KR20210093675A - 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치에 관한 것으로, 이 장치는 점 광원으로 생성되는 레이저 빔을 조사하는 광원소스, 광원소스의 일정 거리 선단에서 점 광원을 투과시켜 라인 광으로 변화시키는 라인제너레이터, 라인제너레이터의 선단에 배치되어 상기 라인 광을 소정 각도로 회절 시키는 적어도 두 개 이상의 격자체로 이루어진 회절 광학계로 이루어져 2D 멀티라인 레이저빔을 생성하는 레이저 모듈, 및 레이저 모듈의 측면에서 일정 거리 이격되어 배치되어 대상물을 촬영하는 카메라 모듈을 포함하여 이루어진다.

Description

멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치{MACHINE VISION INSPECTION SYSTEM USING MULTI-LINE BEAMS}
본 발명은 머신비전 검사 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 회절 광학계를 이용하여 2D 멀티라인 레이저빔을 구현하여 대상물의 결함 발생 유무를 검사하는 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치에 관한 것이다.
머신비전 기술은 사람의 눈으로 보아오던 부분을 기계(vision)로 대신해 검사정밀도를 높이고 검사 과정을 자동화함으로써 인건비 감소와 제품의 질적 향상이라는 시너지 효과를 창출할 수 있는 기술로서, 구체적으로는 이미지를 분석하는 기술이고, 주로 표면 마무리 검사, 물리적 결함 추적, 섬유제품의 검사, 색깔 검사, 반도체 제조 공정의 검사 등 다양한 제조과정에서 쓰인다.
그러나 종래의 라인 레이저를 이용한 검사 장치는 기계적인 스캔을 통해 정보를 획득해야 하며, 이를 위한 부가적인 장치와 기술이 요구됨으로써 광원 자체로서의 정보입수에 한계를 드러내고 있다.
일반적으로 레이저빔은 동일한 파장을 가진 광으로 형성되는 특성상 여러 형태의 빔을 용이하게 형성할 수 있다. 레이저빔의 광원은 광원소스에서 방출되는 레이저빔을 적어도 하나 이상의 렌즈 등을 이용하여 굴절시킴으로써, 광원에서 방출되는 레이저빔을 원하는 위치와 각도에서 선형 빔이나 면형 빔으로 변형하여 출력할 수 있다. 이와 같이 원하는 위치와 각도에서 원하는 에너지 강도를 가진 레이저빔을 형성할 수 있으므로, 레이저빔은 산업분야, 의료분야 및 예술분야 등에서 다양하고 편리하게 사용되고 있고, 그 응용분야도 점차 확산되는 추세이다.
한편, 레이저빔을 형성하기 위해 일반적으로 기능과 형상에 차이가 있는 다수계의 렌즈를 조합한 렌즈계를 사용하게 된다. 렌즈계를 이용하여 레이저빔을 형성하는 경우, 복수의 렌즈가 광원소스에서 방출되는 레이저빔을 일부 흡수하게 되므로 레이저빔의 에너지가 복수의 렌즈를 통과할수록 약해지는 문제점이 있다.
또한, 렌즈계를 사용하여 형성되는 레이저빔은 중앙으로 집중되고, 그로 인해 레이저빔의 균질도가 선형 빔이나 면형 빔의 중앙부와 가장자리부에서 편차가 심하므로 균일한 선형 빔이나 균일한 면형 빔을 형성하기가 어려운 문제가 있다.
또한, 렌즈계를 사용하는 경우, 복수의 렌즈를 사용하게 되므로 장치가 복잡해지고, 복수의 렌즈를 정렬하는데 어려움이 있으며, 고가의 렌즈를 사용함으로 인해 제작비용이 상승하는 문제가 있다.
또한, 현재 웨이퍼(wafer), 패키지(package) 등 소형 부품의 정확하고 신속한 검사를 위해 라인 스캔(line scan)을 이용한 3차원 모폴로지(3D Mophology) 검사 기술의 개발이 확산되고 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 종래의 기술로서, 대한민국 특허공개공보 제10-2017-0122577호(2017.11.06.)에서 2D 패턴 레이저 모듈을 개시하고 있다.
상기 종래의 기술은 2D 패턴 레이저 모듈에 관한 것으로, 레이저 빔을 조사하는 레이저 소스, 삼각라인 격자구조를 포함하며, 상기 레이저 소스에서 상에 배치되어 상기 조사된 레이저 빔이 투과하는 제1 투명 격자체, 및 삼각라인 격자 구조를 포함하며, 상기 제1 투명 격자체 상에 배치되어 상기 제1 투명 격자체를 투과한 레이저 빔이 투과하는 제2 투명 격자체를 포함하여 2차원의 일정한 패턴광을 형성하는 것이다.
그러나 상기 종래의 기술은 제1 격자체을 투과한 레이저 빔을 소정 각도로 재회절 시켜 투과시키는 제2 격자체를 포함하여 구성되고는 있으나, 본 발명에서와 같이 상기 레이저 빔이 집광된 점 광원으로부터 일정 라인광으로 1차 변환하고, 이를 다시 하나의 쌍으로 달라붙어 결합되어 있는 회절 광학계를 이용하여 라인의 균일도가 일정한 초미세 선폭의 멀티라인 광을 형성하게 하는 것과는 구조적 차이가 있다.
이에 본 발명은 상기 종래의 기술에 대한 구조를 개선하여 점 광원으로 생성되는 레이저 빔을 라인 광으로 변화시켜 생성하는 라인제너레이터 및 격자 회절에 의해 넓은 방사각의 2D 멀티라인 레이저빔을 생성하는 레이저 모듈을 제공함으로서, 새로운 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치를 개시하고자 하는 것이다.
본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 도출된 것으로, 본 발명의 목적은, 머신비전 검사 장치에 있어 점 광원으로 생성되는 레이저 빔을 라인 광으로 변화시켜 생성하는 라인제너레이터 및 격자 회절에 의해 넓은 방사각의 일정한 초미세 선폭의 멀티라인 광을 형성하게 하는 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치를 제공하고자 하는 것이다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치는 점 광원으로 생성되는 레이저 빔을 조사하는 광원소스, 상기 광원소스의 일정 거리 선단에서 상기 점 광원을 투과시켜 라인 광으로 변화시키는 라인제너레이터 및 상기 라인제너레이터의 선단에 배치되어 상기 라인 광을 소정 각도로 회절 시키는 적어도 두개 이상의 격자체로 이루어진 회절 광학계로 이루어져 2D 멀티라인 레이저빔을 생성하는 레이저 모듈과 상기 레이저 모듈의 측면에서 일정 거리 이격되어 배치되어 대상물을 촬영하는 카메라 모듈을 포함하여 이루어지는 특징이 있다.
또한, 본 발명의 상기 레이저 모듈의 회절광학계에 의해 형성되는 2D 멀티라인 레이저빔은 작업거리(WD) 150 내지 200㎜에서 라인 방사각이 적어도 120도 이상이고, 선폭이 50 내지 100㎛으로 형성되는 특징이 있다.
또한, 본 발명의 상기 회절 광학계는 피치 간격이 10㎛ 내지 0.2㎜이고, 경사각이 10도 내지 40도로 형성되는 삼각라인 격자 패턴의 구조를 갖는 제1 격자체 및 제2 격자체가 하나의 쌍으로 서로 포개어져 결합되어, 상기 삼각라인 격자 패턴의 방향이 상호 직교하도록 이루어진 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명의 상기 광원소스는 레이저 다이오드(laser diode, LD)를 포함하고, 상기 레이저 다이오드는 전면에 초접점 집광렌즈를 구비하여, 상기 레이저 다이오드에서 생성된 레이저 빔이 집광된 점 광원으로 조사되도록 하는 특징이 있다.
또한, 본 발명의 상기 라인제너레이터는 초점거리가 5 내지 21㎜를 갖는 글라스형 실린더 렌즈인 것을 특징이 있다.
또한, 본 발명의 상기 라인제너레이터는 일정 피치와 일정 경사각을 갖는 삼각라인 격자 패턴의 구조로 이루어진 격자체인 것을 특징이 있다.
또한, 본 발명의 상기 카메라 모듈은 화각(FOV)이 적어도 130도 내외이고, 프레임 속도가 100fps이상의 분해능을 갖는 CCD 또는 CMOS 중의 어느 하나의 이미지 센서를 구비하는 머신 카메라인 것을 특징으로 할 수 있다.
전술한 본 발명의 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치에 의하면, 멀티라인 광원에 의해 2D 광원의 방사가 가능하고, 3D 정보를 한 번에 확인이 가능하여 3D 정보 센싱의 속도를 향상할 수 있으며, 2D 영역내의 여러 곳의 측정을 한 번에 수행할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치는 격자 회절 광학계에 의한 균일 광원 형성이 가능하여 넓은 평면의 검사 영역과 균일한 선폭의 검사로 편차를 줄일 수 있으며, 수직방향의 심도가 깊은 영역의 검사가 가능한 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치의 구성을 보여주는 예시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치의 사용예를 도시하는 예시도이다.
도 3a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 실린더 렌즈와 회절 광학계를 투과하여 형성되는 멀티라인 생성 광 경로를 표현하는 예시도이고,
도 3b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 격자 구조체와 회절 광학계를 투과하여 형성되는 멀티라인 생성 광 경로를 표현하는 예시도이다.
도 4a는 본 발명에 따른 제1 격자체 및 제2 격자체를 보여주는 예시도이고,
도 4b는 도 4a의 제1 격자체 및 제2 격자체의 단면도와 삼각라인 격자 패턴의 세부 사항을 도시한 예시도이다.
도 5는 본 발명의 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치의 실 작업 상태를 보여주는 작업공간의 예시도와 생성되는 멀티라인빔의 특성을 확대하여 보여주는 예시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 회절 광학계를 사용한 레이저 광의 특성과 일반 광학계를 사용한 레이저 광의 특성 차이를 보여주는 참조도이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
또한, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 아래와 같다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치의 바람직한 실시예에 대해 상세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치의 구성을 보여주는 예시도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치의 사용예를 도시하는 예시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치(10)는 레이저 모듈(100)과 카메라 모듈(200)을 포함하여 구성될 수 있다. 또한, 상기 머신비전 검사 장치(10)는 제어부 및 장치 하우징을 더 구비할 수 있다.
먼저 상기 레이저 모듈(100은 레이저 빔을 발생시키는 광원소스(110), 점 광원을 라인 광으로 변화시켜 생성하는 라인제너레이터(120), 상기 라인 광을 소정 각도로 회절 시키는 적어도 두개 이상의 격자체로 이루어진 회절 광학계(130)으로 이루어져 2D 멀티라인 레이저빔을 생성하게 된다.
상기 광원소스(100)는 광원이 되는 레이저 빔을 생성하는 것으로서, 발광 다이오드(light emitting diode, LED) 또는 레이저 다이오드(laser diode, LD)중 어느 하나로 구성될 수 있으며, 집광 광원을 형성할 수 있는 광원이면 어느 것이던 적용이 가능할 수 있다.
이때 레이저 광의 집광을 위하여 광원소스(100) 전면에 초접점 집광렌즈가 구비될 수 있고, 이를 통하여 집광된 점 광원이 조사되게 되는 것이다.
상기 라인제너레이터(120)는 상기 집광된 점 광을 라인 광으로 변화시켜 생성시키는 역할을 하는 것으로서, 상기 광원소스(100)의 일정 거리 선단에서 출력되는 점 광원을 투과시켜 라인 광으로 변화시킨다.
본 발명에서는 상기 라인제너레이터(120)에 해당하는 것을 실린더 렌즈(Cylinder lens, CL)(120a), 그레이팅 구조체(120b) 중의 어느 하나를 사용하여 적용될 수 있다.
도 3a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 실린더 렌즈와 회절 광학계를 투과하여 형성되는 멀티라인 생성 광 경로를 표현하는 예시도이고, 도 3b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 격자 구조체와 회절 광학계를 투과하여 형성되는 멀티라인 생성 광 경로를 표현하는 예시도이다.
상기 실린더 렌즈(CL)(120a)란 일반적으로 입사광을 한 줄에 초점을 맞추거나 단일 축에서만 이미지 확대가 가능하여 이미지의 화면 비(aspect ratio)를 변경하는데 사용되는 렌즈이다. 즉 상기 실린더 렌즈는 하나의 원통형의 형상으로 입사광을 한 줄로 초점을 맞추고 길게 늘여 라인 생성에 적합한 렌즈라 할 수 있다.
본 발명의 상기 실린더 렌즈(120a)는 초점거리가 5 내지 21㎜를 갖는 글라스형 렌즈인 것을 특징으로 한다.
이에 따라 상기 광원소스(100)로부터의 점 광이 상기 실린더 렌즈(120a)에 투과되어 라인 광으로 형성되게 된다.
또한, 본 발명의 다른 실시예로서, 상기 라인제너레이터(120)로 일정 피치와 일정 경사각을 갖는 삼각라인 패턴이 격자 구조로 이루어진 그레이팅(grating) 구조체(120b)를 적용할 수 있다. 상기 격자 구조는 피치 간격 100㎛와 40도 이하로서, 10도 내지 40도의 경사각을 갖는 삼각라인으로 구성되는 투명 격자 구조체일 수 있다.
본 발명에서 사용되는 그레이팅(grating) 구조체(120b) 또는 제1 격자체 및 제2 격자체는 광학에서 빛을 입사시키면 여러 다른 방향으로 빛살을 회절 시킬 수 있는 회절격자(diffraction grating)에 대응하는 것이다.
이에 따라 상기 광원소스(100)로부터의 조사된 점 광이 상기 그레이팅 구조체(120b)에 투과되어 라인 광으로 형성될 수 있게 된다.
본 발명의 상기 회절 광학계(130)는 상기 라인제너레이터(120)의 선단에 배치되는 제1 격자체(131)와 제2 격자체(132)가 하나의 쌍으로 서로 포개어져 결합되어 이루어진 투명 격자 구조체이다.
즉 상기 회절 광학계(130)는 상기 라인제너레이터(120)의 선단에 배치되어 라인 광을 소정 각도로 회절 시켜 1차 패턴 빔을 생성하는 투명한 제1 격자체(131)와, 상기 제1 격자체(131)를 투과한 레이저 빔을 소정 각도로 재회절 시켜 투과시키는 투명한 제2 격자체(132)로 구성되어진다.
이에 도 4a는 본 발명에 따른 제1 격자체 및 제2 격자체를 보여주는 예시도이고, 도 4b는 도 4a의 제1 격자체 및 제2 격자체의 단면도와 삼각라인 격자 패턴의 세부 사항을 도시한 예시도이다.
도시에서와 같이 본 발명의 제1 격자체(131)와 제2 격자체(132)는 삼각 라인 형태의 돌출부가 일정 피치와 일정 경사각을 갖는 격자 패턴으로 형성되어진다.
또한, 구현에 따라서, 제1 격자체(131)와 제2 격자체(132)는는 삼각 라인 형태의 인접한 돌출부 사이에 소정 간격만큼 주면과 대략 평행한 저면부를 구비할 수 있다.
이때, 상기 삼각라인 격자 패턴(131, 132)의 피치는 10㎛ 내지 0.2㎜로 형성될 수 있으며, 상기 삼각라인 격자 패턴(131, 132)의 경사각은 40도 이하로서, 10도 내지 40도로 형성될 수 있다.
이에 보다 바람직하게는, 상기 삼각라인 격자 패턴(131, 132)의 피치는 100㎛(0.1 ㎜)의 피치 간격으로 형성될 수 있으며, 상기 삼각라인 격자 패턴(131, 132)의 경사각은 35도 내지 37도로 형성될 수 있다.
한편, 상기 삼각라인 격자 패턴(131, 132)의 높이는 0.03 ㎜로 형성될 수 있으며, 상기 삼각라인 격자 패턴(131, 132)이 형성되는 제1, 제2 격자체의 두께는 0.20 ㎜로 형성될 수 있다.
이에 상기 제1 격자체(131)의 삼각라인 격자 패턴과 상기 제2 격자체(132)의 삼각라인 격자 패턴의 라인 방향이 상호 직교되도록 형성되어, 레이저 빔의 선폭이 50 내지 100㎛이고, 방사각이 110도 이상으로 균질한 미세 선폭을 갖는 일정한 2D 멀티라인 레이저빔을 형성하여 스캔에 활용할 수 있게 되는 것이다.
또한, 본 발명의 카메라 모듈(200)은 프레임 속도(Frame rate)이 100fps이상으로 높은 분해능을 갖는 CCD(Charge Coupled Device) 또는 CMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor) 중의 어느 하나를 사용한 고성능 이미지 센서를 구비한 머신 카메라이다. 상기 카메라 모듈(200)의 화각(FOV)은 120도 내지 130도일 수 있다.
이에 따라 상기 레이저 모듈(100)과 카메라 모듈(200)은 장치 하우징에 일체로 탑재되며, 상기 하우징은 상기 레이저 모듈(100)과 카메라 모듈(200)의 높이 편차는 60㎜로 구비될 수 있으며, 상기 카메라 모듈(200)은 상기 레이저 모듈(100)의 측면에서 일정거리 이격되어 배치된다. 이때의 이격 거리는 70㎜가 바람직 할 수 있다. 이때의 작업거리(WD)는 예컨대 150㎜에서 200㎜로 형성될 수 있다.
도 5는 본 발명의 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치의 실 작업 상태를 보여주는 작업공간의 예시도와 생성되는 멀티라인빔의 특성을 확대하여 보여주는 예시도이다.
도 5의 (b)는 2D 멀티라인빔을 상기 카메라 모듈에 의하여 촬영한 영상 이미지이고, 도 5의 (c)는 이를 18배 부분 확대한 이미지이다.
이때 상기 미세 선폭(Line width)은 파장(Wavelength)이 850nm의 레이저 빔에 대하여 50㎛(0.05㎜)로 이내로 형성되었으며, 레이저 빔의 선 균질성(uniformity)은 95%인 것을 확인할 수 있다.
그리고 이때의 상기 미세 선폭이 형성되는 작업거리(working distance, WD)가 150㎜ 내지 200㎜ 이하이고, 10% 이내의 광분포도 오차를 갖도록 설계될 수 있다.
또한, 도 6은 본 발명에 따른 회절 광학계를 사용한 레이저 광의 특성과 일반 광학계를 사용한 레이저 광의 특성 차이를 보여주는 참조도이다.
도 6의 (a)는 일반 광학계를 사용한 레이저 광의 특성으로서, 일반 렌즈를 사용하게 되면. 렌즈의 굴절율에 따른 초점 거리(Focal Length)가 형성되게 되고, 이에 따라 측정 영역이 일정 부분으로 한정되는 단점을 가질 수 있다.
이에 도 6의 (b)는 본 발명에 따른 회절 광학계를 사용한 레이저 광의 특성을 보여주고 있다. 도시와 같이 제1, 제2 격자체로 이루어진 회절 광학계를 이용함으로서 일반 렌즈에서 생성되는 초점 거리가 없어지게 되고, 이에 따른 깊은 심도, 즉 광범위한 측정 영역을 얻을 수 있는 머신비전 검사 장치가 제공될 수 있는 것이다.
이에 따라 본 발명의 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치는 레이저 발광 모듈이 격자 회절체로 구현됨으로서 심도(수직측정영역)가 깊으면서 정밀도가 향상되는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치는 격자 회절에 의해 넓은 방사각의 라인레이저를 형성함으로서 한 번에 넓은 영역(수평) 및 다수의 결함을 검사하여 속도를 향상하는 효과가 있다.
전술한 바와 같이 본 발명의 상세한 설명에서는 바람직한 실시예들에 관하여 설명하였지만, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 사람이라면 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음은 이해할 수 있을 것이다.
10: 머신비전 검사 장치
100: 레이저 모듈 110: 광원소스
120: 라인제네레이터 130: 회절 광학계
131: 제1 격자체 132: 제2 격자체
200: 카메라 모듈

Claims (6)

  1. 머신비전 검사 장치에 있어서,
    점 광원으로 생성되는 레이저 빔을 조사하는 광원소스,
    상기 광원소스의 일정 거리 선단에서 상기 점 광원을 투과시켜 라인 광으로 변화시키는 라인제너레이터 및
    상기 라인제너레이터의 선단에 배치되어 상기 라인 광을 소정 각도로 회절 시키는 적어도 두개 이상의 격자체로 이루어진 회절 광학계로 이루어져 2D 멀티라인 레이저빔을 생성하는 레이저 모듈과
    상기 레이저 모듈의 측면에서 일정 거리 이격되어 배치되어 대상물을 촬영하는 카메라 모듈을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 회절 광학계는 피치 간격이 10㎛ 내지 0.2 ㎜이고, 경사각이 10도 내지 40도로 형성되는 삼각라인 격자 패턴의 구조를 갖는 제1 격자체 및 제2 격자체가 하나의 쌍으로 서로 포개어져 결합되어, 상기 삼각라인 격자 패턴의 방향이 상호 직교하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 광원소스는 레이저 다이오드(laser diode, LD)를 포함하고, 상기 레이저 다이오드는 전면에 초접점 집광렌즈를 구비하여, 상기 레이저 다이오드에서 생성된 레이저 빔이 집광된 점 광원으로 조사되도록 하는 것을 특징으로 하는 멀티라인 생성 레이저 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 라인제너레이터는 초점거리가 5 내지 21㎜를 갖는 글라스형 실린더 렌즈인 것을 특징으로 하는 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 라인제너레이터는 일정 피치와 일정 경사각을 갖는 삼각라인 격자 패턴의 구조로 이루어진 격자체인 것을 특징으로 하는 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 카메라 모듈은 화각(FOV)이 적어도 130도 내외이고, 프레임 속도가 100fps이상의 분해능을 갖는 CCD 또는 CMOS 중의 어느 하나의 이미지 센서를 구비하는 머신 카메라인 것을 특징으로 하는 멀티라인빔을 이용하는 머신비전 검사 장치.
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