KR20210077379A - Shelf unit and stocker including the same - Google Patents

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KR20210077379A
KR20210077379A KR1020190168954A KR20190168954A KR20210077379A KR 20210077379 A KR20210077379 A KR 20210077379A KR 1020190168954 A KR1020190168954 A KR 1020190168954A KR 20190168954 A KR20190168954 A KR 20190168954A KR 20210077379 A KR20210077379 A KR 20210077379A
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세메스 주식회사
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Abstract

A shelf unit includes: a plurality of shelves supporting carriers, respectively; a shutter frame having an opening for moving the carrier to or discharging the carrier from one of the shelves; at least one sealing member attached to the sidewall of the opening to seal the inside in which the shelves are provided from the outside; a door having a shape corresponding to the shape of the opening and ascending and descending along the sealing member to open and close the opening; and a driving part for ascending and descending the door. Therefore, the opening can be easily opened, closed and sealed. It is possible to suppress the wear of the sealing member.

Description

선반 유닛 및 이를 포함하는 스토커{Shelf unit and stocker including the same}Shelf unit and stocker including the same

본 발명은 선반 유닛 및 이를 포함하는 스토커에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다수의 캐리어를 수용하는 선반 유닛 및 이를 갖는 스토커에 관한 것이다.The present invention relates to a shelf unit and a stocker including the same, and more particularly, to a shelf unit accommodating a plurality of carriers and a stocker having the same.

반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 기판, 인쇄회로기판, 레티클 등의 대상물은 캐리어에 수납된 상태로 스토커(Stocker)에 보관될 수 있으며, 상기 스토커는 상기 캐리어들을 수납하기 위한 복수의 선반들을 구비할 수 있다. 상기 캐리어들은 상기 대상물에 따라 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 레티클 포드 등 다양한 종류가 있다. In the manufacturing process of a semiconductor device or a display device, an object such as a semiconductor substrate, a printed circuit board, or a reticle may be stored in a stocker in a state accommodated in a carrier, and the stocker includes a plurality of shelves for accommodating the carriers. can be provided There are various types of the carriers, such as FOUP, FOSB, magazine, and reticle pod depending on the object.

상시 스토커는 그 내부에 선반을 외부로부터 밀폐시키기 위한 자동 개폐형 셔터를 구비한다. 상기 셔터는 도어형으로 이루어지며, 도어의 테두리 측에는 별도의 실링 부재가 구비되지 않아서 상기 내부 및 외부 사이가 밀폐되지 않아 기류가 발생할 수 있다. 나아가 상기 실링 부재를 도어의 테두리 측에 부착할 경우, 상기 도어 개폐가 반복적으로 이루어짐에 따라 상기 실링 부재가 마모되는 문제가 발생할 수 있다.The normal stocker has an automatic opening/closing shutter for sealing the shelf from the outside therein. The shutter is formed in a door type, and a separate sealing member is not provided on the edge of the door, so that an airflow may occur because the inside and outside are not sealed. Furthermore, when the sealing member is attached to the edge of the door, as the door is repeatedly opened and closed, a problem in which the sealing member is worn may occur.

본 발명은 선반 내부를 외부로부터 밀폐하면서 실링 부재의 마모를 억제할 수 있는 선반 유닛을 제공한다.The present invention provides a shelf unit capable of suppressing wear of a sealing member while sealing the inside of the shelf from the outside.

본 발명은 상기 선반 유닛을 갖는 스토커를 제공한다.The present invention provides a stocker having the above shelf unit.

본 발명의 실시예들에 따른 선반 유닛은, 캐리어들을 각각 지지하는 다수의 선반들, 상기 캐리어를 상기 선반들 중 하나로 이동하거나 상기 선반들 중 하나로부터 배출하도록 개구부가 형성된 셔터 프레임, 상기 개구부의 측벽에 부착되어, 상기 선반들이 구비된 내부를 외부로부터 실링하는 적어도 하나의 실링 부재, 상기 개구부의 형상에 대응되는 형상을 가지며, 상기 실링 부재를 따라 승강하여 상기 개구부를 개폐하는 도어 및 상기 도어를 승강시키는 구동부를 포함한다.A shelf unit according to embodiments of the present invention includes a plurality of shelves supporting carriers, respectively, a shutter frame having an opening formed therein for moving the carrier to one of the shelves or discharging the carrier from one of the shelves, and a side wall of the opening at least one sealing member attached to a door to seal the inside in which the shelves are provided from the outside, a door having a shape corresponding to the shape of the opening, and lifting and lowering along the sealing member to open and close the opening, and lifting the door It includes a driving unit that makes

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 개구부는 하부로 갈수록 증가하는 폭을 갖는 사다리꼴 형상을 가질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the opening may have a trapezoidal shape having a width that increases toward the bottom.

여기서, 상기 셔터 프레임의 네 측벽들 각각에는 상부 절곡부, 하부 절골부 및 측부 절곡부들이 형성되고, 상기 실링 부재는 상기 절곡부 상에 각각 구비될 수 있다.Here, upper bent portions, lower bent portions, and side bent portions may be formed on each of the four sidewalls of the shutter frame, and the sealing member may be provided on the bent portions, respectively.

한편, 상기 실링 부재는 상기 개구부를 향하는 상부 절곡부의 하면 및 상기 개구부와 반대되는 하부 절곡부의 하면에 각각 부착될 수 있다.Meanwhile, the sealing member may be attached to a lower surface of the upper bent portion facing the opening and a lower surface of the lower bent portion opposite to the opening.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 구동부는 상기 도어를 Z축 방향으로만 승강시킬 수 있다.In one embodiment of the present invention, the driving unit may raise and lower the door only in the Z-axis direction.

본 발명의 실시예들에 따른 스토커는, 캐리어들을 적재하기 위한 선반 유닛, 이송 유닛으로부터 상기 캐리어들을 전달받거나 상기 이송 유닛으로 상기 캐리어를 전달하기 위한 로드 포트 및 상기 선반 유닛 및 로드 포트 사이에서 상기 캐리어를 이송하기 위한 이송 로봇을 포함하고, A stocker according to embodiments of the present invention includes a shelf unit for loading carriers, a load port for receiving the carriers from or transferring the carriers to the transport unit, and the carrier between the shelf unit and the load port. A transport robot for transporting

상기 선반 유닛은, 캐리어들을 각각 지지하는 다수의 선반들, 상기 캐리어를 상기 선반들 중 하나로 이동하거나 상기 선반들 중 하나로부터 배출하도록 개구부가 형성된 셔터 프레임, 상기 개구부의 측벽에 부착되어, 상기 선반들이 구비된 내부를 외부로부터 실링하는 적어도 하나의 실링 부재, 상기 개구부의 형상에 대응되는 형상을 가지며, 상기 실링 부재를 따라 승강하여 상기 개구부를 개폐하는 도어 및 상기 도어를 승강시키는 구동부를 포함한다.The shelf unit includes a plurality of shelves each supporting carriers, a shutter frame having an opening for moving the carrier to or discharging from one of the shelves, and attached to a sidewall of the opening so that the shelves are At least one sealing member for sealing the provided interior from the outside, a door having a shape corresponding to the shape of the opening, lifting and lowering along the sealing member to open and close the opening, and a driving unit for lifting and lowering the door.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 셔터 프레임의 네 측벽들 각각에는 상부 절곡부, 하부 절골부 및 측부 절곡부들이 형성되고, 상기 실링 부재는 상기 절곡부 상에 각각 구비될 수 있다.In an embodiment of the present invention, upper bent portions, lower bent portions, and side bent portions may be formed on each of the four sidewalls of the shutter frame, and the sealing member may be provided on the bent portions, respectively.

여기서, 상기 실링 부재는 상기 개구부를 향하는 상부 절곡부의 하면 및 상기 개구부와 반대되는 하부 절곡부의 하면에 각각 부착될 수 있다.Here, the sealing member may be attached to a lower surface of the upper bent portion facing the opening and a lower surface of the lower bent portion opposite to the opening.

본 발명의 실시예에 따른 상기 선반 유닛에 따르면, 개구부의 측벽에 부착되어, 선반들이 구비된 내부를 외부로부터 실링하는 적어도 하나의 실링 부재 및 상기 개구부의 형상에 대응되는 형상을 가지며, 상기 실링 부재를 따라 승강하여 상기 개구부를 개폐하는 도어가 구비된다. 이로써, 개구부가 용이하게 개폐되면서 밀봉될 수 있다. According to the shelf unit according to an embodiment of the present invention, at least one sealing member attached to the sidewall of the opening to seal the inside with the shelves from the outside, and a shape corresponding to the shape of the opening, the sealing member A door is provided for opening and closing the opening by ascending and descending along the . Thereby, the opening can be easily opened and closed and sealed.

나아가, 상기 개구부가 사다리꼴 형상을 가짐에 따라, 상기 개구부에 대응되는 형상을 갖는 도어가 하강할 때, 상기 도어의 측벽 및 실링 부재가 점차적으로 이격됨에 따라 상기 실링 부재의 마모가 억제될 수 있다.Furthermore, as the opening has a trapezoidal shape, when the door having a shape corresponding to the opening descends, the sidewall of the door and the sealing member are gradually spaced apart, so that wear of the sealing member can be suppressed.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 선반 유닛을 설명하기 위한 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 선반 유닛에 포함된 셔터 부분을 설명한 정면도이다.
도 4는 도 3의 도어를 도시하는 정면도이다.
도 5a 및 도 5b는 도어의 승강에 따른 개구부의 개폐 여부를 설명하기 위한 단면도이다.1 is a schematic plan view for explaining a stocker according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a front view illustrating the shelf unit shown in FIG. 1 .
FIG. 3 is a front view illustrating a shutter part included in the shelf unit shown in FIG. 1 .
Fig. 4 is a front view showing the door of Fig. 3;
5A and 5B are cross-sectional views for explaining whether the opening is opened or closed according to the elevation of the door.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the present invention can have various changes and can have various forms, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged than the actual size for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 선반 유닛을 설명하기 위한 정면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 선반 유닛에 포함된 셔터 부분을 설명한 정면도이다. 도 4는 도 3의 도어를 도시하는 정면도이다.1 is a schematic plan view for explaining a stocker according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a front view illustrating the shelf unit shown in FIG. 1 . FIG. 3 is a front view illustrating a shutter part included in the shelf unit shown in FIG. 1 . Fig. 4 is a front view showing the door of Fig. 3;

도 1를 참조하면, 상기 스토커(100)는 로드 포트(110), 선반 유닛(120) 및 이송 로봇(130)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1 , the stocker 100 may include a load port 110 , a shelf unit 120 , and a transfer robot 130 .

상기 로드 포트(110)는 별도의 이송 유닛으로부터 캐리어(10)를 전달받거나 상기 이송 유닛으로 상기 캐리어(10)를 전달한다. 상기 로드 포트(110)는 캐리어(10)가 안착되는 공간을 제공한다. 상기 캐리어(10)는 대상물(미도시)이 수용한 상태로 상기 로드 포트(110)에 안착된다. The load port 110 receives the carrier 10 from a separate transfer unit or transfers the carrier 10 to the transfer unit. The load port 110 provides a space in which the carrier 10 is seated. The carrier 10 is seated on the load port 110 in a state in which an object (not shown) is accommodated.

상기 대상물의 예로는 반도체 기판, 인쇄회로기판, 레티클 등을 들 수 있다. 상기 캐리어(10)의 예로는 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 레티클 포드 등을 들 수 있다. 상기 대상물에 따라 상기 캐리어(10)의 종류가 달라질 수 있다. Examples of the object include a semiconductor substrate, a printed circuit board, a reticle, and the like. Examples of the carrier 10 include a FOUP, a FOSB, a magazine, and a reticle pod. The type of the carrier 10 may vary according to the object.

상기 로드 포트(110)의 안착면에는 정렬 핀들(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 캐리어(10)의 하부면에는 정렬 홈(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 캐리어(10)가 상기 로드 포트(110)에 안착될 때, 상기 정렬 핀들은 상기 정렬 홈에 삽입되므로, 상기 캐리어(20)를 상기 로드 포트(110)에 정확하게 안착시킬 수 있다. Alignment pins (not shown) may be provided on the seating surface of the load port 110 . An alignment groove (not shown) may be provided on a lower surface of the carrier 10 . When the carrier 10 is seated on the load port 110 , the alignment pins are inserted into the alignment groove, so that the carrier 20 can be accurately seated on the load port 110 .

상기 선반 유닛(120)은 상기 캐리어(10)들을 적재한다. 상기 선반 유닛에 대하여는 후술하기로 한다.The shelf unit 120 loads the carriers 10 . The shelf unit will be described later.

상기 이송 로봇(130)은 상기 로드 포트(110)와 상기 선반 유닛(120) 사이에 배치되며, 상기 로드 포트(110)와 상기 선반 유닛(120) 사이에서 상기 캐리어들(10)을 이송한다. The transfer robot 130 is disposed between the load port 110 and the shelf unit 120 , and transfers the carriers 10 between the load port 110 and the shelf unit 120 .

상기 이송 로봇(130)은 상기 캐리어들(10)의 이송을 위해 상기 X축 방향, 상기 Z축 방향으로 이동 및 회전 이동이 가능하도록 구비될 수 있다. 상세히 도시되지는 않았지만, 상기 이송 로봇(130)은 상기 이송 로봇(130)을 상기 X축 방향으로 이동시키기 위한 X축 구동부, 상기 이송 로봇(130)을 상기 Z축 방향으로 이동시키기 위한 Z축 구동부 및 상기 이송 로봇(130)을 회전시키기 위한 회전 구동부를 구비할 수 있다. The transfer robot 130 may be provided to enable movement and rotational movement in the X-axis direction and the Z-axis direction for the transport of the carriers 10 . Although not shown in detail, the transfer robot 130 includes an X-axis driving unit for moving the transfer robot 130 in the X-axis direction, and a Z-axis driving unit for moving the transfer robot 130 in the Z-axis direction. and a rotation driving unit for rotating the transfer robot 130 .

또한, 상기 이송 로봇(130)은 상기 캐리어들(10)의 이송을 위한 로봇암(132)을 구비할 수 있으며, 상기 로봇암(132)은 상기 선반들(110)을 향해 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 로봇암(132)은 상기 캐리어들(10)을 파지하여 이송한다.In addition, the transfer robot 130 may include a robot arm 132 for transferring the carriers 10 , and the robot arm 132 may be configured to be movable toward the shelves 110 . can The robot arm 132 grips and transports the carriers 10 .

일 예로서, 상기 로봇암(132)은 상기 X축 방향에 대하여 수직하는 Y축 방향(전후 방향)으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 이송 로봇(130)은 상기 로봇암(132)을 구동하기 위한 Y축 구동부를 구비할 수 있다. 상기 로봇암(132)은 신장과 수축이 가능한 다관절 로봇암일 수 있다. As an example, the robot arm 132 may be configured to be movable in a Y-axis direction (front-to-back direction) perpendicular to the X-axis direction. The transfer robot 130 may include a Y-axis driving unit for driving the robot arm 132 . The robot arm 132 may be a multi-joint robot arm that can be extended and contracted.

일 예로서, 상기 X축, Y축 및 Z축 구동부들 및 회전 구동부는 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 장치를 이용하여 각각 구성될 수 있다.As an example, the X-axis, Y-axis, and Z-axis driving units and the rotation driving unit may be configured using a motor and a power transmission device including a timing belt and pulleys, respectively.

따라서 상기 이송 로봇(130)은 상기 캐리어(10)를 상기 로드 포트(110)에 안착하거나, 상기 로드 포트(110)에 안착된 상기 캐리어(10)를 이송할 수 있다. 또한, 상기 이송 로봇(130)은 상기 캐리어들(10)을 상기 선반 유닛(120)에 적재하거나 상기 선반 유닛(120)으로부터 상기 캐리어들(10)을 이재할 수 있다.Accordingly, the transfer robot 130 may seat the carrier 10 on the load port 110 or transfer the carrier 10 seated on the load port 110 . Also, the transfer robot 130 may load the carriers 10 on the shelf unit 120 or transfer the carriers 10 from the shelf unit 120 .

상기 이송 로봇(130)은 상기 캐리어들(10)을 신속하게 이송하기 위해 복수로 구비될 수도 있다. The transfer robot 130 may be provided in plurality to quickly transfer the carriers 10 .

한편, 상기 이송 로봇(130)은 상부면에 티칭용 센서(134)를 구비할 수 있다. 상기 센서(140)의 예로는 광센서를 들 수 있다. On the other hand, the transfer robot 130 may be provided with a sensor 134 for teaching on the upper surface. An example of the sensor 140 may be an optical sensor.

상기 센서(134)는 상기 각 선반들(121)의 후면에 구비된 반사판으로 광을 조사하고 상기 반사판으로부터 반사되는 반사광의 수신하여 상기 각 선반들(121)의 위치를 감지한다.The sensor 134 irradiates light to a reflective plate provided on the rear surface of each shelf 121 and receives the reflected light reflected from the reflective plate to sense the positions of each shelf 121 .

또한, 상기 이송 로봇(130)이 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향으로 이동할 수 있으므로, 상기 센서(134)는 상기 반사판을 이용하여 상기 각 선반들(121)의 위치를 모두 감지할 수 있다. 그러므로, 상기 이송 로봇(130)이 상기 캐리어들(10)을 상기 선반들(121)에 안정적으로 적재하거나, 상기 선반들(121)로부터 상기 캐리어들(10)을 안정적으로 이재할 수 있다. In addition, since the transfer robot 130 can move in the X-axis direction and the Z-axis direction, the sensor 134 can detect all positions of the shelves 121 using the reflector. Therefore, the transfer robot 130 may stably load the carriers 10 on the shelves 121 or stably transfer the carriers 10 from the shelves 121 .

도 3 및 도 4를 다시 참조하면, 상기 선반 유닛(120)은 선반들(121), 셔터 프레임(122), 실링 부재(123), 도어(124) 및 구동부(125)를 포함한다. Referring back to FIGS. 3 and 4 , the shelf unit 120 includes shelves 121 , a shutter frame 122 , a sealing member 123 , a door 124 , and a driving unit 125 .

한편, 상기 선반들(121)은 각각 대략 평판 형태를 가지며, 상기 캐리어들(10)의 하부면을 각각 지지한다. 상기 선반들(121)은 수평 방향으로 이동 가능하게 구비될 수 있다.Meanwhile, each of the shelves 121 has a substantially flat plate shape, and supports the lower surfaces of the carriers 10 , respectively. The shelves 121 may be provided to be movable in a horizontal direction.

상기 셔터 프레임(122)에는 상기 캐리어(10)를 상기 선반들(121) 중 하나로 이동하거나 상기 선반들(121) 중 하나로부터 배출하도록 개구부(122d)가 형성된다. An opening 122d is formed in the shutter frame 122 to move the carrier 10 to one of the shelves 121 or to discharge the carrier 10 from one of the shelves 121 .

상기 개구부(122d)는 하부로 갈수록 증가하는 폭을 갖는 사다리꼴 형상을 가질 수 있다. 상기 개구부(122d)는 상부 프레임부(122a), 하부 프레임부(122b) 및 측부 프레임부(122c)로 정의된다. 여기서, 상기 개구부(122d)에는 도어(124)가 장착될 수 있다. The opening 122d may have a trapezoidal shape having a width that increases toward a lower portion. The opening 122d is defined by an upper frame portion 122a, a lower frame portion 122b, and a side frame portion 122c. Here, the door 124 may be mounted in the opening 122d.

상기 실링 부재(123)는 상기 개구부(122d)의 측벽에 부착된다. 상기 도어(124)가 상기 개구부(122d)를 폐쇄할 때, 상기 실링 부재(123)는 상기 개구부(122d)를 기준으로 내부 및 외부를 밀봉할 수 있다. 이로써, 상기 실링 부재(123)는 상기 개구부를 통한 기류의 누설을 억제할 수 있다.The sealing member 123 is attached to the sidewall of the opening 122d. When the door 124 closes the opening 122d, the sealing member 123 may seal the inside and the outside with respect to the opening 122d. Accordingly, the sealing member 123 may suppress leakage of the airflow through the opening.

상기 실링 부재(123)는 플레이트 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 실링 부재(123)는 예를 들면 러버 재질로 이루어질 수 있다. 따라서 상기 실링 부재(123)는 상기 개구부를 통한 기류 누설을 보다 효과적으로 억제할 수 있다.The sealing member 123 may have a plate shape. In addition, the sealing member 123 may be made of, for example, a rubber material. Accordingly, the sealing member 123 may more effectively suppress airflow leakage through the opening.

상기 실링 부재(123)는 상기 상부 프레임부(122a)의 내측면에 부착된 상부 실링부(123a), 상기 하부 프레임부(122a)의 내측면에 부착된 하부 실링부(123a) 및 측부 프레임부(122c)의 내측면에 부착된 측부 실링부(123c)를 포함할 수 있다.The sealing member 123 includes an upper sealing part 123a attached to the inner surface of the upper frame part 122a, a lower sealing part 123a attached to the inner surface of the lower frame part 122a, and a side frame part. It may include a side sealing portion (123c) attached to the inner surface of the (122c).

상기 도어(124)는 상기 개구부(122d)의 형상에 대응되는 형상을 가진다. 이로써, 상기 도어(124)는 상기 개구부(122d)를 밀폐할 수 있다. 또한, 상기 도어(124)는 상기 실링 부재(123)를 따라 승강하여 상기 개구부(122d)를 개폐할 수 있다. The door 124 has a shape corresponding to the shape of the opening 122d. Accordingly, the door 124 may seal the opening 122d. In addition, the door 124 may move up and down along the sealing member 123 to open and close the opening 122d.

예를 들면, 상기 개구부(122d)가 사다리꼴 형상을 가질 경우, 상기 도어(124) 또한 전체적으로 사다리꼴 형상을 가질 수 있다. 상기 도어(124)는 상단부 및 하단부로부터 연장된 밀폐부를 포함한다. 상기 도어(124)의 수직 절단면은 C자 형상을 가질 수 있다.For example, when the opening 122d has a trapezoidal shape, the door 124 may also have a trapezoidal shape as a whole. The door 124 includes a closure extending from an upper end and a lower end. A vertical cut surface of the door 124 may have a C-shape.

즉, 상기 도어(124)가 최고점에 위치하여 상기 도어(124)의 상단부 및 하단부에 형성된 밀폐부들이 실링 부재(123)에 컨택할 경우, 상기 도어(124)는 개구부(122d)를 폐쇄할 수 있다. 이때, 상기 실링 부재(123)는 상기 개구부(122d)를 보다 확실하게 밀봉할 수 있다. That is, when the door 124 is positioned at the highest point and the sealing parts formed at the upper and lower ends of the door 124 contact the sealing member 123, the door 124 can close the opening 122d. have. In this case, the sealing member 123 may more reliably seal the opening 122d.

반면에, 상기 도어(124)가 하강하여 최하점에 위치하여 상기 도어(124)의 상단부에 형성된 밀폐부만이 셔터 프레임의 절곡부와 컨택할 경우, 상기 도어(124)는 개구부(122d)를 개방할 수 있다.On the other hand, when the door 124 descends and is located at the lowest point and only the sealing portion formed at the upper end of the door 124 contacts the bent portion of the shutter frame, the door 124 opens the opening 122d. can do.

상기 구동부(125)는 도어(124)를 승강시킬 수 있다. 상기 구동부(125)는 예를 들면 모터, 벨트, 실린더 등을 포함할 수 있다. 또한 상기 구동부(125)의 구동은 제어부(126)를 통하여 이루어질 수 있다.The driving unit 125 may elevate the door 124 . The driving unit 125 may include, for example, a motor, a belt, a cylinder, or the like. In addition, the driving unit 125 may be driven through the control unit 126 .

상기 구동부(125)는 도어(124)를 Z축 방향, 즉 수직 방향으로 승강시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 도어(124)가 최고점에서부터 하강하여 상기 개구부(122d)를 개방시킬 때, 상기 도어(124)는 상기 실링 부재(123)로부터 점진적으로 이격된다. 따라서, 상기 도어(124)가 하강할 때 상기 도어(124)의 측부 및 상기 실링 부재(123) 간의 컨택이 최소화됨으로써, 상기 실링 부재(123)의 마모가 억제될 수 있다.The driving unit 125 may raise and lower the door 124 in the Z-axis direction, that is, in the vertical direction. For example, when the door 124 descends from the highest point to open the opening 122d, the door 124 is gradually separated from the sealing member 123 . Accordingly, when the door 124 descends, the contact between the side of the door 124 and the sealing member 123 is minimized, so that wear of the sealing member 123 can be suppressed.

나아가, 상기 구동부(125)는 수직 방향으로만 선택적으로 도어를 승강시킬 수 있다. 따라서, 구동부가 수직 방향 및 수평 방향으로 상기 도어를 구동하여 실링 부재의 마모를 억제하는 경우와 비교할 때, 상기 구동부(125)의 구성이 단순화되고, 설치 공간의 활용도 및 구동 시간이 절감될 수 있다.Furthermore, the driving unit 125 may selectively elevate the door only in the vertical direction. Therefore, compared to the case where the driving part drives the door in the vertical and horizontal directions to suppress wear of the sealing member, the configuration of the driving part 125 is simplified, and the utilization of the installation space and the driving time can be reduced. .

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 셔터 프레임(122)의 네 측벽들 각각에는 상부 절곡부(122a), 하부 절곡부(122b) 및 측부 절곡부들(122c)이 형성된다. 상기 절곡부들(122a, 122b 및 122c)는 상기 실링 부재(123)의 부착 공간을 제공할 수 있다. 따라서, 상기 실링 부재(123)는 상기 절곡부(122a, 122b 및 122c)상에 각각 구비될 수 있다.In one embodiment of the present invention, upper bent portions 122a, lower bent portions 122b, and side bent portions 122c are formed on each of the four sidewalls of the shutter frame 122 . The bent parts 122a , 122b and 122c may provide an attachment space for the sealing member 123 . Accordingly, the sealing member 123 may be provided on the bent portions 122a, 122b, and 122c, respectively.

여기서, 상기 실링 부재(123)는 상기 개구부(122d)를 향하는 상부 절곡부(123a)의 하면과 측부 절곡부(123c)의 측면 및 상기 개구부(122d)와 반대되는 하부 절곡부(122b)의 하면에 각각 부착될 수 있다.Here, the sealing member 123 includes a lower surface of the upper bent portion 123a facing the opening 122d, a side surface of the side bent portion 123c, and a lower surface of the lower bent portion 122b opposite to the opening 122d. can be attached to each.

도 5a 및 도 5b는 도어의 승강에 따른 개구부의 개폐 여부를 설명하기 위한 단면도이다.5A and 5B are cross-sectional views for explaining whether the opening is opened or closed according to the elevation of the door.

즉, 도 5a는 도어의 상승에 따른 개구부의 폐쇄 상태 및 도 5b는 도어의 하강에 따른 개구부의 개방 상태를 도시한다.That is, FIG. 5A shows the closed state of the opening according to the rising of the door, and FIG. 5B shows the opened state of the opening according to the lowering of the door.

도 2 내지 도 5a를 참조하면, 상기 구동부(125)는 도어(124)를 Z축 방향, 즉 수직 방향으로 상승시켜, 상기 도어(124)가 최고점에 위치한다. 이때, 상기 도어(124)의 상단부 및 하단부에 형성된 밀폐부가 실링 부재(123)에 컨택할다. 이로써, 상기 도어(124)는 개구부(122d)를 폐쇄할 수 있다. 이때, 상기 실링 부재(123)는 상기 개구부(122d)를 보다 확실하게 밀봉할 수 있다. 2 to 5A , the driving unit 125 raises the door 124 in the Z-axis direction, that is, in the vertical direction, so that the door 124 is positioned at the highest point. At this time, sealing portions formed at the upper end and lower end of the door 124 contact the sealing member 123 . Accordingly, the door 124 may close the opening 122d. In this case, the sealing member 123 may more reliably seal the opening 122d.

도 2, 도 3 및 도 5b를 참조하면, 상기 구동부(125)가 상기 도어(124)를 하강한다. 이때, 상기 도어(124)의 측부는 상기 실링 부재(123)와 점차적으로 이격된다. 따라서, 상기 도어(124)가 하강할 때 상기 도어(124)의 측부 및 상기 실링 부재(123) 간의 컨택이 최소화됨으로써, 상기 실링 부재(123)의 마모가 억제될 수 있다. 이후, 상기 도어(124)가 추가적으로 하강하여 최하점에 위치하여 상기 도어의 상단부에 형성된 밀폐부만이 셔터 프레임의 하부 절곡부와 컨택하여, 상기 도어(124)는 개구부(122d)를 개방할 수 있다.Referring to FIGS. 2, 3 and 5B , the driving unit 125 descends the door 124 . In this case, the side of the door 124 is gradually spaced apart from the sealing member 123 . Accordingly, when the door 124 descends, the contact between the side of the door 124 and the sealing member 123 is minimized, so that wear of the sealing member 123 can be suppressed. Thereafter, the door 124 is further lowered and located at the lowest point so that only the sealing portion formed at the upper end of the door contacts the lower bent portion of the shutter frame, so that the door 124 can open the opening 122d. .

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 선반 유닛은 개구부의 측벽에 부착되어, 선반들이 구비된 내부를 외부로부터 실링하는 적어도 하나의 실링 부재 및 상기 개구부의 형상에 대응되는 형상을 가지며, 상기 실링 부재를 따라 승강하여 상기 개구부를 개폐하는 도어를 구비한다. 이로써, 개구부가 용이하게 개폐되면서 밀봉될 수 있다. 나아가, 상기 개구부가 사다리꼴 형상을 가짐에 따라, 상기 개구부에 대응되는 형상을 갖는 도어가 하강할 때, 상기 도어의 측벽 및 실링 부재가 점차적으로 이격됨에 따라 상기 실링 부재의 마모가 억제될 수 있다.As described above, the shelf unit according to the present invention has at least one sealing member attached to the sidewall of the opening to seal the inside with the shelves from the outside, and a shape corresponding to the shape of the opening, and the sealing member and a door for opening and closing the opening by ascending and descending along the . Thereby, the opening can be easily opened and closed and sealed. Furthermore, as the opening has a trapezoidal shape, when the door having a shape corresponding to the opening descends, the sidewall of the door and the sealing member are gradually spaced apart, so that wear of the sealing member can be suppressed.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that you can.

100 : 스토커 110 : 로드 포트
120 : 선반 유닛 121 : 선반
122 : 셔터 프레임 123 : 실링 부재
124 : 도어 125 : 구동부
126 : 제어부 130 : 이송 로봇
132 : 로봇암 134 : 센서
10 : 캐리어100: stalker 110: load port
120: shelf unit 121: shelf
122: shutter frame 123: sealing member
124: door 125: driving unit
126: control unit 130: transfer robot
132: robot arm 134: sensor
10 : carrier

Claims (8)

캐리어들을 각각 지지하는 다수의 선반들;
상기 캐리어를 상기 선반들 중 하나로 이동하거나 상기 선반들 중 하나로부터 배출하도록 개구부가 형성된 셔터 프레임;
상기 개구부의 측벽에 부착되어, 상기 선반들이 구비된 내부를 외부로부터 실링하는 적어도 하나의 실링 부재;
상기 개구부의 형상에 대응되는 형상을 가지며, 상기 실링 부재를 따라 승강하여 상기 개구부를 개폐하는 도어; 및
상기 도어를 승강시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 선반 유닛.a plurality of shelves each supporting the carriers;
a shutter frame having an opening for moving the carrier to or discharging the carrier from one of the shelves;
at least one sealing member attached to the sidewall of the opening to seal the inside in which the shelves are provided from the outside;
a door having a shape corresponding to the shape of the opening and ascending and descending along the sealing member to open and close the opening; and
and a driving unit for elevating the door. 제1항에 있어서, 상기 개구부는 하부로 갈수록 증가하는 폭을 갖는 사다리꼴 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 선반 유닛.The shelf unit according to claim 1, wherein the opening has a trapezoidal shape with a width increasing toward a lower portion. 제2항에 있어서, 상기 셔터 프레임의 네 측벽들 각각에는 상부 절곡부, 하부 절골부 및 측부 절곡부들이 형성되고, 상기 실링 부재는 상기 절곡부 상에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 선반 유닛. The shelf unit according to claim 2, wherein upper bent portions, lower bent portions, and side bent portions are formed on each of the four sidewalls of the shutter frame, and the sealing member is provided on the bent portions, respectively. 제3항에 있어서, 상기 실링 부재는 상기 개구부를 향하는 상부 절곡부의 하면 및 상기 개구부와 반대되는 하부 절곡부의 하면에 각각 부착되는 것을 특징으로 하는 선반 유닛. The shelf unit according to claim 3, wherein the sealing member is attached to a lower surface of the upper bent portion facing the opening and a lower surface of the lower bent portion opposite to the opening. 제1항에 있어서, 상기 구동부는 상기 도어를 Z축 방향으로만 승강시키는 것을 특징으로 하는 선반 유닛.The shelf unit according to claim 1, wherein the driving unit elevates the door only in the Z-axis direction. 캐리어들을 적재하기 위한 선반 유닛;
이송 유닛으로부터 상기 캐리어들을 전달받거나 상기 이송 유닛으로 상기 캐리어를 전달하기 위한 로드 포트; 및
상기 선반 유닛 및 로드 포트 사이에서 상기 캐리어를 이송하기 위한 이송 로봇을 포함하고,
상기 선반 유닛은,
캐리어들을 각각 지지하는 다수의 선반들;
상기 캐리어를 상기 선반들 중 하나로 이동하거나 상기 선반들 중 하나로부터 배출하도록 개구부가 형성된 셔터 프레임;
상기 개구부의 측벽에 부착되어, 상기 선반들이 구비된 내부를 외부로부터 실링하는 적어도 하나의 실링 부재;
상기 개구부의 형상에 대응되는 형상을 가지며, 상기 실링 부재를 따라 승강하여 상기 개구부를 개폐하는 도어; 및
상기 도어를 승강시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.a shelf unit for loading carriers;
a load port for receiving the carriers from or transferring the carriers to the transfer unit; and
a transfer robot for transferring the carrier between the lathe unit and the load port;
The shelf unit is
a plurality of shelves each supporting the carriers;
a shutter frame having an opening for moving the carrier to or discharging the carrier from one of the shelves;
at least one sealing member attached to the sidewall of the opening to seal the inside in which the shelves are provided from the outside;
a door having a shape corresponding to the shape of the opening and ascending and descending along the sealing member to open and close the opening; and
A stocker comprising a driving unit for elevating the door. 제6항에 있어서, 상기 셔터 프레임의 네 측벽들 각각에는 상부 절곡부, 하부 절골부 및 측부 절곡부들이 형성되고, 상기 실링 부재는 상기 절곡부 상에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 스토커. The stocker according to claim 6, wherein upper bent portions, lower bent portions and side bent portions are formed on each of the four sidewalls of the shutter frame, and the sealing member is provided on the bent portions, respectively. 제7항에 있어서, 상기 실링 부재는 상기 개구부를 향하는 상부 절곡부의 하면 및 상기 개구부와 반대되는 하부 절곡부의 하면에 각각 부착되는 것을 특징으로 하는 스토커.The stocker according to claim 7, wherein the sealing member is attached to a lower surface of the upper bent portion facing the opening and a lower surface of the lower bent portion opposite to the opening.
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