KR20210081742A - Photosensitive resin composition and cured film prepared therefrom - Google Patents

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KR20210081742A KR1020190173996A KR20190173996A KR20210081742A KR 20210081742 A KR20210081742 A KR 20210081742A KR 1020190173996 A KR1020190173996 A KR 1020190173996A KR 20190173996 A KR20190173996 A KR 20190173996A KR 20210081742 A KR20210081742 A KR 20210081742A
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이규철
권진
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Abstract

A photosensitive resin composition of the present invention introduces a repeating unit represented by a chemical formula 1 and a repeating unit represented by chemical formulas 2 and/or 3 into a binder, and thus, it is possible to manufacture a cured film having excellent resolution by controlling developability while being sufficiently cured even at a low temperature by improving the degree of curing. Furthermore, the composition has chemical resistance, adhesion to a substrate, and stability over time, and thus, it is possible to form the cured film having better physical properties especially at side surfaces.

Description

감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된 경화막{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND CURED FILM PREPARED THEREFROM}Photosensitive resin composition and cured film prepared therefrom

본 발명은 저온 경화에서도 현상성, 해상도 및 내화학성이 우수한 경화막을 형성할 수 있는 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된 경화막에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive resin composition capable of forming a cured film excellent in developability, resolution and chemical resistance even at low temperature curing, and a cured film prepared therefrom.

LCD, OLED, 퀀텀닷(QD) 기반의 디스플레이 장치에 있어서 감광성 수지 조성물이 널리 이용되고 있다. A photosensitive resin composition is widely used in LCD, OLED, and quantum dot (QD)-based display devices.

LCD는 상·하부 기판 및 양 기판 사이의 액정으로 이루어지고 필요에 따라 터치 스크린 패널(Touch Screen Panel; TSP) 등이 상부기판에 연결될 수 있다. 일반적으로, TSP는 컬러 필터와 박막 트랜지스터(TFT)를 합착하는 어셈블리 공정 이후 제작된다. 이에 경화막은 이미 제작되어 있는 컬러 필터에 미치는 영향을 최소화하기 위하여, 낮은 온도에서 경화되어야 한다. 하지만 저온 경화시 조성물이 충분히 가교되지 못하여 경화막이 형성되지 않거나, 또는 강도가 충분하지 않다는 문제가 있어 저온 경화가 가능한 조성물이 요구되고 있다. 또한, OLED, 퀀텀닷(QD) 기반의 디스플레이 장치는 저온에서 제작 공정이 수행되기 때문에, 저온 경화에 적합한 조성물을 필요로 한다. The LCD is composed of upper and lower substrates and liquid crystal between both substrates, and a touch screen panel (TSP) may be connected to the upper substrate as necessary. In general, the TSP is manufactured after the assembly process of bonding the color filter and the thin film transistor (TFT). Accordingly, the cured film should be cured at a low temperature in order to minimize the effect on the color filter that has already been manufactured. However, there is a problem that a cured film is not formed because the composition is not sufficiently crosslinked during low temperature curing, or the strength is not sufficient, so a composition capable of low temperature curing is required. In addition, since the OLED and quantum dot (QD)-based display devices are manufactured at a low temperature, a composition suitable for low-temperature curing is required.

한편, 해당 분야에서 아크릴레이트계 수지를 바인더로 포함하는 조성물을 저온에서 경화하여 경화막을 제조하는 기술이 알려졌으나(한국 공개특허공보 제2010-0029479호), 내화학성을 만족시키기에 충분하지 않았다. 또한, 상기 특허에서 실질적으로 구현된 바인더의 산가가 높아 경시 안정성 측면에서도 한계가 있었다,On the other hand, a technique for producing a cured film by curing a composition containing an acrylate-based resin as a binder at a low temperature is known in the field (Korean Patent Application Laid-Open No. 2010-0029479), but it was not sufficient to satisfy chemical resistance. In addition, there was a limit in terms of stability over time because the acid value of the binder practically implemented in the above patent was high,

한국 공개특허공보 제2010-0029479호Korean Patent Publication No. 2010-0029479

따라서, 본 발명은 저온에서도 충분히 경화될 수 있으면서도, 현상성, 해상도, 내화학성 및 경시 안정성이 우수한 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된 경화막을 제공하고자 한다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition having excellent developability, resolution, chemical resistance and stability over time, and a cured film prepared therefrom, while being sufficiently cured even at low temperatures.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은 (A) (a1) 하기 화학식 1로 표시되는 반복단위 및, (a2) 하기 화학식 2로 표시되는 반복단위 및 (a3) 하기 화학식 3으로 표시되는 반복단위로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는, 공중합체; (B) 광중합성 화합물; 및 (C) 광중합 개시제;를 포함하는 감광성 수지 조성물을 제공한다:In order to achieve the above object, the present invention provides (A) (a1) a repeating unit represented by the following formula (1) and (a2) a repeating unit represented by the following formula (2) and (a3) a repeating unit represented by the following formula (3) A copolymer comprising at least one selected from the group; (B) a photopolymerizable compound; And (C) a photopolymerization initiator; provides a photosensitive resin composition comprising:

[화학식 1] [화학식 2] [화학식 3][Formula 1] [Formula 2] [Formula 3]

Figure pat00001
Figure pat00002
Figure pat00003
Figure pat00001
Figure pat00002
Figure pat00003

상기 식에서, R1은 수소 또는 치환 또는 비치환된 C1-20의 알킬이고, L1 및 L2는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 C1-10의 알킬렌, 또는 치환 또는 비치환된 C6-20의 아릴렌이며, R2 및 R4는 각각 독립적으로 수소 또는 C1-4 알킬이고, R3 및 R5는 각각 독립적으로 C1-4 알킬렌이며, a, b 및 c는 각각 독립적으로 1 내지 100의 정수이다.In the above formula, R 1 is hydrogen or substituted or unsubstituted C 1-20 alkyl, L 1 and L 2 are each independently substituted or unsubstituted C 1-10 alkylene, or substituted or unsubstituted C 6-20 arylene, R 2 and R 4 is each independently hydrogen or C 1-4 alkyl, R 3 and R 5 are each independently C 1-4 alkylene, and a, b and c are each independently an integer from 1 to 100.

상기 다른 목적을 달성하기 위해 본 발명은 상기 감광성 수지 조성물로부터 형성된 경화막을 제공한다.In order to achieve the other object, the present invention provides a cured film formed from the photosensitive resin composition.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 화학식 1로 표시되는 반복단위와, 화학식 2 및/또는 3으로 표시되는 반복단위를 바인더에 도입함으로써, 경화도를 향상시켜 저온에서도 충분히 경화될 수 있으면서도 현상성을 조절하여 우수한 해상도를 갖는 경화막을 제조할 수 있다. 나아가, 상기 조성물은 내화학성, 기판과의 밀착성 및 경시 안정성 측면에서도 보다 우수한 물성을 갖는 경화막을 형성할 수 있다. The photosensitive resin composition of the present invention is excellent by introducing the repeating unit represented by Chemical Formula 1 and the repeating unit represented by Chemical Formula 2 and/or 3 into the binder, thereby improving the degree of curing and thereby sufficiently curing even at low temperatures and controlling developability. A cured film having a resolution can be manufactured. Furthermore, the composition can form a cured film having better physical properties in terms of chemical resistance, adhesion to the substrate, and stability over time.

도 1은 실시예 및 비교예의 조성물로부터 제조된 경화막에 대하여 내화학성을 평가한 결과를 나타낸 그래프이다.1 is a graph showing the results of evaluating the chemical resistance of cured films prepared from the compositions of Examples and Comparative Examples.

본 발명은 이하에 개시된 내용에 한정되는 것이 아니라, 발명의 요지가 변경되지 않는 한 다양한 형태로 변형될 수 있다. The present invention is not limited to the contents disclosed below, and may be modified in various forms as long as the gist of the present invention is not changed.

본 명세서에서 "포함"한다는 것은 특별한 기재가 없는 한 다른 구성요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다. 또한, 본 명세서에 기재된 구성성분의 양, 반응 조건 등을 나타내는 모든 숫자 및 표현은 특별한 기재가 없는 한 모든 경우에 "약"이라는 용어로써 수식되는 것으로 이해하여야 한다.In the present specification, "comprising" means that other components may be further included unless otherwise specified. In addition, it should be understood that all numbers and expressions indicating amounts of components, reaction conditions, etc. described herein are modified by the term "about" in all cases unless otherwise specified.

본 발명은 (A) 공중합체, (B) 광중합성 화합물; 및 (C) 광중합 개시제;를 포함하는 감광성 수지 조성물을 제공한다. 상기 공중합체(A)는 특정 화학식으로 표시되는 반복단위를 포함하며, 이와 관련한 설명은 해당 부분에서 자세히 하도록 한다. 상기 감광성 수지 조성물은 선택적으로, (D) 접착 보조제, (E) 계면활성제 및/또는 (F) 용매를 더 포함할 수 있다.The present invention relates to (A) a copolymer, (B) a photopolymerizable compound; And (C) a photoinitiator; provides a photosensitive resin composition comprising. The copolymer (A) includes a repeating unit represented by a specific chemical formula, and the related description will be described in detail in the corresponding section. The photosensitive resin composition may optionally further include (D) an adhesion aid, (E) a surfactant and/or (F) a solvent.

본 명세서에서, "(메트)아크릴"은 "아크릴" 및/또는 "메타크릴"을 의미하고, "(메트)아크릴레이트"는 "아크릴레이트" 및/또는 "메타크릴레이트"를 의미한다As used herein, "(meth)acryl" means "acryl" and/or "methacrylic", and "(meth)acrylate" means "acrylate" and/or "methacrylate"

하기 각 구성들에 대한 중량평균분자량은 겔 투과 크로마토그래피(gel permeation chromatography; GPC, 테트라히드로퓨란을 용출용매로 함)로 측정한 폴리스티렌 환산의 중량평균분자량(g/mol 또는 Da)을 말한다. The weight average molecular weight for each of the following components refers to the weight average molecular weight (g/mol or Da) in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC, using tetrahydrofuran as the elution solvent).

(A) 공중합체(A) copolymer

본 발명에서 사용되는 공중합체(A)는 (a1) 하기 화학식 1로 표시되는 반복단위 및, (a2) 하기 화학식 2로 표시되는 반복단위 및 (a3) 하기 화학식 3으로 표시되는 반복단위로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상을 포함한다. The copolymer (A) used in the present invention is a group consisting of (a1) a repeating unit represented by the following formula (1), (a2) a repeating unit represented by the following formula (2), and (a3) a repeating unit represented by the following formula (3) It contains one or more selected from.

[화학식 1] [화학식 2] [화학식 3][Formula 1] [Formula 2] [Formula 3]

Figure pat00004
Figure pat00005
Figure pat00006
Figure pat00004
Figure pat00005
Figure pat00006

상기 식에서, R1은 수소 또는 치환 또는 비치환된 C1-20의 알킬이고, L1 및 L2는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 C1-10의 알킬렌, 또는 치환 또는 비치환된 C6-20의 아릴렌이며, R2 및 R4는 각각 독립적으로 수소 또는 C1-4 알킬이고, R3 및 R5는 각각 독립적으로 C1-4 알킬렌이며, a, b 및 c는 각각 독립적으로 1 내지 100의 정수이다.In the above formula, R 1 is hydrogen or substituted or unsubstituted C 1-20 alkyl, L 1 and L 2 are each independently substituted or unsubstituted C 1-10 alkylene, or substituted or unsubstituted C 6-20 arylene, R 2 and R 4 is each independently hydrogen or C 1-4 alkyl, R 3 and R 5 are each independently C 1-4 alkylene, and a, b and c are each independently an integer from 1 to 100.

(a1) 화학식 1로 표시되는 반복단위 ( a1) a repeating unit represented by the formula (1)

상기 공중합체(A)는 (a1) 하기 화학식 1로 표시되는 반복단위를 포함할 수 있다. 상기 반복단위(a1)은 조성물 내 현상성을 조절하여 해상도를 향상시키는 역할을 한다. The copolymer (A) may include (a1) a repeating unit represented by Formula 1 below. The repeating unit (a1) serves to improve resolution by controlling developability in the composition.

[화학식 1][Formula 1]

Figure pat00007
Figure pat00007

상기 R1, L1, L2 및 a의 정의는 앞서 설명한 바와 동일하다. The definitions of R 1 , L 1 , L 2 and a are the same as described above.

구체적으로, 상기 R1은 수소 또는 비치환된 C1-10의 알킬이고, 상기 L1 및 L2는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 C1-10의 알킬렌이며, 상기 a는 1 내지 80의 정수이다.Specifically, R 1 is hydrogen or unsubstituted C 1-10 alkyl, L 1 and L 2 are each independently substituted or unsubstituted C 1-10 alkylene, and a is 1 to 80 is the integer of

보다 구체적으로, 상기 R1은 수소 또는 비치환된 C1-8의 알킬이고, 상기 L1 및 L2는 각각 독립적으로 비치환된 C1-6의 알킬렌이며, 상기 a는 1 내지 50의 정수이다.More specifically, R 1 is hydrogen or unsubstituted C 1-8 alkyl, L 1 and L 2 are each independently unsubstituted C 1-6 alkylene, and a is 1 to 50 is an integer

본 발명에서 반복단위 (a1)은 산기를 포함하는 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도될 수 있고, 구체적으로 카르복시기를 포함하는 장쇄의 화합물로부터 유도될 수 있다. 보다 구체적으로 숙시네이트계 아크릴레이트계 화합물로부터 유도될 수 있다. In the present invention, the repeating unit (a1) may be derived from an ethylenically unsaturated compound containing an acid group, and specifically may be derived from a long-chain compound containing a carboxy group. More specifically, it may be derived from a succinate-based acrylate-based compound.

상기 숙시네이트계 아크릴레이트 화합물의 예를 들면, 2-(메트)아크릴로일옥시에틸숙시네이트, 2-(메트)아크릴로일에틸 숙시네이트 또는 이들의 혼합일 수 있다. For example, the succinate-based acrylate compound may be 2-(meth)acryloyloxyethyl succinate, 2-(meth)acryloylethyl succinate, or a mixture thereof.

상기 반복단위(a1)의 함량은 공중합체(A)를 이루는 반복단위 100 몰%를 기준으로 5 초과 내지 20 몰% 이하, 5 초과 18 몰% 이하, 6 내지 20 몰%, 6 내지 18 몰%, 7 내지 20 몰%, 7 내지 18몰% 또는 7 내지 15몰%일 수 있다. 상기 범위 내일 때, 조성물의 용해도 개선되어 패턴이 박리되지 않고, 우수한 현상성 및 내화학성을 얻을 수 있다. 만약 상기 범위보다 소량인 경우 현상성이 떨어지고 상기 범위보다 과량인 경우에는 공중합체 중합이 어렵다.The content of the repeating unit (a1) is more than 5 to 20 mol% or less, more than 5 to 18 mol% or less, 6 to 20 mol%, 6 to 18 mol% based on 100 mol% of the repeating unit constituting the copolymer (A). , 7 to 20 mol%, 7 to 18 mol%, or 7 to 15 mol%. When within the above range, the solubility of the composition is improved, the pattern is not peeled off, and excellent developability and chemical resistance can be obtained. If the amount is less than the above range, developability is deteriorated, and if the amount is excessive than the above range, copolymer polymerization is difficult.

(a2) 화학식 2로 표시되는 반복단위(a2) a repeating unit represented by Formula 2

상기 공중합체(A)는 (a2) 하기 화학식 2로 표시되는 반복단위를 포함할 수 있다. 상기 반복단위 (a2) 및 (a3)은 저온 경화시 조성물의 패턴 흐름성 조절을 가능하게 하고, 생성된 경화막에 충분한 막강도 및 내화학성을 부여할 수 있다. The copolymer (A) may include (a2) a repeating unit represented by Formula 2 below. The repeating units (a2) and (a3) can control the pattern flowability of the composition during low-temperature curing, and provide sufficient film strength and chemical resistance to the resulting cured film.

[화학식 2][Formula 2]

Figure pat00008
Figure pat00008

상기 R2, R3 및 b의 정의는 앞서 설명한 바와 동일하다. The definitions of R 2 , R 3 and b are the same as described above.

구체적으로, 상기 R2는 수소 또는 비치환된 C1-8의 알킬이고, 상기 R3는 C1-3의 알킬렌이며, 상기 b는 1 내지 80의 정수이다.Specifically, R 2 is hydrogen or unsubstituted C 1-8 alkyl, R 3 is C 1-3 alkylene, and b is an integer from 1 to 80.

보다 구체적으로, 구체적으로, 상기 R2는 수소 또는 비치환된 C1-5의 알킬이고, 상기 R3는 C1-3의 알킬렌이며, 상기 b는 1 내지 50의 정수이다.More specifically, R 2 is hydrogen or unsubstituted C 1-5 alkyl, R 3 is C 1-3 alkylene, and b is an integer of 1 to 50.

상기 화학식 2로 표시되는 반복단위(a2)는 지환식 에폭시기를 포함하는 에틸렌성 불포화 화합물부터 유도될 수 있다.The repeating unit (a2) represented by Formula 2 may be derived from an ethylenically unsaturated compound including an alicyclic epoxy group.

상기 지환식 에폭시기를 함유하는 에틸렌성 불포화 화합물은 2,4-에폭시시클로헥실메틸아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실메틸아크릴레이트 또는 3,4-에폭시시클로헥실메틸메타크릴레이트일 수 있다. The ethylenically unsaturated compound containing the alicyclic epoxy group may be 2,4-epoxycyclohexylmethyl acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl acrylate or 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate.

상기 반복단위(a2)의 함량은 공중합체(A)를 이루는 반복단위 100 몰%를 기준으로 10 내지 30 몰%, 10 내지 28 몰%, 15 내지 30 몰% 또는 15 내지 28 몰%일 수 있다. 상기 범위 내일 때, 조성물의 저장안정성이 유지되고 잔막률이 향상된다.The content of the repeating unit (a2) may be 10 to 30 mol%, 10 to 28 mol%, 15 to 30 mol%, or 15 to 28 mol% based on 100 mol% of the repeating unit constituting the copolymer (A). . When within the above range, the storage stability of the composition is maintained and the film remaining rate is improved.

(a3) 상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위(a3) the repeating unit represented by the above formula (3)

상기 공중합체(A)는 (a3) 하기 화학식 3으로 표시되는 반복단위를 포함할 수 있다. The copolymer (A) may include (a3) a repeating unit represented by Formula 3 below.

[화학식 3][Formula 3]

Figure pat00009
Figure pat00009

상기 R4, R5 및 c의 정의는 앞서 설명한 바와 동일하다. The definitions of R 4 , R 5 and c are the same as described above.

구체적으로, 상기 R4는 수소 또는 비치환된 C1-8의 알킬이고, 상기 R5는 C1-3의 알킬렌이며, 상기 c는 1 내지 80의 정수이다.Specifically, R 4 is hydrogen or unsubstituted C 1-8 alkyl, R 5 is C 1-3 alkylene, and c is an integer of 1 to 80.

보다 구체적으로, 구체적으로, 상기 R4는 수소 또는 비치환된 C1-5의 알킬이고, 상기 R5는 C1-3의 알킬렌이며, 상기 c는 1 내지 50의 정수이다.More specifically, more specifically, R 4 is hydrogen or unsubstituted C 1-5 alkyl, R 5 is C 1-3 alkylene, and c is an integer of 1 to 50.

상기 화학식 3으로 표시되는 반복단위(a3)은 비지환식 에폭시기를 함유하는 에틸렌성 불포화 단량체로부터 유도될 수 있다.The repeating unit (a3) represented by Formula 3 may be derived from an ethylenically unsaturated monomer containing a non-alicyclic epoxy group.

상기 비지환식 에폭시기를 함유하는 에틸렌성 불포화 단량체는 글리시딜(메트)아크릴레이트 또는 4-히드록시부틸아크릴레이트 글리시딜에테르일 수 있다.The ethylenically unsaturated monomer containing the non-alicyclic epoxy group may be glycidyl (meth) acrylate or 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether.

상기 반복단위(a3)의 함량은 공중합체(A)를 이루하는 반복단위 100 몰%를 기준으로 10 내지 30 몰%, 10 내지 28 몰%, 15 내지 30 몰% 또는 15 내지 28 몰%일 수 있다. 상기 범위 내일 때, 조성물의 저장안정성이 유지되고 잔막률이 향상된다.The content of the repeating unit (a3) may be 10 to 30 mol%, 10 to 28 mol%, 15 to 30 mol%, or 15 to 28 mol% based on 100 mol% of the repeating unit constituting the copolymer (A). have. When within the above range, the storage stability of the composition is maintained and the film remaining rate is improved.

일 구현예에 따르면, 상기 공중합체(A)는 상기 반복단위 (a1) 및 (a2)를 포함할 수 있다. 일 구현예에 따르면, 상기 공중합체(A)는 상기 반복단위 (a1) 및 (a3)을 포함할 수 있다. 일 구현예에 따르면, 상기 공중합체(A)는 상기 반복단위 (a1) 내지 (a3)을 포함할 수 있다.According to one embodiment, the copolymer (A) may include the repeating units (a1) and (a2). According to one embodiment, the copolymer (A) may include the repeating units (a1) and (a3). According to one embodiment, the copolymer (A) may include the repeating units (a1) to (a3).

상기 공중합체(A)가 상기 반복단위 (a2) 및 (a3)를 동시에 포함하는 경우, 상기 반복단위 (a2) 및 (a3)은 50 내지 99 : 50 내지 1, 50 내지 90 : 50 내지 10, 50 내지 85 : 50 내지 15, 50 내지 80 : 50 내지 20 또는 50 내지 75 : 50 내지 25의 몰비를 가질 수 있다. 상기 범위에서 우수한 상온 경시 안정성, 내열성 및 내화학성을 얻을 수 있으며 패턴 구현성이 향상된다.When the copolymer (A) contains the repeating units (a2) and (a3) simultaneously, the repeating units (a2) and (a3) are 50 to 99: 50 to 1, 50 to 90: 50 to 10, It may have a molar ratio of 50 to 85: 50 to 15, 50 to 80: 50 to 20, or 50 to 75: 50 to 25. In the above range, excellent stability over room temperature, heat resistance and chemical resistance can be obtained, and pattern implementation is improved.

(a4) 상기 반복단위 (a1) 내지 (a3)과 상이한 반복단위(a4) a repeating unit different from the repeating units (a1) to (a3)

본 발명의 공중합체(A)는 상기 반복단위 (a1) 내지 (a3)과 상이한 반복단위(a4)를 추가로 포함할 수 있다. 상기 반복단위 (a4)는 1종 이상, 2종 이상 또는 3종 이상을 포함할 수 있다. The copolymer (A) of the present invention may further include a repeating unit (a4) different from the repeating units (a1) to (a3). The repeating unit (a4) may include one or more, two or more, or three or more.

상기 반복단위 (a4)는 앞서 제시한 화합물과는 상이한 에틸렌성 불포화 화합물들로부터 유도될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.The repeating unit (a4) may be derived from ethylenically unsaturated compounds different from those presented above, but is not limited thereto.

예를 들면, 상기 에틸렌성 불포화 화합물은 불포화 카복실산, 불포화 카복실산 무수물, 방향족환 함유 불포화 화합물, 불포화 카복실산 에스테르계 화합물, N-비닐을 포함하는 N-비닐 삼차아민계 화합물, 불포화 에테르계 화합물, 불포화 이미드계 화합물 또는 이들의 혼합물로부터 유도될 수 있다. For example, the ethylenically unsaturated compound is an unsaturated carboxylic acid, an unsaturated carboxylic acid anhydride, an aromatic ring-containing unsaturated compound, an unsaturated carboxylic acid ester compound, an N-vinyl tertiary amine compound including N-vinyl, an unsaturated ether compound, an unsaturated compound It may be derived from de-based compounds or mixtures thereof.

상기 불포화 카복실산 및 불포화 카복실산 무수물의 예를 들면, (메트)아크릴산, 크로톤산, α-클로로아크릴산 및 신남산 같은 불포화 모노카복실산; 말레인산, 말레인산 무수물, 푸마르산, 이타콘산, 이타콘산 무수물, 시트라콘산, 시트라콘산 무수물 및 메사콘산과 같은 불포화 디카복실산 및 이의 무수물; 3가 이상의 불포화 폴리카복실산 및 이의 무수물 등을 들 수 있다.Examples of the unsaturated carboxylic acid and unsaturated carboxylic acid anhydride include: unsaturated monocarboxylic acids such as (meth)acrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid and cinnamic acid; unsaturated dicarboxylic acids and anhydrides thereof such as maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride and mesaconic acid; and trivalent or higher unsaturated polycarboxylic acids and anhydrides thereof.

상기 방향족환 함유 불포화 화합물의 예를 들면, 페닐(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 2-페녹시에틸(메트)아크릴레이트, 페녹시디에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, p-노닐페녹시폴리에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, p-노닐페녹시폴리프로필렌글리콜(메트)아크릴레이트, 트리브로모페닐(메트)아크릴레이트, 스티렌, 메틸스티렌, 디메틸스티렌, 트리메틸스티렌, 에틸스티렌, 디에틸스티렌, 트리에틸스티렌, 프로필스티렌, 부틸스티렌, 헥실스티렌, 헵틸스티렌, 옥틸스티렌, 플루오로스티렌, 클로로스티렌, 브로모스티렌, 요오드스티렌, 메톡시스티렌, 에톡시스티렌, 프로폭시스티렌, p-히드록시-α-메틸스티렌, 아세틸스티렌, 비닐톨루엔, 디비닐벤젠, 비닐페놀, o-비닐벤질메틸에테르, m-비닐벤질메틸에테르, p-비닐벤질메틸에테르 등을 들 수 있다.Examples of the aromatic ring-containing unsaturated compound include phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate, phenoxydiethylene glycol (meth) acrylate, p-nonylphenoxy Polyethylene glycol (meth) acrylate, p-nonylphenoxy polypropylene glycol (meth) acrylate, tribromophenyl (meth) acrylate, styrene, methyl styrene, dimethyl styrene, trimethyl styrene, ethyl styrene, diethyl styrene , triethyl styrene, propyl styrene, butyl styrene, hexyl styrene, heptyl styrene, octyl styrene, fluoro styrene, chloro styrene, bromo styrene, iodine styrene, methoxy styrene, ethoxy styrene, propoxy styrene, p-hydroxy -?-methylstyrene, acetylstyrene, vinyltoluene, divinylbenzene, vinylphenol, o-vinylbenzylmethyl ether, m-vinylbenzylmethyl ether, p-vinylbenzylmethyl ether, etc. are mentioned.

상기 불포화 카복실산 에스테르계 화합물의 예를 들면, 메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, 부틸(메트)아크릴레이트, 디메틸아미노에틸(메트)아크릴레이트, 이소부틸(메트)아크릴레이트, t-부틸(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트, 에틸헥실(메트)아크릴레이트, 테트라히드로퍼프릴(메트)아크릴레이트, 히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메트)아크릴레이트, 2-히드록시-3-클로로프로필(메트)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메트)아크릴레이트, 글리세롤(메트)아크릴레이트, 메틸 α-히드록시메틸아크릴레이트, 에틸 α-히드록시메틸아크릴레이트, 프로필 α-히드록시메틸아크릴레이트, 부틸 α-히드록시메틸아크릴레이트, 2-메톡시에틸(메트)아크릴레이트, 3-메톡시부틸(메트)아크릴레이트, 에톡시디에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 메톡시트리에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 메톡시트리프로필렌글리콜(메트)아크릴레이트, 폴리(에틸렌글리콜)메틸에테르(메트)아크릴레이트, 테트라플루오로프로필(메트)아크릴레이트, 1,1,1,3,3,3-헥사플루오로이소프로필(메트)아크릴레이트, 옥타플루오로펜틸(메트)아크릴레이트, 헵타데카플루오로데실(메트)아크릴레이트, 이소보닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜타닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜테닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜타닐옥시에틸(메트)아크릴레이트, 디시클로펜테닐옥시에틸(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다.Examples of the unsaturated carboxylic acid ester compound include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, dimethylaminoethyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, t -Butyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, ethylhexyl (meth) acrylate, tetrahydro puffril (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) ) acrylate, 2-hydroxy-3-chloropropyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, methyl α-hydroxymethyl acrylate, ethyl α-hydroxy Oxymethyl acrylate, propyl α-hydroxymethyl acrylate, butyl α-hydroxymethyl acrylate, 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 3-methoxybutyl (meth) acrylate, ethoxydiethylene glycol ( Meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, methoxytripropylene glycol (meth) acrylate, poly (ethylene glycol) methyl ether (meth) acrylate, tetrafluoropropyl (meth) acrylate, 1,1,1,3,3,3-hexafluoroisopropyl (meth) acrylate, octafluoropentyl (meth) acrylate, heptadecafluorodecyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylic a rate, dicyclopentanyl (meth)acrylate, dicyclopentenyl (meth)acrylate, dicyclopentanyloxyethyl (meth)acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth)acrylate, etc. are mentioned.

상기 N-비닐을 포함하는 N-비닐 삼차아민계 화합물의 예를 들면, N-비닐피롤리돈, N-비닐카바졸, N-비닐모폴린 등을 들 수 있다.Examples of the N-vinyl tertiary amine compound containing N-vinyl include N-vinylpyrrolidone, N-vinylcarbazole, N-vinylmorpholine, and the like.

상기 불포화 에테르계 화합물의 예를 들면, 비닐메틸에테르, 비닐에틸에테르 등을 들 수 있다. As an example of the said unsaturated ether type compound, vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, etc. are mentioned.

상기 불포화 이미드계 화합물의 예를 들면, N-페닐말레이미드, N-(4-클로로페닐)말레이미드, N-(4-히드록시페닐)말레이미드, N-시클로헥실말레이미드 등을 들 수 있다. Examples of the unsaturated imide compound include N-phenylmaleimide, N-(4-chlorophenyl)maleimide, N-(4-hydroxyphenyl)maleimide, and N-cyclohexylmaleimide. .

구체적으로, 상기 반복단위 (a4)는 방향족환 함유 불포화 화합물, 불포화 카복실산 에스테르계 화합물 및 불포화 카복실산으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 불포화 화합물로부터 유도될 수 있다.Specifically, the repeating unit (a4) may be derived from at least one unsaturated compound selected from the group consisting of an aromatic ring-containing unsaturated compound, an unsaturated carboxylic acid ester-based compound, and an unsaturated carboxylic acid.

일 구현예에 따르면, 상기 반복단위 (a4)는 방향족환 함유 불포화 화합물 및 불포화 카복실산 에스테르계 화합물로부터 유도되는 반복단위를 포함할 수 있다.According to one embodiment, the repeating unit (a4) may include a repeating unit derived from an aromatic ring-containing unsaturated compound and an unsaturated carboxylic acid ester-based compound.

일 구현예에 따르면, 상기 반복단위 (a4)는 방향족환 함유 불포화 화합물 및 불포화 카복실산으로부터 유도되는 반복단위를 포함할 수 있다. According to one embodiment, the repeating unit (a4) may include a repeating unit derived from an aromatic ring-containing unsaturated compound and an unsaturated carboxylic acid.

일 구현예에 따르면, 상기 반복단위 (a4)는 방향족환 함유 불포화 화합물, 불포화 카복실산 에스테르계 화합물 및 불포화 카복실산으로부터 유도되는 반복단위를 포함할 수 있다. According to one embodiment, the repeating unit (a4) may include a repeating unit derived from an aromatic ring-containing unsaturated compound, an unsaturated carboxylic acid ester-based compound, and an unsaturated carboxylic acid.

상기 방향족환 함유 불포화 화합물로부터 유도되는 반복단위의 함량은 상기 공중합체(A)를 이루는 반복단위 100 몰%를 기준으로 10 내지 50 몰%, 10 내지 45 몰%, 10 내지 40 몰%, 20 내지 40 몰% 또는 20 내지 35 몰%일 수 있다.The content of the repeating unit derived from the aromatic ring-containing unsaturated compound is 10 to 50 mol%, 10 to 45 mol%, 10 to 40 mol%, 20 to 50 mol% based on 100 mol% of the repeating unit constituting the copolymer (A). 40 mol % or 20 to 35 mol %.

상기 불포화 카복실산 에스테르계 화합물로부터 유도되는 반복단위의 함량은 상기 공중합체(A)를 이루는 반복단위 100 몰%를 기준으로 10 내지 30 몰%, 10 내지 25 몰%, 15 내지 30 몰% 또는 15 내지 25 몰%일 수 있다.The content of the repeating unit derived from the unsaturated carboxylic acid ester compound is 10 to 30 mol%, 10 to 25 mol%, 15 to 30 mol%, or 15 to 30 mol% based on 100 mol% of the repeating unit constituting the copolymer (A). 25 mole %.

상기 불포화 카복실산으로부터 유도되는 반복단위의 함량은 상기 공중합체(A)를 이루는 반복단위 100 몰%를 기준으로 1 내지 15 몰%, 1 내지 10 몰%, 1 내지 8몰%, 5 내지 10 몰% 또는 5 내지 8 몰%일 수 있다.The content of the repeating unit derived from the unsaturated carboxylic acid is 1 to 15 mol%, 1 to 10 mol%, 1 to 8 mol%, 5 to 10 mol%, based on 100 mol% of the repeating unit constituting the copolymer (A). or 5 to 8 mol%.

본 발명에 사용되는 공중합체(A)는 공지의 방법으로 공중합되어 합성될 수 있다. 구체적으로, 상기 공중합체(A)는 라디칼 중합 개시제, 용매 및 상기 반복단위들을 유도할 수 있는 단량체 화합물들을 넣고 질소를 투입한 후 서서히 교반하면서 중합시켜 제조될 수 있다.The copolymer (A) used in the present invention may be synthesized by copolymerization by a known method. Specifically, the copolymer (A) may be prepared by adding a radical polymerization initiator, a solvent, and a monomer compound capable of inducing the repeating units, adding nitrogen, and then polymerizing while slowly stirring.

상기 라디칼 중합 개시제는 특별히 한정되지 않으나, 2,2'-아조비스이소부티로니트릴, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴), 2,2'-아조비스(4-메톡시-2,4-디메틸발레로니트릴) 등의 아조 화합물, 벤조일퍼옥사이드, 라우릴퍼옥사이드, t-부틸퍼옥시피발레이트, 1,1-비스(t-부틸퍼옥시)시클로헥산 등일 수 있다. 이들 라디칼 중합 개시제는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.The radical polymerization initiator is not particularly limited, but 2,2'-azobisisobutyronitrile, 2,2'-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile), 2,2'-azobis(4- Azo compounds such as methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile), benzoyl peroxide, lauryl peroxide, t-butylperoxypivalate, 1,1-bis(t-butylperoxy)cyclohexane, etc. have. These radical polymerization initiators can be used individually or in mixture of 2 or more types.

상기 용매는 공중합체의 제조에 사용되는 것이면 어느 것이나 사용 가능하며, 예를 들어 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PGMEA)일 수 있다.Any solvent may be used as long as the solvent is used for preparing the copolymer, and for example, propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) may be used.

상기 공중합체(A)의 중량평균분자량(Mw)은 5,000 내지 20,000 Da, 5,000 내지 15,000 Da, 또는 5,000 내지 13,000 Da일 수 있다. 상기 범위 내일 때, 기판과의 밀착성이 우수하고 물리적, 화학적 물성이 좋으며 적정 점도를 유지할 수 있다.The weight average molecular weight (Mw) of the copolymer (A) may be 5,000 to 20,000 Da, 5,000 to 15,000 Da, or 5,000 to 13,000 Da. When within the above range, excellent adhesion to the substrate, good physical and chemical properties, it is possible to maintain an appropriate viscosity.

또한, 상기 공중합체(A)의 산가는 10 내지 75 KOHmg/g, 30 내지 75 KOHmg/g, 55 내지 75 KOHmg/g, 55 내지 70 KOHmg/g, 60 내지 70 KOHmg/g 또는 65 내지 75 KOHmg/g일 수 있다. 상기 범위 내일 때, 감광성 수지 조성물의 경시 안정성(shelf-life)을 보다 향상시킬 수 있다. In addition, the acid value of the copolymer (A) is 10-75 KOHmg/g, 30-75 KOHmg/g, 55-75 KOHmg/g, 55-70 KOHmg/g, 60-70 KOHmg/g or 65-75 KOHmg It can be /g. When within the above range, the stability over time (shelf-life) of the photosensitive resin composition can be further improved.

상기 공중합체(A)의 함량은 고형분 기준으로 감광성 수지 조성물의 총 중량에 대하여 30 내지 80 중량%, 30 내지 70 중량%, 30 내지 65 중량%, 35 내지 70 중량%, 35 내지 65 중량%, 35 내지 60 중량% 또는 40 내지 60 중량%일 수 있다. 상기 고형분 함량은 잔부량의 용매를 제외한 조성물 전체의 함량을 의미한다. 상기 범위 내일 때, 현상후의 패턴 현상이 양호하고, 잔막률 및 내화학성 등의 특성이 향상된다. The content of the copolymer (A) is 30 to 80% by weight, 30 to 70% by weight, 30 to 65% by weight, 35 to 70% by weight, 35 to 65% by weight based on the total weight of the photosensitive resin composition on a solid basis, 35 to 60% by weight or 40 to 60% by weight. The solid content means the content of the entire composition excluding the remaining amount of the solvent. When it is in the said range, the pattern development after development is favorable, and characteristics, such as a residual film rate and chemical resistance, improve.

(B) 광중합성 화합물(B) photopolymerizable compound

본 발명에서 사용하는 광중합성 화합물은 광중합 개시제의 작용으로 중합할 수 있는 화합물이다.The photopolymerizable compound used in the present invention is a compound capable of polymerization by the action of a photoinitiator.

구체적으로, 상기 광중합성 화합물은 적어도 1개의 에틸렌성 불포화기를 갖는 단관능 또는 다관능 에스테르 화합물을 포함할 수 있고, 내화학성 측면에서 바람직하게는 2관능 이상의 다관능성 화합물일 수 있다.Specifically, the photopolymerizable compound may include a monofunctional or polyfunctional ester compound having at least one ethylenically unsaturated group, and may preferably be a bifunctional or more polyfunctional compound in terms of chemical resistance.

상기 광중합성 화합물로는 에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 프로필렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메트)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 글리세린트리(메트)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트와 숙신산의 모노에스테르화물, 펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트와 숙신산의 모노에스테르화물, 카프로락톤 변성 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트헥사메틸렌디이소시아네이트(펜타에리트리톨트리아크릴레이트와 헥사메틸렌디이소시아네이트의 반응물), 트리펜타에리트리톨헵타(메트)아크릴레이트, 트리펜타에리트리톨옥타(메트)아크릴레이트, 비스페놀 A 에폭시아크릴레이트 및 에틸렌글리콜모노메틸에테르아크릴레이트로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상을 사용할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.Examples of the photopolymerizable compound include ethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol Di(meth)acrylate, polyethylene glycol di(meth)acrylate, polypropylene glycol di(meth)acrylate, glycerin tri(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth) ) acrylate, monoester product of pentaerythritol tri(meth)acrylate and succinic acid, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acryl rate, monoester product of dipentaerythritol penta(meth)acrylate and succinic acid, caprolactone-modified dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, pentaerythritol triacrylate hexamethylene diisocyanate (pentaerythritol triacrylate) and hexamethylene diisocyanate), tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, tripentaerythritol octa (meth) acrylate, bisphenol A epoxy acrylate and ethylene glycol monomethyl ether acrylate. One or more types may be used, but the present invention is not limited thereto.

또한, 이외에도 직쇄 알킬렌기 및 방향족 고리 구조를 갖고 2개 이상의 이소시아네이트기를 갖는 화합물과, 분자 내에 1개 이상의 히드록시기를 갖고 3개, 4개 또는 5개의 아크릴로일옥시기 및/또는 메타크릴로일옥시기를 갖는 화합물을 반응시켜 얻어지는 다관능 우레탄아크릴레이트 화합물 등을 들 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.In addition, a compound having a straight chain alkylene group and an aromatic ring structure and having two or more isocyanate groups, and three, four or five acryloyloxy groups and/or methacryloyloxy groups having one or more hydroxyl groups in the molecule and/or methacryloyloxy groups A polyfunctional urethane acrylate compound obtained by reacting a compound having the compound may be mentioned, but the present invention is not limited thereto.

상업적으로 구매 가능한 상기 광중합성 화합물로는, 단관능 (메트)아크릴레이트의 시판품으로서, 아로닉스 M-101, 동 M-111, 동 M-114(도아고세이(주) 제품), AKAYARAD TC-110S, 동 TC-120S(닛본가야꾸(주) 제품), V-158, V-2311(오사카유끼 가가꾸고교(주) 제품) 등이 있고, 2관능 (메트)아크릴레이트의 시판품으로서, 아로닉스 M-210, 동 M-240, 동 M-6200(도아 고세이(주) 제품), KAYARAD HDDA, 동 HX-220, 동 R-604(닛본가야꾸(주) 제품), V260, V312, V335 HP(오사카유끼 가가꾸고교(주) 제품) 등이 있으며, 3관능 이상의 (메트)아크릴레이트의 시판품으로서는 아로닉스 M-309, 동 M-400, 동 M-403, 동 M-405, 동 M-450, 동 M-7100, 동 M-8030, 동 M-8060, TO-1382(도아고세이(주) 제품), KAYARAD TMPTA, 동 DPHA, 동 DPHA-40H, 동 DPC1-20, 동-30, 동-60, 동-120(닛본가야꾸(주) 제품), V-295, 동-300, 동-360, 동-GPT, 동-3PA, 동-400(오사카유끼 가가꾸고교(주) 제품) 등을 들 수 있다. 상기 광중합성 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.Commercially available photopolymerizable compounds include monofunctional (meth)acrylates, Aronix M-101, Copper M-111, Copper M-114 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), AKAYARAD TC-110S , copper TC-120S (manufactured by Nippon Chemical Co., Ltd.), V-158, V-2311 (manufactured by Osaka Yuki Chemical Co., Ltd.), etc., as a commercial product of bifunctional (meth)acrylate, Aronix M-210, Dong M-240, Dong M-6200 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), KAYARAD HDDA, Dong HX-220, Dong R-604 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), V260, V312, V335 HP (Osaka Yuki Chemical Co., Ltd. product), etc., and commercially available products of trifunctional or higher (meth)acrylates include Aronix M-309, Copper M-400, Copper M-403, Copper M-405, Copper M- 450, Dong M-7100, Dong M-8030, Dong M-8060, TO-1382 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), KAYARAD TMPTA, Dong DPHA, Dong DPHA-40H, Dong DPC1-20, Dong-30, Bronze -60, Dong-120 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), V-295, Dong-300, Dong-360, Dong-GPT, Dong-3PA, Dong-400 (manufactured by Osaka Yuki Chemical High School) and the like. The said photopolymerizable compound can be used individually or in combination of 2 or more types.

상기 광중합성 화합물의 함량은 고형분 기준으로 상기 공중합체(A) 100 중량부에 대하여 10 내지 99 중량부, 10 내지 80 중량부, 20 내지 80 중량부, 30 내지 80 중량부, 40 내지 80 중량부, 50 내지 90 중량부, 50 내지 80 중량부 또는 50 내지 70 중량부일 수 있다. 상기 범위 내일 때, 잔막율을 일정하게 유지할 수 있으면서 우수한 패턴 현상성 및 도막 특성을 얻을 수 있다.The content of the photopolymerizable compound is 10 to 99 parts by weight, 10 to 80 parts by weight, 20 to 80 parts by weight, 30 to 80 parts by weight, 40 to 80 parts by weight based on 100 parts by weight of the copolymer (A) based on the solid content. , 50 to 90 parts by weight, 50 to 80 parts by weight, or 50 to 70 parts by weight. When within the above range, it is possible to obtain excellent pattern developability and coating film characteristics while maintaining a constant residual film rate.

(C) 광중합 개시제(C) photoinitiator

본 발명에서 사용하는 광중합 개시제는 공지의 광중합 개시제이면 어느 것이나 사용가능하다.As the photopolymerization initiator used in the present invention, any known photopolymerization initiator may be used.

상기 광중합 개시제는 가시광선, 자외선, 심자외선(deep-ultraviolet radiation) 등에 의하여 경화될 수 있는 단량체들의 중합 반응을 개시하는 역할을 할 수 있다. The photopolymerization initiator may serve to initiate a polymerization reaction of monomers that can be cured by visible light, ultraviolet light, deep-ultraviolet radiation, or the like.

상기 광중합 개시제의 종류는 특별히 한정되지 않으나 아세토페논계, 벤조페논계, 벤조인계 및 벤조일계, 크산톤계, 트리아진계, 할로메틸옥사디아졸계 및 로핀다이머계 광중합 개시제로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상이 사용될 수 있다.The type of the photopolymerization initiator is not particularly limited, but one selected from the group consisting of acetophenone-based, benzophenone-based, benzoin-based and benzoyl-based, xanthone-based, triazine-based, halomethyloxadiazole-based and ropindimer-based photopolymerization initiators More than one can be used.

상기 광중합 개시제의 구체적인 예로서, p-디메틸아미노아세토페논, 2-벤질-2-(디메틸아미노)-1-[4-(4-모포리닐)페닐]-1-부탄온, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐-프로판-1-온, 벤질디메틸케탈, 벤조페논, 벤조인프로필에테르, 디에틸티옥산톤, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-p-메톡시페닐-s-트리아진, 2-트리클로로메틸-5-스티릴-1,3,4-옥소디아졸, 9-페닐아크리딘, 3-메틸-5-아미노-((s-트리아진-2-일)아미노)-3-페닐쿠마린, 2-(o-클로로페닐)-4,5-디페닐이미다졸릴 이량체, 1-페닐-1,2-프로판디온-2-(o-에톡시카르보닐)옥심, 1-[4-(페닐티오)페닐]-옥탄-1,2-디온-2-(o-벤조일옥심), o-벤조일-4'-(벤즈메르캅토)벤조일-헥실-케톡심, 2,4,6-트리메틸페닐카르보닐-디페닐포스포닐옥사이드, 헥사플루오로포스포로-트리알킬페닐술포늄염, 2-메르캅토벤즈이미다졸, 2,2'-벤조티아조릴디설파이드 또는 이들의 혼합물을 들 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.Specific examples of the photopolymerization initiator include p-dimethylaminoacetophenone, 2-benzyl-2-(dimethylamino)-1-[4-(4-morpholinyl)phenyl]-1-butanone, 2-hydroxy- 2-Methyl-1-phenyl-propan-1-one, benzyldimethyl ketal, benzophenone, benzoinpropyl ether, diethylthioxanthone, 2,4-bis(trichloromethyl)-6-p-methoxyphenyl -s-triazine, 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxodiazole, 9-phenylacridine, 3-methyl-5-amino-((s-triazine-2 -yl)amino)-3-phenylcoumarin, 2-(o-chlorophenyl)-4,5-diphenylimidazolyl dimer, 1-phenyl-1,2-propanedione-2-(o-ethoxy) Carbonyl) oxime, 1-[4-(phenylthio)phenyl]-octane-1,2-dione-2-(o-benzoyloxime), o-benzoyl-4'-(benzmercapto)benzoyl-hexyl- Ketoxime, 2,4,6-trimethylphenylcarbonyl-diphenylphosphonyloxide, hexafluorophosphoro-trialkylphenylsulfonium salt, 2-mercaptobenzimidazole, 2,2'-benzothiazolyldisulfide or mixtures thereof, but are not limited thereto.

다른 예로서, 상기 광중합 개시제는 적어도 1종의 옥심계 화합물을 포함할 수 있다.As another example, the photopolymerization initiator may include at least one oxime-based compound.

상기 옥심계 화합물은 옥심 구조를 포함하는 라디칼 개시제라면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들어, 옥심 에스테르계 화합물일 수 있으며, 바람직하게는 옥심에스테르 플루오렌계 화합물일 수 있다.The oxime-based compound is not particularly limited as long as it is a radical initiator including an oxime structure, and for example, may be an oxime ester-based compound, preferably an oxime ester-based fluorene-based compound.

상기 옥심계 화합물은 대한민국 공개특허공보 제2004-0007700호, 제2005-0084149호, 제2008-0083650호, 제2008-0080208호, 제2007-0044062호, 제2007-0091110호, 제2007-0044753호, 제2009-0009991호, 제2009-0093933호, 제2010-0097658호, 제2011-0059525호, 제2011-0091742호, 제2011-0026467호, 제2011-0015683호, 제2013-0124215호, 대한민국 등록특허공보 제10-1435652호, 국제특허공개 WO 2010/102502호 및 WO 2010/133077호에 기재된 옥심계 화합물 중의 1종 이상을 사용하는 것이 고감도의 측면에서 바람직하다. The oxime-based compound is disclosed in Korean Patent Publication Nos. 2004-0007700, 2005-0084149, 2008-0083650, 2008-0080208, 2007-0044062, 2007-0091110, 2007-0044753 , 2009-0009991, 2009-0093933, 2010-0097658, 2011-0059525, 2011-0091742, 2011-0026467, 2011-0015683, 2013-0124215, Republic of Korea It is preferable in terms of high sensitivity to use at least one of the oxime-based compounds described in Korean Patent Publication No. 10-1435652, International Patent Publication No. WO 2010/102502, and WO 2010/133077.

이들의 상품명으로서는 OXE-01(BASF), OXE-02(BASF), N-1919(ADEKA), NCI-930(ADEKA), NCI-831(ADEKA), SPI-02(삼양 EMS), SPI-03(삼양 EMS) 등을 들 수 있다.These trade names include OXE-01 (BASF), OXE-02 (BASF), N-1919 (ADEKA), NCI-930 (ADEKA), NCI-831 (ADEKA), SPI-02 (Samyang EMS), SPI-03 (Samyang EMS) and the like.

상기 광중합 개시제의 함량은 고형분 기준으로 상기 공중합체(A) 100 중량부에 대하여 0.1 내지 20 중량부, 0.1 내지 15 중량부, 1 내지 20 중량부, 1 내지 10 중량부, 1 내지 8 중량부 또는 2 내지 8 중량부일 수 있다. 상기 범위 내일 때, 고감도이면서 우수한 현상성 및 도막 특성을 얻을 수 있다.The content of the photoinitiator is 0.1 to 20 parts by weight, 0.1 to 15 parts by weight, 1 to 20 parts by weight, 1 to 10 parts by weight, 1 to 8 parts by weight, or It may be 2 to 8 parts by weight. When it is within the above range, it is possible to obtain high sensitivity and excellent developability and coating film properties.

(D) 접착 보조제 (D) Adhesive Aids

본 발명의 감광성 수지 조성물은 기판과의 접착성을 향상시키기 위해 접착 보조제를 포함할 수 있다.The photosensitive resin composition of the present invention may include an adhesion aid to improve adhesion to the substrate.

상기 접착 보조제는 카르복실기, (메트)아크릴로일기, 이소시아네이트기, 아미노기, 메르캅토기, 비닐기 및 에폭시기로 이루어진 그룹에서 선택되는 적어도 1종 이상의 반응성 그룹을 가질 수 있다. The adhesion aid may have at least one reactive group selected from the group consisting of a carboxyl group, a (meth)acryloyl group, an isocyanate group, an amino group, a mercapto group, a vinyl group, and an epoxy group.

상기 접착 보조제의 종류는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들면, 트리메톡시실릴벤조산, γ-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란, 비닐트리아세톡시실란, 비닐트리메톡시실란, γ-이소시아네이토프로필트리에톡시실란, γ-글리시독시프로필트리메톡시실란, γ-글리시독시프로필트리에톡시실란, N-페닐아미노프로필트리메톡시실란, β-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-이소시아네이트프로필트리에톡시실란 또는 이들의 혼합물을 들 수 있다. The type of the adhesion aid is not particularly limited, but for example, trimethoxysilylbenzoic acid, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinyltrimethoxysilane, γ-isocyanato Propyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, N-phenylaminopropyltrimethoxysilane, β-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyl trimethoxysilane, 3-isocyanatepropyltriethoxysilane, or mixtures thereof.

바람직하게는 γ-글리시독시프로필트리에톡시실란, γ-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-이소시아네이트프로필트리에톡시실란 또는 N-페닐아미노프로필트리메톡시실란을 사용하는 것이 잔막율 및 기판과의 접착성을 보다 향상시킬 수 있다. Preferably, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-isocyanatepropyltriethoxysilane or N-phenylaminopropyltrimethoxysilane is used to reduce the remaining film rate and Adhesiveness with a board|substrate can be improved more.

상기 접착 보조제의 함량은 고형분 기준으로 상기 공중합체(A) 100 중량부에 대하여 0.001 내지 5 중량부, 0.01 내지 5 중량부, 0.01 내지 4 중량부, 0.1 내지 4 중량부, 1 내지 4 중량부 또는 1 내지 3 중량부일 수 있다. 상기 범위 내일 때, 기판과의 접착성을 보다 향상시킬 수 있다.The content of the adhesive aid is 0.001 to 5 parts by weight, 0.01 to 5 parts by weight, 0.01 to 4 parts by weight, 0.1 to 4 parts by weight, 1 to 4 parts by weight, or It may be 1 to 3 parts by weight. When it is in the said range, adhesiveness with a board|substrate can be improved more.

(E) 계면활성제 (E) surfactant

본 발명의 감광성 수지 조성물은 필요에 따라, 코팅성 향상 및 결점 생성을 방지하기 위해 계면활성제를 포함할 수 있다. The photosensitive resin composition of the present invention may contain a surfactant, if necessary, to improve coatability and prevent defect formation.

상기 계면활성제의 종류는 특별히 한정되지 않으나, 바람직하게는 불소계 계면활성제, 실리콘계 계면활성제, 비이온계 계면활성제 및 그 밖의 계면활성제를 들 수 있다. The type of the surfactant is not particularly limited, but preferably a fluorine-based surfactant, a silicone-based surfactant, a nonionic surfactant, and other surfactants are mentioned.

상기 계면활성제의 예로서는 BYK 307, BYK 333(BYK사), BM-1000, BM-1100(BM CHEMIE사 제조), 메가팩 F142 D, 메가팩 F172, 메가팩 F173, 메가팩 F183, F-470, F-471, F-475, F-482, F-489(다이닛뽄잉크 가가꾸고교(주) 제조), 플로라드 FC-135, 플로라드 FC-170 C, 플로라드 FC-430, 플로라드 FC-431(스미또모 스리엠(주) 제조), 서프론 S-112, 서프론 S-113, 서프론 S-131, 서프론 S-141, 서프론 S-145, 서프론 S-382, 서프론 SC-101, 서프론 SC-102, 서프론 SC-103, 서프론 SC-104, 서프론 SC-105, 서프론 SC-106(아사히 가라스(주) 제조), 에프톱 EF301, 에프톱 EF303, 에프톱 EF352(신아끼따 가세이(주) 제조), SH-28 PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, SF-8428, DC-57, DC-190(도레이실리콘(주) 제조), DC3PA, DC7PA, SH11PA, SH21PA, SH8400, FZ-2100, FZ-2110, FZ-2122, FZ-2222, FZ-2233(다우코닝도레이 실리콘사(주) 제조), TSF-4440, TSF-4300, TSF-4445, TSF-4446, TSF-4460, TSF-4452(GE 도시바 실리콘사(주) 제조), BYK-333(BYK사(주) 제조) 등의 불소계 및 실리콘계 계면활성제; 폴리옥시에틸렌라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌스테아릴에테르, 폴리옥시에틸렌올레일에테르 등의 폴리옥시에틸렌알킬에테르류, 폴리옥시에틸렌옥틸페닐에테르, 폴리옥시에틸렌노닐페닐에테르 등의 폴리옥시에틸렌아릴에테르류, 및 폴리옥시에틸렌디라우레이트, 폴리옥시에틸렌디스테아레이트 등의 폴리옥시에틸렌디알킬에스테르류 등의 비이온계 계면활성제; 및 오르가노실록산 폴리머 KP341(신에쓰 가가꾸고교(주) 제조), (메트)아크릴산계 공중합체 폴리플로우 No. 57, 95(교에이샤 유지 가가꾸고교(주) 제조) 등을 들 수 있다. 이들은 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 이 중 분산성 측면에서 바람직하게는 BYK사의 BYK 307 또는 BYK 333를 사용할 수 있다.Examples of the surfactant include BYK 307, BYK 333 (by BYK), BM-1000, BM-1100 (manufactured by BM CHEMIE), Megapack F142 D, Megapack F172, Megapack F173, Megapack F183, F-470, F-471, F-475, F-482, F-489 (manufactured by Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.), Florad FC-135, Florad FC-170C, Florad FC-430, Florad FC -431 (manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), Sufflon S-112, Sufflon S-113, Sufflon S-131, Suplon S-141, Sufflon S-145, Sufflon S-382, Sufflon S-382 Pron SC-101, Suflon SC-102, Suflon SC-103, Suflon SC-104, Suflon SC-105, Suflon SC-106 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), F-Top EF301, F-Top EF303, EFTOP EF352 (manufactured by Shin-Akita Kasei Co., Ltd.), SH-28 PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, SF-8428, DC-57, DC-190 (Toray Silicon Co., Ltd.) Manufactured), DC3PA, DC7PA, SH11PA, SH21PA, SH8400, FZ-2100, FZ-2110, FZ-2122, FZ-2222, FZ-2233 (manufactured by Dow Corning Toray Silicone Co., Ltd.), TSF-4440, TSF- Fluorine-based and silicone-based surfactants such as 4300, TSF-4445, TSF-4446, TSF-4460, TSF-4452 (manufactured by GE Toshiba Silicone Co., Ltd.) and BYK-333 (manufactured by BYK Corporation); Polyoxyethylene alkyl ethers such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, and polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene aryl ethers such as polyoxyethylene octylphenyl ether and polyoxyethylene nonylphenyl ether and nonionic surfactants such as polyoxyethylene dialkyl esters such as polyoxyethylene dilaurate and polyoxyethylene distearate; and organosiloxane polymer KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), (meth)acrylic acid-based copolymer polyflow No. 57 and 95 (manufactured by Kyoeisha Yuji Chemical Co., Ltd.) and the like. These can be used individually or in combination of 2 or more types. Among them, BYK 307 or BYK 333 manufactured by BYK may be preferably used in terms of dispersibility.

상기 계면활성제의 함량은 고형분 기준으로 상기 공중합체(A) 100 중량부에 대하여 0.001 내지 5 중량부, 0.01 내지 5 중량부, 0.1 내지 5 중량부, 0.1 내지 3 중량부 또는 0.1 내지 2 중량부일 수 있다. 상기 범위 내일 때, 조성물의 코팅이 원활해진다.The content of the surfactant may be 0.001 to 5 parts by weight, 0.01 to 5 parts by weight, 0.1 to 5 parts by weight, 0.1 to 3 parts by weight, or 0.1 to 2 parts by weight based on 100 parts by weight of the copolymer (A) based on the solid content. have. When it is within the above range, the coating of the composition becomes smooth.

(F) 용매(F) solvent

본 발명의 감광성 수지 조성물은 바람직하게는 상기 성분들을 용매와 혼합한 액상 조성물로 제조될 수 있다.The photosensitive resin composition of the present invention may preferably be prepared as a liquid composition in which the above components are mixed with a solvent.

상기 용매로는 전술한 감광성 수지 조성물의 성분들과 상용성을 가지되 이들과 반응하지 않는 것으로서, 감광성 수지 조성물에 사용되는 공지의 용매이면 어느 것이나 사용 가능하다.As the solvent, any known solvent used in the photosensitive resin composition may be used as long as it has compatibility with but does not react with the above-described components of the photosensitive resin composition.

이러한 용매의 예로는 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 등의 에틸렌글리콜모노알킬에테르아세테이트류; 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노프로필에테르, 프로필렌글리콜모노부틸에테르 등의 프로필렌글리콜모노알킬에테르류; 프로필렌글리콜디메틸에테르, 프로필렌글리콜디에틸에테르, 프로필렌글리콜디프로필에테르, 프로필렌글리콜디부틸에테르 등의 프로필렌글리콜디알킬에테르류; 디프로필렌글리콜디메틸에테르 등의 디프로필렌글리콜디알킬에테르류; 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노부틸에테르아세테이트 등의 프로필렌글리콜모노알킬에테르아세테이트류; 에틸셀로솔브, 부틸셀로솔브 등의 셀로솔브류; 부틸카르비톨 등의 카르비톨류; 메틸 락트산, 에틸 락트산, n-프로필 락트산, 이소프로필 락트산 등의 락트산 에스테르류; 에틸 아세트산, n-프로필 아세트산, 이소프로필 아세트산, n-부틸 아세트산, 이소부틸 아세트산, n-아밀 아세트산, 이소아밀 아세트산, 이소프로필 프로피온산, n-부틸 프로피온산, 이소부틸 프로피온산 등의 지방족 카복실산 에스테르류; 메틸 3-메톡시프로피온산, 에틸 3-메톡시프로피온산, 메틸 3-에톡시프로피온산, 에틸 3-에톡시프로피온산,메틸 피루브산, 에틸 피루브산 등의 에스테르류; 톨루엔, 크실렌 등의 방향족 탄화수소류; 2-헵타논, 3-헵타논, 4-헵타논, 시클로헥사논 등의 케톤류; N-디메틸포름아미드, N-메틸아세트아미드, N,N-디메틸아세트아미드, N-메틸피롤리돈 등의 아미드류; γ-부티로락톤 등의 락톤류; 및 이들의 혼합물을 들 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다. 상기 용매는 단독으로 또는 2종 이상을 배합하여 사용할 수 있다.Examples of such a solvent include ethylene glycol monoalkyl ether acetates such as ethylene glycol monomethyl ether acetate and ethylene glycol monoethyl ether acetate; propylene glycol monoalkyl ethers such as propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether, and propylene glycol monobutyl ether; propylene glycol dialkyl ethers such as propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol diethyl ether, propylene glycol dipropyl ether, and propylene glycol dibutyl ether; dipropylene glycol dialkyl ethers such as dipropylene glycol dimethyl ether; propylene glycol monoalkyl ether acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, and propylene glycol monobutyl ether acetate; cellosolves such as ethyl cellosolve and butyl cellosolve; carbitols such as butyl carbitol; lactic acid esters such as methyl lactic acid, ethyl lactic acid, n-propyl lactic acid and isopropyl lactic acid; aliphatic carboxylic acid esters such as ethyl acetic acid, n-propyl acetic acid, isopropyl acetic acid, n-butyl acetic acid, isobutyl acetic acid, n-amyl acetic acid, isoamyl acetic acid, isopropyl propionic acid, n-butyl propionic acid, and isobutyl propionic acid; esters such as methyl 3-methoxypropionic acid, ethyl 3-methoxypropionic acid, methyl 3-ethoxypropionic acid, ethyl 3-ethoxypropionic acid, methyl pyruvic acid, and ethyl pyruvic acid; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; ketones such as 2-heptanone, 3-heptanone, 4-heptanone, and cyclohexanone; amides such as N-dimethylformamide, N-methylacetamide, N,N-dimethylacetamide, and N-methylpyrrolidone; lactones such as γ-butyrolactone; and mixtures thereof. The solvent may be used alone or in combination of two or more.

본 발명에 따른 감광성 수지 조성물에 있어서, 상기 용매의 함량은 특별히 한정되지 않지만, 감광성 수지 조성물의 도포성, 안정성 등의 관점에서, 감광성 조성물 총 중량을 기준으로 고형분 함량이 5 내지 70 중량%, 10 내지 70 중량%, 10 내지 60 중량% 또는 10 내지 55 중량%가 되도록 유기용매를 포함할 수 있다.In the photosensitive resin composition according to the present invention, the content of the solvent is not particularly limited, but from the viewpoint of applicability, stability, etc. of the photosensitive resin composition, the solid content is 5 to 70% by weight based on the total weight of the photosensitive composition, 10 to 70% by weight, 10 to 60% by weight, or 10 to 55% by weight of the organic solvent may be included.

이 외에도, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 물성을 저하시키지 않는 범위 내에서 산화방지제, 안정제 등의 기타의 첨가제를 포함할 수 있다.In addition, the photosensitive resin composition of the present invention may include other additives such as antioxidants and stabilizers within a range that does not reduce physical properties.

본 발명은 상기 감광성 수지 조성물로부터 형성된 경화막을 제공한다. The present invention provides a cured film formed from the photosensitive resin composition.

구체적으로, 본 발명에 따른 감광성 수지 조성물을 기재 위에 도포한 후 경화하여 경화막을 제조할 수 있다. 이때, 상기 경화막은 상기 감광성 수지 조성물을 150℃ 이하, 50 내지 150℃, 50 내지 130℃, 70 내지 150℃ 또는 70 내지 130℃의 온도에서 열경화하여 얻어질 수 있다. Specifically, a cured film may be prepared by applying the photosensitive resin composition according to the present invention on a substrate and then curing it. In this case, the cured film may be obtained by thermosetting the photosensitive resin composition at a temperature of 150° C. or less, 50 to 150° C., 50 to 130° C., 70 to 150° C., or 70 to 130° C.

구체적으로, 상기 경화막은 당 기술분야에 알려져 있는 방법에 의해 제조할 수 있다. 예컨대 실리콘 기판 또는 유리 기판 위에 상기 감광성 수지 조성물을 스핀 코팅 방법에 의하여 도포하고, 50 내지 150℃에서 30 내지 130초간 예비경화(pre-bake)하여 용매를 제거한 후, 원하는 패턴이 형성된 포토마스크를 이용하여 노광하고, 현상액(예: 테트라메틸암모늄히드록사이드 용액(TMAH))으로 현상함으로써 코팅층에 패턴을 형성할 수 있다. 이후 패턴화된 코팅층을 10분 내지 5시간 동안 150℃ 이하, 50 내지 150℃, 50 내지 130℃, 70 내지 150℃ 또는 70 내지 130℃에서 열경화(후경화(post-bake))시켜 목적하는 경화막을 얻을 수 있다.Specifically, the cured film may be prepared by a method known in the art. For example, the photosensitive resin composition is applied on a silicon substrate or a glass substrate by a spin coating method, and the solvent is removed by pre-bake at 50 to 150° C. for 30 to 130 seconds, and then a photomask having a desired pattern is used. A pattern can be formed on the coating layer by exposure to light and developing with a developer (eg, tetramethylammonium hydroxide solution (TMAH)). Thereafter, the patterned coating layer is thermally cured (post-bake) at 150° C. or less, 50 to 150° C., 50 to 130° C., 70 to 150° C. or 70 to 130° C. for 10 minutes to 5 hours to obtain the desired A cured film can be obtained.

상기 노광은 200 내지 450 nm의 파장대에서 10 내지 100 mJ/cm2의 노광량으로 조사하여 수행할 수 있다.The exposure may be performed by irradiating with an exposure dose of 10 to 100 mJ/cm 2 in a wavelength range of 200 to 450 nm.

상술한 바와 같이, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 화학식 1로 표시되는 반복단위와, 화학식 2 및/또는 3으로 표시되는 반복단위를 바인더에 도입함으로써, 경화도를 향상시켜 저온에서도 충분히 경화될 수 있으면서도 현상성을 조절하여 우수한 해상도를 갖는 경화막을 제조할 수 있다. 나아가, 상기 조성물은 내화학성, 기판과의 밀착성 및 경시 안정성 측면에서도 보다 우수한 물성을 갖는 경화막을 형성할 수 있으므로, 터치 패널을 포함하는 디바이스 장치에 유용하게 적용할 수 있다.As described above, in the photosensitive resin composition of the present invention, the repeating unit represented by Formula 1 and the repeating unit represented by Formula 2 and/or 3 are introduced into the binder, thereby improving the degree of curing and sufficiently curing even at low temperatures. By controlling the properties, a cured film having excellent resolution can be manufactured. Furthermore, since the composition can form a cured film having better physical properties in terms of chemical resistance, adhesion to a substrate, and stability over time, it can be usefully applied to a device apparatus including a touch panel.

이하, 하기 실시예에 의하여 본 발명을 좀더 상세하게 설명하고자 한다. 단, 하기 실시예는 본 발명을 예시하기 위한 것일 뿐 본 발명의 범위가 이들만으로 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of Examples. However, the following examples are only for illustrating the present invention, and the scope of the present invention is not limited thereto.

하기 제조예에 기재된 중량평균분자량은 겔 투과 크로마토그래피(GPC)에 의해 측정한 폴리스티렌 환산값이다.The weight average molecular weight described in Preparation Examples below is a polystyrene conversion value measured by gel permeation chromatography (GPC).

[실시예][Example]

제조예 1. 공중합체(A-1)의 제조Preparation Example 1. Preparation of copolymer (A-1)

질소 분위기하에 환류 냉각기와 교반기를 장착한 250 ㎖의 둥근바닥 플라스크에 스티렌 14.24 g(32 몰%), 메틸메타크릴레이트 10.68 g(25 몰%), 2-아크릴로일옥시에틸숙시네이트 13.90 g(15 몰%), 2,4-에폭시시클로헥실메틸메타크릴레이트 15.10 g (18 몰%) 및 글리시딜메타크릴레이트 6.07 g (10 몰%)로 이루어진 단량체 혼합물, 라디칼 중합 개시제로서 V-65 3.0 몰% 및 분자량 조절제로서 도데칸티올 5 몰%를 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PGMEA) 100 g에 용해시켰다. 그 다음, 상기 액상의 혼합물을 65℃의 PGMEA 40 g이 들어있는 플라스크에 3시간 동안 적가한 후, 18시간 동안 중합하여 고형분 함량이 30 중량%의 공중합체 A-1을 얻었다. 생성된 공중합체 A-1의 중량평균분자량은 8.7 kDa이고, 다분산도(Mw/Mn)는 2.9, 산가는 62 mgKOH/g이었다. In a 250 ml round bottom flask equipped with a reflux condenser and stirrer under nitrogen atmosphere, 14.24 g (32 mol%) of styrene, 10.68 g (25 mol%) of methyl methacrylate, 13.90 g of 2-acryloyloxyethyl succinate ( 15 mol%), a monomer mixture consisting of 15.10 g (18 mol%) of 2,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate and 6.07 g (10 mol%) of glycidyl methacrylate, V-65 3.0 as a radical polymerization initiator 5 mol% of dodecanethiol as mol% and molecular weight regulator was dissolved in 100 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA). Then, the liquid mixture was added dropwise to a flask containing 40 g of PGMEA at 65° C. for 3 hours, followed by polymerization for 18 hours to obtain a copolymer A-1 having a solid content of 30 wt%. The resulting copolymer A-1 had a weight average molecular weight of 8.7 kDa, a polydispersity (Mw/Mn) of 2.9, and an acid value of 62 mgKOH/g.

제조예 2 내지 6. 공중합체(A-2~A-6)의 제조Preparation Examples 2 to 6. Preparation of copolymers (A-2 to A-6)

하기 표 1에 기재된 바와 같이, 종류 및/또는 함량을 다르게 한 것을 제외하고는 제조예 1과 동일한 방법으로 공중합체 A-2 내지 A-6을 제조하였다. As shown in Table 1, copolymers A-2 to A-6 were prepared in the same manner as in Preparation Example 1, except that the type and/or content was changed.

Figure pat00010
Figure pat00010

실시예 및 비교예: 감광성 수지 조성물의 제조Examples and Comparative Examples: Preparation of photosensitive resin composition

이하의 실시예 및 비교예에서 사용한 성분들에 대한 정보는 다음과 같다. Information on the components used in the following Examples and Comparative Examples is as follows.

Figure pat00011
Figure pat00011

실시예 1.Example 1.

제조예 1의 공중합체 A-1 60 중량부, 광중합성 화합물(B)로서 DPHA 40 중량부, 광중합 개시제(C)로서 옥심계 광중합 개시제 OXE-02 2.85 중량부, 접착 보조제(D)로서 KBE-9007N 1.45 중량부 및 계면활성제(E)로서 BYK-307 0.95 중량부를 균일하게 혼합하였다. 이때, 상기 각각의 함량들은 모두 용매를 제외한 고형분의 함량이다. 상기 혼합물의 고형분 함량이 25 중량%가 되도록 PGMEA에 용해시켰다. 이를 3시간 동안 교반하여 액상의 감광성 수지 조성물을 얻었다.60 parts by weight of Copolymer A-1 of Preparation Example 1, 40 parts by weight of DPHA as the photopolymerizable compound (B), 2.85 parts by weight of OXE-02 as the photopolymerization initiator (C), 2.85 parts by weight of KBE- as the adhesion aid (D) 1.45 parts by weight of 9007N and 0.95 parts by weight of BYK-307 as surfactant (E) were uniformly mixed. In this case, each of the above contents is the contents of the solid content except for the solvent. The mixture was dissolved in PGMEA so that the solids content was 25% by weight. This was stirred for 3 hours to obtain a liquid photosensitive resin composition.

실시예 2 및 3, 및 비교예 1 내지 3.Examples 2 and 3, and Comparative Examples 1 to 3.

각각의 구성성분의 종류 및/또는 함량을 하기 표 3에 기재된 바와 같이 변화시킨 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법으로 조성물 용액을 얻었다.A composition solution was obtained in the same manner as in Example 1, except that the type and/or content of each component was changed as shown in Table 3 below.

Figure pat00012
Figure pat00012

[평가예][Evaluation example]

감광성 수지 조성물로부터 경화막의 제조Preparation of cured film from photosensitive resin composition

유리 기판 상에 스핀 코터를 이용하여 상기 실시예 및 비교예에서 제조된 감광성 수지 조성물을 각각 도포한 후, 100℃에서 60초간 예비경화하여 도막을 형성하였다. 이렇게 얻어진 도막에 가로 5 cm, 세로 5 cm 부분에 100% 노광이 가능하도록 제작된 마스크를 사용하여 기판과의 간격이 25 ㎛이 되도록 적용하였다. 이후, 200 ㎚에서 450 ㎚의 파장을 내는 어라이너(aligner, 모델명 MA6)를 이용하여, 365 ㎚ 기준으로 30 mJ/㎠이 되도록 일정시간 노광한 후, TMAH 2.38 중량%로 희석된 수용액으로 23℃에서 비노광부가 완전히 씻겨져 나갈때까지 현상하였다. 상기 형성된 패턴을 130℃오븐에서 1시간 후경화하여 최종 두께가 2.5(±0.5) ㎛인 경화막을 얻었다. The photosensitive resin compositions prepared in Examples and Comparative Examples were respectively coated on a glass substrate using a spin coater, and then pre-cured at 100° C. for 60 seconds to form a coating film. A mask prepared so that 100% exposure was possible on the 5 cm wide and 5 cm vertical portions of the obtained coating film was applied so that the distance from the substrate was 25 μm. Thereafter, using an aligner (model name MA6) emitting a wavelength of 200 nm to 450 nm, exposure was carried out for a certain period of time so as to be 30 mJ/cm 2 based on 365 nm, and 23° C. with an aqueous solution diluted with TMAH 2.38 wt% was developed until the unexposed part was completely washed out. After curing the formed pattern in an oven at 130° C. for 1 hour, a cured film having a final thickness of 2.5 (±0.5) μm was obtained.

평가예 1. 내화학성Evaluation Example 1. Chemical resistance

상기 경화막의 제조방법에 따라, 상기 실시예 및 비교예에서 얻은 각각의 조성물을 유리 기판 상에 코팅하고, 예비경화, 노광 및 현상하였다. 현상된 막을 컨백션 오븐에서 130℃에서 60분 동안 가열하여 경화막을 얻었다. 상기 경화막을 50℃에서 유기용매(유기계 스트리퍼(TOK-106); MEA 70% + DMSO 30%)에 1분 동안 담근 후에 꺼내었다. 이때, 유기용매는 모노에틸아민(MEA) 70% 및 디메틸 설폭사이드(DMSO) 30%의 중량비로 혼합하여 사용하였다. 이후 막의 두께를 비접촉식 두께 측정기(SIS-2000, SNU)로 측정하여, 하기 수학식에 따라 내화학성(%)을 계산하였다. 하기 수학식에 따른 수치가 작을수록 내화학성이 우수한 것으로 평가하였다. 그 결과를 하기 표 4 및 도 1에 나타내었다.According to the manufacturing method of the cured film, each composition obtained in Examples and Comparative Examples was coated on a glass substrate, and pre-cured, exposed and developed. The developed film was heated in a convection oven at 130° C. for 60 minutes to obtain a cured film. The cured film was immersed in an organic solvent (organic stripper (TOK-106); MEA 70% + DMSO 30%) at 50° C. for 1 minute and then taken out. In this case, the organic solvent was used by mixing 70% of monoethylamine (MEA) and 30% of dimethyl sulfoxide (DMSO) by weight. Then, the thickness of the film was measured with a non-contact thickness meter (SIS-2000, SNU), and chemical resistance (%) was calculated according to the following equation. The smaller the numerical value according to the following formula, the better the chemical resistance was evaluated. The results are shown in Table 4 and FIG. 1 below.

[수학식] [Equation]

내화학성(%) = (유기계 스트리퍼 처리 후 두께 / 유기계 스트리퍼 처리 전 두께) x 100.Chemical resistance (%) = (thickness after organic stripper treatment / thickness before organic stripper treatment) x 100.

◎(매우우수): 내화학성(%)이 103% 이하◎ (very good): chemical resistance (%) less than 103%

○(우수): 내화학성(%)이 103% 초과 104% 이하 ○ (Excellent): Chemical resistance (%) greater than 103% and less than or equal to 104%

Ⅹ(불량): 내화학성(%)이 104% 초과X (Poor): Chemical resistance (%) exceeds 104%

평가예 2. 부착성Evaluation Example 2. Adhesion

상기 평가예 1과 동일한 방식으로 기판에 경화막을 형성하고 ASTM D3359에 의거하여 크로스-컷 테스트(cross-cut test)를 실시한 다음, 상기 내화학성 평가 방법에 따라 기판을 처리하였다. 이때, 접착력은 다음의 기준에 따라 평가하였다. 그 결과를 하기 표 4에 나타내었다.A cured film was formed on the substrate in the same manner as in Evaluation Example 1, a cross-cut test was performed according to ASTM D3359, and then the substrate was treated according to the chemical resistance evaluation method. At this time, the adhesive force was evaluated according to the following criteria. The results are shown in Table 4 below.

0B : 박편으로 부서지며 65% 이상 떨어져 나감0B: Breaks into flakes and falls off more than 65%

1B : 자른 부위의 끝단 및 격자가 떨어져 나가며 그 면적은 35% ~ 65%1B: The edge of the cut part and the grid come off, and the area is 35% ~ 65%

2B : 자른 부위의 끝단 및 격자가 떨어져 나가며 그 면적은 15% ~ 35%2B: The edge of the cut part and the grid come off, and the area is 15% ~ 35%

3B : 자른 부위의 교차 부분에서 작은 영역이 떨어져 나가며 그 면적은 5% ~15%3B: A small area falls off at the intersection of the cut area, and the area is 5% to 15%

4B : 자른 부위의 교차 부분에서 떨어져 나가며 그 면적이 5% 이하4B: It falls off from the intersection of the cut part and the area is 5% or less

5B : 자른 부위의 끝단이 부드러우며 떨어져 나가는 격자가 없음5B: The end of the cut part is smooth and there is no lattice falling off

평가예 3. 잔막률Evaluation Example 3. Remaining film rate

상기의 경화막 제조 방법에 따라 예비경화 후의 초기 두께를 측정하였다. 경화막 제조 공정 후, TMAH 2.38 중량%로 희석된 수용액으로 23℃에서 현상하고 130℃에서 1시간 동안 경화시킨 후 두께를 측정하고, 예비경화 후의 막 두께에 대한 최종 경화막의 두께의 백분율을 계산하여 잔막률을 산출하였다.The initial thickness after pre-curing was measured according to the above-mentioned cured film manufacturing method. After the cured film manufacturing process, the thickness of the cured film was measured after developing at 23 ° C with an aqueous solution diluted with 2.38 wt% of TMAH and curing at 130 ° C for 1 hour, and calculating the percentage of the thickness of the final cured film to the film thickness after pre-curing The remaining film rate was calculated.

Figure pat00013
Figure pat00013

표 4 및 도 1의 결과를 살펴보면, 실시예 1 내지 3의 조성물로부터 제조된 경화막은 유기용매 처리 전후에도 막 두께 변화가 크지 않아 내화학성이 우수한 것을 알 수 있었다. 또한, 부착성 평가 결과도 양호하였으며 잔막률도 우수하였다. Looking at the results of Table 4 and FIG. 1 , it was found that the cured films prepared from the compositions of Examples 1 to 3 did not have a large change in film thickness even before and after the organic solvent treatment, and thus had excellent chemical resistance. In addition, the adhesion evaluation result was good, and the residual film rate was also excellent.

반면, 비교예 1의 조성물로부터 제조된 경화막은 부착성 및 잔막률은 실시예들과 유사한 양상을 보이긴 하였으나, 내화학성 측면에서 크게 저조하였고, 비교예 2 및 3의 조성물로부터 제조된 경화막은 패턴 자체가 형성되지 않아 내화학성을 비롯한 평가 자체를 진행할 수 없었다. On the other hand, the cured film prepared from the composition of Comparative Example 1 showed similar aspects to those of Examples in adhesion and residual film rate, but was significantly poor in chemical resistance, and the cured film prepared from the composition of Comparative Examples 2 and 3 had a pattern. It was not possible to proceed with the evaluation itself, including chemical resistance, because it did not form itself.

Claims (12)

(A) (a1) 하기 화학식 1로 표시되는 반복단위 및,
(a2) 하기 화학식 2로 표시되는 반복단위 및 (a3) 하기 화학식 3으로 표시되는 반복단위로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 공중합체;
(B) 광중합성 화합물; 및
(C) 광중합 개시제;를 포함하는, 감광성 수지 조성물:
[화학식 1] [화학식 2] [화학식 3]
Figure pat00014
Figure pat00015
Figure pat00016

상기 식에서,
R1은 수소 또는 치환 또는 비치환된 C1-20의 알킬이고,
L1 및 L2는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 C1-10의 알킬렌, 또는 치환 또는 비치환된 C6-20의 아릴렌이며,
R2 및 R4는 각각 독립적으로 수소 또는 C1-4 알킬이고,
R3 및 R5는 각각 독립적으로 C1-4 알킬렌이며,
a, b 및 c는 각각 독립적으로 1 내지 100의 정수이다.
(A) (a1) a repeating unit represented by the following formula (1),
(a2) a copolymer comprising at least one selected from the group consisting of a repeating unit represented by the following formula (2) and (a3) a repeating unit represented by the following formula (3);
(B) a photopolymerizable compound; and
(C) a photopolymerization initiator; containing, the photosensitive resin composition:
[Formula 1] [Formula 2] [Formula 3]
Figure pat00014
Figure pat00015
Figure pat00016

In the above formula,
R 1 is hydrogen or a substituted or unsubstituted C 1-20 alkyl,
L 1 and L 2 are each independently a substituted or unsubstituted C 1-10 alkylene, or a substituted or unsubstituted C 6-20 arylene,
R 2 and R 4 is each independently hydrogen or C 1-4 alkyl;
R 3 and R 5 are each independently C 1-4 alkylene,
a, b and c are each independently an integer from 1 to 100;
제1항에 있어서,
상기 공중합체(A)의 중량평균분자량이 5,000 내지 15,000 Da이고, 산가가 10 내지 75 KOHmg/g인, 감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The copolymer (A) has a weight average molecular weight of 5,000 to 15,000 Da, and an acid value of 10 to 75 KOHmg/g, the photosensitive resin composition.
제1항에 있어서,
상기 반복단위(a1)의 함량이 상기 공중합체(A)를 이루는 반복단위 100 몰%를 기준으로 5 초과 내지 20 몰% 이하인, 감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The content of the repeating unit (a1) is more than 5 to 20 mol% or less based on 100 mol% of the repeating unit constituting the copolymer (A), the photosensitive resin composition.
제1항에 있어서,
상기 반복단위(a2) 및 반복단위 (a3)의 함량이 상기 공중합체(A)를 이루는 반복단위 100 몰%를 기준으로 각각 10 내지 30 몰%인, 감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The content of the repeating unit (a2) and the repeating unit (a3) is 10 to 30 mol%, respectively, based on 100 mol% of the repeating unit constituting the copolymer (A), the photosensitive resin composition.
제1항에 있어서,
상기 공중합체(A)가 상기 반복단위 (a1) 내지 (a3)과 상이한 반복단위(a4)를 추가로 포함하는, 감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The copolymer (A) further comprises a repeating unit (a4) different from the repeating units (a1) to (a3), the photosensitive resin composition.
제5항에 있어서,
상기 반복단위 (a4)가 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되고,
상기 에틸렌성 불포화 화합물이 방향족환 함유 불포화 화합물, 불포화 카복실산 에스테르계 화합물 및 불포화 카복실산으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상인, 감광성 수지 조성물.
6. The method of claim 5,
The repeating unit (a4) is derived from an ethylenically unsaturated compound,
The ethylenically unsaturated compound is at least one selected from the group consisting of an aromatic ring-containing unsaturated compound, an unsaturated carboxylic acid ester-based compound, and an unsaturated carboxylic acid, the photosensitive resin composition.
제6항에 있어서,
상기 방향족환 함유 불포화 화합물로부터 유도되는 반복단위(a4)가 상기 공중합체(A)를 이루는 반복단위 100 몰%를 기준으로 10 내지 50 몰% 이하인, 감광성 수지 조성물.
7. The method of claim 6,
The photosensitive resin composition, wherein the amount of the repeating unit (a4) derived from the aromatic ring-containing unsaturated compound is 10 to 50 mol% or less based on 100 mol% of the repeating unit constituting the copolymer (A).
제6항에 있어서,
상기 불포화 카복실산 에스테르계 화합물로부터 유도되는 반복단위(a4)가 상기 공중합체(A)를 이루는 반복단위 100 몰%를 기준으로 10 내지 30 몰% 이하인, 감광성 수지 조성물.
7. The method of claim 6,
The photosensitive resin composition, wherein the amount of the repeating unit (a4) derived from the unsaturated carboxylic acid ester-based compound is 10 to 30 mol% or less based on 100 mol% of the repeating unit constituting the copolymer (A).
제6항에 있어서,
상기 불포화 카복실산으로부터 유도되는 반복단위(a4)가 상기 공중합체(A)를 이루는 반복단위 100 몰%를 기준으로 1 내지 15 몰% 이하인, 감광성 수지 조성물.
7. The method of claim 6,
The photosensitive resin composition, wherein the repeating unit (a4) derived from the unsaturated carboxylic acid is 1 to 15 mol% or less based on 100 mol% of the repeating unit constituting the copolymer (A).
제1항에 있어서,
상기 감광성 수지 조성물이 상기 공중합체(A)를 고형분 기준으로 상기 감광성 수지 조성물 총 중량에 대하여 30 내지 80 중량%의 양으로 포함하는, 감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The photosensitive resin composition comprising the copolymer (A) in an amount of 30 to 80 wt% based on the total weight of the photosensitive resin composition based on the solid content, the photosensitive resin composition.
제1항의 감광성 수지 조성물로부터 형성된, 경화막.The cured film formed from the photosensitive resin composition of Claim 1. 제11항에 있어서,
상기 경화막이 상기 감광성 수지 조성물을 70 내지 150℃의 온도에서 열경화시켜 얻어진, 경화막.
12. The method of claim 11,
The cured film obtained by thermosetting the said cured film at the temperature of 70-150 degreeC of the said photosensitive resin composition.
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