KR20210085277A - 와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치 - Google Patents

와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 소구경 열교환기 전열관 튜브를 포함한 금속 재질 시험편의 비파괴검사에서 결함 검출성능을 향상시키기 위하여 나선형으로 꼬인 도선을 코일형태로 권선한 후, 결함 주변에 발생하는 유도전류의 왜곡에 기인한 코일의 임피던스와 위상차를 측정함으로써 결함의 방향에 관계없이 비파괴검사를 실시할 수 있는 와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치에 관한 것이다.
본 발명은 관체의 내부에 원주방향을 따라 권취되어 형성되는 도선코일이 도선을 보조세선과 함께 꼬아서 도선과 보조세선의 가닥이 서로 다른 가닥을 감아 한 줄이 되도록 형성한 후 이를 감아서 형성된 것을 특징으로 한다.

Description

와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치 {Sensor Probe tesing System for Eddy Current Nondestructive Testing}
본 발명은 와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 소구경 열교환기 전열관 튜브를 포함한 금속 재질 시험편의 비파괴검사에서 결함 검출성능을 향상시키기 위하여 나선형으로 꼬인 도선을 코일형태로 권선한 후, 결함 주변에 발생하는 유도전류의 왜곡에 기인한 코일의 임피던스와 위상차를 측정함으로써 결함의 방향에 관계없이 비파괴검사를 실시할 수 있는 와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치에 관한 것이다.
와전류 비파괴검사는 전자기적 현상을 이용하여 피측정체에 내재된 결함을 검출하는 방법이다. 피측정체에 인접한 코일에 교류전류를 인가하면, 피측정체에 유도전류가 발생한다. 유도전류의 경로에 결함이 존재하면, 유도전류의 흐름이 왜곡되고 이에 따라 코일의 임피던스 및 위상차가 변화하는 것을 측정하면 결함의 유무, 위치 및 크기를 검사할 수 있다. 이러한 와전류 비파괴검사는 산업 전반에 걸쳐 금속 재질의 기기 구조물의 건전성 확인에 활용되고 있다.
그러나, 균열성 결함의 방향에 따라 결함 검출 성능이 서로 다르다는 단점을 가진다. 즉, 균열성 결함이 축방향일 때에는 유도전류의 왜곡이 결함의 양 선단의 좁은 영역에서 큰 강도로 발생하고, 원호방향일 때에는 유도전류의 왜곡이 결함의 양 변의 넓은 영역에서 낮은 강도로 발생한다. 따라서, 축방향 균열과 원호방향 균열의 결함 검출 능력이 서로 다르다는 한계가 있었다.
와전류 센서에는 절대형 코일, 여자 코일-픽업 코일, 차동형 코일이 있다.
도 1은 절대형 코일의 개념도가 도시되어 있다.
도 1의 (a)에 표시된 것처럼 절대형 코일은 한 개의 코일을 전열관에 삽입하여, 전열관에 발생하는 결함(미도시)을 검출하기 위한 것이다. 한 개의 코일과 별도의 참조코일(미도시)을 이용하여 임피던스 및 위상차를 측정한다.
도 1의 (b)에 도시된 바와 같이 코일에 교류전류를 인가하면, 1차 시변자기장이 발생한다. 이러한 시변자기장은 패러데이법칙에 의하여 1차 유도전류를 생성한다. 그리고 1차 유도전류는 2차 시변자기장을 발생시킨다. 그리고 2차 시변자기장은 렌츠의 법칙에 의하여 1차 시변자기장을 상쇄시키는 방향으로 발생한다.
한편, 시험편에 결함이 존재하면, 1차 유도전류 및 2차 시변자기장이 왜곡된다. 결과적으로 2차 시변자기장이 1차 시변자기장을 상쇄시키는 강도가 변화한다. 이를 임피던스라 한다. 또한, 결함의 위치에 따라서 위상차도 발생한다. 결과적으로 임피던스와 위상차를 측정하면 결함의 유무, 위치 및 크기를 평가할 수 있다.
도 2는 여자 코일-픽업 코일의 개념도가 도시되어 있다.
여자 코일-픽업 코일은 여자코일과 픽업코일을 시험편에 인접시켜, 시험편에 발생하는 결함(미도시)을 검출하기 위한 것이다. 한 개의 코일에 교류전류를 입력하고, 다른 하나의 코일에 의하여 유도전류를 측정하면 결함 유무를 알 수 있다.
도 3에는 차동형 코일의 개념도가 도시되어 있다.
차동형 코일은 두 개의 코일을 검사 대상인 전열관에 인접하도로 설치한 후, 두 개의 코일에 교류전류를 동시에 입력하고, 임피던스와 위상차를 측정하여 결함유무, 위치 및 크기를 판정한다. 차동형 코일의 경우 코일 사이의 거리가 짧을수록 보다 작은 결함을 검출할 수 있다는 특징이 있지만, 구조상 코일의 폭 또는 내경 이하로는 코일 사이의 거리를 짧게할 수 없다는 한계가 있다.
도 4는 상기 도 3의 차동형 코일을 이용하여 두께가 얇은 소구경 배관을 시험편으로 하여 결함을 검사한 일 실시예를 도시한 것이다.
시험편의 반지름방향을 r, 원주방향을 Φ, 축방향을 z라 하면, 배관의 외측에는 깊이가 다른 두 개의 원주방향 결함과 깊이는 다르지만 방향이 동일한 축방향인 두 개의 축방향 결함(4, 5)이 외측에 가공되어 있다.
이를 차동형 코일에 의하여 측정하면 그래프에 나타내는 바와 같이, 가로방향의 실수축과 세로방향의 허수축에 의하여 표시되는 그래프 상에서 진폭과 위상각이 표시된다. 이때 주파수가 커짐에 따라서 위상각이 변화하는 것을 관찰하여 결함 유무를 판정한다. 그리고 같은 주파수라고 하더라도 진폭의 크기 또는 위상각의 크기로부터 결함의 깊이를 평가하게 된다. 하지만, 축방향 결함에 비하여 원주방향 결함의 신호가 훨씬 작아서 결함의 크기를 평가하는데 한계가 있다.
도 5는 상기 도 4의 그래프에서 진폭(임피던스)과 위상각이 결함의 방향에 따라 변화하는 이유를 설명하기 위한 것이다.
도 5(a)는 도선에 교류전류를 인가할 때, 1차 유도전류와 축방향 결함의 상대적인 위치를 도시한다.
도 5(b)는 축방향 결함이 도선의 위치에 있을 때 1차 유도전류의 왜곡이 발생하는 것을 나타낸다. 결함의 방향이 1차 유도전류와 직각으로서 유도전류의 흐름을 차단하기 때문에 큰 임피던스가 발생함을 확인할 수 있다.
도 5(c)는 원주방향결함이 도선의 위치에 있을 때 1차 유도전류의 왜곡이 발생하는 것을 나타낸다. 결함의 방향이 1차 유도전류와 나란하기 때문에 유도전류의 흐름을 차단하지 못하여 상대적으로 작은 임피던스가 발생한다.
이렇게 종래 방식의 코일형 비파괴 검사장치의 경우 유도전류의 인가방향과 결함의 방향이 교차하는 경우 상대적으로 큰 임피던스가 발생하여 결함의 유무를 쉽게 판단할 수 있지만, 결함의 연장방향이 유도전류의 인가방향과 나란한 경우에는 임피던스의 크기가 작아 결함을 쉽게 판별하기 어렵다는 문제가 있다.
한국 공개특허 제10-2018-0105180호 (2018.09.27)
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로, 나선형으로 꼬인 도선을 코일형태로 권선한 센서프로브에 의하여 결함에 기인하여 발생하는 임피던스와 위상차를 측정하여, 균열성 결함의 검출 성능을 향상시킬 수 있는 와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 관체의 결함을 측정하기 위해 관체의 내부에 설치되며, 상기 관체의 원주방향을 따라 권취되는 도선코일을 포함하는 와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치에 있어서, 상기 도선코일은 도선을 보조세선과 함께 꼬아서 도선과 보조세선의 가닥이 서로 다른 가닥을 감아 한 줄이 되도록 형성된 것이다.
상기 보조세선은 전자기장의 영향을 받지 않는 비금속 재질로 형성되는 부도체이거나, 상기 도선과 마찬가지로 전류가 흐를 수 있는 도체일 수 있다.
상기 보조세선이 도체인 경우 상기 도선에는 교류전류를 입력하고, 상기 보조세선에서는 유도전류를 측정하도록 형성될 수 있다.
또는 상기 도선과 보조세선에 동시에 교류전류를 입력하고, 임피던스와 위상차를 측정하여 결함을 판정하도록 형성될 수도 있다.
상기 보조세선이 부도체인 경우, 상기 부도체의 보조세선과 도선을 꼬아 형성한 도선코일을 상기 관체의 내부에 축방향을 따라 소정간격 이격되도록 두 개를 배치할 수도 있다.
보조세선이 도체인 경우, 보조세선과 도선을 꼬아 형성한 도선코일을 상기 관체의 내부에 축방향을 따라 소정간격 이격되도록 두 개를 배치할 수도 있다.
본 발명의 와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 및 장치는 균열성 결함의 방향에 관계없이 결함 검출 능력을 향상할 수 있고, 탐촉자의 크기를 작게 만들 수 있으며, 보다 작은 결함을 검출할 수 있다는 장점이 있다.
도 1은 종래기술의 결함 측정을 위한 절대형 코일 방식의 센서프로브의 구조 및 측정원리를 표시한 개념도,
도 2는 종래기술의 결함 측정을 위한 여자코일-픽업코일 방식의 센서프로브의 구조 및 측정원리를 표시한 개념도,
도 3은 종래기술의 결함 측정을 위한 차동형 코일 방식의 센서프로브의 구조 및 측정원리를 표시한 개념도,
도 4는 차동형 코일 방식의 센서프로브를 통해 소구경 배관의 결함을 검사하는 일 실시예를 표시한 도면,
도 5는 결함의 방향에 따라 임피던스와 위상각이 변화하는 이유를 표시한 개념도,
도 6은 본 발명에 따른 와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치의 일 실시예를 표시한 개념도,
도 7은 도 6에 도시된 본 발명의 도선에 결함이 인접하는 경우 유도전류에 왜곡이 발생하는 상태를 표시한 개념도,
도 8은 두 개의 도선코일이 상호 소정간격 이격되어 차동형으로 연결되는 다른 실시예의 개념도,
도 9는 부도체인 보조세선과 도선을 꼬아 형성한 하나의 도선코일로 결함 측정을 실시하기 위한 배선도,
도 10은 도체인 보조세선과 도선을 꼬아 형성한 하나의 도선코일을 여자코일-픽업코일 방식의 센서프로브 형태로 활용하여 결함을 검사하기 위한 배선도,
도 11은 도체인 보조세선과 도선을 꼬아 형성한 하나의 도선코일을 차동형 코일 방식의 센서프로브 형태로 활용하여 결함을 검사하기 위한 배선도,
도 12는 부도체인 보조세선과 도선을 꼬아 형성한 두 개의 도선코일을 차동형으로 배치하여 결함을 검사하는 실시예의 배선도,
도 13은 도체인 보조세선과 도선을 꼬아 형성한 두 개의 도선코일을 차동형으로 배치하여 결함을 검사하는 장시의 실시예에 대한 배선도,
도 14는 본 발명의 와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치에 의해 와전류 비파괴 검사를 실시하기 위한 신호처리회로의 일 실시예를 표시한 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 대하여, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미가 있다는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치는 관체의 내부에 설치되어 관체에 형성되는 결함의 존재 유무, 형상, 방향을 판정하기 위한 것이며, 관체의 내부에 관체의 원주방향을 따라 권취되어 형성되는 도선코일(200)을 포함한다.
상기 도선코일(200)은 도시된 것처럼 보조세선(220)과 함께 꼬아서, 도선(210)과 보조세선(220)의 가닥이 서로 다른 가닥을 감아 한 줄이 되도록 형성한다.
이렇게 형성된 도선(210)을 꼬아 도선코일(200)을 형성하는 경우 도 7에 도시되어 있는 것처럼 도선(210)은 나선방향을 따라 연장되며, 도 7의 (a)에 도시된 것처럼 결함(300)이 도선(210)과 겹치지 않을 경우에는 도선(210)의 근방 시험편 즉, 관체에는 1차 유도전류(400)가 도선(210)의 연장방향을 따라서 발생하게 된다.
그런데 도 7의 (b)에 도시된 것처럼 축방향 결함(300)이 도선(210)과 일부 겹치는 경우 1차 유도전류(400)는 상기 결함(300)에 의해 왜곡된다. 상기 도선(210)이 나선방향을 따라 연장되기 때문에 축방향 결함(300)의 일부분에서 소정의 각도를 이루면서 왜곡이 발생하게 된다.
또한 도 7의 (c)에 도시된 것처럼, 결함(300)이 원주방향으로 형성되어 있는 경우에도, 상기 도선(210)이 나선방향을 따라 연장되어 있기 때문에 원주방향의 결함(300)에 의해 1차 유도전류의 왜곡(410)이 발생하게 된다. 원주방향 결함(300)에 대한 1차 유도전류의 왜곡(410)은 종래의 단순 권취된 코일 형태일 경우 매우 작게 나타났으나, 본원 발명의 경우 도선(210)이 나선방향을 따라 권취되기 때문에 왜곡이 상대적으로 크게 나타나므로 결함(300)의 존재유무를 더욱 용이하게 판별할 수 있으며, 결함(300)의 크기나 방향과 같은 정보도 더욱 정확하게 판별할 수 있다.
본 실시예에서는 상기 도선코일(200)이 도체인 도선과 부도체인 보조세선(220)을 꼬아 형성하며, 도선코일(200)과 함께 관체의 일측에 형성되는 참조코일(미도시)을 이용해 임피던스 및 위상차를 측정하도록 되어 있다.
그런데 이와는 달리 상기 보조세선(220)을 부도체가 아닌 도체로 형성할 수도 있다.
보조세선(220)을 도체로 형성하는 경우 도선(210)과 보조세선(220)에 모두 전류가 흐를 수 있기 때문에 도선코일(200)을 여자코일-픽업코일 방식으로 활용하거나 차동형 코일 방식으로 활용할 수도 있다.
즉, 도선(210)에는 교류전류를 인가하여 자기장을 형성하고, 보조세선(220)에서는 유도전류를 측정하는 방식으로 형성할 수도 있다.
또는 도선(210)과 보조세선(220)에 모두 교류전류를 인가하고, 결함(300)에 의해 발생하는 임피던스나 위상차를 측정하도록 할 수도 있다.
이 경우 상기 도선(210)과 보조세선(220)이 꼬아진 형태로 여자코일-픽업코일 방식의 코일이 형성되거나, 차동형 코일이 형성되기 때문에 장치를 소형화할 수 있으며, 작은 결함(300)도 검출할 수 있다. 아울러 결함(300)이 없는 곳에서 발생하는 노이즈 신호를 제거할 수 있는 이점도 있다.
도 8에는 두 개의 도선코일(200)이 소정간격 이격된 상태에서 차동형으로 연결되는 실시예가 도시되어 있다.
본 실시예의 경우, 보조세선(220)이 부도체이거나 도체일 수 있는데, 보조세선(220)이 부도체로 형성되는 경우에는 도선코일(200)이 일반적인 여자코일-픽업코일 방식으로 검사를 실시하거나, 차동형 코일 방식으로 검사를 실시할 수 있는데, 도선(210)이 나선형으로 꼬인 상태에서 권취되기 때문에 결함(300)에 대한 1차 유도전류의 왜곡(410)이 크게 나타나 결함(300)의 판별이 용이하다.
보조세선(220)이 도체로 형성되는 경우에는 양측 도선코일(200)에서 각각 두 개씩의 신호선이 형성되어 총 네 개의 신호선이 마련되므로 두 개의 도선(210)에 전류를 인가하고 나머지 두 개의 보조세선(220)에서 유도전류를 측정하는 방식으로 적용하거나, 네 개의 신호선 모두에 교류전류를 인가하여 차동형 코일 방식으로 적용할 때, 네 개의 신호선으로부터 신호를 추출함에 따라 검출 성능을 더욱 높일 수 있다.
도시되지는 않았으나 상기 도선코일(200)의 중심에는 영구자석이 삽입될 수 있으며, 영구자석을 통해 관체의 표면에 발생하는 국부적인 자화를 상쇄할 수 있다.
도 9 내지 도 13은 본 발명의 와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치의 각 측정 타입에 따른 장치 구동을 위한 배선도를 도시한 것이다.
도 9는 보조세선(220)이 부도체이며, 하나의 도선코일(200)로 결함 측정을 실시하는 실시예에서의 배선도이며, 이 경우 참조용 코일(500)과 도선코일(200)을 브리지 형태로 연결하여 임피던스와 위상차를 측정한다.
도 10은 보조세선(220)이 도체이며, 도선(210)에는 전류를 인가하고, 보조세선(220)에서는 유도전류를 측정함으로써 하나의 도선코일(200)이 여자코일-픽업코일의 역할을 하도록 배선된 것이다.
도 11은 보조세선(220)이 도체이며, 도선(210)과 보조세선(220)에 모두 전류를 인가하여 차동형 코일로 활용하도록 배선된 실시예를 도시한 것이다.
도 12는 보조세선(220)이 부도체이고, 두 개의 도선코일(200)을 차동형으로 배치하여 각 도선코일(200)의 도선(210)을 각각 신호선으로 적용하는 것이며, 도 11의 실시예와 동일하게 배선도가 설계된다.
도 13은 보조세선(220)이 도체인 두 개의 도선코일(200)을 차동형으로 배치하는 실시예의 배선도이며, 두 개의 도선(210)과 두 개의 보조세선(220)이 모두 신호선으로 추출될 수 있도록 배선도가 설계된다.
도 14에는 본 발명의 와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치에 의해 와전류 비파괴 검사를 실시하기 위한 신호처리회로의 일 실시예가 도시되어 있다. 본 실시예는 부도체인 보조세선(220)과 도선(210)을 꼬아 형성한 도선코일(200)을 소정간격 이격되도록 두 개를 배치한 차동형 타입니다.
도면을 참조하면, 두 개의 다중주파수 교류전원 인가장치(610)로부터 인가된 교류전류는 가산증폭회로(620)에 의해 합성되며, 각각의 도선코일(200)에 입력되어 시험편 즉, 관체의 표면에 유도전류를 인가한다. 그리고 관체를 스캔하는 과정에서 결함(300)의 위치에 먼저 도달한 도선코일(200)과 아직 결함 위치에 도달하지 않은 나머지 도선코일(200) 사이에 발생한 신호는 차동증폭회로(630)에 의해 증폭된 후 분기된다.
분기된 신호는 각각 고대역통과필터(640)와 저대역통과필터(650)를 통과하여 다중주파수에서 인가한 각 주파수 신호를 구분한다. 이후 다시 분기회로(660)를 거쳐 두 개씩의 신호로 분기되며, 위상지연회로(670)에서 발생한 구형파와 승산회로(680) 및 적분회로(690)를 통해 승산 및 적분된 후 직류증폭회로(700)를 거쳐 아날로그-디지털 변환기(800)에 의해 연산장치(900)로 입력된다.
이렇게 연산장치(900)로 입력된 신호를 분석하면 결함(300)의 존재 유무와, 방향, 위치 정보를 판별할 수 있다.
제시된 실시예들에 대한 설명은 임의의 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 이용하거나 또는 실시할 수 있도록 제공된다. 이러한 실시예들에 대한 다양한 변형들은 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이며, 여기에 정의된 일반적인 원리들은 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 다른 실시예들에 적용될 수 있다. 그리하여, 본 발명은 여기에 제시된 실시예들로 한정되는 것이 아니라, 여기에 제시된 원리들 및 신규한 특징들과 일관되는 최광의의 범위에서 해석되어야 할 것이다.
200: 도선코일
210: 도선
220: 보조세선
300: 결함
400: 1차 유도전류
410: 1차 유도전류의 왜곡
500: 참조용 코일
610: 다중주파수 교류전원 인가장치
620: 가산증폭회로
630: 차동증폭회로
640: 고대역통과필터
650: 저대역통과필터
660: 분기회로
670: 위상지연회로
680: 승산회로
690: 적분회로
700: 직류증폭회로
800: 아날로그-디지털 변환기
900: 연산장치

Claims (8)

  1. 관체의 결함을 측정하기 위해 관체의 내부에 설치되며, 상기 관체의 원주방향을 따라 권취되는 도선코일을 포함하는 와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치에 있어서,
    상기 도선코일은 도선을 보조세선과 함께 꼬아서 도선과 보조세선의 가닥이 서로 다른 가닥을 감아 한 줄이 되도록 형성된 것을 특징으로 하는
    와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 보조세선은 전자기장의 영향을 받지 않는 비금속 재질로 형성되는 부도체인 것을 특징으로 하는
    와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 보조세선은 상기 도선과 마찬가지로 전류가 흐를 수 있는 도체인 것을 특징으로 하는
    와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 도선에는 교류전류를 입력하고, 상기 보조세선에서는 유도전류를 측정하는 것을 특징으로 하는
    와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 도선과 보조세선에 동시에 교류전류를 입력하고, 임피던스와 위상차를 측정하여 결함을 판정하는 것을 특징으로 하는
    와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치.
  6. 제 2항에 있어서,
    상기 부도체의 보조세선과 도선을 꼬아 형성한 도선코일을 상기 관체의 내부에 축방향을 따라 소정간격 이격되도록 두 개를 배치하는 것을 특징으로 하는
    와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치.
  7. 제 3항에 있어서,
    상기 도체인 보조세선과 도선을 꼬아 형성한 도선코일을 상기 관체의 내부에 축방향을 따라 소정간격 이격되도록 두 개를 배치하는 것을 특징으로 하는
    와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 도선코일의 내측에 영구자석이 구비되는 것을 특징으로 하는
    와전류 비파괴검사를 위한 센서프로브 검사장치.
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