KR20210049935A - Hydraulic cylinder - Google Patents

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KR20210049935A
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유지 다카쿠와
겐고 몬덴
세이이치 나구라
가즈타카 소메야
아키히로 가자마
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에스엠시 가부시키가이샤
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Abstract

작동 피스톤(20)과 증력 피스톤(22)이 격벽(26)을 두고 탠덤방식으로 설치된 유체압 실린더(10)에 있어서, 축방향으로 인접하는 2개의 압력실에 고압유체를 봉입한다. 작동 공정에서는 고압유체가 봉입된 압력실 사이에서 고압유체를 연통 가능하게 해둔다. 그리고, 작동 피스톤(20)이 엔드 측으로 이동했을 때에, 증력 전환기구(33)에 의해 2개의 압력실 사이의 유체의 연통을 저지하고, 일측의 압력실의 고압유체를 배기한다.In the fluid pressure cylinder 10 in which the actuating piston 20 and the increasing piston 22 are installed in a tandem manner with a partition wall 26, a high-pressure fluid is sealed in two pressure chambers adjacent to each other in the axial direction. In the operation process, the high-pressure fluid can be communicated between the pressure chambers enclosed with the high-pressure fluid. Then, when the actuating piston 20 moves to the end side, communication of the fluid between the two pressure chambers is prevented by the increase force switching mechanism 33, and the high-pressure fluid in the pressure chamber on one side is exhausted.

Description

유체압 실린더Hydraulic cylinder

본 발명은 유체압 실린더에 관한 것이다.The present invention relates to a fluid pressure cylinder.

클램프 장치나 잠금 장치 등의 작업 기계에 있어서, 통상, 작업 공정의 전반에 그다지 큰 구동력을 필요로 하지 않고, 작업 공정의 후반에 큰 구동력을 필요로 하는 경우가 있다. 이 때문에, 이러한 작업 기계에 사용되는 유체압 실린더로서, 증력기구에 의해 피스톤 로드의 전진 스트로크 후반의 추력을 증대시키도록 한 증력기구 부착식 유체압 실린더가 제안되어 있다.BACKGROUND ART In a working machine such as a clamp device or a locking device, there is a case where a large driving force is not usually required in the whole of the working process, and a large driving force is required in the latter half of the working process. For this reason, as a fluid pressure cylinder used in such a working machine, there has been proposed a type of fluid pressure cylinder with an increasing force mechanism in which the thrust at the latter half of the forward stroke of the piston rod is increased by a force increasing mechanism.

예를 들어, 일본 공개특허 특개2018-17269호 공보의 유체압 실린더에서는, 증력기구로서 증력용 피스톤을 설치하고, 스트로크의 도중에, 피스톤 로드에 증력용 피스톤을 잠금 시킴으로써 추력을 증가시키고 있다.For example, in the fluid pressure cylinder of Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2018-17269, a piston for increasing force is provided as an increasing force mechanism, and the piston for increasing force is locked to the piston rod in the middle of the stroke, thereby increasing the thrust.

증력기구 부착식 유체압 실린더에 있어서, 에너지 소비량을 줄일 수 있도록, 새로운 작동유체의 소비량 삭감이 요구되고 있다.In the fluid pressure cylinder with an increase mechanism, there is a demand for a new reduction in the amount of consumption of the working fluid so as to reduce the amount of energy consumption.

거기서, 본 발명은, 구조를 복잡화하는 일 없이, 작동유체의 소비량을 삭감할 수 있는 증력기능 부착식 유체압 실린더를 제공하는 것을 목적으로 한다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a fluid pressure cylinder with an increasing force function capable of reducing the consumption amount of the working fluid without complicating the structure.

본 발명의 일 관점은, 축방향으로 연장하는 슬라이딩 구멍이 형성된 실린더 몸체와, 상기 슬라이딩 구멍을 헤드 측의 작동 실린더실과 엔드 측의 증력 실린더실로 나누는 격벽과, 상기 작동 실린더실에 배치되어 상기 작동 실린더실을 헤드 측의 제1 압력실과 엔드 측의 제2 압력실로 구획하는 작동 피스톤과, 상기 증력 실린더실에 배치되어 상기 증력 실린더실을 헤드 측의 제3 압력실과 엔드 측의 제4 압력실로 구획하는 증력 피스톤과, 상기 작동 피스톤 및 증력 피스톤에 접속됨과 함께, 상기 격벽을 관통하여 엔드 측으로 뻗어나오는 피스톤 로드를 구비하며, 상기 제1 압력실, 제2 압력실, 제3 압력실 및 제4 압력실 가운데, 인접하는 2개의 압력실에 고압유체가 봉입됨과 함께, 상기 작동 피스톤이 소정 위치보다 헤드 측에 위치하는 동안에는, 상기 2개의 압력실의 사이에 고압유체의 연통을 허용하는 한편, 상기 작동 피스톤이 소정 위치보다 엔드 측으로 이동하였을 때, 상기 2개의 압력실 사이에서의 고압유체의 연통을 저지하고, 또한, 상기 2개의 압력실 중 일측의 압력실의 고압유체를 배기시키는 증력 전환기구를 구비하는, 유체압 실린더에 있다.An aspect of the present invention is a cylinder body having a sliding hole extending in the axial direction, a partition wall dividing the sliding hole into an operation cylinder chamber on the head side and an increase cylinder chamber on the end side, and the operation cylinder disposed in the operation cylinder chamber. An operating piston that divides the chamber into a first pressure chamber on the head side and a second pressure chamber on the end side, and is disposed in the increase cylinder chamber to divide the increase cylinder chamber into a third pressure chamber on the head side and a fourth pressure chamber on the end side. An increase piston, and a piston rod connected to the working piston and the increasing piston and extending toward the end through the partition wall, wherein the first pressure chamber, the second pressure chamber, the third pressure chamber, and the fourth pressure chamber In the middle, while the high-pressure fluid is sealed in the two adjacent pressure chambers, while the operating piston is positioned at the head side rather than a predetermined position, communication of the high-pressure fluid between the two pressure chambers is allowed, while the operating piston When it is moved to the end side from this predetermined position, the communication of the high-pressure fluid between the two pressure chambers is prevented, and further comprising an increase power conversion mechanism for exhausting the high-pressure fluid from one of the two pressure chambers. , In the fluid pressure cylinder.

본 발명에 따른 유체압 실린더에 의하면, 제1 내지 제4 압력실 가운데, 인접하는 2개의 압력실에 고압유체가 봉입된다. 작동 피스톤이 소정 위치보다 헤드 측에 위치하는 경우에는, 인접하는 2개의 압력실 사이에서 고압유체의 연통을 허용 한다. 이 경우에는, 인접하는 2개의 압력실 사이에 압력차이가 생기지 않고, 추력은 증가하지 않는다. 한편, 작동 피스톤이 스트로크의 종단 부근으로 이동했을 경우에는, 인접하는 2개의 압력실 사이의 연통을 저지하고, 일측 압력실의 고압유체를 배기시킨다. 이것에 의해, 인접하는 2개의 압력실 사이의 압력차이에 상응하는 추력이 발생하여, 스트로크 엔드 부근에서 피스톤 로드의 추력을 증가시킬 수 있다. 고압유체의 배기는 스트로크의 엔드 측에서 행해지기 때문에, 추력의 증가에 사용되는 유체량을 억제할 수 있다.According to the fluid pressure cylinder according to the present invention, among the first to fourth pressure chambers, the high pressure fluid is sealed in two adjacent pressure chambers. When the working piston is located on the head side rather than the predetermined position, it allows communication of high-pressure fluid between two adjacent pressure chambers. In this case, there is no pressure difference between the two adjacent pressure chambers, and the thrust does not increase. On the other hand, when the working piston moves near the end of the stroke, communication between two adjacent pressure chambers is prevented, and the high-pressure fluid in one pressure chamber is exhausted. Thereby, a thrust corresponding to the pressure difference between two adjacent pressure chambers is generated, and the thrust of the piston rod can be increased in the vicinity of the stroke end. Since the high-pressure fluid is exhausted from the end of the stroke, the amount of fluid used to increase the thrust can be suppressed.

도 1은 제1 실시형태에 따른 유체압 실린더의 단면도이고, 도면 중의 부분 확대도는 제3 체크밸브(56)를 확대한 단면도이다.
도 2는 도 1의 유체압 실린더의 엔드 측의 측면도이다.
도 3는 도 1의 유체압 실린더의 격벽 부근의 확대 단면도이고, 도 3b는 도 3a의 격벽 부근에 작동 피스톤이 접근한 상태에 있어서의 확대 단면도이다.
도 4a는 실시형태에 따른 유체압 실린더의 작동 공정에서의 접속 상태를 나타내는 유체 회로도이고, 도 4b는 도 4a의 유체압 실린더의 복귀 공정에서의 접속 상태를 나타내는 유체 회로도이다.
도 5는 도 1의 유체압 실린더의 작동 공정에 있어서의 단면도이다.
도 6은 도 1의 유체압 실린더의 증력 공정에 있어서의 단면도이다.
도 7은 도 1의 유체압 실린더의 복귀 공정에 있어서의 단면도(도면 1)이다.
도 8은 도 1의 유체압 실린더의 복귀 공정에 있어서의 단면도(도면 2)이다.
도 9a는 제2 실시형태에 따른 유체압 실린더의 평면도이고, 도 9b는 도 9a의 유체압 실린더의 측면도이다.
도 10은 도 9a의 유체압 실린더의 스트로크 시작 위치에서의 단면도이다.
도 11a는 도 9a의 유체압 실린더의 구동장치의 유체 회로도로서, 전환밸브의 제1 위치에서의 접속 상태를 나타내고, 도 11b는 도 11a의 구동장치의 전환밸브의 제2 위치에서의 접속 상태를 나타내는 유체 회로도이다.
도 12는 도 9a의 유체압 실린더의 증력 공정에서의 단면도이다.
1 is a cross-sectional view of a fluid pressure cylinder according to a first embodiment, and a partially enlarged view in the drawing is an enlarged cross-sectional view of a third check valve 56.
2 is a side view of the end side of the fluid pressure cylinder of FIG. 1.
Fig. 3 is an enlarged sectional view of the fluid pressure cylinder of Fig. 1 in the vicinity of the partition wall, and Fig. 3B is an enlarged sectional view in a state in which the working piston approaches the partition wall of Fig. 3A.
Fig. 4A is a fluid circuit diagram showing a connection state in an operation step of the fluid pressure cylinder according to the embodiment, and Fig. 4B is a fluid circuit diagram showing a connection state in a return step of the fluid pressure cylinder in Fig. 4A.
5 is a cross-sectional view of the fluid pressure cylinder of FIG. 1 in an operation step.
6 is a cross-sectional view of the fluid pressure cylinder of FIG. 1 in a step of increasing the pressure.
Fig. 7 is a cross-sectional view (Fig. 1) in a return step of the fluid pressure cylinder of Fig. 1.
Fig. 8 is a cross-sectional view (Fig. 2) in a return step of the fluid pressure cylinder of Fig. 1.
9A is a plan view of the fluid pressure cylinder according to the second embodiment, and FIG. 9B is a side view of the fluid pressure cylinder of FIG. 9A.
10 is a cross-sectional view of the fluid pressure cylinder of FIG. 9A at a stroke start position.
FIG. 11A is a fluid circuit diagram of the driving device of the fluid pressure cylinder of FIG. 9A, showing a connection state of the selector valve at a first position, and FIG. 11B is a connection state of the selector valve of the drive device of FIG. 11A at a second position. It is a fluid circuit diagram shown.
12 is a cross-sectional view in a step of increasing the fluid pressure cylinder of FIG. 9A.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태를 들어, 첨부의 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 도면의 치수 비율은 설명의 편의상 과장되어 실제의 비율과는 다른 경우가 있다. 또한, 본 명세서에 있어서, 스트로크의 종단을 향하는 방향을 「엔드 방향」또는 「엔드 측」이라고 하고, 그 스트로크의 시작 방향을 「헤드 방향」또는 「헤드 측」이라고 한다. 또, 본 명세서에 있어서 「에어」란 기체상의 작동유체를 의미하고, 특히 공기로 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, the dimensional ratios in the drawings are exaggerated for convenience of description and may be different from the actual ratios. In this specification, the direction toward the end of the stroke is referred to as "end direction" or "end side", and the starting direction of the stroke is referred to as "head direction" or "head side". In addition, in this specification, "air" means a gaseous working fluid, and is not particularly limited to air.

(제1 실시형태)(First embodiment)

본 실시형태에 따른 유체압 실린더(10)는, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 실린더 몸체(12)와 구동장치(120)를 구비한다.The fluid pressure cylinder 10 according to the present embodiment includes a cylinder body 12 and a drive device 120 as shown in FIGS. 4A and 4B.

유체압 실린더(10)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 축방향으로 길게 뻗은 실린더 몸체(12)를 구비하고 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 실린더 몸체(12)는 각형인 것으로 할 수 있고, 예를 들어, 알루미늄 합금 등의 금속재료에 의해 형성되어 있다.The fluid pressure cylinder 10 has a cylinder body 12 extending in the axial direction as shown in FIG. 1. As shown in FIG. 2, the cylinder body 12 can be made into a square shape, and is formed of a metal material, such as an aluminum alloy, for example.

도 1에 도시된 바와 같이, 실린더 몸체(12)의 내부에는 축방향으로 연장하는 원형의 슬라이딩 구멍(12a)(실린더실)이 형성되어 있다. 실린더 몸체(12)는, 헤드 측에 설치된 헤드측 본체부(14)와, 엔드 측에 설치된 엔드측 본체부(16)와, 헤드측 본체부(14) 및 엔드측 본체부(16) 사이에 설치된 격벽(26)을 구비한다. 헤드측 본체부(14)와, 격벽(26)과, 엔드측 본체부(16)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 연결로드 또는 볼트(16b)에 의해 축방향으로 체결되어 있다.As shown in Fig. 1, a circular sliding hole 12a (cylinder chamber) extending in the axial direction is formed inside the cylinder body 12. The cylinder body 12 is between the head-side body portion 14 provided on the head side, the end-side body portion 16 provided on the end side, and the head-side body portion 14 and the end-side body portion 16. It has a partition wall 26 installed. The head-side body portion 14, the partition wall 26, and the end-side body portion 16 are axially fastened by connecting rods or bolts 16b, as shown in FIG. 2.

도 1에 도시된 바와 같이, 헤드측 본체부(14)의 내부에는 원형의 작동 실린더실(14a)가 형성되고, 엔드측 본체부(16)의 내부에는 원형의 증력 실린더실(16a)이 형성되어 있다. 작동 실린더실(14a)과 증력 실린더실(16a)은 동일한 내경으로 형성되어 있어, 실린더 몸체(12)의 슬라이딩 구멍(12a)을 구성한다. 작동 실린더실(14a)과 증력 실린더실(16a)는 격벽(26)에 의해 나눠져 있다.As shown in FIG. 1, a circular operating cylinder chamber 14a is formed in the head-side main body 14, and a circular increasing cylinder chamber 16a is formed in the end-side main body 16. Has been. The operating cylinder chamber 14a and the increasing cylinder chamber 16a are formed with the same inner diameter, and constitute the sliding hole 12a of the cylinder body 12. The operating cylinder chamber 14a and the increase cylinder chamber 16a are divided by a partition wall 26.

작동 실린더실(14a)에는 작동 피스톤(20)이 배치되고, 증력 실린더실(16a)에는 증력 피스톤(22)이 배치되어 있다. 작동 피스톤(20) 및 증력 피스톤(22)은 격벽(26) 및 실린더 몸체(12)를 엔드 측으로 관통하여 신장하는 피스톤 로드(18)에 연결되어 있다.The actuating piston 20 is arranged in the actuating cylinder chamber 14a, and the increasing piston 22 is arranged in the increasing cylinder chamber 16a. The actuating piston 20 and the increasing piston 22 are connected to a piston rod 18 extending through the partition wall 26 and the cylinder body 12 toward the end.

헤드측 본체부(14)에는 헤드측 포트(28)와, 헤드 커버(46)와, 작동 피스톤(20)이 설치되어 있다. 헤드 커버(46)는 작동 실린더실(14a)의 헤드 측의 단부에 장착되어 있고, 이 헤드 커버(46)에 의해 작동 실린더실(14a)의 헤드 측이 봉쇄되어 있다.The head-side body portion 14 is provided with a head-side port 28, a head cover 46, and an actuating piston 20. The head cover 46 is attached to an end portion of the operating cylinder chamber 14a on the head side, and the head side of the operating cylinder chamber 14a is blocked by the head cover 46.

헤드 커버(46)의 근방에는 헤드측 포트(28)가 형성되어 있다. 헤드측 포트(28)는 헤드측 본체부(14)를 관통하여 형성되어 있다. 헤드측 포트(28)는 작동 실린더실(14a)의 헤드 측 단부의 근방에 설치되고 개구(28a)를 통하여 작동 실린더실(14a)(제1 압력실(38))에 연통하고 있다.In the vicinity of the head cover 46, a head-side port 28 is formed. The head-side port 28 is formed through the head-side body portion 14. The head-side port 28 is provided in the vicinity of the head-side end portion of the operating cylinder chamber 14a and communicates with the operating cylinder chamber 14a (first pressure chamber 38) through the opening 28a.

작동 피스톤(20)은 작동 실린더실(14a) 내에서 축방향으로 슬라이딩 가능하게 수용되어 있다. 작동 피스톤(20)의 외주면에는 환형상의 패킹 장착홈(21a)이 형성되어 있고, 그 패킹 장착홈(21a)에는 패킹(21)이 장착되어 있다. 패킹(21)은 작동 실린더실(14a)의 내주면에 탄성변형하면서 밀착됨으로써, 작동 실린더실(14a)을 제1 압력실(38)과 제2 압력실(40)로 기밀로 구획한다. 제1 압력실(38)은 작동 피스톤(20)과 헤드 커버(46)와의 사이에 형성되는 공실이며 작동 피스톤(20)보다 헤드 측에 형성된다. 또, 제2 압력실(40)은 작동 피스톤(20)과 격벽(26)과의 사이에 형성되는 공실이며, 작동 피스톤(20)보다 엔드 측에 형성된다. 제1 압력실(38)은 개구(28a)를 통하여 헤드측 포트(28)와 연통하고 있다.The actuating piston 20 is slidably accommodated in the actuating cylinder chamber 14a in the axial direction. An annular packing mounting groove 21a is formed on the outer circumferential surface of the actuating piston 20, and a packing 21 is mounted in the packing mounting groove 21a. The packing 21 is in close contact with the inner circumferential surface of the operating cylinder chamber 14a while being elastically deformed, thereby sealingly dividing the operating cylinder chamber 14a into a first pressure chamber 38 and a second pressure chamber 40. The first pressure chamber 38 is an empty chamber formed between the actuating piston 20 and the head cover 46 and is formed on the head side than the actuating piston 20. Further, the second pressure chamber 40 is an empty chamber formed between the actuating piston 20 and the partition wall 26, and is formed at the end side of the actuating piston 20. The first pressure chamber 38 communicates with the head side port 28 through the opening 28a.

작동 피스톤(20)은 피스톤 로드(18)의 헤드측 연결부(18a)에 있어서 피스톤 로드(18)와 연결되어 있고, 피스톤 로드(18)와 일체로 변위하도록 구성되어 있다.The actuating piston 20 is connected to the piston rod 18 at the head-side connection portion 18a of the piston rod 18, and is configured to be displaced integrally with the piston rod 18.

한편, 엔드측 본체부(16)에는, 증력 피스톤(22)과, 로드 커버(48)와, 엔드측 포트(30)와, 보조유로(76)가 설치되어 있다.On the other hand, in the end-side main body 16, an increase piston 22, a rod cover 48, an end-side port 30, and an auxiliary passage 76 are provided.

증력 피스톤(22)은 엔드측 본체부(16)의 증력 실린더실(16a) 내에 축방향으로 슬라이딩 가능하게 배치되어 있다. 증력 피스톤(22)의 외주면에는 환형상의 패킹 장착홈(23a)과, 환형상의 마그넷 장착홈(24a)이 설치되어 있다. 패킹 장착홈(23a)에는 고무 등의 탄성재료로 이루어지는 링 형상의 패킹(23)이 장착되어 있다. 또, 마그넷 장착홈(24a)에는 원형 링 형상의 마그넷(24)이 장착된다. 또, 마그넷(24)의 외주부에는 도시하지 않은 웨어 링이 장착된다.The increase piston 22 is disposed so as to be slidable in the axial direction in the increase cylinder chamber 16a of the end-side main body 16. On the outer circumferential surface of the increasing piston 22, an annular packing mounting groove 23a and an annular magnet mounting groove 24a are provided. A ring-shaped packing 23 made of an elastic material such as rubber is mounted in the packing mounting groove 23a. Further, a magnet 24 in a circular ring shape is mounted in the magnet mounting groove 24a. Further, a wear ring (not shown) is attached to the outer periphery of the magnet 24.

증력 피스톤(22)은 패킹(23)을 통하여 증력 실린더실(16a)을 제3 압력실(42)과 제4 압력실(44)로 기밀로 구획한다. 제3 압력실(42)은 증력 피스톤(22)의 헤드 측의 공실이며, 증력 피스톤(22)과 격벽(26)과의 사이에 형성된다. 또, 제4 압력실(44)은 증력 피스톤(22)의 엔드 측의 공실이며, 증력 피스톤(22)과 로드 커버(48)와의 사이에 형성된다. 제4 압력실(44)은 엔드측 포트(30)와 연통하고 있다.The increasing piston 22 airtightly divides the increasing cylinder chamber 16a into a third pressure chamber 42 and a fourth pressure chamber 44 through a packing 23. The third pressure chamber 42 is an empty chamber on the head side of the increase piston 22 and is formed between the increase piston 22 and the partition wall 26. Further, the fourth pressure chamber 44 is an empty chamber on the end side of the increasing piston 22 and is formed between the increasing piston 22 and the rod cover 48. The fourth pressure chamber 44 is in communication with the end-side port 30.

또, 증력 피스톤(22)의 헤드 측의 끝면에는 링 형상의 댐퍼 장착홈(25a)이 형성되어 있어, 그 댐퍼 장착홈(25a)에 댐퍼(25)가 장착되어 있다. 댐퍼(25)는 고무 등의 탄성재료로 이루어지고, 증력 피스톤(22)과 격벽(26)과의 충돌을 막도록 구성되어 있다. 증력 피스톤(22)은 피스톤 로드(18)의 중앙부에 설치된 피스톤 장착부(18b)에 연결되어, 피스톤 로드(18)와 축방향으로 일체로 변위하도록 구성되어 있다.Further, a ring-shaped damper mounting groove 25a is formed on the end surface of the head side of the increase piston 22, and the damper 25 is attached to the damper mounting groove 25a. The damper 25 is made of an elastic material such as rubber, and is configured to prevent a collision between the increasing piston 22 and the partition wall 26. The increasing piston 22 is connected to the piston mounting portion 18b provided in the central portion of the piston rod 18, and is configured to be integrally displaced with the piston rod 18 in the axial direction.

로드 커버(48)는 증력 실린더실(16a)의 엔드 측에 장착되어 있다. 로드 커버(48)는 원판 형상으로 형성되어 있고, 그 외주부에는 환형상의 패킹 장착홈(48d)이 형성되어 있다. 패킹 장착홈(48d)에는 원형 링 형상의 패킹(48c)이 장착되어 있다. 패킹(48c)은 패킹 장착홈(48d)을 기밀로 밀봉한다.The rod cover 48 is attached to the end side of the increase cylinder chamber 16a. The rod cover 48 is formed in a disk shape, and an annular packing mounting groove 48d is formed in its outer circumferential portion. A circular ring-shaped packing 48c is attached to the packing mounting groove 48d. The packing 48c hermetically seals the packing mounting groove 48d.

로드 커버(48)의 직경방향의 중심 부근에는, 피스톤 로드(18)를 삽입하기 위한 삽입구멍(48a)이 축방향으로 연장되어 형성되고 있다. 삽입구멍(48a)에는 피스톤 로드(18)를 따른 에어의 누설을 방지하는 로드 패킹(48b)이 설치되어 있다. 또, 로드 커버(48)의 헤드 측의 끝면에는, 링 형상의 댐퍼 장착홈(47a)이 형성되어 있고, 그 댐퍼 장착홈(47a)에 댐퍼(47)가 장착되어 있다. 댐퍼(47)는 원형 링 형상으로 형성된 탄성부재로 이루어지고, 증력 실린더실(16a) 측으로 돌출함으로써 증력 피스톤(22)과 로드 커버(48)와의 충돌을 방지한다.In the vicinity of the center of the rod cover 48 in the radial direction, an insertion hole 48a for inserting the piston rod 18 is formed extending in the axial direction. A rod packing 48b is provided in the insertion hole 48a to prevent leakage of air along the piston rod 18. Further, a ring-shaped damper mounting groove 47a is formed on the end surface of the rod cover 48 on the head side, and the damper 47 is attached to the damper mounting groove 47a. The damper 47 is made of an elastic member formed in a circular ring shape and protrudes toward the increase cylinder chamber 16a to prevent collision between the increase piston 22 and the rod cover 48.

또, 로드 커버(48)의 엔드 측에는 로드 커버(48)를 고정하는 빠짐방지 클립(49)이 부착되어 있다. 빠짐방지 클립(49)은 엔드측 본체부(16)의 내주면을 따라 형성된 걸어맞춤 홈(49a)에 걸어맞춰진 판 부재이다. 빠짐방지 클립(49)은 원주방향 일부가 절취된 링 형상의 판 부재이며, 탄성 복원력에 의해 걸어맞춤 홈(49a)에 걸어맞춰지고, 로드 커버(48)의 엔드 측의 끝면과 맞닿아 로드 커버(48)의 탈락을 저지한다.Further, on the end side of the rod cover 48, a drop-out prevention clip 49 for fixing the rod cover 48 is attached. The anti-fall clip 49 is a plate member engaged with an engaging groove 49a formed along the inner circumferential surface of the end-side main body 16. The anti-fall clip 49 is a ring-shaped plate member in which a part of the circumferential direction is cut, and is engaged with the engaging groove 49a by the elastic restoring force, and abuts the end surface of the end side of the rod cover 48 to the rod cover (48) is prevented from dropping out.

엔드측 포트(30)는 엔드측 본체부(16)의 엔드 측의 단부 부근에 형성되어 있다. 엔드측 포트(30)는 엔드측 본체부(16)의 외주로부터 증력 실린더실(16a)을 향하여 관통하여 형성되어 있고, 증력 실린더실(16a)의 엔드 측의 단부에 있어서, 제4 압력실(44)과 연통하고 있다.The end-side port 30 is formed in the vicinity of the end-side end portion of the end-side main body 16. The end-side port 30 is formed to penetrate from the outer periphery of the end-side main body 16 toward the increase cylinder chamber 16a, and at the end side of the increase cylinder chamber 16a, a fourth pressure chamber ( 44).

보조유로(76)는 엔드측 본체부(16)의 내부에 형성된 유로이며, 축방향으로 연장하고 있다. 보조유로(76)는 그 일단이 엔드측 포트(30)에 연통하고, 타단이 후술하는 격벽(26)의 조정 포트(32)에 연통하고 있다.The auxiliary flow path 76 is a flow path formed inside the end-side main body 16 and extends in the axial direction. The auxiliary passage 76 has one end communicating with the end-side port 30, and the other end communicating with the adjustment port 32 of the partition wall 26 described later.

제3 체크밸브(56)는 보조유로(76)의 도중에 설치되어 있다. 제3 체크밸브(56)는, 보조유로(76)보다 큰 직경의 공동부(56a)와, 그 공동부(56a)에 삽입된 밸브 본체(56b)를 가지고 있다. 바닥이 있는 원통형의 컵 형상으로 형성된 부재로서, 에어의 흐름을 저지하는 방향의 하류측에 바닥(56c)이 배치된다. 밸브 본체(56b)의 바닥(56c)에는, 공동부(56a)의 끝면과 맞닿아, 공동부(56a)에 연통하는 보조유로(76)를 폐쇄하는 환형상 돌기부(56d)가 형성되어 있다.The third check valve 56 is installed in the middle of the auxiliary flow path 76. The third check valve 56 has a cavity 56a having a larger diameter than the auxiliary flow path 76 and a valve body 56b inserted into the cavity 56a. As a member formed in the shape of a cylindrical cup with a bottom, the bottom 56c is disposed on the downstream side in the direction of blocking the flow of air. On the bottom 56c of the valve body 56b, an annular protrusion 56d is formed that abuts against the end surface of the cavity 56a and closes the auxiliary flow path 76 communicating with the cavity 56a.

또, 밸브 본체(56b)의 측부에는 에어가 통하도록 하기 위한 절결부(56e)가 형성되어 있다. 바닥(56c) 측에서 흐르는 에어에 대해서는, 밸브 본체(56b)의 환형상 돌기부(56d)가 공동부(56a)의 끝면으로부터 이격되어, 절결부(56e)를 통하여 에어를 통과시키도록 구성되어 있다. 또, 그 역방향의 에어에 대해서는, 밸브 본체(56b)의 바닥(56c)의 부분이 그 에어의 압력을 받아 환형상 돌기부(56d)가 공동부(56a)의 단면에 맞닿고, 보조유로(76)를 폐쇄하여, 에어의 흐름을 저지하도록 구성되어 있다.Further, a notch 56e is formed on the side of the valve body 56b to allow air to pass therethrough. As for the air flowing from the bottom 56c side, the annular protrusion 56d of the valve body 56b is spaced apart from the end surface of the cavity 56a and is configured to pass air through the cutout 56e. . In addition, with respect to the air in the reverse direction, the portion of the bottom 56c of the valve body 56b receives the pressure of the air, and the annular protrusion 56d abuts the end face of the cavity 56a, and the auxiliary passage 76 ) Is closed to prevent the flow of air.

또한, 제3 체크밸브(56)의 작동을 원활하게 할 수 있도록, 밸브 본체(56b)의 환형상 돌기부(56d)를 공동부(56a)의 끝면에 맞닿는 방향으로 가압하는 스프링 등의 가압부재(56f)를 공동부(56a) 내에 설치할 수도 있다. 또, 후술하는, 제1 체크밸브(52) 및 제2 체크밸브(54)도 제3 체크밸브(56)와 동일한 구조로 되어 있다.In addition, in order to facilitate the operation of the third check valve 56, a pressing member such as a spring that presses the annular protrusion 56d of the valve body 56b in a direction contacting the end surface of the cavity 56a ( 56f) can also be installed in the cavity 56a. In addition, the first check valve 52 and the second check valve 54 described later have the same structure as the third check valve 56.

격벽(26)은, 도 3a에 도시된 바와 같이, 플레이트 형상의 본체(60)를 구비하고 있다. 본체(60)에는, 헤드 측으로 돌출하고 작동 실린더실(14a)에 삽입되는 제1 접속부(63)와, 엔드 측으로 돌출하고 증력 실린더실(16a)에 삽입되는 제2 접속부(64)가 형성되어 있다. 제1 접속부(63)는 작동 실린더실(14a)의 내경과 대략 동일한 외경의 원기둥 형상으로 형성되어 있고, 그 외주부에는 패킹(63a)이 장착되어 있다. 또, 제2 접속부(64)는 증력 실린더실(16a)의 내경과 대략 동일한 외경의 원기둥 형상으로 형성되어 있고, 그 외주부에는 패킹(64a)이 장착되어 있다. 패킹(63a)은 작동 실린더실(14a)과 제1 접속부(63)와의 간극을 밀봉하고, 패킹(64a)은 증력 실린더실(16a)과 제2 접속부(64)와의 간극을 밀봉한다.The partition wall 26 is provided with the plate-shaped main body 60 as shown in FIG. 3A. In the main body 60, a first connecting portion 63 protruding toward the head and inserted into the operating cylinder chamber 14a, and a second connecting portion 64 protruding toward the end and inserted into the increasing cylinder chamber 16a are formed. . The first connecting portion 63 is formed in a cylindrical shape having an outer diameter substantially equal to the inner diameter of the operating cylinder chamber 14a, and a packing 63a is attached to the outer peripheral portion thereof. Further, the second connecting portion 64 is formed in a cylindrical shape having an outer diameter substantially equal to the inner diameter of the increasing cylinder chamber 16a, and a packing 64a is attached to the outer circumferential portion thereof. The packing 63a seals the gap between the operating cylinder chamber 14a and the first connecting portion 63, and the packing 64a seals the gap between the increasing cylinder chamber 16a and the second connecting portion 64.

격벽(26)의 직경방향의 중심 부근에는 피스톤 로드(18)를 삽입하기 위한 관통부(61)가 축방향으로 연장되어 형성되고 있다. 관통부(61)에는 피스톤 로드(18)를 따른 에어의 누설을 방지하는 패킹(62)이 설치되어 있다.In the vicinity of the center of the partition wall 26 in the radial direction, a through portion 61 for inserting the piston rod 18 is formed to extend in the axial direction. The through part 61 is provided with a packing 62 to prevent leakage of air along the piston rod 18.

또, 격벽(26)은, 증력 전환기구(33)를 구성하는, 연통유로(34)와, 연통유로(34)에 설치된 연통전환 밸브(35)와, 배기유로(36)와, 배기유로(36)에 설치된 배기 전환밸브(37)를 갖는다.Further, the partition wall 26 comprises a communication passage 34 constituting the increase switching mechanism 33, a communication switching valve 35 provided in the communication passage 34, an exhaust passage 36, and an exhaust passage ( It has an exhaust selector valve 37 installed in 36).

연통유로(34)는 제2 압력실(40)과 제3 압력실(42)과의 사이에 에어를 유동시키는 유로이며, 격벽(26)을 축방향으로 관통하는 관통구멍(65)과, 그 관통구멍(65)에 삽입된 연통전환 핀(35a)의 내부유로(35e)와, 스토퍼(66)의 구멍부분(66b)으로 구성된다.The communication passage 34 is a passage for flowing air between the second pressure chamber 40 and the third pressure chamber 42, and a through hole 65 penetrating the partition wall 26 in the axial direction, and It is composed of an inner flow path 35e of the communication switching pin 35a inserted in the through hole 65 and a hole portion 66b of the stopper 66.

관통구멍(65)은 격벽(26)을 축방향으로 관통하여 형성되고 있고, 헤드 측에 형성된 대직경부(65a)와, 축방향의 중앙에 형성된 소직경부(65b)와, 엔드 측에 형성된 스토퍼 삽입구멍(65c)을 가지고 있다. 대직경부(65a) 및 스토퍼 삽입구멍(65c)은 소직경부(65b)보다 큰 내경으로 형성되어 있다. 대직경부(65a) 및 소직경부(65b)에는 연통전환 핀(35a)이 삽입된다. 스토퍼 삽입구멍(65c)에는 스토퍼(66)가 삽입된다. 스토퍼(66)는 연통전환 밸브(35)의 연통전환 핀(35a)의 엔드 측에 연결되어 있고, 연통전환 핀(35a)과 일체로 변위한다. 또, 스토퍼(66)가 스토퍼 삽입구멍(65c) 내에서 정지함으로써, 연통전환 핀(35a)의 헤드 측으로의 이동이 규제된다.The through hole 65 is formed by penetrating the partition wall 26 in the axial direction, and inserting a large-diameter portion 65a formed on the head side, a small-diameter portion 65b formed in the center of the axial direction, and a stopper formed on the end side. It has a hole 65c. The large-diameter portion 65a and the stopper insertion hole 65c are formed with an inner diameter larger than that of the small-diameter portion 65b. Communication switching pins 35a are inserted into the large-diameter portion 65a and the small-diameter portion 65b. The stopper 66 is inserted into the stopper insertion hole 65c. The stopper 66 is connected to the end side of the communication switching pin 35a of the communication switching valve 35, and is integrally displaced with the communication switching pin 35a. Further, by stopping the stopper 66 in the stopper insertion hole 65c, the movement of the communication switching pin 35a toward the head is restricted.

연통전환 밸브(35)는 연통전환 핀(35a)을 구비하여 구성된다. 연통전환 핀(35a)은 헤드 측에 형성된 폐쇄부(35c)와, 엔드 측을 향하여 축방향으로 연장하는 로드부(35d)를 갖는다. 로드부(35d)는 관통구멍(65)의 소직경부(65b)의 내경과 대략 동일한 직경으로 형성되어 있고, 소직경부(65b)에 축방향으로 슬라이딩 가능하게 삽입되어 있다. 폐쇄부(35c)는 관통구멍(65)의 대직경부(65a)의 내경과 대략 동일한 직경으로 형성되어, 대직경부(65a)에 삽입 가능하게 구성되어 있다. 폐쇄부(35c)의 외주부에는 링 형상의 패킹(35b)이 장착되어 있다. 패킹(35b)은 폐쇄부(35c)가 대직경부(65a) 내로 밀려들어갈 때, 대직경부(65a)에 밀착하여 연통유로(34)를 밀봉하도록 구성되어 있다.The communication switching valve 35 is configured with a communication switching pin 35a. The communication switching pin 35a has a closing portion 35c formed on the head side and a rod portion 35d extending in the axial direction toward the end side. The rod portion 35d is formed to have a diameter substantially the same as the inner diameter of the small-diameter portion 65b of the through hole 65, and is inserted into the small-diameter portion 65b so as to be slidable in the axial direction. The closing portion 35c is formed to have a diameter substantially the same as the inner diameter of the large-diameter portion 65a of the through hole 65, and is configured to be able to be inserted into the large-diameter portion 65a. A ring-shaped packing 35b is attached to the outer periphery of the closing portion 35c. The packing 35b is configured to seal the communication passage 34 in close contact with the large-diameter portion 65a when the closing portion 35c is pushed into the large-diameter portion 65a.

또, 연통전환 핀(35a)의 폐쇄부(35c)의 엔드 측에는 가압부재(35f)가 장착되어 있다. 가압부재(35f)는 예를 들어 스프링 등으로 이루어지고, 대직경부(65a)와 연통전환 핀(35a)과의 간극에 삽입되어 있다. 가압부재(35f)는 연통전환 핀(35a)을 헤드 측으로 가압하여, 폐쇄부(35c)를 관통구멍(65)으로부터 이격시켜 제2 압력실(40) 측으로 돌출시킨다. 즉, 연통전환 밸브(35)는 연통전환 핀(35a)이 작동 피스톤(20)에 의해 헤드 측으로 가압되지 않은 상태에 있어서, 연통유로(34)의 연통을 방해하지 않도록 구성되어 있다.Further, a pressing member 35f is attached to the end side of the closing portion 35c of the communication switching pin 35a. The pressing member 35f is made of, for example, a spring, and is inserted into a gap between the large-diameter portion 65a and the communication switching pin 35a. The pressing member 35f presses the communication switching pin 35a toward the head, so that the closing portion 35c is separated from the through hole 65 and protrudes toward the second pressure chamber 40. That is, the communication switching valve 35 is configured so as not to interfere with the communication of the communication passage 34 in a state in which the communication switching pin 35a is not pressed toward the head by the operating piston 20.

한편, 배기유로(36)는 격벽(26)의 제1 접속부(63) 측의 끝면에서 개구되고, 축방향으로 연장된 검지 핀 수용구멍(67)과, 검지 핀 수용구멍(67)과 조정 포트(32)에 연통한 접속유로(71)를 가지고 있다. 이 중, 검지 핀 수용구멍(67)은, 헤드 측에 형성된 대직경부(67a)와, 대직경부(67a)의 엔드 측에 형성된 소직경부(67b)와 스토퍼 삽입 구멍(67c)을 가지고 있다. 스토퍼 삽입 구멍(67c)에는 스토퍼(68)가 삽입된다. 스토퍼(68)는 검지 핀(37a)과 연결되어 있고, 검지 핀(37a)과 일체로 변위한다. 스토퍼(68)는 소직경부(67b)의 엔드 측의 단부에서 정지함으로써, 검지 핀(37a)의 헤드 측으로의 이동 범위를 규제한다.On the other hand, the exhaust passage 36 is opened from the end surface of the partition wall 26 on the side of the first connection part 63, and extends in the axial direction, the detection pin receiving hole 67, the detection pin receiving hole 67, and the adjustment port. It has a connection passage (71) in communication with (32). Among them, the detection pin receiving hole 67 has a large diameter portion 67a formed on the head side, a small diameter portion 67b formed on the end side of the large diameter portion 67a, and a stopper insertion hole 67c. The stopper 68 is inserted into the stopper insertion hole 67c. The stopper 68 is connected to the detection pin 37a and is integrally displaced with the detection pin 37a. The stopper 68 is stopped at the end of the small-diameter portion 67b on the end side, thereby restricting the range of movement of the detection pin 37a toward the head side.

접속유로(71)는 소직경부(67b)의 측부에 형성된 개구부(71a)에 있어서 검지 핀 수용구멍(67)과 연통하고 있다. 소직경부(67b)는 개구부(71a) 주위의 소정 범위가 직경이 확대되어 있고, 배기 전환밸브(37)와의 사이에 간극을 형성하고 있다.The connection passage 71 communicates with the detection pin receiving hole 67 in the opening 71a formed on the side of the small diameter portion 67b. The small-diameter portion 67b has an enlarged diameter in a predetermined range around the opening 71a, and a gap is formed between it and the exhaust selector valve 37.

접속유로(71)에는 개구부(71a)로부터 조정 포트(32)로의 방향으로만 에어를 통과시키는 제1 체크밸브(52)가 설치되어 있다. 제1 체크밸브(52)는 제2 압력실(40)로부터의 에어의 배기를 허용하는 방향으로 배치되어 있다.The connection passage 71 is provided with a first check valve 52 that allows air to pass only in the direction from the opening 71a to the adjustment port 32. The first check valve 52 is disposed in a direction allowing exhaust of air from the second pressure chamber 40.

배기 전환밸브(37)는 검지 핀(37a)을 구비한다. 검지 핀(37a)은, 축방향으로 원기둥 형상으로 연장되는 핀 본체부(37b)와, 핀 본체부(37b)의 헤드 측 단부에 있어서 직경방향 외측으로 신장되는 플랜지부(37c)를 구비한다. 플랜지부(37c)는 대직경부(67a)의 내경보다 약간 작은 직경으로 형성되어 있어, 대직경부(67a) 내에 삽입 가능하게 구성되어 있다. 대직경부(67a)에는 스프링 등으로 이루어지는 가압부재(37f)가 장착되어 있다. 가압부재(37f)는 플랜지부(37c)와 맞닿아, 검지 핀(37a)을 헤드 측으로 가압함으로써, 플랜지부(37c)를 제2 압력실(40) 측으로 돌출시키도록 구성되어 있다.The exhaust switching valve 37 has a detection pin 37a. The detection pin 37a includes a pin body portion 37b extending cylindrically in the axial direction, and a flange portion 37c extending radially outward at the head-side end portion of the pin body portion 37b. The flange portion 37c is formed to have a diameter slightly smaller than the inner diameter of the large-diameter portion 67a, and is configured to be able to be inserted into the large-diameter portion 67a. A pressing member 37f made of a spring or the like is attached to the large-diameter portion 67a. The pressing member 37f is configured to come into contact with the flange portion 37c and press the detection pin 37a toward the head so that the flange portion 37c protrudes toward the second pressure chamber 40.

핀 본체부(37b)는 소직경부(67b)의 내경보다 약간 작은 직경으로 형성되어 있어, 소직경부(67b)를 따라 축방향으로 슬라이딩 가능하게 구성되어 있다. 핀 본체부(37b)의 외주부에는 패킹(37d)과 패킹(37e)이 축방향으로 간격을 두고 배치되어 있다. 패킹(37d) 및 패킹(37e)은 검지 핀(37a)이 작동 피스톤(20)에 가압되지 않은 상태에 있어서, 소직경부(67b)와 밀착하여, 검지 핀 수용구멍(67)과 접속유로(71)의 연통을 저지하는 위치에 배치되어 있다. 즉, 배기 전환밸브(37)는 작동 피스톤(20)에 가압되지 않은 상태에 있어서, 배기유로(36)의 연통을 저지하고 있다.The pin body portion 37b is formed to have a diameter slightly smaller than the inner diameter of the small-diameter portion 67b, and is configured to be slidable in the axial direction along the small-diameter portion 67b. A packing 37d and a packing 37e are arranged at intervals in the axial direction on the outer periphery of the pin body part 37b. The packing 37d and the packing 37e are in close contact with the small-diameter portion 67b when the detection pin 37a is not pressed against the actuating piston 20, and the detection pin receiving hole 67 and the connection passage 71 ) Is placed in a position to block communication. That is, the exhaust selector valve 37 prevents communication of the exhaust flow path 36 in a state where it is not pressurized by the actuating piston 20.

조정 포트(32)의 근방의 헤드측 본체부(14)에는, 보충유로(78)와 제2 체크밸브(54)가 설치되어 있다. 보충유로(78)는 조정 포트(32)와 제2 압력실(40)에 연통하고 있다. 보충유로(78)에는 제2 체크밸브(54)가 설치되어 있다. 제2 체크밸브(54)의 일단은 보충유로(78)를 통하여 조정 포트(32)에 연통한다. 또, 제2 체크밸브(54)의 타단은 보충유로(78)를 통하여 제2 압력실(40)에 연통한다. 제2 체크밸브(54)는 조정 포트(32)로부터 제2 압력실(40)로 향하는 방향으로만 에어의 통과를 허용하고, 그 반대 방향의 에어의 통과를 저지한다. 즉, 제2 체크밸브(54)는 제2 압력실(40)에 보충되는 에어의 유동을 허용하고, 그 역방향의 에어를 저지하도록 구성되어 있다.In the head-side body portion 14 in the vicinity of the adjustment port 32, a replenishment passage 78 and a second check valve 54 are provided. The replenishment passage 78 is in communication with the adjustment port 32 and the second pressure chamber 40. A second check valve 54 is installed in the replenishment passage 78. One end of the second check valve 54 communicates with the adjustment port 32 through the replenishment passage 78. Further, the other end of the second check valve 54 communicates with the second pressure chamber 40 through the supplemental passage 78. The second check valve 54 allows air to pass only in the direction from the adjustment port 32 to the second pressure chamber 40 and prevents the air from passing in the opposite direction. That is, the second check valve 54 is configured to allow the flow of air supplemented to the second pressure chamber 40 and to block air in the opposite direction.

본 실시형태의 유체압 실린더(10)는 이상과 같이 구성되고, 도 4a에 도시된 바와 같이, 구동장치(120)에 의해 구동된다.The fluid pressure cylinder 10 of this embodiment is configured as described above, and is driven by the drive device 120 as shown in Fig. 4A.

구동장치(120)는, 제4 체크밸브(86)와, 교축밸브(88)와, 전환밸브(102)와, 고압에어 공급원(고압유체 공급원)(104)과, 배기구(106)를 구비하고 있다. 이 구동장치(120)는, 작동 공정에 있어서, 작동 실린더실(14a)의 제1 압력실(38)에 고압에어를 공급하도록 구성되어 있다. 또 구동장치(120)는, 도 4b에 도시된 바와 같이, 복귀 공정에서는, 제1 압력실(38)에 축적된 에어의 일부를, 제4 압력실(44)을 향해 공급함과 함께, 제2 압력실(40)에 고압에어를 공급하도록 구성되어 있다.The drive device 120 includes a fourth check valve 86, a throttle valve 88, a selector valve 102, a high-pressure air supply source (high-pressure fluid supply source) 104, and an exhaust port 106. have. This drive device 120 is configured to supply high-pressure air to the first pressure chamber 38 of the operating cylinder chamber 14a in an operation step. In addition, as shown in FIG. 4B, in the return process, the drive device 120 supplies part of the air accumulated in the first pressure chamber 38 toward the fourth pressure chamber 44, and the second It is configured to supply high-pressure air to the pressure chamber 40.

전환밸브(102)는 예를 들어 5포트 2위치형의 밸브이며, 제1 포트(102a) 내지 제5 포트(102e)를 가지며, 제1 위치(도 4a 참조)와 제2 위치(도 4b 참조)를 전환 가능하게 되어 있다. 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 제1 포트(102a)는 배관에 의해 헤드측 포트(28)에 접속된다. 제2 포트(102b)는 배관에 의해 조정 포트(32)에 접속된다. 제3 포트(102c)는 배관에 의해 배기구(106)에 접속되어 있다. 제4 포트(102d)는 배관에 의해 고압에어 공급원(104)에 접속되어 있다. 제5 포트(102e)는 배관에 의해 교축밸브(88)를 통하여 배기구(106)에 접속됨과 함께, 제4 체크밸브(86)를 통하여 엔드측 포트(30)에 접속되어 있다.The switching valve 102 is, for example, a 5-port 2-position valve, and has a first port 102a to a fifth port 102e, and a first position (see Fig. 4A) and a second position (see Fig. 4B). ) Can be switched. 4A and 4B, the first port 102a is connected to the head side port 28 by a pipe. The second port 102b is connected to the adjustment port 32 by piping. The third port 102c is connected to the exhaust port 106 by a pipe. The fourth port 102d is connected to the high-pressure air supply source 104 by a pipe. The fifth port 102e is connected to the exhaust port 106 through the throttle valve 88 by piping, and is connected to the end-side port 30 through the fourth check valve 86.

도 4a에 도시된 바와 같이, 전환밸브(102)가 제1 위치에 있을 때는, 제1 포트(102a)와 제4 포트(102d)가 연결되고, 또한, 제2 포트(102b)와 제3 포트(102c)가 연결된다.4A, when the selector valve 102 is in the first position, the first port 102a and the fourth port 102d are connected, and the second port 102b and the third port (102c) is connected.

또, 도 4b에 도시된 바와 같이, 전환밸브(102)가 제2 위치에 있을 때는, 제1 포트(102a)와 제5 포트(102e)가 연결되고, 또한 제2 포트(102b)와 제4 포트(102d)가 연결된다. 전환밸브(102)는 고압에어 공급원(104)으로부터의 파일럿압 또는 전자밸브에 의해 제1 위치와 제2 위치로 전환된다.In addition, as shown in FIG. 4B, when the selector valve 102 is in the second position, the first port 102a and the fifth port 102e are connected, and the second port 102b and the fourth port are connected. Port 102d is connected. The switching valve 102 is switched to a first position and a second position by a pilot pressure from the high-pressure air supply source 104 or an electromagnetic valve.

제4 체크밸브(86)는, 전환밸브(102)가 제2 위치에 있을 때는, 헤드측 포트(28)로부터 엔드측 포트(30)로 향하는 에어의 흐름을 허용하고, 엔드측 포트(30)로부터 헤드측 포트(28)로 향하는 에어의 흐름을 저지한다.The fourth check valve 86 allows the flow of air from the head side port 28 to the end side port 30 when the selector valve 102 is in the second position, and the end side port 30 The flow of air from the port 28 to the head side is prevented.

교축밸브(88)는 배기구(106)로부터 배기되는 제1 압력실(38)의 에어의 양을 제한하기 위해서 설치되어 있고, 배기 유량을 조정할 수 있도록 통로 면적을 변경할 수 있는 가변 교축밸브로서 구성되어 있다.The throttling valve 88 is installed to limit the amount of air in the first pressure chamber 38 exhausted from the exhaust port 106, and is configured as a variable throttling valve that can change the passage area to adjust the exhaust flow rate. have.

또한, 제4 체크밸브(86)와 제4 압력실(44)을 잇는 배관의 도중에, 에어 탱크를 설치하고, 복귀 공정에 있어서 헤드측 포트(28)로부터 엔드측 포트(30)에 공급되는 에어를 축적하도록 할 수도 있다. 에어 탱크를 설치하는 것에 의해, 복귀 동작시에 제4 압력실(44)을 채우는데 충분한 양의 에어를 축적할 수 있어, 복귀 동작을 안정화시킬 수 있다. 이 경우, 에어 탱크의 용량은, 예를 들어, 제1 압력실(38)의 최대 용량의 약 절반으로 설정할 수 있다. 배관의 용량을 충분히 확보할 수 있는 경우에는, 에어 탱크는 불필요하다.In addition, an air tank is provided in the middle of the pipe connecting the fourth check valve 86 and the fourth pressure chamber 44, and air supplied to the end-side port 30 from the head-side port 28 in the return process. Can also be made to accumulate. By providing the air tank, it is possible to accumulate a sufficient amount of air to fill the fourth pressure chamber 44 during the return operation, thereby stabilizing the return operation. In this case, the capacity of the air tank can be set to about half of the maximum capacity of the first pressure chamber 38, for example. When the capacity of the piping can be sufficiently secured, an air tank is unnecessary.

유체압 실린더(10) 및 구동장치(120)는, 이상과 같이 구성되는 것이며, 이하 그 작용 및 동작에 대해 설명한다.The fluid pressure cylinder 10 and the drive device 120 are configured as described above, and the operation and operation thereof will be described below.

(기동 공정)(Startup process)

기동 공정은, 유체압 실린더(10)의 사용 개시에 앞서, 제2 압력실(40) 및 제3 압력실(42)에 고압에어를 충전한다. 또한, 고압에어란, 대기압보다 높은 압력의 에어이다. 여기에서는, 유체압 실린더(10)를, 도 1에 도시된 바와 같이 스트로크의 시작 위치로 설정한다. 또 구동장치(120)의 전환밸브(102)를 제2 위치(도 4b 참조)로 한다. 이것에 의해, 고압에어 공급원(104)이 조정 포트(32)에 접속된다. 도 4b에 도시된 바와 같이, 고압에어 공급원(104)의 고압에어는 제2 체크밸브(54)를 통하여 제2 압력실(40)에 도입된다. 또, 제2 압력실(40)에 도입된 고압에어는 연통유로(34)를 통하여 제3 압력실(42)에도 도입된다. 이것에 의해, 제2 압력실(40) 및 제3 압력실(42)에 고압에어가 충전된 상태가 된다. 기동 공정은 유체압 실린더(10)의 최초의 스트로크 전에 1번만 행하면 된다.In the starting process, the second pressure chamber 40 and the third pressure chamber 42 are filled with high-pressure air prior to the start of use of the fluid pressure cylinder 10. In addition, high-pressure air is air with a pressure higher than atmospheric pressure. Here, the fluid pressure cylinder 10 is set to the start position of the stroke as shown in FIG. 1. Further, the selector valve 102 of the drive device 120 is set to the second position (see Fig. 4B). Thereby, the high-pressure air supply source 104 is connected to the adjustment port 32. As shown in FIG. 4B, high-pressure air from the high-pressure air supply source 104 is introduced into the second pressure chamber 40 through the second check valve 54. In addition, high-pressure air introduced into the second pressure chamber 40 is also introduced into the third pressure chamber 42 through the communication passage 34. As a result, the second pressure chamber 40 and the third pressure chamber 42 are filled with high-pressure air. The starting process only needs to be performed once before the first stroke of the fluid pressure cylinder 10.

(작동 공정)(Operation process)

도 4a에 도시된 바와 같이, 유체압 실린더(10)의 작동 공정은 구동장치(120)의 전환밸브(102)를 제1 위치로 하여 행한다. 고압에어 공급원(104)으로부터의 고압에어는 전환밸브(102)의 제1 포트(102a)를 통하여 헤드측 포트(28)에 공급된다. 제4 체크밸브(86)는 제5 포트(102e) 측에 접속되어 있어, 제4 체크밸브(86) 측으로는 고압에어가 흐르지 않는다. 제4 압력실(44)은, 제3 체크밸브(56), 조정 포트(32), 제2 포트(102b)를 통하여 배기구(106)에 접속되어 있다.As shown in Fig. 4A, the operating process of the fluid pressure cylinder 10 is performed with the switching valve 102 of the drive device 120 at the first position. High-pressure air from the high-pressure air supply source 104 is supplied to the head-side port 28 through the first port 102a of the switching valve 102. The fourth check valve 86 is connected to the fifth port 102e side, and high-pressure air does not flow to the fourth check valve 86 side. The 4th pressure chamber 44 is connected to the exhaust port 106 through the 3rd check valve 56, the adjustment port 32, and the 2nd port 102b.

도 5에 도시된 바와 같이, 작동 공정에 있어서, 고압에어 공급원(104)으로부터의 고압에어는, 화살표 B로 도시된 바와 같이, 제1 압력실(38)에 흘러들어간다. 제2 압력실(40)의 고압에어에 의해 작동 피스톤에 작용하는 힘과, 제3 압력실(42)에 충전된 고압에어에 의해 증력 피스톤(22)에 작용하는 힘은 동일한 크기로 반대 방향으로 균형이 맞춰지기 때문에, 추력에는 기여하지 않는다. 따라서, 피스톤 로드(18)에는, 작동 피스톤(20)에 인접하는 제1 압력실(38)과 증력 피스톤(22)에 인접하는 제4 압력실(44)과의 압력 차이에 상응하는 추력이 발생하고, 피스톤 로드(18)가 엔드 측을 향하여 스트로크 한다.As shown in FIG. 5, in the operation process, high-pressure air from the high-pressure air supply source 104 flows into the first pressure chamber 38, as shown by arrow B. The force acting on the working piston by the high-pressure air in the second pressure chamber 40 and the force acting on the increasing piston 22 by the high-pressure air charged in the third pressure chamber 42 are equal in magnitude and in opposite directions. Because it is balanced, it does not contribute to thrust. Accordingly, in the piston rod 18, a thrust corresponding to the pressure difference between the first pressure chamber 38 adjacent to the actuating piston 20 and the fourth pressure chamber 44 adjacent to the increasing piston 22 is generated. And, the piston rod 18 strokes toward the end side.

작동 피스톤(20)의 스트로크에 수반하여, 유체압 실린더(10)에는, 제1 압력실(38)의 용적과 동일한 양의 고압에어가 고압에어 공급원(104)(도 4a 참조)으로부터 공급된다. 작동 피스톤(20) 및 증력 피스톤(22)의 스트로크에 따라, 제2 압력실(40) 내의 고압에어가 연통유로(34)를 통해서 제3 압력실(42)로 이동한다. 작동 공정 간에, 제2 압력실(40) 및 제3 압력실(42)에 축적된 고압에어의 압력은 일정하게 유지된다. 또, 제4 압력실(44)의 에어는 증력 피스톤(22)의 스트로크에 수반하여 제4 압력실(44)로부터 배기된다. 이 경우, 제4 압력실(44)의 에어는, 제3 체크밸브(56) 및 보조유로(76)를 거쳐 조정 포트(32)를 통과하고, 도 4a에 도시된 바와 같이, 전환밸브(102)의 제2 포트(102b)를 통해서 배기구(106)로부터 배기된다.With the stroke of the working piston 20, the fluid pressure cylinder 10 is supplied with high-pressure air in an amount equal to the volume of the first pressure chamber 38 from the high-pressure air supply source 104 (see Fig. 4A). In accordance with the strokes of the actuating piston 20 and the increasing piston 22, the high-pressure air in the second pressure chamber 40 moves to the third pressure chamber 42 through the communication passage 34. Between the operating processes, the pressure of the high-pressure air accumulated in the second pressure chamber 40 and the third pressure chamber 42 is kept constant. Further, the air in the fourth pressure chamber 44 is exhausted from the fourth pressure chamber 44 along with the stroke of the increasing piston 22. In this case, the air in the fourth pressure chamber 44 passes through the adjustment port 32 through the third check valve 56 and the auxiliary flow path 76, and, as shown in FIG. 4A, the selector valve 102 ) Is exhausted from the exhaust port 106 through the second port 102b.

(증력 공정)(Intensification process)

도 6에 도시된 바와 같이, 작동 피스톤(20)의 스트로크에 수반하여, 연통전환 밸브(35)의 연통전환 핀(35a)(도 3b 참조)이 엔드 측으로 가압됨과 함께, 배기 전환밸브(37)의 검지 핀(37a)(도 3b 참조)도 엔드 측으로 가압된다.6, with the stroke of the operating piston 20, the communication switching pin 35a (see FIG. 3B) of the communication switching valve 35 is pressurized toward the end, and the exhaust switching valve 37 The detection pin 37a (see Fig. 3B) is also pressed toward the end side.

그 결과, 도 3b에 도시된 바와 같이, 연통전환 핀(35a)의 폐쇄부(35c)가 관통구멍(65)의 대직경부(65a)에 삽입된다. 그리고, 폐쇄부(35c)의 패킹(35b)이 대직경부(65a)와 폐쇄부(35c)의 간극을 밀봉하는 것에 의해, 연통유로(34)를 폐쇄한다. 즉, 연통전환 밸브(35)에 의해, 연통유로(34)를 통한 제2 압력실(40)과 제3 압력실(42)과의 사이의 에어의 유동이 저지된다.As a result, as shown in FIG. 3B, the closing portion 35c of the communication switching pin 35a is inserted into the large diameter portion 65a of the through hole 65. Then, the packing 35b of the closing portion 35c closes the communication passage 34 by sealing the gap between the large-diameter portion 65a and the closing portion 35c. That is, the flow of air between the second pressure chamber 40 and the third pressure chamber 42 through the communication passage 34 is prevented by the communication switching valve 35.

또, 배기 전환밸브(37)의 검지 핀(37a)이 엔드 측으로 변위하는 것에 의해, 검지 핀(37a)과 검지 핀 수용구멍(67)과의 간극을 밀봉하고 있던 패킹(37d)이 오목한 형상으로 함몰된 개구부(71a)로 이동한다. 이것에 의해, 배기유로(36)가 열려, 조정 포트(32)와 제2 압력실(40)이 배기유로(36)를 통해서 연통한다. 제2 압력실(40)에 축적된 고압에어는 제1 체크밸브(52), 조정 포트(32)를 통하여 배기구(106)로부터 배기된다. 그 결과, 제2 압력실(40)의 내압이 내려가, 작동 피스톤(20)에는 제2 압력실(40)과 제1 압력실(38)과의 내압의 차이에 따른 추력이 발생한다.In addition, when the detection pin 37a of the exhaust selector valve 37 is displaced toward the end side, the packing 37d sealing the gap between the detection pin 37a and the detection pin receiving hole 67 is concave. It moves to the recessed opening 71a. As a result, the exhaust flow path 36 is opened, and the adjustment port 32 and the second pressure chamber 40 communicate with each other through the exhaust flow path 36. The high-pressure air accumulated in the second pressure chamber 40 is exhausted from the exhaust port 106 through the first check valve 52 and the adjustment port 32. As a result, the internal pressure of the second pressure chamber 40 decreases, and a thrust force is generated in the operating piston 20 according to the difference in the internal pressure between the second pressure chamber 40 and the first pressure chamber 38.

또, 증력 피스톤(22)에는, 제3 압력실(42)에 축적된 고압에어의 압력과 제4 압력실(44)의 압력 차이에 따른 추력이 발생한다. 이것에 의해, 유체압 실린더(10)는, 스트로크 엔드 부근에 있어서, 추력을 증대시킬 수 있다. 유체압 실린더(10)에 있어서의 추력의 증대는 연통전환 밸브(35) 및 배기 전환밸브(37)가 작동하는 범위에서의 제2 압력실(40)의 고압에어의 배기에 의해 생성된다.In addition, thrust is generated in the increase piston 22 according to a pressure difference between the pressure of the high-pressure air accumulated in the third pressure chamber 42 and the pressure of the fourth pressure chamber 44. Thereby, the fluid pressure cylinder 10 can increase thrust in the vicinity of the stroke end. The increase in thrust in the fluid pressure cylinder 10 is generated by exhausting the high pressure air from the second pressure chamber 40 in the range in which the communication switching valve 35 and the exhaust switching valve 37 operate.

(복귀 공정)(Return process)

도 4b에 도시된 바와 같이, 유체압 실린더(10)의 복귀 공정은 구동장치(120)의 전환밸브(102)를 제2 위치로 하여 행한다. 고압에어 공급원(104)로부터의 고압에어는 전환밸브(102)의 제2 포트(102b)를 통하여 조정 포트(32)에 공급된다. 전환밸브(102)의 제1 포트(102a)는 제5 포트(102e)에 연결되고, 헤드측 포트(28)가 제4 체크밸브(86)를 통하여 엔드측 포트(30)에 연결된다. 또 헤드측 포트(28)는 교축밸브(88)를 통하여 배기구(106)에 연결된다. 그 결과, 제1 압력실(38)에 축적된 에어의 일부는 제4 체크밸브(86) 측을 통하여 제4 압력실(44)에 공급된다. 또, 제1 압력실(38)에 축적된 에어의 나머지의 일부는 배기구(106)로부터 배기된다.As shown in Fig. 4B, the return process of the fluid pressure cylinder 10 is performed with the selector valve 102 of the drive device 120 at the second position. High-pressure air from the high-pressure air supply source 104 is supplied to the adjustment port 32 through the second port 102b of the switching valve 102. The first port 102a of the switching valve 102 is connected to the fifth port 102e, and the head-side port 28 is connected to the end-side port 30 through the fourth check valve 86. Further, the head-side port 28 is connected to the exhaust port 106 through a throttle valve 88. As a result, part of the air accumulated in the first pressure chamber 38 is supplied to the fourth pressure chamber 44 through the fourth check valve 86 side. Further, a part of the remaining air accumulated in the first pressure chamber 38 is exhausted from the exhaust port 106.

도 7에 도시된 바와 같이, 복귀 공정에서는, 유체압 실린더(10)의 조정 포트(32)에, 화살표 B로 도시된 바와 같이, 고압에어 공급원(104)으로부터의 고압에어가 공급된다. 조정 포트(32)에 공급된 고압에어는 보충유로(78) 및 제2 체크밸브(54)를 거쳐 제2 압력실(40)에 유입된다. 제2 압력실(40)에 공급되는 고압에어의 용량은, 증력 공정에 있어서 제2 압력실(40)로부터 배기된 고압에어의 양과 동일하다. 즉, 증력 공정에 필요한 고압에어가 복귀 공정 동안에 보충된다. 그 때에 공급되는 고압에어의 양은 작동 피스톤(20)의 스트로크에 필요한 고압에어의 양에 비해 적고, 적은 고압에어의 추가만으로도 좋다.As shown in Fig. 7, in the return process, high-pressure air from the high-pressure air supply source 104 is supplied to the adjustment port 32 of the fluid pressure cylinder 10, as shown by arrow B. The high-pressure air supplied to the adjustment port 32 flows into the second pressure chamber 40 through the supplementary flow path 78 and the second check valve 54. The volume of high-pressure air supplied to the second pressure chamber 40 is the same as the amount of high-pressure air exhausted from the second pressure chamber 40 in the increase process. That is, the high-pressure air required for the increase process is replenished during the return process. The amount of high-pressure air supplied at that time is less than the amount of high-pressure air required for the stroke of the working piston 20, and it is sufficient to add a small amount of high-pressure air.

복귀 공정에서는, 제2 압력실(40)의 내압이 제3 압력실(42)의 내압과 동일해지기 때문에, 제2 압력실(40)이 작동 피스톤(20)에 미치는 힘과, 제3 압력실(42)이 증력 피스톤(22)에 미치는 힘은 균형이 맞아 서로 상쇄된다.In the return process, since the internal pressure of the second pressure chamber 40 becomes the same as the internal pressure of the third pressure chamber 42, the force exerted by the second pressure chamber 40 on the actuating piston 20 and the third pressure The forces exerted by the seal 42 on the increasing force piston 22 are balanced and cancel each other out.

한편, 제4 압력실(44)에는, 화살표 A에 도시된 바와 같이, 제1 압력실(38)로부터 배기된 고압에어의 일부가 유입된다. 제1 압력실(38)의 에어의 배기가 진행됨에 따라, 제4 압력실(44)과 제1 압력실(38)과의 압력차이가 증대되고, 작동 피스톤(20), 증력 피스톤(22) 및 피스톤 로드(18)가 헤드 측으로 이동을 개시한다. 그에 따라, 연통전환 밸브(35)가 원래의 위치로 복귀하고, 연통유로(34)를 통해서 제2 압력실(40)과 제3 압력실(42)이 연통한다. 또, 배기 전환밸브(37)는 배기유로(36)를 밀봉하여 조정 포트(32)와 제2 압력실(40)과의 연통을 저지한다.Meanwhile, a part of the high-pressure air exhausted from the first pressure chamber 38 flows into the fourth pressure chamber 44 as shown by arrow A. As the air exhausting from the first pressure chamber 38 proceeds, the pressure difference between the fourth pressure chamber 44 and the first pressure chamber 38 increases, and the actuating piston 20 and the increasing piston 22 And the piston rod 18 starts moving toward the head. Accordingly, the communication switching valve 35 returns to its original position, and the second pressure chamber 40 and the third pressure chamber 42 communicate with each other through the communication passage 34. Further, the exhaust selector valve 37 seals the exhaust passage 36 to prevent communication between the adjustment port 32 and the second pressure chamber 40.

그 후, 도 8에 도시된 바와 같이, 제4 압력실(44)에 에어가 유입되면서 제1 압력실(38)의 배기가 진행되고, 작동 피스톤(20) 및 증력 피스톤(22)이 스트로크의 시작 위치에 복귀하여, 복귀 공정이 완료한다.Thereafter, as shown in FIG. 8, as air flows into the fourth pressure chamber 44, the exhaust of the first pressure chamber 38 proceeds, and the actuating piston 20 and the increasing force piston 22 It returns to the start position, and the return process is completed.

본 실시형태에 따른 유체압 실린더(10)는 이하의 효과를 거둔다.The fluid pressure cylinder 10 according to the present embodiment has the following effects.

유체압 실린더(10)는, 유체압 실린더(10)에 있어서, 증력 전환기구(33)로서 제2 압력실(40)과 제3 압력실(42)에 연통한 연통유로(34)와, 제2 압력실(40)에 연통한 배기유로(36)와, 작동 피스톤(20)이 소정 위치보다 헤드 측에 위치하는 동안에는 연통유로(34)를 개방함과 함께 작동 피스톤(20)이 소정 위치보다 엔드 측으로 이동하였을 때 연통유로(34)를 폐쇄하는 연통전환 밸브(35)와, 작동 피스톤(20)이 소정 위치보다 헤드 측에 위치하는 동안에는 배기유로(36)를 폐쇄함과 함께 작동 피스톤(20)이 소정 위치보다 엔드 측으로 이동하였을 때 배기유로(36)를 개방하여 제2 압력실(40)의 고압유체의 배기를 행하는 배기 전환밸브(37)를 갖는다. 이것에 의해, 스트로크 엔드 부근에 있어서, 제2 압력실(40)과 제3 압력실(42)이 분리되고, 제3 압력실(42)의 고압에어를 유지하면서도 제2 압력실(40)의 고압에어를 배기할 수 있다. 이것에 의해, 작동 피스톤(20)의 추력에 더하여, 증력 피스톤(22)의 추력이 가산되고, 스트로크 후반에 추력을 증가시킬 수 있다.In the fluid pressure cylinder 10, the fluid pressure cylinder 10 includes a communication passage 34 communicating with the second pressure chamber 40 and the third pressure chamber 42 as an increase force switching mechanism 33, 2 While the exhaust flow path 36 in communication with the pressure chamber 40 and the operating piston 20 are located on the head side rather than a predetermined position, the communication flow path 34 is opened and the operating piston 20 When moving to the end side, the communication switching valve 35 closes the communication flow path 34, and while the operating piston 20 is positioned on the head side rather than a predetermined position, the exhaust flow path 36 is closed and the operating piston 20 When) is moved to the end side from the predetermined position, the exhaust flow path 36 is opened to exhaust the high-pressure fluid in the second pressure chamber 40, and an exhaust switching valve 37 is provided. Thereby, in the vicinity of the stroke end, the second pressure chamber 40 and the third pressure chamber 42 are separated, and while maintaining the high-pressure air in the third pressure chamber 42, the second pressure chamber 40 is High-pressure air can be exhausted. Thereby, in addition to the thrust of the actuating piston 20, the thrust of the increasing piston 22 is added, and the thrust can be increased in the latter half of the stroke.

유체압 실린더(10)에 있어서, 격벽(26)은 조정 포트(32)를 가지며, 배기유로(36)는 조정 포트(32)를 통하여 제2 압력실(40)의 고압유체를 배기하도록 할 수도 있다.In the fluid pressure cylinder 10, the partition wall 26 has an adjustment port 32, and the exhaust passage 36 may exhaust the high pressure fluid in the second pressure chamber 40 through the adjustment port 32. have.

유체압 실린더(10)에 있어서, 증력 전환기구(33)는 연통전환 밸브(35)가 연통유로(34)를 닫은 후에 배기 전환밸브(37)가 배기유로(36)를 열도록 할 수 있다. 이것에 의해, 제2 압력실(40)을 통한 제3 압력실(42)의 고압에어의 유출을 막을 수 있고, 고압에어의 사용량을 억제할 수 있다.In the fluid pressure cylinder 10, the increase switching mechanism 33 may cause the exhaust switching valve 37 to open the exhaust passage 36 after the communication switching valve 35 closes the communication passage 34. Thereby, it is possible to prevent the outflow of high-pressure air from the third pressure chamber 42 through the second pressure chamber 40 and suppress the amount of high-pressure air used.

유체압 실린더(10)에 있어서, 연통전환 밸브(35)는 일단이 제2 압력실(40) 측으로 돌출하고 타단이 연통유로(34)에 삽입된 연통전환 핀(35a)을 가지며, 연통전환 핀(35a)이 작동 피스톤(20)에 가압되어 엔드 측으로 변위하는 것에 의해, 연통유로(34)를 폐쇄하도록 할 수 있다. 이것에 의해, 작동 피스톤(20)의 스트로크 동작을 이용하여 연통전환 밸브(35)를 작동시킬 수 있고, 장치 구성을 간략화할 수 있다.In the fluid pressure cylinder 10, the communication switching valve 35 has a communication switching pin 35a having one end protruding toward the second pressure chamber 40 and the other end inserted into the communication passage 34, and a communication switching pin The communication passage 34 can be closed by the 35a being pressed against the actuating piston 20 and displaced toward the end. Thereby, the communication switching valve 35 can be operated using the stroke operation of the actuating piston 20, and the device configuration can be simplified.

유체압 실린더(10)에 있어서, 배기 전환밸브(37)는, 배기유로(36)를 밀봉함과 함께, 일단이 제2 압력실(40)로 돌출하는 검지 핀(37a)을 가지며, 검지 핀(37a)이 작동 피스톤(20)에 가압되어 엔드 측으로 변위하는 것에 의해, 배기유로(36)의 밀봉이 해제되도록 구성할 수 있다. 이것에 의해, 작동 피스톤(20)의 스트로크 동작을 이용하여, 배기유로(36)를 통한 제2 압력실(40)의 배기를 행할 수 있고, 장치 구성이 간소화된다.In the fluid pressure cylinder 10, the exhaust selector valve 37 seals the exhaust passage 36 and has a detection pin 37a having one end protruding into the second pressure chamber 40, and the detection pin It can be configured so that the sealing of the exhaust flow path 36 is released by the pressure 37a being pressed against the actuating piston 20 and displaced toward the end side. Thereby, the second pressure chamber 40 can be exhausted through the exhaust flow path 36 using the stroke operation of the actuating piston 20, and the device configuration is simplified.

유체압 실린더(10)에 있어서, 배기유로(36)에는, 제2 압력실(40)로부터 조정 포트(32)를 향하는 방향으로만 에어를 통과시키고, 그 역방향의 에어를 저지하는 제1 체크밸브(52)가 설치되어 있을 수 있다. 이것에 의해, 복귀 공정에 있어서, 배기 전환밸브(37)의 오동작을 방지할 수 있다.In the fluid pressure cylinder 10, a first check valve that passes air through the exhaust passage 36 only in a direction from the second pressure chamber 40 toward the adjustment port 32 and blocks air in the opposite direction. (52) may have been installed. Thereby, it is possible to prevent malfunction of the exhaust selector valve 37 in the return process.

유체압 실린더(10)에 있어서, 조정 포트(32)와 제2 압력실(40)에 연통하는 보충유로(78)를 더 가지며, 보충유로(78)에는 조정 포트(32)로부터 제2 압력실(40)로 향하는 방향으로만 에어를 통과시키고, 그 역방향의 에어를 저지하는 제2 체크밸브(54)가 설치되어 있을 수 있다. 제2 체크밸브(54)를 설치하는 것에 의해, 복귀 공정에 있어서, 제2 압력실(40)로의 과잉의 고압에어의 유입을 억제할 수 있다.In the fluid pressure cylinder 10, the adjustment port 32 and the second pressure chamber 40 are further provided with a supplemental flow path 78, and the supplemental flow path 78 is provided with a second pressure chamber from the adjustment port 32. A second check valve 54 that allows air to pass only in a direction toward 40 and blocks air in the opposite direction may be provided. By providing the second check valve 54, it is possible to suppress the inflow of excessive high-pressure air into the second pressure chamber 40 in the return process.

상기한 유체압 실린더(10)에 있어서, 제4 압력실(44)과 조정 포트(32)에 연통하는 보조유로(76)를 더 가질 수 있다. 이것에 의해, 작동 공정 및 증력 공정에 있어서, 조정 포트(32)를 통해서 제4 압력실(44)의 에어의 배기를 행할 수 있다.In the above-described fluid pressure cylinder 10, it may further have an auxiliary flow path 76 communicating with the fourth pressure chamber 44 and the adjustment port 32. Thereby, in the operation process and the increase process, the air in the 4th pressure chamber 44 can be exhausted through the adjustment port 32. As shown in FIG.

상기한 유체압 실린더(10)에 있어서, 보조유로(76)에는, 제4 압력실(44)로부터 조정 포트(32)로 향하는 방향의 에어만을 통과시키고, 그 역방향의 에어를 저지하는 제3 체크밸브(56)가 설치되어 있을 수 있다. 이것에 의해, 복귀 공정에 있어서, 조정 포트(32)에 고압에어를 공급할 때, 제4 압력실(44)에 고압에어가 흘러들어가는 것을 막아, 고압에어의 소비량을 억제할 수 있다.In the above-described fluid pressure cylinder 10, only air in the direction from the fourth pressure chamber 44 to the adjustment port 32 is passed through the auxiliary flow path 76, and a third check for blocking air in the opposite direction. Valve 56 may be installed. Thereby, when supplying high-pressure air to the adjustment port 32 in the return process, it is possible to prevent the high-pressure air from flowing into the fourth pressure chamber 44, thereby suppressing the consumption amount of high-pressure air.

유체압 실린더(10)에 있어서, 유체압 실린더(10)의 제1 압력실(38), 제2 압력실(40) 및 제4 압력실(44)에 접속되는 구동장치(120)를 더 구비하며, 구동장치(120)는, 전환밸브(102)와, 고압에어 공급원(104)과, 배기구(106)와, 제4 체크밸브(86)를 가지며, 전환밸브(102)의 제1 위치에 있어서, 제1 압력실(38)이 고압에어 공급원(104)에 연통함과 함께, 제4 압력실(44) 및 조정 포트(32)(증력 전환기구(33))가 배기구(106)에 연통하며, 전환밸브(102)의 제2 위치에 있어서, 제1 압력실(38)이 제4 체크밸브(86)를 통하여 제4 압력실(44)에 연통함과 함께 제1 압력실(38)이 배기구(106)에 연통하고, 또한, 제2 압력실(40)이 조정 포트(32)를 통하여 고압에어 공급원(104)에 연통하도록 구성할 수 있다. 이것에 의해, 복귀 공정에 있어서, 제4 압력실(44)에 제1 압력실(38)에 축적된 에어를 공급할 수 있으므로, 고압에어의 소비량을 억제할 수 있다.In the hydraulic cylinder 10, further comprising a driving device 120 connected to the first pressure chamber 38, the second pressure chamber 40, and the fourth pressure chamber 44 of the fluid pressure cylinder 10. And, the driving device 120 has a selector valve 102, a high-pressure air supply source 104, an exhaust port 106, and a fourth check valve 86, and is at the first position of the selector valve 102. In addition, the first pressure chamber 38 communicates with the high-pressure air supply source 104, and the fourth pressure chamber 44 and the adjustment port 32 (intensity switch mechanism 33) communicate with the exhaust port 106. In the second position of the switching valve 102, the first pressure chamber 38 communicates with the fourth pressure chamber 44 through the fourth check valve 86, and the first pressure chamber 38 It can be configured to communicate with the exhaust port 106 and to communicate with the high-pressure air supply source 104 through the adjustment port 32 and the second pressure chamber 40. Thereby, in the return process, since the air accumulated in the first pressure chamber 38 can be supplied to the fourth pressure chamber 44, the consumption amount of high-pressure air can be suppressed.

상기한 유체압 실린더(10)에 있어서, 제1 압력실(38)과 배기구(106)와의 사이에 교축밸브(88)를 설치할 수 있다. 이것에 의해, 제4 압력실(44)에 공급하는 에어의 양을 적절히 조절할 수 있다.In the fluid pressure cylinder 10 described above, a throttling valve 88 can be provided between the first pressure chamber 38 and the exhaust port 106. Thereby, the amount of air supplied to the 4th pressure chamber 44 can be adjusted suitably.

(제2 실시형태)(2nd embodiment)

본 실시형태의 유체압 실린더(10a)는, 도 9a에 도시된 바와 같이, 헤드측 본체부(14A)와 엔드측 본체부(16A)를 갖는다. 본 실시형태에서는, 엔드측 본체부(16A)에 고압유체를 봉입하고 있다. 또, 스트로크 엔드에서의 추력을 더욱 증가시킬 수 있도록, 엔드측 본체부(16A)의 사이즈(폭 및 높이)를 헤드측 본체부(14A)의 사이즈보다 크게 하고 있다.As shown in FIG. 9A, the fluid pressure cylinder 10a of this embodiment has a head-side main body part 14A and an end-side main body part 16A. In this embodiment, the high-pressure fluid is sealed in the end-side main body 16A. Further, in order to further increase the thrust at the stroke end, the size (width and height) of the end-side body portion 16A is made larger than the size of the head-side body portion 14A.

도 9b에 도시된 바와 같이, 헤드측 본체부(14A) 및 엔드측 본체부(16A)는 단면이 각형으로 형성되어 있다. 헤드측 본체부(14A) 및 엔드측 본체부(16A)는 연결로드 또는 볼트에 의해 축방향으로 연결되어 있다.As shown in Fig. 9B, the head-side main body portion 14A and the end-side main body portion 16A have a rectangular cross section. The head-side body portion 14A and the end-side body portion 16A are axially connected by a connecting rod or bolt.

도 10에 도시된 바와 같이, 유체압 실린더(10a)의 실린더 몸체(12a)는 헤드측 본체부(14A)와 엔드측 본체부(16A)를 구비하고, 양자가 격벽부(126)를 통하여 축방향으로 연결되어 있다. 헤드측 본체부(14A)에는, 헤드측 포트(28A)와 엔드측 포트(30A)가 설치되어 있다. 엔드측 본체부(16A)에는, 엔드 측의 단부 부근에 조정 포트(32A)가 설치되어 있다.As shown in Fig. 10, the cylinder body 12a of the fluid pressure cylinder 10a includes a head-side body portion 14A and an end-side body portion 16A, and both are axially formed through the partition wall portion 126. It is connected in the direction. The head-side main body portion 14A is provided with a head-side port 28A and an end-side port 30A. In the end-side body portion 16A, an adjustment port 32A is provided in the vicinity of the end-side end portion.

또, 격벽부(126)의 외주 부근에는, 증력 실린더실(116a)에 봉입된 고압에어를 배출하기 위한 저축에어 배기포트(162)가 형성되어 있다. 저축에어 배기포트(162)는 조정밸브(160)를 통하여 제3 압력실(42)에 연통하고 있다. 저축에어 배기 포트(162)는, 유체압 실린더(10a)의 유지보수시 등에 증력 실린더실(116a) 내에 저축된 고압에어를 배출하거나, 기동할 때 증력 실린더실(116a)에 고압에어를 도입하거나 하기 위해서 이용된다.Further, in the vicinity of the outer periphery of the partition wall portion 126, a storage air exhaust port 162 for discharging the high-pressure air enclosed in the increase cylinder chamber 116a is formed. The saving air exhaust port 162 is in communication with the third pressure chamber 42 through an adjustment valve 160. The stored air exhaust port 162 discharges the high-pressure air stored in the increase cylinder chamber 116a during maintenance of the fluid pressure cylinder 10a, or introduces high-pressure air into the increase cylinder chamber 116a when starting. It is used to do.

격벽부(126)의 중앙부에는, 피스톤 로드(18A)를 슬라이딩 가능하게 삽입시키는 삽입구멍(126c)이 형성되어 있다. 삽입구멍(126c)에는, 축방향으로의 유체의 누출을 막기 위한 패킹(118)이 설치되어 있다. 격벽부(126)에는, 헤드 측으로 연장되어 작동 실린더실(14a) 내에 삽입되는 헤드측 접속부(126a)가 설치되어 있다. 또, 격벽부(126)의 엔드 측에는, 증력 실린더실(116a)에 삽입되는 엔드측 접속부(126b)가 설치되어 있다. 엔드측 접속부(126b)에는, 증력 피스톤(22A)과의 충돌을 회피하기 위한 링 형상의 완충부재(124)가 장착되어 있다.In the central portion of the partition wall portion 126, an insertion hole 126c through which the piston rod 18A is slidably inserted is formed. The insertion hole 126c is provided with a packing 118 for preventing leakage of fluid in the axial direction. The partition wall portion 126 is provided with a head-side connecting portion 126a that extends toward the head and is inserted into the operating cylinder chamber 14a. Further, on the end side of the partition wall portion 126, an end-side connection portion 126b inserted into the increase cylinder chamber 116a is provided. To the end-side connecting portion 126b, a ring-shaped buffer member 124 for avoiding a collision with the increasing piston 22A is attached.

엔드측 본체부(16A)는 본체부(116)를 갖는다. 그 본체부(116)의 내측에는, 원형의 공동부로 이루어지는 증력 실린더실(116a)이 형성되어 있다. 증력 실린더실(116a)은 축방향으로 연장하고 있다. 그 증력 실린더실(116a)의 내부에는, 증력 피스톤(22A)이 축방향으로 슬라이딩 가능하게 배치되어 있다. 증력 피스톤(22A)은 피스톤 로드(18A)에 연결되어 있다. 증력 피스톤(22A)의 외주부에는, 마그넷(24) 및 패킹(23)이 장착되어 있다. 증력 피스톤(22A)은 증력 실린더실(116a)을 헤드 측의 제3 압력실(42)과, 엔드 측의 제4 압력실(44)로 나눈다.The end-side main body 16A has a main body 116. Inside the main body 116, an increase cylinder chamber 116a made of a circular cavity is formed. The increase cylinder chamber 116a extends in the axial direction. In the inside of the cylinder chamber 116a, an increase piston 22A is disposed so as to be slidable in the axial direction. The increase piston 22A is connected to the piston rod 18A. A magnet 24 and a packing 23 are attached to the outer periphery of the increase piston 22A. The increase piston 22A divides the increase cylinder chamber 116a into a third pressure chamber 42 on the head side and a fourth pressure chamber 44 on the end side.

또, 증력 피스톤(22A)에는, 축방향으로 인접하는 제3 압력실(42)과 제4 압력실(44)과의 사이에서의 고압유체의 연통 상태를 전환하는 연통전환 밸브(35A)가 설치되어 있다. 연통전환 밸브(35A)는 증력 피스톤(22A)을 축방향으로 관통하는 관통구멍(122)과, 관통구멍(122)에 삽입된 연통전환 핀(35a)을 구비하고 있다.In addition, a communication switching valve 35A for switching the communication state of the high-pressure fluid between the third pressure chamber 42 and the fourth pressure chamber 44 adjacent in the axial direction is installed on the increase piston 22A. Has been. The communication switching valve 35A includes a through hole 122 penetrating the increasing piston 22A in the axial direction, and a communication switching pin 35a inserted into the through hole 122.

관통구멍(122)은, 엔드측 직경확대부(122a)와, 직경축소부(122b)와, 헤드측 직경확대부(122c)를 가지고 있다. 연통전환 밸브(35A)의 연통전환 핀(35a)은 도 3a를 참조하면서 설명한 연통전환 핀(35a)과 동일하다. 직경축소부(122b)에는, 연통전환 핀(35a)의 로드부(35d)가 삽입된다. 또, 엔드측 직경확대부(122a) 측에는, 연통전환 핀(35a)의 폐쇄부(35c)가 배치된다. 연통전환 핀(35a)은 가압부재(35f)의 가압력에 의해 엔드 측으로 돌출한다.The through hole 122 has an end-side diameter expanding portion 122a, a diameter reducing portion 122b, and a head-side diameter expanding portion 122c. The communication switching pin 35a of the communication switching valve 35A is the same as the communication switching pin 35a described with reference to FIG. 3A. In the diameter reduction part 122b, the rod part 35d of the communication switching pin 35a is inserted. Further, on the side of the end-side diameter expanding portion 122a, a closing portion 35c of the communication switching pin 35a is disposed. The communication switching pin 35a protrudes toward the end by the pressing force of the pressing member 35f.

그리고, 관통구멍(122) 및 연통전환 핀(35a)의 내부유로(35e)를 통하여, 제3 압력실(42)과 제4 압력실(44)과의 사이의 고압에어의 연통을 가능하게 하도록 구성되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 관통구멍(122) 및 내부유로(35e)에 의해 연통유로가 구성되어 있다. 또, 연통전환 핀(35a)은, 증력 피스톤(22A)이 엔드 측으로 이동하면, 로드 커버(48A)에 가압되어, 폐쇄부(35c) 및 그 외주부의 패킹(35b)이 관통구멍(122)에 삽입되고, 관통구멍(122)을 막아, 제3 압력실(42)과 제4 압력실(44)의 연통을 저지한다.And, through the through hole 122 and the internal flow path (35e) of the communication switching pin (35a), to enable communication of high-pressure air between the third pressure chamber (42) and the fourth pressure chamber (44). Consists of. That is, in this embodiment, a communication passage is constituted by the through hole 122 and the internal passage 35e. Further, the communication switching pin 35a is pressed against the rod cover 48A when the increasing force piston 22A moves to the end side, and the closing portion 35c and the packing 35b of the outer circumferential portion thereof reach the through hole 122. It is inserted and blocks the through hole 122 to prevent communication between the third pressure chamber 42 and the fourth pressure chamber 44.

로드 커버(48A)는 엔드측 본체부(16A)의 엔드 측의 단부 부근에 설치되어 있고, 증력 실린더실(116a)의 엔드 측의 끝을 밀봉하고 있다. 로드 커버(48A)에는, 제4 압력실(44)의 고압에어의 배기를 전환하는 배기 전환밸브(37A)가 설치되어 있다. 배기 전환밸브(37A)는 로드 커버(48A)를 축방향으로 관통하는 관통구멍(139)과, 관통구멍(139)에 삽입된 검지 핀(137)을 구비한다.The rod cover 48A is provided near the end-side end portion of the end-side body portion 16A, and seals the end-side end of the increase cylinder chamber 116a. The rod cover 48A is provided with an exhaust selector valve 37A for switching exhaustion of the high-pressure air from the fourth pressure chamber 44. The exhaust switching valve 37A includes a through hole 139 penetrating through the rod cover 48A in the axial direction, and a detection pin 137 inserted into the through hole 139.

관통구멍(139)은 엔드 측의 단부가 덮개부재(150)에 의해 봉쇄되어 있고, 그 덮개부재(150)의 헤드 측에 검지 핀(137)이 배치되어 있다. 검지 핀(137)은 덮개부재(150)와 검지 핀(137)과의 사이에 배치된 스프링 등의 가압부재(140)에 의해, 헤드 측으로 가압되어 있다. 그 때문에, 검지 핀(137)의 헤드 측의 선단부는 제4 압력실(44) 내로 돌출하고 있다.In the through hole 139, the end of the end side is blocked by the lid member 150, and the detection pin 137 is disposed on the head side of the lid member 150. The detection pin 137 is pressed toward the head by a pressing member 140 such as a spring disposed between the cover member 150 and the detection pin 137. Therefore, the tip end of the detection pin 137 on the head side protrudes into the fourth pressure chamber 44.

검지 핀(137)의 기단부(138)의 외주부에는, 환형상의 패킹(141) 및 패킹(142)이 축방향으로 이격되어 장착되어 있다. 패킹(141) 및 패킹(142)은 관통구멍(139)과 검지 핀(137)과의 사이의 간극을 밀봉한다. 패킹(141) 및 패킹(142)의 사이에는 유로(143)가 설치되어 있다. 유로(143)는 내측이 관통구멍(139)에 연통하고, 외측이 통기 홈(144)에 연통하고 있다. 통기 홈(144)은 로드 커버(48A)의 외주부의 원주방향 전역에 걸쳐 형성된 환형상의 홈이며, 조정 포트(32A)와 연통하고 있다. 통기 홈(144)의 헤드 측에는 패킹(146)이 설치되고, 엔드 측에는 패킹(148)이 설치되어 있다. 이들 패킹(146, 148)에 의해, 통기 홈(144)이 기밀로 유지된다. 조정 포트(32A)는 통기 홈(144), 유로(143) 및 관통구멍(139)을 통하여 제4 압력실(44)로 연통 가능하게 되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 관통구멍(139), 유로(143), 및 통기 홈(144)이 배기유로를 구성한다.On the outer peripheral portion of the base end portion 138 of the detection pin 137, an annular packing 141 and a packing 142 are attached to be spaced apart in the axial direction. The packing 141 and the packing 142 seal the gap between the through hole 139 and the detection pin 137. A flow path 143 is provided between the packing 141 and the packing 142. The flow path 143 has an inner side communicating with the through hole 139 and an outer side communicating with the ventilation groove 144. The ventilation groove 144 is an annular groove formed over the entire circumferential direction of the outer peripheral portion of the rod cover 48A, and communicates with the adjustment port 32A. A packing 146 is provided on the head side of the ventilation groove 144, and a packing 148 is provided on the end side. By these packings 146 and 148, the ventilation groove 144 is kept airtight. The adjustment port 32A is capable of communicating with the fourth pressure chamber 44 through the ventilation groove 144, the flow path 143 and the through hole 139. That is, in this embodiment, the through hole 139, the flow path 143, and the ventilation groove 144 constitute an exhaust flow path.

검지 핀(137)이 헤드 측으로 이동한 상태에서는, 관통구멍(139)이 패킹(141, 142)에 의해 폐쇄되어 있고, 제4 압력실(44)의 고압유체는 배기되지 않는다. 한편, 증력 피스톤(22A)이 엔드 측으로 이동하면, 검지 핀(137)이 엔드 측으로 가압되고, 패킹(141, 142)이 유로(143)보다 엔드 측으로 이동하도록 구성되어 있다. 패킹(141, 142)이 유로(143)보다 엔드 측으로 이동하면, 제4 압력실(44)과 조정 포트(32A)가 연통한다.In the state where the detection pin 137 has moved toward the head, the through hole 139 is closed by the packings 141 and 142, and the high-pressure fluid in the fourth pressure chamber 44 is not exhausted. On the other hand, when the force increasing piston 22A moves toward the end side, the detection pin 137 is pressed toward the end side, and the packings 141 and 142 are configured to move toward the end side rather than the flow path 143. When the packings 141 and 142 move to the end side from the flow path 143, the fourth pressure chamber 44 and the adjustment port 32A communicate with each other.

이상과 같이 구성된 본 실시형태의 유체압 실린더(10a)는, 도 11a 및 도 11b에 나타내는 구동장치(120A)에 의해 구동된다.The fluid pressure cylinder 10a of this embodiment configured as described above is driven by the drive device 120A shown in Figs. 11A and 11B.

도 11a에 도시된 바와 같이, 구동장치(120A)는, 제4 체크밸브(86)와, 교축밸브(88)와, 전환밸브(102)와, 고압에어 공급원(104)과, 배기구(106)와, 제5 체크밸브(108)를 구비하고 있다. 이 구동장치(120A)는, 작동 공정에 있어서, 작동 실린더실(14a)의 제1 압력실(38)에 고압에어를 공급하도록 구성되어 있다. 또 구동장치(120A)는, 도 11b에 도시된 바와 같이, 복귀 공정에서, 제1 압력실(38)에 축적된 에어의 일부를 제2 압력실(40)을 향해 공급함과 함께, 제4 압력실(44)에 고압에어를 공급하도록 구성되어 있다.As shown in Fig. 11A, the driving device 120A includes a fourth check valve 86, a throttle valve 88, a selector valve 102, a high-pressure air supply source 104, and an exhaust port 106. Wow, a fifth check valve 108 is provided. This drive device 120A is configured to supply high-pressure air to the first pressure chamber 38 of the operating cylinder chamber 14a in an operation step. Further, as shown in FIG. 11B, the driving device 120A supplies part of the air accumulated in the first pressure chamber 38 toward the second pressure chamber 40 in the return process, and the fourth pressure It is configured to supply high-pressure air to the seal 44.

전환밸브(102)는 예를 들어 5포트 2위치형의 밸브로서, 제1 포트(102a) 내지 제5 포트(102e)를 가지며, 제1 위치(도 11a 참조)와 제2 위치(도 11b 참조)를 전환시킬 수 있게 되어 있다. 도 11a 및 도 11b에 도시된 바와 같이, 제1 포트(102a)는 배관에 의해 헤드측 포트(28A)에 접속된다. 제2 포트(102b)는 배관에 의해 조정 포트(32A) 및 제5 체크밸브(108)의 하류 측에 접속된다. 제3 포트(102c)는 배관에 의해 배기구(106)에 접속되어 있다. 제4 포트(102d)는 배관에 의해 고압에어 공급원(104)에 접속되어 있다. 제5 포트(102e)는, 배관에 의해, 교축밸브(88)를 통하여 배기구(106)에 접속됨과 함께, 제4 체크밸브(86)를 통하여 엔드측 포트(30A) 및 제5 체크밸브(108)의 상류 측에 접속되어 있다.The switching valve 102 is, for example, a 5-port 2-position valve, and has a first port 102a to a fifth port 102e, and a first position (see Fig. 11A) and a second position (see Fig. 11B). ) Can be converted. 11A and 11B, the first port 102a is connected to the head side port 28A by a pipe. The second port 102b is connected to the downstream side of the adjustment port 32A and the fifth check valve 108 by piping. The third port 102c is connected to the exhaust port 106 by a pipe. The fourth port 102d is connected to the high-pressure air supply source 104 by a pipe. The fifth port 102e is connected to the exhaust port 106 through the throttle valve 88 through a pipe, and the end-side port 30A and the fifth check valve 108 through the fourth check valve 86. It is connected to the upstream side of ).

도 11a에 도시된 바와 같이, 전환밸브(102)가 제1 위치에 있을 때에는, 제1 포트(102a)와 제4 포트(102d)가 연결되고, 또한, 제2 포트(102b)와 제3 포트(102c)가 연결된다.11A, when the selector valve 102 is in the first position, the first port 102a and the fourth port 102d are connected, and the second port 102b and the third port (102c) is connected.

또, 도 11b에 도시된 바와 같이, 전환밸브(102)가 제2 위치에 있을 때에는, 제1 포트(102a)와 제5 포트(102e)가 연결되고, 또한 제2 포트(102b)와 제4 포트(102d)가 연결된다. 전환밸브(102)는 고압에어 공급원(104)으로부터의 파일럿압 또는 전자밸브에 의해 제1 위치와 제2 위치로 전환된다.In addition, as shown in FIG. 11B, when the selector valve 102 is in the second position, the first port 102a and the fifth port 102e are connected, and the second port 102b and the fourth port 102e are connected. Port 102d is connected. The switching valve 102 is switched to a first position and a second position by a pilot pressure from the high-pressure air supply source 104 or an electromagnetic valve.

제4 체크밸브(86)는, 전환밸브(102)가 제2 위치에 있을 때에는, 헤드측 포트(28A)로부터 엔드측 포트(30A)로 향하는 에어의 흐름을 허용하고, 엔드측 포트(30A)로부터 헤드측 포트(28A)로 향하는 에어의 흐름을 저지한다. 또, 제5 체크밸브(108)는, 전환밸브(102)가 제2 위치에 있을 때에는, 제2 포트(102b)로부터 엔드측 포트(30A)로 향하는 고압에어의 흐름을 저지한다.When the selector valve 102 is in the second position, the fourth check valve 86 allows the flow of air from the head side port 28A to the end side port 30A, and the end side port 30A The flow of air to the head side port 28A is prevented. Further, the fifth check valve 108 blocks the flow of high-pressure air from the second port 102b to the end-side port 30A when the selector valve 102 is in the second position.

본 실시형태에 따른 유체압 실린더(10a) 및 그 구동장치(120A)는 이상과 같이 구성되며, 이하 그 작용에 대해 동작과 함께 설명한다.The fluid pressure cylinder 10a and its driving device 120A according to the present embodiment are configured as described above, and the operation thereof will be described below together with the operation.

(작동 공정)(Operation process)

도 11a에 도시된 바와 같이, 유체압 실린더(10a)의 작동 공정은 구동장치(120A)의 전환밸브(102)를 제1 위치로 하여 행한다. 고압에어 공급원(104)으로부터의 고압에어는 전환밸브(102)의 제1 포트(102a)를 통하여 헤드측 포트(28)에 공급된다. 제4 체크밸브(86)는 제5 포트(102e) 측에 접속되어 있고, 제4 체크밸브(86) 측에는 고압에어가 흐르지 않는다. 제2 압력실(40)은 엔드측 포트(30A) 및 제5 체크밸브(108)를 통하여 배기구(106)에 접속된다. 또, 조정 포트(32A)는 배기구(106)에 접속된다.As shown in Fig. 11A, the operation step of the fluid pressure cylinder 10a is performed with the selector valve 102 of the drive device 120A at the first position. High-pressure air from the high-pressure air supply source 104 is supplied to the head-side port 28 through the first port 102a of the switching valve 102. The fourth check valve 86 is connected to the fifth port 102e side, and high-pressure air does not flow to the fourth check valve 86 side. The second pressure chamber 40 is connected to the exhaust port 106 through an end-side port 30A and a fifth check valve 108. Further, the adjustment port 32A is connected to the exhaust port 106.

도 10에 도시된 바와 같이, 작동 공정에 있어서, 고압에어 공급원(104)으로부터의 고압에어는 헤드측 포트(28A)로부터 제1 압력실(38)에 흘러들어간다. 이것에 의해, 작동 피스톤(20)에 엔드 측을 향하는 추력이 발생한다. 그 결과, 피스톤 로드(18A)가 엔드 측을 향하여 스트로크 한다. 또한, 제3 압력실(42) 및 제4 압력실(44)에 봉입된 고압에어는, 연통전환 밸브(35A)를 통해서 연통하기 때문에, 증력 피스톤(22A)에는 추력이 발생하지 않는다.As shown in Fig. 10, in the operation process, high-pressure air from the high-pressure air supply source 104 flows into the first pressure chamber 38 from the head-side port 28A. As a result, thrust toward the end is generated in the working piston 20. As a result, the piston rod 18A strokes toward the end side. Further, since the high-pressure air enclosed in the third pressure chamber 42 and the fourth pressure chamber 44 communicates through the communication switching valve 35A, no thrust is generated in the increasing piston 22A.

작동 피스톤(20)의 스트로크에 수반하여, 유체압 실린더(10a)에는, 제1 압력실(38)의 용적만큼의 고압에어가 고압에어 공급원(104)(도 11a 참조)으로부터 공급된다. 작동 공정 간에, 제2 압력실(40) 및 제3 압력실(42)에 축적된 고압에어의 압력은 일정하게 유지된다. 또, 제2 압력실(40)의 에어는 작동 피스톤(20)의 스트로크에 수반하여 제2 압력실(40)로부터 배기된다. 이 경우, 제2 압력실(40)의 에어는, 도 11a에 도시된 바와 같이, 엔드측 포트(30A) 및 제5 체크밸브(108)를 통과하여 배기구(106)로부터 배기된다.With the stroke of the actuating piston 20, high-pressure air equal to the volume of the first pressure chamber 38 is supplied to the fluid pressure cylinder 10a from the high-pressure air supply source 104 (see Fig. 11A). Between the operating processes, the pressure of the high-pressure air accumulated in the second pressure chamber 40 and the third pressure chamber 42 is kept constant. In addition, air in the second pressure chamber 40 is exhausted from the second pressure chamber 40 along with the stroke of the operating piston 20. In this case, the air in the second pressure chamber 40 is exhausted from the exhaust port 106 through the end-side port 30A and the fifth check valve 108, as shown in FIG. 11A.

(증력 공정)(Intensification process)

도 12에 도시된 바와 같이, 증력 피스톤(22A)의 스트로크에 수반하여, 연통전환 밸브(35A)의 연통전환 핀(35a)이 헤드 측으로 가압됨과 함께, 배기 전환밸브(37A)의 검지 핀(37a)이 엔드 측으로 가압된다.As shown in Fig. 12, with the stroke of the increasing piston 22A, the communication switching pin 35a of the communication switching valve 35A is pressed toward the head, and the detection pin 37a of the exhaust switching valve 37A. ) Is pressed to the end side.

그 결과, 연통전환 핀(35a)의 폐쇄부(35c)가 관통구멍(122)에 삽입되어 관통구멍(122)을 폐쇄한다. 이것에 의해, 제3 압력실(42)과 제4 압력실(44)과의 사이의 고압에어의 연통이 저지된다.As a result, the closing portion 35c of the communication switching pin 35a is inserted into the through hole 122 to close the through hole 122. As a result, communication of high-pressure air between the third pressure chamber 42 and the fourth pressure chamber 44 is prevented.

또, 배기 전환밸브(37A)의 검지 핀(37a)이 엔드 측으로 변위하는 것에 의해, 검지 핀(37a)과 관통구멍(139)과의 간극을 밀봉하고 있던 패킹(141, 142)이 유로(143)로부터 제거되어, 조정 포트(32A)와 제4 압력실(44)이 연통한다. 그 결과, 제4 압력실(44)에 축적된 고압에어는 배기구(106)로부터 배기된다. 즉, 제3 압력실(42)에 고압에어가 저장된 상태로 유지되는 한편, 제4 압력실(44)의 내압이 내려간다. 이것에 의해, 증력 피스톤(22A)에는 제4 압력실(44)과 제3 압력실(42)과의 내압의 차이에 따른 추력이 발생한다. 이 추력이 작동 피스톤(20)의 추력에 더해지기 때문에, 스트로크 엔드 부근에 있어서, 유체압 실린더(10a)의 추력이 증대한다. 이와 같이, 유체압 실린더(10a)의 추력의 증대는 연통전환 밸브(35A) 및 배기 전환밸브(37A)가 작동하는 범위에서의 제4 압력실(44)의 고압에어가 배기되는 것에 의해 생성된다.In addition, when the detection pin 37a of the exhaust selector valve 37A is displaced toward the end side, the packings 141 and 142 that have sealed the gap between the detection pin 37a and the through hole 139 are passed through the flow path 143 ), and the adjustment port 32A and the fourth pressure chamber 44 communicate with each other. As a result, the high-pressure air accumulated in the fourth pressure chamber 44 is exhausted from the exhaust port 106. That is, while the high-pressure air is stored in the third pressure chamber 42, the internal pressure of the fourth pressure chamber 44 decreases. As a result, thrust according to the difference in internal pressure between the fourth pressure chamber 44 and the third pressure chamber 42 is generated in the increasing piston 22A. Since this thrust is added to the thrust of the actuating piston 20, the thrust of the fluid pressure cylinder 10a increases in the vicinity of the stroke end. In this way, the increase in thrust of the fluid pressure cylinder 10a is generated by exhausting the high-pressure air in the fourth pressure chamber 44 in the range in which the communication switching valve 35A and the exhaust switching valve 37A operate. .

(복귀 공정)(Return process)

도 11b에 도시된 바와 같이, 유체압 실린더(10a)의 복귀 공정은 구동장치(120A)의 전환밸브(102)를 제2 위치로 하여 실시한다. 고압에어 공급원(104)으로부터의 고압에어는 전환밸브(102)의 제2 포트(102b)를 통하여 조정 포트(32A)에 공급된다. 전환밸브(102)의 제1 포트(102a)는 제5 포트(102e)에 연결되고, 헤드측 포트(28A)가 제4 체크밸브(86)를 통하여 엔드측 포트(30A)에 연결된다. 또 헤드측 포트(28A)는 교축밸브(88)를 통하여 배기구(106)에 연결된다. 그 결과, 제1 압력실(38)에 축적된 에어의 일부는, 제4 체크밸브(86) 측을 통하여, 제4 압력실(44)에 공급된다. 또, 제1 압력실(38)에 축적된 에어의 나머지의 일부는 배기구(106)로부터 배기된다.As shown in Fig. 11B, the return process of the fluid pressure cylinder 10a is performed with the selector valve 102 of the drive device 120A at the second position. High-pressure air from the high-pressure air supply source 104 is supplied to the adjustment port 32A through the second port 102b of the selector valve 102. The first port 102a of the switching valve 102 is connected to the fifth port 102e, and the head-side port 28A is connected to the end-side port 30A through the fourth check valve 86. Further, the head-side port 28A is connected to the exhaust port 106 through a throttle valve 88. As a result, a part of the air accumulated in the first pressure chamber 38 is supplied to the fourth pressure chamber 44 through the fourth check valve 86 side. Further, a part of the remaining air accumulated in the first pressure chamber 38 is exhausted from the exhaust port 106.

복귀 공정에서는, 유체압 실린더(10a)의 조정 포트(32A)에 고압에어 공급원(104)으로부터의 고압에어가 공급된다. 조정 포트(32A)에 공급된 고압에어는 제4 압력실(44)에 유입된다. 이것에 의해, 증력 공정에 있어서 배기된 고압에어의 보충을 행한다. 그 때 보충되는 고압에어의 양은, 작동 피스톤의 스트로크에 필요로 하는 고압에어의 양에 비해 적고, 적은 고압에어의 추가만으로 좋다.In the return process, high-pressure air from the high-pressure air supply source 104 is supplied to the adjustment port 32A of the fluid pressure cylinder 10a. The high-pressure air supplied to the adjustment port 32A flows into the fourth pressure chamber 44. Thereby, the high-pressure air exhausted in the increase step is replenished. At that time, the amount of high-pressure air to be replenished is less than the amount of high-pressure air required for the stroke of the working piston, and it is good only to add a small amount of high-pressure air.

한편, 제2 압력실(40)에는, 제1 압력실(38)로부터 배기된 고압에어의 일부가 유입된다. 제1 압력실(38)의 에어의 배기가 진행됨에 따라, 제4 압력실(44)과 제1 압력실(38)과의 압력차이가 증대되어, 작동 피스톤(20)이 헤드 측으로 이동한다. 그리고, 작동 피스톤(20) 및 증력 피스톤(22A)이 스트로크의 시작 위치로 복귀하여, 복귀 공정이 완료된다. 이와 같이, 작동 피스톤(20)의 복귀에 필요로 하는 에어는 제1 압력실(38)로부터 공급되기 때문에, 제2 압력실(40)에 고압에어를 공급할 필요가 없다.Meanwhile, a part of the high-pressure air exhausted from the first pressure chamber 38 flows into the second pressure chamber 40. As the air exhausted from the first pressure chamber 38 proceeds, the pressure difference between the fourth pressure chamber 44 and the first pressure chamber 38 increases, and the actuating piston 20 moves toward the head. Then, the actuating piston 20 and the increasing force piston 22A return to the start position of the stroke, and the return process is completed. In this way, since the air required for the return of the working piston 20 is supplied from the first pressure chamber 38, there is no need to supply high-pressure air to the second pressure chamber 40.

본 실시형태에 따른 유체압 실린더(10a)는 이하의 효과를 거둔다.The fluid pressure cylinder 10a according to the present embodiment achieves the following effects.

본 실시형태의 유체압 실린더(10a)는 제3 압력실(42)과 제4 압력실(44)에 고압유체가 봉입되며, 증력 전환기구(33A)는 증력 피스톤(22A)에 설치된 연통전환 밸브(35A)와, 로드 커버(48A)에 설치된 배기 전환밸브(37A)를 구비하고 있다. 이 유체압 실린더(10a)에 의하면, 복잡한 잠금 기구를 설치하지 않고, 스트로크 엔드에서 추력을 증대시킬 수 있다. 또, 피스톤과 피스톤 로드를 연결하는 기계적인 잠금 기구가 불필요하기 때문에, 축방향의 충격에 대해서 부적합을 일으키기 어려워져, 신뢰성이 뛰어나다.In the fluid pressure cylinder 10a of the present embodiment, a high-pressure fluid is sealed in the third pressure chamber 42 and the fourth pressure chamber 44, and the increasing force switching mechanism 33A is a communication switching valve installed in the increasing force piston 22A. 35A and 37A of exhaust selector valves provided in the rod cover 48A are provided. According to this fluid pressure cylinder 10a, thrust can be increased at the stroke end without providing a complicated locking mechanism. In addition, since a mechanical locking mechanism connecting the piston and the piston rod is unnecessary, it is difficult to cause a non-conformity with respect to an axial impact, and the reliability is excellent.

또, 본 실시형태의 유체압 실린더(10a)는 증력 피스톤(22A)의 직경을 작동 피스톤(20)의 직경보다 크게 할 수 있다. 그 때문에, 증력 피스톤(22A)의 직경을 크게 함으로써 스트로크 엔드의 추력을 유지하면서, 작동 피스톤(20)의 직경을 소형화할 수 있고, 고압에어의 소비량을 더욱 삭감할 수 있다.Further, in the fluid pressure cylinder 10a of the present embodiment, the diameter of the increasing piston 22A can be made larger than the diameter of the actuating piston 20. Therefore, by increasing the diameter of the increase piston 22A, while maintaining the thrust at the stroke end, the diameter of the actuating piston 20 can be reduced, and the consumption amount of high-pressure air can be further reduced.

상기에 있어서, 본 발명에 대해 바람직한 실시형태를 들어 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에 있어서, 여러 가지의 변경이 가능한 것은 말할 필요도 없다.In the above, although preferred embodiments of the present invention have been described, the present invention is not limited to the above embodiments, and it is needless to say that various modifications can be made within the scope not departing from the spirit of the present invention. none.

즉, 상기의 실시형태에서는, 유체압 실린더(10 및 10A)의 구동장치(120, 120A)를 유체압 실린더(10 및 10A)의 외부에 배치하는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것은 아니다. 구동장치(120, 120A)를 구성하는 부재의 일부 또는 전부를 실린더 몸체(12) 내에 내장시킬 수도 있다.That is, in the above embodiment, an example in which the driving devices 120 and 120A of the fluid pressure cylinders 10 and 10A are disposed outside the fluid pressure cylinders 10 and 10A has been shown, but the present invention is limited thereto. It is not. A part or all of the members constituting the driving devices 120 and 120A may be incorporated in the cylinder body 12.

또, 유체압 실린더(10)의 제1 압력실(38) 및 제2 압력실(40)에 고압유체를 봉입하고, 증력 피스톤(22)으로 작동 스트로크를 행하여, 증력 공정에 있어서 작동 피스톤(20)으로부터 추가의 추력을 발생시키도록 구성할 수도 있다.In addition, high-pressure fluid is sealed in the first pressure chamber 38 and the second pressure chamber 40 of the fluid pressure cylinder 10, and an actuating stroke is performed with the increasing piston 22, so that the actuating piston 20 in the increase step is performed. It can also be configured to generate additional thrust from ).

Claims (16)

축방향으로 연장하는 슬라이딩 구멍(12a)이 형성된 실린더 몸체(12)와,
상기 슬라이딩 구멍을 헤드 측의 작동 실린더실(14a)과 엔드 측의 증력 실린더실(16a)로 나누는 격벽(26)과,
상기 작동 실린더실에 배치되어 상기 작동 실린더실을 헤드 측의 제1 압력실(38)과 엔드 측의 제2 압력실(40)로 구획하는 작동 피스톤(20)과,
상기 증력 실린더실에 배치되어 상기 증력 실린더실을 헤드 측의 제3 압력실(42)과 엔드 측의 제4 압력실(44)로 구획하는 증력 피스톤(22)과,
상기 작동 피스톤 및 상기 증력 피스톤에 접속됨과 함께 상기 격벽을 관통해 엔드 측으로 뻗어나오는 피스톤 로드(18)를 포함하며,
상기 제1 압력실, 상기 제2 압력실, 상기 제3 압력실 및 상기 제4 압력실 중에서 인접하는 2개의 압력실에 고압유체가 봉입됨과 함께,
상기 작동 피스톤이 소정 위치보다 헤드 측에 위치하는 동안에는, 상기 2개의 압력실의 사이에 고압유체의 연통을 허용하는 한편, 상기 작동 피스톤이 소정 위치보다 엔드 측으로 이동하였을 때, 상기 2개의 압력실의 사이에서의 고압유체의 연통을 저지하고, 또한, 상기 2개의 압력실 중 일측의 압력실의 고압유체를 배기시키는 증력 전환기구(33)를 포함하는,
유체압 실린더.
A cylinder body 12 having a sliding hole 12a extending in the axial direction,
A partition wall 26 that divides the sliding hole into an operation cylinder chamber 14a on the head side and an increase cylinder chamber 16a on the end side,
An actuating piston (20) disposed in the actuating cylinder chamber and dividing the actuating cylinder chamber into a first pressure chamber (38) on the head side and a second pressure chamber (40) on the end side,
An increase piston 22 disposed in the increase cylinder chamber to divide the increase cylinder chamber into a third pressure chamber 42 on the head side and a fourth pressure chamber 44 on the end side,
And a piston rod 18 connected to the working piston and the increasing piston and extending toward the end through the partition wall,
While the high-pressure fluid is sealed in two adjacent pressure chambers among the first pressure chamber, the second pressure chamber, the third pressure chamber, and the fourth pressure chamber,
While the actuating piston is positioned on the head side rather than a predetermined position, communication of the high-pressure fluid is allowed between the two pressure chambers, while when the actuating piston moves toward the end side from the predetermined position, the two pressure chambers Including an increase power conversion mechanism 33 to prevent communication of the high-pressure fluid between the two pressure chambers, and to exhaust the high-pressure fluid in one of the two pressure chambers,
Hydraulic cylinder.
청구항 1에 있어서,
상기 제2 압력실과 상기 제3 압력실에 고압유체가 봉입되며,
상기 증력 전환기구는,
상기 제2 압력실과 상기 제3 압력실에 연통하는 연통유로(34)와,
상기 제2 압력실에 연통하는 배기유로(36)와,
상기 작동 피스톤이 소정 위치보다 헤드 측에 위치하는 동안에는 상기 연통유로를 개방함과 함께, 상기 작동 피스톤이 소정 위치보다 엔드 측으로 이동하였을 때 상기 연통유로를 폐쇄하는 연통전환 밸브(35)와,
상기 작동 피스톤이 소정 위치보다 헤드 측에 위치하는 동안에는 상기 배기유로를 폐쇄함과 함께, 상기 작동 피스톤이 소정 위치보다 엔드 측으로 이동하였을 때 상기 배기유로를 개방하여 상기 제2 압력실의 고압유체의 배기를 행하는 배기 전환밸브(37)
를 가지는 유체압 실린더.
The method according to claim 1,
A high-pressure fluid is sealed in the second pressure chamber and the third pressure chamber,
The increase power conversion mechanism,
A communication passage (34) communicating with the second pressure chamber and the third pressure chamber,
An exhaust passage 36 communicating with the second pressure chamber,
A communication switching valve (35) which opens the communication passage while the operating piston is located on the head side rather than a predetermined position, and closes the communication passage when the operation piston moves toward the end side from a predetermined position;
While the actuating piston is positioned on the head side rather than a predetermined position, the exhaust passage is closed, and when the actuating piston moves toward the end side from the predetermined position, the exhaust passage is opened to exhaust the high-pressure fluid from the second pressure chamber. Exhaust switching valve (37)
Fluid pressure cylinder having.
청구항 2에 있어서,
상기 연통유로, 상기 배기유로, 상기 연통전환 밸브 및 상기 배기 전환밸브는 상기 격벽에 설치되어 있는 유체압 실린더.
The method according to claim 2,
The communication flow path, the exhaust flow path, the communication switching valve, and the exhaust switching valve are a fluid pressure cylinder installed in the partition wall.
청구항 1에 있어서,
상기 제3 압력실과 상기 제4 압력실에 고압유체가 봉입되며,
상기 증력 전환기구는,
상기 제3 압력실과 상기 제4 압력실에 연통하는 연통유로(35e)와,
상기 제4 압력실에 연통하는 배기유로와,
상기 작동 피스톤이 소정 위치보다 헤드 측에 위치하는 동안에는 상기 연통유로를 개방함과 함께, 상기 작동 피스톤이 소정 위치보다 엔드 측으로 이동하였을 때 상기 연통유로를 폐쇄하는 연통전환 밸브와,
상기 작동 피스톤이 소정 위치보다 헤드 측에 위치하는 동안에는 상기 배기유로를 폐쇄함과 함께, 상기 작동 피스톤이 소정 위치보다 엔드 측으로 이동하였을 때에 상기 배기유로를 개방하여 상기 제4 압력실의 고압유체의 배기를 행하는 배기 전환밸브
를 가지는 유체압 실린더.
The method according to claim 1,
A high-pressure fluid is sealed in the third pressure chamber and the fourth pressure chamber,
The increase power conversion mechanism,
A communication passage 35e communicating with the third pressure chamber and the fourth pressure chamber,
An exhaust passage communicating with the fourth pressure chamber,
A communication switching valve that opens the communication passage while the actuating piston is located on the head side than a predetermined position, and closes the communication passage when the actuating piston moves toward the end side from a predetermined position;
While the actuating piston is positioned on the head side rather than a predetermined position, the exhaust passage is closed, and when the actuating piston moves toward the end side from the predetermined position, the exhaust passage is opened to exhaust the high-pressure fluid from the fourth pressure chamber. Exhaust switching valve
Fluid pressure cylinder having.
청구항 4에 있어서,
상기 증력 피스톤에 상기 연통유로 및 상기 연통전환 밸브가 설치되어 있는 유체압 실린더.
The method of claim 4,
A fluid pressure cylinder in which the communication flow path and the communication switching valve are installed in the increase piston.
청구항 5에 있어서,
상기 제4 압력실의 엔드 측의 단부를 밀봉하는 로드 커버(48)를 구비하며,
상기 로드 커버는 상기 배기유로와 상기 배기 전환밸브를 포함하는 유체압 실린더.
The method of claim 5,
And a rod cover 48 for sealing an end of the fourth pressure chamber on the end side,
The rod cover is a fluid pressure cylinder including the exhaust flow path and the exhaust switching valve.
청구항 2 또는 4에 있어서,
상기 실린더 몸체는 상기 배기유로에 연통하는 조정 포트(32)를 가지며, 상기 배기유로는 상기 조정 포트를 통하여 고압유체를 배기하는 유체압 실린더.
The method according to claim 2 or 4,
The cylinder body has an adjustment port 32 communicating with the exhaust flow path, and the exhaust flow path is a fluid pressure cylinder for exhausting high-pressure fluid through the adjustment port.
청구항 2 또는 4에 있어서,
상기 증력 전환기구는, 상기 연통전환 밸브가 상기 연통유로를 폐쇄한 후에, 상기 배기 전환밸브가 상기 배기유로를 개방하는 유체압 실린더.
The method according to claim 2 or 4,
The increasing force switching mechanism is a fluid pressure cylinder in which the exhaust switching valve opens the exhaust passage after the communication switching valve closes the communication passage.
청구항 2 내지 8 중 어느 한 항에 있어서,
상기 연통전환 밸브는 일단이 상기 2개의 압력실 중 어느 한 쪽을 향하여 돌출하고 타단이 상기 연통유로에 삽입된 연통전환 핀(35a)을 가지며, 상기 연통전환 핀이 상기 작동 피스톤의 변위에 수반하여 축방향으로 가압되는 것에 의해 상기 연통유로를 폐쇄하는 유체압 실린더.
The method according to any one of claims 2 to 8,
The communication switching valve has a communication switching pin (35a) having one end protruding toward either side of the two pressure chambers and the other end inserted into the communication passage, and the communication switching pin accompanying the displacement of the operating piston A fluid pressure cylinder that closes the communication passage by being pressurized in the axial direction.
청구항 2 내지 8 중 어느 한 항에 있어서,
상기 배기 전환밸브는 기단부가 상기 배기유로에 삽입되어 상기 배기유로를 밀봉함과 함께 선단부가 헤드 측으로 돌출하는 검지 핀(37a)을 가지며, 상기 검지 핀이 상기 작동 피스톤 또는 상기 증력 피스톤에 가압되어 엔드 측으로 변위하는 것에 의해, 상기 배기유로의 밀봉이 해제되는 유체압 실린더.
The method according to any one of claims 2 to 8,
The exhaust switching valve has a detection pin 37a whose proximal end is inserted into the exhaust flow path to seal the exhaust flow path and protrudes toward the head, and the detection pin is pressed against the operating piston or the increasing force piston to end A fluid pressure cylinder in which the sealing of the exhaust flow path is released by displacing it to the side.
청구항 2 또는 3에 있어서,
상기 배기유로에는, 배출되는 방향으로만 유체를 통과시키고 그 역방향의 유체를 저지하는 제1 체크밸브(52)가 설치되어 있는 유체압 실린더.
The method according to claim 2 or 3,
A fluid pressure cylinder in which a first check valve 52 is installed in the exhaust passage to allow fluid to pass through only the direction in which the fluid is discharged and to block the fluid in the opposite direction.
청구항 2 또는 3에 있어서,
상기 제2 압력실에 연통하는 보충유로(78)를 더 가지며,
상기 보충유로에는, 상기 제2 압력실로 향하는 유체를 통과시키는 제2 체크밸브(54)가 설치되어 있는 유체압 실린더.
The method according to claim 2 or 3,
It further has a supplemental passage 78 communicating with the second pressure chamber,
A fluid pressure cylinder in which a second check valve (54) for passing a fluid directed to the second pressure chamber is installed in the supplementary passage.
청구항 7에 있어서,
상기 제4 압력실과 상기 조정 포트에 연통하는 보조유로(76)를 더 가지며,
상기 보조유로에는, 상기 제4 압력실로부터 상기 조정 포트로 향하는 방향의 유체만을 통과시키고 그 역방향의 유체를 저지하는 제3 체크밸브(56)가 설치되어 있는 유체압 실린더.
The method of claim 7,
It further has an auxiliary flow path 76 communicating with the fourth pressure chamber and the adjustment port,
A fluid pressure cylinder in which a third check valve (56) is provided in the auxiliary passage to pass only the fluid in a direction from the fourth pressure chamber to the adjustment port and to block the fluid in the reverse direction.
청구항 2에 있어서,
상기 제1 압력실, 상기 제2 압력실 및 상기 제4 압력실에 접속되는 구동장치(120)를 더 포함하며,
상기 구동장치는 전환밸브(102)와, 고압유체 공급원(104)과, 배기구(106)와, 제4 체크밸브(86)를 가지며,
상기 전환밸브의 제1 위치에 있어서, 상기 제1 압력실이 상기 고압유체 공급원에 연통함과 함께, 상기 제4 압력실 및 상기 증력 전환기구가 상기 배기구에 연통하며,
상기 전환밸브의 제2 위치에 있어서, 상기 제1 압력실이 상기 제4 체크밸브를 통하여 상기 제4 압력실에 연통함과 함께 상기 제1 압력실이 상기 배기구에 연통하고, 또한, 상기 제2 압력실이 상기 고압유체 공급원에 연통하는,
유체압 실린더.
The method according to claim 2,
Further comprising a driving device 120 connected to the first pressure chamber, the second pressure chamber and the fourth pressure chamber,
The drive device has a switching valve 102, a high-pressure fluid supply source 104, an exhaust port 106, and a fourth check valve 86,
In the first position of the switching valve, while the first pressure chamber communicates with the high-pressure fluid supply source, the fourth pressure chamber and the increase force switching mechanism communicate with the exhaust port,
In the second position of the switching valve, the first pressure chamber communicates with the fourth pressure chamber through the fourth check valve, and the first pressure chamber communicates with the exhaust port, and the second pressure chamber communicates with the exhaust port. The pressure chamber communicates with the high pressure fluid supply source,
Hydraulic cylinder.
청구항 4에 있어서,
상기 제1 압력실, 상기 제2 압력실 및 상기 제4 압력실에 접속되는 구동장치(120A)를 더 포함하며,
상기 구동장치는 전환밸브와, 고압유체 공급원과, 배기구와, 제4 체크밸브를 가지며,
상기 전환밸브의 제1 위치에 있어서, 상기 제1 압력실이 상기 고압유체 공급원에 연통함과 함께, 상기 제4 압력실 및 상기 제2 압력실이 상기 배기구에 연통하며,
상기 전환밸브의 제2 위치에 있어서, 상기 제1 압력실이 상기 제4 체크밸브를 통하여 상기 제2 압력실에 연통함과 함께 상기 제1 압력실이 상기 배기구에 연통하고, 또한, 상기 제4 압력실이 상기 고압유체 공급원에 연통하는,
유체압 실린더.
The method of claim 4,
Further comprising a driving device (120A) connected to the first pressure chamber, the second pressure chamber and the fourth pressure chamber,
The drive device has a switching valve, a high-pressure fluid supply source, an exhaust port, and a fourth check valve,
In the first position of the switching valve, while the first pressure chamber communicates with the high-pressure fluid supply source, the fourth pressure chamber and the second pressure chamber communicate with the exhaust port,
In the second position of the switching valve, the first pressure chamber communicates with the second pressure chamber through the fourth check valve, and the first pressure chamber communicates with the exhaust port, and the fourth The pressure chamber communicates with the high pressure fluid supply source,
Hydraulic cylinder.
청구항 14 또는 15에 있어서,
상기 제1 압력실과 상기 배기구와의 사이에 교축밸브(88)가 설치된 유체압 실린더.
The method of claim 14 or 15,
A fluid pressure cylinder in which a throttle valve (88) is installed between the first pressure chamber and the exhaust port.
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