KR20210038338A - Positional relationship detection system - Google Patents

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KR20210038338A
KR20210038338A KR1020200123591A KR20200123591A KR20210038338A KR 20210038338 A KR20210038338 A KR 20210038338A KR 1020200123591 A KR1020200123591 A KR 1020200123591A KR 20200123591 A KR20200123591 A KR 20200123591A KR 20210038338 A KR20210038338 A KR 20210038338A
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다카히로 호리이
모토나리 오기스
노부유키 야기타
고타로 하야시
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가부시키가이샤 다이후쿠
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Abstract

Provided is a system having a simpler configuration and detecting the positional relationship between an article holding part of an article carrying vehicle and a transfer mounting location. In a detection target unit (4) to be detected by a sensor unit, a plurality of detection target points (R) at which the distances from the detection reference point in the sensor unit are detected are set. The detected unit (4) follows a first direction (D1) along the reference plane (P0) and the reference plane (P0). In addition, in the second direction (D2) orthogonal to the first direction (D1), a plurality of detected surfaces (40) which can detect at least two of a planar relative position indicating the relative position of the article holding part with respect to the transfer mounting location, the inclination of the article holding part with respect to the reference plane (P0), and a reference perpendicular to the reference plane (P0) as a value according to the distance from the detection reference point are three-dimensionally formed.

Description

위치 관계 검출 시스템{POSITIONAL RELATIONSHIP DETECTION SYSTEM}Positional relationship detection system {POSITIONAL RELATIONSHIP DETECTION SYSTEM}

본 발명은, 반송원(搬送元)과 반송처(搬送處)와의 사이에서 물품을 반송(搬送; transport)하는 물품 반송차(article transport vehicle)를 구비한 물품 반송 설비(article transport facility)에 있어서, 반송원 및 반송처의 이송탑재(移載; transfer) 개소(箇所)와의 사이에서 물품을 이송탑재(transfer)하는 이송탑재 장치가 구비하는 물품 유지부(holding portion)의 이송탑재 개소에 대한 위치 관계를 검출하는 위치 관계 검출 시스템에 관한 것이다.The present invention is an article transport facility provided with an article transport vehicle that transports an article between a carrier and a destination. , The location of the transfer mounting location of the article holding portion provided in the transfer loading device that transfers the goods between the transfer source and the transfer location of the transfer destination. It relates to a positional relationship detection system for detecting the relationship.

물품을 물품 반송차에 의해 자동적으로 반송하는 물품 반송 설비에서는, 물품 반송차와 반송 대상 개소와의 사이에서 높은 정밀도로 물품을 이송탑재하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 물품의 반송원에 있어서 물품을 양호한 정밀도로 유지하고, 반송하여, 물품의 반송처의 소정 위치에 양호한 정밀도로 탑재하기 위해서는, 물품 반송차의 정지(停止) 위치나 물품을 유지하는 물품 유지부가 유지 동작을 하는 위치나 자세가 양호한 정밀도로 조정되어 있는 것이 바람직하다. 일본 특허 제6146537호 공보에는, 이와 같은 조정[티칭(teaching)]을 행하는 기술이 개시되어 있다. 이하, 배경 기술에 있어서 괄호 내의 부호는 참조하는 문헌의 것이다. In an article conveyance facility that automatically conveys an article by an article conveyance vehicle, it is preferable to transfer and mount the article with high precision between the article conveyance vehicle and the location to be conveyed. Specifically, in order to maintain the product with good precision in the transport source of the product, to carry it, and to mount it with good precision at a predetermined position of the transport destination of the product, it is necessary to maintain a stop position of the product transport vehicle or the product. It is preferable that the position and posture at which the article holding portion performs the holding operation are adjusted with good precision. Japanese Patent No. 6466537 discloses a technique for performing such adjustment (teaching). Hereinafter, in the background description, the symbols in parentheses are those of the referenced document.

물품 반송차에는 티칭 유닛(20)이 탑재되고, 반송 대상 개소에 대응하는 로드 포트(load port)에는 타겟 유닛(30)이 설치되어 있다. 티칭 유닛(20)에는, 복수의 거리 센서(23X1, 23Y1, 23Y2, 23Z1, 23Z2, 23Z3)가 탑재되어 있다. 복수의 거리 센서는, XYZ축 3차원 직교 좌표계에서의 X축, Y축, Z축을 따른 방향을 검출 방향으로 하고 있다. 타겟 유닛(30)에는, 각각 X축, Y축, Z축 방향을 검출 방향으로 하는 각각의 거리 센서의 검출 대상이 되는 타겟 플레이트(32, 33, 34)가 구비되어 있다. 티칭 유닛(20)은, 복수의 거리 센서에 의한 이들 타겟 플레이트(32, 33, 34)의 검출 결과에 기초하여, 물품 반송차의 주행 방향에 평행한 제1 방향, 기준면에 평행 또한 제1 방향에 직교하는 제2 방향, 기준면에 평행한 면 내에서의 회전 방향, 기준면의 경사를 구한다. A teaching unit 20 is mounted on an article transport vehicle, and a target unit 30 is provided in a load port corresponding to a location to be transported. The teaching unit 20 is equipped with a plurality of distance sensors 23X 1 , 23Y 1 , 23Y 2 , 23Z 1 , 23Z 2 , and 23Z 3 . The plurality of distance sensors have a direction along the X-axis, Y-axis, and Z-axis in the XYZ-axis three-dimensional orthogonal coordinate system as the detection direction. The target unit 30 is provided with target plates 32, 33, and 34 as detection targets of the respective distance sensors with the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions as detection directions, respectively. The teaching unit 20 is based on the detection results of these target plates 32, 33, 34 by a plurality of distance sensors, in a first direction parallel to the traveling direction of the article carrying vehicle, and in a first direction parallel to the reference plane. The second direction orthogonal to, the rotation direction in the plane parallel to the reference plane, and the inclination of the reference plane are obtained.

일본 특허 제6146537호 공보Japanese Patent No. 6146537

상기에 의하면, 거리 센서를 구비한 티칭 유닛과 타겟 유닛을 사용한 티칭에 의해, 물품 반송차의 물품 유지부의 위치를 양호한 정밀도로 검출할 수 있다. 그러나, 검출 정밀도를 확보하기 위해서는, 복수의 거리 센서의 모두를 양호한 정밀도로 티칭 유닛에 장착할 필요가 있다. 또, 복수의 상이한 방향을 각각 검출하기 위해 복수의 거리 센서를 사용하고 있으므로, 티칭 유닛의 비용이 높아지기 쉬운 문제가 있다. According to the above, by teaching using the teaching unit provided with the distance sensor and the target unit, the position of the article holding portion of the article carrying vehicle can be detected with good accuracy. However, in order to ensure detection accuracy, it is necessary to attach all of the plurality of distance sensors to the teaching unit with good accuracy. Further, since a plurality of distance sensors are used to respectively detect a plurality of different directions, there is a problem that the cost of the teaching unit is liable to be high.

상기 문제점을 해결하기 위해, 보다 간단한 구성이며 적절히 물품 반송차의 물품 유지부와 이송탑재 개소와의 위치 관계를 검출하는 기술의 제공이 요구된다. In order to solve the above problem, there is a need to provide a technology that has a simpler structure and appropriately detects the positional relationship between the article holding unit of the article transport vehicle and the transport mounting location.

일 태양(態樣)으로서, 상기 문제점을 해결하기 위해 위치 관계 검출 시스템은, 반송원 및 반송처의 이송탑재 개소와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 이송탑재 장치를 구비하고, 상기 반송원과 상기 반송처와의 사이에서 물품을 반송하는 물품 반송차를 구비한 물품 반송 설비에 있어서, 상기 이송탑재 장치가 구비하는 물품 유지부의 상기 이송탑재 개소에 대한 위치 관계를 검출하는 위치 관계 검출 시스템으로서, 상기 물품 유지부에 유지되는 제1 유닛과, 상기 이송탑재 개소에 설치되는 제2 유닛을 구비하고, 상기 제1 유닛 및 상기 제2 유닛의 한쪽은 센서 유닛이며, 다른 쪽은 상기 센서 유닛에 의한 검출 대상을 구비한 피검출 유닛이며, 상기 센서 유닛은, 상기 센서 유닛에서의 검출 기준점으로부터 상기 피검출 유닛에 설정된 복수의 피검출점까지의 거리를 검출하고, 상기 피검출 유닛은, 상기 이송탑재 개소에 있어서 상기 센서 유닛에 대향하도록 설정된 기준면을 따른 제1 방향 및 상기 기준면을 따르고 또한 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향에서의, 상기 이송탑재 개소에 대한 상기 물품 유지부의 상대(相對) 위치를 나타내는 평면 상대 위치, 상기 기준면에 대한 상기 물품 유지부의 경사, 상기 기준면에 직교하는 기준축 주위의 상기 물품 유지부의 회전 각도 중 2개 이상을 상기 검출 기준점으로부터의 거리에 따른 값으로서 검출 가능한 복수의 피검출면을 가지고 입체적으로 형성되어 있다. As an aspect, in order to solve the above problem, a positional relationship detection system includes a transfer mounting device for transferring and mounting an article between a transfer source and a transfer location of the transfer destination, and the transfer source and the An article conveyance facility comprising an article conveyance vehicle for conveying an article between a conveyance destination, comprising: a positional relationship detection system that detects a positional relationship of an article holding unit provided in the conveyance mounting device with respect to the conveyance mounting location, wherein the A first unit held in the article holding unit and a second unit installed at the transfer mounting location are provided, and one of the first unit and the second unit is a sensor unit, and the other is detected by the sensor unit. It is a detection target unit provided with a target, and the sensor unit detects a distance from a detection reference point in the sensor unit to a plurality of detection target points set in the detection target unit, and the detection target unit is located at the transfer mounting location. In a first direction along a reference plane set to face the sensor unit and a second direction along the reference plane and orthogonal to the first direction, indicating a relative position of the article holding portion with respect to the transfer mounting location. A plurality of detection targets capable of detecting two or more of a plane relative position, an inclination of the article holding unit with respect to the reference surface, and a rotation angle of the article holding unit around a reference axis orthogonal to the reference surface according to a distance from the detection reference point It is formed three-dimensionally with cotton.

이 구성에 의하면, 1개의 센서 유닛에 의해 검출 기준점으로부터 복수의 피검출점까지의 거리가 검출된다. 복수의 센서를 장착할 필요가 없기 때문에, 복수의 센서끼리의 장착 정밀도 등을 고려할 필요도 없고, 간단한 구성으로 검출 정밀도를 확보할 수 있다. 또, 입체적으로 형성된 피검출 유닛에는, 평면 상대 위치, 경사, 회전 각도 중 2개 이상을 검출 기준점으로부터의 거리에 따른 값으로서 검출 가능한 복수의 피검출면을 구비하고 있다. 따라서, 1개의 센서 유닛에 의해, 물품 유지부의 이송탑재 개소에 대한 위치 관계를 나타내는 평면 상대 위치, 경사, 회전 각도 중 2개 이상을 검출할 수 있다. 이와 같이, 본 구성에 의하면, 보다 간단한 구성이며 적절히 물품 반송차의 물품 유지부와 이송탑재 개소와의 위치 관계를 검출하는 기술을 제공할 수 있다. According to this configuration, the distance from the detection reference point to the plurality of detection target points is detected by one sensor unit. Since it is not necessary to mount a plurality of sensors, it is not necessary to consider the mounting accuracy of a plurality of sensors, etc., and detection accuracy can be ensured with a simple configuration. Further, the three-dimensionally formed detection unit is provided with a plurality of detection surfaces capable of detecting two or more of a plane relative position, an inclination, and a rotation angle as a value according to the distance from the detection reference point. Accordingly, with one sensor unit, two or more of a plane relative position, an inclination, and a rotation angle indicating the positional relationship of the article holding portion to the transfer mounting location can be detected. As described above, according to this configuration, it is possible to provide a technique for detecting the positional relationship between the article holding unit of the article transport vehicle and the transport mounting location with a simpler configuration.

위치 관계 검출 시스템의 새로운 특징과 장점은, 도면을 참조하여 설명하는 실시형태에 대한 이하의 기재로부터 명확해진다. New features and advantages of the positional relationship detection system will become apparent from the following description of the embodiment described with reference to the drawings.

도 1은 물품 반송 설비의 구성을 모식적으로 나타낸 도면
도 2는 물품 반송차의 측면도
도 3는 물품 반송 설비 및 물품 반송차의 시스템 구성을 모식적으로 나타낸 블록도
도 4는 물품 반송차 및 탑재대를 나타낸 측면도
도 5는 센서 유닛의 일례를 나타낸 블록도
도 6은 피검출 유닛의 일례를 나타낸 사시도
도 7은 피검출 유닛에 설정된 피검출점의 일례를 나타낸 평면도
도 8은 피검출 유닛에 설정된 피검출점의 일례를 나타낸 측면도
도 9는 용기에 설치된 센서 유닛과 탑재대에 설치된 피검출 유닛의 일례를 나타낸 사시도
도 10은 센서 유닛이 설치된 용기의 단면도(斷面圖)
도 11은 검출 기준점과 피검출점과의 거리에 위치 어긋남이 생기고 있는 예를 나타낸 도면
도 12는 기준면에 대하여 물품 유지부가 경사져 있는 예를 나타낸 도면
도 13는 센서 유닛의 다른 예를 나타낸 블록도1 is a diagram schematically showing the configuration of an article transport facility
2 is a side view of an article transport vehicle
3 is a block diagram schematically showing the system configuration of an article conveyance facility and an article conveyance vehicle.
4 is a side view showing an article transport vehicle and a mounting table
5 is a block diagram showing an example of a sensor unit
6 is a perspective view showing an example of a unit to be detected
7 is a plan view showing an example of a detection target set in a detection target unit
8 is a side view showing an example of a detection target set in a detection target unit
9 is a perspective view showing an example of a sensor unit installed on a container and a unit to be detected installed on a mounting table
10 is a cross-sectional view of a container in which a sensor unit is installed
Fig. 11 is a diagram showing an example in which a positional shift occurs in a distance between a detection reference point and a detection target point
12 is a diagram showing an example in which an article holding portion is inclined with respect to a reference plane
13 is a block diagram showing another example of a sensor unit

이하, 위치 관계 검출 시스템의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은, 위치 관계 검출 시스템(100)(도 5 등 참조)이 사용되는 물품 반송 설비(200)의 구성예를 모식적으로 나타내고 있다. 본 실시형태에서는, 반도체 기판에 대하여, 박막 형성, 포토리소그라피, 에칭 등의 각종 처리를 행하는 복수의 반도체 처리 장치[처리 장치(202)]의 사이에서, 주행 경로(travelling path) LT를 따라 일방향(주행 방향 Y)으로 물품(W)(도 2 등 참조)을 반송하는 물품 반송차(20)를 구비한 물품 반송 설비(200)를 예로 들어 설명한다. 본 실시형태에서는, 주행 경로는, 지지 브래킷(bracket)(205)(도 4 참조)에 의해 지지되어 천정측에 설치된 주행 레일 RL(도 2, 도 4 참조)에 의해 형성되어 있고, 물품 반송차(20)는, 주행 레일 RL에 현수 지지된(suspended and supported) 천정 반송차(ceiling transport vehicle)이다. Hereinafter, an embodiment of a positional relationship detection system will be described with reference to the drawings. 1 schematically shows a configuration example of an article conveyance facility 200 in which the positional relationship detection system 100 (refer to FIG. 5 and the like) is used. In this embodiment, between a plurality of semiconductor processing apparatuses (processing apparatus 202) that perform various processes such as thin film formation, photolithography, and etching with respect to the semiconductor substrate, one direction along the traveling path LT ( The article conveyance facility 200 provided with the article conveyance vehicle 20 which conveys the article W (refer FIG. 2 etc.) in the running direction Y) is taken as an example, and it demonstrates. In this embodiment, the travel path is formed by a travel rail RL (see FIGS. 2 and 4) supported by a support bracket 205 (see FIG. 4) and installed on the ceiling side, and an article transport vehicle Reference numeral 20 is a ceiling transport vehicle suspended and supported by the travel rail RL.

도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비(200)에는, 2개 이상의 상이한 속성의 영역[제1 영역(E1) 및 제2 영역(E2)]이 설치되어 있다. 제1 영역(E1)에는, 상대적으로 큰 환형(環形)의 주경로(主經路) Lp와, 상대적으로 작은 환형의 부경로(副經路) Ls가 형성되어 있다. 제1 영역(E1)는, 전술한 처리 장치(202)가 구비되어, 각각의 처리 장치(202)[후술하는 탑재대(203)]의 사이를, 물품 반송차(20)에 의해 물품(W)이 반송되는 영역이다. 제2 영역(E2)는, 제1 영역(E1)과는 다른 영역에 설치되고, 후술하는 위치 관계 검출 시스템(100)을 사용하여 물품 반송차(20)의 조정이 행해지는 영역이다. 제2 영역(E2)에는, 후술하는 피검출 유닛(4)이 구비된 조정용 탑재대(204)가 바닥면 상에 설치되어 있다. 그리고, 조정용 탑재대(204)와 처리 장치(202)에 구비된 탑재대(203)는, 바닥면으로부터 탑재면까지의 높이가 동일하며, 각각의 탑재대(203)에 대한 조정이 조정용 탑재대(204)를 사용하여 실행된다. As shown in FIG. 1, in the article conveyance facility 200, two or more areas of different attributes (a first area E1 and a second area E2) are provided. In the first region E1, a relatively large annular main path Lp and a relatively small annular secondary path Ls are formed. The 1st area E1 is provided with the processing apparatus 202 mentioned above, and the article W is provided by the article conveyance vehicle 20 between each processing apparatus 202 (the mounting table 203 mentioned later). ) Is the area to be conveyed. The second area E2 is provided in an area different from the first area E1 and is an area in which the article transport vehicle 20 is adjusted using the positional relationship detection system 100 described later. In the second region E2, a mounting table 204 for adjustment provided with a unit to be detected 4 to be described later is provided on the bottom surface. In addition, the mounting table 204 for adjustment and the mounting table 203 provided in the processing device 202 have the same height from the bottom surface to the mounting surface, and adjustment of each of the mounting tables 203 is possible. It is implemented using 204.

본 실시형태에서는, 물품(W)은, FOUP(Front Opening Unified Pod)라고 하고, 복수 개의 반도체 기판을 수용하는 용기이다. 도 2는, 물품 유지부(24)에 의해 물품(W)을 유지한 상태의 물품 반송차(20)의 측면도(주행 방향 Y로 직교하는 방향으로 본 도면)를 나타내고 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품(W)은, 플랜지부(16)와, 수용부(15)를 가지고 있고, 수용부(15)의 전면(前面)(예를 들면, 주행 방향 Y의 측)에는, 반도체 기판을 출입시키기 위한 삽탈구(Insertion and removal port)(12)(도 9 참조)가 형성되어 있다. 이 삽탈구(12)는 장착 및 분리 가능한 커버부(14)(도 9 참조)에 의해 폐쇄할 수 있다. 수용부(15)의 내부에는, 복수의 반도체 기판(기판)의 각각을 유지하는 복수의 슬릿(slit)(13)이 형성되어 있다(도 9 참조). In this embodiment, the article W is referred to as a FOUP (Front Opening Unified Pod), and is a container that houses a plurality of semiconductor substrates. FIG. 2 shows a side view (a view viewed in a direction orthogonal to the running direction Y) of the article transport vehicle 20 in a state in which the article W is held by the article holding portion 24. As shown in FIG. 2, the article W has the flange part 16 and the accommodation part 15, and the front surface of the accommodation part 15 (for example, the side of a running direction Y) In this, insertion and removal ports 12 (refer to Fig. 9) for entering and exiting the semiconductor substrate are formed. This insertion/disassembly 12 can be closed by the cover part 14 (refer FIG. 9) which can be attached and detached. A plurality of slits 13 holding each of a plurality of semiconductor substrates (substrates) are formed inside the receiving portion 15 (see FIG. 9).

처리 장치(202)는, 용기(물품(W)에 수용되어 있는 기판(반도체 기판)에 대하여 전술한 바와 같은 각종 처리를 행한다. 용기(물품(W)을 각각의 처리 장치(202)의 사이에서 반송하므로, 각각의 처리 장치(202)에는, 각각의 처리 장치(202)에 인접하는 상태로, 바닥면 상에 탑재대(203)가 설치되어 있다. 이들의 탑재대(203)는, 물품 반송차(20)에 의한 물품(W)의 반송 대상 개소(반송원 및 반송처)이다. 물품 반송차(20)는, 반송원 및 반송처에서의 이송탑재 개소와 물품 반송차(20)와의 사이에서 물품(W)을 이송탑재하는 이송탑재 장치(28)를 구비하고 있다. 물품 반송차(20)는, 반송원의 탑재대(203)로부터 이송탑재 장치(28)에 의해 물품 반송차(20)에 물품(W)을 이송탑재하고, 주행 경로를 주행하여, 물품 반송차(20)로부터 이송탑재 장치(28)에 의해 반송처의 탑재대(203)에 물품(W)을 이송탑재함으로써, 반송원과 반송처와의 사이에서 물품(W)을 반송한다. The processing apparatus 202 performs various treatments as described above with respect to the container (substrate (semiconductor substrate) accommodated in the article W. The container (article W) is placed between the respective processing apparatuses 202. For conveyance, a mounting table 203 is provided on the bottom surface of each processing device 202 in a state adjacent to each processing device 202. These mounting tables 203 are used to convey articles. It is the location (return source and destination) to which the article W is conveyed by the vehicle 20. The article conveyance vehicle 20 is between the conveyance place of the conveyance source and the conveyance destination, and the article conveyance vehicle 20. And a transfer mounting device 28 that transfers and mounts the article W. The article transfer vehicle 20 is provided with the article transfer vehicle 20 by the transfer mounting device 28 from the mounting table 203 of the transfer source. ), the article W is transported and mounted on a travel path, and the article W is transported and mounted from the article transport vehicle 20 to the mounting table 203 of the transport destination by the transport mounting device 28, The article W is conveyed between the carrier and the destination.

도 3의 블록도는, 물품 반송 설비(200) 및 물품 반송차(20)의 시스템 구성을 모식적으로 나타내고 있다. 도 4는, 물품(W)을 유지하기 전의 상기 물품(W)이 탑재된 탑재대(203)와 물품 반송차(20)와의 관계를 나타내고 있다. 도 2 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(20)는, 주행 경로를 따라 주행하는 주행부(22)와, 주행 레일 RL의 아래쪽에 위치하도록 주행부(22)에 현수(懸垂) 지지되고 또한 물품(W)을 유지하는 물품 유지부(24)를 구비한 본체부(23)를 구비하고 있다. The block diagram of FIG. 3 schematically shows the system configuration of the article conveyance facility 200 and the article conveyance vehicle 20. 4 shows the relationship between the mounting table 203 on which the article W is mounted and the article transport vehicle 20 before holding the article W. As shown in FIG. As shown in Figs. 2 and 4, the article transport vehicle 20 is supported by a running unit 22 that runs along a travel path and a running unit 22 that is located below the running rail RL. It is further provided with a body portion 23 having an article holding portion 24 for holding the article W.

주행부(22)에는, 주행 경로를 따라 설치된 주행 레일 RL상을 주행하는 주행 차륜(22a)과, 그 주행 차륜(22a)을 회전시키는 주행용 모터(22m)가 구비되어 있다. 본체부(23)는, 물품 유지부(24)와, 승강부(25)와, 슬라이딩부(26)와, 회전부(27)와, 커버체(23c)를 구비하고 있다. 물품 유지부(24)와, 승강부(25)와, 슬라이딩부(26)와, 회전부(27)는, 이송탑재 장치(28)를 구성하고 있다. 이송탑재 장치(28)는, 반송원 및 반송처의 탑재대(203)에서의 이송탑재 개소와 물품 반송차(20)와의 사이에서 물품(W)을 이송탑재하고, 물품 유지부(24)에 의해 물품(W)을 유지한 상태로 물품(W)을 반송하는 기구(機構)이다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품(W)의 플랜지부(16)는, 물품(W)의 상단부[수용부(15)보다 위쪽]에 설치되어 있고, 물품 유지부(24)에 의해 지지된다. 물품 반송차(20)는, 물품 유지부(24)에 의해 플랜지부(16)를 현수 지지한 상태로 물품(W)을 반송한다. The travel unit 22 is provided with travel wheels 22a that travel on travel rails RL provided along the travel path, and travel motors 22m that rotate the travel wheels 22a. The body portion 23 includes an article holding portion 24, an elevating portion 25, a sliding portion 26, a rotating portion 27, and a cover body 23c. The article holding part 24, the lifting part 25, the sliding part 26, and the rotating part 27 constitute the transfer mounting device 28. The transfer mounting device 28 transfers and mounts the article W between the transfer mounting location on the mounting table 203 of the transfer source and the transfer destination and the article transfer vehicle 20, and the article holding unit 24 This is a mechanism that conveys the article W while holding the article W. As shown in FIG. 2, the flange portion 16 of the article W is provided at the upper end portion (above the receiving portion 15) of the article W, and is supported by the article holding portion 24. The article transport vehicle 20 conveys the article W in a state in which the flange portion 16 is suspended and supported by the article holding portion 24.

승강부(25)는, 물품 유지부(24)를 주행부(22)에 대하여 승강 이동시키는 구동부이다. 슬라이딩부(26)는, 물품 유지부(24)를 주행부(22)에 대하여 가로 방향 X(수평면을 따라, 주행 방향 Y로 직교하는)으로 슬라이딩시키는 구동부이다. 회전부(27)는, 물품 유지부(24)를 주행부(22)에 대하여 세로 축심(Z)[수직 방향의 축심(軸心; axis)] 주위로 회전시키는 구동부이다. 커버체(23c)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품(W)을 지지한 물품 유지부(24)가, 상승 기준 위치까지 상승하고 있는 상태에서, 물품(W)의 상방측 및 경로 전후측을 덮는 부재이다. 그리고, 상승 기준 위치란, 물품(W)을 지지한 상태로 물품 반송차(20)가 주행 레일 RL을 따라 주행할 때, 물품 유지부(24)가 위치하는 상하 방향(수직 방향)의 위치로 하여 미리 규정된 위치이다. The elevating unit 25 is a driving unit that moves the article holding unit 24 up and down with respect to the traveling unit 22. The sliding portion 26 is a driving portion that slides the article holding portion 24 with respect to the traveling portion 22 in the transverse direction X (orthogonal to the traveling direction Y along the horizontal plane). The rotating part 27 is a drive part which rotates the article holding part 24 about the vertical axis|shaft center Z (a vertical axis|shaft axis) with respect to the traveling part 22. As shown in FIG. 2, the cover body 23c is on the upper side of the article W and on the front and rear sides of the path in a state in which the article holding portion 24 supporting the article W is raised to the rising reference position. It is a member to cover. In addition, the ascending reference position refers to a position in the vertical direction (vertical direction) where the article holding unit 24 is located when the article transport vehicle 20 runs along the travel rail RL while supporting the article W. This is a predefined location.

이하, 물품 반송 설비(200) 및 물품 반송차(20)의 시스템 구성을 모식적으로 나타낸 도 3도 참조하여 물품 반송차(20)의 구성에 대하여 설명한다. 물품 유지부(24)에는, 한 쌍의 파지 클로우(gripping claw)(24a)와, 파지용(把持用) 모터(24m)(도 3 참조)가 구비되어 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 파지 클로우(24a)의 각각은, 각각의 파지 클로우(24a)의 하단부에 의해 물품(W)의 플랜지부(16)를 아래쪽으로부터 지지하도록, 측면에서 볼 때(X방향에서 볼 때) L자형으로 형성되어 있다. 한 쌍의 파지 클로우(24a)는, 파지용 모터(24m)의 구동력에 의해, 수평 방향을 따라, 서로 접근 및 이격된다. 물품 유지부(24)는, 지지 상태와 지지 해제 상태로 전환할 수 있도록 구성되어 있고, 한 쌍의 파지 클로우(24a)가, 접근함으로써 지지 상태로 되고, 이격됨으로써 지지 해제 상태로 된다. Hereinafter, the configuration of the article conveyance vehicle 20 will be described with reference to FIG. 3 which schematically shows the system configuration of the article conveyance facility 200 and the article conveyance vehicle 20. The article holding portion 24 is provided with a pair of gripping claws 24a and a gripping motor 24m (see Fig. 3). As shown in Fig. 2, each of the pair of gripping claws 24a is viewed from the side so that the flange portion 16 of the article W is supported from below by the lower end of each gripping claw 24a. It is formed in an L shape (viewed from the X direction). The pair of gripping claws 24a are approached and spaced apart from each other along the horizontal direction by the driving force of the gripping motor 24m. The article holding portion 24 is configured to be able to switch between a supported state and a supported release state, and the pair of gripping claws 24a is brought into a supported state by approaching it, and is in a disengaged state by being separated from each other.

도 2에 나타낸 바와 같이, 물품(W)을 현수 지지하는 물품 유지부(24)는, 물품 유지부(24)와 같이 이송탑재 장치(28)를 구성하는 승강부(25)에 의해 주행부(22)에 대하여 승강 가능하게 지지되어 있다. 승강부(25)에는, 권취체(25a)와, 권취 벨트(25b)와, 승강용 모터(25m)(도 3 참조)가 구비되어 있다. 권취체(25a)는, 후술하는 회전체(27a)에 지지되어 있다. 권취 벨트(25b)는, 권취체(25a)에 권취되어 있고, 선단부에는 물품 유지부(24)가 연결 지지되어 있다. 승강용 모터(25m)는, 권취체(25a)를 회전시키기 위한 동력을 부여한다. 승강용 모터(25m)가 권취체(25a)를 플러스 방향으로 회전시키는 것에 의해, 권취 벨트(25b)를 권취, 승강용 모터(25m)가 권취체(25a)를 역방향으로 회전시키는 것에 의해, 권취 벨트(25b)를 송출한다. 이로써, 물품 유지부(24) 및 물품 유지부(24)에 지지된 물품(W)이 승강 이동된다. 그리고, 승강부(25)에는, 권취체(25a)의 송출량을 펄스수에 의해 계측하는 인코더(encoder)(도시하지 않음)도 구비되어 있다. 작동 제어부(21)(도 3 참조)은, 이 펄스수에 기초하여 물품 유지부(24)의 승강 높이를 제어한다. As shown in FIG. 2, the article holding unit 24 for suspending and supporting the article W is a traveling unit ( It is supported so as to be able to move up and down against 22). The elevating portion 25 is provided with a winding body 25a, a winding belt 25b, and an elevating motor 25m (see Fig. 3). The winding body 25a is supported by a rotating body 27a to be described later. The take-up belt 25b is wound around the take-up body 25a, and an article holding portion 24 is connected and supported at the distal end thereof. The lifting motor 25m applies power for rotating the winding body 25a. The lifting motor 25m rotates the take-up body 25a in the positive direction, thereby winding the take-up belt 25b, and the lifting motor 25m rotates the take-up member 25a in the reverse direction. The belt 25b is sent out. Thereby, the article holding portion 24 and the article W supported by the article holding portion 24 are moved up and down. Further, the lifting unit 25 is also provided with an encoder (not shown) that measures the delivery amount of the winding body 25a by the number of pulses. The operation control unit 21 (see Fig. 3) controls the lifting height of the article holding unit 24 based on the number of pulses.

동일하게 본체부(23)를 구성하는 슬라이딩부(26)에는, 중계부(26a)와, 슬라이딩용 모터(26m)(도 3 참조)가 구비되어 있다. 중계부(26a)는, 주행부(22)에 대하여 가로 방향 X를 따라 슬라이딩할 수 있도록, 주행부(22)에 지지되어 있다. 슬라이딩용 모터(26m)는, 중계부(26a)를 가로 방향 X를 따라 슬라이딩시키기 위한 동력을 부여한다. 슬라이딩부(26)는, 슬라이딩용 모터(26m)의 구동에 의해 중계부(26a)를 가로 방향 X를 따라 슬라이딩시킴으로써, 물품 유지부(24) 및 승강부(25)를 가로 방향 X를 따라 이동시킨다. Similarly, the sliding portion 26 constituting the main body 23 is provided with a relay portion 26a and a sliding motor 26m (see Fig. 3). The relay part 26a is supported by the travel part 22 so that it can slide with respect to the travel part 22 along the horizontal direction X. The sliding motor 26m provides power for sliding the relay portion 26a along the lateral direction X. The sliding part 26 moves the article holding part 24 and the lifting part 25 along the horizontal direction X by sliding the relay part 26a along the horizontal direction X by driving of the sliding motor 26m. Let it.

동일하게 이송탑재 장치(28)를 구성하는 회전부(27)에는, 회전체(27a)와, 회전용 모터(27m)(도 3 참조)가 구비되어 있다. 회전체(27a)는, 수직 방향(상하 방향)과 따른 세로 축심(Z) 주위로 회전 가능하게, 중계부(26a)에 대하여 지지되어 있다. 회전용 모터(27m)는, 회전체(27a)를 세로 축심 주위로 회전시키기 위한 동력을 부여한다. 회전부(27)는, 회전용 모터(27m)의 구동에 의해 회전체(27a)를 회전시킴으로써, 물품 유지부(24) 및 승강부(25)를 세로 축심(Z) 주위를 따라 회전시킨다. Similarly, the rotating portion 27 constituting the transfer mounting device 28 is provided with a rotating body 27a and a rotating motor 27m (see Fig. 3). The rotating body 27a is supported with respect to the relay portion 26a so as to be rotatable around the vertical axis Z along the vertical direction (up-down direction). The rotation motor 27m provides power for rotating the rotating body 27a around the longitudinal axis. The rotating unit 27 rotates the article holding unit 24 and the lifting unit 25 around the vertical axis Z by rotating the rotating body 27a by driving the rotating motor 27m.

도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(20)는, 프로파일 기억부(29)를 구비하고 있다. 프로파일 기억부(29)는, 메모리 등의 기억 매체에 의해 구성되고, 각각의 탑재대(203)에 있어서 물품(W)을 이송탑재하기 위한 위치나 작동량의 정보를 포함하는 프로파일 정보를 기억한다. 프로파일 정보에는, 각각의 탑재대(203)에 있어서 물품(W)을 반송 및 이송탑재하기 위해 주행 경로에 있어서 물품 반송차(20)를 정지시키는 정지 목표 위치 정보 및 이송탑재 기준 작동량의 정보를 포함한다. 이송탑재 기준 작동량은, 예를 들면, 주행부(22)에 대한 물품 유지부(24)의 세로 축심(Z) 주위의 회전량을 규정하는 회전 작동량, 주행부(22)에 대한 물품 유지부(24)의 가로 방향 X에서의 이동량을 규정하는 슬라이딩 작동량, 및, 주행부(22)에 대한 물품 유지부(24)의 상하 방향에서의 작동량을 규정하는 하강 작동량을 포함한다. 이송탑재 기준 작동량은, 주행부(22)가 주행 레일 RL을 주행할 때의 물품 유지부(24)의 자세를 기준으로 하고 있다. 예를 들면, 주행부(22)가 주행 레일 RL을 주행할 때의 물품 유지부(24)의 세로 축심 주위의 위치를 회전 기준 위치로 하고, 주행부(22)가 주행할 때의 물품 유지부(24)의 가로 방향 X에서의 위치를 슬라이딩 기준 위치로 하고, 주행부(22)가 주행할 때의 물품 유지부(24)의 상하 방향에서의 위치를 상승 설정 위치로 한다. As shown in FIG. 3, the article transport vehicle 20 includes a profile storage unit 29. The profile storage unit 29 is constituted by a storage medium such as a memory, and stores profile information including information on a position and operation amount for transporting and mounting the article W in each mounting table 203. . In the profile information, information of the stop target position information for stopping the article transport vehicle 20 in the travel path and the information of the reference amount of operation for transport loading are included in order to transport and transport the article W in each of the mounting tables 203. Includes. The transfer loading reference operation amount is, for example, a rotational operation amount that defines the amount of rotation around the vertical axis Z of the article holding unit 24 with respect to the running unit 22, and holding the article with respect to the running unit 22. And a sliding operation amount defining the amount of movement of the portion 24 in the transverse direction X, and a lowering operation amount defining an operation amount of the article holding portion 24 in the vertical direction with respect to the traveling portion 22. The transfer loading reference operation amount is based on the posture of the article holding unit 24 when the travel unit 22 travels the travel rail RL. For example, the position around the longitudinal axis of the article holding unit 24 when the running unit 22 runs on the running rail RL is set as a rotation reference position, and the article holding unit when the running unit 22 runs The position in the horizontal direction X in (24) is set as the sliding reference position, and the position in the vertical direction of the article holding unit 24 when the traveling unit 22 travels is set as the raised setting position.

물품 반송차(20)가 물품 반송 설비(200)에 도입될 때는 적절한 프로파일 정보가 설정된다. 그러나, 물품 반송차(20)의 시간 경과에 따른 변화나 소모 등에 의해, 오차가 커지게 되면, 물품(W) 등의 물품이 적절하게 이송탑재시킬 수 없게 되는 경우가 있다. 예를 들면, 주행 차륜(22a)의 마모 등에 의해, 정지 목표 위치가, 이상적(理想的)인 위치로부터 어긋나는 경우가 있다. 또, 승강부(25)[승강용 모터(25m)]나 권취 벨트(25b)의 시간 경과에 따른 열화나 소모에 수반하여 이송탑재 기준 작동량과 이상적인 작동량과의 어긋남이 서서히 커지게 되는 경우도 있다. 그러므로, 예를 들면, 기간을 정해 정기 점검 등이 행해지고, 이 때 조정이 실시된다. 또, 이송탑재 에러가 증가한 경우 등에서는, 개개의 물품 반송차(20)에 따른 적절한 시기에 조정이 행해지는 경우가 있다. 자세한 것은 후술하지만, 위치 관계 검출 시스템(100)은, 이송탑재 기준 작동량에 기초하여 물품 유지부(24)가 작동한 후의 물품 유지부(24)와 이송탑재 개소에 대한 위치 관계를 검출하는 시스템이다. 검출된 위치 관계에 기초하여, 이송탑재 기준 작동량의 설정이나 갱신이 행해진다. When the article conveyance vehicle 20 is introduced into the article conveyance facility 200, appropriate profile information is set. However, if the error becomes large due to changes or consumption of the article transport vehicle 20 over time, there may be cases where the article such as the article W cannot be properly transported and mounted. For example, the stop target position may be shifted from the ideal position due to wear or the like of the traveling wheel 22a. In addition, when the deviation between the standard operation amount and the ideal operation amount gradually increases due to deterioration or consumption over time of the lifting unit 25 (elevating motor 25m) or the winding belt 25b. There is also. Therefore, for example, a periodic inspection or the like is performed by setting a period, and at this time, adjustment is performed. In addition, in the case of an increase in the transfer loading error or the like, there are cases where the adjustment is performed at an appropriate time according to the individual article transfer vehicle 20. Although it will be described later in detail, the positional relationship detection system 100 is a system that detects the positional relationship between the article holding unit 24 and the transport mounting location after the article holding unit 24 has operated based on the reference operation amount for transport loading. to be. Based on the detected positional relationship, the setting or update of the transfer loading reference operation amount is performed.

반송 설비 제어 장치(H)는, 물품 반송 설비(200)의 중핵(中核)으로 되는 시스템 컨트롤러이다. 반송 설비 제어 장치(H)는, 물품 반송차(20)에 대한 상위 컨트롤러이며, 제1 영역(E1)에서의 물품 반송차(20)의 작동을 제어하여, 물품(W)을 반송하기 위한 반송 제어를 실행한다. 또, 반송 설비 제어 장치(H)는, 제2 영역(E2)에서의 물품 반송차(20)의 작동을 제어하여, 물품 반송차(20)의 조정을 행하는 조정 제어도 실행한다. 그리고, 여기서는, 반송 제어와 조정 제어를 공통의 반송 설비 제어 장치(H)가 중핵으로 되어 실행하는 형태를 예시하였으나, 각각 다른 제어 장치에 의해 실행되는 형태라도 된다. The conveyance facility control device H is a system controller serving as the core of the article conveyance facility 200. The conveyance facility control device H is a host controller for the article conveyance vehicle 20, and controls the operation of the article conveyance vehicle 20 in the first area E1 to convey the article W. Control is executed. Moreover, the conveyance facility control device H also performs adjustment control which controls the operation of the article conveyance vehicle 20 in the 2nd area|region E2, and adjusts the article conveyance vehicle 20. In addition, although the form in which the conveyance control and the adjustment control are performed in a common conveyance facility control device H as a core is illustrated here, the form may be performed by different control devices respectively.

도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(20)와 반송 설비 제어 장치(H)는, 예를 들면, 무선 LAN 등에 의해 무선 통신을 행한다. 또, 물품 반송차(20)와 위치 관계 검출 시스템(100)의 센서 유닛(3)은, 예를 들면, 근거리 무선 통신이나 무선 LAN에 의한 무선 통신이나, 케이블 등을 통한 유선 통신을 행한다. 작동 제어부(21)는, 마이크로 컴퓨터 등에 의해 구성되고, 반송 제어에서는, 반송 설비 제어 장치(H)로부터의 지령에 기초하여 물품 반송차(20)를 자율 제어에 의해 작동시킨다. 또, 조정 제어에서는, 위치 관계 검출 시스템(100)과 협동하여, 물품 반송차(20)의 조정(프로파일 정보의 설정이나 갱신)을 행한다. As shown in Fig. 3, the article transport vehicle 20 and the transport facility control device H perform wireless communication by, for example, a wireless LAN or the like. Further, the article transport vehicle 20 and the sensor unit 3 of the positional relationship detection system 100 perform, for example, short-range wireless communication, wireless communication by wireless LAN, or wired communication through a cable or the like. The operation control unit 21 is configured by a microcomputer or the like, and in the conveyance control, the article conveyance vehicle 20 is operated by autonomous control based on a command from the conveyance facility control device H. In addition, in the adjustment control, the article transport vehicle 20 is adjusted (setting or updating of profile information) in cooperation with the positional relationship detection system 100.

이하, 도 5∼도 12도 참조하여 설명한다. 위치 관계 검출 시스템(100)은, 물품 유지부(24)에 유지되는 제1 유닛(1)과, 이송탑재 개소에 설치되는 제2 유닛(2)을 구비하고 있다. 제1 유닛(1) 및 제2 유닛(2)의 한쪽은 센서 유닛(3)이며, 다른 쪽은 센서 유닛(3)에 의한 검출 대상을 구비한 피검출 유닛(4)이다. 본 실시형태에서는, 제1 유닛(1)이 센서 유닛(3)이며, 제2 유닛(2)이 피검출 유닛(4)이다. Hereinafter, it demonstrates with reference also to FIGS. 5-12. The positional relationship detection system 100 includes a first unit 1 held in an article holding unit 24 and a second unit 2 installed at a transfer mounting location. One of the first unit 1 and the second unit 2 is a sensor unit 3, and the other is a detection target unit 4 provided with an object to be detected by the sensor unit 3. In this embodiment, the first unit 1 is the sensor unit 3 and the second unit 2 is the detection target unit 4.

센서 유닛(3)은, 상기 센서 유닛(3)에서의 검출 기준점 Q로부터 피검출체[여기서는 피검출 유닛(4)]의 복수 개소까지의 거리 K를 검출할 수 있다. 즉, 센서 유닛(3)은, 검출 기준점 Q로부터 피검출 유닛(4)에 설정된 복수의 피검출점 R까지의 거리 K를 검출한다. 여기서는, 센서 유닛(3)은, 센서 유닛(3)에 설정된 검출 기준면 QP에 직교하는 방향에서의 거리 K를 검출하는 것으로 한다. 따라서, 검출 기준점 Q은, 각각의 피검출점 R에 대응하여, 검출 기준면 QP 상에 복수 설정되어 있다. 당연히, 1개의 검출 기준점 Q로부터 각각의 피검출점 R까지의 거리가 검출되고, 삼각 측량의 원리를 이용하여 거리 K가 검출되는 형태라도 된다. The sensor unit 3 can detect the distance K from the detection reference point Q in the sensor unit 3 to a plurality of locations of the object to be detected (here, the unit to be detected 4). That is, the sensor unit 3 detects the distance K from the detection reference point Q to the plurality of detection target points R set in the detection target unit 4. Here, it is assumed that the sensor unit 3 detects the distance K in the direction orthogonal to the detection reference plane QP set in the sensor unit 3. Accordingly, a plurality of detection reference points Q are set on the detection reference plane QP, corresponding to each of the detection target points R. Naturally, the distance from one detection reference point Q to each detection point R may be detected, and the distance K may be detected using the principle of triangulation.

피검출 유닛(4)에는, 센서 유닛(3)에 대향하도록 기준면(P0)이 설정되어 있다. 본 실시형태에서는, 피검출 유닛(4)은, 기준면(P0)이 수평면과 평행하게 되는 상태로 조정용 탑재대(204)에 설치되어 있다. 피검출 유닛(4)은, 기준면(P0)에 따른 제1 방향 D1 및 기준면(P0)을 따르고 또한 제1 방향 D1에 직교하는 제2 방향 D2를 기준으로 한 기준 위치에 설치되어 있다. 즉, 피검출 유닛(4)은, 조정용 탑재대(204)에 대하여 기준 자세로 기준 위치에 설치되어 있다. 여기서, 물품 유지부(24)와 조정용 탑재대(204)와의 위치 관계가 규정의 위치 관계로 되도록 조정되어 있을 때, 센서 유닛(3)과 피검출 유닛(4)과의 상대 위치 및 상대 자세는, 기준 위치 관계에 있다. A reference surface P0 is set in the detection target unit 4 so as to face the sensor unit 3. In the present embodiment, the detection target unit 4 is provided on the adjustment mounting table 204 in a state in which the reference plane P0 is parallel to the horizontal plane. The detection target unit 4 is provided at a reference position based on the first direction D1 along the reference plane P0 and the second direction D2 along the reference plane P0 and perpendicular to the first direction D1. That is, the unit to be detected 4 is installed at a reference position in a reference posture with respect to the mounting table 204 for adjustment. Here, when the positional relationship between the article holding unit 24 and the adjustment mounting table 204 is adjusted to be a prescribed positional relationship, the relative position and the relative posture between the sensor unit 3 and the unit to be detected 4 are , In the reference position relationship.

도 5에 나타낸 바와 같이, 센서 유닛(3)은, 화상 센서(31)와 레이저(32)를 구비한 센서 본체부(30)와, 센서 본체부(30)로부터의 출력 신호를 증폭하는 앰프 유닛(34)과, 프로그래머블 컨트롤러(36)(PLC: Progra㎜able Logic Controller)와, 디스플레이(35)를 구비하고 있다. 센서 유닛(3)은, 화상 센서(31)에 의해 검출 대상[여기서는 피검출 유닛(4)]을 촬영할 수 있다. 촬영 화상은, 디스플레이(35)에 표시된다. 작업자는, 물품 유지부(24)와 조정용 탑재대(204)와의 위치 관계가 규정의 위치 관계(기준 위치 관계)로 되도록 조정되어 있고, 센서 유닛(3)과 피검출 유닛(4)이 기준 위치 관계에 있는 상태에서, 디스플레이(35)에 표시된 촬영 화상(피검출 유닛(4) 상에 피검출점 R을 설정한다. 예를 들면, 도 7의 평면도 및 도 8의 측면도에 나타낸 바와 같이, 촬영 화상 상의 피검출 유닛(4)에 대하여 피검출점 RR이 설정된다. 즉, 레이저(32)는, 이들 피검출점 R까지의 거리 K를 측정하도록 설정된다. 프로그래머블 컨트롤러(36)은, 측정된 피검출점 R까지의 거리 K를, 반송 설비 제어 장치(H)에 송신한다. As shown in Fig. 5, the sensor unit 3 includes a sensor body 30 including an image sensor 31 and a laser 32, and an amplifier unit that amplifies an output signal from the sensor body 30 34, a programmable controller 36 (PLC: Programmable Logic Controller), and a display 35 are provided. The sensor unit 3 can photograph a detection target (here, the detection target unit 4) by the image sensor 31. The photographed image is displayed on the display 35. The operator is adjusted so that the positional relationship between the article holding unit 24 and the mounting table 204 for adjustment becomes a prescribed positional relationship (reference positional relationship), and the sensor unit 3 and the unit to be detected 4 are at the reference position. In the state in which there is a relationship, a captured image displayed on the display 35 (a detection target R is set on the detection target unit 4). For example, as shown in the plan view of Fig. 7 and the side view of Fig. 8, the captured image The detection target RR is set with respect to the detection target unit 4 on the image, that is, the laser 32 is set to measure the distance K to these detection target R. The programmable controller 36 is the measured detection target R. The distance K to is transmitted to the transport facility control device H.

도 6의 사시도에 나타낸 바와 같이, 피검출 유닛(4)은, 이송탑재 개소에 대한 물품 유지부(24)의 상대 위치를 나타내는 평면 상대 위치(도 11 참조), 이송탑재 개소에 설정된 기준면(P0)에 대한 물품 유지부(24)의 경사 φ(도 12 참조), 기준면(P0)에 직교하는 기준축(C)의 주위의 물품 유지부(24)의 회전 각도 θ 중 2개 이상을, 센서 유닛(3)이 검출 기준점 Q로부터의 거리 K에 따른 값으로서 검출 가능한 복수의 피검출면(40)을 구비하고 있다. 그리고, 평면 상대 위치는, 이송탑재 개소에 있어서 센서 유닛(3)에 대향하도록 설정된 기준면(P0)에 따른 제1 방향 D1 및 기준면(P0)을 따르고 또한 제1 방향 D1에 직교하는 제2 방향 D2에서의, 이송탑재 개소에 대한 물품 유지부(24)의 상대 위치를 나타내고 있다. As shown in the perspective view of Fig. 6, the detected unit 4 is a plane relative position (see Fig. 11) indicating the relative position of the article holding unit 24 with respect to the transport mounting position, and a reference plane P0 set at the transport mounting position. ), two or more of the inclination φ of the article holding unit 24 with respect to (see Fig. 12) and the rotation angle θ of the article holding unit 24 around the reference axis C orthogonal to the reference plane P0, The unit 3 is provided with a plurality of detection target surfaces 40 that can be detected as values according to the distance K from the detection reference point Q. And, the plane relative position is the first direction D1 along the reference plane P0 set to face the sensor unit 3 at the transfer mounting location, and the second direction D2 along the reference plane P0 and perpendicular to the first direction D1. The relative position of the article holding unit 24 with respect to the transfer mounting location in is shown.

도 6, 도 8 등에 나타낸 바와 같이, 제1 방향 D1에서의 평면 상대 위치를 검출하는 피검출면(40)은, 제1 방향 D1의 한쪽을 향함에 따라 검출 기준점 Q로부터의 거리 K가 일정한 비율로 증가하도록 배치된 경사 평면[제1 경사 평면(41)]이다. 또, 제2 방향 D2에서의 평면 상대 위치를 검출하는 피검출면(40)은, 제2 방향 D2의 한쪽을 향함에 따라 검출 기준점 Q로부터의 거리가 일정한 비율로 증가하도록 배치된 경사 평면[제2 경사 평면(42)]이다. As shown in Figs. 6 and 8, the detection target surface 40 for detecting the plane relative position in the first direction D1 has a constant ratio of the distance K from the detection reference point Q toward one side of the first direction D1. It is an inclined plane (first inclined plane 41) arranged so as to increase by. Further, the detection target surface 40 for detecting the plane relative position in the second direction D2 is an inclined plane arranged so that the distance from the detection reference point Q increases at a constant rate as it faces one side of the second direction D2. 2 inclined plane 42].

경사를 검출하는 피검출면(40)은, 적어도 3개소에 설치되어 있다. 이들 3개의 피검출면(40)[51,52, 53]은, 경사가 없는 경우에 검출 기준점 Q로부터의 거리가 같아지도록 배치되고, 기준면(P0)에 평행한 면[비경사 평면(50)]이다. 3개의 비경사 평면(50)의 각각을 구별하는 경우에는, 제1 비경사 평면(51), 제2 비경사 평면(52), 제3 비경사 평면(53)이라고 한다. 제1 비경사 평면(51)과 제2 비경사 평면(52)는, 제2 방향 D2를 따라 배치되고, 제2 비경사 평면(52)과 제3 비경사 평면(53)은 제1 방향 D1을 따라 배치되어 있다. The detection target surface 40 for detecting the inclination is provided in at least three places. These three detection target surfaces 40 [51, 52, 53] are arranged so that the distance from the detection reference point Q is the same when there is no inclination, and are parallel to the reference plane P0 (non-inclined plane 50). ]to be. When each of the three non-inclined planes 50 is distinguished, it is referred to as a first non-inclined plane 51, a second non-inclined plane 52, and a third non-inclined plane 53. The first non-inclined plane 51 and the second non-inclined plane 52 are disposed along the second direction D2, and the second non-inclined plane 52 and the third non-inclined plane 53 are the first direction D1. Are arranged along the lines.

기준축(C) 주위의 회전 각도 θ를 검출하는 피검출면(40)은, 기준축(C) 주위에 한쪽 측으로 선회(旋回)함에 따라 검출 기준점 Q로부터의 거리가 일정한 비율로 증가하도록 배치된 나선형 면(43)이다. The detection target surface 40 for detecting the rotation angle θ around the reference axis C is arranged so that the distance from the detection reference point Q increases at a constant rate as it rotates to one side around the reference axis C. It is a spiral face 43.

그리고, 기준면(P0)을 따르는 각각의 방향에서의 피검출면(40)의 폭은, 이송탑재 개소와 물품 유지부(24)와의 이론상의 어긋남의 최대값보다 커지게 되도록 설정되어 있다. 구체적으로는, 제1 경사 평면(41)은, 적어도 기준면(P0)을 따르고 또한 제1 방향 D1에 직교하는 방향(제2 방향 D2)의 폭이, 이송탑재 개소와 물품 유지부(24)와의 제2 방향 D2에서의 이론상의 어긋남의 최대값보다 커지게 되도록 설정되어 있다. 그리고, 당연히, 제1 경사 평면(41)의 제1 방향 D1의 폭(길이)은, 이송탑재 개소와 물품 유지부(24)와의 제1 방향 D1에서의 이론상의 어긋남의 최대값보다 크다. 마찬가지로, 제2 경사 평면(42)는, 적어도 기준면(P0)을 따르고 또한 제2 방향 D2에 직교하는 방향(제1 방향 D1)에서의 폭이, 이송탑재 개소와 물품 유지부(24)와의 제1 방향 D1에서의 이론상의 어긋남의 최대값보다 커지게 되도록 설정되어 있다. 그리고, 당연히, 제2 경사 평면(42)의 제2 방향 D2의 폭(길이)은, 이송탑재 개소와 물품 유지부(24)와의 제2 방향 D2에서의 이론상의 어긋남의 최대값보다 크다. In addition, the width of the detection target surface 40 in each direction along the reference plane P0 is set to be greater than the maximum value of the theoretical deviation between the transport mounting location and the article holding portion 24. Specifically, the width of the first inclined plane 41 at least along the reference plane P0 and in a direction orthogonal to the first direction D1 (the second direction D2) is It is set so as to be larger than the maximum value of the theoretical deviation in the second direction D2. And, naturally, the width (length) of the first inclined plane 41 in the first direction D1 is larger than the maximum value of the theoretical shift in the first direction D1 between the transport mounting location and the article holding portion 24. Similarly, the width of the second inclined plane 42 at least in a direction (first direction D1) along the reference plane P0 and orthogonal to the second direction D2 is It is set so that it may become larger than the maximum value of the theoretical deviation in one direction D1. And, naturally, the width (length) of the second inclined plane 42 in the second direction D2 is larger than the maximum value of the theoretical shift in the second direction D2 between the transport mounting location and the article holding portion 24.

또, 나선형 면(43)은, 선회 방향 D3에 직교하는 방향에서의 폭이, 이송탑재 개소와 물품 유지부(24)와의 기준면(P0)에 따른 방향에서의 이론상의 어긋남의 최대값보다 커지게 되도록 설정되어 있다. 선회 방향 D3는, 기준축(C)을 중심으로 하는 원의 원주에 대응시킬 수 있으므로, 선회 방향 D3에 직교하는 방향은, 상기 원주의 접선에 직교하는 방향, 즉 기준축(C)을 중심으로 하는 원의 직경 방향에 상당한다. 따라서, 나선형 면(43)은, 기준축(C)을 중심으로 하는 원의 직경 방향에서의 폭이, 이송탑재 개소와 물품 유지부(24)와의 상기 직경 방향에서의 이론상의 어긋남의 최대값보다 커지게 되도록 설정되어 있다. 또, 비경사 평면(50)은, 제1 방향 D1 및 제2 방향 D2에서의 폭이, 제1 방향 D1 및 제2 방향 D2에서의 이론상의 어긋남의 최대값보다 커지게 되도록 설정되어 있다. In addition, the width of the helical surface 43 in the direction orthogonal to the turning direction D3 is greater than the maximum value of the theoretical deviation in the direction along the reference plane P0 between the transport mounting location and the article holding unit 24. It is set to be possible. Since the turning direction D3 can correspond to the circumference of the circle centered on the reference axis C, the direction orthogonal to the turning direction D3 is a direction orthogonal to the tangent line of the circumference, that is, around the reference axis C. Corresponds to the radial direction of the circle. Therefore, in the spiral surface 43, the width in the radial direction of the circle centered on the reference axis C is greater than the maximum value of the theoretical deviation in the radial direction between the transport mounting location and the article holding portion 24. It is set to increase. In addition, the non-inclined plane 50 is set so that the width in the first direction D1 and the second direction D2 becomes larger than the maximum value of the theoretical deviation in the first direction D1 and the second direction D2.

그런데, 조정 제어 시에는, 반송 제어와 마찬가지의 조건 하에서 행해지는 것이 바람직하다. 전술한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 반송 대상의 물품(W)은 복수의 기판(반도체 기판)을 수용하는 수납 용기(FOUP)이므로, FOUP에 센서 유닛(3)이 설치되어 있는 것이 바람직하다. 도 9에 나타낸 바와 같이, 수납 용기로서의 FOUP는, 복수의 기판의 각각을 유지하는 복수의 슬릿(13)과, 상기 슬릿(13)에 기판을 출입시키기 위한 삽탈구(12)과, 삽탈구(12)을 폐쇄하는 커버부(14)를 구비하고 있다. 센서 유닛(3)은, 기판과 동일한 두께를 가지는 지지 기판(71)에 지지되고, 지지 기판(71)이 슬릿(13)에 의해 지지되는 것에 의해 FOUP에 설치된다. By the way, at the time of adjustment control, it is preferable to perform under the same conditions as conveyance control. As described above, in the present embodiment, since the article W to be transported is a storage container FOUP that accommodates a plurality of substrates (semiconductor substrates), it is preferable that the sensor unit 3 is provided in the FOUP. As shown in Fig. 9, the FOUP as a storage container includes a plurality of slits 13 for holding each of a plurality of substrates, an insertion/disassembly 12 for allowing the substrate to enter and exit the slit 13, and an insertion/disassembly ( It is provided with the cover part 14 which closes 12). The sensor unit 3 is supported by a support substrate 71 having the same thickness as that of the substrate, and the support substrate 71 is supported by a slit 13 to be attached to the FOUP.

센서 유닛(3)의 중핵으로 되는 센서 본체부(30)는, 브래킷(72)을 통해 지지 기판(71)에 현수 지지되어 있다. 센서 본체부(30)에 의한 검출 방향은, 아래쪽(FOUP의 바닥을 향하는 방향)이므로, FOUP의 바닥부에는, 관통공(17)이 형성되어 있다. 센서 유닛(3)은, 관통공(17)을 협지(sandwich)하여 피검출 유닛(4)과 대향하고, 센서 유닛(3)과 피검출 유닛(4)의 각 피검출점 R과의 사이의 거리 K를 검출한다. 그리고, FOUP의 바닥부의 일부 또는 저부(低部)의 전체면이 조정용 탑재대(204)의 상면에 접촉된 상태에서, 거리 K의 검출이 행해져도 된다. 그러므로, 관통공(17)은, 물품 유지부(24)와 조정용 탑재대(204)와의 위치 관계가, 이상적인 위치 관계로부터 최대 오차 범위까지 어긋난 경우라도, 관통공(17)의 내측에 센서 유닛(3)의 전체가 들어가는 크기로 설정되어 있다. The sensor main body 30 serving as the core of the sensor unit 3 is suspended and supported by a support substrate 71 via a bracket 72. Since the detection direction by the sensor main body 30 is lower (direction toward the bottom of the FOUP), a through hole 17 is formed in the bottom of the FOUP. The sensor unit 3 faces the detection target unit 4 by sandwiching the through hole 17, and the distance between the sensor unit 3 and each detection target R of the detection target unit 4 Detect K. Further, the distance K may be detected in a state in which a part of the bottom portion of the FOUP or the entire surface of the bottom portion is in contact with the upper surface of the mounting table 204 for adjustment. Therefore, in the through hole 17, even when the positional relationship between the article holding portion 24 and the adjustment mounting table 204 deviates from the ideal positional relationship to the maximum error range, the sensor unit ( It is set to the size that the whole of 3) fits in.

도 9에 나타낸 바와 같이, 지지 기판(71)에는, 앰프 유닛(34)도 현수 지지되어 있다. 또, 도시는 생략하고 있지만, 예를 들면, 배터리나 DC-DC 컨버터 등의 전원 유닛이나, 통신 유닛, 프로그래머블 컨트롤러(36) 등도, 지지 기판(71)의 상면에 탑재되고, 또는 하면에 현수 지지되어 있다. 또, FOUP에는, 삽탈구(12)의 반대측에 윈도우부(18)가 형성되어 있다. 디스플레이(35)는, 윈도우부(18)를 통해 FOUP의 외부보다 작업자가 육안 관찰 가능하게, 지지 기판(71)에 현수 지지되어 있다. 그리고, 윈도우부(18)는 분리 가능하게 구성되어 있고, 윈도우부(18)를 분리해내는(detach) 것에 의해, 작업자는 디스플레이(35)의 터치 패널을 조작할 수 있고, 예를 들면, 전술한 바와 같이 기준 위치 관계에 있어서 촬영된 피검출 유닛(4)의 촬영 화상 위에 있어서 피검출점 R을 설정할 수 있다. As shown in FIG. 9, the amplifier unit 34 is also suspended and supported on the support substrate 71. In addition, although not shown, for example, a power unit such as a battery or a DC-DC converter, a communication unit, a programmable controller 36, etc. are also mounted on the upper surface of the support substrate 71, or suspended and supported on the lower surface. Has been. Further, in the FOUP, a window portion 18 is formed on the opposite side of the insertion/disassembly 12. The display 35 is suspended and supported by the support substrate 71 so that an operator can visually observe the display than the outside of the FOUP through the window portion 18. In addition, the window unit 18 is configured to be detachable, and by detaching the window unit 18, the operator can operate the touch panel of the display 35, for example, as described above. As described above, the detection target R can be set on the captured image of the detection target unit 4 photographed in the reference positional relationship.

도 9 및 도 10에 나타낸 바와 같이, 지지 기판(71)에는, 삽탈구(12)의 방향, 즉 커버부(14)의 방향으로 돌출된 돌출부(73)가 형성되어 있다. 또, 커버부(14)에는, 삽탈구(12)을 폐쇄된 상태로 돌출부(73)에 대향하는 위치에 오목부(14a)가 형성되어 있다. 센서 유닛(3)을 지지하는 지지 기판(71)은, FOUP의 슬릿(13)에 의해 지지되고 또한 돌출부(73)가 오목부(14a)에 의해 규제되는 것에 의해, 지지 기판(71)의 슬릿(13)에 따른 방향의 위치 결정이 행해져 있다. 즉, 센서 유닛(3)은, 슬릿(13)에 의해 지지되고 또한 커버부(14)에 의해 슬릿(13)에 따른 방향의 위치 결정이 행해져 있다. 9 and 10, the support substrate 71 is formed with a protrusion 73 protruding in the direction of the insertion/disassembly 12, that is, the direction of the cover 14. As shown in FIG. Further, in the cover portion 14, a concave portion 14a is formed at a position facing the protruding portion 73 with the insertion and dismounting portion 12 closed. The support substrate 71 supporting the sensor unit 3 is supported by the slit 13 of the FOUP, and the protrusion 73 is regulated by the recess 14a, so that the slit of the support substrate 71 Positioning in the direction according to (13) is performed. That is, the sensor unit 3 is supported by the slit 13 and the position of the direction along the slit 13 is performed by the cover portion 14.

이하, 도 11 및 도 12를 참조하여, 검출된 거리 K와 상대 위치 관계와의 대응에 대하여 설명한다. 하기에 설명하는 바와 같이, 거리 K에 기초하여, 상대 위치 관계를 나타내는 평면 상대 위치, 경사 φ, 회전 각도 θ를 구할 수 있다. 거리 K에 기초한 연산은, 예를 들면, 센서 유닛(3)의 앰프 유닛(34)나 도시하지 않은 컨트롤러에 의해 실행되어도 되고, 반송 설비 제어 장치(H) 등, 센서 유닛(3)은 다른 컨트롤러에 의해 실행되어도 된다. Hereinafter, the correspondence between the detected distance K and the relative positional relationship will be described with reference to FIGS. 11 and 12. As described below, the plane relative position indicating the relative positional relationship, the inclination φ, and the rotation angle θ can be obtained based on the distance K. The calculation based on the distance K may be performed, for example, by the amplifier unit 34 of the sensor unit 3 or a controller (not shown). It may be executed by

기준면(P0)에 따른 방향에 물품 유지부(24)와 피검출 유닛(4)과의 상대 위치가 기준 위치 관계로부터 어긋나 있는 경우, 물품 유지부(24)와 센서 유닛(3)과의 상대 위치도 기준 위치 관계로부터 어긋나 있다. 도 11의 경사면은, 제1 경사 평면(41), 제2 경사 평면(42), 나선형 면(43)을 나타내고 있다. 예를 들면, 상대 위치가 기준 위치 관계에 대하여 제1 방향 D1으로 어긋나 있는 경우, 검출 기준점 Q로부터의 제1 경사 평면(41)에서의 피검출점은, 설정된 피검출점 R로부터 어긋난 점 R으로 된다. 마찬가지로, 상대 위치가 기준 위치 관계에 대하여 제2 방향 D2으로 어긋나 있는 경우, 검출 기준점 Q로부터의 제2 경사 평면(42)에서의 피검출점은, 설정된 피검출점 R로부터 어긋난 점 R으로 된다. 또, 상대 위치가 기준축(C) 주위에 기준 위치 관계에 대하여 선회하고 있는 경우에는, 검출 기준점 Q로부터의 나선형 면(43)에서의 피검출점은, 설정된 피검출점 R으로부터 어긋난 점 R로 된다. When the relative position of the article holding portion 24 and the detected unit 4 in the direction along the reference plane P0 deviates from the reference positional relationship, the relative position of the article holding portion 24 and the sensor unit 3 It also deviates from the reference positional relationship. The inclined surface of FIG. 11 has shown the 1st inclined plane 41, the 2nd inclined plane 42, and the spiral surface 43. For example, when the relative position is shifted in the first direction D1 with respect to the reference positional relationship, the detected point on the first inclined plane 41 from the detection reference point Q becomes a point R deviated from the set detection point R. Similarly, when the relative position is shifted in the second direction D2 with respect to the reference positional relationship, the detected point on the second inclined plane 42 from the detection reference point Q becomes a point R that is deviated from the set detection point R. In addition, when the relative position rotates around the reference axis C with respect to the reference positional relationship, the detected point on the helical surface 43 from the detection reference point Q becomes a point R deviated from the set detection point R.

이와 같은 어긋남이 생기고 있는 경우, 제1 경사 평면(41), 제2 경사 평면(42), 나선형 면(43)과 검출 기준점 Q과의 사이의 거리 K는, 오차(ΔK)를 포함하는 값으로 된다. 제1 방향 D1으로의 시프트량(shift amount)을 d라고 하고, 제1 경사 평면(41)의 기준면(P0)에 대한 경사 각도를 S라고 하면, 오차(ΔK)와 시프트량 d과의 관계는 삼각함수의 탄젠트에 의해 "tanS=ΔK/d"로 나타내는 것이 가능하다. 따라서, 제1 방향 D1으로의 시프트량 d는, 제1 경사 평면(41)의 기준면(P0)에 대한 경사 각도 S에 기초하여 연산할 수 있다. 마찬가지로, 제2 방향 D2으로의 시프트량 d도, 제2 경사 평면(42)의 기준면(P0)에 대한 경사 각도 S에 기초하여 연산할 수 있다. 이와 같이 하여, 제1 방향 D1 및 제2 방향 D2에서의 상대 위치를 구함으로써, 평면 상대 위치를 구할 수 있다. 그리고, 경사 각도 S는, 제1 경사 평면(41)과 제2 경사 평면(42)과 같아도 되고, 상이하도록 되어 있어도 된다. When such a deviation occurs, the distance K between the first inclined plane 41, the second inclined plane 42, and the spiral plane 43 and the detection reference point Q is a value including an error (ΔK). do. Assuming that the shift amount in the first direction D1 is d and the inclination angle of the first inclined plane 41 with respect to the reference plane P0 is S, the relationship between the error ΔK and the shift amount d is It is possible to express "tanS=ΔK/d" by the tangent of the trigonometric function. Therefore, the shift amount d in the first direction D1 can be calculated based on the inclination angle S of the first inclined plane 41 with respect to the reference plane P0. Similarly, the shift amount d in the second direction D2 can also be calculated based on the inclination angle S of the second inclined plane 42 with respect to the reference plane P0. In this way, by obtaining the relative positions in the first direction D1 and the second direction D2, the plane relative position can be obtained. In addition, the inclination angle S may be the same as or different from the first inclined plane 41 and the second inclined plane 42.

또, 나선형 면(43)에서의 시프트량 d는, 기준면(P0)에 평행한 면 상에 있어서 기준축(C)과 피검출점점 R 연결하는 선분을 반경(r)으로 한 원의 원주에 따른 길이에 상당한다. 이 시프트량 d는, 선회 방향 D3에서의 변위량(회전 각도 θ)을 사용하여 "d=2rπ·(θ/2π)=rθ"로 나타내는 것이 가능하다(π: 원주율). 시프트량 d는, 제1 방향 D1 및 제2 방향 D2와 마찬가지로, 오차(ΔK)와, 나선형 면(43)의 경사 각도 S에 기초하여 구할 수 있다. In addition, the shift amount d in the helical surface 43 is according to the circumference of a circle with a line segment connecting the reference axis C and the detected point R on a plane parallel to the reference plane P0 as a radius (r). It corresponds to the length. This shift amount d can be expressed as "d=2rπ·(θ/2π)=rθ" using the displacement amount (rotation angle θ) in the turning direction D3 (π: circumference ratio). Like the first direction D1 and the second direction D2, the shift amount d can be calculated based on the error ΔK and the inclination angle S of the spiral surface 43.

그리고, 반경(r)과 원주 상의 시프트량 d에 기초하여 선회 방향 D3에서의 변위량(회전 각도 θ)을 연산할 수 있다. Then, the displacement amount (rotation angle θ) in the turning direction D3 can be calculated based on the radius r and the circumferential shift amount d.

전술한 바와 같이, 경사를 검출하는 3개의 비경사 평면(50)은, 경사가 없는 경우에 검출 기준점 Q로부터의 거리 K가 같아지도록 배치되어 있다. 그러나, 도 12에 나타낸 바와 같이, 물품 유지부(24)와 기준면(P0)과의 위치 관계에 경사 φ가 생기고 있으면, 검출 기준점 Q로부터 제1 비경사 평면(51)까지의 거리 K에 의해 검출 기준점 Q로부터 제2 비경사 평면(52)까지의 거리 K와의 사이, 및, 검출 기준점 Q로부터 제2 비경사 평면(52)까지의 거리 K에 의해 검출 기준점 Q로부터 제3 비경사 평면(53)까지의 거리 K와의 사이 중 한쪽 또는 양쪽에 오차(ΔH)가 생긴다. 제2 방향 D2를 따라 배치된 제1 비경사 평면(51) 및 제2 비경사 평면(52)에서의 오차(ΔH)[ΔH1]는, 제1 비경사 평면(51)에서의 피검출점점 R 제2 비경사 평면(52)에서의 피검출점점 R의 기준면(P0)에 따른 방향에서의 거리 L(제1 거리 L1)를 반경으로 하는 원의 원주 상에서의 길이로 근사(近似)할 수 있다. 그리고, 기준면(P0)에 대한 경사 φ(φ1)와, 오차(ΔH)[ΔH1]와, 거리 L(제1 거리 L1)와의 관계는, "tanφ1=L1/ΔH1"로 나타내는 것이 가능하다. 따라서, 오차(ΔH)[ΔH1]에 기초하여, 제2 방향 D2에서의 기준면(P0)에 대한 경사 φ(φ1)를 연산할 수 있다. As described above, the three non-inclined planes 50 for detecting the inclination are arranged so that the distance K from the detection reference point Q is the same when there is no inclination. However, as shown in Fig. 12, if an inclination φ occurs in the positional relationship between the article holding part 24 and the reference plane P0, the detection is based on the distance K from the detection reference point Q to the first non-inclined plane 51. The third non-inclined plane 53 from the detection reference point Q by the distance K from the reference point Q to the second non-inclined plane 52 and the distance K from the detection reference point Q to the second non-inclined plane 52 An error (ΔH) occurs in one or both of the distances to and from K. The error ΔH [ΔH1] in the first non-inclined plane 51 and the second non-inclined plane 52 arranged along the second direction D2 is the detected point R in the first non-inclined plane 51 It can be approximated by the length on the circumference of a circle with the distance L (first distance L1) in the direction along the reference plane P0 of the detected point R on the second non-inclined plane 52 as a radius. . The relationship between the inclination φ (φ1) with respect to the reference plane P0, the error ΔH[ΔH1], and the distance L (first distance L1) can be expressed as “tanφ1=L1/ΔH1”. Therefore, based on the error ΔH[ΔH1], the slope φ(φ1) with respect to the reference plane P0 in the second direction D2 can be calculated.

마찬가지로, 제1 방향 D1을 따라 배치된 제2 비경사 평면(52) 및 제3 비경사 평면(53)에서의 오차(ΔH)[ΔH2]는, 제2 비경사 평면(52)에서의 피검출점점 R 제3 비경사 평면(53)에서의 피검출점점 R의 기준면(P0)에 따른 방향에서의 거리 L(제2 거리 L2)를 반경(r)으로 하는 원의 원주 상에서의 길이로 근사할 수 있다. 그리고, 기준면(P0)에 대한 경사 φ(φ2)와, 오차(ΔH)[ΔH2]와, 거리 L(제2 거리 L2)와의 관계는, "tanφ2=L2/ΔH2"로 나타내는 것이 가능하다. 따라서, 오차(ΔH)[ΔH2]에 기초하여, 제2 방향 D2에서의 기준면(P0)에 대한 경사 φ(φ2)를 연산할 수 있다. 그리고, 제2 방향 D2에서의 경사 φ1과, 제1 방향 D1에서의 경사 φ2에 기초하여, 기준면(P0)에 대한 물품 유지부(24)의 경사 φ를 연산할 수 있다. Similarly, the error (ΔH) [ΔH2] in the second non-inclined plane 52 and the third non-inclined plane 53 arranged along the first direction D1 is detected in the second non-inclined plane 52 Increasingly R is to be approximated by the length on the circumference of the circle with the distance L (second distance L2) in the direction along the reference plane (P0) of the point R to be detected in the third non-inclined plane 53 as the radius (r). I can. The relationship between the inclination φ(φ2) with respect to the reference plane P0, the error ΔH[ΔH2], and the distance L (second distance L2) can be expressed as “tanφ2=L2/ΔH2”. Therefore, based on the error ΔH[ΔH2], the inclination φ(φ2) with respect to the reference plane P0 in the second direction D2 can be calculated. And, based on the inclination φ1 in the second direction D2 and the inclination φ2 in the first direction D1, the inclination φ of the article holding part 24 with respect to the reference plane P0 can be calculated.

그런데, 평면 상대 위치(제1 방향 D1 및 제2 방향 D2에서의 상대 위치)가 기준 위치 관계로부터 어긋나 있는 경우에는, 회전 각도가 기준 위치 관계에 일치하고 있어도, 나선형 면(43)에 대한 거리 K에 오차(ΔK)가 생길 가능성이 있다. 반대로, 회전 각도 θ가 기준 위치 관계로부터 어긋나 있는 경우에는, 제1 경사 평면(41) 및 제2 경사 평면(42)에 대한 거리 K에 오차(ΔK)가 생길 가능성이 있다. 경사 φ와의 관계에 대해서도 동일한 것이라고 할 수 있다. 따라서, 전술한 바와 같이, 평면 상대 위치, 회전 각도 θ, 경사 φ를 구할 때는, 각각의 피검출면(40)에 대한 거리 K의 검출 결과를 고려하는 것이 바람직하다. By the way, when the plane relative position (relative position in the first direction D1 and the second direction D2) deviates from the reference positional relationship, even if the rotation angle coincides with the reference positional relationship, the distance K to the spiral surface 43 There is a possibility that an error (ΔK) may occur. Conversely, when the rotation angle θ deviates from the reference positional relationship, there is a possibility that an error ΔK may occur in the distance K with respect to the first inclined plane 41 and the second inclined plane 42. It can be said that the relationship with the inclination φ is also the same. Therefore, as described above, when obtaining the plane relative position, the rotation angle θ, and the inclination φ, it is preferable to consider the detection result of the distance K with respect to each of the detection target surfaces 40.

[그 외의 실시형태][Other embodiments]

이하, 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다. 그리고, 이하에 설명하는 각각의 실시형태의 구성은, 각각 단독으로 적용되는 것에 한정되지 않고, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태의 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다. Hereinafter, other embodiments will be described. In addition, the configuration of each embodiment described below is not limited to being applied alone, and may be applied in combination with the configurations of other embodiments as long as contradictions do not arise.

(1) 상기에 있어서는, 센서 유닛(3)에 촬영 화상이 표시되는 디스플레이(35)를 구비하고, 작업자가, 디스플레이(35)에 표시된 촬영 화상[피검출 유닛(4)] 상에 피검출점점 R 설정하는 형태를 예시하여 설명하였다. 그러나, 도 13에 예시한 바와 같이, 디스플레이(35)를 구비하지 않고, 퍼스널 컴퓨터나 태블릿(tablet) 등의 컴퓨터(37)를 앰프 유닛(34)에 접속하여 컴퓨터(37)의 모니터 상에서 피검출점점 R 설정되는 형태라도 된다. 또, 앰프 유닛(34)과 컴퓨터(37)와의 접속 형태는, 케이블 등에 의한 유선 접속에 한정되지 않고, 근거리 무선 통신 등을 사용한 무선 접속이라도 된다. (1) In the above, the sensor unit 3 includes a display 35 on which a photographed image is displayed, and the operator has a detected point on the photographed image (detected unit 4) displayed on the display 35 It has been described by exemplifying the form of R setting. However, as illustrated in FIG. 13, without having a display 35, a computer 37 such as a personal computer or a tablet is connected to the amplifier unit 34 to be detected on the monitor of the computer 37. It may be in a form in which R is gradually set. In addition, the form of connection between the amplifier unit 34 and the computer 37 is not limited to a wired connection using a cable or the like, and may be a wireless connection using short-range wireless communication or the like.

(2) 상기에 있어서는, 물품 유지부(24)에 유지되는 제1 유닛(1)이 센서 유닛(3)이며, 이송탑재 개소에 설치되는 제2 유닛(2)이 피검출 유닛(4)인 형태를 예시하였다. 그러나, 물품 유지부(24)에 유지되는 제1 유닛(1)이 피검출 유닛(4)이며, 이송탑재 개소에 설치되는 제2 유닛(2)이 센서 유닛(3)이라도 된다. 예를 들면, 조정용 탑재대(204)에 센서 유닛(3)이 설치되고, 물품 유지부(24)에 유지되는 FOUP에 피검출 유닛(4)이 설치되어 있어도 된다. (2) In the above, the first unit (1) held in the article holding portion 24 is the sensor unit (3), and the second unit (2) installed at the transfer mounting location is the detected unit (4). The form is illustrated. However, the first unit 1 held in the article holding portion 24 is the detected unit 4, and the second unit 2 provided at the transfer mounting location may be the sensor unit 3. For example, the sensor unit 3 may be provided on the mounting table 204 for adjustment, and the detection target unit 4 may be provided on the FOUP held by the article holding part 24.

(3) 상기에 있어서는, 센서 유닛(3)이 물품(W)으로서의 FOUP에 설치되는 형태를 예시하였다. 그러나, 물품(W)이 FOUP는 아니고, 레티클(reticle)을 수용하는 레티클 포드(reticle pod)의 경우에는, 상기 레티클 포드를 이용하여 위치 관계 검출 시스템(100)이 구성되어 있어도 된다. 그리고, 일반적으로 레티클 포드는 FOUP보다 박형이며, 상기에 있어서 예시한 형태와 같이, 센서 유닛(3)을 수용하는 것이 곤란한 경우가 있다. 따라서, 물품 반송 설비(200)가 반송하는 대상의 물품(W)이 레티클 포드의 경우에는, 물품 유지부(24)에 유지되는 제1 유닛(1)이 피검출 유닛(4)이며, 이송탑재 개소에 설치되는 제2 유닛(2)이 센서 유닛(3)인 것이 바람직하다. 당연히, 물품(W)이 레티클 포드의 경우라도, 제1 유닛(1)이 센서 유닛(3)이며, 제2 유닛(2)이 피검출 유닛(4)이라도 된다. (3) In the above, the form in which the sensor unit 3 is installed on the FOUP as the article W has been illustrated. However, in the case where the article W is not a FOUP, but a reticle pod that accommodates a reticle, the positional relationship detection system 100 may be configured using the reticle pod. And, in general, the reticle pod is thinner than the FOUP, and it may be difficult to accommodate the sensor unit 3 as in the form illustrated above. Therefore, in the case where the object W to be conveyed by the article transport facility 200 is a reticle pod, the first unit 1 held in the article holding unit 24 is the detected unit 4, and is transported. It is preferable that the second unit 2 installed at the location is the sensor unit 3. Naturally, even if the article W is a reticle pod, the first unit 1 may be the sensor unit 3 and the second unit 2 may be the detected unit 4.

(4) 상기에 있어서는, 물품 유지부(24)의 이송탑재 개소에 대한 위치 관계로서, 평면 상대 위치, 경사 φ, 및, 회전 각도 θ의 3개를 구하는 구성을 예로 들어 설명하였으나, 이들 3개의 중 어느 2개만을 구하는 구성이라도 된다. 이 경우, 피검출 유닛(4)은, 제1 경사 평면(41) 및 제2 경사 평면(42)과, 3개의 비경사 평면(50)과, 나선형 면(43) 중 어느 하나를 구비하지 않는 구성으로 이루어진다. (4) In the above, as the positional relationship with respect to the transfer mounting location of the article holding unit 24, a configuration for obtaining three of the plane relative position, the inclination φ, and the rotation angle θ has been described as an example. Any two of them may be obtained. In this case, the detected unit 4 does not have any one of the first inclined plane 41 and the second inclined plane 42, the three non-inclined planes 50, and the helical plane 43. It consists of a composition.

(5) 상기에 있어서는, 센서 유닛(3)을 지지하는 지지 기판(71)이, FOUP의 슬릿(13)에 의해 지지되고 또한 커버부(14)의 오목부(14a)에 의해 슬릿(13)에 따른 방향의 위치 결정이 행해져 있는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 이에 한정되지는 않고, 센서 유닛(3)이 다른 방법에 의해 물품 유지부(24)에 대하여 지지 및 위치결정된 구성이라도 된다. (5) In the above, the support substrate 71 supporting the sensor unit 3 is supported by the slit 13 of the FOUP, and the slit 13 is formed by the concave portion 14a of the cover portion 14. The configuration in which the positioning of the direction according to is performed has been described as an example. However, the present invention is not limited thereto, and a configuration in which the sensor unit 3 is supported and positioned with respect to the article holding portion 24 by another method may be used.

(6) 상기에 있어서는, 물품 반송차(20)로서 천정 반송차를 예시하였으나, 물품 반송차(20)는, 바닥면 상에 부설(敷設)된 레일 상을 주행하는 지상 반송차나 스태커 크레인(stacker crane) 등이라도 된다. (6) In the above, the ceiling transport vehicle is exemplified as the goods transport vehicle 20, but the goods transport vehicle 20 is a ground transport vehicle or a stacker crane running on a rail laid on the floor surface. crane), etc.

[실시형태의 개요][Summary of Embodiment]

이하, 상기에 있어서 설명한 위치 관계 검출 시스템의 개요에 대하여 간단하게 설명한다. Hereinafter, the outline of the positional relationship detection system described above will be briefly described.

일 태양으로서, 위치 관계 검출 시스템은, 반송원 및 반송처의 이송탑재 개소와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 이송탑재 장치를 구비하고, 상기 반송원과 상기 반송처와의 사이에서 물품을 반송하는 물품 반송차를 구비한 물품 반송 설비에 있어서, 상기 이송탑재 장치가 구비하는 물품 유지부의 상기 이송탑재 개소에 대한 위치 관계를 검출하는 위치 관계 검출 시스템으로서, 상기 물품 유지부에 유지되는 제1 유닛과, 상기 이송탑재 개소에 설치되는 제2 유닛을 구비하고, 상기 제1 유닛 및 상기 제2 유닛의 한쪽은 센서 유닛이며, 다른 쪽은 상기 센서 유닛에 의한 검출 대상을 구비한 피검출 유닛이며, 상기 센서 유닛은, 상기 센서 유닛에서의 검출 기준점으로부터 상기 피검출 유닛에 설정된 복수의 피검출점까지의 거리를 검출하고, 상기 피검출 유닛은, 상기 이송탑재 개소에 있어서 상기 센서 유닛에 대향하도록 설정된 기준면을 따른 제1 방향 및 상기 기준면을 따르고 또한 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향에서의, 상기 이송탑재 개소에 대한 상기 물품 유지부의 상대 위치를 나타내는 평면 상대 위치, 상기 기준면에 대한 상기 물품 유지부의 경사, 상기 기준면에 직교하는 기준축 주위의 상기 물품 유지부의 회전 각도 중 2개 이상을 상기 검출 기준점으로부터의 거리에 따른 값으로서 검출 가능한 복수의 피검출면을 가지고 입체적으로 형성되어 있다. As an aspect, the positional relationship detection system includes a transfer mounting device that transfers and mounts an article between the transfer source and the transfer location of the transfer destination, and transfers the article between the transfer source and the transfer destination. An article conveyance facility equipped with an article conveyance vehicle, comprising: a positional relationship detection system that detects a positional relationship of an article holding unit provided in the conveyance mounting device with respect to the conveyance mounting location, comprising: a first unit held in the article holding unit; , A second unit installed at the transfer mounting location, one of the first unit and the second unit is a sensor unit, the other is a detection target unit provided with a detection target by the sensor unit, the The sensor unit detects a distance from a detection reference point in the sensor unit to a plurality of detection target points set in the detection target unit, and the detection unit sets a reference plane set to face the sensor unit at the transfer mounting location. A plane relative position indicating a relative position of the article holding portion with respect to the transfer mounting location in a first direction according to the first direction and a second direction along the reference plane and perpendicular to the first direction, and an inclination of the article holding portion with respect to the reference surface , Two or more of the rotation angles of the article holding unit around a reference axis perpendicular to the reference plane are three-dimensionally formed with a plurality of detection target surfaces that can be detected as values according to a distance from the detection reference point.

이 구성에 의하면, 1개의 센서 유닛에 의해 검출 기준점으로부터 복수의 피검출점까지의 거리가 검출된다. 복수의 센서를 장착할 필요가 없기 때문에, 복수의 센서끼리의 장착 정밀도 등을 고려할 필요도 없고, 간단한 구성으로 검출 정밀도를 확보할 수 있다. 또, 입체적으로 형성된 피검출 유닛에는, 평면 상대 위치, 경사, 회전 각도 중 2개 이상을 검출 기준점으로부터의 거리에 따른 값으로서 검출 가능한 복수의 피검출면을 구비하고 있다. 따라서, 1개의 센서 유닛에 의해, 물품 유지부의 이송탑재 개소에 대한 위치 관계를 나타내는 평면 상대 위치, 경사, 회전 각도 중 2개 이상을 검출할 수 있다. 이와 같이, 본 구성에 의하면, 보다 간단한 구성이며 적절히 물품 반송차의 물품 유지부와 이송탑재 개소와의 위치 관계를 검출하는 기술을 제공할 수 있다. According to this configuration, the distance from the detection reference point to the plurality of detection target points is detected by one sensor unit. Since it is not necessary to mount a plurality of sensors, it is not necessary to consider the mounting accuracy of a plurality of sensors, etc., and detection accuracy can be ensured with a simple configuration. Further, the three-dimensionally formed detection unit is provided with a plurality of detection surfaces capable of detecting two or more of a plane relative position, an inclination, and a rotation angle as a value according to the distance from the detection reference point. Accordingly, with one sensor unit, two or more of a plane relative position, an inclination, and a rotation angle indicating the positional relationship of the article holding portion to the transfer mounting location can be detected. As described above, according to this configuration, it is possible to provide a technique for detecting the positional relationship between the article holding unit of the article transport vehicle and the transport mounting location with a simpler configuration.

여기서, 상기 제1 방향에서의 상기 평면 상대 위치를 검출하는 상기 피검출면은, 상기 제1 방향의 한쪽을 향함에 따라 상기 검출 기준점으로부터의 거리가 일정한 비율로 증가하도록 배치된 경사 평면이며, 상기 제2 방향에서의 상기 평면 상대 위치를 검출하는 상기 피검출면은, 상기 제2 방향의 한쪽을 향함에 따라 상기 검출 기준점으로부터의 거리가 일정한 비율로 증가하도록 배치된 경사 평면인 것이 바람직하다. Here, the detection target surface for detecting the relative position of the plane in the first direction is an inclined plane disposed such that a distance from the detection reference point increases at a constant rate toward one side of the first direction, and the It is preferable that the detection target surface for detecting the plane relative position in the second direction is an inclined plane disposed so that the distance from the detection reference point increases at a constant rate as it faces one side of the second direction.

이 구성에 의하면, 제1 방향에 있어서 물품 유지부와 이송탑재 개소와의 상대 위치가 규정된 위치로부터 어긋나 있었을 경우에는, 검출 기준점으로부터의 거리가 정상(正常)인 경우와 상이한 값으로 된다. 검출된 검출 기준점으로부터의 거리와 규정의 거리와의 차분과, 경사면의 경사 각도에 근거하면, 제1 방향에서의 시프트량을 구할 수 있다. 마찬가지로, 제2 방향에 있어서도, 검출된 검출 기준점으로부터의 거리와 규정의 거리와의 차분과, 경사면의 경사 각도에 근거하면, 제2 방향에서의 시프트량을 구할 수 있다. According to this configuration, when the relative position between the article holding portion and the transfer mounting position in the first direction is deviated from the prescribed position, the distance from the detection reference point becomes a value different from that in the case where the distance from the detection reference point is normal. Based on the difference between the detected distance from the detection reference point and the specified distance, and the inclination angle of the inclined surface, the amount of shift in the first direction can be obtained. Similarly, also in the second direction, based on the difference between the detected distance from the detection reference point and the prescribed distance, and the inclination angle of the inclined surface, the amount of shift in the second direction can be obtained.

또, 상기 경사를 검출하는 상기 피검출면은, 적어도 3개소에 설치되고, 상기 경사가 없는 경우에 상기 검출 기준점으로부터의 거리가 같아지도록 배치되고, 상기 기준면에 평행한 면인 것이 바람직하다. Further, it is preferable that the surface to be detected for detecting the inclination is provided at at least three places, and is disposed so that the distance from the detection reference point is the same when there is no inclination, and is a surface parallel to the reference plane.

이 구성에 의하면, 경사가 생기고 있는 경우에는, 하나 이상의 피검출면에 대한 검출 기준점으로부터의 거리가, 다른 피검출면에 대한 검출 기준점으로부터의 거리와 상이한 값으로 된다. 따라서, 그 거리의 차분과, 차분이 생기고 있는 2개의 피검출면의 기준면을 따른 방향의 거리에 기초하여 경사의 정도(각도)를 구할 수 있다. 3개소 이상의 검출면이 설정되는 것에 의해, 상이한 2개의 방향에서의 경사를 구할 수 있으므로, 물품 유지부의 기준면에 대한 경사를 더욱 양호한 정밀도로 구할 수 있다. According to this configuration, when an inclination occurs, the distance from the detection reference point to one or more detection target surfaces becomes a value different from the distance from the detection reference point to other detection target surfaces. Accordingly, the degree (angle) of the inclination can be obtained based on the difference in the distance and the distance in the direction along the reference plane of the two detection target surfaces in which the difference occurs. When three or more detection surfaces are set, the inclination in two different directions can be obtained, so that the inclination of the article holding portion with respect to the reference surface can be obtained with higher precision.

또, 상기 회전 각도를 검출하는 상기 피검출면은, 상기 기준축 주위에 한쪽 측으로 선회함에 따라 상기 검출 기준점으로부터의 거리가 일정한 비율로 증가하도록 배치된 나선형 면인 것이 바람직하다. Further, it is preferable that the surface to be detected for detecting the rotation angle is a helical surface arranged so that the distance from the detection reference point increases at a constant rate as it rotates to one side around the reference axis.

이 구성에 의하면, 기준축 주위로 선회하는 방향에 있어서 물품 유지부와 이송탑재 개소와의 상대 위치가 규정된 위치로부터 어긋나 있었을 경우에는, 검출 기준점으로부터의 거리가 정상인 경우와 상이한 값으로 된다. 검출된 검출 기준점으로부터의 거리와 규정의 거리와의 차분과, 나선형 면의 경사 각도에 근거하면, 선회 방향에서의 시프트량을 구할 수 있다. 그리고, 예를 들면, 상기 시프트량과, 기준축 주위에 1바퀴 도는 경우의 선회 거리에 근거하면, 물품 유지부의 회전 각도를 구할 수 있다. According to this configuration, when the relative position between the article holding portion and the transfer mounting location is shifted from the prescribed position in the direction turning around the reference axis, the distance from the detection reference point becomes a different value from the normal case. Based on the difference between the detected distance from the detection reference point and the specified distance, and the inclination angle of the spiral surface, the amount of shift in the turning direction can be obtained. And, for example, based on the shift amount and the turning distance in the case of one turn around the reference axis, the rotation angle of the article holding unit can be obtained.

또, 상기 기준면을 따르는 각각의 방향에서의 상기 피검출면의 폭은, 상기 이송탑재 개소와 상기 물품 유지부와의 이론상의 어긋남의 최대값보다 큰 것이 바람직하다. Further, it is preferable that the width of the detected surface in each direction along the reference plane is larger than the maximum value of the theoretical deviation between the transfer mounting location and the article holding portion.

피검출점이 피검출면으로부터 어긋날수록, 이송탑재 개소와 물품 유지부와의 어긋남이 커지게 되면, 이송탑재 개소와 물품 유지부와의 상대 위치나 자세를 검출할 수 없어진다. 피검출면의 폭이, 이송탑재 개소와 물품 유지부와의 이론상의 어긋남의 최대값보다 크면, 피검출점이 피검출면으로부터 어긋날 가능성을 저감할 수 있어, 양호한 정밀도로 이송탑재 개소와 물품 유지부와의 위치 관계를 검출할 수 있다. As the detection target is shifted from the detection surface, the larger the shift between the transfer mounting location and the article holding portion increases, the relative position or posture between the transfer mounting location and the article holding portion cannot be detected. If the width of the detection surface is larger than the maximum theoretical deviation between the transfer mounting location and the article holding unit, the possibility that the detection point will deviate from the detection surface can be reduced. The positional relationship between and can be detected.

또, 상기 물품은, 복수의 기판을 수용하는 수납 용기이며, 상기 수납 용기는, 복수의 상기 기판의 각각을 유지하는 복수의 슬릿과, 상기 슬릿에 상기 기판을 출입시키기 위한 삽탈구와, 상기 삽탈구를 폐쇄하는 커버부를 구비하고, 상기 센서 유닛은, 상기 슬릿에 의해 지지되고 또한 상기 커버부에 의해 상기 슬릿에 따른 방향의 위치 결정이 행해져 있는 것이 바람직하다. In addition, the article is a storage container for accommodating a plurality of substrates, and the storage container includes a plurality of slits for holding each of the plurality of substrates, an insertion and removal tool for entering and exiting the substrate into the slit, and the insertion It is preferable that a cover part for closing dislocation is provided, and the sensor unit is supported by the slit and positioning in a direction along the slit is performed by the cover part.

물품 유지부와 이송탑재 개소와의 위치 관계는, 실제로 물품 반송 설비의 반송 대상인 물품의 형상이나 중량에 대응한 검사용의 유닛을 사용함으로써, 더욱 양호한 정밀도로 검출할 수 있을 가능성이 높아진다. 따라서, 반송 대상의 물품이 수납 용기인 경우에는, 상기 수납 용기를 사용하여 검사용의 유닛이 구성되는 것이 바람직하다. 예를 들면, 물품 유지부에 유지되는 제1 유닛이 센서 유닛의 경우에는, 본 구성과 같이, 기판을 지지하는 슬릿을 이용하여 센서 유닛을 유지하고, 수납 용기의 삽탈구를 폐쇄하는 커버부를 이용하여, 센서 유닛의 위치 결정이 행해진다. 따라서, 반송 대상의 수납 용기에, 적절히 센서 유닛을 설치하여, 물품 유지부와 이송탑재 개소와의 위치 관계를 양호한 정밀도로 검출할 수 있는 위치 관계 검출 시스템을 구축할 수 있다. The positional relationship between the article holding unit and the transfer mounting location increases the possibility that it can be detected with higher precision by using a unit for inspection corresponding to the shape and weight of the article to be actually conveyed by the article conveyance facility. Therefore, when the article to be conveyed is a storage container, it is preferable that the inspection unit is configured using the storage container. For example, when the first unit held in the article holding unit is a sensor unit, as in this configuration, a cover unit is used to hold the sensor unit by using a slit that supports the substrate and to close the insertion and removal of the storage container. Thus, positioning of the sensor unit is performed. Accordingly, it is possible to construct a positional relationship detection system capable of accurately detecting the positional relationship between the article holding unit and the transport mounting location by appropriately installing the sensor unit in the storage container to be conveyed.

1: 제1 유닛
2: 제2 유닛
3: 센서 유닛
4: 피검출 유닛
12: 삽탈구
13: 슬릿
14: 커버부
20: 물품 반송차
24: 물품 유지부
28: 이송탑재 장치
40: 피검출면
41: 제1 경사 평면(경사 평면)
42: 제2 경사 평면(경사 평면)
43: 나선형 면
50: 비경사 평면(경사를 검출하기 위한 피검출면에서 기준면에 평행한 면)
51: 제1 비경사 평면(피경사 평면)
52: 제2 비경사 평면(피경사 평면)
53: 제3 비경사 평면(피경사 평면)
100: 위치 관계 검출 시스템
200: 물품 반송 설비
C: 기준축
D1: 제1 방향
D2: 제2 방향
K: 거리
L: 거리
P0: 기준면
Q: 검출 기준점
R: 피검출점
W: 물품
θ: 회전 각도
φ: 경사1: first unit
2: second unit
3: sensor unit
4: unit to be detected
12: insertion dislocation
13: slit
14: cover
20: goods transport vehicle
24: article maintenance unit
28: transfer mounting device
40: surface to be detected
41: first inclined plane (inclined plane)
42: second inclined plane (inclined plane)
43: spiral cotton
50: Non-inclined plane (surface parallel to the reference plane from the surface to be detected for detecting the slope)
51: first non-inclined plane (plane to be inclined)
52: second non-inclined plane (plane to be inclined)
53: third non-inclined plane (plane to be inclined)
100: position relationship detection system
200: article transfer facility
C: reference axis
D1: first direction
D2: second direction
K: distance
L: distance
P0: reference plane
Q: Reference point for detection
R: point to be detected
W: Goods
θ: rotation angle
φ: slope

Claims (10)

반송원(搬送元) 및 반송처(搬送處)의 이송탑재(移載; transfer) 개소(箇所) 사이에서 물품을 이송탑재하는 이송탑재 장치를 구비하고, 상기 반송원과 상기 반송처 사이에서 물품을 반송하는 물품 반송차를 포함하는 물품 반송 설비에 있어서, 상기 이송탑재 장치가 구비하는 물품 유지부(holding portion)의 상기 이송탑재 개소에 대한 위치 관계를 검출하는 위치 관계 검출 시스템으로서,
상기 물품 유지부에 유지되는 제1 유닛; 및
상기 이송탑재 개소에 설치되는 제2 유닛;
을 포함하고,
상기 제1 유닛 및 상기 제2 유닛의 한쪽은 센서 유닛이며, 다른 쪽은 상기 센서 유닛에 의한 검출 대상을 구비한 피검출 유닛이며,
상기 센서 유닛은, 상기 센서 유닛에서의 검출 기준점으로부터 상기 피검출 유닛에 설정된 복수의 피검출점까지의 거리를 검출하고,
상기 피검출 유닛은, 상기 이송탑재 개소에 있어서 상기 센서 유닛에 대향하도록 설정된 기준면을 따른 제1 방향 및 상기 기준면을 따르고 또한 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향에서의, 상기 이송탑재 개소에 대한 상기 물품 유지부의 상대 위치를 나타내는 평면 상대 위치, 상기 기준면에 대한 상기 물품 유지부의 경사, 상기 기준면에 직교하는 기준축 주위의 상기 물품 유지부의 회전 각도 중 2개 이상을 상기 검출 기준점으로부터의 거리에 따른 값으로서 검출 가능한 복수의 피검출면을 가지고 입체적으로 형성되어 있는,
위치 관계 검출 시스템. Provides a transfer mounting device for transferring and mounting an article between a transfer source and a transfer location of the transfer destination, and the article between the transfer source and the transfer destination. An article conveyance facility including an article conveyance vehicle that conveys, comprising: a positional relationship detection system for detecting a positional relationship of an article holding portion provided in the conveyance mounting device with respect to the conveyance mounting location,
A first unit held in the article holding unit; And
A second unit installed at the transfer mounting location;
Including,
One of the first unit and the second unit is a sensor unit, and the other is a detection target unit provided with a detection target by the sensor unit,
The sensor unit detects a distance from a detection reference point in the sensor unit to a plurality of detection target points set in the detection target unit,
The detected unit is in a first direction along a reference plane set to face the sensor unit in the transfer mounting location, and in a second direction along the reference plane and perpendicular to the first direction, with respect to the transfer mounting location. Two or more of a plane relative position indicating the relative position of the article holding unit, the inclination of the article holding unit with respect to the reference surface, and the rotation angle of the article holding unit around a reference axis orthogonal to the reference surface according to the distance from the detection reference point It is three-dimensionally formed with a plurality of detection surfaces that can be detected as values,
Position relationship detection system. 제1항에 있어서,
상기 제1 방향에서의 상기 평면 상대 위치를 검출하는 상기 피검출면은, 상기 제1 방향의 한쪽을 향함에 따라 상기 검출 기준점으로부터의 거리가 일정한 비율로 증가하도록 배치된 경사 평면이며,
상기 제2 방향에서의 상기 평면 상대 위치를 검출하는 상기 피검출면은, 상기 제2 방향의 한쪽을 향함에 따라 상기 검출 기준점으로부터의 거리가 일정한 비율로 증가하도록 배치된 경사 평면인, 위치 관계 검출 시스템. The method of claim 1,
The detection target surface for detecting the plane relative position in the first direction is an inclined plane disposed so that a distance from the detection reference point increases at a constant rate as it faces one side of the first direction,
The detection target surface for detecting the relative position of the plane in the second direction is an inclined plane disposed such that a distance from the detection reference point increases at a constant rate as it faces one side of the second direction. system. 제1항에 있어서,
상기 경사를 검출하는 상기 피검출면은, 적어도 3개소에 설치되고, 상기 경사가 없는 경우에 상기 검출 기준점으로부터의 거리가 같아지도록 배치되고, 상기 기준면에 평행한 면인, 위치 관계 검출 시스템. The method of claim 1,
The detection target surface for detecting the inclination is provided at at least three places, and when there is no inclination, the detection target surface is disposed so that the distance from the detection reference point is the same, and is a surface parallel to the reference plane. 제2항에 있어서,
상기 경사를 검출하는 상기 피검출면은, 적어도 3개소에 설치되고, 상기 경사가 없는 경우에 상기 검출 기준점으로부터의 거리가 같아지도록 배치되고, 상기 기준면에 평행한 면인, 위치 관계 검출 시스템. The method of claim 2,
The detection target surface for detecting the inclination is provided at at least three places, and when there is no inclination, the detection target surface is disposed so that the distance from the detection reference point is the same, and is a surface parallel to the reference plane. 제1항에 있어서,
상기 회전 각도를 검출하는 상기 피검출면은, 상기 기준축 주위에 한쪽 측으로 선회(旋回)함에 따라 상기 검출 기준점으로부터의 거리가 일정한 비율로 증가하도록 배치된 나선형 면인, 위치 관계 검출 시스템. The method of claim 1,
The positional relationship detection system, wherein the detection target surface for detecting the rotation angle is a helical surface disposed so that a distance from the detection reference point increases at a constant rate as it rotates to one side around the reference axis. 제2항에 있어서,
상기 회전 각도를 검출하는 상기 피검출면은, 상기 기준축 주위에 한쪽 측으로 선회함에 따라 상기 검출 기준점으로부터의 거리가 일정한 비율로 증가하도록 배치된 나선형 면인, 위치 관계 검출 시스템. The method of claim 2,
The positional relationship detection system, wherein the detection target surface for detecting the rotation angle is a helical surface disposed such that a distance from the detection reference point increases at a constant rate as it rotates to one side around the reference axis. 제3항에 있어서,
상기 회전 각도를 검출하는 상기 피검출면은, 상기 기준축 주위에 한쪽 측으로 선회함에 따라 상기 검출 기준점으로부터의 거리가 일정한 비율로 증가하도록 배치된 나선형 면인, 위치 관계 검출 시스템. The method of claim 3,
The positional relationship detection system, wherein the detection target surface for detecting the rotation angle is a helical surface disposed such that a distance from the detection reference point increases at a constant rate as it rotates to one side around the reference axis. 제4항에 있어서,
상기 회전 각도를 검출하는 상기 피검출면은, 상기 기준축 주위에 한쪽 측으로 선회함에 따라 상기 검출 기준점으로부터의 거리가 일정한 비율로 증가하도록 배치된 나선형 면인, 위치 관계 검출 시스템. The method of claim 4,
The positional relationship detection system, wherein the detection target surface for detecting the rotation angle is a helical surface disposed such that a distance from the detection reference point increases at a constant rate as it rotates to one side around the reference axis. 제1항에 있어서,
상기 기준면을 따르는 각각의 방향에서의 상기 피검출면의 폭은, 상기 이송탑재 개소와 상기 물품 유지부와의 이론상의 어긋남의 최대값보다 큰, 위치 관계 검출 시스템. The method of claim 1,
The positional relationship detection system, wherein a width of the detection target surface in each direction along the reference plane is greater than a maximum value of a theoretical deviation between the transfer mounting location and the article holding portion. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 물품은, 복수의 기판을 수용하는 수납 용기이며,
상기 수납 용기는, 복수의 상기 기판의 각각을 유지하는 복수의 슬릿(slit)과, 상기 슬릿에 상기 기판을 출입시키기 위한 삽탈구와, 상기 삽탈구를 폐쇄하는 커버부를 구비하고,
상기 센서 유닛은, 상기 슬릿에 의해 지지되고 또한 상기 커버부에 의해 상기 슬릿에 따른 방향의 위치 결정이 행해져 있는, 위치 관계 검출 시스템.The method according to any one of claims 1 to 9,
The article is a storage container accommodating a plurality of substrates,
The storage container includes a plurality of slits for holding each of the plurality of substrates, an insertion and disassembly for entering and exiting the substrate into the slit, and a cover portion for closing the insertion and disassembly,
The positional relationship detection system, wherein the sensor unit is supported by the slit, and positioning in a direction along the slit is performed by the cover portion.
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