JP7192732B2 - Positional relationship detection system - Google Patents

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Description

本発明は、搬送元と搬送先との間で物品を搬送する物品搬送車を備えた物品搬送設備において、搬送元及び搬送先の移載箇所との間で物品を移載する移載装置が備える物品保持部の移載箇所に対する位置関係を検出する位置関係検出システムに関する。 The present invention provides an article transport facility equipped with an article transport vehicle for transporting an article between a transport source and a transport destination, and a transfer device for transferring the article between the transfer locations of the transport source and the transport destination. The present invention relates to a positional relationship detection system for detecting the positional relationship of an article holding unit with respect to a transfer location.

物品を物品搬送車により自動的に搬送する物品搬送設備では、物品搬送車と搬送対象箇所との間で高い精度で物品を移載することが好ましい。具体的には、物品の搬送元において物品を精度良く保持し、搬送して、物品の搬送先の所定の位置に精度良く載置するためには、物品搬送車の停止位置や物品を保持する物品保持部が保持動作をする位置や姿勢が精度良く調整されていることが好ましい。特許第６１４６５３７号公報には、このような調整（ティーチング）を行う技術が開示されている。以下、背景技術において括弧内の符号は参照する文献のものである。 2. Description of the Related Art In an article conveying facility that automatically conveys articles by an article conveying vehicle, it is preferable to transfer articles between the article conveying vehicle and a location to be conveyed with high accuracy. Specifically, in order to accurately hold an article at its origin, convey it, and accurately place it at a predetermined position at its destination, it is necessary to determine the stop position of the article conveyance vehicle and hold the article. It is preferable that the position and posture at which the article holding portion performs the holding operation are adjusted with high accuracy. Japanese Patent No. 6146537 discloses a technique for such adjustment (teaching). Reference numerals in parentheses in the background art below refer to references.

物品搬送車にはティーチングユニット（２０）が搭載され、搬送対象箇所に対応するロードポートにはターゲットユニット（３０）が設置されている。ティーチングユニット（２０）には、複数の距離センサ（２３Ｘ１，２３Ｙ１，２３Ｙ２，２３Ｚ１，２３Ｚ２，２３Ｚ３）が搭載されている。複数の距離センサは、ＸＹＺ軸３次元直交座標系におけるＸ，Ｙ，Ｚ軸に沿った方向を検出方向としている。ターゲットユニット（３０）には、それぞれＸ，Ｙ，Ｚ軸方向を検出方向とするそれぞれの距離センサの検出対象となるターゲットプレート（３２，３３，３４）が備えられている。ティーチングユニット（２０）は、複数の距離センサによるこれらのターゲットプレート（３２，３３，３４）の検出結果に基づいて、物品搬送車の走行方向に平行な第一方向、基準面に平行且つ第一方向に直交する第二方向、基準面に平行な面内での回転方向、基準面の傾きを求める。 A teaching unit (20) is mounted on the article transport vehicle, and a target unit (30) is installed at the load port corresponding to the location to be transported. A plurality of distance sensors (23X 1 , 23Y 1 , 23Y 2 , 23Z 1 , 23Z 2 , 23Z 3 ) are mounted on the teaching unit (20). A plurality of distance sensors have detection directions along the X, Y, and Z axes in the XYZ axis three-dimensional orthogonal coordinate system. The target unit (30) is provided with target plates (32, 33, 34) that are detected by respective distance sensors whose detection directions are in the X-, Y-, and Z-axis directions. Based on the detection results of these target plates (32, 33, 34) by a plurality of distance sensors, the teaching unit (20) moves in the first direction parallel to the traveling direction of the article transport vehicle, parallel to the reference plane and in the first direction. A second direction orthogonal to the direction, a rotational direction in a plane parallel to the reference plane, and the inclination of the reference plane are obtained.

特許第６１４６５３７号公報Japanese Patent No. 6146537

上記によれば、距離センサを備えたティーチングユニットとターゲットユニットとを用いたティーチングにより、物品搬送車の物品保持部の位置を精度良く検出することができる。しかし、検出精度を確保するためには、複数の距離センサの全てを精度よくティーチングユニットに取付ける必要がある。また、複数の異なる方向をそれぞれ検出するために複数の距離センサを用いているため、ティーチングユニットのコストが高くなり易い問題がある。 According to the above, it is possible to accurately detect the position of the article holding section of the article transport vehicle by teaching using the teaching unit having the distance sensor and the target unit. However, in order to ensure detection accuracy, it is necessary to attach all of the plurality of distance sensors to the teaching unit with high accuracy. Moreover, since a plurality of distance sensors are used to detect a plurality of different directions, there is a problem that the cost of the teaching unit tends to increase.

上記背景に鑑みて、より簡単な構成で適切に物品搬送車の物品保持部と移載箇所との位置関係を検出する技術の提供が望まれる。 In view of the above background, it is desired to provide a technique for appropriately detecting the positional relationship between the article holding section of the article transport vehicle and the transfer location with a simpler configuration.

１つの態様として、上記に鑑みた位置関係検出システムは、搬送元及び搬送先の移載箇所との間で物品を移載する移載装置を備えて前記搬送元と前記搬送先との間で物品を搬送する物品搬送車を備えた物品搬送設備において、前記移載装置が備える物品保持部の前記移載箇所に対する位置関係を検出する位置関係検出システムであって、前記物品保持部に保持される第１ユニットと、前記移載箇所に設置される第２ユニットと、を備え、前記第１ユニット及び前記第２ユニットの一方はセンサユニットであり、他方は前記センサユニットによる検出対象を備えた被検出ユニットであり、前記センサユニットは、当該センサユニットにおける検出基準点から前記被検出ユニットに設定された複数の被検出点までの距離を検出し、前記被検出ユニットは、前記移載箇所において前記センサユニットに対向するように設定された基準面に沿った第１方向及び前記基準面に沿うと共に前記第１方向に直交する第２方向における、前記移載箇所に対する前記物品保持部の相対位置を示す平面相対位置、前記基準面に対する前記物品保持部の傾き、前記基準面に直交する基準軸周りの前記物品保持部の回転角度、の内の少なくとも２つを前記検出基準点からの距離に応じた値として検出可能な複数の被検出面を備えて立体的に形成され、前記回転角度を検出する前記被検出面は、前記基準軸周りに一方側に旋回するに従って前記検出基準点からの距離が一定の割合で増加するように配置された螺旋状面である。 As one aspect, a positional relationship detection system in view of the above is provided with a transfer device that transfers an article between a transfer location of a transfer source and a transfer destination, and between the transfer source and the transfer destination In an article transport facility having an article transport vehicle for transporting an article, a positional relationship detection system for detecting a positional relationship of an article holding section provided in the transfer device with respect to the transfer location, wherein the article is held by the article holding section. and a second unit installed at the transfer location, one of the first unit and the second unit being a sensor unit, and the other being an object to be detected by the sensor unit. a detection target unit, wherein the sensor unit detects a distance from a detection reference point in the sensor unit to a plurality of detection points set in the detection target unit; Relative positions of the article holding section with respect to the transfer location in a first direction along a reference plane set to face the sensor unit and in a second direction along the reference plane and orthogonal to the first direction. at least two of the plane relative position indicating the reference plane, the inclination of the article holding section with respect to the reference plane, and the rotation angle of the article holding section around the reference axis perpendicular to the reference plane, at least two of which are the distance from the detection reference point The surface to be detected for detecting the rotation angle is three-dimensionally formed with a plurality of surfaces to be detected that can be detected as corresponding values, and the surface to be detected for detecting the rotation angle is shifted from the detection reference point as it turns to one side around the reference axis. It is a helical plane arranged so that the distance increases at a constant rate .

この構成によれば、１つのセンサユニットによって検出基準点から複数の被検出点までの距離が検出される。複数のセンサを取り付ける必要がないため、複数のセンサ同士の取り付け精度等を考慮する必要もなく、簡単な構成で検出精度を確保することができる。また、立体的に形成された被検出ユニットには、平面相対位置、傾き、回転角度の内の少なくとも２つを検出基準点からの距離に応じた値として検出可能な複数の被検出面を備えている。従って、１つのセンサユニットによって、物品保持部の移載箇所に対する位置関係を示す平面相対位置、傾き、回転角度の内の少なくとも２つを検出することができる。
また、本構成によれば、回転角度を検出する被検出面が、基準軸周りに一方側に旋回するに従って前記検出基準点からの距離が一定の割合で増加するように配置された螺旋状面であるから、基準軸周りに旋回する方向において物品保持部と移載箇所との相対位置が規定された位置からずれていた場合には、検出基準点からの距離が正常な場合と異なる値となる。検出された検出基準点からの距離と規定の距離との差分と、螺旋状面の傾斜角度とに基づけば、旋回方向におけるずれ量を求めることができる。そして、例えば、当該ずれ量と、基準軸周りに１周する場合の旋回距離とに基づけば、物品保持部の回転角度を求めることができる。
このように、本構成によれば、より簡単な構成で適切に物品搬送車の物品保持部と移載箇所との位置関係を検出する技術を提供することができる。 According to this configuration, the distances from the detection reference point to the plurality of detection points are detected by one sensor unit. Since it is not necessary to attach a plurality of sensors, there is no need to consider the attachment accuracy of the plurality of sensors, etc., and detection accuracy can be ensured with a simple configuration. Further, the three-dimensionally formed detection target unit has a plurality of detection target surfaces capable of detecting at least two of the plane relative position, the tilt, and the rotation angle as values according to the distance from the detection reference point. ing. Therefore, one sensor unit can detect at least two of the planar relative position, the tilt, and the rotation angle, which indicate the positional relationship of the article holding section with respect to the transfer location .
Further, according to this configuration, the surface to be detected for detecting the rotation angle is a helical surface arranged so that the distance from the detection reference point increases at a constant rate as it turns in one direction around the reference axis. Therefore, when the relative position between the article holding section and the transfer location deviates from the specified position in the direction of turning around the reference axis, the distance from the detection reference point is a different value than when it is normal. Become. Based on the difference between the detected distance from the detection reference point and the prescribed distance, and the inclination angle of the helical surface, the deviation amount in the turning direction can be obtained. Then, for example, the rotation angle of the article holding portion can be obtained based on the amount of deviation and the turning distance in the case of making one turn around the reference axis.
As described above, according to this configuration, it is possible to provide a technique for appropriately detecting the positional relationship between the article holding section of the article transport vehicle and the transfer location with a simpler configuration.

また、別の態様として、位置関係検出システムは、搬送元及び搬送先の移載箇所との間で物品を移載する移載装置を備えて前記搬送元と前記搬送先との間で物品を搬送する物品搬送車を備えた物品搬送設備において、前記移載装置が備える物品保持部の前記移載箇所に対する位置関係を検出する位置関係検出システムであって、前記物品保持部に保持される第１ユニットと、前記移載箇所に設置される第２ユニットと、を備え、前記第１ユニット及び前記第２ユニットの一方はセンサユニットであり、他方は前記センサユニットによる検出対象を備えた被検出ユニットであり、前記センサユニットは、当該センサユニットにおける検出基準点から前記被検出ユニットに設定された複数の被検出点までの距離を検出し、前記被検出ユニットは、前記移載箇所において前記センサユニットに対向するように設定された基準面に沿った第１方向及び前記基準面に沿うと共に前記第１方向に直交する第２方向における、前記移載箇所に対する前記物品保持部の相対位置を示す平面相対位置、前記基準面に対する前記物品保持部の傾き、前記基準面に直交する基準軸周りの前記物品保持部の回転角度、の内の少なくとも２つを前記検出基準点からの距離に応じた値として検出可能な複数の被検出面を備えて立体的に形成され、前記物品は、複数の基板を収容する収納容器であり、前記収納容器は、複数の前記基板のそれぞれを保持する複数のスリットと、当該スリットに前記基板を出し入れするための挿抜口と、前記挿抜口を閉じる蓋部と、を備え、前記センサユニットは、前記スリットによって支持されると共に、前記蓋部によって前記スリットに沿う方向の位置決めが行われている。 In another aspect, the positional relationship detection system includes a transfer device that transfers an article between a transfer location of a transfer source and a transfer destination, and transfers the article between the transfer source and the transfer destination. A positional relationship detection system for detecting a positional relationship of an article holding unit provided in the transfer device with respect to the transfer location in an article conveying facility having an article conveying vehicle for conveying, the positional relationship detecting system comprising: 1 unit, and a second unit installed at the transfer location, wherein one of the first unit and the second unit is a sensor unit, and the other is a target to be detected by the sensor unit. The sensor unit detects distances from a detection reference point in the sensor unit to a plurality of detection points set in the detection unit, and the detection unit detects the sensor at the transfer location. 4 shows relative positions of the article holding section with respect to the transfer location in a first direction along a reference plane set to face the unit and in a second direction along the reference plane and perpendicular to the first direction; At least two of a plane relative position, an inclination of the article holding portion with respect to the reference plane, and a rotation angle of the article holding portion around a reference axis perpendicular to the reference plane are set according to the distance from the detection reference point. The object is a storage container that is three-dimensionally formed with a plurality of surfaces to be detected that can be detected as values, and that stores a plurality of substrates. A slit, an insertion/extraction opening for inserting/removing the substrate into/from the slit, and a lid portion for closing the insertion/extraction opening, wherein the sensor unit is supported by the slit and along the slit by the lid portion. Orientation is done.

この構成によれば、１つのセンサユニットによって検出基準点から複数の被検出点までの距離が検出される。複数のセンサを取り付ける必要がないため、複数のセンサ同士の取り付け精度等を考慮する必要もなく、簡単な構成で検出精度を確保することができる。また、立体的に形成された被検出ユニットには、平面相対位置、傾き、回転角度の内の少なくとも２つを検出基準点からの距離に応じた値として検出可能な複数の被検出面を備えている。従って、１つのセンサユニットによって、物品保持部の移載箇所に対する位置関係を示す平面相対位置、傾き、回転角度の内の少なくとも２つを検出することができる。 According to this configuration, the distances from the detection reference point to the plurality of detection points are detected by one sensor unit. Since it is not necessary to attach a plurality of sensors, there is no need to consider the attachment accuracy of the plurality of sensors, etc., and detection accuracy can be ensured with a simple configuration. Further, the three-dimensionally formed detection target unit has a plurality of detection target surfaces capable of detecting at least two of the plane relative position, the tilt, and the rotation angle as values according to the distance from the detection reference point. ing. Therefore, one sensor unit can detect at least two of the planar relative position, the tilt, and the rotation angle, which indicate the positional relationship of the article holding section with respect to the transfer location.
物品保持部と移載箇所との位置関係は、実際に物品搬送設備の搬送対象の物品の形状や重量に対応した検査用のユニットを用いることで、より精度良く検出できる可能性が高くなる。従って、搬送対象の物品が収納容器である場合には、当該収納容器を用いて検査用のユニットが構成されると好適である。例えば、物品保持部に保持される第１ユニットがセンサユニットの場合には、本構成のように、基板を保持するスリットを利用してセンサユニットを保持し、収納容器の挿抜口を閉じる蓋部を利用して、センサユニットの位置決めが行われる。従って、搬送対象の収納容器に、適切にセンサユニットを設置して、物品保持部と移載箇所との位置関係を精度良く検出することができる位置関係検出システムを構築することができる。 The positional relationship between the article holding section and the transfer location can be more accurately detected by using an inspection unit that corresponds to the shape and weight of the article to be actually conveyed by the article conveying equipment. Therefore, when the article to be transported is a storage container, it is preferable to construct an inspection unit using the storage container. For example, when the first unit held by the article holding portion is a sensor unit, the slit for holding the substrate is used to hold the sensor unit and the lid portion closes the insertion/extraction opening of the storage container as in this configuration. is used to position the sensor unit. Therefore, it is possible to construct a positional relationship detection system capable of accurately detecting the positional relationship between the article holding section and the transfer location by appropriately installing the sensor unit in the storage container to be transported.
このように、本構成によれば、より簡単な構成で適切に物品搬送車の物品保持部と移載箇所との位置関係を検出する技術を提供することができる。 As described above, according to this configuration, it is possible to provide a technique for appropriately detecting the positional relationship between the article holding section of the article transport vehicle and the transfer location with a simpler configuration.

位置関係検出システムのさらなる特徴と利点は、図面を参照して説明する実施形態についての以下の記載から明確となる。 Further features and advantages of the positional relationship detection system will become clear from the following description of the embodiments described with reference to the drawings.

物品搬送設備の構成を模式的に示す図A diagram schematically showing the configuration of an article transport facility 物品搬送車の側面図Side view of goods transport vehicle 物品搬送設備及び物品搬送車のシステム構成を模式的に示すブロック図Block diagram schematically showing the system configuration of an article transport facility and an article transport vehicle 物品搬送車及び載置台を示す側面図The side view which shows an article conveyance vehicle and a mounting base センサユニットの一例を示すブロック図Block diagram showing an example of a sensor unit 被検出ユニットの一例を示す斜視図Perspective view showing an example of a unit to be detected 被検出ユニットに設定された被検出点の一例を示す平面図A plan view showing an example of a point to be detected set in the unit to be detected 被検出ユニットに設定された被検出点の一例を示す側面図The side view which shows an example of the to-be-detected point set to the to-be-detected unit 容器に設置されたセンサユニットと載置台に設置された被検出ユニットの一例を示す斜視図A perspective view showing an example of a sensor unit installed on a container and a detection target unit installed on a mounting table. センサユニットが設置された容器の断面図Cross-sectional view of a container in which the sensor unit is installed 検出基準点と被検出点との距離に位置ずれが生じている例を示す図A diagram showing an example in which the distance between the detection reference point and the detected point is misaligned. 基準面に対して物品保持部が傾いている例を示す図The figure which shows the example in which the article holding|maintenance part inclines with respect to a reference plane. センサユニットの他の例を示すブロック図Block diagram showing another example of the sensor unit

以下、位置関係検出システムの実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、位置関係検出システム１００（図５等参照）が用いられる物品搬送設備２００の構成例を模式的に示している。本実施形態では、半導体基板に対して、薄膜形成、フォトリソグラフィー、エッチングなどの種々の処理を行う複数の半導体処理装置（処理装置２０２）の間で、走行経路ＬＴに沿って一方向（走行方向Ｙ）に物品Ｗ（図２等参照）を搬送する物品搬送車２０を備えた物品搬送設備２００を例として説明する。本実施形態では、走行経路ＬＴは、支持ブラケット２０５（図４参照）によって支持されて天井側に設置された走行レールＲＬ（図２、図４参照）によって形成されており、物品搬送車２０は、走行レールＲＬに吊り下げ支持された天井搬送車である。 An embodiment of the positional relationship detection system will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 schematically shows a configuration example of an article transport facility 200 using a positional relationship detection system 100 (see FIG. 5, etc.). In this embodiment, among a plurality of semiconductor processing apparatuses (processing apparatuses 202) that perform various processes such as thin film formation, photolithography, and etching on semiconductor substrates, along the traveling route LT, one direction (traveling direction Y), an article transport facility 200 having an article transport vehicle 20 for transporting an article W (see FIG. 2, etc.) will be described as an example. In this embodiment, the travel path LT is formed by travel rails RL (see FIGS. 2 and 4) supported by support brackets 205 (see FIG. 4) and installed on the ceiling side. , the overhead carrier suspended from the running rail RL.

図１に示すように、物品搬送設備２００には、少なくとも２つの異なる属性の領域（第１エリアＥ１及び第２エリアＥ２）が設けられている。第１エリアＥ１には、相対的に大きな環状の主経路Ｌｐと、相対的に小さな環状の副経路Ｌｓとが形成されている。第１エリアＥ１は、上述した処理装置２０２が備えられて、各処理装置２０２（後述する載置台２０３）の間を、物品搬送車２０によって物品Ｗが搬送される領域である。第２エリアＥ２は、第１エリアＥ１とは別の領域に設けられ、後述する位置関係検出システム１００を用いて物品搬送車２０の調整が行われる領域である。第２エリアＥ２には、後述する被検出ユニット４が備えられた調整用載置台２０４が床面上に設置されている。尚、調整用載置台２０４と処理装置２０２に備えられた載置台２０３とは、床面から載置面までの高さが同一であり、それぞれの載置台２０３に対する調整が調整用載置台２０４を用いて実行される。 As shown in FIG. 1, the article transport facility 200 is provided with at least two areas with different attributes (first area E1 and second area E2). A relatively large ring-shaped main route Lp and a relatively small ring-shaped secondary route Ls are formed in the first area E1. The first area E1 is an area in which the processing devices 202 described above are provided, and articles W are transported by the article transport vehicle 20 between the processing devices 202 (mounting tables 203 described later). The second area E2 is provided in an area different from the first area E1, and is an area where the article transport vehicle 20 is adjusted using the positional relationship detection system 100 described later. In the second area E2, an adjustment table 204 provided with a detection target unit 4, which will be described later, is installed on the floor. Note that the mounting table 204 for adjustment and the mounting table 203 provided in the processing apparatus 202 have the same height from the floor surface to the mounting surface, and the adjustment of each mounting table 203 is performed using the mounting table 204 for adjustment. is executed using

本実施形態では、物品Ｗは、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と称され、複数枚の半導体基板を収容する容器である。図２は、物品保持部２４により物品Ｗを保持した状態の物品搬送車２０の側面図（走行方向Ｙに直交する方向に見た図）を示している。図２に示すように、物品Ｗは、フランジ部１６と、収容部１５とを有しており、収容部１５の前面（例えば走行方向Ｙの側）には、半導体基板を出し入れするための挿抜口１２（図９参照）が形成されている。この挿抜口１２は着脱可能な蓋部１４（図９参照）によって閉じることが可能である。収容部１５の内部には、複数の半導体基板（基板）のそれぞれを保持する複数のスリット１３が形成されている（図９参照）。 In this embodiment, the article W is called a FOUP (Front Opening Unified Pod), and is a container that accommodates a plurality of semiconductor substrates. FIG. 2 shows a side view (viewed in a direction perpendicular to the running direction Y) of the article transport vehicle 20 in a state in which articles W are held by the article holding portions 24. As shown in FIG. As shown in FIG. 2, the article W has a flange portion 16 and an accommodating portion 15. An inserting/removing portion for inserting and removing a semiconductor substrate is provided on the front surface of the accommodating portion 15 (for example, on the running direction Y side). A mouth 12 (see FIG. 9) is formed. The insertion/extraction port 12 can be closed by a detachable lid portion 14 (see FIG. 9). A plurality of slits 13 for holding a plurality of semiconductor substrates (substrates) are formed inside the accommodating portion 15 (see FIG. 9).

処理装置２０２は、容器（物品Ｗ）に収容されている基板（半導体基板）に対して上述したような種々の処理を行う。容器（物品Ｗ）を各処理装置２０２の間で搬送するため、各処理装置２０２には、それぞれの処理装置２０２に隣接する状態で、床面上に載置台２０３が設置されている。これらの載置台２０３は、物品搬送車２０による物品Ｗの搬送対象箇所（搬送元及び搬送先）である。物品搬送車２０は、搬送元及び搬送先における移載箇所と物品搬送車２０との間で物品Ｗを移載する移載装置２８を備えている。物品搬送車２０は、搬送元の載置台２０３から移載装置２８により物品搬送車２０に物品Ｗを移載し、走行経路ＬＴを走行して、物品搬送車２０から移載装置２８により搬送先の載置台２０３に物品Ｗを移載することにより、搬送元と搬送先との間で物品Ｗを搬送する。 The processing apparatus 202 performs various types of processing as described above on substrates (semiconductor substrates) accommodated in containers (articles W). In order to transport containers (articles W) between the processing apparatuses 202 , each processing apparatus 202 is provided with a mounting table 203 on the floor adjacent to the processing apparatus 202 . These mounting tables 203 are locations (transportation source and transport destination) of the article W to be transported by the article transport vehicle 20 . The article transport vehicle 20 includes a transfer device 28 that transfers the article W between the transfer locations at the transport origin and the transport destination and the article transport vehicle 20 . The article transport vehicle 20 transfers the article W from the placement table 203 of the transportation source to the article transport vehicle 20 by the transfer device 28, travels along the travel route LT, and moves from the article transport vehicle 20 to the transport destination by the transfer device 28. By transferring the article W to the mounting table 203, the article W is transferred between the transfer source and the transfer destination.

図３のブロック図は、物品搬送設備２００及び物品搬送車２０のシステム構成を模式的に示している。図４は、物品Ｗを保持する前の当該物品Ｗが載置された載置台２０３と物品搬送車２０との関係を示している。図２及び図４に示すように、物品搬送車２０は、走行経路ＬＴに沿って走行する走行部２２と、走行レールＲＬの下方に位置するように走行部２２に吊り下げ支持され且つ物品Ｗを保持する物品保持部２４を備えた本体部２３とを備えている。 The block diagram of FIG. 3 schematically shows the system configuration of the article transport equipment 200 and the article transport vehicle 20. As shown in FIG. FIG. 4 shows the relationship between the mounting table 203 on which the article W is placed and the article transport vehicle 20 before the article W is held. As shown in FIGS. 2 and 4, the article transport vehicle 20 includes a traveling section 22 that travels along the traveling route LT, and a traveling section 22 that is suspended from and supported by the traveling section 22 so as to be positioned below the traveling rail RL. and a main body portion 23 having an article holding portion 24 for holding an article.

走行部２２には、走行経路ＬＴに沿って設置された走行レールＲＬ上を転がる走行車輪２２ａと、その走行車輪２２ａを回転させる走行用モータ２２ｍとが備えられている。本体部２３は、物品保持部２４と、昇降部２５と、スライド部２６と、回転部２７と、カバー体２３ｃとを備えている。物品保持部２４と、昇降部２５と、スライド部２６と、回転部２７とは、移載装置２８を構成している。移載装置２８は、搬送元及び搬送先の載置台２０３における移載箇所と物品搬送車２０との間で物品Ｗを移載し、物品保持部２４によって物品Ｗを保持した状態で物品Ｗを搬送する機構である。図２に示すように、物品Ｗのフランジ部１６は、物品Ｗの上端部（収容部１５よりも上方）に設けられており、物品保持部２４によって支持される。物品搬送車２０は、物品保持部２４によってフランジ部１６を吊り下げ支持した状態で物品Ｗを搬送する。 The running unit 22 includes running wheels 22a that roll on running rails RL installed along the running route LT, and a running motor 22m that rotates the running wheels 22a. The body portion 23 includes an article holding portion 24, an elevating portion 25, a sliding portion 26, a rotating portion 27, and a cover body 23c. The article holding section 24 , the lifting section 25 , the sliding section 26 and the rotating section 27 constitute a transfer device 28 . The transfer device 28 transfers the article W between the transfer locations on the placement table 203 of the transfer source and the transfer destination and the article transport vehicle 20, and transfers the article W while the article W is held by the article holding unit 24. It is a mechanism for transporting. As shown in FIG. 2 , the flange portion 16 of the article W is provided at the upper end portion of the article W (above the accommodation portion 15 ) and supported by the article holding portion 24 . The article transport vehicle 20 transports the article W in a state in which the article holding portion 24 suspends and supports the flange portion 16 .

昇降部２５は、物品保持部２４を走行部２２に対して昇降移動させる駆動部である。スライド部２６は、物品保持部２４を走行部２２に対して横方向Ｘ（水平面に沿い、走行方向Ｙに直交する）にスライド移動させる駆動部である。回転部２７は、物品保持部２４を走行部２２に対して縦軸心Ｚ（垂直方向の軸心）周りに回転させる駆動部である。カバー体２３ｃは、図２に示すように、物品Ｗを支持した物品保持部２４が、上昇基準位置まで上昇している状態で、物品Ｗの上方側及び経路前後側を覆う部材である。尚、上昇基準位置とは、物品Ｗを支持した状態で物品搬送車２０が走行レールＲＬに沿って走行する際に、物品保持部２４が位置する上下方向（垂直方向）の位置として予め規定された位置である。 The lifting section 25 is a driving section that moves the article holding section 24 up and down with respect to the traveling section 22 . The slide portion 26 is a driving portion that slides the article holding portion 24 with respect to the traveling portion 22 in the lateral direction X (along the horizontal plane and orthogonal to the traveling direction Y). The rotating portion 27 is a driving portion that rotates the article holding portion 24 with respect to the traveling portion 22 around the vertical axis Z (vertical axis). As shown in FIG. 2, the cover body 23c is a member that covers the upper side of the article W and the front and rear sides of the path when the article holding portion 24 supporting the article W is raised to the elevation reference position. The elevation reference position is defined in advance as a position in the up-down direction (vertical direction) at which the article holding portion 24 is positioned when the article transport vehicle 20 travels along the travel rail RL while supporting the article W. position.

以下、物品搬送設備２００及び物品搬送車２０のシステム構成を模式的に示す図３も参照して物品搬送車２０の構成について説明する。物品保持部２４には、一対の把持爪２４ａと、把持用モータ２４ｍ（図３参照）とが備えられている。図２に示すように、一対の把持爪２４ａのそれぞれは、各把持爪２４ａの下端部にて物品Ｗのフランジ部１６を下方から支持するように、側面から見て（Ｘ方向に見て）Ｌ字状に形成されている。一対の把持爪２４ａは、把持用モータ２４ｍの駆動力によって、水平方向に沿って、互いに接近及び離間する。物品保持部２４は、支持状態と支持解除状態とに切換可能に構成されており、一対の把持爪２４ａが、接近することで支持状態となり、離間することで支持解除状態となる。 Hereinafter, the configuration of the article transport vehicle 20 will be described with reference to FIG. The article holding portion 24 is provided with a pair of gripping claws 24a and a gripping motor 24m (see FIG. 3). As shown in FIG. 2, each of the pair of gripping claws 24a is configured to support the flange portion 16 of the article W from below at the lower end of each gripping claw 24a when viewed from the side (viewed in the X direction). It is formed in an L shape. The pair of gripping claws 24a approaches and separates from each other along the horizontal direction by the driving force of the gripping motor 24m. The article holding portion 24 is configured to be switchable between a supported state and a unsupported state, and the pair of gripping claws 24a enter the supported state when they approach each other, and enter the unsupported state when they separate.

図２に示すように、物品Ｗを吊り下げ支持する物品保持部２４は、物品保持部２４と同じく移載装置２８を構成する昇降部２５により走行部２２に対して昇降可能に支持されている。昇降部２５には、巻回体２５ａと、巻き取りベルト２５ｂと、昇降用モータ２５ｍ（図３参照）とが備えられている。巻回体２５ａは、後述する回転体２７ａに支持されている。巻き取りベルト２５ｂは、巻回体２５ａに巻回されており、先端部には物品保持部２４が連結支持されている。昇降用モータ２５ｍは、巻回体２５ａを回転させるための動力を与える。昇降用モータ２５ｍが巻回体２５ａを正方向に回転させることによって、巻き取りベルト２５ｂを巻き取り、昇降用モータ２５ｍが巻回体２５ａを逆方向に回転させることによって、巻き取りベルト２５ｂを繰り出す。これによって、物品保持部２４及び物品保持部２４に支持された物品Ｗが昇降移動される。尚、昇降部２５には、巻回体２５ａの繰り出し量をパルス数により計測するエンコーダ（不図示）も備えられている。作動制御部２１（図３参照）は、このパルス数に基づいて物品保持部２４の昇降高さを制御する。 As shown in FIG. 2, the article holding section 24 that suspends and supports the article W is supported by an elevating section 25 that constitutes a transfer device 28 like the article holding section 24 so that it can be raised and lowered with respect to the travel section 22 . . The lifting section 25 includes a wound body 25a, a winding belt 25b, and a lifting motor 25m (see FIG. 3). The wound body 25a is supported by a rotating body 27a, which will be described later. The take-up belt 25b is wound around the wound body 25a, and the end portion of the take-up belt 25b is connected to and supported by the article holding portion 24. As shown in FIG. The lifting motor 25m provides power for rotating the wound body 25a. The lifting motor 25m rotates the winding body 25a in the forward direction to wind up the winding belt 25b, and the lifting motor 25m rotates the winding body 25a in the reverse direction to let out the winding belt 25b. . As a result, the article holding portion 24 and the article W supported by the article holding portion 24 are moved up and down. The lifting unit 25 is also provided with an encoder (not shown) for measuring the amount of feed of the wound body 25a by the number of pulses. The operation control section 21 (see FIG. 3) controls the elevation height of the article holding section 24 based on the number of pulses.

同じく本体部２３を構成するスライド部２６には、中継部２６ａと、スライド用モータ２６ｍ（図３参照）とが備えられている。中継部２６ａは、走行部２２に対して横方向Ｘに沿ってスライド移動可能なように、走行部２２に支持されている。スライド用モータ２６ｍは、中継部２６ａを横方向Ｘに沿ってスライド移動させるための動力を与える。スライド部２６は、スライド用モータ２６ｍの駆動により中継部２６ａを横方向Ｘに沿ってスライド移動させることで、物品保持部２４及び昇降部２５を横方向Ｘに沿って移動させる。 A slide portion 26, which also constitutes the body portion 23, is provided with a relay portion 26a and a slide motor 26m (see FIG. 3). The relay portion 26 a is supported by the running portion 22 so as to be slidable along the lateral direction X with respect to the running portion 22 . The slide motor 26m provides power for sliding the relay portion 26a along the horizontal direction X. As shown in FIG. The sliding section 26 moves the article holding section 24 and the lifting section 25 along the horizontal direction X by sliding the relay section 26a along the horizontal direction X by driving the sliding motor 26m.

同じく移載装置２８を構成する回転部２７には、回転体２７ａと、回転用モータ２７ｍ（図３参照）とが備えられている。回転体２７ａは、垂直方向（上下方向）に沿った縦軸心Ｚ周りに回転可能に、中継部２６ａに対して支持されている。回転用モータ２７ｍは、回転体２７ａを縦軸心周りに回転させるための動力を与える。回転部２７は、回転用モータ２７ｍの駆動により回転体２７ａを回転させることで、物品保持部２４及び昇降部２５を縦軸心Ｚ周りに沿って回転させる。 The rotating portion 27, which also constitutes the transfer device 28, includes a rotating body 27a and a rotating motor 27m (see FIG. 3). The rotating body 27a is rotatably supported by the relay portion 26a about a vertical axis Z along the vertical direction (vertical direction). The rotating motor 27m provides power to rotate the rotating body 27a around the vertical axis. The rotating part 27 rotates the article holding part 24 and the lifting part 25 around the vertical axis Z by rotating the rotating body 27a by driving the rotation motor 27m.

図３に示すように、物品搬送車２０は、プロファイル記憶部２９を備えている。プロファイル記憶部２９は、メモリ等の記憶媒体により構成され、各載置台２０３において物品Ｗを移載するための位置や作動量の情報を含むプロファイル情報を記憶する。プロファイル情報には、各載置台２０３において物品Ｗを搬送及び移載するために走行経路ＬＴにおいて物品搬送車２０を停止させる停止目標位置の情報及び移載基準作動量の情報を含む。移載基準作動量は、例えば、走行部２２に対する物品保持部２４の縦軸心Ｚ周りの回転量を規定する回転作動量、走行部２２に対する物品保持部２４の横方向Ｘでの移動量を規定するスライド作動量、及び、走行部２２に対する物品保持部２４の上下方向での作動量を規定する下降作動量を含む。移載基準作動量は、走行部２２が走行レールＲＬを走行する際の物品保持部２４の姿勢を基準としている。例えば、走行部２２が走行レールＲＬを走行する際の物品保持部２４の縦軸心周りの位置を回転基準位置とし、走行部２２が走行する際の物品保持部２４の横方向Ｘでの位置をスライド基準位置とし、走行部２２が走行する際の物品保持部２４の上下方向での位置を上昇設定位置とする。 As shown in FIG. 3 , the article transport vehicle 20 has a profile storage section 29 . The profile storage unit 29 is configured by a storage medium such as a memory, and stores profile information including information on the position and operation amount for transferring the article W on each mounting table 203 . The profile information includes information on the target stop position at which the article transport vehicle 20 is to be stopped on the travel route LT to transport and transfer the article W on each table 203 and information on the transfer reference operation amount. The transfer reference actuation amount is, for example, a rotational actuation amount that defines the amount of rotation of the article holding section 24 about the vertical axis Z with respect to the traveling section 22, and the amount of movement of the article holding section 24 in the lateral direction X relative to the traveling section 22. It includes a defined slide operation amount and a downward movement amount that defines an amount of vertical movement of the article holding section 24 with respect to the traveling section 22 . The transfer reference operation amount is based on the attitude of the article holding section 24 when the traveling section 22 travels on the traveling rail RL. For example, the position around the vertical axis of the article holding section 24 when the traveling section 22 travels on the traveling rail RL is set as the rotation reference position, and the position of the article holding section 24 in the horizontal direction X when the traveling section 22 travels. is the slide reference position, and the vertical position of the article holding portion 24 when the traveling portion 22 travels is the raised setting position.

物品搬送車２０が物品搬送設備２００に導入される際には適切なプロファイル情報が設定される。しかし、物品搬送車２０の経年変化や消耗等によって、誤差が大きくなると、物品Ｗなどの物品が適正に移載できなくなる場合がある。例えば、走行車輪２２ａの摩耗等により、停止目標位置が、理想的な位置からずれる場合がある。また、昇降部２５（昇降用モータ２５ｍや巻き取りベルト２５ｂ）の経年劣化や消耗に伴って移載基準作動量と理想的な作動量とのずれが徐々に大きくなる場合もある。このため、例えば期間を定めて定期点検等が行われ、その際に調整が実施される。また、移載エラーが増加した場合などでは、個々の物品搬送車２０に応じた適切な時期に調整が行われる場合がある。詳細は後述するが、位置関係検出システム１００は、移載基準作動量に基づいて物品保持部２４が作動した後の物品保持部２４と移載箇所に対する位置関係を検出するシステムである。検出された位置関係に基づいて、移載基準作動量の設定や更新が行われる。 Appropriate profile information is set when the article transport vehicle 20 is introduced into the article transport facility 200 . However, if the error becomes large due to aging or wear of the article transport vehicle 20, there are cases where articles such as the articles W cannot be properly transferred. For example, the target stop position may deviate from the ideal position due to wear of the running wheels 22a or the like. In addition, the difference between the transfer reference operation amount and the ideal operation amount may gradually increase due to aged deterioration and wear of the lifting section 25 (the lifting motor 25m and the take-up belt 25b). For this reason, for example, a periodical inspection or the like is performed for a specified period, and adjustments are made at that time. Further, when the number of transfer errors increases, adjustment may be made at an appropriate time for each article transport vehicle 20 . Although details will be described later, the positional relationship detection system 100 is a system that detects the positional relationship between the article holding section 24 and the transfer location after the article holding section 24 has been operated based on the transfer reference actuation amount. Based on the detected positional relationship, the transfer reference operation amount is set or updated.

搬送設備制御装置Ｈは、物品搬送設備２００の中核となるシステムコントローラである。搬送設備制御装置Ｈは、物品搬送車２０に対する上位コントローラであり、第１エリアＥ１における物品搬送車２０の作動を制御して、物品Ｗを搬送するための搬送制御を実行する。また、搬送設備制御装置Ｈは、第２エリアＥ２における物品搬送車２０の作動を制御して、物品搬送車２０の調整を行う調整制御も実行する。尚、ここでは、搬送制御と調整制御とを共通の搬送設備制御装置Ｈが中核となって実行する形態を例示したが、それぞれ別の制御装置によって実行される形態であってもよい。 The transport facility control device H is a system controller that is the core of the article transport facility 200 . The transport facility control device H is a host controller for the article transport vehicle 20, and controls the operation of the article transport vehicle 20 in the first area E1 to carry out transport control for transporting the articles W. FIG. The transport facility control device H also controls the operation of the article transport vehicle 20 in the second area E2 to perform adjustment control for adjusting the article transport vehicle 20 . In this example, the transportation control and the adjustment control are performed by the common transportation facility control device H as the core, but they may be executed by separate control devices.

図３に示すように、物品搬送車２０と搬送設備制御装置Ｈとは、例えば無線ＬＡＮ等によってワイヤレス通信を行う。また、物品搬送車２０と位置関係検出システム１００のセンサユニット３とは、例えば近距離無線通信や無線ＬＡＮによるワイヤレス通信や、ケーブル等を介した有線通信を行う。作動制御部２１は、マイクロコンピュータ等によって構成され、搬送制御では、搬送設備制御装置Ｈからの指令に基づいて物品搬送車２０を自律制御により作動させる。また、調整制御では、位置関係検出システム１００と協働して、物品搬送車２０の調整（プロファイル情報の設定や更新）を行う。 As shown in FIG. 3, the article transport vehicle 20 and the transport equipment control device H perform wireless communication, for example, through a wireless LAN or the like. Also, the article transport vehicle 20 and the sensor unit 3 of the positional relationship detection system 100 perform wireless communication using, for example, short-range wireless communication or wireless LAN, or wired communication via a cable or the like. The operation control section 21 is composed of a microcomputer or the like, and in the transportation control, the article transportation vehicle 20 is operated by autonomous control based on a command from the transportation equipment control device H. Further, in adjustment control, the article transport vehicle 20 is adjusted (setting and updating profile information) in cooperation with the positional relationship detection system 100 .

以下、図５～図１２も参照して説明する。位置関係検出システム１００は、物品保持部２４に保持される第１ユニット１と、移載箇所に設置される第２ユニット２とを備えている。第１ユニット１及び第２ユニット２の一方はセンサユニット３であり、他方はセンサユニット３による検出対象を備えた被検出ユニット４である。本実施形態では、第１ユニット１がセンサユニット３であり、第２ユニット２が被検出ユニット４である。 Description will be made below with reference to FIGS. 5 to 12 as well. The positional relationship detection system 100 includes a first unit 1 held by an article holding section 24 and a second unit 2 installed at a transfer location. One of the first unit 1 and the second unit 2 is a sensor unit 3 and the other is a detected unit 4 having a detection target by the sensor unit 3 . In this embodiment, the first unit 1 is the sensor unit 3 and the second unit 2 is the detected unit 4 .

センサユニット３は、当該センサユニット３における検出基準点Ｑから被検出体（ここでは被検出ユニット４）の複数箇所までの距離Ｋを検出することができる。即ち、センサユニット３は、検出基準点Ｑから被検出ユニット４に設定された複数の被検出点Ｒまでの距離Ｋを検出する。ここでは、センサユニット３は、センサユニット３に設定された検出基準面ＱＰに直交する方向における距離Ｋを検出するものとする。従って、検出基準点Ｑは、それぞれの被検出点Ｒに対応して、検出基準面ＱＰ上に複数設定されている。当然ながら、１つの検出基準点Ｑからそれぞれの被検出点Ｒまでの距離が検出され、三角測量の原理を用いて距離Ｋが検出される形態であってもよい。 The sensor unit 3 can detect the distance K from the detection reference point Q in the sensor unit 3 to a plurality of locations on the object to be detected (the unit to be detected 4 in this case). That is, the sensor unit 3 detects the distance K from the detection reference point Q to the plurality of detection points R set in the detection unit 4 . Here, it is assumed that the sensor unit 3 detects a distance K in a direction perpendicular to the detection reference plane QP set on the sensor unit 3 . Therefore, a plurality of detection reference points Q are set on the detection reference plane QP corresponding to each of the detected points R. As shown in FIG. Of course, the distance from one detection reference point Q to each detected point R may be detected, and the distance K may be detected using the principle of triangulation.

被検出ユニット４には、センサユニット３に対向するように基準面Ｐ０が設定されている。本実施形態では、被検出ユニット４は、基準面Ｐ０が水平面と平行となる状態で調整用載置台２０４に設置されている。被検出ユニット４は、基準面Ｐ０に沿った第１方向Ｄ１及び基準面Ｐ０に沿うと共に第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２を基準とした基準位置に設置されている。つまり、被検出ユニット４は、調整用載置台２０４に対して基準姿勢で基準位置に設置されている。ここで、物品保持部２４と調整用載置台２０４との位置関係が規定の位置関係となるように調整されているとき、センサユニット３と被検出ユニット４との相対位置及び相対姿勢は、基準位置関係にある。 A reference plane P<b>0 is set on the detected unit 4 so as to face the sensor unit 3 . In this embodiment, the unit to be detected 4 is installed on the adjustment table 204 with the reference plane P0 parallel to the horizontal plane. The detected unit 4 is installed at a reference position based on a first direction D1 along the reference plane P0 and a second direction D2 along the reference plane P0 and orthogonal to the first direction D1. In other words, the unit to be detected 4 is installed at the reference position in the reference posture with respect to the adjustment table 204 . Here, when the positional relationship between the article holding section 24 and the adjustment mounting table 204 is adjusted to a prescribed positional relationship, the relative position and relative attitude between the sensor unit 3 and the detection target unit 4 are the reference values. Positional relationship.

図５に示すように、センサユニット３は、画像センサ３１とレーザー３２とを備えたセンサ本体部３０と、センサ本体部３０からの出力信号を増幅するアンプユニット３４と、プログラマブルコントローラ３６（ＰＬＣ：Programmable Logic Controller）と、ディスプレイ３５とを備えている。センサユニット３は、画像センサ３１により検出対象（ここでは被検出ユニット４）を撮影することができる。撮影画像は、ディスプレイ３５に表示される。作業者は、物品保持部２４と調整用載置台２０４との位置関係が規定の位置関係（基準位置関係）となるように調整されており、センサユニット３と被検出ユニット４とが基準位置関係にある状態で、ディスプレイ３５に表示された撮影画像（被検出ユニット４）上に被検出点Ｒを設定する。例えば、図７の平面図及び図８の側面図に示すように、撮影画像上の被検出ユニット４に対して被検出点Ｒが設定される。つまり、レーザー３２は、これらの被検出点Ｒまでの距離Ｋを測定するように設定される。プログラマブルコントローラ３６は、測定された被検出点Ｒまでの距離Ｋを、搬送設備制御装置Ｈへ送信する。 As shown in FIG. 5, the sensor unit 3 includes a sensor main body 30 having an image sensor 31 and a laser 32, an amplifier unit 34 for amplifying an output signal from the sensor main body 30, and a programmable controller 36 (PLC: Programmable Logic Controller) and a display 35 . The sensor unit 3 can photograph the detection target (here, the detection target unit 4) with the image sensor 31. FIG. A captured image is displayed on the display 35 . The operator adjusts the positional relationship between the article holding section 24 and the adjustment mounting table 204 so that it becomes a prescribed positional relationship (reference positional relationship), and the sensor unit 3 and the detection target unit 4 are adjusted to the reference positional relationship. A point to be detected R is set on the photographed image (unit to be detected 4) displayed on the display 35 in the state of . For example, as shown in the plan view of FIG. 7 and the side view of FIG. 8, a detected point R is set with respect to the detected unit 4 on the captured image. That is, the laser 32 is set to measure the distance K to these detected points R. The programmable controller 36 transmits the measured distance K to the detected point R to the transport facility controller H.

図６の斜視図に示すように、被検出ユニット４は、移載箇所に対する物品保持部２４の相対位置を示す平面相対位置（図１１参照）、移載箇所に設定された基準面Ｐ０に対する物品保持部２４の傾きφ（図１２参照）、基準面Ｐ０に直交する基準軸Ｃの周りの物品保持部２４の回転角度θ、の内の少なくとも２つを、センサユニット３が検出基準点Ｑからの距離Ｋに応じた値として検出可能な複数の被検出面４０を備えている。尚、平面相対位置は、移載箇所においてセンサユニット３に対向するように設定された基準面Ｐ０に沿った第１方向Ｄ１及び基準面Ｐ０に沿うと共に第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２における、移載箇所に対する物品保持部２４の相対位置を示している。 As shown in the perspective view of FIG. 6, the unit to be detected 4 has a plane relative position (see FIG. 11) indicating the relative position of the article holding portion 24 with respect to the transfer location, and an article position relative to the reference plane P0 set at the transfer location. of the holding portion 24 (see FIG. 12) and the rotational angle θ of the article holding portion 24 around the reference axis C orthogonal to the reference plane P0. It has a plurality of detected surfaces 40 that can be detected as values corresponding to the distance K of . The plane relative position is defined as a first direction D1 along the reference plane P0 set to face the sensor unit 3 at the transfer location, and a second direction D2 along the reference plane P0 and perpendicular to the first direction D1. 2 shows the relative position of the article holding portion 24 with respect to the transfer location in FIG.

図６，図８等に示すように、第１方向Ｄ１における平面相対位置を検出する被検出面４０は、第１方向Ｄ１の一方側へ向かうに従って検出基準点Ｑからの距離Ｋが一定の割合で増加するように配置された傾斜平面（第１傾斜平面４１）である。また、第２方向Ｄ２における平面相対位置を検出する被検出面４０は、第２方向Ｄ２の一方側へ向かうに従って検出基準点Ｑからの距離が一定の割合で増加するように配置された傾斜平面（第２傾斜平面４２）である。 As shown in FIGS. 6, 8, etc., the detected surface 40 for detecting the planar relative position in the first direction D1 has a constant distance K from the detection reference point Q toward one side in the first direction D1. is an inclined plane (first inclined plane 41) arranged to increase with . Further, the surface to be detected 40 for detecting the planar relative position in the second direction D2 is an inclined plane arranged so that the distance from the detection reference point Q increases at a constant rate toward one side in the second direction D2. (second inclined plane 42).

傾きを検出する被検出面４０は、少なくとも３箇所に設けられている。これら３つの被検出面４０（５１，５２，５３）は、傾きが無い場合に検出基準点Ｑからの距離が同じとなるように配置され、基準面Ｐ０に平行な面（非傾斜平面５０）である。３つの非傾斜平面５０のそれぞれを区別する場合には、第１非傾斜平面５１、第２非傾斜平面５２、第３非傾斜平面５３と称する。第１非傾斜平面５１と第２非傾斜平面５２とは、第２方向Ｄ２に沿って配置され、第２非傾斜平面５２と第３非傾斜平面５３とは第１方向Ｄ１に沿って配置されている。 At least three detection surfaces 40 for detecting the tilt are provided. These three detection surfaces 40 (51, 52, 53) are arranged so that the distances from the detection reference point Q are the same when there is no inclination, and are parallel to the reference plane P0 (non-tilt plane 50). is. When distinguishing between the three non-inclined planes 50, they are referred to as a first non-inclined plane 51, a second non-inclined plane 52, and a third non-inclined plane 53, respectively. The first non-inclined plane 51 and the second non-inclined plane 52 are arranged along the second direction D2, and the second non-inclined plane 52 and the third non-inclined plane 53 are arranged along the first direction D1. ing.

基準軸Ｃ周りの回転角度θを検出する被検出面４０は、基準軸Ｃ周りに一方側に旋回するに従って検出基準点Ｑからの距離が一定の割合で増加するように配置された螺旋状面４３である。 The detected surface 40 for detecting the rotation angle θ about the reference axis C is a spiral surface arranged so that the distance from the detection reference point Q increases at a constant rate as it turns about the reference axis C in one direction. 43.

尚、基準面Ｐ０に沿う各方向における被検出面４０の幅は、移載箇所と物品保持部２４との理論上のずれの最大値より大きくなるように設定されている。具体的には、第１傾斜平面４１は、少なくとも基準面Ｐ０に沿うと共に第１方向Ｄ１に直交する方向（第２方向Ｄ２）の幅が、移載箇所と物品保持部２４との第２方向Ｄ２における理論上のずれの最大値より大きくなるように設定されている。なお、当然ながら、第１傾斜平面４１の第１方向Ｄ１の幅（長さ）は、移載箇所と物品保持部２４との第１方向Ｄ１における理論上のずれの最大値より大きい。同様に、第２傾斜平面４２は、少なくとも基準面Ｐ０に沿うと共に第２方向Ｄ２に直交する方向（第１方向Ｄ１）における幅が、移載箇所と物品保持部２４との第１方向Ｄ１における理論上のずれの最大値より大きくなるように設定されている。なお、当然ながら、第２傾斜平面４２の第２方向Ｄ２の幅（長さ）は、移載箇所と物品保持部２４との第２方向Ｄ２における理論上のずれの最大値より大きい。 The width of the surface to be detected 40 in each direction along the reference plane P0 is set to be larger than the theoretical maximum value of deviation between the transfer location and the article holding portion 24 . Specifically, the width of the first inclined plane 41 at least in the direction (second direction D2) along the reference plane P0 and orthogonal to the first direction D1 is the second direction between the transfer location and the article holding section 24. It is set to be larger than the theoretical maximum value of deviation in D2. It should be noted that, of course, the width (length) of the first inclined plane 41 in the first direction D1 is larger than the theoretical maximum deviation in the first direction D1 between the transfer location and the article holding section 24 . Similarly, the width of the second inclined plane 42 at least in the direction (first direction D1) along the reference plane P0 and orthogonal to the second direction D2 is It is set to be larger than the theoretical maximum deviation. Of course, the width (length) of the second inclined plane 42 in the second direction D2 is greater than the theoretical maximum deviation in the second direction D2 between the transfer location and the article holding section 24 .

また、螺旋状面４３は、旋回方向Ｄ３に直交する方向における幅が、移載箇所と物品保持部２４との基準面Ｐ０に沿う方向における理論上のずれの最大値より大きくなるように設定されている。旋回方向Ｄ３は、基準軸Ｃを中心とする円の円周に対応させることができるので、旋回方向Ｄ３に直交する方向は、当該円周の接線に直交する方向、即ち基準軸Ｃを中心とする円の径方向に相当する。従って、螺旋状面４３は、基準軸Ｃを中心とする円の径方向における幅が、移載箇所と物品保持部２４との当該径方向における理論上のずれの最大値より大きくなるように設定されている。また、非傾斜平面５０は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２における幅が、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２における理論上のずれの最大値より大きくなるように設定されている。 Further, the spiral surface 43 is set so that the width in the direction orthogonal to the turning direction D3 is larger than the theoretical maximum value of deviation between the transfer location and the article holding portion 24 in the direction along the reference plane P0. ing. Since the turning direction D3 can correspond to the circumference of a circle centered on the reference axis C, the direction perpendicular to the turning direction D3 is the direction perpendicular to the tangent line of the circumference, that is, the direction perpendicular to the reference axis C. corresponds to the radial direction of the circle that Therefore, the spiral surface 43 is set so that the radial width of a circle centered on the reference axis C is larger than the theoretical maximum value of the radial deviation between the transfer location and the article holding section 24. It is Further, the non-inclined plane 50 is set such that the width in the first direction D1 and the second direction D2 is larger than the theoretical maximum deviation in the first direction D1 and the second direction D2.

ところで、調整制御に際しては、搬送制御と同様の条件で行われることが好ましい。上述したように、本実施形態では、搬送対象の物品Ｗは複数の基板（半導体基板）を収容する収納容器（ＦＯＵＰ）であるから、ＦＯＵＰにセンサユニット３が設置されていると好適である。図９に示すように、収納容器としてのＦＯＵＰは、複数の基板のそれぞれを保持する複数のスリット１３と、当該スリット１３に基板を出し入れするための挿抜口１２と、挿抜口１２を閉じる蓋部１４とを備えている。センサユニット３は、基板と同様の厚みを有する支持基板７１に支持され、支持基板７１がスリット１３により支持されることによってＦＯＵＰに設置される。 By the way, it is preferable that the adjustment control is performed under the same conditions as the transport control. As described above, in the present embodiment, the article W to be transported is a storage container (FOUP) containing a plurality of substrates (semiconductor substrates), so it is preferable that the sensor unit 3 is installed in the FOUP. As shown in FIG. 9, a FOUP as a storage container includes a plurality of slits 13 for holding a plurality of substrates, insertion/extraction openings 12 for inserting/removing substrates into the slits 13, and lids closing the insertion/extraction openings 12. 14. The sensor unit 3 is supported by a support substrate 71 having the same thickness as the substrate, and the support substrate 71 is supported by the slit 13 to be installed in the FOUP.

センサユニット３の中核となるセンサ本体部３０は、ブラケット７２を介して支持基板７１に吊り下げ支持されている。センサ本体部３０による検出方向は、下方（ＦＯＵＰの底に向かう方向）であるから、ＦＯＵＰの底部には、貫通孔１７が形成されている。センサユニット３は、貫通孔１７を挟んで被検出ユニット４と対向し、センサユニット３と被検出ユニット４の各被検出点Ｒとの間の距離Ｋを検出する。尚、ＦＯＵＰの底部の一部又は低部の全面が調整用載置台２０４の上面に接触した状態で、距離Ｋの検出が行われてもよい。このため、貫通孔１７は、物品保持部２４と調整用載置台２０４との位置関係が、理想的な位置関係から最大誤差範囲までずれた場合であっても、貫通孔１７の内側にセンサユニット３の全体が収まる大きさに設定されている。 A sensor main body 30 , which is the core of the sensor unit 3 , is suspended and supported by a support substrate 71 via a bracket 72 . Since the direction of detection by the sensor body 30 is downward (the direction toward the bottom of the FOUP), a through hole 17 is formed in the bottom of the FOUP. The sensor unit 3 faces the detected unit 4 across the through hole 17 and detects the distance K between the sensor unit 3 and each detected point R of the detected unit 4 . Note that the distance K may be detected while a part of the bottom portion or the entire lower portion of the FOUP is in contact with the upper surface of the adjustment mounting table 204 . Therefore, even if the positional relationship between the article holding portion 24 and the adjustment stage 204 deviates from the ideal positional relationship to the maximum error range, the through hole 17 has a sensor unit inside the through hole 17 . The size is set so that the entirety of 3 can be accommodated.

図９に示すように、支持基板７１には、アンプユニット３４も吊り下げ支持されている。また、図示は省略しているが、例えば、バッテリーやＤＣ－ＤＣコンバータなどの電源ユニットや、通信ユニット、プログラマブルコントローラ３６等も、支持基板７１の上面に載置され、または下面に吊り下げ支持されている。また、ＦＯＵＰには、挿抜口１２の反対側に窓部１８が形成されている。ディスプレイ３５は、窓部１８を介してＦＯＵＰの外部から作業者が視認可能に、支持基板７１に吊り下げ支持されている。尚、窓部１８は取り外し可能に構成されており、窓部１８を取り外すことによって、作業者はディスプレイ３５のタッチパネルを操作することができ、例えば上述したように基準位置関係において撮影された被検出ユニット４の撮影画像上において被検出点Ｒを設定することができる。 As shown in FIG. 9, the amplifier unit 34 is also suspended from the support substrate 71 . Further, although not shown, for example, a power supply unit such as a battery and a DC-DC converter, a communication unit, a programmable controller 36, and the like are also placed on the upper surface of the support substrate 71 or supported by being suspended from the lower surface. ing. A window portion 18 is formed on the opposite side of the insertion/extraction port 12 in the FOUP. The display 35 is suspended from the support substrate 71 so that the operator can see it from the outside of the FOUP through the window 18 . The window part 18 is detachable. By removing the window part 18, the operator can operate the touch panel of the display 35. A point to be detected R can be set on the image captured by the unit 4 .

図９及び図１０に示すように、支持基板７１には、挿抜口１２の方向、即ち蓋部１４の方向に突出した突出部７３が形成されている。また、蓋部１４には、挿抜口１２を閉じた状態で突出部７３に対向する位置に凹部１４ａが形成されている。センサユニット３を支持する支持基板７１は、ＦＯＵＰのスリット１３によって支持されると共に、突出部７３が凹部１４ａによって規制されることによって、支持基板７１のスリット１３に沿う方向の位置決めが行われている。つまり、センサユニット３は、スリット１３によって支持されると共に、蓋部１４によってスリット１３に沿う方向の位置決めが行われている。 As shown in FIGS. 9 and 10, the support substrate 71 is formed with a projecting portion 73 projecting in the direction of the insertion/extraction port 12, that is, in the direction of the lid portion 14. As shown in FIGS. In addition, a concave portion 14a is formed in the lid portion 14 at a position facing the protruding portion 73 when the insertion/extraction port 12 is closed. The support substrate 71 that supports the sensor unit 3 is supported by the slits 13 of the FOUP, and the protrusions 73 are restricted by the recesses 14a, thereby positioning the support substrate 71 in the direction along the slits 13. . That is, the sensor unit 3 is supported by the slit 13 and positioned in the direction along the slit 13 by the lid portion 14 .

以下、図１１及び図１２を参照して、検出された距離Ｋと相対位置関係との対応について説明する。下記に説明するように、距離Ｋに基づいて、相対位置関係を示す平面相対位置、傾きφ、回転角度θを求めることができる。距離Ｋに基づく演算は、例えばセンサユニット３のアンプユニット３４や不図示のコントローラによって実行されても良いし、搬送設備制御装置Ｈなど、センサユニット３とは別のコントローラによって実行されても良い。 The correspondence between the detected distance K and the relative positional relationship will be described below with reference to FIGS. 11 and 12. FIG. As described below, based on the distance K, it is possible to obtain the plane relative position, the inclination φ, and the rotation angle θ that indicate the relative positional relationship. The calculation based on the distance K may be performed by the amplifier unit 34 of the sensor unit 3 or a controller (not shown), or may be performed by a controller other than the sensor unit 3, such as the transfer equipment control device H.

基準面Ｐ０に沿う方向に物品保持部２４と被検出ユニット４との相対位置が基準位置関係からずれている場合、物品保持部２４とセンサユニット３との相対位置も基準位置関係からずれている。図１１の傾斜面は、第１傾斜平面４１、第２傾斜平面４２、螺旋状面４３を示している。例えば、相対位置が基準位置関係に対して第１方向Ｄ１にずれている場合、検出基準点Ｑからの第１傾斜平面４１における被検出点は、設定された被検出点Ｒからずれた点Ｒ’となる。同様に、相対位置が基準位置関係に対して第２方向Ｄ２にずれている場合、検出基準点Ｑからの第２傾斜平面４２における被検出点は、設定された被検出点Ｒからずれた点Ｒ’となる。また、相対位置が基準軸Ｃ周りに基準位置関係に対して旋回している場合には、検出基準点Ｑからの螺旋状面４３における被検出点は、設定された被検出点Ｒからずれた点Ｒ’となる。 When the relative positions of the article holding section 24 and the detected unit 4 deviate from the reference positional relationship in the direction along the reference plane P0, the relative positions of the article holding section 24 and the sensor unit 3 also deviate from the reference positional relationship. . The inclined planes in FIG. 11 show a first inclined plane 41 , a second inclined plane 42 and a spiral plane 43 . For example, if the relative position deviates in the first direction D1 from the reference positional relationship, the point to be detected on the first inclined plane 41 from the detection reference point Q is a point R ' becomes. Similarly, when the relative position deviates in the second direction D2 from the reference positional relationship, the detected point on the second inclined plane 42 from the detection reference point Q is a point deviated from the set detected point R. R'. Further, when the relative position rotates around the reference axis C with respect to the reference positional relationship, the point to be detected on the spiral surface 43 from the detection reference point Q deviates from the set point to be detected R. Point R'.

このようなずれが生じている場合、第１傾斜平面４１、第２傾斜平面４２、螺旋状面４３と検出基準点Ｑとの間の距離Ｋは、誤差ΔＫを含む値となる。第１方向Ｄ１へのずれ量をｄとし、第１傾斜平面４１の基準面Ｐ０に対する傾斜角度をＳとすれば、誤差ΔＫとずれ量ｄとの関係は三角関数の正接により“ｔａｎＳ＝ΔＫ／ｄ”と表すことができる。従って、第１方向Ｄ１へのずれ量ｄは、第１傾斜平面４１の基準面Ｐ０に対する傾斜角度Ｓに基づいて演算することができる。同様に、第２方向Ｄ２へのずれ量ｄも、第２傾斜平面４２の基準面Ｐ０に対する傾斜角度Ｓに基づいて演算することができる。このようにして、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２における相対位置を求めることで、平面相対位置を求めることができる。尚、傾斜角度Ｓは、第１傾斜平面４１と第２傾斜平面４２とで同じであっても良いし、異なっていても良い。 When such a deviation occurs, the distance K between the first inclined plane 41, the second inclined plane 42, the spiral plane 43 and the detection reference point Q becomes a value including the error ΔK. Assuming that the amount of deviation in the first direction D1 is d and the angle of inclination of the first inclined plane 41 with respect to the reference plane P0 is S, the relationship between the error ΔK and the amount of deviation d is expressed by the tangent of a trigonometric function as "tanS=ΔK/ d". Therefore, the deviation amount d in the first direction D1 can be calculated based on the inclination angle S of the first inclined plane 41 with respect to the reference plane P0. Similarly, the deviation amount d in the second direction D2 can also be calculated based on the inclination angle S of the second inclined plane 42 with respect to the reference plane P0. By obtaining the relative positions in the first direction D1 and the second direction D2 in this way, it is possible to obtain the plane relative positions. The inclination angle S may be the same or different between the first inclined plane 41 and the second inclined plane 42 .

また、螺旋状面４３におけるずれ量ｄは、基準面Ｐ０に平行な面上において基準軸Ｃと被検出点Ｒとを結ぶ線分を半径ｒとした円の円周に沿った長さに相当する。このずれ量ｄは、 旋回方向Ｄ３における変位量（回転角度θ）を用いて“ｄ＝２ｒπ・（θ／２π）＝ｒθ”と表すことができる（π：円周率）。ずれ量ｄは、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２と同様に、誤差ΔＫと、螺旋状面４３の傾斜角度Ｓとに基づいて求めることができる。そして、半径ｒと円周上のずれ量ｄとに基づいて旋回方向Ｄ３における変位量（回転角度θ）を演算することができる。 Further, the amount of deviation d on the spiral surface 43 corresponds to the length along the circumference of a circle having a radius r of a line segment connecting the reference axis C and the detected point R on a plane parallel to the reference plane P0. do. This displacement amount d can be expressed as "d=2rπ·(θ/2π)=rθ" using the displacement amount (rotational angle θ) in the turning direction D3 (π: circumference ratio). The deviation amount d can be obtained based on the error ΔK and the inclination angle S of the helical surface 43, similarly to the first direction D1 and the second direction D2. Then, the displacement amount (rotational angle θ) in the turning direction D3 can be calculated based on the radius r and the displacement amount d on the circumference.

上述したように、傾きを検出する３つの非傾斜平面５０は、傾きが無い場合に検出基準点Ｑからの距離Ｋが同じとなるように配置されている。しかし、図１２に示すように、物品保持部２４と基準面Ｐ０との位置関係に傾きφが生じていると、検出基準点Ｑから第１非傾斜平面５１までの距離Ｋと検出基準点Ｑから第２非傾斜平面５２までの距離Ｋとの間、及び、検出基準点Ｑから第２非傾斜平面５２までの距離Ｋと検出基準点Ｑから第３非傾斜平面５３までの距離Ｋとの間、の一方または双方に誤差ΔＨが生じる。第２方向Ｄ２に沿って配置された第１非傾斜平面５１及び第２非傾斜平面５２における誤差ΔＨ（ΔＨ１）は、第１非傾斜平面５１における被検出点Ｒと第２非傾斜平面５２における被検出点Ｒとの基準面Ｐ０に沿った方向における距離Ｌ（第１距離Ｌ１）を半径とする円の円周上における長さに近似することができる。そして、基準面Ｐ０に対する傾きφ（φ１）と、誤差ΔＨ（ΔＨ１）と、距離Ｌ（第１距離Ｌ１）との関係は、“ｔａｎφ１＝Ｌ１／ΔＨ１”と表すことができる。従って、誤差ΔＨ（ΔＨ１）に基づいて、第２方向Ｄ２における基準面Ｐ０に対する傾きφ（φ１）を演算することができる。 As described above, the three non-tilt planes 50 for tilt detection are arranged so that the distances K from the detection reference point Q are the same when there is no tilt. However, as shown in FIG. 12, if there is an inclination φ in the positional relationship between the article holding portion 24 and the reference plane P0, the distance K from the detection reference point Q to the first non-inclined plane 51 and the detection reference point Q to the second non-inclined plane 52, and between the distance K from the detection reference point Q to the second non-inclined plane 52 and the distance K from the detection reference point Q to the third non-inclined plane 53. An error ΔH occurs in one or both of The error ΔH (ΔH1) in the first non-inclined plane 51 and the second non-inclined plane 52 arranged along the second direction D2 is the detected point R on the first non-inclined plane 51 and the It can be approximated to the length on the circumference of a circle whose radius is the distance L (first distance L1) from the detected point R in the direction along the reference plane P0. The relationship between the inclination φ (φ1) with respect to the reference plane P0, the error ΔH (ΔH1), and the distance L (first distance L1) can be expressed as "tan φ1=L1/ΔH1". Therefore, based on the error ΔH (ΔH1), the inclination φ (φ1) with respect to the reference plane P0 in the second direction D2 can be calculated.

同様に、第１方向Ｄ１に沿って配置された第２非傾斜平面５２及び第３非傾斜平面５３における誤差ΔＨ（ΔＨ２）は、第２非傾斜平面５２における被検出点Ｒと第３非傾斜平面５３における被検出点Ｒとの基準面Ｐ０に沿った方向における距離Ｌ（第２距離Ｌ２）を半径ｒとする円の円周上における長さに近似することができる。そして、基準面Ｐ０に対する傾きφ（φ２）と、誤差ΔＨ（ΔＨ２）と、距離Ｌ（第２距離Ｌ２）との関係は、“ｔａｎφ２＝Ｌ２／ΔＨ２”と表すことができる。従って、誤差ΔＨ（ΔＨ２）に基づいて、第２方向Ｄ２における基準面Ｐ０に対する傾きφ（φ２）を演算することができる。そして、第２方向Ｄ２における傾きφ１と、第１方向Ｄ１における傾きφ２とに基づいて、基準面Ｐ０に対する物品保持部２４の傾きφを演算することができる。 Similarly, the error ΔH (ΔH2) in the second non-inclined plane 52 and the third non-inclined plane 53 arranged along the first direction D1 is the detected point R on the second non-inclined plane 52 and the third non-inclined plane It can be approximated to the length on the circumference of a circle having a radius r of a distance L (second distance L2) between the point R to be detected on the plane 53 and the reference plane P0 in the direction along the reference plane P0. The relationship between the inclination φ (φ2) with respect to the reference plane P0, the error ΔH (ΔH2), and the distance L (second distance L2) can be expressed as "tan φ2=L2/ΔH2". Therefore, the inclination φ (φ2) with respect to the reference plane P0 in the second direction D2 can be calculated based on the error ΔH (ΔH2). Then, the inclination φ of the article holding portion 24 with respect to the reference plane P0 can be calculated based on the inclination φ1 in the second direction D2 and the inclination φ2 in the first direction D1.

ところで、平面相対位置（第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２における相対位置）が基準位置関係からずれている場合には、回転角度が基準位置関係に一致していても、螺旋状面４３に対する距離Ｋに誤差ΔＫが生じる可能性がある。逆に、回転角度θが基準位置関係からずれている場合には、第１傾斜平面４１及び第２傾斜平面４２に対する距離Ｋに誤差ΔＫが生じる可能性がある。傾きφとの関係についても同様のことが言える。従って、上述したように、平面相対位置、回転角度θ、傾きφを求める際には、それぞれの被検出面４０に対する距離Ｋの検出結果を考慮することが好ましい。 By the way, when the plane relative position (the relative position in the first direction D1 and the second direction D2) deviates from the reference positional relationship, even if the rotation angle matches the reference positional relationship, the distance to the spiral plane 43 An error ΔK can occur in K. Conversely, if the rotation angle θ deviates from the reference positional relationship, an error ΔK may occur in the distance K with respect to the first inclined plane 41 and the second inclined plane 42 . The same can be said for the relationship with the slope φ. Therefore, as described above, when obtaining the plane relative position, the rotation angle θ, and the inclination φ, it is preferable to consider the detection result of the distance K with respect to each detected surface 40 .

〔その他の実施形態〕
以下、その他の実施形態について説明する。尚、以下に説明する各実施形態の構成は、それぞれ単独で適用されるものに限られず、矛盾が生じない限り、他の実施形態の構成と組み合わせて適用することも可能である。 [Other embodiments]
Other embodiments will be described below. The configuration of each embodiment described below is not limited to being applied alone, and can be applied in combination with the configuration of other embodiments as long as there is no contradiction.

（１）上記においては、センサユニット３に撮影画像が表示されるディスプレイ３５を備え、作業者が、ディスプレイ３５に表示された撮影画像（被検出ユニット４）上に被検出点Ｒを設定する形態を例示して説明した。しかし、図１３に例示するように、ディスプレイ３５を備えることなく、パーソナルコンピュータやタブレットなどのコンピュータ３７をアンプユニット３４に接続しコンピュータ３７のモニタ上において被検出点Ｒが設定される形態であってもよい。また、アンプユニット３４とコンピュータ３７との接続形態は、ケーブル等による有線接続に限らず、近距離無線通信などを用いたワイヤレス接続であってもよい。 (1) In the above description, the sensor unit 3 is provided with the display 35 for displaying the photographed image, and the operator sets the detection point R on the photographed image (detection unit 4) displayed on the display 35. was described as an example. However, as shown in FIG. 13, a computer 37 such as a personal computer or a tablet is connected to the amplifier unit 34 without the display 35, and the point to be detected R is set on the monitor of the computer 37. good too. Also, the form of connection between the amplifier unit 34 and the computer 37 is not limited to a wired connection using a cable or the like, but may be a wireless connection using short-range wireless communication or the like.

（２）上記においては、物品保持部２４に保持される第１ユニット１がセンサユニット３であり、移載箇所に設置される第２ユニット２が被検出ユニット４である形態を例示した。しかし、物品保持部２４に保持される第１ユニット１が被検出ユニット４であり、移載箇所に設置される第２ユニット２がセンサユニット３であってもよい。例えば、調整用載置台２０４にセンサユニット３が設置され、物品保持部２４に保持されるＦＯＵＰに被検出ユニット４が設置されていてもよい。 (2) In the above description, the first unit 1 held by the article holding section 24 is the sensor unit 3, and the second unit 2 installed at the transfer location is the detected unit 4 as an example. However, the first unit 1 held by the article holding portion 24 may be the unit 4 to be detected, and the second unit 2 installed at the transfer location may be the sensor unit 3 . For example, the sensor unit 3 may be installed on the adjustment table 204 and the detection target unit 4 may be installed on the FOUP held by the article holding section 24 .

（３）上記においては、センサユニット３が物品ＷとしてのＦＯＵＰに設置される形態を例示した。しかし、物品ＷがＦＯＵＰではなく、レチクルを収容するレチクルポッドの場合には、当該レチクルポッドを利用して位置関係検出システム１００が構成されていてもよい。尚、一般的にレチクルポッドはＦＯＵＰよりも薄型であり、上記において例示した形態のように、センサユニット３を収容することが困難な場合がある。従って、物品搬送設備２００が搬送する対象の物品Ｗがレチクルポッドの場合には、物品保持部２４に保持される第１ユニット１が被検出ユニット４であり、移載箇所に設置される第２ユニット２がセンサユニット３であると好適である。当然ながら、物品Ｗがレチクルポッドの場合であっても、第１ユニット１がセンサユニット３であり、第２ユニット２が被検出ユニット４であってもよい。 (3) In the above, the form in which the sensor unit 3 is installed in the FOUP as the article W has been exemplified. However, if the article W is not a FOUP but a reticle pod containing a reticle, the positional relationship detection system 100 may be configured using the reticle pod. It should be noted that the reticle pod is generally thinner than the FOUP, and it may be difficult to accommodate the sensor unit 3 as in the form exemplified above. Therefore, when the article W to be conveyed by the article conveying equipment 200 is a reticle pod, the first unit 1 held by the article holding section 24 is the detected unit 4, and the second unit installed at the transfer location is the first unit 1 to be detected. Preferably, unit 2 is sensor unit 3 . Of course, even if the article W is a reticle pod, the first unit 1 may be the sensor unit 3 and the second unit 2 may be the detection target unit 4 .

（４）上記においては、物品保持部２４の移載箇所に対する位置関係として、平面相対位置、傾きφ、及び、回転角度θの３つを求める構成を例として説明したが、これら３つの内のいずれか２つのみを求める構成であっても良い。この場合、被検出ユニット４は、第１傾斜平面４１及び第２傾斜平面４２と、３つの非傾斜平面５０と、螺旋状面４３と、のいずれかを備えない構成とされる。 (4) In the above description, as an example of the configuration for determining the three positional relationships of the article holding section 24 with respect to the transfer location, namely, the plane relative position, the inclination φ, and the rotation angle θ, one of these three A configuration in which only any two are required may be used. In this case, the detected unit 4 does not include any of the first inclined plane 41 and the second inclined plane 42 , the three non-inclined planes 50 , and the spiral surface 43 .

（５）上記においては、センサユニット３を支持する支持基板７１が、ＦＯＵＰのスリット１３によって支持されると共に、蓋部１４の凹部１４ａによってスリット１３に沿う方向の位置決めが行われている構成を例として説明した。しかしこれには限らず、センサユニット３が他の方法によって物品保持部２４に対して支持及び位置決めされた構成であっても良い。 (5) In the above example, the support substrate 71 that supports the sensor unit 3 is supported by the slit 13 of the FOUP and positioned in the direction along the slit 13 by the concave portion 14 a of the lid portion 14 . explained as. However, the configuration is not limited to this, and the sensor unit 3 may be supported and positioned with respect to the article holding portion 24 by other methods.

（６）上記においては、物品搬送車２０として天井搬送車を例示したが、物品搬送車２０は、床面上に敷設されたレール上を走行する地上搬送車やスタッカークレーン等であってもよい。 (6) In the above description, an overhead transport vehicle was exemplified as the article transport vehicle 20, but the article transport vehicle 20 may be a ground transport vehicle, a stacker crane, or the like that travels on rails laid on the floor surface. .

〔実施形態の概要〕
以下、上記において説明した位置関係検出システムの概要について簡単に説明する。 [Outline of embodiment]
An overview of the positional relationship detection system described above will be briefly described below.

１つの態様として、位置関係検出システムは、搬送元及び搬送先の移載箇所との間で物品を移載する移載装置を備えて前記搬送元と前記搬送先との間で物品を搬送する物品搬送車を備えた物品搬送設備において、前記移載装置が備える物品保持部の前記移載箇所に対する位置関係を検出する位置関係検出システムであって、前記物品保持部に保持される第１ユニットと、前記移載箇所に設置される第２ユニットと、を備え、前記第１ユニット及び前記第２ユニットの一方はセンサユニットであり、他方は前記センサユニットによる検出対象を備えた被検出ユニットであり、前記センサユニットは、当該センサユニットにおける検出基準点から前記被検出ユニットに設定された複数の被検出点までの距離を検出し、前記被検出ユニットは、前記移載箇所において前記センサユニットに対向するように設定された基準面に沿った第１方向及び前記基準面に沿うと共に前記第１方向に直交する第２方向における、前記移載箇所に対する前記物品保持部の相対位置を示す平面相対位置、前記基準面に対する前記物品保持部の傾き、前記基準面に直交する基準軸周りの前記物品保持部の回転角度、の内の少なくとも２つを前記検出基準点からの距離に応じた値として検出可能な複数の被検出面を備えて立体的に形成されている。 As one aspect, a positional relationship detection system includes a transfer device that transfers an article between a transfer location of a transfer source and a transfer destination, and transfers the article between the transfer source and the transfer destination. A positional relationship detection system for detecting a positional relationship of an article holding section provided in the transfer device with respect to the transfer location in an article transportation facility having an article conveyance vehicle, the first unit held by the article holding section. and a second unit installed at the transfer location, wherein one of the first unit and the second unit is a sensor unit, and the other is a detection target unit provided with an object to be detected by the sensor unit. the sensor unit detects a distance from a detection reference point in the sensor unit to a plurality of detection points set in the detection unit; A plane relative position indicating the relative position of the article holding unit with respect to the transfer location in a first direction along a reference plane set to face each other and in a second direction along the reference plane and perpendicular to the first direction At least two of a position, an inclination of the article holding section with respect to the reference plane, and a rotation angle of the article holding section around a reference axis perpendicular to the reference plane are set as values according to the distance from the detection reference point. It is three-dimensionally formed with a plurality of detectable surfaces to be detected.

この構成によれば、１つのセンサユニットによって検出基準点から複数の被検出点までの距離が検出される。複数のセンサを取り付ける必要がないため、複数のセンサ同士の取り付け精度等を考慮する必要もなく、簡単な構成で検出精度を確保することができる。また、立体的に形成された被検出ユニットには、平面相対位置、傾き、回転角度の内の少なくとも２つを検出基準点からの距離に応じた値として検出可能な複数の被検出面を備えている。従って、１つのセンサユニットによって、物品保持部の移載箇所に対する位置関係を示す平面相対位置、傾き、回転角度の内の少なくとも２つを検出することができる。このように、本構成によれば、より簡単な構成で適切に物品搬送車の物品保持部と移載箇所との位置関係を検出する技術を提供することができる。 According to this configuration, the distances from the detection reference point to the plurality of detection points are detected by one sensor unit. Since it is not necessary to attach a plurality of sensors, there is no need to consider the attachment accuracy of the plurality of sensors, etc., and detection accuracy can be ensured with a simple configuration. Further, the three-dimensionally formed detection target unit has a plurality of detection target surfaces capable of detecting at least two of the plane relative position, the tilt, and the rotation angle as values according to the distance from the detection reference point. ing. Therefore, one sensor unit can detect at least two of the planar relative position, the tilt, and the rotation angle, which indicate the positional relationship of the article holding section with respect to the transfer location. As described above, according to this configuration, it is possible to provide a technique for appropriately detecting the positional relationship between the article holding section of the article transport vehicle and the transfer location with a simpler configuration.

ここで、前記第１方向における前記平面相対位置を検出する前記被検出面は、前記第１方向の一方側へ向かうに従って前記検出基準点からの距離が一定の割合で増加するように配置された傾斜平面であり、前記第２方向における前記平面相対位置を検出する前記被検出面は、前記第２方向の一方側へ向かうに従って前記検出基準点からの距離が一定の割合で増加するように配置された傾斜平面であると好適である。 Here, the surface to be detected for detecting the planar relative position in the first direction is arranged such that the distance from the detection reference point increases at a constant rate toward one side in the first direction. The surface to be detected, which is an inclined plane and detects the relative position of the plane in the second direction, is arranged so that the distance from the detection reference point increases at a constant rate toward one side in the second direction. preferably a flat inclined plane.

この構成によれば、第１方向において物品保持部と移載箇所との相対位置が規定された位置からずれていた場合には、検出基準点からの距離が正常な場合と異なる値となる。検出された検出基準点からの距離と規定の距離との差分と、傾斜面の傾斜角度とに基づけば、第１方向におけるずれ量を求めることができる。同様に、第２方向においても、検出された検出基準点からの距離と規定の距離との差分と、傾斜面の傾斜角度とに基づけば、第２方向におけるずれ量を求めることができる。 According to this configuration, when the relative position between the article holding section and the transfer location is deviated from the specified position in the first direction, the distance from the detection reference point becomes a different value than when it is normal. Based on the difference between the detected distance from the detection reference point and the prescribed distance, and the inclination angle of the inclined surface, the deviation amount in the first direction can be obtained. Similarly, in the second direction, the amount of deviation in the second direction can be obtained based on the difference between the detected distance from the detection reference point and the prescribed distance, and the inclination angle of the inclined surface.

また、前記傾きを検出する前記被検出面は、少なくとも３箇所に設けられ、前記傾きが無い場合に前記検出基準点からの距離が同じとなるように配置された、前記基準面に平行な面であると好適である。 Further, the detection target surfaces for detecting the tilt are provided in at least three places, and are parallel to the reference plane and arranged so that the distance from the detection reference point is the same when there is no tilt. is preferable.

この構成によれば、傾きが生じている場合には、少なくとも１つの被検出面についての検出基準点からの距離が、他の被検出面についての検出基準点からの距離と異なる値となる。従って、その距離の差分と、差分が生じている２つの被検出面の基準面に沿った方向の距離とに基づいて傾きの程度（角度）を求めることができる。３箇所以上の検出面が設定されることにより、異なる２つの方向における傾きを求めることができるので、物品保持部の基準面に対する傾きをより精度よく求めることができる。 According to this configuration, when there is an inclination, the distance from the detection reference point for at least one surface to be detected is different from the distance from the detection reference point for the other surfaces to be detected. Therefore, the degree of inclination (angle) can be obtained based on the difference in distance and the distance in the direction along the reference plane of the two detection surfaces where the difference occurs. By setting three or more detection planes, inclinations in two different directions can be obtained, so that the inclination of the article holding portion with respect to the reference plane can be obtained with higher accuracy.

また、前記回転角度を検出する前記被検出面は、前記基準軸周りに一方側に旋回するに従って前記検出基準点からの距離が一定の割合で増加するように配置された螺旋状面であると好適である。 Further, the surface to be detected for detecting the rotation angle is a helical surface arranged so that the distance from the detection reference point increases at a constant rate as it turns in one direction around the reference axis. preferred.

この構成によれば、基準軸周りに旋回する方向において物品保持部と移載箇所との相対位置が規定された位置からずれていた場合には、検出基準点からの距離が正常な場合と異なる値となる。検出された検出基準点からの距離と規定の距離との差分と、螺旋状面の傾斜角度とに基づけば、旋回方向におけるずれ量を求めることができる。そして、例えば、当該ずれ量と、基準軸周りに１周する場合の旋回距離とに基づけば、物品保持部の回転角度を求めることができる。 According to this configuration, when the relative position between the article holding section and the transfer location deviates from the specified position in the direction of turning around the reference axis, the distance from the detection reference point is different from the case where it is normal. value. Based on the difference between the detected distance from the detection reference point and the prescribed distance, and the inclination angle of the helical surface, the deviation amount in the turning direction can be obtained. Then, for example, the rotation angle of the article holding portion can be obtained based on the amount of deviation and the turning distance in the case of making one turn around the reference axis.

また、前記基準面に沿う各方向における前記被検出面の幅は、前記移載箇所と前記物品保持部との理論上のずれの最大値より大きいと好適である。 Further, it is preferable that the width of the surface to be detected in each direction along the reference surface is larger than the theoretical maximum value of deviation between the transfer location and the article holding portion.

被検出点が被検出面から外れるほど、移載箇所と物品保持部とのずれが大きくなると、移載箇所と物品保持部との相対位置や姿勢を検出することができなくなる。被検出面の幅が、移載箇所と物品保持部との理論上のずれの最大値より大きいと、被検出点が被検出面から外れる可能性を低減でき、精度良く移載箇所と物品保持部との位置関係を検出することができる。 If the displacement between the transfer location and the article holding portion increases as the detection point deviates from the detection surface, the relative position and orientation between the transfer location and the article holding portion cannot be detected. If the width of the surface to be detected is larger than the theoretical maximum value of the deviation between the transfer location and the article holding portion, the possibility that the detection point will deviate from the detection surface can be reduced, and the transfer location and the article holding portion can be accurately detected. It is possible to detect the positional relationship with the part.

また、前記物品は、複数の基板を収容する収納容器であり、前記収納容器は、複数の前記基板のそれぞれを保持する複数のスリットと、当該スリットに前記基板を出し入れするための挿抜口と、前記挿抜口を閉じる蓋部と、を備え、前記センサユニットは、前記スリットによって支持されると共に、前記蓋部によって前記スリットに沿う方向の位置決めが行われていると好適である。 Further, the article is a storage container that stores a plurality of substrates, and the storage container includes a plurality of slits that hold the plurality of substrates, an insertion/extraction port for inserting and removing the substrates into the slits, a lid portion that closes the insertion/extraction port, and the sensor unit is preferably supported by the slit and positioned in a direction along the slit by the lid portion.

物品保持部と移載箇所との位置関係は、実際に物品搬送設備の搬送対象の物品の形状や重量に対応した検査用のユニットを用いることで、より精度良く検出できる可能性が高くなる。従って、搬送対象の物品が収納容器である場合には、当該収納容器を用いて検査用のユニットが構成されると好適である。例えば、物品保持部に保持される第１ユニットがセンサユニットの場合には、本構成のように、基板を保持するスリットを利用してセンサユニットを保持し、収納容器の挿抜口を閉じる蓋部を利用して、センサユニットの位置決めが行われる。従って、搬送対象の収納容器に、適切にセンサユニットを設置して、物品保持部と移載箇所との位置関係を精度良く検出することができる位置関係検出システムを構築することができる。 The positional relationship between the article holding section and the transfer location can be more accurately detected by using an inspection unit that corresponds to the shape and weight of the article to be actually conveyed by the article conveying equipment. Therefore, when the article to be transported is a storage container, it is preferable to construct an inspection unit using the storage container. For example, when the first unit held by the article holding portion is a sensor unit, the slit for holding the substrate is used to hold the sensor unit and the lid portion closes the insertion/extraction opening of the storage container as in this configuration. is used to position the sensor unit. Therefore, it is possible to construct a positional relationship detection system capable of accurately detecting the positional relationship between the article holding section and the transfer location by appropriately installing the sensor unit in the storage container to be transported.

１ ：第１ユニット
２ ：第２ユニット
３ ：センサユニット
４ ：被検出ユニット
１２ ：挿抜口
１３ ：スリット
１４ ：蓋部
２０ ：物品搬送車
２４ ：物品保持部
２８ ：移載装置
４０ ：被検出面
４１ ：第１傾斜平面（傾斜平面）
４２ ：第２傾斜平面（傾斜平面）
４３ ：螺旋状面
５０ ：非傾斜平面（傾きを検出するための被検出面で基準面に平行な面）
５１ ：第１非傾斜平面（被傾斜平面）
５２ ：第２非傾斜平面（被傾斜平面）
５３ ：第３非傾斜平面（被傾斜平面）
１００ ：位置関係検出システム
２００ ：物品搬送設備
Ｃ ：基準軸
Ｄ１ ：第１方向
Ｄ２ ：第２方向
Ｋ ：距離
Ｌ ：距離
Ｐ０ ：基準面
Ｑ ：検出基準点
Ｒ ：被検出点
Ｗ ：物品
θ ：回転角度
φ ：傾き Reference Signs List 1 : First unit 2 : Second unit 3 : Sensor unit 4 : Unit to be detected 12 : Insertion port 13 : Slit 14 : Lid 20 : Article transport vehicle 24 : Article holder 28 : Transfer device 40 : Surface to be detected 41: first inclined plane (inclined plane)
42: Second inclined plane (inclined plane)
43: Spiral surface 50: Non-inclined plane (a surface to be detected for detecting inclination and parallel to the reference surface)
51: first non-tilted plane (tilted plane)
52: second non-tilted plane (tilted plane)
53: Third non-tilted plane (tilted plane)
100: Positional relationship detection system 200: Article conveying equipment C: Reference axis D1: First direction D2: Second direction K: Distance L: Distance P0: Reference plane Q: Detection reference point R: Point to be detected W: Article θ: Rotation angle φ : Inclination

Claims (6)

搬送元及び搬送先の移載箇所との間で物品を移載する移載装置を備えて前記搬送元と前記搬送先との間で物品を搬送する物品搬送車を備えた物品搬送設備において、前記移載装置が備える物品保持部の前記移載箇所に対する位置関係を検出する位置関係検出システムであって、
前記物品保持部に保持される第１ユニットと、
前記移載箇所に設置される第２ユニットと、を備え、
前記第１ユニット及び前記第２ユニットの一方はセンサユニットであり、他方は前記センサユニットによる検出対象を備えた被検出ユニットであり、
前記センサユニットは、当該センサユニットにおける検出基準点から前記被検出ユニットに設定された複数の被検出点までの距離を検出し、
前記被検出ユニットは、前記移載箇所において前記センサユニットに対向するように設定された基準面に沿った第１方向及び前記基準面に沿うと共に前記第１方向に直交する第２方向における、前記移載箇所に対する前記物品保持部の相対位置を示す平面相対位置、前記基準面に対する前記物品保持部の傾き、前記基準面に直交する基準軸周りの前記物品保持部の回転角度、の内の少なくとも２つを前記検出基準点からの距離に応じた値として検出可能な複数の被検出面を備えて立体的に形成され、
前記回転角度を検出する前記被検出面は、前記基準軸周りに一方側に旋回するに従って前記検出基準点からの距離が一定の割合で増加するように配置された螺旋状面である、位置関係検出システム。 An article transport facility comprising a transfer device for transferring an article between a transfer location of a transfer source and a transfer destination, and an article transport vehicle for transporting an article between the transfer source and the transfer destination, A positional relationship detection system for detecting a positional relationship of an article holding unit provided in the transfer device with respect to the transfer location,
a first unit held by the article holding portion;
and a second unit installed at the transfer location,
One of the first unit and the second unit is a sensor unit, and the other is a detected unit having an object to be detected by the sensor unit,
The sensor unit detects a distance from a detection reference point in the sensor unit to a plurality of detection points set in the detection unit,
The detected unit is arranged in a first direction along a reference plane set to face the sensor unit at the transfer location and in a second direction along the reference plane and perpendicular to the first direction. At least a planar relative position indicating the relative position of the article holding section with respect to the transfer location, an inclination of the article holding section with respect to the reference plane, and a rotation angle of the article holding section around a reference axis orthogonal to the reference plane. three-dimensionally formed with a plurality of surfaces to be detected, two of which can be detected as values corresponding to the distance from the detection reference point ;
Positional relationship , wherein the surface to be detected for detecting the rotation angle is a spiral surface arranged so that the distance from the detection reference point increases at a constant rate as it turns around the reference axis in one direction. detection system. 前記第１方向における前記平面相対位置を検出する前記被検出面は、前記第１方向の一方側へ向かうに従って前記検出基準点からの距離が一定の割合で増加するように配置された傾斜平面であり、
前記第２方向における前記平面相対位置を検出する前記被検出面は、前記第２方向の一方側へ向かうに従って前記検出基準点からの距離が一定の割合で増加するように配置された傾斜平面である、請求項１に記載の位置関係検出システム。 The surface to be detected for detecting the plane relative position in the first direction is an inclined plane arranged so that the distance from the detection reference point increases at a constant rate toward one side in the first direction. can be,
The surface to be detected for detecting the planar relative position in the second direction is an inclined plane arranged such that the distance from the detection reference point increases at a constant rate toward one side in the second direction. 2. The positional relationship detection system according to claim 1, wherein: 前記傾きを検出する前記被検出面は、少なくとも３箇所に設けられ、前記傾きが無い場合に前記検出基準点からの距離が同じとなるように配置された、前記基準面に平行な面である、請求項１又は２に記載の位置関係検出システム。 The surface to be detected for detecting the tilt is a surface parallel to the reference surface, which is provided at least three locations and arranged so that the distance from the detection reference point is the same when there is no tilt. 3. The positional relationship detection system according to claim 1 or 2. 前記基準面に沿う各方向における前記被検出面の幅は、前記移載箇所と前記物品保持部との理論上のずれの最大値より大きい、請求項１から３の何れか一項に記載の位置関係検出システム。 4. The apparatus according to any one of claims 1 to 3 , wherein the width of the surface to be detected in each direction along the reference surface is larger than a theoretical maximum value of deviation between the transfer location and the article holding portion. Positional relationship detection system. 前記物品は、複数の基板を収容する収納容器であり、
前記収納容器は、複数の前記基板のそれぞれを保持する複数のスリットと、当該スリットに前記基板を出し入れするための挿抜口と、前記挿抜口を閉じる蓋部と、を備え、
前記センサユニットは、前記スリットによって支持されると共に、前記蓋部によって前記スリットに沿う方向の位置決めが行われている、請求項１から４の何れか一項に記載の位置関係検出システム。 The article is a storage container that accommodates a plurality of substrates,
The storage container includes a plurality of slits for holding each of the plurality of substrates, an insertion/extraction opening for inserting/removing the substrate into/from the slits, and a lid portion for closing the insertion/extraction opening,
The positional relationship detection system according to any one of claims 1 to 4 , wherein the sensor unit is supported by the slit and positioned in a direction along the slit by the lid portion. 搬送元及び搬送先の移載箇所との間で物品を移載する移載装置を備えて前記搬送元と前記搬送先との間で物品を搬送する物品搬送車を備えた物品搬送設備において、前記移載装置が備える物品保持部の前記移載箇所に対する位置関係を検出する位置関係検出システムであって、
前記物品保持部に保持される第１ユニットと、
前記移載箇所に設置される第２ユニットと、を備え、
前記第１ユニット及び前記第２ユニットの一方はセンサユニットであり、他方は前記センサユニットによる検出対象を備えた被検出ユニットであり、
前記センサユニットは、当該センサユニットにおける検出基準点から前記被検出ユニットに設定された複数の被検出点までの距離を検出し、
前記被検出ユニットは、前記移載箇所において前記センサユニットに対向するように設定された基準面に沿った第１方向及び前記基準面に沿うと共に前記第１方向に直交する第２方向における、前記移載箇所に対する前記物品保持部の相対位置を示す平面相対位置、前記基準面に対する前記物品保持部の傾き、前記基準面に直交する基準軸周りの前記物品保持部の回転角度、の内の少なくとも２つを前記検出基準点からの距離に応じた値として検出可能な複数の被検出面を備えて立体的に形成され、
前記物品は、複数の基板を収容する収納容器であり、
前記収納容器は、複数の前記基板のそれぞれを保持する複数のスリットと、当該スリットに前記基板を出し入れするための挿抜口と、前記挿抜口を閉じる蓋部と、を備え、
前記センサユニットは、前記スリットによって支持されると共に、前記蓋部によって前記スリットに沿う方向の位置決めが行われている、位置関係検出システム。 An article transport facility comprising a transfer device for transferring an article between a transfer location of a transfer source and a transfer destination, and an article transport vehicle for transporting an article between the transfer source and the transfer destination, A positional relationship detection system for detecting a positional relationship of an article holding unit provided in the transfer device with respect to the transfer location,
a first unit held by the article holding portion;
and a second unit installed at the transfer location,
One of the first unit and the second unit is a sensor unit, and the other is a detected unit having an object to be detected by the sensor unit,
The sensor unit detects a distance from a detection reference point in the sensor unit to a plurality of detection points set in the detection unit,
The detected unit is arranged in a first direction along a reference plane set to face the sensor unit at the transfer location and in a second direction along the reference plane and perpendicular to the first direction. At least a planar relative position indicating the relative position of the article holding section with respect to the transfer location, an inclination of the article holding section with respect to the reference plane, and a rotation angle of the article holding section around a reference axis orthogonal to the reference plane. three-dimensionally formed with a plurality of surfaces to be detected, two of which can be detected as values corresponding to the distance from the detection reference point ;
The article is a storage container that accommodates a plurality of substrates,
The storage container includes a plurality of slits for holding each of the plurality of substrates, an insertion/extraction opening for inserting/removing the substrate into/from the slits, and a lid portion for closing the insertion/extraction opening,
The positional relationship detection system , wherein the sensor unit is supported by the slit and positioned in a direction along the slit by the lid portion .
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