. In addition, the remainder of the plurality of sixth light emitting devices 316a may be disposed on a different line from the fourth and fifth light emitting devices 314a and 315a. In this case, the sixth light emitting devices 316a disposed on different lines may be spaced apart from the sixth light emitting devices 316a disposed on the same line by the fourth distance d4 in the second direction. The sixth light emitting device 316a may be disposed in a symmetrical position with the third light emitting device 313a in the same number.

또한, 상기 제 6 그룹(316)은 상기 제 3 그룹(313)과 마찬가지로 상기 제 4 및 제 5 그룹(314, 315)에서 방출된 단위 면적당 광의 세기는 상기 제 4 및 제 5 그룹(314, 315)보다 강할 수 있다. 자세하게, 상기 제 6 그룹(316)에 배치된 복수의 제 6 발광소자(316a)는 상기 제 4 및 제 5 그룹(314, 315)에 각각 배치된 제 4 및 제 5 발광소자(314a, 315a)보다 좁은 간격으로 보다 조밀하게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제 6 그룹(316)에 배치된 발광소자의 단위 면적당 집중도는 상기 제 4 및 제 6 그룹(314, 315)보다 높을 수 있다. 따라서, 상기 피조사면(850)의 가장자리 영역에 균일한 세기의 광을 인가할 수 있고, 복수의 조사 장치(1000)를 연속적으로 배치할 경우, 복수의 조사 장치(1000) 사이 영역과 대응되는 피조사면(850) 영역에 균일한 세기의 광을 제공할 수 있다.Also, in the sixth group 316 , like the third group 313 , the intensity of light per unit area emitted from the fourth and fifth groups 314 and 315 is similar to that of the fourth and fifth groups 314 and 315 . ) can be stronger. In detail, the plurality of sixth light emitting devices 316a disposed in the sixth group 316 includes fourth and fifth light emitting devices 314a and 315a disposed in the fourth and fifth groups 314 and 315, respectively. It can be arranged more densely with narrower spacing. Accordingly, the concentration per unit area of the light emitting devices disposed in the sixth group 316 may be higher than that of the fourth and sixth groups 314 and 315 . Accordingly, light of a uniform intensity can be applied to the edge region of the irradiated surface 850 , and when a plurality of irradiating devices 1000 are sequentially disposed, the irradiated light corresponding to the region between the plurality of irradiating devices 1000 . Light of uniform intensity may be provided to the area of the slope 850 .

또한, 상기 제 4 그룹(314) 및 상기 제 5 그룹(315)은 제 1 방향으로 상기 제 5 간격(d5)만큼 이격될 수 있다. 상기 제 5 그룹(315) 및 상기 제 6 그룹(316)은 제 1 방향으로 상기 제 6 간격(d6)만큼 이격될 수 있다.Also, the fourth group 314 and the fifth group 315 may be spaced apart from each other by the fifth interval d5 in the first direction. The fifth group 315 and the sixth group 316 may be spaced apart from each other by the sixth interval d6 in the first direction.

또한, 상기 제 4 그룹(314)에서 상기 제 1 외측면(OS1)과 최인접한 제 4 발광소자(314a)의 일 끝단은 상기 제 1 외측면(OS1)과 상기 제 7 간격(d7)만큼 이격될 수 있다. In addition, in the fourth group 314 , one end of the fourth light emitting device 314a closest to the first outer surface OS1 is spaced apart from the first outer surface OS1 by the seventh distance d7 . can be

또한, 상기 제 5 그룹(315)에서 상기 제 1 외측면(OS1)과 최인접한 제 5 발광소자(315a)의 일 끝단은 상기 제 1 외측면(OS1)과 상기 제 8 간격(d8)만큼 이격될 수 있다. In addition, in the fifth group 315 , one end of the fifth light emitting device 315a closest to the first outer surface OS1 is spaced apart from the first outer surface OS1 by the eighth interval d8 . can be

또한, 상기 제 6 그룹(316)에서 상기 제 1 외측면(OS1)과 최인접한 제 6 발광소자(316a)의 일 끝단은 상기 제 1 외측면(OS1)과 상기 제 9 간격(d9)만큼 이격될 수 있다. 그리고, 상기 제 6 그룹(316)에서 상기 제 4 외측면(OS4)과 최인접한 상기 제 6 발광소자(316a)의 일 끝단은 상기 제 4 외측면(OS4)과 상기 제 10 간격(d10)만큼 이격될 수 있다.In addition, in the sixth group 316 , one end of the sixth light emitting device 316a closest to the first outer surface OS1 is spaced apart from the first outer surface OS1 by the ninth interval d9 . can be In the sixth group 316 , one end of the sixth light emitting device 316a closest to the fourth outer surface OS4 is separated from the fourth outer surface OS4 by the tenth distance d10 . can be spaced apart.

이어서 도 6을 참조하면, 상기 제 1 광원 모듈(310)의 제 1 그룹(311)은 상기 제 4 그룹(314)과 제 1 방향으로 이격될 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 그룹(311)의 일 단에 위치한 제 1 발광소자(311a)는 상기 제 4 그룹(314)의 일 단에 위치한 제 4 발광소자(314a)와 제 1 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 1 발광소자(311a)와 상기 제 4 발광소자(314a)는 제 11 간격(d11)만큼 이격될 수 있다.Next, referring to FIG. 6 , the first group 311 of the first light source module 310 may be spaced apart from the fourth group 314 in a first direction. In detail, the first light emitting device 311a positioned at one end of the first group 311 may be spaced apart from the fourth light emitting device 314a positioned at one end of the fourth group 314 in the first direction. . The first light emitting device 311a and the fourth light emitting device 314a may be spaced apart from each other by an eleventh interval d11.

상기 제 11 간격(d11)은 상기 제 2 간격(d2)보다 클 수 있다. 또한, 상기 제 11 간격(d11)은 상기 제 5 간격(d5)보다 작을 수 있다. 예를 들어, 상기 제 11 간격(d11)은 상기 제 5 간격(d5)의 약 0.2배 내지 약 0.7배일 수 있다. The eleventh interval d11 may be greater than the second interval d2. Also, the eleventh interval d11 may be smaller than the fifth interval d5. For example, the eleventh interval d11 may be about 0.2 to about 0.7 times the fifth interval d5.

상기 제 11 간격(d11)이 상술한 범위를 만족하지 못할 경우, 상기 피조사면(850)의 중심 영역에 인가되는 광의 세기가 다른 피조사면(850) 영역에 인가되는 광의 세기와 큰 편차를 가져 상기 피조사면(850) 전체에 조사되는 광의 균일도 특성이 저하될 수 있다.When the eleventh interval d11 does not satisfy the above-described range, the intensity of light applied to the central region of the irradiated surface 850 has a large deviation from that of the other irradiated surface 850 region. The uniformity characteristic of the light irradiated to the entire surface 850 to be irradiated may be deteriorated.

또한, 상기 제 2 광원 모듈(320)은 복수의 그룹을 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 광원 모듈(320)은 상기 제 1 선을 기준으로 상기 제 1 광원 모듈(310)의 제 1 내지 제 6 그룹(311, 312, 313, 314, 315, 316)과 제 2 방향으로 대칭인 제 1 내지 제 6 그룹(321, 322, 323, 324, 325, 326)을 포함할 수 있다.Also, the second light source module 320 may include a plurality of groups. In detail, the second light source module 320 includes the first to sixth groups 311 , 312 , 313 , 314 , 315 , 316 and the second direction of the first light source module 310 with respect to the first line. may include first to sixth groups 321 , 322 , 323 , 324 , 325 , and 326 symmetrical to .

이때, 도 7을 참조하면, 상기 제 1 광원 모듈(310)의 제 1 그룹(311)은 상기 제 2 광원 모듈(320)의 제 1 그룹(321)과 제 2 방향으로 이격될 수 있다. 자세하게, 제 2 방향으로 마주하는 상기 제 1 광원 모듈(310)의 제 1 발광소자(311a)와 상기 제 2 광원 모듈(320)의 제 1 발광소자(321a)는 제 12 간격(d12)으로 이격될 수 있다.In this case, referring to FIG. 7 , the first group 311 of the first light source module 310 may be spaced apart from the first group 321 of the second light source module 320 in the second direction. In detail, the first light emitting device 311a of the first light source module 310 and the first light emitting device 321a of the second light source module 320 facing in the second direction are spaced apart by a twelfth interval d12. can be

또한, 상기 제 1 광원 모듈(310)의 제 2 그룹(312)은 상기 제 2 광원 모듈(320)의 제 2 그룹(322)과 제 2 방향으로 이격될 수 있다. 자세하게, 제 2 방향으로 마주하는 상기 제 1 광원 모듈(310)의 제 2 발광소자(312a)와 상기 제 2 광원 모듈(320)의 제 2 발광소자(322a)는 제 13 간격(d13)으로 이격될 수 있다.Also, the second group 312 of the first light source module 310 may be spaced apart from the second group 322 of the second light source module 320 in the second direction. In detail, the second light emitting device 312a of the first light source module 310 and the second light emitting device 322a of the second light source module 320 facing in the second direction are spaced apart by a thirteenth interval d13. can be

또한, 상기 제 1 광원 모듈(310)의 제 3 그룹(313)은 상기 제 2 광원 모듈(320)의 제 3 그룹(323)과 제 2 방향으로 이격될 수 있다. 자세하게, 제 3 방향으로 마주하는 상기 제 1 광원 모듈(310)의 제 3 발광소자(313a)와 상기 제 2 광원 모듈(320)의 제 3 발광소자(323a)는 제 14 간격(d14)으로 이격될 수 있다.Also, the third group 313 of the first light source module 310 may be spaced apart from the third group 323 of the second light source module 320 in the second direction. In detail, the third light emitting device 313a of the first light source module 310 and the third light emitting device 323a of the second light source module 320 facing in the third direction are spaced apart by a 14th interval d14. can be

상기 제 12 간격(d12)은 상기 제 13 간격(d13)과 동일할 수 있다. 또한, 상기 제 14 간격(d14)은 상기 제 12 간격(d12)보다 작을 수 있다. 여기서 상기 제 12 간격(d12), 상기 제 13 간격(d13) 및 상기 제 14 간격(d14)은 제 2 방향으로 마주하는 발광소자들 사이의 최단 간격을 의미할 수 있다.The twelfth interval d12 may be the same as the thirteenth interval d13. Also, the 14th interval d14 may be smaller than the twelfth interval d12. Here, the twelfth interval d12 , the thirteenth interval d13 , and the 14th interval d14 may mean a shortest interval between light emitting devices facing each other in the second direction.

다시 도 3을 참조하면, 상기 투광 부재(510)는 복수 개가 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 투광 부재(510)는 상기 제 1 광원 모듈(310) 및 상기 제 2 광원 모듈(320) 각각의 그룹과 대응되는 복수의 투광 부재(510)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 투광 부재(510)는 상기 제 1 광원 모듈(310)의 제 1 그룹(311)과 대응되는 제 1 투광 부재, 상기 제 1 광원 모듈(310)의 제 2 그룹(312) 및 제 3 그룹(313)과 대응되는 제 2 투광 부재, 상기 제 1 광원 모듈의 제 4 그룹(314)과 대응되는 제 3 투광 부재, 상기 제 1 광원 모듈(310)의 제 5 그룹(315) 및 제 6 그룹(316)과 대응되는 제 4 투광 부재를 포함할 수 있다. 또한, 상기 투광 부재(510)는 상기 제 2 광원 모듈(320)의 제 1 그룹(321)과 대응되는 제 5 투광 부재, 상기 제 2 광원 모듈(320)의 제 2 그룹(322) 및 제 3 그룹(323)과 대응되는 제 6 투광 부재, 상기 제 2 광원 모듈(320)의 제 4 그룹(324)과 대응되는 제 7 투광 부재, 상기 제 2 광원 모듈(320)의 제 5 그룹(325) 및 제 6 그룹(326)과 대응되는 제 8 투광 부재를 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 조사 장치(1000)는 상기 투광 부재(510)가 상기 커버 부재(500) 상에서 차지하는 면적을 최소화할 수 있다. 즉, 상대적으로 비싼 상기 투광 부재(510)의 비용을 절감할 수 있어, 상기 조사 장치(1000)의 전체 제조 비용을 감소시킬 수 있다. 그러나, 실시예는 이에 제한하지 않으며 상기 투광 부재(510)는 다양한 개수로 제공될 수 있다.Referring back to FIG. 3 , a plurality of the light transmitting members 510 may be disposed. For example, the light transmitting member 510 may include a plurality of light transmitting members 510 corresponding to each group of the first light source module 310 and the second light source module 320 . For example, the light transmitting member 510 may include a first light transmitting member corresponding to the first group 311 of the first light source module 310 , a second group 312 of the first light source module 310 , and A second light transmitting member corresponding to the third group 313 , a third light transmitting member corresponding to the fourth group 314 of the first light source module, a fifth group 315 of the first light source module 310 , and A fourth light-transmitting member corresponding to the sixth group 316 may be included. In addition, the light transmitting member 510 includes a fifth light transmitting member corresponding to the first group 321 of the second light source module 320 , the second group 322 of the second light source module 320 and the third A sixth light transmitting member corresponding to the group 323 , a seventh light transmitting member corresponding to the fourth group 324 of the second light source module 320 , and a fifth group 325 of the second light source module 320 . and an eighth light transmitting member corresponding to the sixth group 326 . Accordingly, the irradiation apparatus 1000 may minimize the area occupied by the light transmitting member 510 on the cover member 500 . That is, it is possible to reduce the relatively expensive cost of the light transmitting member 510 , thereby reducing the overall manufacturing cost of the irradiation apparatus 1000 . However, the embodiment is not limited thereto, and the light transmitting member 510 may be provided in various numbers.

즉, 실시예에 따른 조사 장치(1000)는 복수의 광원 모듈, 예컨대 제 1 광원 모듈(310) 및 제 2 광원 모듈(320)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 1 및 제 2 광원 모듈(310, 320) 각각은 그룹에 따라 서로 다른 간격으로 배치된 복수의 발광소자들을 포함할 수 있다. That is, the irradiation apparatus 1000 according to the embodiment may include a plurality of light source modules, for example, a first light source module 310 and a second light source module 320 . In addition, each of the first and second light source modules 310 and 320 may include a plurality of light emitting devices arranged at different intervals according to groups.

이때, 상기 제 1 및 제 2 광원 모듈(310, 320) 각각은, 상기 제 1 방향으로 대칭인 제 1 내지 제 3 그룹(311, 312, 313, 321, 322, 323)과 제 4 내지 제 6 그룹(314, 315, 316, 324, 325, 326)을 포함할 수 있다.In this case, each of the first and second light source modules 310 and 320 includes first to third groups 311 , 312 , 313 , 321 , 322 , 323 , and fourth to sixth symmetrical groups in the first direction. groups 314 , 315 , 316 , 324 , 325 , 326 .

또한, 상기 제 2 광원 모듈(320)은 상기 제 1 광원 모듈(310)과 제 2 방향으로 대칭인 영역에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 광원 모듈(320)의 발광소자는 상기 제 1 광원 모듈(310)의 발광소자와 상기 조사 장치(1000)의 중심(CP)에 대하여 180도 회전 대칭인 영역에 배치될 수 있다.Also, the second light source module 320 may be disposed in an area symmetrical to the first light source module 310 in the second direction. In detail, the light emitting device of the second light source module 320 may be disposed in an area that is 180 degrees rotationally symmetric with respect to the light emitting device of the first light source module 310 and the center CP of the irradiation apparatus 1000 . .

이에 따라, 실시예에 따른 조사 장치(1000)는 상기 조사 대상(800)에 피조사면(850)을 형성할 수 있다. 자세하게, 상기 조명 모듈(50)에서 방출된 광은 상기 커버 부재(500)의 개구부 상에 배치된 상기 투광 부재(510)를 통과하여 상기 조사 대상(800)에 입사될 수 있다. 이때, 상기 조사 장치(1000)는 상기 피조사면(850)에 설정된 파장 대역의 광을 균일하게 제공할 수 있다. 예를 들어, 실시예는 상술한 [수학식 1]을 바탕으로 상기 피조사면(850)에 인가되는 광의 세기의 균일도를 얻을 수 있다.Accordingly, the irradiation apparatus 1000 according to the embodiment may form the irradiated surface 850 on the irradiated object 800 . In detail, the light emitted from the lighting module 50 may pass through the light-transmitting member 510 disposed on the opening of the cover member 500 to be incident on the irradiation target 800 . In this case, the irradiation apparatus 1000 may uniformly provide light of a wavelength band set to the surface 850 to be irradiated. For example, in the embodiment, the uniformity of the intensity of the light applied to the irradiated surface 850 can be obtained based on the above-described [Equation 1].

즉, 실시예는 피조사면(850)에 입사되는 광의 세기의 최소값과 최대값을 바탕으로 상기 피조사면(850)에 인가되는 광의 세기의 균일도를 얻을 수 있다. 자세하게, 실시예에 따른 조사 장치(1000)에 의해 상기 피조사면(850)에 인가되는 광의 세기의 균일도는 약 50% 이상일 수 있다.That is, in the embodiment, the uniformity of the intensity of the light applied to the irradiated surface 850 can be obtained based on the minimum and maximum values of the intensity of the light incident on the irradiated surface 850 . In detail, the uniformity of the intensity of the light applied to the irradiated surface 850 by the irradiation apparatus 1000 according to the embodiment may be about 50% or more.

도 8 및 도 9는 실시예에 따른 조사 장치의 조사 밀도 분포에 대한 도면이다. 자세하게, 도 8 및 도 9는 상기 조사 장치의 조사 밀도 분포에 대한 시뮬레이션 데이터로, 도 9는 제작한 장치의 측정 특성에 대한 도면이다. 도 8에서 백색에 가까울수록 상대적으로 광의 세기가 큰 것을 의미할 수 있고, 백색에서 마젠타(magenta)색을 거쳐 청색(blue)으로 갈수록 상대적으로 광의 세기가 작은 것을 의미할 수 있다.8 and 9 are diagrams of the irradiation density distribution of the irradiation apparatus according to the embodiment. In detail, FIGS. 8 and 9 are simulation data for the irradiation density distribution of the irradiation apparatus, and FIG. 9 is a view showing the measurement characteristics of the manufactured apparatus. In FIG. 8 , the closer to white, the greater the intensity of light, and the closer to blue, the lower the intensity of light.

이하, 실험예를 통하여 본 발명의 작용 및 효과를 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, the operation and effect of the present invention will be described in more detail through experimental examples.

실험예Experimental example

90cm * 30cm (장축 * 단축) 크기를 가지며, 자외선(UV-A) 광을 방출하는 복수의 발광소자를 포함하는 조사 장치를 조사 대상과 수직 방향으로 약 60cm 이격된 위치에 배치하였다. 이때, 상기 조사 장치는 상기 조사 장치의 장축이 상기 조사 대상의 연장 방향과 대응되도록 배치하였다.An irradiation device having a size of 90 cm * 30 cm (long axis * short axis) and including a plurality of light emitting devices emitting ultraviolet (UV-A) light was disposed at a position spaced apart from the irradiation target by about 60 cm in the vertical direction. In this case, the irradiation device was arranged such that the long axis of the irradiation device corresponds to the extension direction of the irradiation target.

이후, 상기 조사 대상에 자외선 광을 조사하여 상기 조사 대상의 일면 상에 100cm * 50cm (장축 * 단축) 크기의 피조사면을 형성하였다. 이어서 상기 피조사면의 중심 영역(60cm * 30cm), 주변 영역(80cm * 50cm), 가장자리 영역(100cm * 50cm) 및 전체 영역(100cm * 50 cm)에 각각 인가된 광의 세기의 균일도를 측정하였다. 여기서 주변 영역은 상술한 주변 영역의 면적에서 상기 중심 영역의 면적을 제외한 영역을 의미할 수 있다. 또한, 상기 가장자리 영역은 상술한 가장자리 영역의 면적에서 상기 중심 및 주변 영역의 면적을 제외한 영역을 의미할 수 있다.Then, the irradiation target was irradiated with ultraviolet light to form a surface to be irradiated with a size of 100 cm * 50 cm (long axis * short axis) on one surface of the irradiation target. Then, the uniformity of the intensity of the light applied to the central area (60cm * 30cm), the peripheral area (80cm * 50cm), the edge area (100cm * 50cm), and the entire area (100cm * 50cm) of the irradiated surface was measured. Here, the peripheral region may mean an area excluding the area of the central region from the area of the aforementioned peripheral region. Also, the edge region may mean a region excluding the area of the center and peripheral regions from the area of the above-described edge region.

실시예에 따른 조사 장치(1000)는 상기 조사 장치(1000)의 평면적보다 넓을 면적을 가지는 피조사면(850)에 균일한 세기의 광을 제공할 수 있다.The irradiation apparatus 1000 according to the embodiment may provide light of a uniform intensity to the irradiated surface 850 having an area larger than a planar area of the irradiation apparatus 1000 .

자세하게, 도 8을 참조하면, 상기 조사 장치(1000)는 면 광원으로 발광하며 상기 조사 장치(1000)의 중심과 대응되는 피조사면(850)의 영역이 백색에 가까운 것을 확인할 수 있다. 또한, 상기 조사 장치(1000)의 전체와 대응되는 상기 피조사면(850)의 영역 역시 백색에 가까운 것을 확인할 수 있다. 즉, 광의 세기의 균일도 특성이 우수한 것을 확인할 수 있다.In detail, referring to FIG. 8 , it can be seen that the irradiation apparatus 1000 emits light as a surface light source, and the area of the irradiated surface 850 corresponding to the center of the irradiation apparatus 1000 is close to white. In addition, it can be confirmed that the area of the irradiated surface 850 corresponding to the entirety of the irradiation apparatus 1000 is also close to white. That is, it can be confirmed that the light intensity uniformity characteristic is excellent.

중심 영역(R1)central area (R1) 주변 영역(R2)Peripheral area (R2) 가장자리 영역(R3)Edge area (R3) 전체 영역 (R1+R2+R3)Total area (R1+R2+R3) 광의 세기의 최대값(I2) (mW/cm2)Maximum value of light intensity (I2) (mW/cm 2 ) 4.514.51 4.464.46 4.24.2 4.514.51 광의 세기의 최소값(I1) (mW/cm2)Minimum value of light intensity (I1) (mW/cm 2 ) 3.793.79 2.592.59 2.522.52 2.522.52 광의 세기의 평균값 (mW/cm2)Average value of light intensity (mW/cm 2 ) 4.214.21 3.493.49 3.343.34 3.743.74 광의 세기의 균일도(U) (%)Uniformity of light intensity (U) (%) 8484 5858 6060 5555

보다 자세하게 도 9 및 표 1을 참조하면, 상기 피조사면(850)의 중심 영역(R1)에는 최대 4.51mW/cm2, 최소 3.79mW/cm2, 평균 4.21mW/cm2의 광이 인가될 수 있고, 약 84%의 균일도를 가질 수 있다. 9 and Table 1 in more detail, a maximum of 4.51 mW/cm 2 , a minimum of 3.79 mW/cm 2 , and an average of 4.21 mW/cm 2 of light can be applied to the central region R1 of the irradiated surface 850 . and may have a uniformity of about 84%.

또한, 상기 중심 영역(R1)을 제외한 주변 영역(R2)에는 최대 4.46mW/cm2, 최소 2.59mW/cm2, 평균 3.49mW/cm2의 광이 인가될 수 있고, 약 58%의 균일도를 가질 수 있다. In addition, a maximum of 4.46 mW/cm 2 , a minimum of 2.59 mW/cm 2 , and an average of 3.49 mW/cm 2 of light may be applied to the peripheral region R2 excluding the central region R1, and a uniformity of about 58% may be applied. can have

또한, 상기 중심 및 주변 영역(R1, R2)을 제외한 가장자리 영역(R3)에는 최대 4.2mW/cm2, 최소 2.52mW/cm2, 평균 3.34mW/cm2의 광이 인가될 수 있고, 약 60%의 균일도를 가질 수 있다. In addition, a maximum of 4.2 mW/cm 2 , a minimum of 2.52 mW/cm 2 , and an average of 3.34 mW/cm 2 of light may be applied to the edge region R3 excluding the center and peripheral regions R1 and R2 , about 60 % uniformity.

또한, 상기 중심, 주변 및 가장자리 영역(R1, R2, R3)을 합한 전체 영역(R1+R2+R3)에는 최대 4.51mW/cm2, 최소 2.52mW/cm2, 평균 3.74mW/cm2의 광이 인가될 수 있고, 약 55%의 균일도를 가질 수 있다. In addition, a maximum of 4.51 mW/cm 2 , a minimum of 2.52 mW/cm 2 , and an average of 3.74 mW/cm 2 of light in the total area (R1+R2+R3) including the center, periphery and edge areas (R1, R2, R3) This can be applied and can have a uniformity of about 55%.

즉, 실시예에 따른 조사 장치(1000)는 우수한 광의 세기의 균일도 특성을 가질 수 있다. 자세하게, 상기 조사 장치(1000)는 약 50%의 광의 세기 균일도를 가질 수 있다. 더 자세하게, 상기 조사 장치(1000)는 약 55%의 광의 세기 균일도를 가질 수 있다. 이로 인해 상기 조사 장치(1000)는 상기 조사 대상(800)에 광의 세기의 편차가 최소화된 균일한 세기의 광을 조사할 수 있다. 특히, 상기 조사 대상(800)은 설정된 간격으로 이격된 복수의 발광소자 그룹에 의해, 중심 영역(R1)뿐만 아니라 주변 영역(R2), 가장자리 영역(R3) 각각에 입사되는 광의 세기의 편차를 최소화할 수 있다.That is, the irradiation apparatus 1000 according to the embodiment may have excellent light intensity uniformity characteristics. In detail, the irradiation apparatus 1000 may have a light intensity uniformity of about 50%. In more detail, the irradiation apparatus 1000 may have a light intensity uniformity of about 55%. As a result, the irradiation apparatus 1000 may irradiate the irradiation target 800 with light having a uniform intensity with a minimal variation in light intensity. In particular, the irradiation target 800 minimizes variations in the intensity of light incident on each of the central region R1 as well as the peripheral region R2 and the edge region R3 by a plurality of light emitting device groups spaced apart at a set interval. can do.

또한, 실시예에 따른 조사 장치(1000)는 상기 조명 모듈(50)에서 방출되는 열을 효과적으로 배출할 수 있어 별도의 방열 부재를 생략할 수 있다. 이에 따라, 상기 조사 장치(1000)의 부피 및 무게를 효과적으로 감소할 수 있다.In addition, the irradiation apparatus 1000 according to the embodiment can effectively dissipate the heat emitted from the lighting module 50, so that a separate heat dissipation member can be omitted. Accordingly, the volume and weight of the irradiation apparatus 1000 can be effectively reduced.

도 10 및 도 11은 실시예에 따른 조사 장치에서 커버 부재가 제외된 다른 상면도이다.10 and 11 are other top views in which the cover member is excluded from the irradiation apparatus according to the embodiment.

먼저 도 10을 참조하면, 상기 조명 모듈(50)은 복수의 회로기판(200)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 조명 모듈(50)은 서로 이격된 제 1 회로기판(210) 및 제 2 회로기판(220)을 포함할 수 있다.Referring first to FIG. 10 , the lighting module 50 may include a plurality of circuit boards 200 . For example, the lighting module 50 may include a first circuit board 210 and a second circuit board 220 spaced apart from each other.

상기 제 1 회로기판(210)은 제 1 방향으로 연장할 수 있다. 상기 제 1 회로기판(210) 상에는 상기 제 1 광원 모듈(310)이 배치될 수 있다. 상기 제 2 회로기판(220)은 제 1 방향으로 연장하며 상기 제 1 회로기판(210)과 제 2 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 1 회로기판(210) 상에는 상기 제 2 광원 모듈(320)이 배치될 수 있다. 상기 제 1 회로기판(210) 및 상기 제 2 회로기판(220)은 제 2 방향을 서로 대칭일 수 있다.The first circuit board 210 may extend in a first direction. The first light source module 310 may be disposed on the first circuit board 210 . The second circuit board 220 may extend in a first direction and may be spaced apart from the first circuit board 210 in a second direction. The second light source module 320 may be disposed on the first circuit board 210 . The first circuit board 210 and the second circuit board 220 may be symmetrical in the second direction.

즉, 실시예에 따른 조사 장치(1000)는 제 1 및 제 2 광원 모듈(310, 320)이 각각 배치되는 제 1 및 제 2 회로기판(210, 220)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 제 1 회로기판(210) 및 상기 제 1 광원 모듈(310)을 포함하는 조명 모듈은, 상기 제 2 회로기판(220) 및 상기 제 2 광원 모듈(320)을 포함하는 조명 모듈과 동일한 형태, 구조, 크기를 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 제 1 회로기판(210) 상에 배치된 상기 제 1 광원 모듈(310)은 상기 제 2 회로기판(220) 상에 배치된 제 2 광원 모듈(320)과 상기 중심(CP)을 기준으로 회전 대칭인 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 조사 장치(1000)는 하나의 형태를 가지는 모듈을 이용하여 제조할 수 있어 향상된 공정 효율을 가질 수 있다.That is, the irradiation apparatus 1000 according to the embodiment may include first and second circuit boards 210 and 220 on which the first and second light source modules 310 and 320 are respectively disposed. At this time, the lighting module including the first circuit board 210 and the first light source module 310 is the same as the lighting module including the second circuit board 220 and the second light source module 320 . It may have a shape, structure, or size. Accordingly, the first light source module 310 disposed on the first circuit board 210 connects the second light source module 320 and the center CP disposed on the second circuit board 220 . It may have a structure that is rotationally symmetric with respect to the reference. In addition, the irradiation apparatus 1000 may be manufactured using a module having a single shape, and thus may have improved process efficiency.

또한, 도 11을 참조하면, 상기 조명 모듈(50)은 복수의 회로기판(200)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 조명 모듈(50)은 서로 이격된 제 1 회로기판(210), 제 2 회로기판(220), 제 3 회로기판(230) 및 제 4 회로기판(240)을 포함할 수 있다.Also, referring to FIG. 11 , the lighting module 50 may include a plurality of circuit boards 200 . For example, the lighting module 50 may include a first circuit board 210 , a second circuit board 220 , a third circuit board 230 , and a fourth circuit board 240 spaced apart from each other. .

상기 제 1 회로기판(210)은 제 1 방향으로 연장할 수 있다. 상기 제 1 회로기판(210) 상에는 상기 제 1 광원 모듈(310)이 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 회로기판(210) 상에는 상기 제 1 광원 모듈(310)의 제 1 그룹(311), 제 2 그룹(312) 및 제 3 그룹(313)이 배치될 수 있다.The first circuit board 210 may extend in a first direction. The first light source module 310 may be disposed on the first circuit board 210 . For example, a first group 311 , a second group 312 , and a third group 313 of the first light source module 310 may be disposed on the first circuit board 210 .

상기 제 2 회로기판(220)은 제 1 방향으로 연장하며, 상기 제 1 회로기판(210)과 제 1 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 2 회로기판(220) 상에는 상기 제 1 광원 모듈(310)이 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 회로기판(220) 상에는 상기 제 1 광원 모듈(310)의 제 4 그룹(314), 제 5 그룹(315) 및 제 6 그룹(316)이 배치될 수 있다.The second circuit board 220 may extend in a first direction and may be spaced apart from the first circuit board 210 in the first direction. The first light source module 310 may be disposed on the second circuit board 220 . For example, a fourth group 314 , a fifth group 315 , and a sixth group 316 of the first light source module 310 may be disposed on the second circuit board 220 .

상기 제 3 회로기판(230)은 제 1 방향으로 연장하며, 상기 제 1 회로기판(210)과 제 2 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 3 회로기판(230) 상에는 상기 제 2 광원 모듈(320)이 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 3 회로기판(230) 상에는 상기 제 2 광원 모듈(320)의 제 1 그룹(321), 제 2 그룹(322) 및 제 3 그룹(323)이 배치될 수 있다.The third circuit board 230 may extend in a first direction and may be spaced apart from the first circuit board 210 in a second direction. The second light source module 320 may be disposed on the third circuit board 230 . For example, the first group 321 , the second group 322 , and the third group 323 of the second light source module 320 may be disposed on the third circuit board 230 .

상기 제 4 회로기판(240)은 제 1 방향으로 연장하며, 상기 제 2 회로기판(220)과 제 2 방향으로, 상기 제 3 회로기판(230)과 제 1 방향으로 이격될 수 있다. 상기 제 4 회로기판(240) 상에는 상기 제 2 광원 모듈(320)이 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 4 회로기판(240) 상에는 상기 제 2 광원 모듈(320)의 제 4 그룹(324), 제 5 그룹(325) 및 제 6 그룹(326)이 배치될 수 있다.The fourth circuit board 240 may extend in a first direction, and may be spaced apart from the second circuit board 220 in a second direction and the third circuit board 230 in a first direction. The second light source module 320 may be disposed on the fourth circuit board 240 . For example, a fourth group 324 , a fifth group 325 , and a sixth group 326 of the second light source module 320 may be disposed on the fourth circuit board 240 .

즉, 실시예에 따른 조사 장치(1000)는, 상기 제 1 및 제 2 광원 모듈(310 320)의 그룹들(311~316, 321~326)이 배치되는 제 1 내지 제 4 회로기판(210, 220, 230, 240)을 포함할 수 있다. That is, the irradiation apparatus 1000 according to the embodiment includes the first to fourth circuit boards 210 on which the groups 311 to 316 and 321 to 326 of the first and second light source modules 310 320 are disposed. 220, 230, 240).

이때, 상기 제 1 회로기판(210) 및 상기 제 1 광원 모듈(310)의 제 1 내지 제 3 그룹(311, 312, 313)을 포함하는 조명 모듈은, 상기 제 4 회로기판(240) 및 제 2 광원 모듈(320)의 제 4 내지 제 6 그룹(324, 325, 326)을 포함하는 조명 모듈과 동일한 형태, 구조, 크기를 가질 수 있다.At this time, the lighting module including the first to third groups 311 , 312 , 313 of the first circuit board 210 and the first light source module 310 includes the fourth circuit board 240 and the first light source module 310 . The second light source module 320 may have the same shape, structure, and size as the lighting module including the fourth to sixth groups 324 , 325 , and 326 .

또한, 상기 제 2 회로기판(220) 및 상기 제 1 광원 모듈(310)의 제 4 내지 제 6 그룹(314, 315, 316)을 포함하는 조명 모듈은, 상기 제 3 회로기판(230) 및 제 2 광원 모듈(320)의 제 1 내지 제 3 그룹(321, 322, 323)을 포함하는 조명 모듈과 동일한 형태, 구조, 크기를 가질 수 있다.In addition, the lighting module including the fourth to sixth groups 314 , 315 , 316 of the second circuit board 220 and the first light source module 310 may include the third circuit board 230 and the second light source module 310 . The second light source module 320 may have the same shape, structure, and size as the lighting module including the first to third groups 321 , 322 , and 323 .

이때, 상기 제 1 및 제 4 회로기판(210, 240)을 포함하는 조명 모듈은 상기 제 2 및 제 3 회로기판(220, 230)을 포함하는 조명 모듈과 상기 제 2 선을 기준으로 대칭인 형태를 가질 수 있다. 이에 따라, 실시예에 따른 조사 장치(1000)는 서로 대칭인 두 가지 형태를 가지는 모듈을 이용하여 제조할 수 있어, 향상된 공정 효율을 가질 수 있다.In this case, the lighting module including the first and fourth circuit boards 210 and 240 is symmetrical with respect to the second line and the lighting module including the second and third circuit boards 220 and 230 . can have Accordingly, the irradiation apparatus 1000 according to the embodiment may be manufactured using a module having two shapes symmetrical to each other, and thus may have improved process efficiency.

또한, 실시예에 따른 조사 장치(1000)는 상기 제 1 광원 모듈(310) 및 상기 제 2 광원 모듈(320) 중 하나의 광원 모듈, 또는 상기 제 1 및 제 2 광원 모듈(310, 320)의 복수의 그룹 중 하나의 그룹이 수명을 다하거나 파손될 경우, 문제가 있는 회로기판(200)과 광원 모듈만을 부분적으로 교체할 수 있다. 따라서, 실시예에 따른 조사 장치(1000)는 조립 및 교체가 용이하여 향상된 효율을 가질 수 있다.In addition, the irradiation apparatus 1000 according to the embodiment includes one of the first light source module 310 and the second light source module 320 , or the first and second light source modules 310 and 320 . When one of the plurality of groups expires or is damaged, only the faulty circuit board 200 and the light source module may be partially replaced. Therefore, the irradiation apparatus 1000 according to the embodiment can have improved efficiency because it is easy to assemble and replace.

도 12는 실시예에 따른 조사 장치가 복수 개가 배치되어 조사 대상에 광을 조사하는 것에 대한 개략도이고, 도 13은 복수의 조사 장치의 조사 밀도 분포에 대한 도면이다.12 is a schematic diagram of a plurality of irradiation apparatuses according to the embodiment for irradiating light to an irradiation target, and FIG. 13 is a view of irradiation density distribution of the plurality of irradiation apparatuses.

도 12 및 도 13을 참조하면, 실시예에 따른 조사 장치(1000)는 제 1 방향으로 연장하는 조사 대상(800)에 광을 조사하여 제 1 방향으로 연속된 피조사면(850)을 형성할 수 있다.12 and 13, the irradiation apparatus 1000 according to the embodiment may form a continuous irradiated surface 850 in the first direction by irradiating light to the irradiation target 800 extending in the first direction. have.

이를 위해, 상기 조사 장치(1000)는 복수 개가 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 조사 장치(1000)는 상기 조사 대상(800)과 제 1 거리(wd)만큼 이격된 제 1 조사 장치(1000A) 및 제 2 조사 장치(1000B)를 포함할 수 있다.To this end, a plurality of irradiation devices 1000 may be disposed. For example, the irradiation apparatus 1000 may include a first irradiation apparatus 1000A and a second irradiation apparatus 1000B spaced apart from the irradiation object 800 by a first distance wd.

상기 제 1 조사 장치(1000A) 및 상기 제 2 조사 장치(1000B) 각각은, 장축이 상기 조사 대상(800)의 연장 방향, 예컨대 제 1 방향과 대응되도록 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 1 조사 장치(1000A) 및 상기 제 2 조사 장치(1000B)는 조사 대상(800)의 연장 방향과 대응되는 제 1 방향으로 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 조사 장치(1000A) 및 상기 제 2 조사 장치(1000B)는 제 15 간격(d15)으로 이격될 수 있다. Each of the first irradiation apparatus 1000A and the second irradiation apparatus 1000B may be disposed such that a long axis thereof corresponds to an extension direction of the irradiation target 800 , for example, the first direction. Also, the first irradiation apparatus 1000A and the second irradiation apparatus 1000B may be spaced apart from each other in a first direction corresponding to the extension direction of the irradiation object 800 . For example, the first irradiation apparatus 1000A and the second irradiation apparatus 1000B may be spaced apart from each other by a fifteenth interval d15.

자세하게, 상기 제 15 간격(d15)은 상기 조사 장치(1000)의 장축 방향의 길이, 예컨대 제 1 방향 길이(w1)보다 작을 수 있다. 또한, 상기 제 15 간격(d15)은 상기 조사 장치(1000)의 단축 방향 길이, 예컨대 제 2 방향 길이(w2)보다 작을 수 있다. 예를 들어, 상기 제 15 간격(d15)은 상기 제 1 방향 길이(w1)의 약 0.15배 내지 약 0.85배일 수 있다. 일례로, 상기 제 15 간격(d15)은 약 10cm에서 약 50cm일 수 있다.In detail, the fifteenth interval d15 may be smaller than the length in the long axis direction of the irradiation apparatus 1000 , for example, the length w1 in the first direction. In addition, the fifteenth interval d15 may be smaller than the length in the minor axis direction of the irradiation apparatus 1000 , for example, the length w2 in the second direction. For example, the fifteenth interval d15 may be about 0.15 times to about 0.85 times the length w1 in the first direction. For example, the fifteenth interval d15 may be about 10 cm to about 50 cm.

상기 제 15 간격(d15)이 상기 조사 장치(1000)의 장축 방향의 길이(w1)의 약 0.15배 미만인 경우, 상기 제 1 조사 장치(1000A) 및 상기 제 2 조사 장치(1000B)에 의해 각각 형성된 피조사면(850)에 인가되는 광의 세기의 균일도 특성이 저하될 수 있다. 자세하게, 상기의 경우 상기 제 1 조사 장치(1000A)와 상기 제 2 조사 장치(1000B) 사이의 거리가 너무 근접할 수 있다. 이에 따라, 상기 제 1 조사 장치(1000A)에 의해 형성된 제 1 피조사면과 상기 제 2 조사 장치(1000B)에 의해 형성된 제 2 피조사면이 오버랩되는 영역의 면적이 커질 수 있고, 상기 오버랩되는 영역에 인가되는 광의 세기가 상대적으로 커질 수 있다. 따라서, 상기 피조사면(850) 전체에 인가되는 광의 세기의 균일도 특성이 저하될 수 있다.When the fifteenth interval d15 is less than about 0.15 times the length w1 of the long axis of the irradiation apparatus 1000, the first irradiation apparatus 1000A and the second irradiation apparatus 1000B respectively form The uniformity characteristic of the intensity of the light applied to the irradiated surface 850 may be deteriorated. In detail, in this case, the distance between the first irradiation apparatus 1000A and the second irradiation apparatus 1000B may be too close. Accordingly, the overlapping area of the first irradiated surface formed by the first irradiating apparatus 1000A and the second irradiated surface formed by the second irradiating apparatus 1000B may increase, and The intensity of the applied light may be relatively large. Accordingly, the uniformity characteristic of the intensity of the light applied to the entire surface 850 to be irradiated may be deteriorated.

또한, 상기 제 15 간격(d15)이 상기 조사 장치(1000)의 장축 방향 길이(w1)의 약 0.85를 초과할 경우, 상기 제 1 조사 장치(1000A)와 상기 제 2 조사 장치(1000B) 사이의 거리가 너무 멀 수 있다. 이에 따라, 상기 제 1 피조사면과 상기 제 2 피조사면의 가장자리 영역이 서로 오버랩되지 않거나, 오버랩되는 영역의 면적이 좁을 수 있다. 이 경우, 상기 조사 대상(800)에 연속적으로 균일한 광을 조사하지 못할 수 있다.In addition, when the fifteenth interval d15 exceeds about 0.85 of the longitudinal length w1 of the irradiation apparatus 1000, the distance between the first irradiation apparatus 1000A and the second irradiation apparatus 1000B The distance may be too far. Accordingly, the edge regions of the first irradiated surface and the second irradiated surface may not overlap each other, or the area of the overlapping region may be narrow. In this case, it may not be possible to continuously irradiate uniform light to the irradiation target 800 .

따라서, 상기 제 1 조사 장치(1000A) 및 상기 제 2 조사 장치(1000B) 사이의 간격은 상기 조사 대상(800)에 균일한 피조사면(850)을 형성하기 위해 상술한 범위를 만족하는 것이 바람직하다. Therefore, the distance between the first irradiation apparatus 1000A and the second irradiation apparatus 1000B preferably satisfies the above-described range in order to form a uniform irradiated surface 850 on the irradiation object 800 . .

이하, 실험예를 통하여 본 발명의 작용 및 효과를 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, the operation and effect of the present invention will be described in more detail through experimental examples.

실험예Experimental example

90cm * 30cm (장축 * 단축) 크기를 가지며, 자외선(UV-A) 광을 방출하는 복수의 발광소자를 포함하는 제 1 조사 장치와 제 2 조사 장치를 준비하였다. A first irradiation device and a second irradiation device having a size of 90 cm * 30 cm (long axis * short axis) and including a plurality of light emitting devices emitting ultraviolet (UV-A) light were prepared.

상기 제 1 조사 장치 및 상기 제 2 조사 장치를 제 1 방향으로 연장하는 조사 대상과 수직 방향으로 약 60cm 이격된 위치에 배치하였다. 이때, 상기 제 1 및 제 2 조사 장치는 상기 조사 장치의 장축이 상기 조사 대상의 연장 방향과 대응되도록 배치하였고, 상기 제 1 및 제 2 조사 장치는 상기 조사 대상의 연장 방향으로 약 30cm 이격되도록 배치하였다.The first irradiation device and the second irradiation device were disposed at a position spaced apart by about 60 cm in the vertical direction from the irradiation target extending in the first direction. In this case, the first and second irradiation devices are arranged so that the long axis of the irradiation device corresponds to the extension direction of the irradiation target, and the first and second irradiation devices are arranged to be spaced apart by about 30 cm in the extension direction of the irradiation object did.

이후, 상기 조사 대상에 자외선 광을 조사하여 상기 조사 대상의 일면 상에 50cm의 폭(단축)을 가지며 상기 조사 대상의 연장방향으로 장축을 가지는 연속된 피조사면을 형성하였다. 이어서, 연속된 피조사면에 인가된 광의 세기의 균일도를 측정하였다.Thereafter, the irradiation target was irradiated with ultraviolet light to form a continuous target surface having a width (short axis) of 50 cm and a long axis in the extension direction of the irradiation target on one surface of the irradiation target. Then, the uniformity of the intensity of the light applied to the continuous surface to be irradiated was measured.

도 12 및 도 13을 참조하면, 실시예에 따른 조사 장치(1000)는 상기 조사 대상(800) 상에 연속적인 피조사면(850)을 형성할 수 있다. 또한, 도 13을 참조하면, 상기 제 1 및 제 2 조사 장치(1000A, 1000B)는 면 광원으로 발광하며, 각각의 조사 장치(1000)의 중심과 대응되는 피조사면(850)의 영역이 백색에 가까운 것을 확인할 수 있다. 또한, 상기 제 1 및 제 2 조사 장치(1000A, 1000B)가 각각 형성한 피조사면이 오버랩되는 영역 역시 광의 세기의 균일도 특성이 우수한 것을 확인할 수 있다.12 and 13 , the irradiation apparatus 1000 according to the embodiment may form a continuous surface 850 to be irradiated on the subject 800 to be irradiated. 13, the first and second irradiation apparatuses 1000A and 1000B emit light as a surface light source, and the area of the irradiated surface 850 corresponding to the center of each irradiation apparatus 1000 is white. You can see what's close. In addition, it can be seen that the area where the surfaces to be irradiated formed by the first and second irradiation apparatuses 1000A and 1000B respectively overlap also have excellent light intensity uniformity characteristics.

즉, 실시예는 조사 대상(800)의 연장 방향으로 복수의 조사 장치(1000)를 배치하여, 상기 조사 대상(800) 상에 연속적으로 형성된 피조사면(850)을 형성할 수 있다. 이때, 상기 복수의 조사 장치(1000)는 설정된 간격으로 이격될 수 있고, 상기 조사 장치(1000) 각각은 설정된 간격으로 이격된 복수의 발광소자를 포함하는 광원 모듈을 포함할 수 있다. 이에 따라, 실시예는 상기 조사 대상(800) 상에 광의 세기의 균일도가 우수한, 예컨대 50% 이상인 피조사면(850)을 연속적으로 형성할 수 있다. 따라서, 상기 조사 장치(1000)는 다양한 길이를 가지는 조사 대상(800)에 광을 효과적으로 제공할 수 있다.That is, in the embodiment, the plurality of irradiation apparatuses 1000 may be disposed in the extension direction of the irradiation subject 800 to form the irradiated surface 850 continuously formed on the irradiation subject 800 . In this case, the plurality of irradiation apparatuses 1000 may be spaced apart at a set interval, and each of the irradiation apparatuses 1000 may include a light source module including a plurality of light emitting devices spaced apart at a set interval. Accordingly, in the embodiment, the irradiated surface 850 having excellent uniformity of light intensity, for example, 50% or more, may be continuously formed on the irradiated target 800 . Accordingly, the irradiation apparatus 1000 may effectively provide light to the irradiation target 800 having various lengths.

또한, 도면에는 도시하지 않았으나, 상기 제 1 조사 장치(1000A) 및 상기 제 2 조사 장치(1000B) 각각은, 단축이 상기 조사 대상(800)의 연장 방향과 대응되도록 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제 1 조사 장치(1000A) 및 상기 제 2 조사 장치(1000B) 각각에 배치된 제 1 광원 모듈(310) 및 제 2 광원 모듈(320) 각각은 상기 조사 장치(1000)의 단축 방향으로 연장되는 형태를 가질 수 있다. 또한, 상기 제 1 광원 모듈(310) 및 상기 제 2 광원 모듈(320) 각각은 상기 조사 장치(1000)의 장축 방향으로 대칭인 형태를 가질 수 있다. 또한, 상기 제 1 광원 모듈(310) 및 상기 제 2 광원 모듈(320) 각각은 상술한 간격으로 배치되는 제 1 내지 제 6 그룹을 포함할 수 있다.Also, although not shown in the drawings, each of the first irradiation apparatus 1000A and the second irradiation apparatus 1000B may be arranged such that a minor axis corresponds to an extension direction of the irradiation object 800 . In this case, each of the first light source module 310 and the second light source module 320 disposed in each of the first irradiation apparatus 1000A and the second irradiation apparatus 1000B is in the short axis direction of the irradiation apparatus 1000 . may have an extended form. In addition, each of the first light source module 310 and the second light source module 320 may have a symmetrical shape in the long axis direction of the irradiation apparatus 1000 . In addition, each of the first light source module 310 and the second light source module 320 may include first to sixth groups disposed at the above-described intervals.

상술한 실시예에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의하여 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다. Features, structures, effects, etc. described in the above-described embodiments are included in at least one embodiment of the present invention, and are not necessarily limited to one embodiment. Furthermore, features, structures, effects, etc. illustrated in each embodiment can be combined or modified for other embodiments by those of ordinary skill in the art to which the embodiments belong. Accordingly, the contents related to such combinations and modifications should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

또한, 이상에서 실시예들을 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예들에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부한 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.In addition, although the embodiments have been described above, these are merely examples and do not limit the present invention, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains are exemplified above in a range that does not depart from the essential characteristics of the present embodiment. It can be seen that various modifications and applications that have not been made are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments may be implemented by modification. And the differences related to these modifications and applications should be construed as being included in the scope of the present invention defined in the appended claims.

Claims (10)

제 1 방향으로 연장하는 조사 대상과 제 1 거리만큼 이격되어 광을 조사하는 조사 장치에 있어서,
상기 조사 장치는,
수용 공간을 포함하는 하우징;
상기 수용 공간 내에 배치되는 조명 모듈; 및
상기 조명 모듈 상에 배치되는 투광 부재를 포함하고,
상기 조명 모듈은 회로기판 상에 배치되며 발광소자를 포함하는 복수의 광원 모듈을 포함하고,
상기 발광소자는 315nm에서 410nm 파장 대역의 광을 방출하고,
상기 투광 부재는 상기 광원 모듈에서 방출된 광을 투과할 수 있는 재질을 포함하고,
상기 제 1 거리는 40cm에서 120cm이고,
상기 조사 대상 상에는 제 1 면적의 피조사면이 형성되고,
상기 제 1 면적은 상기 조사 장치의 평면적보다 크고,
상기 피조사면에 조사되는 광의 세기는 1mW/cm2에서 100mW/cm2이고,
상기 피조사면에 조사되는 광의 세기의 균일도는 50% 이상이고,
상기 광의 세기의 균일도는 하기 수학식 1을 만족하는 조사 장치.
[수학식 1]
U = (I1/I2)*100
(U: 광의 세기의 균일도(%), I1: 피조사면에 입사되는 광의 세기의 최소값(mW/cm2), I2: 피조사면에 입사되는 광의 세기의 최대값(mw/cm2))
In the irradiation apparatus for irradiating light spaced apart by a first distance from the irradiation target extending in the first direction,
The irradiation device is
a housing comprising an accommodation space;
a lighting module disposed in the accommodating space; and
It includes a light-transmitting member disposed on the lighting module,
The lighting module includes a plurality of light source modules disposed on a circuit board and including a light emitting device,
The light emitting device emits light in a wavelength band of 315 nm to 410 nm,
The light transmitting member includes a material that can transmit the light emitted from the light source module,
The first distance is from 40 cm to 120 cm,
A surface to be irradiated with a first area is formed on the irradiated object,
The first area is larger than the planar area of the irradiation device,
The intensity of light irradiated to the surface to be irradiated is 1mW/cm 2 to 100mW/cm 2 ,
The uniformity of the intensity of the light irradiated to the surface to be irradiated is 50% or more,
The uniformity of the light intensity is an irradiation device that satisfies the following Equation (1).
[Equation 1]
U = (I1/I2)*100
(U: uniformity of light intensity (%), I1: minimum value of light intensity incident on the irradiated surface (mW/cm 2 ), I2: maximum value of light intensity incident on the irradiated surface (mw/cm 2 ))
제 1 항에 있어서,
상기 광원 모듈은,
상기 제 1 방향으로 연장하는 제 1 광원 모듈; 및
상기 제 1 방향으로 연장하며, 상기 제 1 방향과 수직인 제 2 방향으로 상기 제 1 광원 모듈과 이격된 제 2 광원 모듈을 포함하고,
상기 제 1 및 제 2 광원 모듈 각각은 상기 제 1 방향으로 이격된 복수의 발광소자를 포함하고,
상기 제 1 광원 모듈의 발광소자와 상기 제 2 광원 모듈의 발광소자는, 상기 제 2 방향으로 서로 대칭인 조사 장치.
The method of claim 1,
The light source module,
a first light source module extending in the first direction; and
a second light source module extending in the first direction and spaced apart from the first light source module in a second direction perpendicular to the first direction;
Each of the first and second light source modules includes a plurality of light emitting devices spaced apart in the first direction,
The light emitting device of the first light source module and the light emitting device of the second light source module are symmetrical to each other in the second direction.
제 2 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 광원 모듈 각각의 발광소자의 지향각은 30도에서 60도인 조사 장치.
3. The method of claim 2,
The irradiation angle of each of the first and second light source modules of the light emitting device is 30 degrees to 60 degrees.
제 3 항에 있어서,
상기 제 2 광원 모듈은 상기 제 1 광원 모듈과 상기 조사 장치의 중심에 대하여 180도 회전 대칭인 조사 장치.
4. The method of claim 3,
The second light source module is 180 degrees rotationally symmetrical with respect to the center of the first light source module and the irradiation device.
제 4 항에 있어서,
상기 조사 장치의 중심을 상기 제 2 방향으로 통과하는 가상의 선을 포함하고,
상기 제 1 광원 모듈은,
제 1 간격으로 이격된 복수의 제 1 발광소자를 포함하는 제 1 그룹;
상기 제 1 그룹과 상기 제 1 방향으로 이격되며, 제 2 간격으로 이격된 복수의 제 2 발광소자를 포함하는 제 2 그룹;
상기 제 2 그룹과 상기 제 1 방향으로 이격되며, 제 3 간격으로 이격된 복수의 제 3 발광소자를 포함하는 제 3 그룹;
상기 제 1 그룹과 상기 가상의 선에 대해 상기 제 1 방향으로 대칭인 영역에 배치되며, 상기 제 1 간격으로 이격된 복수의 제 4 발광소자를 포함하는 제 4 그룹;
상기 제 2 그룹과 상기 가상의 선에 대해 상기 제 1 방향으로 대칭인 영역에 배치되며, 상기 제 2 간격으로 이격된 복수의 제 5 발광소자를 포함하는 제 5 그룹;
상기 제 3 그룹과 상기 가상의 선에 대해 상기 제 1 방향으로 대칭인 영역에 배치되며, 상기 제 3 간격으로 이격된 복수의 제 6 발광소자를 포함하는 제 6 그룹;을 포함하고,
상기 제 2 광원 모듈은 상기 제 1 광원 모듈의 제 1 내지 제 6 그룹과 각각 상기 제 2 방향으로 대칭되는 제 1 내지 제 6 그룹을 포함하는 조사 장치.
5. The method of claim 4,
and an imaginary line passing through the center of the irradiation device in the second direction,
The first light source module,
a first group comprising a plurality of first light emitting devices spaced apart from each other by a first interval;
a second group spaced apart from the first group in the first direction and including a plurality of second light emitting devices spaced apart from each other by a second interval;
a third group spaced apart from the second group in the first direction and including a plurality of third light emitting devices spaced apart from each other by a third interval;
a fourth group disposed in an area symmetrical in the first direction with respect to the first group and the virtual line, the fourth group including a plurality of fourth light emitting devices spaced apart from each other by the first interval;
a fifth group disposed in an area symmetrical in the first direction with respect to the second group and the imaginary line, the fifth group including a plurality of fifth light emitting devices spaced apart from each other by the second interval;
a sixth group disposed in an area symmetrical in the first direction with respect to the third group and the imaginary line, the sixth group including a plurality of sixth light emitting devices spaced apart from each other by the third interval;
The second light source module includes first to sixth groups of the first light source module and first to sixth groups respectively symmetrical in the second direction.
제 4 항에 있어서,
상기 하우징은,
상기 제 1 방향으로 연장하며 상기 제 2 방향으로 마주하는 제 1 및 제 2 외측면;
상기 제 1 및 제 2외측면 사이에서 상기 제 2 방향으로 연장하며 상기 제 1 방향으로 마주하는 제 3 및 제 4 외측면을 포함하고,
상기 제 1 광원 모듈은, 상기 제 1, 제 3 및 제 4 외측면과 인접하게 배치되고,
상기 제 2 광원 모듈은 상기 제 2, 제 3 및 제 4 외측면과 인접하게 배치되는 조사 장치.
5. The method of claim 4,
The housing is
first and second outer surfaces extending in the first direction and facing the second direction;
and third and fourth outer surfaces extending in the second direction between the first and second outer surfaces and facing the first direction,
The first light source module is disposed adjacent to the first, third and fourth outer surfaces,
The second light source module is an irradiation device disposed adjacent to the second, third and fourth outer surfaces.
제 4 항에 있어서,
상기 회로기판은,
상기 제 1 광원 모듈이 배치되는 제 1 회로기판; 및
상기 제 2 광원 모듈이 배치되는 제 2 회로기판을 포함하고,
상기 제 1 및 제 2 회로기판은 서로 이격되며 상기 제 2 방향으로 서로 대칭인 조사 장치.
5. The method of claim 4,
The circuit board is
a first circuit board on which the first light source module is disposed; and
and a second circuit board on which the second light source module is disposed,
The first and second circuit boards are spaced apart from each other and symmetrical to each other in the second direction.
제 4 항에 있어서,
상기 조사 장치는,
제 1 조사 장치; 및 상기 제 1 조사 장치와 상기 제 1 방향으로 이격된 제 2 조사 장치;를 포함하고,
상기 제 1 및 제 2 조사 장치 사이의 간격은, 상기 제 1 및 제 2 조사 장치 각각의 제 1 방향 길이보다 짧은 조사 장치.
5. The method of claim 4,
The irradiation device is
a first irradiation device; and a second irradiation device spaced apart from the first irradiation device in the first direction.
A distance between the first and second irradiation devices is shorter than a length in the first direction of each of the first and second irradiation devices.
제 1 항에 있어서,
상기 투광 부재는, 석영 유리, 보로(Borosilicate) 유리, 불소 수지 중 적어도 하나를 포함하는 조사 장치.
The method of claim 1,
The light transmitting member is an irradiation device comprising at least one of quartz glass, borosilicate glass, and fluororesin.
제 1 항에 있어서,
상기 하우징은, 은(Ag), 구리(Cu), 금(Au), 백금(Pt), 티타늄(Ti), 마그네슘(Mg), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 주석(Sn), 알루미늄(Al), 스테인리스(Stainless) 및 이를 포함하는 합금 중 적어도 하나의 금속을 포함하는 조사 장치.
The method of claim 1,
The housing includes silver (Ag), copper (Cu), gold (Au), platinum (Pt), titanium (Ti), magnesium (Mg), chromium (Cr), molybdenum (Mo), nickel (Ni), tin (Sn), aluminum (Al), stainless (Stainless), and an irradiation device comprising at least one metal of an alloy containing the same.
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